JP2010262886A - Mounting structure of sheath heater, sheath heater used for the mounting structure, and mounting method of sheath heater - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば配管の保温や真空装置の加熱などに使用されるマイクロヒータやシーズヒータ、カートリッジヒータ等のシース型ヒータを、これら加熱対象である配管等の装置に取り付けてなる取付構造、該構造に用いるシース型ヒータ、及び取付方法に関する。 The present invention provides, for example, a mounting structure in which a sheath type heater such as a micro heater, a sheathed heater, or a cartridge heater used for heat insulation of a pipe, heating of a vacuum device, or the like is attached to a device such as a pipe to be heated, The present invention relates to a sheath type heater used for a structure and a mounting method.
マイクロヒータ等のシース型ヒータは、発熱線をMgO等の絶縁粉末を介して外筒(金属シース)で外皮された屈曲自在な構造を有しており、当該発熱線を有する発熱部の端末側にはリード端子を接続した非発熱部が連続し、外部の電源等に接続されている。このようなシース型ヒータは、各種配管のヒートトレースや、PDPや液晶のガラス基板の成膜に用いる真空装置の成膜用ヒータなどに利用されており、その取付構造は、配管の外壁や真空装置における加熱用均熱板(加熱部位)にヒータの発熱部が固定されるとともに、末端側の延出部分が外部電源まで適宜、屈曲変形させながら適所に配置される(例えば、特許文献1参照。)。 A sheath type heater such as a micro heater has a flexible structure in which a heating wire is covered with an outer tube (metal sheath) through an insulating powder such as MgO, and the end side of the heating portion having the heating wire. The non-heat generating part connected to the lead terminal is continuous and connected to an external power source or the like. Such sheath-type heaters are used for heat tracing of various pipes and film forming heaters for vacuum devices used for film formation of PDP and liquid crystal glass substrates. The heating part of the heater is fixed to a heating soaking plate (heating part) in the apparatus, and the extended part on the terminal side is arranged at an appropriate position while being bent and deformed appropriately to an external power source (see, for example, Patent Document 1). .)
ところで、シース型ヒータの前記発熱線を有する発熱部の長さは、通常、加熱部位に固定される長さより長く設定されており、加熱部位から延出される末端側の部位にも発熱部の余長部が存在する。加熱部位から延出する末端側の部分は、本来、加熱が不要な部分であるが、このような余長部の存在により当該延出部分が高温となる。したがって、外部電源への配置の際、他の装置に与える熱の影響などを回避するように気を配る必要があり、施工の自由度が制限されるという問題があった。発熱部の長さを加熱部位に固定される長さに限定したとしても、発熱部の熱が外筒を通じて非発熱部にも伝熱されるため、同様の問題が生じる。 By the way, the length of the heat generating part having the heat generating wire of the sheath type heater is usually set longer than the length fixed to the heating part, and the surplus part of the heat generating part is also provided at the terminal part extending from the heating part. There is a long part. The end-side portion extending from the heating portion is a portion that does not need to be heated, but the extension portion becomes high temperature due to the presence of such an extra length portion. Therefore, it is necessary to take care to avoid the influence of heat on other devices when placing the external power supply, and there is a problem that the degree of freedom in construction is limited. Even if the length of the heat generating part is limited to the length fixed to the heating part, the same problem arises because the heat of the heat generating part is also transferred to the non-heat generating part through the outer cylinder.
