JP2010094795A - 加工装置および加工制御装置ならびに加工制御方法、加工制御プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】加工装置の構成を複雑化することなく、被加工物に作用する加工応力を的確に制御して被加工物の加工精度を向上させる。
【解決手段】装置本体１４に上に搭載された回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の工具駆動軸２およびワーク駆動軸６に研削工具１およびレンズ５を固定して回転および接触させることで、レンズ５の研削加工を行うレンズ加工機Ｋ１において、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８に、複数の歪みセンサ１１を配置し、加工中の研削工具１とレンズ５との間に作用する加工応力の大きさを、歪みセンサ１１から、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の歪み信号としてセンサアンプ１２を介してコントローラ１３で検出し、レンズ５に作用する加工応力が過大にならないように、回転軸保持筐体８の送り速度を制御して、レンズ５に高精度の加工結果を得る。
【選択図】 図１

Description

本発明は、加工装置および加工制御装置ならびに加工制御方法、加工制御プログラムに関する。

たとえば、カメラ、ビデオ等に用いられる球面レンズ等の光学素子の研削加工や研磨加工は、回転させたレンズに回転された工具を接触させることで加工を行い、球面形状を創成している。

しかし、この加工の際に工具の劣化などにより加工条件が変化し、設定された送り速度で研削加工ができない場合、接触面に過大な応力が発生し、レンズの加工面精度が悪化するという技術的課題が発生していた。

これを回避する為に、加工抵抗により生じた圧力の測定を加工軸線上に配した圧力センサを用いて行い、送り速度を調整する方法が考えられるが、光学素材の研削加工にて実施しようとした場合には、光学素材も加工工具も回転しているため、センサに回転方向の摺動が発生してしまうので、正常な測定を行うことが困難である。

これを回避する為に、加工面に作用している応力を擬似的に検出する技術として、例えば、特許文献１のような技術が開示されている。
すなわち、先端部に砥石台が固定された研削主軸の途中に設けられたフランジ部を、ハウジング内に設けられたラジアル用静圧軸受およびスラスト用静圧軸受にて支持し、このラジアル用静圧軸受およびスラスト用静圧軸受を、外部に設けられた管路を介して静圧媒体供給ポンプに接続した構成の研削装置において、前記ハウジング内に穿設された前記管路を分岐させて形成された圧力計測用管路を介して圧力センサに接続し、この圧力センサによってスラスト用静圧軸受が受ける圧力を検出し、その検出結果を圧力計測アンプに送信するものである。

この特許文献１の構成によれば、フランジ面に生じた応力を検出することで擬似的に加工面に生じた応力を測定することができる。
しかるに、上記従来技術には、つぎのような技術的課題があった。

すなわち、特許文献１の技術では、フランジ面の応力測定をするために、研削主軸の回りに測定用の圧力計測用管路等の特別な構成を設ける必要があり、研削装置の設計時点で考慮していなければ実現することができない。

また、応力測定の為の圧力計測用管路等の構成が複雑であり、軸ぶれ等の加工精度低下の要因になる懸念があった。
更に、研削主軸単体での応力測定は可能であるが、それによって生じた装置全体への影響は考慮されない為、小型や縦型構造など装置剛性が弱い場合、加工によって装置本体に生じる歪みによって加工精度が悪化することへの対応ができなかった。
特開２００７−４４７６８号公報

本発明の目的は、加工装置の構成を複雑化することなく、被加工物に作用する加工応力
を的確に制御して被加工物の加工精度を向上させることが可能な技術を提供することにある。

本発明の第１の観点は、被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、
前記回転軸を支持する軸筐体と、
前記軸筐体に配置された歪みセンサと、
前記歪みセンサから得られる歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する加工制御手段と、
を含む加工装置を提供する。

本発明の第２の観点は、被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置に装着される加工制御装置であって、
前記軸筐体に配置される歪みセンサと、
前記歪みセンサから得られる歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する加工制御手段と、
を含む加工制御装置を提供する。

本発明の第３の観点は、被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置の加工制御方法であって、
前記軸筐体の歪み情報を測定する第１工程と、
前記歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する第２工程と、
を含む加工制御方法を提供する。

