JP2010284723A - Coolant device of grinding apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coolant device of a grinding apparatus achieving a simple construction and a compact device. <P>SOLUTION: A static pressure cum cooling oil 83 stored in a tank 82 is supplied to first and second slide sections 101 and 103 as a static pressure oil by a static pressure pump 91, and to a processed portion of a workpiece as a cooling oil by a workpiece cooling pump 92, and to portions cooled in grinding wheel spindles 21-23 by a spindle cooling pump 93, respectively. On the other hand, the static pressure cum cooling oil 83 is collected into an oil collection pan 81 through a bed 1, and is filtered by first to third filters 85-87, and is pressure-fed to the tank 82 by first and second tank pressure feeding pumps 88 and 89 so as to be stored and circulatingly used. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、研削装置におけるクーラント装置係り、特に、構成の簡素化、装置の小型化等を図ったものに関する。   The present invention relates to a coolant device in a grinding device, and more particularly to a device that is simplified in structure, downsized, etc.

従来、研削装置などに代表される機械部品の加工装置にあっては、加工作業中に発生する熱対策として、熱の発生部位に応じた冷却方策を採るのが一般的であった。
例えば、研削装置を例に採れば、砥石スピンドル、ワークスピンドルの軸受け部分で発生する熱の冷却には、冷却水を、また、切削点において発生する加工熱については、クーラント油（切削油、研削油等）を、それぞれ用いるのが一般的であり、このような従来の研削装置については、例えば、特許文献１等において開示されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in a machining apparatus for machine parts typified by a grinding machine or the like, as a countermeasure against heat generated during a machining operation, a cooling strategy corresponding to a heat generation site has been generally adopted.
For example, taking a grinding device as an example, cooling water is used to cool the heat generated at the bearings of the grinding wheel spindle and work spindle, and coolant oil (cutting oil, grinding) is used for the processing heat generated at the cutting point. Oil or the like) is generally used, and such a conventional grinding apparatus is disclosed in, for example, Patent Document 1 and the like.

特開平１１−７７５３１号公報（第２−３頁、図１−図４）JP-A-11-77531 (page 2-3, FIGS. 1 to 4)

しかしながら、上述のような従来の研削装置等の機械部品加工装置にあっては、それぞれの冷却媒体毎に、その供給のための機構が必要である。すなわち、従来の研削装置等においては、概略的には、冷却媒体を貯留するタンク、タンクに貯留された冷却媒体を汲み上げて圧送するためのポンプ、タンクに貯留された冷却媒体を適温に保つための温調装置に大別されて構成される冷却媒体の供給機構を、冷却媒体毎に備える必要がある。そのため、装置構成の複雑化を招き、しかも、研削装置全体の高価格化を招く原因となっている。   However, in the conventional mechanical component processing apparatus such as the above-described grinding apparatus, a mechanism for supplying the cooling medium is required for each cooling medium. That is, in a conventional grinding apparatus or the like, in general, a tank for storing a cooling medium, a pump for pumping and pumping the cooling medium stored in the tank, and a cooling medium stored in the tank at an appropriate temperature. It is necessary to provide each cooling medium with a cooling medium supply mechanism that is roughly divided into the temperature control devices. For this reason, the configuration of the apparatus is complicated, and the cost of the entire grinding apparatus is increased.

さらに、研削装置等においては、静圧テーブルを用いるものがあるが、この静圧油の供給機構も、上述のような冷却媒体の供給機構と同様に、概略的には、タンク、ポンプ及び温調装置から構成されるのが一般的であり、装置構成のさらなる複雑化、さらなる高価格化を招くものとなっている。   Further, some grinding apparatuses and the like use a static pressure table. The supply mechanism of the static pressure oil is roughly similar to the supply mechanism of the cooling medium as described above. In general, it is composed of a control device, which further increases the complexity of the device configuration and increases the cost.

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、構成の簡素化、装置の小型化を可能とする研削装置用のクーラント装置を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a coolant device for a grinding device that can be simplified in configuration and downsized.

上記本発明の目的を達成するため、本発明に係る研削装置のクーラント装置は、
前記研削装置のベッドから流れ落ちる静圧兼冷却油を回収可能に回収用皿が設けられると共に、当該回収用皿に回収された静圧兼冷却油を貯留するタンクが設けられ、前記回収用皿と前記タンクとの間には、前記回収用皿に回収された静圧兼冷却油を濾過すると共に、前記タンクへ圧送する貯留用濾過・圧送手段が設けられる一方、
前記タンクと前記研削装置の静圧油の導入部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給する静圧用圧送・供給手段が設けられ、
前記タンクと前記研削装置におけるワークの加工部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給するワーク冷却用圧送・供給手段が設けられ、
前記タンクと前記研削装置のスピンドルの被冷却部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給するスピンドル冷却用圧送・供給手段が設けられ、
前記静圧用圧送・供給手段には、静圧兼冷却油を濾過する静圧用フィルタが設けられてなるものである。 In order to achieve the above object of the present invention, a coolant apparatus for a grinding apparatus according to the present invention comprises:
A recovery tray is provided so that the static pressure and cooling oil flowing down from the bed of the grinding device can be recovered, and a tank for storing the static pressure and cooling oil recovered in the recovery tray is provided, and the recovery tray and Between the tank and a filtration / pumping means for storage for filtering the static pressure and cooling oil collected in the collection dish and for feeding the tank to the tank,
Between the tank and the introduction portion of the hydrostatic oil of the grinding apparatus, a hydrostatic pressure feeding / supplying unit for feeding and supplying the hydrostatic and cooling oil of the tank is provided,
Between the tank and the processing part of the workpiece in the grinding device, there is provided a workpiece cooling pressure feeding / supplying unit for feeding and supplying the static pressure and cooling oil of the tank,
Between the tank and the portion to be cooled of the spindle of the grinding apparatus, there is provided a spindle cooling pressure feed / supply means for feeding and supplying the static pressure and cooling oil of the tank.
The static pressure pumping / supplying means is provided with a static pressure filter for filtering the static pressure and cooling oil.

本発明によれば、一種類の静圧兼冷却油を、静圧用、ワークの冷却用、及び、スピンドルの冷却用に共通に用いることができるようにしたので、従来と異なり、構成要素の共用化により構成の簡素化、装置の小型化が容易なクーラント装置を提供することができる。   According to the present invention, since one type of static pressure and cooling oil can be commonly used for static pressure, workpiece cooling, and spindle cooling, unlike the conventional case, the components are shared. Therefore, it is possible to provide a coolant device that can be simplified in configuration and downsized.

