JP2010031162A - Siloxane resin composition and hardened film using the same - Google Patents

Siloxane resin composition and hardened film using the same Download PDF

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<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a siloxane resin composition which provides a hardened film having a high hardness and being excellent in abrasion resistance by UV hardening and thermal hardening as well as having high crack resistance. <P>SOLUTION: A siloxane resin composition comprises: (A) a polysiloxane having a phenyl group; (B) a photo-radical polymerization initiator; and (C) at least one radical polymeric monomer selected from the group consisting of tripentaerithritol poly(meth)acrylate, tertrapentaerythritol poly(meth)acrylate, and pentapentaerythritol poly(meth)acrylate. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、シロキサン樹脂組成物とそれを用いた硬化膜に関する。   The present invention relates to a siloxane resin composition and a cured film using the same.

現在、ハードコート材料の用途は多岐にわたり、例えば、自動車部品、化粧品等の容器、シート、フィルム、光学ディスク、薄型ディスプレイなどの表面硬度向上に用いられている。ハードコートに求められる特性としては、硬度、耐擦傷性の他に耐熱性、耐候性、接着性などが挙げられる。ハードコート材料の代表例としては、ラジカル重合型のUV硬化型ハードコートがあり(例えば、非特許文献1参照)、その構成は、重合性基含有オリゴマー、モノマー、光重合開始剤およびその他添加剤である。UV照射によりオリゴマーおよびモノマーがラジカル重合することで架橋し、高硬度な膜を得る。このハードコートは硬化の所要時間が短く生産性が向上するうえに、一般的なラジカル重合機構によるネガ型感光性材料を用いることができ、製造コストが安価になるという利点を持つ。しかし、有機成分が多いため他のハードコートに比べ硬度、耐擦傷性が低く、UV硬化による体積収縮が原因となるクラックが発生するという課題があった。   Currently, hard coat materials are used for various purposes, and are used to improve the surface hardness of, for example, containers for automobile parts, cosmetics, sheets, films, optical disks, thin displays, and the like. Properties required for the hard coat include heat resistance, weather resistance, adhesiveness, etc. in addition to hardness and scratch resistance. A representative example of the hard coat material is a radical polymerization type UV curable hard coat (see, for example, Non-Patent Document 1), and the constitution thereof is a polymerizable group-containing oligomer, monomer, photopolymerization initiator, and other additives. It is. The oligomer and the monomer are radically polymerized by UV irradiation to crosslink and obtain a high hardness film. This hard coat has the advantage that the time required for curing is short and productivity is improved, and a negative photosensitive material with a general radical polymerization mechanism can be used, and the production cost is low. However, since there are many organic components, the hardness and scratch resistance are low compared to other hard coats, and there is a problem that cracks are caused due to volume shrinkage due to UV curing.

タッチパネルはハードコートの主な用途の一つである。現在主流である抵抗膜式のタッチパネルは、フィルム上にセンサーを取り付けるため高温処理ができない。このため、熱硬化を必要としないかあるいは低温硬化で硬化膜を得られる上述のUV硬化型ハードコートが好んで用いられてきた(例えば、特許文献1参照)。一方、近年注目を浴びている静電容量式タッチパネルの場合、表面の傷に弱いことから保護膜には抵抗膜式よりも高い硬度が求められる。静電容量式タッチパネルとして、例えば、高温処理可能なガラスを基板に用い、高硬度な無機系のSiO、SiNxや透明樹脂などで形成された保護膜を有するものが開示されている(例えば、特許文献2参照)。しかし、無機系ハードコートは、SiOやSiNxをCVD(Chmial Vapor Deposition)により形成するか、SOG(Spin On Glass)をコーティング後に300℃近い高温処理を長時間行うことにより形成するため、製造コストが高くなる課題があった。そこで、高硬度なUV硬化型ハードコートが求められている。 Touch panels are one of the main uses of hard coat. The current mainstream resistive film type touch panel cannot be processed at high temperature because the sensor is mounted on the film. For this reason, the above-mentioned UV curable hard coat that does not require thermal curing or can obtain a cured film by low-temperature curing has been favorably used (for example, see Patent Document 1). On the other hand, in the case of a capacitive touch panel that has been attracting attention in recent years, the protective film is required to have a higher hardness than the resistance film type because it is vulnerable to scratches on the surface. As a capacitive touch panel, for example, a touch panel having a protective film formed of high-hardness inorganic SiO 2 , SiNx, transparent resin, or the like using glass that can be processed at high temperature is disclosed (for example, Patent Document 2). However, the inorganic hard coat is formed by forming SiO 2 or SiNx by CVD (Chemical Vapor Deposition) or by performing high-temperature treatment near 300 ° C. for a long time after coating SOG (Spin On Glass). There was a problem that would increase. Therefore, a UV curable hard coat having a high hardness is required.

一方、UV硬化型コーティング組成物としては、(A)金属酸化物コロイドゾル、(B)少なくとも一部に特定の有機官能基を含み、分子量分布が制御されたアルコキシシラン加水分解縮合物、(C)光重合開始剤を含有する組成物が開示されている(例えば、特許文献3参照)。
大原 昇ら著、「プラスチック基材を中心としたハードコート膜における材料設計・塗工技術と硬度の向上」、技術情報協会、2005年4月28日、301ページ 特開2001−330707号公報 特開2007−279819号公報 特開2007−277332号公報
On the other hand, the UV curable coating composition includes (A) a metal oxide colloidal sol, (B) an alkoxysilane hydrolyzed condensate containing a specific organic functional group at least partially and having a controlled molecular weight distribution, (C) A composition containing a photopolymerization initiator is disclosed (for example, see Patent Document 3).
Noboru Ohara, “Material Design / Coating Technology and Improvement of Hardness in Hard Coat Films Focusing on Plastic Substrates”, Technical Information Association, April 28, 2005, p. 301 JP 2001-330707 A JP 2007-279819 A JP 2007-277332 A

本発明は、UV硬化および熱硬化により高硬度で耐擦傷性に優れるとともに、高い耐クラック性を有する硬化膜を与えるシロキサン樹脂組成物を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a siloxane resin composition that provides a cured film having high hardness and excellent scratch resistance and high crack resistance by UV curing and heat curing.

本発明は、(A)フェニル基を有するポリシロキサン、(B)光ラジカル重合開始剤および(C)トリペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートおよびペンタペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のラジカル重合性モノマーを含有することを特徴とするシロキサン樹脂組成物である。   The present invention relates to (A) a polysiloxane having a phenyl group, (B) a photoradical polymerization initiator and (C) tripentaerythritol poly (meth) acrylate, tetrapentaerythritol poly (meth) acrylate and pentapentaerythritol poly (meta). ) A siloxane resin composition comprising at least one radically polymerizable monomer selected from the group consisting of acrylates.

本発明のシロキサン樹脂組成物によれば、硬度が高く、耐擦傷性、耐クラック性に優れる硬化膜を得ることができる。   According to the siloxane resin composition of the present invention, a cured film having high hardness and excellent scratch resistance and crack resistance can be obtained.

以下に本発明について具体的に説明する。   The present invention will be specifically described below.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、(A)フェニル基を有するポリシロキサン、(B)光ラジカル重合開始剤および(C)トリペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートおよびペンタペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のラジカル重合性モノマーを含有する。   The siloxane resin composition of the present invention comprises (A) a polysiloxane having a phenyl group, (B) a photoradical polymerization initiator and (C) tripentaerythritol poly (meth) acrylate, tetrapentaerythritol poly (meth) acrylate and penta It contains at least one radical polymerizable monomer selected from the group consisting of pentaerythritol poly (meth) acrylate.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、(A)フェニル基を有するポリシロキサンを含有する。フェニル基を含有することで硬化膜のクラックの発生を抑制できる。また、アルカリ溶解性が向上することから、パターン加工が必要な用途に於いて現像性(パターン加工性)が向上し、現像後の残さの無い良好なパターンを形成することが可能になる。   The siloxane resin composition of the present invention contains (A) a polysiloxane having a phenyl group. Generation | occurrence | production of the crack of a cured film can be suppressed by containing a phenyl group. Further, since alkali solubility is improved, developability (pattern processability) is improved in applications requiring pattern processing, and it is possible to form a good pattern having no residue after development.

発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンは、フェニル基を有するオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合することにより得られる。フェニル基を有するオルガノシラン化合物の具体例としては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリ(メトキシエトキシ)シラン、フェニルトリアセトキシシラン、フェニルシラントリオール、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジフェニルジ(メトキシエトキシ)シラン、ジフェニルジアセトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ジフェニルシランジオール、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、トリフェニルシラノールなどが挙げられる。これらを2種以上組み合わせて用いてもよいし、他のオルガノシラン化合物と組み合わせて用いてもよい。   The polysiloxane having a phenyl group (A) used in the siloxane resin composition of the invention is obtained by hydrolyzing an organosilane compound containing an organosilane compound having a phenyl group and condensing the hydrolyzate. Specific examples of the organosilane compound having a phenyl group include phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltri (methoxyethoxy) silane, phenyltriacetoxysilane, phenylsilanetriol, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, and diphenyl. Examples include di (methoxyethoxy) silane, diphenyldiacetoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, diphenylsilanediol, triphenylmethoxysilane, triphenylethoxysilane, and triphenylsilanol. Two or more of these may be used in combination, or may be used in combination with other organosilane compounds.

(A)フェニル基を有するポリシロキサン中のフェニル基の含有率は、Si原子1モルに対して0.1モル以上が好ましく、硬化膜の耐クラック性をより向上させることができる。より好ましくは0.2モル以上、さらに好ましくは0.3モル以上である。また、0.8モル以下が好ましく、より好ましくは0.6モル以下である。上記範囲であれば硬度と耐クラック性をより高いレベルで両立する硬化膜が得られる。フェニル基の含有率は、例えば、ポリシロキサンの29Si−核磁気共鳴スペクトルを測定し、そのフェニル基が結合したSiのピーク面積とフェニル基が結合していないSiのピーク面積の比から求めることができる。また、Siとフェニル基が直接結合していない場合、H−核磁気共鳴スペクトルよりフェニル基由来のピークとシラノールを除くその他のピークとの積分比からポリシロキサン全体のフェニル基含有量を算出し、前述の29Si−核磁気共鳴スペクトルの結果と合わせて間接的に結合しているフェニル基の含有量を算出する。 (A) As for the content rate of the phenyl group in the polysiloxane which has a phenyl group, 0.1 mol or more is preferable with respect to 1 mol of Si atoms, and the crack resistance of a cured film can be improved more. More preferably, it is 0.2 mol or more, More preferably, it is 0.3 mol or more. Moreover, 0.8 mol or less is preferable, More preferably, it is 0.6 mol or less. If it is the said range, the cured film which can make hardness and crack resistance compatible at a higher level will be obtained. The phenyl group content is determined, for example, by measuring the 29 Si-nuclear magnetic resonance spectrum of polysiloxane and determining the ratio of the peak area of Si bonded to the phenyl group and the peak area of Si bonded to no phenyl group. Can do. Moreover, when Si and a phenyl group are not directly bonded, the phenyl group content of the whole polysiloxane is calculated from the integration ratio of the peak derived from the phenyl group and other peaks excluding silanol from 1 H-nuclear magnetic resonance spectrum. Then, the content of the phenyl group indirectly bonded is calculated together with the result of the 29 Si-nuclear magnetic resonance spectrum described above.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンは、ラジカル重合性基を有することが好ましい。ラジカル重合性基を有することにより、後述するラジカル重合性モノマーとの架橋反応が起こり、得られる硬化膜の架橋密度が向上し、硬化膜の硬度をより向上させることができる。また、少ない光照射量で硬化させることができるため、パターン加工を必要とする用途では感度が向上する効果が得られる。ラジカル重合性基の具体例としては、ビニル基、α−メチルビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、スチリル基などの不飽和基が挙げられる。これらのうち、膜中での硬化反応が円滑に進み、感度をより向上させることができることから、アクリロイル基またはメタクリロイル基が好ましい。   The polysiloxane having a phenyl group (A) used in the siloxane resin composition of the present invention preferably has a radical polymerizable group. By having a radical polymerizable group, a crosslinking reaction with a radical polymerizable monomer described later occurs, the crosslinking density of the resulting cured film is improved, and the hardness of the cured film can be further improved. Moreover, since it can harden | cure with little light irradiation amount, the effect which a sensitivity improves in the use which requires pattern processing is acquired. Specific examples of the radical polymerizable group include unsaturated groups such as vinyl group, α-methylvinyl group, acryloyl group, methacryloyl group, and styryl group. Of these, an acryloyl group or a methacryloyl group is preferred because the curing reaction in the film proceeds smoothly and the sensitivity can be further improved.

