JP2010186874A - Method of manufacturing flexible printed wiring board material - Google Patents

Method of manufacturing flexible printed wiring board material Download PDF

Info

Publication number
JP2010186874A
JP2010186874A JP2009030128A JP2009030128A JP2010186874A JP 2010186874 A JP2010186874 A JP 2010186874A JP 2009030128 A JP2009030128 A JP 2009030128A JP 2009030128 A JP2009030128 A JP 2009030128A JP 2010186874 A JP2010186874 A JP 2010186874A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductor layer
wiring board
flexible printed
board material
printed wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009030128A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumihiro Maeda
文博 前田
Toshinao Ito
利尚 伊藤
Takashi Urabe
高志 占部
Nagayasu Kaneshiro
永泰 金城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaneka Corp filed Critical Kaneka Corp
Priority to JP2009030128A priority Critical patent/JP2010186874A/en
Publication of JP2010186874A publication Critical patent/JP2010186874A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible printed wiring board material for a COF formed into warpage setting a conductive layer on the inside without being influenced by moisture absorption or water absorption of a base film, and a method of manufacturing the same, in a method of manufacturing a flexible printed wiring board material. <P>SOLUTION: This method of manufacturing a flexible printed wiring board material includes (1) a process of forming a metal seed layer on a polyimide film by a dry plating method by using a polyimide film exhibiting a linear expansion coefficient having a value smaller than that of a linear expansion coefficient of a conductor layer to be formed, and (2) a process of forming the conductor layer by a wet plating method on a metal seed layer provided by the process (1). In the process (2), time until the thickness of the conductor layer to be formed exceeds 1 μm is less than 5 min, and transport tensile force is 8 N/cm or less. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、主にチップオンフィルム(以下、COFともいう)用途に好適に用いることができるフレキシブルプリント配線基板材料およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a flexible printed wiring board material that can be suitably used mainly for chip-on-film (hereinafter also referred to as COF) applications and a method for producing the same.

現在、液晶用ドライバICは、主にチップオンフィルム方式(COF方式)等にて実装されており、使用されるフレキシブルプリント配線基板材料(以下、FCCLともいう)は、主に例えば物理気相蒸着法(以下、PVD法ともいう)に代表されるような乾式めっき法によりポリイミドフィルム上に直接金属シード層を形成した後に、そのシード層上に湿式めっき法により導体層を形成するというような製造方法により作製されている。   Currently, liquid crystal driver ICs are mainly mounted by a chip-on-film method (COF method) or the like, and a flexible printed wiring board material (hereinafter also referred to as FCCL) used is mainly, for example, physical vapor deposition. A method in which a metal seed layer is directly formed on a polyimide film by a dry plating method typified by a method (hereinafter also referred to as a PVD method), and then a conductor layer is formed on the seed layer by a wet plating method. It is produced by the method.

ところで、ポリイミドフィルムは熱を加えることにより膨張し、また吸湿や吸水することによっても膨張するといった特性を有している。したがってフレキシブルプリント配線基板材料を製造する際にポリイミドフィルムと導体層はそれぞれのもつ膨張率にて膨張されることとなる。この膨張させられた状態は、温度や湿度が下がると、それぞれがほぼもとの状態にまで収縮させられることとなる。   By the way, the polyimide film has a characteristic that it expands when heat is applied and also expands when it absorbs moisture or absorbs water. Accordingly, when the flexible printed wiring board material is manufactured, the polyimide film and the conductor layer are expanded at their respective expansion rates. In this expanded state, when the temperature and humidity are lowered, each of them is contracted to almost the original state.

そのため、例えばポリイミドフィルムの線膨張係数が導体層よりも小さいと、導体層の熱による膨張よりも小さい膨張状態でポリイミドフィルムが導体層と一体化されることとなるが、その後作製されたフレキシブルプリント配線基板材料の温度が下がったあとのポリイミドフィルムの収縮は導体層の収縮よりも小さくなる(導体層の収縮の方が大きくなる)ため、結果としてフレキシブルプリント配線基板材料は、導体層側を内側にした反りが生じることとなる。フレキシブルプリント配線基板材料に生じる反りは、その後の回路形成やIC実装時に問題を起こす場合があることが知られている。従って、使用される用途に応じてベースフィルムとなるポリイミドフィルムの線膨張係数をコントロールすることでフレキシブルプリント配線基板材料の反りの方向や反りの量をコントロールする方法が種々提案されている(例えば、特許文献1、2参照)。   Therefore, for example, if the linear expansion coefficient of the polyimide film is smaller than that of the conductor layer, the polyimide film is integrated with the conductor layer in an expanded state smaller than the expansion of the conductor layer due to heat. Since the shrinkage of the polyimide film after the temperature of the wiring board material decreases is smaller than the shrinkage of the conductor layer (the shrinkage of the conductor layer is greater), the flexible printed wiring board material results in the conductor layer side inside. The warped will occur. It is known that the warp generated in the flexible printed wiring board material may cause problems during subsequent circuit formation and IC mounting. Therefore, various methods have been proposed for controlling the direction of warping and the amount of warping of the flexible printed wiring board material by controlling the linear expansion coefficient of the polyimide film serving as the base film according to the application used (for example, (See Patent Documents 1 and 2).

一般的にCOF用フレキシブルプリント配線基板材料においては、高密度配線化に伴い、ベースフィルムに対して高い寸法安定性が要求されている。特に、COF用フィルムキャリアテープに液晶用ドライバICを実装する工程では、高い位置精度が求められており、COF用フィルムキャリアテープを真空吸着により固定しながらドライバICの実装が行われる場合がある。この場合において、それらに使用されるCOF用フィルムキャリアテープは、導体層側を内側に反りが生じていることが好ましい。上述したように導体層を内側にした反りを生じさせるためには、ベースフィルムの線膨張係数を導体層の線膨張係数よりも小さくすることで達成できる。   In general, a flexible printed wiring board material for COF is required to have high dimensional stability with respect to a base film as the density of wiring increases. In particular, in the process of mounting the liquid crystal driver IC on the COF film carrier tape, high positional accuracy is required, and the driver IC may be mounted while the COF film carrier tape is fixed by vacuum suction. In this case, it is preferable that the film carrier tape for COF used for them is warped inward on the conductor layer side. In order to generate the warp with the conductor layer on the inside as described above, it can be achieved by making the linear expansion coefficient of the base film smaller than the linear expansion coefficient of the conductor layer.

しかしながらフィルムの吸脱湿や吸脱水による寸法変化が起こりやすいポリイミドフィルムを使用した場合、PVD法により製造されるCOF用フレキシブルプリント配線基板材料は、その製造工程において湿式めっき工程が存在するために、ベースフィルムの線膨張係数が導体層より小さくても上述したような導体層を内側にした反りが生じない場合がある。このようなポリイミドフィルムを使用して製造されたCOF用フレキシブルプリント配線基板材料を使用すると、言い換えれば導体層を外側にした反りのCOF用フィルムキャリアテープを使用すると、液晶用ドライバIC実装時に、真空吸着によるCOF用フィルムキャリアテープの固定を行う場合に、フィルムキャリアテープの固定を行うことができないという問題があった。   However, when using a polyimide film that tends to undergo dimensional changes due to moisture absorption / desorption and dehydration of the film, the flexible printed wiring board material for COF produced by the PVD method has a wet plating process in its production process. Even if the linear expansion coefficient of the base film is smaller than that of the conductor layer, the warp with the conductor layer on the inside as described above may not occur. When a flexible printed wiring board material for COF manufactured using such a polyimide film is used, in other words, when a warped COF film carrier tape with a conductor layer on the outside is used, a vacuum is applied when mounting a liquid crystal driver IC. When fixing the film carrier tape for COF by adsorption, there is a problem that the film carrier tape cannot be fixed.

特許第3356560号公報Japanese Patent No. 3356560 特許第3912610号公報Japanese Patent No. 3912610

フレキシブルプリント配線基板材料の製造方法において、フィルムの吸湿や吸水により寸法変化が起こりやすいポリイミドフィルムを使用した場合に、これらの寸法変化の影響が抑制され、導体層を内側とした反りとなるようなフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法、およびそれを用いたCOF用フィルムキャリアテープを提供することを目的とする。   In the manufacturing method of the flexible printed wiring board material, when using a polyimide film that easily undergoes dimensional changes due to moisture absorption or water absorption of the film, the influence of these dimensional changes is suppressed, and the warp with the conductor layer inside It aims at providing the manufacturing method of a flexible printed wiring board material, and the film carrier tape for COF using the same.

本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討を行った結果、以下の製造方法を用いることにより、ベースフィルムの吸湿や吸水による影響が抑制されており、導体層を内側とした反りとなるようなフレキシブルプリント配線基板材料を提供できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive investigations in view of the above problems, the present inventors have suppressed the influence of moisture absorption and water absorption of the base film by using the following manufacturing method, so that the conductor layer is warped inside. The present inventors have found that a flexible printed wiring board material can be provided and completed the present invention.

すなわち、本発明の第一は、形成される導体層の線膨張係数よりも小さい値の線膨張係数を示すポリイミドフィルムを使用して、(1)乾式めっき法でポリイミドフィルム上に金属シード層を形成する工程、(2)前記(1)工程により得られた金属シード層上に湿式めっき法により導体層を形成する工程、を含有するフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法において、前記(2)工程において、形成される導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間が5分以内であり、搬送張力が8N/cm以下であることを特徴とするフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法に関する。   That is, the first of the present invention uses a polyimide film having a linear expansion coefficient smaller than the linear expansion coefficient of the conductor layer to be formed, and (1) a metal seed layer is formed on the polyimide film by dry plating. In the method for producing a flexible printed wiring board material, comprising: a step of forming; and (2) a step of forming a conductor layer by a wet plating method on the metal seed layer obtained in the step (1). The method for producing a flexible printed wiring board material is characterized in that the time until the thickness of the formed conductor layer exceeds 1 μm is 5 minutes or less and the transport tension is 8 N / cm or less.

