JP2010179632A - Method for manufacturing inkjet head, inkjet head, and image forming apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置に関するものである。 The present invention has a plurality of parallel ink channels separated by a partition made of a piezoelectric material, and deforms the partition according to a drive voltage to a drive electrode formed on the inner wall of the ink channel, The present invention relates to an ink jet head manufacturing method, an ink jet head, and an image forming apparatus in which ink filled in the ink channel is ejected from a nozzle communicating with the ink channel along with the deformation.
一般にインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドのノズルからインク液滴を記録媒体に向かって吐出することにより記録を行うものであり、記録動作時の騒音が低く、ランニングコストが安く、高解像、高品質な画像記録が可能であり、様々な分野で幅広く利用されている。 In general, an ink jet recording apparatus performs recording by ejecting ink droplets from a nozzle of an ink jet head toward a recording medium. The noise during the recording operation is low, the running cost is low, the resolution is high, and the quality is high. Image recording is possible and is widely used in various fields.
従来、インクジェットヘッドには、インク吐出原理として圧電素子のせん断モード変形を利用したものが知られている(例えば、特許文献1及び2参照)。
2. Description of the Related Art Conventionally, ink jet heads that use shear mode deformation of a piezoelectric element are known as an ink ejection principle (see, for example,
特許文献1には、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有するインクジェットヘッドが記載されている。しかしながら、このインクジェットヘッドでは、複数のインクチャンネルが1列に並べられた構成となっているため、インクチャンネルとなる溝部を加工する切削手段(ダイサーなど)を改良してもノズルピッチを狭くするには限界があり、高解像度のインクジェットヘッドを実現することは困難である。
一方、特許文献2には、複数のインクチャンネルが2列に並べられたインクジェットヘッドが記載されている。このインクジェットヘッドによれば、2つの圧電性材料基板を貼り合わせた基板の両面のそれぞれに、複数のインクチャンネルからなるチャンネル列が形成されており、特許文献1に記載の構成に比べてノズルピッチを狭めることが可能となる。
On the other hand, Patent Document 2 describes an ink jet head in which a plurality of ink channels are arranged in two rows. According to this ink jet head, a channel row composed of a plurality of ink channels is formed on each of both surfaces of a substrate on which two piezoelectric material substrates are bonded together, and the nozzle pitch compared to the configuration described in
しかしながら、特許文献2に記載のインクジェットヘッドは、各圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなるチャンネル列をそれぞれ形成してから、チャンネル列が形成された圧電性材料基板同士を貼り合わせているため、位置合わせ時のばらつきや接着剤のばらつきによって、各インクチャンネルに対するノズルの位置がばらつく要因となり、吐出安定性が低下し、高解像度のインクジェットヘッドを実現することは難しい。 However, since the inkjet head described in Patent Document 2 forms a channel row composed of a plurality of ink channels on each piezoelectric material substrate, the piezoelectric material substrates on which the channel rows are formed are bonded to each other. The dispersion at the time of alignment and the dispersion of the adhesive cause the position of the nozzles to vary with respect to each ink channel, the ejection stability is lowered, and it is difficult to realize a high-resolution inkjet head.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、せん断モード変形を利用したインクジェットヘッドの高解像化を実現することができるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides an inkjet head manufacturing method, an inkjet head, and an image forming apparatus that can realize high resolution of the inkjet head using shear mode deformation. With the goal.
前記目的を達成するために、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化されたアクチュエータ部材を形成するアクチュエータ部材形成工程と、前記アクチュエータ部材形成工程が行われた後、前記第1の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第1のチャンネル列を形成するとともに、前記第2の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第2のチャンネル列を形成するインクチャンネル形成工程と、各インクチャンネルに駆動電極を形成するとともに、該駆動電極に接続した取出電極を形成する電極形成工程と、前記アクチュエータ部材の両面のそれぞれに、各インクチャンネルの一壁面を構成するとともに各インクチャンネルに連通する共通流路を構成する蓋基板を接合する蓋基板接合工程と、各インクチャンネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートを前記アクチュエータ部材に接合するノズルプレート接合工程と、を含むことを特徴とする。 In order to achieve the above object, an inkjet head manufacturing method according to the present invention includes a plurality of ink channels that are parallel to each other and separated by a partition made of a piezoelectric material, and is formed on an inner wall of the ink channel. According to a driving voltage to the electrode, the partition is deformed, and the ink filled in the ink channel is ejected from the nozzle connected to the ink channel according to the deformation. An actuator member forming step of forming an actuator member in which the first piezoelectric material substrate and the second piezoelectric material substrate are integrated with an intermediate layer interposed therebetween, and after the actuator member forming step, Forming a first channel row composed of a plurality of ink channels on the piezoelectric material substrate of An ink channel forming step of forming a second channel row composed of a plurality of ink channels on the second piezoelectric material substrate, and a drive electrode is formed in each ink channel, and an extraction electrode connected to the drive electrode is formed An electrode forming step, a lid substrate joining step for joining a lid substrate constituting one wall surface of each ink channel and communicating with each ink channel on each of both surfaces of the actuator member, and each ink And a nozzle plate joining step of joining a nozzle plate having a nozzle hole in a portion corresponding to the channel to the actuator member.
