JP2010224973A - Substrate processing apparatus and failure factor clarification program - Google Patents

Substrate processing apparatus and failure factor clarification program Download PDF

Info

Publication number
JP2010224973A
JP2010224973A JP2009072730A JP2009072730A JP2010224973A JP 2010224973 A JP2010224973 A JP 2010224973A JP 2009072730 A JP2009072730 A JP 2009072730A JP 2009072730 A JP2009072730 A JP 2009072730A JP 2010224973 A JP2010224973 A JP 2010224973A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
analysis
log file
file
pattern
processing apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009072730A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5349103B2 (en
Inventor
Takashi Ikeuchi
崇 池内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2009072730A priority Critical patent/JP5349103B2/en
Publication of JP2010224973A publication Critical patent/JP2010224973A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5349103B2 publication Critical patent/JP5349103B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate processing apparatus and a failure factor clarification program for the same, allowing reduction of a time to dissolution from occurrence of failure. <P>SOLUTION: When starting a failure factor analysis tool (the failure factor clarification program) when the failure has occurred in this substrate processing apparatus 1, all analysis pattern files are obtained from an analysis pattern file storage area 23 (an analysis pattern file database), an operation log file storage area 22 (an operation log file database) is opened, an appearance pattern of a keyword defined in all the analysis pattern files and an operation log file are collated, and an analysis result including a hit rate is displayed on an operation panel 3. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板に対する処理のために使用される基板処理装置および基板処理装置用の障害要因解明プログラムに関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。   The present invention relates to a substrate processing apparatus used for processing a substrate and a failure factor elucidation program for the substrate processing apparatus. Examples of substrates to be processed include semiconductor wafers, liquid crystal display substrates, plasma display substrates, FED (Field Emission Display) substrates, optical disk substrates, magnetic disk substrates, magneto-optical disk substrates, photo A mask substrate is included.

半導体装置の製造などに用いられる基板処理装置では、複数のソフトウェアが組み込まれており、それらのソフトウェアが動作することによって、各部の動作や基板処理装置に接続されているホストコンピュータとの通信などが実行される。各ソフトウェアが動作すると、動作ログファイルが作成され、そのソフトウェアの動作履歴が記録される。したがって、基板処理装置に障害が発生した場合には、動作ログファイルの内容を参照して、各部の動作状況を解析することにより、障害が発生した要因（障害要因）を解明することができる。   In a substrate processing apparatus used for manufacturing a semiconductor device or the like, a plurality of software is incorporated, and by operating these software, operations of each unit and communication with a host computer connected to the substrate processing apparatus are performed. Executed. When each software operates, an operation log file is created and an operation history of the software is recorded. Therefore, when a failure occurs in the substrate processing apparatus, the cause of the failure (failure factor) can be clarified by analyzing the operation status of each unit with reference to the contents of the operation log file.

基板処理装置に障害が発生すると、基板処理装置のユーザから基板処理装置のベンダに対処が求められ、次のような手順１〜６に従ってその対処がなされる。
１．ベンダのフィールドサポート担当者がユーザ先に送られる。
２．フィールドサポート担当者が障害の状況を把握する。
３．障害要因が障害の状況から特定可能であれば、フィールドサポート担当者が障害を解消する。 When a failure occurs in the substrate processing apparatus, a user of the substrate processing apparatus is required to deal with the vendor of the substrate processing apparatus, and the countermeasure is taken according to the following procedures 1 to 6.
1. Vendor field support personnel are sent to the user.
2. Field support personnel will understand the failure status.
3. If the failure factor can be identified from the failure status, the field support person will resolve the failure.

４．障害要因が障害の状況から特定不可能であれば、フィールドサポート担当者は、基板処理装置からすべての動作ログファイルを出力し、その出力したすべての動作ログファイルを障害の状況を記載した文書とともにベンダの障害担当者に送付する。
５．障害担当者は、障害の状況および動作ログファイルの内容から障害要因を解明し、障害要因およびその障害の解消方法をフィールドサポート担当者に連絡する。 4). If the cause of the failure cannot be identified from the failure status, the field support staff will output all the operation log files from the substrate processing equipment, and all the output operation log files together with the document describing the failure status. Send to vendor disability officer.
5). The person in charge of the failure elucidates the cause of the trouble from the state of the trouble and the contents of the operation log file, and notifies the field support person in charge of the cause of the trouble and how to solve the trouble.

６．フィールドサポート担当者は、障害担当者から教示された解消方法に従って障害を解消する。
このように、動作ログファイルが作成されていることにより、動作ログファイルに基づいて障害要因を解明することができ、障害に対する適切な処置を行うことができる。 6). The field support person solves the trouble according to the solving method taught by the person in charge of the trouble.
As described above, since the operation log file is created, the cause of the failure can be clarified based on the operation log file, and an appropriate measure for the failure can be performed.

特開２００８−４１１２号公報JP 2008-4112 A

しかしながら、障害要因の解明には、複数の動作ログファイルを包括的に解析する技術（知識、経験）が必要であり、その熟練した技術を有する障害担当者でなければ、障害要因を解明することができない。そのため、障害が発生した場合、前述の手順１〜６に従って対処せざるを得ず、障害の発生から解消に至るまでに時間がかかる。とくに、同時期に障害が多発した場合には、障害担当者の数に限りがあるために、障害担当者が速やかに対処しきれず、障害の発生から解消に至るまでにより長い時間がかかってしまう。   However, in order to clarify the cause of failure, technology (knowledge, experience) that comprehensively analyzes multiple action log files is required. I can't. Therefore, when a failure occurs, it must be dealt with according to the above-described procedures 1 to 6, and it takes time from the occurrence of the failure to the resolution. In particular, if there are many failures during the same period, the number of persons in charge of the disability is limited, so the person in charge of disability cannot quickly deal with it, and it will take a longer time from the occurrence of the trouble to the resolution. .

本発明の目的は、障害の発生から解消に至るまでの時間を短縮することができる、基板処理装置および基板処理装置用の障害要因解明プログラムを提供することである。   An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus and a failure factor elucidation program for the substrate processing apparatus that can shorten the time from the occurrence of the failure to the resolution.

前記の目的を達成するための請求項１記載の基板処理装置は、当該基板処理装置の動作のためのソフトウェアを記憶するソフトウェア記憶手段と、前記ソフトウェアの動作時に当該ソフトウェアにより作成される動作ログファイルを記憶する動作ログファイル記憶手段と、当該基板処理装置で発生する障害の要因ごとに、前記動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶する解析パターンファイル記憶手段と、前記解析パターンファイル記憶手段から前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとを照合し、その照合による解析結果を出力する動作ログファイル解析手段とを備えている。   The substrate processing apparatus according to claim 1 for achieving the above object includes software storage means for storing software for operation of the substrate processing apparatus, and an operation log file created by the software during operation of the software. Operation log file storage means for storing, an analysis pattern file storage means for storing an analysis pattern file defining an appearance pattern of a keyword in the operation log file for each cause of a failure occurring in the substrate processing apparatus, and The analysis pattern file is acquired from the analysis pattern file storage unit, the operation log file stored in the operation log file storage unit is opened, and defined by the operation log file and the acquired analysis pattern file. Match the keyword occurrence pattern and And a behavior log file analysis unit that outputs the analysis result by the multiplexer.

この基板処理装置では、ソフトウェア記憶手段に、当該基板処理装置の動作のためのソフトウェアが記憶されている。ソフトウェアが動作すると、ソフトウェアにより、その動作履歴を時系列で記録する動作ログファイルが作成される。動作ログファイルは、動作ログファイル記憶手段に記憶される。また、解析パターンファイル記憶手段に、当該基板処理装置で発生する障害の要因ごとに動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルが記憶されている。そして、基板処理装置で障害が発生した場合には、動作ログファイル解析手段を起動させれば、解析パターンファイル記憶手段から解析パターンファイルが取得され、動作ログファイル記憶手段に記憶されている動作ログファイルが開かれて、当該動作ログファイルとその取得した解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合による解析結果が出力される。そのため、動作ログファイルを解析する技術を有する障害担当者でなくても、解析結果に基づいて、基板処理装置で発生した障害の要因を容易に解明することができる。その結果、障害の発生から解消に至るまでの時間を大幅に短縮することができる。   In this substrate processing apparatus, software for operation of the substrate processing apparatus is stored in the software storage means. When the software operates, an operation log file that records the operation history in time series is created by the software. The operation log file is stored in the operation log file storage unit. Further, the analysis pattern file storing means stores an analysis pattern file that defines a keyword appearance pattern in the operation log file for each cause of a failure that occurs in the substrate processing apparatus. When a failure occurs in the substrate processing apparatus, the operation log file analysis unit is activated, and the analysis pattern file is acquired from the analysis pattern file storage unit and stored in the operation log file storage unit. The file is opened, and an analysis result by collating the operation log file with the keyword appearance pattern defined in the acquired analysis pattern file is output. Therefore, even if the person in charge of failure has no technique for analyzing the operation log file, the cause of the failure that has occurred in the substrate processing apparatus can be easily clarified based on the analysis result. As a result, the time from the occurrence of a failure to the resolution can be greatly shortened.