以下、本発明の実施の形態について、図１乃至図７を参照しつつ説明する。
なお、以下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。
最初に、本発明の実施の形態におけるクーラント装置が用いられる研削装置の全体構成について、図１を参照しつつ説明する。
本発明の実施の形態における研削装置Ｓは、特に、その全体外観、寸法が従来装置に比して非常に小型化されたもので、その正面側の横幅は、従来の大凡１／３程度の細身となっている（図１（Ａ）参照）。また、研削装置Ｓの奥行きは、従来とほぼ同程度であるが（図１（Ｂ）参照）、上述のように正面横幅の縮小化が図られているために、その設置スペースが従来に比して大幅に削減できるものとなっている。このような小型化を可能としたのは、詳細は後述するが、ワーク研削部分の構造にある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.
The members and arrangements described below do not limit the present invention and can be variously modified within the scope of the gist of the present invention.
Initially, the whole structure of the grinding device in which the coolant apparatus in embodiment of this invention is used is demonstrated, referring FIG.
The grinding device S according to the embodiment of the present invention is particularly reduced in overall appearance and dimensions as compared with the conventional device, and the lateral width on the front side is about 1/3 of the conventional one. It is slender (see FIG. 1A). Further, although the depth of the grinding apparatus S is almost the same as that of the conventional one (see FIG. 1B), since the front lateral width is reduced as described above, the installation space is smaller than the conventional one. Can be greatly reduced. The downsizing is made possible by the structure of the workpiece grinding portion as will be described in detail later.

本発明の研削装置Ｓは、ワークの研削を行う砥石などが配設される本体部２０１と、本体部２０１の上方に配設され、研削量などを設定する操作盤２０２と、操作盤２０２の設定データなどを基に、研削動作の制御等を行う電子回路が収納され、操作盤２０２の後方に配設される制御盤２０３と、制御盤２０３の後方に配設され、後述する静圧兼冷却用油の濾過を行う濾過装置２０４と、この濾過装置２０４に積層されるよう設けられ、静圧兼冷却油の圧力を制御する油圧装置２０５と、この油圧装置２０５に積層されるように設けられる冷却のため霧状に放出された静圧兼冷却油の回収を行うミストコレクタ２０６とに大別されて構成されたものとなっている。   The grinding apparatus S of the present invention includes a main body 201 on which a grindstone for grinding a workpiece is disposed, an operation panel 202 that is disposed above the main body 201 and sets a grinding amount, and the like. An electronic circuit for controlling the grinding operation and the like based on the setting data and the like is housed. The control panel 203 is disposed behind the operation panel 202, and is disposed behind the control panel 203. A filtration device 204 that filters cooling oil, a hydraulic device 205 that is stacked on the filtration device 204 and controls the pressure of the static and cooling oil, and a hydraulic device 205 that is stacked on the hydraulic device 205 It is roughly divided into a mist collector 206 that collects the static pressure and cooling oil discharged in the form of mist for cooling.

本体部２０１の正面ほぼ中央には、前面扉２０１ａが開閉可能に設けてあり、その開閉によって、内部に設けられたワーク保持用のチャック（図示せず）へ対するワークの取り付けや取り外しなどの作業が行えるようになっている。   A front door 201a is provided at the front center of the main body 201 so as to be openable and closable. By opening / closing the front door 201a, work such as attachment / detachment of a work to / from a work holding chuck (not shown) provided therein Can be done.

図２には、本体部２０１内に収納、配設される研削装置Ｓの主要部の構成例が示されており、以下、同図を参照しつつ、その構成例について説明する。
本体部２０１の底部側には、基台部としてのベッド１が設けられており、このベッド１に形成された水平面であるスライド設置面２に、後述する第１及び第２のスライド手段としての第１及び第２のスライド部１０１，１０２やワーク保持手段としてのワーク保持部１０３などが設けられるものとなっている。なお、ベッド１は、低熱膨張鋳物を用いて形成するのが、熱変位を最小限に抑える観点から好ましい。 FIG. 2 shows a configuration example of a main part of the grinding apparatus S housed and arranged in the main body 201. Hereinafter, the configuration example will be described with reference to FIG.
A bed 1 serving as a base is provided on the bottom side of the main body 201, and a slide installation surface 2 that is a horizontal surface formed on the bed 1 serves as first and second slide means described later. First and second slide portions 101 and 102, a work holding portion 103 as a work holding means, and the like are provided. The bed 1 is preferably formed using a low thermal expansion casting from the viewpoint of minimizing thermal displacement.

本発明の実施の形態におけるベッド１の平面外観形状、すなわち、図２に示された本体部２０１の主要部を上方向から見た場合の形状は、矩形状に形成されたものとなっているが、その一つの辺に沿ってスライド設置面２より高い段部１ｃが形成されており、その頂部１ｄには、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３等が設けられる（詳細は後述）ものとなっている。   The planar external shape of the bed 1 in the embodiment of the present invention, that is, the shape when the main part of the main body 201 shown in FIG. 2 is viewed from above is formed in a rectangular shape. However, a step portion 1c higher than the slide installation surface 2 is formed along one side, and first to third grindstone spindles 21 to 23 are provided on the top portion 1d (details will be described later). It has become a thing.

スライド設定面２上には、第１のスライド部１０１が設けられている。この第１のスライド部１０１は、スライド設定面２に接合されるように設けられた第１のベースプレート（ベース部材）１１と、この第１のベースプレート１１に対向するように設けられた第１のテーブルプレート（テーブル部材）１２と、第１のベースプレート１１と第１のテーブルプレート１２との間に設けられたリニアモータ１３とに大別されて構成されたものとなっている。なお、図２においては、第１のスライド部１０１は、その概略が示されたものとなっており、第１のスライド部１０１のより詳細な構造については後述する。   A first slide portion 101 is provided on the slide setting surface 2. The first slide portion 101 includes a first base plate (base member) 11 provided so as to be joined to the slide setting surface 2 and a first base plate 11 provided so as to face the first base plate 11. The table is roughly divided into a table plate (table member) 12 and a linear motor 13 provided between the first base plate 11 and the first table plate 12. In FIG. 2, the outline of the first slide portion 101 is shown, and a more detailed structure of the first slide portion 101 will be described later.

本発明の実施の形態において、第１のベースプレート１１は、その全体外観形状が大凡長方形となっており、その長辺は、上述の段部１ｃと反対側のベッド１の一辺とほぼ同じ長さに設定されたものとなっている。
また、第１のテーブルプレート１２は、その横幅が第１のベースプレート１１の短辺とほぼ同一であるが、この短辺と直交する方向の辺の長さは、第１のベースプレート１１の長辺の大凡１／３〜２／３程度の長さとなっており、後述するように第１のベースプレート１１の長辺に沿っての往復動が容易となるようにしてある。 In the embodiment of the present invention, the overall appearance of the first base plate 11 is generally rectangular, and its long side is almost the same length as one side of the bed 1 on the opposite side to the stepped portion 1c. It is set to.
The first table plate 12 has a lateral width that is substantially the same as the short side of the first base plate 11, but the length of the side in the direction orthogonal to the short side is the long side of the first base plate 11. The length is about 1/3 to 2/3, and reciprocation along the long side of the first base plate 11 is facilitated as will be described later.

なお、この第１のテーブルプレート１２は、リニアモータ１３の駆動力を受けて、後述する案内部３０によって第１のベースプレート１１の長辺に平行するように案内されて往復動するものとなっている。
ここで、第１のテーブルプレート１２が往復動する方向を、便宜的にＸ軸方向とする（図２参照）。 The first table plate 12 receives the driving force of the linear motor 13 and is guided by a guide unit 30 described later so as to be parallel to the long side of the first base plate 11 to reciprocate. Yes.
Here, the direction in which the first table plate 12 reciprocates is referred to as the X-axis direction for convenience (see FIG. 2).

