JP2011007764A - Ultrasonic level meter - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic level meter having high accuracy of measurement and safety.SOLUTION: The ultrasonic level meter 1 includes an ultrasonic transducer 3 in which a composite piezoelectric element 4 to whose back surface a backing material 6 is joined is attached to a bottom of a container 2 through grease as a contact medium 5, and the composite piezoelectric element 4 is pressed to the bottom of the container 2 by a magnet 7 attached with an adhesive and a backing material cover 8 made of steel; and a controller controlling a detection operation of a liquid surface on the basis of time information from a time when an ultrasonic wave is transmitted by the ultrasonic transducer 3 to the time when the reflected wave is received.

Description

本発明は、超音波トランスジューサ及び超音波レベル計、より詳細には、超音波の伝搬時間を利用して容器内の液面レベルなどを計測するための超音波トランスジューサ及び超音波トランスジューサを備えた超音波レベル計に関するものである。  The present invention relates to an ultrasonic transducer and an ultrasonic level meter, and more particularly, an ultrasonic transducer and an ultrasonic transducer for measuring a liquid level in a container using ultrasonic propagation time. The present invention relates to a sound level meter.

超音波レベル計は、超音波トランスジューサから超音波を送信し、その反射波を受信するまでの時間を計測し、その時間に基づいて対象物までの距離を算出するもので、対象物までの距離を正確かつ容易に計測できるため、各種用途で利用されている。  An ultrasonic level meter measures the time until an ultrasonic wave is transmitted from an ultrasonic transducer and the reflected wave is received, and the distance to the object is calculated based on that time. Can be measured accurately and easily, and is used in various applications.

貯槽内部の液面が高い位置にある場合(貯槽底面から遠距離にある場合)、液面が近い場合に比べて微弱な波であるため、従来の受信回路では、液面が高い場合であっても十分にエコーを取得するには増幅回路のゲインを高める必要があった。ところが、増幅回路を高ゲインにした場合、駆動残響が指数関数的に減衰しきるところまで十分な時間が必要となってしまう。すなわち、高い液面まで対応させようとすると、駆動残響時間が長引くために、液面位置が低い場合に液面をとらえることができないという問題点があった。  When the liquid level inside the storage tank is at a high position (when it is far from the bottom of the storage tank), the wave is weaker than when the liquid level is close. However, it is necessary to increase the gain of the amplifier circuit in order to obtain sufficient echo. However, when the amplification circuit is set to a high gain, sufficient time is required until the drive reverberation is attenuated exponentially. That is, when trying to cope with a high liquid level, the drive reverberation time is prolonged, so that there is a problem that the liquid level cannot be captured when the liquid level is low.

この問題を解決するために、受信回路をゲイン可変増幅回路で構成し、前回の計測結果で液面が低い場合には、低ゲインで反射エコーを検出する方法が考えられる。しかし、この方法では、液面位置が急激に変化するような場合、あるいは計測間隔が非常に長い場合には液面変動に追随できず、安定した計測ができない。  In order to solve this problem, a method is conceivable in which the receiving circuit is constituted by a variable gain amplifier circuit, and when the liquid level is low in the previous measurement result, the reflected echo is detected with a low gain. However, with this method, when the liquid level position changes suddenly or when the measurement interval is very long, it is impossible to follow the liquid level fluctuation, and stable measurement cannot be performed.

これに対して、特許文献1には、超音波トランスジューサの駆動タイミングを起点として時間に応じて信号の増幅率が大きくなるように制御することにより、残響により検出できない不感帯時間(距離)を調整し、常に安定した残響特性と感度特性を実現できるようにした技術が開示されている。  On the other hand, in Patent Document 1, the dead zone time (distance) that cannot be detected due to reverberation is adjusted by controlling the ultrasonic transducer drive timing as a starting point so that the signal amplification factor increases. Therefore, a technique that can always realize stable reverberation characteristics and sensitivity characteristics is disclosed.

しかしながら、上記特許文献1に記載の技術の場合、信号の増幅率を制御することで、残響により検出できない不感帯時間を調整し、常に安定した残響特性と感度特性を両立させるには限界がある。また、貯槽の板厚が大きい場合、信号の増幅率を変化させるとともに、超音波トランスジューサに入力するパルス信号の発振時間を変化させることにより、ある程度の残響による不感帯時間(距離)を短く調整できるが、調整にも限界があり、温度や経時変化等を考慮すると、検出マージンが問題となる上、上記タイミングなどの制御が複雑化し、消費電力の増加が余儀なくされるという問題点がある。  However, in the case of the technique described in Patent Document 1, there is a limit in adjusting the dead zone time that cannot be detected by reverberation by controlling the signal amplification factor, and always achieving both stable reverberation characteristics and sensitivity characteristics. In addition, when the thickness of the storage tank is large, the dead zone time (distance) due to a certain amount of reverberation can be shortened by changing the signal amplification factor and changing the oscillation time of the pulse signal input to the ultrasonic transducer. In addition, there is a limit to the adjustment, and in consideration of temperature, changes over time, etc., there is a problem that the detection margin becomes a problem and the control of the timing is complicated and the power consumption is inevitably increased.

