JP2010072457A - Liquid crystal display - Google Patents
Liquid crystal display Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010072457A JP2010072457A JP2008241233A JP2008241233A JP2010072457A JP 2010072457 A JP2010072457 A JP 2010072457A JP 2008241233 A JP2008241233 A JP 2008241233A JP 2008241233 A JP2008241233 A JP 2008241233A JP 2010072457 A JP2010072457 A JP 2010072457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- contact hole
- pixel electrode
- crystal display
- colored layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、スイッチング素子と画素電極の導通を確実に図り、点灯不良の低減を可能とした液晶表示装置に関するものである。 The present invention relates to a liquid crystal display device that can reliably connect a switching element and a pixel electrode and reduce lighting failure.
液晶表示装置は、アレイ基板と対向基板の間に液晶層を挟持する構造を有する。また、カラー表示を行う液晶表示装置は、対向基板に着色層(カラーフィルタ)を備える。一方で、着色層をアレイ基板に備える液晶表示装置があり、かかる液晶表示装置は、カラーフィルタ・オン・アレイ型(以下、COA型という)液晶表示装置という。 The liquid crystal display device has a structure in which a liquid crystal layer is sandwiched between an array substrate and a counter substrate. In addition, a liquid crystal display device that performs color display includes a colored layer (color filter) on a counter substrate. On the other hand, there is a liquid crystal display device including a colored layer on an array substrate, and the liquid crystal display device is referred to as a color filter on array type (hereinafter referred to as COA type) liquid crystal display device.
COA型液晶表示装置では、着色層の下にあるスイッチング素子と着色層の上にある画素電極とを電気的に接続するため、着色層にコンタクトホールが形成される。 In the COA type liquid crystal display device, a contact hole is formed in the colored layer in order to electrically connect the switching element below the colored layer and the pixel electrode above the colored layer.
通常、着色層は着色のための顔料を含んでおり、またフォトリソグラフィ法により形成する場合には感光性レジストとしての機能を有している。そのため着色層はカルボン酸等の不純物を含み、この不純物が液晶に溶け出すと、画像の焼き付き等の不具合を起こすことがある。 Usually, the colored layer contains a pigment for coloring, and has a function as a photosensitive resist when formed by photolithography. For this reason, the colored layer contains impurities such as carboxylic acid, and if these impurities dissolve into the liquid crystal, problems such as image burn-in may occur.
不純物は、顔料の精製により、画質の問題が生じないようになるまでを除去できるが、材料の開発時間と費用が増加してしまう。 Impurities can be removed by refining the pigment until no image quality problems occur, but this increases the development time and cost of the material.
そのため、着色層を透明な樹脂などからなる絶縁層で被覆し、不純物の溶出を防ぐことが多い。絶縁層は、着色層どうしの繋ぎ目の凹凸を被覆するので、いわゆるギャップの均一化に寄与し、画質への悪影響の防止にもなる。 Therefore, the colored layer is often covered with an insulating layer made of a transparent resin or the like to prevent impurities from eluting. Since the insulating layer covers the unevenness of the joints between the colored layers, it contributes to the so-called gap uniformity and also prevents adverse effects on the image quality.
図2は、COA型液晶表示装置の一部断面を概略的に示す断面図である。 FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a partial cross section of the COA type liquid crystal display device.
