JP2010025705A - Surface flaw inspection device - Google Patents

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隆二 崎田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface flaw inspection device for preventing the unevenness of the surface of a roll from appearing as noise on a belt-like inspection target to perform detection of high sensitivity. <P>SOLUTION: The surface flaw inspection device includes a drive roll 2 and a follower roll 3 over which a photosensitive belt 1 being the belt-like inspection target is trained under tension, a light source 6 for emitting irradiation light to the surface of the photosensitive belt 1, and a line sensor 8 for detecting the reflected light from the surface of the photosensitive belt 1 by the irradiation light. Further, the surface flaw inspection device includes an idle roll pair 21 for pressing the photosensitive belt 1 from the back thereof to apply tension to the photosensitive belt 1. The tension applying positions by the idle roll pair 21 are arranged in close vicinity so as to hold the light detecting visual field V of the line sensor 8. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、複写機、レーザプリンタ等の電子写真方式の事務機器に用いられるベルト状部品の表面検査装置に関する。本発明は上記以外にも、シート状、ウェブ状部品の検査装置にも応用可能である。   The present invention relates to a surface inspection apparatus for belt-like parts used in electrophotographic office equipment such as a copying machine and a laser printer. In addition to the above, the present invention can also be applied to inspection devices for sheet-like and web-like parts.

複写機やレーザプリンタ等の電子写真方式の事務機器に用いられる感光体ドラム、定着ローラ、帯電ローラ、及び現像ローラ等のローラ部品や、転写ベルト等のベルト状部品は、印字画像品質を左右する重要な部品である。従来、このような部品の検査は、人による目視検査が行われてきた。しかし、目視検査では、人件費の増大、検査品質のバラつき等の問題があり、ラインセンサと画像処理装置を用いた表面欠陥検査装置により検査が自動化されている。
このようなベルト状部品の表面を検査する表面欠陥検査装置の従来例として、特許文献１に記載の装置があげられる。特許文献１の図２には、被検査体である感光体ベルトを二本の円筒部材で張架し、一方の円筒部材上の感光体ベルト周面に線形のランプで光を照射し、感光体ベルトで反射された反射光をラインセンサで受光して感光体ベルトの表面検査を行う表面欠陥検査装置が記載されている。
また、他の従来例として、特許文献２に記載の装置があげられる。特許文献２の図１には、被検査体である転写ベルトを３本の円筒部材（２本のガイドロールと１本のテンションロール）で張架するとともに、アイドルロールで転写ベルトの表面を僅かに突出させ、突出したアイドルロールの頂点にラインセンサの受光視野を設定した表面欠陥検査装置が記載されている。
特開平３−２２６６１９号公報 特開平９−１８９５３５号公報 Roller parts such as photoconductive drums, fixing rollers, charging rollers, and developing rollers used in electrophotographic office equipment such as copying machines and laser printers, and belt-like parts such as transfer belts affect the quality of printed images. It is an important part. Conventionally, such parts have been visually inspected by humans. However, in the visual inspection, there are problems such as an increase in labor costs and a variation in inspection quality, and the inspection is automated by a surface defect inspection apparatus using a line sensor and an image processing apparatus.
As a conventional example of such a surface defect inspection apparatus for inspecting the surface of a belt-like component, there is an apparatus described in Patent Document 1. In FIG. 2 of Patent Document 1, a photosensitive belt, which is an object to be inspected, is stretched by two cylindrical members, and light is irradiated to the circumferential surface of the photosensitive belt on one cylindrical member with a linear lamp. A surface defect inspection apparatus is described in which reflected light reflected by a body belt is received by a line sensor to inspect the surface of the photoreceptor belt.
Another conventional example is an apparatus described in Patent Document 2. In FIG. 1 of Patent Document 2, a transfer belt as an object to be inspected is stretched by three cylindrical members (two guide rolls and one tension roll), and the surface of the transfer belt is slightly covered by an idle roll. And a surface defect inspection apparatus in which the light receiving field of the line sensor is set at the apex of the protruding idle roll.
JP-A-3-226619 JP-A-9-189535

