JP2011013017A - Inspection device and inspection method of ion generating element - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device and an inspection method of an ion generating element capable of highly accurately inspecting the ion generating element in a short time.SOLUTION: The inspection device 1 of the ion generating element 10 includes an ion counter 130 with an output part 135, a time constant circuit 140, and a display part 151. The ion counter 130 measures a concentration of ions generated by the ion generating element 10. The output part 135 outputs a voltage signal based on the concentration of ions measured by the ion counter 130. The time constant circuit 140 passes the voltage signal output by the output part 135. The display part 151 displays the concentration of ions based on the voltage signal passing through the time constant circuit 140.

Description

この発明は、イオン発生素子の検査装置と検査方法に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for an ion generating element.

近年、世界各地において鳥インフルエンザウィルス等の感染者が増加している。今後更に感染者の大規模かつ爆発的流行の可能性が高いと予測されている。そのような背景において、大気中に浮遊している菌、ウィルス、カビ、および、アレルゲン等を効果的に除去できるイオン空気浄化技術が注目されている。   In recent years, the number of infected people such as avian influenza virus has been increasing around the world. In the future, it is predicted that there is a high possibility of a large-scale and explosive epidemic among infected people. In such a background, attention has been paid to an ionic air purification technique that can effectively remove bacteria, viruses, molds, allergens, and the like floating in the atmosphere.

従来から、マイナスイオンは人体にリラックス効果を与えると言われている。最近の研究結果により、略同量の正イオン(プラスイオン)と負イオン(マイナスイオン)は、菌、ウィルス、カビ、および、アレルゲン等の有害物質を不活性化させる効果があることが確認された。正イオンと負イオンによって有害物質を不活性化させるメカニズムは、次のように考えられている。すなわち、略同量の正イオンと負イオンが有害物質のタンパク質の表面で化学反応を起こして、強い酸化性のOHラジカルを生成する。生成されたOHラジカルが有害物質表面の水素を抜き取り、有害物質のタンパク質を破壊させる。このようにして、正イオンと負イオンを用いて有害物質を不活性化する。   Conventionally, negative ions are said to give a relaxing effect to the human body. Recent research results confirm that approximately the same amount of positive ions (positive ions) and negative ions (negative ions) inactivate harmful substances such as bacteria, viruses, molds, and allergens. It was. The mechanism for inactivating harmful substances by positive ions and negative ions is considered as follows. That is, approximately the same amount of positive ions and negative ions cause a chemical reaction on the surface of the harmful substance protein to generate strong oxidizing OH radicals. The generated OH radicals extract hydrogen from the surface of the harmful substance and destroy the protein of the harmful substance. In this way, harmful substances are inactivated using positive ions and negative ions.

このような、イオンを用いる空気浄化技術では、空気中に浮遊している菌、ウィルス、カビ、および、アレルゲン等の有害物質を除去する効果はイオン濃度に依存することが確認された。   In such air purification technology using ions, it has been confirmed that the effect of removing harmful substances such as bacteria, viruses, molds, and allergens floating in the air depends on the ion concentration.

そこで、最近、略同量の正イオンと負イオンを従来よりも高濃度に発生させるイオン発生素子が商品化されている。高濃度のイオンを発生させるイオン発生素子では、例えば、正イオンを発生させるプラス電極と負イオンを発生させるマイナス電極にそれぞれ一定のパルスを持つ高電圧を与え、プラズマ放電を起こして高濃度イオンを生成する。   Therefore, recently, ion generating elements that generate substantially the same amount of positive ions and negative ions at a higher concentration than before have been commercialized. In an ion generating element that generates high-concentration ions, for example, a high voltage having a constant pulse is applied to a positive electrode that generates positive ions and a negative electrode that generates negative ions, respectively, and plasma discharge occurs to generate high-concentration ions. Generate.

菌、ウィルス、カビ、アレルギー等の有害物質を有効に除去するためには、高濃度のイオンを発生させるイオン発生素子の品質を確保することが重要である。   In order to effectively remove harmful substances such as bacteria, viruses, molds, and allergies, it is important to ensure the quality of ion generating elements that generate high-concentration ions.

しかし、プラズマ放電によって発生するイオンは、例えば、正イオンとしてH(HO)(mは任意の整数)と負イオンとしてO (HO)(nは任意の整数)のような、人間の目に見えない微小な粒子である。そのため、生産工程において、正負のイオンを所定の量発生していない不良なイオン発生素子があるとしても、不良なイオン発生素子を目視検査で検出することが不可能である。そこで、従来、空気中の正イオンや負イオンを測定するイオン量測定装置を用いて、イオン発生素子から発生されるイオン量を測定して、イオン発生素子の検査が行なわれている。 However, ions generated by plasma discharge are, for example, H + (H 2 O) m (m is an arbitrary integer) as positive ions and O 2 (H 2 O) n (n is an arbitrary integer) as negative ions. It is a minute particle that cannot be seen by human eyes. Therefore, even if there is a defective ion generating element that does not generate a predetermined amount of positive and negative ions in the production process, it is impossible to detect the defective ion generating element by visual inspection. Therefore, conventionally, an ion generation device is inspected by measuring the amount of ions generated from the ion generation device using an ion amount measurement device that measures positive ions and negative ions in the air.

空気中のイオン量を測定する装置としては、例えば、特開2003−4786号公報(特許文献1)には、空気イオン測定器が記載されている。この空気イオン測定器では、正と負の空気イオンの量を数値表示すると同時にグラフ表示する。このようにして、正と負の空気イオンのイオンバランスを使用者が認識しやすくすることができる。   As an apparatus for measuring the amount of ions in the air, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2003-4786 (Patent Document 1) describes an air ion measuring device. In this air ion measuring instrument, the amount of positive and negative air ions is displayed numerically and simultaneously with a graph. In this way, the user can easily recognize the ion balance between positive and negative air ions.

また、特開2001−13109号公報(特許文献2)には、正イオンと負イオンの量を測定して、正イオンと負イオンの量をデジタル表示、あるいは、グラフィック表示する正負イオン量測定装置が記載されている。この正負イオン量測定装置では、正イオンを負の集電極に吸着させ、負イオンを正の集電極に吸着させる。イオンの吸着量によって集電極に流れる電流値に差が生じるので、集電極に流れた電流値をマイクロコンピュータに入力して演算を行って、正イオン数や負イオン数等が得られる。得られた正イオン数や負イオン数等は、モノクロ、あるいは、カラーで、デジタル表示またはグラフィック表示される。   Japanese Patent Laid-Open No. 2001-13109 (Patent Document 2) discloses a positive / negative ion amount measuring apparatus that measures the amount of positive ions and negative ions and displays the amount of positive ions and negative ions digitally or graphically. Is described. In this positive / negative ion amount measuring apparatus, positive ions are adsorbed on a negative collector electrode, and negative ions are adsorbed on a positive collector electrode. Since there is a difference in the value of the current flowing through the collector electrode depending on the amount of ions adsorbed, the current value flowing through the collector electrode is input to a microcomputer to perform calculations, and the number of positive ions, the number of negative ions, and the like are obtained. The obtained number of positive ions, number of negative ions, and the like are displayed in monochrome or color in digital display or graphic display.

特開2003−4786号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-4786 特開2001−13109号公報JP 2001-13109 A

しかしながら、正イオンと負イオンは時々刻々、イオン発生素子で生成され、また空気中で消滅する。そのため、空気中の正イオンと負イオンの量は絶えず変化する。空気中の正イオンと負イオンの量は、風速、温度、湿度などの周囲環境に大きく影響される。   However, positive ions and negative ions are generated by the ion generating element every moment and disappear in the air. Therefore, the amount of positive ions and negative ions in the air changes constantly. The amount of positive and negative ions in the air is greatly affected by the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity.

特開2003−4786号公報(特許文献1)に記載の空気イオン測定器や特開2001−13109号公報(特許文献2)に記載の正負イオン量測定装置では、正負イオンの量などをデジタル表示またはグラフィック表示(グラフ表示)している。しかし、測定される正負イオンの量は、風速、温度、湿度などの周囲環境に影響されて絶えず変化する。そのため、デジタル表示またはグラフィック表示される正負イオンの量なども、絶えず変化する。   In the air ion measuring device described in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-4786 (Patent Document 1) and the positive / negative ion amount measuring device described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-13109 (Patent Document 2), the amount of positive and negative ions is digitally displayed. Or graphic display (graph display). However, the amount of positive and negative ions to be measured constantly changes depending on the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity. For this reason, the amount of positive and negative ions displayed digitally or graphically changes constantly.

このように、表示されるイオン濃度が絶えず変化し、表示されるイオン濃度のばらつきが大きいと、検査されるイオン発生素子の中に不良品が発生しても良品と見分けることが難しい。絶えず変化する正負イオン量を、上述の空気イオン測定器や正負イオン量測定装置を用いて観察して、イオン発生素子が所定の量の正負イオンを発生させているかどうかを検査するためには、長時間の観察を行なって、所定の量の正負イオンが安定して発生されているかどうかを判断する必要がある。また、表示されるイオン濃度のばらつきが大きいと、検査の精度を高めることが難しい。   In this way, when the displayed ion concentration constantly changes and the variation in the displayed ion concentration is large, even if a defective product is generated in the ion generating element to be inspected, it is difficult to distinguish it from a non-defective product. In order to inspect whether the ion generating element generates a predetermined amount of positive and negative ions by observing the constantly changing amount of positive and negative ions using the above-mentioned air ion measuring device and positive and negative ion amount measuring device, It is necessary to determine whether or not a predetermined amount of positive and negative ions is stably generated through long-term observation. In addition, if the displayed ion concentration varies greatly, it is difficult to increase the accuracy of inspection.

そこで、この発明の目的は、短時間で高精度にイオン発生素子の検査を行なうことが可能なイオン発生素子の検査装置と検査方法を提供することである。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ion generating element inspection apparatus and inspection method capable of inspecting an ion generating element with high accuracy in a short time.

