JP2010179590A - Inkjet recording head - Google Patents
Inkjet recording head Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010179590A JP2010179590A JP2009025875A JP2009025875A JP2010179590A JP 2010179590 A JP2010179590 A JP 2010179590A JP 2009025875 A JP2009025875 A JP 2009025875A JP 2009025875 A JP2009025875 A JP 2009025875A JP 2010179590 A JP2010179590 A JP 2010179590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- body plate
- piezoelectric elements
- reinforcing member
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、インクジェット式記録ヘッドに関する。 The present invention relates to an ink jet recording head.
インクジェット法は、高精細な画像を形成することが可能なことから、その用途はさらに拡大している。 Since the inkjet method can form a high-definition image, its application is further expanded.
通常、インクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドとも記する)は、インク滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートと、該ノズル孔に連通する圧力室および該圧力室間を連続させるインク供給路が形成されたボディプレート等から構成される。 In general, an ink jet recording head (hereinafter also simply referred to as a recording head) has a nozzle plate in which a plurality of nozzle holes for discharging ink droplets are formed, a pressure chamber communicating with the nozzle holes, and a continuous space between the pressure chambers. A body plate having an ink supply path to be formed.
そして記録ヘッドは、ボディプレートの圧力室の一部を振動板で構成し、該振動板を、その上に設けられた圧電素子により変形させて圧力室に収容されたインクを加圧してノズル孔からインク滴を吐出させるものである。 In the recording head, a part of the pressure chamber of the body plate is constituted by a vibration plate, and the vibration plate is deformed by a piezoelectric element provided thereon to pressurize the ink stored in the pressure chamber to thereby form a nozzle hole. Ink droplets are ejected from the ink.
ところで、このような構成の記録ヘッドにおいては、記録動作時に、駆動している圧力室以外でも変形が起こり、特に、多数のノズルを同時駆動するときに、クロストーク等が顕著になる。この為、以下のような問題が生じる。
・圧力室の変位ロスが発生し、駆動効率が低下する
・駆動していない隣接圧力室の体積も変化しクロストークが生じる
・駆動するノズル数によってインク吐出特性が変化する
そこで、このような問題に対応する方法として、特許文献1では、ボディプレートの圧力室の一部に構成された振動板に対応する領域に開口を設けた板状の補強部材を、ボディプレートの振動板が構成される側の面に接合することで、記録駆動時に生じる記録ヘッド全体の変形やクロストークを抑える方法が提案されている。
By the way, in the recording head having such a configuration, deformation occurs even in a recording operation other than the pressure chamber being driven, and in particular, when a large number of nozzles are driven simultaneously, crosstalk or the like becomes remarkable. For this reason, the following problems arise.
・ Pressure chamber displacement loss occurs, driving efficiency decreases ・ Volume of adjacent pressure chamber not driven changes, and crosstalk occurs ・ Ink ejection characteristics change depending on the number of nozzles driven. As a method corresponding to the above, in Patent Document 1, a plate-shaped reinforcing member having an opening in a region corresponding to a vibration plate formed in a part of the pressure chamber of the body plate is used as a vibration plate of the body plate. There has been proposed a method of suppressing deformation and crosstalk of the entire recording head that occurs during recording driving by bonding to the side surface.
また、特許文献2では、流路形成基板(ボディプレート)の上に、圧電素子全体を覆う構成の補強部材を設ける方法が提案されている。 Patent Document 2 proposes a method in which a reinforcing member having a configuration covering the entire piezoelectric element is provided on a flow path forming substrate (body plate).
また、特許文献3では、流路形成基板(ボディプレート)の上に、圧電素子の動きの妨げとならないように空間を設けて圧電素子全体を覆う構成の薄膜(補強部材)を設ける方法が提案されている。 Patent Document 3 proposes a method of providing a thin film (reinforcing member) having a structure that covers the entire piezoelectric element by providing a space on the flow path forming substrate (body plate) so as not to hinder the movement of the piezoelectric element. Has been.
ところで、このような記録ヘッドにおいては、近年、より高精度、高精細な描画性能が求められるようになり、1つの記録ヘッドにより多くの圧力室、圧電素子を配置する必要がある。この為、3列や4列配置等のより高密度化された記録ヘッドが検討されている。 By the way, in such a recording head, in recent years, higher precision and higher definition drawing performance has been required, and it is necessary to arrange more pressure chambers and piezoelectric elements in one recording head. For this reason, recording heads with higher density such as a three-row or four-row arrangement have been studied.