しかし、特許文献１に記載の表面欠陥検査装置では、ラインセンサの受光視野が円筒部材上の感光体ベルト表面に設定されているため、円筒部材表面の凹凸がノイズとして検出されてしまうという問題がある。このようなノイズ成分を排除するには、円筒部材上以外の感光体ベルト表面に受光視野を設定すれば良いが、この場合には、ラインセンサの受光視野における感光体ベルトの振動、或いはベルトの張りムラに起因する反射光をも検出してしまうため、表面欠陥の検出精度が低下するという問題がある。
また、特許文献２に記載の表面欠陥検査装置では、ベルト状被検査体を裏面からわずかに押圧するアイドルロールを設けたことにより、ロール表面のノイズの影響を小さくして高精度な検査を可能としており、上述の問題点は解決されている。しかし、受光視野において転写ベルトはアイドルロールに接触しているため、より微小な欠陥を検出しようとした場合、アイドルロール表面にある凹凸が転写ベルト上にノイズとして表れて誤検出される可能性が残るという問題がある。
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、ロール表面の凹凸がベルト状被検物上にノイズとして表れることを防ぎ、高感度な検出を行う表面検査装置を提供することを目的とする。 However, in the surface defect inspection apparatus described in Patent Document 1, since the light receiving field of the line sensor is set on the surface of the photosensitive belt on the cylindrical member, there is a problem that unevenness on the surface of the cylindrical member is detected as noise. is there. In order to eliminate such a noise component, a light receiving field may be set on the surface of the photosensitive belt other than on the cylindrical member. In this case, the vibration of the photosensitive belt in the light receiving field of the line sensor or the belt Since the reflected light caused by the uneven tension is also detected, there is a problem that the detection accuracy of the surface defect is lowered.
Moreover, in the surface defect inspection apparatus described in Patent Document 2, by providing an idle roll that slightly presses the belt-shaped object to be inspected from the back surface, the influence of noise on the roll surface can be reduced and high-precision inspection can be performed. The above-mentioned problems have been solved. However, since the transfer belt is in contact with the idle roll in the light receiving field, there is a possibility that unevenness on the surface of the idle roll appears as noise on the transfer belt and is erroneously detected when trying to detect a finer defect. There is a problem of remaining.
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a surface inspection apparatus that prevents irregularities on a roll surface from appearing as noise on a belt-like object and performs highly sensitive detection. And

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、ベルト状の被検査体を張架する支持手段と、前記被検査体の表面に照射光を出射する光源と、前記照射光による前記被検査体表面からの反射光を受光する受光手段と、を備えた表面欠陥検査装置において、前記被検査体を裏面から押圧して前記被検査体に張力を付与する張力付与手段を備え、前記張力付与手段による張力付与位置を、前記受光手段の受光視野位置を挟むように近接配置したことを特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、前記張力付与手段は、一対のアイドルロールであることを特徴とする。
また、請求項３に記載の発明は、前記張力付与手段は、張力付与位置間に溝部を備えた低摩擦係数の押圧部材であることを特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、前記被検査体に接触する前記押圧部材のエッジ部分を面取り加工したことを特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、前記被検査体は無端状のベルトであり、前記支持手段は前記被検査体を回転自在に張架することを特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、前記受光手段からの信号に基づいて前期被検査体の表面欠陥の有無を判定する画像処理部を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is characterized in that a support means for stretching a belt-like object to be inspected, a light source for emitting irradiation light to the surface of the object to be inspected, and the irradiation light And a light receiving means for receiving reflected light from the surface of the object to be inspected, comprising a tension applying means for applying a tension to the object to be inspected by pressing the object to be inspected from the back surface. The tension applying position by the tension applying means is arranged close to the light receiving field position of the light receiving means.
The invention according to claim 2 is characterized in that the tension applying means is a pair of idle rolls.
The invention described in claim 3 is characterized in that the tension applying means is a low friction coefficient pressing member having a groove portion between the tension applying positions.
According to a fourth aspect of the present invention, the edge portion of the pressing member that contacts the object to be inspected is chamfered.
The invention described in claim 5 is characterized in that the object to be inspected is an endless belt, and the support means stretches the object to be inspected in a rotatable manner.
The invention described in claim 6 is characterized in that an image processing unit for determining the presence or absence of a surface defect of the object to be inspected based on a signal from the light receiving means is provided.

本発明によれば、受光視野部分においてベルト状の被検査体が、アイドルロールや円筒状部材等のロールに接触しない構成にすることにより、ロール表面の凹凸がベルト状被検物上にノイズとして表れることを防ぎ、高感度な検出を行う表面検査装置を提供することが可能となる。   According to the present invention, the belt-shaped object to be inspected in the light receiving field portion does not come into contact with the roll such as an idle roll or a cylindrical member, so that the unevenness of the roll surface becomes noise on the belt-shaped object. It is possible to provide a surface inspection apparatus that prevents the appearance and performs highly sensitive detection.

