JP2010063961A - Ultrasonic wave generating device and machinery having the same - Google Patents

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草太 小前
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic wave generating device capable of radiating a powerful sound pressure level-ultrasonic wave in a broad range and machinery having the same. <P>SOLUTION: The ultrasonic wave generating device 100 includes a vibrator 10 (ultrasonic vibrator) where a piezoelectric element 10a is provided, a plurality of vibrating plates 12 that are mounted at positions corresponding to the abdominal portion of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 10 and flexibly vibrates to generate an ultrasonic wave by resonating with the vibration of the vibrator 10, and a plurality of reflective vibrating plates 22 that are opposed to the vibrating plates 12 at a predetermined distance, are mounted at positions corresponding to the knot portion of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 10, and reflect sound radiation from the vibrating plates 12. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、超音波を発生する超音波発生装置に関し、特に強力な音圧レベルの超音波を広範囲に放射することが可能な超音波発生装置及びそれを備えた設備機器に関するものである。   The present invention relates to an ultrasonic generator that generates ultrasonic waves, and more particularly to an ultrasonic generator that can radiate ultrasonic waves having a strong sound pressure level over a wide range and equipment equipped with the ultrasonic generator.

従来から、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電素子を利用した超音波発生装置が存在する。このような超音波発生装置は、一般的に、圧電素子に電圧を印加することで圧電素子を発振させ、一定方向の振動の共振周波数を利用することで、特定の周波数を音響発振するようになっている。この超音波を利用して空中に浮遊している塵埃等の粒子を凝集させるようにした空気清浄機等に搭載される超音波凝集装置が存在する。この超音波凝集は、疎密波である超音波の特性によって発生することが知られている。つまり、疎密波の「密」の部分では、強い音圧放射によって、空気同士が摩擦を起こして静電効果が発生し、疎密波の「疎」の部分の塵埃が「密」の部分に移動して粒子が凝集するのである。   Conventionally, there has been an ultrasonic generator using a piezoelectric element such as PZT (lead zirconate titanate). In general, such an ultrasonic generator oscillates a piezoelectric element by applying a voltage to the piezoelectric element, and oscillates a specific frequency by using a resonance frequency of vibration in a certain direction. It has become. There is an ultrasonic aggregating device mounted on an air cleaner or the like that aggregates particles such as dust floating in the air using this ultrasonic wave. It is known that this ultrasonic agglomeration occurs due to the characteristics of ultrasonic waves that are dense waves. In other words, in the “dense” part of the sparse wave, strong sound pressure radiation causes friction between the air and the electrostatic effect occurs, and the dust in the “sparse” part of the sparse wave moves to the “dense” part. As a result, the particles aggregate.

そのようなものとして、「人の動き等を感知する人感センサを用いた自動運転モードを有して吸気口から吸い込んだ空気を清浄化する空気清浄機において、前記吸気口を空気清浄機本体の少なくとも正面と側面の2面に形成し、前記人感センサとして超音波を送受信する超音波送受信手段を少なくとも前記正面と側面の2面に向けて回動可能に設けると共に、これを用いて人を感知した時は超音波を空気中に照射することにより得られる超音波集塵機能を利用して空気中の埃を肥大化させて集塵する制御手段を備えた空気清浄機」が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。   As such, “in an air purifier that has an automatic operation mode using a human sensor that senses a person's movement or the like and purifies the air sucked from the air intake, the air intake main body The ultrasonic transmission / reception means for transmitting / receiving ultrasonic waves as the human sensor is provided at least on the front and side surfaces so as to be rotatable toward at least the two surfaces of the front and side surfaces. An air cleaner equipped with a control means for collecting dust by enlarging dust in the air using an ultrasonic dust collection function obtained by irradiating the air with ultrasonic waves when it is detected is proposed. (For example, see Patent Document 1).

また、コロナ放電による電気集塵を助長する手段として音放射を組み合わせるようにした技術が開示されている。そのようなものとして、「荷電部と集塵部と、前記荷電部のうちの少なくとも放電部位の一部に対して音波を照射する音波発生手段とを備え、前記荷電部は、放電電極と対向電極とで構成されるとともに、前記音波発生手段は、少なくとも前記放電電極と前記対向電極との間の放電空間に音波を照射する電気集塵装置」が提案されている(たとえば、特許文献2参照)。   Also disclosed is a technique in which sound radiation is combined as a means for promoting electrostatic dust collection by corona discharge. As such, “comprising a charging part, a dust collecting part, and a sound wave generating means for irradiating a sound wave to at least a part of the discharge part of the charging part, wherein the charging part is opposed to the discharge electrode. An electrostatic precipitator that radiates sound waves to at least a discharge space between the discharge electrode and the counter electrode has been proposed (see, for example, Patent Document 2). ).

特許第3700685号公報(第5頁、第2図)Japanese Patent No. 3700685 (page 5, FIG. 2) 特開2004−351330号公報(第6頁、第6図)JP 2004-351330 A (6th page, FIG. 6)

超音波の音圧レベルは、圧電素子を駆動させる入力電圧に依存しており、空中に放射すると極端に減衰してしまう。また、超音波凝集を起こすためには、音波照射範囲内に一定時間異常粒子を滞留させる必要がある。しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載の技術では、音波の照射範囲が狭く、音圧レベルが低いため、超音波凝集を起こすのに必要な時間だけ、音波照射内に粒子を留めておくことができない構成となっている。したがって、特許文献1及び特許文献2に記載の技術は、音圧レベルを上昇させること及び粒子を留めておくことを考慮していないため、超音波凝集効果を十分に得られないものとなっていた。   The sound pressure level of the ultrasonic wave depends on the input voltage for driving the piezoelectric element, and is extremely attenuated when radiated into the air. Further, in order to cause ultrasonic aggregation, it is necessary to retain abnormal particles for a certain period of time within the sonication range. However, in the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2, since the sound wave irradiation range is narrow and the sound pressure level is low, particles are kept in the sound wave irradiation only for the time necessary to cause ultrasonic aggregation. It is a configuration that can not be. Therefore, since the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 do not consider increasing the sound pressure level and retaining particles, the ultrasonic aggregation effect cannot be sufficiently obtained. It was.

本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、強力な音圧レベルの超音波を広範囲に放射することができる超音波発生装置及びそれを備えた設備機器を提供するものである。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and provides an ultrasonic generator capable of radiating an ultrasonic wave having a strong sound pressure level over a wide range, and equipment equipped with the ultrasonic generator. It is.

本発明に係る超音波発生装置は、圧電素子が設けられている超音波振動子と、前記超音波振動子から発振される超音波の腹の部分に対応する位置に取り付けられ、前記超音波振動子の振動と共振することでたわみ振動し超音波を発生する1枚又は複数枚の振動板と、前記振動板に所定の間隔で対向させ、前記超音波振動子から発振される超音波の節の部分に対応する位置に取り付けられ、前記振動板からの音放射を反射する1枚又は複数枚の反射振動板と、を有していることを特徴とする。   The ultrasonic generator according to the present invention is attached to a position corresponding to an ultrasonic transducer provided with a piezoelectric element, and an antinode of ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic transducer, and the ultrasonic vibration One or a plurality of diaphragms that flexibly vibrate to generate ultrasonic waves by resonating with the vibrations of the child, and are opposed to the diaphragms at a predetermined interval, and a node of ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic transducer And one or a plurality of reflection diaphragms that reflect sound radiation from the diaphragm.

本発明に係る超音波発生装置によれば、振動板と反射振動板との間に強力な音圧レベルの超音波を広範囲に繰り返し放射することができる。   According to the ultrasonic generator according to the present invention, it is possible to repeatedly radiate ultrasonic waves having a strong sound pressure level between a diaphragm and a reflection diaphragm in a wide range.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る超音波発生装置100の概略構成を示す構成図である。図1に基づいて、超音波発生装置100の構成について説明する。この超音波発生装置100は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等の圧電素子で構成される超音波振動子にパルス電圧を印加し、振動子を発振させることによって、超音波を発生させるものである。なお、図1を含め、以下の図面では各構成部材の大きさの関係が実際のものとは異なる場合がある。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic generator 100 according to Embodiment 1 of the present invention. Based on FIG. 1, the structure of the ultrasonic generator 100 is demonstrated. The ultrasonic generator 100 generates ultrasonic waves by applying a pulse voltage to an ultrasonic vibrator composed of a piezoelectric element such as PZT (lead zirconate titanate) and causing the vibrator to oscillate. is there. In addition, in the following drawings including FIG. 1, the relationship of the size of each component may be different from the actual one.

図1に示すように、超音波発生装置100は、振動子(超音波振動子)10と、ホーン11と、複数枚の振動板12と、複数枚の反射振動板22と、を有している。振動子10には、圧電素子10aが設けられ、図示省略の正電極端子及び負電極端子を介してパルス電圧が印加され、発振するようになっている。つまり、振動子10は、パルス電圧が印加されることによって、所定の周波数範囲(一般的に40kHz前後)の音波(超音波)を発振する機能を有しているのである。ホーン11は、両端面が開口され、内部に音響通路(超音波帯域の音響信号を増幅する通路)が形成されるように構成されており、振動子10の先端部(紙面上端部)に取り付けられている。また、ホーン11は、円錐台形状に構成され、振動子10側から振動板12側に向けて徐々に縮径されているのが好ましい。   As shown in FIG. 1, the ultrasonic generator 100 includes a vibrator (ultrasonic vibrator) 10, a horn 11, a plurality of diaphragms 12, and a plurality of reflection diaphragms 22. Yes. The vibrator 10 is provided with a piezoelectric element 10a, and is oscillated by applying a pulse voltage via a positive electrode terminal and a negative electrode terminal (not shown). That is, the vibrator 10 has a function of oscillating a sound wave (ultrasonic wave) in a predetermined frequency range (generally around 40 kHz) when a pulse voltage is applied. The horn 11 is configured such that both end surfaces are opened and an acoustic path (a path for amplifying an acoustic signal in the ultrasonic band) is formed therein, and is attached to the distal end portion (upper end portion of the paper surface) of the transducer 10. It has been. In addition, the horn 11 is preferably formed in a truncated cone shape and is gradually reduced in diameter from the vibrator 10 side toward the diaphragm 12 side.

複数枚の振動板12は、振動子10から発信される超音波信号(振動子10内部の発振モード波線A)の「腹」の部分に対応する位置に取り付けられており、振動子10の発振(振動)と共振することによって共振波である超音波を作り出す機能を有している。この図1では、3枚の振動板12がホーン11に取り付けられている状態を図示している。紙面最上部に取り付けられている振動板12を振動板12aと、中間部に取り付けられている振動板12を振動板12bと、最下部に取り付けられている振動板12を振動板12cと、それぞれ称して以下の説明で使用するものとする。なお、振動板12の枚数を図示している3枚に限定するものではない。   The plurality of diaphragms 12 are attached to a position corresponding to an “antinode” portion of an ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 (oscillation mode wave line A inside the vibrator 10). Resonance with (vibration) has the function of creating ultrasonic waves that are resonant waves. In FIG. 1, a state in which three diaphragms 12 are attached to the horn 11 is illustrated. The diaphragm 12 attached to the top of the paper surface is the diaphragm 12a, the diaphragm 12 attached to the middle is the diaphragm 12b, and the diaphragm 12 attached to the bottom is the diaphragm 12c. Will be used in the following description. Note that the number of diaphragms 12 is not limited to the three illustrated.

