JP2010086590A - Method of manufacturing magnetic disk - Google Patents

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Toshikatsu Yamaguchi
利勝 山口
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Hoya Corp
Hoya Magnetics Singapore Pte Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a magnetic disk for efficiently manufacturing the magnetic disk to be a DTR (Discrete Truck Recording) medium of high quality by highly accurately detecting a defect of an information recording part. <P>SOLUTION: In the method of manufacturing the magnetic disk, the surface of the magnetic disk 100 is irradiated with light and reflected light from a part 5 irradiated with light on the surface of the magnetic disk 100 is received by an optical image processing device 8 having a CCD (Charge Coupled Device) 7 in an inspection step of the magnetic disk of the DTR medium. A received and obtained CCD optical signal 7A is compared with a first threshold and a groove signal 9 corresponding to reflected light from a non-magnetic region 140 and an information recording part signal 10 corresponding to reflected light from a track 130 are identified and the information recording part signal 10 is further compared with a second threshold 16 set to be smaller than the first threshold 15 and an information recording part real defective signal 11 existing in the track 130 is detected. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、ディスクリートトラック磁性層を備えたディスクリートトラック型の磁気ディスクの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a discrete track type magnetic disk having a discrete track magnetic layer.

近年の情報処理の大容量化に伴い、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などに搭載される磁気ディスクの高密度化が進展している。なかでも、磁気ディスクを高密度化することで、所謂”熱揺らぎ”と呼ばれる現象（すなわち、トラック間で情報が打ち消し合ってしまう現象）の発生を抑えることが可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（ディスクリートトラックメディア（Discrete Truck Recording Medium、以下、”ＤＴＲメディア”と略称する））の開発も行われている（特許文献１参照）。この種の磁気ディスクは、電子線リソグラフィーやナノインプリントなどの最新の半導体技術を用いてガラス基板上の磁性層に物理的に溝を形成したものである。
特開２００８−１７１５０６号公報 With the recent increase in information processing capacity, the density of magnetic disks mounted on hard disk drives (HDD) and the like has been increasing. In particular, by increasing the density of the magnetic disk, a so-called “thermal fluctuation” phenomenon (that is, a phenomenon in which information is canceled out between tracks) can be suppressed. Discrete track recording media (hereinafter referred to as “DTR media”) have also been developed (see Patent Document 1). This type of magnetic disk is obtained by physically forming grooves in a magnetic layer on a glass substrate using the latest semiconductor technology such as electron beam lithography and nanoimprint.
JP 2008-171506 A

ところで、上述したＤＴＲメディアである磁気ディスクは、磁性層が形成されたガラス基板に円周方向に沿って溝を形成し、そこに非磁性材料を埋め込んだ構造である。このような構成においては、偏心などの影響で磁気ヘッドが溝を横切ってしまうと、再生信号出力が激減して再生不能となるので、磁気ヘッドの位置決め精度を高くする必要があり、ＤＴＲメディアの欠陥検査を行う際には、トラッキングサーボを働かせて常にオントラック状態でリード／ライト検査をする必要がある。このため、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）の実素子を有する現行の実ヘッドを用いた磁気変換読み出しによる欠陥検出検査では、装置の大掛かりな改造が必要であり、しかも専用のヘッドを必要とする。   By the way, the magnetic disk as the DTR medium described above has a structure in which a groove is formed along the circumferential direction in a glass substrate on which a magnetic layer is formed, and a nonmagnetic material is embedded therein. In such a configuration, if the magnetic head crosses the groove due to the influence of eccentricity or the like, the reproduction signal output is drastically reduced and the reproduction becomes impossible. Therefore, it is necessary to increase the positioning accuracy of the magnetic head. When performing a defect inspection, it is necessary to always perform a read / write inspection in an on-track state by operating a tracking servo. For this reason, in the defect detection inspection by the magnetic conversion reading using the current real head having the real element of the magnetoresistive effect element (MR element), a large-scale modification of the apparatus is required, and a dedicated head is required. .