好ましい実施態様は、前記(2)工程において、形成される導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間が2.5分以内であることを特徴とする前記のフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法に関する。   In a preferred embodiment, in the step (2), the time until the thickness of the formed conductor layer exceeds 1 μm is 2.5 minutes or less. .

好ましい実施態様は、前記ポリイミドフィルムが、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、パラフェニレンジアミン、4,4´−オキシジアニリン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパンを必須成分としてなり、弾性率が5〜10GPa、100〜200℃の平均線膨張係数が5〜15ppm/℃であり、また、温度50℃における40〜70%RHの湿度変化に伴う吸湿膨張係数が5〜15ppm/%RHであり、さらに温度50℃において10分以内の速度で湿度を40%RHから70%RHに変化させた時のフィルムの寸法変化速度が30分以内であることを特徴とする前記いずれかのフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法に関する。   In a preferred embodiment, the polyimide film has pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, paraphenylenediamine, 4,4′-oxydianiline, 2, 2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane is an essential component, the elastic modulus is 5 to 10 GPa, the average linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. is 5 to 15 ppm / ° C., and the temperature is 40 to 50 ° C. Film dimensions when the hygroscopic expansion coefficient is 5 to 15 ppm /% RH with a humidity change of 70% RH, and the humidity is changed from 40% RH to 70% RH at a temperature within 10 minutes at a temperature of 50 ° C. The method according to any one of the above-mentioned flexible printed wiring board materials, wherein the change rate is within 30 minutes.

好ましい実施態様は、前記(1)工程においてポリイミドフィルム上に形成される金属シード層が、Ni、Cu、Mo、Ta、Ti、V、Cr、Fe、Co、Al、Snから選ばれる少なくとも1種を含有し、かつ(2)工程の湿式めっき法により形成される導体層がCuであることを特徴とする前記いずれかに記載のフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法に関する。   In a preferred embodiment, the metal seed layer formed on the polyimide film in the step (1) is at least one selected from Ni, Cu, Mo, Ta, Ti, V, Cr, Fe, Co, Al, and Sn. And the conductor layer formed by the wet plating method in step (2) is Cu, and relates to the method for producing a flexible printed wiring board material according to any one of the above.

好ましい実施態様は、前記いずれかに記載の方法により製造されたフレキシブルプリント配線基板材料であって、該配線基板材料を35×35mmの大きさに切り出したサンプルの反り量が、温度20〜40℃、湿度40〜60%RHの環境下において、導体層を内側として10mm以下となることを特徴とするフレキシブルプリント配線基板材料に関する。   A preferred embodiment is a flexible printed wiring board material manufactured by any one of the methods described above, wherein the warping amount of a sample obtained by cutting the wiring board material into a size of 35 × 35 mm has a temperature of 20 to 40 ° C. The present invention relates to a flexible printed wiring board material having a conductor layer of 10 mm or less in an environment of a humidity of 40 to 60% RH.

本発明の第二は、前記いずれかに記載の製造方法にて製造されたフレキシブルプリント配線基板材料を用いたチップオンフィルム用フィルムキャリアテープに関する。   2nd of this invention is related with the film carrier tape for chip-on-films using the flexible printed wiring board material manufactured by the manufacturing method in any one of the said.

本発明のフレキシブルプリント配線基板の製造方法によれば、ベースフィルムの吸湿や吸水による寸法変化の影響が抑制されており、導体層を内側とした反りとなるようなフレキシブルプリント配線基板材料を提供することができる。   According to the method for producing a flexible printed wiring board of the present invention, there is provided a flexible printed wiring board material that suppresses the influence of dimensional change due to moisture absorption or water absorption of the base film and causes warping with the conductor layer inside. be able to.

以下に、本発明の実施の一形態を詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail.

まず、本発明において使用されうるポリイミドフィルムについて説明する。一般にポリイミドはその前駆体であるポリアミド酸(ポリアミック酸ともいう)から得ることができるが、本発明において前記ポリアミド酸の製造方法は公知のあらゆる方法を用いることができる。   First, a polyimide film that can be used in the present invention will be described. Generally, polyimide can be obtained from its precursor polyamic acid (also referred to as polyamic acid), and in the present invention, any known method can be used for producing the polyamic acid.

通常、芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンを実質的等モル量にて有機溶媒中に溶解させて、得られたポリアミド酸溶液を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミンの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。これらのポリアミド酸溶液は、通常5〜35重量%、好ましくは10〜30重量%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得ることができる。   Usually, an aromatic acid dianhydride and an aromatic diamine are dissolved in an organic solvent in a substantially equimolar amount, and the resulting polyamic acid solution is mixed with the acid dianhydride under controlled temperature conditions. Produced by stirring until the polymerization of the diamine is complete. These polyamic acid solutions are usually obtained at a concentration of 5 to 35% by weight, preferably 10 to 30% by weight. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity can be obtained.

重合方法としてはあらゆる公知の方法を用いることができるが、特に好ましい重合方法として次のような方法が挙げられる。すなわち、
芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モル量の芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法。
芳香族テトラカルボン酸とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて反応させる方法。
芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法。
などのような方法である。
Any known method can be used as the polymerization method, and the following method is particularly preferable as the polymerization method. That is,
A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
An aromatic tetracarboxylic acid and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to react.
An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, the method of superposing | polymerizing using an aromatic diamine compound so that an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine compound may become substantially equimolar in all the processes.
A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar.
A method of polymerizing by reacting a substantially equimolar mixture of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent.
And so on.

本発明においては、上記のいかなる方法を用いて得られるポリアミド酸を用いてもよく、重合方法は特に限定されるものでは無い。本発明においては、ポリマー中の分子配列を制御したり、高価なモノマーを使用しても、もちろん効果を得ることができる。   In the present invention, polyamic acid obtained by any of the above methods may be used, and the polymerization method is not particularly limited. In the present invention, the effect can of course be obtained even if the molecular arrangement in the polymer is controlled or an expensive monomer is used.

これら方法の中で、安定的に工程を制御するという観点から、全工程において用いられる芳香族ジアミン成分すべてを有機溶剤に溶解し、その後実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン成分を添加して重合反応を行う方法を用いるのがより好ましい。   Among these methods, from the viewpoint of stably controlling the process, all the aromatic diamine components used in all processes are dissolved in an organic solvent, and then the aromatic diamine component is added so as to be substantially equimolar. It is more preferable to use a method of conducting a polymerization reaction.

次に、上記ポリアミド酸の製造に用いられる材料について説明する。本発明において用いることができる適当な酸二無水物は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2´,3,3´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2´−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン酸二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの誘導物を含み、これらを単独または任意の割合の混合物が好ましく用いられ得る。   Next, materials used for producing the polyamic acid will be described. Suitable acid dianhydrides that can be used in the present invention are pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetra. Carboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'- Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-peritetracarboxylic dianhydride, bis (3,4- Dicarboxyphenyl) propanoic dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethanoic dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4 -Dicarboxyphenyl) Including ruphone dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) and derivatives thereof, alone or in a mixture of any proportion It can be preferably used.

これら酸二無水物の中では、特に3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物の使用が好ましい。さらには3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物の使用がより好ましい。これらは単独または他の酸二無水物と併用することができる。好ましい使用量は、ピロメリット酸二無水物が全酸二無水物に対して、10〜70mol%、好ましくは15〜70mol%、さらに好ましくは15〜60mol%であり、及び/又は3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物の使用量が全酸二無水物に対して10〜50mol%、好ましくは15〜50mol%、さらに好ましくは15〜40mol%である。3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物が、この使用範囲を下回ると、得られるポリイミドフィルムの機械特性等が劣る場合がある。また、この範囲を上回るとガラス転移温度が低くなりすぎる傾向があり、フィルム製造の焼成工程で不具合を生じることもある。また、ピロメリット酸二無水物が、この使用範囲を下回るとガラス転移温度が低くなりすぎる傾向があり、フィルム製造の焼成工程で不具合を生じる場合もある。一方、この範囲を上回ると、得られるポリイミドフィルムの機械特性等が劣る場合がある。   Among these acid dianhydrides, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid The use of anhydrides is preferred. Furthermore, it is more preferable to use 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride or pyromellitic dianhydride. These can be used alone or in combination with other acid dianhydrides. The preferred amount used is 10 to 70 mol%, preferably 15 to 70 mol%, more preferably 15 to 60 mol% of pyromellitic dianhydride, and / or 3,3 ′ based on the total acid dianhydride. , 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride is used in an amount of 10 to 50 mol%, preferably 15 to 50 mol%, more preferably 15 to 40 mol%, based on the total acid dianhydride. If 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride is less than this use range, the resulting polyimide film may have poor mechanical properties and the like. Moreover, when it exceeds this range, the glass transition temperature tends to be too low, and defects may occur in the baking process of film production. Moreover, when pyromellitic dianhydride is less than this use range, the glass transition temperature tends to be too low, which may cause problems in the baking process of film production. On the other hand, if it exceeds this range, the resulting polyimide film may have poor mechanical properties and the like.

