JP2011008888A - Memory device testing device - Google Patents

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Tetsuji Kojima
哲治 小嶋
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten total testing time by restricting data to be calculated.SOLUTION: The memory device testing device equipped with a fail memory for storing a plurality of pieces of fail data of a memory device, having a plurality of pins and a buffer memory 5 provided corresponding to the fail memory 3 includes a fail-flag generating unit 22 for generating a fail flag, indicating the presence or the absence of fail for each pin of the fail data; a data-erasing unit 42 for generating erase data in which a pin part where fail is not present is erased from the fail data, on the basis of the fail flag; a data-coupling unit 47 for generating coupled data in which the plurality of erase data are coupled, to be made equal to or less than the bit number of the fail data and storing the coupled data in the buffer memory 5; and a calculation unit 6 for calculating with respect to the coupled data stored in the buffer memory 5, on the basis of the fail flag.

Description

本発明はメモリデバイスの試験を行うメモリデバイス試験装置に関し、特にフェイルメモリとバッファメモリとを備えるメモリデバイス試験装置に関するものである。   The present invention relates to a memory device testing apparatus for testing a memory device, and more particularly to a memory device testing apparatus including a fail memory and a buffer memory.

DRAM、SRAM等のメモリデバイスは、メモリセルに1つでも欠陥が生じている場合には全体として不良になる。このため、メモリデバイスの試験を行い、不良セルの検出を行う。メモリデバイスには予備のメモリセルが設けられており、不良セルが検出された場合には、信号線の接続を予備のメモリセルに切り替えてメモリデバイスの救済を行う。この救済を行うための演算は一般にリダンダンシ演算と呼ばれる。リダンダンシ演算は専用の演算手段により行われ、その結果に基づいてレーザ手段等により不良のメモリセルから予備のメモリセルに切り替えが行なわれる。   Memory devices such as DRAM and SRAM are defective as a whole when even one memory cell is defective. For this reason, the memory device is tested to detect a defective cell. The memory device is provided with a spare memory cell, and when a defective cell is detected, the signal line connection is switched to the spare memory cell to repair the memory device. An operation for performing this relief is generally called a redundancy operation. The redundancy calculation is performed by dedicated calculation means, and based on the result, switching from the defective memory cell to the spare memory cell is performed by the laser means or the like.

リダンダンシ演算を行う従来のメモリデバイス試験装置を図6に示す。このメモリデバイス試験装置は、コンパレータ部101とインターフェイス部102とフェイルメモリ103とメモリ制御部104とバッファメモリ105と演算部106とを備えて概略構成している。   FIG. 6 shows a conventional memory device testing apparatus that performs redundancy calculation. This memory device test apparatus is schematically configured to include a comparator unit 101, an interface unit 102, a fail memory 103, a memory control unit 104, a buffer memory 105, and a calculation unit 106.

コンパレータ部101は図示しないメモリデバイスから出力信号を入力し、自身が保持する基準値と比較することによりパス(正常)またはフェイル(異常)からなる1ビットのパスフェイル信号を生成する。これがメモリデバイスのパスフェイル判定になる。メモリデバイスは複数の入出力ピン(以下、単にぴんとする)を備えており、複数ピンから同時に出力されるパスフェイル信号を1つのフェイルデータとして生成する。ピン数がM(Mは整数)の場合にはフェイルデータはMビットの情報量を有する。以下、M=8として説明する。   The comparator unit 101 receives an output signal from a memory device (not shown) and compares it with a reference value held by itself to generate a 1-bit pass / fail signal consisting of pass (normal) or fail (abnormal). This is the memory device pass / fail determination. The memory device includes a plurality of input / output pins (hereinafter simply referred to as “pin”), and generates a pass / fail signal simultaneously output from the plurality of pins as one fail data. When the number of pins is M (M is an integer), the fail data has an information amount of M bits. Hereinafter, description will be made assuming that M = 8.

インターフェイス部102はコンパレータ部101から出力されるフェイルメモリ103に入力するためのインターフェイスになる。フェイルメモリ103はフェイルデータを蓄積する記憶手段である。メモリ制御部104はフェイルメモリ103に所定量のフェイルデータが蓄積されたときに、当該フェイルデータをバッファメモリ105に複写(デッドコピー)する。演算部106は前記のリダンダンシ演算を行うための手段であり、バッファメモリ105に記憶されているフェイルデータを読み込んでリダンダンシ演算を行う。   The interface unit 102 serves as an interface for inputting to the fail memory 103 output from the comparator unit 101. The fail memory 103 is storage means for accumulating fail data. When a predetermined amount of fail data is accumulated in the fail memory 103, the memory control unit 104 copies the fail data to the buffer memory 105 (dead copy). The calculation unit 106 is a means for performing the redundancy calculation, and reads the fail data stored in the buffer memory 105 to perform the redundancy calculation.

コンパレータ部101は順次フェイルデータを生成しており、フェイルメモリ103にフェイルデータが蓄積されていく。フェイルメモリ103にはアドレスAdd1〜AddNまでN(Nは整数)個のアドレスが付されており、コンパレータ部101から出力されるフェイルデータを先頭アドレスから順番に蓄積していく。   The comparator unit 101 sequentially generates fail data, and the fail data is accumulated in the fail memory 103. The fail memory 103 is provided with N addresses (N is an integer) from addresses Add1 to AddN, and the fail data output from the comparator unit 101 is accumulated in order from the top address.

所定量(N個)のフェイルデータがフェイルメモリ103に蓄積されたときに、メモリ制御部104によりフェイルメモリ103の内容がバッファメモリ105に複写される。図7に示すように、バッファメモリ105にもアドレスAdd1〜AddNまでのアドレスが付されており、フェイルメモリ103と同じ内容を同じアドレスに記憶する。なお、図7においてP1〜P8はメモリデバイスの各ピンを示している。   When a predetermined amount (N) of fail data is accumulated in the fail memory 103, the contents of the fail memory 103 are copied to the buffer memory 105 by the memory control unit 104. As shown in FIG. 7, the addresses Add1 to AddN are also assigned to the buffer memory 105, and the same contents as the fail memory 103 are stored in the same address. In FIG. 7, P1 to P8 indicate pins of the memory device.