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、情報記録部分の欠陥を高精度で検出して効率良く高品質のＤＴＲメディアである磁気ディスクを製造することができる磁気ディスクの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and provides a method of manufacturing a magnetic disk capable of detecting a defect in an information recording portion with high accuracy and efficiently manufacturing a magnetic disk which is a high-quality DTR medium. The purpose is to do.

本発明の磁気ディスクの製造方法は、非磁性領域により分離された磁性領域を含むディスクリートトラック磁性層が、磁気ディスク用基板上に少なくとも形成されてなる磁気ディスクの製造方法であって、前記ディスクリートトラック磁性層を形成した磁気ディスクに対して光を照射する工程と、前記光が照射された際の反射光の強度に対して信号検出用閾値及び欠陥検出用閾値を用いて欠陥検出を行う工程と、を具備することを特徴とする。   The method of manufacturing a magnetic disk according to the present invention is a method of manufacturing a magnetic disk in which a discrete track magnetic layer including a magnetic region separated by a non-magnetic region is formed at least on a magnetic disk substrate, Irradiating light to the magnetic disk on which the magnetic layer is formed, and performing defect detection using the signal detection threshold and the defect detection threshold with respect to the intensity of the reflected light when the light is irradiated. It is characterized by comprising.

この方法によれば、磁性領域、非磁性領域及び欠陥の反射光強度の違いを用いて、磁性領域と非磁性領域とを識別する反射光強度の閾値と、磁性領域と欠陥とを識別する反射光強度の閾値とを設けるので、磁性領域と非磁性領域とを識別すると共に磁性領域と欠陥とを識別して、磁性領域上の欠陥を検出でき、効率良く高品質のＤＴＲメディアである磁気ディスクを製造することができる。   According to this method, the difference in the reflected light intensity between the magnetic region, the nonmagnetic region, and the defect is used to reflect the threshold value of the reflected light intensity that distinguishes the magnetic region from the nonmagnetic region, and the reflection that identifies the magnetic region from the defect. Since the threshold value of the light intensity is provided, the magnetic disk that is a high-quality DTR media can be detected efficiently by discriminating between the magnetic area and the non-magnetic area and identifying the magnetic area and the defect. Can be manufactured.

本発明の磁気ディスクの製造方法においては、前記信号検出用閾値の反射光強度が前記欠陥検出用閾値の反射光強度よりも高いことが好ましい。この場合において、前記信号検出用閾値の反射光強度を超えた反射光強度の領域を非磁性領域と判定することが好ましい。   In the magnetic disk manufacturing method of the present invention, it is preferable that the reflected light intensity of the signal detection threshold is higher than the reflected light intensity of the defect detection threshold. In this case, it is preferable that a region having reflected light intensity exceeding the reflected light intensity of the signal detection threshold is determined as a nonmagnetic region.

本発明の磁気ディスクの製造方法においては、前記ディスクリートトラック磁性層は、前記磁性領域を溝により分離することが好ましい。この場合においては、前記溝に非磁性材料が埋め込まれていることが好ましい。   In the method for manufacturing a magnetic disk of the present invention, it is preferable that the discrete track magnetic layer separates the magnetic region by a groove. In this case, it is preferable that a nonmagnetic material is embedded in the groove.

本発明の磁気ディスクの製造方法においては、前記ディスクリートトラック磁性層は、前記磁性領域にイオン注入して非磁性化することにより前記非磁性領域を形成してなることが好ましい。   In the method of manufacturing a magnetic disk according to the present invention, the discrete track magnetic layer is preferably formed by ion implantation into the magnetic region to make it non-magnetic.