しかしながら、このような高密度化された記録ヘッドに対して、特許文献1に記載の記録ヘッドにおいては、振動板に対応する領域に設けられた前述の開口の面積が増加する為、補強部材とボディプレートとの接合面積が減少し、補強部材による効果が低減するという問題がある。 However, in contrast to such a high-density recording head, in the recording head described in Patent Document 1, since the area of the opening provided in the region corresponding to the diaphragm increases, the reinforcing member and There is a problem in that the joint area with the body plate is reduced, and the effect of the reinforcing member is reduced.
また、特許文献2に記載の記録ヘッドにおいては、高密度化により、補強部材と流路形成基板(ボディプレート)との接合面積が減少した場合でも、圧電素子全体を覆うように補強部材を構成とすることで、その剛性を高めるようにしている。しかしながら、補強部材は、その一部が圧電素子と接触する構成である為、圧電素子の動きの妨げになるとともに、補強部材そのものも振動し、記録ヘッド全体が振動するという問題がある。さらに、圧電素子と外部の駆動回路とを接続する為、補強部材の一部から圧電素子を含む上部電極を所定の方向に引き出すという複雑な構成としている。この為、部材や製造工程が複雑化し、高価格化を招くという問題がある。 Further, in the recording head described in Patent Document 2, the reinforcing member is configured to cover the entire piezoelectric element even when the bonding area between the reinforcing member and the flow path forming substrate (body plate) is reduced due to high density. By doing so, the rigidity is increased. However, since a part of the reinforcing member is in contact with the piezoelectric element, there are problems that the movement of the piezoelectric element is hindered, the reinforcing member itself vibrates, and the entire recording head vibrates. Further, in order to connect the piezoelectric element and an external drive circuit, the upper electrode including the piezoelectric element is drawn out from a part of the reinforcing member in a predetermined direction. For this reason, there exists a problem that a member and a manufacturing process become complicated and cause a high price.
また、特許文献3に記載の記録ヘッドにおいては、補強部材の構成を、圧電素子の動きの妨げとならないように空間を設けて圧電素子全体を覆う構成としている。しかしながら、この場合も、特許文献2の場合と同様に、圧電素子を完全に覆う為、圧電素子と外部の駆動回路とを接続する為の引き出し電極を設ける必要があり、同様の問題が発生する。 In the recording head described in Patent Document 3, the reinforcing member is configured to cover the entire piezoelectric element by providing a space so as not to hinder the movement of the piezoelectric element. However, in this case as well, as in the case of Patent Document 2, in order to completely cover the piezoelectric element, it is necessary to provide an extraction electrode for connecting the piezoelectric element and an external drive circuit, and the same problem occurs. .
本発明は、上記課題を鑑みてなされたもので、高密度化されたインクジェット式記録ヘッドにおいても、部材や製造工程の複雑化による高価格化を招くことなく、クロストークの少ないインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems. Even in a high-density ink jet recording head, the ink jet recording head has less crosstalk without incurring high costs due to complication of members and manufacturing processes. The purpose is to provide.
上記目的は、下記の1から6の何れか1項に記載の発明によって達成される。 The above object is achieved by the invention described in any one of 1 to 6 below.
1.インクを吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートと接合され、前記複数のノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室が形成されるボディプレートと、
前記ボディプレートの前記ノズルプレートが接合された面とは反対の面に設けられて前記複数の圧力室の内部にそれぞれ圧力変化を生じさせる複数の圧電素子と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記複数の圧電素子の周囲に空間を設けて該複数の圧電素子を覆い、前記ボディプレートの前記複数の圧電素子が配される面に接合される補強部材を有し、
前記補強部材の前記ボディプレートに接合される面は、該ボディプレートの前記複数の圧電素子が配置されている領域を囲むように形成され、前記補強部材の前記複数の圧電素子を覆う面の該複数の圧電素子に対応する領域には、開口が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
1. A nozzle plate having a plurality of nozzle holes for discharging ink;
A body plate formed with a plurality of pressure chambers joined to the nozzle plate and communicating with the plurality of nozzle holes, respectively;
In the ink jet recording head, comprising: a plurality of piezoelectric elements that are provided on a surface opposite to the surface to which the nozzle plate of the body plate is bonded, and cause pressure changes in the plurality of pressure chambers, respectively.
