JP2010246179A - Semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電気モータ等の負荷に電流を供給するスイッチング素子を備える半導体装置に関し、特に、スイッチング素子の過電流検出回路に関する。 The present invention relates to a semiconductor device including a switching element that supplies a current to a load such as an electric motor, and more particularly to an overcurrent detection circuit for the switching element.
パワーエレクトロニクス機器において、電気モータ等の負荷を駆動する電流(駆動電流)の供給/遮断を切り替えるスイッチング素子として、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)やMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)が使用されている。また近年では、当該スイッチング素子に炭化珪素MOSFETを使用することも検討されている。これらはいずれも絶縁ゲート型半導体装置である。 In power electronics equipment, IGBTs (Insulated Gate Bipolar Transistors) and MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) are used as switching elements for switching between supply / cutoff of currents (drive currents) that drive loads such as electric motors. . In recent years, the use of a silicon carbide MOSFET for the switching element has also been studied. These are all insulated gate semiconductor devices.
このようなスイッチング素子において、例えば負荷が短絡状態となったことにより過電流が流れると、素子破壊などの不具合が発生する。そのため、主スイッチング素子の過電流を検出する過電流検出回路および過電流が検出されたときに主スイッチング素子を流れる電流を制限する保護回路を備える半導体装置が種々提案されている(例えば特許文献1−2)。 In such a switching element, when an overcurrent flows due to, for example, a load being short-circuited, problems such as element destruction occur. Therefore, various semiconductor devices including an overcurrent detection circuit that detects an overcurrent of the main switching element and a protection circuit that limits a current flowing through the main switching element when an overcurrent is detected have been proposed (for example, Patent Document 1). -2).
特許文献1に開示の過電流検出回路は、主スイッチング素子を流れる駆動電流に比例した微小電流(センス電流)を流すセンス素子と、それに直列接続した電流検出用抵抗とから成っている。電流検出用抵抗には駆動電流に比例した電圧降下が生じ、その電圧降下が過電流の検出信号として用いられる。
The overcurrent detection circuit disclosed in
また特許文献2では、電流検出用抵抗に代えて、ゲート電極がドレイン電極に接続した電流検出用MOSFETをセンス素子に直列接続させた構成が開示されている。この構成の過電流検出回路では、電流検出用MOSFETのソース・ゲート(ドレイン)間に掛かる電圧が過電流の検出信号として用いられるため、過電流が発生したときの検出信号の電圧値を、電流検出用MOSFETの閾値電圧以上にすることができる。電流検出用抵抗を用いた場合よりも、高い電圧の検出信号を出力できるので、高精度での過電流検出が可能になる。
特許文献1の過電流検出回路では、過電流発生時だけでなく、過電流が発生していない通常動作時においても電流検出用抵抗には主スイッチング素子を流れる駆動電流に比例した電流が流れる。そのため過電流の検出信号の電圧は、常にある程度の大きさを有することとなる。同様に、特許文献2の過電流検出回路では、過電流発生時だけでなく通常動作時においても、電流検出用MOSFETに主スイッチング素子を流れる駆動電流に応じた電圧が掛かるので、過電流の検出信号の電圧は常にある程度の大きさを有することとなる。
In the overcurrent detection circuit of
このように過電流の検出信号の電圧が、0Vとは異なる電圧を有していると、ノイズの影響等により過電流の誤検出が生じやすくなり、保護回路が誤動作することが懸念される。 Thus, if the voltage of the overcurrent detection signal has a voltage different from 0V, erroneous detection of overcurrent is likely to occur due to the influence of noise and the like, and there is a concern that the protection circuit malfunctions.
本発明は以上のような課題を解決するためになされたものであり、スイッチング素子の過電流の誤検出を抑制可能な過電流検出回路およびそれを備える半導体装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide an overcurrent detection circuit capable of suppressing erroneous detection of an overcurrent of a switching element and a semiconductor device including the same.