本発明の第４の観点は、被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置を制御する加工制御プログラムであって、
前記軸筐体から測定された歪み情報を入力する第１工程と、
前記歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する第２工程と、
を情報処理装置に実行させる加工制御プログラムを提供する。

本発明によれば、加工装置の構成を複雑化することなく、被加工物に作用する加工応力を的確に制御して被加工物の加工精度を向上させることが可能な技術を提供することができる。

本実施の形態においては、回転軸を保持している筐体表面に歪みゲージを配することにより、加工により生じた歪みを総合的に測定し、制御速度に反映させることで高精度の良好な加工を行う技術を開示する。

本実施の形態によれば、既存の研削加工機等の加工装置においても、上述の構成を容易に実装することが可能であり、加工装置としての精度を保ったまま、加工面精度を向上させることが可能となる。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である加工制御方法を実施する加工制御装置を備えた加工装置の構成の一例を示す平面図であり、図２は、その側面図である。

また、図３は、本実施の形態の加工制御装置および加工装置に備えられた加工制御プログラムの作用の一例を示すフローチャートである。
本実施の形態では、加工装置の一例としてレンズ加工機Ｋ１を例に採って説明する。

図１および図２に例示されるように、本実施の形態のレンズ加工機Ｋ１は、装置本体１４の上に回転軸保持筐体４（第２軸筐体）および回転軸保持筐体８（第１軸筐体）を搭載した構成となっている。

研削工具１（加工工具）は工具基体２ａを介して工具駆動軸２（第２回転軸）に取り付けられ、モータ３により回転可能な状態で回転軸保持筐体４に設置されている。
すなわち、研削工具１を支持した工具駆動軸２は、回転可能に回転軸保持筐体４に支持され、この工具駆動軸２の工具基体２ａの固定端と反対側の端部には、軸プーリ２ｂが設けられている。

そして、工具駆動軸２は、軸プーリ２ｂとモータ３のモータプーリ３ａとの間に駆動ベルト３ｂが張架されることにより、モータ３のトルクを受けて回転する。
装置本体１４の上において、回転軸保持筐体４は、図１の矢印θのように、レンズ受け工具６ａの移動軸に対して、装置本体１４の搭載平面内で扇状に旋回可能であり、加工形状に合わせて、任意角度に移動することができる。

なお、以下の説明では、図１の左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、紙面に垂直な方向、すなわち、図２の上下方向をＺ方向として説明する。
一方、レンズ５（被加工物）はレンズ受け工具６ａを介してワーク駆動軸６（第１回転軸）に取り付けられ、モータ７により回転可能な状態で回転軸保持筐体８に設置されている。

すなわち、レンズ５を支持するワーク駆動軸６は、回転可能に回転軸保持筐体８に支持され、レンズ受け工具６ａの支持端の反対側には、軸プーリ６ｂが設けられている。
そして、ワーク駆動軸６は、この軸プーリ６ｂと、モータ７のモータプーリ７ａとの間に張架された駆動ベルト７ｂが張架されることにより、モータ７のトルクを受けて回転する。

ワーク駆動軸６を支持した回転軸保持筐体８は、装置本体１４の上において、当該ワーク駆動軸６に平行な方向（図１のＸ方向）に移動可能である。
回転軸保持筐体４の工具駆動軸２に支持された研削工具１と、回転軸保持筐体８のワーク駆動軸６に支持されたレンズ５の近傍には、ノズル９が設けられ、研削工具１とレンズ５の加工面に研削液１０が供給可能になっている。

本実施の形態のレンズ加工機Ｋ１では、歪みセンサ１１が、回転軸保持筐体４及び８に取り付けられており、センサアンプ１２を介して、レンズ加工機Ｋ１の全体を制御するコントローラ１３（加工制御手段）に接続されている。

コントローラ１３は、コンピュータ等の情報処理装置で構成され、加工制御プログラム１３ａを実行することによって、後述のような制御動作を行う。
すなわち、本実施の形態では、複数の歪みセンサ１１とセンサアンプ１２および加工制
御プログラム１３ａを実行するコントローラ１３にて加工制御装置Ｃが構成されている。

この加工制御装置Ｃは、レンズ加工機Ｋ１の設計および製作の当初から当該レンズ加工機Ｋ１に一体に実装されてもよいし、既存のレンズ加工機Ｋ１に、後から、加工制御装置Ｃのみを装着することも容易にできる。