そして、第１のテーブルプレート１２には、第２のスライド部１０２が載置されるように設けられている。
この第２のスライド部１０２は、その基本的な構造は、先の第１のスライド部１０１と同一のもので、第２のベースプレート（ベースプレート部材）１４と、この第２のベースプレート１４に対向するように設けられた第２のテーブルプレート（テーブル部材）１５と、第２のベースプレート１４と第２のテーブルプレート１５との間に設けられたリニアモータ１６とに大別されて構成されたものとなっている。なお、図２における第２のスライド部１０２は、先の第１のスライド部１０１同様、その概略が示されたものとなっており、より詳細な構造については後述する。 The first table plate 12 is provided so that the second slide portion 102 is placed thereon.
The basic structure of the second slide portion 102 is the same as that of the first slide portion 101, and is opposed to the second base plate (base plate member) 14 and the second base plate 14. A second table plate (table member) 15 provided in this manner, and a linear motor 16 provided between the second base plate 14 and the second table plate 15. It has become. In addition, the 2nd slide part 102 in FIG. 2 has shown the outline similarly to the previous 1st slide part 101, The more detailed structure is mentioned later.

本発明の実施の形態における第２のベースプレート１４は、その横幅、すなわち、Ｘ軸方向の長さが第１のテーブルプレート１２のＸ軸方向の長さにほぼ等しく設定されている一方、Ｘ軸を含む水平面内においてＸ軸と直交する方向（以下、この方向を便宜的に「Ｚ軸方向」と称する）の長さは、第１のテーブルプレート１２のＺ軸方向の長さよりもやや長目のものとなっている。
一方、第２のテーブルプレート１５は、その横幅、すなわち、Ｘ軸方向の長さが第２のベースプレート１４のＸ軸方向の長さにほぼ等しく設定されている一方、Ｚ軸方向の長さは、第２のベースプレート１４のＺ軸方向の長さよりも短めに設定されたものとなっている。
そして、第２のテーブルプレート１５は、リニアモータ１６の駆動力を受けて、Ｚ軸方向で往復動せしめられるようになっている。 The second base plate 14 according to the embodiment of the present invention has its lateral width, that is, the length in the X-axis direction set substantially equal to the length of the first table plate 12 in the X-axis direction. The length of the direction perpendicular to the X axis in the horizontal plane including the above (hereinafter, this direction is referred to as “Z axis direction” for convenience) is slightly longer than the length of the first table plate 12 in the Z axis direction. Has become.
On the other hand, the width of the second table plate 15, that is, the length in the X-axis direction is set substantially equal to the length in the X-axis direction of the second base plate 14, while the length in the Z-axis direction is The second base plate 14 is set to be shorter than the length in the Z-axis direction.
The second table plate 15 receives the driving force of the linear motor 16 and is reciprocated in the Z-axis direction.

さらに、第２のテーブルプレート１５の上には、ワーク保持部１０３が載置されたものとなっている。
すなわち、ワーク保持部１０３は、図示されないワークを着脱可能に保持するチャック１７と、内部にモータ（図示せず）を有してチャック１７を回転自在に保持する主軸１８とから構成されたものとなっている。
本発明の実施の形態においては、ベッド１に形成された段部１ｃ側に位置する第２のテーブルプレート１５の縁からチャック１７が段部１ｃ方向へ突出するように主軸１８及びチャック１７が設けられたものとなっている。 Further, a work holding unit 103 is placed on the second table plate 15.
That is, the work holding unit 103 includes a chuck 17 that detachably holds a work (not shown), and a spindle 18 that has a motor (not shown) inside and rotatably holds the chuck 17. It has become.
In the embodiment of the present invention, the main shaft 18 and the chuck 17 are provided so that the chuck 17 protrudes in the direction of the step 1c from the edge of the second table plate 15 located on the step 1c side formed in the bed 1. It has been made.

また、第２のテーブルプレート１５上において、ワーク保持部１０３の近傍には、ドレススピンドル１９が設けられており、後述する第１乃至第３の砥石２４〜２６のドレス作業が可能となっている。   Further, a dress spindle 19 is provided on the second table plate 15 in the vicinity of the work holding portion 103, and dressing work of first to third grindstones 24 to 26 described later is possible. .

一方、段部１ｃの頂部１ｄには、第１乃至第３の砥石保持手段としての第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３がＸ軸方向において適宜な間隔を隔てて設けられている。これら第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３には、それぞれ第１の砥石２４、第２の砥石２５、第３の砥石２６が回転可能に取り付けられており、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３は、第１乃至第３の砥石２４〜２６が、ワーク保持部１０３に臨むように段部１ｃに固設されたものとなっている。換言すれば、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３は、その軸方向がＺ軸方向となるように設けられている。   On the other hand, first to third grindstone spindles 21 to 23 as first to third grindstone holding means are provided on the top portion 1d of the stepped portion 1c at an appropriate interval in the X-axis direction. A first grindstone 24, a second grindstone 25, and a third grindstone 26 are rotatably attached to the first to third grindstone spindles 21 to 23, respectively. In 21 to 23, the first to third grindstones 24 to 26 are fixed to the stepped portion 1c so as to face the work holding portion 103. In other words, the first to third grindstone spindles 21 to 23 are provided such that the axial direction thereof is the Z-axis direction.

また、段部１ｃには、これら第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜１３の近傍に、ワーク交換のためのローディング装置１０４が設けられている。
本発明の実施の形態におけるローディング装置１０４は、旋回シリンダ７１と、上下シリンダ７２と、２つのエアチャック７３，７４を主たる構成要素としてなるものである。
段部１ｃに設けられた旋回シリンダ７１は、水平面内で回転可能となっているもので、この旋回シリンダ７１に上下シリンダ７２が載置されている。
上下シリンダ７２は、垂直方向での上下動が可能となっており、この上下シリンダ７２に第１及び第２のエアチャック７３，７４が積層するように設けられている。
かかる構成により、旋回シリンダ７１による旋回と、上下シリンダ７２による上下動により、チャック１７に対して適切な位置でローディング、アンローディング作業が行えるようになっている。 In addition, a loading device 104 for exchanging workpieces is provided in the vicinity of the first to third grindstone spindles 21 to 13 in the step portion 1c.
The loading device 104 according to the embodiment of the present invention is composed mainly of the swing cylinder 71, the upper and lower cylinders 72, and the two air chucks 73 and 74.
The turning cylinder 71 provided in the step portion 1c is rotatable in a horizontal plane, and the upper and lower cylinders 72 are placed on the turning cylinder 71.
The upper and lower cylinders 72 can move up and down in the vertical direction, and the first and second air chucks 73 and 74 are stacked on the upper and lower cylinders 72.
With this configuration, loading and unloading operations can be performed at appropriate positions with respect to the chuck 17 by turning by the turning cylinder 71 and vertical movement by the upper and lower cylinders 72.

また、本発明の実施の形態においては、第１のエアチャック７３には、シート深さ測定用の第１の測定子７５が、また、第２のエアチャック７４には、内径ポスプロ測定用の第２の測定子７６が、それぞれ適宜な位置に取着されており、ローディングの際に、それぞれ測定可能に構成されたものとなっている。     In the embodiment of the present invention, the first air chuck 73 has a first measuring element 75 for measuring the sheet depth, and the second air chuck 74 has an inner diameter post-pro measurement. Each of the second measuring elements 76 is attached to an appropriate position, and is configured so as to be capable of measurement at the time of loading.

