JP2010262711A - 電気フューズメモリを有する半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】電圧供給のための構成が占める占有面積が小さく、かつ、高精度な電圧供給が可能な電気フューズメモリを提供する。
【解決手段】フューズ素子Fと第1トランジスタTRBを含むメモリセルMCと、外部端子PADと、第2トランジスタTRAと、を有する。N型の第1トランジスタとフューズ素子Fが互いに直列接続されている。外部端子PADは、フューズ素子Fの一方の端子側に外部電圧VFUSEを供給する端子である。第2トランジスタTRAは、フューズ素子Fの他方の端子側に内部電圧GNDを供給するN型のトランジスタである。
【選択図】図1
【解決手段】フューズ素子Fと第1トランジスタTRBを含むメモリセルMCと、外部端子PADと、第2トランジスタTRAと、を有する。N型の第1トランジスタとフューズ素子Fが互いに直列接続されている。外部端子PADは、フューズ素子Fの一方の端子側に外部電圧VFUSEを供給する端子である。第2トランジスタTRAは、フューズ素子Fの他方の端子側に内部電圧GNDを供給するN型のトランジスタである。
【選択図】図1
Description
本発明は、電気フューズ(eFUSE)メモリを有する半導体デバイスに関する。
フューズ素子は、半導体デバイス(集積回路)の特性調整(トリミング)用途あるいは冗長回路の選択用途、さらには、特性値その他の情報をデバイス完成後に書き換え可能に記憶する用途などに用いられる。
フューズ素子としては、レーザ光で焼き切るタイプのほかに、例えばポリシリコンからなるフューズを電気的に溶断することで、その抵抗値を制御するものが知られている。あるいは、MOSトランジスタのゲート酸化膜を電気的に絶縁破壊するか否かでデータ記憶を行うものも知られている。これらの電気的に制御可能なフューズ素子は、特に電気フューズ(eFUSE)と呼ばれる。
フューズ素子としては、レーザ光で焼き切るタイプのほかに、例えばポリシリコンからなるフューズを電気的に溶断することで、その抵抗値を制御するものが知られている。あるいは、MOSトランジスタのゲート酸化膜を電気的に絶縁破壊するか否かでデータ記憶を行うものも知られている。これらの電気的に制御可能なフューズ素子は、特に電気フューズ(eFUSE)と呼ばれる。
トリミング用途、冗長選択用途、情報記憶用途のいずれでも単独で電気フューズが配置されることはなく、通常は、電気フューズを少なくとも1列、あるいは、マトリクス配置して電気フューズメモリが形成されている。
電気フューズメモリは、例えばマトリクス配置の場合、X方向アドレスに応じたビット選択と、Y方向アドレスに応じたロウ選択が必要である。そのためマトリクス配置の電気フューズメモリは、電気フューズ素子とアクセストランジスタとを直列接続させたメモリセルを、1ビット記憶の基本単位とする。入力データのビット数をNとすると、マトリクス配置の場合、その複数n倍のメモリセルをメモリセルアレイが有する。
電気フューズメモリは、例えばマトリクス配置の場合、X方向アドレスに応じたビット選択と、Y方向アドレスに応じたロウ選択が必要である。そのためマトリクス配置の電気フューズメモリは、電気フューズ素子とアクセストランジスタとを直列接続させたメモリセルを、1ビット記憶の基本単位とする。入力データのビット数をNとすると、マトリクス配置の場合、その複数n倍のメモリセルをメモリセルアレイが有する。
Y方向選択のための上記アクセストランジスタは通常、駆動能力が高く対能力比でサイズが小さいNチャネル型のMOS(NMOS)トランジスタが用いられる。一方、ビット選択のためのトランジスタは、上記アクセストランジスタと同様な理由からNMOSトランジスタが用いられる(例えば特許文献1参照)。あるいは、ビット選択のためのトランジスタをPチャネル型のMOS(PMOS)トランジスタとした電気フューズメモリも知られている(例えば非特許文献1参照)。
J. Safran, et.al., "A Compact eFUSE Programmable Array Memory for SOI CMOS", IEEE, 2007 Symposium on VLSI Circuit of Technical Papers, pp.72-73.