複数枚の反射振動板22は、振動子10から発信される超音波信号(振動子10内部の発振モード波線A)の「節」の部分に対応する位置に設置されている固定部材14に取り付けられたり、あるいは、振動子10から発信される超音波信号の「節」の部分に相当する筐体面を構成するように取り付けられたりするようになっており、振動板12から放射された超音波を反射させる機能を有している。この図1では、4枚の反射振動板22が取り付けられている状態を図示している。なお、固定部材14は、図示するようにホーン11に設置されている。   The plurality of reflection diaphragms 22 are attached to the fixing member 14 installed at a position corresponding to the “node” portion of the ultrasonic signal (oscillation mode wave line A inside the transducer 10) transmitted from the transducer 10. Or attached so as to constitute a casing surface corresponding to the “node” portion of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10, and the ultrasonic wave radiated from the diaphragm 12. Has a function of reflecting the light. FIG. 1 shows a state where four reflection diaphragms 22 are attached. The fixing member 14 is installed on the horn 11 as shown in the figure.

紙面最上部で、たとえば筐体面を構成するように取り付けられている反射振動板22を反射振動板22aと、振動板12aと振動板12bとの間に取り付けられている反射振動板22を反射振動板22bと、振動板12bと振動板12cとの間に取り付けられている反射振動板22を反射振動板22cと、最下部に取り付けられている反射振動板22を反射振動板22dと、それぞれ称して以下の説明で使用するものとする。なお、反射振動板22の枚数を図示している4枚に限定するものではない。複数枚の振動板12及び複数枚の反射振動板22で多段振動部を構成している。   At the top of the paper, for example, the reflection diaphragm 22 attached so as to form the casing surface is reflected by the reflection diaphragm 22a, and the reflection diaphragm 22 attached between the diaphragm 12a and the diaphragm 12b is reflected by vibration. The reflection vibration plate 22 attached between the plate 22b, the vibration plate 12b and the vibration plate 12c is referred to as a reflection vibration plate 22c, and the reflection vibration plate 22 attached to the lowermost portion is referred to as a reflection vibration plate 22d. Will be used in the following description. The number of reflection diaphragms 22 is not limited to the four illustrated. A plurality of diaphragms 12 and a plurality of reflection diaphragms 22 constitute a multistage vibration section.

図2は、超音波発生装置100の特徴事項である「格子モード」の「たわみ振動」を説明するための説明図である。図2に基づいて、「格子モード」の「たわみ振動」について説明する。図2(a)が振動板12を上から見た状態を示す平面図を、図2(b)が超音波発生装置100の縦断面構成の一部を省略して示す概略断面図をそれぞれ示している。上述したように、振動板12は、振動子10から発信される超音波信号の「腹」の部分に対応する位置に取り付けられているために、「たわみ振動」を行なうようになっている。つまり、振動板12は、板そのものの固有振動数で決まる「格子モード」での振動(「たわみ振動」)を行なうのである。   FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining “flexural vibration” of the “lattice mode”, which is a characteristic item of the ultrasonic generator 100. Based on FIG. 2, “flexural vibration” of “lattice mode” will be described. 2A is a plan view showing the state of the diaphragm 12 as viewed from above, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view showing a part of the longitudinal cross-sectional configuration of the ultrasonic generator 100 omitted. ing. As described above, since the diaphragm 12 is attached at a position corresponding to the “belly” portion of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10, it performs “flexural vibration”. That is, the diaphragm 12 performs vibration in the “lattice mode” determined by the natural frequency of the plate itself (“flexural vibration”).

具体的には、図2(a)の破線で示すように、振動板12は、格子状になっている破線部分を「節(発生した超音波における疎の部分)」、破線以外の部分を「腹(発生した超音波における密の部分)」として「たわみ振動」するようになっているのである。そして、超音波発生装置100では、振動板12の有する振動モードの振動周波数を、振動子10の発振周波数と一致させて用いるようにしている。したがって、振動板12からの超音波は、振動板12の両面(図2(b)では、ホーン11側の面及びその対向面)から発生することになる。   Specifically, as shown by a broken line in FIG. 2A, the diaphragm 12 has a lattice-like broken line portion as “nodes (sparse portions in generated ultrasonic waves)” and a portion other than the broken line. It is designed to “flex and vibrate” as an “abdomen (a dense part in the generated ultrasound)”. In the ultrasonic generator 100, the vibration frequency of the vibration mode of the diaphragm 12 is used so as to coincide with the oscillation frequency of the vibrator 10. Therefore, the ultrasonic waves from the diaphragm 12 are generated from both surfaces of the diaphragm 12 (the surface on the horn 11 side and the opposite surface in FIG. 2B).

図2(b)に示す振動板12は、ホーン11の先端部に取り付けられており、振動子10から発信され、ホーン11を伝搬した超音波信号(波線A)が伝搬することになる。振動板12の有する振動モードの振動周波数は、上述したように振動子10の発振周波数と一致しているので、伝搬した超音波信号により加振(共振)されることになる(波線B1 )。このとき、振動板12が「たわみ振動」することで超音波が発生し、この超音波が振動板12の両面側に放射されるようになっている。 The diaphragm 12 shown in FIG. 2B is attached to the tip of the horn 11, and an ultrasonic signal (wave line A) transmitted from the vibrator 10 and propagated through the horn 11 is propagated. Since the vibration frequency of the vibration mode of the diaphragm 12 matches the oscillation frequency of the vibrator 10 as described above, it is excited (resonated) by the propagated ultrasonic signal (dashed line B 1 ). . At this time, an ultrasonic wave is generated by the vibration of the vibration plate 12, and the ultrasonic wave is radiated to both surfaces of the vibration plate 12.

振動板12は、以下の計算式(1)で大きさを決定することができ、所望の寸法を設計することができる。
λ={2πCph/f}*1/2・・・式(1)
ここで、λが波長を、Cpが振動板12を構成する板材料の固有定数を、hが振動板12を構成する板材料の厚みを、fが周波数をそれぞれ表している。なお、Cpは、振動板12を構成する材料固有の定数であり、その材料のヤング率やポアソン比等を用いて算出することができる。
The magnitude | size of the diaphragm 12 can be determined by the following calculation formula (1), and a desired dimension can be designed.
λ = {2πCph / f} * 1/2 Formula (1)
Here, λ represents the wavelength, Cp represents the intrinsic constant of the plate material constituting the diaphragm 12, h represents the thickness of the plate material constituting the diaphragm 12, and f represents the frequency. Cp is a constant specific to the material constituting the diaphragm 12, and can be calculated using the Young's modulus, Poisson's ratio, or the like of the material.

また、「格子モード」の発生に必要な振動板12の一辺の長さL1 は、以下の計算式(2)で決定することができる。
1 =(N1 −0.5)*λ/2・・・式(2)
ここで、N1 が振動板12に出現する「節」線の数(偶数値)を表している。
すなわち、振動板12の一辺の長さL1 を式(2)で示す関係に設定すれば、振動板12のたわみ振動時におけるモード形状を「格子モード」とすることができる。
Further, the length L 1 of one side of the diaphragm 12 necessary for generating the “lattice mode” can be determined by the following calculation formula (2).
L 1 = (N 1 −0.5) * λ / 2 Formula (2)
Here, N 1 represents the number (even values) of “node” lines appearing on the diaphragm 12.
That is, if the length L 1 of one side of the diaphragm 12 is set to the relationship represented by the expression (2), the mode shape at the time of the flexural vibration of the diaphragm 12 can be set to “lattice mode”.

以上のように、振動板12を「格子モード」で「たわみ振動」させることで、振動板12が振動子10から発信された超音波信号と同等の周波数の特定周波数で振動を行なうことができる。この特定の周波数による振動板12の周波数は、振動板12の全面から放射されることになるので、振動板12の大きさに応じた広い面積から特定の超音波帯域の周波数を持つ強力な音(たとえば、140dB以上)が一様に空中放射(振動子10の中心軸上に沿って30cm以上)されることになる。なお、図2では、ホーン11が設けられている場合を例に示しているが、振動子10の先端部に振動板12を取り付けるようにしてもよい。   As described above, by vibrating the diaphragm 12 in the “lattice mode”, the diaphragm 12 can vibrate at a specific frequency equivalent to the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10. . Since the frequency of the diaphragm 12 by this specific frequency is radiated from the entire surface of the diaphragm 12, a powerful sound having a frequency in a specific ultrasonic band from a wide area corresponding to the size of the diaphragm 12 is obtained. (For example, 140 dB or more) is uniformly emitted in the air (30 cm or more along the central axis of the vibrator 10). 2 shows an example in which the horn 11 is provided, but the diaphragm 12 may be attached to the tip of the vibrator 10.

図3は、超音波発生装置100の特徴事項である「平行縞モード」の「たわみ振動」を説明するための説明図である。図3に基づいて、「平行縞モード」の「たわみ振動」について説明する。図3(a)が振動板12を上から見た状態を示す平面図を、図3(b)が超音波発生装置100の縦断面構成の一部を省略して示す概略断面図をそれぞれ示している。上述したように、振動板12は、振動子10から発信される超音波信号の「腹」の部分に対応する位置に取り付けられ、「たわみ振動」を行なうようになっている。つまり、振動板12は、板そのものの固有振動数で決まる「平行縞モード」での振動(「たわみ振動」)を行なうのである。   FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining “flexural vibration” of the “parallel stripe mode”, which is a feature of the ultrasonic generator 100. Based on FIG. 3, the “flexural vibration” of the “parallel stripe mode” will be described. FIG. 3A is a plan view showing the state of the diaphragm 12 as viewed from above, and FIG. 3B is a schematic cross-sectional view showing a part of the longitudinal cross-sectional configuration of the ultrasonic generator 100 omitted. ing. As described above, the diaphragm 12 is attached to a position corresponding to the “belly” portion of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 and performs “flexural vibration”. That is, the diaphragm 12 vibrates in “parallel stripe mode” (“flexural vibration”) determined by the natural frequency of the plate itself.

具体的には、図3(a)の破線で示すように、振動板12は、平行縞状になっている破線部分を「節(発生した超音波における疎の部分)」、破線以外の部分を「腹(発生した超音波における密の部分)」として「たわみ振動」するようになっているのである。そして、超音波発生装置100では、振動板12の有する振動モードの振動周波数を、振動子10の発振周波数と一致させて用いるようにしている。したがって、振動板12からの超音波は、振動板12の両面(図3(b)では、ホーン11側の面及びその対向面)から発生することになる。なお、上記式(1)で振動板12の大きさを決定することができ、上記式(2)で「平行縞モード」の発生に必要な振動板12の一辺の長さL2 を決定することができる。 Specifically, as shown by a broken line in FIG. 3A, the diaphragm 12 has a broken line portion in parallel stripes as a “node (a sparse portion in the generated ultrasonic wave)” and a portion other than the broken line. Is “flexible vibration” as “abdomen (a dense part in the generated ultrasonic wave)”. In the ultrasonic generator 100, the vibration frequency of the vibration mode of the diaphragm 12 is used so as to coincide with the oscillation frequency of the vibrator 10. Therefore, the ultrasonic waves from the diaphragm 12 are generated from both surfaces of the diaphragm 12 (the surface on the horn 11 side and the opposite surface in FIG. 3B). The size of the diaphragm 12 can be determined by the above formula (1), and the length L 2 of one side of the diaphragm 12 necessary for the generation of the “parallel stripe mode” is determined by the above formula (2). be able to.