請求項２に記載のように、動作ログファイル解析手段は、複数の解析パターンファイルを取得し、動作ログファイル記憶手段に記憶されている動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した各解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合による解析結果を出力してもよい。
この場合、複数の解析結果が出力されるので、複数の要因により障害が発生した場合にも、複数の解析結果に基づいて、それらの障害要因を容易に解明することができる。また、１つの解析結果から特定した障害要因が誤りであった場合に、他の解析結果から正しい障害要因を特定することができる。 As described in claim 2, the action log file analysis means acquires a plurality of analysis pattern files, opens the action log file stored in the action log file storage means, and acquires the action log file and the action log file. You may output the analysis result by collation with the appearance pattern of the keyword defined in each analysis pattern file.
In this case, since a plurality of analysis results are output, even when a failure occurs due to a plurality of factors, the failure factors can be easily clarified based on the plurality of analysis results. In addition, when a failure factor identified from one analysis result is incorrect, a correct failure factor can be identified from another analysis result.

さらに、請求項３に記載のように、動作ログファイル解析手段は、解析パターンファイル記憶手段に記憶されているすべての解析パターンファイルを取得し、動作ログファイル記憶手段に記憶されている動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した各解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合による解析結果を出力してもよい。   Furthermore, as described in claim 3, the operation log file analysis unit acquires all analysis pattern files stored in the analysis pattern file storage unit, and stores the operation log file stored in the operation log file storage unit. And an analysis result obtained by collating the operation log file with the keyword appearance pattern defined in each acquired analysis pattern file may be output.

この場合、最大数の解析結果が出力されるので、それらの解析結果に基づいて、障害を発生させた可能性のある要因をもれなく特定することができる。
また、請求項４に記載のように、解析パターンファイル記憶手段は、ソフトウェアの動作が正常に完了した場合に作成される動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶していることが好ましい。 In this case, since the maximum number of analysis results is output, it is possible to identify all the factors that may have caused the failure based on the analysis results.
According to a fourth aspect of the present invention, the analysis pattern file storage means stores an analysis pattern file that defines a keyword appearance pattern in an operation log file that is created when a software operation is normally completed. Preferably it is.

このような解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンと動作ログファイルとの照合による解析結果から、ソフトウェアの動作が正常に完了したか否かを容易に判断することができる。そして、ソフトウェアの動作が正常に完了している場合には、障害の要因が基板処理装置のハードウェアにあると判断することができ、障害の要因を速やかかつ一層容易に解明することができる。   It is possible to easily determine whether or not the operation of the software has been normally completed from the analysis result obtained by collating the keyword appearance pattern defined in the analysis pattern file with the operation log file. When the operation of the software is normally completed, it can be determined that the cause of the failure is in the hardware of the substrate processing apparatus, and the cause of the failure can be clarified quickly and more easily.

また、請求項５に記載のように、動作ログファイル解析手段は、動作ログファイルと解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの一致率を解析結果に含めて出力してもよい。
動作ログファイルとキーワードの出現パターンとの一致率が高いほど、その出現パターンを定義した解析パターンファイルに対応する障害要因により障害が発生した可能性が高いので、一致率が解析結果に含まれていることにより、一致率を参照して、障害要因をより速やかかつ容易に解明することができる。 According to another aspect of the present invention, the operation log file analysis means may output the analysis result including the matching rate between the operation log file and the keyword appearance pattern defined in the analysis pattern file.
The higher the matching rate between the action log file and the keyword appearance pattern, the higher the possibility that a failure has occurred due to the failure factor corresponding to the analysis pattern file that defines the appearance pattern, so the matching rate is included in the analysis results. Therefore, the failure factor can be clarified more quickly and easily with reference to the coincidence rate.

この場合、請求項６に記載のように、基板処理装置は、動作ログファイル解析手段により出力される解析結果を表示するための表示手段と、この表示手段に、動作ログファイル解析手段により出力される解析結果を、動作ログファイルと解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの一致率が高いものから順にソートして表示させる表示制御手段とをさらに備えていることが好ましい。   In this case, as described in claim 6, the substrate processing apparatus displays the analysis result output by the operation log file analysis unit, and is output to the display unit by the operation log file analysis unit. It is preferable to further include display control means for sorting and displaying the analysis results in descending order of the matching rate between the action log file and the keyword appearance pattern defined in the analysis pattern file.

解析結果が一致率の高いものから順にソートして表示手段に表示されるので、一致率の高い解析結果から特定される障害要因から順に、その障害要因が真の障害要因であるか否かを判断することができる。その結果、障害要因の解明に要する時間を短縮することができる。
また、請求項７に記載のように、基板処理装置は、動作ログファイル解析手段による解析対象となる動作ログファイルを制限するための時間範囲を入力する入力手段をさらに備え、動作ログファイル解析手段は、入力手段により入力される時間範囲内に作成された動作ログファイルを開くようにしてもよい。 The analysis results are sorted and displayed in order from the one with the highest match rate, and displayed on the display means, so whether or not the failure factor is the true failure factor in order from the failure factor specified from the analysis result with the highest match rate. Judgment can be made. As a result, the time required for elucidating the cause of the failure can be shortened.
According to a seventh aspect of the present invention, the substrate processing apparatus further includes an input unit for inputting a time range for limiting the operation log file to be analyzed by the operation log file analysis unit, and the operation log file analysis unit May open an operation log file created within the time range input by the input means.

これにより、解析対象（解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合対象）となる動作ログファイルの数を少なくすることができるので、障害要因の解明までに要する時間を短縮することができる。
請求項８記載の障害要因解明プログラムは、基板に対する処理のために使用される基板処理装置のコンピュータにインストールされる障害要因解明プログラムであって、前記コンピュータには、当該基板処理装置の動作のためのソフトウェアがインストールされており、当該障害要因解明プログラムは、前記コンピュータを、前記ソフトウェアの動作時に当該ソフトウェアにより作成される動作ログファイルを記憶する動作ログファイル記憶手段、当該基板処理装置で発生する障害の要因ごとに、前記動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶する解析パターンファイル記憶手段、および前記解析パターンファイル記憶手段から前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとを照合し、その照合による解析結果を出力する動作ログファイル解析手段として機能させる。 This can reduce the number of action log files to be analyzed (the target of matching with the occurrence pattern of keywords defined in the analysis pattern file), thereby shortening the time required to elucidate the cause of the failure. Can do.
The failure factor elucidation program according to claim 8 is a failure factor elucidation program installed in a computer of a substrate processing apparatus used for processing a substrate, and the computer is provided for operation of the substrate processing apparatus. The failure factor elucidating program is installed in the operation log file storage means for storing the operation log file created by the software during operation of the software, and the failure that occurs in the substrate processing apparatus. For each of the factors, an analysis pattern file storage unit that stores an analysis pattern file that defines an appearance pattern of a keyword in the operation log file, and the analysis pattern file is acquired from the analysis pattern file storage unit, and the operation log file Memory The action log file that opens the action log file stored in the file, collates the action log file with the keyword appearance pattern defined in the acquired analysis pattern file, and outputs the analysis result of the matching It functions as an analysis means.

この障害要因解明プログラムを基板処理装置のコンピュータにインストールすることにより、請求項１に記載の基板処理装置を実現することができる。   The substrate processing apparatus according to claim 1 can be realized by installing the failure factor elucidating program in the computer of the substrate processing apparatus.

図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の要部の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a main part of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２は、解析パターンファイルに含まれる異常パターンファイルの一例である。FIG. 2 is an example of an abnormal pattern file included in the analysis pattern file. 図３は、解析パターンファイルに含まれる正常パターンファイルの一例である。FIG. 3 is an example of a normal pattern file included in the analysis pattern file. 図４は、基板処理装置に障害が発生してから障害の要因が解明されるまでの流れを示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a flow from the occurrence of a failure in the substrate processing apparatus to the elucidation of the cause of the failure. 図５は、パターンファイル読込処理のフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart of the pattern file reading process. 図６は、ログファイル解析処理のフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart of the log file analysis process. 図７は、情報取得処理のフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart of the information acquisition process. 図８は、障害要因解析ツール画面の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the failure factor analysis tool screen.