そこで特許文献2においては、液面レベルの低い場合の残響特性の影響が少なく、液体の充填等の液面変化に強く、液面の低い場合から高い場合まで、簡単な制御で安定した液面計測を可能とする超音波レベル計にすることができると記載されている。  Therefore, in Patent Document 2, there is little influence of reverberation characteristics when the liquid level is low, the liquid level is strong against changes in the liquid level such as liquid filling, and the liquid level is stable by simple control from low to high. It is described that an ultrasonic level meter that enables measurement can be obtained.

特開2004−257981号 公報  JP 2004-257981 A 特開2008−232801号 公報  JP 2008-232801 A

実吉純一、「超音波技術便覧」、日刊工業新聞社、昭和60年12月、p722−723Junichi Miyoshi, “Ultrasonic Technology Handbook”, Nikkan Kogyo Shimbun, December 1985, p722-723 塩嵜 忠、「新・圧電材料の製造と応用」、株式会社シーエムシー、1987年12月、p99−109Tadashi Shiogama, “Manufacture and Application of New Piezoelectric Materials”, CMC Corporation, December 1987, p99-109 川村雅恭、「電気音響工学概論」、株式会社 昭晃堂、平成10年9月、p52−53Masaaki Kawamura, “Introduction to Electroacoustic Engineering”, Shosodo Co., Ltd., September 1998, p52-53 超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p348−350Ultrasonic Handbook Editorial Committee, “Ultrasonic Handbook”, Maruzen Co., Ltd., August 1999, p348-350

しかし、特許文献2においても、金属製のタンクと圧電素子の音響インピーダンスがそれほど異ならないため、金属製のタンクに超音波振動がほとんど伝搬してしまい、液体中に伝搬する超音波振動は非常に小さくなる。そのため、信号のS/N比が小さくなるため安定して精度の高い測定ができなくなるという問題がある。  However, even in Patent Document 2, since the acoustic impedances of the metal tank and the piezoelectric element are not so different, the ultrasonic vibration almost propagates to the metal tank, and the ultrasonic vibration propagating in the liquid is very much. Get smaller. For this reason, there is a problem that since the S / N ratio of the signal becomes small, measurement with high accuracy cannot be performed stably.

また、圧電素子の機械的品質係数が大きいため、残響が長く続くため、反射時間が小さいときは測定できないという問題がある。  In addition, since the mechanical quality factor of the piezoelectric element is large, reverberation continues for a long time, and there is a problem that measurement cannot be performed when the reflection time is short.

さらに、圧電素子は、詳細に見ると、図12に示すように変化する。すなわち、非動作時の静止状態では、Aに示すように、円柱形状を呈する。厚み方向への縮小状態では、径方向に伸びて、Bに強調して示すように凹レンズの形状となる。また、厚み方向への伸長状態では、径方向に縮んで、Cに強調して示すように凸レンズのような形状となる。この結果、Dに示すように円柱の中心部の超音波振動だけが直進し、周辺部は中心軸にたいして広がる方向に超音波振動が伝搬する。したがって、信号としての超音波信号は小さくなる。そして広がった超音波振動は、誤差として検出されてしまう問題点がある。  Further, when viewed in detail, the piezoelectric element changes as shown in FIG. That is, in a stationary state when not in operation, as shown in A, it has a cylindrical shape. In the reduced state in the thickness direction, it extends in the radial direction and becomes the shape of a concave lens as shown in FIG. Further, in the stretched state in the thickness direction, it shrinks in the radial direction, and becomes a shape like a convex lens as shown by emphasizing C. As a result, as shown in D, only the ultrasonic vibration at the central part of the cylinder goes straight, and the ultrasonic vibration propagates in the direction in which the peripheral part extends with respect to the central axis. Therefore, the ultrasonic signal as a signal becomes small. The spread ultrasonic vibration has a problem that it is detected as an error.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、液面の低い場合から高い場合まで高精度に液面位置を計測できる超音波トランスジューサおよび該超音波トランスジューサを備えた超音波レベル計を提供することにある。
つまり、
1.信号の立ち上がり特性を向上させる。
2.残響特性を向上させる。
3.超音波の指向性を高める。
4.信号の分解能を高める。
これらを実現するために、
・ 圧電素子の機械的品質係数を小さくする。
・ 圧電素子の数を多くして、位相を同じにする。
・ 超音波の周波数を高める。
の以上が考えられる。これらを実現するために複合圧電素子が最も適している。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and a main object thereof is an ultrasonic transducer capable of measuring a liquid surface position with high accuracy from a low liquid level to a high liquid level, and an ultrasonic transducer including the ultrasonic transducer. It is to provide a sound level meter.
That means
1. Improve signal rise characteristics.
2. Improve reverberation characteristics.
3. Increase the directivity of ultrasound.
4). Increase signal resolution.
To achieve these,
・ Reduce the mechanical quality factor of piezoelectric elements.
・ Increase the number of piezoelectric elements to make the phase the same.
・ Increase the frequency of ultrasound.
More than can be considered. A composite piezoelectric element is most suitable for realizing these.

