JP2011048156A - 薄膜光学素子及びその製造方法並びに薄膜光学素子を用いたデジタルカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、効率的に光束を分離することができる薄膜光学素子及びその製造方法を提供する。
また、前記薄膜光学素子をハーフミラーとして配置したデジタルカメラにおいて、ハーフミラーに起因する上述した諸問題を解決することができるデジタルカメラを提供する。
【解決手段】薄膜ミラー４０１のフィルム３０２に厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂を用い、光硬化型接着剤３０３によってフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定することで、入射光束の一部を反射し、残りを透過させる可動ハーフミラーを構成することを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、薄膜光学素子及びその製造方法並びに前記薄膜光学素子を用い、撮影レンズからの被写体光束を分割するデジタルカメラに関する。

従来の撮影装置内に、フィルムや撮像素子等の画像記録系とファインダ光学系等の２系統に被写体光束を分割するためにハーフミラー（薄膜光学素子）を採用するものがあった。また、最近のデジタルカメラにおいては、スルー画表示機能（ライブビュー表示機能、電子ファインダ機能とも言う）を有するものがある。この機能は、被写体像の観察として、被写体画像データの記録用に設けられている撮像素子の出力を液晶モニタ等の表示装置に表示するものである。

このようなスルー画表示機能を有するデジタルカメラとしては、例えば、特許文献１に示されるように、可動ミラーをハーフミラーで構成し、このハーフミラーを光路に対して傾けた状態で配置することで、撮影光学系を通過した被写体光束を撮像素子と位相差ＡＦセンサとの両方に導くようにしたデジタルカメラが提案されている。この構成によれば、スルー画表示を行いながら位相差ＡＦも可能であるとされている。このように、特許文献１には、ハーフミラーを用いて、被写体光束を分割することが開示されている。

特開２００２−６２０８号公報

しかしながら、上述した特許文献１のように、撮影光路内にハーフミラーを傾けて配置すると次のような問題が生ずる。
すなわち、ハーフミラーの素材としては、一般的にガラスが用いられるが、ガラス素材では屈折率と厚みの関係によって撮像素子で得られる画像の画質低下、ピントずれ、画像歪曲等の問題が発生する。
この問題を避けるためには、できるだけ薄く、屈折率の低いガラス板の製作が要求される。しかしながら、このような要求を満たすガラス板は非常に割れ易いので、取り扱いが面倒であり、またガラス板を保持する枠構造についても緩衝材を設ける等、種々の工夫が必要となる。その結果、製造コストが増加するとともに、製造効率の低下を招く原因にもなる。

本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、効率的に光束を分離することができる薄膜光学素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
また、前記薄膜光学素子をハーフミラーとして配置したデジタルカメラにおいて、ハーフミラーに起因する上述した諸問題を解決することができるデジタルカメラを提供することを目的とする。

本発明の第一の態様である薄膜光学素子は、基材が厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなり、入射光束の一部を反射し、残りを透過させることを特徴とする。

本発明の薄膜光学素子によれば、厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄い基材を用いるため、従来のようにガラス板からなる薄膜光学素子を用いる場合に比べて、入射角度に対する光路長が殆ど変化することがない。これにより、収差の発生量を抑制することができるので、像の劣化が生じない。したがって、基材に入射した光束を効率的に分離することができ、高性能な薄膜光学素子を提供することができる。

また、前記基材の反射面には、反射コーティングが施されていてもよい。

この場合、基材に入射した光束をより効率的に分離することができる。

本発明の第二の態様である光学薄膜素子の製造方法は、溶剤に溶解した非晶質ポリオレフィン樹脂を金型上に塗布する塗布工程と、前記溶剤を揮発させて前記金型上にフィルム状の基材を成形する成形工程と、前記基材上に光硬化型接着剤を介して保持枠を接着固定する接着工程と、前記金型から前記基材を剥離する剥離工程と、前記基材上に薄膜を形成する薄膜形成工程と、を有することを特徴とする。

本発明の薄膜光学素子の製造方法によれば、塗布工程において、溶剤に溶解した非晶質ポリオレフィン樹脂を用いて基材を形成することで、従来のようにガラス板により光学薄膜素子を形成する場合に比べて、厚さの薄い基材を製造することができる。そして、剥離工程において、金型から基材を速やかに、かつ小さな力で剥離することができるため、伸びやダメージがない良好な基材を形成することができる。この場合、ガラス板からなる光学薄膜素子に比べて割れ難いため、取り扱い易く、また保持枠の簡素化が可能になる。
また、非晶質ポリオレフィン樹脂は吸湿性が低いので、製造途中等において吸湿することを抑制することができる。そのため、基材の屈折率変動等を抑制し、寸法安定性を向上させることができる。
したがって、製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、基材に入射した光束を効率的に分離することができ、高性能な薄膜光学素子を提供することができる。

また、前記剥離工程は、前記基材及び前記保持枠が固定された前記金型を剥離剤中に浸漬し、前記金型から前記基材を剥離させてもよい。

この場合、金型と基材との間に剥離剤が浸透し、金型と基材との離型性が助長される。これにより、金型から基材を速やかに、かつ小さな力で剥離することができるため、伸びやダメージがない良好な基材を形成することができる。

また、本発明の第三態様のデジタルカメラは、上記本発明の薄膜光学素子と、前記薄膜光学素子で反射された光束を受光する第１の受光素子と、前記薄膜光学素子を透過した光束を受光する第２の受光素子と、を備えていることを特徴とする。

本発明のデジタルカメラによれば、上記本発明の薄膜光学素子を備えているため、従来のようにガラス板からなる薄膜光学素子を用いる場合に比べて、入射角度に対する光路長が殆ど変化することがない。これにより、収差の発生量を抑制することができるので、像の劣化が生じない。したがって、基材に入射した光束を第１の受光素子及び第２の受光素子にそれぞれ効率的に分離することができるため、光学特性に優れた高性能なデジタルカメラを提供することができる。

また、前記第１の受光素子は、被写体像までの距離情報を検出する測距センサであり、前記第２の受光素子は、前記被写体像を電気信号に変換するイメージセンサでもよい。

この場合、光学薄膜素子で反射した光束を測距センサで受光させるとともに、残りの光束をイメージセンサで受光させることで、測距とスルー画表示とを並行して速やかに行うことができる。

また、前記薄膜光学素子は、撮影光路に対して進入及び退避可能でもよい。

この場合、スルー画表示時には薄膜光学素子が光路中に介挿されることで、薄膜光学素子を反射した光束が第１の受光素子で受光され、被写体像までの距離情報を検出することができるとともに、薄膜光学素子を透過した光束が第２の受光素子上に結像する。
一方、撮影時には薄膜光学素子が光路から退避することで、光束は第１の受光素子に向けて反射せず、直接第２の受光素子上に結像する。
このように、スルー画表示時と撮影時とで、レンズから第２の受光素子までの光路長に変化がないので、両者においてピントズレが生じない。そのため、光学特性に優れた高性能なデジタルカメラを提供することができる。