かかる構成において、図示されないワークの研削作業は、まず、チャック１７にワーク（図示せず）を取着させ、操作盤２０２において、所望する研削に応じた設定を行う。そして、図示されない始動スイッチを押下することによって、第１のテーブルプレート１２がＸ軸方向に、第２のテーブルプレート１５がＺ軸方向に、制御盤２０３からの制御によって所望する研削に応じて往復動されながら、第１乃至第３の砥石２４〜２６が適宜選択され、研削が行われるものとなっている。
本発明の実施の形態においては、第１の砥石２４は内径研削に、第２の砥石２５はシート研削に、第３の砥石２６は端面研削に、それぞれ供されるものとなっている。 In this configuration, the workpiece grinding operation (not shown) is performed by first attaching the workpiece (not shown) to the chuck 17 and setting the operation panel 202 according to the desired grinding. By depressing a start switch (not shown), the first table plate 12 is moved in the X-axis direction and the second table plate 15 is moved in the Z-axis direction according to the desired grinding by the control from the control panel 203. The first to third grindstones 24 to 26 are appropriately selected while being moved, and grinding is performed.
In the embodiment of the present invention, the first grindstone 24 is used for internal diameter grinding, the second grindstone 25 is used for sheet grinding, and the third grindstone 26 is used for end face grinding.

次に、第１及び第２のスライド部１０１，１０２のより具体的な構成について、図３乃至図６を参照しつつ説明することとする。
まず、図３には、第１のスライド部１０１の縦断面図が示されているが、本発明の実施の形態においては、第２のスライド部１０２の構成も、基本的に第１のスライド部１０１と同一であり、以下、第１のスライド部１０１の構成の説明を以て、第２のスライド部１０２の構成の説明に代えることとする。 Next, a more specific configuration of the first and second slide portions 101 and 102 will be described with reference to FIGS. 3 to 6.
First, FIG. 3 shows a longitudinal sectional view of the first slide portion 101. However, in the embodiment of the present invention, the configuration of the second slide portion 102 is also basically the first slide portion. Hereinafter, the description of the configuration of the first slide unit 101 will be replaced with the description of the configuration of the second slide unit 102.

本発明の実施の形態において、第１のベースプレート１１と第１のテーブルプレート１２との間には、第１のテーブルプレート１２をＸ軸方向（図３において紙面表裏方向）に案内する案内部３０が設けられている。
すなわち、本発明の実施の形態における案内部３０は、第１のベースプレート１１に固設された第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂと、第１のテーブルプレート１２に固設された第１及び第２の可動側ガイド部材３２ａ，３２ｂと、これら第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂと第１及び第２の可動側ガイド部材３２ａ，３２ｂとの間に設けられた複数の静圧パッド４０とに大別されて構成されたものとなっている。 In the embodiment of the present invention, between the first base plate 11 and the first table plate 12, the guide unit 30 that guides the first table plate 12 in the X-axis direction (the front and back direction in FIG. 3). Is provided.
That is, the guide unit 30 according to the embodiment of the present invention includes the first and second reference guide members 31 a and 31 b fixed to the first base plate 11 and the first table plate 12 fixed to the first base plate 11. A plurality of first and second movable guide members 32a and 32b, and a plurality of first and second reference guide members 31a and 31b provided between the first and second movable guide members 32a and 32b. The static pressure pad 40 is broadly divided and configured.

第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂは、第１のテーブルプレート１１の往復動方向と直交する方向、すなわち、換言すれば、Ｚ軸方向で適宜な間隔を隔てて第１のベースプレート１１に固設されたものとなっている。
本発明の実施の形態において、第１のベースプレート１１は、その長手軸方向、すなわち、Ｘ軸方向の両側部近傍が、扁平の段部３４ａ，３４ｂに形成されており、この扁平の段部３４ａ，３４ｂに挟まれる部位は、平坦部３５となっている。 The first and second reference guide members 31a and 31b are arranged in a direction orthogonal to the reciprocating direction of the first table plate 11, that is, in other words, the first base plate 11 with an appropriate interval in the Z-axis direction. It has been fixed to.
In the embodiment of the present invention, the first base plate 11 is formed in flat step portions 34a and 34b in the longitudinal direction, that is, in the vicinity of both side portions in the X-axis direction, and the flat step portion 34a. , 34b is a flat portion 35.

第１のベースプレート１１は、少なくとも平坦部３５が水平面となっている必要がある。
第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂは、この平坦部３５の両側縁部分、すなわち、扁平の段部３４ａ，３４ｂに隣接する側縁部分に沿って固設されたものとなっている。
本発明の第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂは、大凡角柱状に形成された部材を用いてなり、その一面部分が山形に形成された山形部３６となっている。そして、かかる第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂは、山形部３５が、第１のベースプレート１１の長手方向と直交する方向、すなわち、Ｚ軸方向において、外方へ向かうように平坦部３５に固設されたものとなっている。 The first base plate 11 needs to have at least the flat portion 35 as a horizontal plane.
The first and second reference guide members 31a and 31b are fixedly provided along both side edge portions of the flat portion 35, that is, side edge portions adjacent to the flat step portions 34a and 34b. .
The first and second reference guide members 31a and 31b according to the present invention use members formed in a generally prismatic shape, and one surface portion thereof is a mountain-shaped portion 36 formed in a mountain shape. The first and second reference guide members 31a and 31b are flat portions so that the angled portion 35 faces outward in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the first base plate 11, that is, the Z-axis direction. 35 is fixed.

一方、可動側ガイド部材３２ａ，３２ｂは、第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂ同様、大凡角柱状に形成された部材を用いてなり、その一面部分が先の第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂの山形部３６が遊嵌できるよう溝部３７を形成したものとなっている。   On the other hand, the movable side guide members 32a and 32b are formed by using members formed in a roughly rectangular column shape, like the first and second reference guide members 31a and 31b, and the one surface portion thereof is the first and second surfaces. A groove portion 37 is formed so that the chevron portions 36 of the reference guide members 31a and 31b can be loosely fitted.

そして、第１及び第２の可動側ガイド部材３２ａ，３２ｂは、その溝部３７がＺ軸方向において第１のスライド部１０１の内側を向くように、換言すれば、第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂの山形部３６に臨むように第１のテーブルプレート１２の下面側（図３において紙面下側）においてＸ軸方向の両側縁部分に固設されたものとなっている。   The first and second movable guide members 32a and 32b are arranged so that the groove 37 faces the inside of the first slide portion 101 in the Z-axis direction, in other words, the first and second reference guides. The first table plate 12 is fixed to both side edge portions in the X-axis direction on the lower surface side (lower side in FIG. 3) of the first table plate 12 so as to face the chevron portions 36 of the members 31a and 31b.

なお、第１のリニアモータ１３は、第１のコイル１３ａと、第１の永久磁石１３ｂとに大別されてなる公知・周知の構成を有してなるもので、上述の第１の基準ガイド部材３１ａ及び第１の可動側ガイド部材３２ａと、第２の基準ガイド部材３１ｂ及び第２の可動側ガイド部材３２ｂとの間において、第１のコイル１３ａが第１のテーブルプレート１２の下面側に、第１の永久磁石１３ｂが第１のベースプレート１１に、それぞれ固着されたものとなっている。   The first linear motor 13 has a known and well-known configuration roughly divided into a first coil 13a and a first permanent magnet 13b, and the first reference guide described above. Between the member 31a and the first movable side guide member 32a and the second reference guide member 31b and the second movable side guide member 32b, the first coil 13a is placed on the lower surface side of the first table plate 12. The first permanent magnets 13b are fixed to the first base plate 11, respectively.