図3(b)で示す振動板12は、ホーン11の先端部に取り付けられており、振動子10から発信され、ホーン11を伝搬した超音波信号(波線A)が伝搬することになる。振動板12の有する振動モードの振動周波数は、上述したように振動子10の発振周波数と一致しているので、伝搬した超音波信号により加振(共振)されることになる(波線B2 )。このとき、振動板12が「たわみ振動」することで、超音波が発生し、この超音波が振動板12aの両面側に放射されるようになっている。 The diaphragm 12 shown in FIG. 3B is attached to the tip of the horn 11, and an ultrasonic signal (wave line A) transmitted from the vibrator 10 and propagated through the horn 11 is propagated. Since the vibration frequency of the vibration mode of the diaphragm 12 matches the oscillation frequency of the vibrator 10 as described above, it is excited (resonated) by the propagated ultrasonic signal (dashed line B 2 ). . At this time, an ultrasonic wave is generated by “flexural vibration” of the diaphragm 12, and this ultrasonic wave is radiated to both sides of the diaphragm 12 a.

以上のように、振動板12を「平行縞モード」で「たわみ振動」させることで、振動板12が振動子10から発信された超音波信号と同等の周波数の特定周波数で振動を行なうことができる。この特定の周波数による振動板12の周波数は、振動板12の全面から放射されることになるので、振動板12の大きさに応じた広い面積から特定の超音波帯域の周波数を持つ強力な音(たとえば、140dB以上)が一様に空中放射(振動子10の中心軸上に沿って30cm以上)されることになる。なお、図3では、ホーン11が設けられている場合を例に示しているが、振動子10に振動板12を取り付けるようにしてもよい。また、「格子モード」に基づいて以下を説明するが、「平行縞モード」でも同様の作用及び効果を有することは言うまでもない。   As described above, by vibrating the diaphragm 12 in the “parallel stripe mode”, the diaphragm 12 can vibrate at a specific frequency equivalent to the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10. it can. Since the frequency of the diaphragm 12 by this specific frequency is radiated from the entire surface of the diaphragm 12, a powerful sound having a frequency in a specific ultrasonic band from a wide area corresponding to the size of the diaphragm 12 is obtained. (For example, 140 dB or more) is uniformly emitted in the air (30 cm or more along the central axis of the vibrator 10). In FIG. 3, the case where the horn 11 is provided is shown as an example, but the diaphragm 12 may be attached to the vibrator 10. Although the following will be described based on the “lattice mode”, it is needless to say that the “parallel stripe mode” has the same operation and effect.

図4は、反射振動板22を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。図4に基づいて、反射振動板22を設置した状態での超音波の放射について説明する。上述したように、超音波発生装置100では、振動板12の両面から強力な超音波が一様に空中放射される。そこで、「たわみ振動」する反射振動板22を振動板12に所定の間隔(以下で説明する計算式(3))で対向させて設置し、振動板12から放射された超音波を減衰させないようにしているのである。なお、図4では、1枚の反射振動板22が設置されている状態を例に説明するものとする。   FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining ultrasonic radiation in a state where the reflection diaphragm 22 is installed. Based on FIG. 4, the radiation of ultrasonic waves in a state where the reflection diaphragm 22 is installed will be described. As described above, in the ultrasonic generator 100, powerful ultrasonic waves are uniformly emitted in the air from both surfaces of the diaphragm 12. Therefore, the reflection diaphragm 22 that “bends and vibrates” is placed facing the diaphragm 12 at a predetermined interval (calculation formula (3) described below) so as not to attenuate the ultrasonic waves emitted from the diaphragm 12. It is. In FIG. 4, a state where one reflection diaphragm 22 is installed will be described as an example.

図4に示すように、超音波は、「たわみ振動」する振動板12の両面から音放射されるようになっている(超音波放射領域:矢印C)。そして、振動板12の下側に所定の間隔をもって、振動板12からの音放射を反射するための反射振動板22を設置している。このような位置に反射振動板22を設置することによって、反射振動板22と振動板12との間に常に強力な音圧レベルを持つ音放射が繰り返し、放射(超音波放射領域:矢印D)可能になっている。このとき、振動板12は振動子10から発信される超音波信号の「腹」が生じる部分に対応する位置に取り付けられ、反射振動板22は振動子10から発信される超音波信号の「節」が生じる部分に対応する位置に設置されている固定部材14に取り付けられている。   As shown in FIG. 4, the ultrasonic waves are radiated from both surfaces of the diaphragm 12 that is “flexible vibration” (ultrasonic radiation region: arrow C). A reflection diaphragm 22 for reflecting sound radiation from the diaphragm 12 is installed below the diaphragm 12 with a predetermined interval. By installing the reflection diaphragm 22 at such a position, sound radiation having a strong sound pressure level is always repeated between the reflection diaphragm 22 and the diaphragm 12, and radiation (ultrasonic radiation region: arrow D) is repeated. It is possible. At this time, the diaphragm 12 is attached to a position corresponding to a portion where the “antinode” of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 is generated, and the reflection diaphragm 22 is attached to the “node” of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10. ”Is attached to a fixing member 14 installed at a position corresponding to a portion where“

すなわち、共振周波数の最も強い場所であるホーン11の先端部(「腹」が生じる部分に対応する位置)に取り付けた振動板12と、そのほかの場所(「節」が生じる部分に対応する位置)に設置した固定部材14に取り付けた反射振動板22とを活用して、両者間で超音波を繰り返し反射させ、超音波を減衰させないようにしているのである。したがって、振動板12の前面(紙面上側面)が超音波放射領域(矢印C)となり、振動板12と反射振動板22との間が超音波発生領域(矢印D)となる。なお、振動板12の振動モードによって任意の角度を持って発生する側面波(矢印C1 )及び反射側面波(矢印D1 )については図5で説明する。 That is, the diaphragm 12 attached to the tip of the horn 11 where the resonance frequency is the strongest (the position corresponding to the portion where the “antinode” occurs) and the other location (the position corresponding to the portion where the “node” occurs). By utilizing the reflection diaphragm 22 attached to the fixing member 14 installed in the apparatus, the ultrasonic waves are repeatedly reflected between the two so as not to attenuate the ultrasonic waves. Therefore, the front surface (upper side surface of the paper) of the vibration plate 12 is an ultrasonic radiation region (arrow C), and the space between the vibration plate 12 and the reflection vibration plate 22 is an ultrasonic wave generation region (arrow D). A side wave (arrow C 1 ) and a reflected side wave (arrow D 1 ) generated at an arbitrary angle depending on the vibration mode of the diaphragm 12 will be described with reference to FIG.

このように、振動板12と反射振動板22との間に超音波信号が放射/反射を繰り返すことによって、振動板12と反射振動板22との間には複数本の鋭い指向性による超音波信号(矢印C及び矢印D)が発生しており、疎密波を繰り返す超音波による「音の壁」を存在させることができるのである。なお、図4では、反射振動板22を「節」が生じる部分に対応する位置に設置した固定部材14によって取り付けている場合を例に示している。この場合、固定部材14を「節」が生じる部分に対応する位置に設置されていればよく、反射振動板22が「節」が生じる部分に対応する位置になくてもよい。   As described above, the ultrasonic wave is repeatedly radiated / reflected between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22, so that the ultrasonic waves having a plurality of sharp directivities are formed between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22. Signals (arrow C and arrow D) are generated, and it is possible to have a “sound wall” due to ultrasonic waves that repeat dense and dense waves. FIG. 4 shows an example in which the reflection diaphragm 22 is attached by the fixing member 14 installed at a position corresponding to the portion where the “node” occurs. In this case, it is sufficient that the fixing member 14 is installed at a position corresponding to the portion where the “node” occurs, and the reflection diaphragm 22 does not need to be located at the position corresponding to the portion where the “node” occurs.

振動板12と反射振動板22との所定の間隔Kは、以下の計算式(3)を満たす関係で決定することができる。
K=(λs/2)*N2 ・・・式(3)
ここで、Kが振動板12と反射振動板22との所定の間隔を、λsが振動板12で発生する周波数の波長を、N2 が次数(奇数値)をそれぞれ表している。この計算式(3)で算出された間隔Kの値で反射振動板22を設置すれば、振動板12からの音放射(矢印C)を、減衰させることなく、反射振動板22と振動板12との間で繰り返し、放射(矢印D)させることができるのである。
The predetermined distance K between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 can be determined in a relationship satisfying the following calculation formula (3).
K = (λs / 2) * N 2 Formula (3)
Here, K represents a predetermined distance between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22, λs represents the wavelength of the frequency generated by the diaphragm 12, and N 2 represents the order (odd value). If the reflection diaphragm 22 is installed with the value of the interval K calculated by the calculation formula (3), the sound radiation (arrow C) from the diaphragm 12 is not attenuated, and the reflection diaphragm 22 and the diaphragm 12 are not attenuated. Can be repeatedly emitted (arrow D).

すなわち、振動板12と反射振動板22との間に複数本の鋭い指向性による超音波による「音の壁」を存在させるためには、反射振動板22を振動板12に対向させ、計算式(3)で算出される間隔Kを満たすような位置に設置しなければならないのである。計算式(3)で算出される間隔Kは、振動子10から発信される超音波信号の「節(発生した超音波における疎の部分)」が生じる部分に対応しているため、反射振動板22が「節」が生じる部分に対応する位置に取り付けられることになるのである。なお、複数枚の反射振動板22を設置する場合でも、反射振動板22を間隔Kで設置すればよい。   In other words, in order to have a plurality of “sound walls” by ultrasonic waves having a sharp directivity between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22, the reflection diaphragm 22 is opposed to the diaphragm 12, and the calculation formula It must be installed at a position that satisfies the interval K calculated in (3). The interval K calculated by the calculation formula (3) corresponds to a portion where the “node (sparse portion in the generated ultrasonic wave)” of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 occurs. 22 is attached at a position corresponding to the portion where the “node” occurs. Even when a plurality of reflection diaphragms 22 are installed, the reflection diaphragms 22 may be installed at intervals K.

図5は、2枚の反射振動板22を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。図5に基づいて、2枚の反射振動板22(説明の便宜上、紙面上側の反射振動板22を反射振動板22e、紙面下側の反射振動板22を反射振動板22fと称するものとする)を設置した状態での超音波の放射について説明する。なお、反射振動板22aと同様に反射振動板22eで、この超音波発生装置100が搭載される設備機器(たとえば、空気清浄機等)の筐体面を構成するようにしてもよい。   FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining ultrasonic radiation in a state where two reflection diaphragms 22 are installed. Based on FIG. 5, two reflection diaphragms 22 (for convenience of explanation, the reflection diaphragm 22 on the upper side of the paper is called a reflection diaphragm 22e, and the reflection diaphragm 22 on the lower side of the page is called a reflection diaphragm 22f). A description will be given of the radiation of ultrasonic waves in a state where the is installed. In addition, you may make it comprise the housing | casing surface of the installation apparatuses (for example, air cleaner etc.) in which this ultrasonic generator 100 is mounted with the reflective diaphragm 22e similarly to the reflective diaphragm 22a.

