JP2010121659A - Heating unit of tube internal wall surface - Google Patents

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Mitsuaki Komino
光明 小美野
Tatsuro Tokuhiro
達郎 徳弘
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heating unit of a tube internal wall surface capable of shortening the delivery date and reducing the cost by previously standardizing two types of heating units having a straight type capable of corresponding and adapting to a straight tube section having a length in a predetermined range, and an elbow type capable of corresponding and adapting to a bend section having a predetermined bending angle and housing them as a stock. <P>SOLUTION: The heating unit of the tube internal wall surface includes a large diameter tubular heating body formed to cover the pipe internal wall surface, and a small-diameter tubular heating body which has a diameter to be fitted into the inside of the large diameter tubular heating body and is formed to cover the pipe internal wall surface flatly. The length can be adjusted by fitting the small diameter tubular heating body into the inside of the large diameter tubular heating body. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、たとえば、半導体製造装置、ＦＰＤ製造装置、太陽電池製造装置の他、化学プラント、真空装置等の加熱配管に関し、特に、内壁面が加熱される排気管等の配管内壁面の加熱ユニットに関するものである。   The present invention relates to, for example, a semiconductor manufacturing apparatus, an FPD manufacturing apparatus, a solar cell manufacturing apparatus, a heating pipe for a chemical plant, a vacuum apparatus, and the like, and in particular, a heating unit for a pipe inner wall surface such as an exhaust pipe whose inner wall surface is heated. It is about.

図６に示すように、従来の加熱装置を装着した排気管５０は、着脱自在に形成され相互に連結される複数の排気管（配管）５１，５２を含み、各々の排気管５１，５２内に内壁面の加熱ユニット５３，５４が配置されている。そして、排気管５１，５２同士が、シール部材としてのＯリング５５を挟み込んだ状態で、クランプ機構５６により連結されている（例えば、特許文献１参照。）。
排気管５１は、直線状の排気通路を画定する直線円筒部５７、該直線円筒部５７の接続端部において径方向外側に突出して鍔状に形成されたフランジ部５８を有する。排気管５２は、湾曲した排気通路を画定する曲がり円筒部５９、該曲がり円筒部５９の接続端部において径方向外側に突出して鍔状に形成されたフランジ部６０を有する。 As shown in FIG. 6, an exhaust pipe 50 equipped with a conventional heating device includes a plurality of exhaust pipes (piping) 51 and 52 that are detachably connected to each other. Heating units 53 and 54 for the inner wall surface are arranged in the inner wall. And the exhaust pipes 51 and 52 are connected by the clamp mechanism 56 in the state which pinched | interposed O-ring 55 as a sealing member (for example, refer patent document 1).
The exhaust pipe 51 includes a linear cylindrical portion 57 that defines a linear exhaust passage, and a flange portion 58 that is formed in a flange shape so as to protrude radially outward at a connection end portion of the linear cylindrical portion 57. The exhaust pipe 52 includes a bent cylindrical portion 59 that defines a curved exhaust passage, and a flange portion 60 that protrudes radially outward at a connection end portion of the bent cylindrical portion 59 and is formed in a bowl shape.

この様な構造の排気管５０において、各々の排気管５１，５２内に配置される内壁面の加熱ユニット５３，５４を設置するには、一定の規定された長さの直線円筒部５７の長さを測定したり、もしくは、曲がり円筒部５９については、その曲がり角を測定したりして、その測定結果に見合う排気管の内壁面の加熱ユニット５３，５４を個別に設計・製作して納入・設置してきた。   In the exhaust pipe 50 having such a structure, in order to install the heating units 53 and 54 of the inner wall surface disposed in the respective exhaust pipes 51 and 52, the length of the linear cylindrical portion 57 having a predetermined length is set. For the bent cylindrical part 59, the bending angle is measured, and the heating units 53, 54 on the inner wall surface of the exhaust pipe corresponding to the measurement result are individually designed and manufactured and delivered. I have installed it.

しかし、この手法には以下に示す色々な問題点が存在した。
（１）引合いごとに既設配管等の寸法確認（現場の寸法測定、もしくは、客先からの施工対象配管の図面を入手）し、それにフィットする排気管の内壁面の加熱ユニットを設計・製作するので、引合いから納入までの納期が期待以上に掛かっていた。
（２）また、一品一品、設計・製作していたため、コスト面においても非常に高価になっており、市場競争力を削ぐ結果となっていた。
（３）また、追加で注文が入った場合でも、初回とほぼ同様の納期が掛かり、顧客満足は得られない状況となっていた。
特許第３９４０７４６号公報 However, this method has various problems as described below.
(1) Check the dimensions of existing pipes for each inquiry (measure on-site dimensions or obtain drawings of pipes to be installed from customers), and design and manufacture a heating unit for the inner wall of the exhaust pipe that fits Therefore, the delivery time from inquiry to delivery took longer than expected.
(2) Moreover, since each product was designed and manufactured, it was very expensive in terms of cost, resulting in a reduction in market competitiveness.
(3) Also, even when an additional order is placed, the delivery time is almost the same as the first time, and customer satisfaction cannot be obtained.
Japanese Patent No. 3940746

本発明は、上記した従来技術の問題を解決するためになされたもので、配管内壁面の加熱ユニットにおいて、一定の範囲の長さを有する直管部に対応・適応可能となるストレートタイプと、一定の曲がり角を有する曲管部に対応・適応可能となるエルボタイプの２つのタイプの加熱ユニットを予め標準化して在庫として置くことにより、納期の短縮およびコストの低減が可能な配管内壁面の加熱ユニットを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and in the heating unit for the inner wall surface of the pipe, a straight type that can accommodate and adapt to a straight pipe portion having a certain range of length, and a constant type. Heating unit for pipe inner wall surface that can shorten delivery time and reduce costs by pre-standardizing and stocking two types of elbow type heating units that can be adapted and adaptable to curved pipe sections with a bend angle Is intended to provide.

上記目的を達成するため本発明は、第１に、配管内壁面の加熱ユニットにおいて、配管内壁面を面状に覆うように形成された大径の管状加熱体と、該大径の管状加熱体の内側に嵌入可能な径を有し、配管内壁面を面状に覆うように形成された小径の管状加熱体とからなり、大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体を嵌入するようにすることにより長さを調節可能としたことを特徴としている。
第１の特徴により、嵌合部においてスムースかつフレキシブルなスライド動作が可能となり、次のような優れた効果を奏する。
（１）引き合いごとに配管等の寸法確認をすることがなく設計・製作ができるので、納期短縮を図ることができる。
（２）標準化が可能となり、一定範囲の長さをカバーできる製品の計画ができ、一品一品設計製作する必要がなくなり、コスト面でも計画生産・量産によるコスト削減が可能となる。
（３）リピートオーダー時においても、一定品質・同一コストおよび同一納期での供給が可能となる。 To achieve the above object, according to the present invention, firstly, in a heating unit for an inner wall surface of a pipe, a large-diameter tubular heating body formed so as to cover the inner wall surface of the pipe in a planar shape, and the large-diameter tubular heating body A small-diameter tubular heating body that has a diameter that can be fitted inside the pipe and is formed so as to cover the inner wall surface of the pipe in a planar shape, and the small-diameter tubular heating body is fitted inside the large-diameter tubular heating body In this way, the length can be adjusted.
The first feature enables a smooth and flexible sliding operation at the fitting portion, and has the following excellent effects.
(1) Since it is possible to design / manufacture without checking the dimensions of piping etc. for each inquiry, the delivery time can be shortened.
(2) Standardization is possible, and it is possible to plan products that can cover a certain range of length, eliminating the need to design and manufacture each product individually, and in terms of cost, it is possible to reduce costs by planned production and mass production.
(3) Even at the time of repeat order, supply with constant quality, the same cost, and the same delivery date becomes possible.

