JP2010033984A - Organic light-emitting device - Google Patents

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Kimiko Naito
喜美子 内藤
Kohei Nagayama
耕平 永山
Nobuhiko Sato
信彦 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic light-emitting device superior in adhesiveness of an interface between an intermediate electrode layer and an organic compound layer. <P>SOLUTION: The organic light-emitting device 1 is constituted of a lower part electrode layer 11, an upper part electrode layer 17, and a laminate that is pinched by the lower part electrode 11 and the upper part electrode layer 17, and composed of at least a first organic compound layer 12, an intermediate electrode layer (first intermediate electrode layer 13a), and a second organic compound layer 14. The first organic compound layer 12 includes at least a first light-emitting layer, the intermediate electrode layer includes an organic conductor, and the second organic compound layer 14 includes at least a second light-emitting layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子という場合がある。)の発光を利用した有機発光装置に関する。   The present invention relates to an organic light-emitting device using light emission of an organic electroluminescence element (hereinafter sometimes referred to as an organic EL element).

フラットディスプレイパネルの一つとして有機EL素子が搭載された有機ELディスプレイがあり、研究開発が盛んに進められている。特許文献1には、有機EL素子を縦方向に積層した有機発光装置として、無機化合物からなる透明導電層と複数の有機化合物層とを交互に積層して配置する構造が提案されている。また、特許文献2には、金属からなる内部電極と複数の有機化合物層とを交互に積層して配置する構造が提案されている。   As one of flat display panels, there is an organic EL display on which an organic EL element is mounted, and research and development are being actively promoted. Patent Document 1 proposes a structure in which transparent conductive layers made of an inorganic compound and a plurality of organic compound layers are alternately stacked as an organic light emitting device in which organic EL elements are stacked in the vertical direction. Patent Document 2 proposes a structure in which internal electrodes made of metal and a plurality of organic compound layers are alternately stacked.

米国特許5707745号明細書US Pat. No. 5,707,745 特表2007−533073号公報Special table 2007-533073 gazette

ところで無機導電体材料からなる無機導電層と有機化合物層とを交互に積層させる構成において、特に、有機化合物層と有機化合物層との間に設けられる無機導電層(以下、中間電極層という。)では、当該無機導電層とこの無機導電層に隣接する有機化合物層とでは、線膨張係数が概ね1〜2桁異なることが知られている。このように線膨張係数の異なる層を積層した場合、所定の層の成膜工程、成膜した層を部分除去するパターニング工程、又は成膜工程あるいはパターニング工程後の加熱工程において、中間電極層と有機化合物層との界面における密着性の経時変化が生じる。この経時変化は中間電極層と有機化合物層との線膨張係数の違いにより生じるものであるが、この経時変化により、かかる界面で剥がれが生じたり、発光装置の発光特性に影響を及ぼしたりする場合があった。   By the way, in the structure which laminates | stacks alternately the inorganic conductive layer and organic compound layer which consist of inorganic conductor materials, especially the inorganic conductive layer (henceforth an intermediate electrode layer) provided between an organic compound layer and an organic compound layer. Then, it is known that the linear expansion coefficient differs by about 1 to 2 digits between the inorganic conductive layer and the organic compound layer adjacent to the inorganic conductive layer. When layers having different linear expansion coefficients are laminated in this way, the intermediate electrode layer and the intermediate electrode layer are formed in a predetermined layer forming step, a patterning step for partially removing the formed layer, or a heating step after the film forming step or the patterning step. A change with time of the adhesiveness at the interface with the organic compound layer occurs. This change over time is caused by the difference in coefficient of linear expansion between the intermediate electrode layer and the organic compound layer, but this change over time may cause peeling at the interface or affect the light emission characteristics of the light emitting device. was there.

本発明の目的は、中間電極層と有機化合物層との間の界面の密着性が良好な有機発光装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an organic light emitting device having good interface adhesion between an intermediate electrode layer and an organic compound layer.

本発明の有機発光装置は、下部電極層と上部電極層と、
該下部電極層と該上部電極層とに挟持され少なくとも第1有機化合物層と、中間電極層と、第2有機化合物層と、よりなる積層体と、から構成され、
該第1有機化合物層が少なくとも第1発光層を含み、
該中間電極層が有機導電体を含み、
該第2有機化合物層が少なくとも第2発光層を含むことを特徴とする。
The organic light-emitting device of the present invention includes a lower electrode layer, an upper electrode layer,
A laminate comprising at least a first organic compound layer, an intermediate electrode layer, and a second organic compound layer sandwiched between the lower electrode layer and the upper electrode layer,
The first organic compound layer includes at least a first light-emitting layer;
The intermediate electrode layer comprises an organic conductor;
The second organic compound layer includes at least a second light emitting layer.

本発明によれば、中間電極層の熱膨張係数が有機化合物層と大きく変わらないため、中間電極層と有機化合物層との間の界面の密着性が良好な有機発光装置を提供することができる。   According to the present invention, since the thermal expansion coefficient of the intermediate electrode layer is not significantly different from that of the organic compound layer, it is possible to provide an organic light-emitting device having good adhesion at the interface between the intermediate electrode layer and the organic compound layer. .

本発明の有機発光装置は、下部電極層と上部電極層と、該下部電極層と該上部電極層とに挟持され少なくとも第1有機化合物層と、中間電極層と、第2有機化合物層と、よりなる積層体と、から構成される。   The organic light emitting device of the present invention comprises a lower electrode layer, an upper electrode layer, at least a first organic compound layer, an intermediate electrode layer, a second organic compound layer sandwiched between the lower electrode layer and the upper electrode layer, It is comprised from the laminated body which consists of.

ただし中間電極層は一層のみに限定されず複数層設けても構わない。中間電極層が複数層設けられる場合、中間電極層と中間電極層との間には別個の有機化合物層が設けられる。例えば、中間電極層が2層設けられる場合、下部電極層と上部電極層との間に挟持される積層体は、第1有機化合物層と、第1中間電極層と、第2有機化合物層と、第2中間電極層と、第3有機化合物層と、よりなる。   However, the intermediate electrode layer is not limited to a single layer, and a plurality of layers may be provided. When a plurality of intermediate electrode layers are provided, a separate organic compound layer is provided between the intermediate electrode layer and the intermediate electrode layer. For example, when two intermediate electrode layers are provided, the laminate sandwiched between the lower electrode layer and the upper electrode layer includes a first organic compound layer, a first intermediate electrode layer, and a second organic compound layer. And a second intermediate electrode layer and a third organic compound layer.

以下、図面を参照しながら本発明について説明する。ただし本発明は後述する実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below.

図1は、本発明の有機発光装置における第一の実施形態を示す断面図である。図1の有機発光装置1は、基板10上に、下部電極層11と、第1有機化合物層12と、第1中間電極層13aと、第2有機化合物層14と、第2中間電極層15aと、第3有機化合物層16と、上部電極層17と、よりなる積層体が形成されている。そして基板10上に形成される積層体の上面及び側面を覆うように保護層18が形成されている。図1の有機発光素子1は、下部電極層11と第1中間電極層13aとの間、第1中間電極層13aと第2中間電極層15aとの間、第2中間電極層15aと上部電極層17との間、のいずれかに電圧を印加する。こうすることで、一方の電極から注入されるホールと、もう一方の電極から注入される電子とが、有機化合物層(12,14,16)に含まれる発光層において再結合することにより光を発する。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the organic light-emitting device of the present invention. The organic light emitting device 1 of FIG. 1 includes a lower electrode layer 11, a first organic compound layer 12, a first intermediate electrode layer 13a, a second organic compound layer 14, and a second intermediate electrode layer 15a on a substrate 10. Then, a stacked body including the third organic compound layer 16 and the upper electrode layer 17 is formed. A protective layer 18 is formed so as to cover the upper surface and side surfaces of the laminate formed on the substrate 10. The organic light emitting device 1 in FIG. 1 includes a lower electrode layer 11 and a first intermediate electrode layer 13a, a first intermediate electrode layer 13a and a second intermediate electrode layer 15a, a second intermediate electrode layer 15a and an upper electrode. A voltage is applied to either of the layers 17. By doing so, holes injected from one electrode and electrons injected from the other electrode are recombined in the light-emitting layer included in the organic compound layer (12, 14, 16), so that light is emitted. To emit.

図1の有機発光装置1において、有機化合物層には発光層が含まれる。即ち、第1有機化合物層12には第1発光層が、第2有機化合物層14には第2発光層が、第3有機化合物層16には第3発光層が、それぞれ含まれる。ただし、有機化合物層の層構成は、発光層のみに限定されるものではない。発光層の他に必要に応じてホール輸送層、電子輸送層、電子注入層等を設けてもよい。   In the organic light emitting device 1 of FIG. 1, the organic compound layer includes a light emitting layer. That is, the first organic compound layer 12 includes a first light emitting layer, the second organic compound layer 14 includes a second light emitting layer, and the third organic compound layer 16 includes a third light emitting layer. However, the layer structure of the organic compound layer is not limited to the light emitting layer. In addition to the light emitting layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like may be provided as necessary.

図1の有機発光装置1において、各電極層(11,13a,15a,17)は、1層で構成されていても複数の層で構成されていてもよい。ここで中間電極層(13a,15a)が1層で構成される場合、その中間電極層は上下に隣接する有機化合物層の共通電極となる。一方、中間電極層が複数の層で構成される場合は、例えば、導電性膜/絶縁性膜/導電性膜といったように多層構成とし、各有機化合物層を個別に駆動できるようにしてもよい。   In the organic light emitting device 1 of FIG. 1, each electrode layer (11, 13a, 15a, 17) may be composed of one layer or a plurality of layers. Here, when the intermediate electrode layer (13a, 15a) is composed of one layer, the intermediate electrode layer is a common electrode of organic compound layers adjacent vertically. On the other hand, when the intermediate electrode layer is composed of a plurality of layers, for example, a multi-layer structure such as a conductive film / insulating film / conductive film may be used so that each organic compound layer can be driven individually. .

図1の有機発光装置1において、保護膜18は、外気にふくまれる水分、酸素等が各電極層(11,13a,15a,17)や各有機化合物層(12,14,16)へ進入するのを遮断するために設けられている。   In the organic light emitting device 1 of FIG. 1, the protective film 18 allows moisture, oxygen, etc. contained in the outside air to enter each electrode layer (11, 13a, 15a, 17) and each organic compound layer (12, 14, 16). It is provided to block

次に、本発明の有機発光装置を構成する構成部材について説明する。   Next, components constituting the organic light emitting device of the present invention will be described.

基板10は、基本的には、後述する基材からなるものである。ただし必要に応じてこの基材と、基材上に設けられるTFT回路と、このTFT回路の上方を覆い基板を平坦にする平坦化層と、からなるものを基板10として使用してもよい。ここで基材として、ガラス基板、Si基板等を使用することができる。   The substrate 10 is basically made of a base material to be described later. However, if necessary, the substrate 10 may be composed of this base material, a TFT circuit provided on the base material, and a planarizing layer that covers the TFT circuit and flattens the substrate. Here, a glass substrate, a Si substrate, or the like can be used as the base material.

下部電極層2及び上部電極層8の構成材料として、公知の電極材料を使用することができる。具体的には、Al、Ag等の金属導電膜、ITO、IZO等の透明導電膜、及び、それらを積層した積層膜を使用することができる。   As a constituent material of the lower electrode layer 2 and the upper electrode layer 8, a known electrode material can be used. Specifically, a metal conductive film such as Al or Ag, a transparent conductive film such as ITO or IZO, and a laminated film obtained by laminating them can be used.

有機化合物層(12,14,16)の構成材料として、公知の電荷輸送材料(ホール注入・輸送材料、電子注入・輸送材料)及び発光材料を使用することができる。   As a constituent material of the organic compound layers (12, 14, 16), known charge transport materials (hole injection / transport materials, electron injection / transport materials) and luminescent materials can be used.

ホール注入・輸送材料として、トリアリールアミン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、オキサゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、オキサゾール誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、フタロシアニン誘導体、ポリフィリン誘導体及びポリ(ビニルカルバゾール)、ポリ(シリレン)、ポリ(チオフェン)、その他導電性高分子を使用することができる。   As hole injection / transport materials, triarylamine derivatives, phenylenediamine derivatives, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, oxazole derivatives, imidazole derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, oxazole derivatives, fluorenone derivatives Hydrazone derivatives, stilbene derivatives, phthalocyanine derivatives, porphyrin derivatives and poly (vinyl carbazole), poly (silylene), poly (thiophene), and other conductive polymers can be used.

電子注入・輸送材料として、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ピラジン誘導体、トリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、ペリレン誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、フルオレノン誘導体、アントロン誘導体、フェナントロリン誘導体、有機金属錯体を使用することができる。   As electron injection / transport materials, oxadiazole derivatives, oxazole derivatives, thiazole derivatives, thiadiazole derivatives, pyrazine derivatives, triazole derivatives, triazine derivatives, perylene derivatives, quinoline derivatives, quinoxaline derivatives, fluorenone derivatives, anthrone derivatives, phenanthroline derivatives, organometallics Complexes can be used.

発光材料として、蛍光材料や燐光材料を使用することができる。アルミキノリノール錯体、ベリリウムキノリノール錯体、ヒドロキシフェニルオキサゾール、ヒドロキシフェニルチアゾール、アゾメチン金属錯体を使用することができる。   As the light emitting material, a fluorescent material or a phosphorescent material can be used. Aluminum quinolinol complex, beryllium quinolinol complex, hydroxyphenyl oxazole, hydroxyphenyl thiazole, azomethine metal complex can be used.

中間電極層(13a,15a)は、有機導電体を含む層である。中間電極層に含まれる有機導電体として、導電性ポリマー、導電性オリゴマー、導電性モノマー、導電性コポリマーが挙げられる。中間電極層に含まれる有機導電体として、好ましくは、p型の導電体にもn型の導電体にもなり得る導電体である。このような導電体では、アニオンをドーピングすればp型導電体になり、カチオンをドーピングすればn型導電体になる。   The intermediate electrode layers (13a, 15a) are layers containing an organic conductor. Examples of the organic conductor contained in the intermediate electrode layer include a conductive polymer, a conductive oligomer, a conductive monomer, and a conductive copolymer. The organic conductor contained in the intermediate electrode layer is preferably a conductor that can be a p-type conductor or an n-type conductor. Such a conductor becomes a p-type conductor when doped with an anion and becomes an n-type conductor when doped with a cation.

p型の導電体にもn型の導電体にもなり得る導電体の具体例として、例えば、チオフェンとキノキサリンとの交互共重合体が挙げられる。この交互共重合体は、過塩素酸イオン等のアニオンと反応させることによりp型導電体に変換できる。尚、この場合、アニオンはチオフェン部位と反応する。一方、テトラエチルアンモニウムイオン等のカチオンと反応させることによりn型導電体に変換できる。尚、この場合、カチオンはキノキサリン部位(特に、ピリジン環部位)と反応する。   A specific example of a conductor that can be a p-type conductor or an n-type conductor is, for example, an alternating copolymer of thiophene and quinoxaline. This alternating copolymer can be converted to a p-type conductor by reacting with an anion such as perchlorate ion. In this case, the anion reacts with the thiophene moiety. On the other hand, it can be converted into an n-type conductor by reacting with a cation such as tetraethylammonium ion. In this case, the cation reacts with a quinoxaline site (particularly, a pyridine ring site).

ところで有機導電体は溶媒に溶かした状態で使用することもできる。このときに使用される溶媒は、好ましくは、中間電極層に接触する有機化合物層に影響を与えない溶媒である。具体的には、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素系であって、沸点が低い溶媒にする方が、中間電極層を成膜する時にこの中間電極層に接触する有機化合物層への影響が少ないので好ましい。また、炭化水素系溶媒に対する溶解性をよくするために、有機導電体に置換基を導入してもよい。例えば、チオフェン部位にヘキシル基等の炭化水素基を導入するのは効果的である。   Incidentally, the organic conductor can be used in a state dissolved in a solvent. The solvent used at this time is preferably a solvent that does not affect the organic compound layer in contact with the intermediate electrode layer. Specifically, hydrocarbons such as hexane and heptane, which have a low boiling point, have less influence on the organic compound layer that comes into contact with the intermediate electrode layer when forming the intermediate electrode layer. preferable. Moreover, in order to improve the solubility with respect to the hydrocarbon solvent, a substituent may be introduced into the organic conductor. For example, it is effective to introduce a hydrocarbon group such as a hexyl group into the thiophene site.

また、中間電極層(13a,15a)には、有機導電体の他に金属を含ませてもよい。この金属の具体例として、セシウム、リチウム、アルミニウム、銀、金等が挙げられる。   In addition to the organic conductor, the intermediate electrode layer (13a, 15a) may contain a metal. Specific examples of this metal include cesium, lithium, aluminum, silver, and gold.

保護膜9の構成材料として、外気からの水分、酸素等を遮断する材料が好ましい。具体的には、窒化酸化シリコン等が使用される。   As a constituent material of the protective film 9, a material that blocks moisture, oxygen and the like from the outside air is preferable. Specifically, silicon nitride oxide or the like is used.

次に、本実施形態の有機発光装置の作製手順を説明する。   Next, a manufacturing procedure of the organic light emitting device of this embodiment will be described.

下部電極層11及び上部電極層17は、スパッタリング法等の公知の方法にて形成することができる。尚、下部電極層11及び上部電極層17は、層を形成した後、公知の方法により所望の形状になるようにパターニングを行ってもよい。   The lower electrode layer 11 and the upper electrode layer 17 can be formed by a known method such as a sputtering method. The lower electrode layer 11 and the upper electrode layer 17 may be patterned so as to have a desired shape by a known method after the layers are formed.

有機化合物層(12,14,16)は、真空蒸着法等の公知の方法により形成することができる。   The organic compound layers (12, 14, 16) can be formed by a known method such as a vacuum deposition method.

中間電極層(13a,15a)は、塗布法等の湿式法、真空蒸着法等の乾式法のいずれかの方法で形成することができる。ここで中間電極層の形成方法は、中間導電層の構成材料である有機導電体の分子量によって適宜選択することができる。具体的には、分子量が数千以下なら真空蒸着法により成膜することができ、分子量が1万より高い場合は塗布法により成膜することができる。尚、成膜される中間電極層において、陽極側の界面は陰極として機能し、陰極側の界面は陽極として機能する。   The intermediate electrode layers (13a, 15a) can be formed by either a wet method such as a coating method or a dry method such as a vacuum deposition method. Here, the formation method of the intermediate electrode layer can be appropriately selected depending on the molecular weight of the organic conductor which is a constituent material of the intermediate conductive layer. Specifically, if the molecular weight is several thousand or less, the film can be formed by a vacuum evaporation method, and if the molecular weight is higher than 10,000, the film can be formed by a coating method. In the intermediate electrode layer to be formed, the interface on the anode side functions as a cathode, and the interface on the cathode side functions as an anode.

保護層18は、CVD法等の公知の方法により形成することができる。   The protective layer 18 can be formed by a known method such as a CVD method.

図2は、本発明の有機発光装置における第二の実施形態を示す断面図である。尚、以下の説明において、第一の実施形態と同じ事項については説明を省略することがある。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the organic light emitting device of the present invention. In the following description, descriptions of the same matters as in the first embodiment may be omitted.

図2の有機発光装置2は、基板10上に、下部電極層11と、第1有機化合物層12と、第1中間電極層13bと、第2有機化合物層14と、第2中間電極層15bと、第3有機化合物層16と、上部電極層17と、よりなる積層体が形成されている。そして基板10上に形成される積層体の上面及び側面を覆うように保護層18が形成されている。図2の有機発光素子2は、下部電極層11と第1中間電極層13bとの間、第1中間電極層13bと第2中間電極層15bとの間、第2中間電極層15bと上部電極層17との間、のいずれかに電圧を印加する。こうすることで、一方の電極から注入されるホールと、もう一方の電極から注入される電子とが、有機化合物層(12,14,16)に含まれる発光層において再結合することにより光を発する。   The organic light emitting device 2 of FIG. 2 includes a lower electrode layer 11, a first organic compound layer 12, a first intermediate electrode layer 13b, a second organic compound layer 14, and a second intermediate electrode layer 15b on a substrate 10. Then, a stacked body including the third organic compound layer 16 and the upper electrode layer 17 is formed. A protective layer 18 is formed so as to cover the upper surface and side surfaces of the laminate formed on the substrate 10. The organic light emitting device 2 in FIG. 2 includes a lower electrode layer 11 and a first intermediate electrode layer 13b, a first intermediate electrode layer 13b and a second intermediate electrode layer 15b, a second intermediate electrode layer 15b and an upper electrode. A voltage is applied to either of the layers 17. By doing so, holes injected from one electrode and electrons injected from the other electrode are recombined in the light-emitting layer included in the organic compound layer (12, 14, 16), so that light is emitted. To emit.

図2の有機発光装置2は、中間電極層の上部電極側の界面の仕事関数と、中間電極層の下部電極側の界面の仕事関数と、がそれぞれ異なっている。具体的には、図2の有機発光装置2を構成する中間電極層(13b,15b)は、層を構成する有機導電体に無機化合物がドーピングされているため、上部電極側界面の仕事関数と、下部電極側界面の仕事関数と、をそれぞれ異なる値になるように調整されている。好ましくは、各界面の仕事関数が陽極又は陰極として望ましい仕事関数となるように調整する。これにより、有機化合物層(12,14,16)を形成する際に、ホール注入層や電子注入層の形成を省略することができる。   In the organic light emitting device 2 of FIG. 2, the work function of the interface on the upper electrode side of the intermediate electrode layer is different from the work function of the interface on the lower electrode side of the intermediate electrode layer. Specifically, the intermediate electrode layers (13b, 15b) constituting the organic light emitting device 2 of FIG. 2 are doped with an inorganic compound in the organic conductor constituting the layers, and therefore, the work function of the upper electrode side interface and The work function of the lower electrode side interface is adjusted to have different values. Preferably, the work function of each interface is adjusted to be a work function desirable as an anode or a cathode. Thereby, when forming an organic compound layer (12, 14, 16), formation of a hole injection layer or an electron injection layer can be omitted.

図2の有機発光装置2において、中間電極層(13b,15b)の両界面の仕事関数を調整する方法として、好ましくは、中間電極層に金属を含ませる方法が挙げられる。この場合、中間電極層(13b,15b)に含まれる有機導電体は、好ましくは、中間電極層に含まれる金属に対して配位結合を形成する有機化合物である。具体的には、バソフェナントロリン(Bphen)、アセン類に窒素を導入した芳香族アミンが挙げられる。また、中間電極層に含まれる金属は、好ましくは、典型金属であり、具体的には、セシウム、リチウム、アルミニウム、銀、金等が挙げられる。   In the organic light emitting device 2 of FIG. 2, a method for adjusting the work function of both interfaces of the intermediate electrode layers (13b, 15b) is preferably a method of including a metal in the intermediate electrode layer. In this case, the organic conductor contained in the intermediate electrode layer (13b, 15b) is preferably an organic compound that forms a coordinate bond with the metal contained in the intermediate electrode layer. Specific examples include bathophenanthroline (Bphen) and aromatic amines in which nitrogen is introduced into acenes. The metal contained in the intermediate electrode layer is preferably a typical metal, and specific examples include cesium, lithium, aluminum, silver, and gold.

図2の有機発光装置2において、中間電極層(13b,15b)の形成方法として、好ましくは、有機導電体と金属とを所定の重量比にて共蒸着する方法が挙げられる。ここで共蒸着により中間電極層となる薄膜を成膜する際は、有機導電体と金属との重量混合比を途中で変更する必要がある。重量混合比を途中で変更すれば、中間電極層の両界面の仕事関数を変えることができる。中間電極層の両界面の仕事関数は、陽極側界面においては5〜5.5の範囲で調整するのが好ましい。一方、陰極界面においては4〜4.5の範囲で調整するのが好ましい。   In the organic light emitting device 2 of FIG. 2, the method for forming the intermediate electrode layers (13b, 15b) is preferably a method in which an organic conductor and a metal are co-evaporated at a predetermined weight ratio. Here, when forming a thin film to be an intermediate electrode layer by co-evaporation, it is necessary to change the weight mixing ratio of the organic conductor and the metal on the way. If the weight mixing ratio is changed halfway, the work functions of both interfaces of the intermediate electrode layer can be changed. The work functions of both interfaces of the intermediate electrode layer are preferably adjusted in the range of 5 to 5.5 at the anode side interface. On the other hand, it is preferable to adjust in the range of 4 to 4.5 at the cathode interface.

[実施例1]
図1に示される有機発光装置1を、以下の方法により作製した。
[Example 1]
The organic light emitting device 1 shown in FIG. 1 was produced by the following method.

支持体であるガラス基板上に、低温ポリシリコンからなるTFT駆動回路を形成し、その上にアクリル樹脂からなる平坦化膜を形成することにより基板10を作製した。   A TFT drive circuit made of low-temperature polysilicon was formed on a glass substrate as a support, and a planarizing film made of acrylic resin was formed on the TFT drive circuit.

次に、基板10上に、スパッタリング法により、銀合金(AgPdCu)を成膜し銀合金膜を形成した。このとき銀合金膜の膜厚を100nmとした。次に、銀合金膜上に、スパッタリング法によりIZOを成膜してIZO膜を形成した。このときIZO膜の膜厚を30nmとした。尚、形成した銀合金膜及びIZO膜は陽極(下部電極層11)として機能する。次に、レーザー加工により不要な電極部分を除去し所定のパターニングを行った。   Next, a silver alloy (AgPdCu) was formed on the substrate 10 by a sputtering method to form a silver alloy film. At this time, the thickness of the silver alloy film was 100 nm. Next, an IZO film was formed on the silver alloy film by sputtering. At this time, the thickness of the IZO film was set to 30 nm. The formed silver alloy film and IZO film function as an anode (lower electrode layer 11). Next, unnecessary electrode portions were removed by laser processing, and predetermined patterning was performed.

次に、陽極上に、真空蒸着法により、第1有機化合物層12を形成した。具体的には、まず陽極上に下記に示される化合物Iを成膜し第1ホール輸送層を形成した。このとき第1ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、ホストである下記に示す化合物IIと、青色発光性化合物である下記に示す化合物IIIとを、重量混合比が80:20となるように共蒸着し第1発光層を形成した。このとき第1発光層の膜厚を35nmとした。次に、第1発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第1電子輸送層を形成した。このとき第1電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第1電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第1電子注入層を形成した。このとき第1電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第1有機化合物層12を形成した。 Next, the first organic compound layer 12 was formed on the anode by vacuum vapor deposition. Specifically, first, a compound I shown below was formed on the anode to form a first hole transport layer. At this time, the thickness of the first hole transport layer was set to 50 nm. Next, a compound II shown below as a host and a compound III shown below as a blue light emitting compound were co-deposited so that the weight mixing ratio was 80:20, thereby forming a first light emitting layer. At this time, the thickness of the first light emitting layer was set to 35 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the first light emitting layer to form a first electron transporting layer. At this time, the thickness of the first electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-deposited on the first electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10 to form a first electron injection layer. At this time, the thickness of the first electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the first organic compound layer 12 was formed.

Figure 2010033984
Figure 2010033984

次に、第1電子注入層上に、蒸着により、チオフェンとキノキサリンとの交互共重合体(n=5)を成膜し第1中間電極層13aを形成した。このとき第1中間電極層13aの膜厚を800nmとした。   Next, an alternating copolymer (n = 5) of thiophene and quinoxaline was formed on the first electron injection layer by vapor deposition to form a first intermediate electrode layer 13a. At this time, the thickness of the first intermediate electrode layer 13a was set to 800 nm.

次に、第1中間電極層13a上に、真空蒸着法により、第2有機化合物層14を形成した。具体的には、まず第1中間電極層13a上に化合物Iを成膜し第2ホール輸送層を形成した。このとき第2ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、ホストであるアルミキノリノールと、緑色発光性化合物であるクマリンとを、重量混合比が99:1となるように共蒸着し第2発光層を形成した。このとき第2発光層の膜厚を40nmとした。次に、第2発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第2電子輸送層を形成した。このとき第2電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第2電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第2電子注入層を形成した。このとき第2電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第2有機化合物層14を形成した。 Next, the second organic compound layer 14 was formed on the first intermediate electrode layer 13a by vacuum deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the first intermediate electrode layer 13a to form a second hole transport layer. At this time, the thickness of the second hole transport layer was set to 50 nm. Next, aluminum quinolinol as a host and coumarin as a green light emitting compound were co-deposited so that the weight mixing ratio was 99: 1 to form a second light emitting layer. At this time, the thickness of the second light emitting layer was set to 40 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the second light emitting layer to form a second electron transport layer. At this time, the thickness of the second electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-deposited on the second electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10, thereby forming a second electron injection layer. At this time, the thickness of the second electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the second organic compound layer 14 was formed.

次に、第2電子注入層上に、蒸着により、チオフェンとキノキサリンとの交互共重合体(n=5)を成膜し第2中間電極層15aを形成した。このとき第2中間電極層15aの膜厚を1000nmとした。   Next, an alternating copolymer (n = 5) of thiophene and quinoxaline was formed on the second electron injection layer by vapor deposition to form a second intermediate electrode layer 15a. At this time, the film thickness of the second intermediate electrode layer 15a was set to 1000 nm.

次に、第2中間電極層15a上に、真空蒸着法により、第3有機化合物層16を形成した。具体的には、まず第2中間電極層15a上に化合物Iを成膜し第3ホール輸送層を形成した。このとき第3ホール輸送層の膜厚を100nmとした。次に、ホストであるアルミキノリノールと、赤色発光性化合物であるDCM[4−(dicyanomethylene)−2−methyl−6(p−dimethylaminostyryl)−4H−pyran]とを、共蒸着して第3発光層を形成した。このときアルミキノリノールとDCMとの重量混合比を99:1となるようにし、第3発光層の膜厚を30nmとした。次に、第3発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第3電子輸送層を形成した。このとき第3電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第3電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第3電子注入層を形成した。このとき第3電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第3有機化合物層16を形成した。 Next, the third organic compound layer 16 was formed on the second intermediate electrode layer 15a by vacuum vapor deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the second intermediate electrode layer 15a to form a third hole transport layer. At this time, the film thickness of the third hole transport layer was 100 nm. Next, aluminum quinolinol as a host and DCM [4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6 (p-dimethylaminostyryl) -4H-pyran] as a red light emitting compound are co-evaporated to form a third light emitting layer. Formed. At this time, the weight mixing ratio of aluminum quinolinol and DCM was 99: 1, and the thickness of the third light emitting layer was 30 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the third light emitting layer to form a third electron transporting layer. At this time, the thickness of the third electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-deposited on the third electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10, thereby forming a third electron injection layer. At this time, the thickness of the third electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the third organic compound layer 16 was formed.

次に、第3有機化合物層16上に、スパッタ法により、Agを成膜し上部電極層17を形成した。このとき上部電極層17の膜厚を10nmとした。次に、CVD法により、窒化酸化シリコンを上部電極層17上及び下部電極層11から上部電極層17まで形成されている積層体の側面を覆うように成膜し保護層18を形成した。このとき保護層18の膜厚を1000nmとした。以上により有機発光装置を得た。   Next, Ag was deposited on the third organic compound layer 16 by sputtering to form the upper electrode layer 17. At this time, the film thickness of the upper electrode layer 17 was 10 nm. Next, a protective layer 18 was formed by CVD using silicon nitride oxide so as to cover the upper electrode layer 17 and the side surface of the stacked body formed from the lower electrode layer 11 to the upper electrode layer 17. At this time, the thickness of the protective layer 18 was set to 1000 nm. Thus, an organic light emitting device was obtained.

得られた有機発光装置について、以下の評価を行った。   The following evaluation was performed about the obtained organic light-emitting device.

(1)初期評価
初期評価として、12Vの電圧を印加したときに点灯するかどうかを確認した。
(1) Initial evaluation As an initial evaluation, it was confirmed whether or not the lamp was lit when a voltage of 12 V was applied.

(2)耐久試験
上記初期評価を行った後、下記に示す耐久試験を行った。即ち、有機発光装置を下記(i)〜(iii)の環境下に順次さらした。
(i)−30℃(30分)
(ii)室温(5分)
(iii)80℃(30分)
上記(i)〜(iii)を1サイクルとし、これを100サイクル行った後、密着性の確認としてひねり試験を行った。
(2) Durability test After the initial evaluation, the following durability test was performed. That is, the organic light emitting device was sequentially exposed to the following environments (i) to (iii).
(I) -30 ° C (30 minutes)
(Ii) Room temperature (5 minutes)
(Iii) 80 ° C. (30 minutes)
The above (i) to (iii) were defined as one cycle, and after 100 cycles were performed, a twist test was performed as confirmation of adhesion.

具体的には、14.9mm径のプッシュブルゲージで49Nの力で有機発光装置を押圧してから5秒間押圧状態を保持した後、光学顕微鏡により有機発光装置の状態を観察した。観察の結果、有機発光装置に歪みや剥れは見られず、各層間の密着性が確認された。   Specifically, after pressing the organic light emitting device with a force of 49 N with a 14.9 mm diameter push-bull gauge, the pressed state was maintained for 5 seconds, and then the state of the organic light emitting device was observed with an optical microscope. As a result of observation, distortion and peeling were not seen in the organic light emitting device, and adhesion between each layer was confirmed.

(3)線膨張係数の評価
また、各有機化合物層(12,14,16)、及び各中間電極層(13a,15a)に相当する薄膜を個別に成膜し各層の線膨張係数を評価した。具体的には、各層に相当する薄膜について干渉計を用いて線膨張係数を計測した。その結果、各層について線膨張係数が300〜700×10-7cm/cm・℃の範囲内にあることがわかった。このため中間電極層の線膨張係数が有機化合物層と大きく変わらないことがわかった。
(3) Evaluation of linear expansion coefficient Thin films corresponding to each organic compound layer (12, 14, 16) and each intermediate electrode layer (13a, 15a) were individually formed, and the linear expansion coefficient of each layer was evaluated. . Specifically, the linear expansion coefficient was measured for the thin film corresponding to each layer using an interferometer. As a result, it was found that the linear expansion coefficient of each layer was in the range of 300 to 700 × 10 −7 cm / cm · ° C. For this reason, it was found that the linear expansion coefficient of the intermediate electrode layer was not significantly different from that of the organic compound layer.

[実施例2]
図2に示される有機発光装置2を、以下の方法により作製した。
[Example 2]
The organic light emitting device 2 shown in FIG. 2 was produced by the following method.

支持体であるガラス基板上に、低温ポリシリコンからなるTFT駆動回路を形成し、その上にアクリル樹脂からなる平坦化膜を形成することにより基板10を作製した。   A TFT drive circuit made of low-temperature polysilicon was formed on a glass substrate as a support, and a planarizing film made of acrylic resin was formed on the TFT drive circuit.

次に、基板10上に、スパッタリング法により、銀合金(AgPdCu)を成膜し銀合金膜を形成した。このとき銀合金膜の膜厚を100nmとした。次に、銀合金膜上に、スパッタリング法によりIZOを成膜してIZO膜を形成した。このときIZO膜の膜厚を30nmとした。尚、形成した銀合金膜及びIZO膜は陽極(下部電極層11)として機能する。次に、レーザー加工により不要な電極部分を除去し所定のパターニングを行った。   Next, a silver alloy (AgPdCu) was formed on the substrate 10 by a sputtering method to form a silver alloy film. At this time, the thickness of the silver alloy film was 100 nm. Next, an IZO film was formed on the silver alloy film by sputtering. At this time, the thickness of the IZO film was set to 30 nm. The formed silver alloy film and IZO film function as an anode (lower electrode layer 11). Next, unnecessary electrode portions were removed by laser processing, and predetermined patterning was performed.

次に、下部電極層11上に、真空蒸着法により、第1有機化合物層を形成した。具体的には、まず下部電極層11上に、化合物Iを成膜し第1ホール輸送層を形成した。このとき第1ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、第1ホール輸送層上に、ホストである化合物IIと青色発光性化合物である化合物IIIとを、重量混合比が80:20となるように共蒸着して第1発光層を形成した。このとき第1発光層の膜厚を35nmとした。以上により第1有機化合物層12を形成した。   Next, a first organic compound layer was formed on the lower electrode layer 11 by vacuum vapor deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the lower electrode layer 11 to form a first hole transport layer. At this time, the thickness of the first hole transport layer was set to 50 nm. Next, on the first hole transport layer, the compound II as a host and the compound III as a blue light-emitting compound were co-evaporated so as to have a weight mixing ratio of 80:20 to form a first light-emitting layer. . At this time, the thickness of the first light emitting layer was set to 35 nm. Thus, the first organic compound layer 12 was formed.

次に、第1発光層上に、真空蒸着法により、BphenとCs2CO3とを重量混合比が90:10となるように共蒸着して第1電極層を形成した。このとき第1電極層の膜厚を100nmとした。次に、第1電極層上に、真空蒸着法により、BphenとCs2CO3とを重量混合比が98:2となるように共蒸着して第2電極層を形成した。このとき第2電極層の膜厚を100nmとした。尚、第1電極層及び第2電極層は第1中間電極層13bとして機能する。また第1電極層と第1発光層との間の界面の仕事関数は4.5であり、第2電極層と後述する第2ホール輸送層との間の界面の仕事関数は5.5である。さらに第1電極層は陰極として機能し、第2電極層は陽極として機能する。 Next, a first electrode layer was formed by co-evaporating Bphen and Cs 2 CO 3 on the first light emitting layer by a vacuum deposition method so that the weight mixing ratio was 90:10. At this time, the thickness of the first electrode layer was 100 nm. Next, a second electrode layer was formed on the first electrode layer by co-evaporation of Bphen and Cs 2 CO 3 so as to have a weight mixing ratio of 98: 2 by vacuum deposition. At this time, the thickness of the second electrode layer was set to 100 nm. The first electrode layer and the second electrode layer function as the first intermediate electrode layer 13b. The work function of the interface between the first electrode layer and the first light emitting layer is 4.5, and the work function of the interface between the second electrode layer and the second hole transport layer described later is 5.5. is there. Furthermore, the first electrode layer functions as a cathode, and the second electrode layer functions as an anode.

次に、第1中間電極層13b上に、真空蒸着法により、第2有機化合物層を形成した。具体的には、まず第1中間電極層13b上に、化合物Iを成膜し第2ホール輸送層を形成した。このとき第2ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、第2ホール輸送層上に、ホストであるアルミキノリノールと緑色発光性化合物であるクマリンとを、重量混合比が99:1となるように共蒸着して第2発光層を形成した。このとき第2発光層の膜厚を40nmとした。以上により第2有機化合物層14を形成した。   Next, a second organic compound layer was formed on the first intermediate electrode layer 13b by vacuum deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the first intermediate electrode layer 13b to form a second hole transport layer. At this time, the thickness of the second hole transport layer was set to 50 nm. Next, on the second hole transport layer, aluminum quinolinol as a host and coumarin as a green light emitting compound were co-deposited so that the weight mixing ratio was 99: 1 to form a second light emitting layer. At this time, the thickness of the second light emitting layer was set to 40 nm. Thus, the second organic compound layer 14 was formed.

次に、第2発光層上に、真空蒸着法により、BphenとCs2CO3とを重量混合比が90:10となるように共蒸着して第3電極層を形成した。このとき第3電極層の膜厚を100nmとした。次に、第3電極層上に、真空蒸着法により、BphenとCs2CO3とを重量混合比が98:2となるように共蒸着して第4電極層を形成した。このとき第4電極層の膜厚を100nmとした。尚、第3電極層及び第4電極層は第2中間電極層15bとして機能する。また第3電極層と第2発光層との間の界面の仕事関数は4.5であり、第4電極層と後述する第3ホール輸送層との間の界面の仕事関数は5.5である。さらに第3電極層は陰極として機能し、第4電極層は陽極として機能する。 Next, a third electrode layer was formed on the second light emitting layer by co-evaporation of Bphen and Cs 2 CO 3 so as to have a weight mixing ratio of 90:10 by vacuum deposition. At this time, the thickness of the third electrode layer was 100 nm. Next, a fourth electrode layer was formed by co-evaporating Bphen and Cs 2 CO 3 on the third electrode layer by a vacuum deposition method so that the weight mixing ratio was 98: 2. At this time, the thickness of the fourth electrode layer was 100 nm. The third electrode layer and the fourth electrode layer function as the second intermediate electrode layer 15b. The work function of the interface between the third electrode layer and the second light emitting layer is 4.5, and the work function of the interface between the fourth electrode layer and a third hole transport layer described later is 5.5. is there. Furthermore, the third electrode layer functions as a cathode, and the fourth electrode layer functions as an anode.