ラジカル重合性基を有するポリシロキサンは、ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合することにより得られる。本発明における(A)成分のポリシロキサンはフェニル基を有するものであるから、フェニル基を有するオルガノシラン化合物、ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物と、必要により他のオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合することが好ましい。ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジエトキシシラン、スチリルトリメトキシシラン、スチリルトリエトキシシラン、スチリルトリアセトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジエトキシシランなどが挙げられる。これらを2種以上組み合わせて用いてもよい。これらのうち、硬化膜の硬度や、パターン加工時の感度の点で、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリエトキシシランが特に好ましく用いられる。   The polysiloxane having a radical polymerizable group is obtained by hydrolyzing an organosilane compound containing an organosilane compound having a radical polymerizable group and condensing the hydrolyzate. Since the polysiloxane of component (A) in the present invention has a phenyl group, an organosilane compound having a phenyl group, an organosilane compound having a radical polymerizable group, and, if necessary, other organosilane compounds are hydrolyzed. It is preferable to condense the hydrolyzate. Specific examples of the organosilane compound having a radical polymerizable group include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, methylvinyldimethoxysilane, methylvinyldiethoxysilane, and γ-glycidoxypropylvinyldimethoxysilane. Γ-glycidoxypropylvinyldiethoxysilane, styryltrimethoxysilane, styryltriethoxysilane, styryltriacetoxysilane, γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, γ-acryloylpropyltriethoxysilane, γ-methacryloylpropyltrimethoxysilane , Γ-methacryloylpropyltriethoxysilane, γ-methacryloylpropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloylpropylmethyldiethoxysilane, γ-actyl Acryloyloxy propyl methyl dimethoxy silane, such as γ- acryloyl propyl methyl diethoxy silane. Two or more of these may be used in combination. Of these, γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, γ-acryloylpropyltriethoxysilane, γ-methacryloylpropyltrimethoxysilane, and γ-methacryloylpropyltriethoxysilane in terms of hardness of the cured film and sensitivity during pattern processing. Is particularly preferably used.

(A)フェニル基を有するポリシロキサン中のラジカル重合性基の含有量は、Si原子1モルに対して0.01モル以上が好ましく、0.1モル以上がより好ましい。また、0.6モル以下が好ましく、0.4モル以下がより好ましい。上記範囲であれば硬度と耐クラック性をより高いレベルで両立する硬化膜が得られる。   (A) The content of the radical polymerizable group in the polysiloxane having a phenyl group is preferably 0.01 mol or more, more preferably 0.1 mol or more with respect to 1 mol of the Si atom. Moreover, 0.6 mol or less is preferable and 0.4 mol or less is more preferable. If it is the said range, the cured film which can make hardness and crack resistance compatible at a higher level will be obtained.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンが、下記一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合して得られるものであると、シロキサンの架橋密度が向上することから、硬化膜の硬度がより向上するため好ましい。例えば、フェニル基を有するオルガノシラン化合物と下記一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物を加水分解してもよいし、下記一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物がフェニル基を有する場合には、それのみを加水分解してもかまわない。   (A) The polysiloxane having a phenyl group used in the siloxane resin composition of the present invention hydrolyzes an organosilane compound containing an organosilane compound represented by the following general formula (1), and condenses the hydrolyzate. Since the hardness of a cured film improves more since the crosslinking density of siloxane improves, it is preferable that it is obtained. For example, an organosilane compound having a phenyl group and an organosilane compound represented by the following general formula (1) may be hydrolyzed, and the organosilane compound represented by the following general formula (1) has a phenyl group. In some cases, it may be hydrolyzed only.

Figure 2010031162
Figure 2010031162

一般式(1)中、R〜Rはそれぞれ独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアシル基、炭素数6〜15のアリール基またはそれらの置換体を表す。nは2〜8の整数を表すが、分布を有してもよい。複数のRおよびRはそれぞれ同じでも異なっていてもよい。 In general formula (1), R 1 to R 4 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, or a substituted product thereof. Represents. n represents an integer of 2 to 8, but may have a distribution. The plurality of R 2 and R 4 may be the same or different.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基が挙げられる。アシル基の具体例としては、アセチル基が挙げられる。アリール基の具体例としては、フェニル基が挙げられる。   Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, and an n-butyl group. Specific examples of the acyl group include an acetyl group. Specific examples of the aryl group include a phenyl group.

(A)フェニル基を有するポリシロキサンにおける一般式(1)で表されるオルガノシラン残基の含有比は、ポリシロキサン全体のSi原子モル数に対するSi原子モル比で1モル%以上が好ましく、より好ましくは5モル%以上である。また、40モル%以下が好ましい。上記範囲であれば硬度と耐クラック性をより高いレベルで両立する硬化膜が得られる。   (A) The content ratio of the organosilane residue represented by the general formula (1) in the polysiloxane having a phenyl group is preferably 1 mol% or more in terms of the Si atom mole ratio relative to the number of moles of Si atoms in the whole polysiloxane. Preferably it is 5 mol% or more. Moreover, 40 mol% or less is preferable. If it is the said range, the cured film which can make hardness and crack resistance compatible at a higher level will be obtained.

一般式(1)で表されるオルガノシランの具体例としては、メチルシリケート51(扶桑化学工業株式会社製)、Mシリケート51、シリケート40、シリケート45(以上、多摩化学工業株式会社製)、メチルシリケート51、メチルシリケート53A、エチルシリケート40、エチルシリケート48(以上、コルコート株式会社製)などが挙げられる。   Specific examples of the organosilane represented by the general formula (1) include methyl silicate 51 (manufactured by Fuso Chemical Co., Ltd.), M silicate 51, silicate 40, silicate 45 (manufactured by Tama Chemical Co., Ltd.), methyl Examples thereof include silicate 51, methyl silicate 53A, ethyl silicate 40, and ethyl silicate 48 (manufactured by Colcoat Co., Ltd.).

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンが、フェニル基を有するオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を後述する金属化合物粒子存在下で加水分解し、該加水分解物を縮合して得られるものであると、硬化膜の硬度、耐擦傷性、耐クラック性がより向上する。金属化合物粒子存在下でポリシロキサンの重合を行うことで、ポリシロキサンの少なくとも一部に金属化合物粒子との化学的結合(共有結合)が生じ、金属化合物粒子が均一に分散して塗液の保存安定性や硬化膜の均質性が向上するためと考えられる。また、金属化合物粒子の種類により、得られる硬化膜の屈折率を調整することができる。なお、金属化合物粒子としては、後述の(E)金属化合物粒子として例示するものを用いることができる。   (A) The polysiloxane having a phenyl group used in the siloxane resin composition of the present invention hydrolyzes an organosilane compound containing an organosilane compound having a phenyl group in the presence of metal compound particles described later, and the hydrolyzate. If it is obtained by condensing, the hardness, scratch resistance and crack resistance of the cured film are further improved. By polymerizing polysiloxane in the presence of metal compound particles, chemical bonds (covalent bonds) with metal compound particles occur in at least part of the polysiloxane, and the metal compound particles are uniformly dispersed and the coating solution is stored. This is considered to improve stability and homogeneity of the cured film. Moreover, the refractive index of the cured film obtained can be adjusted with the kind of metal compound particle. In addition, as a metal compound particle, what is illustrated as a below-mentioned (E) metal compound particle can be used.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンは、フッ素を有することが好ましい。フッ素を有することにより、硬化膜の耐擦傷性がより向上する。フッ素を有するポリシロキサンは、フッ素を有するオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合することにより得られる。本発明における(A)成分のポリシロキサンはフェニル基を有するものであるから、フェニル基を有するオルガノシラン化合物、フッ素を有するオルガノシラン化合物と、必要により他のオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合することが好ましい。フッ素を有するオルガノシランの具体例としては、トリフルオロメチルトリメトキシシラン、トリフルオロメチルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、パーフルオロプロピルトリメトキシシラン、パーフルオロプロピルトリエトキシシラン、パーフルオロペンチルトリメトキシシラン、パーフルオロペンチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリプロポキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリイソプロポキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルトリエトキシシラン、ビス(トリフルオロメチル)ジメトキシシラン、ビス(トリフルオロプロピル)ジメトキシシラン、ビス(トリフルオロプロピル)ジエトキシシラン、トリフルオロプロピルメチルジメトキシシラン、トリフルオロプロピルメチルジエトキシシラン、トリフルオロプロピルエチルジメトキシシラン、トリフルオロプロピルエチルジエトキシシラン、ヘプタデカフルオロデシルメチルジメトキシシランなどが挙げられる。これらを2種以上組み合わせて用いてもよい。これらのうち、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロオクチルトリエトキシシランが特に好ましく用いられる。   The polysiloxane having a phenyl group (A) used in the siloxane resin composition of the present invention preferably has fluorine. By containing fluorine, the scratch resistance of the cured film is further improved. The polysiloxane having fluorine is obtained by hydrolyzing an organosilane compound containing an organosilane compound having fluorine and condensing the hydrolyzate. Since the polysiloxane of the component (A) in the present invention has a phenyl group, an organosilane compound having a phenyl group, an organosilane compound having fluorine, and another organosilane compound as necessary are hydrolyzed, and It is preferable to condense the decomposition product. Specific examples of the organosilane having fluorine include trifluoromethyltrimethoxysilane, trifluoromethyltriethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane, trifluoropropyltriethoxysilane, perfluoropropyltrimethoxysilane, perfluoropropyltrimethoxysilane. Ethoxysilane, perfluoropentyltrimethoxysilane, perfluoropentyltriethoxysilane, tridecafluorooctyltrimethoxysilane, tridecafluorooctyltriethoxysilane, tridecafluorooctyltripropoxysilane, tridecafluorooctyltriisopropoxysilane, Heptadecafluorodecyltrimethoxysilane, Heptadecafluorodecyltriethoxysilane, Bis (trifluoromethyl) dimeth Sisilane, bis (trifluoropropyl) dimethoxysilane, bis (trifluoropropyl) diethoxysilane, trifluoropropylmethyldimethoxysilane, trifluoropropylmethyldiethoxysilane, trifluoropropylethyldimethoxysilane, trifluoropropylethyldiethoxysilane And heptadecafluorodecylmethyldimethoxysilane. Two or more of these may be used in combination. Of these, trifluoropropyltrimethoxysilane, trifluoropropyltriethoxysilane, tridecafluorooctyltrimethoxysilane, and tridecafluorooctyltriethoxysilane are particularly preferably used.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンは上記以外のオルガノシラン化合物を用いて合成してもよい。用いられるオルガノシラン化合物の具体例としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリ(メトキシエトキシ)シラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−(N,N−ジグリシジル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、β−シアノエチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリ(メトキシエトキシ)シラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリメトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリプロポキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリブトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリフェノキシシラン、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリメトキシシラン、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリエトキシシラン、4−(3,4−エポキシシクロヘキシル)ブチルトリメトキシシラン、4−(3,4−エポキシシクロヘキシル)ブチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、オクタデシルメチルジメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシランなどが挙げられる。これら2種以上を組み合わせて使用してもよい。   The polysiloxane having a phenyl group (A) used in the siloxane resin composition of the present invention may be synthesized using an organosilane compound other than the above. Specific examples of the organosilane compound used include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltri (methoxyethoxy) silane, methyltripropoxysilane, methyltriisopropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyl Triethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, octadecyltriethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxy Silane, 3- (N, N-diglycidyl) aminopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropi Lutriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, β-cyanoethyltriethoxysilane, glycidoxymethyltrimethoxysilane, glycidoxymethyltriethoxysilane, α-glycidoxyethyl Trimethoxysilane, α-glycidoxyethyltriethoxysilane, β-glycidoxyethyltrimethoxysilane, β-glycidoxyethyltriethoxysilane, α-glycidoxypropyltrimethoxysilane, α-glycidoxypropyl Triethoxysilane, β-glycidoxypropyltrimethoxysilane, β-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyl Tripropoxy silane , Γ-glycidoxypropyl triisopropoxy silane, γ-glycidoxypropyl tributoxysilane, γ-glycidoxypropyltri (methoxyethoxy) silane, α-glycidoxybutyltrimethoxysilane, α-glycid Xylbutyltriethoxysilane, β-glycidoxybutyltrimethoxysilane, β-glycidoxybutyltriethoxysilane, γ-glycidoxybutyltrimethoxysilane, γ-glycidoxybutyltriethoxysilane, δ-glycid Xylbutyltrimethoxysilane, δ-glycidoxybutyltriethoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltrimethoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxy) (Cyclohexyl) ethyltripropoxysilane 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltributoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, 2- (3 , 4-epoxycyclohexyl) ethyltriphenoxysilane, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltrimethoxysilane, 3- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltriethoxysilane, 4- (3,4-epoxycyclohexyl) ) Butyltrimethoxysilane, 4- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ- A Nopropylmethyldiethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, glycidoxymethyldimethoxysilane, glycidoxymethylmethyldiethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyldimethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyldiethoxysilane, β-glycidoxyethylmethyldimethoxysilane, β-glycidoxyethylmethyldiethoxysilane, α-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, α-glycidoxypropylmethyldi Ethoxysilane, β-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, β-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypro Rumethyldipropoxysilane, β-glycidoxypropylmethyldibutoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxyethoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldiethoxysilane, 3 -Chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldiethoxysilane, cyclohexylmethyldimethoxysilane, octadecylmethyldimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane and the like. Two or more of these may be used in combination.

本発明のシロキサン樹脂組成物において、(A)フェニル基を有するポリシロキサンの含有量に特に制限はなく、所望の膜厚や用途により任意に選ぶことができるが、シロキサン樹脂組成物全量に対して0.1〜80重量%が一般的である。また、固形分中10重量%以上が好ましい。   In the siloxane resin composition of the present invention, (A) the content of the polysiloxane having a phenyl group is not particularly limited and can be arbitrarily selected depending on the desired film thickness and application, but with respect to the total amount of the siloxane resin composition 0.1 to 80% by weight is common. Moreover, 10 weight% or more in solid content is preferable.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基を有するポリシロキサンの重量平均分子量(Mw)は特に制限されないが、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定されるポリスチレン換算で、好ましくは1,000以上、より好ましくは2,000以上である。また、好ましくは100,000以下、さらに好ましくは50,000以下である。Mwを上記範囲とすることで、良好な塗布特性が得られ、パターン形成をする際の際の現像液への溶解性も良好となる。   The weight average molecular weight (Mw) of the polysiloxane having a phenyl group (A) used in the siloxane resin composition of the present invention is not particularly limited, but preferably in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC). 1,000 or more, more preferably 2,000 or more. Moreover, Preferably it is 100,000 or less, More preferably, it is 50,000 or less. By setting Mw within the above range, good coating characteristics can be obtained, and the solubility in a developer during pattern formation is also good.