また、本発明は、第２に、第１の特徴において、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体は、それぞれ、薄板状の抵抗発熱体と、該抵抗発熱体を挟み込んで覆うとともに、配管内壁面を面状に覆うように形成された被覆部材とからなる管状の加熱本体部と、一方の端部が配管の外部に引き出され大気に開放される開放端部とを有することを特徴としている。
第２の特徴により、処理ガスに曝される内壁面を直接加熱することができるため、加熱効率を向上させることができ、また、管状加熱体の内部を大気状態に置くことができるため、熱伝導効率を向上させることができ、さらに、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体の通電用のリードを容易に外部に引き出すことができ、真空雰囲気内での接続等の煩わしさから解放され、取付け後に配線の接続作業を容易に行うことができる。 Further, according to the second aspect of the present invention, in the first feature, each of the large-diameter tubular heating body and the small-diameter tubular heating body covers and covers the thin plate-like resistance heating element and the resistance heating element. It has a tubular heating main body portion formed of a covering member formed so as to cover the inner wall surface of the pipe in a planar shape, and an open end portion whose one end is drawn out of the pipe and opened to the atmosphere. It is said.
According to the second feature, since the inner wall surface exposed to the processing gas can be directly heated, the heating efficiency can be improved, and the inside of the tubular heating body can be placed in an atmospheric state. Conduction efficiency can be improved, and leads for energizing large and small diameter tubular heaters can be easily pulled out, freeing you from the hassle of connecting in a vacuum atmosphere. Thus, the wiring connection work can be easily performed after the mounting.

また、本発明は、第３に、第１または第２の特徴において、配管は、着脱自在、かつ、相互に連結される複数の配管からなり、該複数の配管は、接続端部において径方向外側に突出するとともに互いに対向する鍔状のフランジ部を有し、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体の開放端部がシール部材を介してフランジ部に挟持されることを特徴としている。
第３の特徴により、開放端部を利用して大径の管状加熱体および小径の管状加熱体をそれぞれ独立して保持することが可能となり、新たな保持機構を設ける必要がなく、設置作業も簡素化できる。 In addition, according to the third or third aspect of the present invention, in the first or second feature, the pipe includes a plurality of pipes that are detachable and connected to each other, and the plurality of pipes are in the radial direction at the connection end. It has a flange-like flange portion that protrudes outward and faces each other, and is characterized in that the open end portion of the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater are sandwiched between the flange portions via a seal member. .
The third feature makes it possible to independently hold the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater using the open end, and it is not necessary to provide a new holding mechanism, and installation work is also possible. It can be simplified.

また、本発明は、第４に、第１ないし第３のいずれかの特徴において、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体は、直管部に設置されるストレートタイプ、または、曲管部に設置されるエルボタイプからなることを特徴としている。
第４の特徴により、直管部および曲管部のいずれの配管においても、適用することが可能となる。 In addition, according to the fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third features, the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater are a straight type installed in a straight pipe section or a curved pipe section. It is characterized by comprising an elbow type installed in.
According to the fourth feature, the present invention can be applied to any piping of the straight pipe portion and the curved pipe portion.

また、本発明は、第５に、第１ないし第４のいずれかの特徴において、大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体が嵌入された嵌合部において、小径の管状加熱体の密閉端部の内側被覆部材のみを延長して形成された小径段部に、大径の管状加熱体の内側が係合されるようにしたこと特徴としている。
また、本発明は、第６に、第１ないし第４のいずれかの特徴において、大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体が嵌入された嵌合部において、小径の管状加熱体の密閉端部の内側被覆部材およびスペーサの内径側の１／２を延長して形成された小径段部に、大径の管状加熱体の密閉端部の外側被覆部材およびスペーサの外径側の１／２を延長して形成された大径段部が係合されるようにしたこと特徴としている。
第５または第６の特徴により、大径の加熱本体部と小径の加熱本体部との径方向の合計厚さ寸法を小さくすることができる。 In addition, according to the fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth features, in the fitting portion in which the small diameter tubular heating body is fitted inside the large diameter tubular heating body, the small diameter tubular heating body is provided. The inside of the large-diameter tubular heating body is engaged with a small-diameter step formed by extending only the inner covering member of the hermetic end.
In addition, according to the sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth features, the small-diameter tubular heater is provided in the fitting portion in which the small-diameter tubular heater is fitted inside the large-diameter tubular heater. The outer covering member of the sealed end of the large-diameter tubular heating body and the outer diameter side of the spacer are formed on the inner diameter of the inner end of the inner end of the spacer and the small diameter step formed by extending 1/2 of the inner diameter of the spacer. A feature is that a large-diameter step formed by extending 1/2 is engaged.
According to the fifth or sixth feature, the total thickness dimension of the large-diameter heating main body portion and the small-diameter heating main body portion in the radial direction can be reduced.

また、本発明は、第７に、第１ないし第６のいずれかの特徴において、大径の管状加熱体の加熱本体部の内壁面および小径の管状加熱体の加熱本体部の外壁面に、断面が角状または円状のリブ、および、該リブが嵌合可能な凹溝を円周方向に複数設けることを特徴としている。
第７の特徴により、以下の効果を奏する。
（１）大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７相互の回転を防止することができる。
（２）ストレートタイプの加熱ユニットの場合、水平設置時における直管部分の撓みを防止することができる。
（３）リブと凹溝との係合によるラビリンス効果により漏れを防止する機能を向上させることができる。 Further, according to the seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth features, the inner wall surface of the heating main body portion of the large-diameter tubular heating body and the outer wall surface of the heating main body portion of the small-diameter tubular heating body, A rib having a square or circular cross section and a plurality of concave grooves into which the rib can be fitted are provided in the circumferential direction.
The seventh feature provides the following effects.
(1) The large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 can be prevented from rotating with each other.
(2) In the case of a straight type heating unit, it is possible to prevent the straight pipe portion from being bent during horizontal installation.
(3) The function of preventing leakage can be improved by the labyrinth effect caused by the engagement between the rib and the concave groove.

