JP2010020194A - Optical system and multi-plate type projection device with the same - Google Patents

Optical system and multi-plate type projection device with the same Download PDF

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Keiichi Hisayoshi
圭一 久芳
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical system which separates colors with a dichroic film and a multi-plate type projection device with the same, the optical system and the multi-plate type projection device causing little loss of light quantity and having excellent color reproducibility. <P>SOLUTION: On a color separating and synthesizing section 20 including the dichroic film to separate colors and a polarizing film to synthesize colors, a wavelength component to be a projection light beam 5 is made incident in a polarization direction in which the dichroic film 23 exhibits excellent characteristics. Thereby suppression of loss of light quantity and high color reproducibility are achieved. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ダイクロイック膜により色分離する光学系及びこれを備えた多板式投影装置に関する。   The present invention relates to an optical system for color separation by a dichroic film and a multi-plate projection apparatus including the same.

今日、反射型液晶(LCOS)やマイクロミラーデバイスを用いた反射型の空間光変調器を複数備えた多板式の投影装置が開発され製品化されている。
一般に、多板式の投影装置では、単板式の投影装置においても用いられる照明光と投影光の方向を分離するための光学系(以降、照明投影分離光学系と称する)に加え、それぞれの空間光変調器で所定の色成分を変調するための色分離および合成を行う光学系(以降、色分離合成光学系と称する)が必要とされる。
Nowadays, a multi-plate projection apparatus including a plurality of reflective spatial light modulators using a reflective liquid crystal (LCOS) or a micromirror device has been developed and commercialized.
In general, in a multi-plate projection apparatus, in addition to an optical system (hereinafter referred to as an illumination projection separation optical system) for separating the direction of illumination light and projection light used also in a single-plate projection apparatus, each spatial light An optical system that performs color separation and synthesis for modulating a predetermined color component by the modulator (hereinafter referred to as a color separation / synthesis optical system) is required.

特許文献1、特許文献2、特許文献3、非特許文献1では、照明投影分離光学系と色分離合成光学系を有する多板式の投影装置が開示されている。
図28は、空間光変調器に反射型液晶(LCOS)を用いた3板式投影装置の構成図で、特許文献1で開示されている。照明投影分離光学系として偏光膜を有するPBSプリズムを利用し、色分離合成光学系としてケスタータイプのプリズム等からなるダイクロイックプリズムを利用している。
Patent Document 1, Patent Document 2, Patent Document 3, and Non-Patent Document 1 disclose a multi-plate projection apparatus having an illumination projection separation optical system and a color separation / synthesis optical system.
FIG. 28 is a configuration diagram of a three-plate projector using a reflective liquid crystal (LCOS) as a spatial light modulator, and is disclosed in Patent Document 1. A PBS prism having a polarizing film is used as the illumination projection separation optical system, and a dichroic prism composed of a Kester type prism or the like is used as the color separation / synthesis optical system.

また、図29は、空間光変調器にマイクロミラーデバイスを用いた2板式投影装置の構成図で、非特許文献1で開示されている。照明投影分離光学系としてTIR(Total Internal Reflection)プリズムを利用し、色分離合成光学系としてダイクロイックプリズムを利用している。   FIG. 29 is a configuration diagram of a two-plate projection apparatus using a micromirror device as a spatial light modulator, and is disclosed in Non-Patent Document 1. A TIR (Total Internal Reflection) prism is used as the illumination projection separation optical system, and a dichroic prism is used as the color separation / synthesis optical system.

また、図30A及び図30Bは、空間光変調器にマイクロミラーデバイスを用いた3板式投影装置の構成図で、特許文献2で開示されている。照明投影分離光学系としてTIRプリズムを利用し、色分離合成光学系としてクロスダイクロイックプリズムを利用している。   30A and 30B are configuration diagrams of a three-plate projection device using a micromirror device as a spatial light modulator, and are disclosed in Patent Document 2. FIG. A TIR prism is used as the illumination projection separation optical system, and a cross dichroic prism is used as the color separation / synthesis optical system.

また、図31は、空間光変調器にマイクロミラーデバイスを用いた3板式投影装置の構成図で、特許文献3で開示されている。照明投影分離光学系としてTIRプリズムを利用し、色分離合成光学系としてフィリップスタイプのダイクロイックプリズムを利用している。
特開2000−171923号公報 特開2007−025287号公報 米国特許第4969730号明細書 光技術情報誌「ライトエッジ」、No.19、P.63、[online]、2000年7月、ウシオ電機株式会社、[平成20年3月26日検索]、インターネット<URL:http://www.ushio.co.jp/documents/technology/lightedge/lightedge_19/ushio_le19-03.pdf >
FIG. 31 is a configuration diagram of a three-plate projection apparatus using a micromirror device as a spatial light modulator, and is disclosed in Patent Document 3. A TIR prism is used as the illumination projection separation optical system, and a Philips type dichroic prism is used as the color separation / synthesis optical system.
JP 2000-171923 A JP 2007-025287 A US Pat. No. 4,969,730 Optical Technology Information Magazine “Light Edge”, No.19, P.63, [online], July 2000, USHIO INC., [March 26, 2008 search], Internet <URL: http: // www.ushio.co.jp/documents/technology/lightedge/lightedge_19/ushio_le19-03.pdf>

ところで、ダイクロイックプリズムに含まれるダイクロイック膜やPBSプリズムに含まれる偏光膜は、入射角に依存して特性が変化することが知られている。空間光変調器としてマイクロミラーデバイスを用いる場合、通常、マイクロミラーデバイスへ入射する照明光の光路と反射する投影光の光路は異なっている。   Incidentally, it is known that the characteristics of the dichroic film included in the dichroic prism and the polarizing film included in the PBS prism change depending on the incident angle. When a micromirror device is used as a spatial light modulator, the optical path of illumination light incident on the micromirror device and the optical path of reflected projection light are usually different.

上記の特許文献のようにダイクロイック膜や偏光膜が照明光と投影光の両方に作用する場合、光路の違いにより入射角にばらつきが生じ、特性を最適化することが困難になる。このことは、ダイクロイック膜の波長域や偏光膜の偏光状態に対する透過/反射率特性の劣化を引き起こし、その結果、分離や合成の精度が劣化し光量ロスや色再現性の低下などの問題が生じる要因となる。   When the dichroic film or the polarizing film acts on both illumination light and projection light as in the above-mentioned patent document, the incident angle varies due to the difference in the optical path, and it is difficult to optimize the characteristics. This causes deterioration of the transmission / reflectance characteristics with respect to the wavelength range of the dichroic film and the polarization state of the polarizing film. As a result, the accuracy of separation and synthesis deteriorates, resulting in problems such as loss of light quantity and color reproducibility. It becomes a factor.

例えば、図32で示すように、照明光91と投影光92で入射角が異なることでダイクロイック膜が示す反射率特性が異なり、その結果、照明光では反射したが投影光では反射しない波長成分90について光量ロスが発生する可能性がある。   For example, as shown in FIG. 32, the reflectance characteristics exhibited by the dichroic film differ depending on the incident angles of the illumination light 91 and the projection light 92, and as a result, the wavelength component 90 that is reflected by the illumination light but not reflected by the projection light. There is a possibility that light quantity loss will occur.

