JP2010229227A - Epoxy resin composition, sheet-like formed article, prepreg, cured product and laminate - Google Patents

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信弘 後藤
Junnosuke Murakami
淳之介 村上
Akiro Masakado
彰朗 正角
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition which can lower the coefficient of linear expansion of a cured product, even when the content of an inorganic substance is small, can reduce the surface roughness of a roughed cured product, and can enhance the peel strength of a metal layer from the cured product, and to provide the3 cured product. <P>SOLUTION: The epoxy resin composition comprises an epoxy resin having at least two epoxy groups, a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group, silica, and a maleimide compound having at least two maleimide skeletons, wherein the nitrogen content of the curing agent is ≤13 wt.%. The cured product 1 is formed by thermally preliminarily curing the epoxy resin composition and then roughening the product. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、銅めっき層等が表面に形成される硬化体を得るのに用いられるエポキシ樹脂組成物に関し、より詳細には、エポキシ樹脂、硬化剤、シリカ及びマレイミド化合物を含むエポキシ樹脂組成物、並びに該エポキシ樹脂組成物を用いたシート状成形体、プリプレグ、硬化体及び積層板に関する。   The present invention relates to an epoxy resin composition used for obtaining a cured product having a copper plating layer or the like formed on the surface, and more specifically, an epoxy resin composition containing an epoxy resin, a curing agent, silica and a maleimide compound, In addition, the present invention relates to a sheet-like molded body, a prepreg, a cured body and a laminate using the epoxy resin composition.

従来、多層基板又は半導体装置等を形成するために、様々な熱硬化性樹脂組成物が用いられている。   Conventionally, various thermosetting resin compositions have been used to form multilayer substrates or semiconductor devices.

例えば、下記の特許文献1には、フェノール性アミノマレイミドプレポリマー樹脂と、アルキレングリコールアルキルエーテルと、エポキシ樹脂とを含む熱硬化性樹脂組成物が開示されている。上記フェノール性アミノマレイミドプレポリマー樹脂は、トリアジン環を有するフェノール樹脂組成物とマレイミド化合物とから得られる。   For example, Patent Literature 1 below discloses a thermosetting resin composition containing a phenolic aminomaleimide prepolymer resin, an alkylene glycol alkyl ether, and an epoxy resin. The phenolic aminomaleimide prepolymer resin is obtained from a phenol resin composition having a triazine ring and a maleimide compound.

また、下記の特許文献2には、芳香環を有する絶縁樹脂と、硬化剤とを含む熱硬化性樹脂組成物が開示されている。この熱硬化性樹脂組成物は、積層板を製造するのに用いられる。上記絶縁樹脂のガラス転移温度以上のせん断弾性率から求めた絶縁樹脂の架橋点間分子量は、積層板を製造した後の段階で300〜1,000である。また、上記芳香環を有する絶縁樹脂としては、エポキシ樹脂が挙げられている。   Patent Document 2 below discloses a thermosetting resin composition containing an insulating resin having an aromatic ring and a curing agent. This thermosetting resin composition is used for producing a laminated board. The molecular weight between the crosslinking points of the insulating resin determined from the shear modulus of elasticity of the insulating resin above the glass transition temperature is 300 to 1,000 at the stage after the laminate is manufactured. Moreover, as the insulating resin having the aromatic ring, an epoxy resin is cited.

特開2006−022179号公報JP 2006-022179 A 特開2007−314782号公報JP 2007-314782 A

特許文献1,2に記載の熱硬化性樹脂組成物を予備硬化した後、粗化処理することにより硬化体を形成した場合には、硬化体の表面の表面粗さが十分に小さくならないことがあった。このため、硬化体の表面にめっき処理により金属層を形成する際に、微細な配線を形成することが困難なことがあった。さらに、硬化体と金属層とのピール強度が低くなることがあった。   When the cured body is formed by pre-curing the thermosetting resin composition described in Patent Documents 1 and 2 and then roughening, the surface roughness of the surface of the cured body may not be sufficiently reduced. there were. For this reason, when forming a metal layer on the surface of the cured body by plating, it may be difficult to form fine wiring. Furthermore, the peel strength between the cured body and the metal layer may be lowered.

さらに、特許文献1,2に記載の熱硬化性樹脂組成物を硬化させた硬化体の線膨張率が高く、かつガラス転移温度が低くなることがあった。   Furthermore, the linear expansion coefficient of the cured product obtained by curing the thermosetting resin composition described in Patent Documents 1 and 2 may be high, and the glass transition temperature may be low.

本発明の目的は、無機物の含有量が少なくても硬化体の線膨張率を低くすることができ、さらに粗化処理された硬化体の表面の表面粗さを小さくすることができ、かつ硬化体と金属層とのピール強度を高くすることができるエポキシ樹脂組成物、並びに該エポキシ樹脂組成物を用いたシート状成形体、プリプレグ、硬化体及び積層板を提供することにある。   The object of the present invention is to reduce the linear expansion coefficient of the cured body even if the content of the inorganic substance is small, and further to reduce the surface roughness of the surface of the cured body that has been roughened and cured. An object of the present invention is to provide an epoxy resin composition capable of increasing the peel strength between the body and the metal layer, and a sheet-like molded body, prepreg, cured body and laminate using the epoxy resin composition.

本発明の広い局面によれば、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、
アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤と、シリカと、少なくとも2つのマレイミド骨格を有するマレイミド化合物とを含み、前記硬化剤の窒素の含有量が13重量%以下である、エポキシ樹脂組成物が提供される。
According to a broad aspect of the invention, an epoxy resin having at least two epoxy groups;
An epoxy resin composition comprising a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group, silica, and a maleimide compound having at least two maleimide skeletons, wherein the content of nitrogen in the curing agent is 13% by weight or less. Provided.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物のある特定の局面では、エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、前記シリカの含有量は20〜60重量%の範囲内である。   On the specific situation with the epoxy resin composition which concerns on this invention, content of the said silica exists in the range of 20-60 weight% in 100 weight% of solid content of an epoxy resin composition.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物の他の特定の局面では、エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、前記マレイミド化合物の含有量は2〜40重量%の範囲内である。   In another specific aspect of the epoxy resin composition according to the present invention, the content of the maleimide compound is in the range of 2 to 40% by weight in 100% by weight of the solid content of the epoxy resin composition.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物のさらに他の特定の局面では、前記シリカは、平均粒子径1μm以下の球状シリカである。   In still another specific aspect of the epoxy resin composition according to the present invention, the silica is spherical silica having an average particle diameter of 1 μm or less.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物の別の特定の局面では、前記マレイミド化合物は、N,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェニレンジマレイミド、1,2−ビス(マレイミド)エタン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン及びこれらのオリゴマー、並びにマレイミド骨格含有ジアミン縮合物からなる群から選択された少なくとも1種である。   In another specific aspect of the epoxy resin composition according to the present invention, the maleimide compound includes N, N′-4,4-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-1,3-phenylene dimaleimide, N, N. '-1,4-phenylene dimaleimide, 1,2-bis (maleimide) ethane, 1,6-bismaleimide hexane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, The group consisting of bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide, 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane and oligomers thereof, and a maleimide skeleton-containing diamine condensate Is at least one selected from

本発明に係るエポキシ樹脂組成物のさらに別の特定の局面では、フェノキシ樹脂がさらに含まれている。   In still another specific aspect of the epoxy resin composition according to the present invention, a phenoxy resin is further included.

本発明に係るシート状成形体は、本発明に従って構成されたエポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されている。   The sheet-like molded body according to the present invention is formed by molding an epoxy resin composition configured according to the present invention into a sheet shape.

本発明に係るプリプレグでは、本発明に従って構成されたエポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されている。   In the prepreg according to the present invention, the porous base material is impregnated with the epoxy resin composition constituted according to the present invention.

本発明に係る硬化体は、本発明に従って構成されたエポキシ樹脂組成物、該エポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されたシート状成形体、又は該エポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されたプリプレグを加熱し、予備硬化させた後、粗化処理されている硬化体であって、粗化処理された表面の算術平均粗さRaが0.3μm以下、十点平均粗さRzが3.0μm以下である。   The cured body according to the present invention includes an epoxy resin composition configured according to the present invention, a sheet-shaped molded body formed by molding the epoxy resin composition into a sheet, or the epoxy resin composition is a porous group. The prepreg impregnated in the material is heated and precured, and then a roughened cured body, the arithmetic average roughness Ra of the roughened surface is 0.3 μm or less, ten-point average roughness The thickness Rz is 3.0 μm or less.

本発明に係る積層板は、本発明に従って構成されたシート状成形体を硬化させた硬化体と、該硬化体の少なくとも片面に積層されている金属層とを備える。   The laminated board which concerns on this invention is equipped with the hardening body which hardened the sheet-like molded object comprised according to this invention, and the metal layer laminated | stacked on the at least single side | surface of this hardening body.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤と、シリカと、少なくとも2つのマレイミド骨格を有するマレイミド化合物とを含み、硬化剤の窒素の含有量が13重量%以下であるので、無機物の含有量が少なくても硬化体の線膨張率を低くすることができる。さらに、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さを小さくすることができ、かつ硬化体と金属層とのピール強度を高くすることができる。   The epoxy resin composition according to the present invention includes an epoxy resin having at least two epoxy groups, a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group, silica, and a maleimide compound having at least two maleimide skeletons, Since the nitrogen content of the curing agent is 13% by weight or less, the linear expansion coefficient of the cured product can be lowered even if the inorganic content is small. Furthermore, the surface roughness of the roughened cured body can be reduced, and the peel strength between the cured body and the metal layer can be increased.

図1は、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂組成物を予備硬化させた後に、粗化処理することにより得られた硬化体の表面を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing the surface of a cured body obtained by pre-curing an epoxy resin composition according to an embodiment of the present invention and then roughening the composition. 図2は、図1に示す硬化体の表面に金属層が形成された状態を示す部分切欠正面断面図である。2 is a partially cutaway front sectional view showing a state in which a metal layer is formed on the surface of the cured body shown in FIG. 図3は、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂組成物を用いた多層積層板を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 3 is a partially cutaway front cross-sectional view schematically showing a multilayer laminate using an epoxy resin composition according to an embodiment of the present invention.

本願発明者らは、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤と、シリカと、少なくとも2つのマレイミド骨格を有するマレイミド化合物とを含み、硬化剤の窒素の含有量が13重量%以下である組成を採用することにより、無機物の含有量が少なくても硬化体の線膨張率を低くすることができ、さらに粗化処理された硬化体の表面の表面粗さを小さくすることができ、かつ硬化体と金属層とのピール強度を高くすることができることを見出した。すなわち、本発明では、硬化体の表面の小さい表面粗さと、硬化体と金属層との高いピール強度とを両立できる。   The inventors of the present invention include an epoxy resin having at least two epoxy groups, a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group, silica, and a maleimide compound having at least two maleimide skeletons, and a nitrogen of the curing agent. By adopting a composition having a content of 13% by weight or less, the linear expansion coefficient of the cured product can be lowered even when the inorganic content is small, and the surface of the surface of the cured product that has been roughened It has been found that the roughness can be reduced and the peel strength between the cured body and the metal layer can be increased. That is, in the present invention, both a small surface roughness of the surface of the cured body and a high peel strength between the cured body and the metal layer can be achieved.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤と、シリカと、少なくとも2つのマレイミド骨格を有するマレイミド化合物とを含む。硬化剤の窒素の含有量は13重量%以下である。   The epoxy resin composition according to the present invention includes an epoxy resin having at least two epoxy groups, a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group, silica, and a maleimide compound having at least two maleimide skeletons. The nitrogen content of the curing agent is 13% by weight or less.

先ず、本発明に係るエポキシ樹脂組成物に含まれる各成分を以下説明する。   First, each component contained in the epoxy resin composition according to the present invention will be described below.

(エポキシ樹脂)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物に含まれているエポキシ樹脂とは、少なくとも2つのエポキシ基(オキシラン環)を有する有機化合物をいう。上記エポキシ樹脂の1分子当たりのエポキシ基の数は、2以上である。
(Epoxy resin)
The epoxy resin contained in the epoxy resin composition according to the present invention refers to an organic compound having at least two epoxy groups (oxirane rings). The number of epoxy groups per molecule of the epoxy resin is 2 or more.

上記エポキシ樹脂として、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。また、エポキシ樹脂には、エポキシ樹脂の誘導体又はエポキシ樹脂の水添物も含まれる。   A conventionally well-known epoxy resin can be used as said epoxy resin. As for an epoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together. Epoxy resins also include epoxy resin derivatives or epoxy resin hydrogenated products.

上記エポキシ樹脂としては、例えば、芳香族エポキシ樹脂、脂環族エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルアクリル型エポキシ樹脂又はポリエステル型エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin include aromatic epoxy resins, alicyclic epoxy resins, aliphatic epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, glycidyl acrylic type epoxy resins, and polyester type epoxy resins. .

上記芳香族エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂もしくはビスフェノールS型エポキシ樹脂等などのビスフェノール型エポキシ樹脂、又はフェノールノボラック型エポキシ樹脂もしくはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the aromatic epoxy resin include bisphenol type epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin or bisphenol S type epoxy resin, or phenol novolac type epoxy resin or cresol novolak. Novolak type epoxy resins such as type epoxy resins.

上記エポキシ樹脂として、ビフェニル型エポキシ樹脂を用いてもよい。該ビフェニル型エポキシ樹脂としては、フェノール化合物の水酸基の一部をエポキシ基含有基で置換し、残りの水酸基を水酸基以外の水素などの置換基で置換した化合物等が挙げられる。   A biphenyl type epoxy resin may be used as the epoxy resin. Examples of the biphenyl type epoxy resin include compounds in which part of the hydroxyl group of the phenol compound is substituted with an epoxy group-containing group and the remaining hydroxyl group is substituted with a substituent such as hydrogen other than the hydroxyl group.

上記エポキシ樹脂は、アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリアジン骨格を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂及びビスフェノールS型エポキシ樹脂からなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。この場合には、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さをより一層小さくすることができる。   The above epoxy resins include an epoxy resin having an anthracene skeleton, an epoxy resin having a naphthalene skeleton, an epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton, an epoxy resin having an adamantane skeleton, an epoxy resin having a triazine skeleton, a bisphenol A type epoxy resin, and bisphenol F. It is preferably at least one selected from the group consisting of a type epoxy resin and a bisphenol S type epoxy resin. In this case, the surface roughness of the roughened cured body can be further reduced.

