JP2010210989A - 脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 - Google Patents
脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010210989A JP2010210989A JP2009057541A JP2009057541A JP2010210989A JP 2010210989 A JP2010210989 A JP 2010210989A JP 2009057541 A JP2009057541 A JP 2009057541A JP 2009057541 A JP2009057541 A JP 2009057541A JP 2010210989 A JP2010210989 A JP 2010210989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- functional liquid
- tube
- deaeration
- tank
- droplet ejection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【課題】十分な気泡除去性能を発揮させつつ、気泡除去のためのスペース効率を向上させることができる脱気チューブ等を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド25に機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく機能液から気体を取り除く脱気チューブ54であって、機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブ60と、脱気空間62を存して内部チューブ60を覆う外部チューブ61と、外部チューブ61に設けられ、脱気空間62に連通する真空吸引ポート73と、を備え、内部チューブ60は、複数本の細チューブ63から成るバンドルチューブで構成されている。
【選択図】図7
【解決手段】機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド25に機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく機能液から気体を取り除く脱気チューブ54であって、機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブ60と、脱気空間62を存して内部チューブ60を覆う外部チューブ61と、外部チューブ61に設けられ、脱気空間62に連通する真空吸引ポート73と、を備え、内部チューブ60は、複数本の細チューブ63から成るバンドルチューブで構成されている。
【選択図】図7
Description
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の供給流路となると共に、通過する機能液から気体を取り除く脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置に関する。
従来、機能液の供給源となる2つのメインタンクと、複数の機能液滴吐出ヘッドに自然水頭を利用し機能液を供給する8つのサブタンクと、メインタンクと各サブタンクとを接続する上流側流路と、各サブタンクと各機能液滴吐出ヘッドとを接続する下流側流路と、上流側流路に介設された気泡除去ユニットと、を有する機能液供給装置を搭載した液滴吐出装置が知られている(特許文献1参照)。
この機能液供給装置に設けられた気泡除去ユニットは、これから機能液滴吐出ヘッドに至る全流路およびサブタンクに充填される機能液の容量よりも多い機能液を滞留可能に構成されており、真空引きの状態で導入された機能液を滞留させることで、機能液に混入したマイクロバブルを除去するようになっている。なお、この気泡除去ユニットの気泡除去率は、気泡除去ユニット内への通液流量(滞留時間)に依存するようになっている。
この機能液供給装置に設けられた気泡除去ユニットは、これから機能液滴吐出ヘッドに至る全流路およびサブタンクに充填される機能液の容量よりも多い機能液を滞留可能に構成されており、真空引きの状態で導入された機能液を滞留させることで、機能液に混入したマイクロバブルを除去するようになっている。なお、この気泡除去ユニットの気泡除去率は、気泡除去ユニット内への通液流量(滞留時間)に依存するようになっている。
近年、このような液滴吐出装置により製造されるカラーフィルター等の大型化に伴い、使用する機能液滴吐出ヘッド数が増加し、機能液の供給量も増加している。そのため、マイクロバブルを除去するための気泡除去ユニットの大型化および設置数が増加し、機能液供給装置(液滴吐出装置)における設置スペースの確保が困難であるという問題や、流路が長くなると共に配管の引き回しの自由度が制約される等の問題を生じていた。
本発明は、十分な気泡除去(脱気)性能を発揮させつつ、気泡除去のためのスペース効率を向上させることができる脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置を提供することを課題とする。
本発明の脱気チューブは、機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく機能液から気体を取り除く脱気チューブであって、機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブと、脱気空間を存して内部チューブを覆う外部チューブと、外部チューブに設けられ、脱気空間に連通する真空吸引ポートと、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、自身が機能液を供給するための機能液流路の少なくとも一部を構成しているため、別途、気泡除去のための手段を設ける必要がない。これにより、気泡除去のために配管スペース以外のスペースを必要とせず、また配管の長さや取り回しに制約を受けることがない。すなわち、必要十分な気泡除去性能を維持しつつ、高い自由度をもって配管することができる。
