JP2011005422A - Liquid coating head and liquid coating device using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクジェットヘッドを用いた、液体を塗布する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for applying a liquid using an inkjet head.
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ELディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。 In recent years, printing apparatuses using inkjet recording methods such as inkjet printers and inkjet plotters are not only printers for general consumers, but also, for example, formation of electronic circuits, manufacture of color filters for liquid crystal displays, manufacture of organic EL displays It is also widely used for industrial applications.
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマル方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。 In such an ink jet printing apparatus, a liquid discharge head for discharging liquid is mounted as a print head. This type of print head includes a heater as a pressurizing unit in an ink flow path filled with ink, heats and boiles the ink with the heater, pressurizes the ink with bubbles generated in the ink flow path, A thermal system that ejects droplets from the ink ejection holes, and a part of the walls of the ink channel filled with ink is bent and displaced by a displacement element, and the ink in the ink channel is mechanically pressurized to eject ink. A piezoelectric method for discharging liquid droplets from holes is generally known.
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向と直交する方向に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態、もしくは、複数の液体吐出ヘッドを記録範囲が記録媒体より広くなるように複数並べて固定した状態で、副走査方向に搬送される記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。 In addition, in such a liquid discharge head, a serial type that performs recording while moving the liquid discharge head in a direction orthogonal to the conveyance direction of the recording medium, and a state in which the liquid discharge head that is longer in the main scanning direction than the recording medium is fixed Alternatively, there is a line type in which recording is performed on a recording medium conveyed in the sub-scanning direction in a state where a plurality of liquid ejection heads are arranged and fixed so that the recording range is wider than the recording medium. The line type has the advantage that high-speed recording is possible because there is no need to move the liquid discharge head as in the serial type.
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。 In order to print droplets at a high density in any of the serial type and line type liquid discharge heads, the density of the liquid discharge holes for discharging the droplets formed in the liquid discharge head must be increased. There is a need to.
そこで、液体吐出ヘッドを、マニホールドと、マニホールドから順に、共通流路、しぼり、液体加圧室および連通路を介して液体吐出孔まで繋がる個別流路を有した流路部材と、液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有するアクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている(例えば、特許文献1を参照。)。この液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を変位させることで、各液体加圧室の各液体吐出孔から液滴を吐出させ、主走査方向にdpiの解像度で印刷が可能とされている。 Therefore, the liquid discharge head includes a manifold, a flow path member having an individual flow path connected to the liquid discharge hole via the common flow path, the squeezing, the liquid pressurization chamber and the communication path in order from the manifold, and the liquid pressurization chamber. Is formed by laminating an actuator unit having a plurality of displacement elements provided so as to cover each of them (see, for example, Patent Document 1). In this liquid discharge head, the liquid pressurization chambers connected to the plurality of liquid discharge holes are arranged in a matrix, and the displacement elements of the actuator unit provided so as to cover the liquid pressurization chambers are displaced, whereby each liquid pressurization chamber is A liquid droplet is ejected from each of the liquid ejection holes, and printing is possible at a resolution of dpi in the main scanning direction.
しかしながら、特許文献1に記載されている液体吐出ヘッドで、液滴の飛翔距離が短いため、液滴を着弾させる対象までの距離が大きい場合、液滴が対象まで届かなかったり、届いたとしても塗布状態にむらが生じたりするという問題があった。
However, in the liquid ejection head described in
したがって、本発明の目的は、液体塗布ヘッドから距離のある対象に液体を塗布することのできる液体塗布ヘッドおよびそれを用いた液体塗布装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid application head capable of applying a liquid to an object at a distance from the liquid application head, and a liquid application apparatus using the liquid application head.
液体塗布ヘッドは、複数の液体加圧室、該複数の液体加圧室内の液体に対してそれぞれ圧力を加える複数の加圧部、前記複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔、および気体を噴出させるための複数の気体噴出孔を有し、前記複数の気体噴出孔が前記複数の液体吐出孔と同一方向側で、かつ前記複数の液体吐出孔から吐出される液体を前記複数の液体吐出孔から離すべく気体を噴出するように開口していることを特徴とする。 The liquid application head includes a plurality of liquid pressurizing chambers, a plurality of pressurizing units that apply pressure to the liquids in the plurality of liquid pressurizing chambers, and a plurality of liquid ejection units connected to the plurality of liquid pressurizing chambers, respectively. And a plurality of gas ejection holes for ejecting gas, wherein the plurality of gas ejection holes are on the same direction side as the plurality of liquid ejection holes, and the liquid ejected from the plurality of liquid ejection holes An opening is provided so as to eject gas so as to be separated from the plurality of liquid discharge holes.
