JP2010220393A - Rotary actuator - Google Patents

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JP2010220393A JP2009064443A JP2009064443A JP2010220393A JP 2010220393 A JP2010220393 A JP 2010220393A JP 2009064443 A JP2009064443 A JP 2009064443A JP 2009064443 A JP2009064443 A JP 2009064443A JP 2010220393 A JP2010220393 A JP 2010220393A
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Hiroyuki Morikawa
博行 森川
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Amada Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rotary actuator having a function for autonomous return when a ball screw in a ball screw mechanism is rotated and moved in the axial direction to a ball nut. <P>SOLUTION: The rotary actuator rotatably includes a rotor 25 including permanent magnets in a stator 17. In the rotary actuator, a screw 7 for moving a rotating shaft 11 in the axial direction is mounted on the rotating shaft 11 integrally provided with the rotor 25, and the length in the axial direction of the stator 17 and the length in the axial direction of a part including the permanent magnets for the rotor 25 are equalized. In the rotary actuator, a slider 37 relatively rotatable to the rotating shaft 11 and integrally reciprocatable in the axial direction to the rotating shaft 11 is mounted at the front end of the rotating shaft 11, and a pushing piece 39 for pushing a body to be worked is suitable for the slider 37. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えばモータなどのごときロータリーアクチュエータに係り、さらに詳細には、回転自在なロータを軸方向へ移動自在に備えたロータリーアクチュエータに関する。   The present invention relates to a rotary actuator such as a motor, and more particularly, to a rotary actuator provided with a rotatable rotor so as to be movable in an axial direction.

従来、プレス機械におけるラムを上下動する駆動装置としてモータとボールネジとを組合せた構成がある（例えば特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is a configuration in which a motor and a ball screw are combined as a drive device that moves a ram up and down in a press machine (see, for example, Patent Document 1).

特開平１１−２０７５６０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-207560

前記特許文献１に記載の駆動装置の構成は、モータにおけるロータを円筒形状に構成し、このロータの内周面に一体的に備えたボールナットにボールネジを軸方向へ移動自在に螺合した構成である。すなわち、従来はボールネジ機構におけるボールナットを回転する構成であるから、回転部が大型化し慣性が大きくなるという問題がある。   The configuration of the driving device described in Patent Document 1 is a configuration in which a rotor in a motor is configured in a cylindrical shape, and a ball screw is screwed into a ball nut integrally provided on the inner peripheral surface of the rotor so as to be movable in the axial direction. It is. That is, since the conventional configuration is such that the ball nut in the ball screw mechanism is rotated, there is a problem in that the rotating portion becomes large and inertia increases.

本発明は、前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、ステータ内に、永久磁石を備えたロータを回転自在に備えたロータリーアクチュエータであって、前記ロータと一体的に備えた回転軸に、当該回転軸を軸方向に移動するための螺子部を備え、前記ステータの軸方向の長さ寸法と前記ロータの永久磁石を備えた部分の軸方向の長さ寸法を等しく構成してあることを特徴とするものである。   The present invention has been made in view of the problems as described above, and is a rotary actuator in which a rotor provided with a permanent magnet is rotatably provided in a stator, and a rotary shaft provided integrally with the rotor, A screw portion for moving the rotating shaft in the axial direction is provided, and the axial length of the stator is configured to be equal to the axial length of the portion of the rotor including the permanent magnet. It is a feature.

また、ステータ内に、永久磁石を備えたロータを回転自在に備えたロータリーアクチュエータであって、前記ロータと一体的に備えた回転軸に、当該回転軸を軸方向に移動するための螺子部を備え、前記ステータの軸方向の長さ寸法よりも、前記ロータの永久磁石を備えた部分の軸方向の長さ寸法を短く構成してあることを特徴とするものである。   In addition, a rotary actuator provided with a rotor provided with a permanent magnet in a stator so as to be rotatable, and a screw part for moving the rotary shaft in the axial direction on a rotary shaft provided integrally with the rotor. And the axial length dimension of the portion of the rotor including the permanent magnet is shorter than the axial length dimension of the stator.

