JP2010257932A - Paste having conductive particulates dispersed therein - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a paste which has conductive particulates dispersed therein and which is adapted for use in forming rear electrodes of solar cells. <P>SOLUTION: The paste having conductive particulates dispersed therein, the paste being used to form the rear electrodes of the solar cells. The paste includes a (META)-acrylic resin, an organic solvent, and the conductive particulates. The (META)-acrylic resin has polar functional groups at its molecular ends and a weight-average molecular weight of 10,000 to 40,000. The organic solvent is a terpene-based solvent including at least one hydroxyl group in a molecule or a polyol solvent having the number of carbons/the number of hydroxyl groups less than 5. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、太陽電池の裏面電極形成に好適に用いることのできる導電性微粒子分散ペーストに関する。 The present invention relates to a conductive fine particle-dispersed paste that can be suitably used for forming a back electrode of a solar cell.

近年、化石燃料に代わるクリーンエネルギーとして太陽光発電が注目され、太陽電池の開発が進んでいる。太陽電池としては、シリコン半導体基板の上に、電極が形成された装置が知られている。図1は、一般的な太陽電池の構造を模式的に示す断面図である。 In recent years, photovoltaic power generation has attracted attention as a clean energy alternative to fossil fuel, and the development of solar cells is progressing. As a solar cell, a device in which an electrode is formed on a silicon semiconductor substrate is known. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a general solar cell.

図1に示すように、太陽電池の素子は、厚みが200〜300μmのp型シリコン半導体基板1の受光面側に、厚みが0.3〜0.6μmのn型不純物層2が形成されており、更にn型不純物層2の上に反射防止膜3とグリッド電極4とが形成されている。また、p型シリコン半導体基板1の裏面側には、裏面電極層5が形成されている。 As shown in FIG. 1, the solar cell element has an n-type impurity layer 2 having a thickness of 0.3 to 0.6 μm formed on the light receiving surface side of a p-type silicon semiconductor substrate 1 having a thickness of 200 to 300 μm. Furthermore, an antireflection film 3 and a grid electrode 4 are formed on the n-type impurity layer 2. A back electrode layer 5 is formed on the back side of the p-type silicon semiconductor substrate 1.

裏面電極層5は、通常、アルミニウム粉末、ガラスフリット及び有機質ビヒクルを含有するペーストをスクリーン印刷等によって塗布し、乾燥した後、660℃(アルミニウムの融点)以上の温度で焼成することにより形成される。この焼成工程において、アルミニウムがp型シリコン半導体基板1の内部に拡散することにより、裏面電極層5とp型シリコン半導体基板1との間にAl−Si合金層6が形成されると同時に、アルミニウム原子の拡散による不純物層としてp層7が形成される。このp層7の存在により、電子の再結合を防止し、生成キャリアの収集効率を向上させるBSF(Back Surface Field)効果が得られる。 The back electrode layer 5 is usually formed by applying a paste containing aluminum powder, glass frit, and organic vehicle by screen printing or the like, drying, and firing at a temperature of 660 ° C. (melting point of aluminum) or higher. . In this firing step, aluminum diffuses into the p-type silicon semiconductor substrate 1, thereby forming an Al—Si alloy layer 6 between the back electrode layer 5 and the p-type silicon semiconductor substrate 1. A p + layer 7 is formed as an impurity layer by atomic diffusion. The presence of the p + layer 7 can provide a BSF (Back Surface Field) effect that prevents recombination of electrons and improves the collection efficiency of generated carriers.

近年、太陽電池はコストダウンの要求が高まり、その方法として、シリコン半導体基板を薄くすることが検討されている。しかし、シリコンとアルミニウムとは熱膨張係数が大きく異なるため、シリコン半導体基板が薄くなれば、熱膨張係数の差に起因して内部応力が発生し、ペーストの焼成後に裏面電極層が形成された裏面側が凹状になるようにシリコン半導体基板が変形し、反り又は割れが発生するという問題があった。 In recent years, the demand for cost reduction of solar cells has increased, and as a method for this, it has been studied to reduce the thickness of a silicon semiconductor substrate. However, since the thermal expansion coefficient of silicon and aluminum differ greatly, if the silicon semiconductor substrate becomes thinner, internal stress occurs due to the difference in thermal expansion coefficient, and the back electrode layer is formed after the paste is baked. There is a problem that the silicon semiconductor substrate is deformed so that the side is concave, and warping or cracking occurs.

このような問題を解決するため、特許文献1には、半導体基板の裏面全体にアルミニウム含有ペーストを薄く塗布し、その上から厚くしたい部分に再度アルミニウム含有ペーストを塗布した後、焼成することにより、半導体基板の裏面に2種以上の層からなる裏面電極層を形成する方法が開示されている。また、特許文献2には、半導体基板の裏面に裏面電極を格子状に形成する方法が開示されている。 In order to solve such a problem, in Patent Document 1, the aluminum-containing paste is thinly applied to the entire back surface of the semiconductor substrate, and the aluminum-containing paste is again applied to the portion to be thickened from above, and then fired. A method of forming a back electrode layer composed of two or more layers on the back surface of a semiconductor substrate is disclosed. Patent Document 2 discloses a method of forming backside electrodes in a grid pattern on the backside of a semiconductor substrate.

また、特許文献3には、アルミニウム粉末、ガラスフリット、有機質ビヒクル及びアルミニウム含有有機化合物を用いる方法が開示されており、特許文献4には、熱膨張率がアルミニウムよりも小さく、かつ、溶融温度、軟化温度及び分解温度のいずれかがアルミニウムの融点よりも高い無機化合物、アルミニウム粉末及び有機質ビヒクルを含むペースト組成物を用いる方法が開示されている。更に、特許文献5には、従来のペースト組成物に有機化合物粒子及び炭素粒子のうち少なくとも1種を添加して、焼成時のアルミニウム電極の収縮を抑止することにより、シリコン半導体基板の反りを低減する方法が開示されている。 Patent Document 3 discloses a method using an aluminum powder, a glass frit, an organic vehicle, and an aluminum-containing organic compound, and Patent Document 4 has a smaller coefficient of thermal expansion than aluminum and a melting temperature, A method of using a paste composition containing an inorganic compound, an aluminum powder, and an organic vehicle in which either the softening temperature or the decomposition temperature is higher than the melting point of aluminum is disclosed. Furthermore, in Patent Document 5, warping of the silicon semiconductor substrate is reduced by adding at least one of organic compound particles and carbon particles to the conventional paste composition to suppress shrinkage of the aluminum electrode during firing. A method is disclosed.

しかしながら、これらの方法で用いられているペーストは、すべてバインダー樹脂として、エチルセルロースを用いている。エチルセルロースは、熱分解性が悪いために、短時間の焼成プロセスでは有機物質が残りやすく、緻密な膜が作りにくいため、ペーストを厚く塗布しなければならず、そのため反りを防ぐことができないと言う問題点があった。また、緻密な膜が作りにくいため、電気抵抗も高くなってしまうという問題点もあった。 However, all the pastes used in these methods use ethyl cellulose as the binder resin. Since ethyl cellulose has poor thermal decomposability, organic substances are likely to remain in a short baking process, and it is difficult to form a dense film. Therefore, it is necessary to apply a thick paste, and thus warp cannot be prevented. There was a problem. Moreover, since it is difficult to form a dense film, there is a problem that the electric resistance is increased.

特開2002−217435号公報JP 2002-217435 A 特開2002−141533号公報JP 2002-141533 A 特開2000−90734号公報JP 2000-90734 A 特開2003−223813号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-223813 特開2004−134775号公報JP 2004-134775 A

本発明は、シリコン半導体基板を薄くした場合でも、電極の機械的強度と密着性を低下させることがなく、焼成後のシリコン半導体基板の変形(反り)を抑制でき、かつ、電気抵抗を下げることが可能な導電性微粒子分散ペーストを提供することを目的とする。 Even if the silicon semiconductor substrate is thinned, the present invention can suppress deformation (warping) of the fired silicon semiconductor substrate without lowering the mechanical strength and adhesion of the electrode, and lower the electrical resistance. An object of the present invention is to provide a conductive fine particle-dispersed paste that can be used.

