JP2011076712A - Magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device - Google Patents

Magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device Download PDF

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正敏 櫻井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium, and a magnetic recording and reproducing device having a high positioning accuracy. <P>SOLUTION: In the magnetic recording medium including a pattern structure in which a servo area is composed of a recorded part and non recorded part, the servo area has a preamble part storing preamble information and an address part storing address information. A non-recording part is arranged between column patterns indicating the preamble information adjacent in the track direction in the preamble part while the non-recording part is arranged between column patterns indicating the address information adjacent in the track direction in the address part, and a total width of the pattern of the address part and the non-recording part is the same as a pitch of the preamble part in the circumferential direction. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は特にサーボ部分が磁性体の有無もしくは凹凸によりパターン化されているパターンドサーボ型磁気記録媒体、およびこの磁気記録媒体を含む磁気記録装置に関する。   The present invention particularly relates to a patterned servo magnetic recording medium in which a servo portion is patterned by the presence or absence of a magnetic material or unevenness, and a magnetic recording apparatus including the magnetic recording medium.

磁気記録装置、磁気ディスク装置、ハードディスクドライブ装置の大容量化に伴い、磁気記録媒体に必要とされる記録密度が増加する。そのため磁気記録媒体上を相対的に移動する磁気記録再生ヘッドにより記録された磁気情報が、隣接するトラックの記録に悪影響を与える可能性が大きい。この悪影響を避けるため、隣接するトラック中の磁性体を物理的に分離することが考えられた。このように磁気記録媒体上で記録トラックもしくは記録ビットの形状で磁性体の有無もしくは磁性体と非磁性体のパターンが具備された媒体をパターンド媒体と呼ぶ。   As the capacity of magnetic recording devices, magnetic disk devices, and hard disk drives increases, the recording density required for magnetic recording media increases. Therefore, the magnetic information recorded by the magnetic recording / reproducing head that moves relatively on the magnetic recording medium is likely to adversely affect the recording of adjacent tracks. In order to avoid this adverse effect, it has been considered to physically separate magnetic bodies in adjacent tracks. A medium in which the presence or absence of a magnetic material or a pattern of a magnetic material and a non-magnetic material is provided in the shape of a recording track or a recording bit on a magnetic recording medium is called a patterned medium.

この磁気記録媒体表面上を磁気記録再生ヘッドが相対的に移動することにより、媒体表面上の所望の位置に磁気データが記録再生される。   When the magnetic recording / reproducing head relatively moves on the surface of the magnetic recording medium, magnetic data is recorded / reproduced at a desired position on the surface of the medium.

磁気記録再生ヘッドが記録媒体上で所望の位置に移動する為に、磁気記録媒体上には位置決めサーボ領域が存在する。記録再生時に、このサーボ領域を記録再生ヘッドが横切るときに再生ヘッドから得られる位置信号から、記録再生ヘッドの記録媒体上における位置を把握する。そして得られた位置情報から、記録再生装置の位置を制御して、所望の記録位置まで記録ヘッドを移動させる。   In order for the magnetic recording / reproducing head to move to a desired position on the recording medium, a positioning servo area exists on the magnetic recording medium. At the time of recording / reproducing, the position of the recording / reproducing head on the recording medium is grasped from the position signal obtained from the reproducing head when the recording / reproducing head crosses the servo area. Based on the obtained position information, the position of the recording / reproducing apparatus is controlled to move the recording head to a desired recording position.

前記パターンド媒体においては、前記サーボ領域の信号も、磁性体パターンとしてデータ領域と一括して作成することが、媒体作製時のコストを抑える点と、サーボ位置決め信号と記録パターンを一括して作ることにより高い位置精度が得られる点で好ましい。サーボ領域を磁性体パターンとして作製した媒体を特にパターンドサーボ媒体と呼ぶ。   In the patterned medium, the servo area signal is also created as a magnetic pattern in a batch with the data area, which reduces the cost of producing the medium, and the servo positioning signal and the recording pattern are created in a batch. This is preferable in that high positional accuracy can be obtained. A medium in which the servo area is made as a magnetic pattern is particularly called a patterned servo medium.

パターンド媒体もしくはパターンドサーボ媒体は、例えばナノインプリントプロセスを用いて作成される。例えば磁性体と非磁性体のパターンを持つ媒体では、磁性膜上に塗布されたレジスト膜に対し、凹凸パターンを具備するナノインプリントスタンパを押しつけ、レジスト膜上に凹凸パターンを転写する。その後、凹凸パターンを転写されたレジスト膜をマスクとして、レジスト膜の下の磁性体をパターン加工する。したがって磁性体のパターン形状の品質は、レジスト膜上に形成された凹凸パターンの品質に影響される。   The patterned medium or the patterned servo medium is created using, for example, a nanoimprint process. For example, in a medium having a magnetic and non-magnetic pattern, a nanoimprint stamper having a concavo-convex pattern is pressed against a resist film coated on the magnetic film to transfer the concavo-convex pattern onto the resist film. Thereafter, the magnetic material under the resist film is patterned using the resist film to which the uneven pattern has been transferred as a mask. Therefore, the quality of the pattern shape of the magnetic material is affected by the quality of the concavo-convex pattern formed on the resist film.

一般的なHDDに用いられているサーボ領域の磁気パターン形状について説明する。   A magnetic pattern shape of a servo area used in a general HDD will be described.

サーボ領域は少なくともプリアンブル領域、アドレス領域、位置決めバースト領域(もしくはバースト領域)を含む。   The servo area includes at least a preamble area, an address area, and a positioning burst area (or burst area).