上記ビフェニル型エポキシ樹脂は、下記式(8)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂であることも好ましい。この好ましいビフェニル型エポキシ樹脂の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができる。   The biphenyl type epoxy resin is also preferably a biphenyl type epoxy resin represented by the following formula (8). By using this preferable biphenyl type epoxy resin, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

上記式(8)中、tは1〜11の整数を示す。   In said formula (8), t shows the integer of 1-11.

上記エポキシ樹脂は、アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂であることが好ましい。アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができる。また、硬化体のガラス転移温度をより一層高くすることができる。さらに、エポキシ樹脂組成物をBステージ状態のシートにする場合には、アントラセン骨格を有するエポキシ樹脂と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とを併用することがより好ましい。この場合には、Bステージ状態のシートのハンドリングを良好にすることができ、さらにシートを基板上で硬化させた際に表面の凹凸を低減できる。   The epoxy resin is preferably an epoxy resin having an anthracene skeleton. By using an epoxy resin having an anthracene skeleton, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced. In addition, the glass transition temperature of the cured product can be further increased. Furthermore, when making an epoxy resin composition into a B-stage sheet, it is more preferable to use an epoxy resin having an anthracene skeleton and a bisphenol A type epoxy resin in combination. In this case, it is possible to improve the handling of the sheet in the B stage state, and it is possible to reduce the unevenness of the surface when the sheet is cured on the substrate.

上記エポキシ樹脂は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂及びビスフェノールF型エポキシ樹脂の内の少なくとも一方であることが特に好ましい。この好ましいエポキシ樹脂の使用により、Bステージ状態のシートのハンドリング性、平坦性及びヒートプレス時に埋め込まれた膜の平坦性をより一層高めることができる。   The epoxy resin is particularly preferably at least one of a bisphenol A type epoxy resin and a bisphenol F type epoxy resin. By using this preferable epoxy resin, the handling property and flatness of the B-stage sheet and the flatness of the film embedded at the time of heat press can be further enhanced.

エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、上記エポキシ樹脂の含有量は20〜50重量%の範囲内であることが好ましい。上記エポキシ樹脂の含有量が上記範囲内にある場合には、エポキシ樹脂組成物及び該エポキシ樹脂組成物を用いたシート状成形体のハンドリング性をより一層高くすることができる。さらに、硬化体の表面の凹凸をより一層小さくすることができる。エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中の上記エポキシ樹脂の含有量のより好ましい下限は25重量%、より好ましい上限は40重量%である。   The content of the epoxy resin is preferably in the range of 20 to 50% by weight in 100% by weight of the solid content of the epoxy resin composition. When content of the said epoxy resin exists in the said range, the handleability of a sheet-like molded object using the epoxy resin composition and this epoxy resin composition can be made still higher. Furthermore, the unevenness of the surface of the cured body can be further reduced. The more preferable lower limit of the content of the epoxy resin in the solid content of 100% by weight of the epoxy resin composition is 25% by weight, and the more preferable upper limit is 40% by weight.

上記エポキシ樹脂組成物の固形分とは、エポキシ樹脂組成物に含まれている溶剤を除く成分であり、液状エポキシ樹脂も固形分に含まれる。上記「エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%」とは、エポキシ樹脂、硬化剤、シリカ及びマレイミド化合物と、必要に応じて配合される他の成分のうち、成型、加熱時に揮発しない不揮発分との総和をいう。従って、上記「エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%」は、「上記エポキシ樹脂組成物の液状エポキシ樹脂を含む固形分100重量%」を示す。   The solid content of the epoxy resin composition is a component excluding the solvent contained in the epoxy resin composition, and the liquid epoxy resin is also included in the solid content. The above-mentioned “100 wt% solid content of epoxy resin composition” means an epoxy resin, a curing agent, silica and a maleimide compound, and a non-volatile content that does not volatilize during molding and heating among other components blended as necessary The sum of Therefore, the above “100 wt% solid content of the epoxy resin composition” indicates “100 wt% solid content of the epoxy resin composition including the liquid epoxy resin”.

(硬化剤)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤(以下、硬化剤Aともいう)を含む。硬化剤Aは、アミノトリアジン骨格を有するフェノール化合物である。また、硬化剤A100重量%中の硬化剤Aの窒素の含有量は、13重量%以下である。このような構造を有し、かつ窒素の含有量が上記値を満たす硬化剤Aの使用により、硬化体の線膨張率を低くすることができ、さらに粗化処理された硬化体の表面の表面粗さを小さくすることができ、かつ硬化体と金属層とのピール強度を高くすることができる。上記硬化剤A100重量%中の窒素の含有量の好ましい下限は10重量%である。
(Curing agent)
The epoxy resin composition according to the present invention includes a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group (hereinafter also referred to as curing agent A). The curing agent A is a phenol compound having an aminotriazine skeleton. Moreover, content of nitrogen of the hardening | curing agent A in 100 weight% of hardening | curing agents A is 13 weight% or less. By using the curing agent A having such a structure and the nitrogen content satisfying the above value, the linear expansion coefficient of the cured body can be lowered, and the surface of the surface of the cured body that has been further roughened. The roughness can be reduced and the peel strength between the cured body and the metal layer can be increased. The minimum with preferable content of nitrogen in the said hardening | curing agent A100weight% is 10 weight%.

上記アミノトリアジン骨格としては、例えば、メラミン骨格、置換メラミン骨格、メラム骨格、メレム骨格、ベンゾグアナミン骨格、アセトグアナミン骨格又はスピログアナミン骨格等が挙げられる。   Examples of the aminotriazine skeleton include a melamine skeleton, a substituted melamine skeleton, a melam skeleton, a melem skeleton, a benzoguanamine skeleton, an acetoguanamine skeleton, and a spiroguanamine skeleton.

上記硬化剤Aは、例えば、フェノールノボラック樹脂骨格、o−クレゾールノボラック樹脂骨格、p−クレゾールノボラック樹脂骨格、t−ブチルフェノールノボラック樹脂骨格又はジシクロペンタジエンクレゾール樹脂骨格等を有する。   The curing agent A has, for example, a phenol novolak resin skeleton, an o-cresol novolak resin skeleton, a p-cresol novolak resin skeleton, a t-butylphenol novolak resin skeleton, or a dicyclopentadiene cresol resin skeleton.

上記硬化剤Aは、アミノトリアジン骨格とフェノールノボラック樹脂骨格とを有するアミノトリアジンノボラックフェノール型硬化剤であることが好ましい。アミノトリアジン骨格とフェノールノボラック樹脂骨格とを有する硬化剤の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができる。   The curing agent A is preferably an aminotriazine novolak phenol type curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenol novolac resin skeleton. By using a curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenol novolac resin skeleton, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced.

上記硬化剤Aの市販品としては、商品名「LA−7052」及び商品名「LA−7054」(以上、いずれもDIC社製)等が挙げられる。硬化剤Aは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   As a commercial item of the said hardening | curing agent A, brand name "LA-7052", brand name "LA-7054" (above, all are the DIC company make), etc. are mentioned. As for the hardening | curing agent A, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ樹脂100重量部に対して、上記硬化剤Aの含有量は1〜100重量部の範囲内であることが好ましい。エポキシ樹脂100重量部に対する上記硬化剤Aの含有量のより好ましい下限は30重量部であり、より好ましい上限は85重量部である。硬化剤Aの含有量が少なすぎると、エポキシ樹脂組成物が充分に硬化しないことがある。硬化剤Aの含有量が多すぎると、エポキシ樹脂を硬化させる効果が飽和することがある。   The content of the curing agent A is preferably in the range of 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin. The minimum with more preferable content of the said hardening | curing agent A with respect to 100 weight part of epoxy resins is 30 weight part, and a more preferable upper limit is 85 weight part. When there is too little content of the hardening | curing agent A, an epoxy resin composition may not fully harden | cure. When there is too much content of the hardening | curing agent A, the effect of hardening an epoxy resin may be saturated.

エポキシ樹脂組成物は、上記アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤に加えて、従来公知の他の硬化剤(以下、硬化剤Bともいう)をさらに含んでいてもよい。   The epoxy resin composition may further contain another conventionally known curing agent (hereinafter also referred to as curing agent B) in addition to the above-described curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group.

上記他の硬化剤Bとしては、例えば、ジシアンジアミド、アミン化合物、アミン化合物の誘導体、ヒドラジド化合物、酸無水物、フェノール化合物、活性エステル化合物、熱潜在性カチオン重合触媒、光潜在性カチオン重合開始剤又はシアネートエステル樹脂等が挙げられる。硬化剤Bとして、これらの誘導体を用いてもよい。硬化剤Bは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。また、これらの硬化剤とともに、アセチルアセトン鉄等の硬化触媒を用いてもよい。   Examples of the other curing agent B include, for example, dicyandiamide, an amine compound, a derivative of an amine compound, a hydrazide compound, an acid anhydride, a phenol compound, an active ester compound, a thermal latent cationic polymerization catalyst, a photolatent cationic polymerization initiator, or Examples include cyanate ester resins. These derivatives may be used as the curing agent B. As for the hardening | curing agent B, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together. A curing catalyst such as acetylacetone iron may be used together with these curing agents.

上記フェノール化合物としては、例えば、フェノールノボラック、o−クレゾールノボラック、p−クレゾールノボラック、t−ブチルフェノールノボラック、ジシクロペンタジエンクレゾール、フェノールアラルキル樹脂、α−ナフトールアラルキル樹脂、β−ナフトールアラルキル樹脂又はアミノトリアジンノボラック樹脂等が挙げられる。フェノール化合物として、これらの誘導体を用いてもよい。フェノール化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the phenol compound include phenol novolak, o-cresol novolak, p-cresol novolak, t-butylphenol novolak, dicyclopentadiene cresol, phenol aralkyl resin, α-naphthol aralkyl resin, β-naphthol aralkyl resin or aminotriazine novolak. Examples thereof include resins. These derivatives may be used as the phenol compound. As for a phenol compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化剤Bとして上記フェノール化合物が好適に用いられる。上記フェノール化合物の使用により、硬化体の耐熱性及び寸法安定性を高めることができ、さらに硬化体の吸水性を低くすることができる。さらに、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さをより一層小さくすることができる。具体的には、硬化体の表面の算術平均粗さRa及び十点平均粗さRzをより一層小さくすることができる。   The phenol compound is preferably used as the curing agent B. By using the phenol compound, the heat resistance and dimensional stability of the cured body can be increased, and the water absorption of the cured body can be lowered. Furthermore, the surface roughness of the roughened cured body can be further reduced. Specifically, the arithmetic average roughness Ra and the ten-point average roughness Rz on the surface of the cured body can be further reduced.

上記硬化剤Bとして、下記式(1)、下記式(2)及び下記式(3)の内のいずれかで表されるフェノール化合物がより好適に用いられる。この好ましい硬化剤Bの使用により、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さをさらに一層小さくすることができる。   As the curing agent B, a phenol compound represented by any one of the following formula (1), the following formula (2), and the following formula (3) is more preferably used. By using this preferable curing agent B, the surface roughness of the surface of the roughened cured body can be further reduced.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

上記式(1)中、R1はメチル基又はエチル基を示し、R2は水素又は炭化水素基を示し、nは2〜4の整数を示す。   In said formula (1), R1 shows a methyl group or an ethyl group, R2 shows hydrogen or a hydrocarbon group, n shows the integer of 2-4.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

上記式(2)中、mは0〜5の整数を示す。   In said formula (2), m shows the integer of 0-5.

Figure 2010229227
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上記式(3)中、R3は下記式(4a)又は下記式(4b)で表される基を示し、R4は下記式(5a)、下記式(5b)又は下記式(5c)で表される基を示し、R5は下記式(6a)又は下記式(6b)で表される基を示し、R6は水素又は炭素数1〜20の有機基を示し、pは1〜6の整数を示し、qは1〜6の整数を示し、rは1〜11の整数を示す。   In the above formula (3), R3 represents a group represented by the following formula (4a) or the following formula (4b), and R4 is represented by the following formula (5a), the following formula (5b) or the following formula (5c). R5 represents a group represented by the following formula (6a) or the following formula (6b), R6 represents hydrogen or an organic group having 1 to 20 carbon atoms, and p represents an integer of 1 to 6. , Q represents an integer of 1 to 6, and r represents an integer of 1 to 11.

Figure 2010229227
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Figure 2010229227
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Figure 2010229227
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なかでも、上記式(3)で表されるフェノール化合物であって、上記式(3)中のR4が上記式(5c)で表される基である、ビフェニル骨格を有するフェノール化合物が好ましい。この好ましい硬化剤の使用により、硬化体の電気特性及び耐熱性をより一層高くすることができ、かつ、線膨張率及び吸水性をより一層低くすることができる。さらに、熱履歴が与えられた場合の硬化体の寸法安定性をより一層高めることができる。   Especially, it is a phenol compound represented by the said Formula (3), Comprising: R4 in the said Formula (3) is a group represented by the said Formula (5c), and the phenol compound which has a biphenyl skeleton is preferable. By using this preferable curing agent, the electrical properties and heat resistance of the cured product can be further increased, and the linear expansion coefficient and water absorption can be further decreased. Furthermore, the dimensional stability of the cured body when a thermal history is given can be further enhanced.

上記硬化剤は、下記式(7)で示される構造を有するフェノール化合物であることが特に好ましい。この場合には、硬化体の電気特性及び耐熱性をより一層高くすることができる。さらに、熱履歴が与えられた場合の硬化体の寸法安定性をさらに一層高めることができる。   The curing agent is particularly preferably a phenol compound having a structure represented by the following formula (7). In this case, the electrical characteristics and heat resistance of the cured body can be further enhanced. Furthermore, the dimensional stability of the cured body when a thermal history is given can be further enhanced.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

上記式(7)中、sは1〜11の整数を示す。   In said formula (7), s shows the integer of 1-11.

上記活性エステル化合物としては、例えば、芳香族多価エステル化合物等が挙げられる。活性エステル化合物の使用により、誘電率及び誘電正接に優れた硬化体を得ることができる。上記活性エステル化合物の具体例は、例えば、特開2002−12650号公報に開示されている。   As said active ester compound, an aromatic polyvalent ester compound etc. are mentioned, for example. By using the active ester compound, a cured product excellent in dielectric constant and dielectric loss tangent can be obtained. Specific examples of the active ester compound are disclosed in, for example, JP-A No. 2002-12650.

