JP2010203989A - Magnetism observation microscope and method of observing magnetic domain - Google Patents

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和範 丸山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic domain observation microscope efficiently and visibly observing the direction of the magnetization vector of a magnetic domain formed in a magnetic material. <P>SOLUTION: The magnetic domain observation microscope 1 includes an XY stage 3 and a rotary stage 4 for placing an observation target W having a magnetic domain and an optical system 10 is arranged at an upper portion of the observation target W. The optical system 10 is configured to emit light of linearly polarized light, and includes an image capturing apparatus for taking in light to be generated when linearly polarized light is reflected by the observation target W. Furthermore, the magnetic domain observation microscope 1 includes, as a control system 12, a CPU 31, and a gray scale magnetic domain image generation section 33 for generating a gray scale magnetic domain image, and a color magnetic domain image generation section 34 for generating a color magnetic domain image from the gray scale magnetic domain image. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁区観察顕微鏡及び磁区観察方法に関する。   The present invention relates to a magnetic domain observation microscope and a magnetic domain observation method.

磁気ディスクに情報を書き込んだり、磁気ディスクから情報を読み込んだりするときに用いられるヘッド素子では、外部磁場をシールドする磁気シールドの磁区構造が読取ヘッドの特性に影響を与えることが明らかになってきている。そのため、磁気ディスクのヘッド素子を開発するときや、製造するときには、磁区観察顕微鏡を用いて磁気シールドの膜面内磁区構造を評価する。   It has become clear that the magnetic domain structure of the magnetic shield that shields the external magnetic field affects the characteristics of the read head in the head element used for writing information to the magnetic disk and reading information from the magnetic disk. Yes. Therefore, when developing or manufacturing a magnetic disk head element, the in-plane magnetic domain structure of the magnetic shield is evaluated using a magnetic domain observation microscope.

磁区観察顕微鏡は、磁気光学カー効果を利用し、観察対象物に照射した光の反射光を検光子に通して撮像することによって観察対象物の磁区構造を観察する構成を有する。なお、磁気光学カー効果とは、磁性を持った観察対象物に直線偏光の光を入射すると、その磁化に応じて主軸の向きが入射直線偏光の向きから傾いた楕円偏光として反射される現象をいう。   The magnetic domain observation microscope has a configuration in which the magnetic domain structure of the observation object is observed by imaging the reflected light of the light irradiated on the observation object through an analyzer using the magneto-optic Kerr effect. The magneto-optic Kerr effect is a phenomenon in which when linearly polarized light is incident on an observation object having magnetism, it is reflected as elliptically polarized light whose principal axis is inclined from the direction of incident linearly polarized light according to its magnetization. Say.

ここで、従来の磁区観察顕微鏡では、観察対象物に直線偏光の光を入射させたときに、照射位置の磁化ベクトルのうち、直線偏光と平行な成分のみが観測されるように構成されているものがある。このような構成を有する磁区観察顕微鏡では、磁化ベクトルと偏光方向とが平行になる場合、非磁性領域との輝度差を大きく撮像できる。   Here, the conventional magnetic domain observation microscope is configured such that when linearly polarized light is incident on an observation object, only a component parallel to the linearly polarized light is observed in the magnetization vector at the irradiation position. There is something. In the magnetic domain observation microscope having such a configuration, when the magnetization vector and the polarization direction are parallel to each other, a large difference in luminance from the nonmagnetic region can be imaged.

しかしながら、磁化ベクトルと偏光方向とが垂直な磁区では、磁化ベクトルに偏光方向と平行な成分がないため、非磁性領域と同じ輝度として観測されてしまう。さらに、入射光の偏光方向に対して線対称、すなわち偏光方向に対して同じ傾斜角度を有する左右の磁化ベクトルでは、偏光方向に対する傾きが同じになるため、同じ輝度として撮像されてしまう。このため、複雑な磁性体形状や磁区構造の場合には、磁区構造の推測が困難であった。   However, in a magnetic domain in which the magnetization vector and the polarization direction are perpendicular to each other, since the magnetization vector has no component parallel to the polarization direction, it is observed as the same luminance as the nonmagnetic region. Furthermore, the left and right magnetization vectors having line symmetry with respect to the polarization direction of the incident light, that is, the same inclination angle with respect to the polarization direction, have the same inclination with respect to the polarization direction, and thus are imaged with the same luminance. For this reason, in the case of a complicated magnetic body shape or magnetic domain structure, it is difficult to estimate the magnetic domain structure.

これに対し、入射系と撮像系が複数配置された構成を有し、磁化ベクトルの向きの異なる磁区を有する観察対象物を観察できるようにした磁区観察顕微鏡も開発されている。このような磁区観察顕微鏡では、入射系及び撮像系を選択しながら磁区像を複数取得することで、結果的に撮像方向の異なる複数の磁区像が得られる。そして、これら複数の磁区像から観察対象物の磁化方向を特定していた。   On the other hand, a magnetic domain observation microscope has been developed that has a configuration in which a plurality of incident systems and imaging systems are arranged so that an observation object having magnetic domains with different magnetization vector directions can be observed. In such a magnetic domain observation microscope, by acquiring a plurality of magnetic domain images while selecting an incident system and an imaging system, a plurality of magnetic domain images having different imaging directions can be obtained as a result. The magnetization direction of the observation object is specified from the plurality of magnetic domain images.

また、入射系及び撮像系と、観察対象物との成す角度を変更可能に構成された磁区観察顕微鏡も開発されている。この磁区観察顕微鏡では、観察方向を連続的に変えながら磁区像を複数取得し、これら磁区像を計算機でデータ解析して観察対象物の面内方向の磁化方向を特定していた。   In addition, a magnetic domain observation microscope has been developed in which an angle formed by an incident system and an imaging system and an observation object can be changed. In this magnetic domain observation microscope, a plurality of magnetic domain images are acquired while continuously changing the observation direction, and data analysis of these magnetic domain images is performed by a computer to identify the in-plane magnetization direction of the observation object.

特開昭63−104015号公報JP 63-104015 A 特開平6−236586号公報JP-A-6-236586 特開平5−215828号公報JP-A-5-215828 特開平5−333128号公報JP-A-5-333128

しかしながら、入射系及び撮像系を複数有する磁区観察顕微鏡では、装置の構造が非常に複雑である。
また、観察対象物を相対的に回転させる磁区観察顕微鏡では、観察対象物の回転角を0°と90°の2箇所に設定すれば、理論上では磁化ベクトルの向きと大きさを特定することが可能である。しかしながら、磁気光学カー効果による偏光面の回転は微小であるため、充分なコントラストが得られないことがあった。
However, in the magnetic domain observation microscope having a plurality of incident systems and imaging systems, the structure of the apparatus is very complicated.
Further, in a magnetic domain observation microscope that relatively rotates an observation object, if the rotation angle of the observation object is set at two positions of 0 ° and 90 °, the direction and magnitude of the magnetization vector can be specified theoretically. Is possible. However, since the rotation of the polarization plane due to the magneto-optic Kerr effect is very small, a sufficient contrast may not be obtained.

これに対し、観察対象物を相対的に回転させる磁区観察顕微鏡で観察を行う回転角を多くすれば、充分なコントラストが得られるようになって磁区構造を詳細に観察することが可能になる。しかしながら、観察ポイントが増えることで観察時間が長くなると共にデータ量が膨大になるという問題があった。
さらに、従来の磁区観察顕微鏡では、直線偏光の反射光が検光子を通して撮像される構成なので、グレースケールの磁区像しか得られなかった。このため、磁化ベクトルの方向の差が分かり難く、視認性が悪かった。
On the other hand, if the rotation angle for observation with a magnetic domain observation microscope that relatively rotates the observation object is increased, sufficient contrast can be obtained and the magnetic domain structure can be observed in detail. However, the increase in the number of observation points has a problem that the observation time becomes longer and the amount of data becomes enormous.
Furthermore, in the conventional magnetic domain observation microscope, since the reflected light of linearly polarized light is imaged through the analyzer, only a gray scale magnetic domain image can be obtained. For this reason, the difference in the direction of the magnetization vector is difficult to understand, and the visibility is poor.

本発明の目的は、磁性体に形成された磁区の磁化ベクトルの方向を効率的に、かつ視認性良く観察できる磁区観察顕微鏡を提供することである。   The objective of this invention is providing the magnetic domain observation microscope which can observe the direction of the magnetization vector of the magnetic domain formed in the magnetic body efficiently and with sufficient visibility.

本願の一観点によれば、磁区を有する観察対象物に直線偏光を有する光を照射するように構成され、前記直線偏光を有する光が前記観察対象物を照射したときに磁気光学カー効果によって得られる反射光を取り込んで信号を出力する撮像装置を有する光学系と、前記観察対象物に対する前記直線偏光の方向を相対的に回転させる手段と、前記撮像装置から出力される信号から前記観察対象物の画像として色情報を含まないグレースケール画像を形成するグレースケール磁区像生成部と、前記グレースケール画像を取得したときの回転角を色相に割り当てることと、前記グレースケール画像の画素の諧調値をその画素の彩度又は明度に換算することにより前記グレースケール画像を着色するカラー磁区像生成部と、を含むことを特徴とする磁区観察顕微鏡が提供される。   According to one aspect of the present application, the observation object having a magnetic domain is configured to be irradiated with light having linear polarization, and is obtained by the magneto-optic Kerr effect when the light having linear polarization is irradiated to the observation object. An optical system having an imaging device that captures the reflected light and outputs a signal, means for relatively rotating the direction of the linearly polarized light with respect to the observation object, and the observation object from the signal output from the imaging apparatus A gray scale magnetic domain image generating unit that forms a gray scale image that does not include color information as an image of the image, assigning a rotation angle when the gray scale image is acquired to a hue, and a gradation value of a pixel of the gray scale image A magnetic domain image generating unit that colors the grayscale image by converting the saturation or brightness of the pixel into a magnetic domain. Observation microscope is provided.

また、本願の別の観点によれば、直線偏光を有する光を観察対象物に照射し、磁気光学カー効果によって得られる反射光を取り込んで信号を出力し、前記観察対象物に対する前記直線偏光の方向を相対的に回転させ、前記出力される信号から前記観察対象物の画像として色情報を含まないグレースケール画像を形成し、前記グレースケール画像を取得したときの回転角を色相に割り当てるとともに、前記グレースケール画像の画素の諧調値をその画素の彩度又は明度に換算することにより前記グレースケール画像を着色するカラー磁区像を生成することを特徴とする磁区観察方法が提供される。   Further, according to another aspect of the present application, the object to be observed is irradiated with light having linearly polarized light, the reflected light obtained by the magneto-optic Kerr effect is captured and a signal is output, and the linearly polarized light with respect to the object to be observed is output. Rotating the direction relatively, forming a grayscale image that does not include color information as an image of the observation object from the output signal, assigning a rotation angle to the hue when the grayscale image is acquired, A magnetic domain observation method is provided, wherein a color magnetic domain image for coloring the gray scale image is generated by converting a gradation value of a pixel of the gray scale image into a saturation or brightness of the pixel.

発明の目的および利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素および組み合わせによって実現され達成される。
前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、典型例および説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない、と理解すべきである。
The objects and advantages of the invention will be realized and attained by means of the elements and combinations particularly pointed out in the appended claims.
It should be understood that the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory only and are not intended to limit the invention.

