JP2011103269A - Power source for magnetron driving - Google Patents

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Kenji Yasui
健治 安井
Daisuke Besso
大介 別荘
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To protect an inverter circuit from an abnormal operation caused by discharging inside a magnetron tube. <P>SOLUTION: The power source for magnetron driving is provided with an inverter circuit 1 which has a resonance circuit having a semiconductor switching element 8 and a high voltage transformer 7, and a high voltage rectifying circuit 9, and supplies power to a magnetron 10 by switching on/off of the semiconductor switching element 8, and a controlling part 11 for controlling on/off of the semiconductor switching element 8. The controlling part 11 is provided with: a driving circuit part 13 for driving the semiconductor switching element 8; a switching controlling part 12 for controlling timing of on/off; and a current detecting part 14 for detecting a current of the magnetron 10. The current detecting part 14, when the current of the magnetron 10 exceeds a prescribed value, transmits an operation stop instruction to the switching controlling part 12. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子レンジなどのマグネトロンを負荷とするマグネトロン駆動用電源に関するものである。   The present invention relates to a power source for driving a magnetron using a magnetron such as a microwave oven as a load.

従来のマグネトロン駆動用電源について図面を用いて説明する。図5は主に日本国内で販売されている所謂インバータ式電子レンジに搭載されている従来のマグネトロン駆動用電源の回路図である。   A conventional magnetron driving power supply will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a circuit diagram of a conventional magnetron driving power source mounted in a so-called inverter type microwave oven sold mainly in Japan.

従来のマグネトロン駆動用電源は交流である商用電源1を一旦ダイオードブリッジ2で直流電圧に変換し9の直流電圧を半導体スイッチ素子5のオンオフによってインバータ回路は高圧トランス6の1次巻線に高周波電圧を発生し、高圧トランス6は2次巻線に高周波高電圧を励起する。   A conventional magnetron driving power source converts an AC commercial power source 1 into a DC voltage once by a diode bridge 2, and an inverter circuit turns a high frequency voltage into a primary winding of a high voltage transformer 6 by turning on and off the DC voltage of the semiconductor switch element 5. The high voltage transformer 6 excites a high frequency high voltage in the secondary winding.

この高周波高電圧は高圧整流回路8によって直流高電圧に整流され、マグネトロン9に印加される。マグネトロン9はこの直流高電圧で駆動され、2.45GHzの電波を発生する。   The high frequency high voltage is rectified to a high DC voltage by the high voltage rectifier circuit 8 and applied to the magnetron 9. The magnetron 9 is driven by this high DC voltage and generates a radio wave of 2.45 GHz.

半導体スイッチ素子5には一般的にIGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)が使用され、この素子を数10kHzの高周波でスイッチング動作させることで高圧トランス6に高周波電圧を発生している。   An IGBT (insulated gate bipolar transistor) is generally used as the semiconductor switch element 5, and a high frequency voltage is generated in the high voltage transformer 6 by switching the element at a high frequency of several tens of kHz.

マグネトロン9を駆動するためには高圧整流回路8は4kV以上の高電圧を出力しなければならないが、このような高電圧を印加して動作するマグネトロン9ではまれにマグネトロン9内部で管内放電と呼ばれる短絡現象が発生する。この管内放電は非常に短い期間で発生する特徴があり、特に管内放電現象が解消する際に高圧整流回路8に正常な動作状態の電圧に対して、過大な電圧を発生することがある。   In order to drive the magnetron 9, the high voltage rectifier circuit 8 must output a high voltage of 4 kV or more. In the magnetron 9 that operates by applying such a high voltage, it is rarely called an in-tube discharge inside the magnetron 9. A short circuit occurs. This in-tube discharge is characterized by being generated in a very short period. In particular, when the in-tube discharge phenomenon is eliminated, an excessive voltage may be generated in the high-voltage rectifier circuit 8 with respect to a voltage in a normal operating state.