本発明に係る半導体装置は、ゲート端子に印加される制御信号に基づき、負荷に供給する駆動電流を制御する駆動用スイッチング素子と、前記駆動用スイッチング素子の過電流を検出する過電流検出回路とを備える半導体装置であって、前記過電流検出回路は、前記制御信号が印加されるゲート端子を有する電流センス用スイッチング素子と、閾値電圧が通常動作時における前記駆動用スイッチング素子の電圧降下以上であり、ゲート端子がドレイン端子に接続した第1検出用MOSFETと、第1抵抗素子とを含み、前記過電流検出回路において、前記電流センス用スイッチング素子、前記第1検出用MOSFETおよび前記第1抵抗素子による直列回路が、前記駆動用スイッチング素子に並列に接続しており、前記第1抵抗素子の電圧降下が、前記過電流の発生を示す第1検出信号として用いられるものである。 A semiconductor device according to the present invention includes a driving switching element that controls a driving current supplied to a load based on a control signal applied to a gate terminal, and an overcurrent detection circuit that detects an overcurrent of the driving switching element. The overcurrent detection circuit includes a current sensing switching element having a gate terminal to which the control signal is applied, and a threshold voltage equal to or higher than a voltage drop of the driving switching element during normal operation. A first detection MOSFET having a gate terminal connected to the drain terminal, and a first resistance element, wherein in the overcurrent detection circuit, the current sensing switching element, the first detection MOSFET, and the first resistance A series circuit of elements is connected in parallel with the switching element for driving, and the voltage drop of the first resistance element. But is used as a first detection signal indicating the occurrence of said overcurrent.
本発明によれば、駆動用スイッチング素子の通常動作時には、検出用MOSFETがオフを維持するため、電流センス用スイッチング素子には電流が流れない。その間、抵抗素子に電流が流れないため、その電圧降下すなわち第1検出信号の電圧は0Vである。一方、過電流発生時には、検出用MOSFETがオンし、センス用スイッチング素子および抵抗素子に電流が流れ、第1検出信号の電圧が大きくなる。このように通常動作時の第1検出信号の電圧が0Vになることで過電流発生時との区別が明確になり、過電流の誤検出が抑えられる。よって過電流の検出精度が向上する。 According to the present invention, during the normal operation of the driving switching element, since the detection MOSFET is kept off, no current flows through the current sensing switching element. In the meantime, since no current flows through the resistance element, the voltage drop, that is, the voltage of the first detection signal is 0V. On the other hand, when an overcurrent occurs, the detection MOSFET is turned on, a current flows through the sensing switching element and the resistance element, and the voltage of the first detection signal increases. Thus, when the voltage of the first detection signal during normal operation becomes 0 V, the distinction from the occurrence of overcurrent becomes clear, and erroneous detection of overcurrent is suppressed. Therefore, the detection accuracy of overcurrent is improved.