本発明において、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸の製造に使用し得る適当なジアミン成分としては、p−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4'−ジアミノベンゾフェノン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン等が挙げられ、これらを単独または複数併用することができる。これらの例は主成分として好適に用いられる例であり、副成分としていかなるジアミンを用いることもできる。これらの中で特に好ましく用い得るジアミンの例として、p−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、4,4’−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、3,4’−オキシジアニリン、が挙げられる。これらジアミン類の中で特には、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、4,4´−オキシジアニリン、p−フェニレンジアミンの使用が好ましい。これらは単独または他のジアミンと併用することができる。   In the present invention, suitable diamine components that can be used for the production of polyamic acid, which is a polyimide precursor, include p-phenylenediamine, o-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, and 4,4′-diaminodiphenylmethane. 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-oxydianiline, 3,3′-oxydianiline, 3,4 ′ -Oxydianiline, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4'-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4 '-Diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene Zen (p-phenylenediamine), bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (3-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4, Examples thereof include 4′-diaminobenzophenone and 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, and these can be used alone or in combination. These examples are examples that are suitably used as the main component, and any diamine can be used as the accessory component. Examples of diamines that can be particularly preferably used among these include p-phenylenediamine, o-phenylenediamine, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2 , 2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 4,4′-oxydianiline, 3,3′-oxydianiline, 3,4′-oxydianiline. Of these diamines, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 4,4′-oxydianiline, and p-phenylenediamine are particularly preferable. These can be used alone or in combination with other diamines.

好ましい4,4´−オキシジアニリンとp−フェニレンジアミンの使用量は、全ジアミン化合物に対して10〜70mol%、好ましくは15〜70mol%、さらに好ましくは15〜60mol%である。p−フェニレンジアミンと4,4´−オキシジアニリンの使用量がこの範囲を外れると、得られるポリイミドフィルムの機械特性等が劣る場合があり、この範囲を上回るとフィルム製造の焼成工程で不具合を生じる場合もある。また、上記2つのジアミン以外にも適宜2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパンを使用することができる。好ましい使用量は、全ジアミン化合物に対して、10〜50mol%、好ましくは20〜40mol%である。2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパンの使用量がこの範囲を上回るとガラス転移温度が低くなりすぎる傾向があり、フィルム製造の焼成工程で不具合を生じる場合もある。また、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパンの使用量がこの範囲を下回るとフィルムの吸湿膨張係数が大きくなる傾向があり、他の機械特性が良好な場合でも本発明の効果を十分に発揮しない場合がある。   Preferable amounts of 4,4′-oxydianiline and p-phenylenediamine are 10 to 70 mol%, preferably 15 to 70 mol%, more preferably 15 to 60 mol%, based on the total diamine compound. If the amounts of p-phenylenediamine and 4,4′-oxydianiline are out of this range, the resulting polyimide film may have inferior mechanical properties. It may occur. In addition to the above two diamines, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane can be used as appropriate. The preferred amount to be used is 10 to 50 mol%, preferably 20 to 40 mol%, based on the total diamine compound. If the amount of 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane used exceeds this range, the glass transition temperature tends to be too low, and problems may occur in the baking process of film production. Further, if the amount of 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane used is below this range, the hygroscopic expansion coefficient of the film tends to increase, and the effects of the present invention can be achieved even when other mechanical properties are good. There are cases where it does not fully perform.

次に、ポリアミド酸を合成するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができるが、アミド系溶媒、すなわちN,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチルフォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に好ましく用いられ得る。   Next, as the preferred solvent for synthesizing the polyamic acid, any solvent that dissolves the polyamic acid can be used, but amide solvents, that is, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethyl are used. Examples thereof include acetamide and N-methyl-2-pyrrolidone, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

また、すべり性、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性、ループスティフネス等のフィルムの諸特性を改善する目的で、例えばポリアミド酸溶液中にフィラーを添加することもできる。フィラーとしてはいかなるものを用いても良いが、好ましい例としては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   Further, for the purpose of improving various properties of the film such as slipperiness, slidability, thermal conductivity, conductivity, corona resistance, and loop stiffness, a filler can be added, for example, in the polyamic acid solution. Any filler may be used, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

フィラーの粒子径は改質すべきフィルム特性と添加するフィラーの種類によって決定されるため、特に限定されるものではないが、一般的には数平均粒子径が0.05〜100μm、好ましくは0.1〜75μm、更に好ましくは0.1〜50μm、特に好ましくは0.1〜25μmである。粒子径がこの範囲を下回ると滑り性等の改質効果が現れにくくなり、逆にこの範囲を上回ると表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下したりする虞がある。また、フィラーの添加部数についても改質すべきフィルム特性やフィラー粒子径などにより決定されるため特に限定されるものではない。一般的にフィラーの添加量はポリイミド100重量部に対して0.01〜100重量部、好ましくは0.01〜90重量部、更に好ましくは0.02〜80重量部である。フィラー添加量がこの範囲を下回るとフィラーによる改質効果が現れにくく、この範囲を上回るとフィルムの機械的特性が大きく損なわれる虞がある。   The particle size of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified and the type of filler to be added, but generally the number average particle size is 0.05 to 100 μm, preferably 0.8. It is 1 to 75 μm, more preferably 0.1 to 50 μm, and particularly preferably 0.1 to 25 μm. If the particle diameter is less than this range, it is difficult for a modification effect such as slipperiness to appear, and conversely if it exceeds this range, the surface properties may be greatly impaired or the mechanical properties may be greatly deteriorated. Further, the number of added parts of the filler is not particularly limited because it is determined by the film properties to be modified, the filler particle diameter, and the like. Generally, the addition amount of the filler is 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.01 to 90 parts by weight, and more preferably 0.02 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyimide. If the amount of filler added is less than this range, the effect of modification by the filler hardly appears, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be greatly impaired.

上記フィラーの添加は、
1.重合前または途中に重合反応液に添加する方法
2.重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬する方法
3.フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸有機溶媒溶液に混合する方法などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等をフィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることもできる。
The addition of the filler is
1. 1. A method of adding to a polymerization reaction solution before or during polymerization 2. A method of kneading fillers using three rolls after the completion of polymerization. Any method such as preparing a dispersion containing filler and mixing it with a polyamic acid organic solvent solution may be used, but a method of mixing a dispersion containing filler with a polyamic acid solution, particularly immediately before film formation. This method is preferable because the contamination by the filler in the production line is minimized. When preparing a dispersion containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polymerization solvent for the polyamic acid. Further, in order to disperse the filler satisfactorily and stabilize the dispersion state, a dispersant, a thickener and the like can be used within a range not affecting the film physical properties.

特に、COF用フレキシブルプリント配線基板用ベースフィルムのすべり性改善のために添加する場合、平均粒子径は0.1〜5μmが好ましく、より好ましくは0.1〜1μmである。粒子径がこの範囲を下回るとすべり性の効果が発現しにくく、この範囲を上回ると高精細な配線パターンを作成し難くなる傾向にある。またさらにこの場合、フィラーの分散状態も重要であり、10μm以上のフィラーの凝集物がポリイミドフィルム中に50個/m2以下にするのが好ましく、より好ましくは40個/m2以下である。10μm以上のフィラー凝集物がこの範囲よりも多いと、高精細配線パターンを作成したときに密着面積の減少をきたして信頼性を落とす傾向にある。 In particular, when added for improving the slipperiness of the base film for a flexible printed wiring board for COF, the average particle size is preferably 0.1 to 5 μm, more preferably 0.1 to 1 μm. When the particle diameter is below this range, the effect of slipping is hardly exhibited, and when it exceeds this range, it tends to be difficult to produce a high-definition wiring pattern. Further, in this case, the dispersion state of the filler is also important, and it is preferable that the aggregate of fillers of 10 μm or more is 50 pieces / m 2 or less in the polyimide film, more preferably 40 pieces / m 2 or less. When there are more filler aggregates of 10 μm or more than this range, when a high-definition wiring pattern is formed, the adhesion area tends to be reduced and reliability tends to be lowered.

これら上述のポリアミド酸溶液からポリイミドフィルムを製造する方法については従来公知の方法を用いることができる。この方法には、例えば熱イミド化法と化学イミド化法が挙げられ、どちらの方法を用いてフィルムを製造してもかまわない。しかしながら、化学イミド化法によるイミド化を用いる方が本発明に好適に用いられる諸特性を有したポリイミドフィルムを得やすい傾向にあることからより好ましい。   As a method for producing a polyimide film from the above-described polyamic acid solution, a conventionally known method can be used. Examples of this method include a thermal imidization method and a chemical imidization method, and either method may be used to produce a film. However, it is more preferable to use imidization by a chemical imidization method because it tends to obtain a polyimide film having various characteristics suitably used in the present invention.

また、本発明においてポリイミドフィルムの製造工程は、
a)有機溶剤中で芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させてポリアミド酸溶液を得る工程、
b)上記ポリアミド酸溶液を含む製膜ドープを支持体上に流延する工程、
c)支持体上で加熱した後、支持体からゲルフィルムを引き剥がす工程、
d)更に加熱して、残ったアミド酸をイミド化し、かつ乾燥させる工程、
を含むことが特に好ましい。
In the present invention, the production process of the polyimide film,
a) a step of reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent to obtain a polyamic acid solution;
b) casting a film-forming dope containing the polyamic acid solution on a support;
c) a step of peeling the gel film from the support after heating on the support;
d) further heating to imidize and dry the remaining amic acid,
It is particularly preferable that

上記工程において無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤と、イソキノリン、β−ピコリン、ピリジン等の第三級アミン類等に代表されるイミド化触媒とを含む硬化剤を用いても良い。   In the above step, a curing agent containing a dehydrating agent typified by an acid anhydride such as acetic anhydride and an imidation catalyst typified by a tertiary amine such as isoquinoline, β-picoline or pyridine may be used. .