なお、空間光変調器として斜め方向から照明する構成で反射型液晶(LCOS)を用いた場合にも同様の問題が生じる。
また、ダイクロイック膜は光線の波長成分によって異なる作用を生じさせる光学素子であるため、偏光膜と異なり必ずしも偏光状態について考慮されるものではない。ところが、ダイクロイック膜も偏光状態に依存して特性が変化し、P偏光で優れた特性を有するものもあれば、S偏光で優れた特性を有するものもある。
A similar problem occurs when a reflective liquid crystal (LCOS) is used as a spatial light modulator that is illuminated from an oblique direction.
In addition, since the dichroic film is an optical element that causes different actions depending on the wavelength component of the light beam, the polarization state is not necessarily considered unlike the polarizing film. However, the characteristics of dichroic films change depending on the polarization state, and some of the dichroic films have excellent characteristics with P-polarized light and some have excellent characteristics with S-polarized light.

例えば、赤色に相当する波長成分(以降、赤色(R)成分と称する)を透過する(以降、R透過型と称する)ダイクロイック膜の特性を例示する図33Aと図33Bでは、P偏光の特性を示す図33Aと比較してS偏光の特性を示す図33Bの方が入射角毎の透過率特性を示す線が急峻で且つそれぞれ近接している。つまり、S偏光で入射した方が入射角に依存した特性の劣化が小さく、高い色再現性が得られることになる。一方、赤色(R)成分を反射する(以降、R反射型と称する)ダイクロイック膜の特性を例示する図34Aと図34Bでは、反対にP偏光の特性を示す図34Aの方が優れている。   For example, in FIGS. 33A and 33B illustrating the characteristics of a dichroic film that transmits a wavelength component corresponding to red (hereinafter referred to as a red (R) component) (hereinafter referred to as an R transmission type), the characteristics of P-polarized light are illustrated in FIGS. In FIG. 33B, which shows the characteristics of S-polarized light, compared to FIG. 33A, the lines indicating the transmittance characteristics for each incident angle are steeper and close to each other. That is, when the incident light is S-polarized light, the deterioration of characteristics depending on the incident angle is small, and high color reproducibility can be obtained. On the other hand, in FIG. 34A and FIG. 34B illustrating the characteristics of the dichroic film that reflects the red (R) component (hereinafter referred to as “R reflection type”), FIG. 34A that shows the characteristics of P-polarized light is superior.

以上の実情を踏まえ、本発明では、光量ロスが少なく色再現性の良い光学系及びこれを備えた多板式投影装置を提供することを目的とする。   In light of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an optical system with little light loss and good color reproducibility, and a multi-plate projection apparatus including the same.

本発明の第1の態様は、複数の反射型空間光変調器と、外部からの照明光を色分離し反射型空間光変調器へ導く特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ない第1のダイクロイック膜及び反射型空間光変調器による変調光を合成する色合成手段を含む色分離合成部と、を含み、照明光のうち第1のダイクロイック膜に特定の偏光方向で入射した波長成分のみを投影する光学系を提供する。   According to a first aspect of the present invention, a plurality of reflective spatial light modulators and color separation depending on an incident angle with respect to a specific polarization direction in which illumination light from the outside is color-separated and guided to the reflective spatial light modulator. A first dichroic film with little deterioration in characteristics and a color separation / synthesis unit including a color synthesizing unit that synthesizes the modulated light by the reflective spatial light modulator, and the polarized light specific to the first dichroic film in the illumination light An optical system that projects only a wavelength component incident in a direction is provided.

本発明の第2の態様は、第1の態様に記載の光学系において、複数の反射型空間光変調器は2つの反射型空間光変調器であり、色合成手段は、偏光膜であり、色分離合成部は、接合面上に第1のダイクロイック膜と偏光膜を配置した2つのプリズムから構成され、さらに、2つの反射型空間光変調器のいずれか一方と色分離合成部の間に波長板を含む光学系を提供する。これにより、反射型空間光変調器のいずれか一方では、入射光と反射光で異なる偏光方向を実現することができる。   According to a second aspect of the present invention, in the optical system according to the first aspect, the plurality of reflective spatial light modulators are two reflective spatial light modulators, and the color synthesizing means is a polarizing film. The color separation / combination unit is composed of two prisms in which a first dichroic film and a polarizing film are disposed on the joint surface, and further, between one of the two reflective spatial light modulators and the color separation / combination unit. An optical system including a wave plate is provided. Thereby, in any one of the reflection type spatial light modulators, different polarization directions can be realized for incident light and reflected light.

本発明の第3の態様は、第2の態様に記載の光学系において、波長板は、1/4λ板または反射型空間光変調器へ入射する波長成分にのみ1/4λ板として作用する特定波長偏光変換素子であり、反射型空間光変調器の入射光路と反射光路の両方にまたがって配置される光学系を提供する。   According to a third aspect of the present invention, in the optical system according to the second aspect, the wavelength plate acts as a 1 / 4λ plate only for a wavelength component incident on the 1 / 4λ plate or the reflective spatial light modulator. Provided is an optical system that is a wavelength polarization conversion element and is disposed across both an incident optical path and a reflected optical path of a reflective spatial light modulator.

本発明の第4の態様は、第2の態様に記載の光学系において、波長板は、1/2λ板または反射型空間光変調器へ入射する波長成分にのみ1/2λ板として作用する特定波長偏光変換素子であり、反射型空間光変調器の入射光路または反射光路のいずれか一方にのみ交わるように配置される光学系を提供する。   According to a fourth aspect of the present invention, in the optical system according to the second aspect, the wavelength plate acts as a ½λ plate only for the wavelength component incident on the ½λ plate or the reflective spatial light modulator. Provided is an optical system which is a wavelength polarization conversion element and is disposed so as to intersect only one of an incident optical path and a reflected optical path of a reflective spatial light modulator.

本発明の第5の態様は、第2の態様乃至第4の態様のいずれか1つに記載の光学系において、さらに、色分離合成部から射出される合成光の光路上に特定波長偏光変換素子を含む光学系を提供する。これにより、合成光の偏向方向を一定の方向に統一することができる。   According to a fifth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to fourth aspects, a specific wavelength polarization conversion is further performed on the optical path of the synthesized light emitted from the color separation / synthesis unit. An optical system including an element is provided. Thereby, the deflection | deviation direction of synthetic | combination light can be unified to a fixed direction.

本発明の第6の態様は、第2の態様乃至第5の態様のいずれか1つに記載の光学系において、さらに、色分離合成部から射出される合成光の光路上に配置される投影レンズと、2つの反射型空間光変調器のそれぞれと色分離合成部の間に配置されるそれぞれ1つのフィールドレンズと、を含み、投影レンズとフィールドレンズは、反射型空間光変調器側で略テレセントリック光学系として作用する光学系を提供する。これにより、投影レンズの入射瞳位置を空間光変調器側に近づけることができるため投影光学系内の光束径を小さくすることができる。   According to a sixth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to fifth aspects, the projection is further arranged on the optical path of the synthesized light emitted from the color separation / synthesis unit. Each of the two reflective spatial light modulators and one field lens disposed between the color separation / combination unit. The projection lens and the field lens are substantially arranged on the reflective spatial light modulator side. An optical system acting as a telecentric optical system is provided. Thereby, since the entrance pupil position of the projection lens can be brought closer to the spatial light modulator side, the beam diameter in the projection optical system can be reduced.