以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の要部の構成を示すブロック図である。
基板処理装置１は、半導体装置の製造工場などに設置され、半導体ウエハなどの基板に対する処理のために使用される。基板処理装置１における処理の方式は、とくに限定されず、基板を１枚ずつ処理する枚葉式であってもよいし、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式であってもよい。枚葉式が採用される場合、基板処理装置１は、たとえば、基板を保持するための基板保持機構、基板保持機構に対して１枚の基板を受け渡しするためのロボットなどを備える。バッチ式が採用される場合、基板処理装置１は、たとえば、複数枚の基板を一括して保持する基板保持機構、基板保持機構により保持された基板を一括して収容する処理槽などを備える。基板に対する処理としては、基板を洗浄する洗浄処理、基板の表面上の薄膜を除去するためのエッチング処理、基板を加熱／冷却する熱処理、基板の表面上に膜を形成するための膜形成処理などが例示される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a main part of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
The substrate processing apparatus 1 is installed in a semiconductor device manufacturing factory or the like, and is used for processing a substrate such as a semiconductor wafer. The processing method in the substrate processing apparatus 1 is not particularly limited, and may be a single-wafer type that processes substrates one by one or a batch type that processes a plurality of substrates at once. When the single wafer type is adopted, the substrate processing apparatus 1 includes, for example, a substrate holding mechanism for holding a substrate, a robot for delivering one substrate to the substrate holding mechanism, and the like. When the batch method is adopted, the substrate processing apparatus 1 includes, for example, a substrate holding mechanism that collectively holds a plurality of substrates, a processing tank that collectively holds the substrates held by the substrate holding mechanism, and the like. Processing for the substrate includes cleaning processing for cleaning the substrate, etching processing for removing a thin film on the surface of the substrate, heat treatment for heating / cooling the substrate, film formation processing for forming a film on the surface of the substrate, and the like. Is exemplified.

基板処理装置１は、ＣＰＵおよびメモリなどをハードウェア構成として備えるコンピュータ２と、ユーザなどが操作可能な位置に配置される操作パネル３とを備えている。
コンピュータ２には、基板処理装置１を動作させるための複数のソフトウェアがインストールされている。ソフトウェアは、メモリの記憶領域の一部により提供されるソフトウェア記憶領域２１に格納されている。ソフトウェアには、ロボットなどを制御するための制御系のソフトウェアと、コンピュータ２とネットワークを介して接続されたホストコンピュータとの通信や基板処理装置１の稼働スケジュールの管理などのための情報系のソフトウェアとが含まれる。 The substrate processing apparatus 1 includes a computer 2 that includes a CPU, a memory, and the like as a hardware configuration, and an operation panel 3 that is disposed at a position where a user or the like can operate.
A plurality of software for operating the substrate processing apparatus 1 is installed in the computer 2. The software is stored in a software storage area 21 provided by a part of the storage area of the memory. The software includes control system software for controlling a robot and the like, and information system software for communication with a host computer connected to the computer 2 via a network and management of the operation schedule of the substrate processing apparatus 1. And are included.

また、コンピュータ２には、基板処理装置１で発生する障害の要因を解明するための障害要因解明プログラムがインストールされている。
障害要因解明プログラムのインストールにより、コンピュータ２のメモリの記憶領域に、動作ログファイル記憶領域２２が設定される。また、障害要因解明プログラムのインストールにより、コンピュータ２のメモリ上に、解析パターンファイルデータベース（ＤＢ）および参照テーブルデータベース（ＤＢ）が作成される。すなわち、メモリの記憶領域の一部が解析パターンファイル記憶領域２３として使用され、この解析パターンファイル記憶領域２３に、複数の解析パターンファイルからなるデータベースが格納される。また、メモリの記憶領域の一部が参照テーブル記憶領域２４として使用され、この参照テーブル記憶領域２４に、複数の参照テーブルからなるデータベースが格納される。 The computer 2 is installed with a failure factor elucidation program for elucidating the cause of the failure that occurs in the substrate processing apparatus 1.
The operation log file storage area 22 is set in the storage area of the memory of the computer 2 by installing the failure factor solving program. In addition, an analysis pattern file database (DB) and a reference table database (DB) are created on the memory of the computer 2 by installing the failure factor solving program. That is, a part of the storage area of the memory is used as the analysis pattern file storage area 23, and a database including a plurality of analysis pattern files is stored in the analysis pattern file storage area 23. In addition, a part of the storage area of the memory is used as the reference table storage area 24, and a database including a plurality of reference tables is stored in the reference table storage area 24.

各ソフトウェアが動作すると、ソフトウェアの内容に従って、基板処理装置１の各部が動作するとともに、ソフトウェアの動作履歴が時系列でメモリに記録されることによりテキスト形式の動作ログファイルが作成される。そして、その作成された動作ログファイルが動作ログファイル記憶領域２２に格納されていくことにより、動作ログファイル記憶領域２２に、複数の動作ログファイルからなる動作ログファイルデータベース（ＤＢ）が作成される。   When each software operates, each part of the substrate processing apparatus 1 operates according to the contents of the software, and an operation log file in a text format is created by recording the operation history of the software in the memory in time series. Then, the created operation log file is stored in the operation log file storage area 22, whereby an operation log file database (DB) composed of a plurality of operation log files is created in the operation log file storage area 22. .

解析パターンファイルは、基板処理装置１に障害が発生したときに、動作ログファイル記憶領域２２（動作ログファイルデータベース）に記憶されている動作ログファイルを解析するために使用されるファイルである。解析パターンファイルには、基板処理装置１で発生する障害の要因に対応づけて、動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した異常パターンファイルと、ソフトウェアの動作が正常に完了した場合に作成される動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した正常パターンファイルとが含まれる。   The analysis pattern file is a file used for analyzing the operation log file stored in the operation log file storage area 22 (operation log file database) when a failure occurs in the substrate processing apparatus 1. The analysis pattern file is created in association with the cause of the failure that occurs in the substrate processing apparatus 1 and an abnormal pattern file that defines the appearance pattern of keywords in the operation log file, and when the software operation is completed normally. And a normal pattern file that defines the appearance pattern of keywords in the action log file.

参照テーブルは、解析パターンファイルに含まれる「key要素」により特定されるＩＤと障害の解消方法などの付加情報とを対応づけて作成されたテーブルである。参照テーブルの一例では、ＩＤ「１００」に対応づけて、付加情報「配線が正しく結線されていない可能性があります。配線を確認してください。」が記憶され、ＩＤ「１０１」に対応づけて、付加情報「ロボット電源がＯＮになっていない可能性があります。電源がＯＮになっているかを確認してください。」が記憶され、ＩＤ「１０２」に対応づけて、付加情報「過負荷になっています。モータの交換を検討してください。」が記憶されている。「key要素」については、後述する。   The reference table is a table created by associating the ID specified by the “key element” included in the analysis pattern file with additional information such as a failure resolution method. In an example of the reference table, additional information “There is a possibility that the wiring is not correctly connected. Please check the wiring.” Is stored in association with the ID “100” and is associated with the ID “101”. , Additional information “There is a possibility that the robot power is not turned on. Check if the power is turned on.” Is stored, and the additional information “Overload” is associated with ID “102”. Please consider replacing the motor. ”Is stored. The “key element” will be described later.

操作パネル３には、ディスプレイ３１や、ディスプレイ３１に表示される画面上でボタンを押下したり数字などを入力したりするために操作される操作部が設けられている。
そして、基板処理装置１は、コンピュータ２が障害要因解明プログラムを実行することにより実現される機能処理部をさらに備えている。この機能処理部には、動作ログファイルファイル記憶領域２２に対する動作ログファイルの読み書きを管理する動作ログファイル管理部２５と、動作ログファイルを解析し、その結果を出力する動作ログファイル解析部２６と、動作ログファイル解析部２６から出力される結果をディスプレイ３１に表示させる出力制御部２７と、操作パネル３からの入力データを動作ログファイル解析部２６に伝達するための入力制御部２８とが含まれる。 The operation panel 3 includes a display 31 and an operation unit that is operated to press a button or input a number on a screen displayed on the display 31.
The substrate processing apparatus 1 further includes a function processing unit that is realized by the computer 2 executing the failure factor solving program. The function processing unit includes an operation log file management unit 25 that manages reading and writing of the operation log file with respect to the operation log file storage area 22, an operation log file analysis unit 26 that analyzes the operation log file and outputs the result. An output control unit 27 for displaying the result output from the operation log file analysis unit 26 on the display 31; and an input control unit 28 for transmitting input data from the operation panel 3 to the operation log file analysis unit 26. It is.

図２は、異常パターンファイルの一例である。図３は、正常パターンファイルの一例である。
解析パターンファイルは、文字エンコーディングスキーム「ＵＴＦ−８」で作成されたＸＭＬ（eXtensible Markup Language）文書ファイルであり、ツリー構造を有している。すなわち、解析パターンファイルは、「condition」要素の中に「file」要素および「result」要素が並列に含まれ、「file」要素の中に「line」要素が含まれ、「line」要素の中に「word」要素が含まれ、「result」要素の中に「description」要素が含まれる構造を有している。「description」要素の中に、「reference」要素が含まれ、「reference」要素の中に「table」要素および「key」要素が含まれる場合がある。 FIG. 2 is an example of an abnormal pattern file. FIG. 3 is an example of a normal pattern file.
The analysis pattern file is an XML (eXtensible Markup Language) document file created by the character encoding scheme “UTF-8”, and has a tree structure. That is, the analysis pattern file includes the “file” element and the “result” element in the “condition” element in parallel, the “line” element in the “file” element, and the “line” element. Includes a “word” element, and a “result” element includes a “description” element. A “reference” element may be included in the “description” element, and a “table” element and a “key” element may be included in the “reference” element.