本発明は、超音波を超音波トランスジューサによって送信して、その送信波の反射波を同じまたは別の超音波トランスジューサによって受信し、前記超音波の送信から受信までの伝播時間を計測するによってレベルを測定する超音波レベル計において、超音波トランスジューサを複合圧電素子とするものである。  In the present invention, ultrasonic waves are transmitted by an ultrasonic transducer, a reflected wave of the transmitted wave is received by the same or another ultrasonic transducer, and a level is measured by measuring a propagation time from transmission to reception of the ultrasonic wave. In the ultrasonic level meter to be measured, the ultrasonic transducer is a composite piezoelectric element.

本発明はまた、超音波を超音波トランスジューサによって送信して、その送信波の反射波を同じまたは別の超音波トランスジューサによって受信し、前記超音波の送信から受信までの伝播時間を計測するによってレベルを測定する超音波レベル計において、超音波トランスジューサを金属製のダイアフラムに接合した複合圧電素子とするものである。  The present invention also provides an ultrasonic wave transmitted by an ultrasonic transducer, the reflected wave of the transmitted wave is received by the same or another ultrasonic transducer, and the propagation time from transmission to reception of the ultrasonic wave is measured. In an ultrasonic level meter for measuring the above, a composite piezoelectric element in which an ultrasonic transducer is joined to a metal diaphragm is used.

本発明はまた、前記ダイアフラムに金属製のダイアフラムリングを設けるものである。  The present invention also provides the diaphragm with a metallic diaphragm ring.

本発明はまた、容器の底部外壁面に取付けられ、該容器内部に収容された液体の液面に向けて超音波を送信すると共に、前記液面からの反射を受信する前記超音波トランスジューサを持つ超音波レベル計とするものである。  The present invention also includes the ultrasonic transducer that is attached to the bottom outer wall surface of the container and that transmits ultrasonic waves toward the liquid surface of the liquid contained in the container and receives reflections from the liquid surface. This is an ultrasonic level meter.

本発明はまた、容器の側面外壁面に取付けられ、該容器に向けて超音波を送信すると共に、エコーを受信する前記超音波トランスジューサを持つ超音波レベル計とするものである。  The present invention is also an ultrasonic level meter attached to the outer side wall surface of a container, having the ultrasonic transducer for transmitting an ultrasonic wave toward the container and receiving an echo.

本発明の超音波レベル計によれば、高精度に容器内の液体の液面を測定することができる。  According to the ultrasonic level meter of the present invention, the liquid level of the liquid in the container can be measured with high accuracy.

本発明による超音波レベル計の第1の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 1st Embodiment of the ultrasonic level meter by this invention. 第1の実施形態の超音波レベル計に用いた複合圧電素子の平面図である。It is a top view of the compound piezoelectric element used for the ultrasonic level meter of a 1st embodiment. 図2のA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA line of FIG. 複合圧電素子と圧電素子の水中への超音波伝搬を比較するための装置である。This is an apparatus for comparing ultrasonic propagation of a composite piezoelectric element and a piezoelectric element into water. 図4の装置に複合圧電素子を用いて水中を伝搬した超音波を伝搬した受信波を示す図である。It is a figure which shows the received wave which propagated the ultrasonic wave which propagated in water using the composite piezoelectric element for the apparatus of FIG. 図4の装置に圧電素子を用いて水中を伝搬した超音波を伝搬した受信波を示す図である。It is a figure which shows the received wave which propagated the ultrasonic wave which propagated in water using the piezoelectric element for the apparatus of FIG. 超音波レベル計に用いる測定回路の概略図である。It is the schematic of the measurement circuit used for an ultrasonic level meter. 本発明による超音波レベル計の第2の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd Embodiment of the ultrasonic level meter by this invention. 本発明による超音波レベル計の第3の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 3rd Embodiment of the ultrasonic level meter by this invention. 本発明による超音波レベル計の第4の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 4th Embodiment of the ultrasonic level meter by this invention. 本発明による超音波レベル計の第5の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 5th Embodiment of the ultrasonic level meter by this invention. 従来の超音波レベル計に用いる圧電素子の変位図である。It is a displacement figure of the piezoelectric element used for the conventional ultrasonic level meter.

第1の実施の形態である基本的な構成を図1の断面図で示す。  The basic configuration of the first embodiment is shown in the sectional view of FIG.

図1で示す液化ガスや灯油などを収容するステンレス製の容器2に取付けられた超音波レベル計1である。超音波レベル計1は、容器2の底面に接触媒質5であるグリースを介して背面にバッキング材6を接合した複合圧電素子4を取付け、かつ容器2の底面に接着剤により取付けた磁石7と鋼鉄製のバッキング材カバー8により複合圧電素子4を押し付けた超音波トランスジューサ3と、超音波トランスジューサ3により超音波を送信した時点からその反射波を受信する時点までの時間情報に基づいて液面の検出動作を制御するコントローラとで構成される。接触媒質の詳細については、非特許文献1に記述されている。  It is the ultrasonic level meter 1 attached to the stainless steel container 2 which accommodates the liquefied gas, kerosene, etc. which are shown in FIG. The ultrasonic level meter 1 includes a magnet 7 attached to the bottom surface of the container 2 with a composite piezoelectric element 4 having a backing material 6 bonded to the back surface via grease as a contact medium 5 and attached to the bottom surface of the container 2 with an adhesive. Based on the ultrasonic transducer 3 in which the composite piezoelectric element 4 is pressed by the steel backing material cover 8 and the time information from when the ultrasonic wave is transmitted by the ultrasonic transducer 3 to when the reflected wave is received, And a controller that controls the detection operation. Details of the contact medium are described in Non-Patent Document 1.