図1に図示したように、実施の形態1に係る超音波発生装置100は、多段振動部を備えるものである。つまり、超音波発生装置100は、複数の振動板12及び複数枚の反射振動板22を備え、複数枚の反射振動板22を振動板12の前面(紙面上側の面)や近傍音場、後面(紙面下側の面)となる部分のいずれかに設置するようになっている。この図5では、2枚の反射振動板22を振動板12の前面及び後面に設置し、超音波の発生の仕組みを示している。この場合も、上記計算式(3)で算出された間隔K、つまり振動子10から発信される定在波の疎密波である超音波信号の「疎」の部分に反射振動板22を固定する必要がある。図5に示すように、振動板12と反射振動板22eとの間の間隔K2 は、振動板12と反射振動板22fとの間隔K1 の3倍となっているものとする。 As illustrated in FIG. 1, the ultrasonic generator 100 according to Embodiment 1 includes a multistage vibration unit. In other words, the ultrasonic generator 100 includes a plurality of diaphragms 12 and a plurality of reflection diaphragms 22, and the plurality of reflection diaphragms 22 are arranged on the front surface (upper surface on the paper surface), near sound field, rear surface of the diaphragm 12. It is designed to be installed in one of the parts that become (the lower surface of the paper). In FIG. 5, two reflection diaphragms 22 are installed on the front surface and the rear surface of the diaphragm 12, and a mechanism for generating ultrasonic waves is shown. Also in this case, the reflection diaphragm 22 is fixed to the interval K calculated by the above formula (3), that is, the “sparse” portion of the ultrasonic signal that is the standing / sparse dense wave transmitted from the vibrator 10. There is a need. As shown in FIG. 5, distance K 2 between the diaphragm 12 and the reflective diaphragm 22e is assumed to be a 3-fold intervals K 1 between the diaphragm 12 and the reflective diaphragm 22f.

また、振動板12で発生する超音波の指向性は、振動子10の中心軸方向に最も大きく発生するが、振動板12の振動モードによって任意の角度を持った側面波(矢印C1 )も発生する。したがって、振動板12の表面積よりも、反射振動板22e及び反射振動板22fの表面積を大きくすることで、側面波の有効活用を図ることもできる。つまり、側面波も反射振動板22e及び反射振動板22fで反射側面波(矢印D1 )となり、超音波発生領域に存在することになるのである。また、反射振動板22eと反射振動板22fとの表面積を同一としてもよいし、異なるようにしてもよい。 Further, the directivity of the ultrasonic wave generated in the diaphragm 12 is the largest in the central axis direction of the vibrator 10, but a side wave (arrow C 1 ) having an arbitrary angle is also generated depending on the vibration mode of the diaphragm 12. appear. Therefore, the side waves can be effectively utilized by increasing the surface areas of the reflection diaphragm 22e and the reflection diaphragm 22f rather than the surface area of the diaphragm 12. That is, the side wave also becomes a reflected side wave (arrow D 1 ) by the reflection diaphragm 22e and the reflection diaphragm 22f, and exists in the ultrasonic wave generation region. Further, the surface areas of the reflection diaphragm 22e and the reflection diaphragm 22f may be the same or different.

図6は、曲面形状を有する振動板12(反射振動板22を含む)を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。図6に基づいて、超音波発生装置100に曲面形状を有する複数の振動板12を設置した状態での超音波の放射について説明する。図6に示すように、超音波発生装置100に設置した振動板12及び反射振動板22(説明の便宜上、紙面上側の反射振動板22を反射振動板22g、紙面下側の反射振動板22を反射振動板22hと称するものとする)は、曲面を有している。なお、反射振動板22aが同様に反射振動板22gで、この超音波発生装置100が搭載される設備機器の筐体面を構成するようにしてもよい。   FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining ultrasonic radiation in a state where the diaphragm 12 (including the reflection diaphragm 22) having a curved surface shape is installed. Based on FIG. 6, the radiation of ultrasonic waves in a state where a plurality of diaphragms 12 having a curved surface shape are installed in the ultrasonic generator 100 will be described. As shown in FIG. 6, the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 installed in the ultrasonic generator 100 (for convenience of explanation, the reflection diaphragm 22g on the upper side of the paper is the reflection diaphragm 22g, and the reflection diaphragm 22 on the lower side of the page is The reflection diaphragm 22h) has a curved surface. Similarly, the reflection diaphragm 22a may be the reflection diaphragm 22g, and may constitute a housing surface of the equipment on which the ultrasonic generator 100 is mounted.

この場合も、上記計算式(3)で算出された間隔K、つまり振動板12と反射振動板22との間の平行間隔が保たれれば、曲面を有するもの(たとえば、図6に示すような振動板12と相似円弧形状の複数枚の反射振動板22)を設置することも可能である。つまり、曲面を有する振動板12を用いた場合、設置する反射振動板22は、振動板12の有する円弧と同等の半径を有するように構成しなければならない。したがって、超音波発生装置100を搭載する設備機器の筐体面に応じた形状で振動板12及び反射振動板22を構成することができる。なお、図6では、紙面下側から反射振動板22b、振動板12、反射振動板22aの順で大きくなっている場合を例に示しているが、これに限定するものではない。   Also in this case, if the interval K calculated by the above equation (3), that is, the parallel interval between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 is maintained, the one having a curved surface (for example, as shown in FIG. 6). It is also possible to install a plurality of reflection diaphragms 22) having a similar arc shape to the diaphragm 12. That is, when the diaphragm 12 having a curved surface is used, the reflection diaphragm 22 to be installed must be configured to have a radius equivalent to the arc of the diaphragm 12. Therefore, the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 can be configured in a shape corresponding to the housing surface of the equipment on which the ultrasonic generator 100 is mounted. FIG. 6 shows an example in which the reflective diaphragm 22b, the diaphragm 12, and the reflective diaphragm 22a increase in order from the lower side of the drawing, but the present invention is not limited to this.

以上のように、実施の形態1に係る超音波発生装置100では、振動板12(振動板12a、振動板12b及び振動板12c)を「たわみ振動」させることで、振動子10から発信された超音波信号と同等の周波数の特定周波数で振動を行ない、振動板12の全面から特定の超音波帯域の周波数を持つ強力な音が一様に空中放射できる。また、反射振動板22(反射振動板22a、反射振動板22b、反射振動板22c、反射振動板22d、反射振動板22e、反射振動板22f、反射振動板22g及び反射振動板22h)を振動板12から所定の間隔Kをもって設置することにより、振動板12から放射された強力な超音波を、減衰させることなく、反射振動板22と振動板12との間で繰り返し、発生させることができる。   As described above, in the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment, the vibration plate 12 (the vibration plate 12a, the vibration plate 12b, and the vibration plate 12c) is transmitted from the vibrator 10 by “flexing vibration”. Vibrating at a specific frequency equivalent to the ultrasonic signal, a powerful sound having a specific ultrasonic band frequency can be uniformly emitted from the entire surface of the diaphragm 12 in the air. Further, the reflection diaphragm 22 (the reflection diaphragm 22a, the reflection diaphragm 22b, the reflection diaphragm 22c, the reflection diaphragm 22d, the reflection diaphragm 22e, the reflection diaphragm 22f, the reflection diaphragm 22g, and the reflection diaphragm 22h) is used as a diaphragm. By installing at a predetermined interval K from 12, strong ultrasonic waves radiated from the diaphragm 12 can be repeatedly generated between the reflection diaphragm 22 and the diaphragm 12 without being attenuated.

したがって、図1に示す超音波発生装置100では、反射振動板22aと振動板12aとの間、振動板12aと反射振動板22bとの間、反射振動板22bと振動板12bとの間、振動板12bと反射振動板22cとの間、反射振動板22cと振動板12cとの間、振動板12cと反射振動板22dとの間、のそれぞれで振動板12a、振動板12b及び振動板12cの全面から放射された強力な超音波を、減衰させることなく、発生させることができる。なお、振動板12及び反射振動板22の材料は、超音波領域の振動周波数で振動することができるものであればよく、金属や樹脂に関わらずどのような材料で構成してもよい。   Therefore, in the ultrasonic generator 100 shown in FIG. 1, vibration is generated between the reflection diaphragm 22a and the diaphragm 12a, between the diaphragm 12a and the reflection diaphragm 22b, between the reflection diaphragm 22b and the diaphragm 12b. The vibration plate 12a, the vibration plate 12b, and the vibration plate 12c are respectively disposed between the plate 12b and the reflection vibration plate 22c, between the reflection vibration plate 22c and the vibration plate 12c, and between the vibration plate 12c and the reflection vibration plate 22d. Powerful ultrasonic waves radiated from the entire surface can be generated without being attenuated. The material of the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 may be any material as long as it can vibrate at a vibration frequency in the ultrasonic region, regardless of metal or resin.

実施の形態2.
図7は、本発明の実施の形態2に係る超音波発生装置100aの概略構成を示す構成図である。図7に基づいて、超音波発生装置100aの構成について説明する。この超音波発生装置100aは、PZT等の圧電素子で構成される超音波振動子にパルス電圧を印加し、振動子を発振させることによって、超音波を発生させるものである。なお、実施の形態2では、実施の形態1と同一部分には同一符号を付し、実施の形態1との相違点を中心に説明するものとする。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 7 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic generator 100a according to Embodiment 2 of the present invention. Based on FIG. 7, the structure of the ultrasonic generator 100a is demonstrated. The ultrasonic generator 100a generates ultrasonic waves by applying a pulse voltage to an ultrasonic transducer composed of a piezoelectric element such as PZT and oscillating the transducer. In the second embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and differences from the first embodiment will be mainly described.

図7に示すように、超音波発生装置100aの基本的な構成は、実施の形態1に係る超音波発生装置100と同様である。ただし、超音波発生装置100aでは振動子10の終端部側(ホーン11側の端部側)の一部に曲がり段部15を形成している点で、超音波発生装置100と相違している。つまり、超音波発生装置100aでは、振動子10に曲がり段部15が形成されており、この曲がり段部15の終端面に振動波を収束するためのホーン11を取り付けているのである。なお、振動子10の終端部に曲がり段部15を形成した状態を例に説明したが、ホーン11の一部を所定の角度で曲げて曲がり段部としてもよい。なお、反射振動板22dも反射振動板22aと同様に筐体面を構成するとよい。   As shown in FIG. 7, the basic configuration of the ultrasonic generator 100a is the same as that of the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment. However, the ultrasonic generator 100a is different from the ultrasonic generator 100 in that a curved step portion 15 is formed on a part of the terminal end side (end side on the horn 11 side) of the vibrator 10. . That is, in the ultrasonic generator 100 a, the bending step portion 15 is formed in the vibrator 10, and the horn 11 for converging the vibration wave is attached to the terminal surface of the bending step portion 15. In addition, although the state where the bending step portion 15 is formed at the terminal portion of the vibrator 10 has been described as an example, a part of the horn 11 may be bent at a predetermined angle to be a bending step portion. Note that the reflection diaphragm 22d may also form a housing surface in the same manner as the reflection diaphragm 22a.

