JP2010023437A - Liquid jet head and liquid jet apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head and a liquid jet apparatus having satisfactory liquid ejection properties by preventing bubbles from retaining in a reservoir. <P>SOLUTION: The liquid jet head includes: a plurality of pressure generation chambers that communicate with nozzle openings for ejecting ink; a reservoir forming substrate 33 including the reservoir 32 functioning as a common liquid chamber communicating with the plurality of pressure generation chambers; and a bubble reservoir 70 as a cavity located above the reservoir 32. The bubble reservoir 70 is made to communicate with the reservoir 32 through a communication path 73 which is narrower in width than the bubble reservoir 70. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzle openings, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink.

液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば圧電素子及び圧力発生室が複数設けられたアクチュエータユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び複数の圧力発生室の共通のインク室となるリザーバが設けられたリザーバ形成基板を有する流路ユニットとを具備するものが存在する（例えば、特許文献１参照）。   As an ink jet recording head which is an example of a liquid ejecting head, for example, an actuator unit provided with a plurality of piezoelectric elements and pressure generation chambers, a nozzle plate provided with nozzle openings communicating with the pressure generation chambers and ejecting ink, and Some include a flow path unit having a reservoir forming substrate provided with a reservoir serving as a common ink chamber of a plurality of pressure generation chambers (see, for example, Patent Document 1).

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生してしまう。   In such an ink jet recording head, if bubbles that are present in the ink of the ink cartridge or bubbles that are mixed in the ink when the ink cartridge is attached / detached are supplied to the head body, such as dot dropout due to the bubbles. An ejection failure occurs.

かかる問題を解決するために、圧力発生室の並設方向におけるリザーバの両端部に向けて、その幅が漸減するようにリザーバを形成したインクジェット式記録ヘッドがある（例えば、特許文献２参照）。このようなリザーバによれば、インクの両端部における流速を維持できるため、リザーバ内に気泡が滞留してしまうことを防止できる。仮に、圧力発生室の並設方向におけるリザーバの両端部を、リザーバのその他の部分と同じ幅で形成すると、中央部から供給したインクの流速が、圧力発生室の並設方向の両端部に行くにしたがって低下してしまい、この両端部に気泡が滞留してしまう虞があるからである。   In order to solve such a problem, there is an ink jet recording head in which a reservoir is formed so that the width gradually decreases toward both ends of the reservoir in the direction in which the pressure generating chambers are juxtaposed (see, for example, Patent Document 2). According to such a reservoir, the flow velocity at both ends of the ink can be maintained, so that bubbles can be prevented from staying in the reservoir. If both ends of the reservoir in the direction in which the pressure generating chambers are arranged are formed to have the same width as the other portions of the reservoir, the flow rate of the ink supplied from the central portion goes to both ends in the direction in which the pressure generating chambers are arranged. This is because there is a risk that bubbles will stay at both ends.

他にも、前記問題を解決するものとして、リザーバ内に生じた気泡を吸引し、当該気泡を貯留する空気溜まり部を設けたインクジェットヘッドがある（例えば、特許文献３参照）。かかる空気溜まり部によれば、リザーバから気泡が除去され、インクの吐出不良が防止される。   As another solution to the above problem, there is an ink jet head provided with an air reservoir for sucking bubbles generated in a reservoir and storing the bubbles (see, for example, Patent Document 3). According to the air reservoir, bubbles are removed from the reservoir, and ink ejection failure is prevented.

特開２００４−０４２５５９号公報JP 2004-042559 A 特開２００７−１４５０１４号公報JP 2007-145041 A 特開２００４−２４９５７１号公報JP 2004-249571 A

ところで、インクジェット式記録ヘッドでは、圧力発生室内のインクに圧力を付与すると、圧力発生室内に圧力波が発生する。この圧力波は、圧力発生室に連通するリザーバに伝播するが、何らかの方法で減衰させないと、圧力波がさらに他の圧力発生室に伝播してしまい、良好なインク吐出特性が得られないということが知られている。このため、通常、リザーバ部には、その開口部に可撓性を有する薄膜状のコンプライアンス部が設けられている。つまり、このコンプライアンス部がダンパ機能を果たすことで、圧力波のエネルギーが吸収されるようになっている。   By the way, in the ink jet recording head, when a pressure is applied to the ink in the pressure generating chamber, a pressure wave is generated in the pressure generating chamber. This pressure wave propagates to the reservoir communicating with the pressure generation chamber. However, if the pressure wave is not attenuated by any method, the pressure wave further propagates to another pressure generation chamber, and good ink ejection characteristics cannot be obtained. It has been known. For this reason, normally, the reservoir portion is provided with a thin film-like compliance portion having flexibility at the opening. In other words, the compliance portion performs a damper function so that the energy of the pressure wave is absorbed.

しかしながら、特許文献２に示したようなインクジェット式記録ヘッドでは、コンプライアンス部によるダンパ効果が低下してしまうという問題がある。リザーバを、その両端に向けてその幅が漸減するように形成したことから、リザーバの開口部の面積は小さくなり、当該開口部に設けられたコンプライアンス部が圧力波を吸収する領域も小さくなってしまうからである。   However, the ink jet recording head as shown in Patent Document 2 has a problem that the damper effect by the compliance portion is lowered. Since the reservoir is formed so that its width gradually decreases toward both ends, the area of the opening of the reservoir is reduced, and the area where the compliance portion provided in the opening absorbs pressure waves is also reduced. Because it ends up.