すなわち、複数の歪みセンサ１１を回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の外周面に配置するとともに、加工制御プログラム１３ａを歪みセンサ１１による制御に対応した後述の制御ロジックを有するものに置き換えるだけでよく、後付けによる既存のレンズ加工機Ｋ１への加工制御装置Ｃの実装は容易である。

本実施の形態のレンズ加工機Ｋ１では、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の各々に外周面に、複数の歪みセンサ１１が配置されている。
すなわち、回転軸保持筐体４には、歪みセンサ１１として、第１歪みセンサＳ１、第２歪みセンサＳ２、第３歪みセンサＳ３が配置されている。

この場合、第１歪みセンサＳ１および第３歪みセンサＳ３は、回転軸保持筐体４の両側面に配置され、第２歪みセンサＳ２は、回転軸保持筐体４の上面に配置され、これらの第１歪みセンサＳ１から第３歪みセンサＳ３は、回転軸保持筐体４に支持された工具駆動軸２を取り囲む配置状態となっている。

第１歪みセンサＳ１から第３歪みセンサＳ３の各々は、その配置部位における回転軸保持筐体４に発生した歪みを検出し、歪み情報ε１、歪み情報ε２、歪み情報ε３として、センサアンプ１２に出力する。

同様に、回転軸保持筐体８には、歪みセンサ１１として、第４歪みセンサＳ４、第５歪みセンサＳ５、第６歪みセンサＳ６が、両側面および上面に配置され、第４歪みセンサＳ４から第６歪みセンサＳ６は、回転軸保持筐体８に支持されたワーク駆動軸６を取り囲む配置状態となっている。

第４歪みセンサＳ４から第６歪みセンサＳ６の各々は、その配置部位における回転軸保持筐体８に発生した歪みを検出し、歪み情報ε４、歪み情報ε５、歪み情報ε６として、センサアンプ１２に出力する。

レンズ５と研削工具１の接触面には、上述のようにノズル９より研削液１０が供給される。
コントローラ１３には、たとえば、レンズ５の材質や品種等に応じた回転軸保持筐体８のＸ方向の送り速度が設定されており、設定された速度にて送り速度のコントロールを行う。

以下、本実施の形態のレンズ加工機Ｋ１の作用を説明する。
加工が開始されると、コントローラ１３にて、設定された送り速度でレンズ受け工具６ａ（ワーク駆動軸６）に支持されたレンズ５が回転軸保持筐体８の移動により、研削工具１と接触する。

レンズ５と研削工具１の接触面にはノズル９より研削液１０が供給され、研削工具１とレンズ５が、工具駆動軸２およびワーク駆動軸６によって駆動されて回転することによりレンズ５に、研削工具１の形状に応じた球面形状等が創生される。

この際、研削工具１とレンズ５の接触面から受ける応力により、工具基体２ａ、工具駆
動軸２を支持する回転軸保持筐体４、及びレンズ受け工具６ａ、ワーク駆動軸６を支持する回転軸保持筐体８に歪みが生じる。

そして、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８に発生した歪みにより、歪みセンサ１１から発信された信号（本実施の形態の場合、歪み情報ε１から歪み情報ε３および歪み情報ε４から歪み情報ε６）をセンサアンプ１２で検出し、歪みの方向と大きさが計測され、その情報がコントローラ１３に取り込まれる。

すなわち、本実施の形態の場合、回転軸保持筐体８では、歪みセンサ１１として、ワーク駆動軸６を取り囲むように複数の第４歪みセンサＳ４から第６歪みセンサＳ６が配置されているため、たとえば、Ｘ方向における回転軸保持筐体８の歪みは、第４歪みセンサＳ４から第６歪みセンサＳ６のＸ方向における伸び縮みとして検出される。

また、ワーク駆動軸６に対してＹ方向に作用する加工力によって回転軸保持筐体８に発生する歪みは、両側面に配置された第４歪みセンサＳ４および第６歪みセンサＳ６のＸ方向の互いに逆な伸び縮みとして検出される。