この発明に従ったイオン発生素子の検査装置は、出力部を含むイオン濃度測定装置と、ハイパスフィルタと、表示部とを備える。イオン濃度測定装置は、イオン発生素子によって発生されるイオンの濃度を測定する。出力部は、イオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度に基づいて電圧信号を出力する。ハイパスフィルタは、出力部によって出力される電圧信号を通過させる。表示部は、ハイパスフィルタを通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示する。   An ion generating element inspection apparatus according to the present invention includes an ion concentration measuring apparatus including an output unit, a high-pass filter, and a display unit. The ion concentration measuring device measures the concentration of ions generated by the ion generating element. The output unit outputs a voltage signal based on the ion concentration measured by the ion concentration measuring device. The high-pass filter passes the voltage signal output by the output unit. The display unit displays the ion concentration based on the voltage signal that has passed through the high-pass filter.

イオン発生素子によって発生されてイオン濃度測定装置によって測定されるイオン濃度は、風速、温度、湿度などの周囲の環境に大きく影響されて絶えず変化する。本発明者らは、種々の検討を行った結果、イオン濃度に基づいて電圧信号を出力し、出力された電圧信号の低周波成分を除き、その後、低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいてイオン濃度を表示することによって、周囲の環境の影響によるイオン濃度のばらつきを取り除いたイオン濃度を表示することができることを見出した。   The ion concentration generated by the ion generating element and measured by the ion concentration measuring device is constantly changed by being greatly influenced by the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity. As a result of various studies, the inventors output a voltage signal based on the ion concentration, removes a low frequency component of the output voltage signal, and then removes the low frequency component based on the voltage signal. By displaying the ion concentration, it has been found that the ion concentration can be displayed without variations in the ion concentration due to the influence of the surrounding environment.

イオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度は、出力部によって電圧信号として出力される。イオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度は周囲の環境の影響を受けて絶えず変化するので、出力部によって出力される電圧信号も絶えず変化する。出力部によって出力される電圧信号にハイパスフィルタを通過させることによって、電圧信号の低周波成分が取り除かれる。このようにして、イオン濃度測定装置の周囲の環境がイオン濃度に与える影響を取り除くことができる。次に、この電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部に表示する。   The ion concentration measured by the ion concentration measuring device is output as a voltage signal by the output unit. Since the ion concentration measured by the ion concentration measuring device constantly changes under the influence of the surrounding environment, the voltage signal output by the output unit also changes constantly. By passing the voltage signal output by the output unit through a high-pass filter, the low-frequency component of the voltage signal is removed. In this way, the influence of the environment around the ion concentration measuring device on the ion concentration can be removed. Next, the ion concentration is displayed on the display unit based on this voltage signal.

イオン発生素子の検査を行なう検査員は、表示部の表示を観察して、イオン発生素子が所定の量の正イオンと負イオンとを発生させているかどうかを判断する。表示部に表示されるイオン濃度のばらつきは、イオン濃度測定装置によって測定されるイオン濃度のばらつきよりも小さいので、イオン発生素子の検査を行なう検査員は、イオン濃度測定装置によって測定されるイオン濃度をそのまま表示する場合と比べて比較的短時間、表示部を観察することによって、イオン発生素子の検査を行うことができる。また、絶えず変化するイオン濃度をそのまま表示して、所定の量の正負のイオン量が測定されているかどうかなどを読み取る場合と比較して、精度よく判断することができる。   An inspector who inspects the ion generating element observes the display on the display unit and determines whether or not the ion generating element generates a predetermined amount of positive ions and negative ions. Since the variation in the ion concentration displayed on the display unit is smaller than the variation in the ion concentration measured by the ion concentration measuring device, the inspector who performs the inspection of the ion generating element can measure the ion concentration measured by the ion concentration measuring device. The ion generating element can be inspected by observing the display portion for a relatively short time as compared with the case where the current is displayed as it is. In addition, it is possible to judge with higher accuracy compared to the case where the ion concentration that changes constantly is displayed as it is and whether or not a predetermined amount of positive and negative ions is measured.

このようにすることにより、短時間で高精度にイオン発生素子の検査を行なうことが可能なイオン発生素子の検査装置を提供することができる。   By doing in this way, the inspection apparatus of the ion generating element which can test | inspect an ion generating element with high precision in a short time can be provided.

この発明に従ったイオン発生素子の検査装置は、イオン発生素子によって発生されるイオンを流通させる風路部と、風路部内に空気を送出するための送風部とを備えることが好ましい。イオン濃度測定装置は、風路部内に配置されていることが好ましい。   The inspection apparatus for an ion generating element according to the present invention preferably includes an air passage section for circulating ions generated by the ion generating element and an air blowing section for sending air into the air passage section. The ion concentration measuring device is preferably arranged in the air passage section.

風路部内にイオン濃度測定装置を配置することによって、風速、温度、湿度などの周囲環境がイオン濃度に及ぼす影響を低減することができる。また、風路部内に空気を送出する送風部を備えることによって、イオン発生素子によって発生されたイオンが風路部内で滞留せずに、流通しやすいようにすることができる。このようにすることにより、より短時間で、より高精度に、イオン発生素子の検査を行うことが可能なイオン発生素子の検査装置を提供することができる。   By disposing the ion concentration measuring device in the air passage portion, the influence of the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity on the ion concentration can be reduced. Moreover, by providing the ventilation part which sends out air in an air path part, it can make it easy to distribute | circulate, without the ion generated by the ion generating element staying in an air path part. By doing in this way, the inspection apparatus of the ion generating element which can test | inspect an ion generating element more accurately in a short time can be provided.

この発明に従ったイオン発生素子の検査方法は、第1の行程と、第2の行程と、第3の行程とを備える。第1の行程は、イオン発生素子によって発生されるイオンの濃度をイオン濃度測定装置によって測定する。第2の行程は、第1の行程においてイオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度を電圧信号として出力する。第3の行程は、第2の行程において出力された電圧信号にハイパスフィルタを通過させる。この発明に従ったイオン発生素子の検査方法においては、第3の行程においてハイパスフィルタを通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部に表示することによってイオン発生素子を検査する。   The ion generating element inspection method according to the present invention includes a first step, a second step, and a third step. In the first step, the concentration of ions generated by the ion generating element is measured by an ion concentration measuring device. In the second step, the ion concentration measured by the ion concentration measuring device in the first step is output as a voltage signal. In the third step, the voltage signal output in the second step is passed through the high-pass filter. In the ion generating element inspection method according to the present invention, the ion generating element is inspected by displaying the ion concentration on the display unit based on the voltage signal that has passed through the high-pass filter in the third step.

第1の行程においてイオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度は、第2の行程において電圧信号として出力される。イオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度は周囲の環境の影響を受けて絶えず変化するので、第2の行程において出力される電圧信号も絶えず変化する。第2の行程において出力される電圧信号に、第3の行程においてハイパスフィルタを通過させることによって、電圧信号の低周波成分が取り除かれる。このようにして、イオン濃度測定装置の周囲の環境がイオン濃度に与える影響を取り除くことができる。次に、この電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部に表示する。   The ion concentration measured by the ion concentration measuring device in the first step is output as a voltage signal in the second step. Since the ion concentration measured by the ion concentration measuring device changes constantly under the influence of the surrounding environment, the voltage signal output in the second step also changes constantly. By passing the voltage signal output in the second stroke through a high-pass filter in the third stroke, the low frequency component of the voltage signal is removed. In this way, the influence of the environment around the ion concentration measuring device on the ion concentration can be removed. Next, the ion concentration is displayed on the display unit based on this voltage signal.

イオン発生素子の検査を行なう検査員は、表示部の表示を観察して、イオン発生素子が所定の量の正イオンと負イオンとを発生させているかどうかを判断する。表示部に表示されるイオン濃度のばらつきは、第1の行程においてイオン濃度測定装置によって測定されるイオン濃度のばらつきよりも小さいので、イオン発生素子の検査を行なう検査員は、イオン濃度測定装置によって測定されるイオン濃度をそのまま表示する場合と比べて比較的短時間、表示部を観察することによって、イオン発生素子の検査を行うことができる。また、絶えず変化するイオン濃度をそのまま表示して、所定の量の正負のイオン量が測定されているかどうかなどを読み取る場合と比較して、精度よく判断することができる。   An inspector who inspects the ion generating element observes the display on the display unit and determines whether or not the ion generating element generates a predetermined amount of positive ions and negative ions. Since the variation of the ion concentration displayed on the display unit is smaller than the variation of the ion concentration measured by the ion concentration measuring device in the first step, the inspector who inspects the ion generating element uses the ion concentration measuring device. By observing the display portion for a relatively short time compared to the case where the measured ion concentration is displayed as it is, the ion generating element can be inspected. In addition, it is possible to judge with higher accuracy compared to the case where the ion concentration that changes constantly is displayed as it is and whether or not a predetermined amount of positive and negative ions is measured.

このようにすることにより、短時間で高精度にイオン発生素子の検査を行なうことが可能なイオン発生素子の検査方法を提供することができる。   By doing in this way, the inspection method of the ion generating element which can test | inspect an ion generating element with high precision in a short time can be provided.

この発明に従ったイオン発生素子の検査方法は、第1の行程においては、イオン発生素子によって発生されるイオンを風路部に流通させ、風路部内においてイオン濃度測定装置によってイオンの濃度を測定することが好ましい。   In the method for inspecting an ion generating element according to the present invention, in the first step, ions generated by the ion generating element are circulated through the air passage portion, and the ion concentration is measured by the ion concentration measuring device in the air passage portion. It is preferable to do.

イオン発生素子によって発生されるイオンを風路部内に流通させることによって、風速、温度、湿度などの周囲環境がイオン濃度に及ぼす影響を低減することができる。このようにすることにより、より短時間で、より高精度に、イオン発生素子の検査を行うことが可能なイオン発生素子の検査方法を提供することができる。   By causing the ions generated by the ion generating element to circulate in the air passage portion, the influence of the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity on the ion concentration can be reduced. By doing in this way, the inspection method of the ion generating element which can test | inspect an ion generating element with higher precision in a short time can be provided.

以上のように、この発明によれば、短時間で高精度にイオン発生素子の検査を行なうことが可能なイオン発生素子の検査装置と検査方法を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ion generating element inspection apparatus and inspection method capable of inspecting an ion generating element with high accuracy in a short time.