本発明の薄膜光学素子及びその製造方法によれば、製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、基材に入射した光束を効率的に分離することができ、高性能な薄膜光学素子を提供することができる。
本発明のデジタルカメラによれば、上記本発明の薄膜光学素子を備えているので、入射した光束を第１の受光素子及び第２の受光素子にそれぞれ効率的に分離することができ、光学特性に優れた高性能なデジタルカメラを提供することができる。

本発明を適用した一実施形態におけるデジタルカメラの電気系の全体構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態における可動ハーフミラーの部品構成を示す分解斜視図である。 本発明の一実施形態における薄膜ミラーの製造工程を説明するための工程図である。 本発明の一実施形態における薄膜ミラーの製造工程を説明するための工程図である。 本発明の一実施形態における薄膜ミラーの製造工程を説明するための工程図である。 フィルム表裏の光路差の影響による二重像の発生について説明するための説明図である。 本発明の一実施形態におけるパワーオンリセットの動作を示すフローチャートである。

（デジタルカメラ）
以下、図面に従って本発明の薄膜光学素子を適用したデジタルカメラを用いて好ましい一実施形態について説明する。図１は、本発明の実施形態に係るデジタルカメラの電気系を主とするブロック図である。なお、図中矢印ＦＲは前方を、矢印ＵＰは上方をそれぞれ示す。
図１に示すように、デジタルカメラ１は、カメラ本体２０と、カメラ本体２０の前面のマウント開口部（不図示）に着脱自在とされたレンズ鏡筒１０とを備えている。レンズ鏡筒１０内には、レンズ１０１ａ，１０１ｂ等からなる撮影レンズが設けられ、レンズ１０１ａ，１０１ｂに入射した被写体光束が、マウント開口部を介してカメラ本体２０内に導かれるようになっている。本実施形態では、レンズ鏡筒１０とカメラ本体２０とは別体で構成され、通信接点３００を介して電気的に接続されている。また、カメラ本体２０には、着脱検知スイッチ２５９が設けられており、この着脱検知スイッチ２５９によってレンズ鏡筒１０の着脱状態を検出可能となっている。なお、カメラ本体２０とレンズ鏡筒１０を一体に構成してもよく、その場合には、着脱検知スイッチ２５９は不要となる。

レンズ鏡筒１０の内部には、焦点調節及び焦点距離調節のための上述したレンズ１０１ａ，１０１ｂと、開口量を調節するための絞り１０３とが配置されている。レンズ１０１ａ及びレンズ１０１ｂは光学系駆動機構１０７に接続され、絞り１０３は絞り駆動機構１０９に接続されており、これら光学系駆動機構１０７及び絞り駆動機構１０９が駆動することで、レンズ１０１ａ，１０１ｂ及び絞り１０３が光路Ｐ上を平行移動するように構成されている。また、光学系駆動機構１０７及び絞り駆動機構１０９はそれぞれレンズＣＰＵ１１１に接続されており、このレンズＣＰＵ１１１は通信接点３００を介してカメラ本体２０に接続されている。レンズＣＰＵ１１１は、レンズ鏡筒１０内の制御を行うものであり、光学系駆動機構１０７の駆動を制御してピント合わせや、ズーム駆動を行うとともに、絞り駆動機構１０９の駆動を制御して絞り値制御を行う。

カメラ本体２０内のミラーボックス内には、レンズ１０１ａ，１０１ｂを透過した光束の一部が反射し、一部が透過する特性を有する可動の反射ミラー（薄膜光学素子：便宜上、可動ハーフミラーという）２０１が配置されている。この可動ハーフミラー２０１は、表面が反射面で形成されるとともに、厚さが５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる後述する薄膜ミラー４０１（図２参照）である。可動ハーフミラー２０１は、その厚さが５０μｍ以下でかつ非晶質ポリオレフィン樹脂からなることで、一般的なハーフミラーと同等の機能を果たしている。可動ハーフミラー２０１は、その一端側が回動軸２０１ａに支持されており、可動ミラー駆動機構２１５の駆動によって回動軸２０１ａを中心に紙面垂直方向の軸回りに回動するように構成されている。すなわち、可動ハーフミラー２０１は、可動ミラー駆動機構２１５の駆動によって光路Ｐに対して進入及び退避可能に構成されている。

この場合、可動ハーフミラー２０１がレンズ１０１ａ，１０１ｂの光路Ｐに対して約４５度に傾いた位置（反射位置：図１において実線の位置）にあるときには、可動ハーフミラー２０１に入射する被写体光束のうち、一部（例えば、３５％）の被写体光束が反射され、カメラ本体２０の底部に設けられた測距／測光センサ２１７に導かれる。
一方、残りの被写体光束（例えば、６５％）は、可動ハーフミラー２０１を透過してＣＣＤ（イメージセンサ：Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ）２２１の方向（図１中後方）に導かれる。そして、可動ハーフミラー２０１の面方向がレンズ１０１ａ，１０１ｂの光路Ｐと略平行で、被写体光束を遮らない退避位置（図１において二点鎖線の位置）にあるときには、被写体光束の全部がＣＣＤ２２１に導かれる。この可動ハーフミラー２０１の構造と駆動機構については、図２を用いて後述する。

なお、本実施形態においては、可動ハーフミラー２０１の回動中心は、ミラーボックス内の下側であるが、これに限らず、上側でも良く、また左右のいずれかに紙面に対して平行な回動中心にしても勿論構わない。また、可動ハーフミラー２０１の回動中心は、ＣＣＤ２２１側に配置しているが、これに限らず、マウント開口部側に配置しても勿論構わない。すなわち、可動ハーフミラー２０１が光路Ｐに対して進入及び退避可能に構成されていることを条件として、可動ハーフミラー２０１の回動中心はカメラ本体２０内で任意に設定することができる。
さらに、本実施形態においては、可動ハーフミラー２０１の反射率と透過率とはそれぞれ３５％と６５％であるが、この比率に限られず、適宜変更できる。

カメラ本体２０内のミラーボックスの底部であって、可動ハーフミラー２０１によって反射された光束が導かれる位置には、測距／測光センサ２１７が配置されている。この測距／測光センサ２１７は、測距用の測距センサ（第１の受光素子）と測光用の測光センサとから構成されている。測光センサは、被写体像を分割して測光する多分割測光素子で構成されている。また、測距センサは、ＴＴＬ位相差法によって測距するためのセンサである。測距／測光センサ２１７の出力は、測距／測光処理回路２１９に送られる。測距／測光処理回路２１９は、測光センサの出力に基づいて評価測光値を出力し、また測距センサの出力に基づいて、レンズ１０１ａ，１０１ｂによって結像される被写体像の焦点ズレ量を測定する。なお、測距センサと測光センサは別体に構成しても、一体に構成しても良い。