また、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の液体吐出孔からなる液体吐出孔群が一方方向に延びており、前記複数の気体噴出孔が前記液体吐出孔群を挟んでその両側に前記一方方向に沿って設けられていることが好ましい。 Further, when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes, a liquid ejection hole group including the plurality of liquid ejection holes extends in one direction, and the plurality of gas ejection holes sandwich the liquid ejection hole group. It is preferable that it is provided along the said one direction on the both sides.
さらに、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の気体噴出孔が複数の前記液体吐出孔からなる液体吐出孔群を囲むように設けられていることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the plurality of gas ejection holes are provided so as to surround a liquid ejection hole group including the plurality of liquid ejection holes when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes.
またさらに、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の液体吐出孔のそれぞれに対して前記複数の気体噴出孔が、1つの前記液体吐出孔を中心とする円の円周上に等間隔に複数設けられていることが好ましい。 Furthermore, when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes, the plurality of gas ejection holes are on the circumference of a circle centered on one liquid ejection hole for each of the plurality of liquid ejection holes. It is preferable that a plurality are provided at equal intervals.
さらにまた、前記円の円周上に設けられている複数の前記気体噴出孔の軸線が、前記円の中心側に傾いていることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the axes of the plurality of gas ejection holes provided on the circumference of the circle are inclined toward the center of the circle.
本発明の液体塗布装置は、前記液体塗布ヘッドと、前記液体塗布ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えることを特徴とする。 The liquid coating apparatus of the present invention includes the liquid coating head and a control unit that controls driving of the liquid coating head.
本発明の液体塗布ヘッドによれば、複数の液体加圧室、該複数の液体加圧室内の液体に対してそれぞれ圧力を加える複数の加圧部、前記複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔、および気体を噴出させるための複数の気体噴出孔を有し、前記複数の気体噴出孔が前記複数の液体吐出孔と同一方向側で、かつ前記複数の液体吐出孔から吐出される液体を前記複数の液体吐出孔から離すべく気体を噴出するように開口していることにより、前記液体吐出孔の開口から吐出された液滴は、前記気体噴出孔から噴出された気体により飛翔距離が伸びるため、塗布対象物までの距離が遠くても液体を塗布することができる。 According to the liquid application head of the present invention, the plurality of liquid pressurizing chambers, the plurality of pressurizing units that respectively apply pressure to the liquid in the plurality of liquid pressurizing chambers, and the plurality of liquid pressurizing chambers, respectively. A plurality of liquid ejection holes and a plurality of gas ejection holes for ejecting gas, wherein the plurality of gas ejection holes are on the same direction side as the plurality of liquid ejection holes and from the plurality of liquid ejection holes The liquid ejected from the opening of the liquid ejection hole is formed by ejecting gas so as to eject the liquid to be ejected from the plurality of liquid ejection holes, so that the gas ejected from the gas ejection hole As a result, the flying distance increases, so that the liquid can be applied even if the distance to the application object is long.
また、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の液体吐出孔からなる液体吐出孔群が一方方向に延びており、前記複数の気体噴出孔が前記液体吐出孔群を挟んでその両側に前記一方方向に沿って設けられている場合、前記液体吐出孔群の両側の前記気体噴出孔から噴出される気体により、前記液体吐出孔群の先に安定した気体の流れができ、安定した液体を塗布ができる。 Further, when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes, a liquid ejection hole group including the plurality of liquid ejection holes extends in one direction, and the plurality of gas ejection holes sandwich the liquid ejection hole group. When provided on the both sides along the one direction, the gas ejected from the gas ejection holes on both sides of the liquid ejection hole group allows a stable gas flow to the tip of the liquid ejection hole group, A stable liquid can be applied.
さらに、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の気体噴出孔が複数の前記液体吐出孔からなる液体吐出孔群を囲むように設けられている場合、前記液体吐出孔群の周囲の前記気体噴出孔から噴出される気体により、前記液体吐出孔群の先に安定した気体の流れができ、安定した液体を塗布ができる。 Further, when the plurality of gas ejection holes are provided so as to surround the liquid ejection hole group composed of the plurality of liquid ejection holes when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes, The gas ejected from the surrounding gas ejection holes allows a stable gas flow at the tip of the liquid ejection hole group, and a stable liquid can be applied.