本発明によれば、第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化されてから、各圧電性材料基板のそれぞれに複数のインクチャンネルが形成される。即ち、インクチャンネル形成後に圧電性材料基板同士を貼り合わせる工程が不要であるため、各インクチャンネルの位置合わせ時のばらつきや接着剤の厚みのばらつきの影響がなく、各インクチャンネルに対するノズルの位置精度が向上し、吐出安定性が高く、高解像度のインクジェットヘッドを実現することが可能となる。 According to the present invention, after the first piezoelectric material substrate and the second piezoelectric material substrate are integrated with the intermediate layer interposed therebetween, a plurality of ink channels are formed on each of the piezoelectric material substrates. In other words, since there is no need to bond the piezoelectric material substrates after forming the ink channels, there is no effect of variations in the alignment of the ink channels or variations in the thickness of the adhesive, and the positional accuracy of the nozzles relative to the ink channels As a result, it is possible to realize a high-resolution inkjet head with high ejection stability.
本発明において、第1のチャンネル列を構成する各インクチャンネルと、第2のチャンネル列を構成する各インクチャンネルは、チャンネル列を構成する複数のインクが配列される方向(チャンネル列方向)に関して同一位置に配置されていてよいし、一方のチャンネル列の各インクチャンネルが他方のチャンネル列の各インクチャンネルに対してチャンネル列方向に所定のピッチ(例えば1/2ピッチ)をずらして配置されていてもよい。ここでいう「ピッチ」とは、同一チャンネル列において隣接するインクチャンネル同士の間隔をいう。 In the present invention, each ink channel constituting the first channel row and each ink channel constituting the second channel row are the same with respect to the direction (channel row direction) in which a plurality of inks constituting the channel row are arranged. Each ink channel in one channel row may be arranged at a predetermined pitch (for example, 1/2 pitch) in the channel row direction with respect to each ink channel in the other channel row. Also good. Here, the “pitch” refers to an interval between adjacent ink channels in the same channel row.
また、「蓋基板」は、1つの基板で構成されていてもよいし、複数の基板で構成されていてもよい。 Further, the “lid substrate” may be composed of a single substrate or may be composed of a plurality of substrates.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法の一態様に係り、前記第1のチャンネル列を構成する各インクチャンネルと、前記第2のチャンネル列を構成する各インクチャンネルは、チャンネル列を構成する複数のインクチャンネルが配列される方向に関して、一方のチャンネル列のインクチャンネルが他方のチャンネル列のインクチャンネルと同一位置とならないように交互に配置された構成となっていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an ink jet head manufacturing method according to the first aspect, wherein each ink channel constituting the first channel row and each of the second channel row are constituted. The ink channels are alternately arranged so that the ink channels of one channel row do not coincide with the ink channels of the other channel row in the direction in which the plurality of ink channels constituting the channel row are arranged. It is characterized by.
請求項2に記載の発明によれば、各インクチャンネルが千鳥状に配置されるため、ノズルピッチを狭めることができ、インクジェットヘッドの高解像化が可能となる。 According to the second aspect of the invention, since the ink channels are arranged in a staggered manner, the nozzle pitch can be narrowed, and the resolution of the inkjet head can be increased.
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法の一態様に係り、前記アクチュエータ部材形成工程は、分極用の外部電極を形成する工程と、圧電性材料基板を構成する圧電体を分極処理する工程と、前記分極処理後に前記外部電極を取り除く工程とを含むことを特徴とする。 A third aspect of the present invention relates to an aspect of the method of manufacturing the ink jet head according to the first or second aspect, wherein the actuator member forming step includes a step of forming an external electrode for polarization, and a piezoelectric material substrate. Comprising a step of polarizing the piezoelectric body constituting the substrate and a step of removing the external electrode after the polarization processing.
請求項3に記載の発明によれば、外部電極を用いて圧電体の分極処理を行うことができるとともに、分極処理後に外部電極を取り除くことにより、隣接するインクチャンネル同士の駆動電極が導通するのを防ぐことができる。 According to the third aspect of the invention, the piezoelectric body can be polarized using the external electrode, and the drive electrodes of the adjacent ink channels are made conductive by removing the external electrode after the polarization process. Can be prevented.
また、前記目的を達成するために、本発明に係るインクジェットヘッド(請求項4に記載の発明)は、圧電性材料からなる隔壁により隔てられた互いに並行する複数のインクチャンネルを有し、前記インクチャンネルの内壁に形成された駆動電極への駆動電圧に応じて、前記隔壁を変形させ、その変形にともなって前記インクチャンネル内に充填されているインクをそのインクチャンネルに連通したノズルより吐出させるインクジェットヘッドであって、第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化され、前記第1の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第1のチャンネル列が形成されるとともに、前記第2の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第2のチャンネル列が形成され、さらに、各インクチャンネルに駆動電極が形成されるとともに該駆動電極に電気的に接続される取出電極が形成されたアクチュエータ部材と、前記アクチュエータ部材の両面のそれぞれに接合され、各インクチャンネルの一壁面を構成するとともに各インクチャンネルに連通する共通流路を構成する蓋基板と、前記アクチュエータ部材に接合され、各インクチャンネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートと、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, an ink jet head according to the present invention (the invention according to claim 4) has a plurality of parallel ink channels separated by a partition made of a piezoelectric material, and the ink Ink jet that deforms the partition according to the drive voltage to the drive electrode formed on the inner wall of the channel, and discharges the ink filled in the ink channel from the nozzle connected to the ink channel in accordance with the deformation. A first channel row comprising a plurality of ink channels in a head, wherein a first piezoelectric material substrate and a second piezoelectric material substrate are integrated with an intermediate layer interposed therebetween. And a second channel row made up of a plurality of ink channels is formed on the second piezoelectric material substrate. An actuator member having a drive electrode formed in each ink channel and an extraction electrode electrically connected to the drive electrode; and an actuator member bonded to each of both surfaces of the actuator member. And a lid substrate that constitutes a common flow path that communicates with each ink channel, and a nozzle plate that is joined to the actuator member and has a nozzle hole in a portion corresponding to each ink channel. .