本発明の第7の態様は、第6の態様に記載の光学系において、投影レンズの入射瞳位置は偏光膜付近である光学系を提供する。この構成によると、色分離合成部内での光束径を特に小さくできるため、色分離合成部の小型化により効果的である。   A seventh aspect of the present invention provides the optical system according to the sixth aspect, wherein the entrance pupil position of the projection lens is in the vicinity of the polarizing film. According to this configuration, since the light beam diameter in the color separation / synthesis unit can be particularly reduced, it is effective to reduce the size of the color separation / synthesis unit.

本発明の第8の態様は、第6の態様に記載の光学系において、投影レンズの入射瞳位置は色分離合成部より投影レンズ側である光学系を提供する。この構成によると、投影レンズ内での光束径を特に小さくできるため、投影レンズの有効径の小型化により効果的である。   An eighth aspect of the present invention provides the optical system according to the sixth aspect, wherein the entrance pupil position of the projection lens is closer to the projection lens than the color separation / synthesis unit. According to this configuration, the diameter of the light beam in the projection lens can be particularly reduced, which is effective for reducing the effective diameter of the projection lens.

本発明の第9の態様は、第2の態様乃至第8の態様のいずれか1つに記載の光学系において、2つのプリズムはそれぞれ異なる形状である光学系を提供する。
本発明の第10の態様は、第2の態様乃至第8の態様のいずれか1つに記載の光学系において、2つのプリズムはそれぞれ同一形状の三角柱プリズムであって、色分離合成部は四角柱形状である光学系を提供する。これにより、プリズムの形状が1種類のみで且つ単純な三角柱形状となるため、コスト削減の効果も得られる。また、2つの反射型空間光変調器を同一平面上に配置することが可能となり、パッケージングに要する負担を軽減することができる。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the optical system according to any one of the second to eighth aspects, wherein the two prisms have different shapes.
According to a tenth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to eighth aspects, the two prisms are triangular prisms having the same shape, and the color separation / synthesis unit includes four An optical system having a prismatic shape is provided. As a result, since only one type of prism is used and a simple triangular prism shape is obtained, an effect of cost reduction can be obtained. Moreover, it becomes possible to arrange | position two reflection type spatial light modulators on the same plane, and can reduce the burden required for packaging.

本発明の第11の態様は、第2の態様乃至第8の態様のいずれか1つに記載の光学系において、2つのプリズムはそれぞれ同一形状の三角柱プリズムであって、色分離合成部は三角柱形状である光学系を提供する。これにより、プリズムの形状が1種類のみで且つ単純な三角柱形状となるため、コスト削減の効果も得られる。   According to an eleventh aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to eighth aspects, the two prisms are triangular prisms having the same shape, and the color separation / synthesis unit is a triangular prism. An optical system having a shape is provided. As a result, since only one type of prism is used and a simple triangular prism shape is obtained, an effect of cost reduction can be obtained.

本発明の第12の態様は、第2の態様乃至第11の態様のいずれか1つに記載の光学系において、反射型空間光変調器は、複数のマイクロミラーの傾斜を制御することにより入射光を変調するマイクロミラーデバイスであり、マイクロミラーデバイスは、マイクロミラーが制御される前の状態におけるマイクロミラーの反射面の法線に対して、斜め方向から入射する入射光を法線に対して斜め方向に反射する光学系を提供する。この構成によると、入射光と反射光を容易に分離することできる。   According to a twelfth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to eleventh aspects, the reflective spatial light modulator is incident by controlling the inclination of the plurality of micromirrors. This is a micromirror device that modulates light. The micromirror device is designed to make incident light incident from an oblique direction relative to the normal to the normal of the reflective surface of the micromirror before the micromirror is controlled. An optical system that reflects in an oblique direction is provided. According to this configuration, incident light and reflected light can be easily separated.

本発明の第13の態様は、第2の態様乃至第11の態様のいずれか1つに記載の光学系において、反射型空間光変調器は、複数のマイクロミラーの傾斜を制御することにより入射光を変調するマイクロミラーデバイスであり、マイクロミラーデバイスは、マイクロミラーが制御される前の状態におけるマイクロミラーの反射面の法線に対して、斜め方向から入射する入射光を法線の方向に反射する光学系を提供する。   According to a thirteenth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to eleventh aspects, the reflective spatial light modulator is incident by controlling the inclination of the plurality of micromirrors. This is a micromirror device that modulates light, and the micromirror device is designed to make incident light incident in an oblique direction relative to the normal of the reflective surface of the micromirror before the micromirror is controlled. A reflecting optical system is provided.

本発明の第14の態様は、第2の態様乃至第11の態様のいずれか1つに記載の光学系において、反射型空間光変調器は、反射型液晶(LCOS)であり、反射型液晶は、反射型液晶の反射面の法線に対して斜め方向から入射する入射光を、法線に対して斜め方向に反射する光学系を提供する。この構成によると、入射光と反射光を容易に分離することできる。   According to a fourteenth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to eleventh aspects, the reflective spatial light modulator is a reflective liquid crystal (LCOS), and the reflective liquid crystal Provides an optical system that reflects incident light incident in an oblique direction with respect to the normal line of the reflective surface of the reflective liquid crystal in an oblique direction with respect to the normal line. According to this configuration, incident light and reflected light can be easily separated.

本発明の第15の態様は、第2の態様乃至第14の態様のいずれか1つに記載の光学系において、特定の偏光方向は、P偏光であり、第1のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過する光学系を提供する。   According to a fifteenth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to fourteenth aspects, the specific polarization direction is P-polarized light, and the first dichroic film is red. Provided is an optical system that reflects corresponding wavelength components and transmits wavelength components corresponding to green and blue.

本発明の第16の態様は、第2の態様乃至第14の態様のいずれか1つに記載の光学系において、特定の偏光方向は、S偏光であり、第1のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射する光学系を提供する。   According to a sixteenth aspect of the present invention, in the optical system according to any one of the second to fourteenth aspects, the specific polarization direction is S-polarized light, and the first dichroic film is red. Provided is an optical system that transmits corresponding wavelength components and reflects wavelength components corresponding to green and blue.

本発明の第17の態様は、第1の態様に記載の光学系において、複数の反射型空間光変調器は2つの反射型空間光変調器であり、色合成手段は、特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ない第2のダイクロイック膜であり、色分離合成部は、接合面上に第1のダイクロイック膜と第2のダイクロイック膜を配置した2つのプリズムから構成され、さらに、色分離合成部から射出される合成光の光路上に配置される偏光板を含む光学系を提供する。   According to a seventeenth aspect of the present invention, in the optical system according to the first aspect, the plurality of reflective spatial light modulators are two reflective spatial light modulators, and the color synthesizing means has a specific polarization direction. On the other hand, the second dichroic film has little deterioration in color separation characteristics depending on the incident angle, and the color separation / synthesis unit includes two prisms in which the first dichroic film and the second dichroic film are arranged on the joint surface. An optical system including a polarizing plate configured and further disposed on the optical path of the combined light emitted from the color separation / synthesis unit is provided.

