JP2010256721A - Device and method for manufacturing panel for information display - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、少なくとも一方が透明な2枚の基板間の隔壁によって仕切られた複数のセル内に封止した、粒子群として構成した表示媒体を移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた情報表示用パネルに対応する表示領域に、表示領域に対応した大きさの開口部を有するマスクを介して、表示媒体とする粒子群を配置するために用いる情報表示用パネルの製造装置および製造方法に関するものである。 The present invention provides an information display for displaying information such as an image by moving a display medium configured as a particle group sealed in a plurality of cells partitioned by a partition wall between two substrates, at least one of which is transparent. A particle group serving as a display medium is arranged in a display area corresponding to an information display panel provided on a mother substrate for manufacturing a display panel through a mask having an opening having a size corresponding to the display area. The present invention relates to an information display panel manufacturing apparatus and a manufacturing method used for the purpose.
液晶表示装置(LCD)に代わる情報表示装置として、少なくとも一方が透明な2枚の基板間に隔壁によって仕切られた複数のセルを形成し、該セル内に光学的反射率を有する粒子を含んだ粒子群を表示媒体として封入し、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する情報表示用パネルが知られている。また、表示媒体とする粒子群を構成する粒子としては、帯電粒子、導電粒子、電荷注入粒子などが提案されている。これらのうち、帯電粒子を移動させる方式で表示を行う情報表示用パネルは表示メモリー性を有することから、電子ペーパーとしての期待が高まっている。 As an information display device that replaces a liquid crystal display device (LCD), a plurality of cells partitioned by a partition wall are formed between at least one transparent substrate, and particles having optical reflectivity are included in the cells. An information display panel that encloses a particle group as a display medium and displays information such as an image by moving the display medium is known. In addition, charged particles, conductive particles, charge injection particles, and the like have been proposed as the particles constituting the particle group serving as the display medium. Among these, an information display panel that performs display by a method of moving charged particles has a display memory property, and thus is expected as electronic paper.
上述した情報表示用パネルを製造する方法として、マスクを使用する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この方法では、情報表示用パネルを構成する基板上において、表示媒体を構成する粒子群の配置不要部分(隔壁が形成されている場合は隔壁形成部以外の部分)に導電性のマスクを、ダミースペーサーを間に介して配置し、基板およびマスクの上方に配置したノズルから表示媒体とする粒子群を噴霧することにより、所定量の粒子群を基板(隔壁が形成されている場合は隔壁で仕切られたセル内)に配置している。 As a method for manufacturing the above-described information display panel, a method using a mask has been proposed (for example, see Patent Document 1). In this method, on the substrate constituting the information display panel, a conductive mask is provided as a dummy on a portion of the particle group constituting the display medium that is not required to be disposed (a portion other than the partition forming portion when the partition is formed). By disposing a group of particles as a display medium from a nozzle disposed above the substrate and the mask with a spacer in between, a predetermined amount of the particle group is separated from the substrate (if a partition is formed, the partition is partitioned by the partition Placed in the cell).
図9(a)〜(c)はそれぞれ上述したマスクを使用して情報表示用パネルを製造する従来方法の一例を説明するための図である。図9(a)〜(c)に従って従来の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明する。まず、図9(a)に示すように、槽51内において、マスク52を目視でその置き位置を合わせ、ボルト53で固定架台54に固定する。次に、図9(b)に示すように、マザー基板55を、槽51内のステージ56上に搬入してアライメントをとって載置する。次に、図9(c)に示すように、ステージ56を上昇させて、マスク52とマザー基板55とを位置決めして接触させる。この状態で、槽51内において粒子を上方から落下させて、マスク52の開口部を介してマザー基板55上の情報表示用パネルの表示領域に粒子群を配置している。
FIGS. 9A to 9C are views for explaining an example of a conventional method for manufacturing an information display panel using the above-described mask. An example of a conventional method for manufacturing an information display panel will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 9A, in the
図9(a)〜(c)に示す例では、マスク位置合わせにおいて、まず、槽51内の架台に対してマスク52の位置を目視にて合わせた後、ボルト53等で固定する。ボルト等で固定する際にマスク52の位置ずれが発生しやすく、作業にも時間がかかっていた。また、マスク52に対してマザー基板のアライメントをとる場合において、上方から噴霧された粒子群が落下してくる槽51内にアライメント用の光学機器を設置することは困難であり、そのためマザー基板を槽51内に搬入してステージ上の所定位置に載置することでアライメントをとっていたが、精度のよいアライメントとはなっていなかった。
In the example shown in FIGS. 9A to 9C, in the mask alignment, first, the position of the
本発明の目的は上述した問題点を解消して、マスク及びマザー基板のアライメントを容易かつ確実に行うことができ、目視によるアライメント、固定作業が不要となり、生産性を向上させることができる情報表示用パネルの製造装置および製造方法を提供しようとするものである。 The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and can easily and reliably align the mask and the mother substrate, eliminate the need for visual alignment and fixing work, and improve the productivity. A panel manufacturing apparatus and a manufacturing method are provided.