また、特許文献３に示したようなインクジェット式記録ヘッドでは、ヘッドの移動時などにヘッドが傾いたりすることで、空気溜まり部に溜まっている気泡が、リザーバに戻ってしまうという問題がある。また、空気溜まり部は、気泡の吸引機能を有し、ヘッド本体の外部に設けられているため、部品点数や製造工程が増加してしまうという問題もある。   Further, in the ink jet recording head as shown in Patent Document 3, there is a problem that bubbles accumulated in the air reservoir portion return to the reservoir when the head is tilted when the head is moved. Further, since the air reservoir has a function of sucking bubbles and is provided outside the head body, there is a problem that the number of parts and the manufacturing process increase.

なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head that ejects ink but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明は、このような事情に鑑み、リザーバ内での気泡の滞留を防止し、良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that prevent bubbles from staying in a reservoir and have good liquid ejection characteristics.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通する共通の液体室であるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部と、前記リザーバ部の上方に位置する空間である気泡溜まり部とを具備し、前記気泡溜まり部は、当該気泡溜まり部よりも幅狭の連通路を介して前記リザーバ部に連通していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、リザーバ部内の気泡が気泡溜まり部に溜まり、かつ、気泡溜まり部に溜まった気泡がリザーバ部に戻ってしまうことが抑止できる。これによりリザーバ部に気泡が滞留してしまうことによる液体の吐出特性の低下を防止できる。また、気泡の滞留を防止するためにリザーバ部を小さく形成する必要がないため、コンプライアンス部のダンパ機能を低下させることもない。 An aspect of the present invention that solves the above-described problems constitutes at least a part of a plurality of pressure generation chambers that communicate with a nozzle opening that discharges liquid and a reservoir that is a common liquid chamber that communicates with the plurality of pressure generation chambers. A reservoir portion and a bubble reservoir portion that is a space located above the reservoir portion, and the bubble reservoir portion communicates with the reservoir portion via a communication path that is narrower than the bubble reservoir portion. In the liquid ejecting head, the liquid ejecting head is provided.
In such an embodiment, it is possible to prevent the bubbles in the reservoir part from collecting in the bubble reservoir and the bubbles accumulated in the bubble reservoir from returning to the reservoir. As a result, it is possible to prevent the liquid discharge characteristics from being deteriorated due to air bubbles remaining in the reservoir. Further, since it is not necessary to make the reservoir portion small in order to prevent air bubbles from staying, the damper function of the compliance portion is not lowered.

ここで、前記気泡溜まり部は、前記リザーバの端部に連通していることが好ましい。これによれば、気泡を気泡溜まり部に効率よく回収することができる。   Here, it is preferable that the bubble reservoir is in communication with an end of the reservoir. According to this, bubbles can be efficiently collected in the bubble reservoir.

また、前記リザーバ形成基板には、前記リザーバ部の中央部に液体を導く液体導入口が形成され、前記気泡溜まり部は、前記リザーバ部の両端部に連通していることが好ましい。これによれば、気泡を気泡溜まり部に一層効率的に回収することができる。   Further, it is preferable that the reservoir forming substrate is formed with a liquid introduction port for introducing a liquid to a central portion of the reservoir portion, and the bubble reservoir portion communicates with both end portions of the reservoir portion. According to this, bubbles can be more efficiently collected in the bubble reservoir.

また、前記リザーバ形成基板には、前記リザーバ部の一端部に液体を導く液体導入口が形成され、前記気泡溜まり部は、前記リザーバ部の他端部に連通していることが好ましい。これによれば、気泡を気泡溜まり部に一層効率的に回収することができる。   Further, it is preferable that the reservoir forming substrate is formed with a liquid inlet for introducing a liquid to one end portion of the reservoir portion, and the bubble reservoir portion communicates with the other end portion of the reservoir portion. According to this, bubbles can be more efficiently collected in the bubble reservoir.

また、前記連通路が複数設けられていることが好ましい。これによれば、液体中の気泡を回収する領域を大きくできるため、効率よく気泡を回収することができる。   Moreover, it is preferable that a plurality of the communication paths are provided. According to this, since the area | region which collect | recovers the bubbles in a liquid can be enlarged, a bubble can be collect | recovered efficiently.

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、良好な液体吐出特性を備えた液体噴射装置を実現することができる。 Another aspect of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus having good liquid ejection characteristics can be realized.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図であり、図２は実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。また、図３は図２のＡ−Ａ’断面図であり、図４は図２のＢ−Ｂ’断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
<Embodiment 1>
FIG. 1 is a perspective view in which a principal part of an ink jet recording head showing an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention is cut out, and FIG. 2 is a plan view of the ink jet recording head according to Embodiment 1. It is. 3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG.

これらの図に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、このアクチュエータユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。   As shown in these drawings, the ink jet recording head 10 of the present embodiment includes an actuator unit 20 and a flow path unit 30 to which the actuator unit 20 is fixed.

アクチュエータユニット２０は、圧力発生素子である圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。   The actuator unit 20 is an actuator device that includes a piezoelectric element 40 that is a pressure generating element, and includes a flow path forming substrate 22 in which a pressure generating chamber 21 is formed, and a vibration provided on one surface side of the flow path forming substrate 22. A plate 23 and a pressure generation chamber bottom plate 24 provided on the other surface side of the flow path forming substrate 22 are provided.

流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（ＡＬ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。また、流路形成基板２２には、詳細は後述するが、気泡溜まり部７０の一部を構成する空間部７１が２箇所に設けられている。 The flow path forming substrate 22 is made of, for example, a ceramic plate such as alumina (AL 2 O 3 ) or zirconia (ZrO 2 ) having a thickness of about 150 μm. In this embodiment, the plurality of pressure generating chambers 21 have their widths. It is arranged along the direction. A vibration plate 23 made of, for example, a zirconia thin plate having a thickness of 10 μm is fixed to one surface of the flow path forming substrate 22, and one surface of the pressure generating chamber 21 is sealed by the vibration plate 23. In addition, the flow path forming substrate 22 is provided with two spaces 71 that constitute a part of the bubble reservoir 70, as will be described in detail later.

圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバ部３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。また、圧力発生室底板２４には、詳細は後述するが、気泡溜まり部７０の一部を構成する空間部７２が２箇所に設けられている。   The pressure generation chamber bottom plate 24 is fixed to the other surface side of the flow path forming substrate 22 to seal the other surface of the pressure generation chamber 21, and is provided in the vicinity of one end of the pressure generation chamber 21 in the longitudinal direction. A supply communication hole 25 that communicates between the generation chamber 21 and a reservoir section 32 that will be described later, and a nozzle communication hole 26 that is provided near the other end in the longitudinal direction of the pressure generation chamber 21 and communicates with a nozzle opening 34 that will be described later. . The pressure generating chamber bottom plate 24 is provided with two space portions 72 that constitute a part of the bubble reservoir 70, as will be described in detail later.

圧力発生室２１に圧力を付与する圧力発生素子である圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２上に設けられた上電極膜４３とで構成されている。圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４１を各圧電体層４２毎に設けるようにしてもよい。   The piezoelectric elements 40, which are pressure generating elements that apply pressure to the pressure generating chambers 21, are provided in each of the regions facing the pressure generating chambers 21 on the diaphragm 23. Here, each piezoelectric element 40 is provided on the lower electrode film 41 provided on the vibration plate 23, the piezoelectric layer 42 provided independently for each pressure generation chamber 21, and the piezoelectric layer 42. And the upper electrode film 43 thus formed. The piezoelectric layer 42 is formed by pasting or printing a green sheet made of a piezoelectric material. Further, the lower electrode film 41 is provided over the piezoelectric layers 42 arranged side by side and serves as a common electrode for each piezoelectric element 40, and functions as a part of the diaphragm. Of course, the lower electrode film 41 may be provided for each piezoelectric layer 42.

また、流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４のそれぞれには、厚さ方向に貫通する液体導入口２７、２８、２９が設けられ、これらの液体導入口２７、２８、２９は、後述する流路ユニット３０の液体導入口３８に連通している。なお、これらの液体導入口２７、２８、２９、３８は、リザーバ部３２の中央部に対向する領域に設けられており、リザーバ部３２の中央部に外部のインクタンクからのインクが導入されるようになっている。   Further, each of the flow path forming substrate 22, the vibration plate 23, and the pressure generation chamber bottom plate 24 is provided with liquid inlets 27, 28, 29 penetrating in the thickness direction, and these liquid inlets 27, 28, 29 are provided. Is in communication with a liquid inlet 38 of the flow path unit 30 to be described later. These liquid inlets 27, 28, 29, and 38 are provided in a region facing the central portion of the reservoir portion 32, and ink from an external ink tank is introduced into the central portion of the reservoir portion 32. It is like that.

なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着層を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。   The flow path forming substrate 22, the vibration plate 23, and the pressure generation chamber bottom plate 24, which are each layer of the actuator unit 20, are formed by molding a clay-like ceramic material, a so-called green sheet, to a predetermined thickness, for example, a pressure generation chamber After drilling 21 and the like, they are laminated and fired to be integrated without requiring an adhesive layer. Thereafter, the piezoelectric element 40 is formed on the vibration plate 23.

一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、後述するリザーバ部３２を備え液体供給口形成基板３１の圧力発生室底板２４とは反対側の面に接合されたリザーバ形成基板３３と、後述するコンプライアンス部を備えリザーバ形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側の面に接着層６０を介して接合されたコンプライアンス基板５０と、コンプライアンス基板５０のリザーバ形成基板３３とは反対側に設けられたノズルプレート３５とで構成されている。   On the other hand, the flow path unit 30 includes a liquid supply port formation substrate 31 joined to the pressure generation chamber bottom plate 24 of the actuator unit 20 and a pressure generation chamber bottom plate 24 of the liquid supply port formation substrate 31 that includes a reservoir portion 32 described later. A reservoir forming substrate 33 bonded to the opposite surface, and a compliance substrate 50 having a compliance portion to be described later and bonded to the surface of the reservoir forming substrate 33 opposite to the liquid supply port forming substrate 31 via an adhesive layer 60. And a nozzle plate 35 provided on the opposite side of the compliance substrate 50 from the reservoir forming substrate 33.

液体供給口形成基板３１は、例えば、厚さ６０μｍのＳＵＳの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ部３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７が穿設されている。また、液体供給口形成基板３１には、液体導入口２９とリザーバ部３２とを接続する液体導入口３８が設けられ、液体導入口２７、２８、２９、３８は外部のインクタンクからリザーバ部３２にインクを供給する流路となっている。液体供給口３７と液体導入口３８とは、圧力発生室２１の長手方向、すなわち圧力発生室２１の並設方向とは直交する方向で、リザーバ部３２の両端部にそれぞれ連通するように設けられている。   The liquid supply port forming substrate 31 is made of, for example, a SUS thin plate having a thickness of 60 μm. The nozzle communication hole 36 connecting the nozzle opening 34 and the pressure generation chamber 21 and the reservoir unit 32 and the pressure together with the supply communication hole 25 described above. A liquid supply port 37 for connecting the generation chamber 21 is formed. Further, the liquid supply port forming substrate 31 is provided with a liquid introduction port 38 for connecting the liquid introduction port 29 and the reservoir unit 32, and the liquid introduction ports 27, 28, 29, 38 are connected to the reservoir unit 32 from an external ink tank. This is a flow path for supplying ink to the ink. The liquid supply port 37 and the liquid introduction port 38 are provided so as to communicate with both end portions of the reservoir portion 32 in the longitudinal direction of the pressure generation chamber 21, that is, in a direction orthogonal to the parallel arrangement direction of the pressure generation chambers 21. ing.