本発明によれば、観察対象物の磁化ベクトルの方向に応じて着色された磁区像が作成されるので、磁区構造を目視で確認し易くなる。また、磁化ベクトルの方向に応じて着色された磁区像が作成されることで、磁区の境界が明確になるので、構造の評価が容易に、かつ精度良く行える。   According to the present invention, since the magnetic domain image colored according to the direction of the magnetization vector of the observation object is created, it is easy to visually confirm the magnetic domain structure. Moreover, since the magnetic domain image colored according to the direction of the magnetization vector is created, the boundary of the magnetic domain becomes clear, so that the structure can be evaluated easily and accurately.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る磁区観察顕微鏡の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a magnetic domain observation microscope according to the first embodiment of the present invention. 図2は、磁区観察の処理を説明するフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart for explaining magnetic domain observation processing. 図3は、磁区像の着色時に参照される色相環を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a hue circle referred to when a magnetic domain image is colored. 図4は、観察対象物の一例と着色した磁区像の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an observation object and an example of a colored magnetic domain image. 図5は、図4に示す観察対象物のカラー磁区像の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a color magnetic domain image of the observation object shown in FIG. 図6は、本発明の第2の実施形態に係る磁区観察顕微鏡の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a magnetic domain observation microscope according to the second embodiment of the present invention. 図7は、磁区観察の処理を説明するフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart for explaining the magnetic domain observation process. 図8は、観察対象物の一例を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing an example of an observation object. 図9は、回転対称角を算出する際に取得されるスコアの回転角依存性を示すグラフである。FIG. 9 is a graph showing the rotation angle dependency of the score acquired when calculating the rotational symmetry angle. 図10は、観察対象物の一例を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view showing an example of the observation object. 図11は、図10の観察対象物の回転角0°における着色した磁区像の一例を示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating an example of a colored magnetic domain image of the observation object in FIG. 10 at a rotation angle of 0 °. 図12は、図10の観察対象物の回転角120°における着色した磁区像の一例を示す図である。FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a colored magnetic domain image of the observation target in FIG. 10 at a rotation angle of 120 °. 図13は、図10の観察対象物の回転角240°における着色した磁区像の一例を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a colored magnetic domain image of the observation target in FIG. 10 at a rotation angle of 240 °. 図14は、図11から図13までの着色した磁区像を加算して得られるカラー磁区像の一例を示す図である。FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a color magnetic domain image obtained by adding the colored magnetic domain images of FIGS. 11 to 13. 図15は、観察対象物の一例を示す平面図である。FIG. 15 is a plan view illustrating an example of an observation object. 図16は、図15の観察対象物のカラー磁区像である。FIG. 16 is a color magnetic domain image of the observation object of FIG. 図17は、磁区観察の処理を説明するフローチャートである。FIG. 17 is a flowchart for explaining the magnetic domain observation process. 図18は、諧調値と回転角の関係を示すグラフである。FIG. 18 is a graph showing the relationship between the gradation value and the rotation angle. 図19は、諧調値と回転角の関係を示すグラフである。FIG. 19 is a graph showing the relationship between the gradation value and the rotation angle. 図20は、諧調値と回転角の関係を示すグラフである。FIG. 20 is a graph showing the relationship between the gradation value and the rotation angle.

本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。図面において、同様の構成要素には同じ参照番号が付されている。   A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, similar components are given the same reference numerals.

(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1に磁区観察顕微鏡の概略構成を示す。磁区観察顕微鏡1は、定盤2上にXYステージ3が取り付けられ、XYステージ3上に回転ステージ4が設けられている。回転ステージ4には磁区を観察する観察対象物Wを載置して、XY平面内で回転可能になっている。XYステージ3及び回転ステージ4は、入射光の偏光方向と観察対象物Wとの相対関係を少なくとも異なる2つ以上の角度で回転させる回転部として設けられている。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a schematic configuration of a magnetic domain observation microscope. In the magnetic domain observation microscope 1, an XY stage 3 is attached on a surface plate 2, and a rotary stage 4 is provided on the XY stage 3. An observation object W for observing the magnetic domain is placed on the rotary stage 4 and can be rotated in the XY plane. The XY stage 3 and the rotation stage 4 are provided as a rotation unit that rotates the relative relationship between the polarization direction of the incident light and the observation object W at at least two different angles.

さらに、回転ステージ4の上方には、光学系10が配置されている。光学系10は、入射光を出力する光源21を有し、光源21の光路上には偏光素子22と、ビームスプリッタ23とが順番に挿入されている。偏光素子22は、偏光板を有し、入射光から特定の方向の直線偏光を取り出すことが可能に構成されている。ビームスプリッタ23は、入射光を下向きに90°折り返すようになっている。ビームスプリッタ23の下方には、対物レンズ24が観察対象物Wに近接可能に配置されている。   Further, an optical system 10 is disposed above the rotary stage 4. The optical system 10 includes a light source 21 that outputs incident light, and a polarizing element 22 and a beam splitter 23 are inserted in order on the optical path of the light source 21. The polarizing element 22 has a polarizing plate and is configured to be able to extract linearly polarized light in a specific direction from incident light. The beam splitter 23 folds incident light downward by 90 °. An objective lens 24 is disposed below the beam splitter 23 so as to be close to the observation object W.

対物レンズ24からビームスプリッタ23を通過する光の光路上には検光子25と、集光レンズ26が順番に配置されている。検光子25は、偏光板を有し、入射した光から特定の方向の偏光を取り出すように構成されている。集光レンズ26は、下側(観察対象物
W側)が膨らんだ凸レンズが使用されている。集光レンズ26の上側の焦点には、撮像装置27(出力部)の撮像素子、例えばCCD(Charge Coupled Device)が配置されている。
An analyzer 25 and a condensing lens 26 are sequentially arranged on the optical path of light passing through the beam splitter 23 from the objective lens 24. The analyzer 25 has a polarizing plate and is configured to extract polarized light in a specific direction from incident light. As the condensing lens 26, a convex lens in which the lower side (observation object W side) swells is used. An imaging element of the imaging device 27 (output unit), for example, a CCD (Charge Coupled Device) is disposed at the focal point above the condenser lens 26.

このように、この磁区観察顕微鏡1は、光源21、偏光素子22、ビームスプリッタ23、及び対物レンズ24を有する入射系28と、対物レンズ24、ビームスプリッタ23、検光子25、集光レンズ26及び撮像装置27を有する撮像系29を1つずつ有する構成になっている。   Thus, the magnetic domain observation microscope 1 includes an incident system 28 having a light source 21, a polarizing element 22, a beam splitter 23, and an objective lens 24, an objective lens 24, a beam splitter 23, an analyzer 25, a condenser lens 26, and The imaging system 29 having the imaging device 27 is provided one by one.

また、磁区観察顕微鏡1は、光学系10の制御とデータ処理を行う制御系12を有する。
制御系12は、全体を統括するCPU(Central Processing Unit)31を有する。CPU31は、ステージ制御部32と、グレースケール磁区像生成部33と、カラー磁区像生成部34とに接続されており、これらの間の信号をプログラムに基づいて処理するように構成されている。
ステージ制御部32は、XYステージ3及び回転ステージ4に対して駆動指令を出力する構成を有し、これにより光学系10、すなわち入射光の偏光方向に対する観察対象物Wの水平方向の位置及び回転位置を制御する。
The magnetic domain observation microscope 1 has a control system 12 that controls the optical system 10 and performs data processing.
The control system 12 has a CPU (Central Processing Unit) 31 that controls the entire system. The CPU 31 is connected to a stage control unit 32, a gray scale magnetic domain image generation unit 33, and a color magnetic domain image generation unit 34, and is configured to process signals between them based on a program.
The stage control unit 32 has a configuration for outputting drive commands to the XY stage 3 and the rotary stage 4, whereby the optical system 10, that is, the horizontal position and rotation of the observation object W with respect to the polarization direction of incident light. Control the position.

グレースケール磁区像形成部33は、撮像装置27からの出力信号を受けて観察対象物Wの磁区像をグレースケールで作成する構成を有すると共に、メモリ35に対してデータの保存や読み込みが可能になっている。
カラー磁区像生成部34は、グレースケール磁区像生成部33で作成した磁区のデータが入力され、グレースケールの諧調値と回転角に応じたカラー磁区像を作成すると共に、2つ以上の回転角度から作成された画像を加算するように構成されている。また、カラー磁区像生成部34には、表示部36が接続されており、観察対象物Wの磁区像をカラーで表示させることができる。なお、カラー磁区像生成部34は、メモリ35に着色した磁区像や、カラー磁区像を格納したり、読み込んだりできるようになっている。
The gray scale magnetic domain image forming unit 33 has a configuration in which a magnetic domain image of the observation object W is generated in gray scale in response to an output signal from the imaging device 27, and data can be stored in and read from the memory 35. It has become.
The color magnetic domain image generation unit 34 receives the magnetic domain data generated by the gray scale magnetic domain image generation unit 33, generates a color magnetic domain image corresponding to the gray scale gradation value and the rotation angle, and two or more rotation angles. Is configured to add images created from In addition, a display unit 36 is connected to the color magnetic domain image generation unit 34, and the magnetic domain image of the observation object W can be displayed in color. The color magnetic domain image generation unit 34 can store and read a colored magnetic domain image and a color magnetic domain image in the memory 35.

なお、磁区観察顕微鏡1の構成は、図1に示すものに限定されない。例えば、XYステージ3及び回転ステージ4で観察対象物Wを移動させる構成の代わりに、光学系10の入射系28と撮像系29をそれぞれ複数配置する構成でも良い。この場合は、複数の中から入射系28と撮像系29を選択することで、直線偏光の方向と観察対象物Wとの成す角度を相対的に変化させながら磁区の観察を行う。
また、光学系10の入射系28と撮像系29を回転可能に構成し、観察対象物Wに対して光学系10を相対的に回転させる構成でも良い。
The configuration of the magnetic domain observation microscope 1 is not limited to that shown in FIG. For example, instead of the configuration in which the observation target W is moved by the XY stage 3 and the rotary stage 4, a configuration in which a plurality of incident systems 28 and imaging systems 29 of the optical system 10 are arranged may be used. In this case, by selecting the incident system 28 and the imaging system 29 from among a plurality, the magnetic domain is observed while relatively changing the angle formed by the direction of the linearly polarized light and the observation object W.
Further, the incident system 28 and the imaging system 29 of the optical system 10 may be configured to be rotatable, and the optical system 10 may be rotated relative to the observation object W.

また、定盤2に観察対象物Wの高さを調整するZステージを設けても良い。さらに、表示部36の代わりに、又は表示部36に加えて画像を紙媒体や磁気記録媒体に出力する出力部を設けても良い。さらに、制御系12は、パーソナルコンピュータや携帯型の端末装置に所定のプログラムを実行させることで実現させても良い。   Further, a Z stage for adjusting the height of the observation object W may be provided on the surface plate 2. Furthermore, instead of the display unit 36 or in addition to the display unit 36, an output unit that outputs an image to a paper medium or a magnetic recording medium may be provided. Further, the control system 12 may be realized by causing a personal computer or a portable terminal device to execute a predetermined program.

次に、この磁区観察顕微鏡1を用いた磁区の評価方法について説明する。
まず、観察対象物Wを回転ステージ4上に載置する。観察対象物Wは、その重心が回転ステージ4の回転中心に一致するように載置することが望ましい。
Next, a magnetic domain evaluation method using the magnetic domain observation microscope 1 will be described.
First, the observation object W is placed on the rotary stage 4. The observation object W is desirably placed so that the center of gravity thereof coincides with the rotation center of the rotary stage 4.