以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。
［第一の実施形態］
本発明の第一の実施形態について、図１乃至図３に基づいて説明する。図１は本発明の第一の実施形態にかかる表面欠陥検査装置を示す図であり、図２は図１の受光視野部分を中心とした要部拡大図であり、図３は表面欠陥検査装置を構成する画像処理装置の内部構成を示す図である。
本実施形態における表面欠陥検査装置２０は、被検査体である無端状の感光体ベルト１を回転自在に張架する駆動ロール２（支持手段）と従動ロール３（支持手段）と、駆動ロール２を回転させる回転駆動力を発生する駆動モータ４と、駆動モータ４で発生した回転駆動力を駆動ロール２に伝達する駆動力伝達ベルト５と、感光体ベルト１の表面に照射光を出射する光源６と、感光体ベルト１の表面で反射した照射光を集光するレンズ７と、レンズ７を介して照射光を受光するラインセンサ８（受光手段）と、ラインセンサ８から出力された画像を処理する画像処理部９と、画像処理部９で処理された画像を表示する表示装置１０と、を備えている。駆動ロール２と従動ロール３は、それぞれ回転自在に軸支されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
[First embodiment]
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a diagram showing a surface defect inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a main part centering on a light receiving field part of FIG. 1, and FIG. 3 is a surface defect inspection apparatus. FIG.
The surface defect inspection apparatus 20 in this embodiment includes a drive roll 2 (support means) and a driven roll 3 (support means) that rotatably stretch an endless photoreceptor belt 1 that is an object to be inspected, and a drive roll 2. A driving motor 4 that generates a rotational driving force for rotating the motor, a driving force transmission belt 5 that transmits the rotational driving force generated by the driving motor 4 to the driving roll 2, and a light source that emits irradiation light to the surface of the photosensitive belt 1. 6, a lens 7 that collects the irradiation light reflected by the surface of the photosensitive belt 1, a line sensor 8 (light receiving means) that receives the irradiation light via the lens 7, and an image output from the line sensor 8. An image processing unit 9 for processing and a display device 10 for displaying an image processed by the image processing unit 9 are provided. The drive roll 2 and the driven roll 3 are each rotatably supported by a shaft.

駆動ロール２と従動ロール３との間には、張架された感光体ベルト１を裏面から押圧して感光体ベルト１に張力を付与するアイドルロール対２１（張力付与手段）が配置されている。アイドルロール対２１を構成するアイドルロール２１ａとアイドルロール２１ｂは、その長さが感光体ベルト１の幅よりも長く設定されて、互いに平行に配置されるとともに、いずれも回転自在に軸支されており、感光体ベルト１の回転とともに連れ回るようになっている。
なお、本実施形態において、アイドルロール２１ａ、２１ｂは必ずしも回転自在に軸支されている必要はない。アイドルロール２１ａ、２１ｂを回転しないように固定するとともに、感光体ベルト１がアイドルロール２１ａ、２１ｂ上を滑らかに移動するように、アイドルロールの表面を摩擦力が小さい材質で構成しても本発明の目的を達成できる。
図１、図２に示すように、アイドルロール対２１の押圧により感光体ベルト１は外周面側、すなわちラインセンサ８側に突出している。また、図２に示すようにアイドルロール２１ａとアイドルロール２１ｂは僅かな間隔をあけて近接配置されているため、これらアイドルロールの頂点部分（張力付与位置）の間において感光体ベルト１は平面となっている。 Between the driving roll 2 and the driven roll 3, an idle roll pair 21 (tension applying means) that applies tension to the photosensitive belt 1 by pressing the stretched photosensitive belt 1 from the back surface is disposed. . The idle roll 21a and the idle roll 21b constituting the idle roll pair 21 are set longer than the width of the photosensitive belt 1 and are arranged in parallel to each other, and both are rotatably supported on the shaft. Therefore, the photosensitive belt 1 is rotated along with the rotation of the photosensitive belt 1.
In the present embodiment, the idle rolls 21a and 21b do not necessarily have to be rotatably supported. Even if the idle rolls 21a and 21b are fixed so as not to rotate, and the surface of the idle roll is made of a material having a small frictional force so that the photosensitive belt 1 moves smoothly on the idle rolls 21a and 21b, the present invention is applied. Can achieve the purpose.
As shown in FIGS. 1 and 2, the photosensitive belt 1 protrudes to the outer peripheral surface side, that is, the line sensor 8 side by pressing of the idle roll pair 21. Further, as shown in FIG. 2, the idle roll 21a and the idle roll 21b are disposed close to each other with a slight gap therebetween, so that the photosensitive belt 1 is flat between the apex portions (tension applying positions) of these idle rolls. It has become.