さらに、本発明の実施の形態においては、溝部３７の斜面部分に、次述するように静圧パッド４０が設けられている。
以下、図４乃至図６を参照しつつ静圧パッド４０について説明する。
まず、静圧パッド４０の基本的な構成としては、図４に示されたように、リセス４１と、このリセス４１の周囲を囲むように形成されるランド４２とからなり（図４参照）、ランド４２に対向するように静圧を生じさせたい相手側部材、すなわち、本発明の実施の形態においては、第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂが位置するものとなっている（図５参照）。 Furthermore, in the embodiment of the present invention, the static pressure pad 40 is provided on the slope portion of the groove portion 37 as described below.
Hereinafter, the static pressure pad 40 will be described with reference to FIGS. 4 to 6.
First, as shown in FIG. 4, the basic configuration of the static pressure pad 40 includes a recess 41 and lands 42 formed so as to surround the recess 41 (see FIG. 4). In the embodiment of the present invention, that is, the first and second reference guide members 31a and 31b are located (see FIG. 1). 5).

さらに、リセス４１の底部には、後述する油路５０に連通する静圧ノズル４３の開口４３ａが形成されており、開口４３ａから所定圧で静圧兼冷却用油を噴出させることで、第１及び第２の基準ガイド部材３１ａ，３１ｂとの間に静圧を生じせしめることができるようになっている。
そして、かかる静圧によって、第１の基準ガイド部材３１ａと第１の可動側ガイド部材３２ａ（第２の基準ガイド部材３１ｂと第２の可動側ガイド部材３２ｂ）の間には、いわゆる静圧軸受けが実現され、互いに、間隙（静圧軸受け用ギャップ）を介して対向状態に保持されることとなる。
なお、静圧軸受け用ギャップの大きさＬｇは、静圧パッド４０が形成されていない部分でＬｇ＝ｌ１とすると（図６参照）、静圧パッド４０が形成された部分では、当然のことではあるが、ランド４２の厚み分だけ狭くなり、Ｌｇ＝ｌ２（＜ｌ１）となる。 Furthermore, an opening 43a of a static pressure nozzle 43 communicating with an oil passage 50 described later is formed at the bottom of the recess 41, and the first pressure / cooling oil is ejected from the opening 43a at a predetermined pressure. In addition, a static pressure can be generated between the second reference guide members 31a and 31b.
And by this static pressure, between the 1st reference guide member 31a and the 1st movable side guide member 32a (the 2nd reference guide member 31b and the 2nd movable side guide member 32b), what is called a static pressure bearing. And are held in a state of being opposed to each other via a gap (static pressure bearing gap).
Note that the size Lg of the static pressure bearing gap is Lg = l1 in a portion where the static pressure pad 40 is not formed (see FIG. 6). However, it becomes narrower by the thickness of the land 42, and Lg = l2 (<l1).

本発明の実施の形態においては、静圧パッド４０へ所定圧で後述する静圧兼冷却用油を供給するために、第２のテーブルプレート１２と第１及び第２の可動側ガイド部材３２ａ，３２ｂに油路５０が形成されている（図３参照）。
すなわち、まず、油路５０は、第２のテーブルプレート１２においては、その内部に、第２のテーブルプレート１２の往復動方向と直交する方向、すなわち、Ｚ軸方向において、第２のテーブルプレート１２の側部近傍まで形成されている（図３参照）。
そして、油路５０の一部が第２のテーブルプレート１２の外面に開口して、後述するクーラント装置Ｓｃからの静圧油としての静圧兼冷却油が供給されるようになっている（図３参照）。なお、油路５０は、Ｘ軸方向の静圧パッド４０の数に応じて設けられたものとなっている。 In the embodiment of the present invention, the second table plate 12 and the first and second movable side guide members 32a, in order to supply the static pressure / cooling oil to be described later to the static pressure pad 40 at a predetermined pressure. An oil passage 50 is formed in 32b (see FIG. 3).
That is, first, the oil passage 50 has the second table plate 12 in the second table plate 12 in the direction orthogonal to the reciprocating direction of the second table plate 12, that is, in the Z-axis direction. It is formed up to the vicinity of the side (see FIG. 3).
A part of the oil passage 50 opens on the outer surface of the second table plate 12, and is supplied with static pressure and cooling oil as static pressure oil from a coolant device Sc described later (FIG. 3). The oil passage 50 is provided according to the number of static pressure pads 40 in the X-axis direction.

次に、図７を参照しつつ本発明の実施の形態におけるクーラント装置Ｓcの構成について説明する。
本発明の実施の形態におけるクーラント装置Ｓｃは、濾過装置２０４と油圧装置２０５とに大別されてなるもので、特に、静圧兼冷却油８３を、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の冷却水に代わるものとして、また、ワークの研削部分に対する冷却油として、さらに、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の静圧油として共通に用いることができるよう構成されたものである。
本発明の実施の形態における静圧兼冷却油８３は、通常、ワークの冷却用に用いられるもので、それを、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の冷却水に代わるものとして、また、ワークの研削部分に対する冷却油として、さらに、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の静圧油として共通に用いるようにしたものである。 Next, the configuration of the coolant device Sc in the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The coolant device Sc in the embodiment of the present invention is roughly divided into a filtration device 204 and a hydraulic device 205, and in particular, the static pressure / cooling oil 83 is supplied to the first to third grinding wheel spindles 21 to 23. As a substitute for the cooling water, and as a cooling oil for the grinding part of the workpiece, it can be used in common as a static pressure oil for the first and second slide portions 101 and 102. .
The static pressure / cooling oil 83 in the embodiment of the present invention is usually used for cooling a workpiece, and is used as an alternative to the cooling water of the first to third grindstone spindles 21 to 23. As a cooling oil for the grinding part of the workpiece, it is used in common as a static pressure oil for the first and second slide parts 101 and 102.

以下、具体的に説明すれば、まず、ベッド１（図２参照）の下部の適宜な位置には、油回収皿８１が設けられており、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の冷却に用いられた静圧兼冷却油８３及びワーク作業の冷却に用いられた静圧兼冷却油８３は、ベッド１を伝わって油回収皿８１に流れ込むようになっている。
また、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の静圧油として用いられた静圧兼冷却油８３は、図示されない排出口から油回収皿８１に注ぎ込まれるようになっている。 Specifically, first, an oil recovery tray 81 is provided at an appropriate position below the bed 1 (see FIG. 2), and the first to third grindstone spindles 21 to 23 are cooled. The static pressure / cooling oil 83 used for cooling and the static pressure / cooling oil 83 used for cooling the work work are transferred to the oil collection tray 81 through the bed 1.
Moreover, the static pressure and cooling oil 83 used as the static pressure oil of the first and second slide portions 101 and 102 is poured into the oil recovery tray 81 from a discharge port (not shown).