従来のこの種のマグネトロン駆動用電源では半導体スイッチング素子を保護するために、半導体スイッチング素子の過電圧を検出する過電圧検出手段を設け、そのフィードバック信号によって半導体スイッチング素子のオンパルスを制御することで半導体スイッチング素子の耐圧保護を行っている(例えば、特許文献1参照)。   In this type of conventional magnetron driving power supply, in order to protect the semiconductor switching element, an overvoltage detection means for detecting an overvoltage of the semiconductor switching element is provided, and the semiconductor switching element is controlled by controlling the on-pulse of the semiconductor switching element by the feedback signal. (See, for example, Patent Document 1).

特開平7−135076号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-135076

しかしながら、前記従来の構成では、下記説明のように、インバータ回路の共振動作が乱れ、フィードバック制御によって停止する場合もあったが、単発での異常発生を検出しにくい、また、管内放電の解消時に高圧整流回路8への高電圧印加を未然に防ぎきれないという課題を有していた。   However, in the conventional configuration, as described below, the resonance operation of the inverter circuit is disturbed and may stop due to feedback control, but it is difficult to detect a single occurrence of abnormality, and when the discharge in the tube is resolved There was a problem that high voltage application to the high voltage rectifier circuit 8 could not be prevented in advance.

たとえば、半導体スイッチング素子のオン時またはオフ時いずれの状態で管内放電が発生することを事前に予測することは不可能である。   For example, it is impossible to predict in advance that an in-tube discharge will occur when the semiconductor switching element is on or off.

インバータ回路の共振動作は、1次側に構成される共振回路と高圧トランスによって磁気的に結合された高圧整流回路、マグネトロンの負荷インピーダンスによって決定されるが、半導体スイッチ素子がオン/オフいずれの状態で管内放電などの異常動作が発生するかによって共振動作の乱れ方、すなわちインピーダンスの変化がことなり、共振電圧の変化度合いも異なる。   The resonance operation of the inverter circuit is determined by the resonance circuit configured on the primary side, the high voltage rectifier circuit magnetically coupled by the high voltage transformer, and the load impedance of the magnetron. Depending on whether or not an abnormal operation such as an in-tube discharge occurs, the resonance operation is disturbed, that is, the impedance changes, and the degree of change in the resonance voltage varies.

このため、管内放電が発生するタイミング、時間によっては共振電圧の変化度合いも小さく異常動作を確実に検出することは非常に困難である。   For this reason, depending on the timing and time when the in-tube discharge occurs, the degree of change in the resonance voltage is small and it is very difficult to reliably detect abnormal operation.

しかしながら、管内放電が起こると高圧整流回路では短絡電流が流れ、正常時に対して過大な電流が高圧整流回路内を流れることになる。このため、フィードバック制御によって異常動作を検出できずに管内放電が解消してしまうと過大な電流によって、高圧コンデンサが充電されるため、正常時に対して過大な電圧を充電してしまうため特に高圧ダイオードに重大な損傷を与えてしまう可能性がある。   However, when an in-tube discharge occurs, a short-circuit current flows in the high-voltage rectifier circuit, and an excessive current flows in the high-voltage rectifier circuit with respect to the normal time. For this reason, if abnormal discharge cannot be detected by feedback control and the discharge in the tube is eliminated, the high voltage capacitor is charged by an excessive current. May cause serious damage.

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、マグネトロンの管内放電に起因する短絡電流を直接検知し、フィードバック制御することで、マグネトロンの管内放電を確実に検出し、インバータ回路を保護停止できるので、管内放電からの保護動作信頼性の向上を実現できるマグネトロン駆動用電源を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described conventional problems, and directly detects a short-circuit current caused by a magnetron in-tube discharge and performs feedback control, thereby reliably detecting the in-tube discharge of the magnetron and stopping the protection of the inverter circuit. Therefore, it is an object of the present invention to provide a magnetron driving power source that can improve the reliability of the protection operation against discharge in the tube.