アドレス領域は、トラック番号やセクタ番号情報を持ち、ヘッドの位置するトラック位置を示す。アドレス情報は、シーク中にヘッドが隣接トラックにずれた場合でもデータを読みとれるようにグレイコードで書き込まれている。   The address area has track number and sector number information and indicates the track position where the head is located. The address information is written in gray code so that data can be read even when the head is shifted to an adjacent track during seeking.

従来のアドレス領域のパターンを特許文献1に示す。パターンドサーボ媒体においては、図17に示すパターンが磁性体と非磁性体、もしくは磁性体の凹凸パターンとして作成される。従来のパターンドサーボ媒体では、アドレスを示すパターンが各桁で隣接しているため、図17で示されたような階段状の部分(点線内)を持つ。   A conventional address area pattern is shown in Patent Document 1. In the patterned servo medium, the pattern shown in FIG. 17 is created as a magnetic material and a non-magnetic material, or an uneven pattern of the magnetic material. In the conventional patterned servo medium, since the pattern indicating the address is adjacent in each digit, it has a stepped portion (inside the dotted line) as shown in FIG.

米国特許第6,643,082号公報US Pat. No. 6,643,082

しかしながら、上記アドレス領域をパターンドサーボ媒体上に作製するためには、ナノインプリントプロセスなどの手段により図17のパターンを凹凸構造として持つレジスト膜を作成しなければならない。しかし、アドレス領域を図17で示される階段状の部分をレジスト膜上に凹凸パターンとして形成する場合、階段状の部分のエッジ部がレジストの表面張力による変形のため、図18で示されるように角が鈍ってしまう虞がある。レジスト膜の凹凸パターンで階段状の部分で角が鈍ってしまうと、その後のプロセスで得られる磁性パターンにおいても角の鈍った形状が転写され、媒体を記録再生装置に組み込んだ後、記録再生ヘッドの位置決め精度が悪化し、データ再生の際の再生マージンが小さくなる可能性がある。   However, in order to produce the address area on the patterned servo medium, a resist film having the pattern of FIG. 17 as an uneven structure must be produced by means such as a nanoimprint process. However, when the stepped portion shown in FIG. 17 is formed as an uneven pattern on the resist film as the address region, the edge portion of the stepped portion is deformed due to the surface tension of the resist, so as shown in FIG. There is a risk that the corners become dull. If the corner of the resist film is dull in the stepped portion, the dull shape is transferred in the magnetic pattern obtained in the subsequent process, and the recording / reproducing head is assembled after the medium is incorporated into the recording / reproducing apparatus. There is a possibility that the positioning accuracy will be reduced and the reproduction margin at the time of data reproduction will be reduced.

本発明の目的は上記を解決するため、高い位置決め精度を有する磁気記録媒体及び磁気記録再生装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium and a magnetic recording / reproducing apparatus having high positioning accuracy in order to solve the above problems.

実施形態に係る磁気記録媒体は、サーボ領域が記録部と非記録部とで構成されるパターン構造を含む磁気記録媒体において、前記サーボ領域はプリアンブル情報が記録されるプリアンブル部およびアドレス情報が記録されるアドレス部を有しており、プリアンブル部内にトラック方向に隣接して存在するプリアンブル情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部内にトラック方向に隣接して存在するアドレス情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部のパターンと非記録部とを合わせた幅はプリアンブル部の周方向ピッチと同一であることを特徴とする。   The magnetic recording medium according to the embodiment is a magnetic recording medium including a pattern structure in which a servo area includes a recording part and a non-recording part. The servo area stores a preamble part in which preamble information is recorded and address information. A non-recording portion is arranged between digits of a pattern indicating preamble information existing adjacent to the track direction in the preamble portion, and address information existing adjacent to the track direction is stored in the address portion. The non-recording portion is arranged between the digits of the pattern shown, and the combined width of the address portion pattern and the non-recording portion is the same as the circumferential pitch of the preamble portion.

また、本発明の磁気記録再生装置は、上述の磁気記録媒体と、前記サーボ領域に記録されたサーボ情報を読み取る磁気記録再生ヘッドとを具備することを特徴とする。   A magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention includes the magnetic recording medium described above and a magnetic recording / reproducing head for reading servo information recorded in the servo area.

本発明により、従来のアドレス構造を具備した磁気記録媒体に比べ高い位置決め精度が示されるアドレス構造を有する磁気記録媒体及び磁気記録再生装置を得ることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to obtain a magnetic recording medium and a magnetic recording / reproducing apparatus having an address structure that shows higher positioning accuracy than a magnetic recording medium having a conventional address structure.

本発明の磁気記録媒体におけるサーボ領域の平面図である。It is a top view of the servo area | region in the magnetic recording medium of this invention. 図1のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図1のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例2の磁気記録媒体の製造工程図である。It is a manufacturing-process figure of the magnetic-recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例3の磁気記録再生装置の構成概念図である。It is a structure conceptual diagram of the magnetic recording / reproducing apparatus of Example 3 of this invention. 従来のパターンドサーボ媒体のサーボ領域の平面図である。It is a top view of the servo area | region of the conventional patterned servo medium. 図17に示す階段状部分の拡大図である。It is an enlarged view of the step-shaped part shown in FIG.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明の磁気記録媒体におけるサーボ領域の平面図を図1に示す。サーボ領域は、大別すると、プリアンブル部10、アドレス部20、偏差検出用バースト部(以下バースト部)30とからなり、データ領域と同様に記録/非記録パターンとして形成されている。   A plan view of a servo area in the magnetic recording medium of the present invention is shown in FIG. The servo area is roughly divided into a preamble section 10, an address section 20, and a deviation detection burst section (hereinafter referred to as a burst section) 30, and is formed as a recording / non-recording pattern as in the data area.