この場合、内部チューブは、複数本の細チューブから成るバンドルチューブで構成されていることが好ましい。
この構成によれば、脱気空間との接触面積を増大させつつ、機能液の供給流量を増加させることができ、供給流量が多くなっても脱気度が低下することがない。
また、この場合、外部チューブは、チューブ本体と、チューブ本体の上流側端部を閉止すると共に内部チューブの上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップと、チューブ本体の下流側端部を閉止すると共に内部チューブの下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップと、を有し、真空吸引ポートは、上流側端部キャップおよび下流側端部キャップの少なくとも一方に設けられていることが好ましい。
さらに、チューブ本体には、接続ジョイントが介設されており、真空吸引ポートは、接続ジョイントに、更に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、配管に必要となる上流側端部キャップ、下流側端部キャップおよび接続ジョイントに、真空吸引ポートを形成することにより、継手類を用いて真空吸引手段を接続することができ、真空吸引配管を簡単に繋ぎ込むことができる。
本発明の機能液供給装置は、機能液供給源であるメインタンクの機能液をサブタンクに圧力送液すると共に、サブタンクの機能液をインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液供給装置であって、メインタンクからサブタンクに至る1次側供給流路と、サブタンクから機能液滴吐出ヘッドに至る2次側供給流路と、を備え、1次側供給流路の少なくとも一部を、上記した脱気チューブで構成したことを特徴とする。
この構成によれば、マイクロバブルの混入のない機能液を、過不足なく適切にサブタンクに供給することができるため、機能液滴吐出ヘッドに対しても機能液を安定供給することができる。
本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備え、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
この構成によれば、マイクロバブルの混入のない機能液を、機能液滴吐出ヘッドに対して供給することができるため、吐出不良を適切に防止することができる。これにより、液滴吐出装置で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液供給ユニット(機能液供給装置)を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機EL装置の各画素となる発光層やカラーフィルターのフィルターエレメント等を形成するものである。また、機能液供給ユニットは、サブタンクを介して自然水頭を利用し、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するものである。
図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、石定盤に支持されたX軸支持ベース12a上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在してワークWをX軸方向に移動させるX軸テーブル12と、複数本の支柱11を介してX軸テーブル12を跨ぐように架け渡された一対のY軸支持ベース13a上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル13と、Y軸テーブル13に移動自在に吊設され、複数(12個)の機能液滴吐出ヘッド25が搭載された13個のキャリッジユニット14と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置1は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー15と、チャンバー15を貫通して、機能液滴吐出ヘッド25に機能液を供給する機能液供給ユニット16(機能液供給装置)と、を備えており、チャンバー15の側壁の一部には、機能液供給ユニット16の主要部を為すメインタンク40等を収納するタンクキャビネット41が設けられている。液滴吐出装置1は、制御装置17により装置全体が統括制御され、X軸テーブル12およびY軸テーブル13の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド25を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット16から供給された6色の機能液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンが描画される。
また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット21、吸引ユニット22、ワイピングユニット23、吐出性能検査ユニット24から成るメンテナンス装置18を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド25の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド25の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置1では、X軸テーブル12とY軸テーブル13とが交わる部分にキャリッジユニット14を臨ませてワークWの描画を行い、Y軸テーブル13とメンテナンス装置18(吸引ユニット22、ワイピングユニット23)が交わる部分にキャリッジユニット14を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド25の機能維持・機能回復を行う。
図2および図3に示すように、X軸テーブル12は、ワークWを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル12bと、セットテーブル12bをX軸方向にスライド自在に支持するX軸第1スライダー12cと、上記のフラッシングユニット21および吐出性能検査ユニット24をX軸方向にスライド自在に支持するX軸第2スライダー12dと、X軸方向に延在し、X軸第1スライダー12cおよびX軸第2スライダー12dをX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。
Y軸テーブル13は、13個のキャリッジユニット14をそれぞれ吊設した13個のブリッジプレート13bと、13個のブリッジプレート13bを両持ちで支持する13組のY軸スライダー(図示省略)と、一対のY軸支持ベース13a上に設置され、ブリッジプレート13bをY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモーター(図示省略)と、を備えている。また、Y軸テーブル13は、各キャリッジユニット14を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド25を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド25を吸引ユニット22およびワイピングユニット23に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット14を独立させて個別に移動させることも可能であるし、13個のキャリッジユニット14を一体として移動させることも可能である。
各キャリッジユニット14は、R・G・B・C・M・Yの6色、各2個(計12個)の機能液滴吐出ヘッド25と、12個の機能液滴吐出ヘッド25を6個ずつ2群に分けて支持するヘッドプレート19aと、から成るヘッドユニット19を備えている(図4参照)。また、各キャリッジユニット14は、ヘッドユニット19をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構14aと、θ回転機構14aを介して、ヘッドユニット19をブリッジプレート13bに支持させる吊設部材14bと、を備えている。加えて、各キャリッジユニット14は、その上部にサブタンク42が配設されており(実際には、ブリッジプレート13b上に配設)、このサブタンク42から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁58(図6参照)を介して各機能液滴吐出ヘッド25に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては、キャリッジユニット14の個数および各キャリッジユニット14に搭載される機能液滴吐出ヘッド25の個数は任意である。また、本実施形態においては、R(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)、C(シアン)、M(マゼンダ)、Y(イエロー)の6色の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド25を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色数、色種は任意である。
図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド25は、いわゆる2連のインクジェットヘッドであり、2連の接続針34を有する機能液導入部31と、機能液導入部31の側方に連なる2連のヘッド基板32と、ヘッド基板32の下方に連なる2連のポンプ部33と、ポンプ部33に連なるノズルプレート35と、を備えている。機能液導入部31は、2連の接続針34を介してサブタンク42から機能液の供給を受けるようになっている。ノズルプレート35のノズル面NFには、2列のノズル列NLが相互に平行に列設されており、各ノズル列NLは、等ピッチで並べた180個の吐出ノズル36で構成されている。ヘッド基板32は、フレキシブルフラットケーブル(図示省略)を介して上記の制御装置17が接続されており、制御装置17から出力された駆動波形が各ポンプ部33(の圧電素子)に印加されることで、各吐出ノズル36から機能液が吐出される。
次に、図6を参照して、機能液供給ユニット16(機能液供給装置)について説明する。機能液供給ユニット16は、機能液の供給源を構成する各色(6色)につき2つのメインタンク40と、各キャリッジユニット14に対応して設けた13個のサブタンク42と、一のメインタンク40と13個のサブタンク42を接続する上流側機能液流路43(1次側供給流路)と、各サブタンク42と各機能液滴吐出ヘッド25とを接続する13組の下流側機能液流路44(2次側供給流路)と、を備えている。なお、上流側機能液流路43の一部および下流側機能液流路44は、気体非透過性の樹脂製のチューブで構成されている。
また、機能液供給ユニット16は、メインタンク40およびサブタンク42等に制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備45と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備46と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備47と、吸引ユニット22や後述する脱気チューブ54等に吸引力を作用させる真空吸引設備48と、を備えている。これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド25には対応する色の機能液が供給される。
各メインタンク40内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備45からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路43を介して13個のサブタンク42に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備46の圧縮エアーにより、各開閉弁が開閉制御される。同時に、各サブタンク42は、ガス排気設備47を介して大気開放され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク42の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド25の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路44を介して機能液滴吐出ヘッド25に供給される。
また、各色、一対のメインタンク40に接続された一対のタンク流路50は、上流側でタンク流路継手51に接続されて一に合流している。そして、メインタンク40からの機能液の供給は、各タンク流路50に介設されたタンク開閉弁52を切り替えることにより、相互に切替えられるようになっている。なお、詳細な説明は省略するが、サブタンク42からの機能液逆送時には、圧縮窒素ガスが各サブタンク42に供給される一方、各メインタンク40は、ガス排気設備47を介して大気開放される。
各上流側機能液流路43には、各流路の圧力損失が均等になるように形成された13分岐流路53が介設されており、その下流側は13本に分流され、各サブタンク42に接続されている。また、各上流側機能液流路43は、タンク流路継手51と13分岐流路53とを連通し、通液される機能液から気泡(マイクロバブル)を取り除く脱気チューブ54と、13分岐流路53とサブタンク42とを連通し、気体非透過性の樹脂から成る供給チューブ55と、で構成されている。
各下流側機能液流路44には、2分岐流路57が介設されており、その下流側は2本に分流され、機能液滴吐出ヘッド25の2連の接続針34に、それぞれ接続されている。また、2分岐流路57の上流側近傍には、圧力調整弁58が介設されている。
各サブタンク42の上流側および下流側近傍の供給チューブ55および下流側機能液流路44には、それぞれ流入開閉弁56および流出開閉弁59が介設されている。流入開閉弁56および流出開閉弁59は、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド25に脈動(水頭値変動)が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド25による吐出不良を抑えることができる。なお、これらの開閉弁は、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、圧縮エアー供給設備46からの圧縮エアーにより開閉が制御できると共に、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉することができ、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
次に、図6および図7を参照して、脱気チューブ54について詳細に説明する。脱気チューブ54は、機能液の流路となる内部チューブ60と、脱気空間62を存して内部チューブ60を覆う外部チューブ61と、から構成されている。すなわち、脱気チューブ54は、機能液流路の外側に真空引き用の脱気空間62を構成した、いわゆる2重管(鞘管)の構成を有している。
内部チューブ60は、複数(図7(b)では19本)の細チューブ63が束ねられた、いわゆるバンドルチューブ構造を為している。この細チューブ63は、気体透過性材料で構成されており、各細チューブ63を通過する機能液中に溶け込んでいる気泡(マイクロバブル)は、細チューブ63の壁面を透過して脱気空間62へと移動する。このようにして、機能液中のマイクロバブルが除去される。この内部チューブ60では、バンドルチューブ構造の採用により、脱気空間62との接触面積を増大させることができるため、効率良くマイクロバブルを除去することができる。また、機能液の供給流量の増加にも柔軟に対応することができ、この場合でも、気泡除去率(脱気度)が低下することがない。
外部チューブ61は、脱気チューブ54の外観を為すチューブ本体64と、チューブ本体64の上流側端部を閉止すると共に内部チューブ60の上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップ65と、チューブ本体64の下流側端部を閉止すると共に内部チューブ60の下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップ66と、チューブ本体64の全長略中央に介設された接続ジョイント67と、を有している。
チューブ本体64は、気体非透過性のやや硬質の樹脂(流路配管時に引き回し可能な程度の柔軟性をもつ)で、断面円形に形成されており、その内径は、内部チューブ60よりも十分に大径に形成されている。そのため、チューブ本体64内に内部チューブ60を挿通させると、チューブ本体64と内部チューブ60との間には、間隙が形成される。この間隙は、脱気空間62を為しており、脱気空間62を負圧(真空)にすることで、内部チューブ60を流れる機能液中のマイクロバブルが脱気空間62へと移動し、除去される。
上流側端部キャップ65および下流側端部キャップ66は、同一形状の継手様の部材であり、それぞれ側面視T字状に形成されている。上流側端部キャップ65および下流側端部キャップ66は、チューブ本体64および内部チューブ60が接続するキャップ部68と、キャップ部68の中央から軸方向、直角(同軸上)に突出するように設けられたジョイント部69と、で一体に形成されている。
各キャップ部68は、略円筒形に形成されており、各キャップ部68の軸心には、嵌合孔71が円形に窪入形成されている。この嵌合孔71は、内部チューブ60(複数本の細チューブ63)が液密に接合し得るように蜂の巣状に形成されている。嵌合孔71の端部壁側は、マニホールドの機能を有しており、この部分から機能液が複数本の細チューブ63に均一に流入する(流出する)。また、各嵌合孔71の底面の軸心には、ジョイント部69に連通するジョイント流路75が開口している。さらに、嵌合孔71の外側には、チューブ本体64が結合する環状の接合溝72が形成されている。この接合溝72には、チューブ本体64の端部が嵌り込んで接着剤等で気密に接合される。なお、チューブ本体64とキャップ部68との連結は、シール材等を介してネジ留めするようにしてもよい。