ところが上述した特許文献1や非特許文献1に記載された技術には、以下に示す改善点が残されている。
特許文献1に記載された電気フューズメモリは、MOSトランジスタの絶縁破壊によりフューズ素子が形成されている。そして、この電気的フューズメモリの周辺回路として、入力プログラムに応じて各種電圧を発生するプログラム回路(電源ジェネレータの一種)が半導体デバイス内に設けられている。そのため、半導体デバイスの面積が大きくなるという欠点を有する。
一方、非特許文献1に記載された電気フューズメモリは、PMOSトランジスタをメモリセルアレイの列方向セル群(ビット)ごとに配置している。PMOSトランジスタは対能力比のサイズが大きく、ビット数が多いと、そのことによる面積増大は無視できないほど大きくなる。そのため、PMOSトランジスタをビット選択に用いることは面積的には好ましくない。
上記非特許文献1の構成では、PMOSトランジスタをプログラム(書き込み)時の電源電圧の入力選択スイッチとして電源供給経路に挿入している。そのため、上記特許文献1の構成では、プログラム時にPMOSトランジスタのばらつきの影響を大きく受ける。したがって、アクセストランジスタに使用しているNMOSトランジスタに加えてPMOSトランジスタの管理も必要となり、製造時のプログラムに影響を与える管理パラメータが多くなる。
本発明は、電圧供給のための構成が占める占有面積が小さく、かつ、高精度な電圧供給が可能な、電気フューズメモリを有する半導体デバイスを提供するものである。
本発明に関わる、電気フューズメモリを有する半導体デバイスは、その電気フューズメモリが、フューズ素子と第1トランジスタを含むメモリセルと、制御線と、外部端子と、第2トランジスタと、を有する。
メモリセルにおいて前記第1トランジスタはNチャネル型のトランジスタであり、当該第1トランジスタと前記フューズ素子が互いに直列接続されている。
前記制御線は、前記第1トランジスタの動作を制御する配線である。
前記外部端子は、前記フューズ素子の一方の端子側に外部電圧を供給する端子である。
前記第2トランジスタは、前記フューズ素子の他方の端子側に内部電圧を供給するNチャネル型のトランジスタである。
前記制御線は、前記第1トランジスタの動作を制御する配線である。
前記外部端子は、前記フューズ素子の一方の端子側に外部電圧を供給する端子である。
前記第2トランジスタは、前記フューズ素子の他方の端子側に内部電圧を供給するNチャネル型のトランジスタである。
本発明では好適に、メモリセルを多数、例えばマトリクス配置するのに、以下の好適な態様が採用できる。
前記電気フューズメモリが、入力データのビット数Nの自然数n倍の数nN(≧N)だけ配置されたnN個の前記メモリセルを有する。また、前記電気フューズメモリが、N個の前記第2トランジスタと、N本の第1電圧供給線と、N本の第2電圧供給線と、N本のデータ入力線と、を有する。
前記N本の第1電圧供給線は、前記外部端子と前記N個のメモリセルの各々とを接続する配線である。そして、当該好適な態様では、前記N個の第2トランジスタの各々が、対応する1つの前記メモリセルの前記フューズ素子に印加されるローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線と、対応する1本の前記第2電圧供給線との間に接続され、対応する1本の前記データ入力線の電位に応じて動作が制御される。
前記電気フューズメモリが、入力データのビット数Nの自然数n倍の数nN(≧N)だけ配置されたnN個の前記メモリセルを有する。また、前記電気フューズメモリが、N個の前記第2トランジスタと、N本の第1電圧供給線と、N本の第2電圧供給線と、N本のデータ入力線と、を有する。
前記N本の第1電圧供給線は、前記外部端子と前記N個のメモリセルの各々とを接続する配線である。そして、当該好適な態様では、前記N個の第2トランジスタの各々が、対応する1つの前記メモリセルの前記フューズ素子に印加されるローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線と、対応する1本の前記第2電圧供給線との間に接続され、対応する1本の前記データ入力線の電位に応じて動作が制御される。
以上の構成によれば、外部端子から外部電圧が供給されるため電圧発生回路が不要である。また、第1トランジスタと第2トランジスタの双方がNチャネル型のトランジスタである。このため、電圧発生回路が占める面積削減、さらには、P型に代えてN型のトランジスタ構成としたことによるトランジスタの占有面積の縮小が達成されている。
さらに好ましい態様では、N型の第2トランジスタがローレベルの内部電圧(VL)をフューズ素子に供給制御するトランジスタである。このため、外部端子印加する電圧を、それより高いハイレベルの電圧とするか、内部電圧(VL)と同等レベルの電圧とするかによって、フューズ素子に印加する電圧の大きさを制御できる。例えば書き込み(プログラム)時には高い電圧を印加して、読み出し時には低い電圧を印加する制御が、電圧発生回路がなくても可能である。
さらに好ましい態様では、N型の第2トランジスタがローレベルの内部電圧(VL)をフューズ素子に供給制御するトランジスタである。このため、外部端子印加する電圧を、それより高いハイレベルの電圧とするか、内部電圧(VL)と同等レベルの電圧とするかによって、フューズ素子に印加する電圧の大きさを制御できる。例えば書き込み(プログラム)時には高い電圧を印加して、読み出し時には低い電圧を印加する制御が、電圧発生回路がなくても可能である。