プリアンブル部10は、メディアの回転偏芯等により生ずる時間ズレに対し、サーボ信号再生用クロックを同期させるPLL(Phase Locked Loop)処理や、信号再生振幅を適正に保つAGC(Auto Gain Control)処理を行うために設けられている。構成は、半径方向に分断されていない略円弧放射状に連続する記録/非記録の周方向に繰返すパターンで形成されている。さらに一本一本の線状磁性パターンは再生ヘッドの幅とスキュー角に応じた周期で分断されている。   The preamble section 10 performs PLL (Phase Locked Loop) processing that synchronizes the servo signal reproduction clock with respect to time deviation caused by rotational eccentricity of the media, and AGC (Auto Gain Control) processing that appropriately maintains the signal reproduction amplitude. Provided to do. The configuration is formed by a pattern that repeats in a recording / non-recording circumferential direction that is continuous in a substantially circular arc shape that is not divided in the radial direction. Further, each linear magnetic pattern is divided at a period according to the width and skew angle of the reproducing head.

アドレス部20は、この内部で隣接する各桁の間にはパターンを分離する非記録部が存在する。そしてサーボマークと呼ばれるサーボ信号認識コードや、セクタ情報、シリンダ情報等が、プリアンブル部の周方向ピッチと同一ピッチで、マンチェスタコードにより形成されている。特に、シリンダ情報は、サーボトラック毎にその情報が変化するパターンとなるため、シーク動作時のアドレス判読ミスの影響が小さくなる様に、グレイコードと呼ぶ隣接トラックとの変化が最小となるコード変換をしてから、マンチェスタコード化して記録されている。   The address part 20 includes a non-recording part that separates patterns between adjacent digits in the address part 20. Servo signal recognition codes called servo marks, sector information, cylinder information, and the like are formed by Manchester codes at the same pitch as the circumferential pitch of the preamble portion. In particular, the cylinder information has a pattern in which the information changes for each servo track. Therefore, code conversion that minimizes the change between adjacent tracks called gray codes is used to reduce the influence of address misreading during seek operations. After that, it is recorded in Manchester code.

バースト部30は、シリンダアドレスのオントラック状態からのオフトラック量を検出するためのオフトラック検出用領域で、更にA,B,C,Dバーストと呼ぶ4つの径方向にパターン位相をずらしたマークが形成されている。この各バーストには、周方向に複数個のマークがプリアンブル部10と同一のピッチ周期で配置され、径方向周期は、アドレスパターンの変化周期に比例、換言すれば、サーボトラック周期に比例した周期に取られる。本実施例では、各バーストが周方向に10周期分形成され、径方向は、サーボトラック周期の2倍長周期で繰返すパターンを取っている。また、マーク形状は基本的には方形、厳密にはヘッドアクセス時のスキュー角を考慮した平行四辺形を目指して形成されるが、スタンパ加工精度や転写形成等の加工性能により、多少丸みを帯びた形状となる。また、マーク部は非磁性部として形成する。このバースト部30からの位置検出原理については、詳細を省略するが、各ABCDバースト部再生信号の平均振幅値を演算処理して、オフトラック量が算出される。   The burst unit 30 is an off-track detection area for detecting the off-track amount from the on-track state of the cylinder address, and is a mark in which the pattern phase is further shifted in four radial directions called A, B, C, and D bursts Is formed. In each burst, a plurality of marks are arranged in the circumferential direction at the same pitch period as that of the preamble section 10, and the radial period is proportional to the address pattern change period, in other words, the period proportional to the servo track period. To be taken. In this embodiment, each burst is formed for 10 periods in the circumferential direction, and the radial direction has a pattern that repeats at a period twice as long as the servo track period. In addition, the mark shape is basically a square, strictly speaking, a parallelogram that takes into account the skew angle when accessing the head, but it is somewhat rounded due to stamping accuracy and processing performance such as transfer formation. Shape. The mark part is formed as a nonmagnetic part. Although the details of the principle of position detection from the burst unit 30 are omitted, the off-track amount is calculated by calculating the average amplitude value of each ABCD burst unit reproduction signal.

図2、3は図1のA−A断面図である。図2、3に示すようにアドレス部20も他の部分と同様、記録部2と非記録部3とが交互に繰り返されるパターンとなっている。記録部2と非記録部3は、大きく分けて図2に示す磁性体の有無のパターンと図3に示す磁性体の凹凸のパターンがある。   2 and 3 are AA cross-sectional views of FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, the address unit 20 has a pattern in which the recording unit 2 and the non-recording unit 3 are alternately repeated in the same manner as other portions. The recording unit 2 and the non-recording unit 3 are roughly divided into a magnetic body presence / absence pattern shown in FIG. 2 and a magnetic body irregularity pattern shown in FIG.

本発明のアドレス部20におけるパターンは図1に示す如く、パターンの各桁が非記録部2−2、3により分離している。そのため、階段状部分が存在しない。従って図17に示すような従来の磁気記録媒体の階段状パターンの鈍りが、本発明のアドレスパターンでは存在しないため、本発明のアドレスパターンを具備した磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置では、上述したような位置決め精度の問題は発生せず、高精度での磁気記録再生ヘッドの位置決めが可能となる。   In the pattern in the address section 20 of the present invention, each digit of the pattern is separated by the non-recording sections 2-2 and 3 as shown in FIG. Therefore, there is no stepped portion. Therefore, the dullness of the stepped pattern of the conventional magnetic recording medium as shown in FIG. 17 does not exist in the address pattern of the present invention. Therefore, in the magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic recording medium having the address pattern of the present invention, The above-described positioning accuracy problem does not occur, and the magnetic recording / reproducing head can be positioned with high accuracy.