第1実施形態の検査装置の全体を模式的に示す図である。It is a figure showing typically the whole inspection device of a 1st embodiment. 第1実施形態の検査装置の風路の内部を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the inside of the air path of the test | inspection apparatus of 1st Embodiment. 第1実施形態の検査装置が備える時定数回路の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the time constant circuit with which the inspection apparatus of 1st Embodiment is provided. オシロスコープの表示部に表されるイオン濃度の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the ion concentration represented on the display part of an oscilloscope. 第2実施形態の検査装置の全体を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the whole inspection apparatus of 2nd Embodiment. 第2実施形態の検査装置のダクトを図5に示す矢印VIの方向から見たときの図(A)と、ダクトを(A)に示す矢印Bの方向から見たときの図(B)と、ダクトを(A)に示す矢印Cの方向から見たときの図(C)である。FIG. 5A shows the duct of the inspection apparatus according to the second embodiment when viewed from the direction of the arrow VI shown in FIG. 5, and FIG. 6B shows the duct when viewed from the direction of the arrow B shown in FIG. It is a figure (C) when seeing a duct from the direction of arrow C shown to (A). 第3実施形態の検査装置の全体を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the whole inspection apparatus of 3rd Embodiment. 第3実施形態の検査装置のダクトを上から見たときの断面図(A)と、ダクトを(A)に示す矢印Bの方向から見たときの図(B)と、ダクトを(A)に示す矢印Cの方向から見たときの図(C)と、ダクトを(A)に示すD−D線の方向から見たときの断面図(D)である。Sectional view (A) when the duct of the inspection device of the third embodiment is viewed from above, Figure (B) when the duct is viewed from the direction of arrow B shown in (A), and the duct (A) (C) when it sees from the direction of the arrow C shown in FIG. 2, and sectional drawing (D) when seeing a duct from the direction of the DD line shown to (A).

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1に示すように、イオン発生素子の検査装置1は、主に、風路部としてダクト110と、送風部としてファン120と、イオン濃度測定装置としてイオンカウンター130と、ハイパスフィルタとして時定数回路140と、表示部としてオシロスコープ150とから構成されている。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the ion generating element inspection apparatus 1 mainly includes a duct 110 as an air passage section, a fan 120 as an air blowing section, an ion counter 130 as an ion concentration measuring apparatus, and a time constant circuit as a high pass filter. 140 and an oscilloscope 150 as a display unit.

検査対象のイオン発生素子10は、ダクト110の内部に配置される。イオン発生素子10には、正イオンを発生する正イオン発生部11と負イオンを発生する負イオン発生部12とが含まれる。   The ion generating element 10 to be inspected is disposed inside the duct 110. The ion generation element 10 includes a positive ion generation unit 11 that generates positive ions and a negative ion generation unit 12 that generates negative ions.

ダクト110は鉄製で、略直方体形状に形成されており、ダクト脚112によって床面から一定の間隔をあけて床面上に支持されている。ダクト110の上面には、ダクト110に溜まる電荷を素早くアースするアース接地端子113が備えられている。ダクト110の一つの側面には、イオンカウンター130を挿入するためのイオンカウンター挿入口111が開口されている。また、図1において、ダクト110の左右の端部は開口されている。ダクト110の左側の端部には、ファン120が配置されている。   The duct 110 is made of iron and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The duct 110 is supported on the floor surface by a duct leg 112 at a certain distance from the floor surface. On the upper surface of the duct 110, an earth ground terminal 113 for quickly grounding the electric charge accumulated in the duct 110 is provided. An ion counter insertion port 111 for inserting an ion counter 130 is opened on one side surface of the duct 110. In FIG. 1, the left and right ends of the duct 110 are opened. A fan 120 is disposed at the left end of the duct 110.

ダクト110が紙製、アクリル製など、導電性の低い材料によって形成されると、イオン発生素子10によって発生される正イオンと負イオンとがダクト110の内壁に当たって、ダクト110の全体に電荷が溜まることがある。ダクト110の全体に電荷が溜まると、イオンカウンター130によって正確にイオン濃度を測定することができなくなる。そこで、ダクト110として、導電性に優れた鉄製のダクトを使用する。更に、ダクト110本体にアース接地端子113を設けて、ダクト110の全体の電荷をアースに流して、ダクト110に電荷が溜まらないようにする。   When the duct 110 is formed of a material having low conductivity such as paper or acrylic, positive ions and negative ions generated by the ion generating element 10 hit the inner wall of the duct 110 and electric charges are accumulated in the entire duct 110. Sometimes. When electric charges accumulate in the entire duct 110, the ion concentration cannot be accurately measured by the ion counter 130. Therefore, an iron duct having excellent conductivity is used as the duct 110. Furthermore, the earth ground terminal 113 is provided in the duct 110 main body, and the electric charge of the whole duct 110 is sent to the earth so that the electric charge does not accumulate in the duct 110.

また、電荷が溜まりやすい材質によって形成されているテーブル等の上にダクト110が設置されると、ダクト110を鉄製にしても、除電効果が高められない場合がある。そこで、環境に応じて、ダクト110の本体と床面との間に一定の間隔を確保するためのダクト脚112が設けられる。   In addition, if the duct 110 is installed on a table or the like formed of a material that easily accumulates charges, even if the duct 110 is made of iron, the static elimination effect may not be enhanced. Therefore, depending on the environment, a duct leg 112 for ensuring a certain distance between the main body of the duct 110 and the floor surface is provided.

このようなダクト110内に検査対象のイオン発生素子10を配置することによって、イオン発生素子10が周囲の環境から影響を受けにくくすることができる。   By arranging the ion generating element 10 to be inspected in such a duct 110, the ion generating element 10 can be hardly affected by the surrounding environment.

ファン120は、ダクト110の内部に空気を送出する。ファン120によって、図中に二点鎖線の矢印で示す方向に空気が送出される。   The fan 120 sends air into the duct 110. Air is sent out by the fan 120 in a direction indicated by a two-dot chain line arrow in the drawing.

イオンカウンター130は、イオンカウンター挿入口111からダクト110の内部に挿入される。イオンカウンター挿入口111とイオンカウンター130との間には、約1〜2cmの間隔があけられている。イオンカウンター130は出力部135とイオンカウンター表示部131とを含む。イオンカウンター130の内部にはイオンカウンターダクト133が形成されている。イオンカウンターダクト133は測定口132によって外部と連通している。イオンカウンター130の測定口132は、ダクト110内において開口する。   The ion counter 130 is inserted into the duct 110 from the ion counter insertion port 111. A gap of about 1 to 2 cm is provided between the ion counter insertion port 111 and the ion counter 130. The ion counter 130 includes an output unit 135 and an ion counter display unit 131. An ion counter duct 133 is formed inside the ion counter 130. The ion counter duct 133 communicates with the outside through the measurement port 132. The measurement port 132 of the ion counter 130 opens in the duct 110.

イオンカウンター130は、略同量の正イオンと負イオンとを発生させるイオン発生素子10によって発生されるイオンの濃度を測定する。イオンカウンター130は、正イオン(プラスイオン)と負イオン(マイナスイオン)とを同時に測定することが可能である。市販のイオンカウンターには、プラスイオンとマイナスイオンを同時に測定するタイプと非同時に測定するタイプがある。この実施形態においては、プラスイオンとマイナスイオンを同時に測定することが可能なイオンカウンター(例えば、北斗電子工業株式会社製、型番 NKMH-102)を使用する。測定されたイオン濃度に基づいて、出力部135によって電圧信号が出力される。   The ion counter 130 measures the concentration of ions generated by the ion generating element 10 that generates approximately the same amount of positive ions and negative ions. The ion counter 130 can simultaneously measure positive ions (plus ions) and negative ions (negative ions). Commercially available ion counters include a type that measures positive ions and negative ions simultaneously and a type that measures non-simultaneously. In this embodiment, an ion counter (for example, model number NKMH-102 manufactured by Hokuto Electronics Co., Ltd.) capable of simultaneously measuring positive ions and negative ions is used. A voltage signal is output by the output unit 135 based on the measured ion concentration.

イオンカウンター130の出力部135は、時定数回路140を介して、オシロスコープ150に接続されている。オシロスコープ150は表示部151を含む。時定数回路140は不完全微分回路である。   The output unit 135 of the ion counter 130 is connected to the oscilloscope 150 via the time constant circuit 140. The oscilloscope 150 includes a display unit 151. The time constant circuit 140 is an incomplete differentiation circuit.

図2に示すように、ダクト110の全長Lは、この実施形態においては、600mmである。ファン120とイオン発生素子10との間の距離D1は110mmである。イオン発生素子10は、ファン120とイオンカウンター130との間に配置される。イオン発生素子10とイオンカウンター130との間の距離D2は178mmであるとする。   As shown in FIG. 2, the total length L of the duct 110 is 600 mm in this embodiment. The distance D1 between the fan 120 and the ion generating element 10 is 110 mm. The ion generating element 10 is disposed between the fan 120 and the ion counter 130. It is assumed that the distance D2 between the ion generating element 10 and the ion counter 130 is 178 mm.

イオン発生素子10は、正イオン発生部11と負イオン発生部12とを結ぶ線が、ファン120によって送出される空気の流れる方向に直交するように、ダクト110内に配置される。また、イオン発生素子10は、ダクト110内の上下方向において中央に配置される。このようにすることにより、イオン発生素子10の正イオン発生部11のプラス電極と負イオン発生部12のマイナス電極の両方に、均等に風を通過させることができる。イオンカウンター130の測定口132は、正イオン発生部11と負イオン発生部12とのどちらからも等しい距離の位置に配置されている。このようにすることにより、プラスイオンとマイナスイオンを均等に検出することができる。   The ion generating element 10 is arranged in the duct 110 so that the line connecting the positive ion generating unit 11 and the negative ion generating unit 12 is orthogonal to the direction in which the air sent out by the fan 120 flows. Further, the ion generating element 10 is disposed at the center in the vertical direction in the duct 110. By doing so, it is possible to allow the air to pass evenly through both the positive electrode of the positive ion generation unit 11 and the negative electrode of the negative ion generation unit 12 of the ion generation element 10. The measurement port 132 of the ion counter 130 is disposed at a position at an equal distance from both the positive ion generation unit 11 and the negative ion generation unit 12. By doing in this way, positive ions and negative ions can be detected equally.