またさらに、前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の液体吐出孔のそれぞれに対して前記複数の気体噴出孔が、1つの前記液体吐出孔を中心とする円の円周上に等間隔に複数設けられている場合、中心にある前記液体吐出孔が、その周囲の円周上に設けられた前記気体吐出孔から対称的に噴出される気体により、前記液体吐出孔の先に安定した気体の流れができ、安定した液体を塗布ができる。 Furthermore, when viewed from the opening side of the plurality of liquid ejection holes, the plurality of gas ejection holes are on the circumference of a circle centered on one liquid ejection hole for each of the plurality of liquid ejection holes. When the plurality of liquid discharge holes at the center are provided at equal intervals, the liquid discharge holes at the center of the liquid discharge holes are symmetrically ejected from the gas discharge holes provided on the circumference of the circumference. A stable gas flow can be achieved, and a stable liquid can be applied.
さらにまた、前記円の円周上に設けられている複数の前記気体噴出孔の軸線が、前記円の中心側に傾いている場合、中心にある前記液体吐出孔が、その周囲の円周上に設けられた前記気体吐出孔から対称的に噴出される気体により、前記液体吐出孔の先により安定した気体の流れができ、より安定した液体を塗布ができる。 Furthermore, when the axes of the plurality of gas ejection holes provided on the circumference of the circle are inclined toward the center of the circle, the liquid discharge hole at the center is located on the circumference of the circumference. The gas ejected symmetrically from the gas ejection holes provided in the can make a stable gas flow at the tip of the liquid ejection holes, and more stable liquid can be applied.
本発明の液体塗布装置によれば、前記液体塗布ヘッドと、前記液体塗布ヘッドの駆動を制御する制御部とを備えることにより、塗布対象物までの距離が遠くても液体を塗布することができる。 According to the liquid application apparatus of the present invention, the liquid application head and the control unit that controls driving of the liquid application head are provided, so that the liquid can be applied even when the distance to the application target is long. .
図1は、本発明の液体塗布装置1の一例の斜視図である。図2は、図1に示された液体塗布ヘッド2を示す平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、液体塗布ヘッド2の一部である。なお、図3において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10(液体加圧室群9)、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図4は図3のV−V線に沿った部分および気体流路部材80の一部の縦断面図である。
FIG. 1 is a perspective view of an example of a
液体塗布装置1は、液体塗布ヘッド2と液体分配流路部材70と筐体90と液体塗布ヘッド2からの液滴の吐出を制御する制御部(不図示)とを含んでいる。筐体90は金属製であり、一部に駆動信号が伝達される信号ケーブルが通る孔91が開口している。図1の例では上面の一部に孔91が開口しており、孔91は筐体90内に納められている制御部と繋がっている駆動信号が伝達される信号ケーブル(不図示)が通っており、樹脂製のふたなどで塞がれる。
The
液体塗布ヘッド2は、液体流路部材4と圧電アクチュエータユニット21と気体流路部材80とを含んでおり、液体流路部材4と気体流路部材80とを合わせた流路部材の下面(気体噴出孔面)には、気体を吹き出す複数の気体噴出孔88が、液体を吐出する複数の液体吐出孔8と同一方向側に開口している。液体流路部材4には液体流路部材4内に液体を入れるためのマニホールドの開口5bが複数開口している。
The
液体分配流路部材70は液体流路部材4の上に積層されており、圧電アクチュエータユニット21は液体分配流路部材70に設けられた凹部に収められている。液体分配流路部材70には液体導入孔71bが開口しており、外部から液体導入孔71bを通じて導入された液体は液体分配流路部材70内で分配され複数のマニホールドの開口5bに流れ込むようになっている。液体分配流路部材70内に、ダンパを備えた液体リザーバを設け、外部からの液体の供給が間に合わない場合に、ダンパが変形して液体リザーバの体積が減少し、その分の液体を液体リザーバから液体流路部材4に供給できるようにしておいてもよい。また、液体分配流路部材70内に、ヒータを設け、液体の吐出状態を安定させるために、液体の粘度を一定に保つように、温度の制御を行なうようにしても良い。
The liquid
気体流路部材80には気体導入孔81bが開口しており、外部のポンプなど送られた気体が気体導入孔81bを通じて気体流路部材80の気体流路81に入り気体噴出孔88から吹き出される。
A
液体塗布装置1は、下面の気体噴出孔面の先に液体を塗布させる対象物を置いて、液体吐出孔8から液滴を吐出させるとともに、気体噴出孔88から気体を吹き出させることで、吐出された液滴が吹き出された気体による気流で運ばれて、対象物に液体を塗布することができる。吐出された液滴は気流で運ばれるため、対象物に凹凸があって、複数の液体吐出孔8から吐出された液滴が着弾するまでの飛翔距離に差があっても、安定して対象物に着弾させることができる。
The
対象物がより複雑な形状をしている場合は、液体塗布装置1を、関節を有するロボットアームなどに取り付けて、ロボットアームを制御させて、対象物との距離をある程度一定に制御すれば、より複雑な形状をした対象物に対しても液体の塗布ができる。
When the object has a more complicated shape, the
次に本発明の液体塗布装置1を構成する液体塗布ヘッド2について説明する。
Next, the
液体塗布ヘッド2は、流路部材を構成する平板状の液体流路部材4と、気体流路部材80と、液体流路部材4上に配置された、加圧部である後述の変位素子50が複数設けられた圧電アクチュエータユニット21とを有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形形状の1対の平行対向辺が液体流路部材4の長手方向と平行になるように液体流路部材4の上面に配置されている。
The