レンズ１０１ａ，１０１ｂの光路Ｐ（撮影光路）上における可動ハーフミラー２０１の後方には、露光時間制御及びＣＣＤ２２１の遮光のための、フォーカルプレーンタイプのシャッタ２０３が配置されている。このシャッタ２０３は、シャッタ駆動機構２１３によって駆動制御される。シャッタ２０３の後方には、防塵フィルタ２０５が配置されている。この防塵フィルタ２０５は、カメラ本体２０のマウント開口部やカメラ本体２０内部で発生した塵埃が、ＣＣＤ２２１や光学素子（測距／測光センサ２１７等）に付着して塵埃の影が被写体像に写しこまれ、見苦しくなることを防止するためのフィルタである。
また、防塵フィルタ２０５の周縁部における全周または一部には、圧電素子２０７が固着されている。この圧電素子２０７には、防塵フィルタ駆動回路２１１が接続されており、防塵フィルタ駆動回路２１１によって圧電素子２０７が駆動するようになっている。具体的に、圧電素子２０７は防塵フィルタ駆動回路２１１によって、防塵フィルタ２０５が所定の超音波で振動するよう駆動され、その振動を利用して防塵フィルタ２０５の前面に付着した塵埃を除去する。なお、ＣＣＤ２２１等の撮像素子自体、もしくは撮像素子の前面側に配設された光学素子に付着した塵埃を除去できるものであれば、本実施形態のような超音波振動を利用したものに限らず、空気ポンプ等を利用して空気流によって吹き飛ばすものや、静電気を利用して塵埃を集塵して除去するもの等、種々の方法に適宜、置き換えても勿論構わない。

防塵フィルタ２０５の後方には、被写体光束から赤外光成分をカットするための赤外カットフィルタ２０９が配置され、さらにその後方には被写体光束から高周波成分を取り除くための光学的ローパスフィルタ２１０が配置されている。そして、光学的ローパスフィルタ２１０の後方には、撮像素子としてのＣＣＤ２２１が配置されており、レンズ１０１ａ，１０１ｂによって結像される被写体像が電気信号に光電変換される。これらの防塵フィルタ２０５、赤外カットフィルタ２０９、光学的ローパスフィルタ２１０及びＣＣＤ２１１は、図示しない密封されたパッケージに一体に収納されており、塵埃がこのパッケージ内に侵入しないように構成されている。なお、本実施形態では撮像素子としてＣＣＤ２２１を用いているが、これに限らずＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の二次元撮像素子を使用できることはいうまでもない。

ＣＣＤ２２１は撮像素子駆動回路２２３に接続され、入出力回路２３９からの制御信号によって駆動制御される。撮像素子駆動回路２２３は、ＣＣＤ２２１から出力された光電アナログ信号を増幅し、アナログデジタル変換（ＡＤ変換）する。撮像素子駆動回路２２３は、ＡＳＩＣ(Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ：特定用途向け集積回路)２６２内の画像処理回路２２７に接続され、この画像処理回路２２７によってデジタル画像データのデジタル的増幅（デジタルゲイン調整処理）、色補正、ガンマ(γ)補正、コントラスト補正、白黒・カラーモード処理、スルー画像処理といった各種の画像処理がなされる。

画像処理回路２２７は、データバス２６１に接続されている。このデータバス２６１には、画像処理回路２２７の他、後述するシーケンスコントローラ(以下、ボディＣＰＵという)２２９、圧縮伸張回路２３１、ビデオ信号出力回路２３３、ＳＤＲＡＭ制御回路２３７、入出力回路２３９、通信回路２４１、記録媒体制御回路２４３、フラッシュメモリ制御回路２４７及びスイッチ検出回路２５３が接続されている。

データバス２６１に接続されているボディＣＰＵ２２９は、このデジタルカメラ１の動作を制御するものである。またデータバス２６１に接続されている圧縮伸張回路２３１は、ＳＤＲＡＭ２３８に記憶された画像データをＪＰＥＧやＴＩＦＦで圧縮するための回路である。なお、画像圧縮はＪＰＥＧやＴＩＦＦに限らず、他の圧縮方法も適用できる。
データバス２６１に接続されたビデオ信号出力回路２３３は、液晶モニタ駆動回路２３５を介して背面液晶モニタ２６と、ファインダ内液晶モニタ２９（図中Ｆ内液晶モニタと略記）とに接続されている。ビデオ信号出力回路２３３は、ＳＤＲＡＭ２３８、または記録媒体２４５に記憶された画像データを、背面液晶モニタ２６及び／またはファインダ内液晶モニタ２９に表示するためのビデオ信号に変換するための回路である。

背面液晶モニタ２６は、カメラ本体２０の背面（後方側）に配置されるが、撮影者が観察できる位置であれば、背面に限らないし、また液晶に限らず他の表示装置でも構わない。
ファインダ内液晶モニタ２９は、ファインダ接眼部を介して撮影者によって観察できる位置に配置されており、背面液晶モニタ２６と同様、液晶に限らず他の表示装置でも構わない。なお、被写体像の観察として背面液晶モニタ２６のみとし、ファインダ接眼部及びファインダ内液晶モニタ２９を省略することも可能である。

ＳＤＲＡＭ２３８は、ＳＤＲＡＭ制御回路２３７を介してデータバス２６１に接続されている。このＳＤＲＡＭ２３８は、画像処理回路２２７によって画像処理された画像データまたは圧縮伸張回路２３１によって圧縮された画像データを、一時的に記憶するためのバッファメモリである。上述した防塵フィルタ駆動回路２１１、シャッタ駆動機構２１３、可動ミラー駆動機構２１５、測距／測光処理回路２１９、撮像素子駆動回路２２３が接続された入出力回路２３９は、データバス２６１を介してボディＣＰＵ２２９等の各回路とデータの入出力を制御する。レンズＣＰＵ１１１と通信接点３００とを介して接続された通信回路２４１は、データバス２６１に接続され、ボディＣＰＵ２２９等とのデータのやりとりや制御命令の通信を行う。

データバス２６１に接続された記録媒体制御回路２４３は、記録媒体２４５に接続され、この記録媒体２４５への画像データ等の記録の制御を行う。記録媒体２４５は、ｘＤピクチャーカード(登録商標)、コンパクトフラッシュ(登録商標)、ＳＤメモリカード(登録商標)またはメモリスティック(登録商標)等の書換え可能な記録媒体のいずれかが装填可能となるように構成され、カメラ本体２０に対して着脱自在となっている。なお、図示しないが、記録媒体２４５の他に、マイクロドライブ（登録商標）等の様なハードディスクユニットや無線通信ユニットを、カメラ本体２０に接続可能に構成してもよい。

データバス２６１に接続されているフラッシュメモリ制御回路２４７は、フラッシュメモリ（Ｆｌａｓｈ Ｍｅｍｏｒｙ）２４９に接続されている。このフラッシュメモリ２４９は、デジタルカメラ１のフローを制御するためのプログラムが記憶されており、ボディＣＰＵ２２９はフラッシュメモリ２４９に記憶されたプログラムに従ってデジタルカメラ１の制御を行う。なお、フラッシュメモリ２４９は、電気的に書換可能な不揮発性メモリである。

