JP2010204617A - Display device and method for manufacturing display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機EL(electroluminescence)素子を用いた表示装置及び表示装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a display device using an organic EL (electroluminescence) element and a method for manufacturing the display device.
一般に、有機EL素子は、アノード電極と、カソード電極と、これらの電極間に形成された電子注入層、発光層、正孔注入層、等を備える。有機EL素子では、発光層において正孔注入層から供給された正孔と電子注入層から供給された電子とが再結合することによって発生するエネルギーによって発光する。また、このような有機EL素子は、特許文献1に開示されているように、表示装置として用いられており、例えば各光学素子に設けられたTFT(Thin Film Transistor)等によって駆動されている。
In general, an organic EL element includes an anode electrode, a cathode electrode, and an electron injection layer, a light emitting layer, a hole injection layer, and the like formed between these electrodes. In the organic EL element, light is emitted by energy generated by recombination of holes supplied from the hole injection layer and electrons supplied from the electron injection layer in the light emitting layer. Such an organic EL element is used as a display device as disclosed in
このような表示装置では、製品出荷前のエージングや点灯検査は、ドライバIC(Integrated Circuit)実装後、またはドライバIC実装前のパネル上のドライバ接続用端子にプローブ等によって検査装置と電気的に接続することで実施されている。 In such a display device, aging and lighting inspection before product shipment are electrically connected to the inspection device by a probe or the like to the driver connection terminal on the panel after mounting the driver IC (Integrated Circuit) or before mounting the driver IC. It is carried out by doing.
ところで、従来のようにドライバICを実装した後に、エージングや点灯検査を実施し、不良が発見されると製品として出荷することはできず、実装したドライバICが無駄になるという問題がある。 By the way, after mounting a driver IC as in the past, aging and lighting inspection are performed, and if a defect is found, it cannot be shipped as a product, and the mounted driver IC is wasted.
また、ドライバIC実装前に、パネル上のドライバ接続用端子(〜数百個)をプローブ等によって検査装置とフルコンタクトしようとすると、プローブ自体の価格が高額になる上に、プローブがパネルとコンタクトする際にかかる負荷(例えばプローブ1本当たり4gとすると、全体で数kgとなり得る)が大きくなり、コンタクト用治具に剛性が必要になる。それに伴って治具自体も高額になる問題がある。 Also, if the driver connection terminals (up to several hundred) on the panel are to be fully contacted with the inspection device using a probe or the like before mounting the driver IC, the probe itself will be expensive and the probe will contact the panel. Load (for example, 4 g per probe can be several kg as a whole), and the contact jig needs to be rigid. As a result, the jig itself is expensive.
更に、ドライバIC実装前に端子間ショート等の簡易的な駆動によってエージングや点灯検査を実施する事も可能だが、検査項目が限定されてしまう可能性があった。 Further, although it is possible to perform aging and lighting inspection by simple driving such as a short circuit between terminals before mounting the driver IC, there is a possibility that inspection items may be limited.
このように、ドライバICを実装せずに、高価なパネルコンタクト治具を用いることなく検査することが可能な表示装置及び表示装置の製造方法が求められている。 Thus, there is a need for a display device that can be inspected without mounting a driver IC and without using an expensive panel contact jig and a method for manufacturing the display device.
本発明は上述した問題を鑑みてなされたものであり、ドライバICを実装せずに、高価なパネルコンタクト治具を用いることなく検査することが可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a display device that can be inspected without mounting a driver IC and without using an expensive panel contact jig, and a method for manufacturing the display device. For the purpose.
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る表示装置は、
基板上に形成された光学素子と、前記光学素子を駆動する駆動素子と、前記駆動素子を選択する選択素子と、前記選択素子へ制御信号を供給する制御信号配線と、前記駆動素子へ階調信号を供給する階調信号配線と、を備える光学素子駆動回路と、
前記基板上の一辺に沿って形成され、前記駆動素子からの電圧値又は電流値を出力する出力回路に出力前に接続され、出力後に前記出力回路と分断され、前記出力回路の出力時に前記階調信号配線に接続して前記階調信号配線に電流を流して電圧を測定する、又は前記階調信号配線に接続して電圧を印加し電流を測定するための配線と、
前記基板上の他辺に沿って形成されたドライバと、を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a display device according to the first aspect of the present invention provides:
An optical element formed on a substrate, a driving element for driving the optical element, a selection element for selecting the driving element, a control signal wiring for supplying a control signal to the selection element, and a gradation for the driving element An optical element driving circuit including a gradation signal wiring for supplying a signal;
Formed along one side of the substrate, connected to an output circuit that outputs a voltage value or a current value from the driving element before output, and separated from the output circuit after output. A voltage for measuring a voltage by connecting a current to the gradation signal wiring by connecting a current to the gradation signal wiring; or a line for measuring a current by applying a voltage to the gradation signal wiring;
And a driver formed along the other side of the substrate.
前記出力回路は前記光学素子駆動回路における前記駆動素子と前記選択素子と同一工程で形成されたトランジスタを備え、
前記トランジスタは、前記階調信号配線に接続された第1の配線と、前記駆動素子の素子特性に応じた電圧値又は電流値を測定する測定部に接続された第2の配線と、第3の配線と、第1の電極と第2の電極と制御電極とを有し、
前記トランジスタの前記制御電極が第3の配線に接続され、前記第1の電極が前記第1の配線に接続され、前記第2電極が前記第2の配線に接続され、
前記出力回路の出力時に、前記トランジスタと前記第1の配線を介して、前記階調信号配線に電流が流れる又は電圧を印加する。
The output circuit includes a transistor formed in the same process as the drive element and the selection element in the optical element drive circuit,
The transistor includes a first wiring connected to the gradation signal wiring, a second wiring connected to a measurement unit that measures a voltage value or a current value according to element characteristics of the driving element, and a third wiring Wiring, a first electrode, a second electrode, and a control electrode,
The control electrode of the transistor is connected to a third wiring; the first electrode is connected to the first wiring; the second electrode is connected to the second wiring;
At the time of output of the output circuit, a current flows or voltage is applied to the gradation signal wiring through the transistor and the first wiring.
前記トランジスタは、出力制御トランジスタを含み、
前記出力回路は、前記出力制御トランジスタの前記第1電極へ制御信号を供給する選択制御信号供給回路を、更に備える。
The transistor includes an output control transistor,
The output circuit further includes a selection control signal supply circuit that supplies a control signal to the first electrode of the output control transistor.
前記出力回路は、前記制御信号配線に接続され、前記選択素子に制御信号を送信する制御信号供給回路を備える。 The output circuit includes a control signal supply circuit that is connected to the control signal wiring and transmits a control signal to the selection element.