本実施形態では、それぞれのアイドルロール２１ａ、２１ｂの頂点部分の間にある感光体ベルト１表面にラインセンサ８の受光視野Ｖを設定した点に特徴がある。すなわち、アイドルロール２１ａの頂点部分とアイドルロール２１ｂの頂点部分とで受光視野Ｖを挟んでいる。このように受光視野Ｖにおいて感光体ベルト１は、アイドルロール２１ａ又はアイドルロール２１ｂとは接触していないので、アイドルロール２１ａ又はアイドルロール２１ｂの表面にある凹凸が感光体ベルト１上にノイズとして現れることはなく、凹凸が誤検出される可能性はない。また、アイドルロール２１ａとアイドルロール２１ｂとの間隔をできるだけ小さくすることで、感光体ベルト１に対する張力が不足していたり、あるいは張力が不均一であったりしても、感光体ベルト１表面におけるばたつきの発生が抑制され、誤検出を減少させることが可能となる。
なお、受光視野Ｖの幅（感光体ベルト１の進行方向における受光視野Ｖの長さ）は通常０．１ｍｍ以下であるので、アイドルロール２１ａと２１ｂの頂点部分が成す幅はこれより広ければ足りる。従って、受光視野Ｖの直上流と直下流にアイドルロール２１ａとアイドルロール２１ｂを配置すればよい。 This embodiment is characterized in that the light receiving field of view V of the line sensor 8 is set on the surface of the photosensitive belt 1 between the vertex portions of the idle rolls 21a and 21b. That is, the light receiving field of view V is sandwiched between the apex portion of the idle roll 21a and the apex portion of the idle roll 21b. As described above, since the photosensitive belt 1 is not in contact with the idle roll 21a or the idle roll 21b in the light receiving field V, the unevenness on the surface of the idle roll 21a or the idle roll 21b appears on the photosensitive belt 1 as noise. There is no possibility that the unevenness is erroneously detected. Further, by reducing the distance between the idle roll 21a and the idle roll 21b as much as possible, even if the tension with respect to the photosensitive belt 1 is insufficient or the tension is not uniform, the surface of the photosensitive belt 1 flutters. Is suppressed, and false detection can be reduced.
Since the width of the light receiving field V (the length of the light receiving field V in the traveling direction of the photosensitive belt 1) is usually 0.1 mm or less, it is sufficient that the width formed by the apex portions of the idle rolls 21a and 21b is wider than this. . Therefore, the idle roll 21a and the idle roll 21b may be disposed immediately upstream and downstream of the light receiving field V.