観察対象物Wを載置したら、CPU31が、入射系28及び撮像系29の方向、すなわち入射光の偏光方向及び撮像方向と、観察対象物Wとが成す相対角度を所定の刻み角、例えば10°刻みで0°から360°まで回転させながら、8bitグレースケールの磁区像を取得する。なお、グレースケールのビット数は、8bitに限定されない。ビット数が多
くなると磁区像の分解能は高くなるがデータ処理量が増大する。
After placing the observation object W, the CPU 31 determines a relative angle formed by the observation object W with respect to the direction of the incident system 28 and the imaging system 29, that is, the polarization direction and the imaging direction of the incident light, for example, 10 °. An 8-bit grayscale magnetic domain image is acquired while rotating from 0 ° to 360 ° in steps of 0 °. Note that the number of grayscale bits is not limited to 8 bits. As the number of bits increases, the resolution of the magnetic domain image increases, but the amount of data processing increases.

より具体的には、磁区観察顕微鏡1は図2に示すフローチャートに従って処理を行う。即ち、入射光の偏光方向に対して観察対象物Wを相対的に回転させる(ステップS111)。観察開始時は、予め定められた初期位置に観察対象物Wを移動させる。次に、光学系10を用いて観察対象物Wの磁区像として、例えば8bitのグレースケール磁区像を取得し(ステップS112)、取得したグレースケール磁区像を着色する(ステップS113)。   More specifically, the magnetic domain observation microscope 1 performs processing according to the flowchart shown in FIG. That is, the observation object W is rotated relative to the polarization direction of incident light (step S111). At the start of observation, the observation object W is moved to a predetermined initial position. Next, for example, an 8-bit grayscale magnetic domain image is acquired as the magnetic domain image of the observation object W using the optical system 10 (step S112), and the acquired grayscale magnetic domain image is colored (step S113).

ここで、この実施形態の磁区観察顕微鏡1では、観察対象物Wの相対角度(回転角)を所定の刻み角、例えば初期位置から10°刻みで360°まで回転させながら、角度を更新する毎にグレースケールの磁区像を取得する。このため、CPU31は、ステージ制御部32を介して観察対象物Wを360°回転させながら各角度でグレースケール磁区像を作成したか否かを判定する(ステップS114)。回転が終了していない場合(ステップS114でNo)、回転角を刻み角だけ増やし(ステップS116)、ステップS111に戻る。すなわち、CPU31がステージ制御部32を介して、回転ステージ4に駆動信号を出力させる。ここでの駆動信号は、予め定められている刻み角で回転ステージ4を回転させる信号である。これにより、観察対象物Wの角度、つまり観察対象物Wに対する入射光の照射角度が刻み角だけ相対的に回転する。
これに対し、回転が終了していた場合(ステップS114でYes)、ステップS113で着色した磁区像を加算してカラー磁区像を作成する(ステップS115)。
Here, in the magnetic domain observation microscope 1 of this embodiment, every time the angle is updated while rotating the relative angle (rotation angle) of the observation object W to a predetermined step angle, for example, 360 ° from the initial position in increments of 10 °. Acquire a grayscale magnetic domain image. Therefore, the CPU 31 determines whether or not a gray scale magnetic domain image has been created at each angle while rotating the observation object W through 360 ° via the stage control unit 32 (step S114). If the rotation has not ended (No in step S114), the rotation angle is increased by the increment angle (step S116), and the process returns to step S111. That is, the CPU 31 causes the rotary stage 4 to output a drive signal via the stage control unit 32. The drive signal here is a signal for rotating the rotary stage 4 at a predetermined step angle. Thereby, the angle of the observation object W, that is, the irradiation angle of the incident light with respect to the observation object W is relatively rotated by the step angle.
On the other hand, if the rotation has been completed (Yes in step S114), the magnetic domain images colored in step S113 are added to create a color magnetic domain image (step S115).

ここで、ステップS112のグレースケール磁区像の取得について、以下にさらに詳細に説明する。
CPU31は、光源21から光を出力させる。この光は、偏光素子22で直線偏光に変換された後に、ビームスプリッタ23に入射する。ビームスプリッタ23で折り返された光は、対物レンズ24を通して観察対象物Wに入射する。このような光(入射光)を観察対象物Wに入射することで生じる反射光は、磁気光学カー効果によって惰円偏光になる。反射光は、対物レンズ24、ビープスプリッタ23、及び検光子25を通過して集光レンズ26で集光され、撮像装置27の撮像素子に入射させられる。これにより、撮像装置27は、検光子25の偏光板の向きに応じて取り出された反射光の光量に応じた電気信号を出力する。
Here, acquisition of the grayscale magnetic domain image in step S112 will be described in more detail below.
The CPU 31 outputs light from the light source 21. This light is converted into linearly polarized light by the polarizing element 22 and then enters the beam splitter 23. The light reflected by the beam splitter 23 enters the observation object W through the objective lens 24. The reflected light generated when such light (incident light) is incident on the observation object W becomes circularly polarized light by the magneto-optic Kerr effect. The reflected light passes through the objective lens 24, the beep splitter 23, and the analyzer 25, is collected by the condenser lens 26, and is incident on the imaging element of the imaging device 27. Thereby, the imaging device 27 outputs an electrical signal corresponding to the amount of reflected light extracted according to the orientation of the polarizing plate of the analyzer 25.

グレースケール磁区像形成部33では、撮像装置27から出力される電気信号を撮像装置27の2次元に配置された撮像素子の位置に関連付けて取得する。例えば、非磁性体の領域を中間諧調値とし、磁化方向が入射光と同じ向きの場合には、諧調値が128より大きくなり、逆向きの場合には諧調値が128より小さくなる。
そして、各電気信号の強度を8bitのグレースケール、即ち256の諧調値に変換し、さらに諧調値を撮像素子の画素に位置に対応する2次元座標(x,y)に割り付ける。これにより、観察対象物Wの磁区についてのグレースケールの2次元画像(グレースケール磁区像)が得られる。なお、グレースケール磁区像は、観察対象物Wの形状及び回転角度と関連付けてメモリ35に格納される。
The gray scale magnetic domain image forming unit 33 acquires the electrical signal output from the imaging device 27 in association with the position of the imaging device arranged in two dimensions of the imaging device 27. For example, when the non-magnetic region has an intermediate gradation value and the magnetization direction is the same as the incident light, the gradation value is greater than 128, and in the opposite direction, the gradation value is smaller than 128.
Then, the intensity of each electric signal is converted into an 8-bit gray scale, that is, a gradation value of 256, and the gradation value is assigned to the two-dimensional coordinates (x, y) corresponding to the position of the pixel of the image sensor. As a result, a grayscale two-dimensional image (grayscale magnetic domain image) of the magnetic domain of the observation object W is obtained. The gray scale magnetic domain image is stored in the memory 35 in association with the shape and rotation angle of the observation object W.

次に、ステップS113のグレースケール磁区像の着色について、以下に詳細に説明する。
グレースケール磁区像のデータは、カラー磁区像生成部34に送られ、カラーの磁区像の生成が開始される。磁区像の着色には、観察対象物Wの座標、回転角の情報及び磁区コントラスト情報、即ち諧調値が用いられる。
この磁区観察顕微鏡1ではHSV色空間を用いて着色される。ここで、Hは色相を示し、回転角0〜360(度)の数値で表される。Sは彩度で0〜100(%)の数値で表す
。そして、Vは明度であり、0〜100(%)の数値で表される。
Next, the coloring of the gray scale magnetic domain image in step S113 will be described in detail below.
The grayscale magnetic domain image data is sent to the color magnetic domain image generation unit 34, and generation of a color magnetic domain image is started. For coloring the magnetic domain image, coordinates of the observation object W, information on the rotation angle, and magnetic domain contrast information, that is, gradation values are used.
The magnetic domain observation microscope 1 is colored using the HSV color space. Here, H represents a hue, and is represented by a numerical value with a rotation angle of 0 to 360 (degrees). S is a saturation value represented by a numerical value of 0 to 100 (%). V is lightness and is represented by a numerical value of 0 to 100 (%).

カラー磁区像生成部34では、諧調値を彩度に変換する。回転角φにおける磁区像の座標(x、y)のグレースケールの諧調値G(x、y)を調べて、H、S、Vのそれぞれに以下のように値を割り付ける。   The color magnetic domain image generation unit 34 converts the gradation value into saturation. The gray scale gradation value G (x, y) of the coordinate (x, y) of the magnetic domain image at the rotation angle φ is examined, and a value is assigned to each of H, S, and V as follows.

G(x、y)≧128のとき、(H、S、V)=(φ、α×|G(x、y)−128|/256、50)
G(x、y)<128のとき、(H、S、V)=(φ+180、α×|G(x、y)−128|/256、50)
とする。
When G (x, y) ≧ 128, (H, S, V) = (φ, α × | G (x, y) −128 | / 256, 50)
When G (x, y) <128, (H, S, V) = (φ + 180, α × | G (x, y) −128 | / 256, 50)
And

ここで、色相Hは、回転角に応じて決定されている。例えば、図3の示すような色相環は、彩度を100、明度を50、色相を30°刻みとしたもののみを抜き出して色相の値に応じて配置したものである。各色は、16進数のカラーコードで表示されており、例えば、カラーコード「#FF0000」は赤色(red)、カラーコード「#00FFFF」は水色(aqua,cyan)、カラーコード「#FF00FF」は明るい赤紫色(fuchsia,magenta)、カラーコード「#FFF00」は黄色(yellow)、カラーコード「#00FF00」はライム色(lime)を示している。   Here, the hue H is determined according to the rotation angle. For example, the hue circle as shown in FIG. 3 is extracted according to the hue value by extracting only those with saturation of 100, lightness of 50, and hue of 30 °. Each color is displayed in a hexadecimal color code. For example, the color code “# FF0000” is red (red), the color code “# 00FFFF” is light blue (aqua, cyan), and the color code “# FF00FF” is bright. The color code “# FFF00” indicates yellow (yellow), and the color code “# 00FF00” indicates lime color (fuchsia, magenta).

例えば、回転角φが初期状態の0°であって、かつ諧調値が128以上の場合、その領域は赤色(#FF0000)系に着色される。回転角φが0°、かつ諧調値が128より小さい場合、その領域は水色(#00FFFF)系に着色される。つまり、図3のカラーコードで対向して配置されている2色は、磁化ベクトルの方向が180°違うことを示す。つまり、この磁区観察顕微鏡1は、回転角φを変更する毎に撮像した磁区像に対し、対向して割り付けられた複数の色で色合いを付ける。このため、1つの回転角に対して2つの色相で着色された磁区像が得られることになる。   For example, when the rotation angle φ is 0 ° in the initial state and the gradation value is 128 or more, the region is colored red (# FF0000). When the rotation angle φ is 0 ° and the gradation value is smaller than 128, the region is colored light blue (# 00FFFF). That is, the two colors arranged opposite to each other in the color code of FIG. 3 indicate that the directions of the magnetization vectors are 180 ° different. That is, the magnetic domain observation microscope 1 colors the magnetic domain image picked up every time the rotation angle φ is changed with a plurality of colors assigned to face each other. For this reason, a magnetic domain image colored with two hues with respect to one rotation angle is obtained.

彩度Sは、諧調値G(x、y)から中間諧調値である128を引いた値の絶対値を256で割ると共に、αを掛け算した値である。ここで、256は、8bitのグレースケールの256階調に相当する値である。αは、グレースケール磁区像のコントラストに対応してカラーリング後の彩度を決定するパラメータである。   Saturation S is a value obtained by dividing an absolute value of a value obtained by subtracting 128 which is an intermediate gradation value from gradation value G (x, y) by 256 and multiplying by α. Here, 256 is a value corresponding to 256 gray scales of 8-bit gray scale. α is a parameter that determines the saturation after coloring in accordance with the contrast of the grayscale magnetic domain image.