各桁の間の非記録部2−2、3の幅は、広すぎるとアドレス領域の面積が広がり、媒体の情報記録面積を圧迫して記録容量を減らしてしまうが、狭すぎると隣接する桁との間の階段状部分で生じた前述の問題が発生しやすくなることのほか、パターンピッチが小さくなることにより、パターンが狭アスペクト化することによるパターンの鈍りの問題も発生するため、適切に規定する必要がある。具体的には、アドレス部20のパターン(記録部2、2−1)と非記録部2−2、3とを合わせた幅はプリアンブル部10の周方向ピッチと同一ピッチであることが好ましい。またアドレス部20の各桁のパターン広さに対して分離部分の幅は50%以上100%以下であることが好ましい。   If the width of the non-recording portions 2-2 and 3 between each digit is too wide, the area of the address area is widened and the information recording area of the medium is compressed to reduce the recording capacity. In addition to the above-mentioned problem that occurs in the stepped part between the pattern and the pattern pitch becomes smaller, the pattern becomes dull due to the narrower aspect of the pattern. It is necessary to specify. Specifically, the combined width of the pattern (recording units 2 and 2-1) of the address unit 20 and the non-recording units 2-2 and 3 is preferably the same as the circumferential pitch of the preamble unit 10. The width of the separation portion is preferably 50% or more and 100% or less with respect to the pattern width of each digit of the address portion 20.

まず本発明の実施例1である磁気記録媒体について図2を用いて説明する。図2は図1のA−A断面図であり、磁性体の有無によるパターンを示したものである。   First, a magnetic recording medium that is Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1 and shows a pattern with and without a magnetic material.

磁性体の有無のパターンでは図2に示すように、記録部2には磁気記録再生ヘッドにより磁気情報を記録再生可能な磁性体が存在し、非記録部3は記録再生ヘッドにより磁気情報を記録再生可能な磁性体膜が記録部の磁性体膜の厚さよりも薄いか、もしくは存在しない。このようなパターンを有する磁気記録媒体を磁性体加工型媒体と呼ぶ。例えば垂直記録方式の磁気記録媒体の場合、媒体を媒体面に垂直方向に磁化した場合、記録部2からは磁化された情報が得られるが、非記録部3からは磁化情報は得られない。   As shown in FIG. 2, in the pattern of presence / absence of magnetic material, the recording unit 2 has a magnetic material capable of recording / reproducing magnetic information by the magnetic recording / reproducing head, and the non-recording unit 3 records magnetic information by the recording / reproducing head. The reproducible magnetic film is thinner or not present than the thickness of the magnetic film of the recording part. A magnetic recording medium having such a pattern is called a magnetic material processing type medium. For example, in the case of a perpendicular recording magnetic recording medium, when the medium is magnetized in a direction perpendicular to the medium surface, magnetized information is obtained from the recording unit 2, but magnetization information is not obtained from the non-recording unit 3.

次に本実施例の磁気記録媒体の製造方法につき、図4〜9を用いて説明する。   Next, a method for manufacturing the magnetic recording medium of this embodiment will be described with reference to FIGS.

まず図4に示すように、基板1上に膜厚50nm程度のレジスト4を塗布する。基板1はSi基板もしくはガラス基板が好ましい。レジスト4は電子線描画用のレジストである。   First, as shown in FIG. 4, a resist 4 having a thickness of about 50 nm is applied on the substrate 1. The substrate 1 is preferably a Si substrate or a glass substrate. The resist 4 is a resist for electron beam drawing.

次に、図5に示すように、本発明の磁性体パターンを電子線描画し、現像処理を行うことで、磁性体パターンがレジスト4の凹凸として形成される。この際に図1に示す、本発明の隣接するアドレスパターンが分離された構造が形成される。分離の幅は前述のように各桁のパターン広さに対して50%以上100以下が好ましい。   Next, as shown in FIG. 5, the magnetic material pattern of the present invention is drawn as an electron beam and developed to form a magnetic material pattern as irregularities on the resist 4. At this time, the structure shown in FIG. 1 in which adjacent address patterns of the present invention are separated is formed. As described above, the separation width is preferably 50% to 100% with respect to the pattern width of each digit.

磁性体パターン形成後、図6に示すように、図5で得られたレジストパターンを電鋳することによってスタンパ5を得る。スタンパ5の材料はNiまたはその合金が好ましいが、これに限定されない。例えばTi、Al等の金属、またはそれらの合金、石英等が挙げられる。スタンパの凹凸はレジストの凹凸が逆転されて転写されることによって形成される。また、図示しないが、基板1表面をレジストの凹凸に対応してエッチングし、転写することでスタンパを得ても良い。   After forming the magnetic material pattern, as shown in FIG. 6, the stamper 5 is obtained by electroforming the resist pattern obtained in FIG. The material of the stamper 5 is preferably Ni or an alloy thereof, but is not limited thereto. For example, metals such as Ti and Al, or alloys thereof, quartz, and the like can be given. The stamper unevenness is formed by transferring the resist unevenness in reverse. Although not shown, the stamper may be obtained by etching and transferring the surface of the substrate 1 corresponding to the unevenness of the resist.