本発明によれば、各インクチャンネルに対するノズルの位置精度が向上し、吐出安定性が高く、高解像度のインクジェットヘッドを実現することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to improve the positional accuracy of the nozzles with respect to each ink channel, achieve high ejection stability, and realize a high-resolution inkjet head.
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のインクジェットヘッドの一態様に係り、前記第1のチャンネル列を構成する各インクチャンネルと、前記第2のチャンネル列を構成する各インクチャンネルは、チャンネル列を構成する複数のインクチャンネルが配列される方向に関して、一方のチャンネル列のインクチャンネルが他方のチャンネル列のインクチャンネルと同一位置とならないように交互に配置された構成となっていることを特徴とする。 A fifth aspect of the invention relates to an aspect of the ink jet head according to the fourth aspect of the invention, wherein each ink channel constituting the first channel row and each ink channel constituting the second channel row are: In the direction in which the plurality of ink channels constituting the channel row are arranged, the ink channels of one channel row are alternately arranged so as not to be in the same position as the ink channels of the other channel row. It is characterized by.
請求項5に記載の発明によれば、インクジェットヘッドの高密度化、高解像化が可能となる。 According to the invention described in claim 5, it is possible to increase the density and resolution of the ink jet head.
また、前記目的を達成するために、本発明に係る画像形成装置(請求項6に記載の発明)は、請求項4又は5に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, an image forming apparatus according to the present invention (invention according to claim 6) includes the ink jet head according to claim 4 or 5.
本発明によれば、画像品質の向上を図ることができ、好ましい画像を実現することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to improve image quality and realize a preferable image.
本発明によれば、第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化されてから、各圧電性材料基板のそれぞれに複数のインクチャンネルが形成される。即ち、インクチャンネル形成後に圧電性材料基板同士を貼り合わせる工程が不要であるため、各インクチャンネルの位置合わせ時のばらつきや接着剤の厚みのばらつきの影響がなく、各インクチャンネルに対するノズルの位置精度が向上し、吐出安定性が高く、高解像度のインクジェットヘッドを実現することが可能となる。 According to the present invention, after the first piezoelectric material substrate and the second piezoelectric material substrate are integrated with the intermediate layer interposed therebetween, a plurality of ink channels are formed on each of the piezoelectric material substrates. In other words, since there is no need to bond the piezoelectric material substrates after forming the ink channels, there is no effect of variations in the alignment of the ink channels or variations in the thickness of the adhesive, and the positional accuracy of the nozzles relative to the ink channels As a result, it is possible to realize a high-resolution inkjet head with high ejection stability.
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
〔インクジェットヘッドの構成〕
図1は本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。また、図2は図1のインクジェットヘッドの側面断面図、図3は図1のインクジェットヘッドの一部(アクチュエータ部材)を示した正面断面図である。なお、図2は図3のA−A線に相当する位置の断面構造を表している。
[Configuration of inkjet head]
FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. 2 is a side sectional view of the inkjet head of FIG. 1, and FIG. 3 is a front sectional view showing a part (actuator member) of the inkjet head of FIG. 2 shows a cross-sectional structure at a position corresponding to the line AA in FIG.