弱い磁区コントラストでも鮮やかにカラーリングしたい場合には、αを大きい値に設定する。αの値によっては、Sの値が100を越える可能性もあるので、その場合には、100以上の値を100で置換する。なお、ノイズがあった場合でも彩度の値が飽和しないようにするためには、例えば実際の磁区像の諧調値G(x,y)が128を中心とする分布を予め調べておき、彩度Sが100〜140ぐらいの範囲が71〜100の範囲になるような値をαとして選択することが好ましい。   When vivid coloring is desired even with a weak magnetic domain contrast, α is set to a large value. Depending on the value of α, the value of S may exceed 100. In this case, a value of 100 or more is replaced with 100. In order to prevent saturation values from being saturated even in the presence of noise, for example, a distribution in which the gradation value G (x, y) of the actual magnetic domain image is 128 is examined in advance. It is preferable to select a value such that α is in the range of 71 to 100 when the degree S is about 100 to 140.

ところで、回転角φが0°のときに撮影した磁区像で、その磁区の磁化ベクトルが入射光の直線偏光の方向に平行であり、且つ磁化ベクトルの方向が直線偏光の向きと同じ向きであった場合、色相Hは赤色(#FF0000)と同じ値になる。さらに、諧調値G(x,y)の値は磁化ベクトルが直線偏光の方向に平行且つ同じ向きのときに最も大きくなるので、彩度Sが最大になって、最も明るくなる。   By the way, in the magnetic domain image taken when the rotation angle φ is 0 °, the magnetization vector of the magnetic domain is parallel to the direction of the linearly polarized light of the incident light, and the direction of the magnetization vector is the same as the direction of the linearly polarized light. In this case, the hue H becomes the same value as red (# FF0000). Further, the value of the gradation value G (x, y) becomes the largest when the magnetization vector is parallel to and in the same direction as the direction of the linearly polarized light.

これに対し、その磁区の磁化ベクトルの方向が直線偏光の方向に対して30°ずれていた場合には、色相Hは赤色(#FF0000)と同じ値になるが、諧調値G(x,y)の値が直線偏光の方向と平行のときに比べて小さくなる。このため、彩度Sが小さくなり、相対的に暗く着色される。   On the other hand, when the direction of the magnetization vector of the magnetic domain is shifted by 30 ° with respect to the direction of linearly polarized light, the hue H becomes the same value as red (# FF0000), but the gradation value G (x, y ) Is smaller than when the value is parallel to the direction of linearly polarized light. For this reason, the saturation S is reduced and the color is relatively dark.

また、磁区の磁化ベクトルの方向が直線偏光の向きと反対であった場合、諧調値G(x、y)は128より小さくなる。このため、色相Hは180°回転させた水色(#00FFFF)と同じ値になる。さらに、この場合、磁化ベクトルの方向が直線偏光の方向と逆なので、諧調値G(x,y)の値は最も小さいが、その絶対値である|G(x,y)−128|は最も大きくなるので彩度Sが最大になって、最も明るくなる。つまり、この場合は、水色かつ最も明るく着色される。   When the direction of the magnetization vector of the magnetic domain is opposite to the direction of linearly polarized light, the gradation value G (x, y) is smaller than 128. For this reason, the hue H becomes the same value as the light blue (# 00FFFF) rotated by 180 °. Furthermore, in this case, since the direction of the magnetization vector is opposite to the direction of linearly polarized light, the gradation value G (x, y) is the smallest, but the absolute value | G (x, y) −128 | Since it becomes larger, the saturation S becomes the maximum and becomes the brightest. That is, in this case, it is colored lightest and brightest.

これに対し、磁化ベクトルが、直線偏光の向きに対して150°ずれていた場合、色相Hは水色(#00FFFF)と同じ値になるが、諧調値G(x,y)の値が180°のときより大きくなる。この場合、|G(x,y)−128|の値は、180°ずれていた場合の値より小さくなるので、彩度Sが相対的に暗くなる。   On the other hand, when the magnetization vector is deviated by 150 ° with respect to the direction of linearly polarized light, the hue H becomes the same value as the light blue (# 00FFFF), but the gradation value G (x, y) is 180 °. Larger than In this case, the value of | G (x, y) −128 | is smaller than the value when it is shifted by 180 °, so that the saturation S becomes relatively dark.

さらに、直線偏光の向きに対して磁化ベクトルが90°ずれていた場合は、諧調値G(x,y)の値が128になるので、彩度Sが0になって灰色(#808080)となる。   Further, when the magnetization vector is shifted by 90 ° with respect to the direction of linearly polarized light, the gradation value G (x, y) becomes 128, so the saturation S becomes 0 and gray (# 808080). Become.

つまり、図4(a)に示すように、観察対象物Wが0°、30°、180°、150°、90°の磁化ベクトルを有する磁区構造が仮にあったことを想定すると、回転角0°で撮像すると、図4(b)に示すように着色された磁区像が得られる。なお、以下の各図において、磁区像を着色した図を示す代わりに、色分け及び彩度をハッチングで示している。磁化ベクトルが同じ方向である場合はハッチングの線の向きを同じにし、彩度が大きい程、ハッチングの線の密度が高く図示してある。   That is, as shown in FIG. 4A, assuming that the observation object W has a magnetic domain structure having magnetization vectors of 0 °, 30 °, 180 °, 150 °, and 90 °, the rotation angle is 0. When the image is taken at an angle, a colored magnetic domain image is obtained as shown in FIG. In each of the following drawings, color coding and saturation are shown by hatching instead of showing a diagram in which a magnetic domain image is colored. In the case where the magnetization vectors are in the same direction, the hatching lines have the same direction, and the greater the saturation, the higher the hatching line density.

すなわち、磁化ベクトルが0°の領域R1、30°の領域R2、180°の領域R3、150°の領域R4、90°の領域R5が、それぞれ最も明るい赤色、相対的に暗い赤色、最も明るい水色、相対的に暗い水色、無着色に色分けされた画像が得られる。   That is, the region R1, the magnetization vector of 0 °, the region R2, the region of 30 °, the region R3 of 180 °, the region R4 of 150 °, and the region R5 of 90 ° are respectively brightest red, relatively dark red, and lightest light blue. A relatively dark blue and non-colored image can be obtained.

このようにして、1つのグレースケール磁区像の各座標の各諧調値から着色された1つの磁区像が作成される。ここで、この磁区観察顕微鏡1では刻み角10°で観察を行うので、36個のグレースケール磁区像と、これに対応する着色した磁区像が作成され、メモリ35に格納される。   In this way, one magnetic domain image colored from each gradation value of each coordinate of one gray scale magnetic domain image is created. Here, since this magnetic domain observation microscope 1 performs observation at a step angle of 10 °, 36 gray-scale magnetic domain images and corresponding colored magnetic domain images are created and stored in the memory 35.

例えば、回転角φを0°から開始し、10°の刻み角で3回分回転させたときのグレースケース画像を着色したものは図4(c)に示すようになる。すなわち、回転角φが30°になるので、磁区像は図3の30°と210°に相当する「#FF8000」系と「#0080FF」系で着色される。この場合は、領域R2が回転角φと平行になるので、色相が「#FF8000」と同じ値で、かつ最も明るくなる。領域R1が回転角φに対して30°ずれるので、色相は「#FF8000」と同じ値で、相対的に暗くなる。領域F5が回転角φに対して60°ずれるので、色相は「#FF8000」と同じ値で、最も暗くなる。領域R3が回転角φの逆向きかつ平行になるので、色相が「#0080FF」と同じ値で、かつ最も明るくなる。領域R4が回転角φの逆向きかつ30°ずれるので、色相が「#0080FF」と同じ値で、かつ相対的に暗くなる。   For example, FIG. 4C shows a colored grace case image when the rotation angle φ is started from 0 ° and rotated three times at a step angle of 10 °. That is, since the rotation angle φ is 30 °, the magnetic domain image is colored with the “# FF8000” system and the “# 0080FF” system corresponding to 30 ° and 210 ° in FIG. In this case, since the region R2 is parallel to the rotation angle φ, the hue is the same value as “# FF8000” and is the brightest. Since the region R1 is shifted by 30 ° with respect to the rotation angle φ, the hue is the same value as “# FF8000” and becomes relatively dark. Since the region F5 is shifted by 60 ° with respect to the rotation angle φ, the hue is the same value as “# FF8000” and becomes the darkest. Since the region R3 is opposite and parallel to the rotation angle φ, the hue is the same value as “# 0080FF” and the brightest. Since the region R4 is opposite to the rotation angle φ and shifted by 30 °, the hue is the same value as “# 0080FF” and becomes relatively dark.

そして、回転角を0°から360°まで複数のステップで回転させながら取得した複数の着色した磁区像に基づいてステップS115でカラー磁区像が作成される。ここで、図4(a)の観察対象物Wについて作成されたカラー磁区像の一例を図5に示す。このカラー磁区像において領域R1は、複数の着色した磁区像の領域R1のデータに基づいて色相H及び彩度Sが算出される。この場合は、領域R1の磁化ベクトルは0°なので、色相Hは「#FF0000」と同じ値になる。以下、領域R2、領域R3、領域R4、領域R5の色相Hはそれぞれ「#FF8000」と、「#00FFFF」と、「#0080FF」
と、「#8000FF」と同じ値になる。
A color magnetic domain image is created in step S115 based on the plurality of colored magnetic domain images acquired while rotating the rotation angle from 0 ° to 360 ° in a plurality of steps. Here, FIG. 5 shows an example of a color magnetic domain image created for the observation object W in FIG. In this color magnetic domain image, the hue R and the saturation S of the region R1 are calculated based on the data of the plurality of colored magnetic domain image regions R1. In this case, since the magnetization vector of the region R1 is 0 °, the hue H has the same value as “# FF0000”. Hereinafter, the hues H of the region R2, the region R3, the region R4, and the region R5 are “# FF8000”, “# 00FFFF”, and “# 0080FF”, respectively.
And the same value as “# 8000FF”.

作成したカラー磁区像は、表示部36に表示される。なお、図3に示すような色相環を同時に表示させると、磁化ベクトルの方向を視認し易くなる。この場合は、16進数のカラーコードの代わりに、又はカラーコードと共に実際の色を表示することが好ましい。ここにおいて、図3に示す色相環では、角度と色相の組み合わせが時計回りに配置されているが、反時計周りに配置しても良い。
以上の処理は、図示しない記憶部に格納されたプログラムに基づいてCPU31によって制御される。
The created color magnetic domain image is displayed on the display unit 36. If the hue circle as shown in FIG. 3 is simultaneously displayed, the direction of the magnetization vector can be easily seen. In this case, it is preferable to display the actual color instead of or together with the hexadecimal color code. Here, in the hue circle shown in FIG. 3, the combination of the angle and the hue is arranged clockwise, but may be arranged counterclockwise.
The above processing is controlled by the CPU 31 based on a program stored in a storage unit (not shown).

以上のように、この磁区観察顕微鏡1では、観察対象物Wに対する直線偏光の方向の相対的な角度を変化させながら、複数の回転角φで磁区像を取得するようにしたので、磁区の磁化ベクトルと直線偏光の方向を平行にさせ易くなる。このため、磁区の境界を明瞭することができる。特に、回転角φと対応付けてグレースケールの磁区像を着色するようにしたので、色相環と比較することによって各磁区の磁化ベクトルの方向を容易に特定できるようになると共に、磁区の境界が明確になる。
磁区の磁化ベクトルと直線偏光の方向が平行にならない領域では、直線偏光の方向と平行な成分の大きさに応じて彩度Sを変化させることで直線偏光の方向からのずれをカラー化したので、磁化ベクトルの方向を高精度に区別することが可能になる。
As described above, in the magnetic domain observation microscope 1, the magnetic domain images are acquired at a plurality of rotation angles φ while changing the relative angle of the direction of linearly polarized light with respect to the observation object W. It becomes easy to make the direction of the vector and the linearly polarized light parallel. For this reason, the boundary of a magnetic domain can be clarified. Particularly, since the gray scale magnetic domain image is colored in association with the rotation angle φ, the direction of the magnetization vector of each magnetic domain can be easily specified by comparing with the hue ring, and the boundary of the magnetic domain is Become clear.
In the region where the magnetization vector of the magnetic domain and the direction of the linearly polarized light are not parallel, the saturation S is changed according to the magnitude of the component parallel to the direction of the linearly polarized light, so that the deviation from the direction of the linearly polarized light is colored. Thus, the direction of the magnetization vector can be distinguished with high accuracy.