また、カメラ本体２０には、カメラ本体２０やレンズ鏡筒１０のパワー供給の制御を行うためのパワースイッチレバーに連動し、オン・オフするパワースイッチ２５７や、着脱検知スイッチ２５９、その他の各種スイッチ２５５が、スイッチ検出回路２５３を介してデータバス２６１に接続されている。なお、その他の各種スイッチ２５５としては、シャッタレリーズ釦に連動するスイッチ、再生モードを指示する再生釦に連動するスイッチ、背面液晶モニタ２６の画面でカーソルの動きを指示する十字釦に連動するスイッチ、撮影モードを指示するモードダイヤルに連動するスイッチ、選択された各モード等を決定するＯＫ釦に連動するＯＫスイッチ等を有している。
また、シャッタレリーズ釦は、撮影者が半押しするとオンする第１レリーズスイッチ（以下、１Ｒという）と、全押しするとオンする第２レリーズスイッチ（以下、２Ｒ）とを有している。デジタルカメラ１は、１Ｒのオンによりデジタルカメラ１は焦点検出、レンズ１０１ａ，１０１ｂのピント合わせ、被写体輝度の測光等の撮影準備動作を行う。また、デジタルカメラ１は、２Ｒのオンにより、撮像素子としてのＣＣＤ２２１の出力に基づいて被写体像の画像データの取り込みを行う撮影動作を実行する。

（可動ハーフミラー）
図２は、可動ハーフミラーの部品構成を示す分解斜視図である。
次に、図２を用いて、可動ハーフミラー２０１の駆動手段及び退避手段について説明する。
図２に示すように、可動ハーフミラー２０１は、被写体光束の一部を透過させ一部を反射する、厚さが５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄膜ミラー４０１を備えている。薄膜ミラー４０１は、図示しない光硬化型接着剤を介してミラー枠（保持枠）４０３によって保持されている。このミラー枠４０３は、孔４０３ａに介挿される軸４１１の回りに回動可能に支持されており、図１の回動軸２０１ａは、軸４１１の中心軸となる。

カメラ本体２０に固定されたピン４０９と、ミラー枠４０３に植設された駆動ピン４０５との間には、開きバネ４０７の両端がそれぞれ係合しており、この開きバネ４０７のコイル部分は軸４１１に巻装されている。そして、この開きバネ４０７のバネ力によって、ミラー枠４０３は図中反時計方向（矢印Ａ方向）に付勢力を受けている。また、駆動ピン４０５には、係止レバー４１３の一端が係合しており、この係止レバー４１３の他端に植設されたカムピン４１５には、ミラー用カム４１７が係接している。

係止レバー４１３は、その回動中心が不図示のミラーボックスに軸支されており、駆動ピン４０５を介して開きバネ４０７のバネ力によって図中反時計方向（矢印Ｂ方向）に付勢力を受けている。よって、係止レバー４１３のカムピン４１５は、ミラー用カム４１７のカム面（外周面）に圧接している。
ミラー用カム４１７のカム面は、その周方向に沿って係止位置４１７ａから係止解除位置４１７ｂへと段差４１７ｃを介して形成されており、周方向において回転中心からの半径方向の長さが変化するように形成されている。すなわち、カム面上の係止位置４１７ａでは回転中心からの距離が最も長くなるように形成され、係止解除位置４１７ｂでは係止位置４１７ａに比して回転中心からの距離が短くなるように形成されている。そして、係止位置４１７ａと係止解除位置４１７ｂとの間には、係止位置４１７ａから係止解除位置４１７ｂにかけて回転中心からの半径方向の長さが漸次短くなるように形成された段差４１７ｃが形成されている。これにより、係止解除位置４１７ｂから係止位置４１７ａへと、回転中心からの距離が滑らかに変位するようなカム面が形成されている。

ここで、ミラー用カム４１７の係止位置４１７ａが、カムピン４１５と当接する位置にあるとき、係止レバー４１３はミラー用カム４１７により矢印Ｂ方向の回動が規制されることになる。そのため、ミラー枠４０３は、薄膜ミラー４０１の表面の面方向が光路Ｐに対して約４５度傾いた反射位置に保持される（図２中実線で示す位置）。そして、この状態から、段差４１７ｃを経て係止解除位置４１７ｂがカムピン４１５と当接する位置へとミラー用カム４１７を図中時計回り（矢印Ｃ方向）に回動させると、係止レバー４１３は矢印Ｂ方向への回動が可能となる。すなわち、開きバネ４０７の付勢力により、ミラー枠４０３が矢印Ａ方向へと回動して退避位置（図２中鎖線で示す位置）へと変位する。なお、ミラー用カム４１７は図示しないモータによって回転駆動される。

なお、可動ハーフミラー２０１を退避位置から光路Ｐ上の反射位置へと駆動させる駆動手段は、ミラー用カム４１７、係止レバー４１３等を含む。また可動ハーフミラー２０１を光路Ｐ外の退避位置へと駆動する退避手段は、開きバネ４０７を含んでいる。なお、駆動手段や退避手段は、このような構成に限らず、可動ハーフミラー２０１を駆動できれば他の構成でも良い。

このように、可動ハーフミラー２０１は、図示しないモータにより、カムピン４１５が係止解除位置４１７ｂに接する位置まで駆動されたときには、ミラー枠４０３及び係止レバー４１３が開きバネ４０７の付勢力によって、矢印Ｂ方向に回動し、ミラー枠４０３は、図中鎖線のように退避位置となる。
これに対して、モータによってミラー用カム４１７を回動させ係止位置４１７ａがカムピン４１５と接する位置になると、係止レバー４１３は時計方向（矢印Ｂ方向と逆方向）に回動され、開きバネ４０７の付勢力に抗して駆動ピン４０５を介しミラー枠４０３を時計方向（矢印Ａ方向と逆方向）に回動させ、図中、実線のように反射位置となる。

（薄膜ミラーの製造方法）
次に、図３〜図５を用いて、非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄膜ミラー４０１の製造方法について説明する。図３〜図５は薄膜ミラー４０１の製造工程を説明するための工程図である。
図３に示すように、まず４インチのシリコンウエハ（金型）３０１（以下、ウエハ３０１という）を用意し、ウエハ３０１の表面を鏡面研磨する。その後、ウエハ３０１の表面をヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン（Ｃ_８Ｆ_１７ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）により表面処理する。鏡面研磨後に表面処理するのは、後工程でウエハ３０１上からフィルム（基材）３０２を剥離し易くするための離型処理であり、フルオロアルキル基含有シラン化合物であればヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシランでなくても良いし、溶剤可溶な非晶質フッ素樹脂等でも良い。フルオロアルキル基含有シラン化合物を用いて、ウエハ３０１の表面を処理する方法は特に限定されないが、通常、綿布、紙、スポンジ等を用いてフルオロアルキル基含有シラン化合物の溶液を塗布する方法、ディップコーティング法、フローコーティング法、カーテンコーティング法、スピンコーティング法、スプレーコーティング法、バーコーティング法、ロールコーティング法、刷毛塗りコーティング法等の方法が挙げられる。また、フルオロアルキル基含有シラン化合物をウエハ３０１の表面に塗布した後、室温で１０秒〜１０分間乾燥して溶媒を揮発させることが好ましい。なお、フルオロアルキル基含有シラン化合物とウエハ３０１の表面との結合を高めるために、２００℃以下程度の加熱処理を行ってもよい。