本発明の第18の態様は、第17の態様に記載の光学系において、特定の偏光方向は、P偏光であり、偏光板は、P偏光のみを透過し、第1のダイクロイック膜及び第2のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過する光学系を提供する。   According to an eighteenth aspect of the present invention, in the optical system according to the seventeenth aspect, the specific polarization direction is P-polarized light, the polarizing plate transmits only P-polarized light, the first dichroic film, and the second This dichroic film provides an optical system that reflects a wavelength component corresponding to red and transmits wavelength components corresponding to green and blue.

本発明の第19の態様は、第17の態様に記載の光学系において、特定の偏光方向は、S偏光であり、偏光板は、S偏光のみを透過し、第1のダイクロイック膜及び第2のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射する光学系を提供する。   According to a nineteenth aspect of the present invention, in the optical system according to the seventeenth aspect, the specific polarization direction is S-polarized light, the polarizing plate transmits only S-polarized light, and the first dichroic film and the second dichroic film This dichroic film provides an optical system that transmits a wavelength component corresponding to red and reflects wavelength components corresponding to green and blue.

本発明の第20の態様は、照明光を方向付けるTIRプリズムと、照明光のそれぞれ異なる波長成分を変調する複数のマイクロミラーデバイスと、照明光を特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ないダイクロイック膜により分離しマイクロミラーデバイスへ導き、マイクロミラーデバイスによる変調光をダイクロイック膜で合成するダイクロイックプリズムと、ダイクロイックプリズムで合成された合成光のうちP偏光のみ透過する偏光板と、を含み、照明光のうちダイクロイック膜に特定の偏光方向で入射した成分のみを投影する光学系を提供する。   According to a twentieth aspect of the present invention, a TIR prism that directs illumination light, a plurality of micromirror devices that modulate different wavelength components of the illumination light, and the illumination light depends on an incident angle with respect to a specific polarization direction. A dichroic prism that separates by a dichroic film with little deterioration in color separation characteristics and leads to a micromirror device, and synthesizes the modulated light from the micromirror device with the dichroic film, and polarization that transmits only P-polarized light among the combined light synthesized by the dichroic prism And an optical system for projecting only a component of illumination light incident on a dichroic film in a specific polarization direction.

本発明の第21の態様は、第20の態様に記載の光学系において、特定の偏光方向は、P偏光である光学系を提供する。これにより、TIRプリズムが良好な特性を示すP偏光をTIRプリズムへ入射することができる。   A twenty-first aspect of the present invention provides the optical system according to the twentieth aspect, wherein the specific polarization direction is P-polarized light. As a result, P-polarized light having good characteristics of the TIR prism can be incident on the TIR prism.

本発明の第22の態様は、第20の態様に記載の光学系において、特定の偏光方向は、S偏光であり、さらに、TIRプリズムとダイクロイックプリズムの間に1/2λ板を含む光学系を提供する。これにより、TIRプリズムが良好な特性を示す偏光方向とダイクロイック膜が良好な特性を示す偏光方向が異なる場合であっても、それぞれに良好な特性を示す偏光を入射させることができる。   According to a twenty-second aspect of the present invention, in the optical system according to the twentieth aspect, the specific polarization direction is S-polarized light, and the optical system further includes a ½λ plate between the TIR prism and the dichroic prism. provide. As a result, even when the polarization direction in which the TIR prism exhibits good characteristics and the polarization direction in which the dichroic film exhibits good characteristics are different, polarized light having good characteristics can be incident on each.

本発明の第23の態様は、第21の態様に記載の光学系において、ダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過する光学系を提供する。   A twenty-third aspect of the present invention provides the optical system according to the twenty-first aspect, wherein the dichroic film reflects a wavelength component corresponding to red and transmits a wavelength component corresponding to green and blue. .

本発明の第24の態様は、第22の態様に記載の光学系において、ダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射する光学系を提供する。   A twenty-fourth aspect of the present invention provides the optical system according to the twenty-second aspect, wherein the dichroic film transmits a wavelength component corresponding to red and reflects a wavelength component corresponding to green and blue. .

本発明の第25の態様は、複数の波長成分を含む照明光を発する光源と、偏光方向を変換する波長成分を経時的に切り替えながら波長選択的に照明光の偏光方向を変換する波長選択偏光変換部と、第1の態様または第20の態様に記載の光学系と、を含み、照明光のうち、波長選択偏光変換部により偏光方向が変換されなかった波長成分を投影する投影装置を提供する。   According to a twenty-fifth aspect of the present invention, there is provided a light source that emits illumination light including a plurality of wavelength components, and a wavelength selective polarization that selectively converts the polarization direction of the illumination light while switching the wavelength component that converts the polarization direction over time. A projection apparatus that includes a conversion unit and the optical system according to the first aspect or the twentieth aspect, and projects a wavelength component of the illumination light whose polarization direction has not been converted by the wavelength selective polarization conversion unit. To do.

本発明の第26の態様は、第25の態様に記載の投影装置において、複数の波長成分は、赤色、緑色、青色に相当する波長成分であり、波長選択偏光変換部は、照明光の緑色に相当する波長成分の偏光方向と青色に相当する波長成分の偏光方向を交互に変換する投影装置を提供する。   According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the projection apparatus according to the twenty-fifth aspect, the plurality of wavelength components are wavelength components corresponding to red, green, and blue, and the wavelength selective polarization converter is a green color of the illumination light. A projection device is provided that alternately converts the polarization direction of the wavelength component corresponding to 1 and the polarization direction of the wavelength component corresponding to blue.

本発明の第27の態様は、第25の態様に記載の投影装置において、波長選択偏光変換部は、偏光方向を変換する波長成分を経時的に切り替えながら波長選択的に照明光の偏光方向をP偏光からS偏光に変換する投影装置を提供する。   According to a twenty-seventh aspect of the present invention, in the projection apparatus according to the twenty-fifth aspect, the wavelength selective polarization conversion unit selectively changes the polarization direction of the illumination light while switching the wavelength component for converting the polarization direction over time. A projection device for converting P-polarized light to S-polarized light is provided.

本発明の第28の態様は、第25の態様に記載の投影装置において、複数の波長成分は、赤色、緑色、青色に相当する波長成分であり、波長選択偏光変換部は、照明光の緑色に相当する波長成分の偏光方向と青色に相当する波長成分の偏光方向を交互にP偏光からS偏光に変換する投影装置を提供する。   According to a twenty-eighth aspect of the present invention, in the projection apparatus according to the twenty-fifth aspect, the plurality of wavelength components are wavelength components corresponding to red, green, and blue, and the wavelength selective polarization converter is a green color of the illumination light. A projection device is provided that alternately converts the polarization direction of the wavelength component corresponding to 1 and the polarization direction of the wavelength component corresponding to blue to P polarization to S polarization.

本発明の第29の態様は、第26の態様または第28の態様に記載の投影装置において、緑色に相当する波長成分を投影する時間は、青色に相当する波長成分を投影する時間以上である投影装置を提供する。これにより、投影画像では、良好なホワイトバランスを示す。   According to a twenty-ninth aspect of the present invention, in the projection device according to the twenty-sixth aspect or the twenty-eighth aspect, the time for projecting the wavelength component corresponding to green is equal to or longer than the time for projecting the wavelength component corresponding to blue. A projection device is provided. As a result, the projected image shows good white balance.