以下、本発明の好ましい一形態、化学イミド化法を一例にとり、ポリイミドフィルムの製造工程を説明するが、製膜条件や加熱条件は、ポリアミド酸の種類、フィルムの厚さ等により、変動し得るものである。   Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention, a chemical imidization method, will be described as an example, and the production process of a polyimide film will be described. The film forming conditions and heating conditions may vary depending on the type of polyamic acid, the thickness of the film, and the like. Is.

まず、脱水剤及びイミド化触媒を低温でポリアミド酸溶液中に混合して製膜ドープを得る。引き続いてこの製膜ドープをガラス板、アルミ箔、エンドレスステンレスベルト、ステンレスドラムなどの支持体上にフィルム状にキャストし、支持体上で80℃〜200℃、好ましくは100℃〜180℃の温度領域で加熱することで、脱水剤及びイミド化触媒を活性化する。これによってアミド酸を部分的に硬化及び/または乾燥した後、支持体から剥離して一部がイミド化したポリアミド酸フィルム(以下、ゲルフィルムともいう)を得る。ゲルフィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有し、下記式(1)から算出される揮発分含量は5〜500重量%の範囲、好ましくは5〜200重量%、より好ましくは5〜150重量%の範囲にある。
(A−B)×100/B・・・・(1)
式(1)中、A,Bは以下のものを表す。
A:ゲルフィルムの重量
B:ゲルフィルムを450℃で20分間加熱した後の重量
焼成過程でフィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、特性ばらつき等の不具合が起こることがあるので、揮発分含量がこの範囲のフィルムを用いることが好適である。
First, a film forming dope is obtained by mixing a dehydrating agent and an imidization catalyst in a polyamic acid solution at a low temperature. Subsequently, this film-forming dope is cast into a film on a support such as a glass plate, an aluminum foil, an endless stainless steel belt, or a stainless drum, and the temperature on the support is 80 ° C. to 200 ° C., preferably 100 ° C. to 180 ° C. Heating in the region activates the dehydrating agent and the imidization catalyst. In this way, after the amic acid is partially cured and / or dried, a polyamic acid film (hereinafter also referred to as a gel film) partially peeled from the support and imidized partially is obtained. The gel film is in an intermediate stage of curing from polyamic acid to polyimide, has a self-supporting property, and the volatile content calculated from the following formula (1) is in the range of 5 to 500% by weight, preferably 5 to 200. % By weight, more preferably in the range of 5 to 150% by weight.
(AB) × 100 / B (1)
In formula (1), A and B represent the following.
A: Weight of gel film B: Content of volatile matter because defects such as film breakage, film color unevenness due to drying unevenness, characteristic variation, etc. may occur in the weight baking process after heating the gel film at 450 ° C. for 20 minutes However, it is preferable to use a film in this range.

脱水剤の好ましい量は、ポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.5〜5モル、好ましくは1.0〜4モルである。また、イミド化触媒の好ましい量はポリアミド酸中のアミド酸ユニット1モルに対して0.05〜3モル、好ましくは0.2〜2モルである。脱水剤及びイミド化触媒が上記範囲を下回ると化学的イミド化が不十分で、焼成途中で破断したり、機械的強度が低下したりすることがある。また、これらの量が上記範囲を上回ると、イミド化の進行が早くなりすぎ、フィルム状にキャストすることが困難となることがある。   The preferable amount of the dehydrating agent is 0.5 to 5 mol, preferably 1.0 to 4 mol, based on 1 mol of the amic acid unit in the polyamic acid. Moreover, the preferable quantity of an imidation catalyst is 0.05-3 mol with respect to 1 mol of amic acid units in a polyamic acid, Preferably it is 0.2-2 mol. If the dehydrating agent and the imidization catalyst are below the above ranges, chemical imidization may be insufficient, and may break during firing or mechanical strength may decrease. Moreover, when these amounts exceed the above range, the progress of imidization becomes too fast and it may be difficult to cast into a film.

前記ゲルフィルムの端部を固定して硬化時の収縮を回避して乾燥し、水、残留溶媒、残存脱水剤及びイミド化触媒を除去し、そして残ったアミド酸を完全にイミド化して、本発明のポリイミドフィルムを得ることができる。   The end of the gel film is fixed and dried while avoiding shrinkage during curing, water, residual solvent, residual dehydrating agent and imidization catalyst are removed, and the remaining amic acid is completely imidized, The polyimide film of the invention can be obtained.

この時、最終的に400〜650℃の温度で5〜400秒程度加熱するのが好ましい。この温度より高い及び/または時間が長いと、フィルムの熱劣化が起こり、問題が生じることがある。また、フィルム中に残留している内部応力を緩和させるためにフィルムを搬送するに必要最低限の張力下において加熱処理をすることもできる。この加熱処理はフィルム製造工程において行ってもよいし、また、別途この工程を設けても良い。加熱条件はフィルムの特性や用いる装置に応じて変動するため一概に決定することはできないが、一般的には200℃以上500℃以下、好ましくは250℃以上500℃以下、特に好ましくは300℃以上450℃以下の温度で、1〜300秒、好ましくは2〜250秒、特に好ましくは5〜200秒程度の熱処理により内部応力を緩和することができる。   At this time, it is preferable to finally heat at a temperature of 400 to 650 ° C. for about 5 to 400 seconds. Above this temperature and / or for a long time, thermal degradation of the film can occur and problems can occur. Moreover, in order to relieve the internal stress remaining in the film, heat treatment can be performed under the minimum tension necessary for transporting the film. This heat treatment may be performed in the film manufacturing process, or may be provided separately. The heating conditions vary depending on the characteristics of the film and the apparatus used, and therefore cannot be determined in general. However, it is generally 200 ° C. or higher and 500 ° C. or lower, preferably 250 ° C. or higher and 500 ° C. or lower, particularly preferably 300 ° C. or higher. The internal stress can be relaxed by heat treatment at a temperature of 450 ° C. or lower for 1 to 300 seconds, preferably 2 to 250 seconds, particularly preferably 5 to 200 seconds.

ここで、得られたポリイミドフィルムの本発明における好ましい諸特性について説明する。ポリイミドが有するその平均線膨張係数は、導体層の平均線膨張係数よりも低いことが好ましい。より好ましくは、例えばセイコー電子社製のTMA装置(TMA120C)にて測定される100〜200℃での平均線膨張係数が1〜15ppm/℃の範囲であり、さらに好ましくは5〜15ppm/℃の範囲である。平均線膨張係数が上記範囲を上回ると、フィルム吸湿や吸水の影響を受けずとも導体層を外側とした反りとなってしまい、逆に上記範囲を下回るとフィルムがもろくなり連続処理による加工が行えない虞がある。また、上述の方法にて得られたポリイミドフィルムの弾性率は、平均線膨張係数と同様に、連続処理による(2)湿式めっき工程での搬送の影響によるフィルムの変形を受けない範囲であれば特に限定されないが、好ましくは4GPa以上、より好ましくは5〜10GPaである。   Here, the various characteristics in this invention of the obtained polyimide film are demonstrated. The average linear expansion coefficient of the polyimide is preferably lower than the average linear expansion coefficient of the conductor layer. More preferably, for example, the average linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. measured with a TMA apparatus (TMA120C) manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd. is in the range of 1 to 15 ppm / ° C., more preferably 5 to 15 ppm / ° C. It is a range. If the average linear expansion coefficient exceeds the above range, the conductor layer becomes warped without being affected by film moisture absorption or water absorption. Conversely, if the average linear expansion coefficient is below the above range, the film becomes brittle and can be processed by continuous processing. There is no fear. Moreover, if the elasticity modulus of the polyimide film obtained by the above-mentioned method is a range which does not receive the deformation | transformation of the film by the influence of the conveyance in the continuous process (2) wet-plating process similarly to an average linear expansion coefficient. Although it does not specifically limit, Preferably it is 4 GPa or more, More preferably, it is 5-10 GPa.

本発明の効果を発揮する上での重要な特性として吸湿膨張係数とフィルムの吸水による寸法変化速度があげられる。ここで、本発明における吸湿膨張係数とフィルムの寸法変化速度は、具体的に以下の方法により算出できる。   Important characteristics for exerting the effects of the present invention include a hygroscopic expansion coefficient and a dimensional change rate due to water absorption of the film. Here, the hygroscopic expansion coefficient and the dimensional change rate of the film in the present invention can be specifically calculated by the following method.

上記吸湿膨張係数は、水蒸気システム付TMA装置を用いて、サンプルサイズ:巾5mm・長さ15mm、荷重5gで温度50℃にホールドした状態で、変化が10分以内になるように湿度を40%RHから70%RHに変化させた時の、それに伴うフィルムの膨張量から算出する。   The above hygroscopic expansion coefficient is 40% so that the change is within 10 minutes in a state where the sample size is 5 mm wide, 15 mm long, the load is 5 g and the temperature is held at 50 ° C. using a TMA apparatus with a water vapor system. It is calculated from the expansion amount of the film accompanying the change from RH to 70% RH.

