JP2011038985A - 光学性能評価装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レンズ等の光学素子の光学性能を短時間かつ高精度に評価できる光学性能評価装置を提供する。
【解決手段】光学性能評価装置は、基準方向に沿って所定の空間周波数からなる輝度分布を有するテストチャートCHと、被検光学素子Wによって結像されたチャート像を基準方向と垂直な主走査方向に走査して電気信号を出力するための1次元ラインセンサ30と、1次元ラインセンサ30を基準方向と平行な副走査方向に移動するための移動ステージ40と、1次元ラインセンサ30の主走査および副走査によって得られたチャート像の画像データを解析するためのコンピュータPCなどで構成される。
【選択図】図1
【解決手段】光学性能評価装置は、基準方向に沿って所定の空間周波数からなる輝度分布を有するテストチャートCHと、被検光学素子Wによって結像されたチャート像を基準方向と垂直な主走査方向に走査して電気信号を出力するための1次元ラインセンサ30と、1次元ラインセンサ30を基準方向と平行な副走査方向に移動するための移動ステージ40と、1次元ラインセンサ30の主走査および副走査によって得られたチャート像の画像データを解析するためのコンピュータPCなどで構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、レンズ等の光学素子の結像性能を評価するための光学性能評価装置に関する。
光学素子の結像性能を評価する指標の1つとして、MTF(Modulation Transfer Function)が広く用いられている。MTFは、被写体のコントラストを像平面上でいかに忠実に再現できるかを空間周波数特性として表現したものである。
従来の評価方法では、被検レンズを用いて、所定の空間周波数からなる輝度分布を有するテストチャートを撮影し、被検レンズの像平面に撮像素子を配置してチャート像を電気信号に変換することによって、被検レンズに固有のMTF特性を取得している(例えば、特許文献1)。
従来の方法では、1つのレンズごとにMTF測定を行う必要がある。そのため、多数のレンズが所定ピッチで配列されたレンズアレイ、例えば、トレイ上にマトリクス状に整列したレンズや、ウエハ表面に多数のレンズをモノリシックに形成したウエハレンズ等を評価する場合、レンズ個数が多いため、MTF測定に要する時間が極めて長くなる。
また、撮像素子の画素サイズや画素ピッチによって測定系の解像度に限界があるため、高い空間周波数でのMTF測定が困難である。
本発明の目的は、レンズ等の光学素子の光学性能を短時間かつ高精度に評価できる光学性能評価装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明に係る光学性能評価装置は、基準方向に沿って所定の空間周波数からなる輝度分布を有するテストチャートと、
被検光学素子によって結像されたチャート像を、基準方向と垂直な主走査方向に走査して電気信号を出力するための1次元ラインセンサと、
該1次元ラインセンサを、基準方向と平行な副走査方向に移動するための移動機構とを備えることを特徴とする。
被検光学素子によって結像されたチャート像を、基準方向と垂直な主走査方向に走査して電気信号を出力するための1次元ラインセンサと、
該1次元ラインセンサを、基準方向と平行な副走査方向に移動するための移動機構とを備えることを特徴とする。
本発明において、被検光学素子は、複数のレンズが2次元配列されたレンズアレイであることが好ましい。
本発明において、移動機構は、1次元ラインセンサの光軸方向の高さを変更するための高さ調整機構と、1次元ラインセンサの光軸周りの回転角を変更するための回転角調整機構とを備えることが好ましい。
本発明において、1次元ラインセンサの主走査および副走査によって得られたチャート像の画像データを解析するための信号解析装置をさらに備えることが好ましい。
本発明によれば、1次元ラインセンサは2次元エリアセンサと比べて長尺化が容易であるため、走査エリアの大面積化が図られる。また、1次元ラインセンサの副走査方向をテストチャートの基準方向と平行に設定することによって、測定系の解像度は、1次元ラインセンサの画素ピッチではなく、副走査ピッチで規定されることになる。そのため、1次元ラインセンサの副走査ピッチを小さく設定するほど、より高い空間周波数での光学性能評価が可能になる。
図1は、本発明の一実施形態を示す構成図である。光学性能評価装置は、照明光を発生する照明ユニット10と、光学性能の基準となるテストチャートCHと、被検光学素子Wを保持するサンプルホルダ20と、多数の受光画素が直線状に配列した1次元ラインセンサ30と、1次元ラインセンサ30の3次元位置および姿勢を制御するためのステージ40と、全体の動作を制御するためのコンピュータPCなどで構成される。ここでは、理解容易のため、1次元ラインセンサ30の主走査方向をX方向、副走査方向をY方向、光軸方向をZ方向とする。