次に、ウエハ３０１上に、非晶質ポリオレフィン樹脂であるゼオネックス４８０Ｒ（日本ゼオン製）をトルエンに溶解させた溶液を、スピンコート法等により塗布する（塗布工程）。本実施形態では、非晶質ポリオレフィン樹脂のトルエン溶液は、非晶質ポリオレフィン樹脂をトルエン中に約２０重量％に溶解させたものを用い、スピンコート法の回転数は１０００ｒｐｍにて行った。なお、本実施形態では、非晶質ポリオレフィン樹脂として、ゼオネックス４８０Ｒ（日本ゼオン製）を用いているが、光学用グレードとして謳われているものであれば、例えば、ゼオノア（日本ゼオン製）や、アートン（ＪＳＲ製）、ＡＰＯ（三井化学製）、ＴＰＸ（三井化学製）、アペル（三井化学製）、ＣＺレジン（大協精工製）等も用いることができる。

次に、ウエハ３０１上に塗布された非晶質ポリオレフィン樹脂の溶剤を揮発させ、厚さ約１５μｍのフィルム３０２を成形する（成形工程）。このように、溶剤に溶解した非晶質ポリオレフィン樹脂を用いてフィルム３０２を形成することで、従来のようにガラス板により薄膜ミラーを形成する場合に比べて、より厚さの薄い薄膜ミラー４０１を製造することができる。

そして、図４に示すように、このようにして製作されたフィルム３０２上のほぼ中央にアルミ製のミラー枠４０３を配置し、これらフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定する（接着工程）。具体的には、フィルム３０２とミラー枠４０３との間に光硬化型接着剤３０３を注入し、この光硬化型接着剤３０３に対して紫外線を照射することで、フィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定する。

ところで、ウエハ３０１上に成膜されたフィルム３０２は、ウエハ３０１の外周周辺において膜厚が不均一で厚くなってしまう傾向がある。そのため、製品（薄膜ミラー４０１）となるフィルム３０２としては、なるべくウエハ３０１の中央付近上に形成されたフィルム３０２を用いることが好ましい。
また、ミラー枠４０３は、製品構造上矩形であるが、角部分には応力が集中し易く、接着固定後、経時的に可動ハーフミラー２０１の光学特性を低下させる危険性を有する。そのため、ミラー枠４０３の角部にはなるべく曲率を付与することが好ましい。また、ミラー枠４０３の内側のフィルム３０２は光学的に重要となるため、ミラー枠４０３よりも内側に光硬化型接着剤３０３がはみ出さないように、予めミラー枠４０３の接着面内に接着剤溜りの溝を設けたり、ミラー枠４０３の外周部に接着剤溜りの面取り部を設けたりすることが好ましい。

なお、本実施形態では、ミラー枠４０３の材質にアルミを用いたが、ミラーとしての性能を発揮できて製作し易いものであれば、他の金属やプラスチックやガラス等でも良い。
また、光硬化型接着剤３０３の構成材料としては、非晶質ポリオレフィン樹脂への接着性を有するものでなければならず、本実施形態では、ＬＣＲ０６４５（東亞合成製）を用いているが、その他にＵＸ−０１２０（東亞合成製）やＥＸＫ１０８−３３（東亞合成製）、あるいはケミシールＵ−１４５５Ｂ（ケミテック製）等を用いることが可能である。さらに、光硬化型接着剤３０３の硬化に用いる紫外線の照射は、所定の積算光量を塗布部へ同時に短時間照射できるものを採用することが好ましいが、硬化時にミラーの平面性を低下させなければ、これに制限されない。

次に、ウエハ３０１表面からフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定したものを剥離する（剥離工程）。
ウエハ３０１表面からフィルム３０２を剥がす際、フィルム３０２を単純（例えば、機械的に）に引き剥がそうとすると、フィルム３０２中央付近はミラー枠４０３に固定されていないために、フィルム３０２に伸びが生じてミラーの平面性を低下させてしまう危険がある。
そこで、本実施形態では、フィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定したものを、ウエハ３０１とともに剥離剤中に浸漬する。本実施形態では、剥離剤としてエタノールを用い、エタノール中にフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定したものをウエハ３０１ごと浸漬する。すると、ウエハ３０１とフィルム３０２との間にエタノールが浸透し、ウエハ３０１とフィルム３０２との離型性が助長される。これにより、ウエハ３０１からフィルム３０２を速やかに、かつ小さな力で剥離することができるため、伸びやダメージがない良好なフィルム３０２を形成することができる。なお、剥離工程で用いる剥離剤はエタノールに限らず、フィルム３０２や光硬化型接着剤３０３等の材料を侵さない溶剤であれば適用できる。

図５に示すように、フィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定したものをウエハ３０１表面から剥がした後、不要な部位のフィルム３０２（例えば、フィルム３０２におけるミラー枠４０３の外側領域）を切断除去する。
そして、フィルム３０２の表面に対して、反射コーティングを施す。本実施形態では、反射コーティングとして、ハーフミラーコート層（図示せず）と、反射防止コート層（図示せず）とを施す。
以上により、非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄膜ミラー４０１が完成する。

なお、ハーフミラーコート層とフィルム３０２との間には、密着性向上及びフィルム３０２表面の擦傷防止を兼ねてアンダーコート層を設けても良い。また、本実施形態でのフィルム３０２の厚さは約１５μｍとしたが、剥離工程においてウエハ３０１からフィルム３０２にダメージを与えないように剥がせれば、さらに薄い方が光学性能としては好ましく、１〜５μｍ程度が好ましい。
一方、フィルム３０２の厚さを厚くすれば、ウエハ３０１からフィルム３０２を剥がす際のダメージは回避し易くなるが、後述するように光学特性としてフィルム３０２の表裏面における光路差の影響による二重像が発生したり、成膜したフィルム３０２内にゴミが混在し易くなることによるフレアが発生し易くなったり、成膜手法としてスピンコートが適用し難くなったりする等の問題が発生し易くなる。そのため、フィルム３０２（薄膜ミラー４０１）の厚さは５０μｍ以下にするのが好ましい。

