JP2010281758A - 熱式空気流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜抵抗体から構成されるブリッジ回路を有する熱式空気流量計において、ブリッジ回路を構成する薄膜抵抗体を、少なくとも2種類以上の異なる膜厚の薄膜抵抗体51a,51b,52a,52b,53,54,55と60とで構成する。
【選択図】 図5
Description
Th=ΔTh+周囲温度(Ta)
で定義される。発熱抵抗体53の上流側に測温抵抗体51a,52bが、発熱抵抗体53の下流側に測温抵抗体51b,52aがダイアフラム上に配置されている。測温抵抗体51a,51b,52a,52bは発熱抵抗体53からの伝熱によって加熱される。
11,12,13 薄膜抵抗体
20 オペアンプ
40,41 空気流量信号電圧
51a,51b,52a,52b,53,54,55 薄膜抵抗体(膜厚150nm)
60 薄膜抵抗体(膜厚40nm)
70 オペアンプ
80 トランジスタ
91,92,93 電源
Claims (6)
- 薄膜抵抗体から構成されるブリッジ回路を有する熱式空気流量計において、前記ブリッジ回路が少なくとも2種類以上の異なる膜厚の薄膜抵抗体で構成されていることを特徴とする熱式空気流量計。
- 請求項1に記載の熱式空気流量計において、ブリッジ回路を構成する薄膜抵抗体が同一膜材料で形成されることを特徴とする熱式空気流量計。
- 請求項1に記載の熱式空気流量計において、発熱抵抗体は、抵抗温度係数(TCR)の一次係数が2000[ppm/℃]以上の材料で形成されていることを特徴とする熱式空気流量計。
- 請求項1に記載の熱式空気流量計において、薄膜抵抗体が白金(Pt)やモリブデン(Mo),タンタル(Ta),シリコン(Si)のいずれかを含む金属材料で形成されていることを特徴とする熱式空気流量計。
- 請求項1に記載の熱式空気流量計において、薄膜抵抗体と、前記薄膜抵抗体の順流側に配置される上流温度センサと、前記薄膜抵抗体の逆流側に配置される下流温度センサとを有し、前記上流温度センサと前記下流温度センサに電圧を印加して、前記上流温度センサと前記下流温度センサにより発生する電位差を用いて流量を検出することを特徴とする熱式空気流量計。
- 請求項1に記載の熱式空気流量計において、少なくとも1つ以上の抵抗体の温度を一定に駆動させるためのフィードバック回路を有しており、前記フィードバック回路が少なくとも4つ以上の抵抗体で構成されることを特徴とする熱式空気流量計。
Priority Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8714008B2 (en) | 2011-03-25 | 2014-05-06 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal fluid flow sensor and method of manufacturing the same |
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-
2009
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