本発明によれば、電圧供給のための構成が占める占有面積が小さく、かつ、高精度な電圧供給が可能な、電気フューズメモリを有する半導体デバイスを提供することができる。
本発明の実施形態を、図面を参照して以下の順に説明する。
1.第1の実施の形態:クランプトランジスタを有しない場合の構成と動作の例(第1比較例と対比説明を含む)。
2.第2の実施の形態:クランプトランジスタを有する場合の構成と動作の例(第2比較例と対比説明を含む)。
1.第1の実施の形態:クランプトランジスタを有しない場合の構成と動作の例(第1比較例と対比説明を含む)。
2.第2の実施の形態:クランプトランジスタを有する場合の構成と動作の例(第2比較例と対比説明を含む)。
<1.第1の実施の形態>
[チップ構成]
図1に、第1の実施の形態に関わる半導体デバイスのチップ構成図を示す。
図解する半導体デバイスは、メモリセルアレイ1と、メモリセルアレイ1のプログラム(書き込み)と読み出しを制御する各種制御回路を含む。
[チップ構成]
図1に、第1の実施の形態に関わる半導体デバイスのチップ構成図を示す。
図解する半導体デバイスは、メモリセルアレイ1と、メモリセルアレイ1のプログラム(書き込み)と読み出しを制御する各種制御回路を含む。
メモリセルアレイ1は、フューズ素子Fと第1トランジスタTRBとが直列接続されたメモリセルMCを、マトリクス配置している。図1では、このうち2列(2ビット)×3行(3ロウ)の6個のメモリセルMCのみ示す。第1トランジスタTRBはNMOSトランジスタからなる。
メモリセルMCが列方向に3個接続された構成を以下、ビット構成と呼ぶ。図示されている2つのビット構成は同じ構成であるため、以下、1つのビット構成のみ説明する。
メモリセルMCが列方向に3個接続された構成を以下、ビット構成と呼ぶ。図示されている2つのビット構成は同じ構成であるため、以下、1つのビット構成のみ説明する。
各ビット構成には、第1電圧供給線11と、第2電圧供給線12を有する。第1電圧供給線11に各メモリセルMCのフューズ素子Fの一方端が接続されている。フューズ素子Fの他方端は、第1トランジスタTRBの一方端、すなわちソースとドレインの一方に接続されている。第1トランジスタTRBの他方端、すなわちソースとドレインの他方は第2電圧供給線12に接続されている。
1つのビット構成に属する3つのメモリセルMCにおいて、上記接続関係は同様であるため、結局、3つのメモリセルMCが第1電圧供給線11と第2電圧供給線12の間に並列接続されている。
1つのビット構成に属する3つのメモリセルMCにおいて、上記接続関係は同様であるため、結局、3つのメモリセルMCが第1電圧供給線11と第2電圧供給線12の間に並列接続されている。
第1行のメモリセルMCの第1トランジスタTRBのゲートが、Yセレクト信号FA[o]を入力する第1制御線13Oに接続されている。同様に、第2行のメモリセルMCの第1トランジスタTRBのゲートが、Yセレクト信号FA[n]を入力する第2制御線13nに接続されている。同様に、第3行のメモリセルMCの第1トランジスタTRBのゲートが、Yセレクト信号FA[m]を入力する第3制御線13mに接続されている。
第1〜第3制御線13o〜13mは、本発明の“制御線”に該当する。
第1〜第3制御線13o〜13mは、不図示のロウデコーダで選択的に発生される。
第1〜第3制御線13o〜13mは、本発明の“制御線”に該当する。
第1〜第3制御線13o〜13mは、不図示のロウデコーダで選択的に発生される。
第2電圧供給線12には、NMOSトランジスタからなる第2トランジスタTRAのソースとドレインの一方が接続されている。第2トランジスタTRAのソースとドレインの他方は、ローレベルの内部電圧VL(例えばGND電圧)を供給する内部配線(不図示)に接続されている。第2トランジスタTRAのゲートは、第1ビット選択信号FB[a]が入力可能となっている。他のビット構成では、この第1ビット選択信号FB[a]に代えて、第2ビット選択信号FB[b]が、その第2トランジスタTRAのゲートに入力可能となっている。
上記第2トランジスタTRAは、例えば、メモリセルアレイ1の制御回路に含まれる。制御回路には、入力データを保持してビットの制御ビットを出力するパターン保持回路(pattern register)2、センスアンプおよび読み出しデータのレジスタを含む読み出し回路(SEAMP+reg.)3を含む。また、制御回路には、外部端子PADを第1電圧供給線11の各々に接続する機能をもつ入出力部(I/O)4を含む。さらに、リード信号(READ)を入力するリード制御回路5も、制御回路に含まれる。
パターン保持回路2は、入力データを保持し、プログラム時のビット制御を第2トランジスタTRAに対して行う回路である。これによりパターン保持回路2から前述した第1ビット選択信号FB[a]または第2ビット選択信号FB[b]が、対応する第2トランジスタTRAのゲートに印加される。