本発明の情報表示用パネルの製造装置は、少なくとも一方が透明な2枚の基板間に封止した、粒子群として構成した表示媒体を移動させて、画像等の情報を表示する情報表示用パネルを作製するためのマザー基板に設けられた情報表示用パネルの表示領域に、前記表示領域に対応した大きさの開口部を有するマスクを介して、表示媒体とする粒子群を配置するために用いる情報表示用パネルの製造装置であって、マザー基板およびマスクを、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージと、ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マザー基板をステージに対し位置決めするための少なくとも2つのマザー基板アライメントピンと、ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マスクに形成したマスクアライメント孔にテーパー形状の先端部を挿入して、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とを位置決めするための少なくとも2つのマスクアライメントピンと、ステージの外周部であってマスクの外周部に対応する位置において、マザー基板の厚さと同じ厚さの枠部に設けられた、マスクを吸着解除可能なマスク吸着部と、ステージのマザー基板に対応する位置に設けられた、マザー基板を吸着解除可能なマザー基板吸着部と、を備えることを特徴とするものである。 An apparatus for manufacturing an information display panel according to the present invention is an information display panel for displaying information such as an image by moving a display medium configured as a particle group sealed between two substrates, at least one of which is transparent. Used to dispose a group of particles as a display medium in a display area of an information display panel provided on a mother substrate for manufacturing a display medium through a mask having an opening having a size corresponding to the display area. An apparatus for manufacturing an information display panel, comprising: a stage for mounting a mother substrate and a mask in a state where the display area of the information display panel and the opening of the mask are aligned with each other; At least two for positioning the mother substrate with respect to the stage, the tip of the tapered shape being vertically driven with respect to the surface on which the mother substrate and the mask are placed Insert the tapered tip into the mask alignment hole formed in the mask so that the tip of the tapered shape is driven up and down with respect to the mother substrate alignment pin and the surface on which the mother substrate and mask of the stage are placed. And at least two mask alignment pins for positioning the display area of the information display panel and the opening of the mask, and the thickness of the mother substrate at a position corresponding to the outer periphery of the stage and the outer periphery of the stage. A mask suction part capable of releasing the suction of the mask provided on the frame portion having the same thickness, and a mother substrate suction part provided at a position corresponding to the mother substrate of the stage, capable of releasing the suction of the mother board. It is characterized by this.
本発明の情報表示用パネルの好適例としては、マスクのマスクアライメント孔のマスクアライメントピンが進入する側に、マスクアライメントピンの進入をスムーズにするためのガイドを設けたこと、マスク表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメントピンを設けること、がある。 As a preferred example of the information display panel of the present invention, a guide for smooth entry of the mask alignment pin is provided on the side of the mask alignment hole of the mask where the mask alignment pin enters, and the mask is deposited on the mask surface. When a cleaning mechanism for removing particles is used, a mask alignment pin may be provided in an area that does not interfere with the cleaning mechanism.