油回収皿８１に回収された静圧兼冷却油８３は、タンク８２に貯留されるが、油回収皿８１とタンク８２との間には、貯留用配管８４が設けられると共に、その途中には、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８９，９０が適宜な間隔で設けられている。
すなわち、貯留用配管８４には、油回収皿８１側から第１のフィルタ８５、第１のタンク圧送用ポンプ８９、第２のフィルタ８６、第２のタンク圧送用ポンプ９０及び第３のフィルタ８７が順に設けられている。 The static pressure / cooling oil 83 recovered in the oil recovery tray 81 is stored in the tank 82, and a storage pipe 84 is provided between the oil recovery tray 81 and the tank 82, and in the middle thereof. The first to third filters 85 to 87 and the first and second tank pumps 89 and 90 are provided at appropriate intervals.
That is, in the storage pipe 84, the first filter 85, the first tank pumping pump 89, the second filter 86, the second tank pumping pump 90, and the third filter 87 from the oil recovery tray 81 side. Are provided in order.

第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８９，９０は、公知・周知の構成を有するもので、油回収皿８１の静圧兼冷却油８３をタンク８２へ圧送するためのものである。
また、第１のフィルタ８５は、特に、公知・周知の構成を有してなるマグネットセパレータが用いられており、回収された静圧兼冷却油８３に混入している金属材の切削くずを磁石を用いて分離回収できるようになっている。 The first and second tank pumping pumps 89 and 90 have a known and well-known configuration, and are for pumping the static pressure / cooling oil 83 of the oil recovery tray 81 to the tank 82.
Further, the first filter 85 uses a magnet separator having a known and well-known configuration in particular, and magnetizes metal scraps mixed in the recovered static pressure / cooling oil 83 with a magnet. Can be separated and recovered.

さらに、第２及び第３のフィルタ８６，８７は、マグネットセパレータでは分離、回収しきれない比較的小さなごみや、切り粉を濾過するためのもので、後述する静圧用フィルタ９５に比して比較的大きめのごみ等の除去を目的としたものである。本発明の実施の形態においては、第２及び第３のフィルタ８６，８７の孔径は、大凡１０ミクロン程度に設定されたものが用いられている。   Further, the second and third filters 86 and 87 are for filtering relatively small dust and chips that cannot be separated and collected by the magnetic separator, and are compared with the static pressure filter 95 described later. The purpose is to remove oversized garbage. In the embodiment of the present invention, the pore sizes of the second and third filters 86 and 87 are set to about 10 microns.

タンク８２に貯留された静圧兼冷却油８３は、静圧用ポンプ９１、ワーク冷却用ポンプ９２、スピンドル冷却用ポンプ９３により、それぞれ次述するように所定の部位に圧送されるようになっている。
すなわち、静圧用ポンプ９１は、タンク８２の静圧兼冷却油８３を第１及び第２のスライド部１０１，１０２へ圧送するためのもので、その吐出側と、先に説明した第１及び第２のスライド部１０１，１０２の油路５０との間には、両者を接続する静圧用配管９４が設けられており、静圧兼冷却油８３が流通可能となっている。
なお、静圧用配管９４は、図７においては、詳細を省略してあるが、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の近傍において二股に分岐し、それぞれ第１及び第２のスライド部１０１，１０２の油路５０に接続されるようになっている。 The static pressure / cooling oil 83 stored in the tank 82 is pumped to a predetermined part by a static pressure pump 91, a workpiece cooling pump 92, and a spindle cooling pump 93, as described below. .
That is, the static pressure pump 91 is used to pressure-feed the static pressure / cooling oil 83 of the tank 82 to the first and second slide portions 101 and 102. The discharge side and the first and first described above are used. Between the oil passages 50 of the two slide portions 101 and 102, a static pressure pipe 94 is provided to connect both of them, and the static pressure and cooling oil 83 can flow.
Although the details of the static pressure pipe 94 are omitted in FIG. 7, the static pressure pipe 94 is bifurcated in the vicinity of the first and second slide portions 101, 102, and the first and second slide portions 101, respectively. , 102 are connected to the oil passage 50.

また、本発明の実施の形態においては、静圧用配管９４の途中の適宜な位置、例えば、静圧用ポンプ９１の近傍に静圧用フィルタ９５が設けられている。これは、静圧に用いられる油は、冷却に用いられるものと比較して高い浄化度が要求されるためである。かかる静圧用フィルタ９５の孔径は、静圧兼冷却油８３に混入したごみ等が静圧ノズル４３に入り込まないようにする観点から、静圧ノズル４３の内径よりも十分に小さく設定されるべきものであり、本発明の実施の形態においては、大凡３ミクロン程に設定されたものとなっている。
なお、先に述べた静圧軸受け用ギャップの大きさ、特に、静圧パッド４０が形成された部分の静圧軸受け用ギャップの大きさＬｇ＝ｌ２が、静圧ノズル４３の内径より小である場合にあっては、静圧用フィルタ９５の孔径は、そのｌ２以下に設定されるべきものである。それによって、静圧軸受け用ギャップの部分に、静圧兼冷却油８３へ混入したごみ等が噛み込むようなことが確実に防止されることとなる。 In the embodiment of the present invention, the static pressure filter 95 is provided at an appropriate position in the middle of the static pressure pipe 94, for example, in the vicinity of the static pressure pump 91. This is because oil used for static pressure is required to have a higher degree of purification than that used for cooling. The hole diameter of the static pressure filter 95 should be set sufficiently smaller than the inner diameter of the static pressure nozzle 43 from the viewpoint of preventing dust mixed in the static pressure / cooling oil 83 from entering the static pressure nozzle 43. In the embodiment of the present invention, it is set to about 3 microns.
The size of the static pressure bearing gap described above, in particular, the size of the static pressure bearing gap Lg = 12, where the static pressure pad 40 is formed, is smaller than the inner diameter of the static pressure nozzle 43. In such a case, the hole diameter of the static pressure filter 95 should be set to 12 or less. As a result, the dust mixed into the static pressure / cooling oil 83 is surely prevented from being caught in the static pressure bearing gap portion.

また、ワーク冷却用ポンプ９２は、タンク８２の静圧兼冷却油８３をワークの加工部分へ圧送するためのもので、その吐出側には、砥石２４〜２６の近傍に突出口を有するワーク用配管９６が接続されており、静圧兼冷却油８３が流通可能となっている。
本発明の実施の形態においては、ワーク用配管９６の途中の適宜な位置、例えば、ワーク冷却用ポンプ９２の近傍にワーク用フィルタ９７が設けられており、タンク８２から汲み上げられた静圧兼冷却油８３をさらに浄化している。本発明の実施の形態におけるワーク用フィルタ９７は、孔径が大凡５ミクロン程度に設定されたものが用いられている The work cooling pump 92 is for pressure-feeding the static pressure / cooling oil 83 in the tank 82 to the work portion of the work. On the discharge side, the work cooling pump 92 has a projecting opening in the vicinity of the grindstones 24-26. A pipe 96 is connected to allow the static pressure / cooling oil 83 to flow.
In the embodiment of the present invention, a workpiece filter 97 is provided at an appropriate position in the middle of the workpiece pipe 96, for example, in the vicinity of the workpiece cooling pump 92, and the static pressure and cooling pumped up from the tank 82 is provided. The oil 83 is further purified. The workpiece filter 97 according to the embodiment of the present invention uses a filter whose hole diameter is set to about 5 microns.