本発明の磁気ディスクの製造方法は、非磁性領域により分離された磁性領域を含むディスクリートトラック磁性層が、磁気ディスク用基板上に少なくとも形成されてなる磁気ディスクの製造方法であって、前記ディスクリートトラック磁性層を形成した磁気ディスクに対して光を照射する工程と、前記光が照射された際の反射光の強度に対して信号検出用閾値及び欠陥検出用閾値を用いて欠陥検出を行う工程と、を具備するので、情報記録部分の欠陥を高精度で検出して効率良く高品質のＤＴＲメディアである磁気ディスクを製造することができる。   The method of manufacturing a magnetic disk according to the present invention is a method of manufacturing a magnetic disk in which a discrete track magnetic layer including a magnetic region separated by a non-magnetic region is formed at least on a magnetic disk substrate, Irradiating light to the magnetic disk on which the magnetic layer is formed, and performing defect detection using the signal detection threshold and the defect detection threshold with respect to the intensity of the reflected light when the light is irradiated. Therefore, it is possible to detect a defect in the information recording portion with high accuracy and to manufacture a magnetic disk which is a high-quality DTR medium efficiently.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施の形態においては、ＤＴＲメディアが、磁性領域を溝により分離し、その溝に非磁性材料を埋め込んでなるディスクリートトラック磁性層を有する場合について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present embodiment, a case will be described in which the DTR media has a discrete track magnetic layer in which a magnetic region is separated by a groove and a nonmagnetic material is embedded in the groove.

図１は、本発明の実施の形態に係る磁気ディスクの製造方法によって最終的に製造された磁気ディスクの構造図である。図１に示すように、磁気ディスク１００は、ＤＴＲメディアであり、その拡大断面図を参照すると、ガラス基板１１０の上に軟磁性層１２０が形成されており、さらにその上には、ディスクリートトラック磁性層が形成されている。このディスクリートトラック磁性層は、情報が記録される複数のトラック（情報記録部分：磁性領域）１３０と、各トラック１３０間に情報が記録されない非磁性領域（溝部分）１４０とが形成されている。トラックピッチは、典型的には２００ｎｍ程度である。   FIG. 1 is a structural diagram of a magnetic disk finally manufactured by a magnetic disk manufacturing method according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a magnetic disk 100 is a DTR medium. Referring to an enlarged sectional view of the magnetic disk 100, a soft magnetic layer 120 is formed on a glass substrate 110, and a discrete track magnetism is further formed thereon. A layer is formed. In the discrete track magnetic layer, a plurality of tracks (information recording portions: magnetic regions) 130 on which information is recorded and nonmagnetic regions (groove portions) 140 on which information is not recorded are formed between the tracks 130. The track pitch is typically about 200 nm.

(磁気ディスクの製造方法)
図２は、図１に示すＤＴＲメディアの磁気ディスク１００の製造方法を示す図である。図２（ａ）に示すように、まず電子線リソグラフィー法を用いて原盤となるスタンパ２００を作製する。このスタンパ２００にはデータトラックなどのパターンが形成されている。出来上がったスタンパ２００を用いて、ナノインプリントリソグラフィ法によりメディア上に形成したレジスト樹脂２１０にパターンを転写する。次に、図２（ｂ）に示すように、転写された樹脂パターンをマスク材として、ドライエッチング手法でメディア表面に溝を加工形成する。そして図２（ｃ）に示すように、磁気ヘッドの浮上安定性を確保するために、形成した溝に非磁性材料１４０Ａを埋め込み、平坦化する。非磁性領域１４０が形成される位置には情報が記録されないため、磁気ヘッドによる読み書き動作は行われない。なお、本実施の形態では、データトラック間の溝部分に非磁性材料１４０Ａを埋め込んだが、情報が記録されない非記録領域１４０はデータトラックを磁気的に分離していればよく、必ずしも非磁性材料を埋め込む必要はない。 (Magnetic disk manufacturing method)
FIG. 2 is a diagram showing a method of manufacturing the magnetic disk 100 of the DTR media shown in FIG. As shown in FIG. 2A, first, a stamper 200 serving as a master is manufactured using an electron beam lithography method. A pattern such as a data track is formed on the stamper 200. Using the completed stamper 200, the pattern is transferred to the resist resin 210 formed on the medium by the nanoimprint lithography method. Next, as shown in FIG. 2B, using the transferred resin pattern as a mask material, a groove is formed on the surface of the media by a dry etching method. Then, as shown in FIG. 2C, in order to ensure the flying stability of the magnetic head, a nonmagnetic material 140A is buried in the formed groove and is flattened. Since no information is recorded at the position where the non-magnetic region 140 is formed, the read / write operation by the magnetic head is not performed. In the present embodiment, the nonmagnetic material 140A is embedded in the groove portion between the data tracks. However, the nonrecording area 140 in which no information is recorded only needs to magnetically separate the data tracks, and the nonmagnetic material is not necessarily used. There is no need to embed.