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る表示装置の製造方法は、
基板上に形成された光学素子と、前記光学素子を駆動する駆動素子と、前記駆動素子を選択する選択素子と、前記選択素子へ制御信号を供給する制御信号配線と、前記駆動素子へ階調信号を供給する階調信号配線と、を備える光学素子駆動回路と、前記光学素子駆動回路における前記駆動素子と前記選択素子と同一工程で形成されたトランジスタを備え、前記基板上の一辺に沿って配置され、前記駆動素子からの電圧値又は電流値を出力する出力回路と、を形成する回路形成工程と、
前記回路形成工程後、前記階調信号配線に電流を供給し電圧を測定する方式、又は前記階調信号配線に電圧を印加し電流を測定する方式、のいずれかによって、前記駆動素子の素子特性に応じた電圧値又は電流値を測定部に出力し、前記測定部により前記光学素子駆動回路の駆動を検査する検査工程と、
前記検査工程後、前記出力回路を前記光学素子駆動回路と分断する出力回路分断工程と、
前記基板上の他辺に沿ってドライバを形成するドライバ形成工程と、を備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method for manufacturing a display device according to the second aspect of the present invention includes:
An optical element formed on a substrate, a driving element for driving the optical element, a selection element for selecting the driving element, a control signal wiring for supplying a control signal to the selection element, and a gradation for the driving element An optical element driving circuit including a gradation signal wiring for supplying a signal; a transistor formed in the same process as the driving element and the selection element in the optical element driving circuit; and along one side on the substrate A circuit forming step of forming an output circuit that is arranged and outputs a voltage value or a current value from the driving element;
After the circuit formation step, the element characteristics of the driving element are either measured by supplying a current to the gradation signal wiring and measuring the voltage, or applying a voltage to the gradation signal wiring and measuring the current. A voltage value or a current value according to the output to the measurement unit, the inspection step of inspecting the drive of the optical element drive circuit by the measurement unit,
After the inspection step, an output circuit dividing step of dividing the output circuit from the optical element driving circuit;
A driver forming step of forming a driver along the other side of the substrate.
本発明によれば、基板上に形成された出力回路によって、発光駆動トランジスタの素子特性に応じた電圧値又は電流値を測定部で測定することによって、ドライバICを実装せずに、高価なパネルコンタクト治具を用いることなく検査することが可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, an output panel formed on a substrate is used to measure a voltage value or a current value corresponding to the element characteristics of a light emission driving transistor at a measuring unit, thereby eliminating an expensive panel without mounting a driver IC. A display device that can be inspected without using a contact jig and a method for manufacturing the display device can be provided.
本発明の実施形態に係る表示装置の製造方法及び表示装置の検査方法について、図を用いて説明する。本実施形態では、ボトムエミッション型の有機EL(electroluminescence)素子を用いた表示装置を例に挙げて説明する。 A display device manufacturing method and a display device inspection method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, a display device using a bottom emission type organic EL (electroluminescence) element will be described as an example.
図1及び図2は実施形態に係る表示装置10の構成例を示す図である。図1はドライバIC実装前の表示装置10を示す図であり、図2はドライバIC実装後の表示装置10を示す図である。また、図3はゲート選択回路とデータ電圧印加回路とデータ選択回路を示す図である。図4は、光学素子の駆動回路の等価回路図である。図5は、光学素子30の書き込み、発光動作を説明する図である。図6は光学素子30の平面図であり、図7は図6に示すVII−VII線断面図である。
1 and 2 are diagrams illustrating a configuration example of a
表示装置10は、図1、図2に示すように、表示パネル11と、ゲートドライバ12と、データドライバ13、アノード配線14(La)と、データ電圧印加回路15、データ選択回路(選択制御信号供給回路)16と、ゲート選択回路(制御信号供給回路)17と、を備える。表示パネル11は、n行×m列の光学素子30を備える。また、データ電圧印加回路15と、データ選択回路16と、ゲート選択回路17とは、光学素子30のエージング、点灯検査、トランジスタの特性の検査等に用いる出力回路であり、光学素子基板31上に、光学素子基板31の各辺に沿って形成されている。ゲートドライバ12等を実装する前に光学素子駆動回路DSと分断するため、図1に点線で示す切断線に沿って光学素子基板31をレーザ又はガラスカットにより切断することで、出力回路(データ電圧印加回路15と、データ選択回路16と、ゲート選択回路17)は、図2に示すように最終的な表示装置10からは省略される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
データ電圧印加回路15は、図1に示すように、表示パネル11の一辺(後にデータドライバ13が実装されない辺が好ましい)に設けられる。データ電圧印加回路15を、後にデータドライバ13が実装される辺と異なる辺に設けることが好ましい理由は、データ電圧印加回路15をデータドライバ13と同じ辺に設けると、データラインLdとデータドライバ13、データラインLdとデータ電圧印加回路のコンタクトをする為の配線が煩雑になってしまう恐れがあるからである。データ電圧印加回路15は、図3に示すように、表示パネル11の一辺に行方向に並んで形成された検査用のデータ電圧供給配線(第2の配線)Ltd(Ltd1〜Ltd3)と、表示パネル11の一辺に行方向に並んで形成された検査用ゲート配線(第3の配線)Ltg(Ltg1〜Ltg3)と、データ電圧供給配線Ltd及び検査用ゲート配線Ltgと交差するように列方向に並んで形成された検査配線(第1の配線)Ltと、データ電圧供給配線と検査用データ配線との間に設けられた出力制御トランジスタ51と、を備える。
As shown in FIG. 1, the data
出力制御トランジスタ51は、例えばnチャンネル型のFET(Field Effect Transistor;電界効果トランジスタ)によって構成されたTFT(Thin Film Transistor)であり、例えば、a−Siからなる半導体層と、保護絶縁膜と、ドレイン電極と、ソース電極と、n型不純物を含むa−Siからなるオーミックコンタクト層と、ゲート電極と、を備えるアモルファスシリコンTFTによって構成されている。出力制御トランジスタ51は、光学素子駆動回路における第1選択トランジスタ(選択素子)Tr11、第2選択トランジスタTr12、発光駆動トランジスタ(駆動素子)Tr13と同一工程で形成することができる。出力制御トランジスタ51のドレイン電極は検査配線Ltに接続され、ソース電極はデータ電圧供給配線Ltdに接続され、ゲート電極は検査用ゲート配線Ltgに接続される。
The
検査配線Ltは、表示パネル11の光学素子駆動回路DSのデータラインLdの本数と同じだけ設けられており、例えば表示パネル11において列方向にm個の光学素子30が配置されている場合、検査配線Ltはm本設けられる。また、検査配線Ltは、それぞれ表示パネル11内のデータラインLdに接続されている。また、本実施形態では、データ電圧供給配線Ltdと検査用ゲート配線Ltgは、光学素子30の赤(R)、緑(G)、青(B)の3色に対応し、それぞれ3本設けられている。本実施形態ではデータ電圧供給配線Ltd1〜Ltd3は、図示しない定電流源に接続されており、発光輝度階調に応じたVd(red)、Vd(green)、Vd(blue)がそれぞれ供給される。なお、検査時はデータ電圧供給配線Ltdの電圧値を電圧測定部(測定部)18によって測定する。また、データ電圧供給配線Ltdには定電圧源に接続されていてもよい。
The inspection wiring Lt is provided in the same number as the number of data lines Ld of the optical element driving circuit DS of the
また、検査用ゲート配線Ltg1〜3には、図示しない電源から、Vg(red)、Vg(green)、Vg(blue)がそれぞれ供給される。なお、データ電圧供給配線Ltdと、検査用ゲート配線Ltgと、を設ける数は任意である。 Further, Vg (red), Vg (green), and Vg (blue) are respectively supplied to the inspection gate wirings Ltg1 to Ltg1 to 3 from a power source (not shown). Note that the number of the data voltage supply wirings LTD and the number of inspection gate wirings Ltg provided is arbitrary.