本発明の配管内壁面の加熱ユニットは、以下のような優れた効果を奏する。
（１）上記の第１の特徴により、
（ａ）引き合いごとに配管等の寸法確認をすることがなく設計・製作ができるので、納期短縮を図ることができる。
（ｂ）標準化が可能となり、一定範囲の長さをカバーできる製品の計画ができ、一品一品設計製作する必要がなくなり、コスト面でも計画生産・量産によるコスト削減が可能となる。
（ｃ）リピートオーダー時においても、一定品質・同一コストおよび同一納期での供給が可能となる。 The heating unit for the inner wall surface of the pipe of the present invention has the following excellent effects.
(1) According to the above first feature,
(A) Since it is possible to design and manufacture without checking the dimensions of the piping etc. for each inquiry, the delivery time can be shortened.
(B) Standardization is possible, and it is possible to plan products that can cover a certain range of length, eliminating the need to design and manufacture each product individually, and in terms of cost, it is possible to reduce costs by planned production and mass production.
(C) Even at the time of repeat order, supply with constant quality, the same cost, and the same delivery date becomes possible.

（２）上記の第２の特徴により、処理ガスに曝される内壁面を直接加熱することができるため、加熱効率を向上させることができ、また、管状加熱体の内部を大気状態に置くことができるため、熱伝導効率を向上させることができ、さらに、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体の通電用のリードを容易に外部に引き出すことができ、真空雰囲気内での接続等の煩わしさから解放され、取付け後に配線の接続作業を容易に行うことができる。
（３）上記の第３の特徴により、開放端部を利用して大径の管状加熱体および小径の管状加熱体をそれぞれ独立して保持することが可能となり、新たな保持機構を設ける必要がなく、設置作業も簡素化できる。 (2) Since the inner wall surface exposed to the processing gas can be directly heated by the second feature, the heating efficiency can be improved, and the inside of the tubular heating body is placed in an atmospheric state. Therefore, the heat conduction efficiency can be improved, and furthermore, the lead for energization of the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater can be easily pulled out and connected in a vacuum atmosphere. The wiring connection work can be easily performed after installation.
(3) The third feature described above makes it possible to independently hold the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater using the open end, and it is necessary to provide a new holding mechanism. In addition, installation work can be simplified.

（４）上記の第４の特徴により、直管部および曲管部のいずれの配管においても、適用することが可能となる。
（５）上記の第５または第６の特徴により、大径の加熱本体部と小径の加熱本体部との径方向の合計厚さ寸法を小さくすることができる。
（６）上記の第７の特徴により、以下の効果を奏する。
（ａ）大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７相互の回転を防止することができる。
（ｂ）ストレートタイプの加熱ユニットの場合、水平設置時における直管部分の撓みを防止することができる。
（ｃ）リブと凹溝との係合によるラビリンス効果により漏れを防止する機能を向上させることができる。 (4) The fourth feature described above makes it possible to apply to any piping of the straight pipe portion and the curved pipe portion.
(5) According to the fifth or sixth feature, the total thickness dimension in the radial direction of the large-diameter heating main body portion and the small-diameter heating main body portion can be reduced.
(6) According to the seventh feature, the following effects can be obtained.
(A) The mutual rotation of the large diameter tubular heating element 6 and the small diameter tubular heating element 7 can be prevented.
(B) In the case of a straight type heating unit, it is possible to prevent the straight pipe portion from being bent during horizontal installation.
(C) The function of preventing leakage can be improved by the labyrinth effect caused by the engagement between the rib and the groove.

本発明に係る配管内壁面の加熱装置を実施するための最良の形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加えうるものである。   BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The best mode for carrying out a heating device for an inner wall surface of a pipe according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings, but the present invention is not construed as being limited thereto, and the scope of the present invention is not limited. Various changes, modifications, and improvements can be made based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the scope.

図１は、本発明の配管内壁面の加熱ユニットの一例を説明する正面断面図である。
図１に示された配管内壁面の加熱ユニットは、半導体製造装置等における排気ラインの直管部に設置されるストレートタイプの加熱ユニットである。
排気ライン１は、着脱自在に相互に連結される複数の排気管２、２、２を備え、これらの排気管２、２、２同士が、シール部材としてのＯリング３を挟み込んだ状態で連結されている。 FIG. 1 is a front cross-sectional view illustrating an example of a heating unit for an inner wall surface of a pipe according to the present invention.
The heating unit for the inner wall surface of the pipe shown in FIG. 1 is a straight type heating unit installed in a straight pipe portion of an exhaust line in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
The exhaust line 1 includes a plurality of exhaust pipes 2, 2, 2 that are detachably connected to each other, and these exhaust pipes 2, 2, 2 are connected with an O-ring 3 serving as a seal member interposed therebetween. Has been.

排気管２、２、２は、直線状の排気通路を画定する直線円筒部の接続端部において径方向外側に突出して鍔状に形成されたフランジ部４を備え、フランジ部同士４と４は、接続方向に互いが対向するように配置され、対向する反対側の面を傾斜させて径方向外側に向けて薄肉となる先細りの断面形状に形成されている。これらフランジ部同士４と４とは、シール部材としてのＯリング３を挟み込んだ状態で、図６の従来技術に示すように、クランプ機構により挟持される。   The exhaust pipes 2, 2, 2 are provided with flange portions 4 that protrude radially outward at the connecting end portion of the straight cylindrical portion that defines the linear exhaust passage, and the flange portions 4, 4 are They are arranged so as to face each other in the connecting direction, and are formed in a tapered cross-sectional shape that becomes thinner toward the outside in the radial direction by inclining the opposite surfaces facing each other. These flange portions 4 and 4 are clamped by a clamping mechanism as shown in the prior art of FIG. 6 in a state where an O-ring 3 as a seal member is sandwiched.