読み出し回路3は、第2電圧供給線12に接続され、第2電圧供給線12の電位をセンスアンプで検出して読み出す機能をもつ。第2電圧供給線12にハイレベルの内部電圧VHとして例えば電源電圧VDDを供給制御するためのPMOSトランジスタからなる第3トランジスタTRCが、第2電圧供給線12に接続されている。第3トランジスタTRCも、メモリセルアレイ1の制御回路に含まれる。第3トランジスタTRCのソースが電源電圧VDDの供給を行う内部配線に接続され、そのドレインが第2電圧供給線12に接続されている。第3トランジスタTRCのゲートには、リード制御回路5の出力が接続されている。ここで図示例のリード制御回路5は、入力されるリード信号(READ)を反転するインバータINVを含む。
[プログラム動作]
つぎに、第1ビット[a]のプログラム動作を、上記構成を前提として説明する。なお、このプログラム動作は、図2に示すように、当該半導体デバイスを評価する、例えばユーザが、半導体チップとしてモジュールに実装した状態で評価結果に応じて行う用途で実施されると仮定する。
つぎに、第1ビット[a]のプログラム動作を、上記構成を前提として説明する。なお、このプログラム動作は、図2に示すように、当該半導体デバイスを評価する、例えばユーザが、半導体チップとしてモジュールに実装した状態で評価結果に応じて行う用途で実施されると仮定する。
まず、図2の説明を行うと、システムLSIの分野では“システムオン(SoC)”と呼ばれるシステムのほとんどの機能が1チップに集積化されるものがある。そのようなSoCとしてのICチップ(半導体デバイス)内には、“eFUSEマクロ”と呼ばれる電気フューズメモリ部が含まれている。電気フューズメモリ部は、図1に示し既に説明した構成を有している。
プログラム時には符号“VFUSE”で示す外部電圧を外部端子PAD(図1も参照)から与える。外部端子PADは、モジュール基板100に設けられた他の端子と、例えばワイヤ等で接続され、さらに配線を経由してモジュールPAD101に接続されている。モジュールPAD101は、当該モジュールをDUT(デバイスアンダーテスト)として測定可能な大きさの外部端子である。つまり、この外部端子にテストピンを押し当てて、外部電圧VFUSEが、不図示のテスタから与えられる。
なお、後述するリード時には外部電圧VFUSEの値(電圧レベル)が変更されることがプログラム時と異なるため、外部電圧VFUSEの印加経路自体は上記と同様である。
なお、後述するリード時には外部電圧VFUSEの値(電圧レベル)が変更されることがプログラム時と異なるため、外部電圧VFUSEの印加経路自体は上記と同様である。
なお、図2に示す“eFUSEマクロ”は、外部電圧VFUSEの供給線にトランジスタの記号で代表して示すメモリセルMCが並列接続されている(図1参照)。このためメモリセルMCの外部端子PAD側配線が、図1の第1電圧供給線11に相当する。また、メモリセルMCのもう片方の側に基準電圧Vssが印加されるが、これはICチップの内部電圧であり、図1のGND電圧に対応する。
なお、本発明で“内部電圧”というときに外部端子PADを介して外部テスタから与えられることを問わない程度の意味である。つまり、内部電圧がGND電圧であれば、テスタのGND端子にモジュール、さらにはICチップのGND電圧も共通に落とされることがある。このため、場合によっては、本発明で言う“内部電圧”も不図示の外部パッドからGND電圧として供給されることがある。しかし、本発明では第1電圧供給線11に外部端子PADを介して与えられる電圧を特に“外部電圧”と称し、その他の外部から与えられる電圧と区別している。
図1の第1ビット[a]をメモリセルMCに書き込む動作に戻ると、初期状態では、図1においてすべてのトランジスタTRA〜TRCがオフ状態をとる。その状態で、図2の構成を介して外部テスタから、正の外部電圧VFUSE、例えば3[V]の電圧を印加する。そして、第1ビットFB[a]=1をメモリセルMCに書き込むために、パターン保持回路2からのビット選択信号によりX方向選択のためのN型の第2トランジスタTRAをオン状態とる。また、Yセレクト信号FA[n]=1としてY方向選択のためのN型の第1トランジスタTRBをオン状態とする。
このバイアス設定により、外部テスタから与えられた外部電圧VFUSEの電圧を正電源とする大電流が、第1電圧供給線11、“bit a”と表記されたフューズ素子Fに流れる。この電流は、フューズ素子Fから第1トランジスタTRB、第2電圧供給線12、オン状態の第2トランジスタTRAを経由してGND電圧(VL)を保持するVL内部配線に流れ込む。このようにして形成された電流パスに大電流が流れると、その途中の最も高抵抗なフューズ素子Fが発熱し、例えばポリシリコンフューズなら溶断により、フューズ素子Fの抵抗値が桁違いに大きくなる。例えばMOSフューズなら絶縁破壊により、フューズ素子Fの抵抗値が桁違いに小さくなる。
これに対し、第1ビットFB[a]=0の場合は、入力データに応じて制御される第2トランジスタTRAがオンしないので、電流パスが形成されず、フューズ素子Fの高抵抗化も起こらない。
[リード動作]
つぎに、第1ビット[a]のリード動作を、上記構成を前提として説明する。なお、このリード動作は、図2に示すように、当該半導体デバイスを評価する、例えばユーザが、半導体チップとしてモジュールに実装した状態で評価結果に応じて行う用途で実施されると仮定する。また、プログラム動作と同様に外部電圧VFUSEの制御はモジュール上の構成を介して外部テスタから行うとする。