上記の着色層、スイッチング素子、画素電極、コンタクトホールおよび絶縁層は、同図では、符号25a等、符号26、符号24、符号27および符号28をそれぞれ付与されたものである。
The colored layer, switching element, pixel electrode, contact hole, and insulating layer are given
着色層25a等は、絶縁基板20aの上に形成され、コンタクトホール27の位置で部分的に除去される。絶縁層28も、ほぼ同じ位置で部分的に除去される。こうして、絶縁層28にコンタクトホール27が形成され、スイッチング素子26のドレイン電極26cの一部が露出する。
The
そして、コンタクトホール27の周囲における絶縁膜28の上に画素電極24が形成される。画素電極24は、コンタクトホール27を介し、ドレイン電極26cと電気的に接続される。
Then, the
図6に示すように、コンタクトホール27の位置では、着色層25a等と絶縁層28
の2層構造を形成する必要があるため、コンタクトホール27の壁面の角度であるテーパ角θが大きくなる。また、画素電極24は、コンタクトホール27の位置ではテーパ角θと同じ角度で曲がる。こうして画素電極24は、大きな角度で曲がっているため、曲がっている部分にひびが入る可能性が高い。
As shown in FIG. 6, at the position of the
Therefore, the taper angle θ which is the angle of the wall surface of the
そのため、ドレイン電極26cと画素電極24が導通せず、点灯不良が多く発生する可能性がある。
For this reason, the
また、絶縁層28を形成する材料には感光性樹脂が使われることが多いが、液体(レジスト液という)なので、このレジスト液が、着色層25aのない箇所、つまり後にコンタクトホール27となる箇所に流れこむと、表面張力により、当該箇所ではレジスト液が厚くなる。
In addition, a photosensitive resin is often used as a material for forming the
図7に示すように、レジスト液により形成される絶縁層28も、コンタクトホール27の箇所では厚くなる。
As shown in FIG. 7, the
そのため、露光および現像によって絶縁層28を除去してコンタクトホール27を形成するには、より深い穴を開ける必要があり、加工後の寸法および形状バラツキが大きくなる可能性がある。
Therefore, in order to form the
このためドレイン電極26cが露出している部分の面積が狭くなった画素においてはドレイン電極26cと画素電極24とを確実に導通させることができず、点灯不良が発生する可能性がある。
For this reason, in the pixel where the area of the portion where the
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては次のものがある。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スイッチング素子と画素電極の導通を確実に図り、点灯不良の低減を可能とした液晶表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of reliably connecting a switching element and a pixel electrode and reducing a lighting failure. It is in.
上記の課題を解決するために、本発明の液晶表示装置は、絶縁基板と、前記絶縁基板上に設けられた複数の走査線及び信号線と、前記走査線及び信号線の交差部に設けられたスイッチング素子と、前記走査線、信号線、及びスイッチング素子を被覆する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された画素電極と、前記画素電極と前記スイッチング素子とを電気的に接続するよう前記絶縁膜に設けられたコンタクトホールと、前記絶縁基板に対向して配置された対向基板と、前記絶縁基板と前記対向基板に挟持された液晶層と、を備え、前記絶縁基板上に着色層を有し、前記絶縁膜は、前記着色層を被覆し、前記コンタクトホールは、前記着色層を有しない部分に形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a liquid crystal display device of the present invention is provided at an intersection of an insulating substrate, a plurality of scanning lines and signal lines provided on the insulating substrate, and the scanning lines and signal lines. The switching element, the scanning line, the signal line, the insulating film covering the switching element, the pixel electrode formed on the insulating film, and the pixel electrode and the switching element so as to be electrically connected A contact hole provided in the insulating film; a counter substrate disposed opposite to the insulating substrate; and a liquid crystal layer sandwiched between the insulating substrate and the counter substrate, wherein a colored layer is provided on the insulating substrate. And the insulating film covers the colored layer, and the contact hole is formed in a portion not having the colored layer.
本発明によれば、コンタクトホールは、着色層を有しない部分に形成されていることで、コンタクトホールの壁面の角度であるテーパ角を小さくでき、よって、スイッチング素子と画素電極の導通を確実に図ることができる。その結果、点灯不良を低減することができる。 According to the present invention, since the contact hole is formed in a portion having no colored layer, the taper angle, which is the angle of the wall surface of the contact hole, can be reduced, and thus the conduction between the switching element and the pixel electrode is ensured. Can be planned. As a result, lighting failure can be reduced.
本発明の液晶表示装置によれば、コンタクトホールは、着色層を有しない部分に形成されていることで、コンタクトホールの壁面の角度であるテーパ角を小さくでき、よって、スイッチング素子と画素電極の導通を確実に図ることができる。その結果、点灯不良を低減することができる。 According to the liquid crystal display device of the present invention, since the contact hole is formed in a portion having no colored layer, the taper angle, which is the angle of the wall surface of the contact hole, can be reduced. Conduction can be reliably achieved. As a result, lighting failure can be reduced.
以下、本発明に係る液晶表示装置の実施の形態を図面を参照し説明する。ここでは、COA型液晶表示装置を例に説明する。また、説明において、同一部分は同一符号で示すこととする。 Embodiments of a liquid crystal display device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, a COA type liquid crystal display device will be described as an example. In the description, the same parts are denoted by the same reference numerals.
