JP2010160025A - Spectrophotometer - Google Patents

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智生 篠山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To move an optical element such as an optical filter for the removal of higher-order light in such a way as to be driven by a drive mechanism for the rotation of a diffraction grating without having to provide a dedicated actuator, a circuit for controlling this, software, or others as a mechanism for detachably inserting the optical element on an optical path. <P>SOLUTION: A drive arm 20 integrated with the diffraction grating 10 of a spectrometer and driven to rotate with the diffraction grating 10 is provided. A support for supporting the optical element 28 detachably arranged on the optical path is a driven arm 22. The driven arm 22 is arranged at a position in contact with the drive arm 20 within the range of rotational angles outside the range of rotation for the wavelength scanning of the diffraction grating 10. The driven arm is constituted in such a way as to be driven by contact with the drive arm 20 and displaced so as to move the optical element 28 between a position on the optical path and a position outside the optical path. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は試料に測定光を照射し、その透過光又は反射光の波長別強度分布を光検出器により測定して試料の定量分析又は定性分析を行う分散型分光光度計に関するものである。   The present invention relates to a dispersive spectrophotometer for performing quantitative analysis or qualitative analysis of a sample by irradiating a sample with measurement light and measuring the intensity distribution of the transmitted light or reflected light according to wavelength with a photodetector.

分散型分光光度計では試料に照射する測定光又は試料を透過もしくは反射した測定光を波長別に測定するために測定光の波長走査を行う。測定光の波長走査には、試料に照射する前に波長走査を行う前分光型と、試料を透過又は反射した測定光の波長走査を行う後分光型がある。   In the dispersive spectrophotometer, the wavelength of the measurement light is scanned in order to measure the measurement light irradiated to the sample or the measurement light transmitted or reflected through the sample for each wavelength. The wavelength scanning of the measurement light includes a pre-spectral type that performs wavelength scanning before irradiating the sample, and a post-spectral type that performs wavelength scanning of the measurement light transmitted or reflected by the sample.

波長走査を行うために、測定光の光路上に分光器が配置される。分光器は回折格子を内蔵し、回折格子をモータにより直接に又はプーリなどを介して間接的に回転させる。   In order to perform wavelength scanning, a spectrometer is disposed on the optical path of the measurement light. The spectroscope has a built-in diffraction grating and rotates the diffraction grating directly by a motor or indirectly through a pulley or the like.

回折格子により波長分散された特定の波長光を、スリットを介して取り出すと、その取り出された光にはその波長の整数倍の周波数をもつ高次光が含まれる。高次光は回折格子に由来するものである。高次光が測定の妨げになる程度に含まれる場合には光学フィルタを挿入することによって高次光を除去することが行われている。通常は長波長側の測定を行うときに高次光を除去する光学フィルタが光路上に挿入される(特許文献1−4参照。)。   When specific wavelength light wavelength-dispersed by the diffraction grating is extracted through the slit, the extracted light includes high-order light having a frequency that is an integral multiple of the wavelength. Higher order light comes from the diffraction grating. When high-order light is included to an extent that hinders measurement, high-order light is removed by inserting an optical filter. Normally, an optical filter that removes high-order light when performing measurement on the long wavelength side is inserted on the optical path (see Patent Documents 1-4).

そのような光学フィルタは、必要な場合にのみ所定の波長特性のものを光路上に挿入できるように光路に対して着脱可能にするために、光路への挿入と光路からの退避が可能なアクチュエータに支持されている。複数の光学フィルタを使用する場合には、アクチュエータはそれらの光学フィルタを切り替えて光路上に挿入できる構成をとっている。   Such an optical filter is an actuator that can be inserted into the optical path and retracted from the optical path so that a filter with a predetermined wavelength characteristic can be inserted into the optical path only when necessary. It is supported by. In the case where a plurality of optical filters are used, the actuator is configured such that these optical filters can be switched and inserted into the optical path.

分光光度計の光路上に着脱可能に配置される光学素子としては、高次光を除去するための光学フィルタのほかに、光量を調整するためのアパーチャや調光用メッシュなどの光量調整素子、又は分光器の波長校正のための特定波長の光を発生する発光素子も用いられる。本発明は光学フィルタ以外のそのような光学素子も対象としている。   Optical elements that are detachably disposed on the optical path of the spectrophotometer include an optical filter for removing higher-order light, a light amount adjusting element such as an aperture for adjusting the light amount, a light adjusting mesh, or a spectroscopic device. A light emitting element that generates light of a specific wavelength for wavelength calibration of the device is also used. The present invention is also directed to such optical elements other than optical filters.

特開平5−133808号公報JP-A-5-133808 特開平6−138023号公報JP-A-6-138823 特開2006−91204号公報JP 2006-91204 A WO2003/004982号公報WO2003 / 004982

従来の分光光度計では、高次光を除去するための光学フィルタを測定光の光路上に挿入したり光路から退避させたりするためのアクチュエータは波長走査の動作と連動して駆動されるが、機構としては波長走査のために回折格子を回転させる機構とは独立したものである。   In a conventional spectrophotometer, an actuator for inserting an optical filter for removing higher-order light into the optical path of the measurement light or withdrawing it from the optical path is driven in conjunction with the operation of wavelength scanning. Is independent of the mechanism for rotating the diffraction grating for wavelength scanning.

高次光を除去する光学フィルタは、波長走査に対して連続的に駆動が必要なものではなく、特定の波長より長波長側で光路に挿入し、その波長より短波長側で光路から退避させるように離散的に切り換える動作で十分である。特に、測定する波長範囲が狭い場合には1つの光学素子を測定光路上に存在させるか、させないかのいずれかですむ。広い波長範囲で光学フィルタを挿入する場合も、2〜3種類の光学フィルタを所定の波長で切り換えるだけですむ。   An optical filter that removes high-order light does not need to be continuously driven for wavelength scanning, and is inserted into the optical path on the longer wavelength side than the specific wavelength and retracted from the optical path on the shorter wavelength side than that wavelength. A discrete switching operation is sufficient. In particular, when the wavelength range to be measured is narrow, one optical element may or may not be present on the measurement optical path. Even when an optical filter is inserted in a wide wavelength range, it is only necessary to switch between two or three types of optical filters at a predetermined wavelength.

また、光量調整素子や波長校正用の発光素子も必要な場合にのみ光路に挿入されるだけである。   Further, a light amount adjusting element and a light emitting element for wavelength calibration are only inserted into the optical path when necessary.

このように、それほど複雑な駆動を必要としない光学素子の移動のために専用のアクチュエータを設けると、その制御回路及び適切に制御するためのソフトウエアも必要になる。その結果、装置コストや開発コストの上昇を招く。   As described above, when a dedicated actuator is provided for moving an optical element that does not require such a complicated drive, its control circuit and software for appropriate control are also required. As a result, the apparatus cost and the development cost increase.

本発明は光路に対して着脱可能に配置される光学素子の移動のための機構を簡略化することを目的とするものである。   It is an object of the present invention to simplify a mechanism for moving an optical element that is detachably disposed with respect to an optical path.

そこで、本発明は高次光を除去するための光学フィルタなどの光学素子を光路に着脱可能に挿入するための機構として、専用のアクチュエータやそれを制御する回路やソフトウエア類を設けることをせず、回折格子を回転させるための駆動機構に従動して光学素子を移動させるようにしたものである。   Therefore, the present invention provides a mechanism for detachably inserting an optical element such as an optical filter for removing high-order light in the optical path without providing a dedicated actuator, a circuit or software for controlling the actuator, The optical element is moved by following a drive mechanism for rotating the diffraction grating.

すなわち、本発明の分光光度計は、複数波長を含む光を発生する光源ユニットと、光源ユニットからの光が測定光として試料室に照射されて試料室内の試料から発生する透過光又は反射光を検出する光検出器と、光源ユニットから試料室に至る光路上又は試料室から光検出器に至る光路上に配置され、モータにより回転駆動される波長分散素子が内蔵された分光器と、分光器内の波長分散素子と一体化され、波長分散素子とともに回転駆動される駆動アームと、測定光の光路上又はそれから分岐した光路上に着脱可能に配置される光学素子と、前記光学素子を支持し、波長分散素子の波長走査のための回転範囲外の回転角度範囲において前記駆動アームと当接する位置に配置され、前記駆動アームの当接により駆動されて前記光学素子を光路上の位置と光路から外れた位置との間で移動させるように変位可能に構成されている従動支持体と、波長分散素子による測定光の波長走査のための回転駆動と前記駆動アームによる前記光学素子の移動のための回転駆動を行うために前記モータの駆動を制御する制御部を備えている。   That is, the spectrophotometer of the present invention includes a light source unit that generates light including a plurality of wavelengths, and transmitted light or reflected light generated from a sample in the sample chamber when light from the light source unit is irradiated as measurement light to the sample chamber. A photodetector for detection, a spectrometer having a built-in wavelength dispersion element disposed on an optical path from the light source unit to the sample chamber or an optical path from the sample chamber to the photodetector, and driven to rotate by a motor; A driving arm that is integrated with the wavelength dispersion element and is rotationally driven together with the wavelength dispersion element, an optical element that is detachably disposed on the optical path of the measurement light, or on an optical path branched from the measurement light, and supports the optical element The optical dispersion element is disposed at a position in contact with the drive arm in a rotation angle range outside the rotation range for wavelength scanning of the wavelength dispersion element, and is driven by the contact of the drive arm to pass the optical element to the optical path. A follower support configured to be displaceable so as to be moved between the position of the optical path and a position off the optical path, rotational drive for wavelength scanning of measurement light by a wavelength dispersion element, and the optical element by the drive arm A controller for controlling the driving of the motor in order to perform rotational driving for the movement of the motor.

本発明では高次光を除去するための光学フィルタなどの光学素子を移動させるための専用の駆動機構を設けないようにしたので、それだけコストが低下するとともに、そのためのスペースも不要となり機器構成の自由度が向上する。   In the present invention, since a dedicated drive mechanism for moving an optical element such as an optical filter for removing higher-order light is not provided, the cost is reduced accordingly, and a space for that is not required, and the degree of freedom of equipment configuration is reduced. Will improve.

駆動機構にはモータなどの駆動源が必要であるが、そのような専用の駆動源に由来する電磁波や発熱の影響もなくなる。   The drive mechanism requires a drive source such as a motor, but the influence of electromagnetic waves and heat generated from such a dedicated drive source is eliminated.

一実施例を表す概略平面図である。It is a schematic plan view showing an example. 同実施例における光学素子着脱動作を示す部分平面図である。It is a fragmentary top view which shows the optical element attachment / detachment operation | movement in the Example. 同実施例における光学素子着脱を説明するためのスペクトルを表すグラフである。It is a graph showing the spectrum for demonstrating attachment / detachment of the optical element in the Example. 同実施例における光学素子着脱を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the optical element attachment / detachment in the Example. 図4のフローチャートにおける光学フィルタ着脱時のサブルーチンの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement of the subroutine at the time of the optical filter attachment / detachment in the flowchart of FIG. 他の実施例における光学素子着脱に関係する部分の平面図である。It is a top view of the part relevant to the optical element attachment / detachment in another Example.

図1は一実施例を表す。ここでは光源ユニット2から発生した光を分光器4で分光して所定の波長を取り出し、試料室6の試料に照射し、試料を透過又は反射した光を光検出器8で検出する前分光型の分光光度計を例にして説明する。分光器4が試料室6と光検出器8の間に配置される後分光型であっても分光器4内の構成は同じである。本発明は前分光型と後分光型の両方を対象とする。   FIG. 1 represents an embodiment. Here, the light generated from the light source unit 2 is split by the spectroscope 4 to extract a predetermined wavelength, the sample in the sample chamber 6 is irradiated, and the pre-spectral type in which the light transmitted through or reflected by the sample is detected by the photodetector 8. The spectrophotometer will be described as an example. Even if the spectroscope 4 is a post-spectral type in which the spectroscope 4 is disposed between the sample chamber 6 and the photodetector 8, the configuration in the spectroscope 4 is the same. The present invention covers both the pre-spectral type and the post-spectral type.

図1では光学系は概略的に示されており、図に示されていない集光レンズその他の光学素子の図示は省略されている。   In FIG. 1, the optical system is schematically shown, and illustration of a condensing lens and other optical elements not shown in the drawing is omitted.

光源ユニット2は連続波長光又は複数の波長光を発生する1又は複数の光源を備えている。そのような光源としては測定波長域によっては単一のタングステンヨウ素ランプを挙げることができる。波長域が広い場合は例えばタングステンヨウ素ランプと重水素ランプの2種類のランプを備え、それらのランプからの光を光源切替えミラーにより切り替えていずれかのランプからの光を測定光路上に導くようにする。   The light source unit 2 includes one or a plurality of light sources that generate continuous wavelength light or a plurality of wavelength lights. As such a light source, a single tungsten iodine lamp can be mentioned depending on a measurement wavelength region. When the wavelength range is wide, for example, two types of lamps, a tungsten iodine lamp and a deuterium lamp, are provided, and light from these lamps is switched by a light source switching mirror so that the light from one of the lamps is guided onto the measurement optical path To do.

分光器4内には波長分散素子として回折格子10が内蔵されている。この例では、回折格子10として集光機能をもつ凹面回折格子を使用しているが、平面型の回折格子を使用し、光路上に集光ミラーを配置することにより集光させるようにしてもよい。光源ユニット2からの光を回折格子10に導くために分光器4には入口スリット12が設けられ、回折格子10で分散した光から所定の波長の光を選択するために分光器4には出口スリット14が設けられている。出口スリット14で選択された単一波長の光が試料室6内の試料セル又はフローセルに導かれる。   A diffraction grating 10 is built in the spectrometer 4 as a wavelength dispersion element. In this example, a concave diffraction grating having a condensing function is used as the diffraction grating 10, but a flat type diffraction grating is used and light is condensed by arranging a condensing mirror on the optical path. Good. An entrance slit 12 is provided in the spectroscope 4 to guide light from the light source unit 2 to the diffraction grating 10, and an exit is provided to the spectroscope 4 to select light having a predetermined wavelength from the light dispersed by the diffraction grating 10. A slit 14 is provided. Light having a single wavelength selected by the exit slit 14 is guided to a sample cell or a flow cell in the sample chamber 6.

回折格子10は回転することにより光源からの光を波長分散させる。回折格子10の回転により出口スリット14から出射する測定光の波長が走査されていく。回折格子10を回転させるために回折格子10は回転可能な支持台16に取りつけられている。支持台16を介して回折格子10を回転させるために支持台16にはモータ18が設けられている。支持台16はモータ18の回転軸に取りつけられた直接駆動型であってもよく、モータ18の回転軸と支持台16の間がプーリとベルトと連結された間接駆動型であってもよい。   The diffraction grating 10 rotates to disperse light from the light source. The wavelength of the measurement light emitted from the exit slit 14 is scanned by the rotation of the diffraction grating 10. In order to rotate the diffraction grating 10, the diffraction grating 10 is attached to a rotatable support 16. A motor 18 is provided on the support base 16 in order to rotate the diffraction grating 10 via the support base 16. The support base 16 may be a direct drive type attached to the rotation shaft of the motor 18 or may be an indirect drive type in which a space between the rotation shaft of the motor 18 and the support base 16 is connected to a pulley and a belt.

支持台16には駆動アーム20が一体として取り付けられている。駆動アーム20は光路上に光学フィルタ28を出し入れするための従動アーム22と当接して従動アーム22を駆動するためのものである。   A driving arm 20 is integrally attached to the support base 16. The drive arm 20 drives the driven arm 22 in contact with the driven arm 22 for putting the optical filter 28 in and out of the optical path.

光学フィルタ28は測定光の長波長側の測定を行うときに光源ユニット2から発生する光から高次光となる波長成分を除去するためのものである。   The optical filter 28 is for removing a wavelength component that becomes higher-order light from the light generated from the light source unit 2 when performing measurement on the long wavelength side of the measurement light.

従動アーム22は分光器4内に設けられ、入口スリット12と回折格子10の間の光路3上に光学フィルタ28を挿入したり光路3から退避させたりするように、光学フィルタ28を光路3上に着脱可能に配置するための機構である。従動アーム22は支点24を中心として回動できるように取りつけられている。従動アーム22はL型をなし、その一方のアームの先端に光学フィルタ28が固定されている。従動アーム22の他方のアームが一方側に回動したときに当接する位置決めピン26aと、他方側に回動したときに当接する位置決めピン26bが設けられている。従動アーム22のその他方のアームには、その他方のアームが位置決めピン26aと26bのいずれに当接した状態でも安定した姿勢を保つように、従動アーム22と固定点32の間に引っ張りばね30が張られている。   The driven arm 22 is provided in the spectroscope 4, and the optical filter 28 is placed on the optical path 3 so that the optical filter 28 is inserted into or retracted from the optical path 3 between the entrance slit 12 and the diffraction grating 10. It is a mechanism for arrange | positioning so that attachment or detachment is possible. The driven arm 22 is attached so as to be able to rotate around a fulcrum 24. The driven arm 22 is L-shaped, and an optical filter 28 is fixed to the tip of one of the arms. A positioning pin 26a that contacts when the other arm of the driven arm 22 rotates to one side and a positioning pin 26b that contacts when the other arm rotates to the other side are provided. The other arm of the follower arm 22 includes a tension spring 30 between the follower arm 22 and the fixed point 32 so that the other arm maintains a stable posture even when it is in contact with either of the positioning pins 26a and 26b. Is stretched.

従動アーム22は駆動アーム20と当接することにより駆動アーム20に押されて変位する。従動アーム22が位置決めピン26aと当接する位置にあるときに光学フィルタ28が光路3上に配置され、従動アーム22が他方の位置決めピン26bと当接する位置にあるときに光学フィルタ28が光路3から退避する位置に移動させられる。   The driven arm 22 is pushed and displaced by the drive arm 20 by contacting the drive arm 20. The optical filter 28 is disposed on the optical path 3 when the driven arm 22 is in contact with the positioning pin 26a, and the optical filter 28 is removed from the optical path 3 when the driven arm 22 is in contact with the other positioning pin 26b. It is moved to the retreat position.

光検出器8は測定する波長範囲で感度をもつようなフォトダイオード又は光電子増倍管である。   The photodetector 8 is a photodiode or a photomultiplier having sensitivity in the wavelength range to be measured.

回折格子10と駆動アーム20の回転はモータ18により駆動され、モータ18の駆動制御は制御部34によって自動的に行われる。制御部34はこの分光光度計の専用のコンピュータにより、又は汎用のパーソナルコンピュータにより実現することができる。   The rotation of the diffraction grating 10 and the drive arm 20 is driven by the motor 18, and the drive control of the motor 18 is automatically performed by the control unit 34. The control unit 34 can be realized by a computer dedicated to the spectrophotometer or a general-purpose personal computer.

図2(A),(B)は駆動アーム20によって従動アーム22を移動させるときの動作を示したものである。光学フィルタ28を図1のように光路3上にある状態から光路3を外れた位置に退避させる場合は、図1の状態から図2(A)の状態まで時計回りに駆動アーム20を回折格子10とともに約270度回転させる。この回転範囲は測定波長範囲に対する回折格子10の駆動範囲を越えた範囲である。さらに、図2(A)の状態から駆動アーム20が従動アーム22を図で左側から押し、従動アーム22がばね30の引っ張り力により反時計方向に回転し始める位置よりさらにいくらか回転させると、従動アーム22は駆動アーム20の力に頼ることなく、ばね30の引っ張り力により反対側の位置決めピン26bに当接するまで回転する。その結果として図2(B)に示されるように、光学フィルタ28は光路3上から外れた位置に移動する。その後、回折格子10を反時計方向に反転駆動させて元の波長測定範囲にまで復帰させ、以降の波長走査測定を続行させる。   2A and 2B show the operation when the driven arm 22 is moved by the drive arm 20. FIG. When the optical filter 28 is retracted to a position off the optical path 3 from the state on the optical path 3 as shown in FIG. 1, the drive arm 20 is moved in the clockwise direction from the state shown in FIG. 1 to the state shown in FIG. Rotate approximately 270 degrees with 10. This rotation range is a range beyond the driving range of the diffraction grating 10 with respect to the measurement wavelength range. Furthermore, when the drive arm 20 pushes the driven arm 22 from the left side in the drawing in the state of FIG. 2A and the driven arm 22 further rotates from the position where it starts to rotate counterclockwise by the pulling force of the spring 30, The arm 22 rotates without depending on the force of the drive arm 20 until it abuts against the positioning pin 26b on the opposite side by the pulling force of the spring 30. As a result, as shown in FIG. 2B, the optical filter 28 moves to a position off the optical path 3. Thereafter, the diffraction grating 10 is driven reversely in the counterclockwise direction to return to the original wavelength measurement range, and the subsequent wavelength scanning measurement is continued.

光学フィルタ28を光路3上に挿入するときは、前述とは逆に測定波長範囲に対応する駆動範囲を超えて駆動アーム20を回折格子10とともに反時計方向に回転させ、図2(B)に示されるように、駆動アーム20が従動アーム22を図で右側から押して従動アーム22を時計回りに回転させ、従動アーム22がばね30の引っ張り力によって駆動アーム20の力によらなくても位置決めピン26aの方向に移動する位置よりいくらか越える位置まで押す。これにより、従動アーム22はばね30の力によって位置決めピン26aに当接する位置まで回転させられ、光学フィルタ28は光路3上の位置に挿入される。その後、同様にして回折格子は元の測定波長範囲にまで復帰させて以降の波長走査測定を続行させる。   When the optical filter 28 is inserted into the optical path 3, the drive arm 20 is rotated counterclockwise together with the diffraction grating 10 beyond the drive range corresponding to the measurement wavelength range, as shown in FIG. As shown, the drive arm 20 pushes the follower arm 22 from the right side in the drawing to rotate the follower arm 22 clockwise, and the follower arm 22 does not depend on the force of the drive arm 20 due to the pulling force of the spring 30. Push to a position slightly beyond the position moving in the direction of 26a. As a result, the driven arm 22 is rotated to the position where it abuts against the positioning pin 26 a by the force of the spring 30, and the optical filter 28 is inserted at a position on the optical path 3. Thereafter, similarly, the diffraction grating is returned to the original measurement wavelength range and the subsequent wavelength scanning measurement is continued.

図1に戻ってこの分光光度計の動作について説明すると、光源ユニット2から入口スリット12を通して導入された白色光又は複数波長光は、回折格子10に入射し、波長分散される。そのうちの特定の波長範囲の光(ほぼ単色光)が出口スリット14を通過して試料室6中の試料に照射され、その透過光又は反射光が光検出器8に導かれて分光分布強度測定が行なわれる。出口スリット14から取出されるほぼ単色光の波長は回折格子10の回転により選択される。   Returning to FIG. 1, the operation of the spectrophotometer will be described. White light or a plurality of wavelengths introduced from the light source unit 2 through the entrance slit 12 enters the diffraction grating 10 and is wavelength-dispersed. Among them, light in a specific wavelength range (substantially monochromatic light) passes through the exit slit 14 to irradiate the sample in the sample chamber 6, and the transmitted light or reflected light is guided to the photodetector 8 to measure the spectral distribution intensity. Is done. The wavelength of the substantially monochromatic light extracted from the exit slit 14 is selected by the rotation of the diffraction grating 10.

制御部34は測定時に支持台16を介して回折格子10を回転させて波長走査を行うとともに、光学フィルタ28を光路3上に挿入したり、光路3から外したりするための特定の波長になったときに、モータ18により支持台16を介して駆動アーム20を回転させて従動アーム22を押すことによって光学フィルタ28の光路3上への挿入又は退避を行わせる。従動アーム22は引張りばね30によって位置決めピン26aと26bのいずれかに当接した2つの状態に拘束される。結果として光学フィルタ28は光路3上に挿入されて入射光に作用を及ぼす状態と、光路3上から退避して入射光に何ら作用を及ぼさない状態の2つの状態のいずれかに位置決めされる。   The control unit 34 rotates the diffraction grating 10 through the support 16 at the time of measurement to perform wavelength scanning, and has a specific wavelength for inserting or removing the optical filter 28 on the optical path 3. At this time, the drive arm 20 is rotated by the motor 18 via the support base 16 and the driven arm 22 is pushed, whereby the optical filter 28 is inserted into or retracted from the optical path 3. The driven arm 22 is restrained by the tension spring 30 in two states in contact with either one of the positioning pins 26a and 26b. As a result, the optical filter 28 is positioned in one of two states: a state in which the optical filter 28 is inserted on the optical path 3 and acts on the incident light;

従動アーム22を駆動させうる範囲と波長走査測定を行なう範囲とを重複させないような構造とすることは容易であり、こうすることで光学フィルタ28の挿入、退避と、波長走査の動きを完全に独立させることができる。すなわち任意の波長にて光学フィルタ28の挿入と退避を実行しつつ、測定シーケンスを実行させることができる。   It is easy to make the structure in which the range in which the driven arm 22 can be driven and the range in which the wavelength scanning measurement is performed are not overlapped. Thus, the insertion and withdrawal of the optical filter 28 and the movement of the wavelength scanning are completely performed. Can be independent. That is, the measurement sequence can be executed while inserting and retracting the optical filter 28 at an arbitrary wavelength.

次に、図3と図4を参照してさらに具体的な動作を説明する。   Next, a more specific operation will be described with reference to FIGS.

図3は測定されたスペクトルを概略的に示したものである。波長走査は長波長側から短波長側に走査する。特定の波長λcは光学フィルタ28を光路3上に挿入するかしないかを切替えるための波長であり、波長λc以上の長波長側では高次光を除去するために光学フィルタ28を光路3上に挿入し、波長λcよりも短波長側では光学フィルタ28を光路3上から退避させる。   FIG. 3 schematically shows the measured spectrum. The wavelength scanning is performed from the long wavelength side to the short wavelength side. The specific wavelength λc is a wavelength for switching whether or not the optical filter 28 is inserted into the optical path 3. On the long wavelength side longer than the wavelength λc, the optical filter 28 is inserted into the optical path 3 in order to remove high-order light. The optical filter 28 is retracted from the optical path 3 on the shorter wavelength side than the wavelength λc.

図4はそのときの動作を示したものである。動作は制御部34により制御される。制御部34では光学フィルタ28が光路3上に挿入された状態と光路3上から外された状態でそれぞれフラグが立てられ、現在どの状態であるかを判断することができるようになっている。   FIG. 4 shows the operation at that time. The operation is controlled by the control unit 34. The control unit 34 sets a flag in each of the state where the optical filter 28 is inserted on the optical path 3 and the state where the optical filter 28 is removed from the optical path 3 so that it can be determined which state is present.

測定を開始すると、まず光学フィルタ28が光路3上にあるかどうかがフラグにより判断される(ステップS1)。光学フィルタ28が光路3上にあると判断された場合、測定しようとする波長λが光学フィルタ28の挿入と退避を切り替える特定波長λcと比較され(ステップS2)、λcよりも大きければそのまま測定波長λを選択するように回折格子10の回転を駆動する(ステップS3)。もし測定波長λがλc以下であれば、光学フィルタ28を光路3から外すためのサブルーチンを実行し(ステップS4)、光学フィルタ28が光路3上にないことを示すフラグを立てる。その後測定波長λを選択するように回折格子10の回転を駆動する(ステップS3)。   When the measurement is started, it is first determined from the flag whether or not the optical filter 28 is on the optical path 3 (step S1). If it is determined that the optical filter 28 is on the optical path 3, the wavelength λ to be measured is compared with a specific wavelength λc for switching between insertion and withdrawal of the optical filter 28 (step S2). The rotation of the diffraction grating 10 is driven so as to select λ (step S3). If the measurement wavelength λ is equal to or less than λc, a subroutine for removing the optical filter 28 from the optical path 3 is executed (step S4), and a flag indicating that the optical filter 28 is not on the optical path 3 is set. Thereafter, the rotation of the diffraction grating 10 is driven so as to select the measurement wavelength λ (step S3).

一方、ステップS1においてフラグにより光学フィルタ28が光路3上に挿入されていないと判断された場合、測定しようとする波長λが特定波長λcと比較され(ステップS5)、測定波長λが特定波長λc以下であればそのまま測定波長λを選択するように回折格子10の回転を駆動する(ステップS3)。ステップS5において測定波長λが特定波長λcよりも大きければ本来なら光学フィルタ28が光路3上に配置されていることが必要な波長であるので、光学フィルタ28を光路3上に挿入するためのサブルーチンを実行して(ステップS6)、光学フィルタ28が光路3上にあることを示すフラグを立てた後、測定波長λを選択するように回折格子10の回転を駆動する(ステップS3)。   On the other hand, when it is determined in step S1 that the optical filter 28 is not inserted on the optical path 3 by the flag, the wavelength λ to be measured is compared with the specific wavelength λc (step S5), and the measurement wavelength λ is the specific wavelength λc. If it is below, the rotation of the diffraction grating 10 is driven so as to select the measurement wavelength λ as it is (step S3). If the measurement wavelength λ is larger than the specific wavelength λc in step S5, the optical filter 28 is originally a wavelength that is required to be disposed on the optical path 3, and therefore a subroutine for inserting the optical filter 28 on the optical path 3 (Step S6), a flag indicating that the optical filter 28 is on the optical path 3 is set, and then the rotation of the diffraction grating 10 is driven so as to select the measurement wavelength λ (step S3).

ここで、光学フィルタ28を光路3上に挿入したり、光路3から退避させたりするためのサブルーチンは図5に示されるように実行され、駆動アーム20によって従動アーム22を回転させる。   Here, a subroutine for inserting the optical filter 28 onto the optical path 3 and retracting it from the optical path 3 is executed as shown in FIG. 5, and the driven arm 22 is rotated by the drive arm 20.

再び図4に戻って説明を続けると、波長位置λで測定を行った後(ステップS7)、次の測定波長λとなるように回折格子10を回転させる(ステップS8)。波長走査はΔλの単位で短波長側に移動するように行っていく。次の測定波長λがλcより大きい間は順次測定波長を短波長側に切り替えながら測定を続けていく(ステップS9→S10→S7→S8)。測定を続けて行って次の測定波長λが特定波長λc以下になったとき、光学フィルタ28を光路3上から外すサブルーチンを実行し(ステップS11→S12)、光学フィルタ28が光路3上にないことを示すフラグを立てる。その後、さらに短波長側に測定波長を切り替えていっても、光学フィルタ28が光路3上から外れていることを示すフラグが立てられているので、以後は光学フィルタ28を光路3上から外すためのサブルーチンを実行することなく、測定波長を短波長側に切り替えながら測定終了の波長λendまで測定が続けられる(ステップS7→S8→S9→S10→S11→S7→S8→S9)。   Returning to FIG. 4 again and continuing the description, after the measurement at the wavelength position λ (step S7), the diffraction grating 10 is rotated so as to be the next measurement wavelength λ (step S8). The wavelength scanning is performed so as to move to the short wavelength side in units of Δλ. While the next measurement wavelength λ is larger than λc, the measurement is continued while sequentially switching the measurement wavelength to the short wavelength side (steps S9 → S10 → S7 → S8). When the measurement is continued and the next measurement wavelength λ becomes equal to or less than the specific wavelength λc, a subroutine for removing the optical filter 28 from the optical path 3 is executed (step S11 → S12), and the optical filter 28 is not on the optical path 3. Set a flag to indicate that. After that, even if the measurement wavelength is switched to the shorter wavelength side, the flag indicating that the optical filter 28 is out of the optical path 3 is set, so that the optical filter 28 is removed from the optical path 3 thereafter. Without executing this subroutine, the measurement is continued until the measurement end wavelength λend while switching the measurement wavelength to the short wavelength side (steps S7 → S8 → S9 → S10 → S11 → S7 → S8 → S9).

光路3上に着脱可能に配置する光学素子として、上記の光学フィルタ28を示したか、光学素子がアパーチャや調光のためのメッシュフィルタ、又は波長校正のための発光素子など他の光学素子であっても全く同じように扱うことができる。   The optical filter 28 is shown as an optical element detachably disposed on the optical path 3, or the optical element is another optical element such as an aperture or a mesh filter for dimming, or a light emitting element for wavelength calibration. But it can be handled in exactly the same way.

光学素子を光路上に配置する状態と光路上から退避させた状態で保持する機構も上記の実施例のように従道アームを位置決めピンに当接させる機構に限らず、プランジャを用いた機構など、他の機構を用いることもできる。   The mechanism for holding the optical element in a state where it is disposed on the optical path and in a state where the optical element is retracted from the optical path is not limited to the mechanism in which the follower arm is brought into contact with the positioning pin as in the above embodiment, but a mechanism using a plunger, Other mechanisms can also be used.

また、光学素子が挿入される位置は必ずしも測定光路上そのものである必要はなく、ミラーやハーフミラーなどによって分岐された別の光学的に等価な光路上であってもよい。   The position where the optical element is inserted is not necessarily on the measurement optical path itself, but may be on another optically equivalent optical path branched by a mirror, a half mirror, or the like.

第1の実施例では駆動アーム20は1本である。そのため、光学素子の切替えを行うにあたり比較的大きな回転角度を必要とする。それに対し、第2の実施例は支持台16に互いに角度の異なる2本の駆動アームを設けるものである。   In the first embodiment, there is one drive arm 20. Therefore, a relatively large rotation angle is required for switching the optical element. On the other hand, in the second embodiment, the support base 16 is provided with two drive arms having different angles.

具体的には、図1に示されるように、1本の駆動アーム20に対し、角度の異なる位置に第2の駆動アーム20aを支持台16に設ける。駆動アーム20と20aは、ともに回折格子10による波長走査のための回転範囲外の回転角度範囲において従動アーム22と当接する位置に配置されている。図2(A)に示されるように光学素子28を光路3上から退避させるように従動アーム22を押すときは駆動アーム20aを使用し、図2(B)に示されるように光学素子28を光路3上に挿入するように従動アーム22を押すときは駆動アーム20を使用するように、駆動アーム20と20aの機能を異ならせる。   Specifically, as shown in FIG. 1, the second drive arm 20 a is provided on the support base 16 at a different angle with respect to one drive arm 20. The drive arms 20 and 20a are both arranged at positions where they contact the driven arm 22 in a rotation angle range outside the rotation range for wavelength scanning by the diffraction grating 10. 2A, when the driven arm 22 is pushed so as to retract the optical element 28 from the optical path 3, the drive arm 20a is used, and the optical element 28 is moved as shown in FIG. When the driven arm 22 is pushed so as to be inserted on the optical path 3, the functions of the drive arms 20 and 20a are made different so that the drive arm 20 is used.

この実施例によれば、光学素子の切替えに必要な回転角度が第1の実施例のものより小さくなり、ひいては光学素子の切替えに必要な時間を短縮することができる利点がある。   According to this embodiment, the rotation angle necessary for switching the optical element is smaller than that of the first embodiment, and there is an advantage that the time required for switching the optical element can be shortened.

第1の実施例では、その従動支持体である従動アーム22は1個の光学素子28を光路3上に配置するか光路3上から退避させるかの機能を行うものである。それに対し、図6に示されるこの実施例は光学素子を複数個支持し、それらの光学素子のいずれかを選択的に光路3上に配置する従動支持体を備えたものである。   In the first embodiment, the driven arm 22 as the driven support performs the function of arranging one optical element 28 on the optical path 3 or retracting it from the optical path 3. On the other hand, this embodiment shown in FIG. 6 is provided with a driven support body that supports a plurality of optical elements and selectively places one of these optical elements on the optical path 3.

図6において、光学素子として吸収波長域の異なる複数の光学フィルタが一列に配列されてなる光学素子アレイ28aが従動支持体であるホルダー22aに保持されている。ホルダー22aはリニアガイド40により光路3を横切る方向に移動可能に支持されており、光学素子アレイ28aはホルダー22aの移動に伴なって光路3を順次横切るように移動する。光学素子アレイ28aのいずれかの端が光路3から外れた位置までホルダー22aが移動すると、光路3上にはいずれの光学フィルタも存在しない状態となる。   In FIG. 6, an optical element array 28a in which a plurality of optical filters having different absorption wavelength ranges are arranged in a line as an optical element is held by a holder 22a that is a driven support. The holder 22a is supported by the linear guide 40 so as to be movable in a direction crossing the optical path 3, and the optical element array 28a moves so as to sequentially cross the optical path 3 as the holder 22a moves. When the holder 22a moves to a position where any one end of the optical element array 28a deviates from the optical path 3, no optical filter exists on the optical path 3.

回折格子10を支持している支持台16には図1の実施例と同様に駆動アーム20が設けられており、ホルダー22aには駆動アーム20と当接する位置に従動ピン42が設けられている。ホルダー22aは従動ピン42に駆動アーム20が当接して駆動アーム20で押されることによりリニアガイド40に案内されて移動することができる。   The support base 16 supporting the diffraction grating 10 is provided with a drive arm 20 as in the embodiment of FIG. 1, and the holder 22a is provided with a follower pin 42 at a position where it comes into contact with the drive arm 20. . The holder 22a can move while being guided by the linear guide 40 when the drive arm 20 comes into contact with the driven pin 42 and is pushed by the drive arm 20.

ホルダー22aとリニアガイド40の間には、各光学フィルタが光路3上にある位置と、光学素子アレイ28aの一端が光路3上から外れた位置のそれぞれにおいて、駆動アーム20による付勢力が働いていない状態ではそれぞれの位置を安定に保持する位置決め機構が設けられている。   Between the holder 22a and the linear guide 40, the urging force by the drive arm 20 acts at each of the positions where the optical filters are on the optical path 3 and the position where one end of the optical element array 28a is off the optical path 3. A positioning mechanism for stably holding each position is provided in the absence of the position.

そのような位置決め機構としては種々のものを使用することができるが、一例はプランジャとガイド様の機構である。そのような位置決め機構の他の例は、ホルダー22aとリニアガイド40の互いの当接面の一方に設けられた1つのピンと、その当接面の他方に設けられてそのピンが嵌り込むことによってリニアガイド40に対してホルダー22aを位置決めする切欠きとからなるものであり、その切欠きの位置は各光学フィルタが光路3上にある位置と光学素子アレイ28aの一端が光路3上から外れた位置のそれぞれで切欠きにピンが嵌り込むように設定されたものである。   Various positioning mechanisms can be used, but an example is a plunger and a guide-like mechanism. Another example of such a positioning mechanism is that one pin provided on one of the contact surfaces of the holder 22a and the linear guide 40 and the other of the contact surfaces are fitted with the pin. The notch for positioning the holder 22a with respect to the linear guide 40 is located at a position where each optical filter is on the optical path 3 and one end of the optical element array 28a is off the optical path 3. It is set so that a pin fits into the notch at each position.

この実施例では、駆動アーム20が従動ピン42と当接してホルダー22aを押すことにより光学素子アレイ28aに含まれる光学フィルタを順次切り替えて光路3上に配置することができる。さらに、光路3上にいずれの光学フィルタも存在しないようにすることもできる。   In this embodiment, when the drive arm 20 contacts the driven pin 42 and pushes the holder 22a, the optical filters included in the optical element array 28a can be sequentially switched and arranged on the optical path 3. Further, no optical filter may be present on the optical path 3.

駆動アーム20は従動ピン42と当接してホルダー22aを押す方向を変えることにより、光学素子アレイ28aを図中の太い矢印で示されるように両方向に移動させることができる。   By changing the direction in which the drive arm 20 abuts on the driven pin 42 and pushes the holder 22a, the optical element array 28a can be moved in both directions as indicated by thick arrows in the drawing.

図6では駆動アーム20は1本のみであるが、図1中に鎖線で示された駆動アーム20aをくわえて2本の駆動アームを備え、ホルダー22aを押す方向によって使用する駆動アームを異ならせるようにしてもよい。   In FIG. 6, there is only one drive arm 20, but two drive arms are provided in addition to the drive arm 20 a indicated by the chain line in FIG. 1, and the drive arm to be used is different depending on the direction in which the holder 22 a is pushed. You may do it.

2 光源ユニット
3 光路
4 分光器
6 試料室
8 光検出器
10 回折格子
12 入口スリット
14 出口スリット
16 支持台
18 モータ
20,20a 駆動アーム
22 従動アーム
22a ホルダー
26a,26b 位置決めピン
28 光学フィルタ
28a 光学素子アレイ
30 引っ張りばね
40 リニアガイド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Light source unit 3 Optical path 4 Spectrometer 6 Sample chamber 8 Photodetector 10 Diffraction grating 12 Inlet slit 14 Outlet slit 16 Support stand 18 Motor 20, 20a Drive arm 22 Drive arm 22a Holder 26a, 26b Positioning pin 28 Optical filter 28a Optical element Array 30 Tension spring 40 Linear guide

Claims (3)

複数波長を含む光を発生する光源ユニットと、
前記光源ユニットからの光が測定光として試料室に照射されて試料室内の試料から発生する透過光又は反射光を検出する光検出器と、
前記光源ユニットから試料室に至る光路上又は試料室から前記光検出器に至る光路上に配置され、モータにより回転駆動される波長分散素子が内蔵された分光器と、
前記波長分散素子と一体化され、波長分散素子とともに回転駆動される駆動アームと、
測定光の光路上又はそれから分岐した光路上に着脱可能に配置される光学素子と、
前記光学素子を支持し、前記波長分散素子の波長走査のための回転範囲外の回転角度範囲において前記駆動アームと当接する位置に配置され、前記駆動アームの当接により駆動されて前記光学素子を光路上の位置と光路から外れた位置との間で移動させるように変位可能に構成されている従動支持体と、
前記波長分散素子による測定光の波長走査のための回転駆動と前記駆動アームによる前記光学素子の移動のための回転駆動を行うために前記モータの駆動を制御する制御部と、
を備えた分光光度計。
A light source unit that generates light including multiple wavelengths;
A light detector that irradiates the sample chamber with light from the light source unit as measurement light and detects transmitted light or reflected light generated from the sample in the sample chamber; and
A spectroscope having a built-in wavelength dispersive element disposed on the optical path from the light source unit to the sample chamber or on the optical path from the sample chamber to the photodetector;
A drive arm integrated with the wavelength dispersive element and driven to rotate together with the wavelength dispersive element;
An optical element detachably disposed on the optical path of the measurement light or on the optical path branched therefrom;
The optical element is supported, and is disposed at a position that contacts the drive arm in a rotation angle range outside the rotation range for wavelength scanning of the wavelength dispersion element, and is driven by the contact of the drive arm to move the optical element. A follower configured to be displaceable to move between a position on the optical path and a position off the optical path;
A control unit that controls driving of the motor to perform rotation driving for wavelength scanning of the measurement light by the wavelength dispersion element and rotation driving for movement of the optical element by the drive arm;
Spectrophotometer equipped with.
前記光学素子は光学フィルタ、光量調整素子又は発光素子からなる請求項1に記載の分光光度計。   The spectrophotometer according to claim 1, wherein the optical element includes an optical filter, a light amount adjusting element, or a light emitting element. 前記従動支持体は前記光学素子を複数個支持し、それらの光学素子のいずれかを選択的に光路上に配置する機構を備えている請求項1又は2に記載の分光光度計。   The spectrophotometer according to claim 1, wherein the driven support includes a mechanism that supports a plurality of the optical elements and selectively arranges any of the optical elements on an optical path.
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