JP2010145201A - リニアエンコーダ - Google Patents

Abstract

【課題】高出力な光源を用いても、その光源より出力される光を確実に検出する受光感度の高いリニアエンコーダを提供することにある。
【解決手段】リニアゲージ１において、相互に波長の異なる第１及び第２の波長の光を光源２０（第１ＬＥＤ２０ａ、第２ＬＥＤ２０ｂ）から出力し、その光源から出力された光をレンズアレイ３０（コリメータレンズ）で平行光化して、フレネルレンズ４０により集光して光ファイバ５０の一端部５０ａに導入する。そして、光ファイバ５０の他端部５０ｂから出力される光をダイクロイックフィルタ７０により第１及び第２の波長の光に分離して、スケール１００（第１トラック１００ａ、第２トラック１００ｂ）を透過して、受光可能な波長の範囲が重ならない、第１受光素子１４０及び第２受光素子１５０にて受光させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、リニアエンコーダに関する。

光源と受光素子の間に複数の光学格子を有するスケールを挿入し、光源から出力される光をスケールに透過させて受光素子で受光し、その出力に基づいて、対象物の位置を測定するリニアエンコーダにおいては、受光素子の出力を高めるため、高出力な光源を備えることが望ましい。しかし、高出力な光源を用いると、光源からの熱がエンコーダの検出精度を低下させるという問題があった。
そのため、エンコーダの光源と検出部（受光素子）を分離し、その光源と検出部間を光ファイバで導光する方法が考えられている。しかし、その光源として高出力な発光ダイオードを用いると、発光ダイオードから出力される光は発散角が大きく、光ファイバに導入することが困難であるという問題があった。

そこで、同心円状に配置された複数の発光ダイオードから出力された光を、レンズアレイで集光し、さらに、フレネルレンズ等の光学素子にて集光することで、所定の範囲に照明光を集中させる照明装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、複数の異なる波長の光を所定の光合波器にて光ファイバの一端に入力し、光ファイバの他端で、所定の光分波器にて異なる波長成分ごとの光を検出する光センサが知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開２００３−３１５６７８号公報 特開平６−３４３２１号公報

しかし、上記特許文献１記載の発明は、集光した光を検出する手段が備えられておらず、また、特許文献２記載の発明では、光分波器により異なる波長成分の光ごとに分波し、複数の受光部により検出する構造を備えているが、各受光部の光に対する感度が考慮されていないため、分波された光のクロストークによって検出できないおそれがある。

そこで、本発明の課題は、高出力な光源を用いても、その光源より出力される光を確実に検出する受光感度の高いリニアエンコーダを提供することにある。

以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、リニアエンコーダにおいて、
第１の波長の光を出力する複数の第１発光素子と第２の波長の光を出力する複数の第２発光素子を少なくとも備えてなる光源と、
前記各第１及び第２発光素子から出力された光を平行光化する平行光化光学素子と、
前記平行光化光学素子を透過した光を所定の位置に集光する集光光学素子と、
前記集光光学素子により集光された光を一端側に入力し、他端側より出力する光ファイバと、
前記光ファイバの他端側より出力された光のうち、第1の波長の光と、第２の波長の光と、を分光する分光手段と、
前記分光手段により分光された第１及び第２の波長の光を、それぞれ所定のパターンを形成した光学格子に透過させる２つ以上のトラックを含んだスケールと、
前記スケールを通過した第１及び第２の波長の光をそれぞれ受光する第１及び第２受光素子と、
を備え、
前記第１受光素子と第２受光素子とで、受光可能な波長の範囲が重ならないようになっていることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアエンコーダにおいて、前記第１の波長の光の強度と前記第２の波長の光の強度が異なることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のリニアエンコーダにおいて、前記集光光学素子は、フレネルレンズ又はプリズムであることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、前記分光手段は、ダイクロイックフィルタであることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のリニアエンコーダにおいて、前記第１受光素子の受光面側に設けられ、前記第１の波長の光のみを透過させる第１フィルタと、前記第２受光素子の受光面側に設けられ、前記第２の波長の光のみを透過させる第２フィルタと、を備えたことを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、前記第１及び第２発光素子はアレイ状に配置され、前記平行光化光学素子は、前記第１及び第２発光素子に対応して、アレイ状に配置された複数のコリメータレンズにより構成されることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、前記第１の波長の光に対する第１受光素子の分光感度をＳ１、前記第２の波長の光に対する第２受光素子の分光感度をＳ２、前記第１発光素子の光出力をＰ１、前記第２発光素子の光出力をＰ２、前記第１発光素子の個数をＮ１、前記第２発光素子の個数をＮ２、前記第１発光素子から出力される第１の波長の光が前記第１受光素子に到達したときの減衰率をγ１、前記第２発光素子から出力される第２の波長の光が前記第２受光素子に到達したときの減衰率をγ２、とした場合に、前記第１発光素子の個数Ｎ１と前記第２発光素子の個数Ｎ２との比Ｒは次式（１）を満たすことを特徴とする。
Ｒ＝Ｎ１／Ｎ２≒Ｐ２×γ２×Ｓ２／（Ｐ１×γ１×Ｓ１） ・・・ （１）