また、液体流路部材4の長手方向と平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に液体流路部材4上に配列されている。液体流路部材4上で隣り合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、液体流路部材4の短手方向を見たときに部分的にオーバーラップしている。液体塗布装置1の長手方向を見た場合、このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより、吐出される液滴の密度が長手方向において平均化されるので、塗布を、液体塗布ヘッド2の短手方向に移動させながら行なうと一定の濃度で液体を塗布ができる。
In addition, two
液体流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は液体流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、液体流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、液体流路部材4の長手方向と平行な2本の直線(仮想線)のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5は、図示されていない液体タンクから液体分配流路部材70の中の液体流路および開口5bを通じて液体が供給されるようになっている。
A
液体流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している(分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある)。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、液体流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、液体流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接して、液体塗布ヘッド2の長手方向に延在している。
The
液体流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状(すなわち、2次元的かつ規則的)に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は液体流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、液体流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、液体流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。
The liquid
本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、液体流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1〜E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に液体流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the manifold 5 branches into four rows of E1-E4 sub-manifolds 5a arranged in parallel to each other in the short direction of the liquid
全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に液体流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。
As a whole, the
気体流路部材80は、液体塗布ヘッド2の下面にあたる気体噴出孔面に複数の気体噴出孔88が開口しており、気体導入孔の開口81bから送り込まれた気体は、気体噴出孔88から気体噴出孔面に対して略直交する方向に吹き出される。液体吐出孔8から吐出された液滴は、気体噴出孔面と同一平面である液体と吐出孔面に対して略直交する方向に吐出され、吹き出される。
In the gas
圧電アクチュエータユニット21の上面の各液体加圧室10に対向する位置には後述する個別電極35がそれぞれ形成されている。個別電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。
液体流路部材4の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、液体流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、液体流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8および空気噴出孔88の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔8は、液体流路部材4の長手方向と平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
A large number of liquid discharge holes 8 are formed on the liquid discharge surface on the lower surface of the liquid
液体塗布ヘッド2を構成する液体流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、液体流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャ(しぼり)プレート24、サプライプレート25、マニホールドプレート26、27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。液体塗布ヘッド2は、図4に示されているように、液体加圧室10は液体流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。
The liquid
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の入り口)からサプライプレート25(詳細には副マニホールド5aの出口)までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25に形成された個別供給流路6とが含まれている。
The holes formed in each plate will be described. These holes include the following. First, the
第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する連通路を構成する連通孔であり、この連通路は、液体吐出孔8および以下の記載においてディセンダ(部分流路)7と呼称される部分からなる。液体吐出孔8は、ノズルプレート31に形成されている。ディセンダ7は、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の出口)からカバープレート30(詳細には液体吐出孔8との接続端)までの各プレートに形成されている。
Third, there is a communication hole that constitutes a communication path that communicates from the other end of the
第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート25〜29に形成されている。 Fourthly, there is a communication hole constituting the sub-manifold 5a. The communication holes are formed in the manifold plates 25-29.