スタンパ5形成後、図7に示すようにレジスト4を除去し、基板1上に磁気記録用の強磁性層6を20nm程度成膜する。強磁性層6は垂直記録に適した材料、例えばCoCrPt等が好ましい。また図示していないが、強磁性層6の成膜前に軟磁性材料から成る下地層を形成することが好ましい。強磁性層6成膜後、この上にインプリント用のレジストを40nm程度塗布し、レジスト膜7を形成する。   After the stamper 5 is formed, the resist 4 is removed as shown in FIG. 7, and a ferromagnetic layer 6 for magnetic recording is formed on the substrate 1 to a thickness of about 20 nm. The ferromagnetic layer 6 is preferably made of a material suitable for perpendicular recording, such as CoCrPt. Although not shown, it is preferable to form a base layer made of a soft magnetic material before forming the ferromagnetic layer 6. After the ferromagnetic layer 6 is formed, a resist for imprinting is applied thereon to about 40 nm to form a resist film 7.

レジスト膜7形成後、図8に示すように、図6の工程で作成したスタンパ5をレジスト膜7に対面させ、インプリント法に基づきスタンパ5とレジスト膜7とを圧力をかけて押し合わせ、スタンパ5表面の凹凸パターンをレジスト膜7表面に転写する。転写後、スタンパ5を剥離する。   After forming the resist film 7, as shown in FIG. 8, the stamper 5 created in the process of FIG. 6 is opposed to the resist film 7, and the stamper 5 and the resist film 7 are pressed against each other based on the imprint method, The uneven pattern on the surface of the stamper 5 is transferred to the surface of the resist film 7. After the transfer, the stamper 5 is peeled off.

凹凸パターン転写後、図9に示すように、図8の工程によって凹凸パターンの形成されたレジスト膜7をマスクとして下の強磁性層6をエッチングすることにより、強磁性層6はレジスト膜7表面の凹凸パターンに応じてパターン化され、記録部2となる。   After the concavo-convex pattern is transferred, as shown in FIG. 9, the lower ferromagnetic layer 6 is etched using the resist film 7 having the concavo-convex pattern formed by the process of FIG. The recording portion 2 is patterned according to the uneven pattern.

最後に記録部2間の凹部に非磁性体を形成することにより非記録部3を形成し、記録部2、非記録部3の上面にDLC(Diamond-like Carbon)等からなる保護層8、及び図示していないが潤滑層を形成することにより、図2に示す磁気記録媒体が完成する。   Finally, a non-magnetic portion 3 is formed by forming a non-magnetic material in the concave portion between the recording portions 2, and the protective layer 8 made of DLC (Diamond-like Carbon) or the like is formed on the upper surface of the recording portion 2 and the non-recording portion 3. Although not shown, the lubricating layer is formed to complete the magnetic recording medium shown in FIG.

上記製造方法により、隣接するアドレスパターンが分離された構造である磁気記録媒体が作成される。従って、本製造方法ではアドレスパターンの階段状の部分のエッジ部がレジストの変形により角が鈍ってしまう問題が生じることがない。   With the above manufacturing method, a magnetic recording medium having a structure in which adjacent address patterns are separated is produced. Therefore, in this manufacturing method, there is no problem that the edge of the stepped portion of the address pattern becomes dull due to the deformation of the resist.

次に本発明の実施例2である磁気記録媒体について図3を用いて説明する。図3は図2と同様、図1のA−A断面図であり、磁性体の凹凸によるパターンを示したものである。   Next, a magnetic recording medium that is Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1, like FIG. 2, and shows a pattern due to the unevenness of the magnetic material.

磁性体の凹凸パターンでは図3に示すように、磁気記録媒体の記録部2には基板凸部1−1が存在し、この上に磁気記録再生ヘッドにより磁気情報を記録再生可能な磁性体が形成される。この部分を記録部2−1と呼ぶ。非記録部には基板凹部1−2が存在し、この上に磁気記録再生ヘッドにより磁気情報を記録再生可能な磁性体が形成される。この部分を非記録部2−2と呼ぶ。このようなパターンを有する磁気記録媒体を基板加工型媒体と呼ぶ。この磁気記録媒体を磁気記録再生装置に組み込んだ際、磁気記録再生ヘッドは磁性体凸部には磁気情報を記録再生可能だが、磁性体凹部は凸部と比較して磁気記録再生ヘッドからの距離が長く、磁気情報を記録再生できない。   In the concave / convex pattern of the magnetic material, as shown in FIG. 3, the recording portion 2 of the magnetic recording medium has a substrate convex portion 1-1 on which a magnetic material capable of recording and reproducing magnetic information by a magnetic recording / reproducing head is provided. It is formed. This portion is called a recording unit 2-1. The non-recording portion has a substrate recess 1-2, on which a magnetic material capable of recording / reproducing magnetic information is formed by a magnetic recording / reproducing head. This part is called a non-recording part 2-2. A magnetic recording medium having such a pattern is called a substrate processing medium. When this magnetic recording medium is incorporated in a magnetic recording / reproducing apparatus, the magnetic recording / reproducing head can record / reproduce magnetic information on the magnetic convex portion, but the magnetic concave portion is farther from the magnetic recording / reproducing head than the convex portion. Is long and magnetic information cannot be recorded / reproduced.

次に本実施例の磁気記録媒体の製造方法につき、図10〜15を用いて説明する。   Next, a method for manufacturing the magnetic recording medium of this embodiment will be described with reference to FIGS.