また、前記ロータリーアクチュエータにおいて、前記回転軸に軸方向へ相対的に移動自在かつ一体的に回転自在に備えた回転体に、当該回転軸の回転を検出するための回転検出手段を備えていることを特徴とするものである。   Further, in the rotary actuator, a rotating body provided on the rotating shaft so as to be relatively movable in the axial direction and rotatable integrally therewith includes a rotation detecting means for detecting the rotation of the rotating shaft. It is characterized by.

また、前記ロータリーアクチュエータにおいて、前記回転軸の先端部に、当該回転軸に対して相対的に回転自在かつ当該回転軸と軸方向へ一体的に往復動自在なスライダを備え、このスライダに被作動体を押圧するための押圧子を備えていることを特徴とするものである。   The rotary actuator includes a slider at the tip of the rotary shaft that is rotatable relative to the rotary shaft and reciprocally movable integrally with the rotary shaft in an axial direction. It has a pressing element for pressing the body.

本発明によれば、ロータリーアクチュエータにおける回転軸を回転しかつ軸方向に移動する構成であるから、回転部の径を小さくすることができ、慣性を抑制することができるものである。また、ステータの軸方向の長さとロータの永久磁石を備えた部分の軸方向の長さとを等しく構成することにより、ロータが軸方向に移動した後に自己復帰機能を生じるものであり、安全性の向上を図ることができるものである。   According to the present invention, since the rotary shaft in the rotary actuator is configured to rotate and move in the axial direction, the diameter of the rotating portion can be reduced and inertia can be suppressed. In addition, by making the axial length of the stator equal to the axial length of the portion of the rotor having the permanent magnet, a self-return function is produced after the rotor has moved in the axial direction. It is possible to improve.

本発明の第１の実施形態に係るロータリーアクチュエータの構成を示す断面説明図である。It is a section explanatory view showing the composition of the rotary actuator concerning a 1st embodiment of the present invention. 同上のロータリーアクチュエータの動作状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the operation state of a rotary actuator same as the above. 本発明の第２の実施形態に係るロータリーアクチュエータの構成を示す断面説明図である。It is a section explanatory view showing the composition of the rotary actuator concerning a 2nd embodiment of the present invention.

以下、図面を用いて本発明の実施形態に係るロータリーアクチュエータについて説明するに、当該ロータリーアクチュエータは例えば工作機械や産業機械などの種々の機械に装着して使用することができるが、本実施形態においてはプレス機械の１例としてのパンチプレスに適用した場合について例示し説明する。   Hereinafter, a rotary actuator according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The rotary actuator can be used by being mounted on various machines such as machine tools and industrial machines. Is illustrated and described for a case where it is applied to a punch press as an example of a press machine.

図１を参照するに、本発明の実施形態に係るロータリーアクチュエータ１は、プレス機械におけるフレーム３に装着してある。より詳細には、前記フレーム３には筒状の支持ハウジング５が取付ボルトなどのごとき取付具（図示省略）を介して着脱可能に取付けてあり、この支持ハウジング５内には螺子部を構成するボールネジ機構７におけるボールナット９が嵌入支持されている。そして、上記ボールナット９内には、ボールを介してボールネジ１１が回転自在かつ上下に移動自在に螺入してあり、このボールネジ１１は前記ボールナット９を上下方向に貫通してある。   Referring to FIG. 1, a rotary actuator 1 according to an embodiment of the present invention is attached to a frame 3 in a press machine. More specifically, a cylindrical support housing 5 is detachably attached to the frame 3 via a fixture (not shown) such as a mounting bolt, and a screw portion is formed in the support housing 5. A ball nut 9 in the ball screw mechanism 7 is inserted and supported. A ball screw 11 is screwed into the ball nut 9 via a ball so as to be rotatable and movable up and down. The ball screw 11 penetrates the ball nut 9 in the vertical direction.