ＤＴＲメディアは、ディスク基体上に、上記軟磁性層や中間層を介してディスクリートトラック磁性層が形成されてなる。また、必要に応じてディスクリート磁性層上に保護膜及び潤滑膜を形成する。   The DTR media has a discrete track magnetic layer formed on a disk substrate via the soft magnetic layer and the intermediate layer. Further, a protective film and a lubricating film are formed on the discrete magnetic layer as necessary.

ディスク基体（磁気ディスク用基板）としては、例えば、ガラス基板、アルミニウム基板、シリコン基板、プラスチック基板などを用いることができる。軟磁性層としては、例えば、ＦｅＣｏＴａＺｒ膜などを用いることができる。また、中間層としては、配向制御層や下地層などを挙げることができる。ディスクリートトラック磁性層の磁性材料としては、Ｃｏ，Ｃｒ，Ｐｔなどを挙げることができ、非磁性材料としては、Ｔａなどを挙げることができる。保護膜の材料としては、水素化カーボンなどを挙げることができる。また、潤滑層の材料としては、パーフルオロポリエーテルなどを挙げることができる。   As the disk substrate (magnetic disk substrate), for example, a glass substrate, an aluminum substrate, a silicon substrate, a plastic substrate, or the like can be used. As the soft magnetic layer, for example, an FeCoTaZr film or the like can be used. Examples of the intermediate layer include an orientation control layer and an underlayer. Examples of the magnetic material of the discrete track magnetic layer include Co, Cr, and Pt, and examples of the nonmagnetic material include Ta. Examples of the material for the protective film include hydrogenated carbon. Examples of the material for the lubricating layer include perfluoropolyether.

(磁気ディスクの検査方法)
上述した製造方法で磁気ディスク１００が製造された後、検査を行う。
本発明者は、ディスクリートトラック磁性層に光を照射すると、磁性領域と非磁性領域とで反射光強度が異なることに着目した。一方で、磁性領域に傷や異物などの欠陥が存在すると、この部分も反射光の強度が異なる。そこで、本発明者は、磁性領域、非磁性領域及び欠陥の反射光強度の違いを用いて、磁性領域と非磁性領域とを識別する反射光強度の閾値と、磁性領域と欠陥とを識別する反射光強度の閾値とを設けることにより、磁性領域と非磁性領域とを識別すると共に磁性領域と欠陥とを識別して、磁性領域上の欠陥を検出できることを見出し本発明をするに至った。 (Inspection method of magnetic disk)
After the magnetic disk 100 is manufactured by the manufacturing method described above, inspection is performed.
The present inventor has paid attention to the fact that when the discrete track magnetic layer is irradiated with light, the reflected light intensity differs between the magnetic region and the nonmagnetic region. On the other hand, if a defect such as a scratch or a foreign object exists in the magnetic region, the intensity of the reflected light also differs in this portion. Therefore, the present inventor uses the difference in reflected light intensity between the magnetic region, the nonmagnetic region, and the defect to identify the reflected light intensity threshold value that distinguishes the magnetic region from the nonmagnetic region, and the magnetic region from the defect. By providing the threshold value of the reflected light intensity, it was found that the magnetic region and the non-magnetic region can be identified and the magnetic region and the defect can be identified to detect the defect on the magnetic region.

すなわち、本発明の骨子は、磁気ディスク用基板上に、少なくとも前記ディスクリートトラック磁性層を形成した磁気ディスクに対して光を照射して、前記光が照射された際の反射光の強度に対して信号検出用閾値及び欠陥検出用閾値を用いて欠陥検出を行うことにより、情報記録部分の欠陥を高精度で検出して効率良く高品質のＤＴＲメディアである磁気ディスクを製造することである。   That is, the essence of the present invention is that light is applied to a magnetic disk on which at least the discrete track magnetic layer is formed on a magnetic disk substrate, and the intensity of the reflected light when the light is irradiated. By performing defect detection using a signal detection threshold and a defect detection threshold, a defect in an information recording portion is detected with high accuracy, and a magnetic disk that is a high-quality DTR medium is manufactured efficiently.