上述の表面欠陥検査装置２０を用いた感光体ベルト１の表面欠陥検査方法について説明する。
従動ロール３はスライド機構（図示しない）に連結され、従動ロール３を移動させることにより、駆動ロール２と従動ロール３の間隔を変化させることができる。被検査体である感光体ベルト１を表面欠陥検査装置２０に装着する際は、スライド機構により従動ロール３を駆動ロール２側へ移動させて、駆動ロール２と従動ロール３の間隔を狭めてから、駆動ロール２と従動ロール３とアイドルロール対２１の外側に感光体ベルト１を巻回して装着する。装着が完了したら、スライド機構により従動ロール３を駆動ロール２から離隔させ、感光体ベルト１に対し、所定の張力が付与されるようにする。
そして、駆動モータ４を回転させると回転駆動力が駆動ロール２に伝達され、駆動ロール２の回転に伴って感光体ベルト１が回転する。なお、従動ロール３とアイドルロール対２１は感光体ベルト１の回転に伴って連れ回る。
この状態で光源６を照射し、感光体ベルト１からの反射光をラインセンサ８で撮影する。感光体ベルト１の移動に伴って得られるラインセンサ８の１次元信号は画像処理部９に送られる。
画像処理部９は、図３に示すように演算処理部９ａとフレームメモリ９ｂとから構成される。ラインセンサ８からの１次元信号は演算装置部９ａで２次元画像データに展開されてフレームメモリ９ｂに保存される。演算処理部９ａでは、フレームメモリ９ｂの画像データから、例えば図４に示すような処理により欠陥検出を行う。 A surface defect inspection method for the photoreceptor belt 1 using the surface defect inspection apparatus 20 will be described.
The driven roll 3 is connected to a slide mechanism (not shown), and the distance between the drive roll 2 and the driven roll 3 can be changed by moving the driven roll 3. When the photosensitive belt 1 as the inspection object is mounted on the surface defect inspection apparatus 20, the driven roll 3 is moved to the driving roll 2 side by the slide mechanism and the interval between the driving roll 2 and the driven roll 3 is narrowed. The photoreceptor belt 1 is wound around and attached to the outside of the drive roll 2, the driven roll 3, and the idle roll pair 21. When the mounting is completed, the driven roll 3 is separated from the drive roll 2 by the slide mechanism so that a predetermined tension is applied to the photosensitive belt 1.
When the drive motor 4 is rotated, the rotational driving force is transmitted to the drive roll 2, and the photosensitive belt 1 rotates as the drive roll 2 rotates. The driven roll 3 and the idle roll pair 21 are rotated along with the rotation of the photosensitive belt 1.
In this state, the light source 6 is irradiated and the reflected light from the photosensitive belt 1 is photographed by the line sensor 8. A one-dimensional signal of the line sensor 8 obtained along with the movement of the photosensitive belt 1 is sent to the image processing unit 9.
As shown in FIG. 3, the image processing unit 9 includes an arithmetic processing unit 9a and a frame memory 9b. The one-dimensional signal from the line sensor 8 is developed into two-dimensional image data by the arithmetic unit 9a and stored in the frame memory 9b. In the arithmetic processing unit 9a, defect detection is performed from the image data of the frame memory 9b by, for example, a process as shown in FIG.

図４は、欠陥検出処理フローを示す図である。演算処理部９ａは、フレームメモリ９ｂに保存された画像データに対して、ラプラシアンフィルタ等のエッジ強調処理を施し、欠陥部による画像データの変化を強調する（ステップＳ１）。その後、所定の閾値で２値化を行い（ステップＳ２）、膨張、収縮、孤立点除去等のノイズ除去処理を行い（ステップＳ３）、残った欠陥候補に番号付け（ラベリング）を行う（ステップＳ４）。ラベリングされた各欠陥候補に対して、面積や周囲長、明るさの平均値・最大値等の特徴量を算出し（ステップＳ５）、その特徴量の大きさで感光体ベルト１の良否判定を行う（ステップＳ６）。
これら各欠陥候補の特徴量や良否判定結果は表示装置１０上に表示され、さらには検査結果を集計するためのデータベース等（図示しない）に書き込まれる。
このように、本実施形態ではラインセンサ８の受光視野Ｖを２本のアイドルロール２１ａとアイドルロール２１ｂとの中間に設定したので、受光視野Ｖで感光体ベルト１はアイドルロール対２１と接触しない。その結果、アイドルロール２１ａと２１ｂの表面にある凹凸が感光体ベルト１上にノイズとして表れないため、アイドルロール表面の凹凸が誤検出される可能性がない。さらに、アイドルロール２１ａと２１ｂの間隔をできるだけ小さくすることにより、感光体ベルト１の張力不足や張力不均一による感光体ベルト１表面のばたつき発生を抑制することが可能となり、より精度の高い表面欠陥の検出が可能となる。 FIG. 4 is a diagram showing a defect detection processing flow. The arithmetic processing unit 9a performs edge enhancement processing such as a Laplacian filter on the image data stored in the frame memory 9b, and emphasizes the change in the image data due to the defective portion (step S1). Thereafter, binarization is performed with a predetermined threshold (step S2), noise removal processing such as expansion, contraction, and isolated point removal is performed (step S3), and the remaining defect candidates are numbered (labeled) (step S4). ). For each labeled defect candidate, a feature quantity such as area, perimeter, brightness average value / maximum value is calculated (step S5), and the quality of the photoreceptor belt 1 is judged based on the feature quantity. It performs (step S6).
The feature amounts and pass / fail judgment results of these defect candidates are displayed on the display device 10 and further written in a database or the like (not shown) for collecting inspection results.
Thus, in this embodiment, since the light receiving field V of the line sensor 8 is set between the two idle rolls 21a and 21b, the photosensitive belt 1 does not contact the idle roll pair 21 in the light receiving field V. . As a result, the unevenness on the surfaces of the idle rolls 21a and 21b does not appear as noise on the photosensitive belt 1, so that there is no possibility that the unevenness on the idle roll surface is erroneously detected. Further, by reducing the distance between the idle rolls 21a and 21b as much as possible, it is possible to suppress the occurrence of flapping of the surface of the photoreceptor belt 1 due to insufficient tension or uneven tension of the photoreceptor belt 1, and surface defects with higher accuracy can be achieved. Can be detected.

［第二の実施形態］
本発明の第二の実施形態について図５乃至図７に基づいて説明する。第一の実施形態と同一の箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
図５は、本発明の第二の実施形態にかかる表面欠陥検査装置を示す図である。本実施形態における特徴的構成は、張力付与手段が１本のアイドルロール３１から構成されている点にある。
図６はアイドルロール３１の側面図であり、図７はアイドルロール３１の使用状態を示す斜視図である。図示するように、アイドルロール３１は、感光体ベルト１の幅よりも長く設定され、感光体と当接するアイドルロール３１の表面にはアイドルロール３１の長手方向に沿って溝部３２が加工されている。溝部３２の長さは感光体ベルト１の幅もしくは感光体ベルト１の検査領域幅よりも大きくしておく。ラインセンサ８の受光視野Ｖの幅は通常０．１ｍｍ以下であるので、溝部３２の幅は０．５ｍｍ程度で良い。そして、ラインセンサ８の受光視野Ｖが、この溝部３２上に設定されるようにしておく。
感光体ベルト１は、外周面に構成された開口部エッジ３３ａ、３３ｂ（張力付与位置）で押圧され、開口部エッジ３３ａ、３３ｂの間で感光体ベルト１は平面となっている。 [Second Embodiment]
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same portions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
FIG. 5 is a view showing a surface defect inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention. The characteristic configuration in the present embodiment is that the tension applying means is composed of one idle roll 31.
FIG. 6 is a side view of the idle roll 31, and FIG. 7 is a perspective view showing a usage state of the idle roll 31. As shown in the figure, the idle roll 31 is set longer than the width of the photosensitive belt 1, and a groove portion 32 is processed along the longitudinal direction of the idle roll 31 on the surface of the idle roll 31 in contact with the photosensitive body. . The length of the groove 32 is set larger than the width of the photosensitive belt 1 or the inspection area width of the photosensitive belt 1. Since the width of the light receiving field V of the line sensor 8 is usually 0.1 mm or less, the width of the groove 32 may be about 0.5 mm. The light receiving field of view V of the line sensor 8 is set on the groove 32.
The photosensitive belt 1 is pressed by opening edges 33a and 33b (tension applying positions) formed on the outer peripheral surface, and the photosensitive belt 1 is flat between the opening edges 33a and 33b.