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の回路図である。当該半導体装置は、シリコンないしは炭化珪素の半導体基板を用いて形成され、負荷に流す駆動電流の供給/遮断を切り換える駆動用スイッチング素子(以下「主スイッチング素子」)1と、この主スイッチング素子1の過電流を検出する過電流検出回路を備えるものである。主スイッチング素子1は、ゲート端子に制御信号発生器6が生成する制御信号Vgを受けるMOSFETである。主スイッチング素子1は、制御信号Vgがハイ(H)レベルのときオン、ロー(L)レベルのときオフになる。
<
FIG. 1 is a circuit diagram of a semiconductor device according to
電源5は、負荷4に負荷電流を流すための電源であり、低電圧側端子は接地されている。負荷4および主スイッチング素子1は、電源5の高電圧側端子と低電圧側端子との間に直列に接続される。ここでは主スイッチング素子1が低電圧側に接続されており、そのソース端子が接地される。
The
過電流検出回路は、電流センス用スイッチング素子2(以下「電流センス素子」)、検出用MOSFET3および抵抗素子7から成る直列回路が主スイッチング素子1に並列接続することで構成されている。電流センス素子2は、主スイッチング素子1と同様にゲート端子に制御信号Vgを受けるMOSFETであり、そのドレイン端子は主スイッチング素子1のドレイン端子に接続する。電流センス素子2も、制御信号VgがHレベルのときオン、Lレベルのときオフになる。
The overcurrent detection circuit is configured by connecting a series circuit including a current sensing switching element 2 (hereinafter “current sensing element”), a
電流検出用MOSFET3はゲート端子がドレイン端子に接続され、当該ドレイン端子は電流センス素子2のソース端子に接続されている。電流検出用MOSFET3の閾値電圧は、通常動作(主スイッチング素子1が過電流を伴わずに負荷4に負荷電流を供給/遮断する動作)時に生じる主スイッチング素子1の電圧降下以上に設定されている。
The
抵抗素子7は、電流検出用MOSFET3のソース端子と主スイッチング素子1のソース端子(接地電位)との間に接続される。過電流検出回路では、抵抗素子7に生じる電圧降下Vs1が、過電流の発生を示す検出信号として用いられる。以下、この電圧降下Vs1を「センス電圧」と称す。
The
図2を参照し、図1の半導体装置の動作を説明する。まず、通常動作時すなわち主スイッチング素子1に過電流が発生していない場合の動作について説明する。
The operation of the semiconductor device of FIG. 1 will be described with reference to FIG. First, the operation during normal operation, that is, when no overcurrent has occurred in the
制御信号発生器6が出力する制御信号VgがHレベルになると、主スイッチング素子1と電流センス素子2がオンになる。よって、負荷22には、電源5から供給される駆動電流Icが流れる。負荷4には、駆動電流Icによって電圧降下VLが生じる。よって主スイッチング素子1のドレイン・ソース間電圧Vdsすなわち主スイッチング素子1に生じる電圧降下は、電源5の発生電圧(電源電圧)VBから負荷4の電圧降下VLを引いた値となる(Vds=VB−VL)。
When the control signal Vg output from the
このとき電流センス素子2はオンであるため、電流検出用MOSFET3のソース・ドレイン(ゲート)間には、主スイッチング素子1のソース・ドレイン間電圧Vdsにほぼ等しい電圧がかかる。しかし、電流検出用MOSFET3の閾値電圧は、通常動作時に生じる主スイッチング素子1の電圧降下以上に設定されているので、電流検出用MOSFET3はオフに維持される。よって電流センス素子2には電流(センス電流)Isが流れず(Is=0)、抵抗素子7にも電流は流れないため、センス電圧Vs1は0である。なお、センス電流Isが0Vなので、このとき主スイッチング素子1を流れる主電流Ic2は、負荷4を流れる駆動電流Icに等しい。
At this time, since the
続いて制御信号VgがLレベルになると、主スイッチング素子1および電流センス素子2がオフになるので、負荷4に駆動電流Icが流れなくなる(Ic=0)。当然、主電流Ic2およびセンス電流Isも流れない(Ic=0、Is=0)。よってこのときも抵抗素子7には電流が流れず、センス電圧Vs1は0Vである。
Subsequently, when the control signal Vg becomes the L level, the
次に、負荷4の短絡等に起因して、主スイッチング素子1に過電流が流れたときの動作について説明する。図2の時刻t1において、負荷4の短絡が生じたとする。すると駆動電流Icが過大になるため、主スイッチング素子1を流れる主電流Ic2も大きくなる。それにより主スイッチング素子1の電圧降下(ソース・ドレイン間電圧Vds)が大きくなり、電流検出用MOSFET3のドレイン(ゲート)電圧も高くなる。その結果、電流検出用MOSFET3のソース・ドレイン(ゲート)間電圧が閾値電圧よりも大きくなり、電流検出用MOSFET3がオンになる。応じて電流センス素子2にセンス電流Isが流れ、抵抗素子7に電圧降下が発生するため、センス電圧Vsが0Vから大きくなる。不図示の保護回路等は、このセンス電圧Vsの増大を検出することで、過電流の発生を検知することができる。
Next, an operation when an overcurrent flows through the