図1に示すインクジェットヘッド10は、インクチャンネル20となる溝部が両面(上端面12c及び下端面12d)にそれぞれ複数形成されたアクチュエータ部材12と、各インクチャンネル20に対応する複数のノズル22が形成されたノズルプレート14と、各インクチャンネル20の一壁面を構成するカバー基板16(16A、16B)と、共通流路24となる溝部やインク供給口26となる孔部が形成された流路形成基板18(18A、18B)とから主に構成されている。
The
アクチュエータ部材12は、中間層(電極)28を挟んで第1の圧電性材料基板30A及び第2の圧電性材料基板30Bが一体化された構成となっており、各圧電性材料基板30A、30Bのそれぞれには、複数のインクチャンネル20からなるチャンネル列32(第1のチャンネル列32A、第2のチャンネル列32B)が設けられている。
The
図3に示すように、第1のチャンネル列32Aを構成する各インクチャンネル20Aと第2のチャンネル列32Bを構成する各インクチャンネル20Bは、チャンネル列を構成する複数のインクチャンネルが配列される方向(チャンネル列方向;図3の横方向)に沿って交互に配置されている。換言すれば、各チャンネル列32A、32Bは、チャンネル列方向に関して、一方のチャンネル列の各インクチャンネル(例えば20A)が他方のチャンネル列の各インクチャンネル(例えば20B)に対して同一位置とならないようにそれぞれ半ピッチずらして形成されており、各インクチャンネル20A、20Bはいわゆる千鳥状の配置構成となっている。
As shown in FIG. 3, each
各インクチャンネル(溝部)20は互いに平行で同一形状であり、アクチュエータ部材12の前端面12aからその反対側の後端面12bに向かって細長く延設され、前端面12a側は一定の深さに形成され、後端面12bに近づくに従い次第に浅くなるように形成されている(図2参照)。
The ink channels (grooves) 20 are parallel to each other and have the same shape, and are elongated from the
各圧電性材料基板30A、30Bのそれぞれは、2層の圧電体34、36からなる積層構造を有している。各圧電体34、36は、強誘電性を有する圧電材料、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料等で構成され、互いに離反する方向に分極処理が施されている。具体的には、第1の圧電性材料基板30Aを構成する圧電体34A、36Aは、図3に示す矢印P1、P2方向にそれぞれ分極され、第2の圧電性材料基板30Bを構成する圧電体34B、36Bは、図3に示す矢印P3、P4方向にそれぞれ分極されている。
Each of the
各圧電体34、36を構成する圧電材料は同一であってもよいし、異なる圧電材料で構成されていてもよい。但し、圧電体34、36同士の圧電特性を均一にして吐出安定化を図る観点から、各圧電体34、36を構成する圧電材料は同一であることが好ましい。本例では、各圧電体34、36は同一のセラミックス材料(PZT)で構成されている。
The piezoelectric materials constituting each of the
図2に示すように、アクチュエータ部材12の上端面12cにはカバー基板16Aが接合されており、当該カバー基板16Aによって第1の圧電性材料基板30Aに形成される各インクチャンネル20Aの一壁面が構成されている。また、カバー基板16Aよりも後端面12b側には流路形成基板18Aが接合されており、各インクチャンネル20Aは流路形成基板18Aによって構成される共通流路24Aに連通している。なお、カバー基板16A及び流路形成基板18Aは1つの基板で構成されていてもよい(後述するカバー基板16B及び流路形成基板18Aも同様である。)
アクチュエータ部材12の下端面12dにも同様にカバー基板16B及び流路形成基板18Bが接合されており、当該カバー基板16Bによって第2の圧電性材料基板30Bに形成される各インクチャンネル20Bの一壁面が構成されるとともに、各インクチャンネル20Bは流路形成基板18Bによって構成される共通流路24Bに連通している。
As shown in FIG. 2, a
Similarly, a
また、アクチュエータ部材12の前端面12aにはノズルプレート14が接合されている。ノズルプレート14には、各インクチャンネル20にそれぞれ対応する複数のノズル22が千鳥状に形成されており、各ノズル22はそれぞれ対応するインクチャンネル20と連通している。
A
各インクチャンネル(溝部)20の両側壁38の表面(側面)には、駆動電圧印加用の駆動電極40が形成されている。また、インクチャンネル20の浅い領域では側面だけでなく底面にも駆動電極40が形成されている。アクチュエータ部材12の上端面12c及び下端面12dには、各インクチャンネル20よりも後方側(後端面12b側)に取出電極42がインクチャンネル毎にそれぞれ形成されており、各取出電極42はそれぞれ対応するインクチャンネル20の側面に設けられている駆動電極40と電気的に接続されている。
Drive
また、アクチュエータ部材12の上端面12c及び下端面12dの後方側(後端面12b側)には、フレキシブルプリント配線板44(44A、44B)の一端が接合されている。フレキシブルプリント配線板44には、各取出電極42に対応した導電性パターンが形成されており、その導電性パターンと各取出電極42は電気的に接続されている。なお、各フレキシブルプリント配線板44の他端は不図示の駆動回路に接続されており、この駆動回路からフレキシブルプリント配線板44を介して各駆動電極40に所定の駆動電圧が印加されるようになっている。
Further, one end of the flexible printed wiring board 44 (44A, 44B) is joined to the rear side (
次に、上述したインクジェットヘッド10の動作について説明する。
Next, the operation of the above-described
インク供給口26及び共通流路24を介して各インクチャンネル20にインクが充填された状態において、入力画像データに従って、例えば図3(a)に示すインクチャンネル20Aが選択されると、選択されたインクチャンネル20Aの内壁に形成された駆動電極40に所定の駆動電圧が印加される。このとき、インクチャンネル20Aの両側の側壁38、38には各圧電体34A、36Aの分極方向P1、P2と直交する方向Q1、Q2の電界が印加され、各側壁38、38は、圧電厚みすべり効果によってインクチャンネル20Aの内部方向に変形する(図3(b))。この変形によってインクチャンネル20Aの容積が減少してインクチャンネル20A内のインクが加圧され、インクチャンネル20Aに連通するノズル22からインクの一部が液滴(インク液滴)となって吐出される。その後、駆動電圧の印加が停止され、各側壁38、38が元の状態に復帰する際、共通流路24Aからインクチャンネル20Aにインクが供給される。