排気管２の内壁面を加熱する加熱ユニット５は、大径の管状加熱体６と小径の管状加熱体７から構成されており、大径の管状加熱体６は排気管２の右側から、また、小径の管状加熱体７は排気管２の左側から挿入されて設置されるように形成されている。
大径の管状加熱体６は、排気管２の内壁面２ａを覆うように配置される管状の加熱本体部８、加熱本体部８の一端側（右側）において排気管２の外部に引き出され大気に開放される開放端部を形成するところの環状でかつフランジ状に一体的に形成された取付け部９、および該取付け部９の径方向外側に設けられたコネクタ１０等により形成されている。
また、小径の管状加熱体７は、排気管２の内壁面２ａを覆うように配置される管状の加熱本体部１１、加熱本体部１１の一端側（左側）において排気管２の外部に引き出され大気に開放される開放端部を形成するところの環状でかつフランジ状に一体的に形成された取付け部１２、および該取付け部１２の径方向外側に設けられたコネクタ１３等により形成されている。
図１では、排気管２の内壁面を加熱する加熱ユニット５は、中央の排気管２のみに装着されている例を示しているが、必要に応じて、両側の排気管２にも装着することができることはいうまでもない。 The heating unit 5 for heating the inner wall surface of the exhaust pipe 2 is composed of a large-diameter tubular heater 6 and a small-diameter tubular heater 7, and the large-diameter tubular heater 6 is formed from the right side of the exhaust pipe 2. The small-diameter tubular heating body 7 is formed so as to be inserted and installed from the left side of the exhaust pipe 2.
The large-diameter tubular heating body 6 is drawn out of the exhaust pipe 2 at the one end side (right side) of the tubular heating main body 8 and the heating main body 8 arranged so as to cover the inner wall surface 2a of the exhaust pipe 2. It is formed by a ring-shaped attachment portion 9 that forms an open end portion that is open to the outside, and a connector 10 that is provided on the radially outer side of the attachment portion 9 and the like.
The small-diameter tubular heating body 7 is drawn out of the exhaust pipe 2 at one end side (left side) of the tubular heating main body 11 and the heating main body 11 arranged to cover the inner wall surface 2a of the exhaust pipe 2. It is formed by an annular mounting portion 12 that forms an open end portion that is open to the atmosphere and is integrally formed in a flange shape, and a connector 13 that is provided radially outside the mounting portion 12. .
FIG. 1 shows an example in which the heating unit 5 for heating the inner wall surface of the exhaust pipe 2 is attached only to the central exhaust pipe 2, but it is also attached to the exhaust pipes 2 on both sides as necessary. It goes without saying that it can be done.

小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の外径寸法は、大径の管状加熱体６の加熱本体部８の内径寸法よりわずかに小さく設定され、小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の自由端部側が大径の管状加熱体６の加熱本体部８の自由端部側の内側に嵌入され、一部において嵌合部を形成した状態、すなわち、両方の管状加熱体６、７が長さＬの嵌合部を形成するようにして設置される。嵌合部における大径の管状加熱体６の加熱本体部８の内面と小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の外面との間は、気体が自由に流通できる程度の最小限の隙間が形成されるようにしてもよく、あるいは、気体の自由な流通ができないように隙間なく形成されるようにしてもよい。
大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７の長さは必ずしも同一にする必要はないが、調節長さを最大限にするためには、同一の長さに形成した方が良い。
このように構成することにより、加熱ユニット５は、嵌合部位においてフレキシブルに伸縮可能であるため、長さの異なる排気管２に対しても、一定範囲内で適応することができる。 The outer diameter of the heating main body 11 of the small-diameter tubular heating body 7 is set slightly smaller than the inner diameter of the heating main-body 8 of the large-diameter tubular heating body 6, and the heating main-body 11 of the small-diameter tubular heating body 7 is set. Of the large-diameter tubular heater 6 is fitted inside the free end portion of the heating main body 8, and a part of the fitting is formed, that is, both the tubular heaters 6 and 7 are It is installed so as to form a fitting portion having a length L. Between the inner surface of the heating main body portion 8 of the large-diameter tubular heating body 6 and the outer surface of the heating main body portion 11 of the small-diameter tubular heating body 7 in the fitting portion, there is a minimum gap that allows gas to freely flow. It may be formed, or it may be formed without a gap so that free circulation of gas is not possible.
The lengths of the large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 do not necessarily have to be the same, but in order to maximize the adjustment length, they should be formed to have the same length.
By configuring in this way, the heating unit 5 can be flexibly expanded and contracted at the fitting portion, so that it can be applied to the exhaust pipes 2 having different lengths within a certain range.

図４にも詳細に示されているように、大径の管状加熱体６の加熱本体部８は、薄板状の抵抗発熱体１４と、該抵抗発熱体１４を挟み込んで覆うところのインナーシェル１５ａおよびアウターシェル１５ｂ、両シェル１５ａ、１５ｂの自由端部を接合するとともに抵抗発熱体１４を密閉するスペーサ１５ｃ等により形成されている。
また、小径の管状加熱体７の加熱本体部１１は、薄板状の抵抗発熱体１６と、該抵抗発熱体１６を挟み込んで覆うところのインナーシェル１７ａおよびアウターシェル１７ｂ、両シェル１７ａ、１７ｂの自由端部を接合するとともに抵抗発熱体１４を密閉するスペーサ１７ｃ等により形成されている。
スペーサ１５ｃおよび１７ｃは、それぞれ、両シェル１５ａ、１５ｂおよび１７ａ、１７ｂの自由端部に設けられて抵抗発熱体１４、１６が処理ガスに曝されるのを完全に防止するものである。 As shown in detail in FIG. 4, the heating main body portion 8 of the large-diameter tubular heating body 6 includes a thin plate-like resistance heating element 14 and an inner shell 15 a that sandwiches and covers the resistance heating element 14. The outer shell 15b, the free ends of the shells 15a and 15b, and the spacer 15c for sealing the resistance heating element 14 are formed.
The heating main body 11 of the small-diameter tubular heating body 7 includes a thin plate-like resistance heating element 16, and an inner shell 17a and an outer shell 17b that sandwich and cover the resistance heating element 16, and free shells 17a and 17b. It is formed by a spacer 17c or the like that joins the end portions and seals the resistance heating element 14.
The spacers 15c and 17c are provided at the free ends of the shells 15a, 15b and 17a, 17b, respectively, and completely prevent the resistance heating elements 14, 16 from being exposed to the processing gas.

大径の管状加熱体６の取付け部９は、左右のアウターシェル１５ｂに接続されたフランジ９ａ、９ｂにより形成されており、両フランジ９ａ、９ｂの間には、抵抗発熱体１４に接続された通電用のリード線１４ａ、および、抵抗発熱体１４の温度を測定する温度センサとしての熱電対のリード線１４ｂが挟まれて、コネクタ１０まで、引き出されている。 そして、コネクタ１０には、電力供給用のケーブル１８および温度センサ用のケーブル１９が接続されている。
また、小径の管状加熱体７の取付け部１２は、左右のアウターシェル１７ｂに接続されたフランジ１２ａ、１２ｂにより形成されており、両フランジ１２ａ、１２ｂの間には、抵抗発熱体１６に接続された通電用のリード線１６ａ、および、抵抗発熱体１６の温度を測定する温度センサとしての熱電対のリード線１６ｂが挟まれて、コネクタ１３まで、引き出されている。そして、コネクタ１３には、電力供給用のケーブル２０および温度センサ用のケーブル２１が接続されている。
これらフランジ９ａ、９ｂ、および、フランジ１２ａ、１２ｂにおいては、両者の間が完全に密閉されるのではなく外部に開放された状態となっている。 The attachment portion 9 of the large-diameter tubular heating body 6 is formed by flanges 9a and 9b connected to the left and right outer shells 15b, and is connected to the resistance heating element 14 between the flanges 9a and 9b. A lead wire 14a for energization and a lead wire 14b of a thermocouple as a temperature sensor for measuring the temperature of the resistance heating element 14 are sandwiched and pulled out to the connector 10. The connector 10 is connected with a power supply cable 18 and a temperature sensor cable 19.
The attachment portion 12 of the small-diameter tubular heating body 7 is formed by flanges 12a and 12b connected to the left and right outer shells 17b, and is connected to the resistance heating element 16 between the flanges 12a and 12b. The lead wire 16a for energization and the lead wire 16b of a thermocouple as a temperature sensor for measuring the temperature of the resistance heating element 16 are sandwiched and pulled out to the connector 13. The connector 13 is connected with a power supply cable 20 and a temperature sensor cable 21.
The flanges 9a and 9b and the flanges 12a and 12b are not completely sealed but opened to the outside.