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口(副マニホールド5aの出口)から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこからディセンダ7の中を少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。
Such communication holes are connected to each other to form an
圧電アクチュエータユニット21は、図4に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21全体の厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している(図3参照)。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる。
As shown in FIG. 4, the
圧電アクチュエータユニット21と液体流路部材4との接着は、例えば接着層を介して行なう。接着層としては、圧電アクチュエータユニット21や液体流路部材4への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が100〜150℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂の接着剤が用いられる。熱硬化性樹脂の接着剤を用いるのは、常温硬化の接着剤では、耐インク性が十分確保されないおそれがあるためである。このため、圧電アクチュエータユニット21には、熱硬化温度から室温まで冷却されることにより、液体流路部材4と圧電アクチュエータユニット21との熱膨張係数の差により発生する応力が加わった状態になる。応力が大きい場合、圧電アクチュエータユニット21が壊れてしまうおそれがあり、また、応力が圧電アクチュエータユニット21を壊してしまうほど高くなくても、加わっている応力により圧電アクチュエータユニット21の特性が変動する。具体的には、圧縮応力が加わった状態では、圧電定数が低くなるが、駆動を非常に長い時間にわたって繰り返した際に変位量が低下する駆動劣化という現象の影響は小さくなる。逆に、引張り応力が加わった状態では、圧電定数が高くなるが、駆動劣化の影響は大きくなる。いずれにしても、液体流路部材4と圧電アクチュエータユニット21との熱膨張係数の差は、少なくする必要があり、長期間使用しても吐出特性の変動が大きくならないように、駆動劣化の影響の小さい圧縮応力が弱く加わった状態にするのが好ましい。そこで、圧電アクチュエータユニット21にPZT系のセラミックスを用いる場合には、液体流路部材4の材料としては42アロイを用いるのが好ましい。
Adhesion between the
液体塗布ヘッド2を構成する気体流路部材80は、複数のプレート85〜87が積層された積層構造を有している。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して気体導入孔81bから気体流路81を通って気体噴出孔88までの連通孔を構成するように、位置合わせして積層されている。プレート85には気体流路81の開口81bが開口している。プレート81の孔は複数の気体噴出孔88に繋がっている。プレート85〜87の接着は、例えば接着層を介して行なう。また、気体流路部材80と液体流路部材4との接着も、例えば接着層を介して行なう。接着層としては、熱硬化温度が100〜150℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも1種の熱硬化性樹脂の接着剤が用いられる。
The gas
圧電アクチュエータユニット21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極34およびとAu系などの金属材料からなる個別電極35を有している。個別電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。個別電極35の一端は、液体加圧室10と対向する領域外に引き出されて接続電極36が形成されている。この接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、図示されていないFPC(Flexible Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極35には、制御部からFPCを通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、記録用紙Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
The
共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、個別電極35からなる電極群を避ける位置に個別電極35とは異なる表面電極(不図示)が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極35と同様に、FPC上の別の電極と接続されている。
The
図4に示されるように、共通電極34と個別電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21層aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
As shown in FIG. 4, the
なお、後述のように、個別電極35に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50(アクチュエータ、加圧部)に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層体中には、図4に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する圧電セラミック層(振動板)21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、個別電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5〜7pL(ピコリットル)程度である。また、吐出された液滴の飛翔速度は5〜8m/s程度であるため、気体噴出孔88からの気体の噴出がない場合、液体吐出孔面から3cm程度離れたところで止まって空気中に浮遊する状態になってしまい、それ以上の離れたところまで、液滴を着弾させることはできない。また、液体吐出孔面から1cm以上は離れると飛翔速度が遅くなり、安定した着弾とはならない。
As will be described later, when a predetermined drive signal is selectively supplied to the
また、噴出させる気体は、液体塗布ヘッド内の液体の温度を安定化させるため、気体流路部材80に入る前にあらかじめ、加熱手段あるいは冷却手段により温度調整を行なうことが好ましい。温度調整は、例えば、気体流路部材80に設けられたセンサが測定した温度を一定に保つように制御部が加熱手段あるいは冷却手段を制御する。気体流路部材80を通る気体により気体流路部材80が冷却されるようであれば、あらかじめ気体を加熱するのが好ましく、摩擦などで気体流路部材80を通る気体により気体流路部材80の温度が高くなるようであれば、あらかじめ気体を加熱するのが好ましい。また、噴出された北は、液滴あるは対象物に塗布された液体の乾燥を速めることがあるため、噴出する気体の温度を制御することにより、液体の乾燥状態を調整することもできる