特に、真空装置の成膜用ヒータの場合、加熱部位となる均熱板から延出される発熱部の余長部が制御温度以上に上がってしまい、最悪、断線にいたることもある。更に、真空装置の場合には均熱板から延びるヒータ末端側を装置外に導くためのシール部が存在するが、当該末端側の延出部分が高温になってしまうため、シール部に耐熱性を有する高価な材料のものを用いる必要があった。 In particular, in the case of a film forming heater of a vacuum apparatus, the extra length of the heat generating part extended from the heat equalizing plate serving as a heating part rises to the control temperature or higher, which may lead to a disconnection in the worst case. Furthermore, in the case of a vacuum apparatus, there is a seal part for guiding the heater end side extending from the heat equalizing plate to the outside of the apparatus. However, since the extension part on the end side becomes high temperature, the seal part has heat resistance. It was necessary to use an expensive material having
このような延出部分の熱の問題を解決する手段としては、該延出部分となる外筒の外面に溶接又はカシメにより放熱フィンを取り付けておくことが考えられる。しかし、このような放熱フィンは、ヒータを装置内の加熱部位などに固定した後に取り付けること(後付け)が困難であり、予め取り付けておく必要があるが、取り付けた後は外筒の屈曲性がなくなるため、当該延出部分を外部電源まで自由に屈曲変形させながら適所に配置することができなくなる。また、放熱フィンを設ける代わりに、当該延出部分の外筒の肉厚を厚くして放熱量を増やすことも考えられる。しかし、このように外筒を太くすると屈曲性がなくなり、上記と同様、配置作業の自由度が低下してしまう。また、延出部分の外筒表面に放熱を促進する塗装やコーティング等を行うことも考えられるが、数百度の高温に耐え得る材質が無い。 As a means for solving such a problem of heat in the extended portion, it is conceivable to attach a heat radiating fin to the outer surface of the outer cylinder serving as the extended portion by welding or caulking. However, it is difficult to attach such a radiating fin after fixing the heater to a heating part in the apparatus (retrofitting), and it is necessary to attach it in advance. Therefore, it becomes impossible to arrange the extended portion in an appropriate position while freely bending and deforming to the external power source. Further, instead of providing the heat radiating fins, it is also conceivable to increase the heat radiation amount by increasing the thickness of the outer cylinder of the extended portion. However, if the outer cylinder is made thicker in this way, the flexibility is lost, and the degree of freedom of arrangement work is reduced as described above. Although it is conceivable to perform coating or coating to promote heat dissipation on the surface of the outer cylinder of the extended portion, there is no material that can withstand high temperatures of several hundred degrees.
そこで、本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、加熱部位より末端側の延出部分の放熱を促進することができ、しかもその部分の屈曲性が阻害されず、良好な作業性が得られるシース型ヒータの取付に関する技術を提供する点にある。 Therefore, in view of the above-mentioned situation, the present invention intends to solve the problem that it is possible to promote the heat radiation of the extended portion on the distal side from the heating portion, and the flexibility of the portion is not hindered and the work is good. It is in the point which provides the technique regarding attachment of the sheath type heater from which the property is acquired.
本発明は、前述の課題解決のために、金属製外筒内の少なくとも一部に発熱線を収納してなるシース型ヒータを、加熱対象となる装置に取り付けてなる取付構造であって、前記シース型ヒータの前記発熱線を有する発熱部を、前記装置の加熱部位に固定するとともに、該加熱部位より延出される当該シース型ヒータ端末側の外筒に、軸方向所定領域にわたり別部材の金属製コイルスプリングを設けてなることを特徴とするシース型ヒータの取付構造を提供する。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention is an attachment structure in which a sheath type heater in which a heating wire is housed in at least a part of a metal outer cylinder is attached to a device to be heated, The heat generating part having the heat generating wire of the sheath type heater is fixed to the heating part of the device, and the outer cylinder on the sheath type heater terminal side extended from the heating part is provided with a metal as a separate member over a predetermined region in the axial direction. Provided is a sheath type heater mounting structure characterized in that a coil spring is provided.
ここで、前記金属製コイルスプリングの内面が前記シース型ヒータの外筒に密着していることが好ましい。 Here, it is preferable that the inner surface of the metal coil spring is in close contact with the outer cylinder of the sheath type heater.
また本発明は、上記取付構造に用いるシース型ヒータとして、前記装置の加熱部位より延出されることとなる端末側の外筒に、別部材の金属製コイルスプリングを設けたシース型ヒータを提供する。 The present invention also provides a sheath-type heater in which a metal coil spring as a separate member is provided on the outer cylinder on the terminal side that will be extended from the heating portion of the apparatus as a sheath-type heater used in the mounting structure. .
また本発明は、金属製外筒内の少なくとも一部に発熱線を収納してなるシース型ヒータを、加熱対象となる装置に取り付ける取付方法であって、前記シース型ヒータの前記発熱線を有する発熱部を、前記装置の加熱部位に固定するとともに、該加熱部位より延出される当該シース型ヒータ末端側の外筒に、軸方向所定領域にわたり別部材である放熱促進用の金属製コイルスプリングを設けてなることを特徴とするシース型ヒータの取付方法をも提供する。 Further, the present invention is an attachment method for attaching a sheath type heater in which a heating wire is housed in at least a part of a metal outer cylinder to a device to be heated, the heating type wire having the heating wire of the sheath type heater. A heat generating part is fixed to the heating part of the device, and a metal coil spring for promoting heat dissipation, which is a separate member over a predetermined region in the axial direction, is attached to the outer cylinder on the distal end side of the sheath type heater extending from the heating part. There is also provided a method for attaching a sheath type heater, characterized by being provided.