前記従来の課題を解決するために、本発明のマグネトロン駆動用電源は、半導体スイッチ素子と高圧トランスを有する共振回路と高圧整流回路を有し、前記半導体スイッチ素子のオンオフにより、マグネトロンに電力供給するインバータ回路と、半導体スイッチ素子のオンオフを制御する制御部を備え、前記制御部は前記半導体スイッチ素子を駆動する駆動回路部とオンオフのタイミングを制御するスイッチング制御部と前記マグネトロンの電流を検出する電流検出部を有し、前記電流検出部は前記マグネトロンの電流が所定の値を超えると前記スイッチング制御部に動作停止指令を送信する構成としたものである。   In order to solve the above-described conventional problems, a magnetron driving power source according to the present invention includes a resonance circuit having a semiconductor switch element, a high-voltage transformer, and a high-voltage rectifier circuit, and supplies power to the magnetron by turning on and off the semiconductor switch element. An inverter circuit; and a control unit that controls on / off of the semiconductor switch element, wherein the control unit is a drive circuit unit that drives the semiconductor switch element, a switching control unit that controls on / off timing, and a current that detects a current of the magnetron The current detection unit is configured to transmit an operation stop command to the switching control unit when the current of the magnetron exceeds a predetermined value.

これによって、マグネトロンで発生する管内放電を電流検出部によって確実に検出する子ができるので、管内放電の発生によってインバータ回路、特に1次側の半導体スイッチング素子と2次側の高圧回路の損傷を確実に回避させることができる。   As a result, a child that reliably detects the in-tube discharge generated by the magnetron can be detected by the current detector, so that the occurrence of the in-tube discharge ensures damage to the inverter circuit, particularly the primary side semiconductor switching element and the secondary high-voltage circuit. Can be avoided.

本発明のマグネトロン駆動用電源によれば、マグネトロンの管内放電による異常電流を確実に検出し、半導体スイッチング素子や高圧回路などインバータ回路の損傷を防止することができる。   According to the magnetron driving power source of the present invention, it is possible to reliably detect an abnormal current due to the in-tube discharge of the magnetron and prevent damage to inverter circuits such as semiconductor switching elements and high voltage circuits.

本発明の実施の形態1におけるマグネトロン駆動用電源の構成図Configuration diagram of magnetron driving power source in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1における定常時のマグネトロンの動作波形図Operation waveform diagram of magnetron in steady state in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態1における異常時のマグネトロンの動作波形図Operation waveform diagram of magnetron at the time of abnormality in Embodiment 1 of the present invention 異常時のマグネトロンの動作波形図の時刻T1における拡大図Enlarged view at time T1 of the operation waveform diagram of the magnetron at the time of abnormality 従来のマグネトロン駆動用電源の構成図Configuration diagram of conventional magnetron drive power supply

第1の発明は、半導体スイッチ素子と高圧トランスを有する共振回路と高圧整流回路を有し、前記半導体スイッチ素子のオンオフにより、マグネトロンに電力供給するインバータ回路と、半導体スイッチ素子のオンオフを制御する制御部を備え、前記制御部は前記半導体スイッチ素子を駆動する駆動回路部とオンオフのタイミングを制御するスイッチング
制御部と前記マグネトロンの電流を検出する電流検出部を有し、前記電流検出部は前記マグネトロンの電流が所定の値を超えると前記スイッチング制御部に動作停止指令を送信する構成としたものである。
A first invention includes a resonance circuit having a semiconductor switch element and a high-voltage transformer, and a high-voltage rectifier circuit, and an inverter circuit that supplies power to the magnetron by the on / off of the semiconductor switch element, and a control for controlling on / off of the semiconductor switch element The control unit includes a drive circuit unit that drives the semiconductor switch element, a switching control unit that controls on / off timing, and a current detection unit that detects a current of the magnetron, and the current detection unit includes the magnetron When the current exceeds a predetermined value, an operation stop command is transmitted to the switching control unit.

電流検出部によって所定値以上の電流を検出するとスイッチング制御部の動作を停止させるため、マグネトロンの管内放電による共振動作の異常が継続することがない。このため半導体スイッチ素子を過電圧による損傷から保護することができ、また、高圧回路の過負荷状態も最小限にとどめることが可能である。   When the current detection unit detects a current of a predetermined value or more, the operation of the switching control unit is stopped. Therefore, the abnormality of the resonance operation due to the in-tube discharge of the magnetron does not continue. As a result, the semiconductor switch element can be protected from damage due to overvoltage, and the overload state of the high-voltage circuit can be minimized.