Providing a space around the plurality of piezoelectric elements to cover the plurality of piezoelectric elements, and having a reinforcing member joined to a surface of the body plate on which the plurality of piezoelectric elements are disposed;
The surface of the reinforcing member to be joined to the body plate is formed so as to surround a region of the body plate where the plurality of piezoelectric elements are disposed, and the surface of the reinforcing member that covers the plurality of piezoelectric elements is formed. An ink jet recording head, wherein an opening is provided in a region corresponding to a plurality of piezoelectric elements.
2.前記複数の圧電素子は、前記開口を通して、該圧電素子に駆動信号を供給する配線基板と電気的に接続されることを特徴とする前記1に記載のインクジェット式記録ヘッド。 2. 2. The ink jet recording head according to item 1, wherein the plurality of piezoelectric elements are electrically connected to a wiring board that supplies a drive signal to the piezoelectric elements through the openings.
3.前記複数の圧電素子と前記配線基板とは、ボンディングワイヤで接続されることを特徴とする前記2に記載のインクジェット式記録ヘッド。 3. 3. The ink jet recording head as described in 2 above, wherein the plurality of piezoelectric elements and the wiring board are connected by bonding wires.
4.前記ボディプレートには、前記圧力室が少なくとも2列形成されていることを特徴とする前記1から3の何れか1項に記載のインクジェット式記録ヘッド。 4). 4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein at least two rows of the pressure chambers are formed on the body plate. 5.
5.前記補強部材の材料は、金属であることを特徴とする前記1から4の何れか1項に記載のインクジェット式記録ヘッド。 5. 5. The ink jet recording head according to any one of items 1 to 4, wherein the material of the reinforcing member is a metal.
6.前記金属は、シリコンまたはステンレスであることを特徴とする前記5に記載のインクジェット式記録ヘッド。 6). 6. The ink jet recording head as described in 5 above, wherein the metal is silicon or stainless steel.
本発明によれば、複数の圧電素子の周囲に空間を設けて該複数の圧電素子を覆い、ボディプレートの複数の圧電素子が配される面に接合される補強部材を備える構成とし、補強部材のボディプレートに接合される面形状を、該ボディプレートの複数の圧電素子が配置されている領域を囲むような形状とした。 According to the present invention, a space is provided around the plurality of piezoelectric elements to cover the plurality of piezoelectric elements, and the reinforcing member is joined to a surface on which the plurality of piezoelectric elements of the body plate are disposed, and the reinforcing member The shape of the surface joined to the body plate was set to surround a region where a plurality of piezoelectric elements of the body plate are arranged.
すなわち、補強部材の形状を、ボディプレートと接合する面と、圧電素子の周囲に空間を設けて該圧電素子を覆う面と、からなる2段構成とした。これにより、3列や4列配置等、記録ヘッドが高密度化し、補強部材とボディプレートとの接合面積が減少した場合にも、補強部材の剛性を確保することができる。その結果、圧電素子の動きを妨げることなく、記録駆動時に生じる記録ヘッド全体の変形やクロストークを抑えることができる。 That is, the shape of the reinforcing member has a two-stage configuration including a surface that joins the body plate and a surface that covers the piezoelectric element by providing a space around the piezoelectric element. As a result, the rigidity of the reinforcing member can be ensured even when the recording head has a high density such as a three-row or four-row arrangement and the joint area between the reinforcing member and the body plate is reduced. As a result, it is possible to suppress deformation and crosstalk of the entire recording head that occurs during recording driving without hindering the movement of the piezoelectric element.
また、補強部材の複数の圧電素子を覆う面の該複数の圧電素子に対応する領域には、開口を設ける構成とした。これにより、圧電素子と該圧電素子に駆動信号を供給する外部に設けられた配線基板や駆動回路とを接続する場合、開口を通して容易に接続することができる。 In addition, openings are provided in regions corresponding to the plurality of piezoelectric elements on the surface of the reinforcing member that covers the plurality of piezoelectric elements. Thereby, when connecting a piezoelectric element and the wiring board and drive circuit which were provided outside which supplies a drive signal to this piezoelectric element, it can connect easily through opening.