イオン発生素子10が発生させる正イオンと負イオンは、自然界に存在するイオンと同様に、寿命がとても短い。そのため、イオン濃度は、イオン発生素子10の正イオン発生部11と負イオン発生部12のそれぞれの放電電極上において最も高く、正イオン発生部11と負イオン発生部12の周辺に向かって遠ざかるにつれて、イオン濃度がかなり薄くなる。このように、正負イオンには、遠くまで拡散できない特性がある。   The positive ions and negative ions generated by the ion generating element 10 have a very short life, like the ions existing in nature. Therefore, the ion concentration is highest on the respective discharge electrodes of the positive ion generation unit 11 and the negative ion generation unit 12 of the ion generation element 10, and as the distance from the positive ion generation unit 11 to the periphery of the negative ion generation unit 12 increases. , The ion concentration is considerably reduced. Thus, positive and negative ions have a characteristic that they cannot diffuse far.

そのため、イオン発生素子10から離れた位置にイオンカウンター130を置くとイオンを検出できず、一方、イオン発生素子10の近くに持っていくとイオンカウンター130の検出範囲がオーバーフローになって測定できない。この問題を解決するためファン120をダクト110の一端に取り付ける。ファン120を用いてイオン発生素子10に送風することによって、イオン発生素子10によって発生されるイオンをより遠くまで流通させることができる。   Therefore, if the ion counter 130 is placed at a position away from the ion generating element 10, ions cannot be detected. On the other hand, if the ion counter 130 is brought close to the ion generating element 10, the detection range of the ion counter 130 overflows and measurement cannot be performed. In order to solve this problem, the fan 120 is attached to one end of the duct 110. By blowing air to the ion generating element 10 using the fan 120, ions generated by the ion generating element 10 can be circulated further.

本発明者らが種々の実験を行なったところ、ファン120の風速と、イオン発生素子10とイオンカウンター130との距離を調整することによって、イオンカウンター130が測定可能な範囲内でイオン濃度を測定することができた。また、種々の実験結果を検討することによって、ファン120の噴出口においては気流の変動が大きく、検査対象のイオン発生素子10をファン120の噴出口の近傍に設置すると測定されるイオン濃度のバラつきが大きくなることがわかった。   When the inventors conducted various experiments, the ion concentration was measured within a range that the ion counter 130 could measure by adjusting the wind speed of the fan 120 and the distance between the ion generating element 10 and the ion counter 130. We were able to. In addition, by examining various experimental results, the air flow is greatly fluctuated at the outlet of the fan 120, and the variation in ion concentration measured when the ion generating element 10 to be inspected is installed in the vicinity of the outlet of the fan 120. Was found to be larger.

このことを確かめるために、本発明者らは、風速計を用いてファン120の近傍の位置(A)、ファン120とイオン発生素子10間の距離が10cmの位置(B)、ファン120とイオン発生素子10間の距離が20cmの位置(C)の3つの位置でイオン発生素子10上の風速を測定した。その結果、ファン120とイオン発生素子10間の距離を10cmほど空けた位置(B)で、気流が最も安定していることがわかった。上述のように、第1実施形態においては、ファン120とイオン発生素子10との距離D1は110mmである。   In order to confirm this, the present inventors used an anemometer to determine the position near the fan 120 (A), the position where the distance between the fan 120 and the ion generating element 10 is 10 cm (B), the fan 120 and the ion. The wind speed on the ion generating element 10 was measured at three positions (C) where the distance between the generating elements 10 was 20 cm. As a result, it was found that the airflow was most stable at the position (B) where the distance between the fan 120 and the ion generating element 10 was about 10 cm. As described above, in the first embodiment, the distance D1 between the fan 120 and the ion generating element 10 is 110 mm.

さらに、イオン発生素子10の正イオン発生部11と負イオン発生部12のそれぞれから放出される正イオンと負イオンとをバランスよく測定するためには、イオン発生素子10とイオンカウンター130との位置関係についても考慮する必要がある。   Further, in order to measure positive ions and negative ions emitted from the positive ion generator 11 and the negative ion generator 12 of the ion generator 10 in a balanced manner, the positions of the ion generator 10 and the ion counter 130 are measured. It is also necessary to consider the relationship.

イオン発生素子10とイオンカウンター130との位置関係については、次の2通りが考えられる。第1の位置関係としては、イオンカウンター130の測定口132を、イオン発生素子10に対向するように配置する。第2の位置関係としては、イオンカウンター130の測定口132を、イオン発生素子10の正イオン発生部11と負イオン発生部12とに対向する第1の位置関係から90°回転させる。   Regarding the positional relationship between the ion generating element 10 and the ion counter 130, the following two types are conceivable. As a first positional relationship, the measurement port 132 of the ion counter 130 is disposed so as to face the ion generating element 10. As the second positional relationship, the measurement port 132 of the ion counter 130 is rotated by 90 ° from the first positional relationship facing the positive ion generating unit 11 and the negative ion generating unit 12 of the ion generating element 10.

第1の位置関係になるようにイオンカウンター130とイオン発生素子10とを配置すると、ファン120から吹き出されてイオン発生素子10を通過する風は、そのまま、イオン発生素子10に対向している測定口132に正面から吹き付けられる。このように、イオンカウンター130の測定口132に正面から風が吹きつけられると、測定口132の周囲の筐体に風が当たって、気流が乱れ、測定口132に入るイオン濃度のばらつきが大きくなることがある。測定口132はイオンカウンターダクト133の入口になっており、イオンカウンターダクト133の内部にはイオン測定部134が配置されているので、測定口132に吹き付けられて乱れた気流は、イオン測定部134に正面から吹き付ける。イオン測定部134に乱れた気流が吹き付けられることによって、測定されるイオン濃度のばらつきが大きくなることがある。   When the ion counter 130 and the ion generating element 10 are arranged so as to be in the first positional relationship, the wind blown from the fan 120 and passing through the ion generating element 10 is directly measured facing the ion generating element 10. The mouth 132 is sprayed from the front. In this way, when wind is blown from the front to the measurement port 132 of the ion counter 130, the wind hits the casing around the measurement port 132, the airflow is disturbed, and the variation in the concentration of ions entering the measurement port 132 is large. May be. The measurement port 132 is an inlet of the ion counter duct 133, and the ion measurement unit 134 is arranged inside the ion counter duct 133, so that the turbulent airflow blown to the measurement port 132 is the ion measurement unit 134. Spray from the front. When the turbulent air current is blown to the ion measuring unit 134, the variation in the measured ion concentration may increase.

一方、第2の位置関係になるようにイオンカウンター130とイオン発生素子10とを配置すると、ファン120によって送出されてイオン発生素子10を通過した風は、測定口132の正面に吹きつけられない。イオン発生素子10を通過した風は、イオンカウンター130の筐体に沿って流れて、測定口132からイオンカウンターダクト133の内部に流入し、イオン測定部134でイオンが検出される。このようにすることにより、気流の乱れによる影響を低減させることができる。図1と図2に示すように、第1実施形態においては、イオン発生素子10とイオンカウンター130は第2の位置関係になるように配置されている。   On the other hand, when the ion counter 130 and the ion generating element 10 are arranged so as to be in the second positional relationship, the wind sent by the fan 120 and passing through the ion generating element 10 is not blown to the front of the measurement port 132. . The wind that has passed through the ion generating element 10 flows along the casing of the ion counter 130, flows into the ion counter duct 133 from the measurement port 132, and ions are detected by the ion measuring unit 134. By doing in this way, the influence by disturbance of an air current can be reduced. As shown in FIGS. 1 and 2, in the first embodiment, the ion generating element 10 and the ion counter 130 are arranged so as to be in the second positional relationship.

さらに、本発明者らは、イオン発生素子10とイオンカウンター130との距離についても検討した。本発明者らは、イオン発生素子10の近傍にイオンカウンター130を配置する場合(D)と、イオン発生素子10から10cm以内にイオンカウンター130を配置する場合(E)と、イオン発生素子10から20cmほど離れた位置にイオンカウンター130を配置する場合(F)との3通りの位置関係について検討した。   Furthermore, the present inventors also examined the distance between the ion generating element 10 and the ion counter 130. In the case where the ion counter 130 is disposed in the vicinity of the ion generating element 10 (D), the case where the ion counter 130 is disposed within 10 cm from the ion generating element 10 (E), and the ion generating element 10. The three positional relationships with the case (F) where the ion counter 130 is arranged at a position about 20 cm apart were examined.

イオン発生素子10とイオンカウンター130とを、上述の第2の位置関係になるように配置した上で、イオン発生素子10とイオンカウンター130との間の距離を上述の(D)〜(F)のようにする場合について検討した。まず、(D)の場合には、イオン発生素子10から発生するイオンはイオンカウンター130の測定口132と平行に、速く流れることになるので、イオンがほぼ検出されない。(E)の場合には、(D)の場合と比較すると多少改善されるが、イオンカウンター130自体が気流を乱してイオンの測定を妨害する。そのため、正イオンと負イオンのバランスが崩れてしまう。従って、この実施形態においては、上述の(F)のように、イオン発生素子10から20cmほど離れる所にイオンカウンター130を置く。イオン発生素子10とイオンカウンター130との距離がそれ以上遠くなると、イオン濃度のばらつきが大きくなってしまう。第1実施形態においては、イオン発生素子10とイオンカウンター130との間の距離D2は178mmである。   The ion generating element 10 and the ion counter 130 are arranged so as to have the above-described second positional relationship, and the distance between the ion generating element 10 and the ion counter 130 is set to the above-described (D) to (F). We examined the case of First, in the case of (D), ions generated from the ion generating element 10 flow quickly in parallel with the measurement port 132 of the ion counter 130, so that ions are hardly detected. In the case of (E), the ion counter 130 itself disturbs the air flow and disturbs the measurement of ions, although it is somewhat improved compared to the case of (D). Therefore, the balance between positive ions and negative ions is lost. Therefore, in this embodiment, the ion counter 130 is placed at a distance of about 20 cm from the ion generating element 10 as in (F) above. If the distance between the ion generating element 10 and the ion counter 130 is longer than that, the variation in ion concentration becomes large. In the first embodiment, the distance D2 between the ion generating element 10 and the ion counter 130 is 178 mm.