本発明のシロキサン樹脂組成物に用いられる(A)フェニル基をポリシロキサンはオルガノシラン化合物を加水分解した後、該加水分解物を溶媒の存在下、あるいは無溶媒で縮合反応させることによって得ることができる。   The (A) phenyl group used in the siloxane resin composition of the present invention can be obtained by polysiloxane hydrolyzing an organosilane compound and then subjecting the hydrolyzate to a condensation reaction in the presence or absence of a solvent. it can.

加水分解反応の各種条件、例えば酸濃度、反応温度、反応時間などは、反応スケール、反応容器の大きさ、形状などを考慮して適宜設定することができるが、例えば、溶媒中、オルガノシラン化合物に酸触媒および水を1〜180分かけて添加した後、室温〜110℃で1〜180分反応させることが好ましい。このような条件で加水分解反応を行うことにより、急激な反応を抑制することができる。反応温度は、より好ましくは30〜105℃である。   Various conditions for the hydrolysis reaction, for example, acid concentration, reaction temperature, reaction time, etc., can be appropriately set in consideration of the reaction scale, reaction vessel size, shape, etc. For example, in a solvent, an organosilane compound After adding an acid catalyst and water over 1 to 180 minutes, the reaction is preferably carried out at room temperature to 110 ° C. for 1 to 180 minutes. By performing the hydrolysis reaction under such conditions, a rapid reaction can be suppressed. The reaction temperature is more preferably 30 to 105 ° C.

加水分解反応は、酸触媒の存在下で行うことが好ましい。酸触媒としては、蟻酸、酢酸またはリン酸を含む酸性水溶液が好ましい。これら酸触媒の好ましい含有量は、加水分解反応時に使用される全オルガノシラン化合物100重量部に対して、好ましくは0.1重量部〜5重量部である。酸触媒の量を上記範囲とすることで、加水分解反応が必要かつ十分に進行するよう容易に制御できる。   The hydrolysis reaction is preferably performed in the presence of an acid catalyst. As the acid catalyst, an acidic aqueous solution containing formic acid, acetic acid or phosphoric acid is preferable. The preferred content of these acid catalysts is preferably 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total organosilane compound used during the hydrolysis reaction. By controlling the amount of the acid catalyst within the above range, it can be easily controlled so that the hydrolysis reaction proceeds as necessary and sufficiently.

オルガノシラン化合物の加水分解反応によりシラノール化合物を得た後、反応液をそのまま50℃以上、溶媒の沸点以下で1〜100時間加熱し、縮合反応を行うことが好ましい。また、ポリシロキサンの重合度を上げるために、再加熱もしくは塩基触媒を添加してもよい。   After obtaining the silanol compound by the hydrolysis reaction of the organosilane compound, it is preferable to carry out the condensation reaction by heating the reaction solution as it is at 50 ° C. or higher and below the boiling point of the solvent for 1 to 100 hours. In order to increase the degree of polymerization of the polysiloxane, reheating or a base catalyst may be added.

オルガノシラン化合物の加水分解反応および該加水分解物の縮合反応に用いられる溶媒は特に限定されず、樹脂組成物の安定性、塗れ性、揮発性などを考慮して適宜選択できる。また、溶媒を2種以上組み合わせてもよいし、無溶媒で反応を行ってもよい。溶媒の具体例としては、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、t−ブタノール、ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−2−ブタノール、3−メチル−3−メトキシ−1−ブタノール、1−t−ブトキシ−2−プロパノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類;エチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコール類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチルエーテルなどのエーテル類;メチルエチルケトン、アセチルアセトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロペンタノン、2−ヘプタノンなどのケトン類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなどのアミド類;エチルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、イソブチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチルなどのアセテート類;トルエン、キシレン、ヘキサン、シクロヘキサンなどの芳香族あるいは脂肪族炭化水素、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシドなどを挙げることができる。硬化膜の透過率、耐クラック性などの点で、ジアセトンアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノt−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、γ−ブチロラクトンなども好ましく用いられる。   The solvent used for the hydrolysis reaction of the organosilane compound and the condensation reaction of the hydrolyzate is not particularly limited, and can be appropriately selected in consideration of the stability, wettability, volatility, etc. of the resin composition. In addition, two or more solvents may be combined, or the reaction may be performed without solvent. Specific examples of the solvent include methanol, ethanol, propanol, isopropanol, butanol, isobutanol, t-butanol, pentanol, 4-methyl-2-pentanol, 3-methyl-2-butanol, 3-methyl-3- Alcohols such as methoxy-1-butanol, 1-t-butoxy-2-propanol, diacetone alcohol; glycols such as ethylene glycol and propylene glycol; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol di Ethers such as chill ether, ethylene glycol dibutyl ether, diethyl ether; ketones such as methyl ethyl ketone, acetylacetone, methyl propyl ketone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, cyclopentanone, 2-heptanone; dimethylformamide, dimethylacetamide Amides such as; ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, methyl lactate, lactic acid Acetates such as ethyl and butyl lactate; toluene, xylene, hexane, cyclohexane, etc. Aromatic or aliphatic hydrocarbons, .gamma.-butyrolactone, N- methyl-2-pyrrolidone, and the like dimethyl sulfoxide. Diacetone alcohol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono t-butyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol in terms of the transmittance and crack resistance of the cured film Monobutyl ether, γ-butyrolactone and the like are also preferably used.

加水分解反応によって溶媒が生成する場合には、無溶媒で加水分解させることも可能である。反応終了後に、さらに溶媒を添加することにより、樹脂組成物として適切な濃度に調整することも好ましい。また、目的に応じて加水分解後に、生成アルコールなどを加熱および/または減圧下にて適量を留出、除去し、その後好適な溶媒を添加してもよい。   When a solvent is produced by the hydrolysis reaction, it can be hydrolyzed without a solvent. It is also preferable to adjust the concentration of the resin composition to an appropriate level by adding a solvent after completion of the reaction. Further, after hydrolysis according to the purpose, an appropriate amount of the produced alcohol may be distilled and removed under heating and / or reduced pressure, and then a suitable solvent may be added.

加水分解反応時に使用する溶媒の量は、全オルガノシラン化合物100重量部に対して80重量部以上、500重量部以下が好ましい。溶媒の量を上記範囲とすることで、加水分解反応が必要かつ十分に進行するよう容易に制御できる。   The amount of the solvent used in the hydrolysis reaction is preferably 80 parts by weight or more and 500 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the total organosilane compound. By making the quantity of a solvent into the said range, it can control easily so that a hydrolysis reaction may progress sufficiently and necessary.

また、加水分解反応に用いる水は、イオン交換水が好ましい。水の量は任意に選択可能であるが、シラン原子1モルに対して、1.0〜4.0モルの範囲で用いることが好ましい。   The water used for the hydrolysis reaction is preferably ion exchange water. The amount of water can be arbitrarily selected, but it is preferably used in the range of 1.0 to 4.0 mol with respect to 1 mol of silane atoms.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、(B)光ラジカル重合開始剤を含有する。(B)光ラジカル重合開始剤は、光(紫外線、電子線を含む)により分解および/または反応し、ラジカルを発生させるものであればどのようなものでもよい。具体例としては、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−(2,4,4−トリメチルペンチル)−フォスフィンオキサイド、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、1−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、2−エチルヘキシル−p−ジメチルアミノベンゾエート、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチル−ジフェニルサルファイド、アルキル化ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−N,N−ジメチル−N−[2−(1−オキソ−2−プロペニルオキシ)エチル]ベンゼンメタナミニウムブロミド、(4−ベンゾイルベンジル)トリメチルアンモニウムクロリド、2−ヒドロキシ−3−(4−ベンゾイルフェノキシ)−N,N,N−トリメチル−1−プロペンアミニウムクロリド一水塩、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2−ヒドロキシ−3−(3,4−ジメチル−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イロキシ)−N,N,N−トリメチル−1−プロパナミニウムクロリド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアンスラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、メチルフェニルグリオキシエステル、η5−シクロペンタジエニル−η6−クメニル−アイアン(1+)−ヘキサフルオロフォスフェイト(1−)、ジフェニルスルフィド誘導体、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、ベンジルメトキシエチルアセタール、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミノアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、ナフタレンスルフォニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N−フェニルチオアクリドン、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイルおよびエオシン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。   The siloxane resin composition of the present invention contains (B) a radical photopolymerization initiator. (B) Any radical photopolymerization initiator may be used as long as it is decomposed and / or reacted by light (including ultraviolet rays and electron beams) to generate radicals. Specific examples include 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholine- 4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine oxide, bis ( 2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl)-(2,4,4-trimethylpentyl) -phosphine oxide, 1-phenyl-1,2-propanedione -2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O-ben) Iloxime)], 1-phenyl-1,2-butadion-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, ethanone, 1- [9-ethyl -6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime), 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, ethyl p-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-p-dimethylaminobenzoate, ethyl p-diethylaminobenzoate, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1- (4-Isopropylphenyl) -2-hydroxy-2- Tylpropan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl-phenylketone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin Isobutyl ether, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, hydroxybenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyl-diphenyl sulfide, alkylated benzophenone, 3,3 ', 4 4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4-benzoyl-N, N-dimethyl-N- [2- (1-oxo-2-propenyloxy) ethyl] benzenemeta Minium bromide, (4-benzoylbenzyl) trimethylammonium chloride, 2-hydroxy-3- (4-benzoylphenoxy) -N, N, N-trimethyl-1-propaminium chloride monohydrate, 2-isopropylthioxanthone, 2 , 4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2-hydroxy-3- (3,4-dimethyl-9-oxo-9H-thioxanthen-2-yloxy) -N, N , N-trimethyl-1-propanaminium chloride, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2-biimidazole, 10-butyl-2- Chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, can Furquinone, methylphenylglyoxyester, η5-cyclopentadienyl-η6-cumenyl-iron (1 +)-hexafluorophosphate (1-), diphenyl sulfide derivative, bis (η5-2,4-cyclopentadiene-1- Yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-benzoyl-4-methylphenylketone, di Benzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, benzylmethoxyethyl Acetal, Anne Laquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzsuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexane, 2 , 6-Bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinolinesulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, carbon tetrabrominated, tribromophenylsulfone, peroxy Examples thereof include a combination of a photoreducible dye such as benzoyl oxide, eosin and methylene blue and a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. Two or more of these may be contained.

これらのうち、硬化膜の硬度をより高くするためには、α−アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、アミノ基を有するベンゾフェノン化合物またはアミノ基を有する安息香酸エステル化合物が好ましい。これらの化合物は、ラジカル重合性基の架橋反応のみならず、光照射および熱硬化の際に塩基または酸としてシロキサンの架橋にも関与し、硬化膜硬度がより向上する。   Among these, in order to further increase the hardness of the cured film, α-aminoalkylphenone compounds, acylphosphine oxide compounds, oxime ester compounds, benzophenone compounds having amino groups, or benzoic acid ester compounds having amino groups are preferable. These compounds are involved not only in the crosslinking reaction of radical polymerizable groups but also in crosslinking of siloxane as a base or acid during light irradiation and thermal curing, and the cured film hardness is further improved.

α−アミノアルキルフェノン化合物の具体例としては、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1などが挙げられる。アシルホスフィンオキサイド化合物の具体例としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−(2,4,4−トリメチルペンチル)−フォスフィンオキサイドなどが挙げられる。オキシムエステル化合物の具体例としては、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、1−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)などが挙げられる。アミノ基を有するベンゾフェノン化合物の具体例としては、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。アミノ基を有する安息香酸エステル化合物の具体例としては、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、2−エチルヘキシル−p−ジメチルアミノベンゾエート、p−ジエチルアミノ安息香酸エチルなどが挙げられる。   Specific examples of the α-aminoalkylphenone compound include 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1 -(4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 and the like. Specific examples of the acylphosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl)-( 2,4,4-trimethylpentyl) -phosphine oxide and the like. Specific examples of the oxime ester compound include 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) -2- (O -Benzoyloxime)], 1-phenyl-1,2-butadion-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, ethanone, 1- [9 -Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime) and the like. Specific examples of the benzophenone compound having an amino group include 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4-bis (diethylamino) benzophenone. Specific examples of the benzoic acid ester compound having an amino group include ethyl p-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-p-dimethylaminobenzoate, ethyl p-diethylaminobenzoate and the like.

(B)光ラジカル重合開始剤の含有量は、シロキサン樹脂組成物の固形分中0.01重量%以上が好ましく、0.1重量%以上がより好ましい。また、20重量%以下が好ましく、10重量%以下がより好ましい。上記範囲とすることで、ラジカル硬化を十分に進めることができ、かつ残留したラジカル重合開始剤の溶出等を防ぎ耐溶剤性を確保することができる。   (B) 0.01 weight% or more is preferable in solid content of a siloxane resin composition, and, as for content of radical photopolymerization initiator, 0.1 weight% or more is more preferable. Moreover, 20 weight% or less is preferable and 10 weight% or less is more preferable. By setting it as the said range, radical hardening can fully be advanced and elution of the residual radical polymerization initiator etc. can be prevented and solvent resistance can be ensured.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、(C)トリペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートおよびペンタペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のラジカル重合性モノマーを含有する。ここで、(メタ)アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートの総称を示す。また、「ポリ(メタ)アクリレート」とは、アクリレート基またはメタクリレート基を合計で7個以上有するものを指し、好ましくは14個以下である。   The siloxane resin composition of the present invention comprises (C) at least one radical polymerization selected from the group consisting of tripentaerythritol poly (meth) acrylate, tetrapentaerythritol poly (meth) acrylate, and pentapentaerythritol poly (meth) acrylate. Contains a functional monomer. Here, (meth) acrylate is a general term for acrylate or methacrylate. Further, “poly (meth) acrylate” refers to those having a total of 7 or more acrylate groups or methacrylate groups, and preferably 14 or less.