「condition」要素の開始タグには、解析パターンファイルの種類が属性として記載される。異常パターンファイルでは、「condition」要素の開始タグに「type="abnormal"」が記載される。正常パターンファイルでは、「condition」要素の開始タグに「type="normal"」が記載される。
「file」要素の開始タグには、解析対象の動作ログファイルのファイル名が属性として記載される。 The start tag of the “condition” element describes the type of analysis pattern file as an attribute. In the abnormal pattern file, “type =“ abnormal ”” is described in the start tag of the “condition” element. In the normal pattern file, “type =“ normal ”” is described in the start tag of the “condition” element.
In the start tag of the “file” element, the file name of the operation log file to be analyzed is described as an attribute.

「line」要素の開始タグには、属性が記載される場合と属性が記載されない場合がある。属性が記載されない開始タグ「〈line〉」は、動作ログファイルの全行を検索対象として、「word」要素中のキーワードと一致する行を指定（検索）する場合に使用される。属性が記載された開始タグ「〈line connection="after: ＊"〉」は、１つ前の「line」要素で指定された行が動作ログファイル中に記載された時刻から「＊」ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行を検索対象として、「word」要素中のキーワードと一致する行を指定する場合に使用される。なお、１つ前の「line」要素で指定された行が動作ログファイル中に記載された時刻から「＊」ｍｓｅｃ前以内に動作ログファイルに記載された行を検索対象として、「word」要素中のキーワードと一致する行を指定する場合には、属性が「connection="before: ＊"」と記載される。   The start tag of the “line” element may or may not contain an attribute. The start tag “<line>” with no attribute described is used when all lines of the operation log file are to be searched and a line that matches the keyword in the “word” element is specified (searched). The start tag "<line connection =" after: * ">" with the attribute written is "*" msec after the time when the line specified by the previous "line" element was entered in the action log file This is used to specify a line that matches the keyword in the “word” element, with the line described in the action log file as the search target. The “word” element is searched for the line specified in the action log file within “*” msec before the time specified by the previous “line” element in the action log file. When specifying a line that matches the keyword in the middle, the attribute is described as “connection =“ before: * ””.

「word」要素の開始タグには、動作ログファイル中のキーワードの検索方法が属性として記載される。属性「type="compare"」は、「word」要素の開始タグと終了タグとの間に記載されたキーワードと完全に一致するワードを検索する場合に記載される。属性「type="regexp"」は、「word」要素の開始タグと終了タグとの間に正規表現で記載されたキーワードと一致するワードを検索する場合に記載される。   In the start tag of the “word” element, a keyword search method in the operation log file is described as an attribute. The attribute “type =“ compare ”” is described when searching for a word that completely matches the keyword described between the start tag and end tag of the “word” element. The attribute “type =“ regexp ”” is described when searching for a word that matches the keyword described in the regular expression between the start tag and the end tag of the “word” element.

「result」要素は、解析結果情報を示すノードである。
「description」要素には、解析結果情報として出力する説明文が記載される。
「reference」要素は、解析結果情報として出力する付加情報を示すノードである。
「table」要素には、付加情報が格納されている参照テーブルのテーブル名が記載される。 The “result” element is a node indicating analysis result information.
In the “description” element, an explanatory text to be output as analysis result information is described.
The “reference” element is a node indicating additional information to be output as analysis result information.
In the “table” element, a table name of a reference table in which additional information is stored is described.

「key」要素には、参照テーブル中の付加情報を指定するＩＤが記載される。
図４は、基板処理装置に障害が発生してから障害の要因が解明されるまでの流れを示すフローチャートである。
基板処理装置１に障害が発生した場合、オペレータは、まず、操作パネル３を操作して、障害要因解析ツールを起動させる。障害要因解析ツールが起動すると、操作パネル３のディスプレイ３１に、図８に示す障害要因解析ツール画面が表示される。 In the “key” element, an ID for designating additional information in the reference table is described.
FIG. 4 is a flowchart showing a flow from the occurrence of a failure in the substrate processing apparatus to the elucidation of the cause of the failure.
When a failure occurs in the substrate processing apparatus 1, the operator first operates the operation panel 3 to activate the failure factor analysis tool. When the failure factor analysis tool is activated, a failure factor analysis tool screen shown in FIG. 8 is displayed on the display 31 of the operation panel 3.

次に、オペレータは、操作パネル３を操作して、障害要因解析ツール画面の解析範囲入力部８１の基準時刻入力欄８２、前時間入力欄８３および後時間入力欄８４にそれぞれ数値を入力する（図４のステップＳ１）。解析対象となる動作ログファイルを制限するための時間範囲（以下、単に「制限時間範囲」という。）の基準となる時刻が入力される。前時間入力欄８３には、基準時刻入力欄８２に入力された時刻を基準として、制限時間範囲の始期を指定するための時間が入力される。後時間入力欄８４には、基準時刻入力欄８２に入力された時刻を基準として、制限時間範囲の終期を指定するための時間が入力される。   Next, the operator operates the operation panel 3 to input numerical values respectively in the reference time input field 82, the previous time input field 83, and the subsequent time input field 84 of the analysis range input unit 81 on the failure factor analysis tool screen ( Step S1) in FIG. A time that is a reference of a time range for limiting the operation log file to be analyzed (hereinafter simply referred to as “time limit range”) is input. In the previous time input field 83, a time for designating the start of the time limit range is input based on the time input in the reference time input field 82. In the later time input field 84, a time for designating the end of the time limit range is input on the basis of the time input in the reference time input field 82.

その後、オペレータは、解析範囲入力部８１の解析ボタン８５を押下する。解析ボタン８５の押下をトリガーとして、障害要因解明プログラムが起動する。
障害要因解明プログラムが起動すると、障害要因解析ツール画面で入力された制限時間範囲が入力制御部２８を介して動作ログファイル解析部２６に入力される。次いで、動作ログファイル解析部２６により、制限時間範囲内に作成された動作ログファイルが動作ログファイルデータベースから動作ログファイル管理部２５を介して取得される。そして、動作ログファイル解析部２６により、解析パターンファイルデータベースからすべての解析パターンファイルが取得される（ステップＳ２）。 Thereafter, the operator presses the analysis button 85 of the analysis range input unit 81. The failure factor elucidation program is started by pressing the analysis button 85 as a trigger.
When the failure factor elucidation program is activated, the time limit range input on the failure factor analysis tool screen is input to the operation log file analysis unit 26 via the input control unit 28. Next, the operation log file analysis unit 26 acquires the operation log file created within the time limit range from the operation log file database via the operation log file management unit 25. Then, the operation log file analysis unit 26 acquires all analysis pattern files from the analysis pattern file database (step S2).

その後、ログファイル解析部２６により、各解析パターンファイルごとにパターンファイル読込処理が行われる（ステップＳ３）。パターンファイル読込処理については、後述する。
そして、すべての解析パターンファイルのパターンファイル読込処理が終了すると（ステップＳ４のＹＥＳ）、図８に示す障害要因解析ツール画面の解析結果表示部８６に解析結果が表示される（ステップＳ５）。解析結果の表示については、後述する。 Thereafter, the log file analysis unit 26 performs pattern file reading processing for each analysis pattern file (step S3). The pattern file reading process will be described later.
When the pattern file reading process for all analysis pattern files is completed (YES in step S4), the analysis result is displayed on the analysis result display unit 86 of the failure factor analysis tool screen shown in FIG. 8 (step S5). The display of the analysis result will be described later.

図５は、パターンファイル読込処理のフローチャートである。
パターンファイル読込処理が開始されると、解析パターンファイルから「condition」要素の読み込みが開始され（ステップＳ１１）、「condition」要素の属性から解析パターンファイルの種類が特定される。
次いで、「condition」要素中の「file」要素が読み込まれる（ステップＳ１２）。 FIG. 5 is a flowchart of the pattern file reading process.
When the pattern file reading process is started, reading of the “condition” element is started from the analysis pattern file (step S11), and the type of the analysis pattern file is specified from the attribute of the “condition” element.
Next, the “file” element in the “condition” element is read (step S12).

そして、その「file」要素の属性に記載されている動作ログファイルを解析するためのログファイル解析処理が行われる（ステップＳ１３）。ログファイル解析処理については、後述する。
ログファイル解析処理が終了すると、すべての「file」要素の読み込みが完了したか否かが判断される（ステップＳ１４）。図２，３に示す解析パターンファイルでは、「condition」要素中に１つの「file」要素のみが含まれているが、複数の「file」要素が含まれる場合がある。この場合、すべての「file」要素の読み込みが完了したか否かの判断は否定され（ステップＳ１４のＮＯ）、２つ目の「file」要素が読み込まれて（ステップＳ１２）、その「file」要素の属性に記載されている動作ログファイルに対するログファイル解析処理が行われる（ステップＳ１３）。 Then, a log file analysis process for analyzing the operation log file described in the attribute of the “file” element is performed (step S13). The log file analysis process will be described later.
When the log file analysis process ends, it is determined whether or not reading of all “file” elements is completed (step S14). In the analysis pattern files shown in FIGS. 2 and 3, only one “file” element is included in the “condition” element, but a plurality of “file” elements may be included. In this case, the determination of whether or not all the “file” elements have been read is denied (NO in step S14), and the second “file” element is read (step S12). Log file analysis processing is performed on the operation log file described in the element attribute (step S13).