以上のように、ダクト110によって周囲の環境がイオン濃度に与える影響を抑制し、イオン発生素子10とイオンカウンター130との位置関係を考慮してイオン濃度のばらつきを抑えても、イオンカウンター130によって測定されるイオン濃度には数ミリ秒以内の変動がある。そこで、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度を一旦電圧信号として出力し、出力された電圧信号に時定数回路140を通過させて、電圧信号の低周波成分を取り除く。次に、低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいてイオン濃度を求めて表示する。   As described above, even if the influence of the surrounding environment on the ion concentration is suppressed by the duct 110 and the variation in the ion concentration is suppressed in consideration of the positional relationship between the ion generating element 10 and the ion counter 130, the ion counter 130 The measured ion concentration varies within a few milliseconds. Therefore, the ion concentration measured by the ion counter 130 is once output as a voltage signal, and the output voltage signal is passed through the time constant circuit 140 to remove the low frequency component of the voltage signal. Next, the ion concentration is obtained and displayed based on the voltage signal from which the low frequency component has been removed.

図3に示すように、時定数回路140は、イオンカウンター130(図1)の出力部135とオシロスコープ150との間に配置される。時定数回路140は、コンデンサ141と抵抗142とから構成されており、時定数1秒の不完全微分回路であり、RC基板として形成されている。時定数回路140は、一秒毎のデータをサンプリングする。イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度は、出力部135によって電圧信号として出力され、時定数回路140によって低周波成分を取り除かれて、オシロスコープ150に入力される。   As shown in FIG. 3, the time constant circuit 140 is disposed between the output unit 135 of the ion counter 130 (FIG. 1) and the oscilloscope 150. The time constant circuit 140 is composed of a capacitor 141 and a resistor 142, is an incomplete differentiation circuit with a time constant of 1 second, and is formed as an RC substrate. The time constant circuit 140 samples data every second. The ion concentration measured by the ion counter 130 is output as a voltage signal by the output unit 135, the low frequency component is removed by the time constant circuit 140, and input to the oscilloscope 150.

オシロスコープ150においては、時定数回路140を通過して低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいてイオン濃度が求められる。このようにして得られたイオン濃度は、オシロスコープ150の表示部151に表示される。表示部151には、イオン濃度の数値がそのまま表示されるのではなく、イオン濃度がリアルタイムに波形として表示される。このようにすることにより、イオン発生素子10の検査を行なう検査員は測定されたイオン濃度を目視で容易に判断することができる。   In the oscilloscope 150, the ion concentration is obtained based on the voltage signal that has passed through the time constant circuit 140 and from which low frequency components have been removed. The ion concentration thus obtained is displayed on the display unit 151 of the oscilloscope 150. The display unit 151 does not display the numerical value of the ion concentration as it is, but displays the ion concentration as a waveform in real time. By doing in this way, the inspector who inspects the ion generating element 10 can easily determine the measured ion concentration visually.

このように構成される検査装置1を用いて、イオン発生素子10を検査する方法について説明する。   A method for inspecting the ion generating element 10 using the inspection apparatus 1 configured as described above will be described.

<イオン発生素子の検査実施前の確認>
イオンの濃度は、空気の温度、湿度によって大きな影響を受ける。そこで、検査装置1を用いてイオン発生素子10の検査を行なうときには、事前確認が必要である。まず、イオン発生素子10を検査する場所の温度と湿度を所定の条件に調整する。例えば、温度を30±2℃、湿度を40±2%以内に調整する。また、イオン発生素子10によって発生されるイオンの風路となるダクト110とイオンカウンター130とがアースと接続しているかどうかを確認する。さらに、ファン120による風速が一定になっていることを確認する。次に、イオン濃度を適切に測定できるように、イオンカウンター130のレンジを設定する。最後に、オシロスコープ150の縦軸(イオン濃度)と横軸(時間)とを適切なレンジに設定する。
<Confirmation before ion generator inspection>
The concentration of ions is greatly affected by the temperature and humidity of the air. Therefore, prior inspection is required when the ion generating element 10 is inspected using the inspection apparatus 1. First, the temperature and humidity of the place where the ion generating element 10 is inspected are adjusted to predetermined conditions. For example, the temperature is adjusted to 30 ± 2 ° C. and the humidity is adjusted to 40 ± 2%. Further, it is confirmed whether or not the duct 110 and the ion counter 130 serving as an air path for ions generated by the ion generating element 10 are connected to the ground. Further, it is confirmed that the wind speed by the fan 120 is constant. Next, the range of the ion counter 130 is set so that the ion concentration can be measured appropriately. Finally, the vertical axis (ion concentration) and horizontal axis (time) of the oscilloscope 150 are set to appropriate ranges.

<良品基準のイオン濃度の確認>
次に、良品基準となるイオン発生素子が発生するイオンの濃度を、検査装置1で確認する。良品基準のイオン発生素子は、予め決められている。
<Confirmation of good product standard ion concentration>
Next, the inspection apparatus 1 confirms the concentration of ions generated by the ion generating element that is a non-defective product standard. The non-defective product ion generating element is determined in advance.

良品基準のイオン発生素子が発生するイオンの濃度を検査装置1で確認する理由は、2つある。第1の理由としては、検査装置1による検査の実施前の確認で調整された温度と湿度においても、良品基準のイオン発生素子が所定の濃度のイオンを発生するかどうかを確認するためである。もし、この温度・湿度の環境下において、良品基準のイオン発生素子が所定の濃度のイオンを発生させない場合には、調整された温度、湿度、風速が、条件を満たしていない可能性が高いことがわかる。   There are two reasons for checking the concentration of ions generated by the non-defective product ion generating element with the inspection apparatus 1. The first reason is to check whether or not the non-defective standard ion generating element generates a predetermined concentration of ions even at the temperature and humidity adjusted in the confirmation before the inspection by the inspection apparatus 1. . If the non-defective standard ion generator does not generate ions of the specified concentration in this temperature / humidity environment, the adjusted temperature, humidity, and wind speed are likely not to satisfy the conditions. I understand.

第2の理由としては、良品基準のイオン発生素子が発生するプラスイオンとマイナスイオンの濃度をオシロスコープ150に出力して、この出力を基準としてオシロスコープ150に記録する。このようにすることによって、検査対象となるイオン発生素子10のイオン濃度の波形と、記録された良品基準のイオン発生素子のイオン濃度の波形とを、オシロスコープ150の表示部151上で比較することができるので、イオン発生素子10の良否を、目視によって容易に判定することができる。   The second reason is that the positive ion concentration and negative ion concentration generated by the non-defective standard ion generating element are output to the oscilloscope 150 and recorded on the oscilloscope 150 based on this output. In this way, the ion concentration waveform of the ion generating element 10 to be inspected is compared with the recorded ion concentration waveform of the non-defective reference ion generating element on the display unit 151 of the oscilloscope 150. Therefore, the quality of the ion generating element 10 can be easily determined visually.

イオン発生素子10の量産工程においては、イオン発生素子10の検査、すなわち、イオン発生素子10によって発生されるイオンの濃度の測定が正確であることが前提となる。しかし、正確さだけでなく、短時間でイオン発生素子10の検査を行うことも、量産工程において検査を実施するために必要とされる。   In the mass production process of the ion generating element 10, it is assumed that the inspection of the ion generating element 10, that is, the measurement of the concentration of ions generated by the ion generating element 10 is accurate. However, not only the accuracy but also the inspection of the ion generating element 10 in a short time is required for performing the inspection in the mass production process.

そこで、本発明の検査装置1においては、イオン発生素子10によって発生されるイオン濃度の絶対値を正確に測定するような性能評価を目的とすることではなく、検査対象のイオン発生素子10が発生するイオン濃度が所定濃度に達しているか否かを検査するために用いられる。   Therefore, in the inspection apparatus 1 of the present invention, the ion generation element 10 to be inspected is generated, not for the purpose of performance evaluation that accurately measures the absolute value of the ion concentration generated by the ion generation element 10. This is used to check whether or not the ion concentration to be reached has reached a predetermined concentration.

通常、イオン発生素子10の性能評価試験の場合、高精度のイオンカウンター(プラスイオンとマイナスイオンの非同時測定タイプ)を用いて、20〜30分間でイオン濃度を測定する。測定したイオン濃度を専用のソフトでデータ処理を行い、安定した後のイオン濃度(立ち上がりを除く)の平均からイオン濃度を算出する。この方法では、イオン濃度の測定からイオン発生素子10の良否検査判定まで、イオン発生素子一個当たりの検査時間が長すぎて、量産工程に適用できない。   Usually, in the performance evaluation test of the ion generating element 10, the ion concentration is measured for 20 to 30 minutes using a high-accuracy ion counter (non-simultaneous measurement type of positive ions and negative ions). Data processing is performed on the measured ion concentration with dedicated software, and the ion concentration is calculated from the average of the ion concentration (excluding the rise) after stabilization. In this method, from the measurement of the ion concentration to the pass / fail inspection determination of the ion generating element 10, the inspection time per ion generating element is too long and cannot be applied to the mass production process.

従って、この実施形態においては、まず、高精度イオンカウンターを用いて、所定のイオン濃度のイオンを発生させる良品基準のイオン発生素子を選定しておく。次に、この良品基準のイオン発生素子を、検査装置1で検査して、オシロスコープ150にイオン濃度の波形を記録する。このようにすることにより、高精度イオンカウンターと検査用イオンカウンターの相関性の確認ができる。その後、検査装置1を用いて、検査対象の他のイオン発生素子10を検査する。このようにすることにより、一つ一つのイオン発生素子10の検査に高精度のイオンカウンターを用いる必要がなくなり、一つ一つのイオン発生素子10を短時間で検査できる。   Therefore, in this embodiment, first, a non-defective ion generating element that generates ions having a predetermined ion concentration is selected using a high-precision ion counter. Next, this non-defective standard ion generating element is inspected by the inspection apparatus 1 and an ion concentration waveform is recorded on the oscilloscope 150. By doing so, the correlation between the high-precision ion counter and the inspection ion counter can be confirmed. Thereafter, the inspection apparatus 1 is used to inspect other ion generating elements 10 to be inspected. By doing in this way, it becomes unnecessary to use a highly accurate ion counter for the inspection of each ion generating element 10, and each ion generating element 10 can be inspected in a short time.