第2の発明は、電流検出部は抵抗体とこれに並列に接続されたツェナダイオードとホトカップラの直列接続体によって構成し、前記ホトカップラの出力によってスイッチング制御部に停止信号を送信する構成としたものである。   According to a second aspect of the present invention, the current detection unit is composed of a resistor, a series connection body of a Zener diode and a photocoupler connected in parallel to the resistor, and a stop signal is transmitted to the switching control unit by the output of the photocoupler. It is.

高圧トランスによって電気的に異なる電位を持った1次側と2次側をホトカプラによって結合し、信号を伝送できるので、インバータの制御部に備えられたスイッチング制御部に直接停止信号を伝達することができ高速な応答を実現することができる。   Since the primary side and the secondary side, which have different electrical potentials by the high-voltage transformer, can be connected by a photocoupler to transmit a signal, a stop signal can be directly transmitted to the switching control unit provided in the control unit of the inverter. And a high-speed response can be realized.

第3の発明は、電流検出部は抵抗体とこれに並列に接続されたバリスタとホトカップラの直列接続体によって構成し、前記ホトカップラの出力によってスイッチング制御部に停止信号を送信する構成としたものである。   In a third aspect of the invention, the current detection unit is configured by a resistor, a series connection body of a varistor and a photocoupler connected in parallel thereto, and a stop signal is transmitted to the switching control unit by the output of the photocoupler. is there.

高圧トランスによって電気的に異なる電位を持った1次側と2次側をホトカプラによって結合し、信号を伝送できるので、インバータの制御部に備えられたスイッチング制御部に直接停止信号を伝達することができ高速な応答を実現することができる。   Since the primary side and the secondary side, which have different electrical potentials by the high-voltage transformer, can be connected by a photocoupler to transmit a signal, a stop signal can be directly transmitted to the switching control unit provided in the control unit of the inverter. And a high-speed response can be realized.

第4の発明は、制御部に計時手段を設け、停止信号によってスイッチング動作を停止させてから前記計時手段によって所定時間を計測し、所定の時間経過後に再度インバータ回路の動作を再スタートさせる構成としたものである。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a timing unit in the control unit, the switching operation is stopped by a stop signal, the predetermined time is measured by the time measuring unit, and the operation of the inverter circuit is restarted again after the predetermined time has elapsed. It is a thing.

計時手段によって所定時間後に再起動するため、ノイズなどによって電流検出回路が万が一反応してしまった場合でも速やかに再起動して正常な発振を再開できるので、加熱不良などの不具合を回避することができる。   Since it restarts after a predetermined time by the time measuring means, even if the current detection circuit should react due to noise etc., it can be restarted quickly and normal oscillation can be resumed, so it is possible to avoid problems such as defective heating it can.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

図1は、本発明の実施の形態におけるマグネトロン駆動用電源の構成図である。   FIG. 1 is a configuration diagram of a magnetron driving power source according to an embodiment of the present invention.

図1において、インバータ回路1は商用電源2から得られる交流電圧をダイオードブリッジ3によっていったん単方向電圧に整流し、チョークコイル4、平滑コンデンサ5で構成される平滑回路で平滑している。   In FIG. 1, an inverter circuit 1 once rectifies an AC voltage obtained from a commercial power source 2 into a unidirectional voltage by a diode bridge 3 and smoothes it by a smoothing circuit including a choke coil 4 and a smoothing capacitor 5.

この平滑回路は商用電源の周波数である60Hzあるいは50Hzに対しては電圧を維持し平滑する能力は持たず、インバータ回路1のスイッチング周波数に対して直流電圧を保持できる程度の平滑能力として回路の小型化を果たしている。   This smoothing circuit does not have the ability to maintain and smooth the voltage with respect to the commercial power supply frequency of 60 Hz or 50 Hz, and the circuit is small enough to have a smoothing ability that can maintain a DC voltage with respect to the switching frequency of the inverter circuit 1. Is playing.

また、共振コンデンサ6と高圧トランス7で構成される共振回路を半導体スイッチ素子8のオンオフによって励振することで高圧トランス7の2次側に高周波高電圧を誘起する。   Further, a high frequency high voltage is induced on the secondary side of the high voltage transformer 7 by exciting a resonance circuit composed of the resonance capacitor 6 and the high voltage transformer 7 by turning on and off the semiconductor switch element 8.