ここで、色相が近い磁区は磁化ベクトルの方向が近いことを意味するので、図3に示すような色相環と比較することによって磁化ベクトルの方向を特定できるため、視認性良く磁区構造を評価することができる。   Here, a magnetic domain having a close hue means that the direction of the magnetization vector is close. Therefore, the direction of the magnetization vector can be specified by comparing with the hue ring as shown in FIG. 3, so that the magnetic domain structure is evaluated with high visibility. be able to.

なお、この磁区観察顕微鏡1では、明度Vを一定にして彩度Sを諧調値G(x,y)によって変化させることで着色を行っているが、彩度Sを一定にして明度Vを諧調値G(x,y)によって変化させることで着色しても良い。   In this magnetic domain observation microscope 1, coloring is performed by changing the saturation S with the gradation value G (x, y) while keeping the brightness V constant. However, the brightness V is adjusted with the saturation S constant. You may color by changing by value G (x, y).

また、グレースケール磁区像を取得するごとにメモリ35に画像データを格納し、全てのグレースケール磁区像を取得した後に、カラー磁区像生成部34で各グレースケール磁区像を着色して加算し、カラー磁区像を作成しても良い。   In addition, each time a grayscale magnetic domain image is acquired, image data is stored in the memory 35, and after all grayscale magnetic domain images have been acquired, the color magnetic domain image generation unit 34 colors and adds each grayscale magnetic domain image, A color magnetic domain image may be created.

(第2の実施形態)
第2の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、第1の実施形態と重複する説明は省略する。
図6に磁区観察顕微鏡の構成を示す。CPU31は、グレースケール磁区生成部33からのデータが入出力可能に接続されており、回転対称角算出手段としても機能する。
(Second Embodiment)
A second embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the description which overlaps with 1st Embodiment is abbreviate | omitted.
FIG. 6 shows the configuration of the magnetic domain observation microscope. The CPU 31 is connected so that data from the gray scale magnetic domain generation unit 33 can be input and output, and also functions as a rotational symmetry angle calculation unit.

図7に、この実施形態における磁区観察顕微鏡1の処理のフローチャートを示す。
最初に、磁区観察顕微鏡1は、回転ステージ4上に載置された観察対象物Wの画像を第1の実施形態と同様にして取得し、観察対象物Wの磁性体の概形から回転対称角を算出する(ステップS101)。
In FIG. 7, the flowchart of the process of the magnetic domain observation microscope 1 in this embodiment is shown.
First, the magnetic domain observation microscope 1 acquires an image of the observation object W placed on the rotation stage 4 in the same manner as in the first embodiment, and rotationally symmetric from the outline of the magnetic material of the observation object W. A corner is calculated (step S101).

回転対称角を算出する際には、最初に入射系28の方向及び撮像系29の方向と観察対象物Wとの相対角度を0°にしたときの磁区像をグレースケール磁区生成部33で取得する。そして、磁区像中の各座標の諧調値が、中間諧調値か否かで2値化を行う。これにより、観察対象物Wの磁性体の部分と非磁性体の部分とが区別されるので、観察対象物Wの磁性体の概形が得られる。   When calculating the rotational symmetry angle, the gray scale magnetic domain generation unit 33 first acquires a magnetic domain image when the relative angle between the direction of the incident system 28 and the direction of the imaging system 29 and the observation object W is 0 °. To do. Then, binarization is performed depending on whether or not the gradation value of each coordinate in the magnetic domain image is an intermediate gradation value. As a result, the magnetic body portion and the non-magnetic body portion of the observation object W are distinguished from each other, so that an outline of the magnetic body of the observation object W is obtained.

この後、観察対象物Wを所定の刻み角、例えば10°回転させて2値化像を複数回作成
する。そして、最初に取得した相対角度が0°の2値化像を基準にして、各2値化像のパターンマッチングを行い、例えば、類似度又は相違度などのスコアを取得する。そして、スコアが極大又は極小になる回転角度をその観察対象物Wの回転対称角とする。
Thereafter, the observation object W is rotated by a predetermined step angle, for example, 10 ° to create a binary image a plurality of times. Then, pattern matching of each binarized image is performed on the basis of the binarized image having a relative angle of 0 ° acquired first, and a score such as similarity or dissimilarity is acquired, for example. The rotation angle at which the score is maximized or minimized is set as the rotational symmetry angle of the observation object W.

例えば、図8に示すような正三角形の3つの角のうち、2つの角が落とされたような概形を持つ観察対象物W1についてスコアをCPU31で算出したところ、図9に示すような回転角依存性が得られた。これにより、CPU31は、スコアが極大になる0°、120°、240°が観察対象物W1の概形の回転対称角であると決定する。   For example, when the CPU 31 calculates a score for the observation object W1 having a rough shape in which two corners of three corners of an equilateral triangle as shown in FIG. 8 are dropped, the rotation as shown in FIG. Angular dependence was obtained. Thereby, the CPU 31 determines that 0 °, 120 °, and 240 ° at which the score is maximized are rotation symmetry angles of the general shape of the observation object W1.

次に、CPU31は、刻み角を決定する(ステップS102)。この場合は、回転対称角である0°、120°、240°の三箇所で観察する必要があるので、刻み角は120°になる。   Next, the CPU 31 determines a step angle (step S102). In this case, since it is necessary to observe at three positions of 0 [deg.], 120 [deg.], And 240 [deg.] Which are rotational symmetry angles, the step angle is 120 [deg.].

以降、ステップS111からステップS115に示すように、第1の実施形態と同様に、観察対象物Wを刻み角に従って回転させながらグレースケール磁区像を取得し、ここからカラー磁区像を作成する。   Thereafter, as shown in steps S111 to S115, as in the first embodiment, a gray scale magnetic domain image is acquired while rotating the observation object W according to the step angle, and a color magnetic domain image is created therefrom.

例えば、図10に示す観察対象物W2において、相対角度(回転角φ)が0°のときは、図11に示すような着色した磁区像G1が得られる。この磁区像G1は、相対角度が0°のときなので、色相Hは図3の色相環に示すように0°に相当するカラーコード「#FF0000」系と、180°に相当するカラーコード「#00FFFF」系の色に着色される。   For example, in the observation object W2 shown in FIG. 10, when the relative angle (rotation angle φ) is 0 °, a colored magnetic domain image G1 as shown in FIG. 11 is obtained. Since the magnetic domain image G1 has a relative angle of 0 °, the hue H is the color code “# FF0000” system corresponding to 0 ° and the color code “#” corresponding to 180 ° as shown in the hue circle of FIG. "00FFFF" series color.

さらに詳細には、領域R11の磁化ベクトルの方向が0°なので、色相Hが「#FF0000」と同じ値で、彩度Sが最大値になる。領域R12及び領域R13は、磁化ベクトルの方向がそれぞれ270°及び90°であり、直線偏光の方向と直交しているので、着色されない。領域R14は、色相Hが「#00FFFF」と同じ値で、彩度Sが最大値になる。領域R15は、磁化ベクトルの方向30°であり、0°に近いので色相Hは#FF0000になるが、0°からずれている分だけ彩度Sが暗くなる。同様に、領域R16は、磁化ベクトルの方向300°なので、色相Hは「#FF0000」と同じ値になるが、0°からずれている分だけ彩度Sが暗くなる。領域R16は、領域R15よりも0°からのずれが大きいので、領域R16の方が暗くなる。   More specifically, since the direction of the magnetization vector of the region R11 is 0 °, the hue H is the same value as “# FF0000” and the saturation S is the maximum value. The regions R12 and R13 are not colored because the directions of the magnetization vectors are 270 ° and 90 °, respectively, and are orthogonal to the direction of linearly polarized light. In the region R14, the hue H is the same value as “# 00FFFF”, and the saturation S is the maximum value. The region R15 has a magnetization vector direction of 30 ° and is close to 0 °, so the hue H is # FF0000, but the saturation S is darkened by the amount deviated from 0 °. Similarly, since the region R16 has a magnetization vector direction of 300 °, the hue H has the same value as “# FF0000”, but the saturation S is darkened by the amount deviated from 0 °. Since the region R16 has a larger deviation from 0 ° than the region R15, the region R16 is darker.

次に、磁区観察顕微鏡1は、CPU31の指令により、回転角φが120°のときのグレースケール磁区像を取得し、カラー磁区像生成部34で着色する。
図12に相対角度(回転角φ)が120°のときの磁区像G2を示す。なお、この図は、理解を容易にするために、図11と同じ向きになるように図示してある。
Next, the magnetic domain observation microscope 1 acquires a gray scale magnetic domain image when the rotation angle φ is 120 ° according to a command from the CPU 31, and colors it with the color magnetic domain image generation unit 34.
FIG. 12 shows a magnetic domain image G2 when the relative angle (rotation angle φ) is 120 °. This figure is shown in the same orientation as FIG. 11 for easy understanding.

磁区像G2は、相対角度が0°のときに取得された画像なので、色相Hは図3の色相環に示すように120°に相当するカラーコード「#00FF00」系と、300°に相当するカラーコード「#FF00FF」系の色に着色される。
領域R13及び領域R14は、相対的に120°に近いので色相Hが「#00FF00」と同じ値になる。そして、領域R14の方が120°に近いので領域R13よりも相対的に明るく着色される。
Since the magnetic domain image G2 is an image acquired when the relative angle is 0 °, the hue H corresponds to the color code “# 00FF00” system corresponding to 120 ° and 300 ° as shown in the hue circle of FIG. It is colored in the color code “# FF00FF” series.
Since the region R13 and the region R14 are relatively close to 120 °, the hue H has the same value as “# 00FF00”. Since the region R14 is closer to 120 °, it is colored relatively brighter than the region R13.

また、領域R11、領域R12、領域R16は、相対的に300°に近いので、色相Hが「#FF00FF」と同じ値になる。領域R16は、磁化ベクトルの向きが300°で入射光の直線偏光の方向と等しいので、最も明るく着色される。以下、300°に近い順番、すなわち領域R12、領域R11の順番に明るく着色される。そして、領域R15は、磁化ベクトルの向きが入射光の直線偏光の向きと直交するので、着色されない。   In addition, since the region R11, the region R12, and the region R16 are relatively close to 300 °, the hue H has the same value as “# FF00FF”. The region R16 is most brightly colored because the direction of the magnetization vector is 300 ° and is equal to the direction of linearly polarized light of the incident light. Hereinafter, the color is brightly colored in the order close to 300 °, that is, in the order of the region R12 and the region R11. The region R15 is not colored because the direction of the magnetization vector is orthogonal to the direction of linearly polarized light of the incident light.

さらに、磁区観察顕微鏡1は、CPU31の指令により、回転角φが240°のときのグレースケール磁区像を取得し、カラー磁区像生成部34で着色する。
図13に相対角度(回転角φ)が240°のときの磁区像G3を示す。なお、この図は、理解を容易にするために、図11と同じ向きになるように図示してある。
Further, the magnetic domain observation microscope 1 acquires a gray scale magnetic domain image when the rotation angle φ is 240 ° according to a command from the CPU 31, and colors it with the color magnetic domain image generation unit 34.
FIG. 13 shows a magnetic domain image G3 when the relative angle (rotation angle φ) is 240 °. This figure is shown in the same orientation as FIG. 11 for easy understanding.

磁区像G3は、相対角度が0°のときに取得された画像なので、色相Hは図3の色相環に示すように240°に相当するカラーコード「#0000FF」系と、60°に相当するカラーコード「#FFFF00」系の色に着色される。
領域R12、領域R14及び領域R16は、相対的に240°に近いので色相Hが「#0000FF」と同じ値になる。そして、240°に最も近い領域R12が最も明るく着色される。領域R14と領域R16は、240°からのずれ角が等しいので同じ明るさに着色される。
Since the magnetic domain image G3 is an image acquired when the relative angle is 0 °, the hue H corresponds to the color code “# 0000FF” system corresponding to 240 ° and 60 ° as shown in the hue circle of FIG. It is colored in the color code “# FFFF00” series.
Since the region R12, the region R14, and the region R16 are relatively close to 240 °, the hue H has the same value as “# 0000FF”. The region R12 closest to 240 ° is most brightly colored. The region R14 and the region R16 are colored with the same brightness because the angle of deviation from 240 ° is the same.

また、領域R11、領域R13、領域R15は、相対的に60°に近いので、色相Hが「#FFFF00」と同じ値になる。領域R13と領域R15は、60°からのずれ角が等しいので同じ明るさに着色される。領域R11は、60°からのずれ角が最も大きいので、領域R13及び領域R15より暗く着色される。   Further, since the region R11, the region R13, and the region R15 are relatively close to 60 °, the hue H has the same value as “# FFFF00”. The region R13 and the region R15 are colored with the same brightness because the deviation angle from 60 ° is equal. The region R11 has the largest deviation angle from 60 °, and thus is darker than the regions R13 and R15.

そして、3枚の画像を加算すると、図14に示すようなカラー磁区像G4が得られる。
前記したように、領域R11と領域R14は、それぞれカラーコード「#FF0000」と「#00FFFF」で着色される。
また、領域R12は、図12と図13の情報が加算されることで270°に相当する色相、すなわちカラーコード「#8000FF」で着色される。同様に、領域R13は、図12と図13の情報が加算されることで90°に相当する色相、すなわちカラーコード「#80FF00」で着色される。
領域R15は、図11から図13の情報が加算された結果、カラーコード「#FF80000」で着色される。同様に、領域R16は、図11から図13の情報が加算された結果、カラーコード「#FF00FF」で着色される。
When three images are added, a color magnetic domain image G4 as shown in FIG. 14 is obtained.
As described above, the region R11 and the region R14 are colored with the color codes “# FF0000” and “# 00FFFF”, respectively.
The region R12 is colored with a hue corresponding to 270 °, that is, the color code “# 8000FF”, by adding the information in FIGS. Similarly, the region R13 is colored with a hue corresponding to 90 °, that is, the color code “# 80FF00”, by adding the information of FIG. 12 and FIG.
The region R15 is colored with the color code “# FF80000” as a result of adding the information of FIG. 11 to FIG. Similarly, the region R16 is colored with the color code “# FF00FF” as a result of adding the information of FIG. 11 to FIG.

以上のように、この磁区観察顕微鏡1では、観察対象物Wに対する直線偏光の方向の相対的な角度を観察対象物W2の磁性体の概形の回転対称性に着目して決定するように構成したので、観察時間を削減できる。カラー磁区像を作成することによる効果は、第1の実施形態と同様である。
ここで、磁性体の磁区構造は、磁性体の概形により、ある程度限定されることが知られており、しかも磁性体の概形の回転対称角に近いことが多い。そのため、回転対称角を算出することで、各磁区の磁化ベクトルと入射光の直線偏光の方向とを平行にさせ易くなる。入射光の直線偏光の方向を磁化ベクトルの向きになるべく平行にすると誤差を少なくできるので、磁区構造の評価を効率的に、かつ精度良く行えるようになる。
As described above, the magnetic domain observation microscope 1 is configured to determine the relative angle of the direction of linearly polarized light with respect to the observation object W by paying attention to the rotational symmetry of the outline of the magnetic material of the observation object W2. As a result, the observation time can be reduced. The effect of creating a color magnetic domain image is the same as that of the first embodiment.
Here, it is known that the magnetic domain structure of the magnetic body is limited to some extent by the outline of the magnetic body, and is often close to the rotational symmetry angle of the outline of the magnetic body. Therefore, by calculating the rotational symmetry angle, it becomes easy to make the magnetization vector of each magnetic domain parallel to the direction of the linearly polarized light of the incident light. Since the error can be reduced by making the direction of the linearly polarized light of the incident light as parallel as possible to the direction of the magnetization vector, the magnetic domain structure can be evaluated efficiently and accurately.

なお、以上の説明では、観察対象物W2をその概形の対称性良く設置していることを前提としているが、磁区が任意の角度で配置されている場合もある。その場合には、まずその角度で磁区像を取得し、中間諧調値か否かの2値化処理を行って観察対象物Wの磁性体の概形を求める。さらに、CPU31の処理によってエッジ抽出を行って求めた点群に対してハフ変換を行う。これによって、磁性体の概形を構成する辺のうち最も長い辺を直線近似できるので、この直線と入射光の直線偏光の方向との成す角(相対角度)を基準角度とする。ここで、相対角度とは、光学系を回転させる場合には直線偏光の角度であり、観察対象物Wを回転させる場合には回転角度である。   In the above description, it is assumed that the observation object W2 is installed with good symmetry of the outline, but the magnetic domains may be arranged at an arbitrary angle. In that case, first, a magnetic domain image is acquired at that angle, and a binarization process is performed to determine whether or not it is an intermediate gradation value, thereby obtaining an outline of the magnetic body of the observation object W. Further, the Hough transform is performed on the point group obtained by performing the edge extraction by the processing of the CPU 31. Thus, the longest side of the sides constituting the outline of the magnetic material can be linearly approximated, and the angle (relative angle) formed by this straight line and the direction of the linearly polarized light of the incident light is set as the reference angle. Here, the relative angle is an angle of linearly polarized light when the optical system is rotated, and is a rotation angle when the observation object W is rotated.

(第3の実施形態)
第3の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、前記の各実施形態と重複する説明は省略する。
(Third embodiment)
A third embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the description which overlaps with each said embodiment is abbreviate | omitted.

磁区観察顕微鏡の構成は、図6と同様である。CPU31は、グレースケール磁区生成部33からのデータが入出力可能に接続されており、撮像角度算出手段としても機能する。   The configuration of the magnetic domain observation microscope is the same as that shown in FIG. The CPU 31 is connected so that data from the gray scale magnetic domain generation unit 33 can be input and output, and also functions as an imaging angle calculation unit.

まず、第2の実施形態と同様にして観察対象物Wの磁性体の概形の回転対称角を算出する。
次に、観察対象物Wと、入射系28及び撮像系29の方向との相対角度を上記で求めた回転対称角、及びその中間角度に限定して磁区像を撮像して着色する。そして、全画像を加算して1枚のカラー磁区像を生成する。
First, as in the second embodiment, the rotational symmetry angle of the approximate shape of the magnetic body of the observation object W is calculated.
Next, a magnetic domain image is captured and colored by limiting the relative angle between the observation object W and the directions of the incident system 28 and the imaging system 29 to the rotational symmetry angle obtained above and the intermediate angle. Then, all the images are added to generate one color magnetic domain image.

ここで、図15に示すような長方形の磁性体が観察対象物W2であった場合、回転対称角は0°と180°であるが、入射系28及び撮像系29の方向と、観察対象物W2との相対角度を、その中間角度も含めた0°、90°、180°、270°に設定し、それぞれの回転角φでグレースケール磁区像を撮像する。   Here, when the rectangular magnetic body as shown in FIG. 15 is the observation object W2, the rotational symmetry angles are 0 ° and 180 °, but the directions of the incident system 28 and the imaging system 29, and the observation object The relative angle with W2 is set to 0 °, 90 °, 180 °, and 270 ° including the intermediate angle, and a gray scale magnetic domain image is captured at each rotation angle φ.

ここで、領域R21及び領域R22の磁化ベクトルと平行な方向を0°(初期値)に設定し、観察対象物W2の回転対称角のみを回転角φに設定した場合は、領域R21及び領域R22は磁化ベクトルが入射光の直線偏光及び撮像系29の方向と平行なので着色可能になる。しかしながら、領域R23及び領域R24は磁化ベクトルが入射光の直線偏光及び撮像系29の方向と直交するので着色に必要な諧調値が得られない。領域R23及び領域R24の磁化ベクトルと平行な方向を0°に設定し、回転対称角のみを回転角φに設定した場合も同様に領域21及び領域R22の着色に必要な諧調値が得られない。   Here, when the direction parallel to the magnetization vectors of the region R21 and the region R22 is set to 0 ° (initial value) and only the rotational symmetry angle of the observation object W2 is set to the rotation angle φ, the region R21 and the region R22 are set. Can be colored because the magnetization vector is parallel to the linearly polarized light of the incident light and the direction of the imaging system 29. However, since the magnetization vectors of the region R23 and the region R24 are orthogonal to the linearly polarized light of the incident light and the direction of the imaging system 29, the gradation value necessary for coloring cannot be obtained. Similarly, when the direction parallel to the magnetization vectors of the region R23 and the region R24 is set to 0 ° and only the rotational symmetry angle is set to the rotation angle φ, the gradation value necessary for coloring the region 21 and the region R22 cannot be obtained. .

これに対し、中間角度においてもグレースケール磁区像を取得することで、図16に示すように、各領域R21〜R24の着色が可能になる。さらに、磁区観察を行う箇所が増えることで磁化ベクトルと直線偏光との成す角が小さくなるように撮像され易くなるので、磁区の境界が明瞭になる。   On the other hand, by obtaining a grayscale magnetic domain image even at an intermediate angle, the regions R21 to R24 can be colored as shown in FIG. Furthermore, since the number of locations where the magnetic domain observation is performed is increased, the image is easily captured so that the angle formed by the magnetization vector and the linearly polarized light becomes small, so that the boundary between the magnetic domains becomes clear.

以上のように、この磁区観察顕微鏡1では、観察対象物Wに対する直線偏光の方向の相対的な角度として、磁性体の概形の回転対称角、及びその中間角度を選択するように構成したので、観察時間を削減できる。回転対称角のみを選択する場合に比べて回転角が多く採用されることから、測定誤差を小さくできる。カラー磁区像を作成することによる効果は、第1の実施形態と同様である。
なお、観察対象物が任意の角度で配置されている場合の処理は第2の実施形態と同様である。
As described above, the magnetic domain observation microscope 1 is configured to select the rotational symmetry angle of the approximate shape of the magnetic material and the intermediate angle thereof as the relative angle of the direction of the linearly polarized light with respect to the observation object W. , Can reduce the observation time. Since more rotation angles are employed than when only the rotational symmetry angle is selected, the measurement error can be reduced. The effect of creating a color magnetic domain image is the same as that of the first embodiment.
Note that the processing when the observation object is arranged at an arbitrary angle is the same as in the second embodiment.

(第4の実施形態)
第4の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、磁区観察顕微鏡の構成は、図6に示す構成と同様である。CPU31は、グレースケール磁区生成部33からのデータが入出力可能に接続されており、近似直線算出手段と撮像角度算出手段としても機能する。
(Fourth embodiment)
The fourth embodiment will be described in detail with reference to the drawings. The configuration of the magnetic domain observation microscope is the same as that shown in FIG. The CPU 31 is connected so that data from the gray scale magnetic domain generation unit 33 can be input and output, and also functions as an approximate straight line calculation unit and an imaging angle calculation unit.