<イオン濃度検査の実施>
以上の確認ができたら、イオン発生素子10の検査を行なう。検査対象のイオン発生素子10をダクト110内の所定の位置に設置してから、イオン発生素子10に通電する。通電開始から約10秒間は、正イオンと負イオンの発生量が同時に立ち上がる期間であるので、この期間には、イオン発生素子10の良否判定を行わない。通電開始から約10秒以上経過すれば、イオン発生素子10によって発生されるイオンの濃度が安定する。そこで、通電開始から10秒〜20秒間の期間内にイオン発生素子10の良否の判断を行なう。
<Ion concentration test>
When the above confirmation is completed, the ion generating element 10 is inspected. After the ion generating element 10 to be inspected is installed at a predetermined position in the duct 110, the ion generating element 10 is energized. Since about 10 seconds from the start of energization is a period in which the generation amount of positive ions and negative ions rises simultaneously, the quality determination of the ion generating element 10 is not performed during this period. If about 10 seconds or more have elapsed from the start of energization, the concentration of ions generated by the ion generating element 10 is stabilized. Therefore, the quality of the ion generating element 10 is determined within a period of 10 to 20 seconds from the start of energization.

まず、第1の行程として、イオン発生素子10によって発生される正イオンと負イオンとの濃度を、イオンカウンター130が測定する。   First, as a first step, the ion counter 130 measures the concentration of positive ions and negative ions generated by the ion generating element 10.

次に、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度を、そのままイオンカウンター130のイオンカウンター表示部131に表示する。また、第2の行程として、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度を電圧信号として出力する。第3の行程として、出力された電圧信号を時定数回路140に通過させる。時定数回路140を通過した電圧信号はオシロスコープ150に入力される。オシロスコープ150では、入力された電圧信号に基づいてイオン濃度を求めて、表示部151に表示する。なお、イオンカウンター表示部131に表示されるイオン濃度は、時定数回路140を通過していない。   Next, the ion concentration measured by the ion counter 130 is displayed on the ion counter display unit 131 of the ion counter 130 as it is. In the second step, the ion concentration measured by the ion counter 130 is output as a voltage signal. In the third step, the output voltage signal is passed through the time constant circuit 140. The voltage signal that has passed through the time constant circuit 140 is input to the oscilloscope 150. The oscilloscope 150 obtains the ion concentration based on the input voltage signal and displays it on the display unit 151. Note that the ion concentration displayed on the ion counter display unit 131 does not pass through the time constant circuit 140.

図4に示すように、オシロスコープ150(図1)の表示部151の縦軸(イオン濃度)と横軸(時間)に適切なレンジを設定すると、オシロスコープ150(図1)に入力された電圧信号に基づいて求められたイオン濃度、すなわち、時定数回路140を通過して低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいて求められたイオン濃度がリアルタイムに表示画面に現わされる。   As shown in FIG. 4, when an appropriate range is set on the vertical axis (ion concentration) and the horizontal axis (time) of the display unit 151 of the oscilloscope 150 (FIG. 1), the voltage signal input to the oscilloscope 150 (FIG. 1). , That is, the ion concentration obtained on the basis of the voltage signal from which the low-frequency component has been removed through the time constant circuit 140 appears on the display screen in real time.

表示部151には、良品基準のイオン濃度の波形152と検査対象のイオン発生素子10が発生したイオンの濃度の波形153が表示される。良品基準のイオン濃度の波形152は、予めオシロスコープ150(図1)に記録された波形である。検査対象のイオン発生素子10が発生したイオンの濃度の波形153は、イオンカウンター130で測定され、電圧信号として出力され、時定数回路140を経由させて低周波成分を取り除かれた電圧に基づく波形である。   The display unit 151 displays a non-defective standard ion concentration waveform 152 and an ion concentration waveform 153 generated by the ion generation element 10 to be inspected. A non-defective product-based ion concentration waveform 152 is a waveform recorded in advance on the oscilloscope 150 (FIG. 1). A waveform 153 of the concentration of ions generated by the ion generating element 10 to be inspected is measured by the ion counter 130, output as a voltage signal, and a waveform based on the voltage from which the low frequency component is removed via the time constant circuit 140. It is.

表示部151には、良品基準のイオン濃度の波形152に基づいて、2本の基準線154が引かれている。検査対象のイオン発生素子10のイオン濃度の波形153が、良品基準のイオン濃度の波形152と基準線154と比べて、同等レベルまたは外側にあれば、検査対象のイオン発生素子10のイオン発生量は所定のイオン濃度に達成している。このとき、このイオン発生素子10は良品であると判断される。一方、検査対象のイオン発生素子10のイオン濃度の波形153が、良品基準のイオン濃度の波形152と基準線154の内側にあれば、検査対象のイオン発生素子10のイオン発生量は、所定のイオン濃度に満たない。この場合には、このイオン発生素子10は不良品と判断される。   Two reference lines 154 are drawn on the display unit 151 based on the waveform 152 of the non-defective standard ion concentration. If the ion concentration waveform 153 of the ion generating element 10 to be inspected is at the same level or outside of the non-defective standard ion concentration waveform 152 and the reference line 154, the ion generation amount of the ion generating element 10 to be inspected Achieves a predetermined ion concentration. At this time, the ion generating element 10 is determined to be a good product. On the other hand, if the ion concentration waveform 153 of the ion generating element 10 to be inspected is inside the non-defective standard ion concentration waveform 152 and the reference line 154, the ion generation amount of the ion generating element 10 to be inspected is a predetermined amount. Less than ion concentration. In this case, the ion generating element 10 is determined as a defective product.

このようにして、プラスイオンとマイナスイオンを略同量、発生するイオン発生素子10の検査を短時間で高精度に行うことができる。   In this way, inspection of the ion generating element 10 that generates substantially the same amount of positive ions and negative ions can be performed with high accuracy in a short time.

このように、検査装置1では、イオン発生素子10の量産工程において、イオン発生素子10が発生させるイオンの濃度を短時間で高精度に測定することによって、イオン発生素子10の検査を行う。検査装置1は、イオン発生素子10の量産工程における検査を目的とするものであって、イオン発生素子10が発生させるイオン濃度の絶対値を測定または評価するための装置ではない。   As described above, the inspection apparatus 1 inspects the ion generating element 10 by measuring the concentration of ions generated by the ion generating element 10 with high accuracy in a short time in the mass production process of the ion generating element 10. The inspection apparatus 1 is intended for inspection in the mass production process of the ion generation element 10 and is not an apparatus for measuring or evaluating the absolute value of the ion concentration generated by the ion generation element 10.

以上のように、第1実施形態のイオン発生素子10の検査装置1は、出力部135を含むイオンカウンター130と、時定数回路140と、表示部151とを備える。イオンカウンター130は、イオン発生素子10によって発生されるイオンの濃度を測定する。出力部135は、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度に基づいて電圧信号を出力する。時定数回路140は、出力部135によって出力される電圧信号を通過させる。表示部151は、時定数回路140を通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示する。   As described above, the inspection apparatus 1 for the ion generating element 10 according to the first embodiment includes the ion counter 130 including the output unit 135, the time constant circuit 140, and the display unit 151. The ion counter 130 measures the concentration of ions generated by the ion generating element 10. The output unit 135 outputs a voltage signal based on the ion concentration measured by the ion counter 130. The time constant circuit 140 passes the voltage signal output by the output unit 135. The display unit 151 displays the ion concentration based on the voltage signal that has passed through the time constant circuit 140.

イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度は、出力部135によって電圧信号として出力される。イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度は周囲の環境の影響を受けて絶えず変化するので、出力部135によって出力される電圧信号も絶えず変化する。出力部135によって出力される電圧信号に時定数回路140を通過させることによって、電圧信号の低周波成分が取り除かれる。このようにして、イオンカウンター130の周囲の環境がイオン濃度に与える影響を取り除くことができる。次に、この電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部151に表示する。   The ion concentration measured by the ion counter 130 is output as a voltage signal by the output unit 135. Since the ion concentration measured by the ion counter 130 constantly changes under the influence of the surrounding environment, the voltage signal output by the output unit 135 also changes constantly. By passing the voltage signal output by the output unit 135 through the time constant circuit 140, the low frequency component of the voltage signal is removed. In this way, the influence of the environment around the ion counter 130 on the ion concentration can be removed. Next, the ion concentration is displayed on the display unit 151 based on the voltage signal.

イオン発生素子10の検査を行なう検査員は、表示部151の表示を観察して、イオン発生素子10が所定の量の正イオンと負イオンとを発生させているかどうかを判断する。表示部151に表示されるイオン濃度のばらつきは、イオンカウンター130によって測定されるイオン濃度のばらつきよりも小さいので、イオン発生素子10の検査を行なう検査員は、イオンカウンター130によって測定されるイオン濃度をそのまま表示する場合と比べて比較的短時間、表示部151を観察することによって、イオン発生素子10の検査を行うことができる。また、絶えず変化するイオン濃度をそのまま表示して、所定の量の正負のイオン量が測定されているかどうかなどを読み取る場合と比較して、精度よく判断することができる。   An inspector who inspects the ion generating element 10 observes the display on the display unit 151 to determine whether the ion generating element 10 generates a predetermined amount of positive ions and negative ions. Since the variation in the ion concentration displayed on the display unit 151 is smaller than the variation in the ion concentration measured by the ion counter 130, the inspector who inspects the ion generating element 10 has the ion concentration measured by the ion counter 130. By observing the display unit 151 for a relatively short time compared with the case of displaying as it is, the ion generating element 10 can be inspected. In addition, it is possible to judge with higher accuracy compared to the case where the ion concentration that changes constantly is displayed as it is and whether or not a predetermined amount of positive and negative ions is measured.

このようにすることにより、短時間で高精度にイオン発生素子10の検査を行なうことが可能なイオン発生素子10の検査装置1を提供することができる。   By doing in this way, the test | inspection apparatus 1 of the ion generating element 10 which can test | inspect the ion generating element 10 with high precision in a short time can be provided.

また、イオン発生素子10の検査装置1は、イオン発生素子10によって発生されるイオンを流通させるダクト110と、ダクト110内に空気を送出するためのファン120とを備える。イオンカウンター130は、ダクト110内に配置されている。   The inspection apparatus 1 for the ion generating element 10 includes a duct 110 for circulating ions generated by the ion generating element 10 and a fan 120 for sending air into the duct 110. The ion counter 130 is disposed in the duct 110.