前記(C)ラジカル重合性モノマーおよび(A)フェニル基を有するポリシロキサンが、(B)光ラジカル重合開始剤の作用により重合することで、硬度、耐擦傷性の高い硬化膜が得られる。前記(C)ラジカル重合性モノマーは、従来の多官能の(メタ)アクリレートよりも官能基数および分子量が大きいため、一部架橋が進行した化合物と言える。そのため、硬化膜の架橋密度を向上させることができ、得られる硬化膜の硬度、耐擦傷性が向上すると考えられる。また、すでに架橋が進行していることから光照射時の架橋による体積収縮を抑えられ、耐クラック性が向上すると考えられる。さらに、(A)フェニル基を有するポリシロキサンは、熱硬化時の体積収縮が小さく、耐クラック性が向上すると考えられる。よって、(A)、(B)、(C)を組み合わせることにより硬度が高く、耐擦傷性、耐クラック性の良好な硬化膜を得ることができる。   The cured film having high hardness and scratch resistance can be obtained by polymerizing the (C) radical polymerizable monomer and (A) the polysiloxane having a phenyl group by the action of the (B) photo radical polymerization initiator. Since the (C) radical polymerizable monomer has a larger number of functional groups and a higher molecular weight than conventional polyfunctional (meth) acrylates, it can be said to be a compound in which partial crosslinking has proceeded. Therefore, it is considered that the crosslink density of the cured film can be improved, and the hardness and scratch resistance of the obtained cured film are improved. Further, since the crosslinking has already progressed, it is considered that the volume shrinkage due to the crosslinking at the time of light irradiation can be suppressed and the crack resistance is improved. Furthermore, (A) the polysiloxane having a phenyl group is considered to have a small volume shrinkage at the time of thermosetting and to improve crack resistance. Therefore, by combining (A), (B), and (C), a cured film having high hardness and good scratch resistance and crack resistance can be obtained.

前記(C)ラジカル重合性モノマーの含有量は、シロキサン樹脂組成物の固形分中5重量%〜85重量%が好ましく、20重量%〜70重量%がより好ましい。   The content of the (C) radical polymerizable monomer is preferably 5% by weight to 85% by weight and more preferably 20% by weight to 70% by weight in the solid content of the siloxane resin composition.

前記(C)ラジカル重合性モノマーの具体例としては、トリペンタエリスリトールヘプタアクリレート、トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、テトラペンタエリスリトールノナアクリレート、テトラペンタエリスリトールデカアクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカアクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカアクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタメタクリレート、トリペンタエリスリトールオクタメタクリレート、テトラペンタエリスリトールノナメタクリレート、テトラペンタエリスリトールデカメタクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカメタクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカメタクリレートなどが挙げられる。   Specific examples of the (C) radical polymerizable monomer include tripentaerythritol heptaacrylate, tripentaerythritol octaacrylate, tetrapentaerythritol nonaacrylate, tetrapentaerythritol decaacrylate, pentapentaerythritol undecaacrylate, pentapentaerythritol dodecaacrylate. , Tripentaerythritol hepta methacrylate, tripentaerythritol octamethacrylate, tetrapentaerythritol nonamethacrylate, tetrapentaerythritol decamethacrylate, pentapentaerythritol undecamethacrylate, pentapentaerythritol dodecamethacrylate and the like.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、さらにその他のラジカル重合性モノマーを含有してもよい。その他のラジカル重合性モノマーを含有することにより、特にパターン加工を必要とする用途において、現像時の剥がれ、解像度、現像膜減りなど、目的に応じて加工性を向上させることができる。   The siloxane resin composition of the present invention may further contain other radical polymerizable monomers. By containing other radically polymerizable monomers, processability can be improved according to the purpose, such as peeling during development, resolution, and reduction in developed film, particularly in applications requiring pattern processing.

その他のラジカル重合性モノマーの具体例として、アクリルモノマー類を挙げることができる。ラジカル重合性モノマーは単官能でも多官能でもよく、これらを2種以上含有してもよい。   Specific examples of other radical polymerizable monomers include acrylic monomers. The radical polymerizable monomer may be monofunctional or polyfunctional, and may contain two or more of these.

単官能のラジカル重合性モノマーの具体例として、アクリル酸、メタクリル酸、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、p−ヒドロキシスチレン、フェネチルアクリレート、N−メチロールアクリルアミド、9−デカン酸、2−(メタクリロイロキシ)エチルイソシアネート、2−(α−クロロアクリロイロキシ)エチルイソシアネート、イソボルニルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸などを挙げることができる。   Specific examples of the monofunctional radical polymerizable monomer include acrylic acid, methacrylic acid, glycidyl methacrylate, methyl acrylate, methyl methacrylate, hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, p-hydroxystyrene, phenethyl acrylate, N- Methylolacrylamide, 9-decanoic acid, 2- (methacryloyloxy) ethyl isocyanate, 2- (α-chloroacryloyloxy) ethyl isocyanate, isobornyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, 2-acryloyloxyethyl succinic acid, etc. Can be mentioned.

多官能ラジカル重合性モノマーの具体例として、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジメタクリレートグリセリントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化イソシアヌール酸トリアクリレートなどの化合物を挙げることができる。   Specific examples of the polyfunctional radical polymerizable monomer include trimethylolpropane triacrylate, dimethyloltricyclodecane diacrylate, ethoxylated bisphenol A dimethacrylate glycerin triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, Mention may be made of compounds such as pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, and ethoxylated isocyanuric acid triacrylate.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、さらに(D)ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物を含有することが好ましい。ここで言うオルガノシラン化合物は、加水分解縮合物を含まない。(D)ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物を含有することで架橋点が増加し、硬化膜の硬度がより向上する。また、ラジカル重合性基とシラン原子の間に炭素数3以上の有機基を有する場合、(メタ)アクリル部位とシロキサン部位の間に入りスペーサー的役割を担うため、耐クラック性がより向上する。   The siloxane resin composition of the present invention preferably further contains (D) an organosilane compound having a radical polymerizable group. The organosilane compound here does not contain a hydrolysis condensate. (D) By containing the organosilane compound which has a radically polymerizable group, a crosslinking point increases and the hardness of a cured film improves more. Moreover, when it has an organic group having 3 or more carbon atoms between the radical polymerizable group and the silane atom, it enters between the (meth) acrylic part and the siloxane part and plays a role as a spacer, so that the crack resistance is further improved.

(D)ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物の含有量に特に制限はないが、シロキサン樹脂組成物の固形分中0.1重量%以上が好ましく、硬化膜の硬度をより向上させることができる。より好ましくは1重量%以上である。一方、硬化膜の耐クラック性の観点からは30重量%以下が好ましく、15重量%以下がより好ましい。   (D) Although there is no restriction | limiting in particular in content of the organosilane compound which has a radically polymerizable group, 0.1 weight% or more is preferable in solid content of a siloxane resin composition, and the hardness of a cured film can be improved more. . More preferably, it is 1% by weight or more. On the other hand, from the viewpoint of crack resistance of the cured film, it is preferably 30% by weight or less, and more preferably 15% by weight or less.

(D)ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、スチリルトリメトキシシラン、スチリルトリエトキシシラン、スチリルトリアセトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルメチルジエトキシシランなどが挙げられる。これらを2種以上組み合わせて使用してもよい。これらのうち、硬化膜の硬度の点からはビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランが、耐クラック性の点からはγ−アクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロイルプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロイルプロピルトリエトキシシランが特に好ましく用いられる。   (D) Specific examples of the organosilane compound having a radical polymerizable group include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, styryltrimethoxysilane, styryltriethoxysilane, styryltriacetoxysilane, γ- Acryloylpropyltrimethoxysilane, gamma-acryloylpropyltriethoxysilane, gamma-methacryloylpropyltrimethoxysilane, gamma-methacryloylpropyltriethoxysilane, gamma-methacryloylpropylmethyldimethoxysilane, gamma-methacryloylpropylmethyldiethoxysilane, gamma-acryloyl Examples thereof include propylmethyldimethoxysilane and γ-acryloylpropylmethyldiethoxysilane. Two or more of these may be used in combination. Of these, vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane are used from the viewpoint of the hardness of the cured film, and γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, γ-acryloylpropyltriethoxysilane, and γ-methacryloylpropyl are used from the viewpoint of crack resistance. Trimethoxysilane and γ-methacryloylpropyltriethoxysilane are particularly preferably used.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、さらに(E)金属化合物粒子を含有してもよい。(E)金属化合物粒子を含有することによって屈折率を所望の範囲に調整することができる。また、硬化膜の硬度、耐擦傷性、耐クラック性をより向上させることができる。(E)金属化合物粒子の数平均粒子径は1nm〜200nmが好ましい。透過率の高い硬化膜を得るためには、数平均粒子径1nm〜70nmであることがより好ましい。ここで、金属化合物粒子の数平均粒子径は、ガス吸着法や動的光散乱法、X線小角散乱法、透過型電子顕微鏡や走査型電子顕微鏡により測定することができる。   The siloxane resin composition of the present invention may further contain (E) metal compound particles. (E) By containing metal compound particles, the refractive index can be adjusted to a desired range. Further, the hardness, scratch resistance and crack resistance of the cured film can be further improved. (E) The number average particle diameter of the metal compound particles is preferably 1 nm to 200 nm. In order to obtain a cured film having a high transmittance, the number average particle diameter is more preferably 1 nm to 70 nm. Here, the number average particle diameter of the metal compound particles can be measured by a gas adsorption method, a dynamic light scattering method, an X-ray small angle scattering method, a transmission electron microscope, or a scanning electron microscope.

(E)金属化合物粒子の例としては、シリコン化合物粒子、アルミニウム化合物粒子、スズ化合物粒子、チタン化合物粒子、ジルコニウム化合物粒子、バリウム化合物粒子などが挙げられ、用途により適当なものを選ぶことができる。例えば、高屈折率の硬化膜を得るには酸化チタン粒子などのチタン化合物粒子や、酸化ジルコニウム粒子などのジルコニウム化合物粒子が好ましく用いられる。また、低屈折率の硬化膜を得るには、中空シリカ粒子などを含有することが好ましい。   Examples of the metal compound particles (E) include silicon compound particles, aluminum compound particles, tin compound particles, titanium compound particles, zirconium compound particles, barium compound particles, and the like, and an appropriate one can be selected depending on the application. For example, titanium compound particles such as titanium oxide particles and zirconium compound particles such as zirconium oxide particles are preferably used to obtain a cured film having a high refractive index. In order to obtain a cured film having a low refractive index, it is preferable to contain hollow silica particles and the like.

市販されている金属化合物粒子の例としては、酸化ケイ素−酸化チタン複合粒子の“オプトレイク(登録商標)”TR−502、“オプトレイク”TR−503、“オプトレイク”TR−504、“オプトレイク”TR−513、“オプトレイク”TR−520、“オプトレイク”TR−527、“オプトレイク”TR−528、“オプトレイク”TR−529、酸化チタン粒子の“オプトレイク”TR−505((以上、商品名、触媒化成工業(株)製)、酸化ジルコニウム粒子((株)高純度化学研究所製)、酸化スズ−酸化ジルコニウム複合粒子(触媒化成工業(株)製)、酸化スズ粒子((株)高純度化学研究所製)などが挙げられる。   Examples of commercially available metal compound particles include silicon oxide-titanium oxide composite particles “OPTRAIK (registered trademark)” TR-502, “OPTRAIK” TR-503, “OPTRAIK” TR-504, “OPTO”. "Lake" TR-513, "Optlake" TR-520, "Optlake" TR-527, "Optlake" TR-528, "Optrake" TR-529, "Optrake" TR-505 (Titanium oxide particles) (Above, trade name, manufactured by Catalyst Chemical Industry Co., Ltd.), zirconium oxide particles (manufactured by High Purity Chemical Laboratory Co., Ltd.), tin oxide-zirconium oxide composite particles (produced by Catalyst Chemical Industry Co., Ltd.), tin oxide particles (Manufactured by Kojundo Chemical Laboratory Co., Ltd.).