本発明の第30の態様は、第29の態様に記載の投影装置において、緑色に相当する波長成分を投影する時間と青色に相当する波長成分を投影する時間の比は、0.7:0.3乃至0.5:0.5である投影装置を提供する。   According to a thirtieth aspect of the present invention, in the projection device according to the twenty-ninth aspect, the ratio of the time for projecting the wavelength component corresponding to green to the time for projecting the wavelength component corresponding to blue is 0.7: 0. .3 to 0.5: 0.5 is provided.

本発明の第31の態様は、第25の態様乃至第30の態様のいずれか1つに記載の投影装置において、さらに、光源と波長選択偏光変換部の間に、光源が発する照明光を特定の偏光方向に変換する偏光変換部を含む投影装置を提供する。   According to a thirty-first aspect of the present invention, in the projection device according to any one of the twenty-fifth to thirtieth aspects, the illumination light emitted from the light source is further specified between the light source and the wavelength selective polarization converter. A projection apparatus including a polarization conversion unit that converts the polarization direction into a polarization direction is provided.

本発明の第32の態様は、第25の態様乃至第31の態様のいずれか1つに記載の投影装置において、波長選択偏光変換部は、同一平面上に放射状に配置され、全体として円形状をなす複数の特定波長偏光変換素子を含み、複数の特定波長偏光変換素子は、平面に垂直で、円形の中心を通る回転軸周りに回転する投影装置を提供する。   According to a thirty-second aspect of the present invention, in the projection apparatus according to any one of the twenty-fifth to thirty-first aspects, the wavelength selective polarization conversion units are arranged radially on the same plane, and are circular as a whole. A plurality of specific wavelength polarization conversion elements, wherein the plurality of specific wavelength polarization conversion elements provide a projection device that is rotated about an axis of rotation that is perpendicular to a plane and passes through a circular center.

本発明の第33の態様は、第25の態様乃至第31の態様のいずれか1つに記載の投影装置において、波長選択偏光変換部は、全体として円筒を形成し、円筒表面に配置された複数の特定波長偏光変換素子と、円筒内部に配置された反射手段を含み、複数の特定波長偏光変換素子は、円筒の中心を通る回転軸周りに回転する投影装置を提供する。この構成によると、回転によって特定波長偏光変換素子の特性が変化しないため、効率の良い偏光方向の変換を実現できる。   According to a thirty-third aspect of the present invention, in the projection device according to any one of the twenty-fifth to thirty-first aspects, the wavelength selective polarization conversion unit forms a cylinder as a whole and is disposed on the cylindrical surface. The projector includes a plurality of specific wavelength polarization conversion elements and reflecting means disposed inside the cylinder, and the plurality of specific wavelength polarization conversion elements provide a projection device that rotates about a rotation axis passing through the center of the cylinder. According to this configuration, since the characteristics of the specific wavelength polarization conversion element do not change due to rotation, it is possible to achieve efficient polarization direction conversion.

本発明の第34の態様は、第25の態様乃至第31の態様のいずれか1つに記載の投影装置において、波長選択偏光変換部は、一定方向に並べて配置された複数の特定波長偏光変換素子を含み、複数の特定波長偏光変換素子は、一定方向に沿ってスライドする投影装置を提供する。この構成によると、回転によって特定波長偏光変換素子の特性が変化しないため、効率の良い偏光方向の変換を実現できる。   A thirty-fourth aspect of the present invention is the projection apparatus according to any one of the twenty-fifth to thirty-first aspects, wherein the wavelength selection polarization conversion unit includes a plurality of specific wavelength polarization conversions arranged in a certain direction. A plurality of specific wavelength polarization conversion elements including an element provide a projection device that slides along a certain direction. According to this configuration, since the characteristics of the specific wavelength polarization conversion element do not change due to rotation, it is possible to achieve efficient polarization direction conversion.

本発明の第35の態様は、第25の態様乃至第31の態様のいずれか1つに記載の投影装置において、波長選択偏光変換部は、偏光方向を変換する波長成分を電気的な制御により切り替える電子的色別偏光制御手段である投影装置を提供する。   According to a thirty-fifth aspect of the present invention, in the projection device according to any one of the twenty-fifth to thirty-first aspects, the wavelength selective polarization conversion unit electrically controls the wavelength component for converting the polarization direction. Provided is a projection device which is an electronic color-specific polarization control means for switching.

本発明によれば、投影光として利用する波長成分が、ダイクロイック膜が良好な特性を示す偏光方向でダイクロイック膜に入射することにより、入射角に依存した特性の劣化を抑えることが可能となり、これによって光量ロスが少なく色再現性の良い光学系及びこれを備えた多板式投影装置を提供することができる。   According to the present invention, the wavelength component used as the projection light is incident on the dichroic film in the polarization direction in which the dichroic film exhibits good characteristics, so that it is possible to suppress deterioration of characteristics depending on the incident angle. Accordingly, it is possible to provide an optical system with little light loss and good color reproducibility and a multi-plate projection apparatus including the same.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本実施形態における2板式の投影装置100の構成を例示する図である。投影装置100は、光源11、偏光変換部12、ホイール型波長選択偏光変換部13、1/4λ板14、第1の空間光変調器15、第2の空間光変調器16、色分離合成部20、空間光変調器を制御する不図示の制御回路、不図示の投影レンズを含んで構成されている。色分離合成部20は、異なる形状の2つのプリズム(プリズム21、プリズム22)からなり、プリズムの接合面上にはR透過型のダイクロイック膜23及びP偏光を透過する(以降、P偏光透過型と称する)偏光膜24が配置されている。また、ダイクロイック膜23は、S偏光に対して優れた特性を示すS偏光優位のダイクロイック膜とする。なお、本実施形態では、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16は、それぞれマイクロミラーデバイスを使用している。ミラーデバイスは、複数のマイクロミラーを含み、各々のマイクロミラーの傾斜を制御することにより入射光を変調する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of a two-plate projection device 100 according to this embodiment. The projection apparatus 100 includes a light source 11, a polarization conversion unit 12, a wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13, a ¼λ plate 14, a first spatial light modulator 15, a second spatial light modulator 16, and a color separation / synthesis unit. 20 includes a control circuit (not shown) for controlling the spatial light modulator and a projection lens (not shown). The color separation / combination unit 20 includes two prisms (prisms 21 and 22) having different shapes, and transmits an R-transmissive dichroic film 23 and P-polarized light on the joint surface of the prisms (hereinafter referred to as P-polarized and transmissive type). A polarizing film 24 is disposed. The dichroic film 23 is an S-polarized dichroic film that exhibits excellent characteristics with respect to S-polarized light. In the present embodiment, each of the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 uses a micromirror device. The mirror device includes a plurality of micromirrors, and modulates incident light by controlling the tilt of each micromirror.