図３は、本発明者が案出した磁気ディスクの検査方法の概要を示す模式図である。図３に示すように、光源装置３から磁気ディスク１００の表面へ光４を照射し、光４が当たった磁気ディスク１００上の光照射部５からの反射光６を撮像素子の１つであるＣＣＤ（Charge Coupled Device）７を有する光学画像処理装置８で受光する。光源装置３から出力される光は、例えば波長が３５０ｎｍ〜７５０ｎｍ、輝度が１００万ｌｘ以上である。   FIG. 3 is a schematic diagram showing an outline of a magnetic disk inspection method devised by the present inventor. As shown in FIG. 3, the light source device 3 irradiates the surface of the magnetic disk 100 with light 4, and the reflected light 6 from the light irradiation unit 5 on the magnetic disk 100 irradiated with the light 4 is one of the imaging elements. Light is received by an optical image processing device 8 having a CCD (Charge Coupled Device) 7. The light output from the light source device 3 has, for example, a wavelength of 350 nm to 750 nm and a luminance of 1 million lx or more.

磁気ディスク１００に対する光４の照射は、磁気ディスク１００の半径方向に直線的に行われるので、反射光６を受光して得られるＣＣＤ光信号７Ａには、図３の拡大図に示すように、溝部分である非磁性領域１４０からの反射光に対応する溝信号９と、情報記録部分であるトラック１３０からの反射光に対応する情報記録部信号１０とが含まれる。さらに、トラック１３０にキズ、埃、異物等の欠陥がある場合には、該欠陥からの反射光に対応する情報記録部実欠陥信号１１も含まれる。これらの信号を含むＣＣＤ光信号７Ａが光学画像処理装置８に取り込まれる。   Since the irradiation of the light 4 on the magnetic disk 100 is performed linearly in the radial direction of the magnetic disk 100, the CCD optical signal 7A obtained by receiving the reflected light 6 has a CCD optical signal 7A as shown in the enlarged view of FIG. The groove signal 9 corresponding to the reflected light from the nonmagnetic region 140 that is the groove portion and the information recording unit signal 10 corresponding to the reflected light from the track 130 that is the information recording portion are included. Further, when the track 130 has a defect such as a scratch, dust, or a foreign object, the information recording unit actual defect signal 11 corresponding to the reflected light from the defect is also included. A CCD optical signal 7A including these signals is taken into the optical image processing device 8.

光学画像処理装置８は、取り込んだＣＣＤ光信号７Ａを処理し、第１の閾値（信号検出用閾値：反射光強度）１５によって溝信号９と情報記録部信号１０とを識別する。すなわち、第１の閾値の反射光強度を超えた反射光強度の領域を非磁性領域（溝信号９）と判定して、ＣＣＤ光信号７Ａから溝信号９を取り除く。この際、第１の閾値１５の値を溝信号９の値（信号レベル）よりも若干低い値に設定することで、溝信号９のみが第１の閾値１５を上回るので、溝信号９と情報記録部信号１０を容易に識別することができる。   The optical image processing apparatus 8 processes the captured CCD optical signal 7A, and identifies the groove signal 9 and the information recording unit signal 10 by the first threshold value (signal detection threshold value: reflected light intensity) 15. That is, the region of the reflected light intensity exceeding the reflected light intensity of the first threshold is determined as a nonmagnetic region (groove signal 9), and the groove signal 9 is removed from the CCD optical signal 7A. At this time, since the value of the first threshold value 15 is set to a value slightly lower than the value (signal level) of the groove signal 9, only the groove signal 9 exceeds the first threshold value 15. The recording unit signal 10 can be easily identified.