まず、第2の実施形態と同様に2値化処理により観察対象物Wの磁性体の概形を求め、概形を構成する辺を直線近似する。直線近似の方法としては、例えば、CPU31がエッジ抽出により辺をなす点群を求めた後にハフ変換を行うことがあげられる。そして、ハフ変換で求めた近似直線と、例えば水平方向との成す角度を算出すれば、磁性体の概形の各辺が成す角度を算出できる。   First, as in the second embodiment, the rough shape of the magnetic body of the observation object W is obtained by binarization processing, and the sides constituting the rough shape are linearly approximated. As a method of linear approximation, for example, the CPU 31 performs a Hough transform after obtaining a group of points that form sides by edge extraction. Then, by calculating the angle formed between the approximate straight line obtained by the Hough transform and, for example, the horizontal direction, the angle formed by each side of the outline of the magnetic material can be calculated.

次に、CPU31は、観察対象物Wと、入射系28及び撮像系29の方向との相対角度を、上記で求めた磁性体の概形の各辺が成す角度に限定、すなわち各辺と入射光の直線偏光の方向が平行になるように回転角φを設定する。例えば、観察対象物Wが図15に示す構造を有する場合は、直交する2組の辺が抽出されるので、各辺に平行な角度、0°、90°、180°、270°が回転角φとして選択される。
そして、各回転角φでグレースケール磁区像を取得し、着色する。そして、全ての磁区像を加算して、1枚のカラー磁区像を生成する。ここでの処理は、第1の実施形態や第2の実施形態で説明した処理と同様である。
Next, the CPU 31 limits the relative angle between the observation object W and the direction of the incident system 28 and the imaging system 29 to an angle formed by each side of the outline of the magnetic body obtained above, that is, each side and the incident side. The rotation angle φ is set so that the direction of linearly polarized light is parallel. For example, when the observation object W has the structure shown in FIG. 15, two orthogonal sides are extracted, and therefore, the angles parallel to each side, 0 °, 90 °, 180 °, and 270 ° are rotation angles. Selected as φ.
Then, a gray scale magnetic domain image is acquired at each rotation angle φ and colored. Then, all the magnetic domain images are added to generate one color magnetic domain image. The processing here is the same as the processing described in the first embodiment or the second embodiment.

以上のように、この磁区観察顕微鏡1では、観察対象物Wに対する直線偏光の方向の相対的な角度を磁性体の概形の辺と略平行な角度に限定しているため、観察時間が削減される。特に、磁性体の概形をなす辺に平行な角度で観察を行うようにしたので、誤差を少なくできるので、磁区構造の評価を効率的に、かつ精度良く行えるようになる。カラー磁区像を作成することによる効果は、第1の実施形態と同様である。   As described above, in this magnetic domain observation microscope 1, since the relative angle of the direction of linearly polarized light with respect to the observation object W is limited to an angle substantially parallel to the side of the outline of the magnetic material, the observation time is reduced. Is done. In particular, since the observation is performed at an angle parallel to the side forming the outline of the magnetic material, the error can be reduced, and the magnetic domain structure can be evaluated efficiently and accurately. The effect of creating a color magnetic domain image is the same as that of the first embodiment.

(第5の実施形態)
第5の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、前記の各実施形態と重複する説明は省略する。磁区観察顕微鏡の構成は、図6に示す構成と同様である。CPU31は、グレースケール磁区生成部33からのデータが入出力可能に接続されており、撮像角度算出手段としても機能する。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the description which overlaps with each said embodiment is abbreviate | omitted. The configuration of the magnetic domain observation microscope is the same as that shown in FIG. The CPU 31 is connected so that data from the gray scale magnetic domain generation unit 33 can be input and output, and also functions as an imaging angle calculation unit.

図17に、この実施形態における磁区観察顕微鏡1の処理のフローチャートを示す。ステップS101からステップS113までは第2の実施形態と同様の処理が行われる。ここまでの処理は、予定された回転角φでの磁区像の取得が終了するまで行われる(ステップS114及びステップS115)。   In FIG. 17, the flowchart of the process of the magnetic domain observation microscope 1 in this embodiment is shown. From step S101 to step S113, processing similar to that of the second embodiment is performed. The processing so far is performed until acquisition of the magnetic domain image at the planned rotation angle φ is completed (steps S114 and S115).

次に、各画素の諧調値の回転角度依存性を算出する(ステップS121)。
まず、各磁区像における磁性体内部の全ての点Pi(iは任意の整数)において、諧調値G(Pi)と回転角φの関係を求める。これにより、例えば、図18に示すようなグラフが得られる。グラフの横軸は回転角φを示し、縦軸は諧調値を示す。図18には一例として、2点の測定結果、即ち観察対象物W中の所定の位置である点P1の諧調値G(P1)と、同じく所定の位置である点P2の諧調値G(P2)のみが示されている。そして、CPU31は、各点P1、P2における諧調値の最大値と最小値の差ΔG(P1)、ΔG(P2)を算出する。そして、各点P1,P2における最小値ΔGMinを算出する。
Next, the rotation angle dependency of the gradation value of each pixel is calculated (step S121).
First, the relationship between the gradation value G (Pi) and the rotation angle φ is obtained at all points Pi (i is an arbitrary integer) inside the magnetic body in each magnetic domain image. Thereby, for example, a graph as shown in FIG. 18 is obtained. The horizontal axis of the graph indicates the rotation angle φ, and the vertical axis indicates the gradation value. As an example, FIG. 18 shows two measurement results, that is, a gradation value G (P1) of a point P1 that is a predetermined position in the observation object W, and a gradation value G (P2) of a point P2 that is also a predetermined position. Only) is shown. Then, the CPU 31 calculates differences ΔG (P1) and ΔG (P2) between the maximum and minimum gradation values at the points P1 and P2. Then, the minimum value ΔGMin at each point P1, P2 is calculated.

この後、CPU31は、刻み角が妥当であるか判断する(ステップS122)。具体的には、CPU31が予め設定された閾値と、ΔGMinとの大小を調べる。ΔGMinが閾値より大きいときは、磁性体内部の全て点において磁化ベクトルと入射光の直線偏光の方向とがほぼ平行になるように撮像できており、刻み角は妥当であると判定する(ステップS122でYes)。つまり、この場合は、この刻み角における各回転角φで磁区像を取得すれば、磁化ベクトルの方向を高い精度で特定できると考えられる。したがって、ここまでの処理で取得したグレースケール磁区像のそれぞれを第1の実施形態と同様の処理で着色する(ステップS123)。さらに、着色した磁区像を加算して、1枚のカラー磁区像を作成する(ステップS124)。   Thereafter, the CPU 31 determines whether the step angle is appropriate (step S122). Specifically, the CPU 31 checks the magnitude of the preset threshold value and ΔGMin. When ΔGMin is larger than the threshold, it is determined that the magnetization vector and the direction of the linearly polarized light of the incident light are substantially parallel at all points inside the magnetic body, and the step angle is determined to be appropriate (step S122). Yes). That is, in this case, it is considered that the direction of the magnetization vector can be specified with high accuracy by acquiring a magnetic domain image at each rotation angle φ at this step angle. Therefore, each of the grayscale magnetic domain images acquired by the processing so far is colored by the same processing as in the first embodiment (step S123). Further, the colored magnetic domain images are added to create one color magnetic domain image (step S124).

これに対し、ΔGMinが閾値以下であった場合は、磁化ベクトルと入射光の直線偏光の方向とが平行になり難い条件で撮像していると判定する。つまり、CPU31は、この条件で磁区観察を行うと磁化ベクトルの方向を特定する精度が低くなるとみなし、刻み角が妥当でないと判断する(ステップS122でNo)。   On the other hand, when ΔGMin is equal to or smaller than the threshold value, it is determined that the imaging is performed under the condition that the magnetization vector and the direction of the linearly polarized light of the incident light are difficult to be parallel. That is, the CPU 31 determines that the accuracy of specifying the direction of the magnetization vector is lowered when the magnetic domain observation is performed under this condition, and determines that the step angle is not appropriate (No in step S122).

この場合に、CPU31は、入射系28及び撮像系29の方向と、観察対象物Wとの相対角度の刻み角を小さくする(ステップS125)。刻み角を小さくするとは、例えば最初に設定した回転角φにその中間角度を加えることがあげられる。また、順番に並んだ2つの回転角φの間を3分割や4分割した角度に相当する回転角を加えても良い。   In this case, the CPU 31 decreases the step angle of the relative angle between the direction of the incident system 28 and the imaging system 29 and the observation object W (step S125). To reduce the step angle, for example, an intermediate angle is added to the initially set rotation angle φ. Further, a rotation angle corresponding to an angle obtained by dividing the rotation angle φ between the two rotation angles φ arranged in order into three or four may be added.

この後、ステップS102に戻り、設定し直した回転角φでグレースケールの磁区像を取得する。以降、ステップS102からステップS122、及びステップS125の処理をΔGMinが閾値より大きくなるまで繰り返す。
そして、ΔGMinが閾値よりも大きくなったときの回転角φで取得した各磁区像を用い、カラー磁区生成部34が第1の実施形態と同様の方法でカラー磁区像を作成する。
Thereafter, the process returns to step S102, and a grayscale magnetic domain image is acquired at the reset rotation angle φ. Thereafter, the processing from step S102 to step S122 and step S125 is repeated until ΔGMin becomes larger than the threshold value.
Then, using each magnetic domain image acquired at the rotation angle φ when ΔGMin is larger than the threshold value, the color magnetic domain generation unit 34 creates a color magnetic domain image by the same method as in the first embodiment.

ここで、ステップS122及びステップS123の処理について具体例を挙げてさらに詳細に説明する。なお、観察対象物Wの磁性体としては、回転対称角が0°、90°、180°、270°が算出されるような概形を想定する。そして、このような回転対称角を有する観察対象物Wの磁性体内部の点P1、P2における諧調値と回転角の関係は、図19に示すような曲線(振幅20で中心128の正弦波で位相差は45度)が得られたものとする。   Here, the process of step S122 and step S123 will be described in more detail with a specific example. In addition, as a magnetic body of the observation object W, a rough shape in which rotational symmetry angles of 0 °, 90 °, 180 °, and 270 ° are calculated is assumed. Then, the relationship between the gradation value and the rotation angle at the points P1 and P2 inside the magnetic body of the observation object W having such a rotational symmetry angle is a curve as shown in FIG. It is assumed that the phase difference is 45 degrees).

磁区観察顕微鏡1における磁区観察の初期条件が、磁区像の点P1、P2における諧調値が図18に示すような4通りのプロットが得られるような条件であった場合、ΔG(P1)=40、ΔG(P2)=28.28となる。そして、ΔG(Pi)の最小値は、ΔGMin=ΔG(P2)=28.28となる。
ここで、CPU31にΔGMinの閾値として例えば「35」が設定されていた場合、ΔGMinの値である「28.28」は閾値よりも小さい。このため、CPU31は、刻み角を小さくする必要があると判断する。
When the initial condition of the magnetic domain observation in the magnetic domain observation microscope 1 is such that the gradation values at the magnetic domain image points P1 and P2 are such that four plots as shown in FIG. 18 are obtained, ΔG (P1) = 40 , ΔG (P2) = 28.28. The minimum value of ΔG (Pi) is ΔGMin = ΔG (P2) = 28.28.
Here, for example, when “35” is set as the threshold value of ΔGMin in the CPU 31, “28.28”, which is the value of ΔGMin, is smaller than the threshold value. For this reason, the CPU 31 determines that the step angle needs to be reduced.