図2は、本実施形態における投影装置100に含まれるホイール型波長選択偏光変換部13の構成を例示する図である。ホイール型波長選択偏光変換部13は、全体を4つの領域に分割し、青色(B)に相当する波長成分(以降、青色(B)成分と称する)の偏光方向のみをS偏光からP偏光へ波長選択的に変換する特定波長偏光変換素子13a及び特定波長偏光変換素子13c(以降、青色(B)特定波長偏光変換素子と称する)と緑色(G)に相当する波長成分(以降、緑色(G)成分と称する)の偏光方向のみをS偏光からP偏光へ波長選択的に変換する特定波長偏光変換素子13b及び特定波長偏光変換素子13d(以降、緑色(G)特定波長偏光変換素子と称する)を交互に組み合わせることにより構成されている。各特定波長偏光変換素子は、入射光の光軸と垂直をなすように配置されているものとする。また、各特定波長偏光変換素子は、入射光が各特定波長偏光変換素子を透過する際、入射光の偏光方向が図2において双方向矢印で示す特定波長偏光変換素子の基準軸13eの方向と一致している場合に、最も効率よく光の偏光方向を波長選択的に変換することができる。より具体的には、偏光方向を変換させることを意図した波長成分と実際に特定波長偏光変換素子が偏光方向を変換させる選択波長成分のずれが少なく、且つ、特定波長偏光変換素子を高い透過率で透過することになる。   FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 included in the projection apparatus 100 according to this embodiment. The wheel-type wavelength selective polarization converter 13 divides the whole into four regions, and changes only the polarization direction of the wavelength component corresponding to blue (B) (hereinafter referred to as blue (B) component) from S-polarized light to P-polarized light. Wavelength components corresponding to green (G) (hereinafter referred to as green (G) and specific wavelength polarization conversion element 13a and specific wavelength polarization conversion element 13c (hereinafter referred to as blue (B) specific wavelength polarization conversion element) and wavelength (G) that are selectively converted. A specific wavelength polarization conversion element 13b and a specific wavelength polarization conversion element 13d (hereinafter referred to as a green (G) specific wavelength polarization conversion element) that selectively converts only the polarization direction of S) to P polarization. It is comprised by combining alternately. Each specific wavelength polarization conversion element is arranged so as to be perpendicular to the optical axis of the incident light. Each specific wavelength polarization conversion element has a polarization direction of incident light that is indicated by a bidirectional arrow in FIG. 2 when the incident light passes through each specific wavelength polarization conversion element. If they match, the polarization direction of light can be converted in a wavelength selective manner most efficiently. More specifically, there is little deviation between the wavelength component intended to convert the polarization direction and the selected wavelength component that the specific wavelength polarization conversion element actually converts the polarization direction, and the specific wavelength polarization conversion element has a high transmittance. It will be transparent.

なお、このような特定波長偏光変換素子としては、例えば、カラーリンク(Color Link)社のカラーセレクト(Color Select)などがある。
また、ホイール型波長選択偏光変換部13は、図2に例示される構成に限定されるものではなく、特定の波長成分の偏光方向を波長選択的に変換する少なくとも2種類の特定波長偏光変換素子を含んで構成されていればよい。変形例については後に詳述する。
In addition, as such a specific wavelength polarization conversion element, there is, for example, Color Select of Color Link.
Further, the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 is not limited to the configuration illustrated in FIG. 2, and at least two types of specific wavelength polarization conversion elements that selectively convert the polarization direction of a specific wavelength component. As long as it is configured. The modification will be described in detail later.

以下、図1を参照しながら、光源11から射出された照明光1が不図示のスクリーンへ投影光5として投影されるまでの流れについて、投影装置100の各構成要素の作用と合わせて説明する。   Hereinafter, the flow until the illumination light 1 emitted from the light source 11 is projected as projection light 5 onto a screen (not shown) will be described together with the operation of each component of the projection device 100 with reference to FIG. .

まず、水銀ランプなどの光源11から射出された複数の波長成分および複数の偏光方向を含む照明光1は、不図示の反射板やロッドインテグレータ等を介して偏光変換部12へ入射する。偏光変換部12へ入射した照明光1は、特定の偏光方向のみを有する照明光2に変換される。ここでは、偏光変換部12は、照明光1をS偏光に変換するように作用し、より具体的には、例えば、P偏光のみを透過する偏光素子を用いて照明光1をP偏光とS偏光に一旦分離し、P偏光の光線のみ1/2λ板を透過させることで、入射した照明光1をすべてS偏光に変換した後、照明光2として出力するように作用する。   First, the illumination light 1 including a plurality of wavelength components and a plurality of polarization directions emitted from a light source 11 such as a mercury lamp enters the polarization conversion unit 12 via a reflector (not shown), a rod integrator, or the like. The illumination light 1 incident on the polarization conversion unit 12 is converted into illumination light 2 having only a specific polarization direction. Here, the polarization converter 12 acts to convert the illumination light 1 into S-polarized light. More specifically, for example, the polarization light 12 is converted into P-polarized light and S-polarized light using a polarization element that transmits only P-polarized light. By separating the light into P-polarized light and transmitting only the P-polarized light through the 1 / 2λ plate, the incident illumination light 1 is converted into S-polarized light and then output as the illumination light 2.

なお、ここでは、光源11として水銀ランプを想定したが、複数のサブ光源からなるレーザー光源を用いてもよい。その場合、この偏光変換部12は必ずしも必要ではない。
偏光変換部12によりS偏光に変換された照明光2は、ホイール型波長選択偏光変換部13へ入射する。図2で例示されるホイール型波長選択偏光変換部13に入射した照明光2は、不図示の制御装置に制御されたホイール型波長選択偏光変換部13の回転により、青色(B)特定波長偏光変換素子と緑色(G)特定波長偏光変換素子を交互に透過することになる。これにより、ホイール型波長選択偏光変換部13を透過した照明光3は、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過し青色(B)成分の偏光方向のみP偏光(それ以外はS偏光)である状態と緑色(G)特定波長偏光変換素子を透過し緑色(G)成分の偏光方向のみP偏光(それ以外はS偏光)である状態の2つの状態を経時的に交互に有することになる。
Although a mercury lamp is assumed here as the light source 11, a laser light source including a plurality of sub light sources may be used. In that case, the polarization converter 12 is not always necessary.
The illumination light 2 converted into S-polarized light by the polarization conversion unit 12 is incident on the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13. The illumination light 2 incident on the wheel type wavelength selective polarization converter 13 illustrated in FIG. 2 is blue (B) specific wavelength polarized light by the rotation of the wheel type wavelength selective polarization converter 13 controlled by a control device (not shown). The conversion element and the green (G) specific wavelength polarization conversion element are alternately transmitted. As a result, the illumination light 3 transmitted through the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 is transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element, and only the polarization direction of the blue (B) component is P-polarized (the other is S-polarized). It has two states, one state and a state where the green (G) specific wavelength polarization conversion element is transmitted, and only the polarization direction of the green (G) component is P-polarized light (otherwise it is S-polarized light). .

なお、後に詳述するが、ここで変換された波長成分は不要光4として不図示のスクリーンに到達する前に除去されることになる。
ホイール型波長選択偏光変換部13を透過した照明光3は、青(B)または緑(G)成分のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射する。図3Aから図3Gは、色分離合成部20内へ入射後、第1の空間光変調器15または第2の空間光変調器16で変調され、投影光5として不図示のスクリーンに投影されるまでの照明光3に含まれる赤色(R)成分、青色(B)成分、緑色(G)成分それぞれの光路を示した図である。以下、図3Aから図3Gを参照しながら説明する。
As will be described in detail later, the wavelength component converted here is removed as unnecessary light 4 before reaching a screen (not shown).
The illumination light 3 that has passed through the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 enters the color separation / combination unit 20 in the state of P-polarized light only in the blue (B) or green (G) component. 3A to 3G, after entering the color separation / combination unit 20, the light is modulated by the first spatial light modulator 15 or the second spatial light modulator 16 and projected onto a screen (not shown) as projection light 5. It is the figure which showed the optical path of each of the red (R) component, blue (B) component, and green (G) component contained in the illumination light 3 until. Hereinafter, a description will be given with reference to FIGS. 3A to 3G.