次いで、情報記録部信号１０を第１の閾値１５の値より小さい値に設定した第２の閾値（欠陥検出用閾値）１６と比較し、トラック１３０にある情報記録部実欠陥信号１１を検出する。信号検出用閾値（第１の閾値）は、欠陥検出用閾値（第２の閾値）よりも十分に高い、すなわち、信号検出用閾値（第１の閾値）と欠陥検出用閾値（第２の閾値）との反射光強度差が十分に大きいことが好ましい。これにより、磁性領域と非磁性領域とを識別すると共に磁性領域と欠陥とを識別して、磁性領域上の欠陥を容易に検出することができる。   Next, the information recording unit signal 10 is compared with a second threshold value (defect detection threshold value) 16 set to a value smaller than the first threshold value 15, and the information recording unit actual defect signal 11 in the track 130 is detected. . The signal detection threshold (first threshold) is sufficiently higher than the defect detection threshold (second threshold), that is, the signal detection threshold (first threshold) and the defect detection threshold (second threshold). It is preferable that the difference in reflected light intensity with respect to Thereby, it is possible to easily detect a defect on the magnetic region by identifying the magnetic region and the non-magnetic region and also identifying the magnetic region and the defect.

このように、ＣＣＤ信号７Ａに対して値の異なる２つの閾値を設けることで、実欠陥のみを精度良く検出することができる。また、この方法によれば、ＣＣＤ７の１ピクセルのサイズを基に溝部分である非磁性領域１４０の実サイズ（溝部分の形状や深さ）２０や情報記録部分であるトラック１３０上の欠陥の実サイズ２１の判定ができ、これによりサイズ別の検出レベルを設定することができ、検査精度の向上を図ることができる。   Thus, by providing two threshold values having different values for the CCD signal 7A, it is possible to accurately detect only actual defects. Further, according to this method, based on the size of one pixel of the CCD 7, the actual size (groove portion shape and depth) 20 of the nonmagnetic region 140 that is the groove portion and the defect on the track 130 that is the information recording portion are detected. The actual size 21 can be determined, whereby the detection level for each size can be set, and the inspection accuracy can be improved.

次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。なお、ここでは、磁気ディスク用基板としてガラス基板を用いた場合について説明する。
本実施例において、磁気ディスクの製造工程は、素材加工工程及び第１ラッピング工程；端部形状工程（穴部を形成するコアリング工程、端部（外周端部及び／又は内周端部）に面取り面を形成するチャンファリング工程（面取り面形成工程））；端面研磨工程（外周端部及び内周端部）；第２ラッピング工程；主表面研磨工程（第１及び第２研磨工程）；化学強化工程などの工程を含む。 Next, examples performed for clarifying the effects of the present invention will be described. Here, a case where a glass substrate is used as the magnetic disk substrate will be described.
In this embodiment, the magnetic disk manufacturing process includes a material processing process and a first lapping process; an end shape process (a coring process for forming a hole, an end (outer peripheral end and / or inner peripheral end)) Chamfering step for forming a chamfered surface (chamfered surface forming step)); end surface polishing step (outer peripheral end and inner peripheral end); second lapping step; main surface polishing step (first and second polishing step); Includes processes such as strengthening processes.

上述した工程を経て得られたガラス基板上に軟磁性層を介してＣｏ，Ｃｒ，Ｐｔで構成された磁性層を形成した。電子線リソグラフィー法を用いて原盤となるスタンパ２００を作製した。このスタンパ２００には、データトラックなどのパターンが形成されている。出来あがったスタンパ２００を用いて、ナノインプリントリソグラフィ法によりメディア上に形成したレジスト樹脂２１０にパターンを転写した。次に、図２（ｂ）に示すように、転写された樹脂パターンをマスク材として、ドライエッチング手法でメディア表面（磁性層）に溝を加工形成してトラック１３０を形成した。そして、図２（ｃ）に示すように、磁気ヘッドの浮上安定性を確保するために、形成した溝に非磁性材料１４０Ａを埋め込み、平坦化した後、保護膜、潤滑膜を形成した。このようにしてＤＴＲメディアを形成した。   A magnetic layer composed of Co, Cr, and Pt was formed on the glass substrate obtained through the above-described steps via a soft magnetic layer. A stamper 200 serving as a master was produced using an electron beam lithography method. The stamper 200 is formed with a pattern such as a data track. Using the completed stamper 200, the pattern was transferred to a resist resin 210 formed on the medium by the nanoimprint lithography method. Next, as shown in FIG. 2B, using the transferred resin pattern as a mask material, grooves 130 were formed on the media surface (magnetic layer) by a dry etching method to form tracks 130. Then, as shown in FIG. 2C, in order to ensure the flying stability of the magnetic head, a nonmagnetic material 140A was embedded in the formed groove and planarized, and then a protective film and a lubricating film were formed. In this way, DTR media was formed.