上記寸法変化速度は、水蒸気システム付TMA装置を用いて、サンプルサイズ:巾5mm・長さ15mm、荷重5gで温度50℃にホールドした状態で、変化が10分以内になるよう湿度を40%RHから70%RHに変化させた時、その時のTMAによるフィルムの膨張が安定領域に達するまでの時間を求めることで算出する。なお、上記の「フィルムの膨張が安定領域に達する」とは、TMAによるフィルムの寸法変化が「0.1μm/H」以下になった状態のことを「安定領域に達した」として判断すればよい。   The above dimensional change rate is 40% RH so that the change will be within 10 minutes with a sample size: width 5 mm, length 15 mm, load 5 g and temperature held at 50 ° C. using a TMA device with a steam system. Is calculated by calculating the time until the expansion of the film due to TMA at that time reaches a stable region. The above-mentioned “film expansion reaches a stable region” means that a state in which the dimensional change of the film caused by TMA is equal to or less than “0.1 μm / H” is determined as “the stable region has been reached”. Good.

上記算出による好ましいフィルムの吸湿膨張係数は、15ppm/%RH以下であり、より好ましくは5〜15ppm/%RHの範囲である。また、フィルムの吸水による寸法変化速度は、60分以内であることが好ましい。より好ましくは30分以内である。   The hygroscopic expansion coefficient of the preferable film by the above calculation is 15 ppm /% RH or less, and more preferably in the range of 5 to 15 ppm /% RH. The dimensional change rate due to water absorption of the film is preferably within 60 minutes. More preferably, it is within 30 minutes.

次に、フレキシブルプリント配線基板材料の製造方法における(1)乾式めっき法によりポリイミドフィルム上にシード層を形成する工程、及び(2)前記(1)工程で得られたシード層上に湿式めっきにより導体層を形成する工程、について述べる。   Next, (1) a step of forming a seed layer on the polyimide film by a dry plating method in the method for producing a flexible printed wiring board material, and (2) wet plating on the seed layer obtained in the step (1). The step of forming the conductor layer will be described.

以下に述べる導体層形成処理は、上述のポリイミドフィルムを裁断したフィルム片を解反し、連続処理して金属化ポリイミドフィルムロールとして巻き上げる事が好ましい。   In the conductor layer forming treatment described below, it is preferable that the film piece obtained by cutting the above-described polyimide film is disassembled, continuously processed and wound up as a metallized polyimide film roll.

(1)工程
乾式めっきは、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、化学的気相成長法(CVD)法など公知のあらゆる方法を用いることができるが、中でもスパッタリング法がより好ましい。スパッタリング法は特に制限されるわけではないが、直流2極スパッタリング、高周波スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、対向ターゲットスパッタリング、ECRスパッタリング、バイアススパッタリング、プラズマ制御型スパッタリング、マルチターゲットスパッタリングなどを用いることができる。スパッタリング処理時の出力、プラズマ発生のためのガス圧力、処理温度に関しても格別な制限は無く、スパッタリング装置の扱える範囲であればよい。出力は通常10〜1000W、ガス圧力は通常0.01〜10Pa、温度は通常20℃〜400℃、好ましくは100〜300℃である。また成膜レートは0.1〜1000Å/秒、好ましくは1〜100Å/秒である。成膜レートが高すぎるとフィルムとシード層の密着性が低下する虞がある。
(1) Process For dry plating, any known method such as sputtering, vapor deposition, ion plating, and chemical vapor deposition (CVD) can be used. Of these, sputtering is more preferable. Although the sputtering method is not particularly limited, direct current bipolar sputtering, high frequency sputtering, magnetron sputtering, counter target sputtering, ECR sputtering, bias sputtering, plasma controlled sputtering, multi-target sputtering, and the like can be used. There are no particular restrictions on the output during sputtering processing, the gas pressure for generating plasma, and the processing temperature, as long as the sputtering apparatus can handle them. The output is usually 10 to 1000 W, the gas pressure is usually 0.01 to 10 Pa, and the temperature is usually 20 ° C. to 400 ° C., preferably 100 to 300 ° C. The film forming rate is 0.1 to 1000 Å / second, preferably 1 to 100 Å / second. If the film formation rate is too high, the adhesion between the film and the seed layer may be reduced.

基材としてポリイミドフィルムの表面に導体層を形成するに際し、まず下地(シード層)としてNi、Cu、Mo、Ta、Ti、V、Cr、Fe、Co、Al、Snから選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましく、フィルムとシード層の密着性という観点から、Ni、Cr、Mo、Alを多く含むことが好ましい。また、その下地の厚さは、20〜2000Å、好ましくは40〜1000Åが好ましく、さらに好ましくは40〜500Åである。2000Åをこえると製造に時間がかかりすぎるために実用的ではない。乾式めっきにおいて、成膜中のフィルムは好ましくは100〜400℃、さらには150〜350℃に保持されることがより好ましい。この温度を下回るとシード層形成時にピンホールが発生する虞があり、逆にこの温度を上回るとフィルムの熱劣化が起こり、問題が生じることがある。また、乾式めっきによる成膜処理の前にシード層との密着性という観点から、ポリイミドフィルム表面を、カップリング剤による処理、サンドブラスト処理、ホーリング処理、コロナ処理、プラズマ処理、薬液によるエッチング処理、などに供してもよい。   When forming a conductor layer on the surface of a polyimide film as a substrate, first, at least one selected from Ni, Cu, Mo, Ta, Ti, V, Cr, Fe, Co, Al, and Sn is used as a base (seed layer). It is preferable to contain, and it is preferable that many Ni, Cr, Mo, and Al are included from a viewpoint of the adhesiveness of a film and a seed layer. Further, the thickness of the base is 20 to 2000 mm, preferably 40 to 1000 mm, and more preferably 40 to 500 mm. If it exceeds 2000 mm, it takes too much time for production, so it is not practical. In dry plating, the film being formed is preferably maintained at 100 to 400 ° C, more preferably 150 to 350 ° C. Below this temperature, pinholes may occur during the formation of the seed layer. Conversely, when this temperature is exceeded, thermal degradation of the film may occur, causing problems. In addition, from the viewpoint of adhesion to the seed layer before film formation by dry plating, the polyimide film surface is treated with a coupling agent, sandblasting, holeing, corona treatment, plasma treatment, chemical treatment etching, etc. You may use for.

(2)工程
湿式めっき法により上記金属化ポリイミドフィルムのシード層上に形成する導体層としてはCu(線膨張係数は概ね17ppm/℃)が好ましく、その厚みは1〜12μmが好ましく、より好ましくは1〜9μmである。上記導体層の厚みが12μmより厚くなると、シード層金属種の違いによるエッチングレート差の影響が大きく、パターン作成時に不具合が生じやすい傾向があり、また狭ピッチな配線パターンが求められるCOF用途に適さない場合もある。
(2) Process As a conductor layer formed on the seed layer of the metallized polyimide film by the wet plating method, Cu (linear expansion coefficient is approximately 17 ppm / ° C.) is preferable, and the thickness is preferably 1 to 12 μm, more preferably. 1-9 μm. When the thickness of the conductor layer is greater than 12 μm, the influence of the etching rate difference due to the difference in the seed layer metal species is large, and there is a tendency that defects are likely to occur at the time of pattern creation. Also suitable for COF applications where a narrow pitch wiring pattern is required. There may be no.

(2)工程の湿式めっきによる導体層の形成は、例えば、電気めっきや無電解めっきを用いることができる。電気めっき法としては、ピロリン酸銅めっき、あるいは硫酸銅めっきを好ましく用いることができる。湿式めっき処理についても乾式めっき後のロールとして巻き上げた金属化ポリイミドフィルムを連続処理して最終的なフレキシブルプリント配線基板材料として巻き上げることが好ましい。また、(2)湿式めっき工程での搬送張力は8N/cm以下であり、好ましくは1N/cm以上8N/cm以下である。張力が8N/cmを超えた状態で搬送を行うと、ポリイミドフィルムの弾性変形が生じてしまい、本発明の効果を発揮できない場合がある。また、搬送張力が1N/cmを下回ると(2)湿式めっき工程での搬送が困難な状態になる場合がある。   For example, electroplating or electroless plating can be used for forming the conductor layer by wet plating in the step (2). As the electroplating method, copper pyrophosphate plating or copper sulfate plating can be preferably used. Regarding the wet plating process, it is preferable that the metallized polyimide film wound up as a roll after dry plating is continuously processed to be wound up as a final flexible printed wiring board material. Further, (2) the transport tension in the wet plating step is 8 N / cm or less, preferably 1 N / cm or more and 8 N / cm or less. If transport is performed in a state where the tension exceeds 8 N / cm, the polyimide film may be elastically deformed, and the effects of the present invention may not be exhibited. Further, when the transport tension is less than 1 N / cm, (2) transport in the wet plating process may be difficult.

本発明における(2)工程の湿式めっき法により上記金属化ポリイミドフィルムのシード層上に導体層を形成させる際には、(1)工程で得られたシード層上に導体層が形成され、その厚みが増すにつれて、その導体層の影響により吸湿及び吸水に基づくポリイミドフィルムの寸法変化が抑制されると考えられる。このベースフィルムであるポリイミドフィルムの寸法が固定されるタイミングは、搬送中のフィルムが吸水により膨張を完了するよりも速いことが好ましい。言い換えると、フィルムが十分に吸水し、フィルムが膨張した状態で導体層が積層され、その寸法が固定されると、作製されたフレキシブルプリント配線基板材料の反りが導体層を外側にした反りとなってしまい本発明の目的を達成できない虞がある。つまり、具体的には、(2)湿式めっき工程において、シード層上に導体層が積層され、ポリイミドフィルムの寸法が固定されるまでの時間が、上述のフィルムの寸法変化速度よりも速くなくてはならない。この観点から、ポリイミドフィルムの寸法が固定されるまでの時間は、5分以内であることが好しい。   When the conductor layer is formed on the seed layer of the metallized polyimide film by the wet plating method in the step (2) in the present invention, the conductor layer is formed on the seed layer obtained in the step (1). As the thickness increases, the dimensional change of the polyimide film based on moisture absorption and water absorption is considered to be suppressed due to the influence of the conductor layer. It is preferable that the timing at which the dimension of the polyimide film as the base film is fixed is faster than the film being transported is completely expanded due to water absorption. In other words, when the conductor layer is laminated in a state where the film has sufficiently absorbed water and the film has expanded and the dimensions thereof are fixed, the warp of the produced flexible printed wiring board material becomes the warp with the conductor layer on the outside. As a result, the object of the present invention may not be achieved. Specifically, in the (2) wet plating step, the time until the conductor layer is laminated on the seed layer and the dimension of the polyimide film is fixed is not faster than the dimensional change rate of the film. Must not. From this viewpoint, it is preferable that the time until the dimensions of the polyimide film are fixed is within 5 minutes.