データ選択回路16は、図3に示すように、読取トランジスタ61と、ハイレベル、又はローレベルの信号を供給する選択回路62と、を備える。読取トランジスタ61は、nチャンネル型のFET(Field Effect Transistor;電界効果トランジスタ)によって構成されたTFTであり、例えば、a−Siからなる半導体層と、保護絶縁膜と、ドレイン電極と、ソース電極と、n型不純物を含むa−Siからなるオーミックコンタクト層と、ゲート電極と、を備えるアモルファスシリコンTFTによって構成されている。読取トランジスタ61は、光学素子駆動回路における第1選択トランジスタTr11、第2選択トランジスタTr12、発光駆動トランジスタTr13と同一工程で形成することができる。読取トランジスタ61は、各検査配線Ltに設けられており、検査配線Ltがm本である場合、読取トランジスタ61はm個設けられる。読取トランジスタ61のゲートは選択回路62に接続されており、ドレインが検査配線Ltに接続されており、ソースは電圧測定部18に接続されている。
As shown in FIG. 3, the
選択回路62は、アモルファスシリコンTFT(Thin Film Transistor)を備える、いわゆるシフトレジスタ回路である。選択回路62は、1列目の読取トランジスタ61から、m列目の読取トランジスタ61まで、順次ハイレベル(オンレベルON)のパルスを出力する。シフトレジスタ回路は、例えば図9に示す構成であり、コントローラからの制御信号として、奇数段の信号出力トランジスタ72のドレインに供給され出力信号OUTとなるクロック信号CK1、偶数段の信号出力トランジスタ72のドレインに供給され出力信号OUTとなるクロック信号CK2、奇数段の入力トランジスタ71のゲートに供給される信号φ1、偶数段の入力トランジスタ71のゲートに供給される信号φ2、スタート信号Pst、及び基準電圧Vssが供給される。このうち、スタート信号Pstは1番目の段RS(1)に供給される。図9に示すシフトレジスタの動作について、図10のタイミングチャートに示す。なお、1つの段内において入力トランジスタ71のソース、信号出力トランジスタ72のゲート及びリセットトランジスタ73のドレインに囲まれて接続された配線に形成された容量を、配線容量Caと呼ぶ。図10において、1Tの期間が1ライン期間であり、1Fの期間が1フレーム期間である。出力信号OUTがそれぞれ、読取トランジスタ61に供給される。
The
ゲート選択回路17は、表示パネル11の光学素子駆動回路DSのゲートラインLgに接続されている。ゲート選択回路17は、アモルファスシリコンTFT(Thin Film Transistor)を備える、いわゆるシフトレジスタ回路であり、1行目のゲートラインLgから、n行目のゲートラインLgまで、順次ハイレベル(オンレベルON)のパルスを出力する。ゲート選択回路17のシフトレジスタ回路も、選択回路62とほぼ同様の構成である。
The
本実施形態では、詳細に後述するように出力回路(データ電圧印加回路15と、データ選択回路16と、ゲート選択回路17)を用いて、光学素子30の点灯検査、エージング、光学素子30の駆動回路DSのトランジスタ特性の測定、等を行う。
In the present embodiment, as will be described in detail later, using the output circuits (the data
ゲートドライバ12は、ICチップ等からなり、制御回路から出力される制御信号群に従って、表示パネル11の1行目のゲートラインLgからn行目のゲートラインLgへと順次ハイレベル(オンレベルON)のパルスを出力する。
The
データドライバ13は、ICチップ等からなる。データドライバ13は、制御回路が受けた画像データに従った電流値となるような階調電流を流す電流ドライバ、或いは画像データに従った電流値の電流を流すための階調電圧を印加する電圧ドライバのいずれかであり、1列目のデータラインLdからm列目のデータラインLdへとシンク電流を流す。
The
本実施形態では、点灯検査等を行い、出力回路を光学素子駆動回路DSと分断するため切断線に沿って光学素子基板31を切断した後、ゲートドライバ12、データドライバ13を光学素子基板31上にチップオングラス等によって実装する。
In the present embodiment, a lighting test or the like is performed, and the
表示パネル11は、光学素子基板31と、光学素子基板31上にマトリクス状に配置された有機EL素子(光学素子)30と、光学素子30を封止する封止基板32と、を備える。表示パネル11では、光学素子基板31上にそれぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の3色に発する3つの光学素子30を一組として、この組が行方向に繰り返し複数個、例えばm個配列されるとともに、列方向に同一色の光学素子が複数個、例えばn個配列されている。このようにRGBの各色を発する光学素子がマトリクス状に、m×n個配列される。なお、赤(R)、緑(G)、青(B)の3光学素子30はデルタ配列であってもよい。また、表示パネル11は、図4に示すように、RGBそれぞれの光を発する各光学素子30をアクティブ動作させる光学素子駆動回路DSを備える。
The
有機EL素子30は、図6及び図7に示すように、光学素子電極34と、正孔注入層36と、インターレイヤ37と、発光層38と、対向電極40と、を備える。正孔注入層36と、インターレイヤ37と、発光層38とが、それぞれ、電子や正孔がキャリアとなって輸送されるキャリア輸送層となる。キャリア輸送層は、列方向に配列された層間絶縁膜35及び隔壁39の間に配置されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the
光学素子駆動回路DSは、図4に示すように、光学素子を選択する第1選択トランジスタ(選択素子)Tr11、第2選択トランジスタTr12、光学素子を駆動する発光駆動トランジスタ(駆動素子)Tr13、キャパシタCs、有機EL素子30と、を備える。第1選択トランジスタTr11、第2選択トランジスタTr12、発光駆動トランジスタTr13は、それぞれアモルファスシリコンを有する半導体層を備える逆スタガ型のnチャネル型TFT(Thin Film Transistor)である。
As shown in FIG. 4, the optical element driving circuit DS includes a first selection transistor (selection element) Tr11 that selects an optical element, a second selection transistor Tr12, a light emission driving transistor (drive element) Tr13 that drives the optical element, and a capacitor. Cs and the
光学素子駆動回路DSは、複数のアノードライン(電流供給配線)Laと、例えば接地電位等の電圧Vssが印加され、全ての光学素子に対して単一の電極層により形成されたカソードである対向電極(第2電極)40と、それぞれ所定列に配列された複数の光学素子回路DSに接続されたデータライン(階調信号配線)Ldと、それぞれ所定行に配列された複数の光学素子回路DSの第1選択トランジスタTr11及び第2選択トランジスタTr12を選択する複数のゲートライン(制御信号配線)Lgと、が形成されている。 The optical element driving circuit DS is applied with a plurality of anode lines (current supply wirings) La and a voltage Vss such as a ground potential, which is a cathode formed by a single electrode layer for all the optical elements. An electrode (second electrode) 40, a data line (gradation signal wiring) Ld connected to a plurality of optical element circuits DS arranged in a predetermined column, and a plurality of optical element circuits DS arranged in a predetermined row, respectively. A plurality of gate lines (control signal lines) Lg for selecting the first selection transistor Tr11 and the second selection transistor Tr12 are formed.