つぎに、第1ビット[a]のリード動作を、上記構成を前提として説明する。なお、このリード動作は、図2に示すように、当該半導体デバイスを評価する、例えばユーザが、半導体チップとしてモジュールに実装した状態で評価結果に応じて行う用途で実施されると仮定する。また、プログラム動作と同様に外部電圧VFUSEの制御はモジュール上の構成を介して外部テスタから行うとする。
図1の第1ビット[a]をメモリセルMCから読み出す動作の初期状態では、図1においてすべてのトランジスタTRA〜TRCがオフ状態をとる。その状態で、図2の構成を介して外部テスタから、ローレベルの外部電圧VFUSE、例えば0 [V]の電圧を印加する。そして、第1ビットFB[a]=1をメモリセルMCから読み出すために、Yセレクト信号FA[n]=1としてY方向選択のためのN型の第1トランジスタTRBをオン状態とする。パターン保持回路2からのビット選択信号によりビット選択のためのN型の第2トランジスタTRAをオン状態とする。また、リード信号(READ)=1としてVDDチャージのためのP型の第3トランジスタTRCをオン状態とする。
このバイアス設定により、VH内部配線であるVDD供給線(例えば、1.数[V]の供給線)を正電源、外部テスタから与えられた外部電圧VFUSEの電圧(例えば0[V])を負電源とする電流が流れる。この電流は、VDD供給線から、オン状態の第3トランジスタTRC、第2電圧供給線12、オン状態の第1トランジスタTRBを経由する。そして、この電流は“bit a”と表記されたフューズ素子Fに流れ込み、さらに第1電圧供給線11、外部端子PADを経由して外部に流れ出す。外部に流れ出した電流は、図2のモジュール内の構成を経由して外部テスタのGND端子に流れ込む。
この電流による第2電圧供給線12の電位は、第3トランジスタTRCのオン抵抗と、第1トランジスタTRBのオン抵抗にフューズ素子F等の抵抗を加えた合成抵抗とで、電源電圧VDDを分圧した値をもつ。読み出し回路3内のセンスアンプは、その入力された分圧値を、例えばある基準に対して高いか低いかを判断し、その結果を、例えば電源電圧振幅のリード信号として増幅する。増幅後のリード信号は、読み出し回路3内の出力レジスタに一時的に保持され、他のビット構成から読み出された全てのビットが揃ったタイミングで外部に出力される。
なお、このリード信号を図2のモジュールの構成を介して外部テスタで読み取ると、ユーザは、その情報を知ることができ、これを評価に利用することができる。
なお、このリード信号を図2のモジュールの構成を介して外部テスタで読み取ると、ユーザは、その情報を知ることができ、これを評価に利用することができる。
[第1比較例]
図3は、第1比較例のデバイス構成を示す図である。
この第1比較例が、図1に示す本発明の第1の実施の形態と異なる点は、ビット選択のためのトランジスタ、すなわち第2トランジスタTRAがPMOSトランジスタから形成されていることである。この場合、P型チャネルのトランジスタを使用することで、その占有面積が大きくなる。また、プログラミングにP型チャネルのトランジスタ(TRA)とN型チャネルのトランジスタ(TRB)を使用していることで、製造時にP型チャネルのトランジスタの管理も必要となる。さらに、P型チャネルのトランジスタ(TRA)とN型チャネルのトランジスタ(TRB)の特性バランスを考慮した設計が必要となる。このため、フューズ素子Fを抵抗変化させる印加電圧の最適設計が、図1のプログラム時の電流経路に挿入されるトランジスタがN型の第1トランジスタTRBのみの場合より格段に難しくなる。
図3は、第1比較例のデバイス構成を示す図である。
この第1比較例が、図1に示す本発明の第1の実施の形態と異なる点は、ビット選択のためのトランジスタ、すなわち第2トランジスタTRAがPMOSトランジスタから形成されていることである。この場合、P型チャネルのトランジスタを使用することで、その占有面積が大きくなる。また、プログラミングにP型チャネルのトランジスタ(TRA)とN型チャネルのトランジスタ(TRB)を使用していることで、製造時にP型チャネルのトランジスタの管理も必要となる。さらに、P型チャネルのトランジスタ(TRA)とN型チャネルのトランジスタ(TRB)の特性バランスを考慮した設計が必要となる。このため、フューズ素子Fを抵抗変化させる印加電圧の最適設計が、図1のプログラム時の電流経路に挿入されるトランジスタがN型の第1トランジスタTRBのみの場合より格段に難しくなる。
なお、図1、図3の両方において、第2電圧供給線12にプリチャージ用途のP型チャネルのトランジスタ(TRC)が接続されているが、これは大電流を流すプログラム時に使用されない。また、センスアンプのセンスマージンが広いため、プリチャージ用途のPMOSトランジスタについて多少のバラツキは許容される。この点で、同じP型チャネルのトランジスタであっても、第2トランジスタTRAのバラツキが与える影響が、第3トランジスタTRCに比べ格段に大きい。
本実施の形態では、図3のP型チャネルのトランジスタ(TRA)を不要として、その面積分のチップ面積削減を図ることができる。なお、例えば同じ駆動能力を得たい場合、ゲート幅が5〜7倍程度、Pチャネル型のトランジスタがNチャネル型のトランジスタに比べ大きい。したがって、両トランジスタには、この倍率程度の面積比がある。ビット構成で1つのトランジスタの増加とはいってもビット数が多い場合には、その面積差は無視できない。よって、トランジスタ削減による面積効果が本発明の適用によって得られる。