本実施形態においては、第一の実施形態と異なり、受光視野Ｖに対して溝部３２の位置を変化させることはできないため、アイドルロール３１が回転しないように固定するとともに、感光体ベルト１がアイドルロール３１上を滑らかに移動するように、アイドルロール３１の表面を摩擦力が小さい材質で構成する。例えば、滑り軸受けで使用される樹脂等を用いることができる。なお、本実施形態においてアイドルロール３１を回転させることはないため、アイドルロール３１は必ずしもロール形状である必要はない。例えば、感光体ベルト１との当接部分を曲面形状にして溝部３２を加工した断面略半円状の押圧部材を用いることも可能であるし、あるいは感光体ベルト１との当接部分を曲面形状に加工した板状の押圧部材を用いても同様の効果を得ることかできる。
第一の実施形態と同様に感光体ベルト１を回転させると、アイドルロール３１表面の摩擦力は小さい為、感光体ベルト１はその表面を滑る様に移動していく。また、溝部３２の幅は非常に狭い為、張力不足や不均一による感光体ベルト１表面のばたつき発生を抑制することが可能となる。さらに、受光視野Ｖでは、溝部３２が加工されている為、アイドルロール３１と感光体ベルト１は接触していない。よってアイドルロール３１表面にある凹凸が感光体ベルト１上にノイズとして表れないため、アイドルロール３１表面にある凹凸が誤検出される可能性がない。ラインセンサ８によって得られた信号から欠陥部を検出する方法は第一の実施形態と同様である。
このように、本実施形態では、表面の摩擦力が小さく、また幅の狭い溝部３２が加工されたアイドルロール３１を用い、さらに溝部３２上をラインセンサ８の受光視野Ｖに設定することにより、張力不足や張力不均一による感光体ベルト表面のばたつき発生を抑制することが可能となる。さらに、受光視野Ｖでは、アイドルロール３１と感光体ベルト１は接触していないため、アイドルロール３１表面にある凹凸が感光体ベルト１上にノイズとして表れて誤検出される可能性がない。 In the present embodiment, unlike the first embodiment, since the position of the groove 32 cannot be changed with respect to the light receiving field V, the idle roll 31 is fixed so as not to rotate, and the photosensitive belt 1 is idle. The surface of the idle roll 31 is made of a material having a small frictional force so as to move smoothly on the roll 31. For example, a resin used for a sliding bearing can be used. In addition, since the idle roll 31 is not rotated in this embodiment, the idle roll 31 does not necessarily need to be a roll shape. For example, it is possible to use a pressing member having a substantially semicircular cross section in which the groove 32 is processed by making the contact portion with the photosensitive belt 1 into a curved surface, or the contact portion with the photosensitive belt 1 is curved. The same effect can be obtained even if a plate-like pressing member processed into a shape is used.
When the photosensitive belt 1 is rotated as in the first embodiment, the friction force on the surface of the idle roll 31 is small, and the photosensitive belt 1 moves so as to slide on the surface. Further, since the width of the groove portion 32 is very narrow, it is possible to suppress the occurrence of flapping on the surface of the photoreceptor belt 1 due to insufficient tension or unevenness. Further, in the light receiving field of view V, since the groove portion 32 is processed, the idle roll 31 and the photosensitive belt 1 are not in contact with each other. Therefore, the unevenness on the surface of the idle roll 31 does not appear as noise on the photosensitive belt 1, so that there is no possibility that the unevenness on the surface of the idle roll 31 is erroneously detected. A method for detecting a defective portion from a signal obtained by the line sensor 8 is the same as that in the first embodiment.
Thus, in the present embodiment, by using the idle roll 31 in which the groove portion 32 with a small surface friction force and a narrow width is processed, and further, the light receiving field V of the line sensor 8 is set on the groove portion 32. It is possible to suppress the occurrence of flapping on the surface of the photoreceptor belt due to insufficient tension or uneven tension. Furthermore, since the idle roll 31 and the photosensitive belt 1 are not in contact with each other in the light receiving field V, the unevenness on the surface of the idle roll 31 appears as noise on the photosensitive belt 1 and is not likely to be erroneously detected.

［第三の実施形態］
本発明の第三の実施形態について説明する。本実施形態においては、第二の実施形態における溝部３２のエッジ部分の加工形状に特徴がある。図８はアイドルロールのエッジ部の加工形状を説明する図である。
アイドルロール３１の表面に溝を形成する際、開口部エッジ３３ａ、３３ｂにバリや欠けがあると、感光体ベルト１のばたつきの原因になる。そこで図８に示すように開口部エッジに対して円弧状の面取り加工を施した開口部エッジ３４ａ、３４ｂとした。
このように、本実施形態においては、溝部３２の開口部エッジ３４ａ、３４ｂに円弧状の面取り加工を施しているので、開口部エッジ３４ａ、３４ｂによるバリや欠けを起因とする感光体ベルト１のばたつきの発生を抑制できる。
以上説明した実施形態は、無端状ベルトである感光体ベルトを回転させて感光体ベルト表面の欠陥検査を行う例であるが、本発明はシート状、ウェブ状部品の検査装置に適用して実施することもできる。 [Third embodiment]
A third embodiment of the present invention will be described. The present embodiment is characterized by the processed shape of the edge portion of the groove 32 in the second embodiment. FIG. 8 is a diagram for explaining the machining shape of the edge portion of the idle roll.
When grooves are formed on the surface of the idle roll 31, if there are burrs or chips on the opening edges 33a and 33b, the photosensitive belt 1 may flutter. Therefore, as shown in FIG. 8, the opening edges 34 a and 34 b are formed by performing arc-shaped chamfering on the opening edge.
As described above, in the present embodiment, the opening edges 34a and 34b of the groove portion 32 are subjected to arc-shaped chamfering processing, and therefore, the photosensitive belt 1 of the photosensitive belt 1 caused by burrs and chips caused by the opening edges 34a and 34b. The occurrence of flapping can be suppressed.
The embodiment described above is an example in which a photoreceptor belt, which is an endless belt, is rotated to inspect defects on the surface of the photoreceptor belt, but the present invention is applied to an inspection apparatus for sheet-like and web-like parts. You can also