ここで、フィルム３０２表裏の光路差の影響による二重像の発生について図６を用いて説明する。
図６に示すように、フィルム３０２に入射した光Ｌは、表面Ａで反射し、Ｂ→Ｃと進む光Ｌ１と、フィルム３０２内を透過した後、裏面Ａ’で反射し、Ａ’’→Ｂ’ →Ｃ’と進む光Ｌ２とに分離する。これにより、同一地点Ａに入射した光Ｌであっても、表面Ａで反射した光と裏面Ａ’で反射した光との間で、距離Ｄだけずれた反射光Ｌ１，Ｌ２が返ってくることになり、その結果二重像として見えてしまう。具体的に、屈折率が１．５２で厚さが例えば５０μｍのゼオネックス４８０Ｒのフィルム３０２を用い、このフィルム３０２に対して光Ｌを４５°の入射角θで入射した場合、反射してできた二重像の間隔、すなわち二重像として見えてしまう距離Ｄは３７μｍとなる。また、入射角θを４５°に設定した状態で、同材質のフィルム３０２の厚さｄに対する二重像の距離Ｄを比較すると、厚さｄが６０μｍの場合に距離Ｄが４５μｍ、厚さｄが１５μｍの場合に距離Ｄが１１μｍとなる。ちなみに、屈折率１．３４の非晶質フッ素樹脂製のフィルム３０２を用いた場合は、厚さｄが５０μｍの場合に距離Ｄは４４μｍ、厚さｄが６０μｍの場合に距離Ｄが５３μｍ、厚さｄが１５μｍの場合に距離Ｄが１３μｍとなる。

一方、上述した入射角θを４５°ではなく、より垂直入射に近づけられると、反射してできた二重像の距離Ｄを減少させることができるが、入射角θを小さくしようとすると、カメラ内の種々の構成物と干渉する危険性が生じる。そのため、入射角θとしては３０°が限界である。この場合、厚さｄが５０μｍの場合に屈折率１．５２のフィルム３０２に対して入射角θが３０°で入射し、反射してできた二重像の距離Ｄは１７μｍ、同材質で厚さｄが６０μｍの場合に距離Ｄが２１μｍ、厚さｄが１５μｍの場合に距離Ｄが５μｍとなる。二重像として認識される距離Ｄの限界は、撮影者の感覚による部分もあるが、約２０μｍである。このことからも、フィルム３０２の厚さｄは５０μｍ以下にするのが好ましい。

なお、本実施形態では、フィルム３０２の材質として、光学用の非晶質ポリオレフィン樹脂を用いたが、他の市販の光学用樹脂を適用した場合、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂では、通常、トルエン等の溶剤には溶解できず、本実施形態の塗布工程のような手法が適用できない。また、透明な非晶質フッ素樹脂の中には、溶剤に可溶なものがあり成膜自体は本実施形態の手法が適用可能であるが、フッ素樹脂に接着できる光硬化型接着剤３０３が存在せず、ミラー枠４０３との接着が困難である。

そこで、フィルム３０２の材質として、ポリカーボネート樹脂を適用した場合には、溶剤に可溶で本実施形態における塗布工程のような手法が適用でき、しかも光硬化型接着剤３０３を用いてフィルム３０２とミラー枠４０３との接着も可能である。
しかしながら、ポリカーボネート樹脂は、結晶性のミクロ構造の影響を皆無にし難く、薄膜にしてもフレアが発生してしまう、といった問題がある。
さらに、アクリル樹脂を適用した場合も、ポリカーボネート樹脂と同様に、溶剤に可溶で本実施形態の塗布工程や接着工程の手法が適用できる。
しかしながら、アクリル樹脂は、吸湿性が高く、製造途中や製品後等に吸湿することで屈折率が変動するため、寸法安定性に問題を生じ易い、といった問題がある。

このような材質に対して、本実施形態で用いる光学用の非晶質ポリオレフィン樹脂の場合は、上述した諸問題が発生し難い。すなわち、非晶質ポリオレフィン樹脂は吸湿性が低いので、製造途中等において吸湿することを抑制することができる。そのため、フィルム３０２の屈折率変動等を抑制し、寸法安定性を向上させることができる。
したがって、製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、フィルム３０２に入射した光を効率的に分離することができる。その結果、特性の安定した高性能な薄膜ミラー４０１を提供することができる。

（デジタルカメラの動作方法）
次に、本実施形態におけるデジタルカメラ１の動作について、図７に示すフローチャートを用いて説明する。
図７に示すように、パワーオンリセットのフローに入ると、まずカメラ本体２０のパワースイッチ２５７がオンとなったかを判定する（ステップＳ１）。ステップＳ１における判定の結果、パワースイッチ２５７がオフの場合（ステップＳ１における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ３に進み、低消費電力の状態であるスリープ状態となる。このスリープ状態ではパワースイッチ２５７がオンとなった場合のみに割り込み処理を行い、ステップＳ５以降においてパワースイッチオンのための処理を行う。パワースイッチ２５７がオンとなるまでは、パワースイッチ２５７の割り込み処理以外の動作を停止し、電源電池の消耗を防止する。

ステップＳ１における判定の結果、パワースイッチ２５７がオンであった場合（ステップＳ１における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ２に進み、着脱スイッチ２５９がオフか否かを判定する。上述したように着脱検知スイッチ２５９は、レンズ鏡筒１０がカメラ本体２０から外されると、オフとなるスイッチである。
着脱検知スイッチ２５９がオフであった場合（ステップＳ２における判定結果が「ＮＯ」の場合）、すなわちレンズ鏡筒１０がカメラ本体２０から離脱していた場合には、後述するステップＳ５１に進む。これは、レンズ鏡筒１０が離脱している状態でカメラ本体２０のパワースイッチレバーが操作され、パワーオンとなった場合に、レンズ離脱時と同様な処理をするためである。
一方、ステップＳ２における判定の結果、着脱検知スイッチ２５９がオンであった場合（ステップＳ２における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ５以降に進み、パワースイッチオンのための処理を行う。

ステップＳ５では、可動ハーフミラー２０１の復帰を行う。これは、パワースイッチ２５７がオフの状態では、可動ハーフミラー２０１は光路Ｐから退避した退避位置にあるが（図１において鎖線の状態）、パワースイッチ２５７のオンに応じて、レンズ鏡筒１０からの被写体光束を測距／測光センサ２１７に導き、測光及び測距を行うためである。可動ハーフミラー２０１が復帰すると、薄膜ミラー４０１に入射する被写体光束のうち、薄膜ミラー４０１の反射面によって反射された被写体光束は測距／測光センサ２１７に反射される一方、薄膜ミラー４０１を素通りした被写体光束は光路Ｐに沿って進み、シャッタ２０３の方向に導かれる。

次に、防塵フィルタ２０５における塵埃除去動作を行う（ステップＳ７）。これは防塵フィルタ２０５に固着された圧電素子２０７に防塵フィルタ駆動回路２１１から駆動電圧を印加し、上述したように超音波によって防塵フィルタ２０５の前面に付着した塵埃等を除去する動作である。
続いて、シャッタ駆動機構２１３を駆動してシャッタ２０３の開放動作を行う（ステップＳ９）。これによって、可動ハーフミラー２０１を透過した被写体光束は、シャッタ２０３によって遮られないので、ＣＣＤ２２１上に被写体像が結像される。次に、このＣＣＤ２２１によって撮像された画像データを用い、背面液晶モニタ２６に被写体像を動画表示するスルー画表示の開始を指示する（ステップＳ１１）。なお、スルー画表示動作の制御は、この開始指示を受けて画像処理回路２２７にて行われる。