リザーバ形成基板３３は、インク流路（液体流路）を構成するに適した、例えば、厚さ１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材で構成されている。そして、複数の圧力発生室２１の共通インク室であり、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とが設けられている。リザーバ部３２は図示するように、圧力発生室２１の並設方向に亘って設けられている。なお、本実施形態では、リザーバ部３２そのものがリザーバを構成している。また、リザーバ部３２は、リザーバ形成基板３３を厚さ方向に貫通して設けられており、液体供給口形成基板３１側とコンプライアンス基板５０側とに開口している。   The reservoir forming substrate 33 is made of a plate material having corrosion resistance such as stainless steel having a thickness of 150 μm, which is suitable for forming an ink flow path (liquid flow path). A reservoir section 32 is a common ink chamber of the plurality of pressure generation chambers 21 and constitutes at least a part of a reservoir that receives ink supply from an external ink tank (not shown) and supplies ink to the pressure generation chamber 21. And a nozzle communication hole 39 that communicates the pressure generation chamber 21 and the nozzle opening 34 with each other. As shown in the figure, the reservoir portion 32 is provided across the direction in which the pressure generating chambers 21 are arranged. In the present embodiment, the reservoir 32 itself constitutes a reservoir. The reservoir portion 32 is provided so as to penetrate the reservoir forming substrate 33 in the thickness direction, and is open to the liquid supply port forming substrate 31 side and the compliance substrate 50 side.

コンプライアンス基板５０は、リザーバ形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側の面に接着層６０を介して接合されている。コンプライアンス基板５０には、コンプライアンス部５１が設けられ、コンプライアンス部５１がリザーバ部３２の開口を封止している。このコンプライアンス部５１は、撓み変形可能に構成されリザーバ部３２内の圧力変化によって撓み変形するものである。具体的には、コンプライアンス基板５０のリザーバ部３２に相対向する一部の領域が他の領域に比べて厚さが薄く形成されることで構成されている。コンプライアンス部５１の撓み変形により、圧力発生室２１で発生した圧力波のエネルギーが吸収され、他の圧力発生室２１に圧力波が伝播することが防止されている。また、コンプライアンス基板５０には、厚さ方向に貫通してリザーバ形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。このような、コンプライアンス基板５０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属やセラミックスを用いることができる。もちろん、コンプライアンス基板５０は、これに限定されず、例えばコンプライアンス部５１を構成するフィルム状の弾性膜と、厚さ方向の一部が貫通して設けられた支持基板とで構成されていてもよい。   The compliance substrate 50 is bonded to the surface of the reservoir forming substrate 33 opposite to the liquid supply port forming substrate 31 via an adhesive layer 60. The compliance substrate 50 is provided with a compliance portion 51, and the compliance portion 51 seals the opening of the reservoir portion 32. The compliance portion 51 is configured to be able to bend and deform, and bends and deforms due to a pressure change in the reservoir portion 32. Specifically, a part of the region facing the reservoir 32 of the compliance substrate 50 is formed to be thinner than the other regions. Due to the bending deformation of the compliance portion 51, the energy of the pressure wave generated in the pressure generating chamber 21 is absorbed, and the pressure wave is prevented from propagating to the other pressure generating chambers 21. In addition, the compliance substrate 50 is provided with a nozzle communication hole 52 that penetrates in the thickness direction and communicates with the nozzle communication hole 39 provided in the reservoir forming substrate 33 and the nozzle opening 34. As a material of such a compliance substrate 50, for example, a metal such as stainless steel or ceramics can be used. Of course, the compliance board | substrate 50 is not limited to this, For example, you may be comprised by the film-like elastic film | membrane which comprises the compliance part 51, and the support substrate in which a part of thickness direction was penetrated and provided. .

ノズルプレート３５は、例えばステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでインクを吐出するノズル開口３４が穿設されて形成されている。   The nozzle plate 35 is formed by drilling nozzle openings 34 for ejecting ink at the same arrangement pitch as the pressure generating chambers 21 in a thin plate made of stainless steel, for example.

上述したような流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３、コンプライアンス基板５０及びノズルプレート３５を接着層や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着層や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。   The flow path unit 30 as described above is formed by fixing the liquid supply port forming substrate 31, the reservoir forming substrate 33, the compliance substrate 50, and the nozzle plate 35 with an adhesive layer, a heat welding film, or the like. And such a flow-path unit 30 and the actuator unit 20 are joined and fixed through the contact bonding layer and the heat welding film.

ここで、気泡溜まり部７０について説明する。気泡溜まり部７０は、リザーバ部３２の上方に位置する空間であり、連通路７３を介してリザーバ部３２に連通している。気泡溜まり部７０がリザーバ部３２の上方に位置するとは、インクジェット式記録ヘッド１０の使用時、すなわち、ノズル開口３４からインクを吐出しているときにおいてリザーバ部３２の上方に位置していることをいう。また、本実施形態では、気泡溜まり部７０は計２つ形成されており、各気泡溜まり部７０は、リザーバ部３２の両端部のそれぞれに連通している。気泡溜まり部７０がリザーバ部の端部に連通するとは、リザーバ部３２の端部に開口した連通路７３を介して気泡溜まり部７０がリザーバ部３２に連通していることをいう。   Here, the bubble accumulation part 70 is demonstrated. The bubble accumulation part 70 is a space located above the reservoir part 32 and communicates with the reservoir part 32 via the communication path 73. The bubble reservoir 70 is located above the reservoir 32 when the ink jet recording head 10 is used, that is, when ink is ejected from the nozzle opening 34. Say. In the present embodiment, a total of two bubble reservoirs 70 are formed, and each bubble reservoir 70 communicates with each of both end portions of the reservoir portion 32. The bubble reservoir portion 70 communicating with the end portion of the reservoir portion means that the bubble reservoir portion 70 communicates with the reservoir portion 32 via the communication path 73 opened at the end portion of the reservoir portion 32.