すべての「file」要素の読み込みが完了すると、「result」要素の読み込みが開始される（ステップＳ１５）。
そして、「description」要素が読み込まれる（ステップＳ１６）。図２の解析パターンファイルを例にとると、「description」要素の読み込みにより、解析結果情報として出力する説明文として、「${position1}から${position2}までの移動に失敗しました。理由は[${reason}]です。」が取得される。 When reading of all “file” elements is completed, reading of the “result” element is started (step S15).
Then, the “description” element is read (step S16). Taking the analysis pattern file in Fig. 2 as an example, reading the "description" element will result in "Movement from $ {position1} to $ {position2} as an explanatory text to be output as analysis result information. [$ {reason}] "is acquired.

つづいて、「description」要素中の「reference」要素が読み込まれる（ステップＳ１７）。
そして、参照テーブルから付加情報を取得するための情報取得処理が行われる（ステップＳ１８）。情報取得処理については、後述する。
情報取得処理が終了すると、すべての「reference」要素の読み込みが完了したか否かが判断される（ステップＳ１９）。図２に示す解析パターンファイルでは、「description」要素中に１つの「reference」要素のみが含まれているが、複数の「reference」要素が含まれる場合がある。この場合、すべての「reference」要素の読み込みが完了したか否かの判断は否定され（ステップＳ１９のＮＯ）、２つ目の「reference」要素が読み込まれて（ステップＳ１７）、情報取得処理が行われる（ステップＳ１８）。 Subsequently, the “reference” element in the “description” element is read (step S17).
And the information acquisition process for acquiring additional information from a reference table is performed (step S18). The information acquisition process will be described later.
When the information acquisition process is completed, it is determined whether or not reading of all “reference” elements is completed (step S19). In the analysis pattern file shown in FIG. 2, only one “reference” element is included in the “description” element, but a plurality of “reference” elements may be included. In this case, the determination as to whether or not all the “reference” elements have been read is denied (NO in step S19), the second “reference” element is read (step S17), and the information acquisition process is performed. Performed (step S18).

そして、すべての「reference」要素の読み込みが完了すると、パターンファイル読込処理が終了する。
図６は、ログファイル解析処理のフローチャートである。
図２の解析パターンファイルを例にとって、ログファイル解析処理について詳述する。
ログファイル解析処理では、まず、解析パターンファイルの「file」要素の属性に記載されている動作ログファイルが開かれる（ステップＳ２１）。 When all the “reference” elements have been read, the pattern file reading process ends.
FIG. 6 is a flowchart of the log file analysis process.
The log file analysis process will be described in detail by taking the analysis pattern file of FIG. 2 as an example.
In the log file analysis process, first, the operation log file described in the attribute of the “file” element of the analysis pattern file is opened (step S21).

次に、「file」要素中の１つ目の「line」要素の読み込みが開始され（ステップＳ２２）、その「line」要素の開始タグから動作ログファイル中のキーワード検索の対象となる行が指定される。その後、１つ目の「word」要素が読み込まれ（ステップＳ２３）、その「word」要素の属性から検索方法が特定される。そして、キーワード検索の対象となる行から、「word」要素に記載されたキーワードを含む行が検索される（ステップＳ２４）。   Next, reading of the first “line” element in the “file” element is started (step S22), and a target line for keyword search in the operation log file is designated from the start tag of the “line” element. Is done. Thereafter, the first “word” element is read (step S23), and the search method is specified from the attribute of the “word” element. Then, a line including the keyword described in the “word” element is searched from the lines to be searched for keywords (step S24).

すなわち、１つ目の「line」要素の開始タグには属性が記載されていないので、ファイル名「target. log」の動作ログファイルの全行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="compare"」が記載されているので、「word」要素に記載されたキーワード「Begin move」を含む行が検索される。キーワードを含む行が見つかった場合には、その行が記憶され、キーワードを含む行が見つからなかった場合には、その旨が記憶される。   That is, since no attribute is described in the start tag of the first “line” element, all lines of the operation log file with the file name “target.log” are targeted for search. Since the attribute “type =“ compare ”” is described in the start tag of the “word” element, a line including the keyword “Begin move” described in the “word” element is searched. If a line containing the keyword is found, that line is stored, and if no line containing the keyword is found, this is stored.

検索が終了すると、１つ目の「line」要素中のすべての「word」要素の読み込みが完了したか否かが判断される（ステップＳ２５）。図２の解析パターンファイルでは、１つ目の「line」要素に「word」要素が１つしか含まれないので、すべての「word」要素の読み込みが完了したと判断される（ステップＳ２５のＹＥＳ）。
すべての「word」要素の読み込みが完了すると、「file」要素中のすべての「line」要素の読み込みが完了したか否かが判断される（ステップＳ２６）。この時点では、１つ目の「line」要素の読み込みしか完了していないので、その判断は否定される。そして、次の「line」要素の読み込みが開始される（ステップＳ２２）。 When the search is completed, it is determined whether or not reading of all “word” elements in the first “line” element is completed (step S25). In the analysis pattern file of FIG. 2, since only one “word” element is included in the first “line” element, it is determined that reading of all “word” elements has been completed (YES in step S25). ).
When reading of all “word” elements is completed, it is determined whether reading of all “line” elements in the “file” element is completed (step S26). At this point, since only the first “line” element has been read, the determination is denied. Then, reading of the next “line” element is started (step S22).

２つ目の「line」要素の開始タグには、属性「connection="after: 100"」が記載されているので、動作ログファイル中にキーワード「Begin move」を含む行が記載された時刻から１００ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="regexp"」が記載されているので、「word」要素に正規表現で記載されたキーワード「Start position: (${position1}\w+\d+)」を含む行が検索される。なお、動作ログファイル中にキーワード「Begin move」を含む行が含まれなかった場合には、検索対象が指定されないので、キーワード「Start position: (${position1}\w+\d+)」を含む行の検索は行われない。   Since the attribute "connection =" after: 100 "" is described in the start tag of the second "line" element, from the time when the line including the keyword "Begin move" is described in the action log file A line described in the operation log file within 100 msec is set as a search target. And since the attribute "type =" regexp "" is described in the start tag of the "word" element, the keyword "Start position: ($ {position1} \ w + \ d +) "is searched. Note that if the line containing the keyword “Begin move” is not included in the action log file, the search target is not specified, so the line containing the keyword “Start position: ($ {position1} \ w + \ d +)” Is not searched.

以下、「file」要素中のすべての「line」要素の読み込みが完了するまで、同様の処理が繰り返される。
３つ目の「line」要素の開始タグには、属性「connection="after: 100"」が記載されているので、動作ログファイル中にキーワード「Start position: (${position1}\w+\d+)」を含む行が記載された時刻から１００ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="regexp"」が記載されているので、「word」要素に正規表現で記載されたキーワード「Move position: (${position2}\w+\d+)」を含む行が検索される。なお、動作ログファイル中にキーワード「Start position: (${position1}\w+\d+)」を含む行が含まれなかった場合には、検索対象が指定されないので、キーワード「Move position: (${position2}\w+\d+)」を含む行の検索は行われない。 Thereafter, the same processing is repeated until reading of all “line” elements in the “file” element is completed.
Since the attribute "connection =" after: 100 "" is described in the start tag of the third "line" element, the keyword "Start position: ($ {position1} \ w + \ d + The line described in the action log file within 100 msec from the time when the line including “ And since the attribute "type =" regexp "" is described in the start tag of the "word" element, the keyword "Move position: ($ {position2} \ w + \ d +) "is searched. If the line containing the keyword “Start position: ($ {position1} \ w + \ d +)” is not included in the action log file, the search target is not specified, so the keyword “Move position: ($ { "position2} \ w + \ d +)" is not searched.

４つ目の「line」要素の開始タグには、属性「connection="after: 10000"」が記載されているので、動作ログファイル中にキーワード「Move position: (${position2}\w+\d+)」を含む行が記載された時刻から１００００ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="compare"」が記載されているので、「word」要素に記載されたキーワード「Time out occurred」を含む行が検索される。なお、動作ログファイル中にキーワード「Move position: (${position2}\w+\d+)」を含む行が含まれなかった場合には、検索対象が指定されないので、キーワード「Time out occurred」を含む行の検索は行われない。   Since the attribute "connection =" after: 10000 "" is described in the start tag of the fourth "line" element, the keyword "Move position: ($ {position2} \ w + \ d + The line described in the operation log file within 10000 msec from the time when the line including “ Since the attribute “type =“ compare ”” is described in the start tag of the “word” element, a line including the keyword “Time out occurred” described in the “word” element is searched. If the line containing the keyword “Move position: ($ {position2} \ w + \ d +)” is not included in the action log file, the search target is not specified, so the keyword “Time out occurred” is included. No line search is performed.