本実施の形態の過電流検出回路では、過電流が発生していないときは、主スイッチング素子1のオン、オフに関わらず、過電流検出信号であるセンス電圧Vs1は常に0Vとなる。そして過電流が発生すると、センス電圧Vs1が0Vから変化する。このように、過電流が発生していないときに、過電流検出信号が0Vに固定されることで、過電流発生時と通常状態との区別が明確になり、過電流の誤検出が生じにくくなる。よって過電流の検出精度が向上する。
In the overcurrent detection circuit of the present embodiment, when no overcurrent is generated, the sense voltage Vs1 that is an overcurrent detection signal is always 0 V regardless of whether the
なお、図1では、主スイッチング素子1および電流センス素子2をMOSFETとしたが、IGBTを用いてもよい。その場合の回路図を図3に示す。MOSFETのドレイン端子およびソース端子は、それぞれIGBTのコレクタ端子、エミッタ端子に対応する。
In FIG. 1, the
<実施の形態2>
図4は、実施の形態2に係る過電流検出回路を備える半導体装置の回路図である。当該半導体装置は、図1の回路に対し、電流検出用MOSFET3および抵抗素子7から成る直列回路に並列に、電流検出用MOSFET8および抵抗素子9から成るもう一つの直列回路を接続させたものである。以下、電流検出用MOSFET3を「第1の電流検出用MOSFET」、抵抗素子7を「第1の抵抗素子」、電流検出用MOSFET8を「第2の電流検出用MOSFET」、抵抗素子9を「第2の抵抗素子」と称する。
<
FIG. 4 is a circuit diagram of a semiconductor device including the overcurrent detection circuit according to the second embodiment. The semiconductor device is obtained by connecting another series circuit consisting of a
第2の電流検出用MOSFET8は、ゲート端子がドレイン端子に接続され、当該ドレイン端子は電流センス素子2のソース端子に接続されている。第2の電流検出用MOSFET8の閾値電圧は、通常動作時に生じる主スイッチング素子1の電圧降下以上で、第1の電流検出用MOSFET3のものより小さい値に設定されている。第2の抵抗素子9は、第2の電流検出用MOSFET8のソース端子と主スイッチング素子1のソース端子(接地電位)との間に接続される。
The second
図5は、主スイッチング素子1に流れる駆動電流Icと、第1および第2の抵抗素子7,9の電圧降下Vs1,Vs2との関係を示す図である。第2の電流検出用MOSFET8は第1の電流検出用MOSFET3よりも閾値電圧が低いため、第2の電流検出用MOSFET8には、駆動電流Icがより小さいときから電流が流れ始める。また同じ駆動電流Icに対して、第2の電流検出用MOSFET8には、第1の電流検出用MOSFET3より多くの電流が流れる。従って図5の如く、第2の抵抗素子9の電圧降下Vs2のレベルは、第1の抵抗素子7の電圧降下Vs1と比較して、より小さい値の駆動電流Icの値で上昇し始め、また第1の抵抗素子7の電圧降下Vs1よりも大きな値になる。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the drive current Ic flowing through the
本実施の形態では、第1の抵抗素子7の電圧降下Vs1を、過電流の発生を示す検出信号(第1検出信号)として用い、第2の抵抗素子9の電圧降下Vs2を、過電流の解消を示す検出信号(第2検出信号)として用いる。以下、第1の抵抗素子7の電圧降下Vs1を「第1センス電圧」、第2の抵抗素子9の電圧降下Vs2を「第2センス電圧」と称す。
In the present embodiment, the voltage drop Vs1 of the
図5に示す基準電圧Vs0を、保護回路等における第1および第2センス電圧Vs1,Vs2の検出の閾値とする。本実施の形態の半導体装置では、第1センス電圧Vs1が基準電圧Vs0を超えたとき(図5のA点)に過電流が発生したものと判定され、第2センス電圧Vs2が基準電圧Vs0を下回ったとき(図5のB点)に過電流が解消されたものと判定される。 The reference voltage Vs0 shown in FIG. 5 is used as a threshold for detecting the first and second sense voltages Vs1 and Vs2 in the protection circuit or the like. In the semiconductor device of the present embodiment, it is determined that an overcurrent has occurred when the first sense voltage Vs1 exceeds the reference voltage Vs0 (point A in FIG. 5), and the second sense voltage Vs2 has the reference voltage Vs0. When it falls below (point B in FIG. 5), it is determined that the overcurrent has been eliminated.