高圧整流回路9はこの高周波高電圧を整流しマグネトロン10に直流高電圧を供給し、マグネトロン10はこの直流高電圧によって2450MHzのマイクロ波を発生するように構成されている。   The high voltage rectifier circuit 9 rectifies the high frequency high voltage and supplies a DC high voltage to the magnetron 10, and the magnetron 10 is configured to generate a 2450 MHz microwave by the DC high voltage.

また、制御部11は半導体スイッチ素子8のオンオフのタイミングを制御するスイッチング制御部12と半導体スイッチ素子8を駆動する駆動回路部13を有しており、駆動回路部13はスイッチング制御部12の出力するパルス列に基づいて半導体スイッチ素子8をオンオフする。   The control unit 11 includes a switching control unit 12 that controls the on / off timing of the semiconductor switch element 8 and a drive circuit unit 13 that drives the semiconductor switch element 8, and the drive circuit unit 13 outputs the output of the switching control unit 12. The semiconductor switch element 8 is turned on and off based on the pulse train to be performed.

電流検出部14はマグネトロン10の電流を検出するように高圧整流回路9とアース接続部の間に装着されている。電流検出部14は抵抗体14aとこれに並列に接続されたツェナダイオード14bとホトカップラ14cの発光側の直列体によって構成され、過電流が生じた際にホトカップラ14cを通して信号を伝達するように構成されている。   The current detector 14 is mounted between the high voltage rectifier circuit 9 and the ground connection so as to detect the current of the magnetron 10. The current detector 14 includes a resistor 14a, a Zener diode 14b connected in parallel thereto, and a series body on the light emission side of the photocoupler 14c, and is configured to transmit a signal through the photocoupler 14c when an overcurrent occurs. ing.

以上のように構成されたマグネトロン駆動用電源について、以下その詳細な動作、作用を説明する。   The detailed operation and action of the magnetron driving power source configured as described above will be described below.

図2はインバータ回路1が正常な状態におけるマグネトロン10の印加電圧Vakおよび通過電流Iaを示した図である。交流周期に対する動作電圧の変化を示すため交流電圧波形Vacを加えて図面に示している。前述のようにインバータ回路の入力に備えられた平滑回路は商用電源2の電圧を平滑する能力を持たせていない。   FIG. 2 is a diagram showing the applied voltage Vak and the passing current Ia of the magnetron 10 when the inverter circuit 1 is normal. In order to show the change of the operating voltage with respect to the AC cycle, an AC voltage waveform Vac is added to the drawing. As described above, the smoothing circuit provided at the input of the inverter circuit does not have the ability to smooth the voltage of the commercial power source 2.

このためインバータ回路1の入力電圧は商用電源2の電圧に同期して変動する。半導体スイッチ素子8によって励振される共振回路はこの変動する電圧によって変動し、結果として高圧トランス7の出力電圧もおのずと変動し、マグネトロン10の印加電圧も商用電源2の電圧が低い期間では昇圧が不足し、マグネトロン10の発振が停止している。   For this reason, the input voltage of the inverter circuit 1 fluctuates in synchronization with the voltage of the commercial power supply 2. The resonance circuit excited by the semiconductor switch element 8 fluctuates due to this fluctuating voltage, and as a result, the output voltage of the high-voltage transformer 7 naturally fluctuates, and the voltage applied to the magnetron 10 is insufficiently boosted when the voltage of the commercial power supply 2 is low. However, the oscillation of the magnetron 10 is stopped.

図3はインバータ回路1の動作中にマグネトロン10で管内放電を生じた際のマグネトロン10の印加電圧Vakと通過電流Iaを示した図である。時刻T1においてマグネトロン10において管内放電を起こしたことを想定している。   FIG. 3 is a diagram showing the applied voltage Vak and the passing current Ia of the magnetron 10 when an in-tube discharge is generated in the magnetron 10 during the operation of the inverter circuit 1. It is assumed that an in-tube discharge has occurred in the magnetron 10 at time T1.