本発明によると、第1の波長の光と第２の波長の光とを出力する複数の発光素子を備えた高出力な光源より光を出力し、その光を平行光化光学素子により平行光化して、集光光学素子にて所定位置で集光して光ファイバに入力する。そして、光ファイバから出力される光のうち、第1の波長の光と、第２の波長の光と、を分光手段により分光して、それぞれの光を２つ以上のトラックを備えたスケールに透過させて、第１及び第２受光素子により受光し、対象物の位置を測定することが出来る。そして、この第１受光素子と第２受光素子とで、受光可能な波長の範囲が重ならないようになっているため、クロストークの発生を好適に防止し、光源より出力される光を確実に検出することが出来る。
したがって、本発明は、高出力な光源を用いても、その光源より出力される光を確実に検出する受光感度の高いリニアエンコーダであるといえる。

以下、図を参照して、本発明に係るリニアエンコーダの具体的な態様を詳細に説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。

図１は、本発明に係るリニアエンコーダ１の概略構成を示した図であり、図２は、本発明に係るリニアエンコーダ１における、ヘッド９０と、スケール１００と、第１受光素子１４０及び第２受光素子１５０を示す要部拡大図である。
なお、図１における光源２０から出力された光が光ファイバ５０に向けて進行する方向をＸ方向とし、フレネルレンズ４０の中心線に平行な方向をＹ方向とし、ＸＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。

リニアエンコーダ１は図１に示すように、基板１０と、基板１０に配置された複数のＬＥＤを備えてなる光源２０と、光源２０から出力された複数の光を平行光化するレンズアレイ３０（平行光化光学素子）と、レンズアレイ３０にて平行光化された光を集光するフレネルレンズ４０（集光光学素子）と、フレネルレンズ４０で集光された光を一端部５０ａに入力する光ファイバ５０と、光ファイバ５０の他端部５０ｂから出力される光を平行光化するコリメータレンズ６０と、コリメータレンズ６０を透過した光のうち第１の波長の光を反射させる一方、第２の波長の光を透過させるダイクロイックフィルタ７０（分光手段）と、ダイクロイックフィルタ７０を透過した第２の波長の光を反射させるミラー８０と、ダイクロイックフィルタ７０及びミラー８０にて反射した夫々の光をスケール１００に入射させるヘッド９０と、ヘッド９０に入射された光を所定のトラックに透過させるスケール１００と、スケール１００を透過した光のうち、第１の波長の光のみを透過させる第１フィルタ１１０、スケール１００を透過した光のうち、第２の波長の光のみを透過させる第２フィルタ１２０と、第１フィルタ１１０を透過した光を受光して検出する第１受光素子１４０、第２フィルタ１１０を透過した光を受光して検出する第２受光素子１５０と、第１受光素子１４０、第２受光素子１５０を配置する受光基板１３０と、を備えて構成される。

基板１０は、光源２０の複数のＬＥＤを、所定の間隔でアレイ状に配置出来るように形成されている。

光源２０は、例えば、青色光（波長４５０〜５００ｎｍ程度）等を発光し、第１の波長の光（原点検出用の光）を出力する第１発光素子としての第１ＬＥＤ２０ａと、赤色光（波長６００〜７６０ｎｍ程度）等を発光し、第２の波長の光（測定対象物の位置検出用の光）を出力する第２発光素子としての第２ＬＥＤ２０ｂと、等を含む複数の光を出力するＬＥＤを備えて構成されており、基板１０上に所定間隔でアレイ状に配置されている。
そして、光源２０に含まれるＬＥＤのうち、例えば、図１に示されるように、第１ＬＥＤ２０ａの個数を第２ＬＥＤ２０ｂの個数よりも多くすることにより、第１の波長の光と第２の波長の光の強度（振幅）に差をつけることができるので、それぞれ第１受光素子１４０、第２受光素子１５０の受光感度に対応した好適な強度の光を出力することが出来るようになっている。

すなわち、例えば、青色光に対する受光素子の分光感度は、赤色光等に対する受光素子の分光感度よりも低いために、第１ＬＥＤ２０ａと第２ＬＥＤ２０ｂの配置個数が同数では、後述の第１の波長の光を受光する第１受光素子１４０の電気信号出力が、第２の波長の光を受光する第２受光素子１５０よりも小さくなってしまうことが考えられる。
そこで、上述のように、第１ＬＥＤ２０ａの配置個数を第２ＬＥＤ２０ｂの配置個数よりも多くすることで、第１受光素子１４０と第２受光素子１５０の電気信号出力を同程度にすることが出来る。
つまり、第１の波長に対する第１受光素子１４０の分光感度（分光感度＝出力光電流（Ａ）／入力光強度（Ｗ））をＳ１、第２の波長に対する第２受光素子１５０の分光感度をＳ２とし、第１ＬＥＤ２０ａの光出力をＰ１、第２ＬＥＤ２０ｂの光出力をＰ２、また、第１ＬＥＤ２０ａの配置個数をＮ１、第２ＬＥＤ２０ｂの配置個数をＮ２、さらにまた、第１ＬＥＤ２０ａから出力される第１の波長の光が第１受光素子１４０にまで到達したときの減衰率をγ１、第２ＬＥＤ２０ｂからから出力される第２の波長の光が第２受光素子１５０にまで到達したときの減衰率をγ２、とした場合に、第１受光素子１４０と第２受光素子１５０それぞれの電気信号出力（すなわち、出力光電流）を同程度にするには、以下の（２）式を満足すればよい。
Ｐ１×γ１×Ｓ１×Ｎ１≒Ｐ２×γ２×Ｓ２×Ｎ２ ・・・ （２）
したがって、第１ＬＥＤ２０ａと第２ＬＥＤ２０ｂとの配置個数の比をＲとすれば、Ｒは以下の（３）式で表現できる。
Ｒ＝Ｎ１／Ｎ２≒Ｐ２×γ２×Ｓ２／（Ｐ１×γ１×Ｓ１） ・・・ （３）
つまり、（３）式においてＰ１，Ｐ２，γ１、γ２、Ｓ１、Ｓ２、の値に基づいて、Ｒは定数として与えられるため、Ｎ１の配置個数はＲ×Ｎ２として（また、Ｎ２の配置個数はＮ１／Ｒとして）定めることができる。
なお、第１ＬＥＤ２０ａ又は第２ＬＥＤ２０ｂの発する光は、上記に限定されるものではなく、近赤外光（波長７００〜３０００ｎｍ程度）等であっても勿論良い。

レンズアレイ３０は、例えば、複数のコリメータレンズから構成され、光源２０に備えられた各ＬＥＤより出力される光を平行光化し、フレネルレンズ４０に入力されるように構成されている。つまり、レンズアレイ３０は、光源２０の各ＬＥＤより出力される光をそれぞれのコリメータレンズに入力できるように、各コリメータレンズを所定の間隔／大きさでアレイ状に配置している。
なお、光源２０及びレンズアレイ３０は、ＬＥＤやコリメータレンズをアレイ状に配置したものには限られず、例えば、基板１０を円筒形のものとし、その基板１０の周方向に、所定間隔で複数のＬＥＤを配置したものを光源２０とし、その光源２０のＬＥＤの配置に対応して、レンズアレイ３０のコリメータレンズを円筒状に配置したものであってもよい。

フレネルレンズ４０は、凸レンズのレンズ面を複数の同心円に沿って分割して複数の同心円環状のレンズセグメントとし、各レンズセグメントがほぼ同じ高さに位置するよう構成されたものであり、レンズアレイ３０から入力された光を所定の位置で集光することが出来る。そのため、光ファイバ５０の一端部５０ａをこのフレネルレンズ４０の集光位置に配置することにより、光源２０より出力された光を光ファイバ５０に導入することが可能となる。
なお、集光光学素子としてはフレネルレンズに限定されるものではなく、レンズアレイ３０で平行光化された複数の光に対応するＹ方向位置に複数のプリズムを設け、所定の位置で集光させるものであってもよい。

光ファイバ５０は、図示は省略するが、被覆部と、その被覆部内に配置されるクラッド及びコアから構成され、フレネルレンズ４０により集光された光を一端部５０ａからコアに入力し、コアとクラッドの屈折率の違いを用いて、コアを伝播する光がクラッドで全反射又は屈折を繰り返しながら他端部５０ｂまで到達する。

コリメータレンズ６０は、光源２０から出力されて光ファイバ５０により伝送され、他端部５０ｂから出力され、発散する光を平行光化し、ダイクロイックフィルタ７０に対して出力している。

ダイクロイックフィルタ７０は、可視光において、任意の波長域の光のみを選択的に反射／透過させ、その他の波長の光は透過／反射させる性質を有するフィルタであり、コリメータレンズ６０より入力された光のうち、第１の波長の光を反射させてスケール１００に入力するとともに、第１の波長の光とは波長の異なる第２の波長の光を透過させるため、第１の波長の光と第２の波長の光を分離する分光手段として機能する。そのため、ダイクロイックフィルタ７０を用いることで、第１の波長の光が第１受光素子１５０に受光されることや、第２の波長の光が第２光学素子１４０に受光されることによるクロストークの発生を好適に防止することが出来る。

ミラー８０は、ダイクロイックフィルタ７０を透過した第２の波長の光を反射させて、スケール１００に入力させる。

ヘッド９０は、図２に示すように、第１の波長の光を透過させる原点用光学格子９０ａと、第２の波長の光を透過させるインデックススケール９０ｂと、を備えて構成される。
原点用光学格子９０ａは、ヘッド９０のＺ方向所定の位置で、ダイクロイックフィルタ７０にて反射した第１の波長の光を透過させるスリットであり、後述のスケール１００の第１トラック１００ａに第１の波長の光を入射する。
インデックススケール９０ｂは、Ｚ方向に等間隔に配置された複数の光学格子であり、ミラー８０により反射した第２の波長の光を透過させて、後述の第２トラック１００ｂに入射させる。

スケール１００は、原点検出用のパターンが形成された第１トラック１００ａと、測定対象物の位置検出用のパターンが形成された第２トラック１００ｂと、から構成され、測定対象物の測定時にモータ等により駆動力が付与されてＺ方向に可動する。
第１トラック１００ａは、Ｚ方向に不等間隔のパターンを有した原点検出用の光学格子であり、ヘッド９０の原点用光学格子９０ａを透過した第１の波長の光を透過させる。
第２トラック１００ｂは、Ｚ方向に等間隔のパターンを有し、ミラー８０にて反射し、インデックススケール９０ｂの所定の位置を透過した第２の波長の光を透過させるメインスケール用の光学格子である。

フィルタ１１０、１２０は、任意の波長域の光のみを透過させ、その他の波長の光を吸収（又は反射）するフィルタである。フィルタ１１０は、スケール１００の第１トラック１００ａを透過した光のうち、第１の波長の光を透過させて第１受光素子１４０に入力して、その他の光を吸収（反射）し、フィルタ１２０は、スケール１００の第２トラック１００ｂを透過した光のうち、第２の波長の光を透過させて第２受光素子１５０に入力して、その他の光を吸収（反射）するため、第１波長の光、第２波長の光のみを確実に第１受光素子１４０、第２受光素子１５０に入力することが出来る。
なお、フィルタ１１０、１２０は、ダイクロイックフィルタを用いてもよい。

受光基板１３０は、図２に示すように、第１受光素子１４０と、第２受光素子１５０と、を配置する基板である。
第１受光素子１４０は、複数の受光窓１４０ａを備え、第１トラック１００ａ及びフィルタ１１０を透過した第１の波長の光を受光する。そのため、第１受光素子１４０の受光可能な光の波長の範囲は、例えば、４５０〜５００ｎｍ程度となっている。
受光窓１４０ａは、スケール１００の各第１トラック１００ａ間の間隔の数倍となるように、Ｚ方向に不等間隔に配置されている。即ち、原点用光学格子９０ａを介して第１トラック１００ａを透過して得られる複数の光束について、スケール１００がＺ方向に移動して原点位置に一致した地点で、全て第１受光素子１４０に受光されるように設定されている。そして、第１受光素子１４０より出力された受光信号に基づいて、検出装置（図示省略）が所定の変位情報を検出するので、測定対象物の位置検出における原点位置を把握することが出来る。
第２受光素子１５０は、第２トラック１００ｂ及びフィルタ１２０を透過した第２の波長の光を受光する。そのため、第２受光素子１５０の受光可能な光の波長の範囲は、例えば、波長６００〜７６０ｎｍ程度となっている。そして、第２受光素子１５０より出力された受光信号に基づいて、検出装置（図示省略）が所定の変位情報を検出するので、第１受光素子１４０より把握される原点位置に基づいて、測定対象物の位置検出を行うことが出来る。

以上より、本実施形態に係るリニアゲージ１によると、相互に波長及び振幅の異なる第１及び第２の波長の光を光源２０（第１ＬＥＤ２０ａ、第２ＬＥＤ２０ｂ）から出力し、その光源から出力された光をレンズアレイ３０（コリメータレンズ）で平行光化してフレネルレンズ４０により集光して光ファイバ５０の一端部５０ａに導入する。そして、光ファイバ５０の他端部５０ｂから出力される光をダイクロイックフィルタ７０により第１及び第２の波長の光に分離して、スケール１００（第１トラック１００ａ、第２トラック１００ｂ）を透過させて、第１受光素子１４０及び第２受光素子１５０にて受光させることが出来る。そして、第１の波長の光を受光する第１受光素子１４０と第２の波長の光を受光する第２受光素子１５０とで、受光可能な波長の範囲が重ならないようになっているため、クロストークの発生を好適に防止し、光源より出力される光を確実に検出することが出来る。
したがって、高出力な光源を用いても、その光源より出力される光を確実に検出する受光感度の高いリニアエンコーダであるといえる。

また、光源２０に含まれるＬＥＤのうち、第１ＬＥＤ２０ａと第２ＬＥＤ２０ｂの個数に差を設けることにより、第１の波長の光と第２の波長の光の強度（振幅）に差が生じるので、それぞれ第１受光素子１４０、第２受光素子１５０の受光感度に対応した好適な強度の光を出力することが出来る。

また、本発明における集光光学素子としてフレネルレンズ４０を用いることにより、他の集光レンズと比べて薄く形成することが可能であるため、エンコーダの材料コスト軽減及び、小型化を実現することが出来る。

また、本発明における分光手段として、ダイクロイックフィルタ７０を用いることにより、第１の波長の光が第２受光素子１５０に受光されることや、第２の波長の光が第１光学素子１４０に受光されることによるクロストークの発生を好適に防止することが出来る。

また、第１受光素子１４０及び第２受光素子１５０の前面に第１フィルタ１１０及び第２フィルタ１２０を設けているので、上記クロストークの発生をより確実に防止することが可能となる。

また、光源２０を構成する各ＬＥＤ（第１ＬＥＤ２０ａ、２０ｂ等）をアレイ状に配置して構成しており、また、レンズアレイ３０を構成するコリメータレンズもアレイ状に配置して構成してあるため、リニアゲージ１の小型化や設計の容易性、部品入手の簡便性等に寄与する。

また、第１ＬＥＤ２０ａと第２ＬＥＤ２０ｂとの配置個数の比をＲとすれば、Ｒは前述の（３）式で表現でき、（３）式におけるＰ１，Ｐ２，γ１、γ２、Ｓ１、Ｓ２、の値に基づいて、Ｒは定数として与えられるため、Ｎ１の配置個数はＲ×Ｎ２として（また、Ｎ２の配置個数はＮ１／Ｒとして）定めることができる。