前記支持ハウジング５の上部には、回転軸としてのボールネジ１１を回転するためのモータ部１３が備えられている。すなわち、前記支持ハウジング５の上部には、励磁コイル１５を備えたステータ（積層鋼板）１７が上下のステータブラケット１９，２１を介して一体的に取付けてある。そして、前記ボールネジ（回転軸）１１の上方向へ延伸した上方向延伸部２３にはロータ（積層鋼板）２５がナットなどのごとき固定具２７によって一体的に取付けてあり、このロータ２５には、一般的なモータと同様に複数の永久磁石（図示省略）が備えられている。前記モータ部１３において、前記ステータ１７の軸方向の長さ寸法と前記ロータ２５の永久磁石を備えた部分の軸方向の長さ寸法、すなわち積層鋼板の積層寸法は、図１に示すように、等しく構成してある。   A motor portion 13 for rotating a ball screw 11 as a rotation shaft is provided on the upper portion of the support housing 5. That is, a stator (laminated steel plate) 17 having an exciting coil 15 is integrally attached to the upper portion of the support housing 5 via upper and lower stator brackets 19 and 21. A rotor (laminated steel plate) 25 is integrally attached by a fixture 27 such as a nut to an upward extending portion 23 that extends upward of the ball screw (rotating shaft) 11. Like a general motor, a plurality of permanent magnets (not shown) are provided. In the motor unit 13, the axial length of the stator 17 and the axial length of the portion of the rotor 25 provided with the permanent magnets, that is, the lamination dimensions of the laminated steel plates are as shown in FIG. They are equally configured.

前記回転軸１１の前記上方向延伸部２３の上端部には上方向に長いスプライン部２９が備えられており、このスプライン部２９は、上側の前記ステータブラケット１９に回転自在に備えられた回転体としてのスプラインナット３１を相対的に摺動のみ自在に貫通してある。すなわち前記スプラインナット（回転体）３１は、回転軸１１と一体に回転する構成である。そして、前記スプラインナット３１には、前記回転軸１１の回転を検出するために、例えばロータリーエンコーダなどのごとき回転検出手段３３が備えられている。したがって、モータ部１３を回転駆動すると、回転軸１１の回転速度、回転位置及び回転数などを検出することができるものである。   The upper end portion of the upward extending portion 23 of the rotating shaft 11 is provided with a spline portion 29 that is long in the upward direction. The spline portion 29 is a rotating body that is rotatably provided on the upper stator bracket 19. The spline nut 31 is penetrated so as to be relatively slidable. That is, the spline nut (rotary body) 31 is configured to rotate integrally with the rotary shaft 11. The spline nut 31 is provided with a rotation detection means 33 such as a rotary encoder for detecting the rotation of the rotary shaft 11. Therefore, when the motor unit 13 is rotationally driven, the rotational speed, rotational position, rotational speed, and the like of the rotating shaft 11 can be detected.

前記支持ハウジング５の下面には複数本のガイドポスト３５が垂直に備えられており、このガイドポスト３５にはスライダ３７が上下動自在に備えられている。なお、スライダ３７の上下動を円滑に行うために、スライダ３７等の重量は、例えばスプリングなどのごとき公知の適宜のバランサ（図示省略）によって支持されている。そして、このスライダ３７には、プレス機械における被作動体としてのパンチ（上金型）を打圧又は押圧するラムなどのごとき押圧子３９が備えられている。なお、本実施形態においては、前記押圧子３９はシャープレート４１を備えた過負荷安全装置４３を介して前記スライダ３７に取付けてある。前記過負荷安全装置４３の構成は周知の構成であるから、過負荷安全装置４３についてのより詳細な説明は省略する。   A plurality of guide posts 35 are vertically provided on the lower surface of the support housing 5, and a slider 37 is provided on the guide post 35 so as to be movable up and down. In order to smoothly move the slider 37 up and down, the weight of the slider 37 and the like is supported by a known appropriate balancer (not shown) such as a spring. The slider 37 is provided with a pressing member 39 such as a ram for striking or pressing a punch (upper die) as an actuated body in a press machine. In this embodiment, the pressing element 39 is attached to the slider 37 via an overload safety device 43 having a shear plate 41. Since the configuration of the overload safety device 43 is a known configuration, a more detailed description of the overload safety device 43 is omitted.