具体的には、気泡溜まり部７０は、流路形成基板２２に設けられた空間部７１と、圧力発生室底板２４に設けられた空間部７２とから構成され、空間部７１側は振動板２３により封止され、空間部７２側は液体供給口形成基板３１により封止されている。   Specifically, the bubble reservoir 70 includes a space portion 71 provided in the flow path forming substrate 22 and a space portion 72 provided in the pressure generation chamber bottom plate 24, and the space portion 71 side is on the diaphragm 23. The space 72 side is sealed by the liquid supply port forming substrate 31.

また、気泡溜まり部７０には予めインクを充填しておき、気泡溜まり部７０に空気がないか、ほとんど一部にしか存在しないようにしておく。例えば、アクチュエータユニット２０と流路ユニット３０とを接合した後、インクジェット式記録ヘッド１０を真空又は減圧下に置き、その後液体導入口２８からインクを導入することで気泡溜まり部７０にインクを充填する。他にも、振動板２３に、その厚さ方向に貫通する空気逃げ穴を形成しておき、液体導入孔２８からインクを導入することで気泡溜まり部７０にインクを充填し、その後、空気逃げ穴を塞ぐ。このようなインクの充填により、気泡溜まり部７０に空気がないか、ほとんど一部にしか存在しないようになり、インクジェット式記録ヘッドの稼動時にリザーバ部３２内で生じる気泡を気泡溜まり部７０に溜めることが可能となる。   In addition, the bubble reservoir 70 is filled with ink in advance so that there is no air in the bubble reservoir 70 or almost all of it is present. For example, after the actuator unit 20 and the flow path unit 30 are joined, the ink jet recording head 10 is placed under vacuum or reduced pressure, and then ink is introduced from the liquid inlet 28 to fill the bubble reservoir 70 with ink. . In addition, an air escape hole penetrating in the thickness direction is formed in the vibration plate 23, and ink is filled into the bubble reservoir 70 by introducing ink from the liquid introduction hole 28, and then the air escape is performed. Block the hole. By such ink filling, the bubble reservoir 70 has no or almost no air, and bubbles generated in the reservoir 32 during operation of the ink jet recording head are accumulated in the bubble reservoir 70. It becomes possible.

連通路７３は、液体供給口形成基板３１に設けられた流路であり、リザーバ部３２と気泡溜まり部７０とを連結している。詳細は後述するが、リザーバ部３２の上方に気泡溜まり部７０が位置しているので、リザーバ部３２のインク中に生じた気泡が連通路７３を介して気泡溜まり部７０に溜まるようになっている。   The communication path 73 is a flow path provided in the liquid supply port forming substrate 31 and connects the reservoir 32 and the bubble reservoir 70. Although details will be described later, since the bubble reservoir 70 is located above the reservoir 32, the bubbles generated in the ink in the reservoir 32 are accumulated in the bubble reservoir 70 via the communication path 73. Yes.

また、連通路７３は、気泡溜まり部７０よりも幅狭に形成されている。ここで、連通路７３が気泡溜まり部７０よりも幅狭であるとは、図２に示すように、平面視において、連通路７３の開口形状が、気泡溜まり部７０の形状よりも小さく形成されていることを言う。このように連通路７３を幅狭に形成しても、リザーバ部３２のインク中に在る気泡は微小であるので、このような気泡が、リザーバ部３２から気泡溜まり部７０に流通することは妨げられない。また、幅狭な連通路７３により、気泡溜まり部７０に溜まった気泡がリザーバ部３２に戻り難くなっている。このことを図５を用いて詳細に説明する。   Further, the communication path 73 is formed narrower than the bubble reservoir 70. Here, the communication path 73 is narrower than the bubble reservoir 70, as shown in FIG. 2, the opening shape of the communication path 73 is formed smaller than the shape of the bubble reservoir 70 in a plan view. Say that. Even if the communication path 73 is formed in such a narrow width, since the air bubbles in the ink in the reservoir section 32 are very small, such air bubbles may circulate from the reservoir section 32 to the bubble reservoir section 70. I can't interfere. Further, the narrow communication path 73 makes it difficult for the air bubbles accumulated in the air bubble reservoir 70 to return to the reservoir portion 32. This will be described in detail with reference to FIG.

図５は、図４の気泡溜まり部近傍の要部断面図である。インクジェット式記録ヘッド１０は、リザーバ部３２、圧力発生室２１及び気泡溜まり部７０等に、インクが予め充填された状態で使用され、インクの流れに沿ってリザーバ部３２内を流動する気泡が連通路７３に達し、連通路７３を通って気泡溜まり部７０に溜まる。例えば、図５（ａ）に示すように、リザーバ部３２及び気泡溜まり部７０の下部には、インク８１が満たされ、気泡溜まり部７０の上部には、微小な気泡が結合して一つの大きな気泡８０として溜まっている。前述したように、気泡溜まり部７０はリザーバ部３２よりも上方に位置しているので、気泡８０はリザーバ部３２に戻ることなく気泡溜まり部７０に溜まり続ける。   FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part in the vicinity of the bubble reservoir in FIG. The ink jet recording head 10 is used in a state where the reservoir 32, the pressure generating chamber 21, the bubble reservoir 70, and the like are filled with ink in advance, and bubbles flowing in the reservoir 32 along the ink flow are connected. It reaches the passage 73, passes through the communication passage 73, and accumulates in the bubble reservoir 70. For example, as shown in FIG. 5A, the lower part of the reservoir part 32 and the bubble reservoir part 70 is filled with ink 81, and the upper part of the bubble reservoir part 70 is combined with minute bubbles to form one large bubble. Accumulated as bubbles 80. As described above, since the bubble reservoir 70 is located above the reservoir 32, the bubble 80 continues to accumulate in the bubble reservoir 70 without returning to the reservoir 32.