また、Ｚ方向にワーク駆動軸６に作用する力による回転軸保持筐体８の歪みは、上面に配置された第５歪みセンサＳ５のＸ方向の伸び縮みとして検出される。
すなわち、ワーク駆動軸６に作用する外力による回転軸保持筐体８の歪みを、３つの第４歪みセンサＳ４から第６歪みセンサＳ６によって三次元的に検出できる。

同様に、回転軸保持筐体４では、工具駆動軸２を取り囲むように配置された３つの第１歪みセンサＳ１から第３歪みセンサＳ３により、回転軸保持筐体４の歪みを三次元的に検出できる。

コントローラ１３では、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８に発生した歪みの状態（歪み情報ε１から歪み情報ε６）から、研削工具１に対するレンズ５の相対的な送り速度、すなわち、回転軸保持筐体８のＸ方向の速度を調整することで、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の歪みのレベルを一定レベル以下に抑える。

歪みレベルの基準値（後述の閾値ε０）は、コントローラ１３に任意の値で設定可能となっているので、加工されるレンズ５等の光学素子の素材や加工形状により適正な値に設定することができる。

これにより、レンズ５に対する研削工具１の接触による研削加工において、レンズ５における過大な加工応力の発生を抑えることが可能となり、研削工具１によって加工されるレンズ５において、良好な加工面精度を保つことができる。

図３は、上述のような、歪みセンサ１１を用いた送り速度の制御を実現する加工制御プログラム１３ａの作用の一例を示すフローチャートである。
加工中において、加工制御プログラム１３ａ（コントローラ１３）は、複数の歪みセンサ１１（第１歪みセンサＳ１から第６歪みセンサＳ６）から出力される歪み情報ε１から歪み情報ε６を、センサアンプ１２を介して取り込む（ステップ５１）。

そして、加工制御プログラム１３ａは、たとえば、歪み情報ε１から歪み情報ε６の絶対値の最大ものが、閾値ε０を超過したか否かを判別する（ステップ５２）。
そして、加工制御プログラム１３ａは、閾値ε０を超過したものがあった場合には、回転軸保持筐体８の送り速度の削減を回転軸保持筐体８に指令する（ステップ５３）。

そして、加工制御プログラム１３ａは、上述のステップ５１からステップ５３の処理を、加工が完了するまで反復する（ステップ５４）。
なお、歪み情報ε１から歪み情報ε６と閾値ε０との比較による判別アルゴリズムとしては上述のステップ５２の方法にかぎらず、歪み情報ε１から歪み情報ε３および歪み情報ε４から歪み情報ε６を統計的に処理した結果（たとえば、平均値等）と閾値ε０とを比較する方法でもよい。

このような本実施の形態の加工制御プログラム１３ａによれば、研削工具１からレンズ５に過大な加工応力が作用しないように、回転軸保持筐体８の送り速度を的確に制御できる。

この結果、レンズ５に対する研削工具１の接触による研削加工において、レンズ５における過大な加工応力の発生を抑えることが可能となり、研削工具１によって加工されるレンズ５において、良好な加工面精度を保つことができる。

（実施の形態２）
本発明の他の実施の形態のレンズ加工機の構成を図４および図５を用いて説明する。
図４は、本発明の他の実施の形態である加工制御方法を実施する加工制御装置を備えた加工装置の構成の一例を示す平面図であり、図５は、その側面図である。

本実施の形態２のレンズ加工機Ｋ２の基本的な構成は、上述の実施の形態１のレンズ加工機Ｋ１と同様である。
実施の形態２のレンズ加工機Ｋ２では、実施の形態１の構成に加えて、装置本体１４の加工部付近（回転軸保持筐体４と回転軸保持筐体８の間の位置）にも歪みセンサ１１Ａを配置している。

装置本体１４において、この歪みセンサ１１Ａが配置される回転軸保持筐体４と回転軸保持筐体８の間の位置は、研削工具１とレンズ５が接触して加工が進行する際に、当該装置本体１４に最も大きな歪みが生じる位置である。

この歪みセンサ１１Ａは、第７歪みセンサＳ７からなり、装置本体１４の歪みを、歪み情報ε７としてセンサアンプ１２に出力する。
加工が開始されると、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８に配置された歪みセンサ１１とともに、装置本体１４に配置した歪みセンサ１１Ａ（第７歪みセンサＳ７）からも、装置本体１４の歪みにより発生された信号（歪み情報ε７）がセンサアンプ１２で検出され、装置本体１４の歪みの方向や大きさがコントローラ１３に送られる。