まず、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過し青色(B)成分の偏光方向のみP偏光の状態にある照明光3の場合について説明する。図3Aに示すように、色分離合成部20を構成するプリズム21に入射した照明光3は、接合面の一部に配置されたR透過型のダイクロイック膜23へ入射する。照明光3の赤色(R)成分は、ダイクロイック膜23を透過し、所定の角度で第1の空間光変調器15に入射する。それ以外の青色(B)及び緑色(G)成分は、ダイクロイック膜23で反射し、プリズム21の入射面で全反射した後に、所定の角度で第2の空間光変調器16へ入射する。   First, the case of the illumination light 3 that is transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element and is in the P-polarized state only in the polarization direction of the blue (B) component will be described. As shown in FIG. 3A, the illumination light 3 incident on the prism 21 constituting the color separation / combination unit 20 is incident on an R transmission type dichroic film 23 disposed on a part of the joint surface. The red (R) component of the illumination light 3 passes through the dichroic film 23 and enters the first spatial light modulator 15 at a predetermined angle. The other blue (B) and green (G) components are reflected by the dichroic film 23 and totally reflected by the incident surface of the prism 21, and then enter the second spatial light modulator 16 at a predetermined angle.

なお、照明光3のダイクロイック膜23への入射角は、R透過型として良好な特性が得られる角度に予め設計されている。これにより、ダイクロイック膜23は、照明光3の赤色(R)成分とそれ以外の成分を高精度に色分離することができる。   The incident angle of the illumination light 3 to the dichroic film 23 is designed in advance so as to obtain good characteristics as an R transmission type. Thereby, the dichroic film 23 can color-separate the red (R) component of the illumination light 3 and the other components with high accuracy.

また、ダイクロイック膜23は上述のとおりS偏光優位のダイクロイック膜であるため、S偏光については入射角に関して比較的広い範囲で良好な特性が得られる。このため、光束が所定のNAを持つためなどによりダイクロイック膜に対する入射角がばらつく場合であっても、S偏光状態にある赤色(R)及び緑色(G)成分については特性の劣化が最小限に抑えられて、高精度で色分離され、それぞれ第1の空間光変調器15、第2の空間光変調器16へ到達することになる。   Further, as described above, since the dichroic film 23 is a dichroic film that is predominantly S-polarized, good characteristics can be obtained in a relatively wide range with respect to the incident angle. For this reason, even when the incident angle with respect to the dichroic film varies due to the light flux having a predetermined NA, the deterioration of characteristics of the red (R) and green (G) components in the S-polarized state is minimized. Thus, color separation is performed with high accuracy, and the light reaches the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16, respectively.

一方、P偏光状態にある青色(B)成分については、入射角によるダイクロイック膜23の特性の劣化が大きいため、入射角によってはS偏光状態の赤色(R)及び緑色(G)成分に比べ色分離精度が低下する。しかし、後に詳述するようにダイクロイック膜23に入射時点でP偏光であった成分については偏光膜24で不要光4として投影光5から除去されることから、上記色分離精度の低下は、表示される映像の色再現性には影響しない。   On the other hand, the blue (B) component in the P-polarized state has a large deterioration in the characteristics of the dichroic film 23 due to the incident angle, so that depending on the incident angle, the color is different from the red (R) and green (G) components in the S-polarized state. Separation accuracy decreases. However, as described later in detail, the component that was P-polarized at the time of incidence on the dichroic film 23 is removed from the projection light 5 as unnecessary light 4 by the polarizing film 24. This does not affect the color reproducibility of the recorded video.

図3Bは、第1の空間光変調器15へ入射後の赤色(R)成分の光路のみを示した図である。第1の空間光変調器15へ入射した赤色(R)成分は不図示の制御回路から受信した赤色(R)成分に関する制御信号に基づいて、第1の空間光変調器15の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射する。   FIG. 3B is a diagram showing only the optical path of the red (R) component after being incident on the first spatial light modulator 15. The red (R) component incident on the first spatial light modulator 15 is generated at each pixel portion of the first spatial light modulator 15 based on a control signal related to a red (R) component received from a control circuit (not shown). Modulated and reflected in the normal direction by the amount of light required for each pixel.

この時、赤色(R)成分は、色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間の光路上に配置された1/4λ板14を往復することになるため、偏光方向が90度回転してS偏光からP偏光へ変換される。P偏光に変換された赤色(R)成分は、再度、色分離合成部20へ入射し、P偏光透過型の偏光膜24を透過して、投影光5として投影される。   At this time, the red (R) component travels back and forth through the quarter-λ plate 14 disposed on the optical path between the color separation / synthesis unit 20 and the first spatial light modulator 15, so that the polarization direction is 90. Rotate the angle to convert from S-polarized light to P-polarized light. The red (R) component converted into P-polarized light again enters the color separation / synthesis unit 20, passes through the P-polarized transmission type polarizing film 24, and is projected as projection light 5.

なお、偏光膜24への入射角は、P偏光透過型として良好な特性が得られる角度に予め設計されている。これにより、偏光膜24は、1/4λ板14での偏光方向の変換を考慮すると、ダイクロイック膜23をP偏光で透過した成分を高精度に投影光から除去することができる。例えば、上述したダイクロイック膜23の特性の劣化により第1の空間光変調器15へ入射したP偏光の青色(B)成分などを除去することができる。   In addition, the incident angle to the polarizing film 24 is designed in advance so as to obtain good characteristics as a P-polarized transmission type. Thereby, the polarization film 24 can remove the component transmitted through the dichroic film 23 by the P-polarized light from the projection light with high accuracy in consideration of the change of the polarization direction at the ¼λ plate 14. For example, the blue (B) component of P-polarized light that has entered the first spatial light modulator 15 due to the deterioration of the characteristics of the dichroic film 23 described above can be removed.

また、1/4λ板14は、赤色(R)成分にのみ波長選択的に1/4λ板として作用する特定波長偏光変換素子であってもよい。この場合、ダイクロイック膜23をS偏光で透過した成分(ただし、赤色(R)成分を除く)を投影光から除去することができる。例えば、ダイクロイック膜23の色分離精度の誤差によりS偏光で透過した緑色(G)成分などをS偏光を反射する偏光膜24により投影光から除去することができる。なお、赤色(R)成分にのみ波長選択的に1/4λ板として作用する特定波長偏光変換素子は、通常の1/4λ板と比較して狭い波長域で特性を確保すればよいため、特性の確保が容易となる。   Further, the ¼λ plate 14 may be a specific wavelength polarization conversion element that functions as a ¼λ plate in a wavelength selective manner only for the red (R) component. In this case, components transmitted through the dichroic film 23 with S-polarized light (except for the red (R) component) can be removed from the projection light. For example, a green (G) component transmitted by S-polarized light due to an error in color separation accuracy of the dichroic film 23 can be removed from the projection light by the polarizing film 24 that reflects S-polarized light. The specific wavelength polarization conversion element that functions as a ¼λ plate wavelength-selectively only for the red (R) component only needs to secure characteristics in a narrow wavelength range as compared with a normal ¼λ plate. Is easily secured.