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、上述した構成の情報表示用パネルの製造装置を使用して、マザー基板上の情報表示用パネルの表示領域に表示媒体とする粒子群を配置する情報表示用パネルの製造方法において、マザー基板アライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、ステージより突出した状態のマザー基板アライメントピンのテーパー形状の先端部間に、マザー基板を搬入する工程と、マザー基板アライメントピンを下降させることで、マザー基板をステージ上に位置決めし、マザー基板吸着部により、マザー基板をステージ上に吸着固定する工程と、マスクアライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、マスクのマスクアライメント孔にマスクアライメントピンが挿入することで、マスクをマスクアライメントピンに装着する工程と、マスクアライメントピンを下降させることで、マスクをマザー基板上に位置決めし、マスクの吸着部により、マスクをステージの枠部に吸着固定するとともに、マザー基板と接触させる工程と、表示媒体とする粒子群をマザー基板上の情報表示用パネルの表示領域に配置する工程と、を備えることを特徴とするものである。 The information display panel manufacturing method of the present invention uses the information display panel manufacturing apparatus having the above-described configuration, and arranges the particle group as the display medium in the display area of the information display panel on the mother substrate. In the display panel manufacturing method, the mother substrate is carried in between the step of raising the mother substrate alignment pin to protrude from the stage to a predetermined height and the tapered tip of the mother substrate alignment pin protruding from the stage. Positioning the mother substrate on the stage by lowering the mother substrate alignment pin, sucking and fixing the mother substrate on the stage by the mother substrate suction portion, and the mask alignment pin from the stage at a predetermined height. And a mask alignment in the mask alignment hole of the mask The process of attaching the mask to the mask alignment pins by inserting the pins, and the mask alignment pins are lowered to position the mask on the mother substrate, and the mask is attracted to the frame of the stage by the suction part of the mask. The step of fixing and bringing into contact with the mother substrate and the step of disposing a group of particles as a display medium in a display area of the information display panel on the mother substrate are provided.
本発明情報表示用パネルの製造装置及び製造方法によれば、マザー基板アライメントピン及びマスクアライメントピンを用いてマザー基板及びマスクのアライメントを行うことで、マスク及びマスター基板のアライメントが容易かつ確実に行える。また、目視によるマスクアライメント、固定作業が不要になり、生産性が向上する。 According to the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the information display panel of the present invention, the alignment of the mother substrate and the mask is performed using the mother substrate alignment pin and the mask alignment pin, so that the mask and the master substrate can be easily and reliably aligned. . Further, visual mask alignment and fixing work are not required, and productivity is improved.
まず、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの一例として、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルについて説明する。本発明の製造装置および製造方法によって作製する前記情報表示用パネルでは、対向する2枚の基板間の空間に封入した光学的反射率を有する帯電性粒子を含んだ粒子群として構成された表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。 First, as an example of an information display panel manufactured by the manufacturing apparatus and manufacturing method of the present invention, an information display panel using a particle group containing chargeable particles as a display medium will be described. In the information display panel manufactured by the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the present invention, a display medium configured as a particle group including charged particles having optical reflectivity sealed in a space between two opposing substrates. An electric field is applied. Along with the applied electric field direction, the display medium is attracted by an electric field force or a Coulomb force, and the display medium is moved by a change in the electric field direction, whereby information such as an image is displayed. Therefore, it is necessary to design the information display panel so that the display medium can move uniformly and maintain the stability when the display information is rewritten or when the display information is continuously displayed. Here, as the force applied to the particles constituting the display medium, in addition to the force attracting each other by the Coulomb force between the particles, an electric mirror image force between the electrode and the substrate, an intermolecular force, a liquid cross-linking force, gravity and the like can be considered.
本発明の製造装置および製造方法によって作製する前記帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルの例を、図1(a)、(b)〜図4(a)、(b)および図5(a)〜(d)に基づき説明する。 Examples of the information display panel using the particle group containing the chargeable particles produced by the production apparatus and production method of the present invention as a display medium are shown in FIGS. 1 (a), 1 (b) to 4 (a), ( This will be described with reference to b) and FIGS.