例えば、前記したように回転角φにその中間角度を加えるようにCPU31がプログラミングされていた場合、回転角φとして0°、45°、90°、135°、180°、225°、270°、315°の8個が新たな回転角φとして設定される。なお、この場合、刻み角は、初期条件の90°から45°に変更されたことになる。   For example, when the CPU 31 is programmed to add the intermediate angle to the rotation angle φ as described above, the rotation angle φ is 0 °, 45 °, 90 °, 135 °, 180 °, 225 °, 270 °, Eight of 315 ° are set as new rotation angles φ. In this case, the step angle is changed from the initial condition of 90 ° to 45 °.

そして、これら8個の回転角φでグレースケール磁区像を取得すると、例えば図20に示すようなプロットが得られる。図20において、点P1、P2における諧調値はΔG(P1)=ΔG(P2)=40であり、この値がΔGMinになる。つまり、この刻み角の条件ではΔGMinを閾値より大きくすることができる。   Then, when a gray scale magnetic domain image is acquired at these eight rotation angles φ, for example, a plot as shown in FIG. 20 is obtained. In FIG. 20, the gradation value at points P1 and P2 is ΔG (P1) = ΔG (P2) = 40, and this value becomes ΔGMin. That is, ΔGMin can be made larger than the threshold value under the condition of the step angle.

この結果、CPU31は、これら8個の回転角φで磁区観察を行い、カラー磁区像を作成する。なお、刻み角の評価の精度、すなわち磁区観察の精度を高める観点からは、点P1、P2以外の点も計算することが好ましいが、この2点だけで評価を行った場合でも、磁区観察の精度を高めることができる。すなわち、刻み角の評価を行う場合に着目する点Piの数は任意に設定することが可能である。   As a result, the CPU 31 performs magnetic domain observation at these eight rotation angles φ and creates a color magnetic domain image. In addition, it is preferable to calculate points other than the points P1 and P2 from the viewpoint of improving the accuracy of the evaluation of the step angle, that is, the accuracy of the magnetic domain observation. However, even when the evaluation is performed using only these two points, Accuracy can be increased. That is, it is possible to arbitrarily set the number of points Pi to which attention is paid when the step angle is evaluated.

以上のように、この磁区観察顕微鏡1は、刻み角(回転角φ)が適切であるかを評価し、適切でない場合には回転角φの刻みをより小さく設定するようにしたので、高精度な磁区像の可視化に充分な情報が得られるようになる。磁区像を取得する回転角φの数を最適化することができるので、磁区像のカラー化に要する時間を削減できる。カラー磁区像を作成することによる効果は、第1の実施形態と同様である。   As described above, the magnetic domain observation microscope 1 evaluates whether the step angle (rotation angle φ) is appropriate, and if not, sets the step of the rotation angle φ to be smaller. Information sufficient for visualization of a magnetic domain image can be obtained. Since the number of rotation angles φ for acquiring the magnetic domain image can be optimized, the time required for colorizing the magnetic domain image can be reduced. The effect of creating a color magnetic domain image is the same as that of the first embodiment.

なお、以上の各実施形態における磁区観察顕微鏡1の産業上の利用可能性としては、例
えば、磁性材料や超伝導材料における磁区構造の観察があげられる。特に、強磁性材料は、ハードディスクの他、磁気メモリ(MRAM)や磁気センサー、磁気アクチュエーター、電気自動車用モーターなどのパワーマグネティクスと呼ばれるエネルギー変換機器などに応用されているため、それらの分野で利用することを想定できる。
The industrial applicability of the magnetic domain observation microscope 1 in each of the above embodiments includes, for example, observation of a magnetic domain structure in a magnetic material or a superconducting material. In particular, ferromagnetic materials are used in energy conversion devices called power magnetics such as magnetic memory (MRAM), magnetic sensors, magnetic actuators, and motors for electric vehicles in addition to hard disks, and are used in those fields. Can be assumed.

以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成、条件等に限られるものではなく、各種の変更が可能である。例えば、第4の実施形態における磁性体の各辺の直線近似方法として、エッジ点群に対し最小二乗法を用いても良い。
また、第5の実施形態における回転角φの刻み角の適性を評価する方法として、磁性体内部の全ての点でのΔG(Pi)の標準偏差を算出し、それが予め設定した閾値よりも小さいことをもって適切であると判定しても良い。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the configurations, conditions, and the like described in the embodiments, and various modifications can be made. For example, as a method of linear approximation of each side of the magnetic body in the fourth embodiment, a least square method may be used for the edge point group.
In addition, as a method for evaluating the suitability of the step angle of the rotation angle φ in the fifth embodiment, the standard deviation of ΔG (Pi) at all points inside the magnetic body is calculated, and is larger than a preset threshold value. You may determine with a small thing that it is appropriate.

ここで挙げた全ての例および条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明および概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例および条件に限定することなく解釈すべきであり、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換および変形を施すことができると理解すべきである。   All examples and conditional expressions given here are intended to help the reader understand the inventions and concepts that have contributed to the promotion of technology, such examples and It should be construed without being limited to the conditions, and the organization of such examples in the specification is not related to showing the superiority or inferiority of the present invention. Although embodiments of the present invention have been described in detail, it should be understood that various changes, substitutions and variations can be made thereto without departing from the spirit and scope of the present invention.

1 磁区観察顕微鏡
3 XYステージ(回転部)
4 回転ステージ(回転部)
10 光学系
27 撮像装置(出力部)
31 CPU
32 ステージ制御部
33 グレースケール磁区像生成部
34 カラー磁区像生成部
W,W1,W2,W3 観察対象物
1 Magnetic domain observation microscope 3 XY stage (rotating part)
4 Rotating stage (rotating part)
10 Optical System 27 Imaging Device (Output Unit)
31 CPU
32 Stage control unit 33 Gray scale magnetic domain image generation unit 34 Color magnetic domain image generation unit W, W1, W2, W3 Observation object

Claims (6)

直線偏光を有する光を出射する光源と、
前記光源が観察対象物を照射したときに磁気光学カー効果によって得られる反射光を取り込んで信号を出力する出力部と、
前記観察対象物に対する前記直線偏光の方向を相対的に回転させる回転部と、
前記出力される信号から前記観察対象物の画像として色情報を含まないグレースケール画像を形成するグレースケール磁区像生成部と、
前記グレースケール画像を取得したときの回転角を色相に割り当てることと、前記グレースケール画像の画素の諧調値をその画素の彩度又は明度に換算することにより前記グレースケール画像を着色するカラー磁区像生成部と、
を含むことを特徴とする磁区観察顕微鏡。
A light source that emits light having linearly polarized light;
An output unit that captures reflected light obtained by the magneto-optic Kerr effect when the light source illuminates the observation object; and outputs a signal;
A rotating unit that rotates the direction of the linearly polarized light relative to the observation object;
A grayscale magnetic domain image generation unit that forms a grayscale image that does not include color information as an image of the observation object from the output signal;
A color magnetic domain image that colors the grayscale image by assigning a rotation angle when obtaining the grayscale image to a hue, and converting a gradation value of a pixel of the grayscale image into a saturation or brightness of the pixel A generator,
A magnetic domain observation microscope comprising:
前記カラー磁区像生成部は、回転角と色相とを関連付けたデータを有し、前記画素の諧調値が中間諧調値以上のときは、そのときの回転角を色相に割り当て、前記画素の諧調値が中間諧調値より小さいときは、そのときの回転角に180°加算した角度を色相に割り当てるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の磁区観察顕微鏡。   The color magnetic domain image generation unit has data in which a rotation angle and a hue are associated with each other, and when the gradation value of the pixel is equal to or higher than an intermediate gradation value, the rotation angle at that time is assigned to the hue, and the gradation value of the pixel 2. The magnetic domain observation microscope according to claim 1, wherein an angle obtained by adding 180 ° to a rotation angle at that time is assigned to a hue when is smaller than an intermediate gradation value. 前記画素の彩度又は明度は、非磁性体の領域を中間諧調値にしたときに、前記中間諧調値と前記画素の諧調値と差の絶対値に比例するように構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の磁区観察顕微鏡。   The saturation or brightness of the pixel is configured to be proportional to the absolute value of the difference between the intermediate gradation value and the gradation value of the pixel when the non-magnetic region is set to the intermediate gradation value. The magnetic domain observation microscope according to claim 1 or 2. 前記グレースケール画像を取得する回転角として、前記観察対象物の回転対称角を選択するように構成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の磁区観察顕微鏡。   The magnetic domain observation microscope according to any one of claims 1 to 3, wherein a rotational symmetry angle of the observation object is selected as a rotation angle for acquiring the gray scale image. 前記観察対象物を相対的に回転させながら取得した複数の前記グレースケール画像の画素の諧調値の変化を調べ、同じ画素の諧調値の最大値と最小値の差が予め設定された閾値より小さいときに回転角の数を増やすように構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の磁区観察顕微鏡。   A change in gradation value of a plurality of gray scale image pixels acquired while relatively rotating the observation object is examined, and a difference between the maximum value and the minimum value of the gradation values of the same pixel is smaller than a preset threshold value. The magnetic domain observation microscope according to claim 1 or 2, characterized in that the number of rotation angles is sometimes increased. 直線偏光を有する光を観察対象物に照射し、磁気光学カー効果によって得られる反射光を取り込んで信号を出力し、
前記観察対象物に対する前記直線偏光の方向を相対的に回転させ、
前記出力される信号から前記観察対象物の画像として色情報を含まないグレースケール画像を形成し、
前記グレースケール画像を取得したときの回転角を色相に割り当てるとともに、前記グレースケール画像の画素の諧調値をその画素の彩度又は明度に換算することにより前記グレースケール画像を着色するカラー磁区像を生成することを特徴とする磁区観察方法。
Irradiate light with linearly polarized light on the observation object, capture the reflected light obtained by the magneto-optic Kerr effect, and output a signal,
Rotating the direction of the linearly polarized light relative to the object to be observed;
Forming a grayscale image containing no color information as an image of the observation object from the output signal;
A color magnetic domain image for coloring the grayscale image by assigning a rotation angle when obtaining the grayscale image to a hue and converting a gradation value of a pixel of the grayscale image into a saturation or brightness of the pixel. Magnetic domain observation method characterized by generating.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108710090A (en) * 2018-05-22 2018-10-26 复旦大学 A method of it measuring antiferromagnetic magnetic domain using Kerr magnetooptical effect and is distributed
CN111855585A (en) * 2020-07-07 2020-10-30 上海交通大学 Method for determining crystal domain space distribution and crystal lattice orientation of non-centrosymmetric crystal
US10892196B2 (en) 2018-10-22 2021-01-12 Samsung Electronics Co., Ltd. Magnetic property measuring system, a method for measuring magnetic properties, and a method for manufacturing a magnetic memory device using the same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108710090A (en) * 2018-05-22 2018-10-26 复旦大学 A method of it measuring antiferromagnetic magnetic domain using Kerr magnetooptical effect and is distributed
CN108710090B (en) * 2018-05-22 2020-07-24 复旦大学 Method for measuring distribution of antiferromagnetic magnetic domain by utilizing magneto-optical Kerr effect
US10892196B2 (en) 2018-10-22 2021-01-12 Samsung Electronics Co., Ltd. Magnetic property measuring system, a method for measuring magnetic properties, and a method for manufacturing a magnetic memory device using the same
US11600537B2 (en) 2018-10-22 2023-03-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Magnetic property measuring system, a method for measuring magnetic properties, and a method for manufacturing a magnetic memory device using the same
CN111855585A (en) * 2020-07-07 2020-10-30 上海交通大学 Method for determining crystal domain space distribution and crystal lattice orientation of non-centrosymmetric crystal
CN111855585B (en) * 2020-07-07 2023-08-15 上海交通大学 Determination method for domain space distribution and lattice orientation of non-centrosymmetric crystal

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