スタンパ5を作成するまでの工程(図10〜12)までは実施例1の製造方法と同様であるため、図に同一符号を付し、説明を省略する。   The steps up to the creation of the stamper 5 (FIGS. 10 to 12) are the same as those in the manufacturing method of the first embodiment.

スタンパ5形成後、図13に示すようにレジスト4を除去し、新たに基板1上にインプリント用のレジスト膜7を塗布する。   After forming the stamper 5, the resist 4 is removed as shown in FIG. 13, and an imprint resist film 7 is newly applied on the substrate 1.

レジスト膜7成膜後図14に示すように、レジスト膜7に図12までの工程で作成したスタンパ5を対面させ、インプリント法に基づきスタンパ5とレジスト膜7とを圧力をかけて押し合わせ、スタンパ5表面の凹凸パターンをレジスト膜7表面に転写する。転写後、スタンパ5を剥離する。   After the resist film 7 is formed, as shown in FIG. 14, the stamper 5 created in the steps up to FIG. 12 is opposed to the resist film 7, and the stamper 5 and the resist film 7 are pressed against each other based on the imprint method. Then, the uneven pattern on the surface of the stamper 5 is transferred to the surface of the resist film 7. After the transfer, the stamper 5 is peeled off.

凹凸パターン転写後、図15に示すように、図14の工程によって凹凸パターンの形成されたレジスト膜7をマスクとして下の基板1表面をエッチングすることにより、基板1表面はレジスト膜7表面の凹凸パターンに応じてパターン化される。   After transferring the concavo-convex pattern, as shown in FIG. 15, the surface of the substrate 1 is made uneven by etching the lower substrate 1 surface using the resist film 7 having the concavo-convex pattern formed in the process of FIG. 14 as a mask. Patterned according to the pattern.

最後に図3に示すように、表面に凹凸が形成された基板1上に磁気記録用の強磁性層を20nm程度成膜する。成膜された強磁性層のうち、基板凸部1−1に形成された強磁性層は記録部2−1となり、基板凹部1−2に形成された強磁性層は非記録部2−2となる。強磁性層は垂直記録に適した材料、例えばCoCrPt等が好ましい。また、図示していないが、強磁性層の成膜前に軟磁性材料から成る下地層を形成することが好ましい。そして記録部2−1上面にDLC(Diamond-like Carbon)等からなる保護層(図示せず)、及び潤滑層(図示せず)を形成することにより、図3に示す磁気記録媒体が完成する。   Finally, as shown in FIG. 3, a ferromagnetic layer for magnetic recording is formed to a thickness of about 20 nm on the substrate 1 having an uneven surface. Among the formed ferromagnetic layers, the ferromagnetic layer formed on the substrate convex portion 1-1 becomes the recording portion 2-1, and the ferromagnetic layer formed on the substrate concave portion 1-2 is the non-recording portion 2-2. It becomes. The ferromagnetic layer is preferably made of a material suitable for perpendicular recording, such as CoCrPt. Although not shown, it is preferable to form an underlayer made of a soft magnetic material before forming the ferromagnetic layer. Then, a protective layer (not shown) made of DLC (Diamond-like Carbon) or the like and a lubricating layer (not shown) are formed on the upper surface of the recording unit 2-1, thereby completing the magnetic recording medium shown in FIG. .

上記製造方法により、隣接するアドレスパターンが分離された構造である磁気記録媒体が作成される。従って、実施例1と同様、本製造方法でもアドレスパターンの階段状の部分のエッジ部がレジストの変形により角が鈍ってしまう問題が生じることがない。   With the above manufacturing method, a magnetic recording medium having a structure in which adjacent address patterns are separated is produced. Therefore, as in the first embodiment, this manufacturing method does not cause a problem that the edge of the stepped portion of the address pattern becomes dull due to the deformation of the resist.

次に、本発明の磁気記録再生装置の構成を図16を用いて説明する。   Next, the configuration of the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention will be described with reference to FIG.

図16は、磁気記録再生ヘッド1本からなる構成概念図である。本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体1枚を、磁気記録再生ヘッド2本で磁気記録媒体表裏両面に記録再生するもので、磁気記録媒体表裏面に対応してダウンヘッド/アップヘッドがそれぞれ設けられている。尚、磁気記録再生装置の構成は、磁気記録媒体が本発明の媒体である点を除けば、基本的に従来と同様の構成である。   FIG. 16 is a conceptual diagram of a configuration including one magnetic recording / reproducing head. The magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention records and reproduces one magnetic recording medium on both the front and back surfaces of the magnetic recording medium with two magnetic recording / reproducing heads. Each is provided. The configuration of the magnetic recording / reproducing apparatus is basically the same as the conventional configuration except that the magnetic recording medium is the medium of the present invention.

本発明の磁気記録再生装置は、図16に示すようにヘッド・ディスクアセンブリ(HDA)100とも呼ばれる本体部と、プリント回路基板(PCB)200とからなる。   As shown in FIG. 16, the magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention comprises a main body portion also called a head / disk assembly (HDA) 100 and a printed circuit board (PCB) 200.

(HDA)
HDA100は、図16に示すように磁気記録媒体140と、磁気記録媒体140を回転させるスピンドルモータ(SPM)150と、磁気記録再生ヘッド110と、ヘッド移動機構と、ヘッドアンプ(HIC)120とを有する。
(HDA)
As shown in FIG. 16, the HDA 100 includes a magnetic recording medium 140, a spindle motor (SPM) 150 that rotates the magnetic recording medium 140, a magnetic recording / reproducing head 110, a head moving mechanism, and a head amplifier (HIC) 120. Have.

磁気記録再生ヘッド110は、ヘッド本体であるスライダ(ABS;図示せず)に、リード素子(磁気抵抗効果素子;図示せず)及びライト素子(図示せず)を有する磁気ヘッド素子が実装されたもので、ヘッド移動機構に搭載されている。   In the magnetic recording / reproducing head 110, a magnetic head element having a read element (magnetoresistance effect element; not shown) and a write element (not shown) is mounted on a slider (ABS; not shown) which is a head body. It is mounted on the head moving mechanism.

ヘッド移動機構は、磁気記録再生ヘッドを支持するサスペンション・アーム130と、このサスペンション・アーム130を回転自在に支持するピボット軸139と、ボイスコイルモータ(VCM)131とを有する。VCM131は、サスペンション・アーム130にピボット軸139周りの回転トルクを発生させて、磁気記録再生ヘッド110を磁気記録媒体の半径方向に移動させる。さらに、磁気記録再生ヘッド110の入出力信号を増幅するためのHIC120がアーム上に固定され、フレキシブルケーブル(FPC)で、PCB200側と電気接続されている。   The head moving mechanism includes a suspension arm 130 that supports the magnetic recording / reproducing head, a pivot shaft 139 that rotatably supports the suspension arm 130, and a voice coil motor (VCM) 131. The VCM 131 generates a rotational torque around the pivot shaft 139 in the suspension arm 130 to move the magnetic recording / reproducing head 110 in the radial direction of the magnetic recording medium. Further, an HIC 120 for amplifying an input / output signal of the magnetic recording / reproducing head 110 is fixed on the arm, and is electrically connected to the PCB 200 side by a flexible cable (FPC).

尚、本実施例では、磁気記録再生ヘッド信号の信号/ノイズ比低減のために、HIC120がヘッド移動機構上に設置された構成となっているが、それに限られず、例えばPCB200内部に存在しても良い。   In this embodiment, the HIC 120 is installed on the head moving mechanism in order to reduce the signal / noise ratio of the magnetic recording / reproducing head signal. However, the present invention is not limited to this. Also good.

スピンドルモータ(SPM)150上には磁気記録媒体140が搭載される。磁気記録媒体140は、前述したように表裏があり、磁気記録再生装置のヘッド移動軌跡と、磁気記録媒体のサーボ領域パターンの円弧形状が凡そ一致する表裏方向に、組み込まれる。磁気記録媒体140の仕様は、従来と同様に、ドライブに適応した外径や内径、記録再生特性等を満足するものであるのは当然である。   A magnetic recording medium 140 is mounted on a spindle motor (SPM) 150. As described above, the magnetic recording medium 140 is front and back, and is incorporated in the front and back directions in which the head movement locus of the magnetic recording / reproducing apparatus and the arc shape of the servo area pattern of the magnetic recording medium substantially coincide. Naturally, the specifications of the magnetic recording medium 140 satisfy the outer diameter and inner diameter suitable for the drive, the recording / reproducing characteristics, and the like, as in the prior art.

(PCB)
PCBは、主として4つのシステムLSIを搭載している。ディスクコントローラ(HDC)210、リード/ライトチャネルIC220、MPU230、及びモータドライバIC240である。
(PCB)
The PCB mainly includes four system LSIs. A disk controller (HDC) 210, a read / write channel IC 220, an MPU 230, and a motor driver IC 240.

MPU230は、磁気記録再生装置駆動システムの制御部であり、本実施例に関する磁気記録再生ヘッド位置決め制御システムを実現するROM,RAM,CPU及びロジック処理部(図示せず)を含む構成である。ロジック処理部は、ハードウェア回路で構成された演算処理部で、高速演算処理に用いられる。また、この動作ソフト(FW)は、ROMに保存されており、このFWに従ってMPU230が磁気記録再生装置を制御する。   The MPU 230 is a control unit of the magnetic recording / reproducing apparatus drive system, and includes a ROM, a RAM, a CPU, and a logic processing unit (not shown) that realize the magnetic recording / reproducing head positioning control system according to this embodiment. The logic processing unit is an arithmetic processing unit configured by a hardware circuit and is used for high-speed arithmetic processing. The operation software (FW) is stored in the ROM, and the MPU 230 controls the magnetic recording / reproducing apparatus according to the FW.

HDC210は、磁気記録再生装置内のインターフェース部であり、磁気記録再生装置とホストシステム(例えばパーソナルコンピュータ)とのインターフェースや、MPU230、リード/ライトチャネルIC220、モータドライバIC240への情報交換を行ない、磁気記録再生装置全体を管理する。   The HDC 210 is an interface unit in the magnetic recording / reproducing apparatus, exchanges information with the interface between the magnetic recording / reproducing apparatus and a host system (for example, a personal computer), the MPU 230, the read / write channel IC 220, and the motor driver IC 240. The entire recording / reproducing apparatus is managed.

リード/ライトチャネルIC220は、リード/ライトに関連するヘッド信号処理部であり、HICのチャネル切替えや、リード/ライト等の記録再生信号を処理する回路で構成される。   The read / write channel IC 220 is a head signal processing unit related to read / write, and includes a circuit that processes recording / reproduction signals such as channel switching of the HIC and read / write.

本発明におけるパターン部に記録された情報Aを読み出すための変調方式Aの復元、およびパターン部において変調方式Bを用いた情報Bの追記、および追記された情報Bの変調方式Bに基づいた復元は、このリード/ライトチャネルIC220内で行われる。   Reconstruction of modulation method A for reading information A recorded in the pattern portion in the present invention, additional writing of information B using modulation method B in the pattern portion, and restoration of the recorded information B based on modulation method B Is performed in the read / write channel IC 220.