図1は、本発明の実施の形態に係る液晶表示装置を示す斜視図である。図2は、図1のA−A線に沿って切断してできた断面を概略的に示す拡大断面図である。また、図3は、図2の破線部Rを対向基板11側から見た様子を示す拡大平面図である。また、図4は、図3のB−B線に沿って切断してできた断面を示す拡大断面図である。また、図5は、図3のB−B線に沿って切断してできた断面における製造途中の様子を示す拡大断面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view schematically showing a cross section cut along the line AA of FIG. FIG. 3 is an enlarged plan view showing the broken line portion R of FIG. 2 as viewed from the
なお、図2は、概略的なものであり、本発明の実施の形態における特徴は、主に図4、図5に示されている。また、図3〜図5では、便宜上、スペーサを図示省略している。 FIG. 2 is a schematic diagram, and features in the embodiment of the present invention are mainly shown in FIGS. 3 to 5, the spacer is not shown for convenience.
液晶表示装置は、表示領域12を有するアレイ基板10と、アレイ基板10に所定の間隔をもって対向配置された対向基板11と、表示領域12を駆動する図示しない集積回路とを備える。アレイ基板10の下面には、光源となるバックライトユニット13が配置される。バックライトユニット13は、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)等を備えてなるものである。
The liquid crystal display device includes an
アレイ基板10は、絶縁性を有するガラス等からなる透明な絶縁基板20aと、絶縁基板20aの上に形成された多層薄膜21と、図示しない配向膜を備えている。絶縁基板20aの上には、図3に示す複数本の信号線22及び図示しない走査線が、多層薄膜21を介して格子状に配置されている。また、各走査線に沿って図示しない補助容量線が配列され、補助容量線と信号線22がなすマス目上の画素開口にほぼ対応するように、Indium-Tin-Oxide(以下、「ITO」という)等の透明な導電材料からなる画素電極24が配設される。
The
表示領域12は、全ての画素電極24により構成される領域をいう。
The
補助容量線は、画素電極24の電位を保持するために、補助容量線と画素電極24とで静電容量(一般的には補助容量という)を形成するためのものである。
The auxiliary capacity line is for forming an electrostatic capacity (generally referred to as an auxiliary capacity) by the auxiliary capacity line and the
走査線及び信号線22の各交点の近傍には、画素電極24を制御するためのスイッチング素子26が形成される。
A
スイッチング素子26上に、多層薄膜21の一部である有機絶縁膜25が形成される。その際、まず、スイッチング素子26が形成された絶縁基板20aの上に、例えば、緑色のレジスト液がスピンナ塗布され、約90℃でプリベークされる。
An organic
次に、ドレイン電極26c周囲を除く所定の位置にマスクパターンが配され、150mJ/平方cmの強度の紫外線による露光がなされる。次に、重量比で約0.1%のテトラメチルアンモニウムハイドライド(TMAH)水溶液を用いて約40秒間現像がなされる。
Next, a mask pattern is disposed at a predetermined position excluding the periphery of the
次に、絶縁基板20aは、水洗いされ、約200℃で1時間ほどポストベークされる。こうして、着色層25aが、例えば、緑の着色層として形成される。マスクパターンは、ドレイン電極26c周囲に配していないので、着色層25aは、ドレイン電極26c周囲には形成されない。
Next, the
その後、同様に、着色層25b、着色層25cが、例えば、青の着色層、赤の着色層として形成される。これらの着色層も、マスクパターンの配置により、ドレイン電極26c周囲には形成されない。
Thereafter, similarly, the
各着色層の上には、着色層の工程と同様な工程により、例えば透明なアクリル樹脂からなる絶縁膜28が形成されている。絶縁膜28は、ドレイン電極26c上にも形成されている。
On each colored layer, an insulating
図5は、続いて、絶縁膜28にコンタクトホール27が形成された様子を示す図であり、同図に示すように、各ドレイン電極26c周囲の絶縁膜28が部分的に除去されてコンタクトホール27が形成される。
FIG. 5 is a diagram showing a state in which the
次に、各コンタクトホール27の周囲における絶縁膜28の上に画素電極24が形成される。
Next, the
ここでは、例えば、スパッタリングによりITOが堆積され、ITOがパターニングされ、画素電極24が形成される。
Here, for example, ITO is deposited by sputtering, the ITO is patterned, and the
画素電極24は、コンタクトホール27を介し、スイッチング素子26と電気的に接続される。
The