In the state where each
〔インクジェットヘッドの製造方法〕
次に、本実施形態に係るインクジェットヘッド10の製造方法について図4を参照しながら説明する。図4は図1のインクジェットヘッド10の製造方法を示した工程図である。
[Inkjet head manufacturing method]
Next, a method for manufacturing the
まず、図4(a)に示す積層構造体50を用意する。この積層構造体50は、圧電体と電極が交互に積層されたものであり、図3に示したアクチュエータ部材12の一部を構成する圧電体34A、中間層(電極)28、及び圧電体34Bからなる積層体の両面にそれぞれ分極用の外部電極52A、52Bを形成したものである。なお、外部電極52A、52Bは、後述するように、分極処理後に除去される電極である。
First, the
次に、各圧電体34A、34Bの両面に配置された外部電極52A、52Bと中間層(電極)28を利用して、各圧電体34A、34Bの分極方向が互いに向き合う方向に分極処理を行う。即ち、図4(a)に示す矢印P1、P3方向に各圧電体34A、34Bを分極する。分極処理後、積層構造体50の両面に形成される外部電極52A、52Bは、研磨などの方法により取り除く(図4(b))。
Next, using the
次に、図4(b)に示す積層構造体50の両面にそれぞれ、各圧電体34A、34Bとは反対方向に分極処理された圧電体36A、36Bを接合する(図4(c))。具体的には、積層構造体50の上端面50aに、圧電体34Aの分極方向P1とは反対方向であるP2方向に分極処理された圧電体36Aを接合する。また、積層構造体50の下端面50bにも同様に、圧電体34Bの分極方向P3とは反対方向であるP4方向に分極処理された圧電体36Bを接合する。こうして、中間層(電極)28を挟んで第1の圧電性材料基板30A及び第2の圧電性材料基板30Bが一体化されたアクチュエータ部材12が得られる。
Next, the
次に、図4(c)に示したアクチュエータ部材12の両面(上端面12c及び下端面12d)のそれぞれに、インクチャンネル20A、20Bとなる溝部を複数形成する(図4(d))。このとき、アクチュエータ部材12の前端面(ノズルプレート接合面)12a側から見たときに、第1の圧電性材料基板30Aに形成される各インクチャンネル20Aと第2の圧電性材料基板30Bに形成される各インクチャンネル20Bとが、チャンネル列方向に沿って交互に配置されるように(即ち、各インクチャンネル20A、20Bが千鳥状に配列されるように)形成する。
Next, a plurality of groove portions to be the
次に、図4(e)に示すように、アクチュエータ部材12の両面(上端面12c及び下端面12d)に複数の取出電極42A、42Bをそれぞれ形成する。各取出電極42A、42Bはインクチャンネル毎に設けられ、各インクチャンネル20A、20Bよりも後方側((図4(e)の左端側)にそれぞれ形成される。
Next, as shown in FIG. 4E, a plurality of
次に、図4(f)に示すように、各インクチャンネル20A、20Bとなる溝部の側面に駆動電極40を形成する。このとき、インクチャンネル20A、20Bの浅い領域には側面だけでなく底面にも駆動電極40を形成し、各取出電極42A、42Bとそれぞれ対応するインクチャンネル20A、20Bの側面に形成される駆動電極40と電気的な接続を行う。
Next, as shown in FIG. 4F, the
次に、図4(g)に示すように、アクチュエータ部材12の両面(上端面12c及び下端面12d)のそれぞれに、カバー基板16A、16Bを接合する。これにより、第1の圧電成材料基板30Aに形成される各インクチャンネル20Aの一壁面はカバー基板16Aで構成され、また、第2の圧電成材料基板30Bに形成される各インクチャンネル20Bの一壁面はカバー基板16Bで構成される。
Next, as shown in FIG. 4G, the
次に、図4(h)に示すように、各ノズル22とそれぞれ対応するインクチャンネル20とが連通するように位置合わせした状態で、アクチュエータ部材12の前端面12aにノズルプレート14を接合する。
Next, as shown in FIG. 4 (h), the
次に、図4(i)に示すように、アクチュエータ部材12の両面(上端面12c及び下端面12d)に少なくとも各取出電極42A、42Bの後端部が表面に露出した状態で流路形成基板18A、18Bをそれぞれ接合する。
Next, as shown in FIG. 4I, the flow path forming substrate in a state where at least the rear end portions of the
そして最後に、図4(j)に示すように、アクチュエータ部材12の両面(上端面12c及び下端面12d)の後端部にそれぞれフレキシブルプリント配線板44A、44Bの一端を接合して、フレキシブルプリント配線板44A、44Bに形成される導電性パターンと各取出電極42A、42Bとの電気的な接続を行う。なお、フレキシブルプリント配線板44A、44Bの他端は、不図示の駆動回路に接続する。このようにして、本実施形態に係るインクジェットヘッド10を得ることができる。
Finally, as shown in FIG. 4 (j), one end of each of the flexible printed
本製造方法によれば、アクチュエータ部材12を構成する第1の圧電性材料基板30A及び第2の圧電性材料基板30Bを中間層(電極)28を介して一体的に構成してから、各圧電性材料基板30A、30Bにそれぞれインクチャンネル20A、20Bとなる溝部を形成しているので、各インクチャンネル20A、20Bの位置合わせを必要とする工程が不要となり、各インクチャンネル20A、20Bに対するノズル22の位置精度が向上し、高密度で吐出安定性が高く、高解像度のインクジェットヘッドを実現することができる。
According to this manufacturing method, the first
〔画像形成装置〕
次に、本発明に係る画像形成装置としての一実施形態であるインクジェット記録装置について説明する。
[Image forming apparatus]
Next, an ink jet recording apparatus as an embodiment of the image forming apparatus according to the present invention will be described.