また、シリカ粒子として、数平均粒子径12nmのIPA−ST、MIBK−ST、数平均粒子径45nmのIPA−ST−L、数平均粒子径100nmのIPA−ST−ZL、数平均粒子径15nmのPGM−ST(以上商品名、日産化学工業(株)製)、数平均粒子径12nmの“オスカル(登録商標)”101、数平均粒子径60nmの“オスカル”105、数平均粒子径120nmの“オスカル”106、数平均粒子径5〜80nmの“カタロイド(登録商標)”−S(以上商品名、触媒化成工業(株)製)、数平均粒子径16nmの“クォートロン(登録商標)”PL−2L−PGME、数平均粒子径17nmの“クォートロン”PL−2L−BL、“クォートロン”PL−2L−DAA、数平均粒子径18〜20nmの“クォートロン”PL−2L、GP−2L(以上商品名、扶桑化学工業(株)製)、数平均粒子径100nmのシリカ(SiO)SG−SO100(商品名、共立マテリアル(株)製)、数平均粒子径5〜50nmの“レオロシール(登録商標)”(商品名、(株)トクヤマ製)などが挙げられる。また、中空シリカ粒子としては“オプトレイク”TR−113が挙げられる。 Further, as silica particles, IPA-ST, MIBK-ST having a number average particle diameter of 12 nm, IPA-ST-L having a number average particle diameter of 45 nm, IPA-ST-ZL having a number average particle diameter of 100 nm, and 15 nm of the number average particle diameter. PGM-ST (trade name, manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.), “Oscar (registered trademark)” 101 having a number average particle diameter of 12 nm, “Oscar” 105 having a number average particle diameter of 60 nm, “ “Oscar” 106, “Cataloid (registered trademark)”-S (trade name, manufactured by Catalytic Kasei Kogyo Co., Ltd.) having a number average particle diameter of 5 to 80 nm, “Quarton (registered trademark)” PL- having a number average particle diameter of 16 nm 2L-PGME, “Quortron” PL-2L-BL with a number average particle diameter of 17 nm, “Quartron” PL-2L-DAA, “Quoron with a number average particle diameter of 18-20 nm Ron "PL-2L, GP-2L ( trade names, Fuso Chemical Co., Ltd.), number average particle diameter of 100nm of silica (SiO 2) SG-SO100 (trade name, Kyoritsu made Materials Co., Ltd.), number Examples include “Lerosil (registered trademark)” (trade name, manufactured by Tokuyama Corporation) having an average particle diameter of 5 to 50 nm. Examples of the hollow silica particles include “Optlake” TR-113.

金属化合物粒子の含有量に特に制限はなく、用途によって適当な量とすることができるが、シロキサン樹脂組成物の固形分中1〜70重量%程度とするのが一般的である。   There is no restriction | limiting in particular in content of metal compound particle | grains, Although it can be made into a suitable quantity with a use, it is common to set it as about 1-70 weight% in solid content of a siloxane resin composition.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することで、組成物の保存安定性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。重合禁止剤の含有量は、シロキサン樹脂組成物の固形分中0.01重量%以上が好ましく、0.1重量%以上がより好ましい。一方、硬化膜の硬度を高く保つ観点からは5重量%以下が好ましく、1重量%以下がより好ましい。   The siloxane resin composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor. By containing a polymerization inhibitor, the storage stability of the composition is improved, and the resolution after development is improved in applications requiring pattern processing. The content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01% by weight or more, and more preferably 0.1% by weight or more in the solid content of the siloxane resin composition. On the other hand, from the viewpoint of keeping the hardness of the cured film high, it is preferably 5% by weight or less, and more preferably 1% by weight or less.

重合禁止剤の具体例としては、フェノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、4−t−ブチルカテコール、2,6−ジ(t−ブチル)−p−クレゾール、フェノチアジン、4−メトキシフェノールなどが挙げられる。   Specific examples of the polymerization inhibitor include phenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, 4-t-butylcatechol, 2,6-di (t-butyl) -p-cresol, phenothiazine, 4-methoxyphenol and the like.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤を含有することで、得られる硬化膜の耐光性が向上し、パターン加工を必要とする用途では現像後の解像度が向上する。紫外線吸収剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、透明性、非着色性の面から、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物が好ましく用いられる。   The siloxane resin composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber. By containing an ultraviolet absorber, the light resistance of the resulting cured film is improved, and the resolution after development is improved in applications that require pattern processing. The ultraviolet absorber is not particularly limited and known ones can be used, but benzotriazole compounds, benzophenone compounds, and triazine compounds are preferably used in terms of transparency and non-coloring properties.

ベンゾトリアゾール系化合物の紫外線吸収剤としては、2−(2Hベンゾトリアゾール−2−イル)フェノール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−tert−ペンチルフェノール、2−(2Hベンゾトリアゾール−2−イル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、2(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−ドデシル−4−メチルフェノール、2−(2‘ヒドロキシ−5’−メタクリロキシエチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾールが挙げられる。   Examples of ultraviolet absorbers for benzotriazole compounds include 2- (2Hbenzotriazol-2-yl) phenol, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -4,6-tert-pentylphenol, 2- (2H Benzotriazol-2-yl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol, 2 (2H-benzotriazol-2-yl) -6-dodecyl-4-methylphenol, 2- (2 'Hydroxy-5'-methacryloxyethylphenyl) -2H-benzotriazole.

ベンゾフェノン系化合物の紫外線吸収剤としては2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、が挙げられる。   Examples of the ultraviolet absorber of the benzophenone compound include 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone.

トリアジン系化合物の紫外線吸収剤としては2−(4,6−ジフェニル−1,3,5トリアジン−2−イル)−5−[(ヘキシル)オキシ]−フェノールが挙げられる。   Examples of the ultraviolet absorber of the triazine compound include 2- (4,6-diphenyl-1,3,5 triazin-2-yl) -5-[(hexyl) oxy] -phenol.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、溶媒を含有してもよい。各成分を均一に溶解し、得られる塗布膜の透明性を向上させることができる点で、アルコール性水酸基を有する化合物またはカルボニル基を有する環状化合物が好ましく用いられる。これらを2種以上組み合わせてもよい。また、大気圧下の沸点が110〜250℃である化合物がより好ましい。沸点を110℃以上とすることで、塗膜時に適度に乾燥が進み、塗布ムラのない良好な塗膜が得られる。一方、沸点を250℃以下とした場合、膜中の残存溶剤量を少なく抑えることができ、熱硬化時の膜収縮をより低減できるため、より良好な平坦性が得られる。   The siloxane resin composition of the present invention may contain a solvent. A compound having an alcoholic hydroxyl group or a cyclic compound having a carbonyl group is preferably used in that each component can be dissolved uniformly and the transparency of the resulting coating film can be improved. Two or more of these may be combined. Moreover, the compound whose boiling point under atmospheric pressure is 110-250 degreeC is more preferable. By setting the boiling point to 110 ° C. or higher, drying proceeds moderately at the time of coating, and a good coating without uneven coating can be obtained. On the other hand, when the boiling point is 250 ° C. or lower, the amount of residual solvent in the film can be reduced, and film shrinkage during thermosetting can be further reduced, so that better flatness can be obtained.

アルコール性水酸基を有し、大気圧下の沸点が110〜250℃である化合物の具体例としては、アセトール、3−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブタノン、4−ヒドロキシ−3−メチル−2−ブタノン、5−ヒドロキシ−2−ペンタノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン(ジアセトンアルコール)、乳酸エチル、乳酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノt−ブチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メチル−3−メトキシ−1−ブタノール等が挙げられる。これらの中でも、保存安定性の観点からはジアセトンアルコールが好ましく、段差被覆性の点からはプロピレングリコールモノt−ブチルエーテルが特に好ましく用いられる。   Specific examples of the compound having an alcoholic hydroxyl group and a boiling point of 110 to 250 ° C. under atmospheric pressure include acetol, 3-hydroxy-3-methyl-2-butanone, 4-hydroxy-3-methyl-2- Butanone, 5-hydroxy-2-pentanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone (diacetone alcohol), ethyl lactate, butyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono n-propyl Examples include ether, propylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol mono t-butyl ether, 3-methoxy-1-butanol, and 3-methyl-3-methoxy-1-butanol. Among these, diacetone alcohol is preferable from the viewpoint of storage stability, and propylene glycol mono t-butyl ether is particularly preferably used from the viewpoint of step coverage.

カルボニル基を有し、大気圧下の沸点が110〜250℃である環状化合物の具体例としては、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラクトン、炭酸プロピレン、N−メチルピロリドン、シクロヘキサノン、シクロヘプタノンが挙げられる。これらの中でも、γ−ブチロラクトンが特に好ましく用いられる。   Specific examples of the cyclic compound having a carbonyl group and having a boiling point of 110 to 250 ° C. under atmospheric pressure include γ-butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, propylene carbonate, N-methylpyrrolidone, cyclohexanone, And cycloheptanone. Among these, γ-butyrolactone is particularly preferably used.

また、本発明のシロキサン樹脂組成物は、上記以外の溶媒を含有してもよい。例えば、(A)フェニル基を有するポリシロキサンの加水分解および縮合反応に用いられる溶媒として例示したアセテート類、ケトン類、エーテル類などの各種溶媒が挙げられる。   Moreover, the siloxane resin composition of this invention may contain solvents other than the above. For example, (A) Various solvents such as acetates, ketones and ethers exemplified as the solvent used in the hydrolysis and condensation reaction of polysiloxane having a phenyl group may be mentioned.

溶媒の含有量に特に制限はなく、塗布方法などに応じて任意の量用いることができる。例えば、スピンコーティングにより膜形成を行う場合には、溶媒量をシロキサン樹脂組成物全体の50〜95重量%とするのが一般的である。   There is no restriction | limiting in particular in content of a solvent, According to the application | coating method etc., arbitrary amounts can be used. For example, when film formation is performed by spin coating, the amount of solvent is generally 50 to 95% by weight of the entire siloxane resin composition.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、樹脂組成物の硬化を促進させる、あるいは硬化を容易ならしめる各種の硬化剤を含有してもよい。硬化剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、具体例としては、窒素含有有機物、シリコーン樹脂硬化剤、各種金属アルコレート、各種金属キレート化合物、イソシアネート化合物およびその重合体、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体などがあり、これらを一種類、ないし2種類以上含有してもよい。なかでも、硬化剤の安定性、得られた塗布膜の加工性などから金属キレート化合物、メチロール化メラミン誘導体、メチロール化尿素誘導体が好ましく用いられる。   The siloxane resin composition of the present invention may contain various curing agents that accelerate the curing of the resin composition or facilitate the curing. The curing agent is not particularly limited and known ones can be used. Specific examples include nitrogen-containing organic substances, silicone resin curing agents, various metal alcoholates, various metal chelate compounds, isocyanate compounds and polymers thereof, and methylolated melamine. There are derivatives, methylolated urea derivatives and the like, and these may be contained singly or in combination of two or more. Of these, metal chelate compounds, methylolated melamine derivatives, and methylolated urea derivatives are preferably used because of the stability of the curing agent and the processability of the obtained coating film.

ポリシロキサンは酸により硬化が促進されるので、本発明のシロキサン樹脂組成物中に熱酸発生剤等の硬化触媒を含有してもよい。熱酸発生剤としては特に限定はなく公知のものが使用できるが、芳香族ジアゾニウム塩、スルフォニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルフォニウム塩、トリアリールセレニウム塩等の各種オニウム塩系化合物、スルホン酸エステル、ハロゲン化合物等が挙げられる。   Since curing of polysiloxane is accelerated by acid, the siloxane resin composition of the present invention may contain a curing catalyst such as a thermal acid generator. The thermal acid generator is not particularly limited and known ones can be used. Various onium salt compounds such as aromatic diazonium salts, sulfonium salts, diaryl iodonium salts, triaryl sulfonium salts, triaryl selenium salts, and sulfonic acids Examples thereof include esters and halogen compounds.

本発明のシロキサン樹脂組成物は、塗布時のフロー性向上のために、各種のフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤の種類に特に制限はなく、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ポリアルキレンオキシド系界面活性剤、ポリ(メタ)アクリレート系界面活性剤などを用いることができる。これらを2種以上用いてもよい。   The siloxane resin composition of the present invention may contain various surfactants such as various fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants in order to improve flow properties during coating. There is no restriction | limiting in particular in the kind of surfactant, For example, a fluorine-type surfactant, a silicone type surfactant, a polyalkylene oxide type surfactant, a poly (meth) acrylate type surfactant etc. can be used. Two or more of these may be used.

フッ素系界面活性剤の市販品の中でも特に“メガファック(登録商標)”F142D、同F172、同F173、同F183、同F445、同F470、同F475、同F477(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、NBX−15、FTX−218((株)ネオス製)が好ましく用いられる。   Among the commercially available fluorosurfactants, “Megafac (registered trademark)” F142D, F172, F173, F183, F445, F470, F475, F477 (above, Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) NBX-15, FTX-218 (manufactured by Neos Co., Ltd.) are preferably used.

シリコーン系界面活性剤の市販品の中でも特に、BYK−333、BYK−301、BYK−331、BYK−345、BYK−307(ビックケミー・ジャパン(株)製)が好ましく用いられる。   Among the commercially available silicone surfactants, BYK-333, BYK-301, BYK-331, BYK-345, BYK-307 (manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.) are preferably used.

本発明のシロキサン樹脂組成物には、必要に応じて、溶解抑止剤、安定剤、消泡剤などの添加剤を含有することもできる。   The siloxane resin composition of the present invention may contain additives such as a dissolution inhibitor, a stabilizer, and an antifoaming agent as necessary.

本発明のシロキサン樹脂組成物の固形分濃度に特に制限はなく、塗布方法などに応じて任意の量の溶媒や溶質を用いることができる。例えば、後述のようにスピンコーティングにより膜形成を行う場合には、固形分濃度を5〜50重量%とすることが一般的である。   There is no restriction | limiting in particular in the solid content density | concentration of the siloxane resin composition of this invention, Arbitrary quantities of a solvent and solute can be used according to a coating method. For example, when a film is formed by spin coating as described later, the solid content concentration is generally 5 to 50% by weight.

本発明のシロキサン樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法について例を挙げて説明する。   An example is given and demonstrated about the formation method of the cured film using the siloxane resin composition of this invention.