さらに、スピンドル冷却用ポンプ９３は、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の冷却のため、タンク８２の静圧兼冷却油８３を圧送するためのもので、その吐出側には、スピンドル冷却用配管９８が接続されており、このスピンドル冷却用配管９８を介して第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の被冷却部分に静圧兼冷却油８３の放出ができるようになっている。   Further, the spindle cooling pump 93 is for pumping the static pressure / cooling oil 83 of the tank 82 for cooling the first to third grindstone spindles 21 to 23. A piping 98 is connected, and the static pressure and cooling oil 83 can be discharged to the cooled portions of the first to third grinding wheel spindles 21 to 23 through the spindle cooling piping 98.

また、調温装置１０５がタンク８２近傍に設けられており、タンク８２に貯留された静圧兼冷却油８３を、ほぼ一定温度に保つことができるようにしてある。なお、調温装置１０５は、公知・周知の構成を有するものである。このような調温装置１０５としては、例えば、コイル状に形成された熱交換用パイプ１０５ａに適温に調整された冷媒を流通させ、この熱交換用パイプ１０５ａを被調温液体（例えば、静圧兼冷却油８３）に浸すことで、被調温液体を所望する温度に調整可能としたものなどがある。   A temperature control device 105 is provided in the vicinity of the tank 82 so that the static pressure / cooling oil 83 stored in the tank 82 can be maintained at a substantially constant temperature. The temperature control device 105 has a known and well-known configuration. As such a temperature control device 105, for example, a refrigerant adjusted to an appropriate temperature is circulated through a heat exchange pipe 105a formed in a coil shape, and the heat exchange pipe 105a is used as a temperature-controlled liquid (for example, static pressure). For example, the liquid to be adjusted can be adjusted to a desired temperature by being immersed in the cooling oil 83).

なお、本発明の実施の形態においては、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７、静圧用フィルタ９５及びワーク用フィルタ９７は、濾過装置２０４に、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８８，８９、静圧用ポンプ９１、ワーク冷却用ポンプ９２及びスピンドル冷却用ポンプ９３は、油圧装置２０５に、それぞれ設けられたものとなっている。
本発明の実施の形態においては、貯留用配管８４、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８８，８９により貯留用濾過・圧送手段が形成されたものとなっている。 In the embodiment of the present invention, the first to third filters 85 to 87, the static pressure filter 95, and the work filter 97 are connected to the first and second tank pumps 88, 89, the static pressure pump 91, the workpiece cooling pump 92, and the spindle cooling pump 93 are provided in the hydraulic device 205, respectively.
In the embodiment of the present invention, a storage filtration / pumping means is formed by the storage pipe 84, the first to third filters 85 to 87, and the first and second tank pumps 88 and 89. It has become.

また、静圧用配管９４、静圧用フィルタ９５及び静圧用ポンプ９１により静圧用圧送・供給手段が、ワーク用配管９６、ワーク用フィルタ９７及びワーク冷却用ポンプ９２によりワーク冷却用圧送・供給手段が、スピンドル冷却用配管９８及びスピンドル冷却用ポンプ９３によりスピンドル冷却用圧送・供給手段が、それぞれ形成されたものとなっている。   The static pressure piping 94, the static pressure filter 95, and the static pressure pump 91 provide the static pressure pumping / supplying unit, and the workpiece piping 96, the workpiece filter 97, and the workpiece cooling pump 92 provide the workpiece cooling pumping / supplying unit. The spindle cooling pipe 98 and the spindle cooling pump 93 form spindle cooling pressure feed / supply means, respectively.

かかる構成における静圧兼冷却油８３の循環について概括的に説明すれば、まず、タンク８２に貯留されている静圧兼冷却油８３は、静圧用ポンプ９１により、第１及び第２のスライド部１０１，１０３へ静圧油として供給され、図示されない排出口から放出されて、油回収皿８１に回収される。
また、タンク８２の静圧兼冷却油８３は、ワーク冷却用ポンプ９２により、ワークの加工部分へ冷却用油として供給され、放出されるようになっており、放出後は、ベッド１を伝わって油回収皿８１に回収される。
さらに、タンク８２の静圧兼冷却油８３は、スピンドル冷却用ポンプ９３により、砥石スピンドル２１〜２３の被冷却部分に供給され、放出されるようになっており、放出後は、ベッド１を伝わって油回収皿８１に回収される。 If the circulation of the static pressure / cooling oil 83 in this configuration is generally described, first, the static pressure / cooling oil 83 stored in the tank 82 is first and second slide parts by the static pressure pump 91. 101 and 103 are supplied as static pressure oil, discharged from a discharge port (not shown), and collected in an oil collection tray 81.
Further, the static pressure / cooling oil 83 in the tank 82 is supplied and discharged as cooling oil to the workpiece processing part by the work cooling pump 92, and after being discharged, is transmitted through the bed 1. It is recovered in the oil recovery tray 81.
Further, the static pressure / cooling oil 83 in the tank 82 is supplied to the cooled parts of the grindstone spindles 21 to 23 by the spindle cooling pump 93 and discharged, and after being discharged, is transmitted through the bed 1. Then, it is recovered in the oil recovery tray 81.

そして、上述のようにして油回収皿８１に回収された静圧兼冷却油８３は、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７により濾過されて、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８８，８９によりタンク８２に圧送され、タンク８２に貯留され、循環的に、静圧、冷却に用いられるものとなっている。   Then, the static pressure / cooling oil 83 recovered in the oil recovery tray 81 as described above is filtered by the first to third filters 85 to 87, and the first and second tank pumps 88, It is pumped by 89 to the tank 82, stored in the tank 82, and used cyclically for static pressure and cooling.

上述のように、本発明の実施の形態においては、静圧兼冷却油８３を、第１乃至第３の砥石スピンドル２１〜２３の冷却水に代わるものとして、また、ワークの研削部分に対する冷却油として、さらに、第１及び第２のスライド部１０１，１０２の静圧油として共通に用いるようにしたので、従来に比して、構成が簡素になるだけではなく、例えば、従来、砥石スピンドルの冷却に水を用いていていたため、そのタンクの錆の発生が回避し難いものであったが、静圧兼冷却油８３を用いることで、そのような錆の発生を回避することができる。   As described above, in the embodiment of the present invention, the static pressure / cooling oil 83 is replaced with the cooling water of the first to third grindstone spindles 21 to 23, and the cooling oil for the grinding portion of the workpiece. In addition, since it is commonly used as the hydrostatic oil for the first and second slide portions 101 and 102, the configuration is not only simplified compared to the conventional one, but, Since water was used for cooling, the generation of rust in the tank was difficult to avoid. However, by using the static pressure / cooling oil 83, such generation of rust can be avoided.

また、従来は、スピンドルの冷却用の冷却水、ワーク冷却用の冷却油、静圧油を、それぞれ別個に、必要な箇所に供給するような構成が一般的であった。このような構成において、特に、高い浄化品質が必要とされる静圧油にあっては、その供給路に外部から切り粉などの異物の混入が確実に回避できるよう、その構成には、配慮が必要であった。
これに対して、本発明の実施の形態においては、静圧兼冷却油８３を共通に用いることができるようにしたので、従来と異なり、特定の部位だけに、切り粉等の混入を心配する必要がなく、従来に比して、使い勝手が極めて良好なものとなっている。 Conventionally, a configuration is generally used in which cooling water for cooling the spindle, cooling oil for cooling the workpiece, and static pressure oil are separately supplied to necessary places. In such a configuration, especially in the case of hydrostatic oil that requires high purification quality, consideration must be given to the configuration so that foreign matter such as chips from the outside can be reliably avoided in the supply path. Was necessary.
On the other hand, in the embodiment of the present invention, since the static pressure and cooling oil 83 can be used in common, unlike conventional ones, there is a concern about mixing of chips or the like only at specific parts. There is no need, and the usability is very good as compared with the prior art.