上述した磁気ディスク製造工程を経て製造された磁気ディスクに対して検査を行った。磁気ディスクの検査工程においては、磁気ディスク１００の表面へ光を照射し、ＣＣＤ７を有する光学画像処理装置８で磁気ディスク１００の表面上の光照射部５からの反射光を受光する。光学画像処理装置８は、受光して得られたＣＣＤ光信号７Ａを第１の閾値と比較して非磁性領域１４０からの反射光に対応する溝信号９とトラック１３０からの反射光に対応する情報記録部信号１０とを識別し、さらに情報記録部信号１０を、第１の閾値１５の値より十分に小さい値に設定した第２の閾値１６と比較し、トラック１３０にある情報記録部実欠陥信号１１を検出した。   The magnetic disk manufactured through the magnetic disk manufacturing process described above was inspected. In the magnetic disk inspection process, the surface of the magnetic disk 100 is irradiated with light, and the optical image processing device 8 having the CCD 7 receives the reflected light from the light irradiation unit 5 on the surface of the magnetic disk 100. The optical image processing device 8 compares the CCD light signal 7A obtained by receiving the light with the first threshold value and corresponds to the groove signal 9 corresponding to the reflected light from the nonmagnetic region 140 and the reflected light from the track 130. The information recording unit signal 10 is identified, and the information recording unit signal 10 is compared with the second threshold 16 set to a value sufficiently smaller than the value of the first threshold 15, and the information recording unit actual in the track 130 is compared. A defect signal 11 was detected.

このように、本発明の磁気ディスクの製造方法によれば、磁性領域、非磁性領域及び欠陥の反射光強度の違いを用いて、磁性領域と非磁性領域とを識別する反射光強度の閾値と、磁性領域と欠陥とを識別する反射光強度の閾値とを設けるので、磁性領域と非磁性領域とを識別すると共に磁性領域と欠陥とを識別して、磁性領域上の欠陥を検出でき、効率良く高品質のＤＴＲメディアである磁気ディスクを製造することができる。   As described above, according to the method of manufacturing a magnetic disk of the present invention, the reflected light intensity threshold value for distinguishing between the magnetic region and the nonmagnetic region using the difference in reflected light intensity between the magnetic region, the nonmagnetic region, and the defect is obtained. Since the threshold value of the reflected light intensity for discriminating between the magnetic region and the defect is provided, the magnetic region and the non-magnetic region can be identified and the magnetic region and the defect can be identified to detect the defect on the magnetic region. A magnetic disk which is a good and high quality DTR medium can be manufactured.

本発明は上記実施の形態に限定されず、適宜変更して実施することができる。上記実施の形態においては、ＤＴＲメディアが、磁性領域を溝により分離し、その溝に非磁性材料を埋め込んでなるディスクリートトラック磁性層を有する場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、ＤＴＲメディアが、磁性領域にイオン注入して非磁性化することにより前記非磁性領域を形成してなるディスクリートトラック磁性層を有する場合にも同様に適用することができる。また、上記実施の形態における材質、個数、サイズ、処理手順などは一例であり、本発明の効果を発揮する範囲内において種々変更して実施することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with appropriate modifications. In the above embodiment, the case where the DTR media has a discrete track magnetic layer in which a magnetic region is separated by a groove and a nonmagnetic material is embedded in the groove is described, but the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to the case where the DTR medium has a discrete track magnetic layer in which the nonmagnetic region is formed by ion implantation into the magnetic region to make it nonmagnetic. Further, the material, number, size, processing procedure, and the like in the above embodiment are merely examples, and various modifications can be made within the range where the effects of the present invention are exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.

本発明は、非磁性領域により分離された磁性領域を含むディスクリートトラック磁性層が、磁気ディスク用基板上に少なくとも形成されてなるＤＴＲメディアに適用可能である。   The present invention is applicable to DTR media in which a discrete track magnetic layer including magnetic regions separated by nonmagnetic regions is formed at least on a magnetic disk substrate.