５つ目の「line」要素の開始タグには、属性「connection="after: 100"」が記載されているので、動作ログファイル中にキーワード「Time out occurred」を含む行が記載された時刻から１００ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="compare"」が記載されているので、「word」要素に記載されたキーワード「Move cancel」を含む行が検索される。なお、動作ログファイル中にキーワード「Time out occurred」を含む行が含まれなかった場合には、検索対象が指定されないので、キーワード「Move cancel」を含む行の検索は行われない。   Since the attribute "connection =" after: 100 "" is described in the start tag of the fifth "line" element, the time when the line including the keyword "Time out occurred" is described in the action log file The line described in the operation log file within 100 msec from the search is the search target. Since the attribute “type =“ compare ”” is described in the start tag of the “word” element, a line including the keyword “Move cancel” described in the “word” element is searched. Note that if the operation log file does not include a line including the keyword “Time out occurred”, the search target is not specified, and therefore the search for the line including the keyword “Move cancel” is not performed.

６つ目の「line」要素の開始タグには、属性「connection="after: 1000"」が記載されているので、動作ログファイル中にキーワード「Move cancel」を含む行が記載された時刻から１０００ｍｓｅｃ後以内に動作ログファイルに記載された行が検索対象とされる。そして、６つ目の「line」要素中には、２つの「word」要素が含まれているので、各「word」要素に記載されたキーワードを含む行の検索が行われる。１つ目の「word」要素の開始タグには、属性「type="regexp"」が記載されているので、この「word」要素に正規表現で記載されたキーワード「Error reason: (${reason}.+)」を含む行が検索される。また、２つ目の「word」要素の開始タグには、属性「type="regexp"」が記載されているので、この「word」要素に正規表現で記載されたキーワード「Alarm No: (${alarmno}\d+)」を含む行が検索される。なお、動作ログファイル中にキーワード「Move cancel」を含む行が含まれなかった場合には、検索対象が指定されないので、キーワード「Error reason: (${reason}.+)」を含む行の検索およびキーワード「Alarm No: (${alarmno}\d+)」を含む行の検索は行われない。   Since the attribute "connection =" after: 1000 "" is described in the start tag of the sixth "line" element, from the time when the line including the keyword "Move cancel" is described in the operation log file A line described in the operation log file within 1000 msec is set as a search target. Since the sixth “line” element includes two “word” elements, a search is performed for a line including the keyword described in each “word” element. Since the attribute "type =" regexp "" is described in the start tag of the first "word" element, the keyword "Error reason: ($ {reason" }. +) "Is searched. In addition, since the attribute “type =" regexp ”” is described in the start tag of the second “word” element, the keyword “Alarm No: ($ Searches for lines containing {alarmno} \ d +) ". If the line containing the keyword “Move cancel” is not included in the action log file, the search target is not specified, so the line containing the keyword “Error reason: ($ {reason}. +)” Is searched. And no search for lines containing the keyword "Alarm No: ($ {alarmno} \ d +)".

７つ目の「line」要素の開始タグには属性が記載されていないので、ファイル名「target. log」の動作ログファイルの全行が検索対象とされる。そして、「word」要素の開始タグには、属性「type="compare"」が記載されているので、「word」要素に記載されたキーワード「Alarm generated」を含む行が検索される。
こうして、すべての「line」要素が読み込まれると（ステップＳ２６のＹＥＳ）、ヒット率が算出される（ステップＳ２７）。すなわち、解析パターンファイルでは、動作ログファイル中のキーワードの出現パターンが定義されており、この出現パターンと解析対象の動作ログファイルとの一致率がヒット率として算出される。たとえば、８つのキーワードのすべてについて、キーワードを含む行が動作ログファイル中に見つかった場合には、ヒット率が８／８＝１００％と算出される。また、動作ログファイル中に１つ目のキーワード「Begin move」を含む行は見つかったが、２つ目のキーワード「Start position: (${position1}\w+\d+)」を含む行が見つからず、８つ目のキーワード「Alarm generated」を含む行が見つかった場合、ヒット率は２／８＝２５％と算出される。 Since no attribute is described in the start tag of the seventh “line” element, all lines of the operation log file with the file name “target.log” are targeted for search. Since the attribute “type =“ compare ”” is described in the start tag of the “word” element, a line including the keyword “Alarm generated” described in the “word” element is searched.
Thus, when all the “line” elements are read (YES in step S26), the hit rate is calculated (step S27). That is, in the analysis pattern file, the appearance pattern of the keyword in the action log file is defined, and the matching rate between this appearance pattern and the action log file to be analyzed is calculated as a hit rate. For example, for all eight keywords, if a line including the keyword is found in the action log file, the hit rate is calculated as 8/8 = 100%. In addition, a line containing the first keyword “Begin move” was found in the action log file, but a line containing the second keyword “Start position: ($ {position1} \ w + \ d +)” was not found. When a line including the eighth keyword “Alarm generated” is found, the hit rate is calculated as 2/8 = 25%.

ヒット率が算出されると、ヒット率および解析パターンファイルのファイル名が動作ログファイル解析部２６から出力制御部２７に出力されて、ログファイル解析処理が終了する。
図７は、情報取得処理のフローチャートである。
情報取得処理では、まず、「reference」要素中の「table」要素が読み込まれる（ステップＳ３１）。図２の解析パターンファイルを例にとると、「table」要素の読み込みにより、テーブル名「AlarmNumber」が取得される。 When the hit rate is calculated, the hit rate and the file name of the analysis pattern file are output from the operation log file analysis unit 26 to the output control unit 27, and the log file analysis process ends.
FIG. 7 is a flowchart of the information acquisition process.
In the information acquisition process, first, the “table” element in the “reference” element is read (step S31). Taking the analysis pattern file of FIG. 2 as an example, the table name “AlarmNumber” is acquired by reading the “table” element.

次に、「key」要素が読み込まれる。図２の解析パターンファイルを例にとると、「key」要素の読み込みにより、ＩＤ「${alarmno}」が取得される。
その後、テーブル名およびＩＤにより指定される付加情報が参照テーブルデータベースから取得される（ステップＳ３３）。
付加情報が取得されると、付加情報が動作ログファイル解析部２６から出力制御部２７に出力されて、情報取得処理が終了する。 Next, the “key” element is read. Taking the analysis pattern file of FIG. 2 as an example, the ID “$ {alarmno}” is acquired by reading the “key” element.
Thereafter, additional information specified by the table name and ID is acquired from the reference table database (step S33).
When the additional information is acquired, the additional information is output from the operation log file analysis unit 26 to the output control unit 27, and the information acquisition process ends.

図８は、障害要因解析ツール画面の一例を示す図である。
障害要因解析ツール画面の解析結果表示部８６には、障害要因表示欄８７および解析結果情報表示欄８８とが設けられている。
障害要因表示欄８７には、各ログファイル解析処理に使用された解析パターンファイルのファイル名とそのログファイル解析処理で算出されたヒット率とが対応づけられて、解析結果として、ヒット率の高いものから順にソートして表形式で表示される。 FIG. 8 is a diagram illustrating an example of the failure factor analysis tool screen.
The failure factor analysis tool screen analysis result display section 86 is provided with a failure factor display column 87 and an analysis result information display column 88.
In the failure factor display column 87, the file name of the analysis pattern file used for each log file analysis process is associated with the hit rate calculated by the log file analysis process. Sorted in order from the one displayed in tabular form.

解析結果情報表示欄８８には、、パターンファイル読込処理で「description」要素の読み込みにより取得された解析結果情報が表示される。
以上のように、基板処理装置１では、ソフトウェア記憶領域２１に、基板処理装置１の動作のためのソフトウェアが記憶されている。ソフトウェアが動作すると、ソフトウェアにより、その動作履歴を時系列で記録する動作ログファイルが作成される。動作ログファイルは、動作ログファイル記憶領域２２に記憶される。また、解析パターンファイル記憶領域２３に、基板処理装置１で発生する障害の要因に対応づけて、動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルが記憶されている。 The analysis result information display column 88 displays analysis result information acquired by reading the “description” element in the pattern file reading process.
As described above, in the substrate processing apparatus 1, software for operation of the substrate processing apparatus 1 is stored in the software storage area 21. When the software operates, an operation log file that records the operation history in time series is created by the software. The operation log file is stored in the operation log file storage area 22. The analysis pattern file storage area 23 stores an analysis pattern file that defines the appearance pattern of keywords in the operation log file in association with the cause of the failure that occurs in the substrate processing apparatus 1.

そして、基板処理装置１で障害が発生した場合には、障害要因解析ツール（障害要因解明プログラム）を起動させれば、解析パターンファイル記憶領域２３（解析パターンファイルデータベース）からすべての解析パターンファイルが取得され、動作ログファイル記憶領域２２（動作ログファイルデータベース）が開かれて、すべての解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンと動作ログファイルとが照合され、ヒット率を含む解析結果が操作パネル３に表示される。そのため、動作ログファイルを解析する技術を有する障害担当者でなくても、解析結果に基づいて、基板処理装置１で発生した障害の要因を容易に解明することができる。その結果、障害の発生から解消に至るまでの時間を大幅に短縮することができる。   When a failure occurs in the substrate processing apparatus 1, all analysis pattern files are stored in the analysis pattern file storage area 23 (analysis pattern file database) by starting a failure factor analysis tool (failure factor elucidation program). The action log file storage area 22 (action log file database) is opened, the keyword appearance pattern defined in all analysis pattern files is checked against the action log file, and the analysis result including the hit rate is obtained. It is displayed on the operation panel 3. Therefore, even if the person in charge of failure has no technique for analyzing the operation log file, the cause of the failure that has occurred in the substrate processing apparatus 1 can be easily clarified based on the analysis result. As a result, the time from the occurrence of a failure to the resolution can be greatly shortened.

また、基板処理装置１では、すべての解析パターンファイルと動作ログファイルとが照合されて、すべてのヒット率が操作パネル３に表示される。そのため、複数の要因により障害が発生した場合にも、解析結果に基づいて、それらの障害要因を容易に解明することができる。また、１つの解析結果から特定した障害要因が誤りであった場合に、他の解析結果から正しい障害要因を特定することができる。さらに、最大数の解析結果が出力されるので、それらの解析結果に基づいて、障害を発生させた可能性のある要因をもれなく特定することができる。   In the substrate processing apparatus 1, all analysis pattern files and operation log files are collated, and all hit rates are displayed on the operation panel 3. Therefore, even when a failure occurs due to a plurality of factors, the failure factors can be easily clarified based on the analysis result. In addition, when a failure factor identified from one analysis result is incorrect, a correct failure factor can be identified from another analysis result. Furthermore, since the maximum number of analysis results are output, it is possible to identify all the factors that may have caused the failure based on the analysis results.

また、解析パターンファイル記憶領域２３には、ソフトウェアの動作が正常に完了した場合に作成される動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した正常パターンファイルが記憶されている。この正常パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンと動作ログファイルとの照合による解析結果から、ソフトウェアの動作が正常に完了したか否かを容易に判断することができる。そして、ソフトウェアの動作が正常に完了している場合には、障害の要因が基板処理装置１のハードウェアにあると判断することができ、障害の要因を速やかかつ一層容易に解明することができる。   The analysis pattern file storage area 23 stores a normal pattern file that defines a keyword appearance pattern in an operation log file that is created when a software operation is normally completed. It is possible to easily determine whether or not the operation of the software is normally completed from the analysis result obtained by collating the appearance pattern of the keyword defined in the normal pattern file with the operation log file. When the operation of the software is normally completed, it can be determined that the cause of the failure is in the hardware of the substrate processing apparatus 1, and the cause of the failure can be clarified quickly and more easily. .

さらに、ヒット率が高いほど、その出現パターンを定義した解析パターンファイルに対応する障害要因により障害が発生した可能性が高いので、ヒット率が操作パネル３に表示されることにより、ヒット率を参照して、障害要因をより速やかかつ容易に解明することができる。
そのうえ、解析結果がヒット率の高いものから順にソートして操作パネル３に表示されるので、ヒット率の高い解析結果から特定される障害要因から順に、その障害要因が真の障害要因であるか否かを判断することができる。その結果、障害要因の解明に要する時間を短縮することができる。 Furthermore, the higher the hit rate, the higher the possibility that a failure has occurred due to a failure factor corresponding to the analysis pattern file that defines the appearance pattern. Therefore, the hit rate is displayed on the operation panel 3 to refer to the hit rate. Thus, the cause of the failure can be clarified more quickly and easily.
In addition, since the analysis results are sorted and displayed on the operation panel 3 in descending order of the hit rate, whether or not the failure factor is the true failure factor in order from the failure factor specified from the analysis result having the highest hit rate. It can be determined whether or not. As a result, the time required for elucidating the cause of the failure can be shortened.

また、この基板処理装置１では、操作パネル３に表示される障害要因解析ツール画面で制限時間範囲を入力するようになっており、その制限時間範囲内に作成された動作ログファイルのみが解析対象（解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合対象）とされる。これにより、解析対象となる動作ログファイルの数を少なくすることができるので、障害要因の解明までに要する時間を短縮することができる。   In the substrate processing apparatus 1, the time limit range is input on the failure factor analysis tool screen displayed on the operation panel 3, and only operation log files created within the time limit range are analyzed. (Matching target with keyword appearance pattern defined in analysis pattern file). As a result, the number of operation log files to be analyzed can be reduced, so that the time required to elucidate the cause of the failure can be shortened.

本発明の一実施形態の説明は以上のとおりであるが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
たとえば、前述の実施形態では、障害要因解明プログラムが起動すると、解析パターンファイルデータベースからすべての解析パターンファイルが取得されるとしたが、障害要因解析ツール画面で使用する解析パターンファイルを選択可能とし、その選択された解析パターンファイルのみが解析パターンファイルデータベースから取得されるようにしてもよい。たとえば、基板処理装置に発生した障害の状況から、その障害の要因をある程度まで絞り込むことができる場合に、解析パターンファイルを選択して使用することにより、障害要因の解明に要する時間を短縮することができる。 The description of one embodiment of the present invention is as described above, but the present invention can be implemented in other forms.
For example, in the above-described embodiment, when the failure factor elucidation program is started, all analysis pattern files are acquired from the analysis pattern file database. However, the analysis pattern file to be used on the failure factor analysis tool screen can be selected. Only the selected analysis pattern file may be acquired from the analysis pattern file database. For example, if the cause of the failure can be narrowed down to a certain extent based on the situation of the failure that occurred in the substrate processing equipment, the time required to clarify the cause of the failure can be reduced by selecting and using the analysis pattern file Can do.

また、すべての解析結果が出力されるのではなく、ヒット率が０％であった解析パターンファイルのファイル名およびヒット率については出力されないようにしてもよいし、ヒット率が予め定める確率よりも高い解析パターンファイルのファイル名およびヒット率のみが出力されてもよい。
さらに、障害要因解析ツール画面で解析結果として解析パターンファイルのファイル名がヒット率の高いものから順にソートして表示される場合には、障害要因解析ツール画面へのヒット率の表示が省略されてもよい。 In addition, not all analysis results are output, but the file name and hit rate of the analysis pattern file whose hit rate was 0% may not be output, or the hit rate is higher than a predetermined probability. Only the file name and hit rate of a high analysis pattern file may be output.
In addition, if the analysis pattern file names are sorted and displayed in descending order of the hit rate as analysis results on the failure factor analysis tool screen, the display of the hit rate on the failure factor analysis tool screen is omitted. Also good.

また、障害要因解析ツール画面での解析パターンファイルのファイル名の表示は、必ずしもヒット率の高いものから順にソートされていなくてもよく、ランダムに並べて表示されてもよいし、５０音順にソートして表示されてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 Moreover, the display of the file name of the analysis pattern file on the failure factor analysis tool screen does not necessarily have to be sorted in descending order of the hit rate, may be displayed in random order, or sorted in the order of 50 tones. May be displayed.
In addition, various design changes can be made within the scope of matters described in the claims.

１ 基板処理装置
２ コンピュータ
３ 操作パネル（表示手段、入力手段）
２１ ソフトウェア記憶領域（ソフトウェア記憶手段）
２２ 動作ログファイル記憶領域（動作ログファイル記憶手段）
２３ 解析パターンファイル記憶領域（解析パターンファイル記憶手段）
２５ 動作ログファイル管理部（動作ログファイル解析手段）
２６ 動作ログファイル解析部（動作ログファイル解析手段）
２７ 出力制御部（表示制御手段） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate processing apparatus 2 Computer 3 Operation panel (display means, input means)
21 Software storage area (software storage means)
22 Action log file storage area (Action log file storage means)
23 Analysis pattern file storage area (analysis pattern file storage means)
25 Action log file management part (Action log file analysis means)
26 Action log file analysis unit (Action log file analysis means)
27 Output control unit (display control means)

Claims (8)

基板に対する処理のために使用される基板処理装置であって、
当該基板処理装置の動作のためのソフトウェアを記憶するソフトウェア記憶手段と、
前記ソフトウェアの動作時に当該ソフトウェアにより作成される動作ログファイルを記憶する動作ログファイル記憶手段と、
当該基板処理装置で発生する障害の要因ごとに、前記動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶する解析パターンファイル記憶手段と、
前記解析パターンファイル記憶手段から前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとを照合し、その照合による解析結果を出力する動作ログファイル解析手段とを含む、基板処理装置。 A substrate processing apparatus used for processing a substrate,
Software storage means for storing software for operation of the substrate processing apparatus;
Operation log file storage means for storing an operation log file created by the software during operation of the software;
Analysis pattern file storage means for storing an analysis pattern file defining an appearance pattern of a keyword in the operation log file for each cause of a failure occurring in the substrate processing apparatus;
The analysis pattern file is obtained from the analysis pattern file storage means, the action log file stored in the action log file storage means is opened, and defined by the action log file and the obtained analysis pattern file. A substrate processing apparatus, comprising: an operation log file analysis unit that collates an appearance pattern of a keyword and outputs an analysis result by the collation. 前記動作ログファイル解析手段は、複数の前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した各解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合による解析結果を出力する、請求項１に記載の基板処理装置。   The action log file analysis means acquires a plurality of the analysis pattern files, opens the action log file stored in the action log file storage means, and uses the action log file and each of the acquired analysis pattern files. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the substrate processing apparatus outputs an analysis result by collation with a defined keyword appearance pattern. 前記動作ログファイル解析手段は、前記解析パターンファイル記憶手段に記憶されているすべての前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した各解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの照合による解析結果を出力する、請求項２に記載の基板処理装置。   The operation log file analysis unit acquires all the analysis pattern files stored in the analysis pattern file storage unit, opens the operation log file stored in the operation log file storage unit, and performs the operation The substrate processing apparatus according to claim 2, wherein an analysis result obtained by collating the log file with an appearance pattern of a keyword defined in each acquired analysis pattern file is output. 前記解析パターンファイル記憶手段は、前記ソフトウェアの動作が正常に完了した場合に作成される前記動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理装置。   The analysis pattern file storage means stores an analysis pattern file defining a keyword appearance pattern in the operation log file created when the operation of the software is normally completed. The substrate processing apparatus as described in any one of Claims. 前記動作ログファイル解析手段は、前記動作ログファイルと前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの一致率を解析結果に含めて出力する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板処理装置。   5. The operation log file analysis unit according to claim 1, wherein the operation log file analysis unit outputs an analysis result including a matching rate between the operation log file and a keyword appearance pattern defined in the analysis pattern file. The substrate processing apparatus as described. 前記動作ログファイル解析手段により出力される解析結果を表示するための表示手段と、
前記表示手段に、前記動作ログファイル解析手段により出力される解析結果を、前記動作ログファイルと前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとの一致率が高いものから順にソートして表示させる表示制御手段とをさらに含む、請求項５に記載の基板処理装置。 Display means for displaying the analysis result output by the operation log file analysis means;
On the display means, the analysis results output by the action log file analysis means are sorted and displayed in descending order of the matching rate between the action log file and the keyword appearance pattern defined in the analysis pattern file. The substrate processing apparatus according to claim 5, further comprising display control means. 前記動作ログファイル解析手段による解析対象となる前記動作ログファイルを制限するための時間範囲を入力する入力手段をさらに含み、
前記動作ログファイル解析手段は、前記入力手段により入力される時間範囲内に作成された前記動作ログファイルを開く、請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板処理装置。 An input unit for inputting a time range for limiting the operation log file to be analyzed by the operation log file analysis unit;
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the operation log file analysis unit opens the operation log file created within a time range input by the input unit. 基板に対する処理のために使用される基板処理装置のコンピュータにインストールされる障害要因解明プログラムであって、
前記コンピュータには、当該基板処理装置の動作のためのソフトウェアがインストールされており、
当該障害要因解明プログラムは、前記コンピュータを、
前記ソフトウェアの動作時に当該ソフトウェアにより作成される動作ログファイルを記憶する動作ログファイル記憶手段、
当該基板処理装置で発生する障害の要因ごとに、前記動作ログファイル中のキーワードの出現パターンを定義した解析パターンファイルを記憶する解析パターンファイル記憶手段、および
前記解析パターンファイル記憶手段から前記解析パターンファイルを取得し、前記動作ログファイル記憶手段に記憶されている前記動作ログファイルを開いて、当該動作ログファイルとその取得した前記解析パターンファイルで定義されているキーワードの出現パターンとを照合し、その照合による解析結果を出力する動作ログファイル解析手段
として機能させる、基板処理装置用の障害要因解明プログラム。 A failure factor elucidation program installed in a computer of a substrate processing apparatus used for processing a substrate,
Software for operating the substrate processing apparatus is installed in the computer,
The obstacle factor elucidation program is configured to use the computer,
An operation log file storage means for storing an operation log file created by the software during operation of the software;
An analysis pattern file storage unit that stores an analysis pattern file that defines an appearance pattern of a keyword in the operation log file for each cause of a failure that occurs in the substrate processing apparatus, and the analysis pattern file from the analysis pattern file storage unit The action log file stored in the action log file storage means is opened, the action log file is compared with the keyword appearance pattern defined in the acquired analysis pattern file, and A failure factor elucidation program for a substrate processing apparatus that functions as an action log file analysis unit that outputs an analysis result of verification.
JP2009072730A 2009-03-24 2009-03-24 Substrate processing apparatus and failure factor elucidation program Expired - Fee Related JP5349103B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009072730A JP5349103B2 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Substrate processing apparatus and failure factor elucidation program

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009072730A JP5349103B2 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Substrate processing apparatus and failure factor elucidation program

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010224973A true JP2010224973A (en) 2010-10-07
JP5349103B2 JP5349103B2 (en) 2013-11-20

Family

ID=43042077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009072730A Expired - Fee Related JP5349103B2 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Substrate processing apparatus and failure factor elucidation program

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5349103B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2013136418A1 (en) * 2012-03-12 2015-08-03 株式会社日立製作所 Log management computer and log management method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001109647A (en) * 1999-10-12 2001-04-20 Fujitsu Ltd Situation analyzing device
WO2002061514A1 (en) * 2001-01-30 2002-08-08 Nikon Corporation Diagnosing device, information collecting device, diagnosing system, and remote maintenance system
JP2003243273A (en) * 2002-02-14 2003-08-29 Toshiba Corp Abnormal location specifying system and recording medium
JP2008140248A (en) * 2006-12-04 2008-06-19 Tokyo Electron Ltd Trouble cause finding out support device, trouble cause finding out supporting method, and storage medium with program stored therein
JP2008165671A (en) * 2007-01-04 2008-07-17 Hitachi High-Technologies Corp Report retrieval method, report retrieval system and review device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001109647A (en) * 1999-10-12 2001-04-20 Fujitsu Ltd Situation analyzing device
WO2002061514A1 (en) * 2001-01-30 2002-08-08 Nikon Corporation Diagnosing device, information collecting device, diagnosing system, and remote maintenance system
JP2003243273A (en) * 2002-02-14 2003-08-29 Toshiba Corp Abnormal location specifying system and recording medium
JP2008140248A (en) * 2006-12-04 2008-06-19 Tokyo Electron Ltd Trouble cause finding out support device, trouble cause finding out supporting method, and storage medium with program stored therein
JP2008165671A (en) * 2007-01-04 2008-07-17 Hitachi High-Technologies Corp Report retrieval method, report retrieval system and review device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2013136418A1 (en) * 2012-03-12 2015-08-03 株式会社日立製作所 Log management computer and log management method

Also Published As

Publication number Publication date
JP5349103B2 (en) 2013-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10692030B2 (en) Process visualization platform
CN104718533B (en) Hardware fault management system, method and the framework of business equipment
CN109285076A (en) Intelligent core protects processing method, server and storage medium
US10911447B2 (en) Application error fingerprinting
US9256221B2 (en) Information processing apparatus, processing system, processing method, and program
JPWO2004061681A1 (en) Operation management method and operation management server
US20220035847A1 (en) Information retrieval
WO2017155920A1 (en) Computerized system and method of open account processing
JP2017041171A (en) Test scenario generation support device and test scenario generation support method
JP2007011604A (en) Fault diagnostic system and program
US20220253574A1 (en) Method and system for log based predictive analytics
JP2006293611A (en) Plant monitoring control system
JP5349103B2 (en) Substrate processing apparatus and failure factor elucidation program
CN112740159A (en) Help information display system, help information display method, and help information display program
JP2001255929A (en) Device for supporting plant operation
US20070038660A1 (en) Support apparatus and computer-readable storage medium
CN113792274A (en) Information management method, management system and storage medium
US20100185608A1 (en) Information retrieval device, information retrieval system, information retrieval program and information retrieval method
JPWO2009008129A1 (en) Development document data management apparatus, development document data management system, development document data management method, program thereof, and storage medium
JP2006277179A (en) Database tuning device, method, and program
JP2008117280A (en) Software source code-retrieval method and system
JP7478003B2 (en) GENERATION APPARATUS, GENERATION METHOD, AND GENERATION PROGRAM
US11921496B2 (en) Information processing apparatus, information processing method and computer readable medium
JP2011203911A (en) System and method, and program for failure information collection
JP2003208333A (en) Trace information searching device and method therefor

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20100630

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130329

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130820

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5349103

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees