JP2010060530A

JP2010060530A - Light scattering particle counter

Info

Publication number: JP2010060530A
Application number: JP2008229281A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Saito; 豊齋藤; Tetsuo Momose; 哲夫百瀬
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2008-09-08
Filing date: 2008-09-08
Publication date: 2010-03-18

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a simply-structured light scattering particle counter capable of extending a service life of a light source. <P>SOLUTION: The light scattering particle counter measuring the number of particles 3 in a specimen fluid 2 based on a scattered light caused by the particles 3 in the specimen fluid 2 includes the light source 11 emitting a light toward the specimen fluid 2, a light detector detecting the scattered light reflected from the particles 3, and a pump sucking the specimen fluid 2 so that the specimen fluid 2 passes through a measurement area 4 disposed in a light emitting direction from the light source 11. This light scattering particle counter cools the light source 11 secured to a holder 15 by utilizing the specimen fluid 2 which passes through passage holes 15a and 15b by means of a suction force of the pump. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光の散乱特性を利用して試料流体中の粒子の数を測定する光散乱式粒子計数装置に関する。 The present invention relates to a light scattering particle counter that measures the number of particles in a sample fluid using light scattering characteristics.

従来から、光の散乱特性を利用して試料流体中の粒子の数を測定する光散乱式粒子計数装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の光散乱式粒子計数装置は、レーザ光を射出する光源と、レーザ光を試料流体に集光させる投光レンズ系と、試料流体中の粒子にレーザ光が照射されて発生する散乱光を集光する受光レンズ系と、集光した散乱光を検出する光検出器とを備えている。この光散乱式粒子計数装置では、試料流体中の粒子数の測定領域にレーザ光が照射され、測定領域に存在する粒子が発生する散乱光に基づいて粒子を計数する。 2. Description of the Related Art Conventionally, a light scattering type particle counter that measures the number of particles in a sample fluid using light scattering characteristics is known (see, for example, Patent Document 1). The light scattering particle counter described in Patent Document 1 is generated by a light source that emits laser light, a projection lens system that focuses the laser light on a sample fluid, and particles in the sample fluid that are irradiated with laser light. A light receiving lens system for collecting scattered light and a photodetector for detecting the collected scattered light. In this light scattering type particle counting device, laser light is irradiated to a measurement region for the number of particles in a sample fluid, and particles are counted based on scattered light generated by particles existing in the measurement region.

特開２００７−１４７４７６号公報JP 2007-147476 A

レーザ光を射出する光源は発熱するため、レーザ光の射出に伴って光源の温度が上昇する。光源の温度が上昇して光源が温度変動を繰り返すと、光源の寿命が短くなるため、数年に一度、光源を交換する必要が生じる。したがって、特許文献１に記載の光散乱式粒子計数装置では、メンテナンスが煩雑になるおそれがある。 Since the light source that emits the laser light generates heat, the temperature of the light source increases with the emission of the laser light. When the temperature of the light source rises and the light source repeats temperature fluctuation, the life of the light source is shortened, so that it is necessary to replace the light source once every few years. Therefore, in the light scattering type particle counter described in Patent Document 1, maintenance may be complicated.

そこで、本発明の課題は、簡易な構成で、光源の寿命を延ばすことが可能な光散乱式粒子計数装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a light scattering particle counter capable of extending the life of a light source with a simple configuration.

上記の課題を解決するため、本発明は、試料流体中の粒子によって発生する散乱光に基づいて試料流体中の粒子の数を測定する光散乱式粒子計数装置において、試料流体に向かって光を射出する光源と、粒子で反射されて発生する散乱光を検出する光検出器と、光源からの光の射出方向に配置される測定領域を試料流体が通過するように試料流体を吸引するポンプと、ポンプの吸引力を利用して光源を冷却する冷却手段とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides a light scattering type particle counter that measures the number of particles in a sample fluid based on scattered light generated by particles in the sample fluid. A light source that emits light, a photodetector that detects scattered light generated by being reflected by particles, and a pump that sucks the sample fluid so that the sample fluid passes through a measurement region that is disposed in the direction of light emission from the light source. And cooling means for cooling the light source using the suction force of the pump.

本発明の光散乱式粒子計数装置は、光源を冷却する冷却手段を備えている。そのため、この冷却手段によって光源を冷却することができ、光源の寿命を延ばすことが可能になる。また、本発明では、ポンプの吸引力を利用して光源を冷却しているため、光源を冷却するための機構を別途、設ける必要がなくなる。したがって、光散乱式粒子計数装置の構成を簡素化することができる。 The light scattering particle counter of the present invention includes a cooling means for cooling the light source. Therefore, the light source can be cooled by this cooling means, and the life of the light source can be extended. In the present invention, since the light source is cooled using the suction force of the pump, it is not necessary to provide a separate mechanism for cooling the light source. Therefore, the configuration of the light scattering particle counter can be simplified.

本発明において、冷却手段は、光源が固定されるホルダを備え、ホルダは、伝熱性を有する材料で形成されていることが好ましい。このように構成すると、ホルダを冷却することで光源を冷却することができ、様々な形態で光源を冷却することが可能になる。 In the present invention, the cooling means preferably includes a holder to which the light source is fixed, and the holder is preferably formed of a material having heat conductivity. If comprised in this way, a light source can be cooled by cooling a holder, and it becomes possible to cool a light source with various forms.

本発明において、ホルダには、ポンプで吸引された試料流体が通過する通過孔が形成されていることが好ましい。このように構成すると、通過孔に接触する試料流体によって、ホルダを効率的に冷却することが可能になる。すなわち、光源を効率的に冷却することが可能になる。また、この場合には、通過孔の内壁に、複数の襞が形成されていることが好ましい。このように構成すると、ホルダを効果的に冷却することができる。 In the present invention, the holder is preferably formed with a passage hole through which the sample fluid sucked by the pump passes. If comprised in this way, it will become possible to cool a holder efficiently with the sample fluid which contacts a passage hole. That is, the light source can be efficiently cooled. In this case, it is preferable that a plurality of ridges are formed on the inner wall of the passage hole. If comprised in this way, a holder can be cooled effectively.

本発明において、冷却手段は、たとえば、ホルダに向かって試料流体を排気する排気部と、排気部が一端側に配置されるとともに他端側がポンプの排気口に接続される第１の配管とを備えていても良い。この場合には、ホルダに向かって排気される試料流体を用いてホルダを冷却することができる。また、この場合には、ホルダには、排気部に対向するように、複数の冷却用のフィンが形成されていることが好ましい。このように構成すると、ホルダを効果的に冷却することができる。 In the present invention, the cooling means includes, for example, an exhaust part for exhausting the sample fluid toward the holder, and a first pipe having the exhaust part disposed on one end side and connected to the exhaust port of the pump on the other end side. You may have. In this case, the holder can be cooled using the sample fluid exhausted toward the holder. In this case, it is preferable that the holder is formed with a plurality of cooling fins so as to face the exhaust part. If comprised in this way, a holder can be cooled effectively.

本発明において、冷却手段は、たとえば、ホルダ近傍に配置される気体の吸気部と、吸気部が一端側に配置されるとともに他端側がポンプの吸気口に接続される第２の配管とを備えていても良い。この場合には、吸気部で吸引される気体を用いてホルダを冷却することができる。また、この場合には、ホルダには、吸気部に対向するように、複数の冷却用のフィンが形成されていることが好ましい。このように構成すると、ホルダを効果的に冷却することができる。また、この場合には、測定領域とポンプとを接続する第３の配管の途中、および、第２の配管の途中に流量調整手段が配置されていることが好ましい。このように構成すると、第２の配管がポンプの吸気口に接続される場合であっても、測定領域を通過する試料流体の流量を規定値に調整することができる。 In the present invention, the cooling means includes, for example, a gas intake portion disposed in the vicinity of the holder, and a second pipe in which the intake portion is disposed on one end side and the other end side is connected to the intake port of the pump. May be. In this case, the holder can be cooled using the gas sucked by the intake portion. In this case, it is preferable that the holder is formed with a plurality of cooling fins so as to face the intake portion. If comprised in this way, a holder can be cooled effectively. In this case, it is preferable that the flow rate adjusting means is arranged in the middle of the third pipe connecting the measurement region and the pump and in the middle of the second pipe. If comprised in this way, even if it is a case where 2nd piping is connected to the inlet port of a pump, the flow volume of the sample fluid which passes a measurement area | region can be adjusted to a regulation value.

本発明において、ホルダには、光源に加え、光検出器が固定されていることが好ましい。このように構成すると、光源とともに光検出器を冷却することができる。また、本発明において、光散乱式粒子計数装置は、光源からの光を試料流体に集光させる投光レンズ系と、粒子によって発生する散乱光を光検出器に集光する受光レンズ系と、光源から射出され測定領域を通過した光の反射を抑制する反射抑制手段とを備え、ホルダには、光源に加え、投光レンズ系と受光レンズ系とが固定されるとともに、反射抑制手段が形成または固定されていることが好ましい。このように構成すると、投光レンズ系、受光レンズ系および反射抑制手段を光源とともに冷却することができる。 In the present invention, it is preferable that a photodetector is fixed to the holder in addition to the light source. If comprised in this way, a photodetector can be cooled with a light source. Further, in the present invention, the light scattering type particle counter includes a light projecting lens system for condensing light from the light source on the sample fluid, a light receiving lens system for condensing the scattered light generated by the particles on the photodetector, And a reflection suppressing means for suppressing reflection of light emitted from the light source and passing through the measurement region. In addition to the light source, the light projecting lens system and the light receiving lens system are fixed to the holder, and the reflection suppressing means is formed. Alternatively, it is preferably fixed. If comprised in this way, a light projection lens system, a light-receiving lens system, and a reflection suppression means can be cooled with a light source.

以上のように、本発明の光散乱式粒子計数装置では、簡易な構成で、光源の寿命を延ばすことが可能になる。 As described above, the light scattering type particle counter of the present invention can extend the life of the light source with a simple configuration.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

［実施の形態１］
（光散乱式粒子計数装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる光散乱式粒子計数装置１の概略構成を示す概略図である。図２は、図１に示す本体部５の縦断面図である。図３は、図１に示す本体部５の横断面図である。 [Embodiment 1]
(Configuration of light scattering particle counter)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a light scattering particle counter 1 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the main body 5 shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the main body 5 shown in FIG.

なお、以下の説明では、図２、図３等のＸ１方向側を「右」側、Ｘ２方向側を「左」側、Ｙ１方向側を「前」側、Ｙ２方向側を「後（後ろ）側」、Ｚ１方向側を「上」側、Ｚ２方向側を「下」側とする。 In the following description, the X1 direction side in FIGS. 2 and 3 is the “right” side, the X2 direction side is the “left” side, the Y1 direction side is the “front” side, and the Y2 direction side is “rear (back)”. Side ”, the Z1 direction side is the“ upper ”side, and the Z2 direction side is the“ lower ”side.

本形態の光散乱式粒子計数装置１（以下、「粒子計数装置１」とする。）は、図２、図３に示すように、試料流体２中の粒子３によって発生する散乱光ＬＳに基づいて、試料流体２中の粒子３の数を測定するための装置であり、たとえば、クリーンルーム内に設置されている。この粒子計数装置１は、図１〜図３に示すように、試料流体２が通過する測定領域４が内部に形成される本体部５と、試料流体２が測定領域４を通過するように本体部５内に試料流体２を吸引するポンプ６と、試料流体２の吸気口７ａが一端に形成される吸気配管７と、本体部５とポンプ６とを接続する接続配管８と、試料流体２の排気口９ａが一端に形成される排気配管９とを備えている。なお、粒子計数装置１は、クリーンルーム外に設置されても良い。 The light scattering type particle counter 1 (hereinafter referred to as “particle counter 1”) of this embodiment is based on scattered light LS generated by particles 3 in a sample fluid 2 as shown in FIGS. Thus, it is an apparatus for measuring the number of particles 3 in the sample fluid 2, and is installed, for example, in a clean room. As shown in FIGS. 1 to 3, the particle counter 1 includes a main body 5 in which a measurement region 4 through which the sample fluid 2 passes is formed, and a main body so that the sample fluid 2 passes through the measurement region 4. A pump 6 for sucking the sample fluid 2 into the part 5; an intake pipe 7 having an inlet 7a for the sample fluid 2 formed at one end; a connection pipe 8 for connecting the main body part 5 and the pump 6; The exhaust port 9a is provided with an exhaust pipe 9 formed at one end. The particle counting device 1 may be installed outside the clean room.

吸気配管７の吸気口７ａは、たとえば、粒子計数装置１が配置されるクリーンルームの内部に設置されている。また、排気配管９の排気口９ａは、たとえば、粒子計数装置１が配置されるクリーンルームの内部あるいはこのクリーンルームの外部に配置されている。 The intake port 7a of the intake pipe 7 is installed, for example, inside a clean room where the particle counter 1 is disposed. Further, the exhaust port 9a of the exhaust pipe 9 is disposed, for example, inside the clean room where the particle counter 1 is disposed or outside the clean room.

ポンプ６は、たとえば、真空ポンプである。ポンプ６の吸気口６ａには、接続配管８の一端が接続され、ポンプ６の排気口６ｂには、排気配管９の他端が接続されている。このポンプ６は、吸気配管７の吸気口７ａから本体部５内に形成される測定領域４に向かって試料流体２を吸引し、排気配管９の排気口９ａから吸引した試料流体２を排気する。 The pump 6 is, for example, a vacuum pump. One end of the connection pipe 8 is connected to the intake port 6 a of the pump 6, and the other end of the exhaust pipe 9 is connected to the exhaust port 6 b of the pump 6. The pump 6 sucks the sample fluid 2 from the intake port 7 a of the intake pipe 7 toward the measurement region 4 formed in the main body 5, and exhausts the sample fluid 2 sucked from the exhaust port 9 a of the exhaust pipe 9. .

本体部５は、試料流体２に向かって光Ｌを射出する光源１１と、粒子３で反射されて発生する散乱光ＬＳを検出する光検出器１２と、光源４からの光Ｌを試料流体２に集光させる投光レンズ系１３と、粒子３で発生する散乱光ＬＳを光検出器１２に集光する受光レンズ系１４とを備えている。光源１１、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４は、本体部５の筺体となるホルダ１５に固定されている。 The main body 5 includes a light source 11 that emits light L toward the sample fluid 2, a light detector 12 that detects scattered light LS generated by being reflected by the particles 3, and the light L from the light source 4 as sample fluid 2. And a light receiving lens system 14 for condensing the scattered light LS generated by the particles 3 on the photodetector 12. The light source 11, the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 are fixed to a holder 15 that is a casing of the main body 5.

光源１１は、たとえば、レーザダイオード（半導体レーザ）あるいは発光ダイオード（ＬＥＤ）である。光検出器１２は、入射する光の強度に応じて電気的特性が変化する光電変換素子である。投光レンズ系１３は、複数または単数のレンズによって構成されている。受光レンズ系１４は、複数または単数のレンズによって構成されている。 The light source 11 is, for example, a laser diode (semiconductor laser) or a light emitting diode (LED). The photodetector 12 is a photoelectric conversion element whose electrical characteristics change according to the intensity of incident light. The light projecting lens system 13 is composed of a plurality of or a single lens. The light receiving lens system 14 includes a plurality of lenses or a single lens.

ホルダ１５は、伝熱性を有する材料で形成されている。たとえば、ホルダ１５は、アルミニウム合金や銅合金等の金属材料で形成されている。また、ホルダ１５は、図２、図３に示すように、内部に空間を有する中空状に形成されている。本形態では、ホルダ１５の上端側から下端側に向かって、試料流体２が流れるように構成されており、ホルダ１５の上端側には、ポンプ６で吸引された試料流体２が通過する通過孔としての吸気側通過孔１５ａが形成され、ホルダ１５の下端側には、ポンプ６で吸引された試料流体２が通過する通過孔としての排気側通過孔１５ｂが形成されている。 The holder 15 is formed of a material having heat conductivity. For example, the holder 15 is made of a metal material such as an aluminum alloy or a copper alloy. Moreover, the holder 15 is formed in the hollow shape which has space inside, as shown in FIG. 2, FIG. In this embodiment, the sample fluid 2 is configured to flow from the upper end side to the lower end side of the holder 15, and the upper end side of the holder 15 is a passage hole through which the sample fluid 2 sucked by the pump 6 passes. An intake side passage hole 15a is formed, and an exhaust side passage hole 15b is formed on the lower end side of the holder 15 as a passage hole through which the sample fluid 2 sucked by the pump 6 passes.

ホルダ１５の上端部には、吸気配管７の他端が固定される筒状の配管固定部１５ｃが形成されている。また、ホルダ１５の上端部には、配管固定部１５ｃの下方に配置され、ホルダ１５の外部からホルダ１５内の所定位置まで試料流体２を案内する筒状の吸気側流体案内部１５ｄが形成されている。配管固定部１５ｃは、ホルダ１５の上端部から上側に向かって突出するように形成され、吸気側流体案内部１５ｄは、ホルダ１５の上端部から下側に向かって（すなわち、ホルダ１５の内部に向かって）突出するように形成されている。配管固定部１５ｃおよび吸気側流体案内部１５ｄの内壁は、吸気側通過孔１５ａの一部を構成している。 A cylindrical pipe fixing portion 15 c to which the other end of the intake pipe 7 is fixed is formed at the upper end portion of the holder 15. In addition, a cylindrical intake side fluid guide portion 15 d that is arranged below the pipe fixing portion 15 c and guides the sample fluid 2 from the outside of the holder 15 to a predetermined position in the holder 15 is formed at the upper end portion of the holder 15. ing. The pipe fixing portion 15c is formed so as to protrude upward from the upper end portion of the holder 15, and the intake side fluid guide portion 15d is directed downward from the upper end portion of the holder 15 (that is, inside the holder 15). It is formed to protrude. The inner walls of the pipe fixing portion 15c and the intake side fluid guide portion 15d constitute a part of the intake side passage hole 15a.

ホルダ１５の下端部には、接続配管８の他端が固定される筒状の配管固定部１５ｅが形成されている。また、ホルダ１５の下端部には、配管固定部１５ｅの上方に配置され、ホルダ１５内の所定位置からホルダ１５の外部まで試料流体２を案内する筒状の排気側流体案内部１５ｆが形成されている。配管固定部１５ｅは、ホルダ１５の下端部から下側に向かって突出するように形成され、排気側流体案内部１５ｆは、ホルダ１５の下端部から上側に向かって（すなわち、ホルダ１５の内部に向かって）突出するように形成されている。配管固定部１５ｅおよび排気側流体案内部１５ｆの内壁は、排気側通過孔１５ｂの一部を構成している。 A cylindrical pipe fixing portion 15 e to which the other end of the connection pipe 8 is fixed is formed at the lower end portion of the holder 15. In addition, a cylindrical exhaust-side fluid guide portion 15 f that is arranged above the pipe fixing portion 15 e and guides the sample fluid 2 from a predetermined position in the holder 15 to the outside of the holder 15 is formed at the lower end portion of the holder 15. ing. The pipe fixing portion 15e is formed so as to protrude downward from the lower end portion of the holder 15, and the exhaust side fluid guide portion 15f is directed upward from the lower end portion of the holder 15 (that is, inside the holder 15). It is formed to protrude. The inner walls of the pipe fixing portion 15e and the exhaust side fluid guide portion 15f constitute a part of the exhaust side passage hole 15b.

本形態の吸気側通過孔１５ａの内壁の一部または全部には、複数の襞１５ｇが形成されている。また、排気側通過孔１５ｂの内壁の一部または全部にも、複数の襞１５ｈが形成されている。 A plurality of flanges 15g are formed on a part or all of the inner wall of the intake side passage hole 15a of the present embodiment. A plurality of flanges 15h are also formed on part or all of the inner wall of the exhaust side passage hole 15b.

吸気側流体案内部１５ｄの下端と排気側流体案内部１５ｆの上端との間には、光源１１から射出され投光レンズ系１３を透過した光が通過する隙間が形成されている。本形態では、この隙間が、試料流体２が通過する測定領域４となっている。 A gap through which light emitted from the light source 11 and transmitted through the light projecting lens system 13 passes is formed between the lower end of the intake side fluid guide portion 15d and the upper end of the exhaust side fluid guide portion 15f. In this embodiment, this gap is a measurement region 4 through which the sample fluid 2 passes.

ホルダ１５の右端部には、光源１１および投光レンズ系１３が右からこの順番で固定されている。光源１１および投光レンズ系１３は、光源１１の光軸および投光レンズ系１３の光軸が測定領域４を通過するように配置されており、光源１１は、測定領域４を通過する試料流体２に向かって左方へ光を射出する。すなわち、測定領域４を通過する試料流体２の通過方向と光源１１からの光の射出方向とが交差している。具体的には、測定領域４を通過する試料流体２の通過方向と光源１１からの光の射出方向とが略直交している。 At the right end of the holder 15, the light source 11 and the light projecting lens system 13 are fixed in this order from the right. The light source 11 and the light projecting lens system 13 are arranged so that the optical axis of the light source 11 and the optical axis of the light projecting lens system 13 pass through the measurement region 4, and the light source 11 passes through the measurement region 4. Light is emitted to the left toward 2. In other words, the passage direction of the sample fluid 2 passing through the measurement region 4 and the light emission direction from the light source 11 intersect each other. Specifically, the direction of passage of the sample fluid 2 passing through the measurement region 4 and the direction of light emission from the light source 11 are substantially orthogonal.

ホルダ１５の前端部には、光検出器１２および受光レンズ系１４が前からこの順番で固定されている。光検出器１２および受光レンズ系１４は、光検出器１２の光軸および受光レンズ系１４の光軸が測定領域４を通過するように配置されており、試料流体２内の粒子３で反射された散乱光は、光検出器１２に入射する。 At the front end of the holder 15, the photodetector 12 and the light receiving lens system 14 are fixed in this order from the front. The photodetector 12 and the light receiving lens system 14 are arranged so that the optical axis of the photodetector 12 and the optical axis of the light receiving lens system 14 pass through the measurement region 4, and are reflected by the particles 3 in the sample fluid 2. The scattered light enters the photodetector 12.

ホルダ１５の左端部には、光源１１から射出され測定領域４を通過した光の反射を抑制する反射抑制手段としての光トラップ１５ｊが形成されている。光トラップ１５ｊは、光源１１の光軸上に配置されている。この光トラップ１５ｊは、測定領域４を通過した光の反射を抑制することで迷光の発生を抑制して、光検出器１２でのノイズを低減させる機能を果たしている。 At the left end of the holder 15, an optical trap 15 j is formed as a reflection suppressing means for suppressing reflection of light emitted from the light source 11 and passing through the measurement region 4. The optical trap 15j is disposed on the optical axis of the light source 11. The optical trap 15j suppresses the reflection of light that has passed through the measurement region 4, thereby suppressing the occurrence of stray light and reducing the noise at the photodetector 12.

本形態では、吸気側通過孔１５ａを通過する試料流体２および排気側通過孔１５ｂを通過する試料流体２によって、ホルダ１５が冷却される。すなわち、本形態では、ポンプ６の吸引力で吸気側通過孔１５ａを通過する試料流体２および排気側通過孔１５ｂを通過する試料流体２を利用して、ホルダ１５に固定された光源１１の冷却が行われており、ホルダ１５によって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。また、本形態の冷却手段は、試料流体２の通過方向において、ポンプ６よりも上流側（すなわち、吸気配管７の吸気口７ａ側）に配置されている。 In this embodiment, the holder 15 is cooled by the sample fluid 2 that passes through the intake side passage hole 15a and the sample fluid 2 that passes through the exhaust side passage hole 15b. That is, in this embodiment, the sample fluid 2 that passes through the intake-side passage hole 15a and the sample fluid 2 that passes through the exhaust-side passage hole 15b are cooled by the suction force of the pump 6 to cool the light source 11 fixed to the holder 15. The holder 15 constitutes a cooling means for cooling the light source 11 using the suction force of the pump 6. Further, the cooling means of the present embodiment is arranged on the upstream side of the pump 6 in the passage direction of the sample fluid 2 (that is, on the intake port 7a side of the intake pipe 7).

なお、吸気配管７の吸気口７ａが配置されるクリーンルームの温度はたとえば、２２℃に管理されている。そのため、ホルダ１５および光源１１は、吸気側通過孔１５ａおよび排気側通過孔１５ｂを通過する試料流体２によって、たとえば、２５℃まで冷却される。 Note that the temperature of the clean room in which the intake port 7a of the intake pipe 7 is disposed is managed at 22 ° C., for example. Therefore, the holder 15 and the light source 11 are cooled to, for example, 25 ° C. by the sample fluid 2 that passes through the intake side passage hole 15a and the exhaust side passage hole 15b.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ホルダ１５によって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。そのため、この冷却手段によって光源１１を冷却することができ、光源１１の寿命を延ばすことが可能になる。また、本形態では、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却しているため、光源１１を冷却するための機構を別途、設ける必要がない。したがって、粒子計数装置１の構成を簡素化することができる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the holder 15 constitutes a cooling unit that cools the light source 11 using the suction force of the pump 6. Therefore, the light source 11 can be cooled by this cooling means, and the life of the light source 11 can be extended. In this embodiment, since the light source 11 is cooled using the suction force of the pump 6, it is not necessary to provide a separate mechanism for cooling the light source 11. Therefore, the configuration of the particle counter 1 can be simplified.

本形態では、伝熱性を有する材料で形成されるホルダ１５に光源１１が固定され、このホルダ１５に、ポンプ６で吸引された試料流体２が通過する吸気側通過孔１５ａおよび排気側通過孔１５ｂが形成されている。そのため、吸気側通過孔１５ａおよび排気側通過孔１５ｂに接触する試料流体２によって、ホルダ１５を効率的に冷却することができ、光源１１を効率的に冷却することができる。特に本形態では、吸気側通過孔１５ａの内壁に複数の襞１５ｇが形成され、排気側通過孔１５ｂの内壁に複数の襞１５ｈが形成されているため、ホルダ１５を効果的に冷却することができる。 In this embodiment, the light source 11 is fixed to a holder 15 formed of a material having heat conductivity, and an intake side passage hole 15a and an exhaust side passage hole 15b through which the sample fluid 2 sucked by the pump 6 passes are passed through the holder 15. Is formed. Therefore, the holder 15 can be efficiently cooled by the sample fluid 2 in contact with the intake side passage hole 15a and the exhaust side passage hole 15b, and the light source 11 can be efficiently cooled. In particular, in the present embodiment, since the plurality of flanges 15g are formed on the inner wall of the intake side passage hole 15a and the plurality of flanges 15h are formed on the inner wall of the exhaust side passage hole 15b, the holder 15 can be effectively cooled. it can.

本形態では、ホルダ１５には、光源１１に加え、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定されている。また、ホルダ１５には、光トラップ１５ｊが形成されている。そのため、光検出器１２、投光レンズ系１３、受光レンズ系１４および光トラップ１５ｊの各構成を光源１１とともに冷却することができる。 In the present embodiment, in addition to the light source 11, a light detector 12, a light projecting lens system 13, and a light receiving lens system 14 are fixed to the holder 15. The holder 15 is formed with an optical trap 15j. Therefore, each structure of the photodetector 12, the light projecting lens system 13, the light receiving lens system 14, and the optical trap 15j can be cooled together with the light source 11.

（実施の形態１の変形例）
上述した形態では、吸気側通過孔１５ａに複数の襞１５ｇが形成され、排気側通過孔１５ｂに複数の襞１５ｈが形成されている。この他にもたとえば、吸気側通過孔１５ａまたは排気側通過孔１５ｂのいずれか一方のみに襞１５ｇ、１５ｈが形成されても良い。 (Modification of Embodiment 1)
In the embodiment described above, a plurality of flanges 15g are formed in the intake side passage hole 15a, and a plurality of flanges 15h are formed in the exhaust side passage hole 15b. In addition, for example, the flanges 15g and 15h may be formed only in either the intake side passage hole 15a or the exhaust side passage hole 15b.

上述した形態では、光トラップ１５ｊがホルダ１５と一体で形成されている。この他にもたとえば、光トラップ１５ｊがホルダ１５と別体で形成され、別体で形成された光トラップ１５ｊがホルダ１５に固定されても良い。 In the embodiment described above, the optical trap 15j is formed integrally with the holder 15. In addition, for example, the optical trap 15 j may be formed separately from the holder 15, and the optical trap 15 j formed separately may be fixed to the holder 15.

［実施の形態２］
図４は、本発明の実施の形態２にかかる光散乱式粒子計数装置２１の概略構成を示す概略図である。図５は、図４に示す本体部２５の縦断面図である。 [Embodiment 2]
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the light scattering particle counter 21 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the main body portion 25 shown in FIG.

実施の形態１では、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が、試料流体２の通過方向において、ポンプ６よりも上流側に配置されている。これに対して、実施の形態２では、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が、試料流体２の通過方向において、ポンプ６よりも下流側に配置されている。また、実施の形態１では、ホルダ１５に、光源１１、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定されているのに対して、実施の形態２では、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が筐体２６に固定されるとともに、光源１１を保持するホルダ３５が筐体２６に固定されている。 In the first embodiment, the cooling means for cooling the light source 11 using the suction force of the pump 6 is arranged on the upstream side of the pump 6 in the passage direction of the sample fluid 2. On the other hand, in the second embodiment, the cooling means for cooling the light source 11 using the suction force of the pump 6 is arranged downstream of the pump 6 in the passage direction of the sample fluid 2. In the first embodiment, the light source 11, the light detector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 are fixed to the holder 15, whereas in the second embodiment, the light detector 12. The light projecting lens system 13 and the light receiving lens system 14 are fixed to the casing 26, and the holder 35 that holds the light source 11 is fixed to the casing 26.

この２点が実施の形態１と実施の形態２との主な相違点である。したがって、以下では、この相違点を中心に実施の形態２の光散乱式粒子計数装置２１（以下、「粒子計数装置２１」とする。）の構成を説明する。なお、図４、図５では、実施の形態１と共通する構成には、同一の符号を付すとともに、以下では、共通する構成の説明を省略または簡略化する。 These two points are the main differences between the first embodiment and the second embodiment. Therefore, hereinafter, the configuration of the light scattering particle counter 21 of the second embodiment (hereinafter referred to as “particle counter 21”) will be described focusing on this difference. 4 and 5, the same reference numerals are given to the components common to the first embodiment, and the description of the common components is omitted or simplified below.

粒子計数装置２１は、試料流体２が通過する測定領域４が内部に形成される本体部２５と、試料流体２が測定領域４を通過するように本体部２５内に試料流体２を吸引するポンプ６と、吸気配管７と、本体部２５を構成する後述の筐体２６とポンプ６とを接続する接続配管８と、排気配管９とを備えている。また、粒子計数装置２１は、本体部２５を構成する後述のホルダ３５とポンプ６とを接続する接続配管２２を備えている。 The particle counting device 21 includes a main body 25 in which a measurement region 4 through which the sample fluid 2 passes is formed, and a pump that sucks the sample fluid 2 into the main body 25 so that the sample fluid 2 passes through the measurement region 4. 6, an intake pipe 7, a connection pipe 8 that connects a casing 26 (described later) constituting the main body 25 and the pump 6, and an exhaust pipe 9. Further, the particle counting device 21 includes a connection pipe 22 that connects a later-described holder 35 constituting the main body 25 and the pump 6.

本体部２５は、本体部５と同様に、光源１１と光検出器１２と投光レンズ系１３と受光レンズ系１４とを備えている。また、本体部２５は、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定される筐体２６と、光源１１が固定されるとともに筐体２６に固定されるホルダ３５とを備えている。 Similar to the main body 5, the main body 25 includes a light source 11, a photodetector 12, a light projecting lens system 13, and a light receiving lens system 14. The main body 25 includes a housing 26 to which the photodetector 12, the light projecting lens system 13 and the light receiving lens system 14 are fixed, and a holder 35 to which the light source 11 is fixed and fixed to the housing 26. ing.

筐体２６は、図５に示すように、内部に空間を有する中空状に形成されている。本形態では、筐体２６の上端側から下端側に向かって、試料流体２が流れるように構成されており、筐体２６の上端側には、試料流体２が通過する吸気側通過孔２６ａが形成され、筐体２６の下端側には、試料流体２が通過する排気側通過孔２６ｂが形成されている。 As shown in FIG. 5, the housing 26 is formed in a hollow shape having a space inside. In the present embodiment, the sample fluid 2 is configured to flow from the upper end side to the lower end side of the casing 26, and an intake side passage hole 26 a through which the sample fluid 2 passes is formed on the upper end side of the casing 26. An exhaust side passage hole 26 b through which the sample fluid 2 passes is formed on the lower end side of the housing 26.

筐体２６の上端部には、ホルダ１５の配管固定部１５ｃに相当する配管固定部２６ｃが配管固定部１５ｃと同様に形成されている。また、筐体２６の上端部には、ホルダ１５の吸気側流体案内部１５ｄに相当する吸気側流体案内部２６ｄが吸気側流体案内部１５ｄと同様に形成されている。 A pipe fixing part 26 c corresponding to the pipe fixing part 15 c of the holder 15 is formed at the upper end of the housing 26 in the same manner as the pipe fixing part 15 c. Further, an intake side fluid guide portion 26d corresponding to the intake side fluid guide portion 15d of the holder 15 is formed at the upper end portion of the housing 26 in the same manner as the intake side fluid guide portion 15d.

筐体２６の下端部には、ホルダ１５の配管固定部１５ｅに相当する配管固定部２６ｅが配管固定部１５ｅと同様に形成されている。また、筐体２６の下端部には、ホルダ１５の排気側流体案内部１５ｆに相当する排気側流体案内部２６ｆが排気側流体案内部１５ｆと同様に形成されている。 A pipe fixing part 26e corresponding to the pipe fixing part 15e of the holder 15 is formed at the lower end of the housing 26 in the same manner as the pipe fixing part 15e. Further, an exhaust side fluid guide portion 26f corresponding to the exhaust side fluid guide portion 15f of the holder 15 is formed at the lower end portion of the housing 26 in the same manner as the exhaust side fluid guide portion 15f.

吸気側流体案内部２６ｄの下端と排気側流体案内部２６ｆの上端との間には、光源１１から射出され投光レンズ系１３を透過した光が通過する隙間が形成されている。本形態では、この隙間が、試料流体２が通過する測定領域４となっている。 A gap through which light emitted from the light source 11 and transmitted through the light projecting lens system 13 passes is formed between the lower end of the intake side fluid guide portion 26d and the upper end of the exhaust side fluid guide portion 26f. In this embodiment, this gap is a measurement region 4 through which the sample fluid 2 passes.

なお、本形態の吸気側通過孔２６ａの内壁および排気側通過孔２６ｂの内壁には、襞は形成されていない。 Note that no soot is formed on the inner wall of the intake side passage hole 26a and the inner wall of the exhaust side passage hole 26b in this embodiment.

筐体２６の右端部には、ホルダ３５に保持された光源１１と投光レンズ系１３とが右からこの順番で固定されている。光源１１および投光レンズ系１３は、光源１１の光軸および投光レンズ系１３の光軸が測定領域４を通過するように配置されている。 At the right end of the housing 26, the light source 11 and the light projecting lens system 13 held by the holder 35 are fixed in this order from the right. The light source 11 and the light projection lens system 13 are arranged so that the optical axis of the light source 11 and the optical axis of the light projection lens system 13 pass through the measurement region 4.

筐体２６の前端部には、光検出器１２および受光レンズ系１４が前からこの順番で固定されている。光検出器１２および受光レンズ系１４は、光検出器１２の光軸および受光レンズ系１４の光軸が測定領域４を通過するように配置されており、試料流体２内の粒子３で反射された散乱光は、光検出器１２に入射する。 At the front end of the housing 26, the photodetector 12 and the light receiving lens system 14 are fixed in this order from the front. The photodetector 12 and the light receiving lens system 14 are arranged so that the optical axis of the photodetector 12 and the optical axis of the light receiving lens system 14 pass through the measurement region 4, and are reflected by the particles 3 in the sample fluid 2. The scattered light enters the photodetector 12.

筐体２６の左端部には、ホルダ１５に形成される光トラップ１５ｊと同様の光トラップ２６ｊが形成されている。 An optical trap 26 j similar to the optical trap 15 j formed on the holder 15 is formed at the left end of the housing 26.

ホルダ３５は、伝熱性を有する材料で形成されている。たとえば、ホルダ３５は、アルミニウム合金や銅合金等の金属材料で形成されている。ホルダ３５の左端側には、光源１１が固定されている。また、ホルダ３５の左端側は、筐体２６に固定されている。ホルダ３５の、筐体２６から右端側に突出する突出部３５ｂには、ポンプ６で吸引された試料流体２が通過する通過孔３５ａが形成されている。具体的には、ポンプ６から排気された試料流体２が通過する通過孔３５ａが突出部３５ｂを上下方向に貫通するように形成されている。 The holder 35 is formed of a material having heat conductivity. For example, the holder 35 is made of a metal material such as an aluminum alloy or a copper alloy. The light source 11 is fixed to the left end side of the holder 35. The left end side of the holder 35 is fixed to the housing 26. A passage hole 35 a through which the sample fluid 2 sucked by the pump 6 passes is formed in a protrusion 35 b of the holder 35 that protrudes from the housing 26 to the right end side. Specifically, a passage hole 35a through which the sample fluid 2 exhausted from the pump 6 passes is formed so as to penetrate the protrusion 35b in the vertical direction.