図５（ｂ）に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０が傾いて、大きな気泡が連通路７３を逆流しようとしても、大きな気泡８０は幅狭な連通路７３を通過し難く、気泡が容易にリザーバ部３２に戻ってしまうことが抑止されている。仮に連通路７３が幅狭になっていないと、図５（ｃ）に示すように、図５（ｂ）のインクジェット式記録ヘッド１０と同じ傾きでも、気泡８０がリザーバ部３２に戻り、滞留してしまう。   As shown in FIG. 5B, even when the ink jet recording head 10 is tilted and large bubbles try to flow backward through the communication path 73, the large bubbles 80 are difficult to pass through the narrow communication path 73, and the bubbles are easily formed. Returning to the reservoir 32 is prevented. If the communication path 73 is not narrow, as shown in FIG. 5C, the bubbles 80 return to the reservoir section 32 and stay at the same inclination as the ink jet recording head 10 of FIG. 5B. End up.

また、リザーバ部３２の中央部にインクが導入され、気泡溜まり部７０をリザーバ部３２の端部に連通させたため（図４参照）、リザーバ部３２のインク中の気泡が効率よく気泡溜まり部７０に回収されるようになっている。このことを図６を用いて詳細に説明する。   Further, since the ink is introduced into the central portion of the reservoir portion 32 and the bubble reservoir portion 70 is communicated with the end portion of the reservoir portion 32 (see FIG. 4), the bubbles in the ink in the reservoir portion 32 are efficiently stored in the bubble reservoir portion 70. It has come to be collected. This will be described in detail with reference to FIG.

図６は、リザーバ形成基板の平面図である。図示するように、リザーバ形成基板３３に設けられたリザーバ部３２の中央部に液体導入口３８を介してインクが導入されるようになっている。このため、外部のインクタンクから液体導入口３８を介して導入されるインクは、矢印で示すように、リザーバ部３２の中央部から両端部に向かって流れる。一方、連通路７３は、リザーバ部３２の両端部、すなわちインクの流れの下流に開口しているので、インクの流れに乗って下流に集まる気泡を効率よく気泡溜まり部７０に回収することができる。   FIG. 6 is a plan view of the reservoir forming substrate. As shown in the drawing, the ink is introduced into the central portion of the reservoir portion 32 provided on the reservoir forming substrate 33 through the liquid introduction port 38. For this reason, the ink introduced from the external ink tank through the liquid inlet 38 flows from the central portion of the reservoir portion 32 toward both ends as indicated by arrows. On the other hand, since the communication path 73 is open at both ends of the reservoir portion 32, that is, downstream of the ink flow, the air bubbles gathering downstream on the ink flow can be efficiently collected in the bubble reservoir 70. .

また、特に図示しないが、リザーバ部３２の一端側にインクが導入されるように液体導入口２７、２８、２９、３８を形成した場合、連通路７３は、リザーバ部３２の他端側に開口するように設ければよい。リザーバ部３２のインクは一端側から他端側に流れるので、他端側に連通路７３を設ければ、気泡を気泡溜まり部７０に効率よく回収できるからである。   Although not particularly shown, when the liquid introduction ports 27, 28, 29, and 38 are formed so that ink is introduced to one end side of the reservoir portion 32, the communication path 73 opens to the other end side of the reservoir portion 32. What is necessary is just to provide. This is because the ink in the reservoir portion 32 flows from one end side to the other end side, and if the communication path 73 is provided on the other end side, the bubbles can be efficiently collected in the bubble reservoir portion 70.

なお、上述したようにリザーバ部３２にインクが導入される位置に関わらず、気泡溜まり部７０をリザーバ部３２の端部に連通させてもよい。気泡はリザーバ部３２の端部に滞留し易いためである。もちろん、リザーバ部３２の端部に限らず、任意の位置に気泡溜まり部７０をリザーバ部３２に連通させてもよい。   As described above, the bubble reservoir 70 may be communicated with the end of the reservoir 32 regardless of the position where the ink is introduced into the reservoir 32. This is because bubbles tend to stay at the end of the reservoir portion 32. Of course, the bubble reservoir 70 may be communicated with the reservoir 32 at an arbitrary position, not limited to the end of the reservoir 32.

このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）から液体導入口３８を介してリザーバ部３２内にインクを取り込み、リザーバ部３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が吐出される。   In the ink jet recording head 10 having such a configuration, the ink is taken into the reservoir portion 32 from the ink cartridge (reserving means) through the liquid introduction port 38, and the ink flow path extends from the reservoir portion 32 to the nozzle opening 34. Is filled with ink, and in accordance with a recording signal from a drive circuit (not shown), a voltage is applied to each piezoelectric element 40 corresponding to each pressure generating chamber 21 to bend and deform the diaphragm 23 together with the piezoelectric element 40. The pressure in the pressure generating chamber 21 is increased, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 34.