ここで本発明における、ポリイミドフィルムの寸法が固定されるまでの時間とは、湿式めっき工程において導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間を言う。湿式めっき工程において導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間が5分を超えてしまうと、フィルムの寸法の固定化が起こら無いまま導体層が積層されてしまい、結果としてフィルムが膨張しつづけた状態で導体層が形成されることとなり、本発明の効果を発揮しないことがある。本発明における(2)湿式めっき工程において、導体層の厚みが1μmを超えるまでの好ましい時間は5分以内であり、より好ましくは2.5分以内である。   Here, the time until the dimension of the polyimide film is fixed in the present invention refers to the time until the thickness of the conductor layer exceeds 1 μm in the wet plating step. If the time until the thickness of the conductor layer exceeds 1 μm in the wet plating process exceeds 5 minutes, the conductor layer is laminated without fixing the dimensions of the film, and as a result, the film continued to expand. A conductor layer will be formed in a state, and the effect of this invention may not be exhibited. In the (2) wet plating step in the present invention, the preferred time until the thickness of the conductor layer exceeds 1 μm is 5 minutes or less, more preferably 2.5 minutes or less.

本発明における(2)工程の湿式めっき処理の前に、例えば次亜塩素酸イオンなどのような、金属化ポリイミドフィルムのシード層の洗浄処理を目的とした薬液による処理をおこなっても良い。また、湿式めっきにより導体層が形成された後に得られた金属化ポリイミドフィルムを100℃〜350℃の範囲で熱処理することが好ましい。この熱処理は、120℃〜330℃で行うのがより好ましく、150℃〜300℃が特に好ましい。該熱処理により基材フィルムの有している歪や金属化ポリイミドフィルムの製造工程で生じる歪が緩和され、本発明の効果をより一層効果的に発現することができる。前記熱処理温度が100℃未満では歪を緩和する効果が小さくなり、逆に350℃を超える場合は基材のポリイミドフィルムの劣化が起こる虞がある。   Before the wet plating process in the step (2) in the present invention, a chemical solution such as hypochlorite ion for the purpose of cleaning the seed layer of the metalized polyimide film may be performed. Moreover, it is preferable to heat-process the metallized polyimide film obtained after the conductor layer was formed by wet plating in the range of 100 degreeC-350 degreeC. This heat treatment is more preferably performed at 120 to 330 ° C, particularly preferably 150 to 300 ° C. The distortion which the base film has and the distortion which arises in the manufacturing process of a metallized polyimide film are relieved by this heat treatment, and the effect of the present invention can be expressed more effectively. When the heat treatment temperature is less than 100 ° C., the effect of alleviating the strain becomes small. Conversely, when the heat treatment temperature exceeds 350 ° C., the base polyimide film may be deteriorated.

本発明における(2)工程の湿式めっき終了後に得られたフレキシブルプリント配線基板材料の反り量は、下記の方法により測定することができる。フレキシブルプリント配線基板材料を35mm×35mm四角に切り出したサンプルを、温度20〜40℃、湿度40〜60%RHの環境下に保持し、高さゲージを用いてそのサンプルの角4点の浮き上がり高さを測定し、その浮き上がり高さの平均値を算出する。   The amount of warpage of the flexible printed wiring board material obtained after completion of the wet plating in the step (2) in the present invention can be measured by the following method. A sample obtained by cutting a flexible printed wiring board material into a 35 mm × 35 mm square is held in an environment of a temperature of 20 to 40 ° C. and a humidity of 40 to 60% RH, and the height of the four corners of the sample is raised using a height gauge. Measure the height and calculate the average value of the floating height.

本発明における製造方法により得られるフレキシブルプリント配線基板材料は、導体層を内側として反りを示すことが好ましいだけでなく、その反り量も重要である。好ましくは、反りが10mm以下である。この反り量をこえた状態になると、パターン作成時に不具合が生じやすい傾向がある。また、本発明の製造方法により得られたフレキシブルプリント配線基板材料の最適な使用環境は、得られたフレキシブルプリント配線基板が、導体層を内側とした反りとなるという観点から、温度20〜40℃、湿度40〜60%RHの環境下で行うことが好ましい。この環境範囲を下回ると導体層を内側にした反り挙動となるが、そのカール量が所望の範囲を外れてしまう場合がある。   The flexible printed wiring board material obtained by the production method of the present invention preferably not only exhibits warp with the conductor layer as the inside, but also the amount of warp is important. Preferably, the warpage is 10 mm or less. If this amount of warpage is exceeded, defects tend to occur during pattern creation. Moreover, the optimal use environment of the flexible printed wiring board material obtained by the manufacturing method of this invention is temperature 20-40 degreeC from a viewpoint that the obtained flexible printed wiring board becomes the curvature which set the conductor layer inside. It is preferably carried out in an environment with a humidity of 40 to 60% RH. Below this environmental range, the warping behavior is caused with the conductor layer inside, but the curl amount may deviate from the desired range.

このようにして得られたフレキシブルプリント配線基板材料は、フレキシブルプリント配線基板(FPC)やTABテープ、COFテープ等のフィルムキャリアテープとして用いられる。特に、例えば温度20〜40℃、湿度40〜60%RHの環境下に置かれた際に導体層側を内側とした反りとなるため、COF用フィルムキャリアテープに適したフレキシブルプリント配線基板材料を得ることができる。   The flexible printed wiring board material thus obtained is used as a film carrier tape such as a flexible printed wiring board (FPC), a TAB tape, and a COF tape. In particular, for example, a flexible printed wiring board material suitable for a film carrier tape for COF is used because the conductor layer side warps when placed in an environment of temperature 20 to 40 ° C. and humidity 40 to 60% RH. Obtainable.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明は実施例のみに限定されるものでは無い。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to an Example.

(平均線膨張係数)
100〜200℃の線膨張係数の測定は、セイコー電子(株)社製TMA120Cを用いて、サンプルサイズ:幅3mm・長さ10mm、荷重3gで10℃/minで10〜400℃まで一旦昇温させた後、10℃まで冷却し、さらに10℃/minで昇温させて2回目の昇温時の100〜200℃における熱膨張から平均値として計算した。
(Average linear expansion coefficient)
The linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. is measured by using a TMA120C manufactured by Seiko Electronics Co., Ltd., and the temperature is temporarily raised to 10 to 400 ° C. at 10 ° C./min with a sample size of 3 mm in width and 10 mm in length and a load of 3 g. Then, it was cooled to 10 ° C., further heated at 10 ° C./min, and calculated as an average value from the thermal expansion at 100 to 200 ° C. during the second temperature increase.

(反り測定)
反り測定は、以下の手段で作成されたフレキシブルプリント配線基板材料を35×35mm四角に切り出したサンプルを、下記実施例および比較例に記載の温湿度環境において、高さゲージを用いてそのサンプルの角4点の浮き上がり高さを測定し、その浮き上がり高さの平均値を反り量とした。
(Warpage measurement)
In the measurement of warpage, a sample obtained by cutting a flexible printed wiring board material prepared by the following means into a 35 × 35 mm square was measured using a height gauge in a temperature and humidity environment described in the following examples and comparative examples. The lifting heights at four corners were measured, and the average value of the lifting heights was taken as the amount of warpage.

(吸湿膨張係数)
吸湿膨張係数の測定は、株式会社リガク製の水蒸気システム付TMAを用いて、サンプルサイズ:巾5mm・長さ15mm、荷重5gで温度50℃にホールドした状態で、変化が10分以内になるよう湿度を40〜70%RHに変化させ、それに伴うフィルムの膨張量から算出した。
(Hygroscopic expansion coefficient)
The hygroscopic expansion coefficient is measured using a TMA with a water vapor system manufactured by Rigaku Corporation. The sample size is 5 mm wide, 15 mm long, and the load is 5 g. The humidity was changed to 40 to 70% RH, and the film was calculated from the amount of film expansion associated therewith.

(寸法変化速度)
フィルムの吸水による寸法変化速度は、水蒸気システム付TMA装置を用いて、サンプルサイズ:巾5mm・長さ15mm、荷重5gで温度50℃にホールドした状態で、変化が10分以内になるよう湿度を40%RHから70%RHに変化させた際のTMAによるフィルムの膨張が安定領域に達するまでの時間を求めることで算出した。
(Dimension change rate)
The rate of dimensional change due to water absorption of the film is determined by using a TMA device with a water vapor system, with the sample size: 5 mm wide, 15 mm long, and 5 g of load. The calculation was performed by obtaining the time required for the expansion of the film by TMA to reach the stable region when changing from 40% RH to 70% RH.

(参考例)
本発明において使用されたポリイミドフィルムの作製例と、反り測定用フレキシブルプリント配線基板材料サンプルの作製方法を以下に例示する。なお、本発明において、以下の略は以下に示すモノマーを表す。
ODA:4,4´−オキシジアニリン
BAPP:2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン
PDA:パラフェニレンジアミン
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BTDA:3,3´,4,4´―ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
(Reference example)
A production example of a polyimide film used in the present invention and a production method of a flexible printed wiring board material sample for warpage measurement are illustrated below. In the present invention, the following abbreviations represent the monomers shown below.
ODA: 4,4'-oxydianiline BAPP: 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane PDA: paraphenylenediamine PMDA: pyromellitic dianhydride BTDA: 3,3 ', 4,4'- Benzophenone tetracarboxylic dianhydride

ODA/BAPP/PDA/PMDA/BTDAをモル比で、25/25/50/60/40の割合で合成したポリアミド酸の15重量%ジメチルフォルムアミド(以下、DMFともいう)溶液を合成した。イソキノリン/無水酢酸/DMFを4.93g/15.58g/19.49gの割合で混合した硬化剤を前記ポリアミド酸100gに対して40gの割合ですばやく攪拌混合し、遠心脱泡した。混合・脱泡工程は、0℃にて実施した。この硬化剤を混合したポリアミド酸溶液を、コンマコーターを用いて室温に保ったアルミ箔上に流延した。90℃、10m/minでノズルから噴き出す熱風を、このアルミ箔上の塗膜及びアルミ箔の裏側に垂直に吹き付けて10分乾燥し、自己支持性を有するゲルフィルム得て、これを引き剥がした(残揮発成分量55重量%)。次いで、このゲルフィルムを40×40cmの金属製の枠に四辺を固定し、250℃×2分、350℃×2分、450℃×2分の条件で乾燥イミド化させ、35μm厚のポリイミドフィルムを得た。   A 15% by weight dimethylformamide (hereinafter also referred to as DMF) solution of polyamic acid obtained by synthesizing ODA / BAPP / PDA / PMDA / BTDA in a molar ratio of 25/25/50/60/40 was synthesized. A curing agent in which isoquinoline / acetic anhydride / DMF was mixed at a ratio of 4.93 g / 15.58 g / 19.49 g was rapidly stirred and mixed at a ratio of 40 g with respect to 100 g of the polyamic acid, followed by centrifugal defoaming. The mixing / defoaming step was performed at 0 ° C. The polyamic acid solution mixed with this curing agent was cast on an aluminum foil kept at room temperature using a comma coater. Hot air blown from the nozzle at 90 ° C. and 10 m / min was blown vertically onto the coating film on the aluminum foil and the back side of the aluminum foil and dried for 10 minutes to obtain a gel film having self-supporting properties, which was peeled off. (Residual volatile component amount 55% by weight). Next, this gel film was fixed to a 40 × 40 cm metal frame with four sides fixed, dried and imidized under conditions of 250 ° C. × 2 minutes, 350 ° C. × 2 minutes, 450 ° C. × 2 minutes, and a 35 μm thick polyimide film Got.

このときのポリイミドフィルムの弾性率は6.5GPa、100〜200℃における平均線膨張係数は12ppm/℃、温度50℃における40〜70%RHの湿度変化に伴う吸湿膨張係数は10ppm/%RH、吸湿膨張係数測定時の寸法変化速度は30分であった。   At this time, the elastic modulus of the polyimide film is 6.5 GPa, the average linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. is 12 ppm / ° C., and the hygroscopic expansion coefficient with a humidity change of 40 to 70% RH at 50 ° C. is 10 ppm /% RH, The dimensional change rate when measuring the hygroscopic expansion coefficient was 30 minutes.

得られたポリイミドフィルムの上にスパッタリングによりNi/Cr(重量比80/20)の合金を厚み300Åで形成し、シード層を有した金属化ポリイミドフィルムを形成した。その金属化ポリイミドフィルムの上に、スパッタリングによりCuを1000Åの厚みで形成後、硫酸銅ハイスローめっき浴にて導体層の厚みが8μmになるように厚み増しを実施し、厚み増し終了後のサンプルを150℃×2時間乾燥することで、めっき時に蓄積された歪を除去した。最終的に得られた金属化ポリイミドフィルムを35mm×35mmに切り出し、反り測定用サンプルを取得した。   An alloy of Ni / Cr (weight ratio 80/20) was formed with a thickness of 300 mm on the obtained polyimide film by sputtering to form a metalized polyimide film having a seed layer. After forming Cu with a thickness of 1000 mm on the metallized polyimide film by sputtering, the thickness of the conductor layer was increased to 8 μm in a copper sulfate high-throw plating bath, and the sample after the thickness increase was completed. The strain accumulated during plating was removed by drying at 150 ° C. for 2 hours. The finally obtained metallized polyimide film was cut into a size of 35 mm × 35 mm, and a warp measurement sample was obtained.

(実施例1)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が1分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は8mmであった。
Example 1
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating treatment is 1 μm in thickness is 1 minute. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 8 mm.

(実施例2)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が2分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度40℃湿度60%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は6mmであった。
(Example 2)
In the preparation of the warp measurement sample, the conveyance tension while the conductor layer is formed by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process is 1 μm in thickness is set to 2 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 60% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 6 mm.

(実施例3)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が3分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度20℃湿度40%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は9mmであった。
(Example 3)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process reaches a thickness of 1 μm is set to 3 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 20 ° C. and a humidity of 40% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 9 mm.

(実施例4)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が3分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は3mmであった。
Example 4
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process reaches a thickness of 1 μm is set to 3 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 3 mm.

(実施例5)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は1mmであった。
(Example 5)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process reaches a thickness of 1 μm is set to 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 1 mm.

(比較例1)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が10分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 1)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating treatment reaches a thickness of 1 μm is set to 10 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warp of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, the warp behavior with the conductor layer on the outside was shown.

(比較例2)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を1N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が30分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 2)
In the preparation of the warp measurement sample, the conveyance tension while the conductor layer is formed by the wet plating method is set to 1 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process is 1 μm in thickness is 30 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warp of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, the warp behavior with the conductor layer on the outside was shown.

(実施例6)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を5N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は8mmであった。
(Example 6)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 5 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating treatment is 1 μm in thickness is set to 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 8 mm.

(実施例7)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を5N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度40℃湿度60%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は6mmであった。
(Example 7)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 5 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating treatment is 1 μm in thickness is set to 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 60% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 6 mm.

(実施例8)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を8N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を内側にした反りであり、その反り量は3mmであった。
(Example 8)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 8 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process is 1 μm in thickness is set to 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warpage of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, it was a warp with the conductor layer inside, and the warp amount was 3 mm.

(比較例3)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を10N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 3)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is set to 10 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating treatment is 1 μm in thickness is set to 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warp of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, the warp behavior with the conductor layer on the outside was shown.

(比較例4)
上記反り測定用サンプルの作製において、湿式めっき法により導体層が形成されている間の搬送張力を12N/cmにし、硫酸銅ハイスローめっき処理を厚み1μmになるまでの時間が5分になるようにしながら導体層の厚みが8μmになるまで厚み増しを実施した。このサンプルの反りを温度23℃湿度55%RHの環境下で測定したところ、導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 4)
In the preparation of the warp measurement sample, the transport tension during the formation of the conductor layer by the wet plating method is 12 N / cm, and the time until the copper sulfate high-throw plating process is 1 μm in thickness is 5 minutes. However, the thickness was increased until the thickness of the conductor layer reached 8 μm. When the warp of this sample was measured in an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 55% RH, the warp behavior with the conductor layer on the outside was shown.

(比較例5)
上述のポリイミドの組成を、ODA/PMDAをモル比で100/100の割合に変更して合成したポリアミド酸の17重量%DMF溶液を合成した。このポリアミド酸を用いて上述の方法にてポリイミドフィルムを作製した。このときのポリイミドフィルムの弾性率は3.2GPa、100〜200℃における平均線膨張係数は32ppm/℃、温度50℃における40〜70%RHの湿度変化に伴う吸湿膨張係数は30ppm/%RH、吸湿膨張係数測定時の寸法変化速度は120分であった。このポリイミドフィルムを使用して実施例1の方法で反り測定用サンプルを作製しところ導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 5)
A 17% by weight DMF solution of polyamic acid was synthesized by changing the composition of the polyimide described above by changing the molar ratio of ODA / PMDA to 100/100. Using this polyamic acid, a polyimide film was produced by the method described above. At this time, the elastic modulus of the polyimide film is 3.2 GPa, the average linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. is 32 ppm / ° C., and the hygroscopic expansion coefficient with a humidity change of 40 to 70% RH at 50 ° C. is 30 ppm /% RH, The dimensional change rate when measuring the hygroscopic expansion coefficient was 120 minutes. Using this polyimide film, a warp measurement sample was produced by the method of Example 1 and showed a warping behavior with the conductor layer on the outside.

(比較例6)
比較例5のポリイミドフィルムを使用して、実施例4の方法で反り測定用サンプルを作製したところ導体層を外側にした反り挙動を示した。
(Comparative Example 6)
Using the polyimide film of Comparative Example 5 to produce a warp measurement sample by the method of Example 4, the warp behavior with the conductor layer on the outside was shown.