次に、第2中間電極層15b上に、真空蒸着法により、第3有機化合物層を形成した。具体的には、まず第2中間電極層15b上に、化合物Iを成膜し第3ホール輸送層を形成した。このとき第3ホール輸送層の膜厚を100nmとした。次に、第3ホール輸送層上に、ホストであるアルミキノリノールと赤色発光性化合物であるDCMとを、重量混合比が99:1となるように共蒸着して第3発光層を形成した。このとき第3発光層の膜厚を30nmとした。次に、第3発光層上に、真空蒸着法により、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し電子輸送層を形成した。このとき電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、電子輸送層上に、真空蒸着法により、BphenとCs2CO3とを重量混合比が90:10となるように共蒸着して電子注入層を形成した。このとき電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第3有機化合物層16を形成した。 Next, a third organic compound layer was formed on the second intermediate electrode layer 15b by vacuum deposition. Specifically, first, a compound I was formed on the second intermediate electrode layer 15b to form a third hole transport layer. At this time, the film thickness of the third hole transport layer was 100 nm. Next, on the third hole transporting layer, aluminum quinolinol as a host and DCM as a red light emitting compound were co-evaporated so that the weight mixing ratio was 99: 1 to form a third light emitting layer. At this time, the thickness of the third light emitting layer was set to 30 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the third light-emitting layer by a vacuum deposition method to form an electron transport layer. At this time, the thickness of the electron transport layer was 20 nm. Next, an electron injection layer was formed by co-evaporating Bphen and Cs 2 CO 3 on the electron transport layer by a vacuum deposition method so that the weight mixing ratio was 90:10. At this time, the thickness of the electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the third organic compound layer 16 was formed.

次に、電子注入層上に、スパッタ法により、Agを成膜して上部電極17を形成した。このとき上部電極層17の膜厚を10nmとした。次に、CVD法により、窒化酸化シリコンを上部電極層17上及び下部電極層11から上部電極層17まで形成されている積層体の側面を覆うように成膜し保護層18を形成した。このとき保護層18の膜厚を1000nmとした。以上により有機発光装置を得た。   Next, Ag was deposited on the electron injection layer by sputtering to form the upper electrode 17. At this time, the film thickness of the upper electrode layer 17 was 10 nm. Next, a protective layer 18 was formed by depositing silicon nitride oxide over the upper electrode layer 17 and the side surface of the stacked body formed from the lower electrode layer 11 to the upper electrode layer 17 by CVD. At this time, the thickness of the protective layer 18 was set to 1000 nm. Thus, an organic light emitting device was obtained.

得られた有機発光装置について、実施例1と同様の方法で評価した。その結果、耐久試験において、有機発光装置に歪みや剥れは見られず、層間の密着性が確認された。また各層の線膨張係数は300〜700×10-7cm/cm・℃の範囲内にあるため、中間電極層の線膨張係数が有機化合物層と大きく変わらないことがわかった。 The obtained organic light emitting device was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, in the durability test, no distortion or peeling was observed in the organic light-emitting device, and adhesion between layers was confirmed. Moreover, since the linear expansion coefficient of each layer was in the range of 300 to 700 × 10 −7 cm / cm · ° C., it was found that the linear expansion coefficient of the intermediate electrode layer was not significantly different from that of the organic compound layer.

[比較例1]
図3で示される有機発光装置3を、以下に示す方法で作製した。
[Comparative Example 1]
The organic light emitting device 3 shown in FIG. 3 was produced by the following method.

支持体であるガラス基板上に、低温ポリシリコンからなるTFT駆動回路を形成し、その上にアクリル樹脂からなる平坦化膜を形成することにより基板10を作製した。   A TFT drive circuit made of low-temperature polysilicon was formed on a glass substrate as a support, and a planarizing film made of acrylic resin was formed on the TFT drive circuit.

次に、基板10上に、スパッタリング法により、銀合金(AgPdCu)を成膜し銀合金膜を形成した。このとき銀合金膜の膜厚を100nmとした。次に、銀合金膜上に、スパッタリング法によりIZOを成膜してIZO膜を形成した。このときIZO膜の膜厚を30nmとした。尚、形成した銀合金膜及びIZO膜は陽極(下部電極層11)として機能する。次に、レーザー加工により不要な電極部分を除去し所定のパターニングを行った。   Next, a silver alloy (AgPdCu) was formed on the substrate 10 by a sputtering method to form a silver alloy film. At this time, the thickness of the silver alloy film was 100 nm. Next, an IZO film was formed on the silver alloy film by sputtering. At this time, the thickness of the IZO film was set to 30 nm. The formed silver alloy film and IZO film function as an anode (lower electrode layer 11). Next, unnecessary electrode portions were removed by laser processing, and predetermined patterning was performed.

次に、陽極上に、真空蒸着法により、第1有機化合物層12を形成した。具体的には、まず陽極上に下記に示される化合物Iを成膜し第1ホール輸送層を形成した。このとき第1ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、ホストである下記に示す化合物IIと、青色発光性化合物である化合物IIIとを、重量混合比が80:20となるように共蒸着し第1発光層を形成した。このとき第1発光層の膜厚を35nmとした。次に、第1発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第1電子輸送層を形成した。このとき第1電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第1電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第1電子注入層を形成した。このとき第1電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第1有機化合物層12を形成した。 Next, the first organic compound layer 12 was formed on the anode by vacuum vapor deposition. Specifically, first, a compound I shown below was formed on the anode to form a first hole transport layer. At this time, the thickness of the first hole transport layer was set to 50 nm. Next, the following compound II, which is a host, and compound III, which is a blue light-emitting compound, were co-deposited so that the weight mixing ratio was 80:20, thereby forming a first light-emitting layer. At this time, the thickness of the first light emitting layer was set to 35 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the first light emitting layer to form a first electron transporting layer. At this time, the thickness of the first electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-deposited on the first electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10 to form a first electron injection layer. At this time, the thickness of the first electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the first organic compound layer 12 was formed.

次に、第1電子注入層上に、スパッタ法により、IZOを成膜し第1中間電極層13cを形成した。このとき第1中間電極層13cの膜厚を70nmとした。   Next, an IZO film was formed on the first electron injection layer by sputtering to form a first intermediate electrode layer 13c. At this time, the thickness of the first intermediate electrode layer 13c was set to 70 nm.

次に、第1中間電極層13c上に、真空蒸着法により、第2有機化合物層14を形成した。具体的には、まず第1中間電極層13c上に化合物Iを成膜し第2ホール輸送層を形成した。このとき第2ホール輸送層の膜厚を50nmとした。次に、ホストであるアルミキノリノールと、緑色発光性化合物であるクマリンとを、重量混合比が99:1となるように共蒸着し第2発光層を形成した。このとき第2発光層の膜厚を40nmとした。次に、第2発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第2電子輸送層を形成した。このとき第2電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第2電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第2電子注入層を形成した。このとき第2電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第2有機化合物層14を形成した。 Next, the second organic compound layer 14 was formed on the first intermediate electrode layer 13c by vacuum deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the first intermediate electrode layer 13c to form a second hole transport layer. At this time, the thickness of the second hole transport layer was set to 50 nm. Next, aluminum quinolinol as a host and coumarin as a green light emitting compound were co-deposited so that the weight mixing ratio was 99: 1 to form a second light emitting layer. At this time, the thickness of the second light emitting layer was set to 40 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the second light emitting layer to form a second electron transport layer. At this time, the thickness of the second electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-evaporated on the second electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10, thereby forming a second electron injection layer. At this time, the thickness of the second electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the second organic compound layer 14 was formed.