照明ユニット10は、面状の拡散光を有する光源として機能するものであり、XY面と平行に設置されたテストチャートCHを背面から照明する。照明ユニット10の輝度や点灯タイミングは、照明駆動回路11を介してコンピュータPCによって制御される。
テストチャートCHには、基準方向に沿って所定の空間周波数からなる輝度分布を有するパターン、例えば、図3(a)に示すように、X方向に細長い複数の明暗ストライプがY方向に一定の周期で配列したパターンが形成される。輝度分布は、例えば、図3(b)に示すように、矩形波状に変化しており、明ストライプでの最大値が1、暗ストライプでの最小値が0としてそれぞれ定義される。なお、矩形波チャートではなく、輝度分布が正弦波状に変化したパターンを有するテストチャートを使用してもよい。
テストチャートCHにおいて、ストライプ周期の逆数が空間周波数に相当し、例えば、ストライプ周期が0.5mmである場合、空間周波数は2サイクル(/mm)になる。そこで、異なる空間周波数を有する複数のパターンをテストチャートCHに配置することによって、複数の空間周波数についてのMTF測定が可能になる。
評価対象である被検光学素子Wは、単一のレンズだけでなく、多数のレンズが所定ピッチで配列されたレンズアレイ、例えば、トレイ上にマトリクス状に整列したレンズや、ウエハ表面に多数のレンズをモノリシックに形成したウエハレンズ等である。なお、サンプルホルダ20に微動ステージを設けて、被検光学素子Wの3次元位置および姿勢が調整可能なように構成してもよい。
1次元ラインセンサ30は、被検光学素子Wの像面近傍に位置決めされ、被検光学素子Wによって結像されたチャート像の強度分布を電気信号に変換する機能を有し、各受光画素で生成された電荷のシリアル読み出し動作によってチャート像をX方向に走査した時系列信号を出力する。1次元ラインセンサ30の動作は、センサ駆動回路31を介してコンピュータPCによって制御され、1次元ラインセンサ30からの画像信号もセンサ駆動回路31を介してコンピュータPCに取り込まれる。
コンピュータPCは、プロセッサ、メモリ、各種インタフェース等を備え、照明ユニット10、1次元ラインセンサ30、ステージ40等の動作を制御するとともに、1次元ラインセンサ30からの画像信号をA/D変換し各種演算を施して、得られた演算結果を表示ユニット51に表示したり、ネットワーク経由で他のコンピュータへ伝送する。
ステージ40は、1次元ラインセンサ30をY方向に移動したり位置決めするためのYステージ41と、1次元ラインセンサ30の光軸周りの回転角を設定するためのθステージ42と、1次元ラインセンサ30の光軸方向の高さを設定するためのZステージ43などを備える。ステージ40は、さらに1次元ラインセンサ30をX方向に位置決めするためのXステージや、XY面に対する1次元ラインセンサ30の傾斜角を調整するための傾斜ステージなどを備えてもよい。
ステージ40の動作は、ステージ駆動回路44を介してコンピュータPCによって制御される。θステージ42は、例えば、90度回転を行うことにより、1次元ラインセンサ30の主走査方向をY方向に、副走査方向をX方向に変更することができ、その結果、被検光学素子Wの光学性能を直交2方向で評価することが容易になる。Zステージ43は、1次元ラインセンサ30の高さ調整によって任意のデフォーカス量に設定できる。また、コンピュータPCは、1次元ラインセンサ30からの画像信号を解析してデフォーカス量を算出し、デフォーカス量がゼロになるようにZステージ43を調整することによって、自動合焦動作が可能になる。
次に、動作について説明する。図2に示すように、1次元ラインセンサ30は、各レンズによって形成された個々のチャート像を捕捉できる撮像サイズを有し、電気的走査によってX方向の主走査を行い、チャート像のNラインの画像信号をコンピュータPCに出力する。次に、Yステージ41がY方向に所定の副走査ピッチ分だけ移動した後、X方向の主走査を行い、チャート像のN+1ラインの画像信号をコンピュータPCに出力する。こうして主走査と副走査を交互に繰り返すことによって、各レンズによって形成された個々のチャート像がコンピュータPCに取り込まれる。
このとき得られるチャート像は、図3(c)に示すように、信号強度が第1方向に沿って周期的に変化するものである。コンピュータPCは、チャート像の画像データを解析して、信号強度の最大値S1と最小値S2を抽出し、コントラスト=(S1−S2)/(S1+S2)を計算したり、あるいは信号強度のフーリエ変換を算出することによって、第1方向のMTF特性が得られる。