多数の個別電極35は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがFPC上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
The gas to be ejected is preferably temperature-adjusted in advance by a heating means or a cooling means before entering the gas
本実施形態における圧電アクチュエータユニット21においては、個別電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、個別電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット21は、上側(つまり、液体加圧室10とは離れた側)の圧電セラミック層21bを、活性部を含む層とし、かつ下側(つまり、液体加圧室10に近い側)の圧電セラミック層21aを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。
In the
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは液体加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
In this configuration, when the
本実施形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極35を共通電極34より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極35を共通電極34と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが元の形状に戻り、液体加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。このとき、液体加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から液体加圧室10内に吸い込まれる。その後再び個別電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが液体加圧室10側へ凸となるように変形し、液体加圧室10の容積減少により液体加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極35に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室10内において圧力波がマニホールド5から液体吐出孔8まで伝播する時間長さであるAL(Acoustic Length)が理想的である。これによると、液体加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
In an actual driving procedure in the present embodiment, the
以上のような液体塗布ヘッド2を用いれば、液滴吐出孔に近接させて、液滴吐出と略同一方向に気流を発生させる気流噴出孔を設けた液滴吐出ヘッドを作成し、これを用いて表面に凹凸を有する構造物の塗装を行った。
When the
本実施例では、被塗装面との距離を2〜7cm範囲に保ち、連続的に気流と共に液滴を吐出し続けることにより、液滴と共に偶発的に生じる微細なミストを被印刷物に到達せしめることにより塗装を行なうことができた。 In this embodiment, by keeping the distance from the surface to be coated in the range of 2 to 7 cm and continuously discharging the droplets along with the air current, the fine mist that occurs accidentally with the droplets can reach the substrate. It was possible to paint by.
特に本実施例では、気流速度や吐出ノズル数を調整することで液滴の飛翔速度や吐出量を任意に制御することが可能となり、従来の直線的なスプレーによる噴射では均一に塗装を行なうことが難しかった複雑な凹凸面に対しても、インクの回り込みや凹凸形状に応じた吐出量の制御が可能となり全面に均一な塗装を行なうことが可能となった。
さらに、従来、気流発生手段を持たないインクジェットヘッドで液滴を吐出し続けた場合、空中を漂っていたミストがノズル面に付着して徐々に大きな液滴となり、ノズルを遮蔽することにより液滴の吐出を阻害する場合があったが、気流を発生させることにより、ミストが対象物に向けて吹付けられるので、ノズルプレートへの液滴の付着を防ぐことができ、効率的に塗装を行なうことができた。
In particular, in this embodiment, it is possible to arbitrarily control the flying speed and discharge amount of the droplets by adjusting the airflow speed and the number of discharge nozzles, and the conventional linear spraying can be applied uniformly. Even on complex uneven surfaces that were difficult to control, it was possible to control the discharge amount according to the wraparound of the ink and the uneven shape, and it became possible to uniformly coat the entire surface.
Furthermore, conventionally, when droplets are continuously ejected by an inkjet head that does not have an airflow generating means, the mist drifting in the air adheres to the nozzle surface and gradually becomes large droplets. In some cases, the mist is blown toward the object by generating an air current, so that the droplets can be prevented from adhering to the nozzle plate, and the coating can be performed efficiently. I was able to.