図8は、超音波発生装置100aでの超音波発生の仕組みを説明するための説明図である。図8に基づいて、振動子10の終端部(紙面上側)に、振動子10を所定の角度で曲げた曲がり段部15を形成した状態での超音波放射について説明する。図8に示すように、振動子10には曲がり段部15が形成されており、この曲がり段部15の終端面に振動波を収束するためのホーン11を取り付けている。そして、ホーン11の先端部に振動板12を取り付けている。   FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining a mechanism of ultrasonic generation in the ultrasonic generator 100a. Based on FIG. 8, ultrasonic radiation in a state where a bending step portion 15 in which the transducer 10 is bent at a predetermined angle is formed at the end portion (upper side of the paper surface) of the transducer 10 will be described. As shown in FIG. 8, a bending step portion 15 is formed in the vibrator 10, and a horn 11 for converging a vibration wave is attached to a terminal surface of the bending step portion 15. A diaphragm 12 is attached to the tip of the horn 11.

したがって、図7に示す超音波発生装置100aでは、実施の形態1に係る超音波発生装置100と同様に反射振動板22と振動板12との間で振動板12の全面から放射された強力な超音波を、減衰させることなく、発生させることができる。また、図7に示したような構成にすることで、超音波の進行方向を変換することができ、設備機器の内部空間が小スペースであっても超音波発生装置100aを搭載することができるようになる。すなわち、超音波発生装置100aを搭載する設備機器の形状や大きさに振動子10の形状を対応させることができるのである。   Therefore, in the ultrasonic generator 100a shown in FIG. 7, as in the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment, the powerful radiation radiated from the entire surface of the diaphragm 12 between the reflective diaphragm 22 and the diaphragm 12. Ultrasound can be generated without attenuation. Further, by adopting the configuration as shown in FIG. 7, the traveling direction of the ultrasonic wave can be converted, and the ultrasonic generator 100a can be mounted even if the internal space of the equipment is a small space. It becomes like this. That is, the shape of the vibrator 10 can be made to correspond to the shape and size of the equipment on which the ultrasonic generator 100a is mounted.

実施の形態3.
図9は、本発明の実施の形態3に係る超音波発生装置100bの概略構成を示す構成図である。図9に基づいて、超音波発生装置100bの構成について説明する。この超音波発生装置100bは、PZT等の圧電素子で構成される超音波振動子にパルス電圧を印加し、振動子を発振させることによって、超音波を発生させるものである。なお、実施の形態3では、実施の形態1及び実施の形態2と同一部分には同一符号を付し、実施の形態1及び実施の形態2との相違点を中心に説明するものとする。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 9 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic generator 100b according to Embodiment 3 of the present invention. Based on FIG. 9, the structure of the ultrasonic generator 100b is demonstrated. The ultrasonic generator 100b generates ultrasonic waves by applying a pulse voltage to an ultrasonic transducer composed of a piezoelectric element such as PZT and oscillating the transducer. In the third embodiment, the same reference numerals are given to the same parts as those in the first and second embodiments, and differences from the first and second embodiments will be mainly described.

図9に示すように、超音波発生装置100bの基本的な構成は、実施の形態1に係る超音波発生装置100及び実施の形態2に係る超音波発生装置100aと同様である。ただし、超音波発生装置100bではホーンの終端部に振動方向変換体30が設置されている点で、超音波発生装置100及び超音波発生装置100aと相違している。つまり、超音波発生装置100bでは、ホーン(以下、第1ホーン11a)の終端部に振動方向変換体30が設置されており、この振動方向変換体30のいずれかの面に第1ホーン11aとは別のホーン(以下、第2ホーン11bと称する)を取り付けているのである。なお、第1ホーン11aを設けずに、振動子10に振動方向変換体30を設置してもよい。   As shown in FIG. 9, the basic configuration of the ultrasonic generator 100b is the same as that of the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment and the ultrasonic generator 100a according to the second embodiment. However, the ultrasonic generator 100b is different from the ultrasonic generator 100 and the ultrasonic generator 100a in that the vibration direction changer 30 is installed at the end of the horn. That is, in the ultrasonic generator 100b, the vibration direction changer 30 is installed at the terminal portion of the horn (hereinafter referred to as the first horn 11a), and the first horn 11a and the first horn 11a are disposed on any surface of the vibration direction changer 30. Is attached with another horn (hereinafter referred to as second horn 11b). In addition, you may install the vibration direction change body 30 in the vibrator | oscillator 10, without providing the 1st horn 11a.

第1ホーン11a及び第2ホーン11bは、ホーン11と同様な機能を有している。振動方向変換体30は、金属材料で構成されていおり、第1ホーン11aの取付面及びこの取付面の対向面を多角形状(たとえば、正方形等)の角柱形状となっている。つまり、振動方向変換体30は、第1ホーン11aから伝搬した振動を角柱の側面に伝搬することで、振動方向を変更させる機能を有しているのである。図9に示すように、超音波発生装置100bは、振動子10を振動板12と平行となるように配置し、振動子10からの振動を振動方向変換体30で直角方向上側に変換し、第2ホーン11bを介して振動板12に伝搬させるようになっている。   The first horn 11 a and the second horn 11 b have the same function as the horn 11. The vibration direction changer 30 is made of a metal material, and the mounting surface of the first horn 11a and the opposing surface of the mounting surface have a polygonal prism shape (for example, a square). That is, the vibration direction changer 30 has a function of changing the vibration direction by propagating the vibration propagated from the first horn 11a to the side surface of the prism. As shown in FIG. 9, the ultrasonic generator 100b arranges the vibrator 10 so as to be parallel to the diaphragm 12, and converts the vibration from the vibrator 10 to the upper side in the perpendicular direction by the vibration direction changer 30. Propagation is made to the diaphragm 12 via the second horn 11b.

図10は、振動方向変換体30の原理の一例を説明するための説明図である。図10に基づいて、振動方向変換体30が振動方向を変換する原理の一例について、第1ホーン11aの終端部に振動方向変換体30を設置し、振動方向変換体30のいずれかの面(紙面右側の面)に振動板12を設置した状態での超音波放射の説明とともに説明する。図10に示すように、第1ホーン11aの終端部に振動方向変換体30が設置され、この振動方向変換体30のいずれかの面(図10では、紙面右側面)に振動板12を取り付けている。   FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining an example of the principle of the vibration direction changer 30. Based on FIG. 10, about an example of the principle by which the vibration direction changer 30 changes the vibration direction, the vibration direction changer 30 is installed at the terminal portion of the first horn 11a, and either surface of the vibration direction changer 30 ( A description will be given together with an explanation of ultrasonic radiation in a state where the diaphragm 12 is installed on the right side of the drawing. As shown in FIG. 10, the vibration direction changer 30 is installed at the terminal portion of the first horn 11a, and the vibration plate 12 is attached to any surface of the vibration direction changer 30 (the right side in FIG. 10). ing.

振動方向変換体30は、第1ホーン11aから伝搬した振動(面内振動)を、その振動方向変換体30を構成している角柱の側面方向に変換して伝搬させ、その側面を振動(面外振動)させるものである。すなわち、振動方向変換体30は、面内振動を面外振動に変換する機能を有しているのである。したがって、振動方向変換体30は、この振動方向を変換する原理を利用できる形状であればよく、たとえば図10に示すような四面体形状や上面及び底面が他の多角形状の角柱形状であればよい。   The vibration direction changer 30 converts the vibration propagated from the first horn 11a (in-plane vibration) to the side direction of the prism that constitutes the vibration direction changer 30 and propagates it, and vibrates the side (vibration). External vibration). That is, the vibration direction changing body 30 has a function of converting in-plane vibration into out-of-plane vibration. Therefore, the vibration direction changer 30 may be in any shape that can use the principle of changing the vibration direction. For example, if the shape is a tetrahedron as shown in FIG. Good.

図11は、振動方向変換体30の原理の他の一例を説明するための説明図である。図11に基づいて、振動方向変換体30が振動方向を変換する原理の他の一例について、第1ホーン11aの終端部に振動方向変換体30を設置し、振動方向変換体30のいずれかの面(紙面右側の面)に振動板12を設置した状態での超音波放射の説明とともに説明する。図11に示すように、第1ホーン11aの終端部に振動方向変換体30が設置され、この振動方向変換体30のいずれかの面(図11では、紙面右側面)に振動板12を取り付けている。   FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining another example of the principle of the vibration direction changer 30. Based on FIG. 11, for another example of the principle that the vibration direction conversion body 30 converts the vibration direction, the vibration direction conversion body 30 is installed at the terminal portion of the first horn 11 a, and any one of the vibration direction conversion bodies 30 is installed. A description will be given together with an explanation of ultrasonic radiation in a state where the diaphragm 12 is installed on the surface (the surface on the right side of the drawing). As shown in FIG. 11, a vibration direction changer 30 is installed at the terminal portion of the first horn 11a, and the vibration plate 12 is attached to any surface of the vibration direction changer 30 (the right side surface in FIG. 11). ing.

図11に示す振動方向変換体30は、超音波特有の原理を利用している。つまり、振動方向変換体30は、第1ホーン11aから伝搬した振動を、この振動の進行波によって第1ホーン11aの取付面からこの取付面の対向面に衝突させ、この対向面で所定の角度(たとえば、45°)で反射させ、振動方向変換体30の側面に衝突させることで、その側面を振動させるものである。したがって、振動方向変換体30は、この振動の進行波を反射させ、振動方向を変換する原理を利用できる形状であればよく、たとえば図11に示すような第1ホーン11aから伝搬される振動の進行波方向の長さを第1ホーン11aの取付面の一辺の長さの2倍程度以上とするような形状であればよい。   The vibration direction changer 30 shown in FIG. 11 utilizes the principle peculiar to ultrasonic waves. That is, the vibration direction changer 30 causes the vibration propagated from the first horn 11a to collide with the mounting surface of the first horn 11a from the mounting surface of the first horn 11a by the traveling wave of the vibration, and at a predetermined angle on the facing surface. The side surface is vibrated by being reflected at (for example, 45 °) and colliding with the side surface of the vibration direction changer 30. Therefore, the vibration direction changer 30 may have any shape that reflects the traveling wave of the vibration and can use the principle of changing the vibration direction. For example, the vibration direction changer 30 can transmit the vibration propagated from the first horn 11a as shown in FIG. Any shape may be used as long as the length in the traveling wave direction is at least about twice the length of one side of the mounting surface of the first horn 11a.

図12は、超音波発生装置100bでの超音波発生の仕組みを説明するための説明図である。図12に基づいて、振動方向変換体30を設置した状態での超音波放射について説明する。図12に示すように、第1ホーン11aには振動方向変換体30が設置されており、この振動方向変換体30のいずれかの面(ここでは紙面下側の面)に振動板12を取り付けている。実施の形態1で説明したように、振動板12の両面から強力な超音波が一様に空中放射される。そこで、「たわみ振動」する反射振動板22を振動板12に所定の間隔で対向させて設置し、振動板12から放射された超音波を減衰させないようにしているのである。   FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining a mechanism of ultrasonic generation in the ultrasonic generator 100b. Based on FIG. 12, the ultrasonic radiation in a state where the vibration direction changer 30 is installed will be described. As shown in FIG. 12, a vibration direction changer 30 is installed on the first horn 11a, and the vibration plate 12 is attached to any surface of the vibration direction changer 30 (here, the lower surface of the drawing). ing. As described in the first embodiment, powerful ultrasonic waves are uniformly emitted from both surfaces of the diaphragm 12 in the air. Therefore, the reflection diaphragm 22 that “bends and vibrates” is disposed to face the diaphragm 12 at a predetermined interval so as not to attenuate the ultrasonic waves radiated from the diaphragm 12.