上記活性エステル化合物の市販品としては、例えば、大日本インキ化学工業社製の商品名「EPICLON EXB−9460S」等が挙げられる。   As a commercial item of the said active ester compound, the brand name "EPICLON EXB-9460S" by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. etc. are mentioned, for example.

上記シアネートエステル樹脂として、例えばノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂及び一部をトリアジン化したプレポリマーなどを用いることができる。シアネートエステル樹脂の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができる。   As the cyanate ester resin, for example, a novolak-type cyanate ester resin, a bisphenol-type cyanate ester resin, and a prepolymer partially triazine-modified can be used. By using the cyanate ester resin, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced.

上記他の硬化剤Bは、フェノール化合物又は活性エステル化合物であることが好ましい。活性エステル化合物の使用により、誘電率及び誘電正接により一層優れた硬化体を得ることができる。活性エステル化合物は、芳香族多価エステル化合物であることが好ましい。芳香族多価エステル化合物の使用により、誘電率及び誘電正接にさらに一層優れた硬化体を得ることができる。   The other curing agent B is preferably a phenol compound or an active ester compound. By using the active ester compound, it is possible to obtain a cured product that is more excellent in dielectric constant and dielectric loss tangent. The active ester compound is preferably an aromatic polyvalent ester compound. By using the aromatic polyvalent ester compound, it is possible to obtain a cured product that is further excellent in dielectric constant and dielectric loss tangent.

上記他の硬化剤Bは、ナフタレン骨格を有するフェノール化合物、ジシクロペンタジエン骨格を有するフェノール化合物及びビフェニル骨格を有するフェノール化合物からなる群から選択された少なくとも1種であることが特に好ましい。これらの好ましい硬化剤Bを上記硬化剤Aと併用した場合には、エポキシ樹脂組成物を反応させた後に粗化処理する際に、粗化処理により樹脂成分が悪影響をより一層受け難い。具体的には、上記粗化処理の際に、得られる硬化体の表面が粗くなりすぎることなく、シリカを選択的に脱離させて、微細な孔を形成できる。このため、硬化体の表面に、表面粗さが非常に小さい、微細な凹凸を形成できる。さらに、硬化体と金属層とのピール強度を高くすることができる。なかでも、ビフェニル骨格を有するフェノール化合物が好ましい。   The other curing agent B is particularly preferably at least one selected from the group consisting of a phenol compound having a naphthalene skeleton, a phenol compound having a dicyclopentadiene skeleton, and a phenol compound having a biphenyl skeleton. When these preferable curing agents B are used in combination with the curing agent A, the resin component is more unlikely to be adversely affected by the roughening treatment when the roughening treatment is performed after reacting the epoxy resin composition. Specifically, during the roughening treatment, fine pores can be formed by selectively desorbing silica without the surface of the resulting cured body becoming too rough. For this reason, the fine unevenness | corrugation whose surface roughness is very small can be formed in the surface of a hardening body. Furthermore, the peel strength between the cured body and the metal layer can be increased. Of these, a phenol compound having a biphenyl skeleton is preferable.

ビフェニル骨格を有するフェノール化合物又はナフタレン骨格を有するフェノール化合物を用いると、硬化体の電気特性、特に硬化体の誘電正接が高くなる。また、硬化体の強度が高くなり、かつ線膨張率がより一層低くなる。   When a phenolic compound having a biphenyl skeleton or a phenolic compound having a naphthalene skeleton is used, the electrical characteristics of the cured body, particularly the dielectric loss tangent of the cured body is increased. Further, the strength of the cured body is increased and the linear expansion coefficient is further decreased.

(硬化促進剤)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物は硬化促進剤を含むことが好ましい。本発明では、硬化促進剤は任意成分である。硬化促進剤は特に限定されない。
(Curing accelerator)
The epoxy resin composition according to the present invention preferably contains a curing accelerator. In the present invention, the curing accelerator is an optional component. The curing accelerator is not particularly limited.

上記硬化促進剤は、イミダゾール系硬化促進剤であることが好ましい。該イミダゾール系硬化促進剤は、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾールからなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。   The curing accelerator is preferably an imidazole curing accelerator. The imidazole curing accelerator is 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecyl. Imidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2′- Methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 -[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-tria 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct It is preferably at least one selected from the group consisting of 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole.

また、上記硬化促進剤としては、トリフェノルホスフィンなどのホスフィン化合物、DBU、DBN、DBUのフェノール塩、DBNのフェノール塩、オクチル酸塩、p−トルエンスルホン酸塩、ギ酸塩、オルソフタル酸塩又はフェノールノボラック樹脂塩等が挙げられる。   Moreover, as said hardening accelerator, phosphine compounds, such as a triphenyl phosphine, DBU, DBN, the phenol salt of DBU, the phenol salt of DBN, octylate, p-toluenesulfonate, formate, orthophthalate, or phenol A novolak resin salt is exemplified.

本発明では、硬化促進剤を添加しなくても、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さを小さくすることができる。ただし、硬化促進剤を添加しない場合には、エポキシ樹脂組成物の硬化が十分に進行せずに硬化体のTgが低くなったり、硬化体の強度が充分に高くならなかったりすることがある。従って、エポキシ樹脂組成物は、硬化促進剤を含有することがより好ましい。   In the present invention, the surface roughness of the surface of the roughened cured body can be reduced without adding a curing accelerator. However, when the curing accelerator is not added, the curing of the epoxy resin composition does not proceed sufficiently, and the Tg of the cured body may be lowered, or the strength of the cured body may not be sufficiently increased. Therefore, it is more preferable that the epoxy resin composition contains a curing accelerator.

上記エポキシ樹脂100重量部に対して、上記硬化促進剤の含有量は0.01〜3重量部の範囲内であることが好ましい。上記エポキシ樹脂100重量部に対する上記硬化促進剤の含有量のより好ましい下限は0.5重量部であり、より好ましい上限は2.0重量部である。硬化促進剤の含有量が少なすぎると、エポキシ樹脂組成物が充分に硬化しないことがある。硬化促進剤の含有量が多すぎると、エポキシ樹脂を硬化させる効果が飽和することがある。   The content of the curing accelerator is preferably in the range of 0.01 to 3 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin. The minimum with more preferable content of the said hardening accelerator with respect to 100 weight part of said epoxy resins is 0.5 weight part, and a more preferable upper limit is 2.0 weight part. When there is too little content of a hardening accelerator, an epoxy resin composition may not fully harden | cure. When there is too much content of a hardening accelerator, the effect of hardening an epoxy resin may be saturated.

(シリカ)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物に含まれているシリカは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(silica)
As for the silica contained in the epoxy resin composition concerning this invention, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記シリカは球状シリカであることが好ましい。球状シリカの場合には、粗化処理により球状シリカが容易に脱離するので、粗化処理された硬化体の表面により一層微細な粗面を形成できる。   The silica is preferably spherical silica. In the case of spherical silica, since the spherical silica is easily detached by the roughening treatment, a finer rough surface can be formed on the surface of the roughened cured body.

上記球状シリカの平均粒子径は、1μm以下であることが好ましい。平均粒子径が1μm以下であることにより、粗化処理された硬化体の表面に、さらに一層微細な粗面を形成できる。また、粗化処理された硬化体の表面に平均径1μm以下程度の大きさの微細な孔を形成できる。上記球状シリカの平均粒子径は、0.6μm以下であることがさらに好ましい。上記球状シリカの平均粒子径は、100nm以上であることが好ましい。   The average particle diameter of the spherical silica is preferably 1 μm or less. When the average particle diameter is 1 μm or less, an even finer rough surface can be formed on the surface of the roughened cured body. In addition, fine holes having an average diameter of about 1 μm or less can be formed on the surface of the roughened cured body. The average particle diameter of the spherical silica is more preferably 0.6 μm or less. The average particle diameter of the spherical silica is preferably 100 nm or more.

上記球状シリカの平均粒子径が1μmより大きいと、エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた後に粗化処理する際に、球状シリカが脱離し難くなる。また、硬化体の表面に金属層を形成するために、めっき処理した場合に、脱離しなかった球状シリカと樹脂成分との空隙に、めっきが潜り込むことがある。このため、硬化体の表面に金属層が回路として形成されている場合に、回路に不具合が生じるおそれがある。   When the average particle diameter of the spherical silica is larger than 1 μm, the spherical silica is difficult to be detached during the roughening treatment after pre-curing the epoxy resin composition. In addition, when a plating process is performed to form a metal layer on the surface of the cured body, the plating may sink into the gap between the spherical silica that has not been detached and the resin component. For this reason, when the metal layer is formed in the surface of the hardening body as a circuit, there exists a possibility that a malfunction may arise in a circuit.

ナフタレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ビフェニル骨格及びアミノトリアジン骨格の内のいずれかの骨格を有するフェノール化合物、又は芳香族多価エステル化合物を硬化剤として用いた場合には、粗化処理により球状シリカの周辺の樹脂成分は削れにくい。この場合には、球状シリカの平均粒子径が1μmよりも大きいと、球状シリカがより一層脱離し難くなるので、硬化体と金属層とのピール強度が低くなりやすい。   When a phenol compound or aromatic polyvalent ester compound having any one of a naphthalene skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, a biphenyl skeleton, and an aminotriazine skeleton is used as a curing agent, a roughening treatment can be performed on the spherical silica. The surrounding resin component is hard to be scraped off. In this case, when the average particle diameter of the spherical silica is larger than 1 μm, the spherical silica is more difficult to be detached, and the peel strength between the cured body and the metal layer is likely to be lowered.

上記球状シリカの平均粒子径は、レーザー回折法により測定される。上記球状シリカの平均粒子径として、50%となるメディアン径(d50)の値を採用できる。上記平均粒子径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定できる。   The average particle diameter of the spherical silica is measured by a laser diffraction method. A median diameter (d50) value of 50% can be adopted as the average particle diameter of the spherical silica. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

平均粒子径の異なる複数種類の球状シリカを用いてもよい。細密充填を考慮して、粒度分布の異なる複数種類の球状シリカを用いることが好ましい。この場合には、例えば部品内蔵基板のような流動性の要求される用途に、エポキシ樹脂組成物を好適に使用できる。また、平均粒子径が数10nmの球状シリカの使用により、エポキシ樹脂組成物の粘度を高くしたり、チクソトロピー性を制御したりすることができる。   A plurality of types of spherical silica having different average particle diameters may be used. In consideration of fine packing, it is preferable to use a plurality of types of spherical silica having different particle size distributions. In this case, for example, the epoxy resin composition can be suitably used for applications requiring fluidity such as a component-embedded substrate. Further, by using spherical silica having an average particle diameter of several tens of nm, the viscosity of the epoxy resin composition can be increased and thixotropic properties can be controlled.

球状シリカの最大粒子径は、5μm以下であることが好ましい。最大粒子径が5μm以下であると、エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた後に粗化処理する際に、球状シリカがより一層脱離しやすくなる。さらに、硬化体の表面に比較的大きな孔が生じ難く、均一かつ微細な凹凸を形成できる。   The maximum particle diameter of the spherical silica is preferably 5 μm or less. When the maximum particle size is 5 μm or less, the spherical silica is more easily detached during the roughening treatment after the epoxy resin composition is precured. Furthermore, relatively large holes are hardly formed on the surface of the cured body, and uniform and fine irregularities can be formed.

ナフタレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ビフェニル骨格及びアミノトリアジン骨格の内のいずれかの骨格を有するフェノール化合物、又は芳香族多価エステル化合物を硬化剤として用いた場合には、上記エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた予備硬化物の表面から上記予備硬化物内に粗化液が浸透し難く、球状シリカが比較的脱離し難い。しかし、最大粒子径5μm以下の球状シリカの使用により、球状シリカを無理なく脱離させることができる。硬化体の表面にL/Sが15μm/15μm以下の微細配線を形成する場合に、絶縁信頼性を高めることができるので、球状シリカの最大粒子径は2μm以下であることが好ましい。なお、「L/S」とは、配線の幅方向の寸法(L)/配線が形成されていない部分の幅方向の寸法(S)を示す。   When a phenol compound or aromatic polyvalent ester compound having any one of a naphthalene skeleton, a dicyclopentadiene skeleton, a biphenyl skeleton, and an aminotriazine skeleton is used as a curing agent, the epoxy resin composition is preliminarily used. The roughening liquid hardly penetrates into the precured product from the surface of the cured precured product, and the spherical silica is relatively difficult to desorb. However, the use of spherical silica having a maximum particle diameter of 5 μm or less makes it possible to remove spherical silica without difficulty. When forming fine wiring with L / S of 15 μm / 15 μm or less on the surface of the cured body, it is possible to improve the insulation reliability. Therefore, the maximum particle diameter of the spherical silica is preferably 2 μm or less. Note that “L / S” indicates the dimension (L) in the width direction of the wiring / the dimension (S) in the width direction of the portion where the wiring is not formed.

エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた後に粗化処理する際に、球状シリカがより一層脱離しやすいため、球状シリカは真球状であることがより好ましい。なお、「球状」とは、例えば、アスペクト比が1〜2の範囲内にあることを意味する。   When the roughening treatment is performed after pre-curing the epoxy resin composition, the spherical silica is more preferably spherical because the spherical silica is more easily detached. “Spherical” means, for example, that the aspect ratio is in the range of 1 to 2.

上記シリカの比表面積は、3m/g以上であることが好ましい。比表面積が3m/g未満であると、硬化体の機械的特性が低下するおそれがある。さらに、硬化体と金属層とのピール強度が低下することがある。上記比表面積は、BET法により求めることができる。 The specific surface area of the silica is preferably 3 m 2 / g or more. There exists a possibility that the mechanical characteristic of a hardening body may fall that a specific surface area is less than 3 m < 2 > / g. Furthermore, the peel strength between the cured body and the metal layer may be reduced. The specific surface area can be determined by the BET method.

上記シリカとしては、天然シリカ原料を粉砕して得られる結晶性シリカ、天然シリカ原料を火炎溶融し、粉砕して得られる破砕溶融シリカ、天然シリカ原料を火炎溶融、粉砕及び火炎溶融して得られる球状溶融シリカ、フュームドシリカ(アエロジル)、又はゾルゲル法シリカなどの合成シリカ等が挙げられる。   As the silica, crystalline silica obtained by pulverizing natural silica raw material, crushed fused silica obtained by flame melting and pulverizing natural silica raw material, and natural silica raw material obtained by flame melting, pulverizing and flame melting Examples include spherical fused silica, fumed silica (Aerosil), and synthetic silica such as sol-gel silica.