また、このような液体塗布ヘッド2は全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向に平均170μm(150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である)以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。
In addition, such a
これにより、液滴を吐出する際、液体噴霧ノズルの周囲にある気流噴出ノズルから、液滴吐出速度と略同等の速度で空気を噴出することにより、液滴の周囲の気流との相対速度が低下することにより、空気抵抗による減速が緩和できる。これによって、制御部が各液体吐出孔8からの液滴の吐出を制御することにより、対象物との距離を1cm〜3cm程度まで離した場合でも、従来の気流噴射のないインクジェットヘッドに比べて、液滴の直進性が損なわれ難いため、液体精度の高い画像を印刷をすることもできる。また実施例1と同様に、気流によりノズル面にミスト状の液滴が付着されにくくなるため、液滴がノズルを塞ぐことなく、安定した印刷が可能となった。
As a result, when ejecting droplets, air is ejected from the airflow ejection nozzle around the liquid spray nozzle at a speed substantially equal to the droplet ejection speed, so that the relative velocity with the airflow around the droplet is reduced. By lowering, deceleration due to air resistance can be mitigated. As a result, the control unit controls the discharge of the liquid droplets from each
さらに、距離が遠い場合で、各液体吐出孔8からの吐出の有無を選択できるため、600dpiの印刷ができない場合であっても、液体の濃度を連続的に変えわるグラデーションをつけたり、対象物の形状などにより、塗布の濃度が薄くなってしまう場所への塗布量を増やして、対象物への塗布量を均質に近づけることができる
ここさらに、液体吐出孔と気体吐出孔の配置について詳しく説明する。前記複数の液体吐出孔の開口側から見て、前記複数の液体吐出孔は前記複数の液体吐出孔が一方方向に長い液体吐出孔群を構成し、前記複数の気体噴出孔は前記液体吐出孔群の長手方向の両側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体塗布ヘッド。
Further, since it is possible to select whether or not to discharge from each
図5(a)、(b)、図6(a)、(b)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す縦断面図である。 5 (a), 5 (b), 6 (a), and 6 (b) are longitudinal sectional views showing an example of another liquid application head of the present invention.
液体塗布ヘッド102、202、302、402を構成する流路部材103、203、303、403は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材103、203、303、403の上面から順に、プレート122、222、322、422から131、231、331、431までが積層されている。液体塗布ヘッド102、202、302、402は、液体塗布ヘッド2と同様に、マニホールド105、205、305、206から液体加圧室110、210、310、410を介して液体吐出孔108、208、308、408に繋がる個別流路131、231、331、431を有している。また、液体塗布ヘッド102、202、302、402は、液体塗布ヘッド2と同様に、外部から送られてきた気体を、気体流路181を通して、液体吐出孔108、208、308、408の開口と同一方向に開口している気体噴出孔188、288、388、488から噴出させる。
The
液体塗布ヘッド304では、プレート322〜329は液体の流路を構成しているプレートであり、液体流路部材304を構成しおり、プレート329〜331は気体流路381を構成しているプレートであり、気体流路部材380を構成している。
In the
液体塗布ヘッド404では、プレート422〜429は液体の流路を構成しているプレートであり、液体流路部材404を構成しおり、プレート429〜431は気体流路481を構成しているプレートであり、気体流路部材480を構成している。
In the
流路部材103、203、303、403には、液体塗布ヘッド2の場合と同様に、圧電アクチュエータユニット121、221、321、421が積層されており、圧電アクチュエータユニット121、221、321、421に備えられている変位素子150、250、350、450によって加えられる圧力により、液体吐出孔108、208、308、408から液滴が吐出される。
Similarly to the case of the
図7(a)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す平面図であり、(b)はその側面図ある。図7(a)、(b)の流路部材は、液体流路部材504と気体流路部材580により構成されている。液体吐出孔508の開口側から見て、気体噴出孔588の開口は液体吐出孔580の開口からなる複数の液体吐出孔の開口群をそれぞれ囲むように設けられている。
Fig.7 (a) is a top view which shows an example of the other liquid application head of this invention, (b) is the side view. 7A and 7B includes a
気体流路部材580は、液体流路部材504に積層されている。このような流路部材の流路は、例えば、図4(a)、(b)に示した断面構造をとることができる。気体流路を気体流路部材580のみに設けることで、印刷用などに設計された液体流路部材504に気体流路部材580を積層して、液体塗布ヘッドを得ることができる。
The gas
図7(c)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す平面図であり、(d)はその側面図ある。図7(c)、(d)の流路部材は、液体流路部材604と気体流路部材680により構成されている。液体吐出孔608の開口側から見て、液体吐出孔608の開口は一方方向に長い液体吐出孔群を構成し、気体噴出孔688は液体吐出孔の開口群の長手方向の両側に設けられている。すなわち、複数の気体噴出孔688の開口は液体吐出孔の開口群を挟んでその両側に前記一方方向に沿って設けられている。