本発明のシロキサン樹脂組成物を、マイクログラビアコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング、カーテンフローコーティング、ロールコーティング、スプレーコーティング、スリットコーティングなどの公知の方法によって下地基板上に塗布し、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置でプリベークする。プリベークは、50〜150℃の範囲で30秒〜30分間行い、プリベーク後の膜厚は、0.1〜15μmとすることが好ましい。プリベーク後、ステッパー、ミラープロジェクションマスクアライナー(MPA)、パラレルライトマスクアライナー(PLA)などの露光機を用いて、10〜4000J/m程度(波長365nm露光量換算)の光を所望のマスクを介してあるいは介さずに照射する。露光光源に制限はなく、i線、g線、h線等の紫外線や、KrF(波長248nm)レーザー、ArF(波長193nm)レーザー等を用いることができる。その後、この膜をホットプレート、オーブンなどの加熱装置で150〜450℃の範囲で1時間程度加熱する。 The siloxane resin composition of the present invention is applied on a base substrate by a known method such as microgravure coating, spin coating, dip coating, curtain flow coating, roll coating, spray coating, slit coating, hot plate, oven, etc. Pre-bake with a heating device. Pre-baking is performed in the range of 50 to 150 ° C. for 30 seconds to 30 minutes, and the film thickness after pre-baking is preferably 0.1 to 15 μm. After pre-baking, using an exposure machine such as a stepper, mirror projection mask aligner (MPA), or parallel light mask aligner (PLA), light of about 10 to 4000 J / m 2 (wavelength 365 nm exposure equivalent) is passed through the desired mask. Irradiate with or without intervention. The exposure light source is not limited, and ultraviolet rays such as i-line, g-line, and h-line, KrF (wavelength 248 nm) laser, ArF (wavelength 193 nm) laser, and the like can be used. Thereafter, this film is heated in a range of 150 to 450 ° C. for about 1 hour with a heating device such as a hot plate or oven.

マスクを介し、パターン加工を必要とする用途では、本発明のシロキサン樹脂組成物は、PLAによる露光での感度が100〜4000J/mであることが好ましい。感度が4000J/mより低いと、パターン形成時の放射線露光時間が長くなるために生産性が低下したり、放射線露光量が多くなるために下地基板からの反射量が多くなりパターン形状が悪化する。このプロセスに於いて、露光後に必要に応じて露光後ベークを行ってもよい。 For applications that require patterning through a mask, the siloxane resin composition of the present invention preferably has a sensitivity of 100 to 4000 J / m 2 when exposed to PLA. If the sensitivity is lower than 4000 J / m 2 , the radiation exposure time at the time of pattern formation becomes longer, resulting in a decrease in productivity, and the amount of radiation exposure increases, resulting in an increase in the amount of reflection from the base substrate and a deterioration in the pattern shape. To do. In this process, post-exposure baking may be performed as necessary after exposure.

前記のPLAによるパターニング露光での感度は、例えば以下の方法により求められる。組成物をシリコンウエハにスピンコーターを用いて任意の回転数でスピンコートし、ホットプレートを用いて120℃で2分間プリベークし、膜厚2μmの膜を作製する。作製した膜をPLA(キヤノン(株)製PLA−501F)を用いて、超高圧水銀灯を感度測定用のグレースケールマスクを介して露光した後、自動現像装置(滝沢産業(株)製AD−2000)を用いて2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で任意の時間パドル現像し、次いで水で30秒間リンスする。形成されたパターンにおいて、30μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅で解像する露光量を感度として求める。   The sensitivity in the patterning exposure by the PLA is determined by the following method, for example. The composition is spin-coated on a silicon wafer at an arbitrary number of revolutions using a spin coater, and prebaked at 120 ° C. for 2 minutes using a hot plate to produce a film having a thickness of 2 μm. The prepared film was exposed to an ultra-high pressure mercury lamp through a gray scale mask for sensitivity measurement using PLA (PLA-501F manufactured by Canon Inc.), and then an automatic developing device (AD-2000 manufactured by Takizawa Sangyo Co., Ltd.). ) With a 2.38 wt% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution for an arbitrary period of time, followed by a 30 second rinse with water. In the formed pattern, an exposure amount for resolving a 30 μm line-and-space pattern with a one-to-one width is obtained as sensitivity.

パターニング露光後、現像により露光部が溶解し、ネガ型のパターンを得ることができる。現像方法としては、シャワー、ディッピング、パドルなどの方法で現像液に5秒〜10分間浸漬することが好ましい。現像液としては、公知のアルカリ現像液を用いることができる。具体的例としてはアルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、リン酸塩、ケイ酸塩、ホウ酸塩などの無機アルカリ、2−ジエチルアミノエタノール、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等のアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、コリン等の4級アンモニウム塩を1種あるいは2種以上含む水溶液等が挙げられる。現像後、水でリンスすることが好ましく、つづいて50〜150℃の範囲で乾燥ベークを行うこともできる。   After patterning exposure, the exposed portion is dissolved by development, and a negative pattern can be obtained. As a developing method, it is preferable to immerse in a developer for 5 seconds to 10 minutes by a method such as showering, dipping or paddle. As the developer, a known alkali developer can be used. Specific examples include inorganic alkalis such as alkali metal hydroxides, carbonates, phosphates, silicates and borates, amines such as 2-diethylaminoethanol, monoethanolamine and diethanolamine, tetramethylammonium hydroxide. Examples thereof include an aqueous solution containing one or more quaternary ammonium salts such as side and choline. After development, it is preferable to rinse with water, followed by drying and baking in the range of 50 to 150 ° C.

その後、この膜をホットプレート、オーブンなどの加熱装置で120〜280℃の範囲で1時間程度熱硬化することにより、硬化膜を得る。解像度は、好ましくは20μm以下である。硬化膜の膜厚に特に制限はないが、0.1〜15μmとすることが好ましい。   Thereafter, this film is thermally cured in a range of 120 to 280 ° C. for about 1 hour with a heating device such as a hot plate or oven to obtain a cured film. The resolution is preferably 20 μm or less. Although there is no restriction | limiting in particular in the film thickness of a cured film, It is preferable to set it as 0.1-15 micrometers.

本発明の硬化膜は、膜厚1.5μmの際に硬度が4H以上、透過率が90%以上であることが好ましい。なお、透過率は波長400nmにおける透過率を指す。硬度や透過率は、露光量、熱硬化温度の選択によって調整することができる。   The cured film of the present invention preferably has a hardness of 4H or more and a transmittance of 90% or more when the film thickness is 1.5 μm. The transmittance refers to the transmittance at a wavelength of 400 nm. The hardness and transmittance can be adjusted by selecting the exposure amount and the thermosetting temperature.

本発明のシロキサン樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜は、タッチパネル保護膜、各種ハードコート材、反射防止フィルム、光学フィルターとして用いられる。また、ネガ型感光性を有することから、液晶や有機ELディスプレイのTFT用平坦化膜、絶縁膜、反射防止膜、カラーフィルター用オーバーコート、柱材などに好適に用いられる。これらの中でも、高い硬度と擦傷性を有することから、タッチパネル保護膜として好適に用いることができる。タッチパネルの方式としては、抵抗膜式、光学式、電磁誘導式、静電容量式などが挙げられる。静電容量式タッチパネルは特に高い硬度が求められることから、本発明の硬化膜を好適に用いることができる。   The cured film obtained by curing the siloxane resin composition of the present invention is used as a touch panel protective film, various hard coat materials, an antireflection film, and an optical filter. Further, since it has negative photosensitivity, it is suitably used for TFT flattening films, insulating films, antireflection films, color filter overcoats, column materials, etc. for liquid crystal and organic EL displays. Among these, since it has high hardness and scratch resistance, it can be suitably used as a touch panel protective film. Examples of the touch panel system include a resistive film type, an optical type, an electromagnetic induction type, and a capacitance type. Since especially high hardness is calculated | required by an electrostatic capacitance type touch panel, the cured film of this invention can be used suitably.

以下に本発明をその実施例を用いて説明するが、本発明の様態はこれらの実施例に限定されるものではない。   The present invention will be described below with reference to examples thereof, but the embodiment of the present invention is not limited to these examples.

合成例1 ポリシロキサン溶液(i)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを108.96g(0.80mol)、フェニルトリメトキシシランを39.66g(0.20mol)、ジアセトンアルコール(DAA)を127.88g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.297g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間攪拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間攪拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱攪拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(i)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−核磁気共鳴スペクトル(NMR)により測定したところ20モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ8000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 1 Synthesis of Polysiloxane Solution (i) In a 500 mL three-necked flask, 108.96 g (0.80 mol) of methyltrimethoxysilane, 39.66 g (0.20 mol) of phenyltrimethoxysilane, diacetone alcohol (DAA) Was added in an oil bath at 40 ° C., and an aqueous solution of phosphoric acid in which 0.297 g of phosphoric acid (0.2 wt% with respect to the charged monomer) was dissolved in 54.0 g of water while stirring was added with a dropping funnel. Added over minutes. After stirring at 40 ° C. for 1 hour, the oil bath temperature was set to 70 ° C. and stirred for 1 hour, and the oil bath was further heated to 115 ° C. over 30 minutes. One hour after the start of temperature increase, the internal temperature of the solution reached 100 ° C., and was then heated and stirred for 2 hours (the internal temperature was 100 to 110 ° C.). During the reaction, 110 g in total of methanol and water as by-products were distilled out. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (i). The phenyl group content relative to Si atoms was 20 mol% as measured by 29 Si-nuclear magnetic resonance spectrum (NMR) of polysiloxane. In addition, it was 8000 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight (Mw) of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例2 ポリシロキサン溶液(ii)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを81.72g(0.60mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、DAAを138.57g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.322g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(ii)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 2 Synthesis of Polysiloxane Solution (ii) A 500 mL three-necked flask was charged with 81.72 g (0.60 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, and 138.57 g of DAA. Then, an aqueous phosphoric acid solution in which 0.322 g of phosphoric acid (0.2 wt% with respect to the charged monomer) was dissolved in 54.0 g of water was added over 10 minutes with a dropping funnel while being immersed in an oil bath at 40 ° C. with stirring. . Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 110 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (ii). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC, it was 6000 (polystyrene conversion).

合成例3 ポリシロキサン溶液(iii)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを118.98g(0.60mol)、DAAを149.26g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.347g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(iii)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ60モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ5500(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 3 Synthesis of polysiloxane solution (iii) A 500 mL three-necked flask was charged with 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 118.98 g (0.60 mol) of phenyltrimethoxysilane, and 149.26 g of DAA. Then, an aqueous solution of phosphoric acid in which 0.347 g of phosphoric acid (0.2 wt% with respect to the charged monomer) was dissolved in 54.0 g of water was added over 10 minutes with a dropping funnel while being immersed in an oil bath at 40 ° C. with stirring. . Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, 110 g in total of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (iii). The phenyl group content relative to the Si atoms was 60 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, it was 5500 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例4 ポリシロキサン溶液(iv)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、ビニルトリメトキシシランを29.61g(0.20mol)、DAAを140.61g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.327g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(iv)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ7500(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 4 Synthesis of polysiloxane solution (iv) In a 500 mL three-necked flask, 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, 29 of vinyltrimethoxysilane .61 g (0.20 mol) and 140.61 g of DAA were added, and 0.327 g of phosphoric acid (0.2 wt% with respect to the charged monomer) was dissolved in 54.0 g of water while being immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred. The phosphoric acid aqueous solution was added with a dropping funnel over 10 minutes. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 110 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (iv). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, it was 7500 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例5 ポリシロキサン溶液(v)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを46.88g(0.20mol)、DAAを155.47g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.3617g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(v)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ7500(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 5 Synthesis of polysiloxane solution (v) In a 500 mL three-necked flask, 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, γ-acryloylpropyltrimethoxy 46.88 g (0.20 mol) of silane and 155.47 g of DAA were charged, and immersed in an oil bath at 40 ° C. while stirring, 5617 g of water and 0.3617 g of phosphoric acid (0.2% by weight based on the charged monomer) The phosphoric acid aqueous solution which melt | dissolved this was added over 10 minutes with the dropping funnel. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 110 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (v). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, it was 7500 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例6 ポリシロキサン溶液(vi)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、Mシリケート51(多摩化学工業株式会社製)を23.50g(Si原子換算で0.20mol)、DAAを135.50g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水52.2gにリン酸0.315g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計100g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(vi)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ8000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 6 Synthesis of Polysiloxane Solution (vi) In a 500 mL three-necked flask, 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, M silicate 51 (Tama Chemical) Kogyo Co., Ltd. 23.50 g (0.20 mol in terms of Si atom) and DAA 135.50 g were charged, immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred with water 52.2 g and phosphoric acid 0.315 g (charged monomer) The phosphoric acid aqueous solution in which 0.2 wt% was dissolved was added with a dropping funnel over 10 minutes. Next, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 100 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (vi). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC, it was 8000 (polystyrene conversion).

合成例7 ポリシロキサン溶液(vii)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、シリカ粒子PL−2L−DAA(固形分濃度21.9重量%、扶桑化学工業(株)製)を54.87g(Si原子換算で0.20mol)、DAAを92.42g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水43.20gにリン酸0.292g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計95g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(vii)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 7 Synthesis of Polysiloxane Solution (vii) In a 500 mL three-necked flask, 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, silica particles PL-2L- DAA (solid content concentration 21.9% by weight, manufactured by Fuso Chemical Industry Co., Ltd.) 54.87 g (0.20 mol in terms of Si atom) and DAA 92.42 g were charged and immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred. However, an aqueous phosphoric acid solution in which 0.292 g of phosphoric acid (0.2% by weight based on the charged monomer) was dissolved in 43.20 g of water was added with a dropping funnel over 10 minutes. Next, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 95 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (vii). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC, it was 6000 (polystyrene conversion).