そして、バッファメモリ105のフェイルデータに対して演算部106によりリダンダンシ演算が行われる。図8はバッファメモリ105のフェイルデータに対してリダンダンシ演算を行っている状態を示している。バッファメモリ105の先頭アドレスAdd1のフェイルデータから順番にN番目のアドレスAddNまでのフェイルデータに対してリダンダンシ演算を行う。このリダンダンシ演算を行うことを走査とする。従って、先頭アドレスからN番目のアドレスまでのフェイルデータに対して走査を行うことで、リダンダンシ演算が完了する。   Then, a redundancy calculation is performed on the fail data in the buffer memory 105 by the calculation unit 106. FIG. 8 shows a state where the redundancy calculation is performed on the fail data in the buffer memory 105. A redundancy operation is performed on fail data from the fail data at the head address Add1 of the buffer memory 105 to the Nth address AddN in order. Performing this redundancy calculation is referred to as scanning. Therefore, the redundancy calculation is completed by scanning the fail data from the head address to the Nth address.

なお、以上のリダンダンシ演算を行うためにフェイルメモリとバッファメモリとを備えた半導体メモリ試験装置が例えば特許文献1に開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a semiconductor memory test apparatus including a fail memory and a buffer memory for performing the above redundancy calculation.

特開2008−59688号公報JP 2008-59688 A

近年のメモリデバイスは大容量化の傾向が顕著であり、フェイルデータの情報量も膨大なものになる。フェイルデータの情報量の増大化に伴って、バッファメモリ105も大容量化の傾向にある。演算部106はバッファメモリ105の先頭アドレスから順番に走査を行っており、バッファメモリ105に記憶されている情報量が膨大なために、リダンダンシ演算に大幅な演算時間を要するようになる。   In recent years, memory devices tend to have a large capacity, and the amount of information of fail data becomes enormous. As the amount of fail data information increases, the buffer memory 105 tends to increase in capacity. The arithmetic unit 106 sequentially scans from the head address of the buffer memory 105, and since the amount of information stored in the buffer memory 105 is enormous, a large calculation time is required for the redundancy calculation.

一方で、近年のメモリデバイスは高精度に製造されており、それほど多くのフェイルが生じなくなっている。このため、救済対象となるフェイルは大容量のフェイルデータの中でごく一部であり、フェイルデータが存在していないデータを走査することは大幅なタイムロスを生じる。メモリデバイスの試験時間の短縮化は必須の命題であり、このタイムロスにより試験時間に大きな影響を与えるようになる。   On the other hand, memory devices in recent years are manufactured with high precision, and so many failures do not occur. For this reason, the failure to be relieved is only a part of the large-capacity fail data, and scanning data that does not have fail data causes a significant time loss. Shortening the test time of the memory device is an essential proposition, and this time loss greatly affects the test time.

そこで、本発明は、演算対象となるデータを限定的にすることで、試験時間全体の短縮化を図ることを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to shorten the entire test time by limiting the data to be calculated.

以上の課題を解決するため、本発明の請求項1のメモリデバイス試験装置は、複数の入出力ピンを有するメモリデバイスのフェイルデータを複数記憶するフェイルメモリとこのフェイルメモリに対応して設けたバッファメモリとを備えるメモリデバイス試験装置であって、各フェイルデータの入出力ピンごとにフェイルが存在するか否かを示すフェイルフラグを生成するフェイルフラグ生成部と、前記フェイルフラグに基づいて前記フェイルデータから前記フェイルが存在しない入出力ピンの部分を削除した削除データを生成するデータ削除部と、複数の削除データを結合して前記フェイルデータのビット数以下とした結合データを生成して前記バッファメモリに記憶させるデータ結合部と、前記フェイルフラグに基づいて前記バッファメモリに記憶された前記結合データに対して演算を行う演算部と、を備えたことを特徴とする。   In order to solve the above problems, a memory device test apparatus according to claim 1 of the present invention includes a fail memory for storing a plurality of fail data of a memory device having a plurality of input / output pins and a buffer provided corresponding to the fail memory. A memory device test apparatus including a memory, a fail flag generation unit configured to generate a fail flag indicating whether or not a failure exists for each fail data input / output pin, and the fail data based on the fail flag A data deletion unit that generates deletion data by deleting a portion of the input / output pin where no fail exists, and a combination of a plurality of deletion data to generate combined data that is equal to or less than the number of bits of the fail data to generate the buffer memory A data combining unit to be stored in the buffer memory and the buffer memory based on the fail flag. Characterized in that and a calculation unit for performing an operation on said stored coupling data.

このメモリデバイス試験装置によれば、バッファメモリの1つのアドレスには複数の削除データが記憶されるようになる。削除データはフェイルデータから必要のない情報を削除したデータであり、演算に必要な情報は全て備えているものである。これにより、複数の削除データを結合した結合データに基づいて演算を行うことはでき、しかもバッファメモリの1つのアドレスには複数の削除データが記憶されることから、バッファメモリに記憶される情報量を大幅に低減でき、演算時間の短縮化を図ることができる。演算部ではフェイルフラグに基づいて結合データに対して演算を行っているため、削除した入出力ピンの情報を得ていることから、演算を行うことが可能になる。   According to this memory device test apparatus, a plurality of deletion data are stored in one address of the buffer memory. The deletion data is data obtained by deleting unnecessary information from the fail data, and has all the information necessary for the calculation. Thus, an operation can be performed based on combined data obtained by combining a plurality of deletion data, and a plurality of deletion data is stored at one address of the buffer memory, so that the amount of information stored in the buffer memory Can be greatly reduced, and the calculation time can be shortened. Since the calculation unit calculates the combined data based on the fail flag, the calculation unit can perform the calculation because the information of the deleted input / output pins is obtained.