マグネトロン10が管内放電を起こすとマグネトロン10の両端が単純に短絡した状態と同じ回路状態となるため、高圧整流回路9に蓄えられた負の高電圧が一気に短絡電流として流れてしまう。   When the magnetron 10 causes an in-tube discharge, both ends of the magnetron 10 are in the same circuit state as when both ends are simply short-circuited, so that a negative high voltage stored in the high-voltage rectifier circuit 9 flows as a short-circuit current all at once.

このため、管内放電が発生した直後は短絡電流として過大な電流が高圧整流回路9から電流検出部14を通過していく。図4は図3の時刻T1における波形を拡大した波形図である。管内放電は瞬間的に状態が遷移するためマグネトロン10の印加電圧はほぼ瞬間的に0に変化し、電流は過渡的に数十Aにもおよぶ非常に大きな電流となる。   For this reason, immediately after the discharge in the tube occurs, an excessive current as a short-circuit current passes through the current detection unit 14 from the high-voltage rectifier circuit 9. FIG. 4 is an enlarged waveform diagram at time T1 in FIG. Since the state of the discharge inside the tube instantaneously changes, the applied voltage of the magnetron 10 changes to 0 almost instantaneously, and the current becomes a very large current transiently reaching several tens of A.

この短絡電流が電流検出部14の抵抗体14aを流れると電圧降下を起こし、抵抗体14aの両端に電圧を生じる。   When this short-circuit current flows through the resistor 14a of the current detector 14, a voltage drop occurs, and a voltage is generated across the resistor 14a.

この電圧が並列に接続されたツェナダイオード14bの動作電圧を超えるとツェナダイオード14bとホトカップラ14cの発光ダイオードの直列回路に電流が流れて、ホトカプラ14cの受光側に信号が伝達される。この信号は制御部11のスイッチング制御部12に伝達され半導体スイッチ素子8のスイッチング動作を即座に停止させる。   When this voltage exceeds the operating voltage of the Zener diode 14b connected in parallel, a current flows through the series circuit of the Zener diode 14b and the light emitting diode of the photocoupler 14c, and a signal is transmitted to the light receiving side of the photocoupler 14c. This signal is transmitted to the switching control unit 12 of the control unit 11 to immediately stop the switching operation of the semiconductor switch element 8.

このように動作することで管内放電が発生した瞬間にこれを検出し、インバータ回路1の動作を停止するので管内放電による異常動作が継続することなく、また、管内放電の発
生した瞬間を直接捉えることができるのでフィードバック制御の遅れ時間を最小限にとどめ管内放電現象が解消する前にインバータ回路の動作を停止し、高圧整流回路への過大電圧印加を未然に防ぐことが可能になる。
By operating in this way, this is detected at the moment when the in-tube discharge occurs, and the operation of the inverter circuit 1 is stopped, so that the abnormal operation due to the in-tube discharge does not continue, and the instant at which the in-tube discharge occurs is directly captured. Therefore, it is possible to minimize the delay time of feedback control, stop the operation of the inverter circuit before the discharge phenomenon in the tube is eliminated, and prevent an excessive voltage from being applied to the high-voltage rectifier circuit.

また、計時手段15は電流検出部14によって異常電流を検出し、インバータ回路1のスイッチング動作を停止させてからの経過時間を計測している。この計測時間が所定の時間を超過すると、いったん異常停止の状態を解除し、インバータ回路1を再び起動させ、スイッチング動作を再開させる。マグネトロン10の異常状態が解消されていれば正常な発振状態を継続し、加熱動作を継続することができる。   The time measuring means 15 detects an abnormal current by the current detection unit 14 and measures an elapsed time after the switching operation of the inverter circuit 1 is stopped. When this measurement time exceeds a predetermined time, the abnormal stop state is once released, the inverter circuit 1 is started again, and the switching operation is resumed. If the abnormal state of the magnetron 10 is eliminated, the normal oscillation state can be continued and the heating operation can be continued.

このように構成しておくことで不測の事態によるノイズの混入によって電流検出部が作動し、保護動作をしてしまっても再度インバータ回路1を起動させることができるので加熱不良などの問題を起こすことがない。   With this configuration, the current detection unit is activated due to noises caused by an unexpected situation, and the inverter circuit 1 can be started again even if the protection operation is performed. There is nothing.