本発明は、太陽電池の裏面電極を形成するために用いられる導電性微粒子分散ペーストであって、(メタ)アクリル樹脂、有機溶剤及び導電性微粒子を含有し、(メタ)アクリル樹脂は、分子末端に極性官能基を有し、重量平均分子量が10000〜40000であり、かつ、有機溶剤は、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するテルペン系溶剤、又は、(炭素数/水酸基数)が5未満のポリオール溶剤である導電性微粒子分散ペーストである。
以下、本発明を詳述する。
The present invention is a conductive fine particle-dispersed paste used for forming a back electrode of a solar cell, and contains a (meth) acrylic resin, an organic solvent and conductive fine particles, and the (meth) acrylic resin has molecular terminals. The organic solvent is a terpene-based solvent having at least one hydroxyl group in the molecule, or (carbon number / hydroxyl number) is less than 5 It is a conductive fine particle dispersed paste which is a polyol solvent.
The present invention is described in detail below.

本発明者らは、鋭意検討の結果、(メタ)アクリル樹脂、有機溶剤及び導電性微粒子を含有する導電性微粒子分散ペーストにおいて、(メタ)アクリル樹脂として、分子末端に極性官能基を有し、かつ、重量平均分子量が10000〜40000のものを使用し、有機溶剤として、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するテルペン系溶剤、又は、(炭素数/水酸基数)が5未満のポリオール溶剤を用いた場合、驚くべきことに、同程度の重量平均分子量を有する(メタ)アクリル樹脂を添加した場合と比較して、高い粘度を発現することから、このような構成の導電性微粒子分散ペーストをスクリーン印刷に用いた場合、スクリーン印刷に適した粘度となることを見出した。更に、(メタ)アクリル樹脂が本来有する高い熱分解性や焼結残渣の少なさといった利点を充分に生かしつつ、印刷膜の膜密度を上げることができ、焼成後の基板の反りを防止して、電気抵抗値を低減できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of earnest study, the present inventors have a polar functional group at the molecular end as a (meth) acrylic resin in a conductive fine particle dispersed paste containing a (meth) acrylic resin, an organic solvent and conductive fine particles, And the thing of a weight average molecular weight 10000-40000 was used, and the terpene solvent which has at least one hydroxyl group in a molecule | numerator, or the polyol solvent whose (carbon number / hydroxyl number) is less than 5 was used as an organic solvent. In this case, surprisingly, since a high viscosity is developed as compared with the case where a (meth) acrylic resin having a similar weight average molecular weight is added, the conductive fine particle dispersed paste having such a configuration is screen-printed. It has been found that the viscosity is suitable for screen printing. Furthermore, the film density of the printed film can be increased while fully taking advantage of the high thermal decomposability inherent in the (meth) acrylic resin and the small amount of sintered residue, thereby preventing warping of the substrate after firing. The inventors have found that the electrical resistance value can be reduced, and have completed the present invention.

本発明において、上述した構成の(メタ)アクリル樹脂と有機溶剤とを併用した場合に、同程度の重量平均分子量を有する(メタ)アクリル樹脂を添加した場合と比較して高い粘度を発現する理由については明確ではないが、上記(メタ)アクリル樹脂の分子末端に存在する極性官能基と、上記有機溶剤の水酸基とが、水素結合等で強く相互作用しているためであると考えられる。
また、印刷膜の膜密度が大幅に向上する理由についても、明確ではないが、本発明では、樹脂の含有量を少なく抑えることができるため、印刷膜中の空隙を減らすことができ、更に、上記(メタ)アクリル樹脂の極性官能基の効果により、導電性微粒子を分散安定化できるためであると考えられる。
In the present invention, when the (meth) acrylic resin having the above-described configuration and the organic solvent are used in combination, the reason why a high viscosity is developed as compared with the case where the (meth) acrylic resin having the same weight average molecular weight is added. Although it is not clear, it is considered that this is because the polar functional group present at the molecular end of the (meth) acrylic resin and the hydroxyl group of the organic solvent strongly interact with each other through hydrogen bonding or the like.
In addition, although the reason why the film density of the printed film is greatly improved is not clear, in the present invention, since the resin content can be reduced, the voids in the printed film can be reduced. This is probably because the conductive fine particles can be dispersed and stabilized by the effect of the polar functional group of the (meth) acrylic resin.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、(メタ)アクリル樹脂、有機溶剤及び導電性微粒子を含有する。なお、本明細書において(メタ)アクリル樹脂とは、アクリル樹脂又はメタクリル樹脂を意味する。 The conductive fine particle-dispersed paste of the present invention contains a (meth) acrylic resin, an organic solvent, and conductive fine particles. In this specification, (meth) acrylic resin means acrylic resin or methacrylic resin.

上記(メタ)アクリル樹脂の重量平均分子量の下限は10000、上限は40000である。上記(メタ)アクリル樹脂の重量平均分子量が10000未満であると、後述する有機溶剤と混合しても、得られる導電性微粒子分散ペーストは、充分な粘度が確保されず、結果として、スクリーン脱枠後の基板へのパターン形成能が低下する。上記(メタ)アクリル樹脂の重量平均分子量が40000を超えると、得られる導電性微粒子分散ペーストの粘着力が高くなり、スクリーン印刷性が低下する。好ましい下限は15000、好ましい上限は35000である。
なお、本明細書における重量平均分子量とは、例えば、カラムとしてSHOKO社製のLF−804を用い、室温にて、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)分析により得られる結果を基に、ポリスチレン換算値で求められるものをいう。
The lower limit of the weight average molecular weight of the (meth) acrylic resin is 10,000, and the upper limit is 40000. When the weight average molecular weight of the (meth) acrylic resin is less than 10,000, even when mixed with an organic solvent described later, the obtained conductive fine particle dispersed paste does not ensure a sufficient viscosity. The ability to form a pattern on a subsequent substrate is reduced. When the weight average molecular weight of the (meth) acrylic resin exceeds 40000, the adhesive strength of the obtained conductive fine particle dispersed paste becomes high, and the screen printability is lowered. A preferred lower limit is 15000 and a preferred upper limit is 35000.
The weight average molecular weight in the present specification is, for example, a polystyrene equivalent value based on the results obtained by gel permeation chromatography (GPC) analysis at room temperature using LF-804 manufactured by SHOKO as a column. Means what is required in

上記(メタ)アクリル樹脂は、重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)が3以下であることが好ましい。上記(Mw/Mn)が3を超えると、部分的に低分子量成分及び/又は高分子量成分が存在する割合が高くなり、得られる導電性微粒子分散ペーストは、低分子量成分による粘度低下及び/又は高分子量成分による粘着力上昇が引き起こされ、結果として、スクリーン印刷性が低下することがある。より好ましくは2.5以下である。 The (meth) acrylic resin preferably has a ratio (Mw / Mn) of 3 or less to the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn). When the above (Mw / Mn) exceeds 3, the proportion of the low molecular weight component and / or the high molecular weight component partially increases, and the resulting conductive fine particle dispersed paste has a reduced viscosity due to the low molecular weight component and / or An increase in adhesive strength due to a high molecular weight component is caused, and as a result, screen printability may be lowered. More preferably, it is 2.5 or less.