図1(a)、(b)に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも2種類の表示媒体(ここでは負帯電性白色粒子3Waを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体3Wと正帯電性黒色粒子3Baを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体3Bを示す)を、隔壁4で形成された各セルにおいて、基板1にマトリックス状に設けた電極5(TFT(薄膜トランジスタ)付き画素電極)と基板2に設けた電極6(共通電極)との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板1、2と垂直に移動させる。そして、図1(a)に示すように白色表示媒体3Wを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図1(b)に示すように黒色表示媒体3Bを観察者に視認させて黒色の表示をアクティブ駆動方式でドットマトリックス表示している。なお、図1(a)、(b)において、手前にある隔壁は省略している。
In the example shown in FIGS. 1A and 1B, at least two types of display media (in this case, including negatively charged white particles 3Wa) configured as a particle group including particles having at least optical reflectance and chargeability are included. A
図2(a)、(b)に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも2種類の表示媒体(ここでは負帯電性白色粒子3Waを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体3Wと正帯電性黒色粒子3Baを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体3Bを示す)を、隔壁4で形成された各セルにおいて、基板1に設けた電極5(ライン電極)と基板2に設けた電極6(ライン電極)とが対向直交交差して形成するマトリックス配置された画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板1、2と垂直に移動させる。そして、図2(a)に示すように白色表示媒体3Wを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図2(b)に示すように黒色表示媒体3Bを観察者に視認させて黒色の表示をパッシブ駆動方式でドットマトリックス表示している。なお、図2(a)、(b)において、手前にある隔壁は省略している。
In the example shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), at least two types of display media (here, including negatively charged white particles 3Wa) configured as a particle group including particles having at least optical reflectance and chargeability are included. The electrode provided on the
図3(a)、(b)に示す例では、3個のセル(ピクセル)で表示単位(1ドット)を構成するカラー表示の例を示している。図3(a)、(b)に示す例では、表示媒体としてはセル21−1〜21−3の全てに白色表示媒体3Wと黒色表示媒体3Bとを配置し、第1のセル21−1の観察者側に赤色カラーフィルター22Rを設け、第2のセル21−2の観察者側に緑色カラーフィルター22Gを設け、第3のセル21−3の観察者側に青色カラーフィルター22Bを設け、第1のセル21−1、第2のセル21−2および第3のセル21−3の3個のセル(ピクセル)で表示単位(1ドット)を構成している。本例では、カラー表示を行う際に、図3(a)に示すように、観察者側に、第1セル21−1〜第3のセル21−3の全てにおいて白色表示媒体3Wを移動すると、観察者に対し白色ドット表示を行うことができ、図3(b)に示すように、観察者側に、第1セル21−1〜第3のセル21−3の全てにおいて黒色表示媒体3Bを移動すると、観察者に対し黒色ドット表示を行うことができる。ピクセルごとに配置した表示媒体の移動のさせ方で、多色カラー表示を行うことができる。なお、図3(a)、(b)において、手前にある隔壁は省略している。
In the example shown in FIGS. 3A and 3B, an example of color display in which a display unit (one dot) is configured by three cells (pixels) is shown. In the example shown in FIGS. 3A and 3B, as the display medium, the white display medium 3W and the black display medium 3B are arranged in all of the cells 21-1 to 21-3, and the first cell 21-1. A
図4(a)、(b)に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した1種類の表示媒体(ここでは負帯電性白色粒子3Waを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体3Wを示す)を、隔壁4で形成された各セルにおいて、基板1に設けた電極5と少なくとも表面が黒色の電極6との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板1、2と平行方向に移動させる。そして、図4(a)に示すように、白色表示媒体3Wを観察者に視認させて白色表示(ドット表示)を行うか、あるいは、図4(b)に示すように、黒色電極6の色を観察者に視認させて黒色表示(ドット表示)を行っている。なお、図4(a)、(b)に示す例では、手前にある隔壁は省略している。
In the example shown in FIGS. 4A and 4B, one type of display medium (here, negatively charged white particles 3Wa are included) configured as a particle group including particles having at least optical reflectance and charging properties. The white display medium 3W configured as a particle group is generated by applying a voltage between the