モータドライバIC240は、VCM131及びSPM150の駆動ドライバ部で、SPM150を一定回転に駆動制御したり、MPU230からのVCM操作量を、電流値としてVCMに与えて、ヘッド移動機構を駆動したりする。   The motor driver IC 240 is a drive driver unit of the VCM 131 and the SPM 150, and drives and controls the SPM 150 at a constant rotation, or supplies the VCM operation amount from the MPU 230 to the VCM as a current value to drive the head moving mechanism.

以上、本実施例では、実施例1、2で示された磁気記録媒体を用いているため、従来の磁気記録媒体を搭載した磁気記録再生装置と比較し高い位置決め精度を得ることができる。   As described above, in this embodiment, since the magnetic recording media shown in Embodiments 1 and 2 are used, higher positioning accuracy can be obtained compared with a magnetic recording / reproducing apparatus equipped with a conventional magnetic recording medium.

例えば1.8インチディスク上にサーボピッチ200nmのサーボパターンを持ち、従来のアドレス構造を有する磁気記録媒体と、同サーボパターンを持ち、本発明のアドレス構造を有する磁気記録媒体とを作成し、上記磁気記録再生装置上でサーボトラッキング精度を測定した。従来のアドレス構造を有する磁気記録媒体では位置決め精度が3σで10nmであったのに対し、本発明のアドレス構造を有する磁気記録媒体では位置決め精度が3σで7nmであり、従来のアドレス構造を有する磁気記録媒体に比べ高い位置決め精度が示された。   For example, a magnetic recording medium having a servo pattern with a servo pitch of 200 nm on a 1.8 inch disk and having a conventional address structure, and a magnetic recording medium having the servo pattern and having the address structure of the present invention are prepared. Servo tracking accuracy was measured on a magnetic recording / reproducing device. The magnetic recording medium having the conventional address structure has a positioning accuracy of 3 nm and 10 nm, whereas the magnetic recording medium having the address structure of the present invention has a positioning accuracy of 3 nm and 7 nm. High positioning accuracy was shown compared to the recording medium.

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.

1 … 基板
2、2−1 … 記録部
2−2、3 … 非記録部
4 … レジスト
5 … スタンパ
6 … 強磁性層
7 … レジスト膜
8 … 保護層
10 … プリアンブル部
20 … アドレス部
30 … バースト部
100 … HDA
110 … 磁気記録再生ヘッド
120 … HIC
130 … サスペンション・アーム
131 … VCM
139 … ピボット軸
140 … 磁気記録媒体
150 … SPM
200 … PCB
210 … HDC
220 … リード/ライトチャネルIC
230 … MPU
240 … モータドライバIC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate 2, 2-1 ... Recording part 2-2, 3 ... Non-recording part 4 ... Resist 5 ... Stamper 6 ... Ferromagnetic layer 7 ... Resist film 8 ... Protective layer 10 ... Preamble part 20 ... Address part 30 ... Burst Part
100 ... HDA
110 ... Magnetic recording / reproducing head 120 ... HIC
130 ... Suspension arm 131 ... VCM
139 Pivot shaft 140 Magnetic recording medium 150 SPM
200 ... PCB
210… HDC
220 ... Read / write channel IC
230 ... MPU
240 ... Motor driver IC

Claims (6)

サーボ領域が記録部と非記録部とで構成されるパターン構造を含む磁気記録媒体において、前記サーボ領域はプリアンブル情報が記録されるプリアンブル部およびアドレス情報が記録されるアドレス部を有しており、プリアンブル部内にトラック方向に隣接して存在するプリアンブル情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部内にトラック方向に隣接して存在するアドレス情報を示すパターンの桁間に非記録部が配置され、アドレス部のパターンと非記録部とを合わせた幅はプリアンブル部の周方向ピッチと同一であることを特徴とする磁気記録媒体。   In a magnetic recording medium including a pattern structure in which a servo area includes a recording part and a non-recording part, the servo area has a preamble part in which preamble information is recorded and an address part in which address information is recorded, A non-recording portion is arranged between digits of a pattern indicating preamble information existing adjacent to the track direction in the preamble portion, and a non-recording portion is arranged between digits of a pattern indicating address information existing adjacent to the track direction in the address portion. The magnetic recording medium is characterized in that the combined width of the pattern of the address portion and the non-recording portion is the same as the circumferential pitch of the preamble portion. 前記アドレス部のパターンの幅に対して、パターン間に非記録部の幅は50%以上100%以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the width of the non-recording portion between patterns is 50% or more and 100% or less with respect to the width of the pattern of the address portion. 前記パターンが前記磁気記録媒体内の磁気記録層の膜厚の差異により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the pattern is formed by a difference in film thickness of a magnetic recording layer in the magnetic recording medium. 前記パターンが前記磁気記録媒体内の基板の凹凸により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。   The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the pattern is formed by unevenness of a substrate in the magnetic recording medium. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の磁気記録媒体と、前記サーボ領域に記録されたサーボ情報を読み取る磁気記録再生ヘッドとを具備することを特徴とする磁気記録再生装置。   5. A magnetic recording / reproducing apparatus comprising: the magnetic recording medium according to claim 1; and a magnetic recording / reproducing head for reading servo information recorded in the servo area. 前記アドレス情報がグレイコードにより形成されていることを特徴とする請求項5に記載の磁気記録再生装置。   6. The magnetic recording / reproducing apparatus according to claim 5, wherein the address information is formed by a gray code.
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