以上に説明したように、気泡溜まり部７０を設け、気泡溜まり部７０とリザーバ部３２とを幅狭な連通路７３を介して連通させることで、リザーバ部３２内の気泡が気泡溜まり部７０に溜まり、かつ、気泡溜まり部７０に溜まった気泡がリザーバ部３２に戻ってしまうことが抑止できる。また、気泡溜まり部７０をリザーバ部３２の両端部に連通させたことで、気泡を気泡溜まり部７０に効率よく回収することができる。このように、リザーバ部３２内に気泡が滞留してしまうことが防止されるので、良好なインク吐出特性を獲得することができる。   As described above, the bubble reservoir portion 70 is provided, and the bubble reservoir portion 70 and the reservoir portion 32 are communicated with each other via the narrow communication path 73, so that bubbles in the reservoir portion 32 are connected to the bubble reservoir portion 70. It is possible to prevent the air bubbles accumulated in the air bubble reservoir 70 from returning to the reservoir 32. Further, since the bubble reservoir 70 communicates with both ends of the reservoir portion 32, the bubbles can be efficiently collected in the bubble reservoir 70. In this way, the bubbles are prevented from staying in the reservoir section 32, so that good ink ejection characteristics can be obtained.

また、従来技術においては、リザーバ部内にインクを滞留させないために、リザーバをその両端部に向けてその幅が漸減するように形成したことから、その分面積が小さくなり、この結果、コンプライアンス部のダンパ効果が低下してしまう。しかしながら、本発明においては、気泡溜まり部７０に気泡を溜める構成としたのでリザーバ部を小さく形成する必要がない。これにより、コンプライアンス部のダンパ効果を低下させることなく、リザーバ部３２に気泡が滞留することを防止できる。更に、従来技術では、気泡の吸引機能を有する空気溜まり部をヘッド本体の外部に設けていたが、本発明で空気溜まり部に相当するものは、インクジェット式記録ヘッド１０に設けた空間である気泡溜まり部７０である。このため、空気溜まり部のような特別な部品を要することなく、低コストにヘッドを製造し得る。   Further, in the prior art, in order not to retain ink in the reservoir portion, the reservoir is formed so that the width gradually decreases toward both end portions thereof, so that the area is reduced by that amount. The damper effect will be reduced. However, in the present invention, since the bubbles are stored in the bubble reservoir 70, it is not necessary to make the reservoir small. Thereby, it is possible to prevent bubbles from staying in the reservoir portion 32 without reducing the damper effect of the compliance portion. Further, in the prior art, an air reservoir having a bubble suction function is provided outside the head main body. However, in the present invention, the air reservoir is equivalent to a bubble that is a space provided in the ink jet recording head 10. This is a reservoir 70. For this reason, a head can be manufactured at low cost without requiring special parts such as an air reservoir.

また、本実施形態では、気泡溜まり部７０は、アクチュエータユニット２０に形成されているが、このような態様に限定されない。例えば、アクチュエータユニット２０とは別の部材に気泡溜まり部を形成し、その気泡溜まり部がリザーバ部３２の上方に位置するように当該部材を流路ユニット３０に設けてもよい。   Further, in the present embodiment, the bubble reservoir 70 is formed in the actuator unit 20, but is not limited to such an aspect. For example, the bubble reservoir may be formed in a member different from the actuator unit 20, and the member may be provided in the flow path unit 30 so that the bubble reservoir is located above the reservoir portion 32.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。 <Other embodiments>
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、上述した実施形態では、１つの気泡溜まり部７０は１つの連通路７３を介してリザーバ部３２に連通していたが、このような態様に限定されず、複数の連通路７３を介してリザーバ部３２に連通していてもよい。１つの連通路７３は幅狭に形成されているため、連通路７３の開口部の面積がリザーバ部３２の全体に占める割合は小さなものとなり、インク中の気泡を回収できる領域が小さくなってしまう。しかしながら、複数の連通路７３を設けることで、インク中の気泡を回収できる領域を大きくできるため、効率よく気泡を回収することができる。そのために、単に、液体供給口形成基板３１に複数の連通路を穿設してもよいが、フィルタを用いてもよい。   For example, in the above-described embodiment, one bubble reservoir 70 communicates with the reservoir 32 via one communication path 73, but the present invention is not limited to this mode. The reservoir portion 32 may be communicated. Since one communication path 73 is formed to be narrow, the ratio of the area of the opening of the communication path 73 to the entire reservoir section 32 is small, and the area in which bubbles in the ink can be collected becomes small. . However, by providing a plurality of communication paths 73, it is possible to increase the area where the bubbles in the ink can be collected, so that the bubbles can be collected efficiently. For this purpose, a plurality of communication passages may be simply formed in the liquid supply port forming substrate 31, but a filter may be used.

図７は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図示するように、圧力発生室底板２４と液体供給口形成基板３１との間にはフィルタ９０が介在している。本実施形態においては、フィルタ９０の目（細孔）の一つ一つが気泡溜まり部７０よりも幅狭な連通路として機能している。この場合においても、リザーバ部３２内の微小な気泡がフィルタ９０の目を通過して気泡溜まり部７０に溜まり、かつ、気泡溜まり部７０内で結合して大きくなった気泡はフィルタ９０を逆流することはない。よってリザーバ部３２に気泡が滞留してしまうことを防止し、良好なインクの吐出特性を有するインクジェット式記録ヘッドが提供される。   FIG. 7 is a cross-sectional view of the ink jet recording head according to the present embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as Embodiment 1, and the overlapping description is abbreviate | omitted. As shown in the figure, a filter 90 is interposed between the pressure generation chamber bottom plate 24 and the liquid supply port forming substrate 31. In the present embodiment, each of the eyes (pores) of the filter 90 functions as a communication path that is narrower than the bubble reservoir 70. Even in this case, minute bubbles in the reservoir portion 32 pass through the eyes of the filter 90 and accumulate in the bubble reservoir portion 70, and the bubbles that are combined and enlarged in the bubble reservoir portion 70 flow back through the filter 90. There is nothing. Therefore, it is possible to provide an ink jet recording head that prevents bubbles from staying in the reservoir section 32 and has good ink ejection characteristics.

また、上述した実施形態では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッドを例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータ、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。   In the above-described embodiment, the ink jet recording head having the thick film type piezoelectric element 40 is exemplified. However, the pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber 21 is not particularly limited thereto. , Thin film type piezoelectric element having a piezoelectric material formed by sol-gel method, MOD method, sputtering method, etc., longitudinal vibration type piezoelectric element in which piezoelectric material and electrode forming material are alternately stacked to expand and contract in the axial direction The diaphragm and the electrode are arranged with a predetermined gap, and the vibration of the diaphragm is controlled by electrostatic force. So-called electrostatic actuator, the heating element is placed in the pressure generating chamber, and the bubble generated by the heat generated by the heating element Thus, even an ink jet recording head having a device that ejects liquid droplets from a nozzle opening has the same effect.

さらに、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。   Furthermore, the ink jet recording head of this embodiment constitutes a part of a recording head unit including an ink flow path communicating with an ink cartridge and the like, and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 8 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

図８に示すように、当該インクジェット式記録装置Ｉにおける記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   As shown in FIG. 8, the recording head units 1A and 1B in the ink jet recording apparatus I are detachably provided with cartridges 2A and 2B constituting ink supply means, and a carriage on which the recording head units 1A and 1B are mounted. 3 is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

また、上記実施形態１は、液体噴射ヘッドの一例としてのインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体吐出装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体吐出装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えばプリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   The first embodiment has been described with reference to an ink jet recording head as an example of a liquid ejecting head. However, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting heads and liquid ejecting apparatuses in general, and other than ink. Of course, the present invention can also be applied to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid. As other liquid ejecting heads, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used for manufacturing color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, FEDs (field emission displays), etc. Examples thereof include an electrode material ejection head used for forming electrodes and a bioorganic matter ejection head used for biochip production.

一実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの斜視図である。1 is a perspective view of an ink jet recording head showing one embodiment. FIG. 一実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの平面図である。1 is a plan view of an ink jet recording head showing one embodiment. FIG. 一実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。1 is a cross-sectional view of an ink jet recording head showing an embodiment. 一実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。1 is a cross-sectional view of an ink jet recording head showing an embodiment. 一実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。1 is a cross-sectional view of a main part of an ink jet recording head showing an embodiment. 一実施形態に係るリザーバ形成基板の平面図である。It is a top view of the reservoir formation board concerning one embodiment. 他の実施形態を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。It is sectional drawing of the inkjet recording head which shows other embodiment. 他の実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。It is the schematic of the inkjet recording device which concerns on other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

Ｉ インクジェット式記録装置、 １０，１０Ａ インクジェット式記録ヘッド、 ２０ アクチュエータユニット、 ２１ 圧力発生室、 ２２ 流路形成基板、 ２３ 振動板、 ２４ 圧力発生室底板、 ２５ 供給連通孔、 ２７、２８、２９、３８ 液体導入口、 ３０ 流路ユニット、 ３１ 液体供給口形成基板、 ３２ リザーバ部、 ３３ リザーバ形成基板、 ３４ ノズル開口、 ３５ ノズルプレート、 ３６ ノズル連通孔、 ３７ 液体供給口、 ３９ ノズル連通孔、 ４０ 圧電素子、 ５０ コンプライアンス基板、 ５１ コンプライアンス部、 ７０ 気泡溜まり部、 ７３ 連通路、 ９０ フィルタ   I ink jet recording apparatus, 10, 10A ink jet recording head, 20 actuator unit, 21 pressure generating chamber, 22 flow path forming substrate, 23 vibration plate, 24 pressure generating chamber bottom plate, 25 supply communication hole, 27, 28, 29, 38 liquid inlet, 30 flow path unit, 31 liquid supply port forming substrate, 32 reservoir section, 33 reservoir forming substrate, 34 nozzle opening, 35 nozzle plate, 36 nozzle communication hole, 37 liquid supply port, 39 nozzle communication hole, 40 Piezoelectric element, 50 compliance substrate, 51 compliance section, 70 bubble reservoir, 73 communication path, 90 filter

Claims (6)

液体を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、
複数の前記圧力発生室に連通する共通の液体室であるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部と、
前記リザーバ部の上方に位置する空間である気泡溜まり部とを具備し、
前記気泡溜まり部は、当該気泡溜まり部よりも幅狭の連通路を介して前記リザーバ部に連通している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A plurality of pressure generating chambers communicating with nozzle openings for discharging liquid;
A reservoir part constituting at least a part of a reservoir which is a common liquid chamber communicating with the plurality of pressure generating chambers;
A bubble reservoir that is a space located above the reservoir,
The liquid jet head, wherein the bubble reservoir communicates with the reservoir through a communication path that is narrower than the bubble reservoir. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記気泡溜まり部は、前記リザーバの端部に連通している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1,
The liquid jet head, wherein the bubble reservoir is communicated with an end of the reservoir. 請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバ形成基板には、前記リザーバ部の中央部に液体を導く液体導入口が形成され、
前記気泡溜まり部は、前記リザーバ部の両端部に連通している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 2,
The reservoir forming substrate is formed with a liquid introduction port for guiding the liquid to the central portion of the reservoir portion,
The liquid jet head, wherein the bubble reservoir is in communication with both ends of the reservoir. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバ形成基板には、前記リザーバ部の一端部に液体を導く液体導入口が形成され、
前記気泡溜まり部は、前記リザーバ部の他端部に連通している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1,
The reservoir forming substrate is formed with a liquid inlet for introducing liquid to one end of the reservoir,
The liquid jet head, wherein the bubble reservoir is in communication with the other end of the reservoir. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記連通路が複数設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 4,
A liquid jet head comprising a plurality of the communication passages. 請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを有することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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