次に、θステージ42が90度回転して、1次元ラインセンサ30の長手方向をY方向と平行になるように設定する。今度は、電気的走査によってY方向の主走査を行い、チャート像のMラインの画像信号をコンピュータPCに出力する。次に、Yステージ41がX方向に所定の副走査ピッチ分だけ移動した後、Y方向の主走査を行い、チャート像のM+1ラインの画像信号をコンピュータPCに出力する。こうして主走査と副走査を交互に繰り返すことによって、各レンズによって形成された個々のチャート像がコンピュータPCに取り込まれる。
このとき得られるチャート像は、信号強度が第2方向(第1方向と直交)に沿って周期的に変化するものである。第1方向の場合と同様に、コンピュータPCは、チャート像の画像データを解析して、信号強度の最大値S1と最小値S2を抽出し、コントラスト=(S1−S2)/(S1+S2)を計算したり、あるいは信号強度のフーリエ変換を算出することによって、第2方向のMTF特性が得られる。
このように本実施形態では、複数のレンズによって形成される個々のチャート像を1回のラスター走査だけで捕捉できるため、個々のレンズの光学性能を短時間で評価することが可能になる。
また、Yステージ41の副走査ピッチを小さく設定するほど、より高い空間周波数での光学性能評価が可能になる。
また、θステージ42によって1次元ラインセンサ30の90度回転が可能になるため、直交2方向のMTF特性を簡単に取得することができる。
また、Zステージ43によって、合焦調節が可能になり、あるいは任意のデフォーカス量を付与した状態での光学性能評価が可能になる。
本発明は、レンズ等の光学素子の光学性能を短時間かつ高精度に評価できる点で産業上極めて有用である。
10 照明ユニット
20 サンプルホルダ
30 1次元ラインセンサ
40 ステージ
41 Yステージ
42 θステージ
43 Zステージ
CH テストチャート
PC コンピュータ
W 被検光学素子
20 サンプルホルダ
30 1次元ラインセンサ
40 ステージ
41 Yステージ
42 θステージ
43 Zステージ
CH テストチャート
PC コンピュータ
W 被検光学素子
Claims (4)
- 基準方向に沿って所定の空間周波数からなる輝度分布を有するテストチャートと、
被検光学素子によって結像されたチャート像を、基準方向と垂直な主走査方向に走査して電気信号を出力するための1次元ラインセンサと、
該1次元ラインセンサを、基準方向と平行な副走査方向に移動するための移動機構とを備えることを特徴とする光学性能評価装置。 - 被検光学素子は、複数のレンズが2次元配列されたレンズアレイであることを特徴とする請求項1記載の光学性能評価装置。
- 移動機構は、1次元ラインセンサの光軸方向の高さを変更するための高さ調整機構と、1次元ラインセンサの光軸周りの回転角を変更するための回転角調整機構とを備えることを特徴とする請求項1記載の光学性能評価装置。
- 1次元ラインセンサの主走査および副走査によって得られたチャート像の画像データを解析するための信号解析装置をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の光学性能評価装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009189020A JP2011038985A (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | 光学性能評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009189020A JP2011038985A (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | 光学性能評価装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011038985A true JP2011038985A (ja) | 2011-02-24 |
Family
ID=43766902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009189020A Pending JP2011038985A (ja) | 2009-08-18 | 2009-08-18 | 光学性能評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011038985A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110389023A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-10-29 | 苏州天孚精密光学有限公司 | 一种Lens扫描耦合测试机台 |
-
2009
- 2009-08-18 JP JP2009189020A patent/JP2011038985A/ja active Pending
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