これらにより、高密度化されたインクジェット式記録ヘッドにおいても、部材や製造工程の複雑化による高価格化を招くことなく、クロストークの少ないインクジェット式記録ヘッドを提供することができる。 As a result, even in a high-density ink jet recording head, it is possible to provide an ink jet recording head with little crosstalk without incurring high costs due to complication of members and manufacturing processes.
以下図面に基づいて、本発明に係るインクジェット式記録ヘッド(以下、記録ヘッドと略称する)の実施の形態を説明する。尚、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。 Hereinafter, an embodiment of an ink jet recording head according to the present invention (hereinafter abbreviated as a recording head) will be described with reference to the drawings. In addition, although this invention is demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to this embodiment.
最初に本発明の実施形態に係る記録ヘッドの構成を図1を用いて説明する。図1(a)は、記録ヘッド1の概略構成を示す平面図、図1(b)は、図1(a)におけるA−A′断面図である。 First, the configuration of a recording head according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1A is a plan view illustrating a schematic configuration of the recording head 1, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG.
記録ヘッド1は、図1に示すように、ノズルプレート10、中間ガラスプレート20、ボディプレート30、圧電素子50、及び補強部材40等から構成される。
As shown in FIG. 1, the recording head 1 includes a
圧電素子50に外部の図示しない駆動回路から駆動信号が印加されると、圧電素子50は振動し、ボディプレート30の圧力室301の上部壁面に構成される振動板305を励振する。振動板305が励振されると、この振動がボディプレート30に形成されインクを収容する圧力室301の圧力を変化させ、ノズルプレート10に形成されたノズル101のノズル孔101aからインク滴を吐出させる。
When a drive signal is applied to the
ノズルプレート10には、インクを吐出するノズル孔101aを有する複数のノズル101が形成されている。
In the
ノズルプレート10の上面側には、ノズルプレート10のノズル101に対応した位置に孔20aが形成された中間ガラスプレート20が接合されている。
An
中間ガラスプレート20の上面側には、ボディプレート30が接合されている。ボディプレート30の内側には、ノズルプレート10や中間ガラスプレート20を接合することにより構成される圧力室301、インク供給路303等が形成されている。圧力室301は、複数のノズル101に対応してそれぞれ形成されている。圧力室301は、インクを収容し、その上部壁面には、振動板305が構成されている。
A
圧力室301は、記録ヘッド1の動作時に圧電素子50によって振動板305を介して印加される圧力により、ノズルプレート10に形成された複数のノズル孔101aからインクを吐出するようになっている。また、インク供給路303は、図示しないインク供給パイプから供給されたインクを圧力室301に供給する。
The
ノズルプレート10、ボディプレート30の材料としては、シリコンやガラス、セラミックス材料等を用いることができるがシリコン好適である。また、中間ガラスプレート20の材料としては、硼珪酸ガラス等を用いることができる。尚、ノズルプレート10と中間ガラスプレート20及びボディプレート30の接合には、例えば、特開2008−940号公報に開示されている陽極接合技術等を用いることができる。
As materials for the
ボディプレート30の上面側には、複数の圧電素子50に共通する電極である共通電極501が成膜されている。
A
圧電素子50は、振動板305を変形させるものであり、複数の振動板305にそれぞれ対応し、振動板305の上面側に共通電極501を挟んで設けられている。すなわち、圧電素子50は、複数のノズル101、及び圧力室301に対応するように複数設けられている。
The
圧電素子50は、共通電極501側から順に図示しない圧電体膜、電極503を積層した構造となっている。共通電極501は、例えば0.2μm程度の厚さの金属膜からなるものであり、圧電体膜は、例えば1μm程度の厚さのPZT膜等からなるものであり、電極503は、例えば0.1μm程度の厚さの金属膜からなるものである。また、電極503の上面側には、後述のフレキシブルプリント配線基板70(以下、FPC70とも記する)と接続する為の、図示しない例えばAu等からなるリード電極が形成されている。
The
ボディプレート30の上面側には、共通電極501を挟んで、記録ヘッド1全体を補強する補強部材40が接合されている。
A reinforcing
補強部材40は、図1(b)に示すように、複数の圧電素子50の周囲に空間を設けて該複数の圧電素子50を覆って、ボディプレート30に接合されている。
As illustrated in FIG. 1B, the reinforcing