図5は、インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図5に示すように、このインクジェット記録装置100は、インクの色毎に設けられた複数のインクジェットヘッド(以下、単に「ヘッド」と称する。)112K、112C、112M、112Yを有する印字部112と、各ヘッド112K、112C、112M、112Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部114と、記録紙116を供給する給紙部118と、記録紙116のカールを除去するデカール処理部120と、前記印字部112のノズル面(インク吐出面)に対向して配置され、記録紙116の平面性を保持しながら記録紙116を搬送する吸着ベルト搬送部122と、印字部112による印字結果を読み取る印字検出部124と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部126と、を備えている。
FIG. 5 is an overall configuration diagram showing an outline of the ink jet recording apparatus. As shown in FIG. 5, the
図5では、給紙部118の一例としてロール紙(連続用紙)のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
In FIG. 5, a magazine for rolled paper (continuous paper) is shown as an example of the
ロール紙を使用する装置構成の場合、図5のように、裁断用のカッター128が設けられており、該カッター128によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター128は、記録紙116の搬送路幅以上の長さを有する固定刃128Aと、該固定刃128Aに沿って移動する丸刃128Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃128Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃128Bが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター128は不要である。
In the case of an apparatus configuration using roll paper, a
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。 When multiple types of recording paper are used, an information recording body such as a barcode or wireless tag that records paper type information is attached to the magazine, and the information on the information recording body is read by a predetermined reader. Therefore, it is preferable to automatically determine the type of paper to be used and perform ink ejection control so as to realize appropriate ink ejection according to the type of paper.
給紙部118から送り出される記録紙116はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部120においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム130で記録紙116に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
The
デカール処理後、カットされた記録紙116は、吸着ベルト搬送部122へと送られる。吸着ベルト搬送部122は、ローラー131、132間に無端状のベルト133が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部112のノズル面及び印字検出部124のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
After the decurling process, the
ベルト133は、記録紙116の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔(不図示)が形成されている。図5に示したとおり、ローラー131、132間に掛け渡されたベルト133の内側において印字部112のノズル面及び印字検出部124のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー134が設けられており、この吸着チャンバー134をファン135で吸引して負圧にすることによってベルト133上の記録紙116が吸着保持される。
The
ベルト133が巻かれているローラー131、132の少なくとも一方にモータ(不図示)の動力が伝達されることにより、ベルト133は図5において、時計回り方向に駆動され、ベルト133上に保持された記録紙116は、図5の左から右へと搬送される。
The power of a motor (not shown) is transmitted to at least one of the
縁無しプリント等を印字するとベルト133上にもインクが付着するので、ベルト133の外側の所定位置(印字領域以外の適当な位置)にベルト清掃部136が設けられている。ベルト清掃部136の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
Since ink adheres to the
なお、吸着ベルト搬送部122に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
Although a mode using a roller / nip conveyance mechanism instead of the suction
吸着ベルト搬送部122により形成される用紙搬送路上において印字部112の上流側には、加熱ファン140が設けられている。加熱ファン140は、印字前の記録紙116に加熱空気を吹きつけ、記録紙116を加熱する。印字直前に記録紙116を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
A
印字部112には、記録紙116の搬送方向(紙搬送方向)に沿って上流側(図5の左側)から黒(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の順に各色インクに対応したヘッド112K、112C、112M、112Yが配置されている。記録紙116を搬送しつつ各ヘッド112K、112C、112M、112Yからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙116上にカラー画像を形成し得る。
In the
各ヘッド112K、112C、112M、112Yは、それぞれ、図1に示したインクジェットヘッド10に相当するものである。各ヘッド112K、112C、112M、112Yは、記録紙116の全幅(画像形成可能幅)に対応した長さのノズル列を有するライン型ヘッドで構成されている(図6参照)。また、図示は省略するが、インクジェットヘッド10に相当する短尺のヘッドを複数繋ぎ合わせることで長尺化することにより、全体として記録紙116の全幅に対応する長さのノズル列を有するライン型ヘッドで構成されていてもよい。
Each of the
また、各ヘッド112K、112C、112M、112Yは、記録紙116の全幅に満たない長さのノズル列を有する短尺ヘッドを紙搬送方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に往復動作するシリアル型ヘッドで構成されていてもよい。
Each of the
各ヘッド112K、112C、112M、112Yがライン型ヘッドで構成される態様によれば、紙搬送方向(副走査方向)について記録紙116と印字部112を相対的に移動させる動作を一回行うだけで(すなわち、一回の副走査で)記録紙116の全面に画像を記録することができる。これにより、各ヘッド112K、112C、112M、112Yがシリアル型ヘッドで構成される態様に比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
According to the aspect in which each of the
なお本例では、KCMYの標準色(4色)の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出するヘッドを追加する構成も可能である。 In this example, the configuration of KCMY standard colors (four colors) is illustrated, but the combination of ink colors and the number of colors is not limited to this embodiment, and light ink and dark ink are added as necessary. May be. For example, it is possible to add a head for ejecting light-colored ink such as light cyan and light magenta.