インナーシェル１５ａ、１７ａ及びアクターシェル１５ｂ、１７ｂとしては、伝熱効率を高めるために、板厚約０．５ｍｍ程度で、処理ガスに対して耐腐食性を有する材料により形成される。この材料としては、例えば、ステンレス鋼、チタン、アルミニウム合金、ニッケルコバルト合金、あるいは、酸化アルミニウム，炭化珪素，窒化アルミニウム，窒化珪素，酸化珪素のいずれかからなるセラミックス等が好ましい。尚、耐腐食性をコーティングによって確保することも可能であり、その場合のコーティング材料としては、イットリア（Ｙ２Ｏ３）、フッ化イットリウム（ＹＦ３）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４等が好ましい。また、フランジ９ａ，９ｂおよび１２ａ、１２ｂとしても、同様の材料を用いることができる。さらに、高温に曝される両シェル１５ａ、１７ａ及び１５ｂ、１７ｂの表面に平滑処理を施す、望ましくは、Ｒａ≦０．１程度の表面粗さに仕上げることで、副生成物が堆積したとしても、メンテナンス時にその堆積した副生成物を容易に離脱させることができる。 The inner shells 15a and 17a and the actor shells 15b and 17b are formed of a material having a plate thickness of about 0.5 mm and having corrosion resistance against the processing gas in order to increase heat transfer efficiency. As this material, for example, stainless steel, titanium, an aluminum alloy, a nickel cobalt alloy, or a ceramic made of any of aluminum oxide, silicon carbide, aluminum nitride, silicon nitride, and silicon oxide is preferable. In addition, it is also possible to ensure corrosion resistance by coating, and as a coating material in that case, yttria (Y 2 O 3 ), yttrium fluoride (YF 3 ), alumina (Al 2 O 3 ), SiC, AlN, Si 3 N 4 and the like are preferable. The same material can be used for the flanges 9a, 9b and 12a, 12b. Furthermore, even if the by-product is deposited by smoothing the surfaces of both shells 15a, 17a and 15b, 17b exposed to high temperature, preferably by finishing to a surface roughness of about Ra ≦ 0.1. The accumulated by-product can be easily separated during maintenance.

抵抗発熱体１４、１６は、図示しないが、可撓性の絶縁フィルムにジグザグ状にレイアウトされて挟まれた電熱用の抵抗箔と、抵抗箔で発生した熱を全体に分散させる熱伝導用箔により形成され、その一部からリードを形成するリード箔が引き出されている。
抵抗発熱体として、ポリイミドフィルムを用いたポリイミドヒータを採用したが、その他に、シリコンラバーヒータ、マイカヒータ、シースヒータ等を採用してもよい。このように、可撓性のある薄膜状の抵抗発熱体を用いることで、内壁面に対応した種々の形状に形成することができる。
また、絶縁性フィルムは、ポリイミド樹脂等の耐熱性に優れた樹脂材料や伝熱特性の優れたマイカシートにより形成され、熱伝導用箔は、厚さ５０μｍ程度のステンレス鋼等の金属箔により形成されている。 Although not shown, the resistance heating elements 14 and 16 are electrically heated resistance foil sandwiched in a zigzag manner on a flexible insulating film, and heat conduction foil that disperses heat generated by the resistance foil as a whole. And a lead foil for forming a lead is drawn out from a part thereof.
Although a polyimide heater using a polyimide film is employed as the resistance heating element, a silicon rubber heater, a mica heater, a sheath heater, or the like may be employed. Thus, by using a flexible thin-film resistance heating element, it can be formed into various shapes corresponding to the inner wall surface.
The insulating film is formed of a heat-resistant resin material such as polyimide resin or a mica sheet having excellent heat transfer characteristics, and the heat conduction foil is formed of a metal foil such as stainless steel having a thickness of about 50 μm. Has been.

上記の加熱ユニット５は、一方の大径の管状加熱体６のアウターシェル１５ｂが排気管２の一側（右側）から内壁面２ａと密着するようにあるいは内壁面２ａとの間に僅かな間隙が形成されるように加熱本体部８が排気管２内に嵌入され、他方の小径の管状加熱体７の加熱本体部１１が排気管２の他側（左側）から挿入され、その自由端部が大径の管状加熱体６の加熱本体部８の内側に嵌入され、Ｏリング３を取り付けた状態で、取付け部９、１２をフランジ部同士４と４とで挟み込んで、前記クランプ機構により締結することで取り付けが完了する。   The heating unit 5 has a small gap so that the outer shell 15b of one large-diameter tubular heating body 6 is in close contact with the inner wall surface 2a from one side (right side) of the exhaust pipe 2 or between the inner wall surface 2a. Is formed in the exhaust pipe 2, and the heating main body part 11 of the other small-diameter tubular heating body 7 is inserted from the other side (left side) of the exhaust pipe 2, and its free end Is inserted inside the heating main body 8 of the large-diameter tubular heating body 6, and with the O-ring 3 attached, the attachment parts 9 and 12 are sandwiched between the flange parts 4 and 4 and fastened by the clamping mechanism. This completes the installation.

図２、図３は、本発明の配管内壁面の加熱ユニットの他の例を説明する正面断面図である。
図２、図３に示された配管内壁面の加熱ユニットは、半導体製造装置等における排気ラインの曲管部に設置されるエルボタイプの加熱ユニットである。
エルボタイプの加熱ユニットは、ストレートタイプの加熱ユニットとは曲管状に構成される点でのみ相違し、その他の構成は同様であるので、以下においては相違点のみを説明することとし、ストレートタイプの加熱ユニットの部材と対応する部材には同じ符号を付してある。 2 and 3 are front sectional views for explaining another example of the heating unit for the inner wall surface of the pipe of the present invention.
The heating unit for the inner wall surface of the pipe shown in FIG. 2 and FIG. 3 is an elbow type heating unit installed in a curved pipe portion of an exhaust line in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
The elbow type heating unit is different from the straight type heating unit only in that it is formed in a curved tube shape, and other configurations are the same. Therefore, only the differences will be described below, and the straight type heating unit will be described. The members corresponding to these members are given the same reference numerals.