図5(a)〜(d)に示す例では、まず、図5(a)、(c)に示すように、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した、光学的反射率および帯電特性の異なる少なくとも2種類の表示媒体(ここでは負帯電性白色粒子3Waを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体3Wと正帯電性黒色粒子3Baを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体3Bを示す)を、隔壁4で形成された各セルにおいて、基板1の外側に設けた外部電界形成手段7と基板2の外側に設けた外部電界形成手段8との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板1、2と垂直に移動させる。そして、図5(b)に示すように白色表示媒体3Wを観察者に視認させて白色の表示を行うか、あるいは、図5(d)に示すように黒色表示媒体3Bを観察者に視認させて黒色の表示を行っている。なお、図5(a)〜(d)において、手前にある隔壁は省略している。また、基板1の内側には導電部材9を設けるとともに、基板2の内側には導電部材10を設けている。これら導電部材は設けなくてもよい。
In the example shown in FIGS. 5 (a) to 5 (d), first, as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (c), a particle group including particles having at least an optical reflectance and chargeability was configured. At least two types of display media having different optical reflectivities and charging characteristics (here, a white display medium 3W configured as a particle group including negatively charged white particles 3Wa and a particle group including positively charged black particles 3Ba) The black display medium 3 </ b> B) is applied between the external electric field forming means 7 provided outside the
図6(a)、(b)はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造装置の一例を説明するために側面および上面から見た図である。図6(a)、(b)に示す例において、本発明の情報表示用パネルの製造装置は、槽31内に、マザー基板32およびマスク33を、マザー基板32上の情報表示用パネルの表示領域34とマスク33の開口部35とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージ36と、ステージ36のマザー基板32およびマスク33を載置する面に対し、テーパー形状の先端部37が上下駆動するように設けられた、マザー基板32をステージ36に対し位置決めするための少なくとも2つのマザー基板アライメントピン38と、ステージ36のマザー基板32およびマスク33を載置する面に対し、テーパー形状の先端部39が上下駆動するように設けられた、マスク33に形成したマスクアライメント孔40にテーパー形状の先端部39を挿入して、マザー基板32上の情報表示用パネルの表示領域34とマスク33の開口部35とを位置決めするための少なくとも2つのマスクアライメントピン41と、ステージ36の外周部であってマスク33の外周部に対応する位置において、マザー基板32の厚さと同じ厚さの枠部42に設けられた、マスク33を吸着解除可能なマスク吸着部43と、ステージ36のマザー基板32に対応する位置に設けられた、マザー基板32を吸着解除可能なマザー基板吸着部44と、を備えて形成されている。なお、図面をわかりやすくするために、図6(b)に示す例では、図6(a)に示す例のうち、マザー基板32、マスク33、ステージ36、マスク吸着部43、マザー基板吸着部44のみを示している。
FIGS. 6 (a) and 6 (b) are views seen from the side and the upper surface, respectively, for explaining an example of the information display panel manufacturing apparatus of the present invention. In the example shown in FIGS. 6A and 6B, the information display panel manufacturing apparatus of the present invention displays the
本発明の情報表示用パネルの製造装置では、図6(a)、(b)に示す例に加えて、マスク33のマスクアライメント孔40のマスクアライメントピン41が進入する側に、マスクアライメントピンの進入をスムーズにするためのガイドを設けることもできる。また、マスク33の表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメントピンを設けることもできる。さらに、マスク33を吸着解除可能なマスク吸着部43、および、マザー基板32を吸着解除可能なマザー基板吸着部44、としては、吸着解除の動作を好適に行うことができる点で、真空吸着機構を用いることが好ましい。
In the information display panel manufacturing apparatus according to the present invention, in addition to the example shown in FIGS. 6A and 6B, the
図7(a)〜(d)はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図7(a)〜(d)に示す例において、図6(a)、(b)に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図7(a)〜(d)に示す例では、図6(a)、(b)に示す例に加えて、ステージ26に対し上下駆動が可能なマザー基板昇降部45を設け、外部から槽31内に搬入されるマザー基板32をマザー基板昇降部45に配置させている。また、マスクアライメント孔40の周囲のステージ36に面する側において、マスクアライメントピン41の進入をスムーズにするために、ガイド46を設けている。
FIGS. 7A to 7D are diagrams for explaining an example of the method for manufacturing the information display panel of the present invention. In the example shown in FIGS. 7A to 7D, the same members as those in the examples shown in FIGS. 6A and 6B are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. In the example shown in FIGS. 7A to 7D, in addition to the examples shown in FIGS. 6A and 6B, a mother
図7(a)〜(d)に示す例に従って、本発明の情報表示用パネルの製造方法におけるマザー基板32及びマスク33のステージ36上へのセットについて、以下説明する。
The setting of the
まず、図7(a)に示すように、ステージ36に対して、マザー基板アライメントピン38およびマザー基板昇降部45を、ステージ36より所定の高さまで突出した状態にセットする。その状態で、槽31外でアライメントしたマザー基板32を、マザー基板昇降部45上に配置する。次に、図7(b)に示すように、マザー基板昇降部45を下降させて、ステージ36より突出した状態の2つのマザー基板アライメントピン38のテーパー形状の先端部37内に、マザー基板32を搬入し、マザー基板アライメントピン38をステージ36の表面より下側まで下降させることで、マザー基板32をステージ36上に位置決めし、さらに、マザー基板吸着部44により、マザー基板32をステージ36上に吸着固定する。この際、2つのマザー基板アライメントピン38のテーパー形状の先端部37により、マザー基板32がセルフアライメントされ、ステージ36の所定位置にマザー基板32を配置することができる。
First, as shown in FIG. 7A, the mother
次に、図7(c)に示すように、マスクアライメントピン41をステージ36より所定の高さまで突出した状態にセットする。その状態で、マスク33のマスクアライメント孔40にガイド46を介してマスクアライメントピン41を挿入することで、マスク33をマスクアライメントピン41に装着する。次に、図7(d)に示すように、マスクアライメントピン41を下降させることで、マスク33をマザー基板32上に位置決めし、マスク吸着部43により、マスク33をステージ36の枠部42に吸着固定するとともに、マザー基板32に対しマスク33を接触させる。図7(d)に示す状態で、表示媒体とする粒子群をマザー基板32上の情報表示用パネルの表示領域34に配置する。この際、マスクアライメントピン41のテーパー形状の先端部39およびガイド46の作用により、マスクアライメントピン41がマスクアライメント孔40に容易に装着することができるとともに、マスクアライメントピン41をマスクアライメント孔40に挿入することで、マスク33のステージ36およびマザー基板32に対する位置決めを達成できる。
Next, as shown in FIG. 7C, the
図7(a)〜(d)に示す例では、マザー基板昇降部45とマザー基板アライメントピン38のテーパー形状の先端部との作用により、マザー基板32をステージ36に対し位置決めしてセットできるとともに、マスクアライメントピン41とマスクアライメント孔40との作用により、マスク33をステージ36に対し位置決めしてセットできる。その結果、マザー基板32上の情報表示用パネルの表示領域34に対するマスク33の開口部35の位置決めを、簡単に達成することができる。
In the example shown in FIGS. 7A to 7D, the
図8(a)、(b)はそれぞれマザー基板およびマスクとマザー基板アライメントピンおよびマスクアライメントピンとの関係、および、マザー基板アライメントピンにおけるテーパー形状の先端部の作用を説明するための図である。上述した本発明において、マザー基板アライメントピン38の先端部37、および、マスクアライメントピン41の先端部39、をそれぞれテーパー形状とする理由は以下の通りである。すなわち、マザー基板アライメントピン38の先端部37およびマスクアライメントピン41の先端部39がテーパー形状でない場合は、図8(a)にその一例示すように、マザー基板32およびマスク33がズレると、マザー基板アライメントピン38およびマスクアライメントピン41にマザー基板32およびマスク33が正しく装着されない場合がある。これに対し、マザー基板アライメントピン38の先端部37がテーパー形状の場合は、図8(b)にその一例を示すように、マザー基板32が多少ズレても、正しい位置に落ち着いて装着することができる。マスクアライメントピン41のテーパー形状の先端部39も同様の作用を有する。そのため、マザー基板32およびマスク33の搬入にそれほど精度を要求しない利点がある。
FIGS. 8A and 8B are views for explaining the relationship between the mother substrate and the mask, the mother substrate alignment pin and the mask alignment pin, and the action of the tapered tip portion of the mother substrate alignment pin, respectively. In the present invention described above, the reason why each of the
また、本発明において、マザー基板アライメントピン38の個数を少なくとも2個としたのは、マザー基板32の支持はマザー基板昇降部45により行っており、マザー基板アライメントピン38は、単に、マザー基板32の位置決めのうち、外部からアライメント調整されある程度位置決めを成された状態で搬入されるマザー基板32の最終的なズレを解消して位置決めをするだけであるため、少なくとも2個あれば十分であるためである。また、マスクアライメントピン41の個数を少なくとも2個としてのは、マスク33のマスクアライメントピン41による支持位置決めを、マスク33のマスクアライメント孔40にマスクアライメントピン41を挿入して行っているため、少なくとも2個あれば十分であるためである。
In the present invention, the number of the mother substrate alignment pins 38 is set to at least two. The
上述したようにして、マザー基板32上の情報表示用パネルの表示領域34にマスク33を利用して表示媒体とする粒子群を配置した後は、マスク吸着部43による吸引を解除し、マスク33とマザー基板32との接触を解除する。次に、マスクアライメントピン41を上昇させてマスク33をマザー基板32の上方に退避させた後、マザー基板吸着部44による吸引を解除する。その後、マザー基板昇降部45を上昇させてマザー基板32を上昇させるとともに、図示しないマジックハンドのような搬入・搬出手段により、マザー基板32を槽31外に搬出して、表示媒体とする粒子群の配置工程を終了する。
As described above, after the particle group as the display medium is arranged using the
なお、マスク33の表面に堆積した粒子を除去するためのクリーニング機構を使用する場合は、クリーニング機構の妨げにならないような領域にマスクアライメント孔40を設けることが好ましい。また、クリーニング領域内にマザー基板アライメントピン38およびマスクアライメントピン41などのアライメント機構を設置する場合は、クリーニング時に各アライメントピンを下降させることが好ましい。さらに、マスクアライメントを妨げないように、マスク33は上下左右0〜10mmの動き代を持って固定することが好ましい。
When using a cleaning mechanism for removing particles deposited on the surface of the
本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、PDA(Personal Digital Assistants )と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル(電子取扱説明書)等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板やホワイトボード等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ICカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子POP(Point Of Presence 、Point Of Purchase advertising )、電子値札、電子棚札、電子楽譜、RF−ID機器の表示部のほか、POS端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、外部電界形成手段を用いて表示書換えを行う、いわゆるリライタブルペーパーとしても好適に用いられる。 The information display panel produced by the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the present invention includes a notebook computer, an electronic notebook, a portable information device called PDA (Personal Digital Assistants), a display unit of a mobile device such as a mobile phone and a handy terminal, an electronic Electronic paper such as books, electronic newspapers, electronic manuals (electronic instruction manuals), signboards, posters, bulletin boards such as blackboards and whiteboards, electronic desk calculators, home appliances, display parts for automobiles, point cards, IC cards, etc. Card display unit, electronic advertisement, information board, electronic POP (Point Of Presence, Point Of Purchase advertising), electronic price tag, electronic shelf label, electronic score, display unit of RF-ID equipment, POS terminal, car navigation device It is suitably used for display units of various electronic devices such as watches. In addition, it can also be suitably used as so-called rewritable paper that rewrites display using external electric field forming means.
なお、本発明の製造装置および製造方法によって作製する情報表示用パネルの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ(TFT)で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード(TFD)で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、外部電界形成手段を用いた外部電界駆動方式など、種々のタイプの駆動方式が適用できる。 The driving method of the information display panel manufactured by the manufacturing apparatus and manufacturing method of the present invention is represented by a simple matrix driving method and a static driving method that do not use a switching element in the panel itself, and a thin film transistor (TFT). Various types of driving methods such as an active matrix driving method using a three-terminal switching device or a two-terminal switching device represented by a thin film diode (TFD) and an external electric field driving method using an external electric field forming means can be applied.
1、2 基板
3W 白色表示媒体(白色粒子群)
3B 黒色表示媒体(黒色粒子群)
3Wa 負帯電性白色粒子
3Ba 正帯電性黒色粒子
4 隔壁
5、6 電極
7,8 外部電界形成手段
9,10 導電部材
21−1 第1のセル
21−2 第2のセル
21−3 第3のセル
22R 赤色カラーフィルター
22G 緑色カラーフィルター
22B 青色カラーフィルター
31 槽
32 マザー基板
33 マスク
34 情報表示用パネルの表示領域
35 開口部
36 ステージ
37、39 先端部
38 マザー基板アライメントピン
40 マスクアライメント孔
41 マスクアライメントピン
42 枠部
43 マスク吸着部
44 マザー基板吸着部
45 マザー基板昇降部
46 ガイド
1, 2
3B black display medium (black particle group)
3 Wa Negatively charged white particles 3Ba Positively charged
Claims (4)
マザー基板およびマスクを、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とが対応するように位置決めした状態で載置するためのステージと、
ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マザー基板をステージに対し位置決めするための少なくとも2つのマザー基板アライメントピンと、
ステージのマザー基板およびマスクを載置する面に対し、テーパー形状の先端部が上下駆動するように設けられた、マスクに形成したマスクアライメント孔にテーパー形状の先端部を挿入して、前記情報表示用パネルの表示領域とマスクの開口部とを位置決めするための少なくとも2つのマスクアライメントピンと、
ステージの外周部であってマスクの外周部に対応する位置において、マザー基板の厚さと同じ厚さの枠部に設けられた、マスクを吸着解除可能なマスク吸着部と、
ステージのマザー基板に対応する位置に設けられた、マザー基板を吸着解除可能なマザー基板吸着部と、
を備えることを特徴とする情報表示用パネルの製造装置。 An information display panel provided on a mother substrate for producing an information display panel for displaying information by moving a display medium configured as a particle group sealed between two substrates, at least one of which is transparent An apparatus for manufacturing an information display panel used to arrange a particle group as a display medium through a mask having an opening having a size corresponding to the display area in the display area,
A stage for placing the mother substrate and the mask in a state in which the display area of the information display panel and the opening of the mask are aligned with each other; and
At least two mother substrate alignment pins for positioning the mother substrate with respect to the stage, the tip of the tapered shape being driven up and down with respect to the surface on which the mother substrate and mask of the stage are placed;
The taper tip is inserted into a mask alignment hole formed in the mask so that the taper tip is driven up and down with respect to the stage's mother substrate and mask mounting surface, and the information display At least two mask alignment pins for positioning the display area of the panel for use and the opening of the mask;
A mask suction portion that is provided on a frame portion having the same thickness as the mother substrate at a position corresponding to the outer periphery of the stage and corresponding to the outer periphery of the mask;
A mother board suction portion provided at a position corresponding to the mother board of the stage and capable of releasing the suction of the mother board;
An apparatus for manufacturing an information display panel, comprising:
マザー基板アライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、
ステージより突出した状態のマザー基板アライメントピンのテーパー形状の先端部間に、マザー基板を搬入する工程と、
マザー基板アライメントピンを下降させることで、マザー基板をステージ上に位置決めし、マザー基板吸着部により、マザー基板をステージ上に吸着固定する工程と、
マスクアライメントピンをステージから所定の高さまで突出するよう上昇させる工程と、
マスクのマスクアライメント孔にマスクアライメントピンが挿入することで、マスクをマスクアライメントピンに装着する工程と、
マスクアライメントピンを下降させることで、マスクをマザー基板上に位置決めし、マスクの吸着部により、マスクをステージの枠部に吸着固定するとともに、マザー基板と接触させる工程と、
表示媒体とする粒子群をマザー基板上の前記情報表示用パネルの表示領域に配置する工程と、
を備えることを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。 The information display panel which arrange | positions the particle group used as a display medium in the display area of the said information display panel of a mother board | substrate using the manufacturing apparatus of the information display panel of any one of Claims 1-3 In the manufacturing method of
A step of raising the mother substrate alignment pin so as to protrude from the stage to a predetermined height;
A step of carrying the mother substrate between the tapered tip portions of the mother substrate alignment pins in a state of protruding from the stage;
A step of positioning the mother board on the stage by lowering the mother board alignment pin, and sucking and fixing the mother board on the stage by the mother board suction part;
Raising the mask alignment pin to protrude from the stage to a predetermined height;
A step of attaching the mask to the mask alignment pin by inserting the mask alignment pin into the mask alignment hole of the mask; and
A step of positioning the mask on the mother substrate by lowering the mask alignment pins, and by sucking and fixing the mask to the frame portion of the stage by the suction portion of the mask, and contacting the mother substrate;
Arranging a group of particles as a display medium in a display area of the information display panel on the mother substrate;
A method for manufacturing an information display panel, comprising:
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2009
- 2009-04-27 JP JP2009108257A patent/JP2010256721A/en not_active Withdrawn
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