図12に示すように、超音波は、「たわみ振動」する振動板12の両面から音放射されるようになっている(超音波放射領域:矢印C)。そして、振動板12の下側に所定の間隔をもって、振動板12からの音放射を反射するための反射振動板22を設置している。反射振動板22を設置することによって、反射振動板22と振動板12との間に常に強力な音圧レベルを持つ音放射が繰り返し、放射(矢印D)可能になっている。このとき、振動板12は振動子10から発信される超音波信号の「腹」が生じる部分に対応する位置に取り付けられ、反射振動板22は振動子10から発信される超音波信号の「節」が生じる部分に対応する位置に設置されている固定部材14に取り付けられたり、振動子10から発信される超音波信号の「節」が生じる部分の筐体面を構成したりしている。   As shown in FIG. 12, ultrasonic waves are radiated from both surfaces of the diaphragm 12 that is “flexible vibration” (ultrasonic radiation region: arrow C). A reflection diaphragm 22 for reflecting sound radiation from the diaphragm 12 is installed below the diaphragm 12 with a predetermined interval. By installing the reflective diaphragm 22, sound radiation having a strong sound pressure level is always repeated between the reflective diaphragm 22 and the diaphragm 12, and radiation (arrow D) is possible. At this time, the diaphragm 12 is attached to a position corresponding to a portion where the “antinode” of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 is generated, and the reflection diaphragm 22 is attached to the “node” of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10. ”Is attached to the fixing member 14 installed at a position corresponding to the portion where“ is generated ”, or the casing surface of the portion where the“ node ”of the ultrasonic signal transmitted from the vibrator 10 is generated is configured.

すなわち、共振周波数の最も強い場所である第1ホーン11aの先端部(「腹」が生じる部分に対応する位置)に設置された振動方向変換体30のいずれかの面に取り付けられた振動板12と、そのほかの場所(「節」が生じる部分に対応する位置)に設置した反射振動板22とを活用して、両者間で超音波を繰り返し反射させ、超音波を減衰させないようにしているのである。このように、振動板12と反射振動板22との間に超音波信号が放射/反射を繰り返すことによって、振動板12と反射振動板22との間には複数本の鋭い指向性による超音波信号(矢印C、矢印C1 矢印D及び矢印D1 )が発生しており、疎密波を繰り返す超音波による「音の壁」を存在させることができるのである。 That is, the diaphragm 12 attached to any surface of the vibration direction changer 30 installed at the tip of the first horn 11a (the position corresponding to the portion where the “antinode” occurs), which is the place having the strongest resonance frequency. And the reflection diaphragm 22 installed at other locations (positions corresponding to the portions where “nodes” occur) are used to repeatedly reflect ultrasonic waves between the two so as not to attenuate the ultrasonic waves. is there. As described above, the ultrasonic wave is repeatedly radiated / reflected between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22, so that the ultrasonic waves having a plurality of sharp directivities are formed between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22. Signals (arrow C, arrow C 1 arrow D and arrow D 1 ) are generated, and it is possible to have a “sound wall” by ultrasonic waves which repeats a dense wave.

図13は、2枚の反射振動板22を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。図13に基づいて、2枚の反射振動板22(説明の便宜上、紙面上側の反射振動板22を反射振動板22i、紙面下側の反射振動板22を反射振動板22jと称するものとする)を設置した状態での超音波の放射について説明する。図13に示すように、第1ホーン11aには振動方向変換体30が設置されており、この振動方向変換体30のいずれかの面(ここでは紙面下側の面)に振動板12を取り付けている。   FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining ultrasonic radiation in a state in which two reflection diaphragms 22 are installed. Based on FIG. 13, two reflection diaphragms 22 (for convenience of explanation, the reflection diaphragm 22 on the upper side of the paper is called a reflection diaphragm 22i, and the reflection diaphragm 22 on the lower side of the page is called a reflection diaphragm 22j). A description will be given of the radiation of ultrasonic waves in a state where the is installed. As shown in FIG. 13, the first horn 11 a is provided with a vibration direction changer 30, and the vibration plate 12 is attached to any surface of the vibration direction changer 30 (here, the lower surface of the drawing). ing.

図9に図示したように、実施の形態3に係る超音波発生装置100bは、多段振動部を備えるものである。つまり、超音波発生装置100bは、複数の振動板12及び複数枚の反射振動板22を備え、複数枚の反射振動板22を振動板12の前面(紙面上側の面)や近傍音場、後面(紙面下側の面)となる部分のいずれかに設置するようになっている。この図12では、2枚の反射振動板22を振動板12の前面及び後面に設置し、超音波の発生の仕組みを示している。この場合も、上記計算式(3)で算出された間隔K、つまり振動子10から発信される定在波の疎密波である超音波信号の「疎」の部分に反射振動板22を固定する必要がある。   As illustrated in FIG. 9, the ultrasonic generator 100 b according to Embodiment 3 includes a multistage vibration unit. That is, the ultrasonic generator 100b includes a plurality of diaphragms 12 and a plurality of reflection diaphragms 22, and the plurality of reflection diaphragms 22 are arranged on the front surface (upper surface on the paper surface), the near sound field, and the rear surface. It is designed to be installed in one of the parts that become (the lower surface of the paper). In FIG. 12, two reflection diaphragms 22 are installed on the front surface and the rear surface of the diaphragm 12, and a mechanism of generating ultrasonic waves is shown. Also in this case, the reflection diaphragm 22 is fixed to the interval K calculated by the above formula (3), that is, the “sparse” portion of the ultrasonic signal that is the standing / sparse dense wave transmitted from the vibrator 10. There is a need.

また、振動板12で発生する超音波の指向性は、振動子10の中心軸方向に最も大きく発生するが、振動板12の振動モードによって任意の角度を持った側面波(矢印C1 )も発生する。したがって、振動板12の表面積よりも、反射振動板22a及び反射振動板22bの表面積を大きくすることで、側面波の有効活用を図ることもできる。つまり、側面波も反射振動板22i及び反射振動板22jで反射側面波(矢印D1 )となり、超音波発生領域に存在することになるのである。また、反射振動板22iと反射振動板22jとの表面積を同一としてもよいし、異なるようにしてもよい。 Further, the directivity of the ultrasonic wave generated in the diaphragm 12 is the largest in the central axis direction of the vibrator 10, but a side wave (arrow C 1 ) having an arbitrary angle is also generated depending on the vibration mode of the diaphragm 12. appear. Therefore, the side waves can be effectively utilized by increasing the surface areas of the reflection diaphragm 22 a and the reflection diaphragm 22 b rather than the surface area of the diaphragm 12. That is, the side wave also becomes a reflected side wave (arrow D 1 ) at the reflection diaphragm 22 i and the reflection diaphragm 22 j and exists in the ultrasonic wave generation region. The surface areas of the reflection diaphragm 22i and the reflection diaphragm 22j may be the same or different.

図14は、2枚の振動板12を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。図14に基づいて、2枚の振動板12(説明の便宜上、紙面上側の振動板12を振動板12d及び紙面下側の振動板12を振動板12eと称するものとする)を設置した状態での超音波の放射について説明する。図14に示すように、第1ホーン11aには振動方向変換体30が設置されており、この振動方向変換体30のいずれかの面(ここでは紙面下側の面及び紙面上側の面)に振動板12d及び振動板12eを取り付けている。そして、振動板12dと振動板12eとの間には、振動板12d及び振動板12eの対向面の面積と同一面積を有する反射振動板22(以下、反射振動板22kと称する)を取り付けている。   FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining ultrasonic radiation in a state where two diaphragms 12 are installed. In the state where two diaphragms 12 (for convenience of explanation, the diaphragm 12 on the upper side of the paper is called the diaphragm 12d and the diaphragm 12 on the lower side of the page are called the diaphragm 12e) are installed based on FIG. Next, the radiation of ultrasonic waves will be described. As shown in FIG. 14, the first horn 11 a is provided with a vibration direction changer 30, and on one surface of the vibration direction changer 30 (here, the lower surface and the upper surface). A diaphragm 12d and a diaphragm 12e are attached. And between the diaphragm 12d and the diaphragm 12e, the reflection diaphragm 22 (henceforth the reflection diaphragm 22k) which has the same area as the area of the opposing surface of the diaphragm 12d and the diaphragm 12e is attached. .

図13では、1枚の振動板12を挟んで2枚の反射振動板22を設置した場合を例に説明したが、図14では、2枚の振動板12を振動方向変換体30に設置し、それぞれの振動板12の前面及び後面に反射振動板22(振動板12dの前面に設置した反射振動板22を反射振動板22l、振動板12eの後面に設置した反射振動板22を反射振動板22mと称する)を設置した状態を示している。なお、反射振動板22kは、振動板12d及び振動板12eの双方に共通して利用されるようになっている。この場合も、上記計算式(3)で算出された間隔K、つまり振動子10から発信される定在波の疎密波である超音波信号の「疎」の部分に反射振動板22kを固定する必要がある。   In FIG. 13, the case where two reflection diaphragms 22 are installed with one diaphragm 12 interposed therebetween is described as an example, but in FIG. 14, two diaphragms 12 are installed on the vibration direction changer 30. The reflection diaphragm 22 on the front and rear surfaces of each diaphragm 12 (the reflection diaphragm 22 installed on the front surface of the diaphragm 12d is the reflection diaphragm 22l, and the reflection diaphragm 22 installed on the rear surface of the diaphragm 12e is the reflection diaphragm. 22m) is shown. The reflection diaphragm 22k is used in common for both the diaphragm 12d and the diaphragm 12e. Also in this case, the reflection diaphragm 22k is fixed to the interval K calculated by the above formula (3), that is, the “sparse” portion of the ultrasonic signal that is the standing / sparse dense wave transmitted from the vibrator 10. There is a need.

図14に示すように、振動板12dと反射振動板22lとの間の間隔K2 、及び、振動板12eと反射振動板22mとの間の間隔K2 は、振動板12dと反射振動板22kとの間の間隔K1 、及び、振動板12eと反射振動板22kとの間の間隔K1 の3倍となっているものとする。また、振動板12で発生する超音波の指向性は、振動子10の中心軸方向に最も大きく発生するが、振動板12の振動モードによって任意の角度を持った側面波(矢印C1 )も発生する。したがって、振動板12の表面積よりも、反射振動板22a及び反射振動板22bの表面積を大きくすることで、側面波の有効活用を図ることもできる。また、反射振動板22lと反射振動板22mとの表面積を同一としてもよいし、異なるようにしてもよい。 As shown in FIG. 14, the interval K 2 between the vibration plate 12d and the reflective diaphragm 22l, and the interval K 2 between the vibration plate 12e and the reflection diaphragm 22m are vibrating plate 12d and the reflective diaphragm 22k distance K 1 between, and to be put three times the distance K 1 between the vibration plate 12e and the reflection diaphragm 22k. Further, the directivity of the ultrasonic wave generated in the diaphragm 12 is the largest in the central axis direction of the vibrator 10, but a side wave (arrow C 1 ) having an arbitrary angle is also generated depending on the vibration mode of the diaphragm 12. appear. Therefore, the side waves can be effectively utilized by increasing the surface areas of the reflection diaphragm 22 a and the reflection diaphragm 22 b rather than the surface area of the diaphragm 12. Further, the surface areas of the reflection diaphragm 22l and the reflection diaphragm 22m may be the same or different.