図２に示す排気管３０は、例えば、９０゜の曲管であり、図３に示す排気管４０は、排気管３０と同じ曲率半径をもつ、例えば、６０゜の曲管であり、両排気管３０、４０には同一の加熱ユニット５が用いられている。この加熱ユニット５は、最大約９０゜、最小約６０゜の曲管に対応できるように設計されている。   The exhaust pipe 30 shown in FIG. 2 is, for example, a 90 ° bent pipe, and the exhaust pipe 40 shown in FIG. 3 is, for example, a 60 ° bent pipe having the same curvature radius as that of the exhaust pipe 30. The same heating unit 5 is used for the tubes 30 and 40. The heating unit 5 is designed so as to be able to cope with a bent pipe having a maximum of about 90 ° and a minimum of about 60 °.

加熱ユニット５は、大径の管状加熱体６と小径の管状加熱体７とか構成されており、大径の管状加熱体６は排気管３０、４０の下側から、また、小径の管状加熱体７は排気管３０、４０の左側から挿入されて設置されるように形成されている。
大径の管状加熱体６の加熱本体部８は、排気管薄板状の抵抗発熱体１４と、該抵抗発熱体１４を挟み込んで覆うところのインナーシェル１５ａおよびアウターシェル１５ｂ、両シェル１５ａ、１５ｂの自由端部を接合するとともに抵抗発熱体１４を密閉するスペーサ１５ｃ等により形成されている。
また、小径の管状加熱体７の加熱本体部１１は、薄板状の抵抗発熱体１６と、該抵抗発熱体１６を挟み込んで覆うところのインナーシェル１７ａおよびアウターシェル１７ｂ、両シェル１７ａ、１７ｂの自由端部を接合するとともに抵抗発熱体１６を密閉するスペーサ１７ｃ等により形成されている。
抵抗発熱体１４、１６、インナーシェル１５ａ、１７ａおよびアウターシェル１５ｂ、１７ｂは、両排気管３０、４０と同じ曲率を有し、内壁面２ａと密着するようにあるいは内壁面２ａとの間に僅かな間隙を有するように形成されている。 The heating unit 5 includes a large-diameter tubular heating body 6 and a small-diameter tubular heating body 7, and the large-diameter tubular heating body 6 is provided from the lower side of the exhaust pipes 30 and 40, and the small-diameter tubular heating body. 7 is formed so as to be inserted from the left side of the exhaust pipes 30 and 40.
The heating main body 8 of the large-diameter tubular heating body 6 includes an exhaust pipe thin plate-like resistance heating element 14, an inner shell 15 a and an outer shell 15 b that sandwich and cover the resistance heating element 14, and both shells 15 a and 15 b. It is formed by a spacer 15c or the like that joins the free ends and seals the resistance heating element 14.
The heating main body 11 of the small-diameter tubular heating body 7 includes a thin plate-like resistance heating element 16, and an inner shell 17a and an outer shell 17b that sandwich and cover the resistance heating element 16, and free shells 17a and 17b. It is formed by a spacer 17c or the like that joins the end portions and seals the resistance heating element 16.
The resistance heating elements 14 and 16, the inner shells 15a and 17a, and the outer shells 15b and 17b have the same curvature as the exhaust pipes 30 and 40, and are in close contact with the inner wall surface 2a or slightly between the inner wall surface 2a. It is formed so as to have a gap.

今、加熱ユニット５を構成する大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７が、それぞれ、５５゜の回転角度に形成されているとすると、図２の場合、大径の管状加熱体６と小径の管状加熱体７との重複角度は、２０゜であり、図３の場合は、大径の管状加熱体６の自由端部の内側に小径の管状加熱体７の自由端部が嵌入されて６０゜の回転角度に調整され、その重複角度は５０゜となる。   Now, assuming that the large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 constituting the heating unit 5 are formed at a rotation angle of 55 °, respectively, in the case of FIG. 6 and the small-diameter tubular heating body 7 have an overlapping angle of 20 °. In the case of FIG. 3, the free-end portion of the small-diameter tubular heating body 7 is located inside the free-end portion of the large-diameter tubular heating body 6. Inserted and adjusted to a rotation angle of 60 °, the overlap angle is 50 °.

この重複角度、すなわち、大径の管状加熱体６及び小径の管状加熱体７の回転角度をどのように設定するかは設計的に決められるものであるが、例えば、回転角度が６０゜〜９０゜の範囲の排気管に適用できるようするには、大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７の角度θを、それぞれ、４５゜＜θ＜６０゜に設定すればよい。
このように、１つの加熱ユニット５を用意しておけば、一定回転角度範囲内にある異なる長さのエルボタイプの排気管に対応することができる。 How to set the overlapping angle, that is, the rotation angle of the large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 is determined by design. For example, the rotation angle is 60 ° to 90 °. In order to be applicable to the exhaust pipe in the range of °, the angles θ of the large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 may be set to 45 ° <θ <60 °, respectively.
Thus, if one heating unit 5 is prepared, it can respond to elbow-type exhaust pipes of different lengths within a certain rotation angle range.

図４は、大径の管状加熱体６の加熱本体部８の自由端部と小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の自由端部との係合の例を説明するための要部断面図であり、図の（ａ）を第１型、（ｂ）を第２型、また、（ｃ）を第３型と呼ぶこととする。
図（ａ）の第１型は、図１〜図３に図示されているタイプであり、大径の加熱本体部８の内側に小径の加熱本体部１１が嵌入し、一部において嵌合部を形成した状態、すなわち、両方の加熱本体部８、１１が長さＬの嵌合部を形成するようにして設置されて相対的に伸縮自在となっている。 FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part for explaining an example of engagement between the free end portion of the heating body portion 8 of the large-diameter tubular heating body 6 and the free end portion of the heating body portion 11 of the small-diameter tubular heating body 7. In the figure, (a) is referred to as a first type, (b) as a second type, and (c) as a third type.
The first mold of FIG. 1A is the type shown in FIGS. 1 to 3, and a small-diameter heating main body 11 is fitted inside the large-diameter heating main body 8, and a fitting portion is partly provided. In other words, both the heating main body portions 8 and 11 are installed so as to form a fitting portion having a length L and are relatively stretchable.

図（ｂ）の第２型は、大径の加熱本体部８の内側に小径の加熱本体部１１が嵌入された嵌合部において、小径の加熱本体部１１の密閉端部のインナーシェル１７ａ（内側被覆部材ともいう。以下、同じ。）のみを延長して小径段部２２を形成しておき、この小径段部２２に大径の管状加熱体６のインナーシェル１５ａが係合するように構成されている。
このように構成することにより、大径の加熱本体部８と小径の加熱本体部１１との径方向の合計厚さ寸法を小さくすることができる。
また、小径段部２２の軸方向長さは、嵌合部の最小限長さＬｓよりも長く設定され、加熱本体部８と１１とが相対的に伸縮自在となっている。 The second type of FIG. (B) shows an inner shell 17a (on the closed end of the small-diameter heating body 11 in the fitting portion in which the small-diameter heating body 11 is fitted inside the large-diameter heating body 8). A small diameter step portion 22 is formed by extending only the inner covering member (hereinafter also the same), and the inner shell 15a of the large diameter tubular heating body 6 is engaged with the small diameter step portion 22. Has been.
By comprising in this way, the total thickness dimension of the radial direction of the large diameter heating main-body part 8 and the small diameter heating main-body part 11 can be made small.
Moreover, the axial direction length of the small diameter step part 22 is set longer than the minimum length Ls of a fitting part, and the heating main-body parts 8 and 11 can be expanded-contracted relatively.