また、図3に示すFUSE電源6は、その第1電圧供給線11へ出力する電圧値を書き込み時に例えば数[V]、読み出し時に例えば0[V]と変更して発生する機能をもつ。したがって、その電源回路の面積も大きい。
これに対して、図1の構成では外部端子PADを有するだけであり、書き込み時と読み出し時の電圧値制御が外部で行うため、その分、チップ面積が削減されている。
これに対して、図1の構成では外部端子PADを有するだけであり、書き込み時と読み出し時の電圧値制御が外部で行うため、その分、チップ面積が削減されている。
また、図1の構成は、メモリ冗長やアナログ回路の調整用にeFUSEメモリとして使用されるが、テスト時にのみフューズ素子Fを高電圧とGND電源の制御が必要で、通常使用時はGND電源に接続すればよいため、フューズ素子Fに与える電圧の外部制御が必要なことはあまり問題にならない。
以上より、第1の実施の形態では、電圧供給のための構成が占める占有面積が小さく、かつ、高精度な電圧供給が可能な、電気フューズメモリを有する半導体デバイスを提供することが可能となる。
以上より、第1の実施の形態では、電圧供給のための構成が占める占有面積が小さく、かつ、高精度な電圧供給が可能な、電気フューズメモリを有する半導体デバイスを提供することが可能となる。
<2.第2の実施の形態>
図4は、第1の実施の形態に関わる半導体デバイスのチップ構成図を示す。
図解する半導体デバイスは、第1の実施の形態と同様、メモリセルアレイ1と、メモリセルアレイ1のプログラム(書き込み)と読み出しを制御する各種制御回路を含む。制御回路として図1の構成がもつ全ての構成は、図4でも共通に有している。
また、プログラムの基本動作、読み出しの基本動作も既に説明したとおりである。以下、相違点のみを説明するが、図1と図4では同一な構造と機能を持つ構成は同一符号を付して、その説明を省略する。
図4は、第1の実施の形態に関わる半導体デバイスのチップ構成図を示す。
図解する半導体デバイスは、第1の実施の形態と同様、メモリセルアレイ1と、メモリセルアレイ1のプログラム(書き込み)と読み出しを制御する各種制御回路を含む。制御回路として図1の構成がもつ全ての構成は、図4でも共通に有している。
また、プログラムの基本動作、読み出しの基本動作も既に説明したとおりである。以下、相違点のみを説明するが、図1と図4では同一な構造と機能を持つ構成は同一符号を付して、その説明を省略する。
図4に示す構成では、図1に示す制御回路の構成に、正の外部電圧VFUSEをGND電圧に落とすN型チャネルのクランプトランジスタTRDを付加している。
プログラミング時はリード信号(READ)=0となるため、N型チャネルのクランプトランジスタTRDがオフになり、クランプトランジスタTRDを付加したことがプログラムに影響しない。
プログラミング時はリード信号(READ)=0となるため、N型チャネルのクランプトランジスタTRDがオフになり、クランプトランジスタTRDを付加したことがプログラムに影響しない。
一方、読み出し時はリード信号(READ)=1としてN型チャネルのクランプトランジスタTRDがオンになる。そのため、プログラムのために外部端子PADを介して外部から与えられている正の外部電圧VFUSEがGND電位に落とされる。その結果、第1の実施の形態で外部制御により、外部電圧VFUSEのレベルをローレベル(0[V])に制御したと同様な状態が整う。このとき、オン状態の第3トランジスタTRCを介して第2電圧供給線12に与えられたプリチャージ電圧がメモリセルMCの一方端に印加される。メモリセルMCの他方端側がオン状態のクランプトランジスタTRDを介してGND電圧に接続されるため、読み出し電流経路が第1の実施の形態と同様に形成され、このことによりデータの読み出しが可能となる。
[第2比較例]
図5は、第2比較例のデバイス構成を示す図である。
この第2比較例は、X方向選択のためのトランジスタ、すなわち第2トランジスタTRAがNMOSトランジスタから形成されていることが図4と共通する。
ただし、図5の構成が図4の構成と異なる点は、読み出し時のプリチャージのための第3トランジスタTRCが図5では省略され、その制御のためのリード制御回路5も省かれている。したがって、第1および第2の実施の形態と同様、図5の構成は、X方向、Y方向ともにN型チャネルのトランジスタによる選択となっている。
図5は、第2比較例のデバイス構成を示す図である。
この第2比較例は、X方向選択のためのトランジスタ、すなわち第2トランジスタTRAがNMOSトランジスタから形成されていることが図4と共通する。
ただし、図5の構成が図4の構成と異なる点は、読み出し時のプリチャージのための第3トランジスタTRCが図5では省略され、その制御のためのリード制御回路5も省かれている。したがって、第1および第2の実施の形態と同様、図5の構成は、X方向、Y方向ともにN型チャネルのトランジスタによる選択となっている。
しかしながら、大きな相違点として、VFUSE電源のプログラミングおよび読み出し動作を一身に担うジェネレータ7を有している。ジェネレータ7は担う機能が多い分、回路が複雑で大きくなってしまうため、ICチップ面積が削減されるどころか逆に増大する要因ともなる。
図4に示す第2の実施の形態に関わるデバイス構成では、外部電圧VFUSEの第1電圧供給線11へのGND電圧の供給制御を小型の、Nチャネル型のクランプトランジスタTRDで行う。そのため、読み出し時に外部電圧VFUSEに外部端子PADからGND電圧を与え続ける必要がなく、プログラムを行わない製品出荷後には外部端子の接続が不要となる。このことは、ユーザ負担を軽減し、より使いやすく、より自由な制御が可能となる意味で、クランプトランジスタTRDの付加による面積増大という不利益を超える利益をもたらす。
図6の図表に、以上述べた2つの実施の形態と、2つの比較例の長所と短所をまとめて示す。
図1の第1の実施の形態では第1電圧供給線を選択するビット選択のトランジスタが不要であるため、面積の観点については最も有利である。これに対し、図5の第2比較例では、検知機能付きVFUSE電源回路(ジェネレータ7)が必要であり面積の観点で不利益が大きい。
図3の第1比較例と図4の第2の実施の形態ではビット選択トランジスタが必要であり、そのため第1の実施の形態より面積が大きい。ここで、第1比較例ではビット選択トランジスタがPMOSトランジスタであるため、通常、そのゲート幅が200[μm]を超える。これに対し、第2の実施の形態はビット選択トランジスタがNMOSトランジスタであるため、そのゲート幅が数十[μm]と各段に小さく、第1比較例より面積的に有利である。
図3の第1比較例と図4の第2の実施の形態ではビット選択トランジスタが必要であり、そのため第1の実施の形態より面積が大きい。ここで、第1比較例ではビット選択トランジスタがPMOSトランジスタであるため、通常、そのゲート幅が200[μm]を超える。これに対し、第2の実施の形態はビット選択トランジスタがNMOSトランジスタであるため、そのゲート幅が数十[μm]と各段に小さく、第1比較例より面積的に有利である。
製造管理の観点では、第1比較例がP型とN型のトランジスタを有するため、デバイスパラメータの管理が煩雑でバラツキを含め特性を所望の値にすることが難しい。また、第2比較例はN型トランジスタの管理のほかに、電源回路の管理が必要なため、この点で製造管理が難しい。
これに対し、第1および第2の実施の形態は、N型トランジスタの管理のみ行い、電源回路を内蔵しないため、第1および第2比較例に比べ製造管理の観点で有利である。
これに対し、第1および第2の実施の形態は、N型トランジスタの管理のみ行い、電源回路を内蔵しないため、第1および第2比較例に比べ製造管理の観点で有利である。
上記したように第1の実施の形態は第2の実施の形態より面積的に有利であるが、その一方、VFUSE端子のオープン化では不利となる。VFUSE端子とは実施の形態で言う外部端子PADであり、これをオープン化可能な構成が望ましい。なぜなら、テスト後に製品として使用するときに、外部端子PADの電位制御を行う必要がないと、例えば図2のモジュール内での電位制御の機能を省略できてモジュールの構成を、それだけ簡素化できるからである。よって、ここ言う“オープン化”とは、書き込みと読み出しなどの異なる動作で外部端子PADの電位制御が不要なこと、つまりオープン時と同様に電位変動が動作に影響しないようにeFUSEアレイ側が構成されていることを含む意味である。
図1の第1の実施の形態のように第1電圧制御線11の電位を制御する機能をメモリセルアレイ1内に持たないと、外部端子PADの電位制御を書き込み時と読み出し時で制御する必要があり、オープン化ができない。これに対し、図4の第2の実施の形態では、読み出し時のみ第1電圧制御線11の電位をクランプトランジスタでGND電位に落とすことができる。そのため、外部端子PADには常時、書き込み時に必要な正電圧を印加しておいてもよい。このように、外部端子PADの電位制御が不要なことも、上記した定義から、ここで言うオープン化に含まれる。
第1,第2の実施の形態の何れの構成を採用するかは、面積縮小とオープン化のどちらの観点を優先させるかで決めるとよい。
第1,第2の実施の形態の何れの構成を採用するかは、面積縮小とオープン化のどちらの観点を優先させるかで決めるとよい。
なお、第1比較例はオープン化が可能であり、第2比較例は、そもそも電源内蔵のため外部端子PADが不要である。この観点では第1および第2比較例は、第2の実施の形態と同等であるが、面積的に不利である。また、オープン化が不要な場合には、第1および第2比較例は第1の実施の形態より面積が各段に大きくなる。
本発明の実施の形態によれば、N型チャネルのトランジスタのみでeFuse(電気フューズ)アレイ構造を形成することにより、面積を削減することができる。またN型チャネルのトランジスタのみでフューズ素子Fのブロー(blow)を制御できることにより、製造時のトランジスタの管理パラメータを削減することができる。
1…メモリセルアレイ、2…パターン保持回路、3…読み出し回路、4…入出力部、5…リード制御回路、11…第1電圧供給線、12…第2電圧供給線、MC…メモリセル、F…フューズ素子、TRA…第2トランジスタ、TRB…第1トランジスタ、TRC…第3トランジスタ、TRD…クランプトランジスタ、PAD…外部端子、外部電圧VFUSE
Claims (8)
- 電気フューズメモリを有し、
前記電気フューズメモリが、
互いに直列接続されたフューズ素子とNチャネル型の第1トランジスタを有するメモリセルと、
前記第1トランジスタの動作を制御する制御線と、
前記フューズ素子の一方の端子側に外部電圧を供給する外部端子と、
前記フューズ素子の他方の端子側に内部電圧を供給するNチャネル型の第2トランジスタと、
を有する、電気フューズメモリを有する半導体デバイス。 - 前記電気フューズメモリが、
入力データのビット数Nの自然数n倍の数nN(≧N)だけ配置されたnN個の前記メモリセルと、
N個の前記第2トランジスタと、
前記外部端子と前記N個のメモリセルの各々とを接続するN本の第1電圧供給線と、
N本の第2電圧供給線と、
N本のデータ入力線と、
を有し、
前記N個の第2トランジスタの各々が、対応する1つの前記メモリセルの前記フューズ素子に印加されるローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線と、対応する1本の前記第2電圧供給線との間に接続され、対応する1本の前記データ入力線の電位に応じて動作が制御される
請求項1に記載の、電気フューズメモリを有する半導体デバイス。 - 前記N本の第2電圧供給線の各々に対し、
読み出し回路と、
対応する1本の前記第2電圧供給線にリードバイアス電圧を供給制御する第3トランジスタと、
が接続されている
請求項2に記載の、電気フューズメモリを有する半導体デバイス。 - 前記第3トランジスタは、前記対応する1本の第2電圧供給線と、前記N本の第2電圧供給線で共通なハイレベルの内部電圧(VH)を供給するVH内部配線との間に接続され、入力される読み出し制御信号に応じて動作が制御される
請求項3に記載の、電気フューズを有する半導体デバイス。 - 前記N個のメモリセルの各々において、前記第1トランジスタが、対応する1本の前記第2電圧供給線に接続され、前記フューズ素子が、対応する1本の前記第1電圧供給線に接続されている
請求項4に記載の、電気フューズを有する半導体デバイス。 - 前記N本の第1電圧供給線の各々と、前記ローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線との間にそれぞれが接続され、データの書き込み時にオフし、データの読み出し時にオンに制御されるN個のクランプトランジスタを有する
請求項2に記載の、電気フューズを有する半導体デバイス。 - 前記N本の第1電圧供給線の各々と、前記ローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線との間にそれぞれが接続され、データの書き込み時にオフし、データの読み出し時にオンに制御されるN個のクランプトランジスタを有する
請求項4に記載の、電気フューズを有する半導体デバイス。 - 前記電気フューズメモリが、
前記外部端子と前記メモリセルを接続する第1電圧供給線と、
第2電圧供給線と、
データ入力線と、
をさらに有し、
前記第2トランジスタは、前記メモリセルの前記フューズ素子に印加されるローレベルの内部電圧(VL)を供給するVL内部配線と、前記第2電圧供給線との間に接続され、前記データ入力線の電位に応じて動作が制御される
請求項1に記載の、電気フューズを有する半導体デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009114179A JP2010262711A (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 電気フューズメモリを有する半導体デバイス |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009114179A JP2010262711A (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 電気フューズメモリを有する半導体デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010262711A true JP2010262711A (ja) | 2010-11-18 |
Family
ID=43360650
Family Applications (1)
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JP2009114179A Pending JP2010262711A (ja) | 2009-05-11 | 2009-05-11 | 電気フューズメモリを有する半導体デバイス |
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JP (1) | JP2010262711A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9312264B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Non-volatile memory device |
US9502133B2 (en) | 2013-10-11 | 2016-11-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
-
2009
- 2009-05-11 JP JP2009114179A patent/JP2010262711A/ja active Pending
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