次に、第2電子注入層上に、スパッタ法により、IZOを成膜し第2中間電極層15cを形成した。このとき第2中間電極層15cの膜厚を70nmとした。   Next, an IZO film was formed on the second electron injection layer by sputtering to form a second intermediate electrode layer 15c. At this time, the thickness of the second intermediate electrode layer 15c was set to 70 nm.

次に、第2中間電極層15c上に、真空蒸着法により、第3有機化合物層16を形成した。具体的には、まず第2中間電極層15c上に化合物Iを成膜し第3ホール輸送層を形成した。このとき第3ホール輸送層の膜厚を100nmとした。次に、ホストであるアルミキノリノールと、赤色発光性化合物であるDCMとを、重量混合比が99:1となるように共蒸着して第3発光層を形成した。このとき第3発光層の膜厚を30nmとした。次に、第3発光層上に、バソフェナントロリン(Bphen)を成膜し第3電子輸送層を形成した。このとき第3電子輸送層の膜厚を20nmとした。次に、第3電子輸送層上に、BphenとCs2CO3とを、重量混合比が90:10となるように共蒸着して第3電子注入層を形成した。このとき第3電子注入層の膜厚を20nmとした。以上により第3有機化合物層16を形成した。 Next, the third organic compound layer 16 was formed on the second intermediate electrode layer 15c by vacuum deposition. Specifically, first, Compound I was deposited on the second intermediate electrode layer 15c to form a third hole transport layer. At this time, the film thickness of the third hole transport layer was 100 nm. Next, aluminum quinolinol as a host and DCM as a red light emitting compound were co-evaporated so that the weight mixing ratio was 99: 1 to form a third light emitting layer. At this time, the thickness of the third light emitting layer was set to 30 nm. Next, bathophenanthroline (Bphen) was formed on the third light emitting layer to form a third electron transporting layer. At this time, the thickness of the third electron transport layer was set to 20 nm. Next, Bphen and Cs 2 CO 3 were co-deposited on the third electron transport layer so that the weight mixing ratio was 90:10, thereby forming a third electron injection layer. At this time, the thickness of the third electron injection layer was set to 20 nm. Thus, the third organic compound layer 16 was formed.

次に、第3有機化合物層16上に、スパッタ法により、Agを成膜し上部電極層17を形成した。このとき上部電極層17の膜厚を10nmとした。次に、CVD法により、窒化酸化シリコンを上部電極層17上及び下部電極層11から上部電極層17まで形成されている積層体の側面を覆うように成膜し保護層18を形成した。このとき保護層18の膜厚を1000nmとした。以上により有機発光装置を得た。   Next, Ag was deposited on the third organic compound layer 16 by sputtering to form the upper electrode layer 17. At this time, the film thickness of the upper electrode layer 17 was 10 nm. Next, a protective layer 18 was formed by CVD using silicon nitride oxide so as to cover the upper electrode layer 17 and the side surface of the stacked body formed from the lower electrode layer 11 to the upper electrode layer 17. At this time, the thickness of the protective layer 18 was set to 1000 nm. Thus, an organic light emitting device was obtained.

得られた有機発光装置について、実施例1と同様の方法で評価した。その結果、耐久試験において、有機化合物層と中間電極層との間に剥れ箇所が数箇所発見された。また各層の線膨張係数は、各有機化合物層が300〜700×10-7cm/cm・℃の範囲内にあるのに対して、中間電極層(IZO電極層)が40〜50×10-7cm/cm・℃であることがわかった。この結果、有機化合物層に対して線膨張係数が一桁違う中間電極層が形成されていることがわかった。 The obtained organic light emitting device was evaluated in the same manner as in Example 1. As a result, several peeling points were found between the organic compound layer and the intermediate electrode layer in the durability test. The linear expansion coefficient of each layer is such that each organic compound layer is in the range of 300 to 700 × 10 −7 cm / cm · ° C., whereas the intermediate electrode layer (IZO electrode layer) is 40 to 50 × 10 It was found to be 7 cm / cm · ° C. As a result, it was found that an intermediate electrode layer having a linear expansion coefficient different by one digit from that of the organic compound layer was formed.

本発明の有機発光装置における第一の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 1st embodiment in the organic light-emitting device of this invention. 本発明の有機発光装置における第二の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd embodiment in the organic light-emitting device of this invention. 比較例1で作製した有機発光装置を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing an organic light emitting device manufactured in Comparative Example 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1,2,3 有機発光装置
10 基板
11 下部電極層(陽極)
12 第1有機化合物層
13a,13b,13c 第1中間電極層
14 第2有機化合物層
15a,15b,15c 第2中間電極層
16 第3有機化合物層
17 上部電極層
18 保護層
1, 2, 3 Organic light emitting device 10 Substrate 11 Lower electrode layer (anode)
12 1st organic compound layer 13a, 13b, 13c 1st intermediate electrode layer 14 2nd organic compound layer 15a, 15b, 15c 2nd intermediate electrode layer 16 3rd organic compound layer 17 Upper electrode layer 18 Protective layer

Claims (3)

下部電極層と上部電極層と、
該下部電極層と該上部電極層とに挟持され少なくとも第1有機化合物層と、中間電極層と、第2有機化合物層と、よりなる積層体と、から構成され、
該第1有機化合物層が少なくとも第1発光層を含み、
該中間電極層が有機導電体を含み、
該第2有機化合物層が少なくとも第2発光層を含むことを特徴とする、有機発光装置。
A lower electrode layer and an upper electrode layer;
A laminate comprising at least a first organic compound layer, an intermediate electrode layer, and a second organic compound layer sandwiched between the lower electrode layer and the upper electrode layer,
The first organic compound layer includes at least a first light-emitting layer;
The intermediate electrode layer comprises an organic conductor;
The organic light emitting device, wherein the second organic compound layer includes at least a second light emitting layer.
前記中間電極層の上部電極側の界面の仕事関数と、前記中間電極層の下部電極側の界面の仕事関数と、がそれぞれ異なることを特徴とする、請求項1に記載の有機発光装置。   2. The organic light emitting device according to claim 1, wherein a work function of an interface on the upper electrode side of the intermediate electrode layer is different from a work function of an interface on the lower electrode side of the intermediate electrode layer. 前記中間電極層がさらに金属を含むことを特徴とする、請求項1又は2に記載の有機発光装置。   The organic light emitting device according to claim 1, wherein the intermediate electrode layer further contains a metal.
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