本発明の実施の形態における研削装置の全体構成を示す図であって、図１（Ａ）は正面図、図１（Ｂ）は側面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the whole structure of the grinding device in embodiment of this invention, Comprising: FIG. 1 (A) is a front view, FIG.1 (B) is a side view. 図２は、本発明の実施の形態における研削装置の主要部の構成例を示す全体斜視図である。FIG. 2 is an overall perspective view showing a configuration example of a main part of the grinding apparatus according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態における研削装置に用いられる第１のスライド部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the 1st slide part used for the grinding apparatus in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における研削装置に用いられる静圧パッドの一構成例における平面図である。It is a top view in an example of 1 composition of a static pressure pad used for a grinding device in an embodiment of the invention. 図４に示された静圧パッドのＡ−Ａ線断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line AA of the static pressure pad shown in FIG. 4. 図４に示された静圧パッドのＢ−Ｂ線断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the static pressure pad shown in FIG. 4 taken along line BB. 本発明の実施の形態におけるクーラント装置の構成例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structural example of the coolant apparatus in embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１１…第１のベースプレート
１２…第１のテーブルプレート
１４…第２のベースプレート
１５…第２のテーブルプレート
２４…第１の砥石
２５…第２の砥石
２６…第３の砥石
４０…静圧パッド
４３…静圧ノズル
８１…油回収皿
８２…タンク
８３…静圧兼冷却油
１０１…第１のスライド部
１０２…第２のスライド部
１０３…ワーク保持部
２０４…濾過装置
２０５…油圧装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... 1st base plate 12 ... 1st table plate 14 ... 2nd base plate 15 ... 2nd table plate 24 ... 1st grindstone 25 ... 2nd grindstone 26 ... 3rd grindstone 40 ... Static pressure pad 43 ... Static pressure nozzle 81 ... Oil collection tray 82 ... Tank 83 ... Static pressure and cooling oil 101 ... First slide part 102 ... Second slide part 103 ... Work holding part 204 ... Filtration device 205 ... Hydraulic device

Claims (3)

研削装置におけるクーラント装置であって、
前記研削装置のベッドから流れ落ちる静圧兼冷却油を回収可能に回収用皿が設けられると共に、当該回収用皿に回収された静圧兼冷却油を貯留するタンクが設けられ、前記回収用皿と前記タンクとの間には、前記回収用皿に回収された静圧兼冷却油を濾過すると共に、前記タンクへ圧送する貯留用濾過・圧送手段が設けられる一方、
前記タンクと前記研削装置の静圧油の導入部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給する静圧用圧送・供給手段が設けられ、
前記タンクと前記研削装置におけるワークの加工部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給するワーク冷却用圧送・供給手段が設けられ、
前記タンクと前記研削装置のスピンドルの被冷却部分の間には、前記タンクの静圧兼冷却油を圧送、供給するスピンドル冷却用圧送・供給手段が設けられ、
前記静圧用圧送・供給手段には、静圧兼冷却油を濾過する静圧用フィルタが設けられてなること特徴とする研削装置のクーラント装置。 A coolant device in a grinding device,
A recovery tray is provided so that the static pressure and cooling oil flowing down from the bed of the grinding device can be recovered, and a tank for storing the static pressure and cooling oil recovered in the recovery tray is provided, and the recovery tray and Between the tank and a filtration / pumping means for storage for filtering the static pressure and cooling oil collected in the collection dish and for feeding the tank to the tank,
Between the tank and the introduction portion of the hydrostatic oil of the grinding apparatus, a hydrostatic pressure feeding / supplying unit for feeding and supplying the hydrostatic and cooling oil of the tank is provided,
Between the tank and the processing part of the workpiece in the grinding device, there is provided a workpiece cooling pressure feeding / supplying unit for feeding and supplying the static pressure and cooling oil of the tank,
Between the tank and the portion to be cooled of the spindle of the grinding apparatus, there is provided a spindle cooling pressure feed / supply means for feeding and supplying the static pressure and cooling oil of the tank.
A coolant apparatus for a grinding apparatus, wherein the static pressure pumping / supply means is provided with a static pressure filter for filtering the static pressure and cooling oil. 貯留用濾過・圧送手段は、回収用皿とタンクが配管接続されると共に、前記回収用皿に回収された静圧兼冷却油を前記タンクへ圧送するタンク圧送用ポンプと、前記静圧兼冷却油を濾過する貯留用濾過手段とが設けられてなり、
静圧用圧送・供給手段は、前記タンクと研削装置の静圧部とが配管接続されると共に、前記静圧部に前記タンクに貯留された静圧兼冷却油を圧送する静圧用ポンプが設けられてなり、
ワーク冷却用圧送・供給手段は、前記タンクに貯留された静圧兼冷却油をワークの加工部分へ圧送するワーク冷却用ポンプが設けられる共に、当該ワーク冷却用ポンプにより前記ワークの冷却部分へ静圧兼冷却油を圧送可能に配管が設けられてなり、
スピンドル冷却用圧送・供給手段は、前記タンクと研削装置のスピンドルの被冷却部分とが配管接続されると共に、前記タンクに貯留された静圧兼冷却油を前記スピンドルの被冷却部分に圧送するスピンドル冷却用ポンプが設けられてなることを特徴とする請求項１記載の研削装置のクーラント装置。 The storage filtration / pumping means includes a tank for feeding and a tank for feeding the static pressure and cooling oil collected in the collection tray and a tank for feeding the static pressure and cooling. And a storage filtering means for filtering oil,
The static pressure pumping / supplying unit includes a pipe connected to the tank and a static pressure unit of a grinding apparatus, and a static pressure pump for pumping the static pressure and cooling oil stored in the tank to the static pressure unit. And
The workpiece cooling pressure supply / supply means is provided with a workpiece cooling pump that pumps the static pressure and cooling oil stored in the tank to the workpiece processing portion, and the workpiece cooling pump uses the workpiece cooling pump to statically cool the workpiece cooling portion. Piping is provided so that pressure and cooling oil can be pumped,
The spindle cooling pressure feed / supply means is a spindle for connecting the tank and the cooled portion of the spindle of the grinding apparatus by piping, and for feeding the static pressure and cooling oil stored in the tank to the cooled portion of the spindle. The coolant apparatus for a grinding apparatus according to claim 1, further comprising a cooling pump. 静圧用フィルタは、静圧部に設けられた静圧ノズルの開口径及び又は静圧軸受け用ギャップより大きな異物の濾過を可能としたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２いずれか記載の研削装置のクーラント装置。
The static pressure filter is capable of filtering foreign matters larger than the opening diameter of the static pressure nozzle provided in the static pressure section and / or the static pressure bearing gap. A coolant device for a grinding device as described above.
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