例えば、駆動電流Ic、第1および第2センス電圧Vs1,Vs2が、図6のように変化した場合における、過電流検出回路の動作を説明する。まず時刻t1では、第1および第2センス電圧Vs1,Vs2は共に基準電圧Vs0よりも小さいので、このときの駆動電流Ic(Icc)は過電流として判定されない。続いて時刻t2で、駆動電流Icが大きくなると、第2センス電圧Vs2が基準電圧Vs0を超えるが、過電流発生の検出信号である第1センス電圧Vs1は基準電圧Vs0よりも小さいので、このときの駆動電流Ic(Icb)も過電流として判定されない。そして時刻t3で、駆動電流Icがさらに大きくなり、第1および第2センス電圧Vs1,Vs2が共に基準電圧Vs0を超えると、このときの駆動電流Ic(Ica)は過電流として判定される。 For example, the operation of the overcurrent detection circuit when the drive current Ic and the first and second sense voltages Vs1, Vs2 change as shown in FIG. 6 will be described. First, at time t1, the first and second sense voltages Vs1, Vs2 are both smaller than the reference voltage Vs0, so that the drive current Ic (Icc) at this time is not determined as an overcurrent. Subsequently, when the drive current Ic increases at time t2, the second sense voltage Vs2 exceeds the reference voltage Vs0, but the first sense voltage Vs1 that is a detection signal for the occurrence of overcurrent is smaller than the reference voltage Vs0. The drive current Ic (Icb) is not determined as an overcurrent. At time t3, when the drive current Ic further increases and both the first and second sense voltages Vs1, Vs2 exceed the reference voltage Vs0, the drive current Ic (Ica) at this time is determined as an overcurrent.
その後、時刻t4で、駆動電流Icが時刻t2のときと同じ値(Icb)に戻ったとする。それにより第1センス電圧Vs1は基準電圧Vs0を下回るが、過電流解消の検出信号である第2センス電圧Vs2が基準電圧Vs0よりも大きいままであるため、過電流は解消されていないと判断されて、このときの駆動電流Icは過電流として取り扱われる。 Thereafter, at time t4, it is assumed that the drive current Ic returns to the same value (Icb) as at time t2. As a result, the first sense voltage Vs1 is lower than the reference voltage Vs0. However, since the second sense voltage Vs2 that is a detection signal for overcurrent cancellation remains larger than the reference voltage Vs0, it is determined that the overcurrent has not been canceled. Thus, the drive current Ic at this time is handled as an overcurrent.
続いて時刻t5で、駆動電流Icが時刻t1のときと同じ値(Icc)に戻ったとする。すると第1および第2センス電圧Vs1,Vs2の両方が基準電圧Vs0よりも小さくなるので、過電流は解消されたものと判断されて、このときの駆動電流Ic(Icc)は過電流でないものとして取り扱われる。 Subsequently, at time t5, it is assumed that the drive current Ic returns to the same value (Icc) as at time t1. Then, since both the first and second sense voltages Vs1, Vs2 are smaller than the reference voltage Vs0, it is determined that the overcurrent has been eliminated, and the drive current Ic (Icc) at this time is assumed not to be an overcurrent. Handled.
このように本実施の形態では、過電流の発生が検出される駆動電流Icの値と、過電流の解消が検出される駆動電流Icの値とが異なる。よって過電流の判定についてヒステリシス特性を持つことになり、ノイズの影響などによる過電流の誤判定の発生をより確実に防止することができる。 As described above, in the present embodiment, the value of the drive current Ic from which the occurrence of the overcurrent is detected is different from the value of the drive current Ic from which the cancellation of the overcurrent is detected. Therefore, the overcurrent determination has a hysteresis characteristic, and an erroneous determination of overcurrent due to the influence of noise or the like can be prevented more reliably.
なお図4の回路において、過電流が発生しない通常動作時には、第1の電流検出用MOSFET3のソース・ドレイン(ゲート)間電圧は閾値電圧を超えず、且つ、第2の電流検出用MOSFET8のソース・ドレイン(ゲート)間電圧も閾値電圧を超えないので、第1および第2の電流検出用MOSFET3,8はオフに維持される。よって第1の抵抗素子7,9には電流が流れず、第1および第2センス電圧Vs1,Vs2は共に0である。従って、過電流発生時と通常状態との区別が明確になり、過電流の誤検出が生じにくくなるという効果も、実施の形態1と同様に得られる。
In the circuit of FIG. 4, during normal operation in which no overcurrent occurs, the voltage between the source and drain (gate) of the first
第1および第2の電流検出用MOSFET3,8は、主スイッチング素子1や電流センス素子2と同一基板上に形成してもよいし、別の基板に形成してもよい。同一基板上に作成する場合には、図7のように第2の電流検出用MOSFET8のバックゲート端子を、主スイッチング素子のソース端子に接続してもよい。それにより、第2の電流検出用MOSFET8のソース端子とバックゲート端子に電位差が生じるため、バックゲート効果により第2の電流検出用MOSFET8の閾値電圧は低くなる。従って、第1および第2の電流検出用MOSFET3,8として、互いに同一構成のもの(バックゲート効果なしでの閾値電圧も同一のもの)を使用することができ、半導体装置設計の簡略化に寄与できる。
The first and second
また図示は省略するが、本実施の形態においても、主スイッチング素子1および電流センス素子2としてIGBTを用いてもよい。
Although not shown, IGBTs may be used as the
1 主スイッチング素子、2 電流センス素子、3,8 電流検出用MOSFET、4 負荷、5 電源、6 制御信号発生器、7,9 抵抗素子。
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記駆動用スイッチング素子の過電流を検出する過電流検出回路とを備える半導体装置であって、
前記過電流検出回路は、
前記制御信号が印加されるゲート端子を有する電流センス用スイッチング素子と、
閾値電圧が通常動作時における前記駆動用スイッチング素子の電圧降下以上であり、ゲート端子がドレイン端子に接続した第1検出用MOSFETと、
第1抵抗素子とを含み、
前記過電流検出回路において、
前記電流センス用スイッチング素子、前記第1検出用MOSFETおよび前記第1抵抗素子による直列回路が、前記駆動用スイッチング素子に並列に接続しており、
前記第1抵抗素子の電圧降下が、前記過電流の発生を示す第1検出信号として用いられる
ことを特徴とする半導体装置。 A driving switching element for controlling a driving current supplied to the load based on a control signal applied to the gate terminal;
An overcurrent detection circuit that detects an overcurrent of the driving switching element, and a semiconductor device comprising:
The overcurrent detection circuit includes:
A current sensing switching element having a gate terminal to which the control signal is applied;
A first detection MOSFET having a threshold voltage equal to or higher than a voltage drop of the driving switching element during normal operation, and a gate terminal connected to a drain terminal;
A first resistance element;
In the overcurrent detection circuit,
A series circuit including the current sensing switching element, the first detection MOSFET, and the first resistance element is connected in parallel to the driving switching element,
The semiconductor device according to claim 1, wherein a voltage drop of the first resistance element is used as a first detection signal indicating the occurrence of the overcurrent.
前記過電流検出回路は、
閾値電圧が前記第1検出用MOSFETのものより小さく、ゲート端子がドレイン端子に接続した第2検出用MOSFETと、
第2抵抗素子とをさらに含み、
前記過電流検出回路において、
前記第2検出用MOSFETおよび前記第2抵抗素子による直列回路が、前記第1検出用MOSFETおよび前記第1抵抗素子による直列回路に並列に接続し、
前記第2抵抗素子の電圧降下が、前記過電流の解消を示す第2検出信号として用いられる
ことを特徴とする半導体装置。 The semiconductor device according to claim 1,
The overcurrent detection circuit includes:
A second detection MOSFET having a threshold voltage smaller than that of the first detection MOSFET and having a gate terminal connected to the drain terminal;
A second resistance element;
In the overcurrent detection circuit,
A series circuit including the second detection MOSFET and the second resistance element is connected in parallel to the series circuit including the first detection MOSFET and the first resistance element;
A semiconductor device, wherein a voltage drop of the second resistance element is used as a second detection signal indicating cancellation of the overcurrent.
前記第2検出用MOSFETのバックゲートが、前記駆動用スイッチング素子のソース端子に接続されている
ことを特徴とする半導体装置。 The semiconductor device according to claim 2,
The semiconductor device, wherein a back gate of the second detection MOSFET is connected to a source terminal of the driving switching element.
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JP2015080335A (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | 株式会社東芝 | Gate drive circuit |
US9720029B2 (en) | 2012-12-17 | 2017-08-01 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device including a sense element and a main element, and current detector circuit using the semiconductor device |
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