補強部材40のボディプレート30に接合される面は、図1(a)に示すように、該ボディプレート30の複数の圧電素子50が配置されている領域A1を囲むように形成されている。すなわち、補強部材40のボディプレート30に接合される面は、ボディプレート30の領域A1を除く領域に対応する形状に形成されている。また、補強部材40の複数の圧電素子50を覆う面の該複数の圧電素子50に対応する領域A2には、開口40aが設けられている。
The surface joined to the
補強部材40の材料としては、例えば厚さ200〜500μm程度のステンレス、シリコン等の金属やガラス等の高い剛性を有する材料を用いることができる。
As a material of the reinforcing
次に、圧電素子50と該圧電素子50に駆動信号を供給するFPC70との接続方法を図2を用いて説明する。図2(a)は、圧電素子50とFPC70との接続方法を示す平面模式図、図2(b)は、図2(a)におけるA−A′断面模式図である。
Next, a method of connecting the
FPC70は、補強部材40の上面の端部に固定されている。そして、FPC70の図示しない接続端子と圧電素子50の図示しないリード電極との間は、補強部材40に設けられた開口40aを通して、ボンディングワイヤ701によって接続されている。尚、図2では、補強部材40の上面の一方の端部に配置されたFPC70を図示しているが、実際には、他方の端部にも配置され、対応する圧電素子50とボンディングワイヤ701によって接続されている。
The
このように本発明の実施形態に係る記録ヘッド1においては、複数の圧電素子50の周囲に空間を設けて該複数の圧電素子50を覆い、ボディプレート30の複数の圧電素子50が配される面に接合される補強部材40を備える構成とし、補強部材40のボディプレート30に接合される面形状を、該ボディプレート30の複数の圧電素子50が配置されている領域A1を囲むような形状とした。
As described above, in the recording head 1 according to the embodiment of the invention, the plurality of
すなわち、補強部材40の形状を、ボディプレート30と接合する面と、圧電素子50の周囲に空間を設けて該圧電素子50を覆う面と、からなる2段構成とした。これにより、3列や4列配置等、記録ヘッド1が高密度化し、補強部材40とボディプレート30との接合面積が減少した場合にも、補強部材40の剛性を確保することができる。その結果、圧電素子50の動きを妨げることなく、記録駆動時に生じる記録ヘッド1全体の変形やクロストークを抑えることができる。
That is, the reinforcing
また、補強部材40の複数の圧電素子50を覆う面の該複数の圧電素子50に対応する領域A2には、開口40aを設ける構成とした。これにより、圧電素子50と該圧電素子50に駆動信号を供給する外部に設けられたFPC70とを接続する場合、開口40aを通して容易に接続することができる。
In addition, an
これらにより、高密度化されたインクジェット式記録ヘッドにおいても、部材や製造工程の複雑化による高価格化を招くことなく、クロストークの少ないインクジェット式記録ヘッドを提供することができる。 As a result, even in a high-density ink jet recording head, it is possible to provide an ink jet recording head with little crosstalk without incurring high costs due to complication of members and manufacturing processes.
1 インクジェット式記録ヘッド(記録ヘッド)
10 ノズルプレート
101 ノズル
101a ノズル孔
20 中間ガラスプレート
30 ボディプレート
301 圧力室
303 インク供給路
305 振動板
40 補強部材
40a 開口
50 圧電素子
501 共通電極
503 電極
70 フレキシブルプリント配線基板(FPC)
701 ボンディングワイヤ
1 Inkjet recording head (recording head)
DESCRIPTION OF
701 Bonding wire
Claims (6)
前記ノズルプレートと接合され、前記複数のノズル孔にそれぞれ連通する複数の圧力室が形成されるボディプレートと、
前記ボディプレートの前記ノズルプレートが接合された面とは反対の面に設けられて前記複数の圧力室の内部にそれぞれ圧力変化を生じさせる複数の圧電素子と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記複数の圧電素子の周囲に空間を設けて該複数の圧電素子を覆い、前記ボディプレートの前記複数の圧電素子が配される面に接合される補強部材を有し、
前記補強部材の前記ボディプレートに接合される面は、該ボディプレートの前記複数の圧電素子が配置されている領域を囲むように形成され、前記補強部材の前記複数の圧電素子を覆う面の該複数の圧電素子に対応する領域には、開口が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 A nozzle plate having a plurality of nozzle holes for discharging ink;
A body plate formed with a plurality of pressure chambers joined to the nozzle plate and communicating with the plurality of nozzle holes, respectively;
In the ink jet recording head, comprising: a plurality of piezoelectric elements that are provided on a surface opposite to the surface to which the nozzle plate of the body plate is bonded, and cause pressure changes in the plurality of pressure chambers, respectively.