以上のように、本発明にかかるマグネトロン駆動用電源はマグネトロンの管内放電による異常電流を検出し、インバータ回路およびマグネトロンの損傷を防止するマグネトロン駆動電源を提供できるので、電子レンジで代表されるような誘電加熱を利用した加熱装置や生ゴミ処理機、あるいは半導体製造装置であるプラズマ電源のマイクロ波電源などの用途にも適用できる。   As described above, the magnetron driving power source according to the present invention can detect an abnormal current due to the magnetron discharge in the tube, and can provide a magnetron driving power source that prevents the inverter circuit and the magnetron from being damaged. It can also be applied to applications such as a heating device using dielectric heating, a garbage disposal machine, or a microwave power source of a plasma power source that is a semiconductor manufacturing device.

1 インバータ回路
7 高圧トランス
8 半導体スイッチ素子
9 高圧整流回路
10 マグネトロン
11 制御部
12 スイッチング制御部
13 駆動回路部
14 電流検出部
14a 抵抗体
14b ツェナダイオード
14c ホトカプラ(発光側)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inverter circuit 7 High voltage transformer 8 Semiconductor switch element 9 High voltage rectifier circuit 10 Magnetron 11 Control part 12 Switching control part 13 Drive circuit part 14 Current detection part 14a Resistor 14b Zener diode 14c Photocoupler (light emission side)

Claims (4)

半導体スイッチ素子と高圧トランスを有する共振回路と高圧整流回路を有し、前記半導体スイッチ素子のオンオフにより、マグネトロンに電力供給するインバータ回路と、半導体スイッチ素子のオンオフを制御する制御部を備え、前記制御部は前記半導体スイッチ素子を駆動する駆動回路部とオンオフのタイミングを制御するスイッチング制御部と前記マグネトロンの電流を検出する電流検出部を有し、前記電流検出部は前記マグネトロンの電流が所定の値を超えると前記スイッチング制御部に動作停止指令を送信する構成としたマグネトロン駆動用電源。 The control circuit includes a resonance circuit having a semiconductor switch element and a high-voltage transformer, and a high-voltage rectifier circuit. The inverter circuit supplies power to the magnetron by turning on and off the semiconductor switch element. The unit has a drive circuit unit for driving the semiconductor switch element, a switching control unit for controlling on / off timing, and a current detection unit for detecting the current of the magnetron, and the current detection unit has a predetermined value for the current of the magnetron. A magnetron driving power source configured to transmit an operation stop command to the switching control unit when exceeding. 電流検出部は抵抗体とこれに並列に接続されたツェナダイオードとホトカップラの直列接続体によって構成し、前記ホトカップラの出力によってスイッチング制御部に停止信号を送信する構成とした請求項1に記載のマグネトロン駆動用電源。 2. The magnetron according to claim 1, wherein the current detection unit is configured by a resistor, a series connection body of a Zener diode and a photocoupler connected in parallel to the resistor, and a stop signal is transmitted to the switching control unit by an output of the photocoupler. Power supply for driving. 電流検出部は抵抗体とこれに並列に接続されたバリスタとホトカップラの直列接続体によって構成し、前記ホトカップラの出力によってスイッチング制御部に停止信号を送信する構成とした請求項1に記載のマグネトロン駆動用電源。 2. The magnetron drive according to claim 1, wherein the current detection unit is configured by a resistor, a series connection body of a varistor and a photocoupler connected in parallel to the resistor, and a stop signal is transmitted to the switching control unit by an output of the photocoupler. Power supply. 制御部に計時手段を設け、停止信号によってスイッチング動作を停止させてから前記計時手段によって所定時間を計測し、所定の時間経過後に再度インバータ回路の動作を再スタートさせる構成とした請求項2または3に記載のマグネトロン駆動用電源。 4. The time measuring means is provided in the control unit, the switching operation is stopped by a stop signal, the predetermined time is measured by the time measuring means, and the operation of the inverter circuit is restarted again after a predetermined time has elapsed. The magnetron drive power supply described in 1.
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