前記スライダ３７を前記ガイドポスト３５に沿って上下動するために、前記回転軸１１とスライダ３７は、相対的に回転自在かつ一体的に上下動する構成でもって連結してある。すなわち、前記スライダ３７の上面には半円球状の凹部４５が形成してあり、この凹部４５には前記回転軸１１の下端部に備えた球状部４７が相対的に回転自在に係合してある。そして、前記凹部４５からの球状部４７の離脱を防止するための球押え部材４９が前記スライダ３７に取付けてある。   In order to move the slider 37 up and down along the guide post 35, the rotary shaft 11 and the slider 37 are connected to each other so as to be relatively rotatable and integrally movable up and down. In other words, a semicircular spherical recess 45 is formed on the upper surface of the slider 37, and a spherical portion 47 provided at the lower end of the rotary shaft 11 is relatively rotatably engaged with the recess 45. is there. A ball pressing member 49 for preventing the spherical portion 47 from being detached from the concave portion 45 is attached to the slider 37.

以上のごとき構成において、モータ部１３における励磁コイル１５を励磁してモータ部１３を正回転駆動すると、ボールネジ（回転軸）１１が正回転駆動される。すなわちボールネジ機構７におけるボールネジ１１を正回転駆動するものであるから、ボールネジ機構７におけるボールナット９を正回転駆動する場合に比較して、回転部の径を小径に抑制することができ、慣性を抑制することができるものである。したがって、回転部の加減速の応答性の向上を図ることができるものである。   In the configuration as described above, when the exciting coil 15 in the motor unit 13 is excited and the motor unit 13 is driven to rotate in the forward direction, the ball screw (rotating shaft) 11 is driven to rotate in the forward direction. That is, since the ball screw 11 in the ball screw mechanism 7 is driven to rotate in the forward direction, the diameter of the rotating portion can be suppressed to a smaller diameter compared to the case where the ball nut 9 in the ball screw mechanism 7 is driven to rotate in the forward direction. It can be suppressed. Therefore, the response of acceleration / deceleration of the rotating part can be improved.

前述のごとく回転軸（ボールネジ）１１を正回転すると、ボールネジ機構７の作用によって回転軸１１は下方向へ移動し、スライダ３７を一体的に下降する。したがって、スライダ３７に備えた押圧子３９が下降されてプレス機械における上金型を打圧又は押圧することになる。   When the rotating shaft (ball screw) 11 is rotated forward as described above, the rotating shaft 11 is moved downward by the action of the ball screw mechanism 7 and the slider 37 is integrally lowered. Therefore, the pressing element 39 provided in the slider 37 is lowered to hit or press the upper die in the press machine.

そして、上金型を打圧又は押圧した後、モータ部１３における励磁コイル１５を励磁してモータ部を逆回転駆動すると、ボールネジ機構７の作用によって回転軸１１は逆回転駆動されながら上方へ移動し、スライダ３７を一体的に上昇させ、押圧子も上昇され加工が完了することになる。この際ロータ２５は元の上昇位置へ復帰される。   When the upper die is pressed or pressed and then the excitation coil 15 in the motor unit 13 is excited to drive the motor unit in reverse rotation, the ball screw mechanism 7 causes the rotary shaft 11 to move upward while being driven in reverse rotation. Then, the slider 37 is raised integrally, and the presser is also lifted to complete the processing. At this time, the rotor 25 is returned to the original raised position.