図（ｃ）の第３型は、大径の加熱本体部８の内側に小径の加熱本体部１１が嵌入された嵌合部において、小径の加熱本体部１１の密閉端部のインナーシェル１７ａおよびスペーサ１７ｃの内径側の１／２を延長して小径段部２３を形成するとともに、大径の加熱本体部８の密閉端部のアウターシェル１５ｂ（外側被覆部材ともいう。以下、同じ）およびスペーサ１５ｃの外径側の１／２を延長して大径段部２４を形成しておき、これらの小径段部２３と大径段部２４とが係合されるように構成されている。
このように構成することにより、大径の加熱本体部８と小径の加熱本体部１１との径方向の合計厚さ寸法を、一方の加熱本体部の厚さと同じ厚さ寸法に小さくすることができる。
また、小径段部２３および大径段部２４の軸方向長さは、それぞれ、嵌合部の最小限長さＬｓよりも長く設定され、加熱本体部８と１１とが相対的に伸縮自在となっている。
上記の第１型ないし第３型において、嵌合部における大径の加熱本体部８の内面と小径の加熱本体部１１の外面との間は、気体が自由に流通できる程度の最小限の隙間が形成されるようにしてもよく、あるいは、気体の自由な流通ができないように隙間なく形成されるようにしてもよい。 The third type of FIG. (C) includes an inner shell 17a at the sealed end of the small-diameter heating body 11 in the fitting portion in which the small-diameter heating body 11 is fitted inside the large-diameter heating body 8. The outer diameter 15 of the spacer 17c is extended to form a small-diameter step portion 23, and the outer shell 15b (also referred to as an outer covering member; hereinafter the same) and a spacer at the sealed end of the large-diameter heating body 8 A large-diameter step portion 24 is formed by extending half of the outer diameter side of 15c, and the small-diameter step portion 23 and the large-diameter step portion 24 are configured to be engaged with each other.
By comprising in this way, the total thickness dimension of the radial direction of the large diameter heating main-body part 8 and the small diameter heating main-body part 11 can be made small to the same thickness dimension as the thickness of one heating main-body part. it can.
Further, the axial lengths of the small-diameter step portion 23 and the large-diameter step portion 24 are set longer than the minimum length Ls of the fitting portion, so that the heating main body portions 8 and 11 are relatively stretchable. It has become.
In said 1st type thru | or 3rd type | mold, between the inner surface of the large diameter heating main-body part 8 and the outer surface of the small-diameter heating main-body part 11 in a fitting part, the minimum clearance | interval which can distribute | circulate gas freely May be formed, or may be formed without a gap so that free circulation of gas is not possible.

図５は、大径の管状加熱体６の加熱本体部８の内壁面および小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の外壁面に、断面が角状または円状のリブ２５、および、該リブ２５が嵌合可能な凹溝２６を円周方向に複数設けた例を示す断面図である。   FIG. 5 shows a rib 25 having a square or circular cross section on the inner wall surface of the heating main body portion 8 of the large diameter tubular heating body 6 and the outer wall surface of the heating main body portion 11 of the small diameter tubular heating body 7. It is sectional drawing which shows the example which provided the recessed groove | channel 26 which can fit the rib 25 in multiple numbers in the circumferential direction.

図５（ａ）は、大径の管状加熱体６の加熱本体部８の内壁面（インナーシェル１５ａ）および小径の管状加熱体７の加熱本体部１１の外壁面（アウターシェル１７ｂ）に、それぞれ、９０゜間隔で断面が角状のリブ２５を長手方向に所定の長さにわたって４個ずつ設け、これらに対向する位置にリブ２５が嵌合可能な凹溝２６を設けた場合を示している。
図５（ｂ）は、リブ２５の断面が円状の場合を示している。 FIG. 5A shows an inner wall surface (inner shell 15a) of the heating main body 8 of the large diameter tubular heating body 6 and an outer wall surface (outer shell 17b) of the heating main body 11 of the small diameter tubular heating body 7, respectively. , Four ribs 25 each having a square cross section at intervals of 90 ° are provided over a predetermined length in the longitudinal direction, and a concave groove 26 into which the ribs 25 can be fitted is provided at a position facing these ribs 25. .
FIG. 5B shows a case where the cross section of the rib 25 is circular.

大径の管状加熱体６の加熱本体部８および小径の管状加熱体７の加熱本体部１１にリブ２５および凹溝２６を形成して嵌合状態とすることにより、以下の効果を奏する。
（１）大径の管状加熱体６および小径の管状加熱体７相互の回転を防止することができる。
（２）ストレートタイプの加熱ユニットの場合、水平設置時における直管部分の撓みを防止することができる。
（３）リブと凹溝との係合によるラビリンス効果により漏れを防止する機能を向上させることができる。 By forming the rib 25 and the concave groove 26 in the heating main body portion 8 of the large-diameter tubular heating body 6 and the heating main body portion 11 of the small-diameter tubular heating body 7, the following effects can be obtained.
(1) The large-diameter tubular heater 6 and the small-diameter tubular heater 7 can be prevented from rotating with each other.
(2) In the case of a straight type heating unit, it is possible to prevent the straight pipe portion from being bent during horizontal installation.
(3) The function of preventing leakage can be improved by the labyrinth effect caused by the engagement between the rib and the concave groove.

本発明の配管内壁面の加熱ユニットの一例を説明する正面断面図である。It is front sectional drawing explaining an example of the heating unit of the pipe inner wall surface of this invention. 本発明の配管内壁面の加熱ユニットの他の例を説明する正面断面図である。It is front sectional drawing explaining the other example of the heating unit of the pipe inner wall surface of this invention. 本発明の配管内壁面の加熱ユニットの他の例を説明する正面断面図である。It is front sectional drawing explaining the other example of the heating unit of the pipe inner wall surface of this invention. 大径の管状加熱体の加熱本体部の自由端部と小径の管状加熱体の加熱本体部の自由端部との係合の例を説明するための要部断面図である。It is principal part sectional drawing for demonstrating the example of engagement with the free end part of the heating main-body part of a large diameter tubular heating body, and the free end part of the heating main-body part of a small diameter tubular heating body. 大径の管状加熱体の加熱本体部の内壁面および小径の管状加熱体の加熱本体部の外壁面に、断面が角状または円状のリブ、および、該リブが嵌合可能な凹溝を円周方向に複数設けた例を示す断面図である。On the inner wall surface of the heating main body portion of the large-diameter tubular heating body and on the outer wall surface of the heating main body portion of the small-diameter tubular heating body, a rib having a square or circular cross section and a concave groove into which the rib can be fitted are provided. It is sectional drawing which shows the example provided with two or more in the circumferential direction. 従来の加熱装置を装着した排気管の断面図である。It is sectional drawing of the exhaust pipe equipped with the conventional heating apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ 排気ライン
２ 排気管
３ Ｏリング
４ フランジ部
５ 加熱ユニット
６ 大径の管状加熱体
７ 小径の管状加熱体
８ 加熱本体部
９ 取付け部
１０ コネクタ
１１ 加熱本体部
１２ 取付け部
１３ コネクタ
１４ 抵抗発熱体
１５ａ インナーシェル（被覆部材）
１５ｂ アウターシェル（被覆部材）
１５ｃ スペーサ
１６ 抵抗発熱体
１７ａ インナーシェル（被覆部材）
１７ｂ アウターシェル（被覆部材）
１７ｃ スペーサ
１８ 電力供給用のケーブル
１９ 温度センサ用のケーブル
２０ 電力供給用のケーブル
２１ 温度センサ用のケーブル
２２ 小径段部
２３ 小径段部
２４ 大径段部
２５ リブ
２６ 凹溝
３０ 排気管
４０ 排気管













DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust line 2 Exhaust pipe 3 O-ring 4 Flange part 5 Heating unit 6 Large diameter tubular heating body 7 Small diameter tubular heating body 8 Heating main-body part
DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Attachment part 10 Connector 11 Heating main-body part 12 Attachment part 13 Connector 14 Resistance heating element 15a Inner shell (covering member)
15b Outer shell (coating member)
15c Spacer 16 Resistance heating element 17a Inner shell (coating member)
17b Outer shell (coating member)
17c Spacer 18 Power supply cable 19 Temperature sensor cable 20 Power supply cable 21 Temperature sensor cable 22 Small diameter step portion 23 Small diameter step portion 24 Large diameter step portion 25 Rib 26 Concave groove 30 Exhaust pipe 40 Exhaust pipe













Claims (7)

配管内壁面の加熱ユニットにおいて、配管内壁面を面状に覆うように形成された大径の管状加熱体と、該大径の管状加熱体の内側に嵌入可能な径を有し、配管内壁面を面状に覆うように形成された小径の管状加熱体とからなり、大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体を嵌入するようにすることにより長さを調節可能としたことを特徴とする配管内壁面の加熱ユニット。   In a heating unit for a pipe inner wall surface, the pipe inner wall surface has a large diameter tubular heating body formed so as to cover the pipe inner wall surface and a diameter that can be fitted inside the large diameter tubular heating body. A small diameter tubular heating body formed so as to cover the surface, and the length can be adjusted by inserting the small diameter tubular heating body inside the large diameter tubular heating body. A heating unit for the inner wall surface of the pipe. 大径の管状加熱体および小径の管状加熱体は、それぞれ、薄板状の抵抗発熱体と、該抵抗発熱体を挟み込んで覆うとともに、配管内壁面を面状に覆うように形成された被覆部材とからなる管状の加熱本体部と、一方の端部が配管の外部に引き出され大気に開放される開放端部とを有することを特徴とする請求項１記載の配管内壁面の加熱ユニット。   Each of the large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater includes a thin plate-like resistance heating element, a covering member formed so as to cover and cover the inner wall surface of the pipe while sandwiching and covering the resistance heating element. 2. A heating unit for an inner wall surface of a pipe according to claim 1, wherein the heating unit has a tubular heating main body part and an open end part whose one end part is drawn out of the pipe and opened to the atmosphere. 配管は、着脱自在、かつ、相互に連結される複数の配管からなり、該複数の配管は、接続端部において径方向外側に突出するとともに互いに対向する鍔状のフランジ部を有し、大径の管状加熱体および小径の管状加熱体の開放端部がシール部材を介してフランジ部に挟持されることを特徴とする請求項１または２記載の配管内壁面の加熱ユニット。   The pipe is composed of a plurality of pipes that are detachable and connected to each other. The plurality of pipes have flange-shaped flange portions that protrude radially outward at the connection end portions and face each other, and have a large diameter. The heating unit for the inner wall surface of the pipe according to claim 1 or 2, wherein the open end portions of the tubular heating body and the small-diameter tubular heating body are sandwiched between flange portions via a seal member. 大径の管状加熱体および小径の管状加熱体は、直管部に設置されるストレートタイプ、または、曲管部に設置されるエルボタイプからなることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の配管内壁面の加熱ユニット。   The large-diameter tubular heater and the small-diameter tubular heater are of a straight type installed in the straight pipe section or an elbow type installed in the curved pipe section. The heating unit for the inner wall surface of the pipe according to the item. 大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体が嵌入された嵌合部において、小径の管状加熱体の密閉端部の内側被覆部材のみを延長して形成された小径段部に、大径の管状加熱体の内側が係合されるようにしたこと特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の配管内壁面の加熱ユニット。   In the fitting portion in which the small diameter tubular heating body is fitted inside the large diameter tubular heating body, the small diameter step portion formed by extending only the inner covering member of the sealed end portion of the small diameter tubular heating body, The heating unit for the inner wall surface of the pipe according to any one of claims 1 to 4, wherein the inside of the tubular heating body having a diameter is engaged. 大径の管状加熱体の内側に小径の管状加熱体が嵌入された嵌合部において、小径の管状加熱体の密閉端部の内側被覆部材およびスペーサの内径側の１／２を延長して形成された小径段部に、大径の管状加熱体の密閉端部の外側被覆部材およびスペーサの外径側の１／２を延長して形成された大径段部が係合されるようにしたこと特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の配管内壁面の加熱ユニット。   Formed by extending 1/2 of the inner covering member of the sealed end of the small diameter tubular heating body and the inner diameter side of the spacer in the fitting portion in which the small diameter tubular heating body is fitted inside the large diameter tubular heating body The outer diameter covering member of the sealed end portion of the large-diameter tubular heater and the large-diameter step portion formed by extending 1/2 of the outer diameter side of the spacer are engaged with the small-diameter step portion thus formed. The heating unit for the inner wall surface of the pipe according to any one of claims 1 to 4. 大径の管状加熱体の加熱本体部の内壁面および小径の管状加熱体の加熱本体部の外壁面に、断面が角状または円状のリブ、および、該リブが嵌合可能な凹溝を円周方向に複数設けることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の表面処理用治具。





















On the inner wall surface of the heating main body portion of the large-diameter tubular heating body and on the outer wall surface of the heating main body portion of the small-diameter tubular heating body, a rib having a square or circular cross section and a concave groove into which the rib can be fitted are provided. The surface treatment jig according to claim 1, wherein a plurality of the surface treatment jigs are provided in a circumferential direction.





















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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013115275A (en) * 2011-11-29 2013-06-10 Hitachi Kokusai Electric Inc Substrate processing apparatus
KR101430062B1 (en) * 2014-04-28 2014-08-14 (주)해피글로벌솔루션 Fluid acceleration type vacuum line apparatus
KR101550284B1 (en) 2014-12-22 2015-09-07 (주)태화이엔지 heating device for flange combination

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