コントローラ１３（加工制御プログラム１３ａ）は検出された歪み情報（歪み情報ε１から歪み情報ε６、および歪み情報ε７）を元に、歪みのレベルが一定レベル以下におさまるよう、回転軸保持筐体８の送り速度を調節する。

この実施の形態２の場合には、装置本体１４の剛性が低く、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８で発生した加工応力が、装置本体１４に歪みを生じさせるような構成でも、装置本体１４の歪みを検出して、的確に、研削工具１からレンズ５に作用する過大な加工応力の発生を防ぐことが可能であり、レンズ５における良好な加工面精度を保つことができる。

以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、レンズ加工機Ｋ１やレンズ加工機Ｋ２等の加工装置における外面に歪みセンサ１１を配置するだけなので、歪みを計測するための複雑な構造を加工装置に組み込む必要がないので、加工装置の構成を複雑化する
ことなく、被加工物に作用する加工応力を的確に制御してレンズ５等の被加工物の加工精度を向上させることが可能となる。

すなわち、レンズ加工機Ｋ１やレンズ加工機Ｋ２おいてレンズ５に過大な加工応力が発生したまま加工を進めることがないため、レンズ５に良好な加工面精度を保つことが可能となる。

また、小型化や縦型構造などで装置本体１４に剛性を確保できないレンズ加工機Ｋ２等においても、本実施の形態の技術を適用することで、レンズ５に過大な加工応力が作用することを回避して、レンズ５に良好な加工面を得ることが可能となる。

また、過大な加工応力による研削工具１の磨耗や破損、さらにはレンズ５等の光学素材の損傷などを低減することにも寄与する。
また、本実施の形態の加工制御装置Ｃによれば、既存のレンズ加工機Ｋ１やレンズ加工機Ｋ２に簡便に後付けで歪みセンサ１１や歪みセンサ１１Ａを利用した制御機能を実装でき、既存のレンズ加工機Ｋ１やレンズ加工機Ｋ２の製作当初の本来の機能を損なうことなく、加工精度等の性能向上に寄与できる。

なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、上述の実施の形態では、研削工具１およびレンズ５の双方を、工具駆動軸２およびワーク駆動軸６に支持して回転させる構成例を示したが、研削工具１およびレンズ５の一方を固定して静止させ、他方を回転させる構成でもよい。

また、加工装置としては、研削加工を行うレンズ加工機に限らず、研磨加工機や、一般の加工装置に広く適用できる。
［付記１］
光学素材に任意の曲面を生成する研削装置において、光学素材及び工具を回転する回転軸と、回転軸を保持し光学素材及び工具を任意位置に移動することで加工を行う回転軸保持筐体と、回転軸保持筐体表面に配した歪みセンサとを持ち、検出した装置歪み情報を元に送り速度を調整することを特徴とする光学素材の研削装置。
［付記２］
付記１に加え、設備本体に配した歪みセンサを持つことを特徴とする光学素材の研削装置。

本発明の一実施の形態である加工制御方法を実施する加工制御装置を備えた加工装置の構成の一例を示す平面図である。 その側面図である。 本発明の一実施の形態である加工制御装置および加工装置に備えられた加工制御プログラムの作用の一例を示すフローチャートである。 本発明の他の実施の形態である加工制御方法を実施する加工制御装置を備えた加工装置の構成の一例を示す平面図である。 その側面図である。

符号の説明

１ 研削工具
２ 工具駆動軸
２ａ 工具基体
２ｂ 軸プーリ
３ モータ
３ａ モータプーリ
３ｂ 駆動ベルト
４ 回転軸保持筐体
５ レンズ
６ ワーク駆動軸
６ａ レンズ受け工具
６ｂ 軸プーリ
７ モータ
７ａ モータプーリ
７ｂ 駆動ベルト
８ 回転軸保持筐体
９ ノズル
１０ 研削液
１１ 歪みセンサ（第１歪みセンサＳ１から第６歪みセンサＳ６）
１１Ａ 歪みセンサ（第７歪みセンサＳ７）
１２ センサアンプ
１３ コントローラ
１３ａ 加工制御プログラム
１４ 装置本体
Ｃ 加工制御装置
Ｋ１ レンズ加工機
Ｋ２ レンズ加工機
ε０ 閾値
ε１〜ε６ 歪み情報
ε７ 歪み情報