したがって、図9に示す超音波発生装置100bでは、図12〜図14の内容を適用することで、実施の形態1に係る超音波発生装置100と同様に反射振動板22と振動板12との間で振動板12の全面から放射された強力な超音波を、減衰させることなく、発生させることができる。また、図9に示したような構成にすることで、超音波の進行方向を変換することができ、設備機器の内部空間が小スペースであっても超音波発生装置100bを搭載することができるようになる。すなわち、超音波発生装置100bを搭載する設備機器の形状や大きさに振動子10の形状を対応させることができるのである。   Therefore, in the ultrasonic generator 100b shown in FIG. 9, by applying the contents of FIG. 12 to FIG. 14, the reflection diaphragm 22 and the diaphragm 12 are similar to those of the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment. A powerful ultrasonic wave radiated from the entire surface of the diaphragm 12 can be generated without being attenuated. Further, by adopting the configuration as shown in FIG. 9, the traveling direction of the ultrasonic wave can be converted, and the ultrasonic generator 100b can be mounted even if the internal space of the equipment is a small space. It becomes like this. That is, the shape of the vibrator 10 can be made to correspond to the shape and size of the equipment on which the ultrasonic generator 100b is mounted.

実施の形態4.
図15は、本発明の実施の形態4に係る空気清浄機200の構成の一部を示す概略構成図である。図15に基づいて、実施の形態1に係る超音波発生装置100、実施の形態2に係る超音波発生装置100a、あるいは、実施の形態3に係る超音波発生装置100bを搭載した設備機器の一例である空気清浄機200について説明する。この空気清浄機200は、内部に取り込んだ空気に含まれている塵埃粒子を超音波により拡大(凝集)、集塵し、清浄化した空気を外部に吹き出すものである。なお、空気清浄機200には、空気の流れを矢印で図示している。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 15 is a schematic configuration diagram showing a part of the configuration of the air purifier 200 according to Embodiment 4 of the present invention. Based on FIG. 15, an example of equipment equipped with the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment, the ultrasonic generator 100a according to the second embodiment, or the ultrasonic generator 100b according to the third embodiment. The air cleaner 200 which is is described. The air purifier 200 expands (aggregates) dust particles contained in the air taken in the inside by ultrasonic waves, collects the dust, and blows out the cleaned air to the outside. In the air cleaner 200, the air flow is indicated by arrows.

図15に示すように、この空気清浄機200には、実施の形態1〜実施の形態3のいずれかに係る超音波発生装置に加え、送風ファン31と、集塵フィルタ32と、温度センサ33と、が設けられている。送風ファン31は、超音波発生装置内に空気を取り込み、清浄化した空気を外部に吹き出すものであり、空気清浄機200内における空気の流路のいずれかに設けられていればよい。集塵フィルタ32は、空気に含まれている塵埃を集塵するものであり、空気の流れに対して略直交するように設けるようにするとよい。温度センサ33は、超音波発生装置の近傍に設置され、超音波発生装置付近の温度を検知するものである。   As shown in FIG. 15, the air cleaner 200 includes a blower fan 31, a dust collection filter 32, and a temperature sensor 33 in addition to the ultrasonic generator according to any one of the first to third embodiments. And are provided. The blower fan 31 takes in air into the ultrasonic generator and blows out the cleaned air to the outside, and may be provided in any of the air flow paths in the air cleaner 200. The dust collection filter 32 collects dust contained in the air, and is preferably provided so as to be substantially orthogonal to the air flow. The temperature sensor 33 is installed in the vicinity of the ultrasonic generator and detects the temperature in the vicinity of the ultrasonic generator.

超音波凝集の仕組みについて簡単に説明する。
疎密波である超音波の「密」の部分では、強い音圧放射によって、空気同士が摩擦を起こして静電効果が発生している。そして、振動板12と反射振動板22(反射振動板22a、反射振動板22b、反射振動板22c及び反射振動板22d)との間における超音波発生領域に存在する「音の壁」を通過する塵埃は、摩擦による静電効果の影響を受け、疎密波の「疎」の部分の塵埃が「密」の部分に移動して粒子が拡大(凝集)する。このようにして超音波凝集が発生するようになっている。また、超音波凝集を発生させるには、強力な音(140dB以上)が空中放射されることが条件となる。
The mechanism of ultrasonic aggregation is briefly described.
In the “dense” portion of the ultrasonic wave, which is a sparse / dense wave, air is rubbed by strong sound pressure radiation, and an electrostatic effect is generated. Then, it passes through the “sound wall” existing in the ultrasonic wave generation region between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 (the reflection diaphragm 22a, the reflection diaphragm 22b, the reflection diaphragm 22c, and the reflection diaphragm 22d). The dust is affected by the electrostatic effect due to friction, and the dust in the “sparse” part of the dense wave moves to the “dense” part and the particles expand (aggregate). In this way, ultrasonic agglomeration occurs. Moreover, in order to generate ultrasonic aggregation, it is a condition that powerful sound (140 dB or more) is emitted in the air.

また、超音波凝集を効果的に実現するためには、塵埃を振動板12と反射振動板22との間に所定時間留めておく必要がある。そこで、空気清浄機200は、実施の形態1〜実施の形態3に係る超音波発生装置を搭載し、強力な超音波を広範囲に渡って減衰することなく発生させることを可能とするとともに、振動板12及び反射振動板22を設置することで塵埃を超音波発生領域に所定時間留めておくことを可能としているのである。したがって、空気清浄機200は、効果的な超音波凝集を実現したものとなっている。   Further, in order to effectively realize ultrasonic aggregation, it is necessary to keep dust between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 for a predetermined time. Therefore, the air cleaner 200 is equipped with the ultrasonic generator according to the first to third embodiments, and can generate powerful ultrasonic waves over a wide range without being attenuated, and can vibrate. By installing the plate 12 and the reflection diaphragm 22, it is possible to keep the dust in the ultrasonic wave generation region for a predetermined time. Therefore, the air purifier 200 realizes effective ultrasonic aggregation.

図16は、集塵効率と塵埃の滞留時間との関係を示すグラフである。図17は、集塵効率と音圧レベルとの関係を示すグラフである。図18は、共振周波数と素子部温度との関係を示すグラフである。図16〜図18に基づいて、超音波凝集の特徴について説明する。図16では、縦軸が集塵効率(%)を、横軸が塵埃の滞留時間(s)を、それぞれ表している。図17では、縦軸が集塵効率(%)を、横軸が音圧レベル(dB)を、それぞれ表している。図18では、縦軸が共振集塵部(Hz)を、横軸が素子部(超音波発生装置近傍)の温度(℃)を、それぞれ表している。   FIG. 16 is a graph showing the relationship between dust collection efficiency and dust residence time. FIG. 17 is a graph showing the relationship between dust collection efficiency and sound pressure level. FIG. 18 is a graph showing the relationship between the resonance frequency and the element part temperature. The characteristics of ultrasonic aggregation are described with reference to FIGS. In FIG. 16, the vertical axis represents the dust collection efficiency (%), and the horizontal axis represents the dust retention time (s). In FIG. 17, the vertical axis represents the dust collection efficiency (%), and the horizontal axis represents the sound pressure level (dB). In FIG. 18, the vertical axis represents the resonant dust collection part (Hz), and the horizontal axis represents the temperature (° C.) of the element part (near the ultrasonic generator).

図16から、塵埃の滞留時間が長くなるほど、集塵効率が向上することがわかる。つまり、塵埃を超音波発生領域に長く滞留させるほど超音波凝集を効果的に実現できるのである。また、図17から、超音波の音圧レベルが増加するほど、集塵効率が向上することがわかる。つまり、超音波凝集を発生させるには、140dB以上の音圧レベルが必要であることがわかる。さらに、図18から、素子部温度が増加するほど、共振周波数が減少することがわかる。つまり、素子部温度が低いほど超音波の共振周波数を維持できるのである。なお、図17では、同体積及び同滞留時間での集塵効率と音圧レベルとの関係を示しているものとする。   FIG. 16 shows that the dust collection efficiency improves as the dust retention time increases. That is, the longer the dust stays in the ultrasonic wave generation region, the more effectively the ultrasonic aggregation can be realized. Further, FIG. 17 shows that the dust collection efficiency is improved as the sound pressure level of the ultrasonic wave is increased. That is, it can be understood that a sound pressure level of 140 dB or more is necessary to generate ultrasonic aggregation. Further, FIG. 18 shows that the resonance frequency decreases as the element temperature increases. That is, the lower the element temperature, the more the ultrasonic resonance frequency can be maintained. In FIG. 17, it is assumed that the relationship between the dust collection efficiency and the sound pressure level at the same volume and the same residence time is shown.

以上のグラフからも、超音波凝集を高効率で発生させるには、強力な音(音圧レベルが140dB以上)が空中放射される必要があるということがわかる。また、塵埃を振動板12と反射振動板22との間に所定時間滞留させておく必要があるということがわかる。そこで、実施の形態1に係る超音波発生装置100、実施の形態2に係る超音波発生装置100a、及び、実施の形態3に係る超音波発生装置100bは、いずれも強力な音を空中放射可能にし、塵埃を振動板12と反射振動板22との間に所定時間滞留させておくことを可能にしているのである。したがって、空気清浄機200も、強力な超音波を広範囲に渡って減衰することなく発生でき、塵埃を超音波発生領域に所定時間留めておくことができるのである。   From the graph above, it can be seen that powerful sound (sound pressure level of 140 dB or more) needs to be emitted in the air in order to generate ultrasonic aggregation with high efficiency. Further, it can be seen that it is necessary to retain dust between the diaphragm 12 and the reflective diaphragm 22 for a predetermined time. Therefore, the ultrasonic generator 100 according to the first embodiment, the ultrasonic generator 100a according to the second embodiment, and the ultrasonic generator 100b according to the third embodiment can emit powerful sound in the air. Thus, it is possible to retain dust between the diaphragm 12 and the reflection diaphragm 22 for a predetermined time. Therefore, the air cleaner 200 can also generate strong ultrasonic waves over a wide range without being attenuated, and can keep dust in the ultrasonic wave generation region for a predetermined time.

なお、空気清浄機200には、超音波発生装置付近の温度を検知する温度センサ33が設置されている。また、図18から、素子部温度が増加するほど、共振周波数が減少することがわかる。したがって、温度センサ33で検知される超音波発生装置付近の温度に基づいて、超音波発生装置から発生させる超音波の周波数を変化させるようにしておくことが望ましい。具体的には、温度センサ33からの温度情報に基づいて、振動子10への印加電圧を調整し、超音波の周波数を変化させるとよい。振動子10への印加電圧の調整は、超音波発生装置に設けられている図示省略の制御手段等に実行させればよい。   The air cleaner 200 is provided with a temperature sensor 33 that detects the temperature near the ultrasonic generator. Further, FIG. 18 shows that the resonance frequency decreases as the element temperature increases. Therefore, it is desirable to change the frequency of the ultrasonic wave generated from the ultrasonic generator based on the temperature near the ultrasonic generator detected by the temperature sensor 33. Specifically, based on temperature information from the temperature sensor 33, the voltage applied to the vibrator 10 may be adjusted to change the ultrasonic frequency. The adjustment of the voltage applied to the transducer 10 may be executed by a control means (not shown) provided in the ultrasonic generator.