純度が高いことから、溶融シリカが好適に用いられる。シリカは、溶剤に分散された状態でシリカスラリーとして用いられてよい。シリカスラリーの使用により、エポキシ樹脂組成物の製造の際に、作業性及び生産性を高めることができる。また、シリカは、シランカップリング剤により表面処理されていてもよい。   Since the purity is high, fused silica is preferably used. Silica may be used as a silica slurry in a state dispersed in a solvent. By using the silica slurry, workability and productivity can be improved during the production of the epoxy resin composition. Silica may be surface-treated with a silane coupling agent.

上記シランカップリング剤として、一般的なシラン化合物を使用できる。上記シランカップリング剤は、エポキシシラン、アミノシラン、イソシアネートシラン、アクリロキシシラン、メタクリロキシシラン、ビニルシラン、スチリルシラン、ウレイドシラン、スルフィドシラン及びイミダゾールシランからなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。また、シラザンのようなアルコキシシランにより、シリカが表面処理されていてもよい。シランカップリング剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   As the silane coupling agent, a general silane compound can be used. The silane coupling agent may be at least one selected from the group consisting of epoxy silane, amino silane, isocyanate silane, acryloxy silane, methacryloxy silane, vinyl silane, styryl silane, ureido silane, sulfide silane and imidazole silane. preferable. Further, the silica may be surface-treated with an alkoxysilane such as silazane. As for a silane coupling agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記シリカをシランカップリング剤により表面処理する方法としては、例えば、以下の第1〜第3の方法が挙げられる。   Examples of the method for surface-treating the silica with a silane coupling agent include the following first to third methods.

第1の方法としては、乾式法が挙げられる。乾式法としては、例えば、シリカにシランカップリング剤を直接付着させる方法等が挙げられる。乾式法では、ミキサーにシリカを仕込んで、攪拌しながらシランカップリング剤のアルコール溶液又は水溶液を滴下又は噴霧した後、さらに攪拌し、ふるいにより分級する。その後、加熱によりシランカップリング剤とシリカとを脱水縮合させる。   The first method includes a dry method. Examples of the dry method include a method of directly attaching a silane coupling agent to silica. In the dry method, silica is charged into a mixer, and an alcohol solution or an aqueous solution of a silane coupling agent is added dropwise or sprayed with stirring, followed by further stirring and classification with a sieve. Thereafter, the silane coupling agent and silica are dehydrated and condensed by heating.

第2の方法としては、湿式法が挙げられる。湿式法では、シリカを含むシリカスラリーを攪拌しながらシランカップリング剤を添加し、攪拌した後、濾過、乾燥及びふるいによる分級を行う。次に、加熱によりシランカップリング剤とシリカとを脱水縮合させる。   The second method includes a wet method. In the wet method, a silane coupling agent is added while stirring a silica slurry containing silica, and after stirring, classification is performed by filtration, drying, and sieving. Next, the silane coupling agent and silica are dehydrated and condensed by heating.

第3の方法としては、シリカを含むシリカスラリーを攪拌しながら、シランカップリング剤を添加した後、加熱還流処理により脱水縮合を進行させる方法が挙げられる。   As a third method, there is a method in which dehydration condensation is performed by heating and refluxing after adding a silane coupling agent while stirring a silica slurry containing silica.

シランカップリング剤により表面処理されているシリカの使用により、硬化体のリフロー耐性を高めることができる。また、硬化体の吸水性を低くすることができ、かつ絶縁信頼性を高くすることができる。   By using silica that has been surface-treated with a silane coupling agent, the reflow resistance of the cured product can be increased. Further, the water absorption of the cured body can be lowered and the insulation reliability can be increased.

シランカップリング剤はシリカの表面処理により添加されるだけではなく、エポキシ樹脂組成物にシランカップリング剤を別途添加することも可能である。本発明のエポキシ樹脂組成物は、別途添加されたシランカップリング剤を含んでいてもよい。特にイミダゾールシランカップリング剤を更に添加することで、粗化処理された硬化体の表面粗さを小さくすることが可能である。添加するシランカップリング剤の量は、エポキシ樹脂組成物100重量%中、5重量部以下が望ましい。5重量部以上を超えると、エポキシ樹脂組成物の粘度が変化したり、硬化物の物性に悪影響があったりする。   The silane coupling agent is not only added by surface treatment of silica, but a silane coupling agent can be added separately to the epoxy resin composition. The epoxy resin composition of the present invention may contain a silane coupling agent added separately. In particular, it is possible to reduce the surface roughness of the roughened cured body by further adding an imidazole silane coupling agent. The amount of the silane coupling agent to be added is desirably 5 parts by weight or less in 100% by weight of the epoxy resin composition. If it exceeds 5 parts by weight, the viscosity of the epoxy resin composition may change, or the physical properties of the cured product may be adversely affected.

上記エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、上記シリカの含有量は20〜60重量%の範囲内であることが好ましい。上記エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中の上記シリカの含有量のより好ましい上限は50重量%である。シリカの含有量が少なすぎると、エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた後に粗化処理した際に、シリカの脱離により形成される孔の総表面積が小さくなる。このため、硬化体の表面に金属層が形成された場合に、硬化体と金属層とのピール強度を充分に高めることができないことがある。シリカの含有量が多いほど、硬化体の線膨張率が低くなる傾向にある。ただし、シリカの量が多すぎると、硬化体が脆くなりやすく、かつ粗化処理された硬化体の表面の表面粗さが大きくなりやすい。また、上記エポキシ樹脂組成物を用いて積層板及び多層積層板を作製した場合に、ドリルやレーザーを用いてビア開け加工を行う際の加工性が悪化する。   It is preferable that content of the said silica exists in the range of 20 to 60 weight% in 100 weight% of solid content of the said epoxy resin composition. The upper limit with more preferable content of the said silica in 100 weight% of solid content of the said epoxy resin composition is 50 weight%. If the silica content is too small, the total surface area of the pores formed by the desorption of silica is reduced when the epoxy resin composition is precured and then roughened. For this reason, when a metal layer is formed on the surface of the cured body, the peel strength between the cured body and the metal layer may not be sufficiently increased. The greater the silica content, the lower the linear expansion coefficient of the cured product. However, if the amount of silica is too large, the cured product tends to become brittle and the surface roughness of the roughened cured product tends to increase. Moreover, when a laminated board and a multilayer laminated board are produced using the said epoxy resin composition, the workability at the time of performing a via opening process using a drill or a laser deteriorates.

(マレイミド化合物)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物に含まれているマレイミド化合物は、少なくとも2つのマレイミド骨格を有する。このマレイミド化合物の使用により、硬化体の線膨張率を顕著に低くすることができる。さらに、硬化体のガラス転移温度を高くすることができる。これは、マレイミド化合物に由来する剛直な骨格が硬化体中に導入されるため、硬化体中の分子鎖のミクロブラウン運動が抑制されるためであると考えられる。本発明に係るエポキシ樹脂組成物を用いて硬化体や積層板を形成することにより、硬化体又は積層板の耐熱衝撃性が大幅に高くなるという効果を期待できる。
(Maleimide compound)
The maleimide compound contained in the epoxy resin composition according to the present invention has at least two maleimide skeletons. By using this maleimide compound, the linear expansion coefficient of the cured product can be remarkably lowered. Furthermore, the glass transition temperature of the cured product can be increased. This is presumably because the rigid skeleton derived from the maleimide compound is introduced into the cured body, and thus the micro-Brownian motion of the molecular chain in the cured body is suppressed. By forming a cured body or a laminate using the epoxy resin composition according to the present invention, an effect that the thermal shock resistance of the cured body or the laminate is significantly increased can be expected.

上記マレイミド化合物は特に限定されない。マレイミド化合物は、N,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェニレンジマレイミド、1,2−ビス(マレイミド)エタン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン及びこれらのオリゴマー、並びにマレイミド骨格含有ジアミン縮合物からなる群から選択された少なくとも1種であることが好ましい。これらの好ましいマレイミド化合物の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができ、かつ硬化体のガラス転移温度をより一層高くすることができる。上記オリゴマーは、上述したマレイミド化合物の内のモノマーであるマレイミド化合物を縮合させることにより得られたオリゴマーである。マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The maleimide compound is not particularly limited. Maleimide compounds include N, N′-4,4-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-1,3-phenylene dimaleimide, N, N′-1,4-phenylene dimaleimide, and 1,2-bis (maleimide). ) Ethane, 1,6-bismaleimide hexane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane and oligomers thereof, and at least one selected from the group consisting of maleimide skeleton-containing diamine condensates are preferable. By using these preferable maleimide compounds, the linear expansion coefficient of the cured product can be further lowered, and the glass transition temperature of the cured product can be further increased. The said oligomer is an oligomer obtained by condensing the maleimide compound which is a monomer in the maleimide compound mentioned above. As for a maleimide compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

なかでも、上記マレイミド化合物は、ポリフェニルメタンマレイミド及びビスマレイミドオリゴマーの内の少なくとも一方であることがより好ましい。上記ビスマレイミドオリゴマーは、フェニルメタンビスマレイミドと、4,4−ジアミノジフェニルメタンとの縮合により得られたオリゴマーであることが好ましい。これらの好ましいマレイミド化合物の使用により、硬化体の線膨張率をさらに一層低くすることができ、かつ硬化体のガラス転移温度をさらに一層高くすることができる。   Among these, the maleimide compound is more preferably at least one of polyphenylmethane maleimide and bismaleimide oligomer. The bismaleimide oligomer is preferably an oligomer obtained by condensation of phenylmethane bismaleimide and 4,4-diaminodiphenylmethane. By using these preferable maleimide compounds, the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced, and the glass transition temperature of the cured product can be further increased.

上記マレイミド化合物の市販品としては、ポリフェニルメタンマレイミド(大和化成社製、商品名「BMI−2300」)及びビスマレイミドオリゴマー(大和化成社製、商品名「DAIMAID−100H」)等が挙げられる。   Examples of commercially available maleimide compounds include polyphenylmethane maleimide (manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd., trade name “BMI-2300”) and bismaleimide oligomer (manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd., trade name “DAIMAID-100H”).

上記大和化成社製のBMI−2300は低分子量のオリゴマーである。上記大和化成社製のDAIMAID−100Hは、ジアミノジフェニルメタンをアミン系硬化剤として使用した縮合物であり、分子量が高い。上記BMI−2300にかえて、上記DAIMAID−100Hを用いた場合には、硬化体の破断強度及び破断点伸度を向上させることができる。ただし、上記BMI−2300を用いた場合には、上記DAIMAID−100Hを用いた場合と比較して、硬化体の線膨張率が低くなりやすい。   BMI-2300 manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd. is a low molecular weight oligomer. DAIMAID-100H manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd. is a condensate using diaminodiphenylmethane as an amine curing agent, and has a high molecular weight. When the DAIMAID-100H is used instead of the BMI-2300, the breaking strength and elongation at break of the cured product can be improved. However, when the BMI-2300 is used, the linear expansion coefficient of the cured body tends to be lower than that when the DAIMAID-100H is used.

また、上記マレイミド化合物は、下記式(11)で表されるマレイミド化合物であることが好ましい。下記式(11)で表されるマレイミド化合物の使用により、硬化体の線膨張率をより一層低くすることができる。   Moreover, it is preferable that the said maleimide compound is a maleimide compound represented by following formula (11). By using the maleimide compound represented by the following formula (11), the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

前記式(11)中、R11〜R13は、水素原子、ハロゲン原子又は有機基を示し、xは0〜1の範囲内の数を表す。   In said formula (11), R11-R13 shows a hydrogen atom, a halogen atom, or an organic group, and x represents the number within the range of 0-1.

硬化体の線膨張率をより一層低くすることができるので、上記式(11)中のR11〜R13は水素原子であることが好ましい。すなわち、上記式(11)で表されるマレイミド化合物は、下記式(11A)で表されるマレイミド化合物であることが好ましい。   Since the linear expansion coefficient of the cured product can be further reduced, R11 to R13 in the above formula (11) are preferably hydrogen atoms. That is, the maleimide compound represented by the above formula (11) is preferably a maleimide compound represented by the following formula (11A).

Figure 2010229227
Figure 2010229227

前記式(11A)中、xは0〜1の範囲内の整数を表す。   In the formula (11A), x represents an integer in the range of 0-1.

上記マレイミド化合物は、上記式(11)又は式(11A)で表されるマレイミド化合物の混合物であって、該混合物の上記式(11)及び式(11A)中のxの平均値が0.1〜0.5の範囲内にあることが好ましい。xの平均値が大きいほど、上記混合物の溶解性は高い。上記式(11)及び式(11A)中のxの平均値が0.1〜0.5の範囲内にある混合物の使用により、線膨張をより一層低くすることができ、かつ溶解性を高めることができる。上記式(11)及び式(11A)中のxの平均値が0.2〜0.3の範囲内にある混合物の使用により、線膨張などの温度による寸法変化をより一層小さくすることができる。   The maleimide compound is a mixture of maleimide compounds represented by the formula (11) or formula (11A), and the average value of x in the formula (11) and formula (11A) of the mixture is 0.1. It is preferable that it exists in the range of -0.5. The greater the average value of x, the higher the solubility of the mixture. By using a mixture in which the average value of x in the above formula (11) and formula (11A) is in the range of 0.1 to 0.5, the linear expansion can be further reduced and the solubility is increased. be able to. By using a mixture in which the average value of x in the above formula (11) and formula (11A) is in the range of 0.2 to 0.3, the dimensional change due to temperature such as linear expansion can be further reduced. .