本発明は、複数の削除データを結合した結合データをバッファメモリに記憶させていることで、演算対象となる情報量を大幅に低減できるようになる。これにより、演算時間を短くできるため、試験時間の短縮化を達成できる。削除データはフェイルのない入出力ピンの情報を削除して生成しているため、フェイルデータから必要な情報は失われない。演算部は結合データの削除データとフェイルフラグとに基づいて正常に演算を行うことができる。   According to the present invention, the combined data obtained by combining a plurality of deletion data is stored in the buffer memory, so that the amount of information to be calculated can be greatly reduced. Thereby, since calculation time can be shortened, shortening of test time can be achieved. Since the deletion data is generated by deleting the information of the input / output pins without fail, the necessary information is not lost from the fail data. The calculation unit can normally calculate based on the deletion data of the combined data and the fail flag.

本発明のメモリデバイス試験装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the memory device test apparatus of this invention. フェイルデータおよびフェイルフラグを示す図である。It is a figure which shows fail data and a fail flag. バッファおよびセレクタを説明する図である。It is a figure explaining a buffer and a selector. 削除データおよび結合データを説明する図である。It is a figure explaining deletion data and combined data. フェイルメモリおよびバッファメモリを説明する図である。It is a figure explaining a fail memory and a buffer memory. 従来のメモリデバイス試験装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the conventional memory device test apparatus. 従来のバッファメモリの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional buffer memory. 従来のフェイルデータを示すである。It shows conventional fail data.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1はメモリデバイス試験装置の概略構成を示している。このメモリデバイス試験装置は、コンパレータ部1とインターフェイス部2とフェイルメモリ3とメモリ制御部4とバッファメモリ5と演算部6とを備えて概略構成している。コンパレータ部1は図示しないメモリデバイスに接続されており、自身が保持する基準値とメモリデバイスからの出力データとを比較して、良否判定(パスフェイル判定)を行う。パスフェイル判定の結果はパス(正常)またはフェイル(異常)の1ビットで表現されるパスフェイル情報となる。以下においては、パスは「0」で表現し、フェイルは「1」で表現するものとする。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of a memory device test apparatus. This memory device test apparatus is schematically configured to include a comparator unit 1, an interface unit 2, a fail memory 3, a memory control unit 4, a buffer memory 5, and a calculation unit 6. The comparator unit 1 is connected to a memory device (not shown), and compares the reference value held by itself with the output data from the memory device to perform pass / fail judgment (pass / fail judgment). The result of pass / fail judgment is pass / fail information expressed by 1 bit of pass (normal) or fail (abnormal). In the following, it is assumed that the path is expressed by “0” and the failure is expressed by “1”.

メモリデバイスにはM(Mは整数)個の入出力ピン(以下、単にピンとする)が備えられており、コンパレータ部1では各ピンから転送された出力データに対して同時にパスフェイル判定を行い、M個のパスフェイル情報を同時に生成する。M個のパスフェイル情報から構成されるデータをフェイルデータとする。従って、フェイルデータはMビットの情報量を持つ。メモリデバイスからは連続的に出力データが転送されており、コンパレータ部1は順次フェイルデータを生成する。   The memory device has M (M is an integer) input / output pins (hereinafter simply referred to as pins), and the comparator unit 1 simultaneously performs pass / fail judgment on the output data transferred from each pin, M pieces of pass / fail information are generated simultaneously. Data composed of M pieces of pass / fail information is defined as fail data. Therefore, the fail data has an information amount of M bits. Output data is continuously transferred from the memory device, and the comparator unit 1 sequentially generates fail data.

インターフェイス部2はI/F21とフェイルフラグ生成部22とを備えている。I/F21はコンパレータ部1から入力するフェイルデータをフェイルメモリ3に出力するインターフェイスである。フェイルフラグ生成部22はフェイルデータに基づいてピンごとにフェイルが存在しているか否かを示すフェイルフラグを生成する。フェイルが存在する場合には「1」を、存在しない場合には「0」としたフェイルフラグを生成する。フェイルフラグ生成部22には順次フェイルデータが入力され、各フェイルデータのピンごとに論理和をとっている。これにより、全てのフェイルデータについてピンごとに1つでもフェイルが存在しているか否かを認識可能なフェイルフラグを生成している。   The interface unit 2 includes an I / F 21 and a fail flag generation unit 22. The I / F 21 is an interface for outputting fail data input from the comparator unit 1 to the fail memory 3. The fail flag generation unit 22 generates a fail flag indicating whether or not a failure exists for each pin based on the fail data. A fail flag is generated with “1” when there is a failure and “0” when there is no failure. Fail data is sequentially input to the fail flag generator 22 and a logical sum is taken for each pin of the fail data. As a result, a fail flag that can recognize whether or not at least one fail exists for each pin for all the fail data is generated.

フェイルメモリ3はインターフェイス部2のI/F21から出力されるフェイルデータを順次蓄積する記憶手段である。フェイルメモリ3にはN(Nは整数)個のフェイルデータが蓄積可能になっており、アドレスAdd1〜AddNまでN個のアドレスが付されている。I/F21から順次出力されるフェイルデータは先頭アドレスから順番に蓄積される。1つのアドレスにはMビットのデータが記憶されるようになっており、従ってフェイルメモリ3はM×Nビットの情報を記憶できる容量を持つ。   The fail memory 3 is storage means for sequentially storing fail data output from the I / F 21 of the interface unit 2. The fail memory 3 can store N (N is an integer) pieces of fail data, and N addresses from Add 1 to Add N are attached. Fail data sequentially output from the I / F 21 is accumulated in order from the head address. One address stores M-bit data. Therefore, the fail memory 3 has a capacity capable of storing M × N-bit information.

メモリ制御部4はデータ取込部41とデータ削除部42とバッファ43とセレクタ44とピン数記憶部45とセレクタ制御部46とを備えて概略構成している。データ取込部41は、フェイルメモリ3にN個のフェイルデータが蓄積されたときに全てのフェイルデータを取り出す。取り出した各フェイルデータはデータ削除部42とセレクタ44とに出力する。   The memory control unit 4 includes a data fetch unit 41, a data deletion unit 42, a buffer 43, a selector 44, a pin number storage unit 45, and a selector control unit 46. The data take-in unit 41 takes out all the fail data when N pieces of fail data are accumulated in the fail memory 3. The extracted fail data is output to the data deleting unit 42 and the selector 44.

データ削除部42はデータ取込部41からフェイルデータを入力し、またフェイルフラグ生成部22からフェイルフラグを入力している。データ削除部42はフェイルフラグを参照して、各フェイルデータからフェイルが存在していないピン(フェイルフラグが「1」になっているピン)の部分を削除する。この削除したデータを削除データとする。   The data deleting unit 42 receives fail data from the data fetching unit 41 and receives a fail flag from the fail flag generating unit 22. The data deleting unit 42 refers to the fail flag, and deletes the part of the pin where no fail exists (the pin whose fail flag is “1”) from each fail data. This deleted data is referred to as deleted data.

バッファ43はデータ削除部42が生成した削除データを蓄積するバッファである。このバッファには少なくともN個の削除データを蓄積可能な容量を持たせておく。ただし、削除データはフェイルデータの一部を削除したデータであるため、フェイルメモリ3に比較して少ない容量を有している。セレクタ44はデータ取込部41から出力されるフェイルデータとバッファ43に蓄積されている削除データとのうち何れか一方を選択する。このとき、セレクタ44はデータ取込部41から1つのフェイルデータを選択するが、バッファ43からは複数の削除データを選択する。   The buffer 43 is a buffer for accumulating deletion data generated by the data deletion unit 42. This buffer has a capacity capable of storing at least N deletion data. However, since the deleted data is data obtained by deleting a part of the fail data, the deleted data has a smaller capacity than the fail memory 3. The selector 44 selects either the fail data output from the data fetch unit 41 or the deletion data stored in the buffer 43. At this time, the selector 44 selects one fail data from the data fetch unit 41, but selects a plurality of deletion data from the buffer 43.

ピン数記憶部45はメモリデバイスのピン数Mを記憶している。このピン数はユーザ等により予め規定値として設定されている。セレクタ制御部46はピン数記憶部45からメモリデバイスのピン数を入力し、フェイルフラグ生成部22からフェイルフラグを入力する。セレクタ制御部46はフェイルフラグを参照して、フェイス数(フェイルフラグの各ビットのうち「1」となっているピン数)をカウントする。このカウントした値をフェイル数Cとし、メモリデバイスのピン数Mと比較する。そして、MをCで除算する。この除算した値を除算値Dとする。   The pin number storage unit 45 stores the pin number M of the memory device. This number of pins is preset as a prescribed value by the user or the like. The selector control unit 46 inputs the number of pins of the memory device from the pin number storage unit 45 and inputs the fail flag from the fail flag generation unit 22. The selector control unit 46 refers to the fail flag and counts the number of faces (the number of pins that are “1” in each bit of the fail flag). The counted value is set as the failure number C and compared with the number M of pins of the memory device. Then, M is divided by C. This divided value is defined as a division value D.

セレクタ制御部46は除算値Dが2以上であるか否かを判定し、通常モードと削除モードとの何れであるかを示す選択信号をセレクタ44に出力する。除算値Dが2未満である場合には通常モードを選択し、2以上の場合には削除モードを選択する。通常モードとはデータ取込部41から1つのフェイルデータをそのまま選択してバッファメモリ5に出力するモードである。削除モードとはバッファ43から複数の削除データを選択して、選択した削除データを結合してバッファメモリ5に出力するモードである。削除モードを選択した場合には、セレクタ制御部46は除算値Dの小数点以下を切り捨てた値を最大整数値Vとし、このVの値をセレクタ44に出力する。なお、フェイルフラグのビット数がメモリデバイスのピン数Mとなっているため、ピン数記憶部45を設けずに、フェイルフラグのビット数からMを認識するようにしてもよい。   The selector control unit 46 determines whether or not the division value D is 2 or more, and outputs a selection signal indicating whether the mode is the normal mode or the deletion mode to the selector 44. When the division value D is less than 2, the normal mode is selected, and when it is 2 or more, the deletion mode is selected. The normal mode is a mode in which one fail data is selected as it is from the data fetch unit 41 and is output to the buffer memory 5. The deletion mode is a mode in which a plurality of deletion data is selected from the buffer 43, and the selected deletion data is combined and output to the buffer memory 5. When the deletion mode is selected, the selector control unit 46 sets the value obtained by truncating the division value D after the decimal point as the maximum integer value V, and outputs the value of V to the selector 44. Since the number of bits of the fail flag is the number of pins M of the memory device, M may be recognized from the number of bits of the fail flag without providing the pin number storage unit 45.

セレクタ44は、削除モードの場合に複数の削除データを選択する。選択される削除データの個数は前記の最大整数値Vになる。バッファ43には先頭から順番にN個の削除データが蓄積され、このうちV個分の削除データを取り出して、先頭から順番に結合して1つの結合データを生成する。この結合データのビット数はフェイルデータのビット数以下となるようにする。削除データはN個であるが、結合データはV個の削除データを結合したものになる。このため、結合データの個数はN/Vになる。以上のバッファ43とセレクタ44とにより結合データを生成するデータ結合部47が構成される。   The selector 44 selects a plurality of deletion data in the deletion mode. The number of deleted data to be selected is the maximum integer value V described above. N pieces of deleted data are stored in the buffer 43 in order from the top. Among the deleted data, V pieces of deleted data are extracted and combined in order from the top to generate one combined data. The number of bits of the combined data is set to be equal to or less than the number of bits of fail data. There are N pieces of deleted data, but the combined data is a combination of V deleted data. For this reason, the number of combined data is N / V. The buffer 43 and the selector 44 constitute a data combining unit 47 that generates combined data.

バッファメモリ5はセレクタ44からフェイルデータと結合データとのうち何れか一方を入力して蓄積を行う。バッファメモリ5はフェイルメモリ3と同じくAdd1〜AddNまでのN個のアドレスを有しており、各アドレスにはフェイルデータまたは結合データが記憶されるようになっている。通常モードと削除モードとの何れのモードが選択されるかはフェイルデータによって変わるため、予めバッファメモリ5にはM×Nビットの情報量を持たせておく   The buffer memory 5 inputs either the fail data or the combined data from the selector 44 and performs accumulation. Like the fail memory 3, the buffer memory 5 has N addresses from Add1 to AddN, and each address stores fail data or combined data. Since which mode is selected between the normal mode and the deletion mode depends on the fail data, the buffer memory 5 has an information amount of M × N bits in advance.

通常モードが選択された場合には、セレクタ44はフェイルデータを1つずつ選択する。このため、バッファメモリ5にはN個のフェイルデータがアドレス順に記憶される。一方、削除モードが選択された場合にはN/V個の結合データがバッファメモリ5に記憶される。従って、バッファメモリ5には通常モードの場合にはM×Nビットの情報量が記憶され、削除モードの場合にはM×(N/V)ビットの情報量が記憶される。   When the normal mode is selected, the selector 44 selects fail data one by one. Therefore, N pieces of fail data are stored in the buffer memory 5 in the order of addresses. On the other hand, when the deletion mode is selected, N / V pieces of combined data are stored in the buffer memory 5. Therefore, the buffer memory 5 stores an information amount of M × N bits in the normal mode, and stores an information amount of M × (N / V) bits in the deletion mode.

演算部6はバッファメモリ5に記憶されているデータに対して先頭アドレスから順番にリダンダンシ演算を行う。アドレス順(Add1からAddNまで)にリダンダンシ演算を行うことを走査とする。また、演算部6はフェイルフラグ生成部22からフェイルフラグを入力しており、セレクタ制御部46から選択信号および最大整数値Vを入力している。選択信号が通常モードを示している場合には、演算部6はバッファメモリ5の全て(Add1〜AddNまで)のフェイルデータに対してリダンダンシ演算を行う。選択信号が削除モードを示している場合には、演算部6はAdd1〜Add(N/V)までのアドレスのフェイルデータに対してリダンダンシ演算を行う。また、フェイルフラグを参照して演算を行う対象となるピンを特定して演算を行う。なお、演算部6が行う演算としてはリダンダンシ演算以外にも任意の演算を適用することができる。   The computing unit 6 performs redundancy computation on the data stored in the buffer memory 5 in order from the top address. Scanning is to perform redundancy calculation in the order of addresses (from Add1 to AddN). The arithmetic unit 6 receives the fail flag from the fail flag generation unit 22 and receives the selection signal and the maximum integer value V from the selector control unit 46. When the selection signal indicates the normal mode, the calculation unit 6 performs a redundancy calculation on the fail data in all the buffer memory 5 (from Add1 to AddN). When the selection signal indicates the deletion mode, the calculation unit 6 performs a redundancy calculation on the fail data at the addresses from Add1 to Add (N / V). Further, the calculation is performed by specifying a pin to be calculated with reference to the fail flag. Note that as the calculation performed by the calculation unit 6, any calculation other than the redundancy calculation can be applied.

以上の構成における動作について説明する。なお、以下においては、説明のためメモリデバイスのピン数MはM=8として説明する。   The operation in the above configuration will be described. In the following description, the number of pins M of the memory device is described as M = 8 for the sake of explanation.

コンパレータ部1は図示しないメモリデバイスからの出力データのパスフェイル判定を行い、1ビットのパスフェイル情報を生成する。そして、ピン数は8であるため、8ビットのパスフェイル情報からなるフェイルデータを生成する。フェイルデータはI/F21を介してフェイルメモリ3に順次蓄積されていくと共に、フェイルフラグ生成部22に出力される。   The comparator unit 1 performs pass / fail judgment of output data from a memory device (not shown) and generates 1-bit pass / fail information. Since the number of pins is 8, fail data composed of 8-bit pass / fail information is generated. The fail data is sequentially stored in the fail memory 3 via the I / F 21 and is output to the fail flag generation unit 22.

フェイルフラグ生成部22では、図2に示すようなフェイルフラグを生成する。図2はフェイルデータおよびフェイルフラグの一例を示しており、フェイルフラグ生成部22は順次入力するフェイルデータについてピンごとに論理和を演算している。図2の場合は、P3、P4、P5、P7にはフェイルがないため、論理和を演算しても結果は「0」になる(図2においてフェイルフラグが「1」となる部分に枠表示をしている)。一方、P1、P2、P6、P8には少なくとも1つのフェイルデータにフェイルが存在しているため、論理和を演算すると結果は「1」になる。以上の論理和の演算をアドレス順に行っていくことで、図2に示す8ビットのフェイルフラグが生成される。この8ビットのうち1ビット目〜8ビット目までがピンP1〜P8にそれぞれ対応している。   The fail flag generation unit 22 generates a fail flag as shown in FIG. FIG. 2 shows an example of fail data and a fail flag, and the fail flag generation unit 22 calculates a logical sum for each pin for the fail data that is sequentially input. In the case of FIG. 2, P3, P4, P5, and P7 have no failure, so even if the logical sum is calculated, the result is “0” (in FIG. 2, a frame is displayed in the portion where the fail flag is “1”). ) On the other hand, since there is a failure in at least one fail data in P1, P2, P6, and P8, the result becomes “1” when the logical sum is calculated. By performing the above logical sum operation in the order of addresses, the 8-bit fail flag shown in FIG. 2 is generated. Of these 8 bits, the 1st to 8th bits correspond to the pins P1 to P8, respectively.

データ削除部42ではフェイルデータからフェイルが存在していないピンのパスフェイル情報を削除する。このために、データ削除部42はフェイルフラグ生成部22からフェイルフラグを読み込む。フェイルフラグは3、4、5、7ビット目が「0」になっており、フェイルが存在していないピンがP3、P4、P5、P7であることを認識できる。そして、データ削除部42は全て(N個)のフェイルデータから前記4つのピンのパスフェイル情報、つまり3、4、5、7ビット目の部分を削除して削除データを生成する。これにより、削除データはフェイルデータのうち、ピンP1、P2、P6、P8、つまり1、2、6、8ビット目の情報だけを有する4ビットの情報になる。   The data deletion unit 42 deletes the pass / fail information of a pin for which no failure exists from the fail data. For this purpose, the data deleting unit 42 reads the fail flag from the fail flag generating unit 22. The third, fourth, fifth and seventh bits of the fail flag are “0”, and it can be recognized that the pins where no fail exists are P3, P4, P5 and P7. Then, the data deletion unit 42 deletes the pass fail information of the four pins, that is, the third, fourth, fifth, and seventh bit portions from all (N) pieces of fail data to generate deletion data. Thus, the deletion data becomes 4-bit information having only the information of the pins P1, P2, P6, and P8, that is, the first, second, sixth, and eighth bits in the fail data.

生成された削除データはアドレス順にバッファ43に蓄積される。削除データはフェイルデータから4つのピンの情報が削除されており、半分の情報量になっている。バッファ43に蓄積される削除データを図3に示している。この図に示すように、バッファ43にはAdd1〜AddNまでのN個の削除データを蓄積可能になっており、各削除データはP1、P2、P6、P8の合計4つのパスフェイル情報が含まれている。ただし、各削除データは4ビットの情報になっている。   The generated deletion data is stored in the buffer 43 in the order of addresses. In the deletion data, information of four pins is deleted from the fail data, and the information amount is half. The deletion data stored in the buffer 43 is shown in FIG. As shown in the figure, the buffer 43 can store N pieces of deletion data from Add1 to AddN, and each piece of deletion data includes a total of four pieces of pass-fail information of P1, P2, P6, and P8. ing. However, each deleted data is 4-bit information.

ここで、セレクタ制御部46は、ピン数記憶部45に記憶されているピン数Mを取得する。また、8ビットのフェイルデータを参照して「1」となっているビット数をカウントすることで、フェイル数Cを求めている。そして、ピン数Mをフェイル数Cで除算して除算値Dを得て、小数点以下を切り捨てて最大整数値Vを得る。ここでは、M=8、C=4になるため、除算値Dおよび最大整数値VはV=2となる。セレクタ制御部46はVが2以上であることを認識するため、セレクタ44に削除モードを示す選択信号を出力し、同時に最大整数値V(V=2)をセレクタ44に出力する。   Here, the selector control unit 46 acquires the pin number M stored in the pin number storage unit 45. Further, the fail number C is obtained by referring to the 8-bit fail data and counting the number of bits that are “1”. Then, the pin number M is divided by the fail number C to obtain a division value D, and the decimal part is rounded down to obtain the maximum integer value V. Here, since M = 8 and C = 4, the division value D and the maximum integer value V are V = 2. In order to recognize that V is 2 or more, the selector control unit 46 outputs a selection signal indicating the deletion mode to the selector 44 and simultaneously outputs the maximum integer value V (V = 2) to the selector 44.

セレクタ44は前記の選択信号および最大整数値Vを入力することにより、削除モードであることを認識する。このため、バッファ43から複数の削除データを選択する。最大整数値V=2であることから、バッファ43は先頭から順番に2個分のデータを選択して、これらの削除データを結合する。例えば、最初に選択されたAdd1の削除データに次に選択されたAdd2の削除データを結合する。これにより、図4に示す結合データが生成される。この結合データは4ビットの削除データが2つ結合したものであり、合計8ビットになることから、フェイルデータの情報量と等しい。以降、順次前後2つのアドレスの削除データを選択して結合を行い、結合データを生成していく。なお、図3において、選択された削除データを「*」で示している。   The selector 44 recognizes the deletion mode by inputting the selection signal and the maximum integer value V. For this reason, a plurality of deletion data are selected from the buffer 43. Since the maximum integer value V = 2, the buffer 43 selects two pieces of data in order from the top and combines these deleted data. For example, the deletion data of Add2 selected next is combined with the deletion data of Add1 selected first. As a result, the combined data shown in FIG. 4 is generated. This combined data is obtained by combining two pieces of 4-bit deletion data, and has a total of 8 bits, so it is equal to the amount of information of fail data. Thereafter, the deletion data of the two addresses before and after are selected and combined to generate combined data. In FIG. 3, the selected deletion data is indicated by “*”.

セレクタ44により生成された結合データはバッファメモリ5に出力される。バッファメモリ5は順次アドレス順に結合データを蓄積していく。図5はフェイルメモリ3とバッファメモリ5とを示している。バッファメモリ5は結合データだけではなくフェイルデータの蓄積も可能にするために、1アドレスあたり8ビットの情報の記憶が可能になっている。結合データも8ビットの情報であるため、記憶は可能である。   The combined data generated by the selector 44 is output to the buffer memory 5. The buffer memory 5 sequentially stores the combined data in the order of addresses. FIG. 5 shows a fail memory 3 and a buffer memory 5. The buffer memory 5 can store not only the combined data but also fail data, so that information of 8 bits per address can be stored. Since the combined data is also 8-bit information, it can be stored.

バッファメモリ5の1つのアドレスには1つの結合データ、つまり2つの削除データが記憶される。図5において、バッファメモリ5の1つのアドレスの8ビットを1ビット目から4ビット目までの下位ビット群と5ビット目から8ビット目までの上位ビット群とに分けている。下位ビット群はアドレスAdd2の削減データであり、上位ビット群はアドレスAdd1の削減データである。これらを結合した結合データがバッファメモリ5の1つのアドレスAdd1を占有している。このとき、削除データの個数はN個であるが、結合データは2つの削除データを結合したものであることから、結合データの個数はN/2個になる。つまり、アドレスAdd(N/2)までが使用され、それ以降のアドレスは使用されない。このため、実質的にバッファメモリ5に記憶されるデータ量は半分になる。   One combination data, that is, two deletion data is stored in one address of the buffer memory 5. In FIG. 5, 8 bits of one address of the buffer memory 5 are divided into a lower bit group from the 1st bit to the 4th bit and an upper bit group from the 5th bit to the 8th bit. The lower bit group is the reduced data of the address Add2, and the upper bit group is the reduced data of the address Add1. The combined data obtained by combining these occupies one address Add1 of the buffer memory 5. At this time, the number of deleted data is N, but since the combined data is a combination of two deleted data, the number of combined data is N / 2. That is, the addresses up to address Add (N / 2) are used, and the subsequent addresses are not used. For this reason, the amount of data stored in the buffer memory 5 is substantially halved.

演算部6はバッファメモリ5のアドレスAdd1からAdd(N/2)の内容を読み出してリダンダンシ演算を行う。ただし、バッファメモリ5にはフェイルデータではなく結合データが記憶されており、演算対象となるピンの特定ができない。リダンダンシ演算はメモリデバイスのピンが特定されなければ、不良が生じているメモリセルの特定を行うことができないため、演算部6はフェイルフラグ生成部22からフェイルフラグを入力して、メモリデバイスのピンの特定を行う。   The calculation unit 6 reads the contents of Add (N / 2) from the address Add1 of the buffer memory 5 and performs a redundancy calculation. However, not the fail data but the combined data is stored in the buffer memory 5, and the pin to be calculated cannot be specified. In the redundancy calculation, if the pin of the memory device is not specified, the memory cell in which the failure has occurred cannot be specified. Therefore, the calculation unit 6 inputs the fail flag from the fail flag generation unit 22 and the pin of the memory device To identify.

演算部6はセレクタ制御部46から削除モードを示す選択信号を入力しているため、バッファメモリ5に記憶されているデータが結合データであることを認識する。そして、フェイルフラグを読み込んでフェイルが存在するビットを確認する。これは、フェイルフラグの「1」となっているビットを認識することにより行なわれる。ここでは、1、2、6、8ビット目が「1」になっている。これにより、これらのピンに対してリダンダンシ演算を行う必要があることを認識する。換言すれば、3、4、5、7ビット目が「0」になっているため、これらのビットは演算を行う必要がないことを認識する。   Since the calculation unit 6 receives the selection signal indicating the deletion mode from the selector control unit 46, the calculation unit 6 recognizes that the data stored in the buffer memory 5 is combined data. Then, the fail flag is read to check the bit where the fail exists. This is done by recognizing a bit that is “1” in the fail flag. Here, the first, second, sixth, and eighth bits are “1”. As a result, it is recognized that it is necessary to perform a redundancy operation on these pins. In other words, since the third, fourth, fifth and seventh bits are “0”, it is recognized that these bits do not need to be operated.

つまり、フェイルデータから一部の情報を削除した削除データを結合した結合データであっても、フェイルフラグを参照することで、救済を行う対象となるピンを特定できるため、演算部6はリダンダンシ演算を行うことが可能になる。   That is, even if the combined data is a combination of deletion data obtained by deleting some information from the fail data, by referring to the fail flag, the pin to be repaired can be identified. It becomes possible to do.

ところで、バッファメモリ5にはフェイルメモリも記憶可能になっているため、フェイルメモリ3と同じ容量(M×Nビット)を持たせている。しかし、削除モードの場合に、バッファメモリ5にはAdd1〜Add(N/2)までに結合データが記憶される。このため、全てのアドレスに対してリダンダンシ演算の走査を行う必要はない。このとき、演算部6はセレクタ制御部46から最大整数値V=2の情報を得ているため、先頭から半分(N/2)までのアドレスを走査すればよいことを認識できる。これにより、バッファメモリ5の半分だけを走査するようになるため、演算時間を実質的に半分にすることができる。   By the way, since the fail memory can also be stored in the buffer memory 5, it has the same capacity (M × N bits) as the fail memory 3. However, in the delete mode, the buffer memory 5 stores the combined data from Add1 to Add (N / 2). For this reason, it is not necessary to scan the redundancy calculation for all addresses. At this time, since the arithmetic unit 6 obtains information of the maximum integer value V = 2 from the selector control unit 46, it can be recognized that it is sufficient to scan addresses from the head to half (N / 2). As a result, only half of the buffer memory 5 is scanned, so that the computation time can be substantially halved.

以上説明したように、本発明は、各フェイルデータのピンごとにフェイルが存在しているか否かを示すフェイルフラグを生成し、フェイルが存在していないピンのパスフェイル情報を削除している。これにより、バッファメモリ5に記憶されるデータ量を非常に少ないものとすることができ、演算量を低減できるようになる。これにより、試験時間の短縮化を達成できるようになる。なお、削除されたフェイルデータの情報はフェイルが存在していない情報であり、削除したとしても格別の問題はない。   As described above, the present invention generates a fail flag indicating whether or not a fail exists for each pin of each fail data, and deletes pass / fail information of a pin that does not have a fail. As a result, the amount of data stored in the buffer memory 5 can be made very small, and the amount of calculation can be reduced. Thereby, shortening of the test time can be achieved. Note that the information of the deleted fail data is information in which no failure exists, and even if it is deleted, there is no particular problem.