FIG.7 (c) is a top view which shows an example of the other liquid application head of this invention, (d) is the side view. 7C and 7D includes a
図7(e)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す平面図であり、(f)はその側面図ある。図7(e)、(f)の流路部材は、液体流路部材704と気体流路部材780により構成されている。液体吐出孔708の開口側から見て、気体噴出孔788の開口は液体吐出孔780の開口からなる液体吐出孔の開口群を囲むように設けられている。
FIG.7 (e) is a top view which shows an example of the other liquid application head of this invention, (f) is the side view. 7 (e) and 7 (f) includes a
図7(a)、(c)、(e)に示した液体吐出孔508、608、708は、図3に示した液体加圧室10に繋がる液体吐出孔8より少ないが、図3に示した液体加圧室10に繋がる液体吐出孔8ようにより多くの液体吐出孔508、608、708を配置してもよい。
The liquid discharge holes 508, 608, and 708 shown in FIGS. 7A, 7C, and 7E are fewer than the liquid discharge holes 8 connected to the
図8(a)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す平面図である。流路部材803には、複数の液体吐出孔808および複数の気体噴出孔888が同一方向に開口している。そして、1つの液体吐出孔808を中心として気体噴出孔888が4つ設けられており、4つの気体噴出孔888は1つの液体吐出孔808を中心とする円の円周上に等間隔に設けられている。
FIG. 8A is a plan view showing an example of another liquid application head of the present invention. In the
1つの液体吐出孔に対して配置される気体噴出孔は4つ以外でもよく、2つ以上の液体気体噴出孔を液体吐出孔を中心とする円の円周上に等間隔に設ければよい。図8(b)は液体吐出孔808−1と気体噴出孔880−1の配置を示す平面図であり、1つの液体吐出孔808−1に対して、3つの気体噴出孔888−1が、液体吐出孔808−1を中心とする円Cの円周上に等間隔に設けられている。 The number of gas ejection holes arranged for one liquid ejection hole may be other than four, and two or more liquid gas ejection holes may be provided at equal intervals on the circumference of a circle centered on the liquid ejection hole. . FIG. 8B is a plan view showing the arrangement of the liquid ejection holes 808-1 and the gas ejection holes 880-1, and three gas ejection holes 888-1 are provided for one liquid ejection hole 808-1. It is provided at equal intervals on the circumference of a circle C centered on the liquid discharge hole 808-1.
図8(c)は、本発明の他の液体塗布ヘッドの一例を示す平面図であり、(d)は、(c)の線Aにおける部分断面図である。流路部材903には、複数の液体吐出孔908および複数の気体噴出孔988が同一方向に開口している。そして、1つの液体吐出孔908を中心として気体噴出孔988が4つ設けられており、4つの気体噴出孔988は1つの液体吐出孔808を中心とする円の円周上に等間隔に設けられている。
FIG. 8C is a plan view showing an example of another liquid application head of the present invention, and FIG. 8D is a partial sectional view taken along line A in FIG. In the
以上、実施形態について説明したが、本発明はこれに限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良したものにも適用できる。例えば、上述の実施形態では、最初に液体加圧室10の体積を小さくすることで、液体吐出孔8付近にあるメニスカスを引き込んだ後、反射した圧力に合わせて液体加圧室10の体積を大きくして液滴を吐出する、いわゆる引き打ちの吐出方式について説明したが、最初に液体加圧室10の体積を大きくし、液体吐出孔8付近にあるメニスカスを液体吐出孔8から液柱として押し出し、反射した圧力に合わせて液体加圧室10の体積を小さくすることで液柱の後端を切る、いわゆる押し打ちの吐出方式を用いてもよい。
Although the embodiment has been described above, the present invention is not limited to this, and can be applied to modifications and improvements without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, by first reducing the volume of the
1・・・液体塗布装置
2・・・液体塗布ヘッド
4・・・液体流路部材
5・・・マニホールド
5a・・・副マニホールド
5b・・・(マニホールドの)開口
6・・・個別供給流路
7・・・ディセンダ
8・・・液体吐出孔
9・・・液体加圧室群
10・・・液体加圧室
11a、b、c、d・・・液体加圧室列
12・・・しぼり
15a、b、c、d・・・液体吐出孔列
21・・・圧電アクチュエータユニット
21a・・・圧電セラミック層(振動板)
21b・・・圧電セラミック層
22〜31・・・プレート
32・・・個別流路
34・・・共通電極
35・・・個別電極
36・・・接続電極
50・・・変位素子
70・・・液体分配流路部材
71b・・・液体導入孔
80・・・気体流路部材
81・・・気体流路
81b・・・(気体流路の)開口
85、86、87・・・プレート
88・・・気体噴出孔
90・・・筐体
91・・・孔
DESCRIPTION OF
21b ... Piezoelectric ceramic layer 22-31 ...
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