本発明の実施の形態に係る磁気ディスクの製造方法によって最終的に製造される磁気ディスクの構造図である。1 is a structural diagram of a magnetic disk that is finally manufactured by a magnetic disk manufacturing method according to an embodiment of the present invention; FIG. 図１に示すＤＴＲメディアとしての磁気ディスクの製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the magnetic disc as a DTR medium shown in FIG. 本発明の実施の形態に係る磁気ディスクの製造方法において、図１の磁気ディスクの検査方法の概要を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an outline of the magnetic disk inspection method of FIG. 1 in the magnetic disk manufacturing method according to the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

３ 光源装置
４ 光
５ 光照射部
６ 反射光
７ ＣＣＤ
７Ａ ＣＣＤ光信号
８ 光学画像処理装置
９ 溝信号
１０ 情報記録部信号
１１ 情報記録部実欠陥信号
１５ 第１の閾値
１６ 第２の閾値
２０ 非磁性領域の実サイズ
２１ トラック上の欠陥の実サイズ
１００ 磁気ディスク
１１０ ガラス基板
１２０ 軟磁性層
１３０ トラック
１４０ 非磁性領域
２００ スタンパ
２１０ レジスト樹脂 3 Light source device 4 Light 5 Light irradiation part 6 Reflected light 7 CCD
7A CCD optical signal 8 Optical image processing device 9 Groove signal 10 Information recording unit signal 11 Information recording unit actual defect signal 15 First threshold 16 Second threshold 20 Actual size of nonmagnetic region 21 Actual size of defect on track 100 Magnetic disk 110 Glass substrate 120 Soft magnetic layer 130 Track 140 Nonmagnetic region 200 Stamper 210 Resist resin

Claims (6)

非磁性領域により分離された磁性領域を含むディスクリートトラック磁性層が、磁気ディスク用基板上に少なくとも形成されてなる磁気ディスクの製造方法であって、前記ディスクリートトラック磁性層を形成した磁気ディスクに対して光を照射する工程と、前記光が照射された際の反射光の強度に対して信号検出用閾値及び欠陥検出用閾値を用いて欠陥検出を行う工程と、を具備することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。   A method of manufacturing a magnetic disk in which a discrete track magnetic layer including a magnetic region separated by a non-magnetic region is formed on a magnetic disk substrate, wherein the magnetic disk is formed with the discrete track magnetic layer. A step of irradiating light, and a step of performing defect detection using a signal detection threshold and a defect detection threshold for the intensity of reflected light when the light is irradiated. Disc manufacturing method. 前記信号検出用閾値の反射光強度が前記欠陥検出用閾値の反射光強度よりも高いことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスクの製造方法。   2. The method of manufacturing a magnetic disk according to claim 1, wherein the reflected light intensity of the signal detection threshold is higher than the reflected light intensity of the defect detection threshold. 前記信号検出用閾値の反射光強度を超えた反射光強度の領域を非磁性領域と判定することを特徴とする請求項２記載の磁気ディスクの製造方法。   3. The method of manufacturing a magnetic disk according to claim 2, wherein a region of the reflected light intensity exceeding the reflected light intensity of the signal detection threshold is determined as a non-magnetic region. 前記ディスクリートトラック磁性層は、前記磁性領域を溝により分離することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の磁気ディスクの製造方法。   4. The method of manufacturing a magnetic disk according to claim 1, wherein the discrete track magnetic layer separates the magnetic region by a groove. 前記溝に非磁性材料が埋め込まれていることを特徴とする請求項４記載の磁気ディスクの製造方法。   5. The method of manufacturing a magnetic disk according to claim 4, wherein a nonmagnetic material is embedded in the groove. 前記ディスクリートトラック磁性層は、前記磁性領域にイオン注入して非磁性化することにより前記非磁性領域を形成してなることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の磁気ディスクの製造方法。   4. The magnetic disk according to claim 1, wherein the discrete track magnetic layer is formed by ion implantation into the magnetic region to make it non-magnetic. 5. Manufacturing method.
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