なお、上記実施形態では、光源２０は、第1の波長の光と第２の波長の光とを出力するものとしているが、第３の波長の光を出力するように構成してもよい。

本発明に係る本発明に係るリニアエンコーダ１の概略構成を示した図である。 本発明に係るリニアエンコーダ１における、ヘッド９０と、スケール１００と、第１受光素子１４０及び第２受光素子１５０を示す要部拡大図である。

符号の説明

１ リニアエンコーダ
２０ 光源
２０ａ、２０ｂ 第１、第２ＬＥＤ（第１、第２発光素子）
３０ レンズアレイ（コリメータレンズ、平行光化光学素子）
４０ フレネルレンズ（集光光学素子）
５０ 光ファイバ
７０ ダイクロイックフィルタ（分光手段）
１００ スケール
１００ａ 第１トラック
１００ｂ 第２トラック
１１０ 第１フィルタ
１２０ 第２フィルタ
１４０ 第１受光素子
１５０ 第２受光素子

Claims (7)

1. 第１の波長の光を出力する複数の第１発光素子と第２の波長の光を出力する複数の第２発光素子を少なくとも備えてなる光源と、
   前記各第１及び第２発光素子から出力された光を平行光化する平行光化光学素子と、
   前記平行光化光学素子を透過した光を所定の位置に集光する集光光学素子と、
   前記集光光学素子により集光された光を一端側に入力し、他端側より出力する光ファイバと、
   前記光ファイバの他端側より出力された光のうち、第1の波長の光と、第２の波長の光と、を分光する分光手段と、
   前記分光手段により分光された第１及び第２の波長の光を、それぞれ所定のパターンを形成した光学格子に透過させる２つ以上のトラックを含んだスケールと、
   前記スケールを通過した第１及び第２の波長の光をそれぞれ受光する第１及び第２受光素子と、
   を備え、
   前記第１受光素子と第２受光素子とで、受光可能な波長の範囲が重ならないようになっていることを特徴とするリニアエンコーダ。
2. 請求項１に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記第１の波長の光の強度と前記第２の波長の光の強度が異なることを特徴とするリニアエンコーダ。
3. 請求項１又は２に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記集光光学素子は、フレネルレンズ又はプリズムであることを特徴とするリニアエンコーダ。
4. 請求項１〜３の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記分光手段は、ダイクロイックフィルタであることを特徴とするリニアエンコーダ。
5. 請求項４に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記第１受光素子の受光面側に設けられ、前記第１の波長の光のみを透過させる第１フィルタと、
   前記第２受光素子の受光面側に設けられ、前記第２の波長の光のみを透過させる第２フィルタと、
   を備えたことを特徴とするリニアエンコーダ。
6. 請求項１〜５の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記第１及び第２発光素子はアレイ状に配置され、
   前記平行光化光学素子は、前記第１及び第２発光素子に対応して、アレイ状に配置された複数のコリメータレンズにより構成されることを特徴とするリニアエンコーダ。
7. 請求項１〜６の何れか一項に記載のリニアエンコーダにおいて、
   前記第１の波長の光に対する第１受光素子の分光感度をＳ１、前記第２の波長の光に対する第２受光素子の分光感度をＳ２、前記第１発光素子の光出力をＰ１、前記第２発光素子の光出力をＰ２、前記第１発光素子の個数をＮ１、前記第２発光素子の個数をＮ２、前記第１発光素子から出力される第１の波長の光が前記第１受光素子に到達したときの減衰率をγ１、前記第２発光素子から出力される第２の波長の光が前記第２受光素子に到達したときの減衰率をγ２、とした場合に、前記第１発光素子の個数Ｎ１と前記第２発光素子の個数Ｎ２との比Ｒは次式（１）を満たすことを特徴とするリニアエンコーダ。
   Ｒ＝Ｎ１／Ｎ２≒Ｐ２×γ２×Ｓ２／（Ｐ１×γ１×Ｓ１） ・・・ （１）

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