本発明で最も特徴的な点の一つは超音波トランスジューサの圧電素子が複合圧電素子であることである。  One of the most characteristic features of the present invention is that the piezoelectric element of the ultrasonic transducer is a composite piezoelectric element.

複合圧電素子は、圧電セラミックなどの圧電体と樹脂が構造的に複合化され、圧電セラミックや圧電高分子にはない特徴を持つ材料である。非特許文献1に詳しく記載されているが、複合圧電振動子は圧電素子単体では、実現不可能な特性を得るために開発されたものであり、現在はその価格が高いこともあり医療用として主に使用されている。複合圧電振動子は、セラミックと高分子の複合体は、セラミックと高分子の各々が何次元の物理的(いくつの方向)に自己結合しているかにより分類される。すなわち、圧電活性な成分である圧電セラミックがその複合体の中で連なっている次元数mと圧電非活性な成分である高分子が連なっている次元数nでm−n複合体と表示する。複合圧電振動子の中でも、もっとも実用的な1−3複合体であり、本発明に用いた。  A composite piezoelectric element is a material in which a piezoelectric body such as a piezoelectric ceramic and a resin are structurally combined, and has characteristics not found in piezoelectric ceramics and piezoelectric polymers. Although described in detail in Non-Patent Document 1, a composite piezoelectric vibrator has been developed to obtain characteristics that cannot be realized with a single piezoelectric element, and is currently expensive for medical use. Mainly used. Composite piezoelectric vibrators are classified into ceramic and polymer composites based on how many dimensions (in which direction) each ceramic and polymer are self-bonded. That is, an mn composite is represented by a dimension number m in which the piezoelectric ceramic as a piezoelectric active component is continuous in the composite and a dimension n in which a polymer as a piezoelectric inactive component is continuous. Among the composite piezoelectric vibrators, it is the most practical 1-3 composite and was used in the present invention.

図2、3に複合圧電素子4の詳細を示す。直径20mm、厚さ3mmであり、個々の圧電素子9は2mm角で長さ3mmであり、圧電素子9と圧電素子9を接合しているエポキシ樹脂10の幅は1mmである。圧電素子9は、鉛系圧電セラミックであり、いわゆるLow Q材である。  2 and 3 show details of the composite piezoelectric element 4. Each piezoelectric element 9 has a diameter of 20 mm and a thickness of 3 mm, a 2 mm square and a length of 3 mm, and the width of the epoxy resin 10 joining the piezoelectric element 9 and the piezoelectric element 9 is 1 mm. The piezoelectric element 9 is a lead-based piezoelectric ceramic, and is a so-called Low Q material.

また、通常の圧電素子に比較して機械的損失の大きい複合圧電振動子を用いることで、信号波形の立ち上がりが良くなるため、測定分解能が向上するため、測定精度が向上する。  In addition, by using a composite piezoelectric vibrator having a large mechanical loss compared to a normal piezoelectric element, the rise of the signal waveform is improved, so that the measurement resolution is improved and the measurement accuracy is improved.

さらに複合圧電振動子の個々の圧電素子を点超音波発生源と考えると圧電素子の数が多いほど指向性は高まる。これに関しては非特許文献3に詳しく記述してある。
本発明の目的である超音波の指向性を高めレベル計の精度を向上させるためには圧電素子の数は9個以上が望ましい。
また、複合圧電振動子の個々の圧電素子を点超音波発生源としてより作用するために個々の圧電素子を接合している接着剤の音響インピーダンスを小さくするため、接着剤より密度の低いフィラーを混合することが望ましい。
Further, when the individual piezoelectric elements of the composite piezoelectric vibrator are considered as point ultrasonic wave generation sources, the directivity increases as the number of piezoelectric elements increases. This is described in detail in Non-Patent Document 3.
In order to improve the directivity of ultrasonic waves and improve the accuracy of the level meter, which is the object of the present invention, the number of piezoelectric elements is preferably nine or more.
In addition, in order to reduce the acoustic impedance of the adhesive that joins the individual piezoelectric elements in order to make the individual piezoelectric elements of the composite piezoelectric vibrator act as a point ultrasonic wave generation source, a filler having a lower density than the adhesive is used. It is desirable to mix.

参考までにここで用いた、又は比較した材料の物性を示す。
鉛系圧電セラミックの密度は、約7.8×10kg/m、音速4100m/s、音響インピーダンス約3.2×10kg/msである。
エポキシ樹脂の密度は、約1.1×10kg/m、音速2480m/s、音響インピーダンス約2.7×10kg/msである。
For reference, the physical properties of the materials used or compared here are shown.
The density of the lead-based piezoelectric ceramic is about 7.8 × 10 3 kg / m 3 , the speed of sound is 4100 m / s, and the acoustic impedance is about 3.2 × 10 7 kg / m 2 s.
The density of the epoxy resin is about 1.1 × 10 3 kg / m 3 , the sound speed is 2480 m / s, and the acoustic impedance is about 2.7 × 10 6 kg / m 2 s.

本発明では、複合圧電素子を構成する圧電素子として圧電セラミックの他、圧電単結晶もある。圧電セラミックは、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸鉛などある。また圧電単結晶は、チタン酸ジルコン酸鉛単結晶、ニオブ酸リチウム、水晶などがある。  In the present invention, the piezoelectric element constituting the composite piezoelectric element includes a piezoelectric single crystal as well as a piezoelectric ceramic. Piezoelectric ceramics include lead zirconate titanate, barium titanate, lead titanate, lead niobate and the like. Examples of the piezoelectric single crystal include lead zirconate titanate single crystal, lithium niobate, and quartz.

本発明では、圧電素子として多結晶の圧電素子を用いた複合圧電素子を使用したが、さらに高い性能を要求される場合は、圧電単結晶を圧電素子とする複合圧電素子も考えられる。  In the present invention, a composite piezoelectric element using a polycrystalline piezoelectric element is used as the piezoelectric element. However, when higher performance is required, a composite piezoelectric element using a piezoelectric single crystal as a piezoelectric element is also conceivable.

ここで、本発明の複合圧電素子4を使用した超音波トランスジューサ3の性能を従来の圧電素子9を用いた超音波トランスジューサ3と比較するために図4の断面図に示す伝搬特性測定装置11を用いる。基本的な性能を比較するため、外径50mm、内径40mmそして長さ100mmのステンレス製の測定管16の両側に直径50mm、厚さ1.9mmのステンレスの円板を接合し、その円板の外側の中心部に図4に示した複合圧電振動子4a、4bをグリースにより接着した。そしてこの複合圧電振動子4a、4bに約98Vp−pで492KHzの6波のバースト波を印加し、反対側の複合圧電振動子4a、4bでの受信電圧を観測した結果を図5に示す。伝搬音速は約1470m/sであり、ほぼ超音波の水の伝搬速度と一致している。したがって水中を波動が直進しているがわかる。また受信信号の減衰時間は約230μsである。  Here, in order to compare the performance of the ultrasonic transducer 3 using the composite piezoelectric element 4 of the present invention with that of the ultrasonic transducer 3 using the conventional piezoelectric element 9, a propagation characteristic measuring apparatus 11 shown in the sectional view of FIG. Use. In order to compare the basic performance, a stainless steel disk having a diameter of 50 mm and a thickness of 1.9 mm is joined to both sides of a stainless steel measuring tube 16 having an outer diameter of 50 mm, an inner diameter of 40 mm and a length of 100 mm. The composite piezoelectric vibrators 4a and 4b shown in FIG. 4 are bonded to the outer central portion with grease. FIG. 5 shows the result of observing the reception voltage at the opposite composite piezoelectric vibrators 4a and 4b by applying six burst waves of 492 KHz at about 98 Vp-p to the composite piezoelectric vibrators 4a and 4b. The propagation sound speed is about 1470 m / s, which is almost the same as the propagation speed of ultrasonic water. Therefore, you can see that the waves are moving straight through the water. The decay time of the received signal is about 230 μs.

上記に述べた伝搬特性測定装置11を用い、通常の圧電素子を用いた超音波トランスジューサ3の評価をする。直径20mmそして厚さ1mmの従来の圧電素子9を3枚積層した積層圧電素子を作成する。そしてこの積層圧電素子を用いた超音波トランスジューサ3を用いたものについて説明する。外径50mm、内径40mmそして長さ100mmのステンレス管の両側に直径50mm、厚さ1.9mmのステンレスの円板を接合し、その円板の外側の中心部に積層圧電素子をグリースにより接着した。そしてこの積層圧電素子に約101Vp−pで94KHzの6波のバースト波を印加し、反対側の積層圧電素子での受信電圧を観測した結果を図6に示す。なお積層圧電素子を用いた理由は、駆動電圧を小さくするためであった。  The ultrasonic transducer 3 using a normal piezoelectric element is evaluated using the propagation characteristic measuring apparatus 11 described above. A laminated piezoelectric element in which three conventional piezoelectric elements 9 having a diameter of 20 mm and a thickness of 1 mm are laminated is prepared. A description will be given of an ultrasonic transducer 3 using the laminated piezoelectric element. A stainless steel disc having a diameter of 50 mm and a thickness of 1.9 mm is joined to both sides of a stainless steel tube having an outer diameter of 50 mm, an inner diameter of 40 mm, and a length of 100 mm, and a laminated piezoelectric element is adhered to the center of the outer side of the disc with grease. . FIG. 6 shows the result of observing the reception voltage at the opposite laminated piezoelectric element by applying six burst waves of 94 KHz at approximately 101 Vp-p to this laminated piezoelectric element. The reason why the laminated piezoelectric element is used is to reduce the driving voltage.