図6及び図7に示すように、第1選択トランジスタTr11のゲート電極11gは、絶縁膜33に設けられたコンタクトホールであるコンタクト部42と第2選択トランジスタTr12のゲート電極12gとを介してゲートラインLgに接続されており、アノードラインLaは、第1選択トランジスタTr11のドレイン電極11d上に積層されることによってドレイン電極11dに接続されている。また、第1選択トランジスタTr11のソース電極11sは、絶縁膜33に設けられたコンタクトホールであるコンタクト部43を介してキャパシタ電極Cs1に接続されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the gate electrode 11g of the first selection transistor Tr11 is gated through the
また、第2選択トランジスタTr12のドレイン電極12dは、光学素子電極(第1電極)34を介して発光駆動トランジスタTr13のソース電極13sに接続されており、ソース電極12sは、絶縁膜33に設けられたコンタクトホールであるコンタクト部41を介してデータラインLdに接続される。また、第2選択トランジスタTr12のゲート電極12gは、コンタクト部42を介してゲートラインLgと接続される。
The
発光駆動トランジスタTr13のドレイン電極13dはアノードラインLaに接続されており、発光駆動トランジスタTr13のゲート電極13gは、コンタクト部44を介してキャパシタ電極Cs1と接続されており、更にキャパシタ電極Cs1を介して第1選択トランジスタTr11のソース電極11sに接続されている。また、発光駆動トランジスタTr13のソース電極13sは、光学素子電極34と一部重なることによって接続されている。
The
キャパシタCsは、キャパシタ電極Cs1と、他方のキャパシタ電極として機能する光学素子電極34と、キャパシタ電極Cs1と光学素子電極34との間に介在する誘導体となる窒化シリコン等の絶縁膜33によって構成される。
The capacitor Cs includes a capacitor electrode Cs1, an
次に、光学素子駆動回路DSの書込動作と発光動作を説明する。 Next, the writing operation and the light emitting operation of the optical element driving circuit DS will be described.
(書込動作)
制御回路から出力される制御信号群に従ってゲートドライバ12は、1行目のゲートラインLgからn行目のゲートラインLgへと順次ハイレベル(オンレベルON)のパルスを出力する。また、各行のゲートラインLgにオンレベルONのパルスが出力されている期間(走査期間)、電源からアノードラインLaにローレベルLのパルス信号が出力され、データドライバ13が、制御回路から出力される制御信号群に従って全列のデータラインLdに発光輝度階調に従ったシンク電流(つまり、データドライバに向かった電流)を発生する。アノードラインLaに供給されるローレベルLのパルス信号は、基準電位Vssと等電位或いはそれより低い。
(Write operation)
In accordance with the control signal group output from the control circuit, the
このように、各行のゲートラインLgにオンレベルONのパルスが出力されている期間、第1選択トランジスタTr11及び第2選択トランジスタTr12はオンするとともに、データドライバ13が、電圧値が基準電圧Vss以下の電流制御のためのシンク電流を各列のデータラインLdに流そうとする。このため、発光駆動トランジスタTr13のゲート及びソースの一端にシンク電流の電流値に応じた電圧が印加されて、図5(a)に示すように、データラインLd及び第2選択トランジスタTr12を介して発光駆動トランジスタTr13にシンク電流が流れる。
In this way, during the period when the ON level ON pulse is output to the gate line Lg of each row, the first selection transistor Tr11 and the second selection transistor Tr12 are turned on, and the
発光駆動トランジスタTr13のゲート電極13gの電位はドレイン電極13dの電位と等しいので、発光駆動トランジスタTr13のゲート−ソース間に電位差が生じ、データラインLdには、それぞれデータドライバで指定された電圧に従った電流値(つまり、画像データに従った電流値)のシンク電流Iが図5(a)に示す矢印Kに示す方向に流れる。なお、走査期間では、アノードラインLaの電源信号電圧が基準電圧H以下であるため、有機EL素子30のアノードの電位はカソードの電位より低くなり、有機EL素子30には逆バイアス電圧が印加されていることになる。そのため、有機EL素子30にはアノードラインLaからの電流が流れない。
Since the potential of the
このとき光学素子30のキャパシタCsの両端は、データドライバ13により制御された階調信号に基づいて発光駆動トランジスタTr13のドレイン13d−ソース電極13sを流れる電流の電流値に従った電圧になる。すなわち、光学素子30のキャパシタCsには、有機EL素子30の発光駆動トランジスタTr13にそれぞれ階調信号にしたがった電流Iを流れさせるような各発光駆動トランジスタTr13のゲート−ソース間の電位差を生じさせる電荷がチャージされる。
At this time, both ends of the capacitor Cs of the
(発光動作)
ゲートドライバ12からゲートラインLgに出力されるパルスがオンレベルONからオフレベルOFFに切り替わり、そして電源からアノードラインLaに出力される信号がローレベルLからハイレベルHに切り替わる。ゲートラインLgに第1選択トランジスタTr11のゲート及び第2選択トランジスタTr12のゲートにオフレベルOFF(ローレベル)の走査信号電圧が印加されるとともに、アノードラインLaに印加される電源信号電圧は基準電位Vss及びローレベルLより十分高いハイレベルの電源電圧Hである。
(Light emission operation)
The pulse output from the
このため、図5(b)に示すように、非選択状態の行の第2選択トランジスタTr12がオフ状態になり、第2選択トランジスタTr12に電流が流れない。更に、第1選択トランジスタTr11がオフ状態になり、キャパシタCsは、その一端及び他端によりチャージされた電荷を保持し続けて、発光駆動トランジスタTr13はオン状態を維持し続ける。つまり、発光駆動トランジスタTr13のゲート−ソース間電圧値Vgsが保持される。そのため、発光期間でも、発光駆動トランジスタTr13は画像データに従った電流値の電流を流し続けるので、発光期間の電流Iの電流値はこの書込期間の電流Kの電流値に等しい。発光期間の間、発光駆動トランジスタTr13を流れる電流Kは有機EL素子30に流れて、有機EL素子30が流れる電流Iの電流値に従った輝度で発光する。このように階調信号に従った輝度階調で有機EL素子30は発光する。