ここで、前記発熱部を前記加熱部位に固定する前に、予め前記金属製コイルスプリングを前記末端側の外筒に設けておくことが好ましい。 Here, it is preferable that the metal coil spring is provided in the outer cylinder on the end side in advance before fixing the heat generating portion to the heating portion.
この場合、前記金属製コイルスプリングの自由状態での内径を前記シース型ヒータの外筒の外径よりも小さく設定し、当該コイルスプリングを圧縮して内径を前記シース型ヒータ外筒の外径より拡径させた状態で前記シース型ヒータの外筒に外装し、前記所定領域で圧縮解除して前記金属製コイルスプリングの内面を前記シース型ヒータの外筒に密着させることが好ましい。 In this case, the inner diameter of the metal coil spring in the free state is set smaller than the outer diameter of the outer cylinder of the sheath type heater, and the coil spring is compressed so that the inner diameter is smaller than the outer diameter of the sheath type heater outer cylinder. It is preferable that the sheath-type heater is covered with the outer cylinder in an expanded state, and the compression is released in the predetermined region so that the inner surface of the metal coil spring is in close contact with the outer cylinder of the sheath-type heater.
また、前記発熱部を前記加熱部位に固定した後、該加熱部位より引き出された前記シース型ヒータ末端側の外筒に対し、前記金属製コイルスプリングを設けることも好ましい。 It is also preferable that the metal coil spring is provided to the outer cylinder on the distal end side of the sheath type heater drawn out from the heating part after the heating part is fixed to the heating part.
この場合、前記金属製コイルスプリングが予め金属線材を螺旋状に成形したコイル状のスプリングであり、その端部から螺旋状に回転させながら前記外筒に外装することが好ましい。 In this case, it is preferable that the metal coil spring is a coil spring in which a metal wire is formed in advance in a spiral shape, and is externally mounted on the outer cylinder while being spirally rotated from an end thereof.
或いは、金属線材を前記外筒に螺旋状に巻き付けることにより、前記金属製コイルスプリングを成形しながら取り付けることも好ましい。 Alternatively, it is also preferable to attach the metal coil spring while forming the metal coil spring by spirally winding the metal wire around the outer cylinder.
以上にしてなる本願発明は、装置の加熱部位より延出される当該シース型ヒータ端末側の外筒に、軸方向所定領域にわたり別部材の金属製コイルスプリングを設けたので、該コイルスプリングを通じて延出部分の放熱を促進して外筒の表面温度を低下させることができ、当該延出部分を外部電源まで配置する際、他の装置に与える熱の影響に気を配る必要がなくなり、施工の自由度が向上する。特に、真空装置の成膜用ヒータの場合においても、加熱部位である均熱板からの延出部分を放熱し、断線を未然に回避することができ、シール部にもより低廉な材料のものを用いることが可能となる。しかも、従来の放熱フィンに比べて、材料選択の幅が広く、螺旋状に巻き付けられる長尺な線状部材が連続接触するため、外筒との接触面積や熱容量を大きく設定でき、放熱効果をより高めることが可能である。更に、材料や取付けのコストも著しく低減できる。 In the present invention as described above, a metal coil spring as a separate member is provided on the outer cylinder on the sheath type heater terminal side that is extended from the heating portion of the apparatus over a predetermined axial direction region. It is possible to reduce the surface temperature of the outer cylinder by accelerating the heat radiation of the part, and when placing the extended part up to the external power supply, it is not necessary to pay attention to the influence of heat on other equipment, so construction is free The degree is improved. In particular, even in the case of a film forming heater of a vacuum apparatus, heat can be dissipated from the portion extending from the soaking plate, which is a heating part, and disconnection can be avoided in advance, and the seal part is made of a less expensive material. Can be used. In addition, the material selection range is wider than conventional radiating fins, and long linear members wound in a spiral form are in continuous contact, so the contact area and heat capacity with the outer cylinder can be set large, and the heat dissipation effect can be increased. It is possible to increase it further. Furthermore, material and mounting costs can be significantly reduced.
また、金属製コイルスプリングの内面が前記シース型ヒータの外筒に密着していることで、外筒の外面から金属製コイルスプリング側により多くの熱を伝えることができ、上記した放熱効果をより高めることができる。 Further, since the inner surface of the metal coil spring is in close contact with the outer cylinder of the sheath type heater, more heat can be transferred from the outer surface of the outer cylinder to the metal coil spring side, and the above-described heat dissipation effect can be further improved. Can be increased.