合成例8 ポリシロキサン溶液(viii)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを27.24g(0.20mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、ビニルトリメトキシシラン29.61g(0.2mol)、シリカ粒子PL−2L−DAA(固形分濃度21.9重量%、扶桑化学工業(株)製)を54.87g(Si原子換算で0.20mol)、DAAを94.06g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水43.20gにリン酸0.296g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで、合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計95g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(viii)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 8 Synthesis of Polysiloxane Solution (viii) In a 500 mL three-necked flask, 27.24 g (0.20 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, 29.32 g of vinyltrimethoxysilane. 61 g (0.2 mol), silica particle PL-2L-DAA (solid content concentration 21.9% by weight, manufactured by Fuso Chemical Industry Co., Ltd.) 54.87 g (0.20 mol in terms of Si atom), DAA 94. A solution of phosphoric acid in which 0.296 g of phosphoric acid (0.2% by weight with respect to the charged monomer) was dissolved in 43.20 g of water was added with a dropping funnel over 10 minutes. Added. Next, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 95 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (viii). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC, it was 6000 (polystyrene conversion).

合成例9 ポリシロキサン溶液(ix)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、トリフルオロプロピルトリメトキシシランを43.64g(0.20mol)、DAAを152.68g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.0gにリン酸0.327g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(ix)を得た。Si原子に対するフェニル基含有率をポリシロキサンの29Si−NMRにより測定したところ40モル%であった。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ7500(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 9 Synthesis of polysiloxane solution (ix) In a 500 mL three-necked flask, 54.48 g (0.40 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, trifluoropropyltrimethoxysilane Was charged with 43.64 g (0.20 mol) and DAA 152.68 g, immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred with water 54.0 g and phosphoric acid 0.327 g (0.2% by weight based on the charged monomer). An aqueous phosphoric acid solution in which was dissolved was added with a dropping funnel over 10 minutes. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 110 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (ix). The phenyl group content relative to Si atoms was 40 mol% as measured by 29 Si-NMR of polysiloxane. In addition, it was 7500 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例10 ポリシロキサン溶液(x)の合成
500mLの三口フラスコにフェニルトリメトキシシランを198.3g(1.0mol)、DAAを170.63g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.00gにリン酸0.394g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(x)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 10 Synthesis of Polysiloxane Solution (x) In a 500 mL three-necked flask, 198.3 g (1.0 mol) of phenyltrimethoxysilane and 170.63 g of DAA were charged, immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred under water 54 A phosphoric acid aqueous solution in which 0.394 g of phosphoric acid (0.2 wt% with respect to the charged monomer) was dissolved in 0.000 g was added with a dropping funnel over 10 minutes. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 120 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained DAA solution of polysiloxane so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (x). In addition, when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC, it was 6000 (polystyrene conversion).

合成例11 ポリシロキサン溶液(xi)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを40.86g(0.30mol)、フェニルトリメトキシシランを79.32g(0.40mol)、Mシリケート51(多摩化学工業株式会社製)を35.25g(Si原子換算で0.30mol)、DAAを168.32g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水51.3gにリン酸0.311g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計110g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(xi)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ7000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 11 Synthesis of polysiloxane solution (xi) In a 500 mL three-necked flask, 40.86 g (0.30 mol) of methyltrimethoxysilane, 79.32 g (0.40 mol) of phenyltrimethoxysilane, M silicate 51 (Tama Chemical) 35.25 g (manufactured by Kogyo Co., Ltd.) (0.30 mol in terms of Si atom) and 168.32 g of DAA were charged and immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred to 51.3 g of water and phosphoric acid 0.311 g (charged monomer) The phosphoric acid aqueous solution in which 0.2 wt% was dissolved was added with a dropping funnel over 10 minutes. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 110 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (xi). In addition, it was 7000 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例12 ポリシロキサン溶液(xii)の合成
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを108.96g(0.80mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを46.88g(0.20mol)、DAAを134.10g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて攪拌しながら水54.00gにリン酸0.312g(仕込みモノマーに対して0.2重量%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱攪拌したところ、反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40重量%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(xii)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量をGPCにより測定したところ9000(ポリスチレン換算)であった。
Synthesis Example 12 Synthesis of Polysiloxane Solution (xii) In a 500 mL three-necked flask, 108.96 g (0.80 mol) of methyltrimethoxysilane, 46.88 g (0.20 mol) of γ-acryloylpropyltrimethoxysilane, and 134 of DAA were added. .10g, immersed in an oil bath at 40 ° C. and stirred, an aqueous phosphoric acid solution prepared by dissolving 0.312g of phosphoric acid (0.2% by weight with respect to the charged monomer) in 54.00g of water was added with a dropping funnel over 10 minutes. Added. Subsequently, when the mixture was heated and stirred under the same conditions as in Synthesis Example 1, a total of 120 g of methanol and water as by-products were distilled out during the reaction. DAA was added to the obtained polysiloxane DAA solution so that the polymer concentration was 40% by weight to obtain a polysiloxane solution (xii). In addition, it was 9000 (polystyrene conversion) when the weight average molecular weight of the obtained polymer was measured by GPC.

合成例13 アクリル樹脂溶液(a)の合成
500mlのフラスコに2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)を3g、PGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)を50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を30g、ベンジルメタクリレートを35g、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルメタクリレートを35g仕込み、室温でしばらく攪拌し、フラスコ内を窒素置換した後、70℃で5時間加熱攪拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを15g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱攪拌し、アクリル樹脂溶液(a)を得た。得られたアクリル樹脂溶液(a)に固形分濃度が40重量%になるようにPGMEAを加えた。アクリル樹脂の重量平均分子量は10000、酸価は118mgKOH/gであった。
Synthesis Example 13 Synthesis of Acrylic Resin Solution (a) A 500 ml flask was charged with 3 g of 2,2′-azobis (isobutyronitrile) and 50 g of PGMEA (propylene glycol methyl ether acetate). Thereafter, 30 g of methacrylic acid, 35 g of benzyl methacrylate, and 35 g of tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate were charged and stirred for a while at room temperature. The mixture was stirred with heating at 5 ° C. for 5 hours. Next, 15 g of glycidyl methacrylate, 1 g of dimethylbenzylamine, 0.2 g of p-methoxyphenol and 100 g of PGMEA were added to the obtained solution, and the mixture was heated and stirred at 90 ° C. for 4 hours to obtain an acrylic resin solution (a). Got. PGMEA was added to the obtained acrylic resin solution (a) so that the solid concentration was 40% by weight. The acrylic resin had a weight average molecular weight of 10,000 and an acid value of 118 mgKOH / g.

Figure 2010031162
Figure 2010031162

各実施例・比較例における評価方法を以下に示す。
(1)透過率の測定
5cm角のガラス基板上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜について、紫外−可視分光光度計UV−260(島津製作所(株)製)を用いて、400nmの透過率を測定した。なお、膜厚は大日本スクリーン製造(株)製ラムダエースSTM−602を用いて屈折率1.50で測定した。以下に記載する膜厚も同様である。
(2)耐クラック性の評価
5cm角のガラス基板上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜を、さらに空気中250℃で3時間加熱した後、光学顕微鏡で表面を観察し、クラックの有無を観察した。評価を以下の5段階で判定し、4以上を合格とした。
5:膜に全くクラックが発生していない。
4:基板四隅のうち1カ所にクラックが発生している。
3:基板四隅中のうち2カ所以上4カ所以下の範囲でクラックが発生している。
2:基板周辺部にクラックが発生している。
1:基板全面にクラックが発生している。
(3)硬度の測定
5cm角のガラス基板上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜について、「JIS K5600−5−4(1999)」に準拠して鉛筆硬度を測定した。ただし、負荷加重を500gとした。
(4)耐擦傷性の評価
5cm×7cmのガラス基板上に作製した膜厚1.5μmの硬化膜について、#0000のスチールウールを硬化膜上で200gの荷重をかけ長辺方向に10往復させたときの傷の入り具合を観察した。評価を以下の5段階で判定し、4以上を合格とした。
5:膜に全く傷が入っていない。
4:膜に1〜10本の傷が入っている。
3:膜に11〜30本の傷が入っている。
2:膜に31〜50本の傷が入っている。
1:膜に51本以上の傷が入っている。
(5)感度
露光、現像後、30μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量(以下、これを最適露光量という)を感度とした。露光量はI線照度計で測定した。
(6)解像度
最適露光量における現像後の最小パターン寸法を測定した。
(7)パターン加工性
シリコンウエハ上にパターン加工した後、未露光部に溶け残りが発生しているかどうかを観察した。溶け残りの無いものを「○」、溶け残りのあるものを「×」とした。
The evaluation methods in each example and comparative example are shown below.
(1) Measurement of transmittance For a cured film having a film thickness of 1.5 μm produced on a 5 cm square glass substrate, a UV-visible spectrophotometer UV-260 (manufactured by Shimadzu Corporation) is used to transmit 400 nm. The rate was measured. The film thickness was measured at a refractive index of 1.50 using Lambda Ace STM-602 manufactured by Dainippon Screen Mfg. The same applies to the film thickness described below.
(2) Evaluation of crack resistance After a 1.5 μm thick cured film produced on a 5 cm square glass substrate was further heated in air at 250 ° C. for 3 hours, the surface was observed with an optical microscope to check for cracks. Was observed. Evaluation was determined in the following 5 stages, and 4 or more was judged as acceptable.
5: No cracks are generated in the film.
4: A crack is generated at one of the four corners of the substrate.
3: Cracks occurred in the range of 2 to 4 locations in the four corners of the substrate.
2: A crack has occurred in the periphery of the substrate.
1: Cracks are generated on the entire surface of the substrate.
(3) Measurement of hardness Pencil hardness was measured in accordance with “JIS K5600-5-4 (1999)” for a cured film having a thickness of 1.5 μm prepared on a 5 cm square glass substrate. However, the load weight was 500 g.
(4) Evaluation of scratch resistance For a cured film having a film thickness of 1.5 μm produced on a glass substrate of 5 cm × 7 cm, a steel wool of # 0000 was subjected to a load of 200 g on the cured film and reciprocated 10 times in the long side direction. The condition of the wound was observed. Evaluation was determined in the following 5 stages, and 4 or more was judged as acceptable.
5: The film is not damaged at all.
4: There are 1 to 10 scratches on the membrane.
3: There are 11-30 scratches on the membrane.
2: There are 31-50 scratches on the membrane.
1: There are 51 or more scratches on the membrane.
(5) Sensitivity The exposure amount that forms a 30 μm line-and-space pattern with a one-to-one width after exposure and development (hereinafter referred to as the optimum exposure amount) was defined as sensitivity. The exposure amount was measured with an I-line illuminometer.
(6) Resolution The minimum pattern size after development at the optimum exposure amount was measured.
(7) Pattern processability After patterning on a silicon wafer, it was observed whether unmelted portions were generated in the unexposed areas. Those with no undissolved residue were marked with “◯”, and those with undissolved residue were marked with “x”.

実施例1
黄色灯下にて2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(商品名「イルガキュア907」チバスペシャリティケミカル製)0.5166g、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン0.0272gをDAA2.9216g、PGMEA2.4680gに溶解させ、トリペンタエリスリトールポリアクリレートおよびテトラペンタエリスリトールポリアクリレートおよびペンタペンタエリスリトールポリアクリレートの混合物(商品名「T−PE−A」、広栄化学工業製)のPGMEA50重量%溶液5.4379g、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1重量%溶液1.4958g、ポリシロキサン溶液(i)6.7974g、シリコーン系界面活性剤であるBYK−333(ビックケミージャパン(株)製)のPGMEA1重量%溶液を0.2000g(濃度100ppmに相当)加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物Aを得た。
Example 1
Under a yellow light, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (trade name “Irgacure 907” manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 0.5166 g, 4,4-bis (diethylamino) ) 0.0272 g of benzophenone was dissolved in 2.9216 g of DAA and 2.4680 g of PGMEA, and a mixture of tripentaerythritol polyacrylate, tetrapentaerythritol polyacrylate and pentapentaerythritol polyacrylate (trade name “T-PE-A”, Guangei Chemical Industry Co., Ltd.) PGMEA 50 wt% solution PGMEA 50 wt% solution, 4-t-butylcatechol PGMEA 1 wt% solution 1.4958 g polysiloxane solution (i) 6.7974 g, BYK-333 (BIC The PGMEA1 weight percent solution of Me Japan Ltd.) was added 0.2000 g (corresponding to a concentration 100 ppm), and stirred. Subsequently, it filtered with a 0.45 micrometer filter and obtained the siloxane resin composition A. FIG.

作製したシロキサン樹脂組成物Aをテンパックスガラス板(旭テクノガラス板(株)製)にスピンコーター(ミカサ(株)製1H−360S)を用いて任意の回転数(ここでは500rpmで10秒回転した後、1000rpmで4秒回転した)でスピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製SCW−636)を用いて110℃で2分間プリベークし、膜厚2μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナー(以下PLAという)(キヤノン(株)製PLA−501F)を用いて超高圧水銀灯を光源として露光し、オーブン(エスペック(株)製IHPS−222)を用いて空気中220℃で1時間キュアして硬化膜を作製した。得られた硬化膜について、前記方法で透過率、耐クラック性、硬度、耐擦傷性を評価した。   The produced siloxane resin composition A was rotated for 10 seconds at 500 rpm using a spin coater (1H-360S manufactured by Mikasa Co., Ltd.) on a Tempax glass plate (Asahi Techno Glass plate Co., Ltd.). And then spin-coated at 1000 rpm for 4 seconds), and prebaked at 110 ° C. for 2 minutes using a hot plate (SCW-636 manufactured by Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.) to produce a film having a thickness of 2 μm. . The produced film was exposed using a parallel light mask aligner (hereinafter referred to as PLA) (PLA-501F manufactured by Canon Inc.) as a light source of an ultrahigh pressure mercury lamp, and air was then used using an oven (IHPS-222 manufactured by ESPEC Corporation). A cured film was prepared by curing at 220 ° C. for 1 hour. About the obtained cured film, the transmittance | permeability, crack resistance, hardness, and scratch resistance were evaluated by the said method.