ダクト110内にイオンカウンター130を配置することによって、風速、温度、湿度などの周囲環境がイオン濃度に及ぼす影響を低減することができる。また、ダクト110内に空気を送出するファン120を備えることによって、イオン発生素子10によって発生されたイオンがダクト110内で滞留せずに、流通しやすいようにすることができる。このようにすることにより、より短時間で、より高精度に、イオン発生素子10の検査を行うことが可能なイオン発生素子10の検査装置1を提供することができる。   By disposing the ion counter 130 in the duct 110, the influence of the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity on the ion concentration can be reduced. In addition, by providing the fan 120 for sending air into the duct 110, the ions generated by the ion generating element 10 can be easily circulated without staying in the duct 110. By doing in this way, the test | inspection apparatus 1 of the ion generating element 10 which can test | inspect the ion generating element 10 in a shorter time and with higher precision can be provided.

また、第1実施形態のイオン発生素子10の検査方法は、第1の行程と、第2の行程と、第3の行程とを備える。第1の行程は、イオン発生素子10によって発生されるイオンの濃度をイオンカウンター130によって測定する。第2の行程は、第1の行程においてイオンカウンター130によって測定されたイオン濃度を電圧信号として出力する。第3の行程は、第2の行程において出力された電圧信号に時定数回路140を通過させる。この発明に従ったイオン発生素子10の検査方法においては、第3の行程において時定数回路140を通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部151に表示することによってイオン発生素子10を検査する。   Moreover, the inspection method of the ion generating element 10 of 1st Embodiment is provided with the 1st process, the 2nd process, and the 3rd process. In the first step, the ion counter 130 measures the concentration of ions generated by the ion generating element 10. In the second step, the ion concentration measured by the ion counter 130 in the first step is output as a voltage signal. In the third step, the time constant circuit 140 is passed through the voltage signal output in the second step. In the inspection method for the ion generating element 10 according to the present invention, the ion generating element 10 is inspected by displaying the ion concentration on the display unit 151 based on the voltage signal that has passed through the time constant circuit 140 in the third step. .

第1の行程においてイオンカウンター130によって測定されたイオン濃度は、第2の行程において電圧信号として出力される。イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度は周囲の環境の影響を受けて絶えず変化するので、第2の行程において出力される電圧信号も絶えず変化する。第2の行程において出力される電圧信号に、第3の行程において時定数回路140を通過させることによって、電圧信号の低周波成分が取り除かれる。このようにして、イオンカウンター130の周囲の環境がイオン濃度に与える影響を取り除くことができる。次に、この電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部151に表示する。   The ion concentration measured by the ion counter 130 in the first stroke is output as a voltage signal in the second stroke. Since the ion concentration measured by the ion counter 130 changes constantly under the influence of the surrounding environment, the voltage signal output in the second step also changes constantly. By passing the voltage signal output in the second stroke through the time constant circuit 140 in the third stroke, the low frequency component of the voltage signal is removed. In this way, the influence of the environment around the ion counter 130 on the ion concentration can be removed. Next, the ion concentration is displayed on the display unit 151 based on the voltage signal.

イオン発生素子10の検査を行なう検査員は、表示部151の表示を観察して、イオン発生素子10が所定の量の正イオンと負イオンとを発生させているかどうかを判断する。表示部151に表示されるイオン濃度のばらつきは、第1の行程においてイオンカウンター130によって測定されるイオン濃度のばらつきよりも小さいので、イオン発生素子10の検査を行なう検査員は、イオンカウンター130によって測定されるイオン濃度をそのまま表示する場合と比べて比較的短時間、表示部151を観察することによって、イオン発生素子10の検査を行うことができる。また、絶えず変化するイオン濃度をそのまま表示して、所定の量の正負のイオン量が測定されているかどうかなどを読み取る場合と比較して、精度よく判断することができる。   An inspector who inspects the ion generating element 10 observes the display on the display unit 151 to determine whether the ion generating element 10 generates a predetermined amount of positive ions and negative ions. Since the variation of the ion concentration displayed on the display unit 151 is smaller than the variation of the ion concentration measured by the ion counter 130 in the first step, the inspector who performs the inspection of the ion generating element 10 uses the ion counter 130. The ion generating element 10 can be inspected by observing the display unit 151 for a relatively short time compared to the case where the measured ion concentration is displayed as it is. In addition, it is possible to judge with higher accuracy compared to the case where the ion concentration that changes constantly is displayed as it is and whether or not a predetermined amount of positive and negative ions is measured.

このようにすることにより、短時間で高精度にイオン発生素子10の検査を行なうことが可能なイオン発生素子10の検査方法を提供することができる。   By doing in this way, the inspection method of the ion generating element 10 which can test | inspect the ion generating element 10 with high precision in a short time can be provided.

また、イオン発生素子10の検査方法は、第1の行程においては、イオン発生素子10によって発生されるイオンをダクト110に流通させ、ダクト110内においてイオンカウンター130によってイオンの濃度を測定する。   Further, in the inspection method of the ion generating element 10, in the first step, ions generated by the ion generating element 10 are circulated through the duct 110, and the ion concentration is measured by the ion counter 130 in the duct 110.

イオン発生素子10によって発生されるイオンをダクト110内に流通させることによって、風速、温度、湿度などの周囲環境がイオン濃度に及ぼす影響を低減することができる。このようにすることにより、より短時間で、より高精度に、イオン発生素子10の検査を行うことが可能なイオン発生素子10の検査方法を提供することができる。   By causing the ions generated by the ion generating element 10 to flow through the duct 110, the influence of the surrounding environment such as wind speed, temperature, and humidity on the ion concentration can be reduced. By doing in this way, the test | inspection method of the ion generating element 10 which can test | inspect the ion generating element 10 in a shorter time and with higher precision can be provided.

(第2実施形態)
図5に示すように、第2実施形態の検査装置2は、第1実施形態の検査装置1とはダクト210の形状が異なる。検査装置2は、イオン発生素子10の生産ライン260上で使用される。イオン発生素子10は、生産ライン260上を矢印Pの方向に移動させられて、検査装置2で順に検査される。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 5, the inspection device 2 of the second embodiment is different from the inspection device 1 of the first embodiment in the shape of the duct 210. The inspection apparatus 2 is used on the production line 260 of the ion generating element 10. The ion generating element 10 is moved in the direction of the arrow P on the production line 260 and inspected in order by the inspection apparatus 2.

検査装置2の内蔵ファン220は検査装置1のファン120と同様に構成されている。図5においてダクト210の右側の端部には、送風部として内蔵ファン220が取り付けられ、吸込口214が形成されている。内蔵ファン220が駆動されると、吸込口214からダクト210の外部の空気が取り込まれて、ダクト210内において、図中に二点鎖線の矢印で示す方向に空気が流通する。   The built-in fan 220 of the inspection device 2 is configured in the same manner as the fan 120 of the inspection device 1. In FIG. 5, a built-in fan 220 is attached to the right end of the duct 210 as a blower, and a suction port 214 is formed. When the built-in fan 220 is driven, air outside the duct 210 is taken in from the suction port 214, and the air flows in the duct 210 in a direction indicated by a two-dot chain line arrow in the drawing.

検査装置2のイオンカウンター130、時定数回路140、オシロスコープ150は第1実施形態の検査装置1に用いられているものと同様に構成されている。   The ion counter 130, the time constant circuit 140, and the oscilloscope 150 of the inspection apparatus 2 are configured similarly to those used in the inspection apparatus 1 of the first embodiment.

イオン発生素子10は、回路基板のチェックを終えた後で基板をケースに取り付けられ、高圧部を樹脂で埋め込み処理されて完成される。図5には、イオン発生素子10の完成後、通電状態のまま生産ライン260上で実動作のチェックを行う場合の例を示す。   The ion generating element 10 is completed by attaching the board to the case after the check of the circuit board and embedding the high voltage portion with resin. FIG. 5 shows an example of checking the actual operation on the production line 260 in the energized state after the ion generating element 10 is completed.

図6に示すように、ダクト210は直方体形状に形成されている。ダクト210は、第1実施形態のダクト110(図1)と同様に、鉄製である。ダクト210の側面には、イオンカウンター130を挿入するイオンカウンター挿入口211が開口されている。また、図6の(B)に示すように、ダクト210の下面には、生産ライン260(図5)上のイオン発生素子10(図5)が対向する位置に、イオン発生素子用開口部215が形成されている。   As shown in FIG. 6, the duct 210 is formed in a rectangular parallelepiped shape. The duct 210 is made of iron, similar to the duct 110 (FIG. 1) of the first embodiment. An ion counter insertion port 211 into which the ion counter 130 is inserted is opened on the side surface of the duct 210. Further, as shown in FIG. 6B, the ion generating element opening 215 is located on the lower surface of the duct 210 at a position facing the ion generating element 10 (FIG. 5) on the production line 260 (FIG. 5). Is formed.

イオン発生素子10が生産ライン260上を矢印Pの方向に移動されて、検査装置2のイオン発生素子用開口部215に対向する位置にくると、イオン発生素子10と、内蔵ファン220と、イオンカウンター130との位置関係は、第1実施形態と同様になる。   When the ion generating element 10 is moved in the direction of arrow P on the production line 260 and comes to a position facing the ion generating element opening 215 of the inspection apparatus 2, the ion generating element 10, the built-in fan 220, and the ion The positional relationship with the counter 130 is the same as in the first embodiment.

生産ライン260上でイオン発生素子10の検査が行なわれる場合には、ダクト210によって検査対象のイオン発生素子10が覆われても、第1実施形態の場合と比較して、イオン発生素子10の周囲の環境が変動しやすいと考えられる。そこで、本発明の検査装置2において、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度に基づいて電圧信号を出力し、出力された電圧信号に時定数回路140を通過させて低周波成分を取り除き、低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいてイオン濃度をオシロスコープ150に表示して観察することは、短時間で高精度にイオン発生素子10を検査するために非常に有効である。なお、この実施形態においては説明のため図5に検査装置2を1台、示しているが、生産台数に合わせて複数台の検査装置2が用意されてもよい。   When the ion generating element 10 is inspected on the production line 260, even if the ion generating element 10 to be inspected is covered by the duct 210, the ion generating element 10 is compared with the case of the first embodiment. The surrounding environment is likely to fluctuate. Therefore, in the inspection apparatus 2 of the present invention, a voltage signal is output based on the ion concentration measured by the ion counter 130, and the output voltage signal is passed through the time constant circuit 140 to remove low frequency components, thereby reducing the low frequency. Displaying and observing the ion concentration on the oscilloscope 150 based on the voltage signal from which the component has been removed is very effective for inspecting the ion generating element 10 with high accuracy in a short time. In this embodiment, one inspection apparatus 2 is shown in FIG. 5 for explanation, but a plurality of inspection apparatuses 2 may be prepared in accordance with the number of production.