さらに減衰特性を測定するために、オシロの時間軸を延長して400μs以上波動が継続していることを確認した。伝搬音速は約1140m/sであり、水中を波動が直進していないことがわかる。  Furthermore, in order to measure the attenuation characteristic, it was confirmed that the wave continued for 400 μs or more by extending the time axis of the oscilloscope. The propagation sound velocity is about 1140 m / s, and it can be seen that the wave does not travel straight through the water.

以上のように複合圧電振動子を用いることで、従来の圧電素子に比較して、超音波の指向性を高めることができることが明らかになった。また、同じ形状でも複合圧電振動子を用いるものは厚み方向の高い周波数を用いるので、測定分解能を高めることができる。そして積層圧電素子のQmが約60であり、複合圧電振動子のQmが約20であるので複合圧電振動子の受信信号の立ち上がり特性が優れる。  As described above, it has been clarified that the directivity of ultrasonic waves can be improved by using the composite piezoelectric vibrator as compared with the conventional piezoelectric element. Moreover, even if the same shape uses a composite piezoelectric vibrator, a high frequency in the thickness direction is used, so that the measurement resolution can be increased. Since the laminated piezoelectric element has a Qm of about 60 and the composite piezoelectric vibrator has a Qm of about 20, the rising characteristic of the reception signal of the composite piezoelectric vibrator is excellent.

ここで、同じ形状でも複合圧電振動子の圧電素子の数を多くすると指向性が高まるが、圧電素子の断面積が小さすぎると機械的強度に不安が生じるので少なくても0.01mm以上の断面積が必要である。また厚み方向の振動を励起するために、25mm以下の断面積が必要である。Here, even with the same shape of the composite piezoelectric transducer is directed to increasing the number of piezoelectric elements is increased, the cross-sectional area of the piezoelectric element is too small, anxiety mechanical strength less be 0.01 mm 2 or more since they produce A cross-sectional area is required. Further, in order to excite vibration in the thickness direction, a cross-sectional area of 25 mm 2 or less is required.

図5に示すように本発明の超音波トランスジューサを用いたものは、水中を伝搬した波動のみが受信され、その波動の立ち上がり特性がよい。したがって、正確に液面の測定が可能となる。  As shown in FIG. 5, the apparatus using the ultrasonic transducer of the present invention receives only the wave propagating in the water, and the rising characteristic of the wave is good. Therefore, the liquid level can be accurately measured.

図6に示すように従来の超音波トランスジューサを用いたものは、駆動周波数が比較的低くいため分解能が小さく、立ち上がり特性も良くない。さらに、超音波の直進性が良くない。そのため、正確に、そして分解能が高い液面の測定ができない。しかも、様々な波動が長く続くため、測定間隔が長くなり、急激な液面変化に追随できない。これの原因の一つは、本発明の超音波トランスジューサのQmが約24であり、従来の超音波トランスジューサのQmが約300であるためと考えられる。  As shown in FIG. 6, the conventional ultrasonic transducer uses a relatively low drive frequency, so the resolution is small and the rise characteristic is not good. Furthermore, the straightness of ultrasonic waves is not good. Therefore, the liquid level cannot be measured accurately and with high resolution. In addition, since various waves continue for a long time, the measurement interval becomes long, and a rapid change in the liquid level cannot be followed. One reason for this is considered to be that the Qm of the ultrasonic transducer of the present invention is about 24, and the Qm of the conventional ultrasonic transducer is about 300.

したがって、機械的品質係数Qmが高い材料である金属にQmが100程度の圧電素子を接合すると、超音波トランスジューサのQmが約300程度になり、超音波レベル計の測定精度に悪影響がある。これに対して、機械的品質係数Qmが高い材料である金属にQmが20程度の複合圧電素子を接合すると、超音波トランスジューサのQmが約20程度になり、超音波レベル計の測定精度を向上させる。  Therefore, when a piezoelectric element having a Qm of about 100 is joined to a metal having a high mechanical quality factor Qm, the ultrasonic transducer has a Qm of about 300, which adversely affects the measurement accuracy of the ultrasonic level meter. In contrast, when a composite piezoelectric element with a Qm of about 20 is bonded to a metal, which is a material with a high mechanical quality factor Qm, the ultrasonic transducer has a Qm of about 20, improving the measurement accuracy of the ultrasonic level meter. Let

以下に上記の構成の超音波レベル計の動作を、図7を用いて説明する。  The operation of the ultrasonic level meter having the above configuration will be described below with reference to FIG.

非特許文献4に示す超音波レベル計1の測定回路と同様な測定回路を用いている。超音波トランスジューサは、送信と受信を兼用している。アンプゲインコントローラーは時間と共にゲインを増加させる機能であり、不要波を除去するためのものである。また、積分回路は外乱を避けるためのものである。出力は電流出力(4〜20mADC)になっている。  A measurement circuit similar to the measurement circuit of the ultrasonic level meter 1 shown in Non-Patent Document 4 is used. The ultrasonic transducer is used for both transmission and reception. The amplifier gain controller is a function for increasing the gain with time, and for removing unnecessary waves. The integrating circuit is for avoiding disturbance. The output is a current output (4 to 20 mADC).