Therefore, as shown in FIG. 5B, the second selection transistor Tr12 in the non-selected row is turned off, and no current flows through the second selection transistor Tr12. Further, the first selection transistor Tr11 is turned off, the capacitor Cs continues to hold the charge charged by one end and the other end thereof, and the light emission drive transistor Tr13 continues to maintain the on state. That is, the gate-source voltage value Vgs of the light emission drive transistor Tr13 is held. Therefore, even during the light emission period, the light emission drive transistor Tr13 keeps flowing a current having a current value according to the image data, so that the current value of the current I in the light emission period is equal to the current value of the current K in the writing period. During the light emission period, the current K flowing through the light emission drive transistor Tr13 flows into the
本実施形態では、上述した書込動作、発光動作と同様の操作を、データ電圧印加回路15と、データ選択回路16と、ゲート選択回路17とを用いることによって、点灯検査、エージング検査、トランジスタ特性の測定を行う。
In the present embodiment, operations similar to the above-described write operation and light emission operation are performed by using the data
(点灯検査)
点灯検査でも、光学素子駆動回路DSについて上述したように書込動作と発光動作とを行い点灯を確認する。点灯検査では、白色・灰色・黒色・市松模様などを表示させて、点欠陥(滅点・輝点)、線欠陥(全滅線・全輝線・途中滅線・途中輝線)が無いこと、隣接光学素子間の輝度ばらつきが基準値内(例えば、4%以内)であること、面内の輝度ばらつきが基準値内(例えば、10%以内)であること等の検査項目について検査を行う。以下、s行t列の赤(R)色の光学素子30を点灯検査する場合を例に挙げる。
(Lighting inspection)
Also in the lighting inspection, the writing operation and the light emitting operation are performed for the optical element driving circuit DS as described above to check the lighting. In the lighting inspection, white, gray, black, and checkered patterns are displayed, and there are no point defects (dark spots / bright spots) and line defects (total dead lines / total bright lines / intermediate extinction lines / intermediate bright lines). Inspection is performed for inspection items such as that the luminance variation between elements is within a reference value (for example, within 4%) and that the in-plane luminance variation is within a reference value (for example, within 10%). In the following, an example in which lighting inspection is performed on the red (R)
まず、書込動作時は、ゲート選択回路17から、1行目のゲートラインLgからn行目のゲートラインLgへと順次ハイレベル(オンレベルON)のパルスが出力される。ここでs行のゲートラインLgにオンレベルONのパルスが出力されている期間(走査期間)、電源からs行のアノードラインLaにローレベルLの信号が出力される。アノードラインLaに供給されるローレベルLのパルス信号は、基準電位Vssと等電位或いはそれより低い。
First, during a write operation, a high level (on level ON) pulse is sequentially output from the
この走査期間の間、データ選択回路16の選択回路62から、ハイレベルの信号がt列の読取トランジスタ61に供給され、読取トランジスタ61がオンされる。同時にt列に対応する検査用ゲート配線Ltg(ここでは例えばLtg1)に、ハイレベル(オンレベル)の信号が供給され、出力制御トランジスタ51がオンされる。また、データ電圧供給配線Ltd(ここでは例えばLtd1)に、定電流源から発光輝度階調に従ったシンク電流(つまり、光学素子からデータ電圧供給配線Ltdに向かった電流)を流し、電圧Vd(red)を供給する。また、この際、データ電圧供給配線Ltdの電圧値を、電圧測定部18によって測定する。
During this scanning period, a high level signal is supplied from the
この際、光学素子駆動回路DSの第1選択トランジスタTr11及び第2選択トランジスタTr12はオンされており、データ電圧供給配線Ltdへとシンク電流を流そうとする。これにより、上述した図5(a)に示すように、発光駆動トランジスタTr13のゲート及びソースの一端にシンク電流の電流値に応じた電圧が印加される。これにより、所定の光学素子駆動回路DSに不良がないことを確認することができる。 At this time, the first selection transistor Tr11 and the second selection transistor Tr12 of the optical element driving circuit DS are turned on, so that a sink current is caused to flow to the data voltage supply wiring Ltd. As a result, as shown in FIG. 5A, a voltage corresponding to the current value of the sink current is applied to one end of the gate and source of the light emission drive transistor Tr13. Thereby, it can be confirmed that there is no defect in the predetermined optical element driving circuit DS.
なお、走査期間では、有機EL素子30のアノードの電位はカソードの電位より低くなり、有機EL素子30にはアノードラインLaからの電流が流れない。光学素子30のキャパシタCsには、光学素子30の発光駆動トランジスタTr13にそれぞれ階調信号にしたがった電流Iを流れさせるような各発光駆動トランジスタTr13のゲート−ソース間の電位差を生じさせる電荷がチャージされる。
In the scanning period, the anode potential of the
次に、発光動作を行う。 Next, a light emission operation is performed.