図5に示したように、インク貯蔵/装填部114は、各ヘッド112K、112C、112M、112Yに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各ヘッド112K、112C、112M、112Yと連通されている。また、インク貯蔵/装填部114は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段(表示手段、警告音発生手段等)を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
As shown in FIG. 5, the ink storage /
印字検出部124は、印字部112の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ(ラインセンサ等)を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
The
本例の印字検出部124は、少なくとも各ヘッド112K、112C、112M、112Yによるインク吐出幅(画像記録幅)よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤(R)の色フィルタが設けられた光電変換素子(画素)がライン状に配列されたRセンサ列と、緑(G)の色フィルタが設けられたGセンサ列と、青(B)の色フィルタが設けられたBセンサ列とからなる色分解ラインCCDセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
The
印字検出部124は、各色のヘッド112K、112C、112M、112Yにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
The
印字検出部124の後段には、後乾燥部142が設けられている。後乾燥部142は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
A
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。 When printing on porous paper with dye-based ink, the weather resistance of the image is improved by preventing contact with ozone or other things that cause dye molecules to break by blocking the paper holes by pressurization. There is an effect to.
後乾燥部142の後段には、加熱・加圧部144が設けられている。加熱・加圧部144は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー145で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
A heating /
このようにして生成されたプリント物は、排紙部126から排出される。本来プリントすべき本画像(目的の画像を印刷したもの)とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置100では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部126A、126Bへと送るために排紙経路を切り換える選別手段(不図示)が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター(第2のカッター)148によってテスト印字の部分を切り離す。カッター148は、排紙部126の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター148の構造は前述した第1のカッター128と同様であり、固定刃148Aと丸刃148Bとから構成されている。また、図示を省略したが、本画像の排出部126Aには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
The printed matter generated in this manner is outputted from the paper output unit 126. It is preferable that the original image to be printed (printed target image) and the test print are discharged separately. The ink
図7は、インクジェット記録装置100の制御系を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置100は、通信インターフェース170、システムコントローラ172、画像メモリ174、モータドライバ176、ヒータドライバ178、プリント制御部180、画像バッファメモリ182、ヘッドドライバ184等を備えている。
FIG. 7 is a principal block diagram showing a control system of the
通信インターフェース170は、ホストコンピュータ186から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース170にはUSB(Universal Serial Bus)、IEEE1394、イーサネット(登録商標)、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ(不図示)を搭載してもよい。ホストコンピュータ186から送出された画像データは通信インターフェース170を介してインクジェット記録装置100に取り込まれ、一旦画像メモリ174に記憶される。
The
画像メモリ174は、通信インターフェース170を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ172を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ174は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
The image memory 174 is a storage unit that temporarily stores an image input via the
システムコントローラ172は、通信インターフェース170、画像メモリ174、モータドライバ176、ヒータドライバ178等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ172は、中央演算処理装置(CPU)及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ186との間の通信制御、画像メモリ174の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ188やヒータ189を制御する制御信号を生成する。
The
モータドライバ176は、システムコントローラ172からの指示に従ってモータ188を駆動するドライバ(駆動回路)である。ヒータドライバ178は、システムコントローラ172からの指示に従って後乾燥部142その他各部のヒータ189を駆動するドライバである。
The
プリント制御部180は、システムコントローラ172の制御に従い、画像メモリ174内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号(ドットデータ)をヘッドドライバ184に供給する制御部である。プリント制御部180において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ184を介してヘッド112K、112C、112M、112Yのインク滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
The
プリント制御部180には画像バッファメモリ182が備えられており、プリント制御部180における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ182に一時的に格納される。なお、図7において画像バッファメモリ182はプリント制御部180に付随する態様で示されているが、画像メモリ174と兼用することも可能である。また、プリント制御部180とシステムコントローラ172とを統合して1つのプロセッサで構成する態様も可能である。
The
ヘッドドライバ184は、プリント制御部180から与えられるドットデータに基づいて各色のヘッド112K、112C、112M、112Yのインクチャンネル20(図1参照)を駆動するための駆動信号を生成し、インクチャンネル20に対応する駆動電極40に生成した駆動信号を供給する。ヘッドドライバ184にはヘッド112K、112C、112M、112Yの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
The
印字検出部124は、図5で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙116に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況(吐出の有無、打滴のばらつきなど)を検出し、その検出結果をプリント制御部180に提供する。
As described with reference to FIG. 5, the
プリント制御部180は、必要に応じて印字検出部124から得られる情報に基づいてヘッド112K、112C、112M、112Yに対する各種補正を行う。
The
以上、本発明のインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of the inkjet head of this invention, the inkjet head, and the image forming apparatus were demonstrated in detail, this invention is not limited to the above example, In the range which does not deviate from the summary of this invention, it is various improvement. It goes without saying that or may be modified.