Providing a space around the plurality of piezoelectric elements to cover the plurality of piezoelectric elements, and having a reinforcing member joined to a surface of the body plate on which the plurality of piezoelectric elements are disposed;
The surface of the reinforcing member to be joined to the body plate is formed so as to surround a region of the body plate where the plurality of piezoelectric elements are disposed, and the surface of the reinforcing member that covers the plurality of piezoelectric elements is formed. An ink jet recording head, wherein an opening is provided in a region corresponding to a plurality of piezoelectric elements.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009025875A JP5439657B2 (en) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | Inkjet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009025875A JP5439657B2 (en) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | Inkjet recording head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010179590A true JP2010179590A (en) | 2010-08-19 |
JP5439657B2 JP5439657B2 (en) | 2014-03-12 |
Family
ID=42761498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009025875A Active JP5439657B2 (en) | 2009-02-06 | 2009-02-06 | Inkjet recording head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5439657B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013147007A (en) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Konica Minolta Inc | Ink jet head |
JP2014019110A (en) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Ricoh Co Ltd | Droplet discharge head and image forming apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04269547A (en) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording head |
JPH05286142A (en) * | 1992-04-13 | 1993-11-02 | Fujitsu Ltd | Ink jet head and production thereof |
JP2003291339A (en) * | 2002-04-03 | 2003-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ink jet head and ink jet recorder |
-
2009
- 2009-02-06 JP JP2009025875A patent/JP5439657B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04269547A (en) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Seiko Epson Corp | Ink jet recording head |
JPH05286142A (en) * | 1992-04-13 | 1993-11-02 | Fujitsu Ltd | Ink jet head and production thereof |
JP2003291339A (en) * | 2002-04-03 | 2003-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ink jet head and ink jet recorder |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013147007A (en) * | 2012-01-23 | 2013-08-01 | Konica Minolta Inc | Ink jet head |
JP2014019110A (en) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Ricoh Co Ltd | Droplet discharge head and image forming apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5439657B2 (en) | 2014-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6736907B2 (en) | Liquid ejection device and wiring member | |
JP6504348B2 (en) | Head and liquid ejecting apparatus | |
JP4956929B2 (en) | Actuator, droplet discharge head, droplet discharge device, and actuator manufacturing method | |
JP2006044222A (en) | Inkjet recording head and inkjet recorder | |
JP4929755B2 (en) | Droplet discharge head and droplet discharge apparatus | |
KR101101467B1 (en) | Inkjet head and method of menufacturing inkjet head | |
JP2009119647A (en) | Inkjet recording head | |
JP5439657B2 (en) | Inkjet recording head | |
WO2018020910A1 (en) | Ink jet head | |
JP5151648B2 (en) | Inkjet recording head | |
JP2009149026A (en) | Manufacturing method for liquid transfer device, and liquid transfer device | |
JP4843954B2 (en) | Liquid transfer device | |
JP2007152698A (en) | Liquid jet head and liquid jet apparatus | |
US20110032314A1 (en) | Inkjet head and method of manufacturing the same | |
JP5446582B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2012030572A (en) | Inkjet head assembly, and production method thereof | |
JP5151844B2 (en) | Droplet ejection head, droplet discharge device, and image forming apparatus | |
JP2009220371A (en) | Liquid ejection head and liquid ejection device | |
JP2007320170A (en) | Manufacturing method of piezoelectric device unit, piezoelectric device unit and liquid jet head using the same unit | |
US7731340B2 (en) | Liquid jetting head and method for producing the same | |
JP2006305987A (en) | Liquid droplet discharging head, and manufacturing method for liquid droplet discharging head | |
JP4380255B2 (en) | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus | |
JP2012213957A (en) | Liquid injection head, and method of manufacturing the same | |
JP2009034862A (en) | Liquid jetting head unit and liquid jetting apparatus | |
JP5011723B2 (en) | Droplet discharge head and droplet discharge apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110915 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130212 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130402 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130701 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130716 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20131118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5439657 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |