JP2010153568A

JP2010153568A - Control system and control method

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Publication number: JP2010153568A
Application number: JP2008329671A
Authority: JP
Inventors: Koetsu Kitamura; 光悦北村
Original assignee: Renesas Electronics Corp
Current assignee: Renesas Electronics Corp
Priority date: 2008-12-25
Filing date: 2008-12-25
Publication date: 2010-07-08

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses each carrying out a different process, which shortens the time from abnormality occurrence to abnormality detection. <P>SOLUTION: A decision reference memory unit (database 204) has stored therein decision reference information for deciding the presence of an abnormality for each of a plurality of manufacturing apparatuses 206. When a device to be processed is processed by any one of the manufacturing apparatuses 206, a process condition obtaining unit (quality control system 203) obtains a process condition for the process. An abnormality deciding unit (quality control system 203) reads decision reference information out of the decision reference memory unit, and decides whether the manufacturing apparatus 206 has an abnormality, based on the read decision reference information and the process condition. When the abnormality deciding unit decides that the manufacturing apparatus 206 has an abnormality, a suspension information generating unit (quality control system 203) generates apparatus suspension information for suspending the manufacturing apparatus 206. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システム及び管理方法に関する。 The present invention relates to a management system and a management method for managing a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses that perform different processes.

複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、製造装置に異常が発生した場合、該当装置の異常状態を放置してそのまま処理を続けると大量の不良品が発生する可能性がある。また、異常な装置で処理された中間製品に対して後続プロセスを継続することは、製造ラインのリソースを無駄に使用することになる。これらの問題に対応するために、製造装置を管理するシステムを用いて管理する方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。なお、ここで言う製造装置の異常とは必ずしも処理された製品に悪影響が有る場合を意味するわけではなく、装置の情報（プロセス結果のトレンドが要注意状態にあるとか、通常は規格範囲内にあるプロセス結果が規格範囲から外れたなど）から、装置をチェックした方が良いと判断される状態を意味している。 In a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses, if an abnormality occurs in the manufacturing apparatus, a large number of defective products may be generated if the abnormal state of the corresponding apparatus is left and processing continues. In addition, if the subsequent process is continued for the intermediate product processed by the abnormal apparatus, the production line resources are wasted. In order to cope with these problems, a method of managing a manufacturing apparatus using a system for managing the manufacturing apparatus has been proposed (see, for example, Patent Document 1). It should be noted that the abnormality of the manufacturing equipment here does not necessarily mean that the processed product has an adverse effect, but the equipment information (the trend of the process result is in a state of caution, usually within the standard range) This means that it is determined that it is better to check the device from a certain process result out of the standard range.

ここで、図１６を用いて、特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する。製造装置１０２は、ネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。また、処理された製品をチェックするためのテスト装置１０３もネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。中央制御装置１０１は、各製造装置１０２の処理条件、処理状況を把握する。これにより中央制御装置１０１はどの製造装置１０２にどの製品が通過して処理されたかを管理することが可能となる。 Here, the determination value calculation apparatus of the production management system described in Patent Document 1 will be described with reference to FIG. The manufacturing apparatus 102 is connected to the central control apparatus 101 via the network 104. A test apparatus 103 for checking the processed product is also connected to the central control apparatus 101 via the network 104. The central control apparatus 101 grasps the processing conditions and processing status of each manufacturing apparatus 102. As a result, the central control apparatus 101 can manage which product has passed through which manufacturing apparatus 102 for processing.

また、中央制御装置１０１は、テスト装置１０３からネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１へ送られてくるデータをもとに、良品／不良品の判別を行うとともに不良分類別にして集計を行う。そして中央制御装置１０１は、集計結果と過去に発生して記録されている不良内容を比較して、不良原因を発生させていると判断した製造装置１０２へネットワーク１０４を介して警告し、製造現場の装置管理者に調整やメンテナンスを促す。
特開平８−１９５４０６号公報 Further, the central control device 101 discriminates non-defective products / defective products based on data sent from the test device 103 to the central control device 101 via the network 104 and performs aggregation for each defect classification. Then, the central control device 101 compares the total result with the defect contents that have been generated and recorded in the past, warns the manufacturing apparatus 102 that has determined that the cause of the defect has occurred, via the network 104, and Encourage device managers to make adjustments and maintenance.
JP-A-8-195406

特許文献１に記載の技術では、テスト装置でデータを収集しなければ、不良原因を発生させたと考えられる製造装置すなわち異常を有する製造装置を特定することができない。このため、異常発生から異常確認までの間に時間が経過する。その間、問題のある製造装置で製造処理を継続することになる。 In the technique described in Patent Document 1, unless data is collected by a test apparatus, a manufacturing apparatus that is considered to have caused a failure cause, that is, a manufacturing apparatus having an abnormality cannot be specified. For this reason, time elapses between occurrence of abnormality and confirmation of abnormality. In the meantime, the manufacturing process is continued with the problematic manufacturing apparatus.

本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システムであって、
前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している判断基準記憶部と、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する処理条件取得部と、
前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報を前記判断基準記憶部から読み出し、読みだした前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断する異常判断部と、
異常があると前記異常判断部が判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する停止情報生成部と、
を備える管理システムが提供される。 According to the present invention, a management system that manages a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses that perform different processes,
A criterion storage unit that stores, for each of the plurality of manufacturing devices, determination criterion information for determining that the manufacturing device has an abnormality in association with device IDs for mutually identifying the manufacturing devices;
When a processing target device is processed in any one of the manufacturing apparatuses, the processing ID acquisition unit that acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus that has performed the processing, and the processing conditions in the processing,
The determination criterion information corresponding to the device ID acquired by the processing condition acquisition unit is read from the determination criterion storage unit, and acquired by the processing condition acquisition unit based on the read determination criterion information and the processing condition. An abnormality determination unit for determining whether or not the manufacturing apparatus indicated by the apparatus ID is abnormal;
A stop information generation unit that generates device stop information that is information for stopping the operation of the manufacturing apparatus indicated by the device ID acquired by the processing condition acquisition unit when the abnormality determination unit determines that there is an abnormality; ,
A management system is provided.

なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。 It should be noted that any combination of the above-described constituent elements and a conversion of the expression of the present invention between a method, an apparatus, a system, a recording medium, a computer program, etc. are also effective as an aspect of the present invention.

本発明によれば、処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、当該処理を行った製造装置の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。そして異常判断部は、判断基準記憶部が記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、その製造装置に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。 According to the present invention, when the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses, the processing condition acquisition unit acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus that has performed the processing and the processing conditions in the processing. Then, the abnormality determination unit determines whether there is an abnormality in the manufacturing apparatus indicated by the device ID acquired by the processing condition acquisition unit, based on the determination criterion information and the processing conditions stored in the determination criterion storage unit. For this reason, when the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses, it can be determined whether or not the manufacturing apparatus has an abnormality. Therefore, the time from occurrence of abnormality to detection of abnormality can be shortened.

本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理方法であって、
コンピュータが、前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶しておき、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、前記コンピュータが、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得し、
前記コンピュータが、取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断し、異常があると判断した時に、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する管理方法が提供される。 According to the present invention, a management method for managing a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses that perform different processes from each other,
For each of the plurality of manufacturing apparatuses, the computer stores determination criterion information for determining that the manufacturing apparatus has an abnormality in association with an apparatus ID for mutually identifying the manufacturing apparatuses,
When the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses, the computer acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus that has performed the process, and the processing conditions in the process,
The computer determines whether there is an abnormality in the manufacturing apparatus indicated by the acquired apparatus ID based on the determination criterion information corresponding to the acquired apparatus ID and the processing condition, and determines that there is an abnormality. Then, a management method is provided for generating device stop information, which is information for stopping the operation of the manufacturing device indicated by the acquired device ID.

本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in the semiconductor manufacturing system which has several manufacturing apparatuses which perform a mutually different process, the time from abnormality generation to abnormality detection can be shortened.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

図１は、第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。この管理システムは、互いに異なる処理を行う複数の製造装置２０６を有する半導体製造システムを管理する管理システムである。管理システムは、判断基準記憶部（データベース２０４）、処理条件取得部（品質管理システム２０３）、異常判断部（品質管理システム２０３）、及び停止情報生成部（品質管理システム２０３）を備える。判断基準記憶部は、複数の製造装置２０６それぞれごとに、当該製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を、製造装置２０６を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している。処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。異常判断部は、処理条件取得部が取得した装置ＩＤに対応する判断基準情報を判断基準記憶部から読み出し、読みだした判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。停止情報生成部は、製造装置２０６に異常があると異常判断部が判断した時に、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する。判断基準情報は、例えば、ＪＩＳ規格で定められた異常パターン(管理特性値が連続6点増加する等)とか、経験に基づいてその製造ライン独自で定めた管理特性値の異常パターン、あるいは、その製造装置で処理した管理特性値（例えば成膜された膜の膜厚）が対象製品の管理規格範囲を外れたかどうかなどである。 FIG. 1 is a block diagram showing how the management system is used in the first embodiment. This management system is a management system that manages a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses 206 that perform different processes. The management system includes a determination criterion storage unit (database 204), a processing condition acquisition unit (quality management system 203), an abnormality determination unit (quality management system 203), and a stop information generation unit (quality management system 203). The determination criterion storage unit stores, for each of the plurality of manufacturing apparatuses 206, determination criterion information for determining that the manufacturing apparatus 206 has an abnormality in association with the apparatus IDs that mutually identify the manufacturing apparatuses 206. Yes. When the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses 206, the processing condition acquisition unit acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus 206 that performed the process and the processing conditions in the process. The abnormality determination unit reads out the determination criterion information corresponding to the device ID acquired by the processing condition acquisition unit from the determination criterion storage unit, and the device ID acquired by the processing condition acquisition unit based on the read determination criterion information and the processing condition It is determined whether or not there is an abnormality in the manufacturing apparatus 206 indicated by. When the abnormality determination unit determines that there is an abnormality in the manufacturing apparatus 206, the stop information generation unit displays apparatus stop information that is information for stopping the operation of the manufacturing apparatus 206 indicated by the apparatus ID acquired by the processing condition acquisition unit. Generate. Judgment criteria information includes, for example, an abnormality pattern defined in the JIS standard (management characteristic value increases continuously by 6 points, etc.), an abnormality pattern of management characteristic value uniquely defined on the production line based on experience, or Whether the management characteristic value (for example, the film thickness of the formed film) processed by the manufacturing apparatus is out of the management standard range of the target product.

各製造装置２０６と品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して互いに接続している。通信網２０７には、さらに生産制御システム２０１（処理条件管理部）及び履歴検索システム２０５が接続している。生産制御システム２０１は、データベース２０２にも接続しており、各製造装置２０６における処理条件を各製造装置２０６から取得する。そして、いずれかの製造装置２０６が新たに処理対象装置を処理して新たな処理条件をその製造装置２０６から取得したときに、品質管理システム２０３に、この新たな処理条件を装置ＩＤに対応付けて送信する。 Each manufacturing apparatus 206 and the quality management system 203 are connected to each other via a communication network 207. A production control system 201 (processing condition management unit) and a history search system 205 are further connected to the communication network 207. The production control system 201 is also connected to the database 202 and acquires the processing conditions in each manufacturing apparatus 206 from each manufacturing apparatus 206. When any one of the manufacturing apparatuses 206 newly processes the processing target apparatus and acquires a new processing condition from the manufacturing apparatus 206, the quality management system 203 associates the new processing condition with the apparatus ID. To send.

また生産制御システム２０１（装置停止情報記憶部）は、装置停止情報と装置ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前装置ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、当該製造装置２０６の装置ＩＤを取得する。生産制御システム２０１は、取得した装置ＩＤに対応する装置停止情報を記憶していたときに、取得した装置ＩＤに対応する製造装置２０６の動作を停止させる。 The production control system 201 (apparatus stop information storage unit) stores the apparatus stop information and the apparatus ID in association with each other. The production control system 201 (pre-processing apparatus ID acquisition unit) acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus 206 when the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses 206. The production control system 201 stops the operation of the manufacturing apparatus 206 corresponding to the acquired apparatus ID when the apparatus stop information corresponding to the acquired apparatus ID is stored.

さらに品質管理システム２０３（処理条件取得部）は、装置ＩＤ及び処理条件に対応付けて、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤを取得する。品質管理システム２０３（停止情報生成部）は、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があると判断した時に、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した製品ＩＤが示す処理対象装置への処理を中止するための情報である装置処理中止情報を生成する。 Furthermore, the quality management system 203 (processing condition acquisition unit) acquires a product ID that mutually identifies the processing target devices in association with the device ID and the processing conditions. When the quality management system 203 (stop information generation unit) determines that the manufacturing apparatus 206 indicated by the device ID acquired by the quality management system 203 (processing condition acquisition unit) has an abnormality, the quality management system 203 (processing condition acquisition unit) ) Generates device process stop information, which is information for canceling processing to the processing target device indicated by the product ID acquired.

このとき、生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）は、装置処理中止情報と前記製品ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、処理対象となっている処理対象装置の製品ＩＤを取得する。そして生産制御システム２０１（装置処理停止指令送信部）は、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する装置処理中止情報が生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）に記憶されていたときに、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する処理対象装置への処理を停止させる。 At this time, the production control system 201 (apparatus processing stop information storage unit) stores the apparatus processing stop information and the product ID in association with each other. Then, the production control system 201 (pre-processing product ID acquisition unit) acquires the product ID of the processing target device that is the processing target when the processing target device is processed in any of the manufacturing apparatuses 206. Then, the production control system 201 (apparatus processing stop command transmission unit) sends the apparatus processing stop information corresponding to the product ID acquired by the production control system 201 (pre-processing product ID acquisition unit) to the production control system 201 (apparatus processing stop information storage). The process to the processing target apparatus corresponding to the product ID acquired by the production control system 201 (pre-processing product ID acquisition unit) is stopped.

図１に示した生産制御システム２０１および品質管理システム２０３の各機能は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。品質管理システムの各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置には様々な変形例があることは、当業者には理解されるところである。 Each function of the production control system 201 and the quality management system 203 shown in FIG. 1 is not a hardware unit configuration but a functional unit block. Each component of the quality management system is centered on the CPU of any computer, the memory, the program that realizes the components of this figure loaded in the memory, the storage unit such as a hard disk that stores the program, and the interface for network connection Realized by any combination of hardware and software. It will be understood by those skilled in the art that there are various modifications to the implementation method and apparatus.

図２は、データベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０２は、工程手順テーブル３１００、履歴テーブル３２００、及び製造装置状態テーブル３３００を有している。工程手順テーブル３１００は、各製品の製造手順と各工程の処理条件を記録している。履歴テーブル３２００は、各製品の進捗履歴を記録している。製造装置状態テーブル３３００は、各製造装置２０６の作業可否状態を記録している。 FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of data stored in the database 202. The database 202 includes a process procedure table 3100, a history table 3200, and a manufacturing apparatus state table 3300. The process procedure table 3100 records the manufacturing procedure of each product and the processing conditions of each process. The history table 3200 records the progress history of each product. The manufacturing apparatus status table 3300 records work availability status of each manufacturing apparatus 206.

詳細には、工程手順テーブル３１００は、製造ラインで製造する品種ごとに工程手順名３１０１というキー項目を有している。このキー項目のもとに、処理順を示すシーケンス番号３１０２と個々の処理内容を指定した処理条件３１０３が記録されている。 Specifically, the process procedure table 3100 has a key item called process procedure name 3101 for each type manufactured on the production line. Under this key item, a sequence number 3102 indicating the processing order and a processing condition 3103 specifying each processing content are recorded.

履歴テーブル３２００は、製造ラインで処理されている処理対象装置ごとに、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤ３２０１と、その処理対象装置と紐づいている工程手順名３２０２が記録されている。製品ＩＤ３２０１は、処理対象装置を相互に識別するＩＤであり、例えばロット番号である。また履歴テーブル３２００は、各処理対象装置に対して継続して処理を行なってよいか否かを示す処理可否状態３２０３と、処理された履歴順を示すシーケンス番号３２０４、処理された工程の作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、処理対象装置を処理した製造装置２０６を示す装置ＩＤ３２０７、および各製造装置２０６で処理されたときの処理温度、圧力、ガス流量、電流、電圧、寸法、膜厚などの処理条件を示す処理データ３２０８が項目名と一緒に記録されている。 The history table 3200 records a product ID 3201 for identifying each processing target device for each processing target device processed on the production line, and a process procedure name 3202 associated with the processing target device. The product ID 3201 is an ID for mutually identifying processing target devices, for example, a lot number. In addition, the history table 3200 includes a process availability state 3203 that indicates whether or not processing can be continued for each processing target device, a sequence number 3204 that indicates the history order of processing, and work start of the processed process. Date and time 3205, work end date and time 3206, apparatus ID 3207 indicating the manufacturing apparatus 206 that processed the processing target apparatus, and processing temperature, pressure, gas flow rate, current, voltage, dimensions, film thickness, etc. when each manufacturing apparatus 206 is processed The processing data 3208 indicating the processing conditions are recorded together with the item name.

製造装置状態テーブル３３００（装置停止情報記憶部）は、各製造装置２０６を相互に識別するための装置ＩＤ３３０１と、各製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無が記録されている。 The manufacturing apparatus state table 3300 (apparatus stop information storage unit) records an apparatus ID 3301 for mutually identifying each manufacturing apparatus 206 and a work availability state 3302 of each manufacturing apparatus 206, that is, presence / absence of apparatus stop information.

図３は、データベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０４は、層別テーブル４１００、規格テーブル４２００（判断基準記憶部）、及びデータテーブル４３００を有している。規格テーブル４２００は層別テーブル４１００の配下に位置しており、データテーブル４３００は規格テーブル４２００の配下に位置している。 FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of data stored in the database 204. The database 204 includes a stratification table 4100, a standard table 4200 (determination criterion storage unit), and a data table 4300. The standard table 4200 is located under the stratification table 4100, and the data table 4300 is located under the standard table 4200.

層別テーブル４１００は、生産制御システム２０１より送られてきた処理条件をフィルタリングするための情報を記録している。層別テーブル４１００は、各フィルタリング情報を管理するためのＩＤ４１０１、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を指定する管理装置情報４１１０、および処理データを送信する装置を指定するデータ装置情報４１２０を有している。 The stratification table 4100 records information for filtering the processing conditions sent from the production control system 201. The stratified table 4100 has an ID 4101 for managing each filtering information, management device information 4110 for specifying a manufacturing device 206 to be filtered, and data device information 4120 for specifying a device for transmitting processing data. Yes.

管理装置情報４１１０には、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を特定するための装置ＩＤ４１１１、工程手順名４１１２、処理条件４１１３、シーケンス番号４１１４が含まれている。データ装置情報４１２０には、処理データを送信する装置および処理工程を特定するための処理条件４１２１、及びシーケンス番号４１２２が含まれている。 The management device information 4110 includes a device ID 4111 for identifying the manufacturing device 206 to be filtered, a process procedure name 4112, a processing condition 4113, and a sequence number 4114. The data device information 4120 includes a processing condition 4121 and a sequence number 4122 for specifying a device and a processing step that transmit processing data.

規格テーブル４２００は、製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を装置ＩＤ４１１１に対応付けて記憶している。詳細には、規格テーブル４２００には、異常の有無を判定する際に用いられる処理データの項目名４２０１、処理データに対する規格値４２０２、規格の判定パターン４２０３、及び規格はずれ（異常）と判断されたときの履歴チェックの有無を指定したフラグ４２０４を有している。ここでの履歴チェックとは、製造装置２０６の作業履歴をチェックすることである。また規格テーブル４２００は、履歴チェックを行なうと指定された項目について、階層４２０５および履歴チェックの対象となる期間４２０６も記憶している。 The standard table 4200 stores determination criterion information for determining that the manufacturing apparatus 206 has an abnormality in association with the apparatus ID 4111. Specifically, in the standard table 4200, it is determined that the item name 4201 of the processing data used when determining the presence / absence of abnormality, the standard value 4202 for the processing data, the standard determination pattern 4203, and the standard deviation (abnormal). And a flag 4204 for designating whether or not to check the history at that time. Here, the history check is to check the work history of the manufacturing apparatus 206. In addition, the standard table 4200 also stores a hierarchy 4205 and a period 4206 that is a history check target for an item designated to perform a history check.

データテーブル４３００は、規格（判断基準情報）ごとの判定結果を記録している。詳細には、データテーブル４３００は、処理された製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、処理データ４３０３、および規格判定結果４３０４を記録している。 The data table 4300 records determination results for each standard (determination reference information). Specifically, the data table 4300 records the processed product ID 4301, the work end date and time 4302, the processing data 4303, and the standard determination result 4304.

図４は、図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。まず、複数の処理対象装置を所定の製造装置２０６にセットする。製造装置２０６は、セットされた処理対象装置の製品ＩＤ３２０１を取得して、通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。 FIG. 4 is a flowchart showing an operation when processing the processing target apparatus in the system shown in FIG. First, a plurality of processing target apparatuses are set in a predetermined manufacturing apparatus 206. The manufacturing apparatus 206 acquires the product ID 3201 of the set processing target apparatus and sends it to the production control system 201 via the communication network 207.

生産制御システム２０１は、送られた製品ＩＤ３２０１に基づいて履歴テーブル３２００をデータベース２０２より検索し、検索した履歴テーブル３２００における処理可否状態３２０３のデータをチェックする。ここで生産制御システム２０１は、セットされた処理対象装置に対して、装置処理中止情報（すなわち処理を中止する旨の情報）が記憶されているか否かを確認する（ステップＳ５０１）。装置処理中止情報が記憶されている場合、この製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。 The production control system 201 searches the history table 3200 from the database 202 based on the sent product ID 3201, and checks the data in the process availability state 3203 in the searched history table 3200. Here, the production control system 201 checks whether or not device processing stop information (that is, information indicating that the processing is to be stopped) is stored for the set processing target device (step S501). If the device processing stop information is stored, the alarm information is returned to the manufacturing device 206 that has sent the product ID 3201, and the subsequent processing is stopped (step S505).

また生産制御システム２０１は、製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６の装置ＩＤ３３０１に基づいて、製造装置状態テーブル３３００を検索する。そして、この製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無を確認する（ステップＳ５０２）。確認の結果、この製造装置２０６に対応する装置停止情報が記憶されていた場合、この装置ＩＤ３３０１に対応する製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。 Further, the production control system 201 searches the manufacturing apparatus state table 3300 based on the apparatus ID 3301 of the manufacturing apparatus 206 that has sent the product ID 3201. Then, the work availability state 3302 of the manufacturing apparatus 206, that is, the presence / absence of apparatus stop information is checked (step S502). As a result of the confirmation, if the apparatus stop information corresponding to the manufacturing apparatus 206 is stored, the alarm information is returned to the manufacturing apparatus 206 corresponding to the apparatus ID 3301, and the subsequent processing is stopped (step S505).

処理対象装置及び製造装置２０６のいずれにも装置処理中止情報及び装置停止情報が記憶されていなかったとき、生産制御システム２０１は、通信網２０７を介して該当製造装置２０６へ該当製品の処理開始を指示する。また、生産制御システム２０１はデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、シーケンス番号３２０４を追加し、かつ作業開始日時３２０５、及び装置ＩＤ３２０７を記録する（ステップＳ５０３）。 When neither device processing stop information nor device stop information is stored in either the processing target device or the manufacturing device 206, the production control system 201 starts processing of the corresponding product to the corresponding manufacturing device 206 via the communication network 207. Instruct. Further, the production control system 201 adds the sequence number 3204 to the table with the matching product ID 3201 in the history table 3200 of the database 202, and records the work start date and time 3205 and the device ID 3207 (step S503).

製造装置２０６は、処理を完了したら、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に作業終了日時と処理データ（処理条件）を送信する。生産制御システム２０１は、送られた情報をデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、作業終了日時３２０６及び処理データ３２０８を記録する（ステップＳ５０４）。 When the manufacturing apparatus 206 completes the processing, the manufacturing apparatus 206 transmits the work end date and time and processing data (processing conditions) to the production control system 201 via the communication network 207. The production control system 201 records the work end date and time 3206 and the processing data 3208 in the table in which the product ID 3201 matches the sent information in the history table 3200 of the database 202 (step S504).

このような処理を各製品の各処理工程で行うことで、製造ライン内での処理情報をデータベース２０２に蓄積する。 By performing such processing in each processing step of each product, processing information in the production line is accumulated in the database 202.

生産制御システム２０１は、履歴テーブル３２００の作業終了日時３２０６と処理データ３２０８への情報記録作業が完了したら、記録した履歴テーブルの製品ＩＤ３２０１、工程手順名３２０２、シーケンス番号３２０４、作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、装置ＩＤ３２０７、及び処理データ３２０８を、通信網２０７を介して品質管理システム２０３に送信する。 When the production control system 201 completes the work end date and time 3206 of the history table 3200 and the information recording work to the processing data 3208, the product ID 3201 of the recorded history table, the process procedure name 3202, the sequence number 3204, the work start date and time 3205, the work The end date and time 3206, the device ID 3207, and the processing data 3208 are transmitted to the quality management system 203 via the communication network 207.

図５は、生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１から送られてきた製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００の有無を確認することにより、処理が終了した製造装置２０６が管理対象であるか否かのチェックを行う（ステップＳ６０１）。管理対象としない装置の例として、例えば測定装置を挙げることができる。例えばずっと同じ測定値を出し続けるなどの場合には、本実施形態を一部適用することは適当であるが、測定装置は定期的に標準サンプルを用いたチェックを行うなどの方法を取った方が望ましい。 FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the quality management system 203 after receiving information from the production control system 201. The quality management system 203 checks whether or not the manufacturing apparatus 206 that has been processed is a management target by confirming the presence or absence of the stratification table 4100 corresponding to the product ID sent from the production control system 201. This is performed (step S601). As an example of a device that is not a management target, for example, a measuring device can be cited. For example, it is appropriate to apply a part of this embodiment in the case where the same measured value is continuously output. However, the measuring apparatus should take a method such as regularly checking using a standard sample. Is desirable.

処理が終了した製造装置２０６が管理対象である場合、品質管理システム２０３は、その製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００のデータ装置情報４１２０において、処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されているかチェックする（ステップＳ６０２）。 If the manufacturing apparatus 206 that has been processed is a management target, the quality management system 203 checks whether the processing condition 4121 and the sequence number 4122 are specified in the data device information 4120 of the stratification table 4100 corresponding to the product ID. (Step S602).

データ装置情報４１２０の処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されていない場合、品質管理システム２０３は、送られた処理データ３２０８のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００にレコードを追加し、このレコードに製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、および処理データ４３０３を記録する（ステップＳ６０３）。製造装置２０６が加工装置である場合、処理データ４３０３は、処理対象装置の検査結果、例えば加工後の処理対象装置の測定値である。 When the processing condition 4121 and the sequence number 4122 of the data device information 4120 are not specified, the quality management system 203 searches for data corresponding to the item name 4201 of the standard table 4200 from the processing data 3208 sent. The quality management system 203 adds a record to the data table 4300 corresponding to the retrieved data (item name 4201), and records the product ID 4301, the work end date and time 4302, and the processing data 4303 in this record (step S603). When the manufacturing device 206 is a processing device, the processing data 4303 is an inspection result of the processing target device, for example, a measured value of the processing target device after processing.

データ装置情報４１２０内に処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されている場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報、管理装置情報４１１０、およびデータ装置情報４１２０より、作業終了報告を行った製造装置２０６が、管理対象の処理（シーケンス）であるかどうかの判断を行う（ステップＳ６０４）。 When the processing condition 4121 and the sequence number 4122 are specified in the data device information 4120, the quality management system 203 completes the operation based on the information sent from the production control system 201, the management device information 4110, and the data device information 4120. The manufacturing apparatus 206 that has made the report determines whether the process is a process (sequence) to be managed (step S604).

管理対象の処理（シーケンス）でないと判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００において、処理対象製品の製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２が記録されている処理データ欄に、該当するデータ値を記録する（ステップＳ６０５）。 If it is determined that the process is not a management target process (sequence), the quality management system 203 searches the information sent from the production control system 201 for data corresponding to the item name 4201 of the standard table 4200. In the data table 4300 corresponding to the searched data (item name 4201), the quality management system 203 records the corresponding data value in the process data column in which the product ID 4301 and the work end date 4302 of the process target product are recorded. (Step S605).

管理対象の処理（シーケンス）であると判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索した項目名４２０１に対応する規格テーブル４２００配下のデータテーブル４３００にレコードを追加して、製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２を登録する（ステップＳ６０６）。 If it is determined that the process is a process (sequence) to be managed, the quality management system 203 searches the data corresponding to the item name 4201 in the standard table 4200 from the information sent from the production control system 201. The quality management system 203 adds a record to the data table 4300 under the standard table 4200 corresponding to the searched item name 4201, and registers the product ID 4301 and the work end date and time 4302 (step S606).

品質管理システム２０３は、ステップＳ６０３およびステップＳ６０５で登録された処理データ４３０３に対して、対応する規格テーブル４２００内の規格値４２０２と判定パターン４２０３を用いた規格判定（すなわち異常の有無の判断）を行う（ステップＳ６０７）。規格判定の結果がNGの場合（すなわち異常があると判断した場合）は、NGになった判定パターン４２０３の履歴チェックフィールドのフラグ４２０４を検索して、履歴チェックの有無（すなわち履歴の調査を行なうか否か）を確認する（ステップＳ６０８）。 The quality management system 203 performs standard determination (that is, determination of presence / absence of abnormality) using the standard value 4202 and the determination pattern 4203 in the corresponding standard table 4200 with respect to the processing data 4303 registered in step S603 and step S605. This is performed (step S607). When the result of the standard determination is NG (that is, when it is determined that there is an abnormality), the flag 4204 in the history check field of the determination pattern 4203 that has become NG is searched to check whether or not there is a history check (that is, check the history). Whether or not) (step S608).

履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が無の場合（すなわち履歴の調査を行わない場合）は、品質管理システム２０３から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ、制御対象となる装置ＩＤと製品ＩＤとを有した制御処理イベント（装置停止情報及び装置処理中止情報）を送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。併せて製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ６０９）。 When the history check field flag 4204 is not present (that is, when no history survey is performed), the device ID and product ID to be controlled are sent from the quality management system 203 to the production control system 201 via the communication network 207. The held control processing event (device stop information and device processing stop information) is transmitted. Upon receiving the control processing event, the production control system 201 changes the process availability status 3203 of the corresponding product in the history table 3200 recorded in the database 202 to disable work. At the same time, the work availability status 3302 of the corresponding device ID in the manufacturing equipment status table 3300 is changed to work impossible (step S609).

履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が有の場合（すなわち履歴の調査を行う場合）は、データテーブル４３００の作業終了日時４３０２から、対象となる判定パターン４２０３に記載されている期間４２０６をもとに遡ることにより、検索開始日時を算出する（ステップＳ６１０）。 When the history check field flag 4204 is present (that is, when a history survey is performed), the process goes back from the work end date and time 4302 of the data table 4300 based on the period 4206 described in the target determination pattern 4203. Thus, the search start date and time is calculated (step S610).

次いで品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ検索処理イベント、管理対象の装置ＩＤ４１１１、階層４２０５、及び算出した検索開始日時を送信する（ステップＳ６１１）。 Next, the quality management system 203 transmits the search processing event, the management target device ID 4111, the hierarchy 4205, and the calculated search start date and time to the history search system 205 via the communication network 207 (step S611).

図６は、履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３からイベントおよびこれに付随する情報を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った装置ＩＤと検索開始日時をキーに、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、検索開始日時から現在までの期間で、該当装置ＩＤで処理を行った処理対象製品の製品ＩＤ３２０１および作業終了日時３２０６をリストアップする（ステップＳ７０１）。次いで履歴検索システム２０５は、リストアップしたデータの先頭フィールドにポインタを設定する。 FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the history search system 205. The history search system 205 that has received an event and information accompanying it from the quality management system 203 uses the received device ID and search start date and time as a key from the history table 3200 in the database 202 of the production control system 201. The product ID 3201 and the work end date 3206 of the processing target product processed with the corresponding device ID in the period from the search start date to the present are listed (step S701). Next, the history search system 205 sets a pointer to the first field of the listed data.

次いで履歴検索システム２０５は、ポインタが指しているフィールドに、検索された製品ＩＤが記録されているかチェックする（ステップＳ７０２）。製品ＩＤが記録されている場合、履歴検索システム２０５は、その製品ＩＤをキーに、履歴テーブル３２００より、管理対象となっている製造装置２０６における処理が行なわれた後に、その処理対象装置に処理を行なった製造装置２０６の装置ＩＤをリストアップする（ステップＳ７０３）。このリストアップは、例えば２次汚染の可能性のある製造装置２０６をリストアップすることである。 Next, the history search system 205 checks whether or not the searched product ID is recorded in the field pointed to by the pointer (step S702). When the product ID is recorded, the history search system 205 uses the product ID as a key to perform processing in the manufacturing apparatus 206 that is a management target from the history table 3200, and then performs processing on the processing target apparatus. The apparatus IDs of the manufacturing apparatuses 206 that have performed are listed (step S703). This list-up is, for example, to list the manufacturing apparatus 206 that has a possibility of secondary contamination.

履歴検索システム２０５は、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に、対象となる製品ＩＤとステップＳ７０３でリストアップした装置ＩＤを含む制御処理イベントを送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。また生産制御システム２０１は、製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ７０４）。 The history search system 205 transmits a control processing event including the target product ID and the device ID listed in step S703 to the production control system 201 via the communication network 207. Upon receiving the control processing event, the production control system 201 changes the process availability status 3203 of the corresponding product in the history table 3200 recorded in the database 202 to disable work. In addition, the production control system 201 changes the work availability state 3302 of the corresponding apparatus ID in the manufacturing apparatus status table 3300 to work impossible (step S704).

履歴検索システム２０５及び生産制御システム２０１は、ポインタが最終フィールドを指し示すまで、ステップＳ７０２〜ステップＳ７０４の処理を繰り返す。その後、履歴検索システム２０５は、品質管理システム２０３から送られてきた階層４２０５の値をチェックする（ステップＳ７０５）。階層４２０５の値が１以上の場合は、前処理のステップＳ７０３〜ステップＳ７０４で制御対象となった装置、製品および履歴テーブル３２００より、新たな装置ＩＤと検索開始日時を取得する（ステップＳ７０６）。そして、新たな装置ＩＤと検索開始日時でステップＳ７０１〜ステップＳ７０４に示した処理を、階層４２０５の値と同じだけ繰り返す。 The history search system 205 and the production control system 201 repeat the processing from step S702 to step S704 until the pointer points to the final field. Thereafter, the history search system 205 checks the value of the hierarchy 4205 sent from the quality management system 203 (step S705). If the value of the layer 4205 is 1 or more, a new device ID and search start date and time are acquired from the devices, products, and history table 3200 that were controlled in steps S703 to S704 of the preprocessing (step S706). Then, the processing shown in steps S701 to S704 is repeated by the new device ID and the search start date and time as many as the value of the layer 4205.

次に、図７を用いて、ステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について、製品と処理履歴の関係から改めて説明する。 Next, the target product / device search processing in steps S701 to S706 will be described anew from the relationship between the product and the processing history, with reference to FIG.

図７では縦に製品、横に装置を記載している。各製品は左から右の流れで処理され、個々の処理で使用された装置欄に○印で示している。また装置欄の右端に近いほど現時刻に近い履歴であることを示している。処理対象製品Ａが、製造装置２０６の一つである装置Ａ１０１で規格はずれを発生させたとする（８０１）。履歴チェックを行わない場合は、そのまま処理対象製品Ａと装置Ａ１０１が制御対象となる。 In FIG. 7, the product is shown vertically and the device is shown horizontally. Each product is processed in the flow from left to right, and is marked with a circle in the equipment column used in each processing. Further, the closer to the right end of the device column, the closer the history is to the current time. It is assumed that the product A to be processed causes a deviation from the standard in the apparatus A101 which is one of the manufacturing apparatuses 206 (801). When the history check is not performed, the processing target product A and the device A101 are directly controlled.

履歴チェックを行い、階層が０、そして規格テーブル４２００の期間４２０６とデータテーブル４３００に基づいて算出された検索開始日時が、符号８０２で示す日時であった場合、製品Ａ、Ｃが処理中止の対象となる。そして製品ＡおよびＣが装置Ａ１０１における処理のあとに通過した製造装置２０６である装置Ｂ１０１、Ｄ１０１も、２時汚染の可能性があるため、制御対象となる。 When a history check is performed, the hierarchy is 0, and the search start date and time calculated based on the period 4206 of the standard table 4200 and the data table 4300 is the date and time indicated by reference numeral 802, the products A and C are subject to processing cancellation. It becomes. The devices B101 and D101, which are the manufacturing devices 206 through which the products A and C have passed after the processing in the device A101, are also subject to control because there is a possibility of two-time contamination.

階層が１の場合は、前項の処理で制御対象となった装置Ｂ１０１をキーにするとともに、制御対象となった製品Ａ、Ｃのうちで装置Ｂ１０１での作業終了日時が古い方の日時を検索開始日時８０３として現時点まで検索すると、製品Ｄも制御対象となる。そして、製品Ｄを処理した装置Ｃ１０１が制御対象となる。同様に装置Ｄ１０１をキーにした場合は、検索開始日時８０４から現時点までが対象期間となる。しかし、その間に製品Ａ、Ｃ以外に対象となる履歴はないので、処理対象製品の追加は行わない。 If the hierarchy is 1, the device B101 that is the control target in the processing of the previous item is used as a key, and the date and time of the older work end date and time in the device B101 among the products A and C that are the control target is searched When searching to the present time as the start date and time 803, the product D is also controlled. And the apparatus C101 which processed the product D becomes a control object. Similarly, when the device D101 is used as a key, the target period is from the search start date and time 804 to the current time. However, since there is no target history other than products A and C in the meantime, the processing target product is not added.

階層が２以上の場合も、同様にして、あらたに制御対象となった製造装置２０６と処理対象製品について、上記と同様の処理を行う。例えば階層が２の場合は、装置キーが装置Ｃ１０１で、製品Ｄの作業終了日時８０５が検索開始日時となる。これにより製品Ｅと装置Ｅ１０１が制御対象となる。また階層が３の場合は、装置キーが装置Ｅ１０１で、製品Ｅの作業終了日時８０６が検索開始日時となり、製品Ｆが制御対象となる。 Similarly, when the number of hierarchies is two or more, the same processing as described above is performed for the manufacturing apparatus 206 and the processing target product that are newly controlled. For example, when the hierarchy is 2, the device key is the device C101, and the work end date and time 805 of the product D is the search start date and time. As a result, the product E and the device E101 are controlled. When the hierarchy is 3, the device key is the device E101, the work end date and time 806 of the product E is the search start date and time, and the product F is the control target.

次に、本実施形態における作用及び効果について説明する。本実施形態によれば、品質管理システム２０３は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する（図５のステップＳ６０２，Ｓ６０３）。そして品質管理システム２０３は、記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、その製造装置２０６に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常特定までの時間を短くすることができる。 Next, functions and effects in the present embodiment will be described. According to the present embodiment, when the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses 206, the quality management system 203 acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus 206 that performed the process and the processing conditions in the process. (Steps S602 and S603 in FIG. 5). The quality management system 203 determines whether or not there is an abnormality in the manufacturing apparatus 206 indicated by the acquired apparatus ID, based on the stored determination criterion information and processing conditions. For this reason, when the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses 206, it can be determined whether or not the manufacturing apparatus 206 has an abnormality. Accordingly, it is possible to shorten the time from occurrence of abnormality to identification of abnormality.

さらに生産制御システム２０１は、異常があると判断された製造装置２０６に対応付けて、装置停止情報を記憶する。そして装置停止情報が記憶されている製造装置２０６の動作を停止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、不良品となる処理対象製品が増加することを抑制できる。 Furthermore, the production control system 201 stores the apparatus stop information in association with the manufacturing apparatus 206 determined to have an abnormality. Then, the operation of the manufacturing apparatus 206 in which the apparatus stop information is stored is stopped (step S505 in FIG. 4). Therefore, it is possible to suppress an increase in processing target products that are defective.

また生産制御システム２０１は、異常があると判断された処理対象装置に対応付けて、装置処理中止情報を記憶する。そして装置処理中止情報が記憶されている処理対象装置に対する処理を中止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、異常があると判断された処理対象装置を介して他の製造装置２０６に二次汚染が広がることを抑制できる。 Further, the production control system 201 stores the apparatus processing stop information in association with the processing target apparatus determined to have an abnormality. Then, the process for the process target apparatus in which the apparatus process stop information is stored is stopped (step S505 in FIG. 4). Therefore, it is possible to suppress the secondary contamination from spreading to other manufacturing apparatuses 206 through the processing target apparatus that is determined to be abnormal.

また、ステップＳ６０２、ステップＳ６０４、ステップＳ６０５、及びステップＳ６０６に示した処理により、管理対象の製造装置２０６で処理した製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２と、その製造装置２０６で処理された処理対象製品の検査結果を示すデータである処理データ４３０３とを対応させることが可能となる。これにより、製造装置２０６自身の処理した情報だけでは判断できなくても、その処理工程後に検査結果を確認するための工程を設定することで、短時間で該当製造装置および製品の監視が可能となる。 In addition, by the processing shown in step S602, step S604, step S605, and step S606, the product ID 4301 processed by the manufacturing apparatus 206 to be managed, the work end date and time 4302, and the processing target product processed by the manufacturing apparatus 206 are displayed. It is possible to associate the processing data 4303 which is data indicating the inspection result. This makes it possible to monitor the manufacturing device and product in a short time by setting a process for confirming the inspection result after the processing process even if it cannot be determined only by information processed by the manufacturing apparatus 206 itself. Become.

また、ステップＳ６０８、ステップＳ６１０、及びステップＳ６１１の処理によって、該当する製造装置２０６で異常が発生したと推定される日時をデータテーブル４３００の作業終了日時４３０２から取得する。この作業終了日時から現在日時の期間と製造装置２０６をキーにして履歴テーブル３２００のデータを検索することで、ステップＳ７０１に示したように、この製造装置２０６で設定した期間内に処理された処理対象製品を抽出することができる。 In addition, the date and time when it is estimated that an abnormality has occurred in the corresponding manufacturing apparatus 206 is acquired from the work end date and time 4302 of the data table 4300 by the processing of step S608, step S610, and step S611. By searching the data in the history table 3200 using the period of the current date and time and the manufacturing device 206 as a key from this work end date and time, as shown in step S701, the processing processed within the period set by the manufacturing device 206 Target products can be extracted.

そして、抽出された処理対象製品の製品ＩＤに基づいて、異常が発生した製造装置２０６より後にその処理対象製品を処理した製造装置２０６を特定することにより、二次汚染の可能性がある製造装置２０６を特定することができる。 Then, based on the product ID of the extracted processing target product, the manufacturing apparatus 206 that has processed the processing target product after the manufacturing apparatus 206 in which an abnormality has occurred is specified. 206 can be identified.

また、検索結果からあらたな作業終了日時(例えば図７の８０２〜８０６)と装置ＩＤを取得して、同様の処理を繰り返すことで、トラブルの影響が及んでいると考えられる製品と製造装置を階層的に検索して制御することが可能となる。 In addition, a new work end date and time (for example, 802 to 806 in FIG. 7) and a device ID are acquired from the search result, and the same processing is repeated to obtain a product and a manufacturing device that are considered to be affected by the trouble. It becomes possible to search and control hierarchically.

図８は、第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。このシステムは、検索条件を入力するための端末９０１が通信網２０７に接続されている点を除いて、第１の実施形態と同様の構成である。ここでの検索条件は、異常が発生したときに、管理の対象とすべき他の製造装置２０６及び処理対象装置を検索するための条件である。 FIG. 8 is a diagram illustrating how the system according to the second embodiment is used. This system has the same configuration as that of the first embodiment except that a terminal 901 for inputting search conditions is connected to the communication network 207. The search condition here is a condition for searching for another manufacturing apparatus 206 and processing target apparatus to be managed when an abnormality occurs.

図９は端末９０１より入力する検索条件の例である。ここで示す検索条件は、検索対象となる期間１００１、検索する階層１００２、制御方法１００３、並びに工程手順名、製品ＩＤ、装置ＩＤ、及び処理条件よりなる検索キー１００４の入力フィールドを有している。 FIG. 9 shows an example of search conditions input from the terminal 901. The search condition shown here has an input field for a search key 1004 including a period 1001 to be searched, a hierarchy 1002 to be searched, a control method 1003, and a process procedure name, product ID, device ID, and processing conditions. .

図１０は、図８に示したシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。利用者は、端末９０１より検索条件を入力し、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ送信する。検索条件を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った期間１００１と検索キー１００４を用いて、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、対象となる処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤを検索する（ステップＳ７０１，Ｓ７０２，Ｓ７０３）。 FIG. 10 is a flowchart showing the operation of the system shown in FIG. 8, and corresponds to FIG. 6 in the first embodiment. The user inputs a search condition from the terminal 901 and transmits it to the history search system 205 via the communication network 207. The history search system 205 that has received the search condition uses the received period 1001 and the search key 1004 to search the product ID of the target processing target device from the history table 3200 in the database 202 of the production control system 201. The device ID of the manufacturing device 206 is searched (steps S701, S702, and S703).

履歴検索システム２０５は、処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤの検索が完了したら、送られてきた検索条件の制御方法１００３の設定内容を確認する（ステップＳ１１０１）。設定内容が「自動」の場合、履歴検索システム２０５は検索された処理対象装置及び製造装置２０６に対して制御処理を行う。ここでの制御処理は、第１の実施形態において図６のステップＳ７０４で示した処理と同様である（ステップＳ７０４）。 When the search of the product ID of the processing target device and the device ID of the manufacturing device 206 is completed, the history search system 205 confirms the set contents of the search condition control method 1003 sent (step S1101). When the setting content is “automatic”, the history search system 205 performs control processing on the searched processing target device and the manufacturing device 206. The control process here is the same as the process shown in step S704 of FIG. 6 in the first embodiment (step S704).

「選択」（手動）の場合、履歴検索システム２０５は、検索した内容をリストアップして保持しておく（ステップＳ１１０１，Ｓ１１０２）。そして、検索処理が指定された階層１００２まで完了したら、検索によってリストアップされた製品ＩＤ及び装置ＩＤを、通信網２０７を介して、検索条件を送信した端末９０１へ送り返す（ステップＳ１１０４）。 In the case of “selection” (manual), the history search system 205 lists and holds the searched contents (steps S1101 and S1102). When the search process is completed up to the designated hierarchy 1002, the product ID and device ID listed by the search are sent back to the terminal 901 that transmitted the search condition via the communication network 207 (step S1104).

図１１は、履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。表示されたリストには、検索された装置ＩＤ１２０２、製品ＩＤ１２０３および該装置で処理した作業条件１２０４、及び作業開始・終了日時１２０５，１２０６が表示されている。また各装置ＩＤおよび製品ＩＤごとに選択ボックス１２０１，１２０７を有している。 FIG. 11 is a display example of the product and device ID list sent from the history search system 205. In the displayed list, the searched device ID 1202, product ID 1203, work conditions 1204 processed by the device, and work start / end dates 1205 and 1206 are displayed. In addition, selection boxes 1201 and 1207 are provided for each device ID and product ID.

ユーザは、表示された一覧から、処理を中止したい製造装置２０６および処理対象製品の選択ボックス１２０１，１２０７のフラグをＯｎにして、端末９０１から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。 From the displayed list, the user turns on the flag of the selection boxes 1201 and 1207 of the manufacturing apparatus 206 and processing target products that the processing is to be stopped, and sends the flag from the terminal 901 to the production control system 201 via the communication network 207.

情報を受け取った生産制御システム２０１は、選択ボックス１２０１，１２０７のフラグがＯｎの製造装置２０６および処理対象製品に対しては、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更し、かつ製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する。 The production control system 201 that has received the information, for the manufacturing apparatus 206 and the processing target product whose selection boxes 1201 and 1207 have the flag On, indicates whether or not the corresponding product in the history table 3200 recorded in the database 202 can be processed. And the work availability state 3302 of the corresponding device ID in the manufacturing apparatus status table 3300 is changed to work unavailable.

以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置２０６の処理情報のみでは捕らえることのできない問題（たとえば処理手順や処理条件の設定ミス、汚染や異物混入などの事項）が発生したときに、人が検索条件を設定することで、影響があったと考えられる装置処理および製品の進捗を制御させることで、問題が拡大することを抑制できる。 As described above, according to the present embodiment, the same effects as those of the first embodiment can be obtained. In addition, when a problem that cannot be caught only by the processing information of the manufacturing apparatus 206 (for example, a setting error in the processing procedure or processing conditions, contamination, foreign matter mixing, etc.) occurs, a person sets a search condition, By controlling the progress of the device processing and the product considered to have been affected, the problem can be prevented from expanding.

図１２は、第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０２は、以下を除いて第１または第２の実施形態と同様の構成である。まず、工程手順テーブル３１００に、停止禁止工程、およびそのレベルを指定する項目１３０１が追加されている。そして、製造装置状態テーブル３３００に、装置ごとに制御除外レベルを指定する項目１３０２が追加されている。 FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration of data stored in the database 202 in the system according to the third embodiment. In this embodiment, the database 202 has the same configuration as that of the first or second embodiment except for the following. First, in the process procedure table 3100, a stop prohibiting process and an item 1301 for specifying the level are added. Then, an item 1302 for designating a control exclusion level for each apparatus is added to the manufacturing apparatus state table 3300.

図１３は、本実施形態におけるデータベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０４は、規格テーブル４２００内の判定パターンごとにレベルを指定する項目１４０１が追加されている点を除いて、第１又は第２の実施形態と同様の構成である。 FIG. 13 is a diagram showing a configuration of data stored in the database 204 in the present embodiment. In the present embodiment, the database 204 has the same configuration as that of the first or second embodiment, except that an item 1401 for designating a level for each determination pattern in the standard table 4200 is added.

図１４は、本実施形態におけるシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。品質管理システム２０３から履歴検索システム２０５に、通信網２０７を介して処理イベント情報が送信されるとき、第１の実施形態に示した情報に加えて該当した判定パターンの項目１４０１のレベル情報も併せて送信する。 FIG. 14 is a flowchart showing the operation of the system in the present embodiment, and corresponds to FIG. 6 in the first embodiment. When processing event information is transmitted from the quality management system 203 to the history search system 205 via the communication network 207, in addition to the information shown in the first embodiment, the level information of the item 1401 of the corresponding determination pattern is also included. To send.

品質管理システム２０３が製品履歴検索処理(ステップＳ７０３)を終了した後、制御対象となる製造装置２０６の項目１３０２の除外レベルと、品質管理システム２０３より送られてきたレベル情報１４０１とを比較する（ステップＳ１５０１）。比較の結果、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を実施しないで次のステップへ進む。「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を行なう（ステップＳ７０４）。 After the quality management system 203 finishes the product history search process (step S703), the exclusion level of the item 1302 of the manufacturing apparatus 206 to be controlled is compared with the level information 1401 sent from the quality management system 203 ( Step S1501). As a result of the comparison, if “level information of item 1401 ≦ exclusion level of item 1302”, the quality management system 203 proceeds to the next step without performing apparatus stop information generation processing for the manufacturing apparatus 206. If “level information of item 1401> exclusion level of item 1302”, the quality management system 203 performs the same control processing as in the first embodiment, and generates device stop information for the manufacturing device 206 (step S704). ).

さらに品質管理システム２０３は、装置処理中止情報の生成処理が行なわれた処理対象製品については、該当製品の履歴テーブル３２００と工程手順テーブル３１００より、その処理対象製品について行なわれた処理を特定する。そして品質管理システム２０３は、特定した処理の項目１３０１の停止禁止工程に設定されている値と品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報を比較する（ステップＳ１５０１）。比較した結果、「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、該当製品の進捗を停止させる。一方、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、該当製品の履歴テーブル３２００内の状態３２０３を作業可から品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報に変更する（ステップＳ７０４）。 Further, the quality management system 203 specifies the processing performed on the processing target product from the history table 3200 and the process procedure table 3100 of the corresponding product for the processing target product on which the apparatus processing stop information is generated. The quality management system 203 compares the value set in the stop prohibition process of the identified process item 1301 with the level information of the item 1401 sent from the quality management system 203 (step S1501). As a result of the comparison, if “level information of item 1401> stop prohibition process of item 1301”, the same control process as in the first embodiment is performed to stop the progress of the corresponding product. On the other hand, in the case of “level information of item 1401 ≦ stop process of item 1301”, the state 3203 in the history table 3200 of the corresponding product is changed from work available to the level information of item 1401 sent from the quality management system 203. (Step S704).

図１５は、本実施形態において、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態の図４に相当する図である。本図に示す処理は、ステップＳ５０１〜ステップＳ５０４までの処理は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。 FIG. 15 is a flowchart illustrating an operation when processing the processing target device in the present embodiment, and corresponds to FIG. 4 of the first embodiment. In the processing shown in this figure, the processing from step S501 to step S504 is the same as that in the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

ステップＳ５０４に示した処理が行なわれた後、処理中の処理対象製品の履歴テーブル３２００における状態３２０３の内容をチェックする（ステップＳ１６０１）。状態３２０３にレベル情報が設定されている場合は、工程手順テーブル３１００と履歴テーブル３２００から次工程の停止禁止工程１３０１の設定値を検索する（ステップＳ１６０２）。「状態３２０３に設定されているレベル値」＞「ステップＳ１６０２で検索した次工程の停止禁止工程１３０１の設定値」の場合は、該当製品の状態３２０３を作業不可に変更する（ステップＳ１６０３）。 After the processing shown in step S504 is performed, the contents of the state 3203 in the history table 3200 of the processing target product being processed are checked (step S1601). When level information is set in the state 3203, the setting value of the stop prohibition process 1301 of the next process is searched from the process procedure table 3100 and the history table 3200 (step S1602). If “level value set in state 3203”> “set value of stop prohibition process 1301 of next process searched in step S1602”, the state 3203 of the corresponding product is changed to work impossibility (step S1603).

本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置、処理工程および規格判定パターンにレベル情報を設けることで、製造装置を不必要に停止させることを抑制できる。 Also according to this embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Moreover, it can suppress stopping a manufacturing apparatus unnecessarily by providing level information in a manufacturing apparatus, a process, and a standard determination pattern.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the usage condition of the management system in 1st Embodiment. データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the data which the database has memorize | stored. データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the data which the database has memorize | stored. 図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。2 is a flowchart showing an operation when processing a processing target apparatus in the system shown in FIG. 1. 生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。4 is a flowchart showing an operation of the quality management system 203 after receiving information from the production control system 201. 履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing the operation of a history search system 205. 図６のステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について説明する図である。It is a figure explaining the search process of the object product and apparatus in step S701 of FIG. 6-step S706. 第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。It is a figure which shows the usage condition of the system which concerns on 2nd Embodiment. 端末９０１より入力する検索条件の例である。It is an example of a search condition input from the terminal 901. 図８に示したシステムの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the system shown in FIG. 履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。It is a display example of the product and device ID list sent from the history search system 205. 第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベースが記憶しているデータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the data which the database in the system which concerns on 3rd Embodiment has memorize | stored. データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the data which the database has memorize | stored. システムの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a system. 処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement when processing a process target apparatus. 特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する図である。It is a figure explaining the judgment value calculation device of a production management system given in patent documents 1.

Explanation of symbols

１０１中央制御装置
１０２製造装置
１０３テスト装置
１０４ネットワーク
２０１生産制御システム
２０２データベース
２０３品質管理システム
２０４データベース
２０５履歴検索システム
２０６製造装置
２０７通信網
８０２符号
８０３検索開始日時
８０４検索開始日時
８０５作業終了日時
８０６作業終了日時
９０１端末
１００１期間
１００２階層
１００３制御方法
１００４検索キー
１２０１選択ボックス
１２０２装置ＩＤ
１２０３製品ＩＤ
１２０４作業条件
１２０５作業開始日時
１２０６作業終了日時
１２０７選択ボックス
１３０１項目
１３０２項目
１４０１項目
３１００工程手順テーブル
３１０１工程手順名
３１０２シーケンス番号
３１０３処理条件
３２００履歴テーブル
３２０１製品ＩＤ
３２０２工程手順名
３２０３処理可否状態
３２０４シーケンス番号
３２０５作業開始日時
３２０６作業終了日時
３２０７装置ＩＤ
３２０８処理データ
３３００製造装置状態テーブル
３３０１装置ＩＤ
３３０２作業可否状態
４１００層別テーブル
４１０１ＩＤ
４１１０管理装置情報
４１１１装置ＩＤ
４１１２工程手順名
４１１３処理条件
４１１４シーケンス番号
４１２０データ装置情報
４１２１処理条件
４１２２シーケンス番号
４２００規格テーブル
４２０１項目名
４２０２規格値
４２０３判定パターン
４２０４フラグ
４２０５階層
４２０６期間
４３００データテーブル
４３０１製品ＩＤ
４３０２作業終了日時
４３０３処理データ
４３０４規格判定結果 101 Central Control Device 102 Manufacturing Device 103 Test Device 104 Network 201 Production Control System 202 Database 203 Quality Management System 204 Database 205 History Search System 206 Manufacturing Device 207 Communication Network 802 Reference 803 Search Start Date 804 Search Start Date 805 Work End Date 806 Work End date 901 Terminal 1001 Period 1002 Hierarchy 1003 Control method 1004 Search key 1201 Selection box 1202 Device ID
1203 Product ID
1204 Work condition 1205 Work start date and time 1206 Work end date and time 1207 Selection box 1301 Item 1302 Item 1401 Item 3100 Process procedure table 3101 Process procedure name 3102 Sequence number 3103 Processing condition 3200 History table 3201 Product ID
3202 Process procedure name 3203 Processing availability state 3204 Sequence number 3205 Work start date and time 3206 Work end date and time 3207 Device ID
3208 Process data 3300 Manufacturing apparatus status table 3301 Device ID
3302 Work availability 4100 Stratified table 4101 ID
4110 management device information 4111 device ID
4112 Process procedure name 4113 Processing condition 4114 Sequence number 4120 Data device information 4121 Processing condition 4122 Sequence number 4200 Standard table 4201 Item name 4202 Standard value 4203 Determination pattern 4204 Flag 4205 Hierarchy 4206 Period 4300 Data table 4301 Product ID
4302 Work end date and time 4303 Processing data 4304 Standard determination result

Claims

A management system for managing a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses that perform different processes,
A criterion storage unit that stores, for each of the plurality of manufacturing devices, determination criterion information for determining that the manufacturing device has an abnormality in association with device IDs for mutually identifying the manufacturing devices;
When a processing target device is processed in any one of the manufacturing apparatuses, the processing ID acquisition unit that acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus that has performed the processing, and the processing conditions in the processing,
The determination criterion information corresponding to the device ID acquired by the processing condition acquisition unit is read from the determination criterion storage unit, and acquired by the processing condition acquisition unit based on the read determination criterion information and the processing condition. An abnormality determination unit for determining whether or not the manufacturing apparatus indicated by the apparatus ID is abnormal;
A stop information generation unit that generates device stop information that is information for stopping the operation of the manufacturing apparatus indicated by the device ID acquired by the processing condition acquisition unit when the abnormality determination unit determines that there is an abnormality; ,
A management system comprising:

The management system according to claim 1,
A processing condition management unit for acquiring the processing conditions in the manufacturing apparatus from the manufacturing apparatus;
The processing condition management unit, when any one of the manufacturing apparatuses newly processes the processing target apparatus and acquires the new processing condition from the manufacturing apparatus, Is a management system that transmits the information in association with the device ID.

In the management system according to claim 1 or 2,
A device stop information storage unit for storing the device stop information and the device ID in association with each other;
A pre-processing device ID acquisition unit that acquires a device ID of the manufacturing device when the second processing target device is processed in any of the manufacturing devices;
Corresponds to the device ID acquired by the pre-processing device ID acquisition unit when the device stop information corresponding to the device ID acquired by the pre-processing device ID acquisition unit is stored in the device stop information storage unit An apparatus stop command transmission unit for stopping the operation of the manufacturing apparatus;
A management system comprising:

In the management system according to any one of claims 1 to 3,
The processing condition acquisition unit acquires a product ID that mutually identifies the processing target devices in association with the device ID and the processing conditions,
When the stop information generation unit determines that the manufacturing apparatus indicated by the apparatus ID acquired by the processing condition acquisition unit is abnormal, the stop information generation unit is directed to the processing target apparatus indicated by the product ID acquired by the processing condition acquisition unit. Management system for generating device process stop information, which is information for canceling the process.

The management system according to claim 4,
A device processing stop information storage unit that stores the device processing stop information and the product ID in association with each other;
A pre-processing product ID acquisition unit that acquires the product ID of the processing target device to be processed when the processing target device is processed in any of the manufacturing apparatuses;
The product ID acquired by the pre-processing product ID acquisition unit when the device processing stop information corresponding to the product ID acquired by the pre-processing product ID acquisition unit is stored in the device processing stop information storage unit A device processing stop command transmission unit that stops processing to the processing target device corresponding to
A management system comprising:

A management method for managing a semiconductor manufacturing system having a plurality of manufacturing apparatuses that perform different processes,
For each of the plurality of manufacturing apparatuses, the computer stores determination criterion information for determining that the manufacturing apparatus has an abnormality in association with an apparatus ID for mutually identifying the manufacturing apparatuses,
When the processing target apparatus is processed in any of the manufacturing apparatuses, the computer acquires the apparatus ID of the manufacturing apparatus that has performed the process, and the processing conditions in the process,
The computer determines whether there is an abnormality in the manufacturing apparatus indicated by the acquired apparatus ID based on the determination criterion information corresponding to the acquired apparatus ID and the processing condition, and determines that there is an abnormality. A management method for generating device stop information, which is information for stopping the operation of the manufacturing device indicated by the acquired device ID.