ゲート選択回路17から、ゲートラインLgに出力されるパルスがオンレベルONからオフレベルOFFに切り替わり、電源からアノードラインLaに出力される信号がローレベルLからハイレベルHに切り替わる。これにより、第1選択トランジスタTr11のゲート及び第2選択トランジスタTr12のゲートがオフされる。
A pulse output from the
また、データ選択回路16の選択回路62から、ローレベルの信号がt列の読取トランジスタ61に供給され、読取トランジスタ61がオフされる。同時にt列に対応する検査用ゲート配線Ltg(ここでは例えばLtg1)にも、ローレベル(オフレベル)の信号が供給され、出力制御トランジスタ51がオフされる。
Further, a low level signal is supplied from the
このため、図5(b)に示すように、非選択状態の行の第2選択トランジスタTr12がオフ状態になり、第2選択トランジスタTr12に電流が流れない。更に、第1選択トランジスタTr11がオフ状態になり、キャパシタCsは、その一端及び他端によりチャージされた電荷を保持し続けて、発光駆動トランジスタTr13はオン状態を維持し続ける。発光駆動トランジスタTr13は画像データに従った電流値の電流を流し続ける。このように階調信号に従った輝度階調で有機EL素子30は発光する。
Therefore, as shown in FIG. 5B, the second selection transistor Tr12 in the non-selected row is turned off, and no current flows through the second selection transistor Tr12. Further, the first selection transistor Tr11 is turned off, the capacitor Cs continues to hold the charge charged by one end and the other end thereof, and the light emission drive transistor Tr13 continues to maintain the on state. The light emission drive transistor Tr13 continues to pass a current having a current value according to the image data. In this way, the
なお、エージング検査は、高温(例えば、60℃)の環境下において上記の書込動作、発光動作を行い、所望のエージング効果が得られる時間(例えば、1時間)だけ光学素子30を発光させて、上記点灯検査基準を満たしているか、消費電力、輝度、色度座標値が初期仕様範囲内であるか等の検査を行う。
In the aging inspection, the writing operation and the light emitting operation are performed in a high temperature (for example, 60 ° C.) environment, and the
以上の書込動作、発光動作を行うことによって、所望の光学素子30が正常に発光するか否かを検査することができる。上述したように本実施形態では、ゲートラインLgのオン/オフをゲート選択回路17によって行い、発光駆動トランジスタTr13への書込をデータ選択回路16と、データ電圧印加回路15によって行う。これにより、各光学素子30を点灯させるために、各配線全てにプローブを設けることなく、点灯検査、エージング検査を行うことが可能となる。
By performing the above writing operation and light emitting operation, it is possible to inspect whether or not the desired
(トランジスタ特性の測定)
特性測定では、上述した点灯試験の書込動作と同様の動作を行うことにより、発光駆動トランジスタTr13に流れる電流値と、電圧値とを測定する。以下、s行t列の赤(R)色の光学素子30の発光駆動トランジスタTr13のトランジスタ特性を測定する場合を例に挙げる。
(Measurement of transistor characteristics)
In the characteristic measurement, the current value and the voltage value flowing through the light emission drive transistor Tr13 are measured by performing the same operation as the write operation of the lighting test described above. Hereinafter, a case where the transistor characteristics of the light emission driving transistor Tr13 of the red (R)
まず、上述した点灯検査の書込動作と同様にして、s行のゲートラインLgにオンレベルONのパルスが出力されている期間(走査期間)、電源からs行のアノードラインLaにローレベルLの信号が出力される。この走査期間の間、データ選択回路16の選択回路62から、ハイレベルの信号がt列の読取トランジスタ61に供給され、読取トランジスタ61がオンされる。同時にt列に対応する検査用ゲート配線Ltg(ここでは例えばLtg1)に、ハイレベル(オンレベル)の信号が供給され、出力制御トランジスタ51がオンされる。また、データ電圧供給配線Ltd(ここでは例えばLtd1)に、定電流源から発光輝度階調に従ったシンク電流(つまり、光学素子からデータ電圧供給配線Ltdに向かった電流)を流し、電圧Vd(red)を供給する。
First, in the same manner as the lighting test writing operation described above, a low level L is supplied from the power source to the s row anode line La during a period (scanning period) during which an ON level ON pulse is output to the s row gate line Lg. Is output. During this scanning period, a high level signal is supplied from the
この際、光学素子駆動回路DSの第1選択トランジスタTr11及び第2選択トランジスタTr12はオンされており、データ電圧供給配線Ltdへとシンク電流を流そうとする。これにより、上述した図5(a)に示すように、発光駆動トランジスタTr13のゲート及びソースの一端にシンク電流の電流値に応じた電圧が印加される。 At this time, the first selection transistor Tr11 and the second selection transistor Tr12 of the optical element driving circuit DS are turned on, so that a sink current is caused to flow to the data voltage supply wiring Ltd. As a result, as shown in FIG. 5A, a voltage corresponding to the current value of the sink current is applied to one end of the gate and source of the light emission drive transistor Tr13.
また、この際、電圧測定部18によって、検査配線Ltの電圧値を測定する。上述したように検査配線Lt及びデータ電圧供給配線Ltdは定電流源によって、一定の電流が流れている。従って、定電流源から供給する電流を適宜変化させ、電圧測定部18によって発光駆動トランジスタTr13の素子特性に応じた電圧値を測定することにより、電流電圧特性を測定することができる。このようにして得た測定値を、表示パネル11の駆動に利用することも可能である。
At this time, the
以下、有機EL素子30の構成を説明する。
Hereinafter, the configuration of the
各光学素子の光学素子基板31上には、ゲート導電層をパターニングしてなる第1選択トランジスタTr11、第2選択トランジスタTr12、発光駆動トランジスタTr13のゲート電極11g,12g,13gが形成されている。更に、各光学素子の光学素子基板31上には、キャパシタCsの一方の電極Cs1が形成され、列方向に沿って延びるデータラインLdが形成されており、更にこれらを覆うように、ゲート絶縁膜やキャパシタの誘電体として機能する絶縁膜33が形成される。
On the
有機EL素子30が光学素子基板31側から表示光を出射するボトムエミッション型である場合、キャパシタ電極Cs1及び光学素子電極34は酸化錫が添加された酸化インジウム(Indium Thin Oxide;ITO)や酸化亜鉛ドープされた酸化インジウム(Indium Zinc Oxide)等の透明電極となり、コンタクト部44において発光駆動トランジスタTr13のゲート電極13gがキャパシタ電極Cs1と重なるように形成されている。
When the
絶縁膜33は、絶縁性材料、例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等から形成され、データラインLdと、ゲート電極12g,13gと、キャパシタ電極Cs1と、を覆うように光学素子基板31上に形成される。絶縁膜33にはコンタクトホールとしてのコンタクト部が形成され、ゲート導電層とソースドレイン層とのコンタクトを図る。
The insulating
第1選択トランジスタTr11、第2選択トランジスタTr12、発光駆動トランジスタTr13は、それぞれnチャネル型の薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)である。それぞれのトランジスタは図7に示すように光学素子基板31上に形成される。図7に示すように、第2選択トランジスタTr12は、a−Siからなる半導体層121と、保護絶縁膜122と、ドレイン電極12dと、ソース電極12sと、n型不純物を含むa−Siからなるオーミックコンタクト層124,125と、ゲート電極12gと、を備える。また、発光駆動トランジスタTr13は、a−Siからなる半導体層131と、保護絶縁膜132と、ドレイン電極13dと、ソース電極13sと、n型不純物を含むa−Siからなるオーミックコンタクト層134,135と、ゲート電極13gと、を備える。なお、図示は省略しているが、第1選択トランジスタTr11も第2選択トランジスタTr12と同様の構成となっている。
The first selection transistor Tr11, the second selection transistor Tr12, and the light emission drive transistor Tr13 are each an n-channel thin film transistor (TFT). Each transistor is formed on an
各トランジスタTr11,Tr12,Tr13において、ゲート電極は、例えば、Mo膜、Cr膜、Al膜、Cr/Al積層膜、AlTi合金膜、AlNdTi合金膜、MoNb合金膜等の少なくともいずれかから選択された不透明なゲート導電層から形成される。また、ドレイン電極、ソース電極はそれぞれ例えばアルミニウム−チタン(AlTi)/Cr、AlNdTi/CrまたはCr等のソース−ドレイン導電層から形成されている。また、ドレイン電極及びソース電極と半導体層との間にはそれぞれ低抵抗性接触のため、オーミックコンタクト層が形成される。 In each of the transistors Tr11, Tr12, and Tr13, the gate electrode is selected from at least one of, for example, a Mo film, a Cr film, an Al film, a Cr / Al laminated film, an AlTi alloy film, an AlNdTi alloy film, a MoNb alloy film, and the like. It is formed from an opaque gate conductive layer. The drain electrode and the source electrode are each formed of a source-drain conductive layer such as aluminum-titanium (AlTi) / Cr, AlNdTi / Cr, or Cr. In addition, an ohmic contact layer is formed between the drain electrode and the source electrode and the semiconductor layer for low resistance contact.