超音波トランスジューサに約100Vp−p、約500KHzそして6波のトーンバスト波を複合圧電素子に印加する。送受波をスイッチして、受信する。同じ経路にそって伝搬した超音波6の伝搬時間が計測され、その計測値に基づいて液面のレベルを計算する。  About 100 Vp-p, about 500 KHz, and six tone bust waves are applied to the composite piezoelectric element to the ultrasonic transducer. Switch the transmission and reception to receive. The propagation time of the ultrasonic wave 6 propagated along the same path is measured, and the level of the liquid level is calculated based on the measured value.

以上の測定により従来に比較して、より精度の高い液面の位置を計測できる。  With the above measurement, it is possible to measure the position of the liquid surface with higher accuracy than in the past.

第2の実施の形態である基本的な構成を図8の断面図で示す。  The basic configuration of the second embodiment is shown in the sectional view of FIG.

液化ガスや灯油などを収容するステンレス製の容器2に取付けられた超音波レベル計1を図8で示す。超音波レベル計1の超音波トランスジューサ3は、容器2の底面にエポキシ樹脂を用いて複合圧電素子4を接合したものである。超音波トランスジューサ3を容器2から取り外す必要がない場合は、接触媒質を用いて容器に複合圧電素子4を接触させるより、容器2の底面にエポキシ樹脂を用いて複合圧電素子4を接合した方が信号の大きさ及び信号の立ち上がり特性、減衰特性が優れている。したがって図8に示す構成が適している。  An ultrasonic level meter 1 attached to a stainless steel container 2 containing liquefied gas or kerosene is shown in FIG. The ultrasonic transducer 3 of the ultrasonic level meter 1 is obtained by bonding a composite piezoelectric element 4 to the bottom surface of a container 2 using an epoxy resin. When it is not necessary to remove the ultrasonic transducer 3 from the container 2, it is better to join the composite piezoelectric element 4 to the bottom surface of the container 2 using epoxy resin than to contact the composite piezoelectric element 4 to the container using a contact medium. Excellent signal magnitude, signal rise characteristics, and attenuation characteristics. Therefore, the configuration shown in FIG. 8 is suitable.

第3の実施の形態である基本的な構成を図9の断面図で示す。  A basic configuration according to the third embodiment is shown in a sectional view of FIG.

液化ガスや灯油などを収容する鋼鉄製の容器2に取付けられた超音波レベル計1を図9で示す。超音波トランスジューサ3を取り外す必要があり、かつ容器2が磁性材料からなっている場合、図9のような構成が望ましい。鋼鉄製のダイアフラム12にリング状の磁石7をエポキシ樹脂を用いて接合する。そしてダイアフラム12の中心部に複合圧電素子4を、エポキシ樹脂を用いて接合する。そして容器2とダイアフラム12の接合面にグリースを塗り、磁石7の磁力により容器2に圧着する。  FIG. 9 shows an ultrasonic level meter 1 attached to a steel container 2 that contains liquefied gas, kerosene, and the like. When it is necessary to remove the ultrasonic transducer 3 and the container 2 is made of a magnetic material, a configuration as shown in FIG. 9 is desirable. A ring-shaped magnet 7 is joined to a steel diaphragm 12 using an epoxy resin. The composite piezoelectric element 4 is bonded to the center portion of the diaphragm 12 using an epoxy resin. Then, grease is applied to the joint surface between the container 2 and the diaphragm 12 and pressed against the container 2 by the magnetic force of the magnet 7.

第4の実施の形態である基本的な構成を図10の断面図で示す。  A basic configuration according to the fourth embodiment is shown in a sectional view of FIG.

液化ガスや灯油などを収容するステンレス製の容器2に取付けられた超音波レベル計1を図10で示す。超音波トランスジューサ3を底面に設置できないときは、容器の上部に取付ける。その場合は、ステンレスを通過させ空気中に超音波を伝播させ液面で反射させ、再び空気中を超音波を伝搬させ、さらにステンレスを伝搬させ複合圧電素子4で受信する。このような構成においては、通常の圧電素子に比較して複合圧電素子が優れている。  An ultrasonic level meter 1 attached to a stainless steel container 2 containing liquefied gas, kerosene, etc. is shown in FIG. When the ultrasonic transducer 3 cannot be installed on the bottom surface, it is attached to the upper part of the container. In that case, the ultrasonic wave is propagated in the air through the stainless steel and reflected by the liquid surface, the ultrasonic wave is propagated again in the air, and the stainless steel is further propagated and received by the composite piezoelectric element 4. In such a configuration, the composite piezoelectric element is superior to a normal piezoelectric element.

第5の実施の形態である基本的な構成を図11の断面図で示す。  A basic configuration of the fifth embodiment is shown in a sectional view of FIG.

液化ガスや灯油などを収容するステンレス製の容器2に取付けられた超音波レベル計1を図11で示す。超音波トランスジューサ3a、3bを容器2の側面に設置するときは、容器の側面に対して超音波トランスジューサ3a、3bを移動させることがある。超音波トランスジューサ3a、3bは容器2の側面に接触する面に炭素繊維複合材料20a、20bを配置した複合圧電素子4a、4bとする。  FIG. 11 shows an ultrasonic level meter 1 attached to a stainless steel container 2 containing liquefied gas, kerosene and the like. When the ultrasonic transducers 3a and 3b are installed on the side surface of the container 2, the ultrasonic transducers 3a and 3b may be moved relative to the side surface of the container. The ultrasonic transducers 3 a and 3 b are composite piezoelectric elements 4 a and 4 b in which carbon fiber composite materials 20 a and 20 b are arranged on the surface that contacts the side surface of the container 2.