各キャップ部68の嵌合孔71と接合溝72との間には、脱気空間62に連通する真空吸引ポート73が開口している。この真空吸引ポート73は、軸方向から水平に貫通形成されている。各真空吸引ポート73には、接続継手(図示省略)を介して真空吸引流路74の一方の端部が接続されており、各真空吸引流路74の他方の端部は、真空吸引設備48に接続されている。
各ジョイント部69は、キャップ部68よりも小径(1/3程度)のチューブ状に形成されており、その軸心にはジョイント流路75が貫通形成されている。また、各ジョイント部69には、接続チューブ76(供給チューブ55と同じもの)が接続される。そして、上流側端部キャップ65の接続チューブ76は、タンク流路継手51に接続され、下流側端部キャップ66の接続チューブ76は、13分岐流路53に接続される。なお、各ジョイント部69と各接続チューブ76との接続は、ジョイント部69に形成された雄ねじ(図示省略)に螺合する押えナット77を外し、これを接続チューブ76に通した後、接続チューブ76の下流端部をジョイント部69に挿入装着し、そして、接続チューブ76に通した押えナット77を雄ねじに螺合することにより、接続チューブ76が、ジョイント部69に抜止め状態で接続される。
接続ジョイント67は、T字継手の形態を有しており、軸方向両端部、それぞれには、上記の上流側端部キャップ65等と同様に、チューブ本体64が接合する環状の接合溝72が形成されている。また、接続ジョイント67は、その軸方向略中央において、径方向に向かって直角に突出するように突出部78が設けられている。この突出部78の先端には、真空吸引ポート73が開口しており、この真空吸引ポート73は、脱気空間62に連通するように、径方向から垂直に貫通形成されている。この真空吸引ポート73も、同様に真空吸引流路74を介して真空吸引設備48に接続されている。
以上のように、本実施形態では、3つの真空吸引ポート73が、真空吸引設備48に接続され、真空吸引設備48を駆動することで脱気空間62を負圧(真空)にする。なお、真空吸引ポート73の設置数は任意である。また、脱気チューブ54の全長によっては(短ければ)、接続ジョイント67を省略してもよし、(長ければ)複数設けてもよい。
この機能液供給ユニット16の機能液供給動作における気泡除去方法について説明する。機能液供給ユニット16は、メインタンク40から機能液の送液を開始すると共に、真空吸引設備48の駆動を開始する。そして、脱気空間62が真空状態となった脱気チューブ54に流れ込んだ機能液は、内部チューブ60中を通液している間に、マイクロバブルが取り除かれ、サブタンク42に至る。このような、気泡除去方法における気泡除去率は、脱気空間62に対する内部チューブ60への通液流量(滞留時間)に依存するため、脱気チューブ54の全長を変更するだけで、所望の気泡除去率に設定することができる。したがって、例えば、上流側機能液流路43全てを脱気チューブ54で構成したり、本実施形態のように上流側機能液流路43の一部のみを脱気チューブ54で構成することにより、機能液の気泡含有量の設定・変更を、容易に行うことができる。なお、気泡除去率を、更に向上させる場合には、細チューブ63の本数を増加させたり、各細チューブ63の径を、より大径のもので構成する(つまり、脱気空間62との接触面積を増大させる)。
以上の構成によれば、脱気チューブ54自身が機能液を供給するための流路の一部を為すと共に、気泡除去手段をも兼ねているため、別途、気泡除去手段を設ける必要がない。これにより、配管スペースを有効利用することができ、配管の長さや取り回しに制約を受けることがない。また、マイクロバブルの混入のない機能液を、過不足なく適切にサブタンク42に供給することができるため、機能液滴吐出ヘッド25に対しても機能液を安定供給することができる。これにより、吐出不良を適切に防止することができ、液滴吐出装置1で製造する製品の信頼性を向上させることができる。
1:液滴吐出装置、16:機能液供給ユニット、25:機能液滴吐出ヘッド、40:メインタンク、42:サブタンク、43:上流側機能液流路、44:下流側機能液流路、54:脱気チューブ、55:供給チューブ、60:内部チューブ、61:外部チューブ、62:脱気空間、63:細チューブ、64:チューブ本体、65:上流側端部キャップ、66:下流側端部キャップ、67:接続ジョイント、73:真空吸引ポート、W:ワーク
Claims (6)
- 機能液供給源からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路の、少なくとも一部を構成すると共に、通液されてゆく前記機能液から気体を取り除く脱気チューブであって、
前記機能液流路を構成すると共に、気体透過性材料で構成された内部チューブと、
脱気空間を存して前記内部チューブを覆う外部チューブと、
前記外部チューブに設けられ、前記脱気空間に連通する真空吸引ポートと、を備えたことを特徴とする脱気チューブ。 - 前記内部チューブは、複数本の細チューブから成るバンドルチューブで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の脱気チューブ。
- 前記外部チューブは、チューブ本体と、前記チューブ本体の上流側端部を閉止すると共に前記内部チューブの上流側ジョイントを兼ねる上流側端部キャップと、前記チューブ本体の下流側端部を閉止すると共に前記内部チューブの下流側ジョイントを兼ねる下流側端部キャップと、を有し、
前記真空吸引ポートは、前記上流側端部キャップおよび前記下流側端部キャップの少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の脱気チューブ。 - 前記チューブ本体には、接続ジョイントが介設されており、