10…インクジェットヘッド、12…アクチュエータ部材、14…ノズルプレート、16…カバー基板、18…流路形成基板、20…インクチャンネル、22…ノズル、24…共通流路、26…インク供給口、28…中間層(電極)、30…圧電性材料基板、32…インクチャンネル列、34、36…圧電体、38…側壁、40…電極、42…取出電極、44…フレキシブルプリント配線板、100…インクジェット記録装置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化されたアクチュエータ部材を形成するアクチュエータ部材形成工程と、
前記アクチュエータ部材形成工程が行われた後、前記第1の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第1のチャンネル列を形成するとともに、前記第2の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第2のチャンネル列を形成するインクチャンネル形成工程と、
各インクチャンネルに駆動電極を形成するとともに、該駆動電極に接続した取出電極を形成する電極形成工程と、
前記アクチュエータ部材の両面のそれぞれに、各インクチャンネルの一壁面を構成するとともに各インクチャンネルに連通する共通流路を構成する蓋基板を接合する蓋基板接合工程と、
各インクチャンネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートを前記アクチュエータ部材に接合するノズルプレート接合工程と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 A plurality of parallel ink channels separated by partition walls made of a piezoelectric material are formed, and the partition walls are deformed according to the drive voltage applied to the drive electrodes formed on the inner walls of the ink channels. An ink jet head manufacturing method for discharging ink filled in the ink channel from a nozzle communicating with the ink channel,
An actuator member forming step of forming an actuator member in which the first piezoelectric material substrate and the second piezoelectric material substrate are integrated with an intermediate layer interposed therebetween;
After the actuator member forming step is performed, a first channel row composed of a plurality of ink channels is formed on the first piezoelectric material substrate, and a plurality of ink channels are formed on the second piezoelectric material substrate. An ink channel forming step of forming a second channel row,
An electrode forming step of forming a drive electrode in each ink channel and forming an extraction electrode connected to the drive electrode;
A lid substrate joining step for joining a lid substrate constituting a common flow path communicating with each ink channel while forming one wall surface of each ink channel on each of both surfaces of the actuator member;
A nozzle plate joining step of joining a nozzle plate having a nozzle hole in a portion corresponding to each ink channel to the actuator member;
A method for manufacturing an ink jet head, comprising:
前記第1のチャンネル列を構成する各インクチャンネルと、前記第2のチャンネル列を構成する各インクチャンネルは、チャンネル列を構成する複数のインクチャンネルが配列される方向に関して、一方のチャンネル列のインクチャンネルが他方のチャンネル列のインクチャンネルと同一位置とならないように交互に配置された構成となっていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the ink-jet head according to claim 1,
Each ink channel constituting the first channel row and each ink channel constituting the second channel row are inks of one channel row with respect to the direction in which the plurality of ink channels constituting the channel row are arranged. A method of manufacturing an ink jet head, characterized in that the channels are alternately arranged so that the channels do not coincide with the ink channels of the other channel row.
前記アクチュエータ部材形成工程は、分極用の外部電極を形成する工程と、圧電性材料基板を構成する圧電体を分極処理する工程と、前記分極処理後に前記外部電極を取り除く工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the ink-jet head according to claim 1 or 2,
The actuator member forming step includes a step of forming an external electrode for polarization, a step of polarizing a piezoelectric body constituting a piezoelectric material substrate, and a step of removing the external electrode after the polarization processing. A method for manufacturing an inkjet head.
第1の圧電性材料基板及び第2の圧電性材料基板が中間層を挟んで一体化され、前記第1の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第1のチャンネル列が形成されるとともに、前記第2の圧電性材料基板に複数のインクチャンネルからなる第2のチャンネル列が形成され、さらに、各インクチャンネルに駆動電極が形成されるとともに該駆動電極に電気的に接続される取出電極が形成されたアクチュエータ部材と、
前記アクチュエータ部材の両面のそれぞれに接合され、各インクチャンネルの一壁面を構成するとともに各インクチャンネルに連通する共通流路を構成する蓋基板と、
前記アクチュエータ部材に接合され、各インクチャンネルに対応する部分にノズル孔を有するノズルプレートと、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。 A plurality of parallel ink channels separated by a partition made of a piezoelectric material, and the partition is deformed according to a driving voltage applied to a drive electrode formed on an inner wall of the ink channel. An ink jet head for discharging the ink filled in the ink channel from a nozzle communicating with the ink channel,
The first piezoelectric material substrate and the second piezoelectric material substrate are integrated with an intermediate layer interposed therebetween, and a first channel row composed of a plurality of ink channels is formed on the first piezoelectric material substrate. The second piezoelectric material substrate is formed with a second channel row composed of a plurality of ink channels, and further, a drive electrode is formed in each ink channel and an extraction electrode electrically connected to the drive electrode An actuator member formed with
A lid substrate that is bonded to each of both surfaces of the actuator member, constitutes one wall surface of each ink channel, and constitutes a common flow path communicating with each ink channel;
A nozzle plate joined to the actuator member and having a nozzle hole in a portion corresponding to each ink channel;
An ink jet head comprising:
前記第1のチャンネル列を構成する各インクチャンネルと、前記第2のチャンネル列を構成する各インクチャンネルは、チャンネル列を構成する複数のインクチャンネルが配列される方向に関して、一方のチャンネル列のインクチャンネルが他方のチャンネル列のインクチャンネルと同一位置とならないように交互に配置された構成となっていることを特徴とするインクジェットヘッド。 The inkjet head according to claim 4,
Each ink channel constituting the first channel row and each ink channel constituting the second channel row are inks of one channel row with respect to the direction in which the plurality of ink channels constituting the channel row are arranged. An inkjet head, wherein the channels are arranged alternately so that the channels do not coincide with the ink channels of the other channel row.
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JP2015077736A (en) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | Liquid jet head, liquid jet device, and method for manufacturing liquid jet head |
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