(反り評価結果の合否判定)
反り評価結果において、導体層を内側にした反り方向を示し、その反り量が10mm以下であった場合は○と判定した。また、導体層を外側にした反り挙動を示した、もしくは導体層を内側に反り挙動を示してもその反り量が10mmを超える結果となった場合は×と判定した。
(Pass / fail judgment of warpage evaluation results)
In the warpage evaluation result, the warp direction with the conductor layer on the inner side was shown, and when the amount of warpage was 10 mm or less, it was determined as ◯. In addition, when the warping behavior was shown with the conductor layer outside, or when the conductor layer showed the warping behavior inside, the warping amount exceeded 10 mm, it was judged as x.

Figure 2010186874
Figure 2010186874

表1より、(2)工程において形成される導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間と搬送張力により、得られたフレキシブルプリント配線基板材料の反り方向に影響することがわかる。   From Table 1, it can be seen that the time until the thickness of the conductor layer formed in the step (2) exceeds 1 μm and the conveyance tension affect the warping direction of the obtained flexible printed wiring board material.

得られたフレキシブルプリント配線基板材料は、フレキシブルプリント配線基板(FPC)やテープオートメイティッドボンディング(TAB)テープ、COFテープ等のフィルムキャリアテープとして用いられる。特に温度40℃以下、湿度60%RH以下の環境下に置かれた際に導体層側を内側とした反りとなるため、COFテープ用に適したフレキシブルプリント配線基板材料を得ることができる。   The obtained flexible printed wiring board material is used as a film carrier tape such as a flexible printed wiring board (FPC), a tape automated bonding (TAB) tape, and a COF tape. In particular, when placed in an environment of a temperature of 40 ° C. or less and a humidity of 60% RH or less, the warp is made with the conductor layer side inside, so that a flexible printed wiring board material suitable for COF tape can be obtained.

Claims (6)

形成される導体層の線膨張係数よりも小さい値の線膨張係数を示すポリイミドフィルムを使用して、
(1)乾式めっき法でポリイミドフィルム上に金属シード層を形成する工程、
(2)前記(1)工程により得られた金属シード層上に湿式めっき法により導体層を形成する工程、
を含有するフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法において、
前記(2)工程において、形成される導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間が5分以内であり、搬送張力が8N/cm以下であることを特徴とするフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法。
Using a polyimide film showing a linear expansion coefficient smaller than the linear expansion coefficient of the conductor layer to be formed,
(1) A step of forming a metal seed layer on a polyimide film by a dry plating method,
(2) A step of forming a conductor layer by a wet plating method on the metal seed layer obtained in the step (1),
In the method for producing a flexible printed wiring board material containing
In the step (2), the time until the thickness of the formed conductor layer exceeds 1 μm is within 5 minutes, and the transport tension is 8 N / cm or less, The method for producing a flexible printed wiring board material .
前記(2)工程において、形成される導体層の厚みが1μmを超えるまでの時間が2.5分以内であることを特徴とする請求項1に記載のフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法。   2. The method for producing a flexible printed wiring board material according to claim 1, wherein in the step (2), the time until the thickness of the formed conductor layer exceeds 1 μm is 2.5 minutes or less. 前記ポリイミドフィルムが、ピロメリット酸二無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、パラフェニレンジアミン、4,4´−オキシジアニリン、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパンを必須成分としてなり、弾性率が5〜10GPa、100〜200℃の平均線膨張係数が5〜15ppm/℃であり、また、温度50℃における40%RHから70%RHの湿度変化に伴う吸湿膨張係数が5〜15ppm/%RHであり、さらに温度50℃において10分以内の速度で湿度を40%RHから70%RHに変化させた時のフィルムの寸法変化速度が30分以内であることを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法。   The polyimide film comprises pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, paraphenylenediamine, 4,4′-oxydianiline, 2,2-bis (4 -Aminophenoxyphenyl) propane is an essential component, the elastic modulus is 5 to 10 GPa, the average linear expansion coefficient at 100 to 200 ° C. is 5 to 15 ppm / ° C., and 40% RH to 70% RH at a temperature of 50 ° C. The coefficient of dimensional change when the humidity is changed from 40% RH to 70% RH at a temperature within 50 minutes at a temperature of 50 ° C. is 5 to 15 ppm /% RH. It is within 30 minutes, The manufacturing method of the flexible printed wiring board material of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記(1)工程においてポリイミドフィルム上に形成される金属シード層が、Ni、Cu、Mo、Ta、Ti、V、Cr、Fe、Co、Al、Snから選ばれる少なくとも1種を含有し、かつ(2)工程の湿式めっき法により形成される導体層がCuであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線基板材料の製造方法。   The metal seed layer formed on the polyimide film in the step (1) contains at least one selected from Ni, Cu, Mo, Ta, Ti, V, Cr, Fe, Co, Al, Sn, and (2) The method for producing a flexible printed wiring board material according to any one of claims 1 to 3, wherein the conductor layer formed by the wet plating method in the step is Cu. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法により製造されたフレキシブルプリント配線基板材料であって、該配線基板材料を35×35mmの大きさに切り出したサンプルの反り量が、温度20〜40℃、湿度40〜60%RHである環境下において、導体層を内側として10mm以下となることを特徴とするフレキシブルプリント配線基板材料。   The flexible printed wiring board material manufactured by the method according to any one of claims 1 to 4, wherein a warp amount of a sample obtained by cutting the wiring board material into a size of 35 x 35 mm has a temperature of 20 to A flexible printed circuit board material having a conductor layer of 10 mm or less in an environment of 40 ° C. and humidity of 40 to 60% RH. 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の製造方法にて製造されたフレキシブルプリント配線基板材料を用いたチップオンフィルム用フィルムキャリアテープ。   The film carrier tape for chip-on-films using the flexible printed wiring board material manufactured by the manufacturing method of any one of Claims 1 thru | or 4.
JP2009030128A 2009-02-12 2009-02-12 Method of manufacturing flexible printed wiring board material Pending JP2010186874A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009030128A JP2010186874A (en) 2009-02-12 2009-02-12 Method of manufacturing flexible printed wiring board material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009030128A JP2010186874A (en) 2009-02-12 2009-02-12 Method of manufacturing flexible printed wiring board material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010186874A true JP2010186874A (en) 2010-08-26

Family

ID=42767345

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009030128A Pending JP2010186874A (en) 2009-02-12 2009-02-12 Method of manufacturing flexible printed wiring board material

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010186874A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016087898A (en) * 2014-10-31 2016-05-23 住友金属鉱山株式会社 Two layered copper-clad laminate and manufacturing method therefor, flexible wiring board using the same and manufacturing method therefor
JP2017014564A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 住友金属鉱山株式会社 Copper electroplating solution for flexible wiring board and method for manufacturing laminate using the copper electroplating solution

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004018949A (en) * 2002-06-17 2004-01-22 Toray Ind Inc Method for manufacturing cathode roll for plating and film with plating coat
JP2007091803A (en) * 2005-09-27 2007-04-12 Kaneka Corp Polyimide film and metal-clad laminate
WO2008065890A1 (en) * 2006-11-29 2008-06-05 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. Bilayer copper clad laminate

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004018949A (en) * 2002-06-17 2004-01-22 Toray Ind Inc Method for manufacturing cathode roll for plating and film with plating coat
JP2007091803A (en) * 2005-09-27 2007-04-12 Kaneka Corp Polyimide film and metal-clad laminate
WO2008065890A1 (en) * 2006-11-29 2008-06-05 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. Bilayer copper clad laminate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016087898A (en) * 2014-10-31 2016-05-23 住友金属鉱山株式会社 Two layered copper-clad laminate and manufacturing method therefor, flexible wiring board using the same and manufacturing method therefor
JP2017014564A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 住友金属鉱山株式会社 Copper electroplating solution for flexible wiring board and method for manufacturing laminate using the copper electroplating solution

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5049594B2 (en) Novel polyimide film with improved adhesion
JP2014001392A (en) Novel polyimide film and adhesive film with using thereof, and flexible metal-clad laminate sheet
JP2005314669A (en) Polyimide film and copper-clad laminate using the same as substrate
US20090068403A1 (en) Polyimide film and copper-clad laminate using it as base material
JPWO2009019968A1 (en) Multilayer polyimide film, laminate and metal-clad laminate
TWI673321B (en) Polyimine film
WO2006115258A1 (en) Novel polyimide film and use thereof
JP5323315B2 (en) Polyimide film having high adhesiveness and method for producing the same
JP2003165850A (en) Polyimide film and method for producing the same
JP5254752B2 (en) Multilayer polyimide film
JPWO2007029609A1 (en) Heat resistant adhesive sheet
TW202118817A (en) High elastic and high heat resistant polyimide film and manufacturing method thereof
JP2008188954A (en) Base material for single-sided metal-clad laminated sheet and manufacturing method of single-sided metal-clad laminated sheet
JP2010186874A (en) Method of manufacturing flexible printed wiring board material
TW202319444A (en) Polyamide acid, polyimide, polyimide film, metal-clad laminate and circuit
JP4951513B2 (en) Flexible metal-clad laminate
JP3912617B2 (en) Adhesive sheet, metal laminate sheet and printed wiring board
JP5571839B2 (en) Polyimide film and copper-clad laminate based on the same
TW202112912A (en) Polyimide film, metal-clad laminate and circuit board featuring low dielectric loss tangent and excellent long-term heat-resistant adhesiveness
JP2006291150A (en) Heat resistant adhesive sheet
JP5297573B2 (en) Polyimide film with high adhesiveness
JP3912618B2 (en) Adhesive sheet, metal laminate sheet and printed wiring board
JP2008038083A (en) Polyimide film
JP2022047880A (en) Manufacturing method of polyimide film and manufacturing method of metal-clad laminate board
JP2016132743A (en) Polyimide film

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111220

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121219

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20121225

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20130416

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02