上記エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は2〜40重量%の範囲内であることが好ましい。上記エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中の上記マレイミド化合物の含有量のより好ましい下限は10重量%であり、より好ましい上限は30重量%である。マレイミド化合物の含有量が少なすぎると、硬化体の線膨張率を充分に低くすることができなかったり、硬化体のガラス転移温度を充分に高くすることができなかったりする。上記マレイミド化合物の含有量が多いほど、硬化体に剛直な骨格が多く導入されるため、硬化体の線膨張率が低くなり、かつ硬化体のガラス転移温度が高くなる傾向にある。しかし、マレイミド化合物の含有量が多すぎると、硬化体の線膨張率を低下させる効果及び硬化体のガラス転移温度を向上させる効果が飽和することがある。さらに、粗化処理された硬化体の表面の表面粗さが大きくなったり、破断強度が大きく低下したりすることがある。   The content of the maleimide compound in the solid content of 100% by weight of the epoxy resin composition is preferably in the range of 2 to 40% by weight. The minimum with more preferable content of the said maleimide compound in solid content of 100 weight% of the said epoxy resin composition is 10 weight%, and a more preferable upper limit is 30 weight%. When there is too little content of a maleimide compound, the linear expansion coefficient of a hardening body cannot be made low enough, or the glass transition temperature of a hardening body cannot be made high enough. As the content of the maleimide compound is larger, more rigid skeleton is introduced into the cured body, so that the linear expansion coefficient of the cured body is lowered and the glass transition temperature of the cured body tends to be higher. However, when there is too much content of a maleimide compound, the effect of reducing the linear expansion coefficient of a hardening body and the effect of improving the glass transition temperature of a hardening body may be saturated. Furthermore, the surface roughness of the roughened cured body may increase, or the breaking strength may decrease significantly.

(フェノキシ樹脂)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、フェノキシ樹脂を含むことが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、硬化体の引張強度を高くすることができ、例えば破断点伸度及び破断強度を高くすることができる。これは、フェノキシ樹脂が無機成分と有機成分とを繋ぐ役割を果たすためであると考えられる。
(Phenoxy resin)
The epoxy resin composition according to the present invention preferably contains a phenoxy resin. By using phenoxy resin, the tensile strength of the cured product can be increased, for example, the elongation at break and the strength at break can be increased. This is considered to be because the phenoxy resin plays a role of connecting the inorganic component and the organic component.

上記フェノキシ樹脂とは、具体的には、例えばエピハロヒドリンと2価フェノール化合物とを反応させて得られる樹脂、又は2価のエポキシ樹脂と2価のフェノール化合物とを反応させて得られる樹脂である。   Specifically, the phenoxy resin is, for example, a resin obtained by reacting an epihalohydrin with a divalent phenol compound, or a resin obtained by reacting a divalent epoxy resin with a divalent phenol compound.

上記エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、上記フェノキシ樹脂の含有量は1〜10重量%の範囲内であることが好ましい。フェノキシ樹脂の含有量がこの好ましい範囲内にある場合には、硬化体の引張強度を高くすることができ、例えば破断点伸度及び破断強度を高くすることができる。エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中のフェノキシ樹脂の含有量のより好ましい下限は3重量%であり、より好ましい上限は7重量%である。フェノキシ樹脂の含有量が少なすぎると、硬化体の破断強度を充分に高めることができないことがある。フェノキシ樹脂の含有量が多すぎると、硬化体の線膨張率が高くなりやすく、かつガラス転移温度が低下することがある。   The content of the phenoxy resin in the solid content of 100% by weight of the epoxy resin composition is preferably in the range of 1 to 10% by weight. When the content of the phenoxy resin is within this preferable range, the tensile strength of the cured product can be increased, for example, the elongation at break and the strength at break can be increased. The more preferable lower limit of the content of the phenoxy resin in the solid content of 100% by weight of the epoxy resin composition is 3% by weight, and the more preferable upper limit is 7% by weight. When there is too little content of a phenoxy resin, the breaking strength of a hardening body may not fully be raised. When there is too much content of a phenoxy resin, the linear expansion coefficient of a hardening body will become high easily and glass transition temperature may fall.

(添加され得る他の成分)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、有機化層状珪酸塩を含んでいてもよい。
(Other ingredients that can be added)
The epoxy resin composition according to the present invention may contain an organic layered silicate.

有機化層状珪酸塩を含むエポキシ樹脂組成物では、シリカの周囲に、有機化層状珪酸塩が存在する。このため、エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた予備硬化物を膨潤処理及び粗化処理する際に、上記予備硬化物の表面に存在するシリカがより一層脱離しやすくなる。   In the epoxy resin composition containing the organic layered silicate, the organic layered silicate exists around the silica. For this reason, when the precured material obtained by precuring the epoxy resin composition is subjected to swelling treatment and roughening treatment, silica existing on the surface of the precured material is more easily detached.

上記有機化層状珪酸塩としては、例えば、スメクタイト系粘土鉱物、膨潤性マイカ、バーミキュライト又はハロイサイト等の層状珪酸塩が有機化処理された有機化層状珪酸塩が挙げられる。有機化層状珪酸塩は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the organic layered silicate include organic layered silicates obtained by organically treating layered silicates such as smectite clay minerals, swellable mica, vermiculite, and halloysite. As for the organic layered silicate, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記スメクタイト系粘土鉱物としては、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、バイデライト、スティブンサイト又はノントロナイト等が挙げられる。   Examples of the smectite clay mineral include montmorillonite, hectorite, saponite, beidellite, stevensite, and nontronite.

上記有機化層状珪酸塩として、モンモリロナイト、ヘクトライト及び膨潤性マイカからなる群より選択される少なくとも1種の層状珪酸塩が有機化処理された有機化層状珪酸塩が好適に用いられる。   As the organic layered silicate, an organic layered silicate obtained by organically treating at least one layered silicate selected from the group consisting of montmorillonite, hectorite and swellable mica is preferably used.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、上記エポキシ樹脂に加えて、必要に応じて、該エポキシ樹脂と共重合可能な樹脂を含んでいてもよい。上記共重合可能な樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種類以上が併用されてもよい。   The epoxy resin composition according to the present invention may contain a resin copolymerizable with the epoxy resin, if necessary, in addition to the epoxy resin. As the copolymerizable resin, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

上記共重合可能な樹脂は特に限定されない。上記共重合可能な樹脂としては、例えば、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂又はベンゾオキサジン樹脂等が挙げられる。   The copolymerizable resin is not particularly limited. Examples of the copolymerizable resin include thermosetting modified polyphenylene ether resin or benzoxazine resin.

上記熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、エポキシ基、イソシアネート基又はアミノ基などの官能基により、ポリフェニレンエーテル樹脂を変性させた樹脂等が挙げられる。エポキシ基によりポリフェニレンエーテル樹脂を変性させた硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂の市販品としては、例えば、三菱ガス化学社製の商品名「OPE−2Gly」等が挙げられる。   Specific examples of the thermosetting modified polyphenylene ether resin include resins obtained by modifying a polyphenylene ether resin with a functional group such as an epoxy group, an isocyanate group, or an amino group. Examples of commercially available curable modified polyphenylene ether resins obtained by modifying a polyphenylene ether resin with an epoxy group include trade name “OPE-2Gly” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company.

上記ベンゾオキサジン樹脂は特に限定されない。上記ベンゾオキサジン樹脂の具体例としては、メチル基、エチル基、フェニル基、ビフェニル基もしくはシクロヘキシル基などのアリール基を有する置換基がオキサジン環の窒素に結合された樹脂、又はメチレン基、エチレン基、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフタレン基もしくはシクロヘキシレン基などのアリーレン基骨格を有する置換基が2つのオキサジン環の窒素間に結合された樹脂等が挙げられる。ベンゾオキサジン樹脂とエポキシ樹脂との反応により、硬化体の耐熱性を高くしたり、吸水性及び線膨張率を低くしたりすることができる。   The benzoxazine resin is not particularly limited. Specific examples of the benzoxazine resin include a resin in which a substituent having an aryl group such as a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a biphenyl group, or a cyclohexyl group is bonded to nitrogen of the oxazine ring, or a methylene group, an ethylene group, Examples thereof include a resin in which a substituent having an arylene skeleton such as a phenylene group, a biphenylene group, a naphthalene group, or a cyclohexylene group is bonded between nitrogen atoms of two oxazine rings. By the reaction between the benzoxazine resin and the epoxy resin, the heat resistance of the cured product can be increased, and the water absorption and the linear expansion coefficient can be decreased.

なお、ベンゾオキサジンモノマーもしくはオリゴマー、又はベンゾオキサジンモノマーもしくはオリゴマーがオキサジン環の開環重合によって高分子量化された樹脂は、上記ベンゾオキサジン樹脂に含まれる。   A benzoxazine monomer or oligomer, or a resin in which a benzoxazine monomer or oligomer is polymerized by ring-opening polymerization of an oxazine ring is included in the benzoxazine resin.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、必要に応じて、添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、熱可塑性樹脂類、エポキシ樹脂以外の他の熱硬化性樹脂類、熱可塑性エラストマー類、架橋ゴム、オリゴマー類、無機化合物、造核剤、酸化防止剤、老化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、難燃助剤、帯電防止剤、防曇剤、充填剤、軟化剤、可塑剤又は着色剤等が挙げられる。添加剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The epoxy resin composition according to the present invention may contain an additive as necessary. Additives include thermoplastic resins, other thermosetting resins other than epoxy resins, thermoplastic elastomers, cross-linked rubbers, oligomers, inorganic compounds, nucleating agents, antioxidants, anti-aging agents, thermal stability Agents, light stabilizers, ultraviolet absorbers, lubricants, flame retardant aids, antistatic agents, antifogging agents, fillers, softeners, plasticizers or colorants. As for an additive, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記熱可塑性樹脂類の具体例としては、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリイミド樹脂又はポリエーテルイミド樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the thermoplastic resins include polysulfone resins, polyether sulfone resins, polyimide resins, and polyetherimide resins.

(エポキシ樹脂組成物)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物の製造方法は特に限定されない。エポキシ樹脂組成物の製造方法としては、例えば、エポキシ樹脂と、上記硬化剤Aと、シリカと、マレイミド化合物と、必要に応じて配合される成分とを、溶剤に添加した後、乾燥し、溶剤を除去する方法等が挙げられる。本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、溶剤を含んでいてもよい。本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、溶剤に溶解された状態で用いることができる。
(Epoxy resin composition)
The manufacturing method of the epoxy resin composition according to the present invention is not particularly limited. As a method for producing an epoxy resin composition, for example, an epoxy resin, the curing agent A, silica, a maleimide compound, and components to be blended as necessary are added to a solvent, and then dried. The method etc. which remove | eliminate are mentioned. The epoxy resin composition according to the present invention may contain a solvent. The epoxy resin composition according to the present invention can be used in a state dissolved in a solvent.

本発明に係るエポキシ樹脂組成物の用途は、特に限定されない。上記エポキシ樹脂組成物は、例えば、多層基板のコア層又はビルドアップ層等を形成する基板用材料、接着シート、積層板、樹脂付き銅箔、銅張積層板、TAB用テープ、プリント基板、プリプレグ又はワニス等に好適に用いられる。   The use of the epoxy resin composition according to the present invention is not particularly limited. The epoxy resin composition includes, for example, a substrate material for forming a core layer or a build-up layer of a multilayer substrate, an adhesive sheet, a laminate, a copper foil with resin, a copper clad laminate, a TAB tape, a printed board, and a prepreg. Or it is used suitably for a varnish etc.

また、本発明に係るエポキシ樹脂組成物の使用により、硬化体の表面に微細な孔を形成できる。このため、硬化体の表面に微細な配線を形成でき、かつ該配線における信号伝送速度を速くすることができる。従って、上記エポキシ樹脂組成物は、樹脂付き銅箔、銅張積層板、プリント基板、プリプレグ、接着シート又はTAB用テープなどの絶縁性を要求される用途に好適に用いられる。   Moreover, a fine hole can be formed in the surface of a hardening body by use of the epoxy resin composition which concerns on this invention. For this reason, fine wiring can be formed on the surface of the cured body, and the signal transmission speed in the wiring can be increased. Therefore, the said epoxy resin composition is used suitably for the use as which insulation is requested | required, such as copper foil with resin, a copper clad laminated board, a printed circuit board, a prepreg, an adhesive sheet, or a TAB tape.

硬化体の表面に導電性めっき層を形成した後に回路を形成するアディティブ法、又はセミアディティブ法などによって硬化体と導電性めっき層とを複数積層するビルドアップ基板等に、上記エポキシ樹脂組成物はより好適に用いられる。この場合には、硬化体と導電性めっき層との接合強度を高めることができる。また、硬化体の表面に形成されたシリカの抜けた穴が小さいため、パターン間の絶縁性を高めることができる。さらに、シリカの抜けた穴の深さが浅いため、層間の絶縁性を高めることができる。   The above epoxy resin composition is applied to a build-up board or the like in which a plurality of cured bodies and conductive plating layers are laminated by an additive method for forming a circuit after forming a conductive plating layer on the surface of the cured body or a semi-additive method. More preferably used. In this case, the bonding strength between the cured body and the conductive plating layer can be increased. Moreover, since the hole which the silica formed in the surface of the hardening body is small is small, the insulation between patterns can be improved. Furthermore, since the depth of the hole through which the silica is removed is shallow, the insulation between the layers can be improved.

上記エポキシ樹脂組成物は、封止用材料又はソルダーレジスト等にも用いることができる。また、硬化体の表面に形成された配線の高速信号伝送性能を高めることができるため、高い高周波特性が要求される、パッシブ部品又はアクティブ部品が内蔵される部品内蔵基板等にも、上記エポキシ樹脂組成物を用いることができる。   The epoxy resin composition can also be used for a sealing material or a solder resist. In addition, since the high-speed signal transmission performance of the wiring formed on the surface of the cured body can be enhanced, the epoxy resin is also applied to a component-embedded substrate or the like in which a passive component or an active component is built that requires high-frequency characteristics Compositions can be used.

(シート状成形体)
本発明に係るシート状成形体は、上記エポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されている。「シート」は、厚さや幅に限定されず、板状の形状を有するものであり、シートにはフィルムも含まれる。シート状成形体には、接着性シートが含まれる。
(Sheet-like molded product)
The sheet-like molded body according to the present invention is formed by molding the epoxy resin composition into a sheet shape. The “sheet” is not limited to a thickness or a width, and has a plate shape, and the sheet includes a film. The sheet-like molded body includes an adhesive sheet.

上記エポキシ樹脂組成物をシート状に成形する方法としては、例えば、押出機を用いて、エポキシ樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイやサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法、エポキシ樹脂組成物を有機溶剤等の溶媒に溶解又は分散した後、キャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法、又は従来公知のその他のシート成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化を進めることができるので、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。   As a method for forming the epoxy resin composition into a sheet, for example, an extruder is used to melt-knead and extrude the epoxy resin composition, and then extrusion to form a film with a T-die or a circular die. Examples thereof include a molding method, a casting molding method in which an epoxy resin composition is dissolved or dispersed in a solvent such as an organic solvent, and then cast into a film, or other conventionally known sheet molding methods. Of these, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable because the thickness can be reduced.