また、突出部３５ｂには、接続配管２２の端部が固定される筒状の配管固定部３５ｃと、排気配管９の他端が固定される筒状の配管固定部３５ｄとが、上下方向の外側に突出するように形成されている。配管固定部３５ｃの内壁および配管固定部３５ｄの内壁は、通過孔３５ａの一部を構成している。通過孔３５ａの内壁の一部または全部には、複数の襞３５ｇが形成されている。 In addition, a cylindrical pipe fixing part 35c to which the end of the connection pipe 22 is fixed and a cylindrical pipe fixing part 35d to which the other end of the exhaust pipe 9 is fixed are provided in the protruding part 35b in the vertical direction. It is formed so as to protrude outward. The inner wall of the pipe fixing part 35c and the inner wall of the pipe fixing part 35d constitute a part of the passage hole 35a. A plurality of flanges 35g are formed on part or all of the inner wall of the passage hole 35a.

本形態では、通過孔３５ａを通過する試料流体２によって、ホルダ３５が冷却される。すなわち、本形態では、ポンプ６の吸引力で通過孔３５ａを通過する試料流体２を利用して、ホルダ３５に固定された光源１１の冷却が行われており、ホルダ３５によって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。 In this embodiment, the holder 35 is cooled by the sample fluid 2 that passes through the passage hole 35a. That is, in this embodiment, the sample fluid 2 that passes through the passage hole 35 a with the suction force of the pump 6 is used to cool the light source 11 fixed to the holder 35. A cooling means for cooling the light source 11 using force is configured.

以上説明したように、本形態では、ホルダ３５によって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。そのため、本形態では、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。 As described above, in this embodiment, the holder 35 constitutes a cooling unit that cools the light source 11 using the suction force of the pump 6. Therefore, in the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

なお、本形態では、ホルダ３５に形成される通過孔３５ａは、試料流体２の通過方向において、ポンプ６よりも下流側に配置されているが、通過孔３５ａが筐体２６とポンプ６との間に配置されるように、粒子計数装置２１が構成されても良い。すなわち、接続配管８の途中に通過孔３５ａが配置されるように、粒子計数装置２１が構成されても良い。 In the present embodiment, the passage hole 35 a formed in the holder 35 is arranged on the downstream side of the pump 6 in the passage direction of the sample fluid 2, but the passage hole 35 a is formed between the housing 26 and the pump 6. The particle counting device 21 may be configured so as to be disposed therebetween. That is, the particle counting device 21 may be configured so that the passage hole 35a is arranged in the middle of the connection pipe 8.

また、本形態では、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が筐体２６に固定されるとともに、光源１１を保持するホルダ３５が筐体２６に固定されているが、実施の形態１のホルダ１５に突出部３５ｂを形成したホルダに、光源１１、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定されても良い。この場合には、このホルダに、光トラップ１５ｊに相当する光トラップが形成されている。また、この場合には、このホルダに、吸気側通過孔１５ａに相当する吸気側通過孔と、排気側通過孔１５ｂに相当する排気側通過孔とが形成されている。この吸気側通過孔の内壁および／または排気側通過孔の内壁には、複数の襞が形成されても良いし、形成されなくても良い。 In this embodiment, the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 are fixed to the casing 26, and the holder 35 that holds the light source 11 is fixed to the casing 26. The light source 11, the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 may be fixed to the holder in which the protruding portion 35 b is formed in the holder 15 of the first embodiment. In this case, an optical trap corresponding to the optical trap 15j is formed in this holder. In this case, an intake side passage hole corresponding to the intake side passage hole 15a and an exhaust side passage hole corresponding to the exhaust side passage hole 15b are formed in the holder. A plurality of soot may or may not be formed on the inner wall of the intake side passage hole and / or the inner wall of the exhaust side passage hole.

［実施の形態３］
図６は、本発明の実施の形態３にかかる光散乱式粒子計数装置４１の概略構成を示す概略図である。図７は、図６に示す本体部４５の縦断面図である。 [Embodiment 3]
FIG. 6 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the light scattering particle counter 41 according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the main body 45 shown in FIG.

実施の形態１、２では、ホルダ１５、３５の内部を通過する試料流体２を利用して、光源１１の冷却を行っている。これに対して、実施の形態３では、光源１１を保持するホルダ５５に向かって試料流体２を排気することで、光源１１の冷却を行っている。この点が実施の形態１、２と実施の形態３との主な相違点である。したがって、以下では、この相違点を中心に実施の形態３の光散乱式粒子計数装置４１（以下、「粒子計数装置４１」とする。）の構成を説明する。なお、図６、図７では、実施の形態１、２と共通する構成には、同一の符号を付すとともに、以下では、共通する構成の説明を省略または簡略化する。 In the first and second embodiments, the light source 11 is cooled using the sample fluid 2 passing through the holders 15 and 35. On the other hand, in the third embodiment, the light source 11 is cooled by exhausting the sample fluid 2 toward the holder 55 that holds the light source 11. This is the main difference between the first and second embodiments and the third embodiment. Therefore, hereinafter, the configuration of the light scattering particle counter 41 of the third embodiment (hereinafter referred to as “particle counter 41”) will be described focusing on this difference. 6 and 7, the same reference numerals are given to configurations common to Embodiments 1 and 2, and description of the common configurations is omitted or simplified below.

粒子計数装置４１は、試料流体２が通過する測定領域４が内部に形成される本体部４５と、試料流体２が測定領域４を通過するように本体部４５内に試料流体２を吸引するポンプ６と、吸気配管７と、本体部４５を構成する筐体２６とポンプ６とを接続する接続配管８と、排気配管９とを備えている。 The particle counter 41 includes a main body 45 in which a measurement region 4 through which the sample fluid 2 passes is formed, and a pump that sucks the sample fluid 2 into the main body 45 so that the sample fluid 2 passes through the measurement region 4. 6, an intake pipe 7, a connection pipe 8 connecting the casing 26 constituting the main body 45 and the pump 6, and an exhaust pipe 9.

本体部４５は、本体部５、２５と同様に、光源１１と光検出器１２と投光レンズ系１３と受光レンズ系１４とを備えている。また、本体部４５は、本体部２５と同様に、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定される筐体２６と、光源１１が固定されるとともに筐体２６に固定されるホルダ５５とを備えている。 The main body 45 includes a light source 11, a photodetector 12, a light projecting lens system 13, and a light receiving lens system 14, similarly to the main body parts 5 and 25. Similarly to the main body 25, the main body 45 is fixed to the housing 26 to which the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 are fixed, and to which the light source 11 is fixed. The holder 55 is provided.

ホルダ５５は、伝熱性を有する材料で形成されている。たとえば、ホルダ５５は、アルミニウム合金や銅合金等の金属材料で形成されている。ホルダ５５の左端側には、光源１１が固定されている。また、ホルダ５５の左端側は、筐体２６に固定されている。ホルダ５５の、筐体２６から右端側に突出する突出部５５ｂには、複数の冷却用のフィン５５ｃが形成されている。 The holder 55 is formed of a material having heat conductivity. For example, the holder 55 is made of a metal material such as an aluminum alloy or a copper alloy. The light source 11 is fixed to the left end side of the holder 55. Further, the left end side of the holder 55 is fixed to the housing 26. A plurality of cooling fins 55 c are formed on the protrusion 55 b of the holder 55 that protrudes from the housing 26 to the right end side.

本形態では、排気配管９の排気口９ａがフィン５５ｃに対向するように配置されており、排気口９ａからフィン５５ｃに向かって試料流体２が排気される。このように、本形態では、排気口９ａから排気される試料流体２によって、ホルダ５５が冷却される。すなわち、ポンプ６の吸引力で排気口９ａから排気される試料流体２を利用して、ホルダ５５に固定された光源１１の冷却が行われており、ホルダ５５と排気配管９とによって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。 In the present embodiment, the exhaust port 9a of the exhaust pipe 9 is disposed so as to face the fin 55c, and the sample fluid 2 is exhausted from the exhaust port 9a toward the fin 55c. Thus, in this embodiment, the holder 55 is cooled by the sample fluid 2 exhausted from the exhaust port 9a. That is, the sample fluid 2 exhausted from the exhaust port 9 a by the suction force of the pump 6 is used to cool the light source 11 fixed to the holder 55, and the pump 6 is cooled by the holder 55 and the exhaust pipe 9. A cooling means for cooling the light source 11 using the suction force is configured.

なお、本形態の排気口９ａは、ホルダ５５に向かって試料流体２を排気する排気部である。また、排気配管９は、排気口９ａが一端側に配置されるとともに他端側がポンプ６の排気口６ｂに接続される第１の配管である。 In addition, the exhaust port 9 a of this embodiment is an exhaust unit that exhausts the sample fluid 2 toward the holder 55. The exhaust pipe 9 is a first pipe in which the exhaust port 9 a is disposed on one end side and the other end side is connected to the exhaust port 6 b of the pump 6.

以上説明したように、本形態では、ホルダ５５と排気配管９とによって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。そのため、本形態では、実施の形態１、２と同様に、粒子計数装置４１の構成を簡素化しつつ、光源１１の寿命を延ばすことが可能になる。また、本形態では、排気口９ａに対向するように、ホルダ５５に複数の冷却用のフィン５５ｃが形成されているため、ホルダ５５を効果的に冷却することができる。 As described above, in this embodiment, the holder 55 and the exhaust pipe 9 constitute a cooling unit that cools the light source 11 using the suction force of the pump 6. Therefore, in this embodiment, as in Embodiments 1 and 2, it is possible to extend the life of the light source 11 while simplifying the configuration of the particle counter 41. In this embodiment, since the plurality of cooling fins 55c are formed in the holder 55 so as to face the exhaust port 9a, the holder 55 can be effectively cooled.

なお、本形態では、排気配管９の排気口９ａがフィン５５ｃに対向するように配置されているが、排気口９ａが光源１１に対向配置されるように、ホルダ５５が形成されても良い。この場合には、排気口９ａから排気される試料流体２によって、光源１１が直接、冷却される。 In this embodiment, the exhaust port 9a of the exhaust pipe 9 is disposed so as to face the fin 55c. However, the holder 55 may be formed so that the exhaust port 9a is disposed so as to face the light source 11. In this case, the light source 11 is directly cooled by the sample fluid 2 exhausted from the exhaust port 9a.

また、本形態では、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が筐体２６に固定されるとともに、光源１１を保持するホルダ５５が筐体２６に固定されているが、実施の形態１のホルダ１５に突出部５５ｂを形成したホルダに、光源１１、光検出器１２、投光レンズ系１３および受光レンズ系１４が固定されても良い。 In this embodiment, the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 are fixed to the casing 26, and the holder 55 that holds the light source 11 is fixed to the casing 26. The light source 11, the photodetector 12, the light projecting lens system 13, and the light receiving lens system 14 may be fixed to the holder in which the protruding portion 55 b is formed on the holder 15 of the first embodiment.

［実施の形態４］
図８は、本発明の実施の形態４にかかる光散乱式粒子計数装置６１の概略構成を示す概略図である。 [Embodiment 4]
FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the light scattering particle counter 61 according to the fourth embodiment of the present invention.

実施の形態３では、排気配管９の排気口９ａからフィン５５ｃに向かって排気される試料流体２によって、ホルダ５５が冷却される。これに対して、実施の形態４では、吸気配管７０の吸気口７０ａから吸気される気体（空気）によって、ホルダ５５が冷却されている。この点が実施の形態３と実施の形態４との主な相違点である。したがって、以下では、この相違点を中心に実施の形態４の光散乱式粒子計数装置６１（以下、「粒子計数装置６１」とする。）の構成を説明する。なお、図８では、実施の形態１〜３と共通する構成には、同一の符号を付すとともに、以下では、共通する構成の説明を省略または簡略化する。 In Embodiment 3, the holder 55 is cooled by the sample fluid 2 exhausted from the exhaust port 9a of the exhaust pipe 9 toward the fin 55c. On the other hand, in the fourth embodiment, the holder 55 is cooled by the gas (air) sucked from the intake port 70a of the intake pipe 70. This is the main difference between the third embodiment and the fourth embodiment. Therefore, hereinafter, the configuration of the light scattering particle counter 61 (hereinafter referred to as “particle counter 61”) according to the fourth embodiment will be described focusing on this difference. In FIG. 8, the same reference numerals are given to configurations common to the first to third embodiments, and description of the common configurations is omitted or simplified below.

粒子計数装置６１は、本体部４５とポンプ６と吸気配管７と接続配管８と排気配管９とを備えている。また、粒子計数装置６１は、一端に吸気口７０ａが形成された吸気配管７０を備えている。吸気配管７０の他端は、接続配管８に接続されている。すなわち、吸気配管７０の他端は、接続配管８を介してポンプ６の吸気口６ａに接続されている。吸気口７０ａは、ホルダ５５の近傍に配置されている。具体的には、吸気口７０ａは、フィン５５ｃに対向するように配置されている。 The particle counting device 61 includes a main body 45, a pump 6, an intake pipe 7, a connection pipe 8, and an exhaust pipe 9. The particle counter 61 includes an intake pipe 70 having an intake port 70a formed at one end. The other end of the intake pipe 70 is connected to the connection pipe 8. That is, the other end of the intake pipe 70 is connected to the intake port 6 a of the pump 6 via the connection pipe 8. The intake port 70 a is disposed in the vicinity of the holder 55. Specifically, the air inlet 70a is disposed so as to face the fin 55c.

接続配管８の途中には、接続配管８を通過する試料流体２の流量を調整する流量調整手段としての絞り弁７１が配置されている。また、吸気配管７０の途中には、吸気配管７０を通過する気体（空気）の流量を調整する流量調整手段としての絞り弁７２が配置されている。 In the middle of the connection pipe 8, a throttle valve 71 as a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the sample fluid 2 passing through the connection pipe 8 is arranged. Further, a throttle valve 72 as a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of gas (air) passing through the intake pipe 70 is disposed in the middle of the intake pipe 70.

本形態では、吸気配管７０の吸気口７０ａから吸気される気体によって、ホルダ５５が冷却されている。すなわち、ポンプ６の吸引力で吸気口７０ａから吸気される気体を利用して、ホルダ５５に固定された光源１１の冷却が行われており、ホルダ５５と吸気配管７０とによって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。 In this embodiment, the holder 55 is cooled by the gas sucked from the intake port 70a of the intake pipe 70. In other words, the light source 11 fixed to the holder 55 is cooled using the gas sucked from the suction port 70 a by the suction force of the pump 6, and the suction of the pump 6 is performed by the holder 55 and the suction pipe 70. A cooling means for cooling the light source 11 using force is configured.

なお、本形態の吸気口７０ａは、ホルダ５５の近傍に配置される気体の吸気部である。また、吸気配管７０は、吸気口７０ａが一端側に配置されるとともに他端側がポンプ６の吸気口６ａに接続される第２の配管である。また、接続配管８は、筐体２６の内部に形成される測定領域４とポンプ６とを接続する第３の配管である。 Note that the air inlet 70 a of the present embodiment is a gas intake portion disposed in the vicinity of the holder 55. The intake pipe 70 is a second pipe in which the intake port 70 a is disposed on one end side and the other end side is connected to the intake port 6 a of the pump 6. The connection pipe 8 is a third pipe that connects the measurement region 4 formed inside the housing 26 and the pump 6.

以上説明したように、本形態では、ホルダ５５と吸気配管７０とによって、ポンプ６の吸引力を利用して光源１１を冷却する冷却手段が構成されている。そのため、本形態では、実施の形態３と同様の効果を得ることができる。また、本形態では、接続配管８の途中に絞り弁７１が配置され、吸気配管７０の途中に絞り弁７２が配置されているため、吸気配管７０を接続配管８に接続する場合であっても、測定領域４を通過する試料流体２の流量を規定値に調整することができる。 As described above, in this embodiment, the holder 55 and the intake pipe 70 constitute a cooling unit that cools the light source 11 using the suction force of the pump 6. Therefore, in the present embodiment, the same effect as in the third embodiment can be obtained. In this embodiment, the throttle valve 71 is arranged in the middle of the connection pipe 8 and the throttle valve 72 is arranged in the middle of the intake pipe 70, so that even when the intake pipe 70 is connected to the connection pipe 8. The flow rate of the sample fluid 2 passing through the measurement region 4 can be adjusted to a specified value.

なお、本形態では、吸気配管７０の吸気口７０ａがフィン５５ｃに対向するように配置されているが、吸気口７０ａが光源１１に対向配置されるように、ホルダ５５が形成されても良い。この場合には、吸気口７０ａから吸気される気体によって、光源１１が直接、冷却される。 In this embodiment, the intake port 70a of the intake pipe 70 is disposed so as to face the fin 55c. However, the holder 55 may be formed so that the intake port 70a is disposed to face the light source 11. In this case, the light source 11 is directly cooled by the gas sucked from the intake port 70a.

また、実施の形態２のホルダ３５が筐体２６に固定されるとともに、吸気配管７０の途中にホルダ３５に形成される通過孔３５ａが配置され、吸気口７０ａから吸気される気体が通過孔３５ａを通過するように、粒子計数装置６１が構成されても良い。 In addition, the holder 35 according to the second embodiment is fixed to the casing 26, and a passage hole 35a formed in the holder 35 is disposed in the middle of the intake pipe 70, so that gas sucked from the intake port 70a passes through the passage hole 35a. The particle counting device 61 may be configured to pass through.

本発明の実施の形態１にかかる光散乱式粒子計数装置の概略構成を示す概略図である。It is the schematic which shows schematic structure of the light-scattering type particle counter concerning Embodiment 1 of this invention. 図１に示す本体部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the main-body part shown in FIG. 図１に示す本体部の横断面図である。It is a cross-sectional view of the main body shown in FIG. 本発明の実施の形態２にかかる光散乱式粒子計数装置の概略構成を示す概略図である。It is the schematic which shows schematic structure of the light-scattering type particle counter concerning Embodiment 2 of this invention. 図４に示す本体部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the main-body part shown in FIG. 本発明の実施の形態３にかかる光散乱式粒子計数装置の概略構成を示す概略図である。It is the schematic which shows schematic structure of the light-scattering type particle counter concerning Embodiment 3 of this invention. 図６に示す本体部の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the main-body part shown in FIG. 本発明の実施の形態４にかかる光散乱式粒子計数装置の概略構成を示す概略図である。It is the schematic which shows schematic structure of the light-scattering type particle counter concerning Embodiment 4 of this invention.

Explanation of symbols

１、２１、４１、６１粒子計数装置（光散乱式粒子計数装置）
２試料流体
３粒子
４測定領域
６ポンプ
６ａ吸気口
６ｂ排気口
８接続配管（第３の配管）
９排気配管（冷却手段の一部、第１の配管）
９ａ排気口（排気部）
１１光源
１２光検出器
１３投光レンズ系
１４受光レンズ系
１５ホルダ（冷却手段）
１５ａ吸気側通過孔（通過孔）
１５ｂ排気側通過孔（通過孔）
１５ｇ、１５ｈ襞
１５ｊ光トラップ（反射抑制手段）
３５ホルダ（冷却手段）
３５ａ通過孔
３５ｇ襞
５５ホルダ（冷却手段の一部）
５５ｃフィン
７０吸気配管（冷却手段の一部、第２の配管）
７０ａ吸気口（吸気部）
７１、７２絞り弁（流量調整手段）
ＬＳ散乱光 1, 21, 41, 61 Particle counter (light scattering particle counter)
2 Sample fluid 3 Particles 4 Measurement area 6 Pump 6a Intake port 6b Exhaust port 8 Connection piping (third piping)
9 Exhaust piping (part of cooling means, first piping)
9a Exhaust port (exhaust part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Light source 12 Photodetector 13 Projection lens system 14 Light reception lens system 15 Holder (cooling means)
15a Intake side passage hole (passage hole)
15b Exhaust side passage hole (pass hole)
15g, 15h １５ 15j Light trap (reflection suppression means)
35 Holder (cooling means)
35a Passing hole 35g ５５ 55 Holder (part of cooling means)
55c Fin 70 Intake piping (part of cooling means, second piping)
70a Air intake (intake part)
71, 72 Throttle valve (flow rate adjusting means)
LS scattered light

Claims

In a light scattering particle counter for measuring the number of particles in the sample fluid based on scattered light generated by particles in the sample fluid,
The sample fluid has a light source that emits light toward the sample fluid, a photodetector that detects scattered light generated by being reflected by the particles, and a measurement region that is disposed in the direction in which the light from the light source is emitted. A light scattering type particle counting apparatus comprising: a pump for sucking the sample fluid so as to pass through; and a cooling means for cooling the light source using suction force of the pump.

The cooling means includes a holder to which the light source is fixed,
The light scattering particle counter according to claim 1, wherein the holder is made of a material having heat conductivity.

The light scattering particle counter according to claim 2, wherein a passage hole through which the sample fluid sucked by the pump passes is formed in the holder.

4. The light scattering particle counter according to claim 3, wherein a plurality of wrinkles are formed on the inner wall of the passage hole.

The cooling means includes an exhaust part for exhausting the sample fluid toward the holder, and a first pipe having the exhaust part arranged on one end side and connected to the exhaust port of the pump on the other end side. The light scattering type particle counter according to claim 2.

6. The light scattering particle counter according to claim 5, wherein the holder is formed with a plurality of cooling fins so as to face the exhaust part.

The cooling means includes a gas intake portion disposed in the vicinity of the holder, and a second pipe in which the intake portion is disposed on one end side and the other end side is connected to the intake port of the pump. The light scattering type particle counter according to claim 2.

The light scattering particle counter according to claim 7, wherein the holder is formed with a plurality of cooling fins so as to face the intake portion.

The light scattering type according to claim 7 or 8, wherein a flow rate adjusting means is arranged in the middle of the third pipe connecting the measurement region and the pump and in the middle of the second pipe. Particle counting device.

The light scattering particle counter according to claim 2, wherein, in addition to the light source, the photodetector is fixed to the holder.

A light projecting lens system for condensing the light from the light source onto the sample fluid; a light receiving lens system for condensing the scattered light generated by the particles onto the photodetector; and a measurement area emitted from the light source. A reflection suppressing means for suppressing reflection of light passing therethrough,
11. The light-projecting lens system and the light-receiving lens system are fixed to the holder in addition to the light source, and the reflection suppressing means is formed or fixed. A light scattering type particle counter described in 1.