前述のごとく、回転軸１１が下降すると、ロータ２５も一体的に下降するので、ステータ１７に対するロータ２５の位置関係は、互いに同一の高さ位置から、図２に示すように、ストロークＳだけ下方向に位置ずれを生じる。したがって、前記ステータ１７とロータ２５とが互いに対向する範囲はＴとなる。よって、ロータ２５に備えられている永久磁石の吸引作用がステータ１７に作用し、ロータ２５は元の上昇位置へ復帰するための吸引力を受けることになる。なお、上記吸引力は、モータ部１３を回転駆動して回転軸１１を下方向へ移動する場合の力に比較して充分に小さなものであり、問題になるようなことはないものである。   As described above, when the rotating shaft 11 is lowered, the rotor 25 is also lowered integrally. Therefore, the positional relationship of the rotor 25 with respect to the stator 17 is lowered by the stroke S as shown in FIG. Deviation occurs in the direction. Therefore, the range where the stator 17 and the rotor 25 face each other is T. Therefore, the attracting action of the permanent magnet provided in the rotor 25 acts on the stator 17, and the rotor 25 receives the attracting force for returning to the original ascending position. The suction force is sufficiently small as compared with the force when the motor unit 13 is driven to rotate and the rotary shaft 11 is moved downward, and does not cause a problem.

そして、停電時又は電源遮断時には、前記吸引力の作用により回転軸１１は逆回転しつつロータ２５とステータ１７が磁気的にバランスの取れたところである元の上昇位置へ復帰されるものである。なお、スライダ３７等の重量はバランサによって支持されているので、前記吸引力の大きさは、回転軸１１等の重量に対応し得る大きさがあればよいものである。既に理解されるように、前記構成においては、ステータ１７に対してロータ２５が下降すると、ロータ２５に備えた永久磁石の作用によってロータ２５を上方向へ復帰される吸引力が作用するので、安全性の向上を図ることができるものである。   Then, at the time of a power failure or when the power is shut off, the rotary shaft 11 rotates in the reverse direction by the action of the attractive force, and the rotor 25 and the stator 17 are returned to their original ascending positions where they are magnetically balanced. In addition, since the weight of the slider 37 etc. is supported by the balancer, the magnitude | size of the said suction force should just have a magnitude | size which can respond | correspond to the weight of the rotating shaft 11 grade | etc.,. As already understood, in the above-described configuration, when the rotor 25 is lowered with respect to the stator 17, an attractive force that returns the rotor 25 upward by the action of the permanent magnet provided on the rotor 25 acts. It is possible to improve the performance.

なお、前記回転軸１１の回転は回転検出手段３３によって検出されており、この回転検出手段３３による回転の検出値及び前記ボールネジ機構７のピッチに基づいて前記スライダ３７の基準位置からの上下動位置の検知が行われるものである。   The rotation of the rotary shaft 11 is detected by the rotation detection means 33, and the vertical movement position of the slider 37 from the reference position based on the rotation detection value by the rotation detection means 33 and the pitch of the ball screw mechanism 7. Is detected.

ところで、前記説明においては、図１に示すように、モータ部１３におけるステータ（積層鋼板）１７の軸方向の長さ寸法とロータ（積層鋼板）２５の軸方向の長さ寸法とを等しい寸法とした構成について説明した。しかし、図３に示すように、ロータ２５の軸方向の長さ寸法に比較して、ステータ１７の軸方向の長さ寸法をストロークＳの長さだけ長くすることも可能である。   In the above description, as shown in FIG. 1, the axial length of the stator (laminated steel plate) 17 in the motor unit 13 and the axial length of the rotor (laminated steel plate) 25 are equal to each other. The configuration has been described. However, as shown in FIG. 3, the axial length of the stator 17 can be increased by the length of the stroke S as compared to the axial length of the rotor 25.