(プリプレグ)
本発明に係るプリプレグでは、上記エポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されている。エポキシ樹脂組成物を多孔質基材に含浸させることにより、プリプレグが得られる。
(Prepreg)
In the prepreg according to the present invention, the porous base material is impregnated with the epoxy resin composition. A prepreg is obtained by impregnating a porous substrate with an epoxy resin composition.

上記多孔質基材は、上記エポキシ樹脂組成物を含浸させることができれば、特に限定されない。上記多孔質基材としては、有機繊維又はガラス繊維等が挙げられる。上記有機繊維としては、カーボン繊維、ポリアミド繊維、ポリアラミド繊維又はポリエステル繊維等が挙げられる。また、多孔質基材の形態としては、平織りもしくは綾織りなどの織物の形態、又は不織布の形態等が挙げられる。上記多孔質基材は、ガラス繊維不織布であることが好ましい。   The porous substrate is not particularly limited as long as it can be impregnated with the epoxy resin composition. Examples of the porous substrate include organic fibers or glass fibers. Examples of the organic fiber include carbon fiber, polyamide fiber, polyaramid fiber, and polyester fiber. Moreover, as a form of a porous base material, the form of textiles, such as a plain weave or a twill, or the form of a nonwoven fabric, etc. are mentioned. The porous substrate is preferably a glass fiber nonwoven fabric.

(硬化体)
本発明に係るエポキシ樹脂組成物、該エポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されたシート状成形体、又は該エポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されたプリプレグを加熱し、予備硬化させた後、粗化処理することにより、硬化体を得ることができる。
(Hardened body)
Heating the epoxy resin composition according to the present invention, a sheet-like molded body formed by molding the epoxy resin composition into a sheet, or a prepreg impregnated with a porous substrate of the epoxy resin composition; A hardened body can be obtained by roughening after pre-curing.

得られた硬化体は、一般に、Bステージと呼ばれる半硬化状態である。「硬化体」には、完全な硬化状態である硬化体だけでなく、半硬化状態にある半硬化体も含まれる。半硬化体とは、完全に硬化していないものである。半硬化体は、硬化がさらに進行され得るものである。   The obtained cured body is generally in a semi-cured state called a B stage. The “cured body” includes not only a completely cured body but also a semi-cured body in a semi-cured state. A semi-cured product is one that is not completely cured. The semi-cured body is one that can be further cured.

本発明に係る硬化体は、具体的には、以下のようにして得られる。   Specifically, the cured body according to the present invention is obtained as follows.

上記エポキシ樹脂組成物を予備硬化(半硬化)させて、予備硬化物を得る。上記エポキシ樹脂組成物を反応させる際の加熱温度は特に限定されない。加熱温度の好ましい下限は130℃であり、より好ましい下限は150℃であり、好ましい上限は190℃である。加熱温度が低すぎると、エポキシ樹脂組成物が充分に硬化しないため、粗化処理後の硬化体の表面粗さが大きくなりやすい。加熱温度が高すぎると、エポキシ樹脂組成物の硬化反応が急速に進行しやすい。このため、硬化度が部分的に異なりやすく、粗い部分と密な部分とが形成されやすい。この結果、硬化体の表面粗さが大きくなる。   The epoxy resin composition is pre-cured (semi-cured) to obtain a pre-cured product. The heating temperature at the time of making the said epoxy resin composition react is not specifically limited. The minimum with a preferable heating temperature is 130 degreeC, a more preferable minimum is 150 degreeC, and a preferable upper limit is 190 degreeC. If the heating temperature is too low, the epoxy resin composition is not sufficiently cured, so that the surface roughness of the cured body after the roughening treatment tends to increase. If the heating temperature is too high, the curing reaction of the epoxy resin composition tends to proceed rapidly. For this reason, the degree of curing tends to be partially different, and a rough portion and a dense portion are likely to be formed. As a result, the surface roughness of the cured body increases.

上記エポキシ樹脂組成物を反応させる際の加熱時間は特に限定されない。加熱時間は、30分以上であることが好ましい。加熱時間が30分よりも短いと、エポキシ樹脂組成物が充分に硬化しないため、粗化処理後の硬化体の表面粗さが大きくなる。加熱時間は、生産性を高めることができるので、1時間以下であることが好ましい。   The heating time for reacting the epoxy resin composition is not particularly limited. The heating time is preferably 30 minutes or more. When the heating time is shorter than 30 minutes, the epoxy resin composition is not sufficiently cured, so that the surface roughness of the cured body after the roughening treatment is increased. Since heating time can improve productivity, it is preferable that it is 1 hour or less.

硬化体の表面に微細な凹凸を形成するために、エポキシ樹脂組成物は予備硬化された後に粗化処理される。エポキシ樹脂組成物は予備硬化された後、粗化処理される前に、膨潤処理されることが好ましい。ただし、上記膨潤処理は必ずしも行われなくてもよい。   In order to form fine irregularities on the surface of the cured body, the epoxy resin composition is pre-cured and then roughened. The epoxy resin composition is preferably swelled after being precured and before being roughened. However, the swelling treatment is not necessarily performed.

上記膨潤処理方法として、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、上記予備硬化物を処理する方法が用いられる。上記膨潤処理には、40重量%エチレングリコール水溶液が好適に用いられる。   As the swelling treatment method, for example, a method of treating the preliminary-cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution of a compound mainly composed of ethylene glycol or the like is used. For the swelling treatment, a 40% by weight ethylene glycol aqueous solution is suitably used.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。   For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム又は過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム又は無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム又は過硫酸アンモニウム等が挙げられる。   Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.

上記粗化処理方法は特に限定されない。上記粗化処理には、例えば、30〜90g/L過マンガン酸もしくは過マンガン酸塩溶液、又は30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液が好適に用いられる。   The roughening treatment method is not particularly limited. For the roughening treatment, for example, 30 to 90 g / L permanganic acid or permanganate solution or 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution is preferably used.

粗化処理の回数が多いと粗化効果も大きい。しかしながら、粗化処理の回数が3回を超えると、粗化効果が飽和することがあり、又は硬化体の表面の樹脂成分が必要以上に削られて、硬化体の表面にシリカが脱離した形状の孔が形成されにくくなる。このため、粗化処理は、1回又は2回行われることが好ましい。   When the number of roughening treatments is large, the roughening effect is large. However, when the number of roughening treatments exceeds 3, the roughening effect may be saturated, or the resin component on the surface of the cured body is scraped more than necessary, and silica is detached from the surface of the cured body. It becomes difficult to form holes having a shape. For this reason, it is preferable that a roughening process is performed once or twice.

上記予備硬化物は、50〜80℃で5〜30分粗化処理されることが好ましい。上記予備硬化物が上記膨潤処理される場合には、上記予備硬化物は、50〜80℃で5〜30分膨潤処理されることが好ましい。粗化処理又は膨潤処理が複数回行われる場合には、上記粗化処理又は膨潤処理の時間は、合計の時間を示す。上記エポキシ樹脂組成物を予備硬化させた予備硬化物を上記条件で粗化処理又は膨潤処理することにより、硬化体の表面の表面粗さをより一層小さくすることができる。具体的には、粗化処理された表面の算術平均粗さRaが0.3μm以下であり、かつ十点平均粗さRzが3.0μm以下である硬化体をより一層容易に得ることができる。   The preliminary-cured product is preferably roughened at 50 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. When the pre-cured product is subjected to the swelling treatment, the pre-cured product is preferably subjected to a swelling treatment at 50 to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. When the roughening treatment or the swelling treatment is performed a plurality of times, the time for the roughening treatment or the swelling treatment indicates the total time. By roughening or swelling the precured product obtained by precuring the epoxy resin composition under the above conditions, the surface roughness of the surface of the cured product can be further reduced. Specifically, a hardened body having an arithmetic average roughness Ra of 0.3 μm or less and a ten-point average roughness Rz of 3.0 μm or less can be obtained more easily. .

図1に、本発明の一実施形態に係る硬化体を模式的に部分切欠正面断面図で示す。   In FIG. 1, the hardening body which concerns on one Embodiment of this invention is typically shown with a partial notch front sectional drawing.

図1に示すように、硬化体1の表面1aに、球状シリカの脱離により形成された孔1bが形成されている。孔1bは、球状シリカが数個程度、例えば2〜10個程度まとまって脱離した孔であってもよい。   As shown in FIG. 1, holes 1 b formed by detachment of spherical silica are formed on the surface 1 a of the cured body 1. The hole 1b may be a hole in which about several spherical silicas, for example, about 2 to 10 are separated and removed.

上記のようにして得られた硬化体1の粗化処理された表面の算術平均粗さRaは0.3μm以下であり、かつ十点平均粗さRzは3.0μm以下であることが好ましい。上記粗化処理された表面の算術平均粗さRaは、0.2μm以下であることがより好ましい。上記粗化処理された表面の十点平均粗さRzは、2μm以下であることがより好ましい。上記算術平均粗さRaが大きすぎると、硬化体の表面に配線が形成された場合に、該配線における電気信号の伝送速度を高速化できないことがある。上記十点平均粗さRzが大きすぎると、硬化体の表面に配線が形成された場合に、該配線における電気信号の伝送速度を高速化できないことがある。算術平均粗さRa及び十点平均粗さRzは、ANSI Standard B46.1−1985やJIS B0601−1994に準拠した測定法により求めることができる。   The arithmetic average roughness Ra of the roughened surface of the cured body 1 obtained as described above is preferably 0.3 μm or less, and the ten-point average roughness Rz is preferably 3.0 μm or less. The arithmetic average roughness Ra of the roughened surface is more preferably 0.2 μm or less. The ten-point average roughness Rz of the roughened surface is more preferably 2 μm or less. If the arithmetic average roughness Ra is too large, when the wiring is formed on the surface of the cured body, the transmission speed of the electrical signal in the wiring may not be increased. If the ten-point average roughness Rz is too large, when a wiring is formed on the surface of the cured body, the transmission speed of the electrical signal in the wiring may not be increased. The arithmetic average roughness Ra and the ten-point average roughness Rz can be obtained by a measuring method based on ANSI Standard B46.1-1985 and JIS B0601-1994.

硬化体1の表面に形成された複数の孔の平均径は、5μm以下であることが好ましい。複数の孔の平均径が5μmより大きいと、硬化体の表面にL/Sが小さい配線を形成することが困難なことがあり、かつ形成された配線間が短絡しやすくなる。   The average diameter of the plurality of holes formed on the surface of the cured body 1 is preferably 5 μm or less. When the average diameter of the plurality of holes is larger than 5 μm, it may be difficult to form a wiring having a small L / S on the surface of the cured body, and the formed wirings are easily short-circuited.

硬化体1には、必要に応じて、公知のめっき用触媒を施したり、無電解めっきを施したりした後、電解めっきを施すことができる。これにより、硬化体の表面に金属層としてのめっき層を形成できる。   If necessary, the cured body 1 can be subjected to electroplating after being applied with a known plating catalyst or electroless plating. Thereby, the plating layer as a metal layer can be formed on the surface of the cured body.

図2に、硬化体1の上面1aに、めっき処理により金属層2が形成された状態を示す。図2に示すように、金属層2は、硬化体1の上面1aに形成された微細な孔1b内に至っている。従って、物理的なアンカー効果により、硬化体1と金属層2とのピール強度を高めることができる。また、球状シリカの脱離により形成された孔1bの近傍では、樹脂成分が必要以上に多く削られていないため、硬化体1と金属層2とのピール強度を高めることができる。   FIG. 2 shows a state in which the metal layer 2 is formed on the upper surface 1a of the cured body 1 by plating. As shown in FIG. 2, the metal layer 2 reaches the fine holes 1 b formed in the upper surface 1 a of the cured body 1. Therefore, the peel strength between the cured body 1 and the metal layer 2 can be increased by the physical anchor effect. Moreover, since the resin component is not shaved more than necessary in the vicinity of the hole 1b formed by the detachment of the spherical silica, the peel strength between the cured body 1 and the metal layer 2 can be increased.

上記球状シリカの平均粒子径が小さいほど、硬化体1の表面に微細な凹凸を形成できる。平均粒子径1μm以下の球状シリカの使用により、孔1bをより一層小さくすることができ、従って硬化体1の表面により一層微細な凹凸を形成できる。このため、回路の配線の微細度合いを示すL/Sを小さくすることができる。   As the average particle diameter of the spherical silica is smaller, fine irregularities can be formed on the surface of the cured body 1. By using spherical silica having an average particle diameter of 1 μm or less, the pores 1b can be further reduced, and therefore finer irregularities can be formed on the surface of the cured body 1. For this reason, L / S which shows the fineness of the wiring of a circuit can be made small.

L/Sが小さい銅等の配線を硬化体1の表面1aに形成した場合には、配線の信号処理速度を高めることができる。例えば、高周波信号が伝達される場合に、硬化体1の表面粗さが小さいので、硬化体1と金属層2との界面での電気信号の損失を小さくすることができる。   When wiring of copper or the like having a small L / S is formed on the surface 1a of the cured body 1, the signal processing speed of the wiring can be increased. For example, when a high-frequency signal is transmitted, since the surface roughness of the cured body 1 is small, the loss of an electrical signal at the interface between the cured body 1 and the metal layer 2 can be reduced.

金属層2を形成する材料として、シールド用もしくは回路形成用などに用いられる金属箔もしくは金属めっき、又は回路保護用に用いるめっき用材料を使用できる。   As a material for forming the metal layer 2, a metal foil or metal plating used for shielding or circuit formation, or a plating material used for circuit protection can be used.

上記めっき材料としては、例えば、金、銀、銅、ロジウム、パラジウム、ニッケル又は錫などが挙げられる。これらの2種類以上の合金を用いてもよく、また、2種類以上のめっき材料により複数層の金属層を形成してもよい。さらに、目的に応じて、めっき材料には、上記金属以外の他の金属又は物質が含有されてもよい。金属層2は、銅めっき処理により形成された銅めっき層であることが好ましい。   Examples of the plating material include gold, silver, copper, rhodium, palladium, nickel, and tin. Two or more kinds of these alloys may be used, and a plurality of metal layers may be formed of two or more kinds of plating materials. Furthermore, depending on the purpose, the plating material may contain other metals or substances other than the above metals. The metal layer 2 is preferably a copper plating layer formed by a copper plating process.