前記真空吸引ポートは、前記接続ジョイントに、更に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の脱気チューブ。 - 機能液供給源であるメインタンクの機能液をサブタンクに圧力送液すると共に、前記サブタンクの機能液をインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに重力供給する機能液供給装置であって、
前記メインタンクから前記サブタンクに至る1次側供給流路と、前記サブタンクから前記機能液滴吐出ヘッドに至る2次側供給流路と、を備え、
前記1次側供給流路の少なくとも一部を、請求項1ないし4のいずれかに記載の脱気チューブで構成したことを特徴とする機能液供給装置。 - 請求項5に記載の機能液供給装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドと、を備え、
ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009057541A JP2010210989A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009057541A JP2010210989A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010210989A true JP2010210989A (ja) | 2010-09-24 |
Family
ID=42971214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009057541A Pending JP2010210989A (ja) | 2009-03-11 | 2009-03-11 | 脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010210989A (ja) |
-
2009
- 2009-03-11 JP JP2009057541A patent/JP2010210989A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8974046B2 (en) | Liquid circulation unit, liquid circulation apparatus and method of manufacturing coated body | |
JP5343611B2 (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP7067087B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法 | |
JP6269215B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US8622084B2 (en) | Liquid-suctioning tank and droplet discharge device provided with the same | |
JP2010210989A (ja) | 脱気チューブ、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 | |
JP5729420B2 (ja) | 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP4479815B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP5292955B2 (ja) | 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP5169550B2 (ja) | 吸引装置の制御方法、吸引装置および液滴吐出装置 | |
JP5223518B2 (ja) | ヘッドキャップ、吸引装置および液滴吐出装置 | |
JP2010188259A (ja) | 機能液供給システムおよびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2010022956A (ja) | 液体配管のエアー抜き方法、液体配管のエアー抜き装置および液滴吐出装置 | |
JP2010211045A (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2010214353A (ja) | 機能液パック容器、これを備えた機能液供給装置および液滴吐出装置 | |
JP2013141765A (ja) | インクジェット式記録装置 | |
JP5239930B2 (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP5120116B2 (ja) | 液体タンクの接続ポート、液体タンクおよび液滴吐出装置 | |
JP2010210661A (ja) | 機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP5359340B2 (ja) | 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2010274211A (ja) | インクジェット装置の制御方法およびインクジェット装置 | |
JP2010022953A (ja) | 液体配管のエアー抜き構造および液滴吐出装置 | |
JP2009254953A (ja) | ヘッドユニット、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置 | |
JP2010214615A (ja) | 液滴吐出ヘッドの異物除去方法および圧力調整弁の異物除去方法 | |
JP2010198435A (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置 |