上記構成によれば、ステータ１７とロータ２５とが対向する範囲Ｔは、常にロータ２５の軸方向の長さに等しいので、ロータ２５がストロークＳだけ下降した場合であっても、前記ステータ１７とロータ２５とが対向した範囲Ｔは常に一定であるから、ロータ２５を回転するための回転力は常に一定に保持されるものである。   According to the above configuration, the range T in which the stator 17 and the rotor 25 face each other is always equal to the axial length of the rotor 25. Therefore, even when the rotor 25 is lowered by the stroke S, Since the range T facing the rotor 25 is always constant, the rotational force for rotating the rotor 25 is always kept constant.

上記構成において、ロータ２５は、常態においてはロータ２５とステータ１７が磁気的にバランスの取れた位置、すなわち前記ステータ１７の上下方向の中間位置に位置する。そして、モータ部１３を正回転すると、ボールネジ機構７の作用によってロータ２５及び回転軸１１は、ロータ２５の下端部がステータ１７の下端部にほぼ一致する位置まで下降する。その後、モータ部１３を逆回転してロータ２５を元の位置、すなわちステータ１７の上下方向の中央部に戻すことによってロータ２５、回転軸１１の１ストロークの往復動が終了する。   In the above configuration, the rotor 25 is normally positioned at a position where the rotor 25 and the stator 17 are magnetically balanced, that is, at an intermediate position in the vertical direction of the stator 17. When the motor unit 13 is rotated forward, the rotor 25 and the rotating shaft 11 are lowered to a position where the lower end portion of the rotor 25 substantially coincides with the lower end portion of the stator 17 by the action of the ball screw mechanism 7. Thereafter, the motor unit 13 is rotated in the reverse direction to return the rotor 25 to the original position, that is, the central portion in the vertical direction of the stator 17, thereby completing one-stroke reciprocation of the rotor 25 and the rotating shaft 11.

前述のごとく、ステータ１７の上下方向の中央部からロータ２５を下方向へ移動すると、ロータ２５とステータ１７の磁気的バランスが崩れて、ロータ２５を上方向へ復帰する吸引力が発生するが、ボールネジ機構７による回転軸１１の下方向への推力に比較して小さなものであり、問題になるようなことはないものである。   As described above, when the rotor 25 is moved downward from the central portion of the stator 17 in the vertical direction, the magnetic balance between the rotor 25 and the stator 17 is lost, and an attractive force for returning the rotor 25 upward is generated. Compared with the downward thrust of the rotating shaft 11 by the ball screw mechanism 7, it is small and does not cause a problem.

また、前記構成においては、停電時や電源遮断時には、前述した第１実施形態と同様に、ロータ２５とステータ１７が磁気的にバランスの取れた位置に前記ロータ２５を戻すこととなり、安全性も向上するものである。   In the above configuration, at the time of a power failure or power interruption, the rotor 25 and the stator 17 are returned to a magnetically balanced position as in the first embodiment described above, and safety is also improved. It will improve.

以上のごとき説明より理解されるように、ボールネジ機構７におけるボールネジ１１をモータ部１３によって直接回転駆動する構成であるから、ボールネジ機構７におけるボールナット９を回転する場合に比較して、回転部の小径化を図ることが容易であり、回転部の応答性の向上を図ることができるものである。また、前記構成においては、ボールネジ機構７とモータ部１３とを軸方向に重ねた構成であるから、軸方向に長くはなるものの、モータ部１３におけるロータ２５の径を小さくすることができるものである。   As can be understood from the above description, since the ball screw 11 in the ball screw mechanism 7 is directly driven to rotate by the motor unit 13, compared with the case of rotating the ball nut 9 in the ball screw mechanism 7, It is easy to reduce the diameter, and the response of the rotating part can be improved. In the above configuration, since the ball screw mechanism 7 and the motor unit 13 are stacked in the axial direction, the diameter of the rotor 25 in the motor unit 13 can be reduced, although the length is increased in the axial direction. is there.

さらに、ステータ１７とロータ２５の磁気的バランスの取れた元の位置へロータ２５を戻す機能があり、安全性の向上を図ることができるものである。   Furthermore, there is a function of returning the rotor 25 to the original position where the stator 17 and the rotor 25 are magnetically balanced, and safety can be improved.

１ ロータリーアクチュエータ
３ フレーム
５ 支持ハウジング
７ ボールネジ機構（螺子部）
９ ボールナット
１１ ボールネジ（回転軸）
１３ モータ部
１５ 励磁コイル
１７ ステータ
２５ ロータ
２９ スプライン部
３１ スプラインナット（回転体）
３３ 回転検出手段
３７ スライダ
３９ 押圧子
４３ 過負荷安全装置 1 Rotary actuator 3 Frame 5 Support housing 7 Ball screw mechanism (screw part)
9 Ball nut 11 Ball screw (Rotating shaft)
13 Motor part 15 Excitation coil 17 Stator 25 Rotor 29 Spline part 31 Spline nut (Rotating body)
33 Rotation detection means 37 Slider 39 Presser 43 Overload safety device

Claims (4)

ステータ内に、永久磁石を備えたロータを回転自在に備えたロータリーアクチュエータであって、前記ロータと一体的に備えた回転軸に、当該回転軸を軸方向に移動するための螺子部を備え、前記ステータの軸方向の長さ寸法と前記ロータの永久磁石を備えた部分の軸方向の長さ寸法を等しく構成してあることを特徴とするロータリーアクチュエータ。   A rotary actuator provided with a rotor provided with a permanent magnet in a stator so as to be rotatable, and provided with a screw part for moving the rotary shaft in an axial direction on a rotary shaft provided integrally with the rotor, A rotary actuator characterized in that an axial length dimension of the stator is equal to an axial length dimension of a portion of the rotor having a permanent magnet. ステータ内に、永久磁石を備えたロータを回転自在に備えたロータリーアクチュエータであって、前記ロータと一体的に備えた回転軸に、当該回転軸を軸方向に移動するための螺子部を備え、前記ステータの軸方向の長さ寸法よりも、前記ロータの永久磁石を備えた部分の軸方向の長さ寸法を短く構成してあることを特徴とするロータリーアクチュエータ。   A rotary actuator provided with a rotor provided with a permanent magnet in a stator so as to be rotatable, and provided with a screw part for moving the rotary shaft in the axial direction on a rotary shaft provided integrally with the rotor, A rotary actuator characterized in that an axial length dimension of a portion of the rotor having a permanent magnet is shorter than an axial length dimension of the stator. 請求項１又は２に記載のロータリーアクチュエータにおいて、前記回転軸に軸方向へ相対的に移動自在かつ一体的に回転自在に備えた回転体に、当該回転軸の回転を検出するための回転検出手段を備えていることを特徴とするロータリーアクチュエータ。   3. A rotary actuator according to claim 1, wherein said rotary actuator is configured to detect a rotation of said rotary shaft in a rotary body provided on said rotary shaft so as to be relatively movable in the axial direction and integrally rotatable. A rotary actuator characterized by comprising: 請求項１，２又は３に記載のロータリーアクチュエータにおいて、前記回転軸の先端部に、当該回転軸に対して相対的に回転自在かつ当該回転軸と軸方向へ一体的に往復動自在なスライダを備え、このスライダに被作動体を押圧するための押圧子を備えていることを特徴とするロータリーアクチュエータ。   4. The rotary actuator according to claim 1, wherein a slider that is rotatable relative to the rotary shaft and reciprocally integrated with the rotary shaft in an axial direction is provided at a tip of the rotary shaft. A rotary actuator comprising a slider for pressing the actuated body on the slider.
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