上記(メタ)アクリル樹脂は、分子末端に極性官能基を有する。極性官能基が、分子末端に存在することで、上記(メタ)アクリル樹脂は、有機溶剤又は導電性微粒子との相互作用が可能となると考えられ、その結果、得られる導電性微粒子分散ペーストの粘度が適正化され、スクリーン印刷性が向上する。また、分子末端に存在する極性官能基は、アルミニウムの粒子を分散安定化する効果が高く、その結果、得られる印刷膜をより緻密なものとすることが可能となる。 The (meth) acrylic resin has a polar functional group at the molecular end. It is considered that the presence of the polar functional group at the molecular end enables the (meth) acrylic resin to interact with the organic solvent or the conductive fine particles. As a result, the viscosity of the obtained conductive fine particle dispersed paste Is optimized and the screen printability is improved. Moreover, the polar functional group present at the molecular terminal is highly effective in dispersing and stabilizing the aluminum particles, and as a result, the resulting printed film can be made denser.

上記(メタ)アクリル樹脂の分子末端に極性官能基が存在していることは、例えば、上記(メタ)アクリル樹脂を抽出したポリマーを13C−NMR測定することにより、確認することができる。即ち、炭素−硫黄間の結合が確認された場合には、分子末端に極性官能基が導入されたと判断することができる。 The presence of a polar functional group at the molecular end of the (meth) acrylic resin can be confirmed by, for example, 13 C-NMR measurement of a polymer extracted from the (meth) acrylic resin. That is, when a bond between carbon and sulfur is confirmed, it can be determined that a polar functional group is introduced at the molecular end.

上記極性官能基としては、水素結合性を有する化学骨格を有する官能基であれば特に限定されず、例えば、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、リン酸基、アミド基等が挙げられる。中でも、焼結時に発生する熱分解化合物を原因とする導電性微粒子分散ペースト中の導電性微粒子や印刷基板の劣化、損傷等の影響が少ない等の理由から、水酸基、カルボキシル基が好適である。 The polar functional group is not particularly limited as long as it is a functional group having a chemical skeleton having hydrogen bonding properties, and examples thereof include a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, a phosphate group, and an amide group. Among them, a hydroxyl group and a carboxyl group are preferable because of the small influence of the conductive fine particles in the conductive fine particle-dispersed paste caused by the thermal decomposition compound generated during sintering and the deterioration and damage of the printed substrate.

上記分子末端に極性官能基を有する(メタ)アクリル樹脂の製造方法は特に限定されず、例えば、極性官能基を有する連鎖移動剤の存在下、(メタ)アクリルモノマーを、フリーラジカル重合法、リビングラジカル重合法、イニファーター重合法、アニオン重合法、リビングアニオン重合法等の従来公知の方法で重合又は共重合する方法、及び、極性官能基を有する重合開始剤の存在下、(メタ)アクリルモノマーを、フリーラジカル重合法、リビングラジカル重合法、イニファーター重合法、アニオン重合法、リビングアニオン重合法等の従来公知の方法で重合又は共重合する方法が挙げられる。これらの方法は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 The production method of the (meth) acrylic resin having a polar functional group at the molecular terminal is not particularly limited. For example, in the presence of a chain transfer agent having a polar functional group, a (meth) acrylic monomer is free radical polymerization method, living (Meth) acrylic monomer in the presence of a polymerization initiator having a polar functional group, a method of polymerization or copolymerization by a conventionally known method such as radical polymerization method, iniferter polymerization method, anion polymerization method, living anion polymerization method, etc. May be polymerized or copolymerized by a conventionally known method such as free radical polymerization, living radical polymerization, iniferter polymerization, anion polymerization, or living anion polymerization. These methods may be used independently and may use 2 or more types together.

また、極性官能基を有するアゾ系重合開始剤を用いて、上記分子末端に極性官能基を有する(メタ)アクリル樹脂の製造してもよい。
上記アゾ系重合開始剤としては、特に限定されず、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロライド、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]ジスルフェイトジハイドレート、2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオンアミジン)ジヒドロクロライド、2,2’−アゾビス[N−(2−カルボキシエチル)−2−メチルプロピオンアミジン]ハイドレート、2,2’−アゾビス{2−[1−(2−ドロキシエチル)−2−イミダゾリン−2−イル]プロパン}ジヒドロクロライド、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]、2,2’−アゾビス(1−イミノ−1−ピロリジノ−2−メチルプロパン)ジヒドロクロライド、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、4,4’−アゾビス(4−シアノバレリックアシド)等が挙げられる。
Moreover, you may manufacture the (meth) acrylic resin which has a polar functional group in the said molecular terminal using the azo polymerization initiator which has a polar functional group.
The azo polymerization initiator is not particularly limited, and 2,2′-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane] dihydrochloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazoline). -2-yl) propane] disulfate dihydrate, 2,2′-azobis (2-methylpropionamidine) dihydrochloride, 2,2′-azobis [N- (2-carboxyethyl) -2-methylpropion Amidine] hydrate, 2,2′-azobis {2- [1- (2-droxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propane} dihydrochloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazoline- 2-yl) propane], 2,2′-azobis (1-imino-1-pyrrolidino-2-methylpropane) dihydrochloride, 2,2′-azobis {2 Methyl-N- [1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 4,4 And '-azobis (4-cyanovaleric acid).

上記(メタ)アクリルモノマーとしては、特に限定されず、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、n−ステアリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、及び、ポリオキシアルキレン構造を有する(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも1種等が挙げられる。なかでも、低温脱脂性に優れ、比較的少ない樹脂量でも高い粘度の導電性微粒子分散ペーストを得ることができることから、メチル(メタ)アクリレートが好適である。 The (meth) acrylic monomer is not particularly limited. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, From the group consisting of isobutyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, n-stearyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and (meth) acrylate having a polyoxyalkylene structure Examples include at least one selected. Among these, methyl (meth) acrylate is preferred because it is excellent in low-temperature degreasing property and can obtain a conductive fine particle-dispersed paste having a high viscosity even with a relatively small amount of resin.

上記分子末端に極性官能基を有する(メタ)アクリル樹脂は焼結性を阻害しない範囲で、側鎖に水酸基やカルボキシル基、窒素元素を含む官能基等の極性官能基を有してもよい。これらの構造は水酸基やカルボキシル基、窒素元素を含む官能基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体を共重合することによって得られる。 The (meth) acrylic resin having a polar functional group at the molecular end may have a polar functional group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or a functional group containing a nitrogen element in the side chain as long as the sinterability is not inhibited. These structures are obtained by copolymerizing a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer having a functional group containing a hydroxyl group, a carboxyl group, or a nitrogen element.

上記水酸基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体としては特に限定されず、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 The (meth) acrylic acid alkyl ester monomer having a hydroxyl group is not particularly limited. For example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, pentaerythritol mono (meth) acrylate Etc.

上記カルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体としては特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸、2−カルボキシエチル(メタ)アクリレート、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸等が挙げられる。 It does not specifically limit as said (meth) acrylic-acid alkylester monomer which has the said carboxyl group, For example, (meth) acrylic acid, 2-carboxyethyl (meth) acrylate, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid etc. are mentioned. .

上記窒素原子を含む官能基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体としては特に限定されず、例えば、(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリロニトリル、N−ビニルピロリドン、N−(メタ)アクリロイルモルホリン、2−N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−N,N−ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 The (meth) acrylic acid alkyl ester monomer having a functional group containing a nitrogen atom is not particularly limited. For example, (meth) acrylamide, (meth) acrylonitrile, N-vinylpyrrolidone, N- (meth) acryloylmorpholine. 2-N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-N, N-diethylaminoethyl (meth) acrylate, and the like.

上述した各官能基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体のなかでも、脱脂後に分解残渣分の残留が特に少ないことから、水酸基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体が好適である。 Among the above-mentioned (meth) acrylic acid alkyl ester monomers having each functional group, a residue of decomposition residue is particularly small after degreasing, and therefore a (meth) acrylic acid alkyl ester monomer having a hydroxyl group is suitable. is there.

上記(メタ)アクリレート共重合体における上述した各官能基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体の含有量としては特に限定されないが、(メタ)アクリレート共重合体100重量部中、好ましい上限は30重量部である。30重量部を超えると、吸水しやすくなるため、ガラス粉末等を分散させペースト化した場合、長期で粘度の安定した組成物を得ることが困難な場合がある。より好ましい上限は15重量部である。また、下限としては特に限定されないが、好ましくは1重量部である。 Although it does not specifically limit as content of the (meth) acrylic-acid alkylester monomer which has each functional group mentioned above in the said (meth) acrylate copolymer, A preferable upper limit in 100 weight part of (meth) acrylate copolymers Is 30 parts by weight. When the amount exceeds 30 parts by weight, it becomes easy to absorb water. Therefore, when a glass powder or the like is dispersed to form a paste, it may be difficult to obtain a composition having a stable viscosity for a long time. A more preferred upper limit is 15 parts by weight. Moreover, although it does not specifically limit as a minimum, Preferably it is 1 weight part.

上記極性官能基を有する連鎖移動剤としては特に限定されず、例えば、水酸基を有するメルカプトプロパンジオール、カルボキシル基を有するチオグリセロール、メルカプトコハク酸、メルカプト酢酸、アミノ基を有するアミノエタンチオール等、リン酸基を有するチオリン酸等が挙げられる。 The chain transfer agent having a polar functional group is not particularly limited. For example, phosphoric acid such as mercaptopropanediol having a hydroxyl group, thioglycerol having a carboxyl group, mercaptosuccinic acid, mercaptoacetic acid, aminoethanethiol having an amino group, etc. And thiophosphoric acid having a group.

上記極性官能基を有する重合開始剤としては特に限定されず、例えば、P−メンタンヒドロペルオキシド(P−Menthane hydroperoxide)(日油社製:パーメンタH)、ジイソプロピルベンゼンヒドロペルオキシド(Diisopropylbenzene hydroperoxide)(日油社製:パークミルP)、1、2、3、3−テトラメチルブチルヒドロペルオキシド(1、2、3、3−Tetramethylbutyl hydroperoxide)(日油社製:パーオクタH)、クメンヒドロペルオキシド(Cumene hydroperoxide)(日油社製:パークミルH−80)、t−ブチルヒドロペルオキシド(t−Buthyl hydroperoxide(日油社製:パーブチルH−69)、過酸化シクロヘキサノン(Cyclohexanone peroxide)(日油社製:パーヘキサH)、1、1、3、3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、t−アミルハイドロパーオキサイド、Disuccinic acid peroxide(パーロイルSA)等が挙げられる。また、窒素官能基を有する各種アゾ開始剤を用いても良い。 The polymerization initiator having the polar functional group is not particularly limited, and examples thereof include P-menthane hydroperoxide (manufactured by NOF Corporation: Permenta H), diisopropylbenzene hydroperoxide (NOF) Company: Parkmill P), 1,2,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide (1,2,3,3-tetramethylbutyloxide) (manufactured by NOF Corporation: Perocta H), cumene hydroperoxide (Cumene hydroperoxide) ( NOF Corporation: Park Mill H-80), t-Butyl hydroperoxide (NOF Corporation: Perbutyl H -69), cyclohexanone peroxide (manufactured by NOF Corporation: Perhexa H), 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, t-butyl hydroperoxide, t-amyl hydroperoxide, Examples thereof include Disuccinic acid peroxide (Perroyl SA), etc. Various azo initiators having a nitrogen functional group may be used.

本発明の導電性微粒子分散ペースト中の上記(メタ)アクリル樹脂の含有量は特に限定されないが、導電性微粒子分散ペースト全体に対して好ましい下限は0.5重量%、好ましい上限は10重量%である。上記(メタ)アクリル樹脂の含有量が0.5重量%未満であると、得られる導電性微粒子分散ペースト中の粘度が低すぎてスクリーン脱枠後の基板へのパターン形成能が低下することがある。上記(メタ)アクリル樹脂の含有量が10重量%を超えると、得られる導電性微粒子分散ペーストの粘着力が高すぎて、スクリーン脱枠時に糸曳き等が発生することがある。より好ましい下限は1重量%、好ましい上限は5重量%である。 The content of the (meth) acrylic resin in the conductive fine particle dispersed paste of the present invention is not particularly limited, but the preferred lower limit is 0.5% by weight and the preferred upper limit is 10% by weight with respect to the whole conductive fine particle dispersed paste. is there. When the content of the (meth) acrylic resin is less than 0.5% by weight, the viscosity of the obtained conductive fine particle-dispersed paste is too low, and the ability to form a pattern on the substrate after removing the screen may be reduced. is there. When the content of the (meth) acrylic resin exceeds 10% by weight, the adhesive strength of the obtained conductive fine particle dispersed paste is too high, and stringing may occur when the screen is unframed. A more preferred lower limit is 1% by weight, and a preferred upper limit is 5% by weight.

上記有機溶剤は、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するテルペン系溶剤、又は、(炭素数/水酸基数)が5未満のポリオール溶剤である。このような有機溶剤と、上記(メタ)アクリル樹脂とを組み合わせて用いることで、上記(メタ)アクリル樹脂の分子末端に存在する極性官能基と有機溶剤中の水酸基との相互作用により、上記(メタ)アクリル樹脂の含有量を少なくしても、得られる導電性微粒子分散ペーストの粘度をスクリーン印刷工程に対して好適な状態に保持することができる。その結果、導電性微粒子分散ペーストは、スクリーン脱枠時に糸曳き等が発生せず、緻密な印刷膜を形成することができる。 The organic solvent is a terpene solvent having at least one hydroxyl group in the molecule or a polyol solvent having (carbon number / hydroxyl number) of less than 5. By using such an organic solvent in combination with the (meth) acrylic resin, due to the interaction between the polar functional group present at the molecular end of the (meth) acrylic resin and the hydroxyl group in the organic solvent, the above ( Even if the content of the (meth) acrylic resin is reduced, the viscosity of the obtained conductive fine particle dispersed paste can be maintained in a state suitable for the screen printing process. As a result, the conductive fine particle-dispersed paste does not generate stringing or the like when the screen is removed and can form a dense printed film.

本発明では、上記有機溶剤としては、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するテルペン系溶剤を用いる。分子中に水酸基を有しないテルペン系溶剤を用いた場合、上記(メタ)アクリル樹脂の分子末端に存在する極性官能基との相互作用が起こらないことから、優れたスクリーン印刷性を実現できず、緻密な印刷膜を形成することができない。 In the present invention, a terpene solvent having at least one hydroxyl group in the molecule is used as the organic solvent. When a terpene solvent that does not have a hydroxyl group in the molecule is used, the interaction with the polar functional group present at the molecular end of the (meth) acrylic resin does not occur, so that excellent screen printability cannot be realized, A dense printed film cannot be formed.

上記有機溶剤のうち、上記テルペン系溶剤としては、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するものであれば特に限定されず、例えば、α−テルピネオール、ジヒドロテルピネオール等が挙げられる。これらの中では、α−テルピネオールが好ましい。これらのテルペン系溶剤は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Among the organic solvents, the terpene solvent is not particularly limited as long as it has at least one hydroxyl group in the molecule, and examples thereof include α-terpineol and dihydroterpineol. Of these, α-terpineol is preferred. These terpene solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明では、上記有機溶剤としては、(炭素数/水酸基数)が5未満のポリオール溶剤を用いる。上記ポリオール溶剤の(炭素数/水酸基数)が5以上であると、上記(メタ)アクリル樹脂の分子末端に存在する極性官能基との相互作用が弱くなることから、優れたスクリーン印刷性を実現できず、緻密な印刷膜を形成することができない。 In the present invention, a polyol solvent having (carbon number / hydroxyl number) of less than 5 is used as the organic solvent. When the polyol solvent has a carbon number / hydroxyl group number of 5 or more, the interaction with the polar functional group present at the molecular end of the (meth) acrylic resin is weakened, thus realizing excellent screen printability. It is not possible to form a dense printed film.

上記有機溶剤のうち、ポリオール溶剤としては、(炭素数/水酸基数)が5未満であれば特に限定されず、例えば、1,3−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、グリセリン等が挙げられる。これらの中では、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオールが好ましい。これらのポリオール溶剤は単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Among the above organic solvents, the polyol solvent is not particularly limited as long as (the number of carbon atoms / the number of hydroxyl groups) is less than 5. For example, 1,3-butanediol, 1,5-pentanediol, 3-methyl-1 , 5-pentanediol, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, glycerin and the like. Among these, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol and 2-ethyl-1,3-hexanediol are preferable. These polyol solvents may be used independently and may use 2 or more types together.

上記有機溶剤は、常温における粘度の好ましい下限が50cpsである。上記粘度が50cps未満であると、得られる導電性微粒子分散ペーストがスクリーン印刷に適した粘度とならず、焼成後に緻密な印刷膜を形成することができないことがある。
なお、上記粘度は、常温においてB型粘度計を用いて粘度を測定した場合における粘度のことをいう。
The organic solvent has a preferred lower limit of viscosity at room temperature of 50 cps. When the viscosity is less than 50 cps, the conductive fine particle dispersed paste obtained does not have a viscosity suitable for screen printing, and a dense printed film may not be formed after firing.
In addition, the said viscosity means the viscosity when a viscosity is measured using a B-type viscometer at normal temperature.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、導電性微粒子を含有する。
上記導電性微粒子としては、アルミニウム粉末、金粉末、銀粉末、銅粉末、ニッケル粉末、プラチナ粉末、パラジウム粉末等の金属粉、アルミナ、酸化亜鉛、フェライト等の金属酸化物粉末等が挙げられる。これらの中では、アルミニウム粉末が好ましい。
The conductive fine particle dispersed paste of the present invention contains conductive fine particles.
Examples of the conductive fine particles include metal powders such as aluminum powder, gold powder, silver powder, copper powder, nickel powder, platinum powder and palladium powder, and metal oxide powders such as alumina, zinc oxide and ferrite. Of these, aluminum powder is preferred.

上記アルミニウム粉末は、平均粒子径が0.5〜20μmであり、かつ、形状が略球状であることが好ましい。上記平均粒子径が0.5μm未満であると、アルミニウム粉末の比表面積が大きくなり、20μmを超えると、導電性微粒子分散ペーストとしたときに、分散安定性が低下することがあり、また、例えば、シリコンウエハに塗布する場合、シリコンウエハとアルミニウム粉末との接点が少なくなり、焼成後に均一なアルミニウム−シリコン合金層が得られないことがある。より好ましくは、1〜10μmである。なお、上記略球状とは、真球形状のほか、球形に近い形状の粒子も包含する。 The aluminum powder preferably has an average particle diameter of 0.5 to 20 μm and a substantially spherical shape. When the average particle size is less than 0.5 μm, the specific surface area of the aluminum powder is increased, and when it exceeds 20 μm, the dispersion stability may be lowered when a conductive fine particle-dispersed paste is obtained. When applied to a silicon wafer, the contact between the silicon wafer and the aluminum powder decreases, and a uniform aluminum-silicon alloy layer may not be obtained after firing. More preferably, it is 1-10 micrometers. The substantially spherical shape includes particles having a shape close to a sphere in addition to a true sphere shape.

また、上記アルミニウム粉末としては、平均粒子径0.5〜5μmのアルミニウム粒子と、平均粒子径5〜20μmのアルミニウム粒子とを任意の割合で組み合わせたものを用いることが好ましい。これにより、焼結後に得られる膜中のアルミニウム粒子の充填がより密なものとなる。 Moreover, as said aluminum powder, it is preferable to use what combined the aluminum particle with an average particle diameter of 0.5-5 micrometers and the aluminum particle with an average particle diameter of 5-20 micrometers in arbitrary ratios. Thereby, the packing of the aluminum particles in the film obtained after sintering becomes denser.

本発明の導電性微粒子分散ペーストにおける上記導電性微粒子の含有量は特に限定されないが、導電性微粒子分散ペースト全体に対する好ましい下限は60重量%、好ましい上限は85重量%である。上記導電性微粒子の含有量が60重量%未満であると、得られる導電性微粒子分散ペーストの粘度が低すぎてスクリーン印刷に適した粘度とすることができなくなったり、焼結後のアルミニウム膜の抵抗が高くなり、太陽電池のエネルギー変換効率の低下を招いたりすることがある。また、上記導電性微粒子の含有量が85重量%を超えると、スクリーン印刷時の導電性微粒子分散ペーストの塗布性が低下することがある。より好ましい下限は65重量%、より好ましい上限は80重量%である。 The content of the conductive fine particles in the conductive fine particle-dispersed paste of the present invention is not particularly limited, but a preferable lower limit with respect to the entire conductive fine particle-dispersed paste is 60% by weight, and a preferable upper limit is 85% by weight. If the content of the conductive fine particles is less than 60% by weight, the resulting conductive fine particle-dispersed paste is too low in viscosity to be suitable for screen printing, or the sintered aluminum film Resistance may increase, leading to a decrease in energy conversion efficiency of the solar cell. On the other hand, when the content of the conductive fine particles exceeds 85% by weight, the applicability of the conductive fine particle-dispersed paste during screen printing may deteriorate. A more preferred lower limit is 65% by weight, and a more preferred upper limit is 80% by weight.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、更に、極性官能基を少なくとも一つ有するアニオン系分散剤を含有することが好ましい。このようなアニオン系分散剤は、上記(メタ)アクリル樹脂と上記有機溶剤との混合物相の微小相分離構造の安定化助剤や、上記アルミニウム粉末と(メタ)アクリル樹脂との分散安定化助剤として働くと考えられる。極性官能基を持たないノニオン系分散剤には、このような安定化効果は期待できない。 The conductive fine particle dispersion paste of the present invention preferably further contains an anionic dispersant having at least one polar functional group. Such an anionic dispersant is a stabilizing aid for the microphase separation structure of the mixture phase of the (meth) acrylic resin and the organic solvent, and a dispersion stabilizing aid for the aluminum powder and the (meth) acrylic resin. It is thought to work as an agent. Such a stabilizing effect cannot be expected from a nonionic dispersant having no polar functional group.

上記アニオン系分散剤としては特に限定されないが、例えば、ポリカルボン酸(脂肪族系多価カルボン酸)又はその塩、ポリアミノアマイドと高分子酸ポリエステルとの塩、リン酸エステル、ポリアミノアマイドリン酸又はその塩等が挙げられ、これらのなかでは、ポリカルボン酸を主成分とする分散剤が特に好ましい。なお、上記アニオン系分散剤は、大量に添加した場合には、得られる導電性微粒子分散ペーストの熱分解性が低下し、脱脂性が損なわれたり、導電性微粒子分散ペーストの基板への密着性が低下したりすることがある。従って、含有量の好ましい上限は導電性微粒子分散ペースト全体に対し5重量%である。 Although it does not specifically limit as said anionic dispersing agent, For example, polycarboxylic acid (aliphatic polyhydric carboxylic acid) or its salt, salt of polyaminoamide and high molecular acid polyester, phosphate ester, polyamino amide phosphoric acid or The salt etc. are mentioned, Among these, the dispersing agent which has polycarboxylic acid as a main component is especially preferable. In addition, when the anionic dispersant is added in a large amount, the thermal decomposability of the obtained conductive fine particle-dispersed paste is lowered, the degreasing property is impaired, or the conductive fine particle-dispersed paste adheres to the substrate. May decrease. Therefore, the upper limit with preferable content is 5 weight% with respect to the whole electroconductive fine particle dispersion paste.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、更に、ガラスフリットを含有することが好ましい。上記ガラスフリットは、例えば、シリコン基板に塗布する場合、アルミニウムの電極層と、シリコン基板との結合をさらに強化する働きをすると考えられる。上記ガラスフリットの含有量は5重量%以下であることが好ましい。上記ガラスフリットの含有量が5重量%を超えると、ガラスの偏析を生じる恐れがある。上記ガラスフリットとしては、環境に悪影響を与えない非鉛のガラスを用いることが最も好ましいが、鉛含有ガラスを用いてもよい。上記ガラスフリットの粒子の平均粒子径は、特に限定されないが、20μm以下であることが好ましい。 The conductive fine particle-dispersed paste of the present invention preferably further contains glass frit. For example, when the glass frit is applied to a silicon substrate, it is considered that the glass frit functions to further strengthen the bond between the aluminum electrode layer and the silicon substrate. The glass frit content is preferably 5% by weight or less. If the content of the glass frit exceeds 5% by weight, the glass may be segregated. The glass frit is most preferably non-lead glass that does not adversely affect the environment, but lead-containing glass may also be used. The average particle size of the glass frit particles is not particularly limited, but is preferably 20 μm or less.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、本発明の効果を阻害しない範囲内において、必要に応じて他の従来公知の添加剤を含有してもよい。 The conductive fine particle-dispersed paste of the present invention may contain other conventionally known additives as necessary within the range not impairing the effects of the present invention.

本発明の導電性微粒子分散ペーストの作製方法としては特に限定されず、例えば、上記(メタ)アクリル樹脂、有機溶剤、導電性微粒子及び必要に応じて添加する添加剤を、3本ロール等の従来公知の撹拌機を用いて所定時間混合する方法等により製造することができる。
上記混合する方法は特に限定されず、例えば、ホモディスパー、万能ミキサー、バンバリーミキサー、ニーダー等を用いて混合する方法が挙げられる。
The method for producing the conductive fine particle-dispersed paste of the present invention is not particularly limited. For example, the (meth) acrylic resin, the organic solvent, the conductive fine particles, and an additive to be added as necessary are conventionally used, such as a three roll. It can manufacture by the method of mixing for a predetermined time using a well-known stirrer.
The method of mixing is not particularly limited, and examples thereof include a method of mixing using a homodisper, a universal mixer, a Banbury mixer, a kneader and the like.

本発明の導電性微粒子分散ペーストは、適度な粘度特性を有することからスクリーン印刷性に優れ、太陽電池の裏面電極の製造に好適に使用することができる。また、膜密度が上がり、焼成後に緻密な膜が形成されることから、得られる電極の電気抵抗を低く抑えることができる。更に、本発明の導電性微粒子分散ペーストを用いることで導電性微粒子分散ペーストを厚く塗布する必要がなく、電極の反りが生じることを防止できる。 Since the conductive fine particle-dispersed paste of the present invention has an appropriate viscosity characteristic, it is excellent in screen printability and can be suitably used for the production of a back electrode of a solar cell. Moreover, since the film density is increased and a dense film is formed after firing, the electric resistance of the obtained electrode can be kept low. Furthermore, by using the conductive fine particle dispersion paste of the present invention, it is not necessary to apply the conductive fine particle dispersion paste thickly, and it is possible to prevent the electrode from warping.

本発明によれば、シリコン半導体基板を薄くした場合でも、電極の機械的強度と密着性を低下させることがなく、焼成後のシリコン半導体基板の変形(反り)を抑制でき、かつ、電気抵抗を下げることが可能な導電性微粒子分散ペーストを提供することができる。 According to the present invention, even when the silicon semiconductor substrate is thinned, the mechanical strength and adhesion of the electrode are not lowered, deformation (warping) of the fired silicon semiconductor substrate can be suppressed, and electrical resistance can be reduced. A conductive fine particle dispersed paste that can be lowered can be provided.

一般的な太陽電池の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a common solar cell typically.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
攪拌機、冷却器、温度計、湯浴、及び、窒素ガス導入口を備えた2Lセパラブルフラスコに、メチルメタクリレート(MMA)25重量部、n−ブチルメタクリレート(BMA)75重量部、連鎖移動剤としてメルカプトコハク酸2重量部、有機溶剤としてテルピネオール100重量部を加えてモノマー混合液を得た。
Example 1
In a 2 L separable flask equipped with a stirrer, cooler, thermometer, hot water bath, and nitrogen gas inlet, 25 parts by weight of methyl methacrylate (MMA), 75 parts by weight of n-butyl methacrylate (BMA), as a chain transfer agent 2 parts by weight of mercaptosuccinic acid and 100 parts by weight of terpineol as an organic solvent were added to obtain a monomer mixture.

得られたモノマー混合液を、窒素ガスを用いて20分間バブリングすることにより溶存酸素を除去した後、セパラブルフラスコ系内を窒素ガスで置換し攪拌しながら湯浴が沸騰するまで昇温した。重合開始剤を酢酸エチルで希釈した溶液を加えた。また重合中に重合開始剤を含む酢酸エチル溶液を数回添加した。重合開始から7時間後、室温まで冷却し重合を終了させた。これにより、末端にカルボキシル基を有するメチルメタクリレートとブチルメタクリレートとの共重合体のテルピネオール溶液を得た。 The obtained monomer mixture was bubbled with nitrogen gas for 20 minutes to remove dissolved oxygen, and then the temperature inside the separable flask system was replaced with nitrogen gas and heated until the hot water bath boiled with stirring. A solution obtained by diluting the polymerization initiator with ethyl acetate was added. During the polymerization, an ethyl acetate solution containing a polymerization initiator was added several times. Seven hours after the start of polymerization, the polymerization was terminated by cooling to room temperature. Thereby, a terpineol solution of a copolymer of methyl methacrylate and butyl methacrylate having a carboxyl group at the terminal was obtained.

得られたメチルメタクリレートとブチルメタクリレートとの共重合体のテルピネオール溶液に対し、表1に記載した組成比になるようにテルピネオールを更に添加し、高速分散機で分散させた。更に、ノニオン系分散剤としてBykP104(ビックケミー社製)、導電性微粒子としてアルミニウム微粒子(平均粒子径5μm)、ガラスフリット(平均粒子径1μm)を表1に記載した組成比になるように添加し、高速撹拌装置を用いて充分混練した後、アルミニウム微粒子が扁平につぶれないように留意しながら3本ロールミルにて処理を行い、導電性微粒子分散ペーストを調製した。 To the terpineol solution of the copolymer of methyl methacrylate and butyl methacrylate obtained, terpineol was further added so as to have the composition ratio shown in Table 1, and dispersed with a high-speed disperser. Furthermore, BykP104 (manufactured by Big Chemie) as a nonionic dispersant, aluminum fine particles (average particle size of 5 μm) and glass frit (average particle size of 1 μm) as conductive fine particles were added so as to have a composition ratio described in Table 1, After sufficiently kneading using a high-speed stirrer, treatment with a three-roll mill was performed while paying attention not to flatten the aluminum fine particles, thereby preparing a conductive fine particle-dispersed paste.

(実施例2〜13、比較例1〜11)
表1に記載された組成比となるように各原料を調整したこと以外は、実施例1と同様にして導電性微粒子分散ペーストを作製した。なお、界面活性剤としては、BykP104のほか、ディスパロン2150(楠本化成社製)を用いた。
(Examples 2 to 13, Comparative Examples 1 to 11)
A conductive fine particle-dispersed paste was prepared in the same manner as in Example 1 except that each raw material was adjusted so that the composition ratio described in Table 1 was obtained. As the surfactant, Disparon 2150 (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.) was used in addition to BykP104.

(実施例14)
攪拌機、冷却器、温度計、湯浴及び、窒素ガス導入口を備えた2Lセパラプルフラスコに、メチルメタクリレート(MMA)30重量部、ブチルメタクリレート(BMA)40重量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)30重量部、有機溶剤としてテルピネオール100重量部を混合し、モノマー混合液を得た。
(Example 14)
In a 2 L separate flask equipped with a stirrer, cooler, thermometer, hot water bath and nitrogen gas inlet, 30 parts by weight of methyl methacrylate (MMA), 40 parts by weight of butyl methacrylate (BMA), 2-hydroxyethyl methacrylate (HEMA) ) 30 parts by weight and 100 parts by weight of terpineol as an organic solvent were mixed to obtain a monomer mixture.

得られたモノマー混合液を、窒素ガスを用いて20分間バブリングすることにより溶存酸素を除去した後、セパラブルフラスコ系内を窒素ガスで置換し攪拌しながら油槽が130℃に達するまで昇温した。重合開始剤として4,4’−アゾビス(4−シアノ吉草酸)をテルピネオールで希釈した溶液を加えた。また、重合中に重合開始剤を含むテルピネオール溶液を数回添加し、合計でモノマー100重量部に対して3重量部の重合開始剤を添加した。 The obtained monomer mixture was bubbled with nitrogen gas for 20 minutes to remove dissolved oxygen, and then the temperature inside the separable flask system was replaced with nitrogen gas and heated up until the oil bath reached 130 ° C. while stirring. . As a polymerization initiator, a solution obtained by diluting 4,4'-azobis (4-cyanovaleric acid) with terpineol was added. Further, a terpineol solution containing a polymerization initiator was added several times during the polymerization, and 3 parts by weight of the polymerization initiator was added to 100 parts by weight of the monomer in total.

重合開始から7時間後、室温まで冷却し重合を終了させた。これにより、分子末端にシアノ基とカルボニル基を有する(メタ)アクリル樹脂のテルピネオール溶液を得た。得られた重合体について、カラムとしてカラムLF−804(SHOKO社製)を用い、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる分析を行ったところ、ポリスチレン換算による重量平均分子量は表1のとおりであった。
得られた末端極性基にて修飾したメタアクリルバインダーのテルピネオール溶液に対し、表1に記載した組成比になるようにテルピネオールを更に添加し、高速分散機で分散させた。更に、ノニオン系分散剤としてディスパロン2150(楠本化成社製)、導電性微粒子としてアルミニウム微粒子(平均粒子径5μm)、ガラスフリット(平均粒子径1μm)を表1に記載した組成比になるように添加し、高速撹拌装置を用いて充分混練した後、アルミニウム微粒子が扁平につぶれないように留意しながら3本ロールミルにて処理を行い、導電性微粒子分散ペーストを調製した。
Seven hours after the start of polymerization, the polymerization was terminated by cooling to room temperature. As a result, a terpineol solution of a (meth) acrylic resin having a cyano group and a carbonyl group at the molecular end was obtained. The obtained polymer was analyzed by gel permeation chromatography using column LF-804 (manufactured by SHOKO) as a column, and the weight average molecular weight in terms of polystyrene was as shown in Table 1.
To the terpineol solution of the methacryl binder modified with the terminal polar group, terpineol was further added so as to have the composition ratio shown in Table 1, and dispersed with a high-speed disperser. Furthermore, Disparon 2150 (manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd.) as a nonionic dispersant, aluminum fine particles (average particle size of 5 μm), and glass frit (average particle size of 1 μm) as conductive fine particles are added so as to have the composition ratio shown in Table 1. Then, after sufficiently kneading using a high-speed stirrer, treatment was performed with a three-roll mill while paying attention not to flatten the aluminum fine particles, thereby preparing a conductive fine particle dispersed paste.

(実施例15)
溶剤として2エチル−1,3−ヘキサンジオールを用い、界面活性剤にBykP104(ビックケミー社製)を用いた以外は実施例14と同様の方法で導電性微粒子分散ペーストを調製した。
(Example 15)
A conductive fine particle dispersion paste was prepared in the same manner as in Example 14 except that 2-ethyl-1,3-hexanediol was used as a solvent and BykP104 (manufactured by Big Chemie) was used as a surfactant.

(評価)
実施例及び比較例で得られた(メタ)アクリル樹脂及び導電性微粒子分散ペーストについて、以下の方法により評価を行った。結果を表1及び表2に示した。
(Evaluation)
The (meth) acrylic resin and conductive fine particle dispersed paste obtained in the examples and comparative examples were evaluated by the following methods. The results are shown in Tables 1 and 2.

(1)(メタ)アクリル樹脂の重量平均分子量の測定
カラムとしてSHOKO社製カラムLF−804を用い、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる分析を行った。なお、重量平均分子量は、ポリスチレン換算により算出した。
(1) As a measurement column for the weight average molecular weight of the (meth) acrylic resin, a column LF-804 manufactured by SHOKO was used, and analysis by gel permeation chromatography was performed. The weight average molecular weight was calculated in terms of polystyrene.

(2)(メタ)アクリル樹脂の熱分解挙動の評価
熱重量測定装置(商品名:simultaneousSDT2960、TAインスツルメンツ社製)を用い、エアーフローのもと昇温速度200℃/minで23℃から800℃まで加熱を行い、樹脂の熱分解挙動を測定した。その結果、2分以内に樹脂が分解したものを○、2分以上要したもの、又は、樹脂が完全に分解せず焼結残渣が残ったものを×と判定した。
(2) Evaluation of thermal decomposition behavior of (meth) acrylic resin Thermogravimetric measuring device (trade name: simulated SDT 2960, manufactured by TA Instruments Co., Ltd.) was used and the temperature was increased from 23 ° C. to 800 ° C. at a temperature rising rate of 200 ° C./min. And the thermal decomposition behavior of the resin was measured. As a result, what decomposed | disassembled resin within 2 minutes was evaluated as (circle), what took 2 minutes or more, or the thing which the resin did not decompose | disassemble but remained and a sintering residue remained.

(3)スクリーン印刷性
得られた導電性微粒子分散ペーストを、スクリーン印刷機(マイクロテック社製「MT−320TV」)、スクリーン製版(東京プロセスサービス社製「ST200」乳剤12μ、スクリーン枠:320mm×320mm)、印刷ガラス基板(ソーダーガラス:150mm×150mm、厚み:1.5mm)を用いて、温度23℃、湿度50%の環境下にて印刷を行った。
ガラス基板上にスクリーン製版の跡が残らず、きれいな印刷面が得られたものを○、ガラス基板がスクリーン製版に張り付き、きれいな印刷面が得られなかったり、スクリーン製版の上に導電性微粒子分散ペーストが大量に残り、印刷できなかったりしたものを×とした。
評価の結果、実施例及びエチルセルロースを用いた比較例10、11に関しては、良好に印刷することができたが、比較例1〜9に関しては印刷することができなかった。
(3) Screen printing property The obtained conductive fine particle dispersed paste was applied to a screen printing machine ("MT-320TV" manufactured by Microtech), screen plate making ("ST200" emulsion 12 [mu] manufactured by Tokyo Process Service Co., Ltd.), screen frame: 320 mm x 320 mm) and a printed glass substrate (soda glass: 150 mm × 150 mm, thickness: 1.5 mm), printing was performed in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50%.
○ If the screen printing plate does not leave a trace on the glass substrate and a clean printing surface is obtained, the glass substrate sticks to the screen plate making and a clean printing surface cannot be obtained, or conductive fine particle dispersed paste on the screen plate making Was left in large quantities and could not be printed.
As a result of the evaluation, although Examples and Comparative Examples 10 and 11 using ethylcellulose could be printed satisfactorily, Comparative Examples 1 to 9 could not be printed.

(4)乾燥膜強度
「(3)スクリーン印刷性」と同様の印刷条件でスクリーン印刷にてシリコンウエハ(厚み:300μm)に導電性微粒子分散ペーストを印刷した基板を150℃で10分乾燥後に、膜強度を鉛筆硬度計(安田精機製作所製、型式553−M)を用いて評価した。
評価の結果、実施例に関してはすべての乾燥膜でHBの硬度が確認されたが、エチルセルロースを用いた比較例9、10に関しては6B程度の強度しか得られなかった。乾燥膜強度が低いと、印刷面がワイヤーに直接触れるワイヤー炉ではワイヤー跡が残り不具合になる可能性がある。
(4) Dry film strength After the substrate on which the conductive fine particle dispersed paste was printed on the silicon wafer (thickness: 300 μm) by screen printing under the same printing conditions as “(3) Screen printability” was dried at 150 ° C. for 10 minutes, The film strength was evaluated using a pencil hardness meter (manufactured by Yasuda Seiki Seisakusho, Model 553-M).
As a result of the evaluation, the hardness of HB was confirmed in all dry films for the examples, but only a strength of about 6B was obtained for Comparative Examples 9 and 10 using ethyl cellulose. If the dry film strength is low, the wire mark may remain in the wire furnace where the printed surface directly touches the wire, which may cause a problem.

(5)焼結性
「(4)乾燥膜強度」で作成した基板を、730〜750℃のオーブンで2分保持することにより焼成した。シリコンウエハ又は導電性微粒子分散ペーストにゆがみ、反り、ひび割れなどが生じたり、焼結膜の強度が弱く剥がれ落ちたりした場合を×、問題なく焼成できた場合を○とした。
評価の結果、実施例においては問題なく処決することができた。
(5) The board | substrate created by sinterability "(4) dry film intensity | strength" was baked by hold | maintaining for 2 minutes in oven of 730-750 degreeC. The case where the silicon wafer or the conductive fine particle dispersed paste was distorted, warped or cracked, or the strength of the sintered film was weak and peeled off was evaluated as x.
As a result of the evaluation, the examples could be resolved without problems.

(6)表面粗さ(Ry)
「(5)焼結性」で作成した焼結膜の表面粗さを触針計(KLA社製触針計利用 Scan Length:15mm、Scan Speed:0.2mm/s、Sampling Rate:100Hz)を用い最大高さRyを測定した。
評価の結果、実施例ではエチルセルロースを使用した比較例に比べ、表面の凹凸が少ないことが確認された。すなわち、本発明の実施例ではペースト中のアルミニウム粉末の分散性がエチルセルロースを用いたペーストに比べて良好であることが分かった。この分散性の差が印刷後の形状に影響を与えているものと考えられる。
(6) Surface roughness (Ry)
The surface roughness of the sintered film prepared in “(5) Sinterability” was measured using a stylus meter (using a stylus meter manufactured by KLA, Scan Length: 15 mm, Scan Speed: 0.2 mm / s, Sampling Rate: 100 Hz). The maximum height Ry was measured.
As a result of the evaluation, it was confirmed that the examples had less surface irregularities than the comparative example using ethyl cellulose. That is, in the Example of this invention, it turned out that the dispersibility of the aluminum powder in a paste is favorable compared with the paste using ethyl cellulose. This difference in dispersibility is considered to affect the shape after printing.

(7)電気抵抗値
焼成後のシリコンウエハ上に形成された焼結膜に、デジタルテスタ(カスタム社製、CDM−6000)の左右の端子を約1cm離して当て、電気抵抗値を測定した。
評価の結果、実施例では、エチルセルロースを用いた比較例に比べ低い抵抗値が確認された。焼結後の残留物が少ないことが電気特性への影響を与えていると考えられる。
(7) Electrical resistance value The left and right terminals of a digital tester (custom, CDM-6000) were applied to the sintered film formed on the silicon wafer after firing, and the electrical resistance value was measured.
As a result of the evaluation, in the examples, a low resistance value was confirmed as compared with the comparative example using ethyl cellulose. A small amount of residue after sintering is considered to have an effect on electrical characteristics.

(8)ウエハ−Al界面表面抵抗値
「(5)焼結性」で作成したシリコンウエハ上に焼結されたアルミニウム膜を、塩酸で処理することで剥離させ、金属光沢のあるウエハ−Al界面を取り出した。現れた界面の表面抵抗値をロレスタ−GP(三菱化学社製)を用いて測定した。ウエハ−Al界面の表面抵抗値はBSF効果と相関があり、小さいほど良いとされる。特に11Ω/□以下であることが好ましい。
評価の結果、本発明の実施例は問題なくBSF層を形成していることが伺える。
(8) Wafer-Al interface surface resistance value The aluminum film sintered on the silicon wafer prepared in “(5) Sinterability” is peeled off by treating with hydrochloric acid, and the wafer has a metallic luster-Al interface. Was taken out. The surface resistance value of the appeared interface was measured using Loresta GP (Mitsubishi Chemical Corporation). The surface resistance value of the wafer-Al interface correlates with the BSF effect, and the smaller the value, the better. In particular, it is preferably 11Ω / □ or less.
As a result of the evaluation, it can be seen that the example of the present invention forms the BSF layer without any problem.

Figure 2010257932
Figure 2010257932

Figure 2010257932
Figure 2010257932

本発明によれば、太陽電池の裏面電極形成に好適に用いることのできる導電性微粒子分散ペーストを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the electroconductive fine particle dispersion | distribution paste which can be used suitably for the back surface electrode formation of a solar cell can be provided.

1 p型シリコン半導体基板
2 n型不純物層
3 反射防止膜
4 グリッド電極
5 裏面電極層
6 Al−Si合金層
7 p
1 p-type silicon semiconductor substrate 2 n-type impurity layer 3 antireflection film 4 grid electrode 5 back electrode layer 6 Al—Si alloy layer 7 p + layer

Claims (6)

太陽電池の裏面電極を形成するために用いられる導電性微粒子分散ペーストであって、
(メタ)アクリル樹脂、有機溶剤及び導電性微粒子を含有し、
(メタ)アクリル樹脂は、分子末端に極性官能基を有し、かつ、重量平均分子量が10000〜40000であり、かつ、
有機溶剤は、分子中に水酸基を少なくとも一つ有するテルペン系溶剤、又は、(炭素数/水酸基数)が5未満のポリオール溶剤である
ことを特徴とする導電性微粒子分散ペースト。
A conductive fine particle dispersion paste used to form a back electrode of a solar cell,
Containing (meth) acrylic resin, organic solvent and conductive fine particles,
The (meth) acrylic resin has a polar functional group at the molecular end, has a weight average molecular weight of 10,000 to 40,000, and
The conductive fine particle dispersion paste, wherein the organic solvent is a terpene solvent having at least one hydroxyl group in the molecule, or a polyol solvent having (carbon number / hydroxyl number) of less than 5.
有機溶剤は、常温における粘度が50cps以上であることを特徴とする請求項1記載の導電性微粒子分散ペースト。 The conductive fine particle-dispersed paste according to claim 1, wherein the organic solvent has a viscosity at room temperature of 50 cps or more. 導電性微粒子は、平均粒子径が0.5〜20μmであり、かつ、形状が略球状のアルミニウム粉末であることを特徴とする請求項1又は2記載の導電性微粒子分散ペースト。 The conductive fine particle-dispersed paste according to claim 1 or 2, wherein the conductive fine particles are aluminum powder having an average particle diameter of 0.5 to 20 µm and a substantially spherical shape. アルミニウム粉末の含有量が60〜85重量%であることを特徴とする請求項3記載の導電性微粒子分散ペースト。 4. The conductive fine particle dispersed paste according to claim 3, wherein the content of the aluminum powder is 60 to 85% by weight. 更に、極性官能基を少なくとも一つ有するアニオン系分散剤を含有することを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の導電性微粒子分散ペースト。 5. The conductive fine particle dispersion paste according to claim 1, further comprising an anionic dispersant having at least one polar functional group. 更に、ガラスフリットを含有することを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載の導電性微粒子分散ペースト。 Furthermore, glass frit is contained, The electroconductive fine particle dispersion paste of Claim 1, 2, 3, 4 or 5 characterized by the above-mentioned.
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