1 超音波レベル計
2 容器
3 超音波トランスジューサ
4 複合圧電素子
5 接触媒質
6 バッキング材
7 磁石
8 バッキング材カバー
9 圧電素子
10 エポキシ樹脂
11 伝搬特性測定装置
12 ダイアフラム
13 バネ
14 導入管
15 排出管
16 測定管
17 複合圧電素子を用いたときの検出波形
18 圧電素子を用いたときの検出波形
19 超音波レベル計測定回路
20 炭素繊維複合材料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultrasonic level meter 2 Container 3 Ultrasonic transducer 4 Composite piezoelectric element 5 Contact medium 6 Backing material 7 Magnet 8 Backing material cover 9 Piezoelectric element 10 Propagation characteristic measuring device 12 Diaphragm 13 Spring 14 Introducing pipe 15 Discharge pipe 16 Measurement Tube 17 Detection waveform when using composite piezoelectric element 18 Detection waveform when using piezoelectric element 19 Ultrasonic level meter measurement circuit 20 Carbon fiber composite material

Claims (5)

超音波を超音波トランスジューサによって送信して、その送信波の反射波を同じまたは別の超音波トランスジューサによって受信し、前記超音波の送信から受信までの伝播時間を計測するによってレベルを測定する超音波レベル計において、超音波トランスジューサを複合圧電素子であることを特徴とする。  Ultrasound is transmitted by an ultrasonic transducer, the reflected wave of the transmitted wave is received by the same or another ultrasonic transducer, and the level is measured by measuring the propagation time from transmission to reception of the ultrasonic wave In the level meter, the ultrasonic transducer is a composite piezoelectric element. 超音波を超音波トランスジューサによって送信して、その送信波の反射波を同じまたは別の超音波トランスジューサによって受信し、前記超音波の送信から受信までの伝播時間を計測するによってレベルを測定する超音波レベル計において、超音波トランスジューサが金属製のダイアフラムに接合した複合圧電素子とすることを特徴とする。  Ultrasound is transmitted by an ultrasonic transducer, the reflected wave of the transmitted wave is received by the same or another ultrasonic transducer, and the level is measured by measuring the propagation time from transmission to reception of the ultrasonic wave In the level meter, the ultrasonic transducer is a composite piezoelectric element bonded to a metal diaphragm. 前記ダイアフラムが金属製のダイアフラムリングを有していることを特徴とする請求項2に記載の超音波レベル計。  The ultrasonic level meter according to claim 2, wherein the diaphragm has a metal diaphragm ring. 容器の底部外壁面に取付けられ、該容器内部に収容された液体の液面に向けて超音波を送信すると共に、前記液面からの反射を受信する超音波トランスジューサである請求項1、2、3のいずれかに記載の超音波レベル計。  The ultrasonic transducer is attached to the outer wall surface of the bottom of the container, and transmits ultrasonic waves toward the liquid surface of the liquid contained in the container, and receives reflections from the liquid surface. The ultrasonic level meter according to any one of 3 above. 容器の側面外壁面に取付けられ、該容器に向けて超音波を送信すると共に、エコーを受信する超音波トランスジューサである請求項1、2、3のいずれかに記載の超音波レベル計。  The ultrasonic level meter according to claim 1, wherein the ultrasonic level meter is an ultrasonic transducer that is attached to an outer side wall surface of a container, transmits an ultrasonic wave toward the container, and receives an echo.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011007763A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Kazumasa Onishi Ultrasonic flowmeter
DE102015113908A1 (en) * 2015-08-21 2017-02-23 Truma Gerätetechnik GmbH & Co. KG Level gauge, method for operating a level gauge and assembly consisting of a level gauge and at least one spacer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63195525A (en) * 1987-02-09 1988-08-12 Hitachi Ltd Ultrasonic level gauge
JP2008203207A (en) * 2007-02-22 2008-09-04 Ricoh Elemex Corp Liquid detector

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63195525A (en) * 1987-02-09 1988-08-12 Hitachi Ltd Ultrasonic level gauge
JP2008203207A (en) * 2007-02-22 2008-09-04 Ricoh Elemex Corp Liquid detector

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011007763A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Kazumasa Onishi Ultrasonic flowmeter
DE102015113908A1 (en) * 2015-08-21 2017-02-23 Truma Gerätetechnik GmbH & Co. KG Level gauge, method for operating a level gauge and assembly consisting of a level gauge and at least one spacer
US10180343B2 (en) 2015-08-21 2019-01-15 Truma Geraetetechnik Gmbh & Co. Kg Device and method for measuring the level of liquid in a container
US10830631B2 (en) 2015-08-21 2020-11-10 Truma Geraetetechnik Gmbh & Co. Kg Device and method for measuring the level of liquid in a container

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