ここで、スイッチング素子26は、ゲート電極26a、ソース電極26b、ドレイン電極26cから構成される薄膜トランジスタ(以下、「TFT」という)を用いる。ゲート電極26aは走査線と電気的に接続される。ソース電極26bは信号線22と電気的に接続される。ドレイン電極26cは、コンタクトホール27を介し、画素電極24と電気的に接続される。
Here, the switching
画素電極24により構成される表示領域12を囲むように、光を遮光するためのブラックマトリクス層(以下、「BM層」という)31が形成される。BM層31は、着色層の工程と同様な工程により、黒色樹脂を用いて形成される。
A black matrix layer (hereinafter referred to as “BM layer”) 31 for shielding light is formed so as to surround the
次に、絶縁基板20aの上に、例えば、ポリイミドからなる配向膜材料が塗布され、配向膜材料に対して配向処理がなされ、こうして配向膜(図示せず)が形成される。アレイ基板10は、この配向膜形成後において、絶縁基板20aおよびその上に形成されたものの総称である。
Next, an alignment film material made of, for example, polyimide is applied on the insulating
アレイ基板10の上には、例えば、インクジェット工法により、必要数の球状スペーサ32が配される。球状スペーサ32は、樹脂(透明なアクリル樹脂など)からなる球であり、球の直径は、例えば3〜6μmである。あるいは、アレイ基板10の上には、図示しないが、必要数の柱状スペーサが配される。
A necessary number of
対向基板11は、絶縁性を有するガラス等からなる透明な絶縁基板20bを有し、アレイ基板10と対向して配置される。また、対向基板11は、液晶層30側にITOからなる透明電極33と図示しない配向膜を有する。透明電極33は、例えば、スパッタリングにより堆積されたITOをパターニングして形成される。また、絶縁基板20bの全面に、例えば、ポリイミドからなる配向膜材料が塗布され、配向膜材料に対して配向処理がなされ、こうして配向膜が形成される。対向基板11は、この配向膜形成後において、絶縁基板20bおよびその上に形成されたものの総称である。
The
対向基板11におけるBM層31を囲む額縁領域の一部を液晶注入口(図示せず)として残し、液晶注入口以外の額縁領域にシール材29が塗布される。その後、対向基板11は、シール材29によりアレイ基板10と貼り合わせられる。アレイ基板10と対向基板11は、枚葉方式の封着治具に装着され、排気され更に約170℃の硬化温度で30分ほど焼成される。アレイ基板10と対向基板11間の距離は、球状スペーサ32等により、均一化される。
A part of the frame region surrounding the
この状態のアレイ基板10と対向基板11は、セルと称される。セルが得られると、セルの中つまりアレイ基板10と対向基板11の間が真空状態とされ、液晶注入口から、例えば、カイラル剤を添加したネマティック液晶材料が注入される。その後、液晶注入口は、紫外線硬化樹脂などの封止材(図示せず)により塞がれ、封止材は紫外線により硬化される。
The
こうして、アレイ基板10と対向基板11の間に液晶層30が挟持される。ギャップ(液晶層の厚み)は、球状スペーサ32等により、均一化される。
Thus, the
アレイ基板10の液晶層30側と反対の面には、図示しない偏光板が配設される。同様に、対向基板11の液晶層30側と反対の面にも、図示しない偏光板が配設される。
A polarizing plate (not shown) is disposed on the surface of the
本実施の形態に係る液晶表示装置では、各走査線に与えられた走査信号により各TFT26がオンオフし、液晶層が光を遮断または透過させる。また、各信号線22に与えられた映像信号がTFT26を介して画素電極24に与えられ、これにより、透過する光の強度が映像信号に応じたものとなる。こうして、各画素電極の領域が個別に点灯し、液晶表示装置は画像を表示する。
In the liquid crystal display device according to the present embodiment, each
ここで、図4および図5を参照し、コンタクトホール27およびその近傍の構造について説明する。
Here, the structure of the
まず、コンタクトホール27は、着色層25a等を有しない部分に形成されているので、コンタクトホール27の周囲は、着色層25a等が存在せず、よって、図5に示すように、コンタクトホール27における壁面の角度であるテーパ角θを小さくできる。
First, since the
仮に、例えば、テーパ角θが大きい場合、テーパ角θと同じ角度で曲がる画素電極24の曲がっている部分にひびが入る可能性が高い。しかしながら、本実施の形態では、テーパ角θを小さくできる。よって、画素電極24にひびが入る可能性を低減することができ、ドレイン電極26cと画素電極24の導通を確実に図ることができる。その結果、点灯不良を低減することができる。
For example, if the taper angle θ is large, there is a high possibility that the
そのためには、テーパ角θは、少なくとも60度以下とするのが好ましく、45度以下であれば最適である。 For this purpose, the taper angle θ is preferably at least 60 degrees or less, and is optimal if it is 45 degrees or less.
また、着色層が形成された時点で、絶縁基板20aの表面は、着色層を有しない部分による段差はあれど、大局的には平面である。よって、その表面にレジスト液を塗布することで形成される絶縁層28の厚みは均一化され、特に着色層を有しない部分で厚くならない。よって、コンタクトホール27形成後の寸法および形状バラツキが大きくならずドレイン電極26cと画素電極24と確実に導通させることができ、点灯不良を低減できる。
In addition, when the colored layer is formed, the surface of the insulating
なお、テーパ角θは、小さすぎても好ましくない。例えば、テーパ角θが18度未満である場合、テーパ部分の距離が長くなる分コンタクトホール27を配置するスペースを大きく取る必要があり、画素の開口率が低下する。また、テーパ角θを18度未満となるのは、レジスト液の材料として、テーパの部分が融けやすくなるようなものを使用している、または、テーパの部分が融けやすくような条件の設定となっていることが多い。この場合スルーホールを精度良く形成することが難しくなり、場合によってはスルーホール内にレジスト液の残渣が残ってしまう。よって、テーパ角θは、少なくとも18度以上とするのが好ましく、25度以上であれば最適である。
It is not preferable that the taper angle θ is too small. For example, when the taper angle θ is less than 18 degrees, it is necessary to increase a space for arranging the
したがって、本実施の形態に係る液晶表示装置によれば、絶縁基板20aと、絶縁基板上に設けられた複数の走査線及び信号線22と、走査線及び信号線の交差部に設けられたスイッチング素子26と、走査線、信号線、及びスイッチング素子を被覆する絶縁膜28と、絶縁膜上に形成された画素電極24と、画素電極とスイッチング素子とを電気的に接続するよう絶縁膜に設けられたコンタクトホール27と、絶縁基板に対向して配置された対向基板11と、絶縁基板と対向基板に挟持された液晶層30と、を備え、絶縁基板上に着色層25a等を有し、絶縁膜は、着色層を被覆し、コンタクトホール27は、着色層を有しない部分に形成されていることで、コンタクトホール27の壁面の角度であるテーパ角θを小さくでき、よって、ドレイン電極26cと画素電極24の導通を確実に図ることができる。その結果、点灯不良を低減することができる。
Therefore, according to the liquid crystal display device according to the present embodiment, the insulating
また、コンタクトホール27のテーパ角度は、少なくとも18度〜60度であれば好適であり、25度〜45度とすれば最適である。
The taper angle of the
また、本実施の形態では、絶縁膜28が、透明なアクリル樹脂からなるとしたが、他の材料を用いても勿論よい。
In the present embodiment, the insulating
10…アレイ基板
11…対向基板
12…表示領域
13…バックライトユニット
20a、20b…絶縁基板
21…多層薄膜
22…信号線
24…画素電極
25…有機絶縁膜
25a、25b、25c…着色層
26…スイッチング素子(TFT)
26a…ゲート電極
26b…ソース電極
26c…ドレイン電極
27…コンタクトホール
28…絶縁膜
29…シール材
30…液晶層
31…BM層
32…球状スペーサ
33…透明電極
DESCRIPTION OF
26a ...
Claims (4)
前記絶縁基板上に設けられた複数の走査線及び信号線と、
前記走査線及び信号線の交差部に設けられたスイッチング素子と、
前記走査線、信号線、及びスイッチング素子を被覆する絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された画素電極と、
前記画素電極と前記スイッチング素子とを電気的に接続するよう前記絶縁膜に設けられたコンタクトホールと、
前記絶縁基板に対向して配置された対向基板と、
前記絶縁基板と前記対向基板に挟持された液晶層と、を備え、
前記絶縁基板上に着色層を有し、
前記絶縁膜は、前記着色層を被覆し、
前記コンタクトホールは、前記着色層を有しない部分に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 An insulating substrate;
A plurality of scanning lines and signal lines provided on the insulating substrate;
Switching elements provided at intersections of the scanning lines and the signal lines;
An insulating film covering the scanning line, the signal line, and the switching element;
A pixel electrode formed on the insulating film;
A contact hole provided in the insulating film to electrically connect the pixel electrode and the switching element;
A counter substrate disposed opposite the insulating substrate;
A liquid crystal layer sandwiched between the insulating substrate and the counter substrate,
Having a colored layer on the insulating substrate;
The insulating film covers the colored layer;
The liquid crystal display device, wherein the contact hole is formed in a portion not having the colored layer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008241233A JP2010072457A (en) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Liquid crystal display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008241233A JP2010072457A (en) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Liquid crystal display |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010072457A true JP2010072457A (en) | 2010-04-02 |
Family
ID=42204271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008241233A Pending JP2010072457A (en) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | Liquid crystal display |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010072457A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105807478A (en) * | 2016-05-20 | 2016-07-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof |
US10001687B2 (en) | 2015-09-28 | 2018-06-19 | Japan Display Inc. | Liquid crystal display device |
CN110176397A (en) * | 2019-04-18 | 2019-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of lithographic method of active layer contact hole and the circuit detecting method of array substrate |
JP2020512583A (en) * | 2017-03-13 | 2020-04-23 | 武漢華星光電技術有限公司Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd | Photomask structure and COA type array substrate |
-
2008
- 2008-09-19 JP JP2008241233A patent/JP2010072457A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10001687B2 (en) | 2015-09-28 | 2018-06-19 | Japan Display Inc. | Liquid crystal display device |
CN105807478A (en) * | 2016-05-20 | 2016-07-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof |
JP2020512583A (en) * | 2017-03-13 | 2020-04-23 | 武漢華星光電技術有限公司Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd | Photomask structure and COA type array substrate |
CN110176397A (en) * | 2019-04-18 | 2019-08-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of lithographic method of active layer contact hole and the circuit detecting method of array substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101954979B1 (en) | Color filter substrate, Liquid crystal display apparatus and method for fabricating color filter | |
JP2007004111A (en) | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof | |
JP5538106B2 (en) | LCD panel | |
KR102260859B1 (en) | Gate in panel type liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
KR20050001942A (en) | Mother glass substrate for liquid crystal display device | |
KR20060128272A (en) | Liquid crystal display device and fabricating the same | |
JP2010072457A (en) | Liquid crystal display | |
JP2008158169A (en) | Liquid crystal display panel and method for manufacturing the same | |
JP2004094217A (en) | Manufacturing method for self-aligned pixel electrode for liquid crystal display device | |
JP2007240542A (en) | Liquid crystal display element | |
JP2011107379A (en) | Color filter, method for manufacturing the same, and liquid crystal display panel using the same | |
KR20060070873A (en) | Lcd and method of fabricating of the same | |
JP2002055359A (en) | Method for manufacturing liquid crystal display panel | |
JP2010139568A (en) | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same | |
JP5292594B2 (en) | LCD panel | |
JP2000187223A (en) | Liquid crystal display device | |
KR20080000786A (en) | Liquid crystal panel | |
JP2007206532A (en) | Color filter substrate, liquid crystal display, and their manufacturing method | |
JP2006220706A (en) | Method of manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic equipment | |
KR101108383B1 (en) | Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same | |
JP2004077700A (en) | Liquid crystal display device | |
JP2007192910A (en) | Color filter substrate, liquid crystal display panel and manufacturing method of color filter substrate | |
JP2009223021A (en) | Display element | |
KR100632729B1 (en) | Method for liquid crystal display panel | |
JP5095375B2 (en) | Substrate device and manufacturing method thereof |