また、同様にしてシリコンウエハ上に膜厚2μmのプリベーク膜を作製した。得られたプリベーク膜に、PLAを用いて超高圧水銀灯を光源として、感度測定用のグレースケールマスクを介して100μmのギャップで露光した。その後、自動現像装置(AD−2000、滝沢産業(株)製)を用いて、2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液ELM−D(三菱ガス化学(株)製)で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。現像後、パターン加工性、感度および解像度を評価した。   Similarly, a prebaked film having a thickness of 2 μm was formed on a silicon wafer. The obtained pre-baked film was exposed with a gap of 100 μm through a gray scale mask for sensitivity measurement using PLA as an ultrahigh pressure mercury lamp as a light source. Then, using an automatic developing device (AD-2000, manufactured by Takizawa Sangyo Co., Ltd.), shower development was performed for 90 seconds with 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution ELM-D (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.). Then rinsed with water for 30 seconds. After development, pattern processability, sensitivity and resolution were evaluated.

実施例2
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(ii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Bを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Bを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 2
A siloxane resin composition B was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (ii) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition B.

実施例3
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(iii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Cを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Cを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 3
A siloxane resin composition C was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (iii) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition C.

実施例4
「T−PE−A」の代わりにトリペンタエリスリトールオクタアクリレートを用いる以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Dを得た。得られた組成物を実施例1と同様にして評価を行った。
Example 4
A siloxane resin composition D was obtained in the same manner as in Example 2 except that tripentaerythritol octaacrylate was used instead of “T-PE-A”. The obtained composition was evaluated in the same manner as in Example 1.

実施例5
「T−PE−A」の代わりにテトラペンタエリスリトールデカアクリレートを用いる以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Eを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Eを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 5
A siloxane resin composition E was obtained in the same manner as in Example 2 except that tetrapentaerythritol decaacrylate was used instead of “T-PE-A”. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition E.

実施例6
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(iv)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Fを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Fを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 6
A siloxane resin composition F was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (iv) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition F.

実施例7
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(v)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Gを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Gを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 7
A siloxane resin composition G was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (v) was used instead of the polysiloxane solution (i). Using the obtained siloxane resin composition G, evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

実施例8
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(vi)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Hを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Hを、用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 8
A siloxane resin composition H was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (vi) was used instead of the polysiloxane solution (i). The obtained siloxane resin composition H was used and evaluated in the same manner as in Example 1.

実施例9
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(vii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Iを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Iを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 9
A siloxane resin composition I was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (vii) was used instead of the polysiloxane solution (i). Using the obtained siloxane resin composition I, evaluation was performed in the same manner as in Example 1.

実施例10
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(viii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Jを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Jを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 10
A siloxane resin composition J was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (viii) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition J.

実施例11
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(ix)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Kを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Kを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 11
A siloxane resin composition K was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (ix) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition K.

実施例12
黄色灯下にて「イルガキュア907」0.4737g、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン0.0249gをDAA3.2606g、PGMEA2.8283gに溶解させ、「T−PE−A」のPGMEA50重量%溶液4.9859g、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1重量%溶液1.3810g、ビニルトリエトキシシラン0.4986g、ポリシロキサン溶液(ii)6.2323g、シリコーン系界面活性剤であるBYK−333(ビックケミージャパン(株)製)のPGMEA1重量%溶液を0.2000g(濃度100ppmに相当)加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物Lを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Lを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 12
Under a yellow light, 0.4737 g of “Irgacure 907” and 0.0249 g of 4,4-bis (diethylamino) benzophenone were dissolved in 3.2606 g of DAA and 2.8283 g of PGMEA, and a 50% by weight PGMEA solution of “T-PE-A” 4 9859 g, 1.810 g of 1 wt% PGMEA solution of 4-t-butylcatechol, 0.4986 g of vinyltriethoxysilane, 6.2323 g of polysiloxane solution, BYK-333 (BIC Chemie Japan) which is a silicone surfactant 0.2000 g (corresponding to a concentration of 100 ppm) of PGMEA 1 wt. Subsequently, it filtered with the 0.45 micrometer filter and the siloxane resin composition L was obtained. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition L.

実施例13
黄色灯下にて「イルガキュア907」0.4373g、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン0.0230gをDAA0.2644g、PGMEA3.1332gに溶解させ、「T−PE−A」のPGMEA50重量%溶液4.6032g、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1重量%溶液1.3810g、シリカ粒子PL−2L−DAA(固形分濃度21.9重量%、扶桑化学工業(株)製)を4.2039g、ポリシロキサン溶液(ii)5.7540g、シリコーン系界面活性剤であるBYK−333(ビックケミージャパン(株)製)のPGMEA1重量%溶液を0.2000g(濃度100ppmに相当)加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物Mを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Mを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 13
Under a yellow lamp, 0.4373 g of “Irgacure 907” and 0.0230 g of 4,4-bis (diethylamino) benzophenone were dissolved in 0.2644 g of DAA and 3.1332 g of PGMEA, and a PGMEA 50 wt% solution 4 of “T-PE-A” .6032 g, 1.810 g of 1% by weight PGMEA solution of 4-t-butylcatechol, silica particle PL-2L-DAA (solid content concentration 21.9% by weight, manufactured by Fuso Chemical Industry Co., Ltd.), 4.2039 g, polysiloxane 0.2000 g (corresponding to a concentration of 100 ppm) of PGMEA 1% by weight of solution (ii) 5.7540 g and BYK-333 (by Big Chemie Japan Co., Ltd.) which is a silicone surfactant was added and stirred. Subsequently, it filtered with a 0.45 micrometer filter and the siloxane resin composition M was obtained. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition M.

実施例14
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(x)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Nを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Nを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 14
A siloxane resin composition N was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (x) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition N.

実施例15
ポリシロキサン溶液(ii)の代わりにポリシロキサン溶液(iv)を用い、ビニルトリエトキシシランの代わりにγ−メタクリロイルプロピルトリメトキシシランを用いる以外は実施例12と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Oを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Oを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 15
A siloxane resin composition O was prepared in the same manner as in Example 12 except that the polysiloxane solution (iv) was used instead of the polysiloxane solution (ii), and γ-methacryloylpropyltrimethoxysilane was used instead of vinyltriethoxysilane. Obtained. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition O.

実施例16
ポリシロキサン溶液(ii)の代わりにポリシロキサン溶液(iv)を用いる以外は実施例13と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Pを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Pを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 16
A siloxane resin composition P was obtained in the same manner as in Example 13 except that the polysiloxane solution (iv) was used instead of the polysiloxane solution (ii). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition P.

実施例17
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(xi)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Qを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Qを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Example 17
A siloxane resin composition Q was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (xi) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition Q.

比較例1
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにポリシロキサン溶液(xii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Rを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Rを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Comparative Example 1
A siloxane resin composition R was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polysiloxane solution (xii) was used instead of the polysiloxane solution (i). Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition R.

比較例2
DAA2.5150g、PGMEA2.0259g、「T−PE−A」のPGMEA50重量%溶液5.9801g、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1重量%溶液1.7940g、ポリシロキサン溶液(ii)7.4751g、シリコーン系界面活性剤であるBYK−333(ビックケミージャパン(株)製)のPGMEA1重量%溶液を0.2000g(濃度100ppmに相当)加え、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、シロキサン樹脂組成物Sを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Sを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Comparative Example 2
DAA 2.5150 g, PGMEA 2.0259 g, “T-PE-A” PGMEA 50 wt% solution 5.9801 g, 4-tert-butylcatechol PGMEA 1 wt% solution 1.7940 g, polysiloxane solution (ii) 7.4751 g, silicone 0.2000 g (corresponding to a concentration of 100 ppm) of a 1% by weight PGMEA solution of BYK-333 (manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.), a system surfactant, was added and stirred. Subsequently, it filtered with the 0.45 micrometer filter and obtained the siloxane resin composition S. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition S.

比較例3
「T−PE−A」の代わりにジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを用いる以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Tを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Tを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Comparative Example 3
A siloxane resin composition T was obtained in the same manner as in Example 2 except that dimethylol tricyclodecane diacrylate was used instead of “T-PE-A”. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition T.

比較例4
「T−PE−A」の代わりにジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名「DPHA」、日本化薬製)を用いる以外は実施例2と同様に行い、シロキサン樹脂組成物Uを得た。得られたシロキサン樹脂組成物Uを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Comparative Example 4
A siloxane resin composition U was obtained in the same manner as in Example 2 except that dipentaerythritol hexaacrylate (trade name “DPHA”, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was used instead of “T-PE-A”. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained siloxane resin composition U.

比較例5
ポリシロキサン溶液(i)の代わりにアクリル樹脂溶液(a)を用い、DAAの代わりにPGMEAを用いる(トータルでPGMEAが5.3896g)以外は実施例1と同様に行い、アクリル樹脂組成物Xを得た。得られたアクリル樹脂組成物Xを用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Comparative Example 5
An acrylic resin composition X was prepared in the same manner as in Example 1 except that the acrylic resin solution (a) was used instead of the polysiloxane solution (i), and PGMEA was used instead of DAA (total PGMEA was 5.3896 g). Obtained. Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 using the obtained acrylic resin composition X.

実施例1〜17および比較例1〜5の組成を表2〜3に、評価結果を表4および5に示す。   The compositions of Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 to 5 are shown in Tables 2 to 3, and the evaluation results are shown in Tables 4 and 5.

Figure 2010031162
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本発明のシロキサン樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜は、タッチパネルの保護膜などの各種ハードコート膜の他、液晶や有機ELディスプレイのTFT用平坦化膜、絶縁膜、反射防止膜、反射防止フィルム、光学フィルター、カラーフィルター用オーバーコート、柱材などに好適に用いられる。   The cured film obtained by curing the siloxane resin composition of the present invention includes various hard coat films such as a protective film for touch panels, flattening films for TFTs of liquid crystal and organic EL displays, insulating films, antireflection films, and reflective films. It is suitably used for prevention films, optical filters, overcoats for color filters, pillar materials, and the like.

Claims (9)

(A)フェニル基を有するポリシロキサン、(B)光ラジカル重合開始剤および(C)トリペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートおよびペンタペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のラジカル重合性モノマーを含有することを特徴とするシロキサン樹脂組成物。 (A) a polysiloxane having a phenyl group, (B) a photoradical polymerization initiator and (C) tripentaerythritol poly (meth) acrylate, tetrapentaerythritol poly (meth) acrylate and pentapentaerythritol poly (meth) acrylate A siloxane resin composition comprising at least one radical polymerizable monomer selected from the group. 前記(A)ポリシロキサンがラジカル重合性基を有することを特徴とする請求項1記載のシロキサン樹脂組成物。 The siloxane resin composition according to claim 1, wherein the (A) polysiloxane has a radical polymerizable group. さらに(D)ラジカル重合性基を有するオルガノシラン化合物を含有することを特徴とする請求項1または2記載のシロキサン樹脂組成物。 The siloxane resin composition according to claim 1 or 2, further comprising (D) an organosilane compound having a radical polymerizable group. 前記(A)ポリシロキサンが有するラジカル重合性基が、(メタ)アクリロイル基であることを特徴とする請求項2記載のシロキサン樹脂組成物。 The siloxane resin composition according to claim 2, wherein the radically polymerizable group of the (A) polysiloxane is a (meth) acryloyl group. 前記(A)ポリシロキサンが、下記一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を加水分解し、該加水分解物を縮合して得られることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載のシロキサン樹脂組成物。
Figure 2010031162
(式中、R〜Rはそれぞれ独立に、水素、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数2〜6のアシル基、炭素数6〜15のアリール基またはそれらの置換体を表す。nは2〜8の整数を表す。複数のRおよびRはそれぞれ同じでも異なっていてもよい。)
The (A) polysiloxane is obtained by hydrolyzing an organosilane compound containing an organosilane compound represented by the following general formula (1), and condensing the hydrolyzate. 4. The siloxane resin composition according to any one of 4 above.
Figure 2010031162
(In the formula, R 1 to R 4 each independently represent hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, or a substituted product thereof. n represents an integer of 2 to 8. The plurality of R 2 and R 4 may be the same or different.
前記(A)ポリシロキサンが、フェニル基を有するオルガノシラン化合物を含むオルガノシラン化合物を金属化合物粒子存在下で加水分解し、該加水分解物を縮合して得られるポリシロキサンであることを特徴とする請求項1〜5いずれか記載のシロキサン樹脂組成物。 The (A) polysiloxane is a polysiloxane obtained by hydrolyzing an organosilane compound containing an organosilane compound having a phenyl group in the presence of metal compound particles and condensing the hydrolyzate. The siloxane resin composition according to any one of claims 1 to 5. さらに(E)金属化合物粒子を含有することを特徴とする請求項1〜6いずれか記載のシロキサン樹脂組成物。 The siloxane resin composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising (E) metal compound particles. 前記(A)ポリシロキサンがフッ素を有することを特徴とする請求項1〜7いずれか記載のシロキサン樹脂組成物。 The siloxane resin composition according to claim 1, wherein the (A) polysiloxane has fluorine. 請求項1〜8いずれか記載のシロキサン樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜。 A cured film obtained by curing the siloxane resin composition according to claim 1.
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