第2実施形態の検査装置2のその他の構成と効果は、第1実施形態の検査装置1と同様である。   Other configurations and effects of the inspection apparatus 2 of the second embodiment are the same as those of the inspection apparatus 1 of the first embodiment.

(第3実施形態)
図7に示すように、第3実施形態のイオン発生素子10の検査装置3は、イオン発生素子10の生産台数が多い場合に、生産ライン360上においてイオン発生素子10どうしの間隔が狭くなっているときに用いられる。イオン発生素子10は、生産ライン360上を矢印Qの方向に移動させられる。イオン発生素子10は、検査装置3の少し手前から通電状態のまま生産ライン360上を流れる。第3実施形態の検査装置3は、第1実施形態の検査装置1(図1)と第2実施形態の検査装置2(図5)とは、ダクト310の形状が異なる。
(Third embodiment)
As shown in FIG. 7, the inspection apparatus 3 for the ion generating element 10 according to the third embodiment reduces the interval between the ion generating elements 10 on the production line 360 when the number of ion generating elements 10 produced is large. Used when The ion generating element 10 is moved on the production line 360 in the direction of arrow Q. The ion generating element 10 flows on the production line 360 while being energized slightly before the inspection apparatus 3. In the inspection device 3 of the third embodiment, the shape of the duct 310 is different between the inspection device 1 (FIG. 1) of the first embodiment and the inspection device 2 (FIG. 5) of the second embodiment.

図8に示すように、検査装置3のダクト310は、上下方向に長い直方体形状に形成されている。ダクト310において対向する2つの側面のそれぞれには、ファン320が合計2つ、設置されている。   As shown in FIG. 8, the duct 310 of the inspection device 3 is formed in a rectangular parallelepiped shape that is long in the vertical direction. A total of two fans 320 are installed on each of two opposing side surfaces of the duct 310.

ダクト310の下面にはイオン発生素子用開口部315が形成され、ダクト310の上面には吹出口318が形成されている。また、ダクト310の内部には、補助ダクト316が形成されている。補助ダクト316には、内側下部において開口部317が形成されている。補助ダクト316とイオン発生素子用開口部315との上方には、イオンカウンター130が設置されている。   An ion generating element opening 315 is formed on the lower surface of the duct 310, and an air outlet 318 is formed on the upper surface of the duct 310. An auxiliary duct 316 is formed inside the duct 310. An opening 317 is formed in the auxiliary duct 316 at the inner lower portion. An ion counter 130 is installed above the auxiliary duct 316 and the ion generating element opening 315.

ファン320が駆動されると、ダクト310の外部の空気が補助ダクト316内に取り込まれる。補助ダクト316内に取り込まれた空気は、開口部317を通って、イオン発生素子用開口部315に吹き出す。イオン発生素子用開口部315に吹き出した空気は、イオン発生素子10によって発生される正負のイオンを含み、ダクト310の内壁に沿って上昇する。ダクト310の内壁に沿って上昇した空気に含まれる正負のイオンは、イオンカウンター130によって測定される。イオンカウンター130を通過した空気は、ダクト310の上面に形成されている吹出口318からダクト310の外部に吹き出す。   When the fan 320 is driven, air outside the duct 310 is taken into the auxiliary duct 316. The air taken into the auxiliary duct 316 passes through the opening 317 and blows out to the ion generating element opening 315. The air blown out to the ion generating element opening 315 includes positive and negative ions generated by the ion generating element 10 and rises along the inner wall of the duct 310. Positive and negative ions contained in the air rising along the inner wall of the duct 310 are measured by the ion counter 130. The air that has passed through the ion counter 130 is blown out of the duct 310 from an outlet 318 formed on the upper surface of the duct 310.

イオンカウンター130によって測定された正負のイオンの濃度は、イオンカウンター130のイオンカウンター表示部131に表示される。また、第1実施形態と同様に、時定数回路140(図7)によって低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいたイオン濃度がオシロスコープ150(図7)に表示される。   The positive and negative ion concentrations measured by the ion counter 130 are displayed on the ion counter display unit 131 of the ion counter 130. Similarly to the first embodiment, the oscilloscope 150 (FIG. 7) displays the ion concentration based on the voltage signal from which the low frequency component has been removed by the time constant circuit 140 (FIG. 7).

第3実施形態の検査装置3においては、第1実施形態の検査装置1や第2実施形態の検査装置2と比較して、気流が複雑になる。そのため、検査装置3において、イオンカウンター130によって測定されたイオン濃度に基づいて電圧信号を出力し、出力された電圧信号に時定数回路140を通過させて低周波成分を取り除き、低周波成分を取り除かれた電圧信号に基づいてイオン濃度をオシロスコープ150に表示して観察することは、短時間で高精度にイオン発生素子10を検査するために非常に有効である。なお、この実施形態においては、説明のため図7に検査装置3を1台、示しているが、生産台数に合わせて複数台の検査装置3が用意されてもよい。   In the inspection device 3 of the third embodiment, the airflow is complicated as compared with the inspection device 1 of the first embodiment and the inspection device 2 of the second embodiment. Therefore, the inspection apparatus 3 outputs a voltage signal based on the ion concentration measured by the ion counter 130, passes the output voltage signal through the time constant circuit 140, removes the low frequency component, and removes the low frequency component. Displaying and observing the ion concentration on the oscilloscope 150 based on the voltage signal is very effective for inspecting the ion generating element 10 in a short time with high accuracy. In this embodiment, one inspection device 3 is shown in FIG. 7 for explanation, but a plurality of inspection devices 3 may be prepared in accordance with the number of production.

第3実施形態の検査装置3のその他の構成と効果は、第1実施形態の検査装置1と同様である。   Other configurations and effects of the inspection apparatus 3 of the third embodiment are the same as those of the inspection apparatus 1 of the first embodiment.

以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。   The embodiment disclosed above should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the scope of claims, and includes all modifications and variations within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

本発明のイオン発生素子の検査装置と検査方法によれば、イオン発生素子を短時間で高精度に検査することができる。特に、正イオン(プラスイオン)と負イオン(マイナスイオン)を略同量に発生するイオン発生素子を短時間で高精度に検査することができる。   According to the ion generating element inspection apparatus and the inspection method of the present invention, the ion generating element can be inspected with high accuracy in a short time. In particular, an ion generating element that generates substantially the same amount of positive ions (plus ions) and negative ions (minus ions) can be inspected with high accuracy in a short time.

1,2,3:検査装置、10:イオン発生素子、110,210,310:ダクト、120:ファン、130:イオンカウンター、135:出力部、140:時定数回路、151:表示部、220:内蔵ファン、320:ファン。   1, 2, 3: Inspection device, 10: Ion generating element, 110, 210, 310: Duct, 120: Fan, 130: Ion counter, 135: Output unit, 140: Time constant circuit, 151: Display unit, 220: Built-in fan, 320: fan.

Claims (4)

イオン発生素子によって発生されるイオンの濃度を測定するイオン濃度測定装置を備え、
前記イオン濃度測定装置は、前記イオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度に基づいて電圧信号を出力する出力部を含み、
前記出力部によって出力される電圧信号を通過させるハイパスフィルタと、
前記ハイパスフィルタを通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示する表示部とをさらに備える、イオン発生素子の検査装置。
An ion concentration measuring device for measuring the concentration of ions generated by the ion generating element;
The ion concentration measuring device includes an output unit that outputs a voltage signal based on the ion concentration measured by the ion concentration measuring device,
A high-pass filter that passes the voltage signal output by the output unit;
An inspection device for an ion generating element, further comprising: a display unit that displays an ion concentration based on a voltage signal that has passed through the high-pass filter.
イオン発生素子によって発生されるイオンを流通させる風路部と、
前記風路部内に空気を送出するための送風部とを備え、
前記イオン濃度測定装置は、前記風路部内に配置されている、請求項1に記載のイオン発生素子の検査装置。
An air passage portion for circulating ions generated by the ion generating element;
A blowing section for sending air into the air passage section,
The said ion concentration measuring apparatus is an inspection apparatus of the ion generating element of Claim 1 arrange | positioned in the said air path part.
イオン発生素子によって発生されるイオンの濃度をイオン濃度測定装置によって測定する第1の行程と、
前記第1の行程においてイオン濃度測定装置によって測定されたイオン濃度を電圧信号として出力する第2の行程と、
前記第2の行程において出力された電圧信号にハイパスフィルタを通過させる第3の行程とを備え、
前記第3の行程においてハイパスフィルタを通過した電圧信号に基づいてイオン濃度を表示部に表示することによってイオン発生素子を検査する、イオン発生素子の検査方法。
A first step of measuring the concentration of ions generated by the ion generating element with an ion concentration measuring device;
A second step of outputting the ion concentration measured by the ion concentration measuring device in the first step as a voltage signal;
A third step of allowing the voltage signal output in the second step to pass through a high-pass filter,
A method for inspecting an ion generating element, wherein the ion generating element is inspected by displaying an ion concentration on a display unit based on a voltage signal that has passed through a high-pass filter in the third step.
前記第1の行程においては、イオン発生素子によって発生されるイオンを風路部に流通させ、
前記風路部内においてイオン濃度測定装置によってイオンの濃度を測定する、請求項3に記載のイオン発生素子の検査方法。
In the first step, the ions generated by the ion generating element are circulated through the air passage part,
The inspection method of the ion generating element of Claim 3 which measures the density | concentration of ion in the said air path part with an ion concentration measuring apparatus.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113964656A (en) * 2021-10-14 2022-01-21 青岛海信日立空调系统有限公司 Ion generator and concentration detection device

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