Claims (16)

1. 被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、
   前記回転軸を支持する軸筐体と、
   前記軸筐体に配置された歪みセンサと、
   前記歪みセンサから得られる歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する加工制御手段と、
   を具備することを特徴とする加工装置。
2. 請求項１記載の加工装置において、
   前記歪みセンサは、前記軸筐体における前記回転軸を取り囲む位置に複数配置されていることを特徴とする加工装置。
3. 請求項１または請求項２記載の加工装置において、
   前記軸筐体を支持する装置本体に配置された前記歪みセンサをさらに具備することを特徴とする加工装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の加工装置において、
   前記回転軸は、前記被加工物および前記加工工具をそれぞれ支持する第１および第２回転軸からなり、
   前記軸筐体は、前記第１および第２回転軸をそれぞれ支持する第１および第２軸筐体からなることを特徴とする加工装置。
5. 被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置に装着される加工制御装置であって、
   前記軸筐体に配置される歪みセンサと、
   前記歪みセンサから得られる歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する加工制御手段と、
   を具備することを特徴とする加工制御装置。
6. 請求項５記載の加工制御装置において、
   前記歪みセンサは、前記軸筐体における前記回転軸を取り囲む位置に複数配置されることを特徴とする加工制御装置。
7. 請求項５または請求項６記載の加工制御装置において、
   前記軸筐体を支持する装置本体に配置された前記歪みセンサをさらに具備することを特徴とする加工制御装置。
8. 請求項５から請求項７のいずれかに記載の加工制御装置において、
   前記加工装置の前記回転軸は、前記被加工物および前記加工工具をそれぞれ支持する第１および第２回転軸からなり、
   前記加工装置の前記軸筐体は、前記第１および第２回転軸をそれぞれ支持する第１および第２軸筐体からなることを特徴とする加工制御装置。
9. 被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置の加工制御方法であって、
   前記軸筐体の歪み情報を測定する第１工程と、
   前記歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する第２工程と、
   を含むことを特徴とする加工制御方法。
10. 請求項９記載の加工制御方法において、
    前記第１工程では、前記軸筐体における前記回転軸を取り囲む複数の位置の前記歪み情報を測定することを特徴とする加工制御方法。
11. 請求項９または請求項１０記載の加工制御方法において、
    前記第１工程では、さらに、前記軸筐体を支持する装置本体における歪み情報を測定することを特徴とする加工制御方法。
12. 請求項９から請求項１１のいずれかに記載の加工制御方法において、
    前記加工装置の前記回転軸は、前記被加工物および前記加工工具をそれぞれ支持する第１および第２回転軸からなり、
    前記加工装置の前記軸筐体は、前記第１および第２回転軸をそれぞれ支持する第１および第２軸筐体からなることを特徴とする加工制御方法。
13. 被加工物および加工工具の少なくとも一方が支持される少なくとも一つの回転軸と、前記回転軸を支持する軸筐体とを含む加工装置を制御する加工制御プログラムであって、
    前記軸筐体から測定された歪み情報を入力する第１工程と、
    前記歪み情報に基づいて前記被加工物に対する前記加工工具の相対的な送り速度を制御する第２工程と、
    を情報処理装置に実行させることを特徴とする加工制御プログラム。
14. 請求項１３記載の加工制御プログラムにおいて、
    前記第１工程では、前記軸筐体における前記回転軸を取り囲む複数の位置の前記歪み情報を入力することを特徴とする加工制御プログラム。
15. 請求項１３または請求項１４記載の加工制御プログラムにおいて、
    前記第１工程では、さらに、前記軸筐体を支持する装置本体における歪み情報を入力することを特徴とする加工制御プログラム。
16. 請求項１３から請求項１５のいずれかに記載の加工制御プログラムにおいて、
    前記加工装置の前記回転軸は、前記被加工物および前記加工工具をそれぞれ支持する第１および第２回転軸からなり、
    前記加工装置の前記軸筐体は、前記第１および第２回転軸をそれぞれ支持する第１および第２軸筐体からなることを特徴とする加工制御プログラム。

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