光学素子電極(アノード電極)34は、透光性を備える導電材料、例えば酸化錫が添加された酸化インジウム(Indium Thin Oxide;ITO)や酸化亜鉛ドープされた酸化インジウム(Indium Zinc Oxide)等から構成される。 The optical element electrode (anode electrode) 34 is made of a light-transmitting conductive material such as indium oxide (ITO) to which tin oxide is added, zinc oxide-doped indium oxide (Indium Zinc Oxide), or the like. Is done.
層間絶縁膜35は、絶縁性材料、例えばシリコン窒化膜から形成される。層間絶縁膜35には開口部35aが形成されており、開口部35aによって光学素子電極34及び対向電極40との間に介在する発光層38、つまり光学素子30の発光領域が画される。更に隔壁39には列方向(図3の上下方向)に延びる溝状の開口部39bが複数の光学素子30にわたって形成されている。
The
隔壁39は、絶縁材料、例えばポリイミド等の感光性樹脂を硬化してなり、層間絶縁膜35上に形成される。隔壁39は、図6に示すようにストライプ状に形成されており、開口部39bを備える。隔壁39は、製造工程中、行方向に隣接する互いに異なる色を発する光学素子30に流出しないように仕切っており、発光層38の混色を防止する。なお、隔壁39の平面形状は、これに限られず格子状であってもよい。
The
正孔注入層36は、光学素子電極34上に形成され、発光層38に正孔を供給する機能を有する。正孔注入層36は正孔(ホール)注入、輸送が可能な有機高分子系の材料や低分子系の材料、或いは無機化合物を有している。
The
インターレイヤ37は正孔注入層36上に形成される。インターレイヤ37は、正孔注入層36の正孔注入性を抑制して発光層38内において電子と正孔とを再結合させやすくする機能を有し、発光層38の発光効率を高めるために設けられている有機化合物層である。
The
発光層38は、インターレイヤ37上に形成されている。発光層38は、アノード電極とカソード電極との間に電圧を印加することにより光を発生する機能を有する。発光層38は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の高分子発光材料、例えばポリパラフェニレンビニレン系やポリフルオレン系等の共役二重結合ポリマーを含む赤(R)、緑(G)、青(B)色の発光材料から構成される。
The
また、対向電極(カソード電極)40は、ボトムエミッション型の場合、発光層38側に設けられ、導電材料、例えばLi,Mg,Ca,Ba等の仕事関数の低い材料からなる層と、この層上に積層されたAl等の光反射性導電層を有する積層構造であり、トップエミッション型の場合、発光層38側に設けられ、10nm程度の膜厚の極薄い例えばLi,Mg,Ca,Ba等の仕事関数の低い材料からなる光透過性低仕事関数層と、100nm〜200nm程度の膜厚のITO等の光透過性導電層を有する透明積層構造である。本実施形態では、対向電極40は複数の光学素子30に跨って形成される単一の電極層から構成され、例えば接地電位である共通電圧Vssが印加されている。
Further, in the case of the bottom emission type, the counter electrode (cathode electrode) 40 is provided on the
このように本実施形態の表示装置では、検査用のデータ電圧印加回路15と、データ選択回路16と、ゲート選択回路17を形成し、これらを用いることにより、ドライバICを実装せずに点灯検査等を行うことが可能である。また、データ電圧印加回路をデータ電圧供給配線と、検査用ゲート配線と、検査配線と、これらに接続されたトランジスタとから構成することにより、各データラインにそれぞれプローブをコンタクトさせずに、所望のデータラインに電圧を供給することができる。このため、プローブの本数を減少させることができ、表示パネルにかかる負荷を低減させることが可能であり、更に多数のプローブを支える高価なパネルコンタクト治具等を用いずに検査を行うことが可能である。
As described above, in the display device according to the present embodiment, the test data
本発明は上述した実施形態に限られず様々な変形及び応用が可能である。
上述した実施形態では、ゲートラインLgに選択信号を供給するゲート選択回路17と、データラインLdに階調信号を供給するためのデータ電圧供給回路15とデータ選択回路16とを、備える構成を例に挙げて説明したが、ゲート選択回路17、データ電圧供給回路15、データ選択回路16のいずれか一つ、もしくはいずれか二つだけを検査用の回路として形成することも可能である。
上述した実施形態では、有機EL素子を例に挙げて説明したが、これに限らず液晶表示素子であってもよい。その場合、光学素子とはバックライトを含んだ液晶表示素子をさす。
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and applications are possible.
In the above-described embodiment, an example in which the
In the above-described embodiment, the organic EL element has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and a liquid crystal display element may be used. In that case, the optical element means a liquid crystal display element including a backlight.
上述した実施形態では、ボトムエミッション型の有機EL素子を例に挙げて説明したが、これに限らずトップエミッション型であってもよい。有機EL素子30が対向電極40側から表示光を出射するトップエミッション型である場合、対向電極40はITO等の透明電極となるが、キャパシタ電極Cs1は透明である必要がないので、キャパシタ電極Cs1はゲート導電層をパターニングすることによって発光駆動トランジスタTr13のゲート電極13gと一括して且つ一体的に形成することができる。ゲート導電層は、フォトリソグラフィによって一括してパターニングすることができるので、トップエミッション型であれば、これらの部材の製造工程を簡略化することができる。更に、表示装置は、モノカラーであっても良い。
In the above-described embodiment, the bottom emission type organic EL element has been described as an example. When the
なお、上述した実施形態では、有機EL素子が正孔注入層、インターレイヤ、発光層の3層からなる構成を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば正孔注入層及び発光層のみのように2層構造でもよく、発光層が正孔注入層を兼ねた単層構造でもよく、4層以上の層構造であってもよい。 In the above-described embodiment, the organic EL element has been described by taking as an example a configuration including three layers of a hole injection layer, an interlayer, and a light emitting layer, but the present invention is not limited thereto, and for example, a hole injection layer and a light emitting layer. As described above, a two-layer structure may be used, a light-emitting layer may have a single-layer structure that also serves as a hole injection layer, or a four-layer structure or more.
また、上述した実施形態では、トランジスタは逆スタガ型の場合を例に挙げて説明したが、これに限らずコプラナ型であってもよい。 In the above-described embodiments, the case where the transistor is an inverted stagger type is described as an example. However, the transistor is not limited to this and may be a coplanar type.
また、上述した各実施形態では、有機EL素子を発光させる点灯回路は3つのトランジスタを備える例を挙げて説明したが、これに限らず、図8のように2つのトランジスタを備えるものであってもよく、4つ以上のトランジスタを備えるものであってもよい。 In each of the above-described embodiments, the lighting circuit that emits light from the organic EL element has been described as an example including three transistors. However, the present invention is not limited thereto, and includes two transistors as illustrated in FIG. Alternatively, four or more transistors may be provided.
10・・・表示装置、11・・・表示パネル、12・・・ゲートドライバ、13・・・データドライバ、14・・・アノード配線、15・・・データ電圧印加回路、16・・・データ選択回路、17・・・ゲート選択回路、18・・・電圧測定部、30・・・光学素子、31・・・光学素子基板、32・・・封止基板、33・・・絶縁膜、34・・・光学素子電極、35・・・層間絶縁膜、36・・・正孔注入層、37・・・インターレイヤ、38・・・発光層、39・・・隔壁、40・・・対向電極、La・・・アノードライン、Lg・・・ゲートライン、Ld・・・データライン、Ltd・・・データ電圧供給配線、Ltg・・・検査用ゲート配線、Lt・・・検査配線、Tr11・・・第1選択トランジスタ、Tr12・・・第2選択トランジスタ、Tr13・・・発光駆動トランジスタ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記基板上の一辺に沿って形成され、前記駆動素子からの電圧値又は電流値を出力する出力回路に出力前に接続され、出力後に前記出力回路と分断され、前記出力回路の出力時に前記階調信号配線に接続して前記階調信号配線に電流を流して電圧を測定する、又は前記階調信号配線に接続して電圧を印加し電流を測定するための配線と、
前記基板上の他辺に沿って形成されたドライバと、を備えることを特徴とする表示装置。 An optical element formed on a substrate, a driving element for driving the optical element, a selection element for selecting the driving element, a control signal wiring for supplying a control signal to the selection element, and a gradation for the driving element An optical element driving circuit including a gradation signal wiring for supplying a signal;
Formed along one side of the substrate, connected to an output circuit that outputs a voltage value or a current value from the driving element before output, and separated from the output circuit after output. A voltage for measuring a voltage by connecting a current to the gradation signal wiring by connecting a current to the gradation signal wiring; or a line for measuring a current by applying a voltage to the gradation signal wiring;
And a driver formed along the other side of the substrate.
前記トランジスタは、前記階調信号配線に接続された第1の配線と、前記駆動素子の素子特性に応じた電圧値又は電流値を測定する測定部に接続された第2の配線と、第3の配線と、第1の電極と第2の電極と制御電極とを有し、
前記トランジスタの前記制御電極が第3の配線に接続され、前記第1の電極が前記第1の配線に接続され、前記第2電極が前記第2の配線に接続され、
前記出力回路の出力時に、前記トランジスタと前記第1の配線を介して、前記階調信号配線に電流が流れる又は電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 The output circuit includes a transistor formed in the same process as the drive element and the selection element in the optical element drive circuit,
The transistor includes a first wiring connected to the gradation signal wiring, a second wiring connected to a measurement unit that measures a voltage value or a current value according to element characteristics of the driving element, and a third wiring Wiring, a first electrode, a second electrode, and a control electrode,
The control electrode of the transistor is connected to a third wiring; the first electrode is connected to the first wiring; the second electrode is connected to the second wiring;
2. The display device according to claim 1, wherein a current flows or voltage is applied to the gradation signal wiring through the transistor and the first wiring at the time of output of the output circuit.
前記出力回路は、前記出力制御トランジスタの前記第1電極へ制御信号を供給する選択制御信号供給回路を、更に備えることを特徴とする請求項2に記載の表示装置。 The transistor includes an output control transistor,
The display device according to claim 2, wherein the output circuit further includes a selection control signal supply circuit that supplies a control signal to the first electrode of the output control transistor.
前記回路形成工程後、前記階調信号配線に電流を供給し電圧を測定する方式、又は前記階調信号配線に電圧を印加し電流を測定する方式、のいずれかによって、前記駆動素子の素子特性に応じた電圧値又は電流値を測定部に出力し、前記測定部により前記光学素子駆動回路の駆動を検査する検査工程と、
前記検査工程後、前記出力回路を前記光学素子駆動回路と分断する出力回路分断工程と、
前記基板上の他辺に沿ってドライバを形成するドライバ形成工程と、を備えることを特徴とする表示装置の製造方法。 An optical element formed on a substrate, a driving element for driving the optical element, a selection element for selecting the driving element, a control signal wiring for supplying a control signal to the selection element, and a gradation for the driving element An optical element driving circuit including a gradation signal wiring for supplying a signal; a transistor formed in the same process as the driving element and the selection element in the optical element driving circuit; and along one side on the substrate A circuit forming step of forming an output circuit that is arranged and outputs a voltage value or a current value from the driving element;
After the circuit formation step, the element characteristics of the driving element are either measured by supplying a current to the gradation signal wiring and measuring the voltage, or applying a voltage to the gradation signal wiring and measuring the current. A voltage value or a current value according to the output to the measurement unit, the inspection step of inspecting the drive of the optical element drive circuit by the measurement unit,
After the inspection step, an output circuit dividing step of dividing the output circuit from the optical element driving circuit;
And a driver forming step of forming a driver along the other side of the substrate.
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