また、金属製コイルスプリングは、外筒に設けられた状態で外筒の屈曲変形に追従し、その変形の妨げとはならないので、前記発熱部の加熱部位への固定よりも前に、予め金属製コイルスプリングを末端側の外筒に設けておくことができる。これにより、発熱部の固定後に狭い装置内或いは装置近くで金属製コイルスプリングの装着作業を行う必要がなくなる。また、金属製コイルスプリングは固定後のシース型ヒータ端末側の外筒の引き回し、屈曲変形作業に対しても妨げとならない。よって、取付作業の効率を高めることができる。 Further, since the metal coil spring follows the bending deformation of the outer cylinder in a state of being provided in the outer cylinder and does not hinder the deformation, the metal coil spring is preliminarily made of metal before fixing the heating portion to the heating part. A coil spring can be provided on the outer cylinder on the end side. This eliminates the need to perform a metal coil spring mounting operation in a narrow apparatus or near the apparatus after the heat generating portion is fixed. In addition, the metal coil spring does not interfere with the bending operation of the outer cylinder on the sheathed heater terminal side after being fixed. Therefore, the efficiency of attachment work can be improved.
また、金属製コイルスプリングの自由状態での内径を前記シース型ヒータの外筒の外径よりも小さく設定し、当該コイルスプリングを圧縮して内径を前記シース型ヒータ外筒の外径より拡径させた状態で前記シース型ヒータの外筒に外装し、前記所定領域で圧縮解除して前記金属製コイルスプリングの内面を前記シース型ヒータの外筒に密着させてなるので、前記圧縮状態でシース型ヒータの外筒に金属製コイルスプリングを容易に装着でき、装着後は圧縮を解除するだけで外筒に密着させることができ、放熱効果を高めることができるとともに装着位置の調整も容易である。 Further, the inner diameter of the metal coil spring in a free state is set smaller than the outer diameter of the outer cylinder of the sheath type heater, and the coil spring is compressed to expand the inner diameter from the outer diameter of the sheath type heater outer cylinder. In such a state, the outer sheath of the sheath type heater is sheathed, the compression is released in the predetermined region, and the inner surface of the metal coil spring is brought into close contact with the outer sleeve of the sheath type heater. The metal coil spring can be easily attached to the outer cylinder of the mold heater, and after installation, it can be brought into close contact with the outer cylinder simply by releasing the compression, and the heat radiation effect can be enhanced and the installation position can be easily adjusted. .
また、発熱部を加熱部位に固定した後に金属製コイルスプリングを設けることもでき、この場合、金属製コイルスプリングが予め金属線材を螺旋状に成形したコイル状のスプリングであり、その螺旋状の隙間から前記外筒に巻きつけて外装することもできるし、また、金属線材を前記外筒に螺旋状に巻き付けることにより、前記金属製コイルスプリングを成形しながら取り付けることもできる。 In addition, a metal coil spring can be provided after fixing the heat generating part to the heating part. In this case, the metal coil spring is a coil spring in which a metal wire is formed in a spiral shape, and the spiral gap is formed. The outer coil can be wrapped around the outer cylinder, and the metal coil spring can be attached while being molded by spirally winding a metal wire around the outer cylinder.
次に、本発明の実施形態を添付図面に基づき詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明に係るシース型ヒータの取付構造Sの全体構成を示す図であり、図1〜6は代表的実施形態を示し、図中符号1はシース型ヒータ、2はコイルスプリング、3は発熱部、4は延出部分をそれぞれ示している。以下の説明においては、成膜用ヒータとして真空装置に取り付けた取付構造を例示しているが、本発明は、各種配管の外壁やその他の装置の加熱部位に取り付ける構造に適用することができる。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a sheath type heater mounting structure S according to the present invention, in which FIGS. 1 to 6 show typical embodiments, in which 1 is a sheath type heater, 2 is a coil spring,
取付構造Sは、金属製外筒10内の少なくとも一部に発熱線を収納してなるシース型ヒータ1を、加熱対象となる真空装置9に取り付けた構造であり、シース型ヒータ1の発熱線を有する発熱部3を、真空装置9の加熱部位5である均熱板91に固定するとともに、該均熱板91(加熱部位5)より延出される当該シース型ヒータ1端末側の外筒10に、軸方向所定領域Rにわたり別部材の金属製コイルスプリング2を設け、これにより表面温度を低下させたい延出部分4の放熱を促進させるものである。
The attachment structure S is a structure in which a
図2は、加熱部位5である均熱板91にシース型ヒータ1の発熱部3が固定された状態を示す図である。本例では、中心部から渦巻き状に発熱部3が固定されており、該中心部から末端側が延出される形態であるが、発熱部3の固定については、折れ状の波状パターンなどその他の公知の配置形態を採用することができる。均熱板91より延出される末端側は、図1に示すように真空装置9の壁面に形成される挿通孔90からシール92を介して装置外部に延び、図示しない外部電源に接続されている。
FIG. 2 is a view showing a state where the
シース型ヒータ1は、ステンレス製の外筒10(金属シース)内に、先端で互いに接続されたニッケル−クロム合金やタンタル等よりなる一対の抵抗発熱線を挿通し、その隙間にマグネシア粉末(MgO)等の無機絶縁材を充填して絶縁されるように構成した二芯型のマイクロヒータが用いられ、発熱線を有する先端側の発熱部3に対し、非発熱線であるリード線6、6を接続してステンレス製の外筒11、12内に収納し、これらリード線6、6に通電することで抵抗発熱線が発熱して加熱部位5を加熱する従来から公知のものである。本例では、外筒10のすべての領域に発熱線が存在し、発熱部3が延出部分4まで延びて、この発熱部の余長部にコイルスプリング2が設けられているが、延出部分4に非発熱線が接続され、発熱部の余長部が延出部分4に存在しない構造とし、当該非発熱部にのみコイルスプリング2を設けたものや、発熱部の余長部と非発熱部の双方にわたりコイルスプリング2を設けたものでもよい。
The
また、図1に示す例では、先端側に発熱部3を有する二芯型のマイクロヒータとしたが、図4(c)、(d)に示すように単芯型、すなわち単一の抵抗発熱線を金属製外筒10(金属シース)内に収納して無機絶縁物を充填し、先端ではなく途中部に発熱部を構成するとともに、外筒10両端から導出される抵抗発熱線の端部をそれぞれ金属製外筒11、12内でリード線6に接続したものでも勿論よい。その他、シーズヒータやカートリッジヒータを用いてもよい。
Further, in the example shown in FIG. 1, a two-core type microheater having the
コイルスプリング2は、金属製のものであればその形状や素材は特に限定されず、ろう付けが必要なフィンなどと異なり、ステンレス、インコネル等、素材を比較的自由に選ぶことができ、使用温度範囲に制限がなくなる。コイルスプリング2の内面20は、図3に示すように、シース型ヒータ1の外筒10に密着し、熱伝導を確実にして高い放熱効果を維持している。このように密着させるためには、コイルスプリング2の自由状態での内径は、これを取り付ける外筒10外径よりも小さく設定することで容易に達成でき、取付作業も考慮すると、当該コイルスプリング2を圧縮した状態では逆にその内径が外筒10外径よりも大きくなるように設定することが好ましい。これにより、拡径させた状態で外筒10に外装し、所定領域Rで圧縮解除するだけで、コイルスプリング2の内面20をシース型ヒータ外筒10に容易に密着させることが可能となる。
As long as the
ただし、コイルスプリング2の内面20は、外筒10に接触しておれば高い放熱効果が得られるのであり、内面20の全体が接触或いは密着しているものに限らず、一部が接触したものでもよい。また、直接外筒10に接触/密着するもの以外に、第三の金属部材(例えば金属製シート)を当該コイルスプリング内面20と外筒10外面の間に介在させ、間接的に熱伝導させてもよい。これにより見かけ上、外筒10の肉厚が増加した場合と同様に熱容量がアップし、放熱効果を高めることが可能となる。この第三の金属部材を外筒10よりも軟質で屈曲変形容易な金属材料で構成すれば、屈曲性の阻害も少なくできる。
However, if the
コイルスプリング2の線材の断面形状は、図3(a)に示すように円形に構成されているが、外筒10との接触面積を増やす趣旨から、図3(b)に示すように内面20側に平坦面を有する略半円状の形状にすることも好ましい。また、同様の趣旨ならびに表面積を増加させて放熱効果を高める趣旨から、図3(c)、(d)に示すように、方形、多角形などの形状にすることも好ましい例である。断面積の大きさなどについては、太いほど放熱効果が高まる反面、取付後の屈曲変形性を阻害することから、外筒10の大きさ等に応じて、適宜設定すればよい。また、外筒10との接触/密着状態については、軸方向に一定である必要はなく、コイルスプリング2の先端側ほど外筒10に強く密着させたり、コイルスプリング2の両端を外筒10に密着させるとともに途中部を浮かして外筒10の屈曲変形性を阻害しないようにすることも好ましい。
The cross-sectional shape of the wire of the
コイルスプリング2はそれ自体、優れた可撓性、屈曲変形性を有するため、外筒10に取り付けた後でも、外筒10の屈曲変形が可能であり、屈曲変形させながら外部電源まで自由に配置させることが可能である。図4(a)は、真空装置9の均熱板91にシース型ヒータ1の発熱部3を固定し、延出部分4の外筒10にコイルスプリング2を設け、挿通孔90から外部に引き出しているものであるが、図4(b)に示すように、真空装置9内部において、コイルスプリング2を装着した状態の延出部分4を自由に屈曲変形させることで、適所に配置させることもできる。
Since the
図4(c)は単芯型のシース型ヒータ1の途中部の発熱部3を真空装置9の均熱板91に固定し、そこから延出される両端の延出部分4、4の外筒10にそれぞれコイルスプリング2を設け、それぞれ挿通孔90、90から外部に引き出したものであるが、図4(d)に示すように真空装置9内部でコイルスプリング2を装着した状態の延出部分4、4を屈曲させ、共通の挿通孔90から外部に引き出すことも容易となる。
FIG. 4C shows a
本例では、延出部分4における発熱部の余長部となる外筒10の領域Rにコイルスプリング2が外装され、この領域Rを非発熱部としたり、一部非発熱部とすることができる点については上述したとおりであるが、図5(a)に示すように非発熱線が接続された外筒11、12の部分にも、所定領域R1にコイルスプリング2を延長するか、或いは別途のコイルスプリング2Aを外装することも好ましい。また、図5(b)に示すように、真空装置9の外部に延びている外筒所定領域R2にコイルスプリング2Bを設けることも好ましい。
In this example, the
コイルスプリング2は、発熱部3を均熱板91(加熱部位5)に固定する前に、予め発熱部先端側からコイルスプリング2を装着して末端側の所定領域Rに設けておくことができる。或いは、発熱部3を加熱部位に固定した後、図6に示すように、末端側の外筒10の所定領域Rに対し、コイルスプリング2の螺旋状の隙間から巻きつけて外装することも可能である。この場合、後から装着しやすいようにコイルスプリング2の端部のみ他より間隔を開けておくことも好ましい。さらには、直線状の金属線材を外筒10の所定領域Rに螺旋状に巻き付けてゆき、これにより結果として外筒10上にコイルスプリング2を成形することも好ましい実施例である。
The
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる形態で実施し得ることは勿論である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and can of course be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention.
1 シース型ヒータ
2、2A、2B コイルスプリング
3 発熱部
4 延出部分
5 加熱部位
6 リード線
9 真空装置
10、11、12 外筒
20 内面
90 挿通孔
91 均熱板
92 シール
R、R1、R2 領域
S 取付構造
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記シース型ヒータの前記発熱線を有する発熱部を、前記装置の加熱部位に固定するとともに、該加熱部位より延出される当該シース型ヒータ端末側の外筒に、軸方向所定領域にわたり別部材の金属製コイルスプリングを設けてなることを特徴とするシース型ヒータの取付構造。 A sheath type heater in which a heating wire is housed in at least a part of a metal outer cylinder is an attachment structure that is attached to a device to be heated,
The heat generating part having the heat generating line of the sheath type heater is fixed to the heating part of the device, and the outer cylinder on the sheath type heater terminal side extended from the heating part is provided with another member over a predetermined region in the axial direction. A sheathed heater mounting structure comprising a metal coil spring.
前記シース型ヒータの前記発熱線を有する発熱部を、前記装置の加熱部位に固定するとともに、該加熱部位より延出される当該シース型ヒータ末端側の外筒に、軸方向所定領域にわたり別部材である放熱促進用の金属製コイルスプリングを設けてなることを特徴とするシース型ヒータの取付方法。 An attachment method for attaching a sheath type heater containing a heating wire in at least a part of a metal outer cylinder to a device to be heated,
The heat generating part having the heat generating wire of the sheath type heater is fixed to the heating part of the device, and the outer cylinder on the end side of the sheath type heater extended from the heating part is provided with a separate member over a predetermined region in the axial direction. A method for attaching a sheath type heater, comprising a metal coil spring for promoting heat dissipation.
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