次に、図示しないモードダイヤル等の各種スイッチ２５５の操作によって設定された撮影モードや、ＩＳＯ感度、マニュアル設定されたシャッタ速度や絞り値等の情報があれば、それらの撮影条件の読み込みを行う（ステップＳ１３）。
続いて、測距／測光センサ２１７によって被写体輝度を測光し、露光量を演算する。そして、演算された露光量を用いて撮影モード・撮影条件に従ってシャッタ速度や絞り値等の露光制御値の演算を行う（ステップＳ１５）。
また、測光値や露光量等を用い、スルー画表示設定を行う（ステップＳ１７）。このステップでは、ＣＣＤ２２１の駆動にあたっての電子シャッタスピードと感度との条件設定を行うために、ステップＳ１５で求めた測光・露光量の演算結果、もしくは前回の表示画像を用いて、背面液晶モニタ２６及び／またはファインダ内液晶モニタ２９に適切な明るさ（明度）の像を表示するための演算と設定を行う。

次に、ステップＳ１９に進み、再生モードか否かの判定を行う。この再生モードは、各種スイッチ２５５のうち、再生釦が操作された際に、記録媒体２４５に記録された静止画データを読み出して背面液晶モニタ２６及び／またはファインダ内液晶モニタ２９に表示するモードである。ステップＳ１９における判定の結果、再生モードが設定された場合（ステップＳ１９における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ３１に進み、画像処理回路２２７に対してスルー画表示を停止するよう指示する。その後、シャッタ２０３の閉じ動作を行ってから（ステップＳ３３）、記録媒体２４５に記録されている静止画データを読出し、圧縮伸張回路２３１にて画像データを伸張する。そして、ビデオ信号出力回路２３３及び液晶モニタ駆動回路２３５を介して、背面液晶モニタ２６及び／またはファインダ内液晶モニタ２９に静止画を再生表示する（ステップＳ３５）。なお、再生動作中にレリーズ釦の半押し等、他の手動操作がなされた場合には、再生動作を終了してステップＳ７に戻り、上述の動作を繰り返す。
一方、ステップＳ１９における判定の結果、再生モードが設定されていなかった場合（ステップＳ１９における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２１に進み、メニューモードが設定されているか否かを判定する。これは、各種スイッチ２５５のうち、メニュー釦が操作され、メニューモードが設定されているか否かを判定する。

ステップＳ２１における判定の結果、メニューモードが設定されていた場合（ステップＳ２１における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、再生モードが設定されていた場合と同様に、スルー画停止指示が出力され（ステップＳ３７）、シャッタ２０３に閉じ指令を出力する（ステップＳ３９）。この後、メニュー設定動作を行う（ステップＳ４１）。なお、メニュー設定動作によって、ホワイトバランス、ＩＳＯ感度設定、ドライブモードの設定等、各種の設定動作を行うことができる。メニュー設定動作が終了すると、ステップＳ７に戻り、上述の動作を繰り返す。
一方、ステップＳ２１における判定の結果、メニューモードが設定されていなかった場合（ステップＳ２１における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２３に進み、レリーズ釦が半押しされたか、すなわち１Ｒスイッチがオンか否かの判定を行う。

ステップＳ２３における判定の結果、１Ｒがオンであった場合（ステップＳ２３における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ４３に進み、撮影準備と撮影を行う撮影動作のサブルーチンを実行する。この撮影動作のサブルーチンでは、スルー画表示と並行して、可動ハーフミラー２０１にて反射された被写体光束の一部に基づいて測光や測距を行うことができる。また、２Ｒがオンとなったときには、可動ハーフミラー２０１を退避位置まで退避させ、被写体光束の全てをＣＣＤ２２１上に導き、このＣＣＤ２２１の出力に基づく画像データを記録媒体２４５に記録する。撮影動作のサブルーチンが終了すると、ステップＳ７に戻り、上述のステップを繰り返す。

一方、ステップＳ２３における判定の結果、１Ｒスイッチがオフであった場合には、ステップＳ２５に進み、ステップＳ２と同様に、着脱検知スイッチ２５９がオフか否かを判定する。
ステップＳ２５における判定の結果、レンズ鏡筒１０が離脱されている場合（ステップＳ２５における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、再生モードにおけるステップＳ３１及びステップＳ３３と同様に、スルー画停止指示を出力し（ステップＳ４５）、シャッタ２０３の閉じ動作を行う（ステップＳ４７）。この後、可動ハーフミラー２０１の退避動作を行う（ステップＳ４９）。なお、可動ハーフミラー２０１の退避動作は、上述したように、モータを駆動してミラー用カム４１７を回動させ、開きバネ４０７の付勢力によってミラー枠４０３を光路Ｐから退避した退避位置に回動させることにより行う（図１の鎖線の位置）。

可動ハーフミラー２０１が退避位置まで移動すると、または上述したステップＳ２で着脱検知スイッチ２５９がオフであると判定された場合（すなわち、レンズ鏡筒１０が離脱している場合）には、ステップＳ５１に進み、着脱検知スイッチ２５９がオンか否かを判定する。ステップＳ５１は、ステップＳ２５において、レンズ鏡筒１０が離脱されたことを検出した後、レンズ鏡筒１０が再び装着されたか否かを判定するものである。

ステップＳ５１における判定の結果、レンズ鏡筒１０がカメラ本体２０に装着されていた場合（ステップＳ５１における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ５５に進み、可動ハーフミラー２０１を反射位置へと復帰させる。可動ハーフミラー２０１の反射位置への復帰動作は、上述したように、モータを駆動してミラー用カム４１７を回動させる。これにより、開きバネ４０７の付勢力に抗して、カム面によって係止レバー４１３を時計方向に回動させ、ミラー枠４０３をレンズ１０１ａ，１０１ｂの光路Ｐ中に介挿させる。可動ハーフミラー２０１の反射位置への復帰が終わると、ステップＳ７に戻り、上述のステップを繰り返す。
一方、ステップＳ５１における判定の結果、着脱検知スイッチ２５９がオフであった場合（ステップＳ５１における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ５３に進み、パワースイッチ２５７がオンか否かを判定する。

ステップＳ５３における判定の結果、レンズ鏡筒１０が離脱され、パワースイッチ２５７がオンの場合（ステップＳ５３における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、各種操作スイッチ２５５が操作されても、マウント開口部が開放のままなので、誤動作防止の観点から、カメラ動作を行わないようにしている。この場合には、ステップＳ５１まで戻り、レンズ鏡筒１０の装着状態の判定と、ステップＳ５３においてパワースイッチレバーの操作状態の判定とを繰り返し行う待機状態となる。
ステップＳ５３における判定の結果、パワースイッチ２５７がオフと判定された場合（ステップＳ５３における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ３に戻り、スリープ状態になる。なお、ステップＳ５１において、レンズ鏡筒１０が離脱されたままであることを検出した場合に、ステップＳ５３の判定を省略して、ステップＳ３に進みスリープ状態としてもよく、また、ステップＳ９に進み、各種操作スイッチ２５５による操作に基づく動作を行う等の変形は可能である。