以上において、最大整数値V=2として説明したが、Vは3以上であってもよい。前述したように、削除モードが選択された場合には、バッファメモリ5に記憶される情報量はM×(N/V)ビットになり、Vの値が大きくなるほど演算量が少なくなり、より高い試験時間の短縮効果を図れる。例えば、メモリデバイスがM=8、このうちフェイルが存在するピン数、つまりフェイルフラグのフェイル数CがC=2のとき、除算値DはD=M/C=4になり、最大整数値VもV=4になる。これにより、実質的に演算時間を1/4に低減することができるようになる。   The maximum integer value V = 2 has been described above, but V may be 3 or more. As described above, when the deletion mode is selected, the amount of information stored in the buffer memory 5 is M × (N / V) bits, and the larger the value of V, the smaller the amount of calculation and the higher the amount. The test time can be shortened. For example, when the memory device is M = 8 and the number of pins in which a fail exists, that is, the number of fail flags C is C = 2, the division value D is D = M / C = 4, and the maximum integer value V V = 4. Thereby, the calculation time can be substantially reduced to ¼.

また、除算値Dが整数の場合について説明したが、Dが小数を含むものであってもよい。例えば、ピン数M=8、フェイル数C=3の場合には、D=2.66・・・になり、小数を含むようになる。この場合には、最大整数値VはDの小数点以下を切り捨てた値になり、V=2になる。つまり、結合データは2つの削除データから構成される。フェイル数CはC=3であるため、削除データも3ビットになり、結合データは3ビットの削除データが2つにより構成される。このため、結合データは6ビットになる。一方で、フェイルデータおよびバッファメモリ5は8ビット構成になっているため、ビット数が異なるようになる。この場合には、上位2ビット(7ビット目および8ビット目)或いは下位2ビット(1ビット目および2ビット目)にダミービットを挿入することにより、ビット数の整合性をとるようにする。   Further, although the case where the division value D is an integer has been described, D may include a decimal. For example, when the number of pins M = 8 and the number of failures C = 3, D = 2.66... In this case, the maximum integer value V is a value obtained by discarding the decimal part of D, and V = 2. That is, the combined data is composed of two deleted data. Since the number of failures C is C = 3, the deletion data is also 3 bits, and the combined data is composed of two 3-bit deletion data. For this reason, the combined data is 6 bits. On the other hand, since the fail data and the buffer memory 5 have an 8-bit configuration, the number of bits differs. In this case, the number of bits is made consistent by inserting dummy bits into the upper 2 bits (7th and 8th bits) or the lower 2 bits (1st and 2nd bits).

勿論、フェイル数Cが3であっても、ピン数Mが9であるような場合には、D=3になり、演算時間を約1/3にすることができるようになる。ただし、何れの場合であっても、Dは2以上でなくてはならない。これは、メモリのアクセスは通常1つのアドレスの全てのビットに対して行われるためであり、このうちの一部のビットに対してのみアクセスすることができないためである。Dが2未満のときにはバッファメモリ5の1アドレスに複数の削除データを記憶させることができないため、演算時間の短縮効果は得られない。   Of course, even if the number of failures C is 3, when the number of pins M is 9, D = 3 and the computation time can be reduced to about 1/3. However, in any case, D must be 2 or more. This is because memory access is normally performed for all bits of one address, and only some of these bits cannot be accessed. When D is less than 2, a plurality of deletion data cannot be stored in one address of the buffer memory 5, so that the effect of shortening the calculation time cannot be obtained.

一方で、バッファメモリ5のN個のアドレスのうち一部のアドレスにアクセスすることは可能であり、Dが2以上の場合には、アクセスするアドレス数が半分以下になる。このため、演算時間の大幅な短縮効果を得られるようになる。   On the other hand, it is possible to access a part of the N addresses of the buffer memory 5, and when D is 2 or more, the number of addresses to be accessed is half or less. For this reason, it is possible to obtain a significant reduction in calculation time.

3 フェイルメモリ 4 メモリ制御部
5 バッファメモリ 6 演算部
22 フェイルフラグ生成部 41 データ取込部
42 データ削除部 43 バッファ
44 セレクタ 45 ピン数記憶部
46 セレクタ制御部 47 データ結合部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Fail memory 4 Memory control part 5 Buffer memory 6 Operation part 22 Fail flag production | generation part 41 Data acquisition part 42 Data deletion part 43 Buffer 44 Selector 45 Pin number memory | storage part 46 Selector control part 47 Data coupling | bond part

Claims (1)

複数の入出力ピンを有するメモリデバイスのフェイルデータを複数記憶するフェイルメモリとこのフェイルメモリに対応して設けたバッファメモリとを備えるメモリデバイス試験装置であって、
各フェイルデータの入出力ピンごとにフェイルが存在するか否かを示すフェイルフラグを生成するフェイルフラグ生成部と、
前記フェイルフラグに基づいて前記フェイルデータから前記フェイルが存在しない入出力ピンの部分を削除した削除データを生成するデータ削除部と、
複数の削除データを結合して前記フェイルデータのビット数以下とした結合データを生成して前記バッファメモリに記憶させるデータ結合部と、
前記フェイルフラグに基づいて前記バッファメモリに記憶された前記結合データに対して演算を行う演算部と、
を備えたことを特徴とするメモリデバイス試験装置。
A memory device test apparatus comprising a fail memory for storing a plurality of fail data of a memory device having a plurality of input / output pins and a buffer memory provided corresponding to the fail memory,
A fail flag generating unit that generates a fail flag indicating whether or not a fail exists for each input / output pin of each fail data;
A data deletion unit that generates deletion data by deleting a part of an input / output pin where the failure does not exist from the fail data based on the fail flag;
A data combining unit that combines a plurality of deletion data to generate combined data that is equal to or less than the number of bits of the fail data and stores the combined data in the buffer memory;
An arithmetic unit that performs an operation on the combined data stored in the buffer memory based on the fail flag;
A memory device testing apparatus comprising:
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