硬化体1と金属層2とのピール強度は0.5kgf/cm以上であることが好ましい。硬化体1と金属層2とのピール強度は0.7kgf/cm以上であることがより好ましい。   The peel strength between the cured body 1 and the metal layer 2 is preferably 0.5 kgf / cm or more. The peel strength between the cured body 1 and the metal layer 2 is more preferably 0.7 kgf / cm or more.

また、硬化体1の平均線膨張率α1(23〜100℃)は50ppm/℃以下であることが好ましい。上上記平均線膨張率α1は、40ppm/℃以下であることがより好ましく、34ppm/℃以下であることがさらに好ましい。上記平均線膨張率α1が大きすぎると耐熱衝撃性が低下し、エポキシ樹脂組成物をプリント基板用材料などに使用した場合、熱サイクル時の膨張及び収縮により基板の割れなどが発生する可能性がある。   Moreover, it is preferable that the average linear expansion coefficient (alpha) 1 (23-100 degreeC) of the hardening body 1 is 50 ppm / degrees C or less. The average linear expansion coefficient α1 is more preferably 40 ppm / ° C. or less, and further preferably 34 ppm / ° C. or less. When the average linear expansion coefficient α1 is too large, the thermal shock resistance is lowered, and when the epoxy resin composition is used as a printed circuit board material, there is a possibility that the substrate may be cracked due to expansion and contraction during a thermal cycle. is there.

また、硬化体1のガラス転移温度Tgは190℃以上であることが好ましく、220℃以上であることがより好ましい。上記ガラス転移温度が高くなると、耐熱性が向上し、エポキシ樹脂組成物をプリント基板用材料などに用いた場合、半田リフロー時の寸法安定性の向上、めっき層のふくれの抑制などが期待できる。また、高温時での硬化体の引張強度が向上する。   Moreover, it is preferable that the glass transition temperature Tg of the hardening body 1 is 190 degreeC or more, and it is more preferable that it is 220 degreeC or more. When the glass transition temperature is increased, the heat resistance is improved, and when the epoxy resin composition is used as a printed circuit board material, improvement in dimensional stability during solder reflow, suppression of blistering of the plating layer, and the like can be expected. In addition, the tensile strength of the cured body at high temperatures is improved.

(積層板)
本発明に係る積層板は、上記シート状成形体を硬化させた硬化体と、該硬化体の少なくとも片面に積層されている金属層とを備える。積層板は、積層された複数の硬化体と、該硬化体の間に配置された少なくとも1つの金属層とを備える多層積層板であってもよい。上記硬化体は、上記シート状成形体を硬化させた硬化体である。多層積層板の場合には、最表層の硬化体の外側の表面に積層された金属層がさらに備えられていてもよい。
(Laminated board)
The laminated board which concerns on this invention is equipped with the hardening body which hardened the said sheet-like molded object, and the metal layer laminated | stacked on the at least single side | surface of this hardening body. The laminate may be a multilayer laminate comprising a plurality of laminated cured bodies and at least one metal layer disposed between the cured bodies. The said hardening body is a hardening body which hardened the said sheet-like molded object. In the case of a multilayer laminate, a metal layer laminated on the outer surface of the outermost cured body may be further provided.

上記積層板の硬化体の少なくとも一部の領域に、接着層が配置されていてもよい。また、上記多層積層板の積層された硬化体の少なくとも一部の領域に、接着層が配置されていてもよい。   An adhesive layer may be disposed in at least a partial region of the cured body of the laminate. Moreover, the adhesive layer may be arrange | positioned in the at least one part area | region of the hardening body laminated | stacked on the said multilayer laminated board.

上記積層板又は上記多層積層板の金属層は、回路として形成されていることが好ましい。この場合には、硬化体と金属層とのピール強度が高いため、回路の信頼性を高めることができる。   The metal layer of the laminate or the multilayer laminate is preferably formed as a circuit. In this case, since the peel strength between the cured body and the metal layer is high, the reliability of the circuit can be increased.

図3に本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂組成物を用いた積層板を示す。図3に示す積層板は、多層積層板である。   FIG. 3 shows a laminate using the epoxy resin composition according to one embodiment of the present invention. The laminated board shown in FIG. 3 is a multilayer laminated board.

図3に示す多層積層板11では、基板12の上面12aに、複数の硬化体13〜16が積層されている。最上層の硬化体16以外の硬化体13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。すなわち、積層された硬化体13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。   In the multilayer laminated plate 11 shown in FIG. 3, a plurality of cured bodies 13 to 16 are laminated on the upper surface 12 a of the substrate 12. In the cured bodies 13 to 15 other than the uppermost cured body 16, a metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface. That is, the metal layer 17 is arrange | positioned between each layer of the laminated | stacked hardening bodies 13-16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層積層板11では、硬化体13〜16が、本発明の一実施形態に係るエポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより得られたシート状成形体を、硬化させることにより形成されている。このため、硬化体13〜16の表面には、図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。従って、硬化体13〜16と金属層17とのピール強度を高めることができる。また、多層積層板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。   In the multilayer laminate 11, the cured bodies 13 to 16 are formed by curing a sheet-like molded body obtained by molding the epoxy resin composition according to one embodiment of the present invention into a sheet shape. . For this reason, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the cured bodies 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine hole. Therefore, the peel strength between the cured bodies 13 to 16 and the metal layer 17 can be increased. Moreover, in the multilayer laminated board 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the part in which the metal layer 17 is not formed can be made small.

なお、搬送の補助、ごみの付着又は傷の防止等を目的として、上述したシート状成形体又は積層板の表面には、フィルムが積層されてもよい。また、フィルムは、必要に応じて、離型性を高めるために離型処理されていてもよい。さらに、上記フィルムを保護するために、上記フィルムに保護フィルムが積層されていてもよい。   In addition, a film may be laminated | stacked on the surface of the sheet-like molded object or laminated board mentioned above for the purpose of conveyance assistance, prevention of adhesion of a refuse, or a damage | wound. In addition, the film may be subjected to a release treatment in order to improve the release property as necessary. Furthermore, in order to protect the film, a protective film may be laminated on the film.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

実施例及び比較例では、以下に示す材料を用いた。   In the examples and comparative examples, the following materials were used.

(エポキシ樹脂)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製、商品名「850S」)
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬社製、商品名「RE410S」)
アントラセン骨格含有エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、商品名「YX8800」、エポキシ当量181)
(Epoxy resin)
Bisphenol A epoxy resin (product name “850S”, manufactured by DIC Corporation)
Bisphenol F epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “RE410S”)
Anthracene skeleton-containing epoxy resin (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name “YX8800”, epoxy equivalent 181)

(硬化剤)
アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有するフェノール硬化剤1(DIC社製、商品名「LA−7052」、固形分61重量%MEK(メチルエチルケトン)溶液、窒素含有量8重量%、重量平均分子量1,754)
アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有するフェノール硬化剤2(DIC社製、商品名「LA−7054」、固形分60重量%MEK(メチルエチルケトン)溶液、窒素含有量12重量%、重量平均分子量1,420)
アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有するフェノール硬化剤3(DIC社製、商品名「LA−7751」、固形分60重量%MEK(メチルエチルケトン)溶液、窒素含有量14重量%、重量平均分子量1,597)
ビフェニル骨格及びフェノール性水酸基を有するフェノール硬化剤4(明和化成社製、商品名「MEH7851−4H」、上記式(7)で表されるフェノール化合物に相当する硬化剤)
(Curing agent)
Phenol curing agent 1 having aminotriazine skeleton and phenolic hydroxyl group (manufactured by DIC, trade name “LA-7052”, solid content 61 wt% MEK (methyl ethyl ketone) solution, nitrogen content 8 wt%, weight average molecular weight 1,754 )
Phenol curing agent 2 having aminotriazine skeleton and phenolic hydroxyl group (manufactured by DIC, trade name “LA-7054”, solid content 60 wt% MEK (methyl ethyl ketone) solution, nitrogen content 12 wt%, weight average molecular weight 1,420 )
Phenol curing agent 3 having aminotriazine skeleton and phenolic hydroxyl group (manufactured by DIC, trade name “LA-7751”, solid content 60 wt% MEK (methyl ethyl ketone) solution, nitrogen content 14 wt%, weight average molecular weight 1,597 )
Phenol curing agent 4 having a biphenyl skeleton and a phenolic hydroxyl group (Maywa Kasei Co., Ltd., trade name “MEH7851-4H”, a curing agent corresponding to the phenol compound represented by the above formula (7))

(硬化促進剤)
イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業社製、商品名「2PZ−CN」、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール)
パーオキサイド系硬化促進剤(化薬アクゾ社製、商品名「Perkadox BC−FF」、ジクミルパーオキサイド)
(Curing accelerator)
Imidazole-based curing accelerator (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name “2PZ-CN”, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole)
Peroxide curing accelerator (trade name “Perkadox BC-FF”, dicumyl peroxide, manufactured by Kayaku Akzo)

(シリカスラリー)
球状シリカ50重量%含有スラリー1:
イミダゾールシラン(日鉱金属社製、商品名「IM−1000」)処理した球状シリカ(平均粒子径0.3μm、BET法での比表面積18m/g)50重量%と、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)50重量%とを含む球状シリカ50重量%含有スラリー
球状シリカ50重量%含有スラリー2:
イミダゾールシラン(日鉱金属社製、商品名「IM−1000」)処理した球状シリカ(平均粒子径0.5μm、BET法での比表面積7m/g)50重量%と、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)50重量%とを含む球状シリカ50重量%含有スラリー
(Silica slurry)
Slurry containing 50% by weight of spherical silica 1:
50% by weight of spherical silica (average particle size 0.3 μm, specific surface area 18 m 2 / g by BET method) treated with imidazolesilane (manufactured by Nikko Metals, trade name “IM-1000”), DMF (N, N— Slurry containing 50% by weight of spherical silica containing 50% by weight of dimethylformamide) slurry 2 containing 50% by weight of spherical silica:
50% by weight of spherical silica (average particle size 0.5 μm, specific surface area 7 m 2 / g by BET method) treated with imidazolesilane (manufactured by Nikko Metals, trade name “IM-1000”), DMF (N, N— 50% by weight of spherical silica containing 50% by weight of dimethylformamide)

(マレイミド化合物)
ポリフェニルメタンマレイミド(大和化成社製、商品名「BMI−2300」、上記式(11)で表されるマレイミド化合物の混合物に相当し、該混合物の上記式(11)中のxの平均値が0.2〜0.3)
(Maleimide compound)
Polyphenylmethane maleimide (trade name “BMI-2300”, manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd.), which corresponds to a mixture of maleimide compounds represented by the above formula (11), and the average value of x in the above formula (11) of the mixture is 0.2-0.3)

(フェノキシ樹脂)
変性ビフェノール骨格を有するフェノキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、商品名「YX6954BH30」、固形分30重量%、溶剤はMEK(メチルエチルケトン)とシクロヘキサノンとの混合溶剤)
(Phenoxy resin)
Phenoxy resin having a modified biphenol skeleton (made by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name “YX6954BH30”, solid content 30% by weight, solvent is a mixed solvent of MEK (methyl ethyl ketone) and cyclohexanone)

(溶剤)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF、特級、和光純薬社製)
(solvent)
N, N-dimethylformamide (DMF, special grade, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

(実施例1)
上記球状シリカ50重量%含有スラリー1を36.0重量部と、N,N−ジメチルホルムアミド11.6重量部とを混合し、均一な溶液となるまで、常温で攪拌した。その後、上記イミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業社製、商品名「2PZ−CN」)0.3重量部及びパーオキサイド系硬化促進剤(化薬アクゾ社製、商品名「Perkadox BC−FF」)0.3重量部をさらに添加し、均一な溶液となるまで、常温で攪拌した。
Example 1
36.0 parts by weight of the slurry 1 containing 50% by weight of spherical silica and 11.6 parts by weight of N, N-dimethylformamide were mixed and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained. Thereafter, 0.3 parts by weight of the imidazole-based curing accelerator (trade name “2PZ-CN” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.) and a peroxide-based curing accelerator (trade name “Perkadox BC-FF” manufactured by Kayaku Akzo) ) 0.3 parts by weight were further added and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained.

次に、エポキシ樹脂としてのビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC社製、商品名「850S」)11.5重量部及びビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬社製、商品名「RE410S」)6.4重量部を添加し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、溶液を得た。得られた溶液に、硬化剤としてのアミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有するフェノール硬化剤1(DIC社製、商品名「LA−7052)15.9重量部と、マレイミド化合物としてのポリフェニルメタンマレイミド(大和化成社製、商品名「BMI−2300」)12.0重量部と、変性ビフェノール骨格を有するフェノキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、商品名「YX6954BH30」)6.0重量部とを添加し、均一な溶液となるまで常温で攪拌して、エポキシ樹脂組成物を調製した。   Next, 11.5 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by DIC, trade name “850S”) as an epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin (trade name “RE410S”, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 6.4 A part by weight was added and stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a solution. In the obtained solution, 15.9 parts by weight of a phenol curing agent 1 having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group as a curing agent (manufactured by DIC, trade name “LA-7052”) and polyphenylmethanemaleimide as a maleimide compound 12.0 parts by weight (trade name “BMI-2300” manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd.) and 6.0 parts by weight of phenoxy resin having a modified biphenol skeleton (trade name “YX6954BH30” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) are added. The epoxy resin composition was prepared by stirring at room temperature until a uniform solution was obtained.

(実施例2〜7及び比較例1,2)
使用した材料の種類及び配合量を下記の表1に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物を調製した。
(Examples 2 to 7 and Comparative Examples 1 and 2)
An epoxy resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and blending amount of the materials used were changed as shown in Table 1 below.

(評価)
(シート状成形体の作製)
離型処理された透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(商品名「PET5011 550」、厚み50μm、リンテック社製)を用意した。このPETフィルム上にアプリケーターを用いて、乾燥後の厚みが40μmとなるように、得られたエポキシ樹脂組成物を塗工した。次に、100℃のギアオーブン内で2分間乾燥することにより、縦200mm×横200mm×厚み40μmの大きさの未硬化物であるシート状成形体を作製した。
(Evaluation)
(Preparation of sheet-like molded product)
A release-treated transparent polyethylene terephthalate (PET) film (trade name “PET5011 550”, thickness 50 μm, manufactured by Lintec Corporation) was prepared. The obtained epoxy resin composition was applied onto the PET film using an applicator so that the thickness after drying was 40 μm. Next, by drying in a gear oven at 100 ° C. for 2 minutes, a sheet-like molded body, which was an uncured product having a size of 200 mm long × 200 mm wide × 40 μm thick, was produced.