ステップＳ２５に戻り、ステップＳ２５における判定の結果、着脱検知スイッチ２５９がオン、すなわちレンズ鏡筒１０がカメラ本体に装着されていた場合（ステップＳ２５における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２７に進み、パワースイッチ２５７がオンか否かを判定する。
ステップＳ２７における判定の結果、パワースイッチ２５７がオンであった場合（ステップＳ２７における判定結果が「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ１３に戻り、上述のステップを繰り返す。
なお、ステップＳ１１において、スルー画表示が開始された後、ステップＳ１９以降において各種操作スイッチ２５５等が操作されない限り、薄膜ミラー４０１を透過した被写体光束は、シャッタ２０３によって妨げられない。そのため、ＣＣＤ２２１上に被写体像が結像し、このＣＣＤ２２１によって撮像された画像データが背面液晶モニタ２６及び／またはファインダ内液晶モニタ２９に動画像としてスルー画表示される。

ステップＳ２７における判定の結果、パワースイッチ２５７がオフと判定された場合（ステップＳ２７における判定結果が「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ３１及びステップＳ３３と同様に、画像処理回路２２７に対してスルー画表示を停止するよう指示し（ステップＳ２８）、シャッタ２０３の閉じ動作を行う（ステップＳ２９）。この後、上述のステップＳ４９と同様にして、可動ハーフミラー２０１の退避動作を行った後（ステップＳ３０）、ステップＳ３に戻りスリープ状態となる。

このように、本実施形態では、薄膜ミラー４０１のフィルム３０２に厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂を用い、光硬化型接着剤３０３によってフィルム３０２とミラー枠４０３とを接着固定することで、入射光束の一部を反射し、残りを透過させる可動ハーフミラー２０１とする構成とした。
この構成によれば、イメージャー（ＣＣＤ２２１）の出力に基づいて表示されるスルー画は、厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄いフィルム３０２を素通りした被写体光束によって形成されることになる。このため、ガラス製のハーフミラーを採用した場合と比較して、破損し難く、取り扱い易く、またミラー枠４０３の簡素化が可能になる。

また、本実施形態においては、スルー画表示時には可動ハーフミラー２０１は光路Ｐ中に介挿され、厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄いフィルム３０２を透過した被写体光束がＣＣＤ２２１上に結像する。また、撮影時には可動ハーフミラー２０１は光路Ｐから退避し、被写体光束が直接ＣＣＤ２２１上に結像する。このスルー画表示時と撮影時とで、レンズ１０１ａ，１０１ｂからＣＣＤ２２１までの光路長に変化がないので、両者においてピントズレが生じない。

ところで、従来のようにガラス製のハーフミラーを光束が透過する場合には、入射角θによってハーフミラーでの光路長が比較的大きく異なるために、収差の発生量が異なり、像の劣化が生じてしまう。
これに対して、本実施形態では、厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄いフィルム３０２を用いるため、入射角θに対する光路長が殆ど変化することがない。その結果、収差の発生量を抑制することができるので、像の劣化が生じない。
さらに、本実施形態においては、スルー画表示可能なデジタルカメラ１において、カメラの作動時に可動ハーフミラー２０１を光路Ｐ中に介挿し、被写体光束の一部を測距／測光センサ２１７に反射させているので、スルー画表示中にレリーズ釦が半押しされ、１Ｒがオンとなったとき、直ちに測光や測距をスルー画表示と並行して行うことができ便利である。
その結果、製造コストの低下及び製造効率の向上を図った上で、薄膜ミラー４０１に入射した光を効率的に分離することができる、光学特性に優れた高性能なデジタルカメラ１を提供することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更が可能である。
例えば、上述した実施形態においては、撮像素子としてのＣＣＤ２２１は可動ハーフミラー２０１の透過光を受光し、測距／測光センサ２１７は可動ハーフミラー２０１の反射光を受光していたが、これとは逆にＣＣＤ２２１は反射光を、測距／測光センサ２１７は透過光を受光するように構成しても良い。この場合、可動ハーフミラー２０１は光路Ｐに対して傾いた状態で固定される。
また、上述した本実施形態においては、本発明を一般的なデジタルカメラ１に適用したものであったが、これに限らず、携帯等の各種装置内の撮影装置でもよく、またベローズ、エクステンションチューブ等を装着するものでも良く、さらに顕微鏡、双眼鏡等の各種装置に取り付けられる専用カメラにも適用できることは勿論である。

１０ レンズ鏡筒
２０ カメラ本体
２６ 背面液晶モニタ
２９ ファインダ内液晶モニタ
１０１ａ，１０１ｂ レンズ
１０３ 絞り
１１１ レンズＣＰＵ
２０１ 可動ハーフミラー（薄膜光学素子）
２０３ シャッタ
２０５ 防塵フィルタ
２０７ 圧電素子
２１５ 可動ミラー駆動機構
２１７ 測距／測光センサ
２１９ 測距／測光処理回路
２２１ ＣＣＤ（第２の受光素子）
２２７ 画像処理回路
２２９ ボディＣＰＵ
２５３ スイッチ検出回路
２５５ 各種スイッチ
２５７ パワースイッチ
２５９ 着脱検知スイッチ
３０１ ウエハ（金型）
３０２ フィルム（基材）
３０３ 光硬化型接着剤
４０１ 非晶質ポリオレフィン樹脂からなる薄膜ミラー
４０３ ミラー枠

Claims (7)

1. 基材が厚さ５０μｍ以下の非晶質ポリオレフィン樹脂からなり、入射光束の一部を反射し、残りを透過させることを特徴とする薄膜光学素子。
2. 前記基材の反射面には、反射コーティングが施されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜光学素子。
3. 溶剤に溶解した非晶質ポリオレフィン樹脂を金型上に塗布する塗布工程と、
   前記溶剤を揮発させて前記金型上にフィルム状の基材を成形する成形工程と、
   前記基材上に光硬化型接着剤を介して保持枠を接着固定する接着工程と、
   前記金型から前記基材を剥離する剥離工程と、
   前記基材上に薄膜を形成する薄膜形成工程と、を有することを特徴とする薄膜光学素子の製造方法。
4. 前記剥離工程は、前記基材及び前記保持枠が固定された前記金型を剥離剤中に浸漬し、前記金型から前記基材を剥離することを特徴とする請求項３記載の薄膜光学素子の製造方法。
5. 請求項１または請求項２記載の薄膜光学素子と、
   前記薄膜光学素子で反射された光束を受光する第１の受光素子と、
   前記薄膜光学素子を透過した光束を受光する第２の受光素子と、を備えていることを特徴とするデジタルカメラ。
6. 前記第１の受光素子は、被写体像までの距離情報を検出する測距センサであり、前記第２の受光素子は、前記被写体像を電気信号に変換するイメージセンサであることを特徴とする請求項５記載のデジタルカメラ。
7. 前記薄膜光学素子は、撮影光路に対して進入及び退避可能であることを特徴とする請求項６記載のデジタルカメラ。

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