送風ファンの大きな回転と目の細かい集塵フィルタによる塵埃の集塵とを行なっていたような空気清浄機が、超音波凝集を常時発生させることができれば、塵埃の凝集効果により、目の粗い集塵フィルタも集塵が行なえるようになる。つまり、目の細かい集塵フィルタと大きな回転を有する送風ファンとの必要性のルールが必要なくなる。したがって、空気清浄機200では、集塵フィルタ32の目を粗いものとしても大きな集塵効果が得られ、送風ファン31の回転を遅くでき、送風ファン31及び送風ファン31を駆動するための図示省略のファンモータによる騒音発生を低減できる。   If an air purifier, such as a large rotation of the blower fan and dust collection by a fine dust collection filter, can always generate ultrasonic agglomeration, the effect of dust agglomeration will cause a coarse collection. The dust filter can also collect dust. That is, the necessity rule of a fine dust collection filter and a blower fan having a large rotation is not necessary. Therefore, in the air cleaner 200, a large dust collection effect can be obtained even if the dust collection filter 32 is rough, the rotation of the blower fan 31 can be slowed, and the blower fan 31 and the blower fan 31 are not shown for driving. Noise generation by the fan motor can be reduced.

また、空気清浄機200は、コロナ放電を発生させなくても、集塵効果を向上することができる。ただし、コロナ放電やミストと組み合わせることを否定するものではなく、これらと組み合わせることによって更に集塵効果を向上させることができる。さらに、空気清浄機200の大きさや形状に対応して、実施の形態1〜実施の形態3のいずれかに係る超音波発生装置を選択することができる。したがって、設備機器の小型化及びデザイン性を損ねることなく、超音波発生装置を搭載することができる。   Further, the air cleaner 200 can improve the dust collection effect without generating corona discharge. However, the combination with corona discharge or mist is not denied, and the combination with these can further improve the dust collection effect. Furthermore, the ultrasonic generator according to any one of Embodiments 1 to 3 can be selected in accordance with the size and shape of the air cleaner 200. Therefore, the ultrasonic generator can be mounted without impairing the downsizing and design of the equipment.

なお、実施の形態4では、実施の形態1〜実施の形態3のいずれかに係る超音波発生装置を搭載した設備機器の一例として空気清浄機200を例に示したが、これに限定するものではない。たとえば、超音波を利用する設備機器、たとえば空気調和装置や超音波加工装置、超音波霧化装置、超音波接合装置、測距センサ、超音波洗浄装置、超音波美容装置、排ガス清浄機、オイルミストフィルタ等に備えることもできる。したがって、それらの設備機器も、強力な音(140dB以上)が一様に空中放射でき、反射振動板を設置することにより、振動板から放射された強力な超音波を、減衰させることなく、反射振動板と振動板との間で繰り返し、放射させることができるのである。   In the fourth embodiment, the air purifier 200 is shown as an example of the equipment having the ultrasonic generator according to any of the first to third embodiments. However, the present invention is not limited to this. is not. For example, equipment that uses ultrasonic waves, such as air conditioning equipment, ultrasonic processing equipment, ultrasonic atomization equipment, ultrasonic bonding equipment, distance measuring sensors, ultrasonic cleaning equipment, ultrasonic beauty equipment, exhaust gas purifiers, oil A mist filter or the like can also be provided. Therefore, these equipments can radiate powerful sound (140 dB or more) evenly in the air, and by installing the reflective diaphragm, the powerful ultrasonic waves radiated from the diaphragm are reflected without being attenuated. It can be repeatedly radiated between the diaphragm and the diaphragm.

実施の形態1に係る超音波発生装置の概略構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic generator according to Embodiment 1. FIG. 超音波発生装置の特徴事項である「格子モード」の「たわみ振動」を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the "flex vibration" of the "lattice mode" which is the characteristic matter of an ultrasonic generator. 超音波発生装置の特徴事項である「平行縞モード」の「たわみ振動」を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating "flexural vibration" of the "parallel stripe mode" which is the characteristic matter of an ultrasonic generator. 反射振動板を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the ultrasonic radiation in the state which installed the reflective diaphragm. 2枚の反射振動板を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the ultrasonic radiation in the state which installed the two reflective diaphragms. 曲面形状を有する振動板(反射振動板を含む)を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the ultrasonic radiation in the state which installed the diaphragm (a reflection diaphragm is included) which has a curved surface shape. 実施の形態2に係る超音波発生装置の概略構成を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a schematic configuration of an ultrasonic generator according to a second embodiment. 超音波発生装置での超音波発生の仕組みを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the mechanism of the ultrasonic generation in an ultrasonic generator. 実施の形態3に係る超音波発生装置の概略構成を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an ultrasonic generator according to a third embodiment. 振動方向変換体の原理の一例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an example of the principle of a vibration direction change body. 振動方向変換体の原理の他の一例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating another example of the principle of a vibration direction change body. 超音波発生装置での超音波発生の仕組みを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the mechanism of the ultrasonic generation in an ultrasonic generator. 2枚の反射振動板を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the ultrasonic radiation in the state which installed the two reflective diaphragms. 2枚の振動板を設置した状態における超音波放射を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the ultrasonic radiation in the state which installed the 2 diaphragm. 実施の形態4に係る空気清浄機の構成の一部を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows a part of structure of the air cleaner which concerns on Embodiment 4. FIG. 集塵効率と塵埃の滞留時間との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between dust collection efficiency and the residence time of dust. 集塵効率と音圧レベルとの関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between dust collection efficiency and a sound pressure level. 共振周波数と素子部温度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between a resonant frequency and element part temperature.

符号の説明Explanation of symbols

10 振動子、10a 圧電素子、11 ホーン、11a 第1ホーン、11b 第2ホーン、12 振動板、12a 振動板、12b 振動板、12c 振動板、12d 振動板、12e 振動板、14 固定部材、15 曲がり段部、22 反射振動板、22a 反射振動板、22b 反射振動板、22c 反射振動板、22d 反射振動板、22e 反射振動板、22f 反射振動板、22g 反射振動板、22h 反射振動板、22i 反射振動板、22j 反射振動板、22k 反射振動板、22l 反射振動板、22m 反射振動板、30 振動方向変換体、31 送風ファン、32 集塵フィルタ、33 温度センサ、100 超音波発生装置、100a 超音波発生装置、100b 超音波発生装置、200 空気清浄機。   10 vibrator, 10a piezoelectric element, 11 horn, 11a first horn, 11b second horn, 12 diaphragm, 12a diaphragm, 12b diaphragm, 12c diaphragm, 12d diaphragm, 12e diaphragm, 14 fixing member, 15 Bending step, 22 reflection diaphragm, 22a reflection diaphragm, 22b reflection diaphragm, 22c reflection diaphragm, 22d reflection diaphragm, 22e reflection diaphragm, 22f reflection diaphragm, 22g reflection diaphragm, 22h reflection diaphragm, 22i Reflective diaphragm, 22j Reflective diaphragm, 22k Reflective diaphragm, 22l Reflective diaphragm, 22m Reflective diaphragm, 30 Vibration direction changer, 31 Blower fan, 32 Dust collection filter, 33 Temperature sensor, 100 Ultrasonic generator, 100a Ultrasonic generator, 100b Ultrasonic generator, 200 Air cleaner.

Claims (11)

圧電素子が設けられている超音波振動子と、
前記超音波振動子から発振される超音波の腹の部分に対応する位置に取り付けられ、前記超音波振動子の振動と共振することでたわみ振動し超音波を発生する1枚又は複数枚の振動板と、
前記振動板に所定の間隔で対向させ、前記超音波振動子から発振される超音波の節の部分に対応する位置に取り付けられ、前記振動板からの音放射を反射する1枚又は複数枚の反射振動板と、を有している
ことを特徴とする超音波発生装置。
An ultrasonic transducer provided with a piezoelectric element;
One or a plurality of vibrations that are attached to positions corresponding to the antinodes of the ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic vibrator and flexurally vibrate to generate ultrasonic waves by resonating with the vibrations of the ultrasonic vibrators The board,
One or a plurality of sheets that are opposed to the diaphragm at a predetermined interval, are attached at positions corresponding to the nodes of ultrasonic waves oscillated from the ultrasonic transducer, and reflect sound radiation from the diaphragm An ultrasonic generator comprising: a reflective diaphragm.
前記振動板及び前記反射振動板は、
格子モード又は平行縞モードのたわみ駆動する固有振動数を有している
ことを特徴とする請求項1に記載の超音波発生装置。
The diaphragm and the reflection diaphragm are
The ultrasonic generator according to claim 1, wherein the ultrasonic generator has a natural frequency that is driven to bend in a lattice mode or a parallel stripe mode.
前記反射振動板を固定部材を用いて取り付ける状態において、
前記固定部材を前記超音波振動子から発信される超音波信号の節の部分に対応する位置に設置する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波発生装置。
In a state where the reflection diaphragm is attached using a fixing member,
The ultrasonic generator according to claim 1, wherein the fixing member is installed at a position corresponding to a node portion of an ultrasonic signal transmitted from the ultrasonic transducer.
前記所定の間隔は、
前記振動板で発生する周波数の(波長/2)*(奇数値)で算出している
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の超音波発生装置。
The predetermined interval is
The ultrasonic generator according to any one of claims 1 to 3, wherein the frequency is calculated by (wavelength / 2) * (odd value) of a frequency generated by the diaphragm.
音響通路を構成するホーンを前記超音波振動子の先端部に設けている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の超音波発生装置。
The horn which comprises an acoustic path is provided in the front-end | tip part of the said ultrasonic transducer | vibrator. The ultrasonic generator as described in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.
前記超音波振動子あるいは前記ホーンを折り曲げている
ことを特徴とする請求項5に記載の超音波発生装置。
The ultrasonic generator according to claim 5, wherein the ultrasonic vibrator or the horn is bent.
前記超音波振動子から発振される超音波の進行方向を変換させる振動方向変換体を前記超音波振動子の先端部あるいは前記ホーンの先端部に取り付けている
ことを特徴とする請求項5に記載の超音波発生装置。
The vibration direction change body which changes the advancing direction of the ultrasonic wave oscillated from the ultrasonic vibrator is attached to the tip part of the ultrasonic vibrator or the tip part of the horn. Ultrasonic generator.
前記振動方向変換体のいずれかの面に前記ホーンとは別のホーンあるいは前記振動板を取り付けている
ことを特徴とする請求項7に記載の超音波発生装置。
The ultrasonic generator according to claim 7, wherein a horn different from the horn or the diaphragm is attached to any surface of the vibration direction change body.
前記振動方向変換体を角柱形状としている
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の超音波発生装置。
The ultrasonic generator according to claim 7 or 8, wherein the vibration direction changer has a prismatic shape.
前記振動板及び前記反射振動板が曲面形状を有している
ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の超音波発生装置。
The ultrasonic generator according to claim 1, wherein the diaphragm and the reflection diaphragm have a curved shape.
前記請求項1〜10のいずれか一項に記載の超音波発生装置を搭載した
ことを特徴とする設備機器。
Equipment equipped with the ultrasonic generator according to any one of claims 1 to 10.
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