(硬化体Aの作製)
得られた上記シート状成形体を、ガラスエポキシ基板(FR−4、品番「CS−3665」、利昌工業社製)に真空ラミネートし、170℃のギアオーブン内で1時間加熱して、予備硬化させた。このようにして、ガラスエポキシ基板上に予備硬化物を形成し、ガラスエポキシ基板と予備硬化物との積層サンプルを得た。その後、下記の膨潤処理をした後、下記の粗化処理(過マンガン酸塩処理)をした。
(Preparation of cured product A)
The obtained sheet-like molded body was vacuum-laminated on a glass epoxy substrate (FR-4, product number “CS-3665”, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.) and heated in a gear oven at 170 ° C. for 1 hour to be precured. I let you. In this way, a precured material was formed on the glass epoxy substrate, and a laminated sample of the glass epoxy substrate and the precured material was obtained. Then, after the following swelling treatment, the following roughening treatment (permanganate treatment) was performed.

膨潤処理:
80℃の膨潤液(スウェリングディップセキュリガントP、アトテックジャパン社製:有機溶媒含有水溶液)に、上記積層サンプルを入れて、膨潤温度80℃で20分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Swelling treatment:
The above-mentioned laminated sample was put in a swelling liquid at 80 ° C. (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan Co., Ltd .: organic solvent-containing aqueous solution) and rocked at a swelling temperature of 80 ° C. for 20 minutes. Thereafter, it was washed with pure water.

粗化処理(過マンガン酸塩処理):
80℃のアルカリ性過マンガン酸カリウム(コンセントレートコンパクトCP、アトテックジャパン社製)粗化水溶液に、膨潤処理された上記積層サンプルを入れて、粗化温度80℃で20分間揺動させた。その後、25℃の洗浄液(リダクションセキュリガントP、アトテックジャパン社製)により10分間洗浄した後、純水でさらに洗浄した。このようにして、ガラスエポキシ基板上に、粗化処理された硬化体Aを形成した。
Roughening treatment (permanganate treatment):
The above laminated sample subjected to the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of alkaline potassium permanganate (Concentrate Compact CP, manufactured by Atotech Japan Co.) at 80 ° C. and rocked at a roughening temperature of 80 ° C. for 20 minutes. Then, after washing | cleaning for 10 minutes with the washing | cleaning liquid (Reduction securigant P, Atotech Japan company make) of 25 degreeC, it wash | cleaned further with the pure water. In this way, a roughened cured body A was formed on the glass epoxy substrate.

(積層体の作製)
上記粗化処理の後に、下記の銅めっき処理をした。
(Production of laminate)
After the roughening treatment, the following copper plating treatment was performed.

銅めっき処理:
ガラスエポキシ基板上に形成された硬化体Aに、以下の手順で無電解銅めっき及び電解銅めっき処理を施した。
Copper plating treatment:
The cured body A formed on the glass epoxy substrate was subjected to electroless copper plating and electrolytic copper plating in the following procedure.

粗化処理された硬化体Aの表面を、60℃のアルカリクリーナ(クリーナーセキュリガント902)(アルカリ性界面活性剤含有水溶液)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化体を25℃の前処理剤であるプリディップ液(プリディップネオガントB)で2分間処理した。その後、上記硬化体を40℃のアクチベーター液(アクチベーターネオガント834)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(リデューサーネオガントWA)により、硬化体を5分間処理した。   The surface of the roughened cured body A was treated with an alkali cleaner (cleaner securigant 902) (an aqueous solution containing an alkaline surfactant) for 5 minutes and degreased and washed. After washing, the cured body was treated with a pre-dip solution (pre-dip neogant B), which is a pretreatment agent at 25 ° C., for 2 minutes. Thereafter, the cured product was treated with an activator solution (activator neogant 834) at 40 ° C. for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured body was treated with a reducing solution (reducer Neogant WA) at 30 ° C. for 5 minutes.

次に、上記硬化体を化学銅液(硫酸銅の安定化剤と硫酸銅との水溶液)(ベーシックプリントガントMSK−DK、カッパープリントガントMSK、スタビライザープリントガントMSK)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニールをかけた。無電解めっきの工程までのすべての工程は、ビーカースケールで処理液を1Lとし、硬化体を揺動させながら実施した。   Next, the cured product is placed in a chemical copper solution (an aqueous solution of copper sulfate stabilizer and copper sulfate) (basic print gantt MSK-DK, copper print gantt MSK, stabilizer print gantt MSK), and electroless plating is performed. It implemented until thickness became about 0.5 micrometer. After the electroless plating, annealing was performed at a temperature of 120 ° C. for 30 minutes in order to remove the remaining hydrogen gas. All the steps up to the electroless plating step were performed while using a beaker scale with a treatment liquid of 1 L and rocking the cured body.

次に、無電解めっき処理された硬化体に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電気銅めっきとして硫酸銅(リデューサーCu)を用いて、0.6A/cmの電流を流した。銅めっき処理後、硬化体を180℃で1時間加熱し、硬化体をさらに硬化させた。このようにして、硬化体上に銅めっき層が形成された積層体を得た。 Next, electrolytic plating was performed on the cured body subjected to the electroless plating treatment until the plating thickness became 25 μm. An electric current of 0.6 A / cm 2 was passed using copper sulfate (reducer Cu) as the electrolytic copper plating. After the copper plating treatment, the cured body was heated at 180 ° C. for 1 hour to further cure the cured body. Thus, the laminated body in which the copper plating layer was formed on the hardening body was obtained.

(硬化体Bの作製)
得られた上記シート状成形体を170℃のギアオーブン内で1時間加熱した後、180℃のギアオーブン内で1時間加熱し、硬化させて、硬化体Bを得た。
(Preparation of cured product B)
The obtained sheet-like molded body was heated in a gear oven at 170 ° C. for 1 hour, then heated in a gear oven at 180 ° C. for 1 hour and cured to obtain a cured body B.

(1)誘電率及び誘電正接
得られた上記硬化体Bを15mm×15mmの大きさに裁断した。裁断された硬化体を8枚重ね合わせて、厚み320μmの積層物を得た。誘電率測定装置(品番「HP4291B」、HEWLETT PACKARD社製)を用いて、周波数1GHzにおける常温(23℃)での積層物の誘電率及び誘電正接を測定した。
(1) Dielectric constant and dielectric loss tangent The obtained cured body B was cut into a size of 15 mm × 15 mm. Eight pieces of the cured body cut were overlapped to obtain a laminate having a thickness of 320 μm. The dielectric constant and dielectric loss tangent of the laminate at room temperature (23 ° C.) at a frequency of 1 GHz were measured using a dielectric constant measuring device (product number “HP4291B”, manufactured by HEWLETT PACKARD).

(2)平均線膨張率
得られた上記硬化体Bを、3mm×25mmの大きさに裁断した。線膨張率計(品番「TMA/SS120C」、セイコーインスツルメンツ社製)を用いて、引張り荷重2.94×10−2N、昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化体の23〜100℃における平均線膨張率(α1)、及び150〜240℃における平均線膨張率(α2)を測定した。
(2) Average linear expansion coefficient The obtained cured body B was cut into a size of 3 mm × 25 mm. 23 of the cured product cut using a linear expansion coefficient meter (product number “TMA / SS120C”, manufactured by Seiko Instruments Inc.) under the conditions of a tensile load of 2.94 × 10 −2 N and a heating rate of 5 ° C./min. The average linear expansion coefficient (α1) at ˜100 ° C. and the average linear expansion coefficient (α2) at 150-240 ° C. were measured.

(3)ガラス転移温度(Tg)
得られた上記硬化体Bを5mm×3mmの大きさに裁断した。粘弾性スペクトロレオメーター(品番「RSA−II」、レオメトリック・サイエンティフィックエフ・イー社製)を用いて、昇温速度5℃/分の条件で、30から250℃まで裁断された硬化体の損失率tanδを測定し、損失率tanδが最大値になる温度(ガラス転移温度Tg)を求めた。
(3) Glass transition temperature (Tg)
The obtained cured body B was cut into a size of 5 mm × 3 mm. Cured body cut from 30 to 250 ° C. at a temperature rising rate of 5 ° C./min using a viscoelastic spectro rheometer (Part No. “RSA-II”, manufactured by Rheometric Scientific F.E.) The loss rate tan δ was measured, and the temperature at which the loss rate tan δ reached the maximum value (glass transition temperature Tg) was determined.

(4)破断強度及び破断点伸度
得られた上記硬化体Bを10mm×80mmの大きさに裁断した。裁断された硬化体を2つ積層し、厚み80μmの試験サンプルを得た。引張試験機(商品名「テンシロン」、オリエンテック社製)を用いて、チャック間距離60mm、クロスヘッド速度5mm/分の条件で引張試験を行い、試験サンプルの破断強度(MPa)及び破断点伸度(%)を測定した。
(4) Breaking strength and elongation at break The obtained cured product B was cut into a size of 10 mm × 80 mm. Two cured bodies cut were laminated to obtain a test sample having a thickness of 80 μm. Using a tensile tester (trade name “Tensilon”, manufactured by Orientec Co., Ltd.), a tensile test was performed under the conditions of a distance between chucks of 60 mm and a crosshead speed of 5 mm / min. The degree (%) was measured.

(5)粗化接着強度(ピール強度)
得られた上記積層体の銅めっき層の表面に、10mm幅に切り欠きを入れた。その後、引張試験機(商品名「オートグラフ」、島津製作所社製)を用いて、クロスヘッド速度5mm/分の条件で、硬化体と銅めっき層とのピール強度を測定した。得られた測定値を粗化接着強度とした。
(5) Roughening adhesion strength (peel strength)
The surface of the copper plating layer of the obtained laminate was cut into a 10 mm width. Thereafter, using a tensile tester (trade name “Autograph”, manufactured by Shimadzu Corporation), the peel strength between the cured body and the copper plating layer was measured under the condition of a crosshead speed of 5 mm / min. The obtained measured value was defined as roughened adhesive strength.

(6)表面粗さ(算術平均粗さRa及び十点平均粗さRz)
非接触3次元表面形状測定装置(品番「WYKO NT1100」、Veeco社製)を用いて、94μm×123μmの測定領域における粗化処理された上記硬化体Aの表面の算術平均粗さRa及び十点平均粗さRzを測定した。
(6) Surface roughness (arithmetic average roughness Ra and ten-point average roughness Rz)
Arithmetic average roughness Ra and ten points of the surface of the cured body A subjected to the roughening treatment in a measuring region of 94 μm × 123 μm using a non-contact three-dimensional surface shape measuring device (product number “WYKO NT1100”, manufactured by Veeco). The average roughness Rz was measured.

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 2010229227
Figure 2010229227

1…硬化体
1a…上面
1b…孔
2…金属層
11…多層積層板
12…基板
12a…上面
13〜16…硬化体
17…金属層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Hardened body 1a ... Upper surface 1b ... Hole 2 ... Metal layer 11 ... Multilayer laminated board 12 ... Substrate 12a ... Upper surface 13-16 ... Hardened body 17 ... Metal layer

Claims (10)

少なくとも2つのエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、
アミノトリアジン骨格及びフェノール性水酸基を有する硬化剤と、
シリカと、
少なくとも2つのマレイミド骨格を有するマレイミド化合物とを含み、
前記硬化剤の窒素の含有量が13重量%以下である、エポキシ樹脂組成物。
An epoxy resin having at least two epoxy groups;
A curing agent having an aminotriazine skeleton and a phenolic hydroxyl group;
Silica,
A maleimide compound having at least two maleimide skeletons,
The epoxy resin composition whose nitrogen content of the said hardening | curing agent is 13 weight% or less.
エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、前記シリカの含有量が20〜60重量%の範囲内である、請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition according to claim 1, wherein the content of the silica is in the range of 20 to 60% by weight in 100% by weight of the solid content of the epoxy resin composition. エポキシ樹脂組成物の固形分100重量%中、前記マレイミド化合物の含有量が5〜40重量%の範囲内である、請求項1又は2に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition of Claim 1 or 2 whose content of the said maleimide compound exists in the range of 5 to 40 weight% in solid content of 100 weight% of an epoxy resin composition. 前記シリカが、平均粒子径1μm以下の球状シリカである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the silica is spherical silica having an average particle diameter of 1 µm or less. 前記マレイミド化合物がN,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−1,3−フェニレンジマレイミド、N,N’−1,4−フェニレンジマレイミド、1,2−ビス(マレイミド)エタン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン及びこれらのオリゴマー、並びにマレイミド骨格含有ジアミン縮合物からなる群から選択された少なくとも1種である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。   The maleimide compound is N, N′-4,4-diphenylmethane bismaleimide, N, N′-1,3-phenylene dimaleimide, N, N′-1,4-phenylene dimaleimide, 1,2-bis (maleimide) ) Ethane, 1,6-bismaleimide hexane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane and oligomers thereof, and at least one selected from the group consisting of maleimide skeleton-containing diamine condensates The epoxy resin composition according to item 1. フェノキシ樹脂をさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。   The epoxy resin composition according to claim 1, further comprising a phenoxy resin. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されたシート状成形体。   The sheet-like molded object formed by shape | molding the epoxy resin composition of any one of Claims 1-6 in a sheet form. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されたプリプレグ。   A prepreg in which a porous substrate is impregnated with the epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 6. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物、該エポキシ樹脂組成物をシート状に成形することにより形成されたシート状成形体、又は該エポキシ樹脂組成物が多孔質基材に含浸されたプリプレグを加熱し、予備硬化させた後、粗化処理されている硬化体であって、
粗化処理された表面の算術平均粗さRaが0.3μm以下、十点平均粗さRzが3.0μm以下である、硬化体。
The epoxy resin composition according to any one of claims 1 to 6, a sheet-like molded body formed by molding the epoxy resin composition into a sheet, or the epoxy resin composition is a porous substrate The prepreg impregnated in is heated, precured, and then a roughened cured body,
A cured body having an arithmetic average roughness Ra of 0.3 μm or less and a ten-point average roughness Rz of 3.0 μm or less on the roughened surface.
請求項7に記載のシート状成形体を硬化させた硬化体と、該硬化体の少なくとも片面に積層されている金属層とを備える、積層板。   A laminate comprising: a cured body obtained by curing the sheet-like molded body according to claim 7; and a metal layer laminated on at least one surface of the cured body.
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