本発明の第一の実施形態にかかる表面欠陥検査装置を示す図である。It is a figure which shows the surface defect inspection apparatus concerning 1st embodiment of this invention. 本発明の第一の実施形態にかかる表面欠陥検査装置の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the surface defect inspection apparatus concerning 1st embodiment of this invention. 画像処理装置の内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure of an image processing apparatus. 画像処理装置における欠陥検出処理フローを示す図である。It is a figure which shows the defect detection processing flow in an image processing apparatus. 本発明の第二の実施形態にかかる表面欠陥検査装置を示す図である。It is a figure which shows the surface defect inspection apparatus concerning 2nd embodiment of this invention. アイドルロールの側面図である。It is a side view of an idle roll. アイドルロールの使用状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the use condition of an idle roll. アイドルロールのエッジ部の加工形状について説明する図である。It is a figure explaining the processing shape of the edge part of an idle roll.

符号の説明Explanation of symbols

１…感光体ベルト、２…駆動ロール、３…従動ロール、４…駆動モータ、５…駆動力伝達ベルト、６…光源、７…レンズ、８…ラインセンサ、９…画像処理装置、９ａ…演算装置部、９ｂ…フレームメモリ、１０…表示装置、Ｖ…受光視野、２０…表面欠陥検査装置、２１…アイドルロール対、２１ａ…アイドルロール、２１ｂ…アイドルロール、３０…表面欠陥検査装置、３１…アイドルロール、３２…溝部、３３ａ、３３ｂ…開口部エッジ、３４ａ、３４ｂ…（面取り加工を施した）開口部エッジ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive belt, 2 ... Drive roll, 3 ... Driven roll, 4 ... Drive motor, 5 ... Drive force transmission belt, 6 ... Light source, 7 ... Lens, 8 ... Line sensor, 9 ... Image processing apparatus, 9a ... Calculation Device part, 9b ... Frame memory, 10 ... Display device, V ... Light receiving field, 20 ... Surface defect inspection device, 21 ... Idle roll pair, 21a ... Idle roll, 21b ... Idle roll, 30 ... Surface defect inspection device, 31 ... Idle roll, 32 ... groove, 33a, 33b ... opening edge, 34a, 34b ... opening edge (beveled)

Claims (6)

ベルト状の被検査体を張架する支持手段と、前記被検査体の表面に照射光を出射する光源と、前記照射光による前記被検査体表面からの反射光を受光する受光手段と、を備えた表面欠陥検査装置において、
前記被検査体を裏面から押圧して前記被検査体に張力を付与する張力付与手段を備え、
前記張力付与手段による張力付与位置を、前記受光手段の受光視野位置を挟むように近接配置したことを特徴とする表面欠陥検査装置。 A support means for stretching a belt-like object to be inspected, a light source for emitting irradiation light to the surface of the object to be inspected, and a light receiving means for receiving reflected light from the surface of the object to be inspected by the irradiation light. In the provided surface defect inspection device,
Tension applying means for applying a tension to the inspection object by pressing the inspection object from the back surface,
The surface defect inspection apparatus, wherein the tension applying position by the tension applying means is arranged close to the light receiving field position of the light receiving means. 前記張力付与手段は、一対のアイドルロールであることを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。   The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the tension applying unit is a pair of idle rolls. 前記張力付与手段は、張力付与位置間に溝部を備えた低摩擦係数の押圧部材であることを特徴とする請求項１に記載の表面欠陥検査装置。   2. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the tension applying means is a low friction coefficient pressing member having a groove portion between the tension applying positions. 前記被検査体に接触する前記押圧部材のエッジ部分を面取り加工したことを特徴とする請求項３に記載の表面欠陥検査装置。   The surface defect inspection apparatus according to claim 3, wherein the edge portion of the pressing member that contacts the object to be inspected is chamfered. 前記被検査体は無端状のベルトであり、前記支持手段は前記被検査体を回転自在に張架することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の表面欠陥検査装置。   5. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the object to be inspected is an endless belt, and the support unit stretches the object to be inspected in a freely rotatable manner. 前記受光手段からの信号に基づいて前期被検査体の表面欠陥の有無を判定する画像処理部を備えたことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の表面欠陥検査装置。   6. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, further comprising an image processing unit that determines presence or absence of a surface defect of the object to be inspected based on a signal from the light receiving unit.
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