図3Cは、第2の空間光変調器16へ入射後の青色(B)及び緑色(G)成分の光路を示した図である。第2の空間光変調器16へ入射後の青色(B)及び緑色(G)成分は不図示の制御回路から受信した制御信号に基づいて、第2の空間光変調器16の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射する。   FIG. 3C is a diagram illustrating optical paths of blue (B) and green (G) components after entering the second spatial light modulator 16. The blue (B) and green (G) components after entering the second spatial light modulator 16 are generated in each pixel unit of the second spatial light modulator 16 based on a control signal received from a control circuit (not shown). Modulated and reflected in the normal direction by the amount of light required for each pixel.

なお、不図示の制御回路は、第2の空間光変調器16をホイール型波長選択偏光変換部13の回転に同期して制御している。より具体的には、不図示の制御回路は、特定波長偏光変換素子の切り替えの際、照明光2が青色(B)特定波長偏光変換素子を透過する場合には、緑色(G)成分に関する制御信号を、緑色(G)特定波長偏光変換素子を透過する場合には、青色(B)成分に関する制御信号を第2の空間光変調器16へ送信する。   A control circuit (not shown) controls the second spatial light modulator 16 in synchronization with the rotation of the wheel type wavelength selective polarization converter 13. More specifically, the control circuit (not shown) controls the green (G) component when the illumination light 2 passes through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element when the specific wavelength polarization conversion element is switched. When the signal passes through the green (G) specific wavelength polarization conversion element, a control signal related to the blue (B) component is transmitted to the second spatial light modulator 16.

これにより、第2の空間光変調器16では、ホイール型波長選択偏光変換部13により偏光方向を変換され、後に投影光5から除去される成分とは異なる成分(ここでは、緑色(G)成分)に関する制御信号に基づいて変調されることになる。   Thereby, in the second spatial light modulator 16, a component (here, green (G) component different from the component whose polarization direction is converted by the wheel type wavelength selective polarization conversion unit 13 and later removed from the projection light 5 is used. ) To be modulated based on the control signal.

第2の空間光変調器16で変調された青色(B)及び緑色(G)成分は、再度、色分離合成部20へ入射し、プリズム21で一度全反射してからP偏光透過型の偏光膜24へ入射する。偏光膜24への入射角は、P偏光透過型として良好な特性が得られる角度に予め設計されている。これにより、S偏光の緑色(G)成分は偏光膜24で反射して投影光5として投影され、P偏光の青色(B)成分は、偏光膜24を透過して不要光4として除去されることになる。   The blue (B) and green (G) components modulated by the second spatial light modulator 16 are incident on the color separation / synthesis unit 20 again, and once totally reflected by the prism 21, and then the P-polarized transmission type polarized light. The light enters the film 24. The incident angle to the polarizing film 24 is designed in advance so as to obtain good characteristics as a P-polarized transmission type. Thereby, the green (G) component of S-polarized light is reflected by the polarizing film 24 and projected as the projection light 5, and the blue (B) component of P-polarized light is transmitted through the polarizing film 24 and removed as unnecessary light 4. It will be.

このように、青色(B)成分の偏光方向のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射した照明光3は、図3Dで示されるように、赤色(R)及び緑色(G)成分が偏光膜24で合成され、投影光5として不図示のスクリーンへ投影される。   In this way, the illumination light 3 that has entered the color separation / combination unit 20 in the state of P polarization only in the polarization direction of the blue (B) component has red (R) and green (G) components as shown in FIG. 3D. The light is synthesized by the polarizing film 24 and projected onto a screen (not shown) as projection light 5.

次に、緑色(G)特定波長偏光変換素子を透過し緑色(G)成分の偏光方向のみP偏光の状態にある照明光3の場合について説明する。
図3Eに示すように、色分離合成部20に入射した照明光3は、図3Aの場合と同様に、ダイクロイック膜23で色分離され、赤色(R)成分は第1の空間光変調器15へ入射し、それ以外の青色(B)及び緑色(G)成分は第2の空間光変調器16へ入射する。
Next, the case of the illumination light 3 that passes through the green (G) specific wavelength polarization conversion element and is in the P-polarized state only in the polarization direction of the green (G) component will be described.
As shown in FIG. 3E, the illumination light 3 incident on the color separation / synthesis unit 20 is color-separated by the dichroic film 23 as in FIG. 3A, and the red (R) component is the first spatial light modulator 15. The other blue (B) and green (G) components are incident on the second spatial light modulator 16.

なお、ダイクロイック膜23はS偏光優位のダイクロイック膜であるため、P偏光である緑色(G)成分は他の成分に比べて色分離の精度が劣化しやすい。このため、一部の緑色(G)成分については、第1の空間光変調器15へ入射する可能性もあるが、第1の空間光変調器15、第2の空間光変調器16のどちらの方向に分離された場合であっても、その後、偏光膜24で除去されることになるため、表示される映像の色再現性には影響しない。   Note that since the dichroic film 23 is a dichroic film that is predominantly S-polarized, the accuracy of color separation of the green (G) component, which is P-polarized light, is likely to deteriorate compared to other components. For this reason, some green (G) components may be incident on the first spatial light modulator 15, but either of the first spatial light modulator 15 or the second spatial light modulator 16. Even if the image is separated in this direction, it is removed by the polarizing film 24 thereafter, so that the color reproducibility of the displayed image is not affected.

赤色(R)成分は、図3Bと同様に、第1の空間光変調器15で変調され、1/4λ板14でP偏光に変換された上で、偏光膜24を透過し投影光5として投影される。
一方、第2の空間光変調器16へ入射後の青色(B)及び緑色(G)成分は、ホイール型波長選択偏光変換部13と同期して青色(B)成分に関する制御信号に基づいて変調されることになる。その後、図3Fで示すように、S偏光の青色(B)成分は偏光膜24で反射し投影光5として投影され、P偏光の緑色(G)成分は、偏光膜24を透過して不要光4として除去されることになる。
Similarly to FIG. 3B, the red (R) component is modulated by the first spatial light modulator 15, converted to P-polarized light by the ¼λ plate 14, and then transmitted through the polarizing film 24 as projection light 5. Projected.
On the other hand, the blue (B) and green (G) components after entering the second spatial light modulator 16 are modulated based on the control signal related to the blue (B) component in synchronization with the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Will be. Thereafter, as shown in FIG. 3F, the blue (B) component of S-polarized light is reflected by the polarizing film 24 and projected as projection light 5, and the green (G) component of P-polarized light is transmitted through the polarizing film 24 and becomes unnecessary light. 4 will be removed.

このように、緑色(G)成分の偏光方向のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射した照明光3は、図3Gで示されるように、赤色(R)及び青色(B)成分が偏光膜24で合成され、投影光5として不図示のスクリーンへ投影される。   In this way, the illumination light 3 that has entered the color separation / combination unit 20 in the state of P polarization only in the polarization direction of the green (G) component has red (R) and blue (B) components as shown in FIG. 3G. The light is synthesized by the polarizing film 24 and projected onto a screen (not shown) as projection light 5.

以上、本実施形態では、照明光2が緑色(G)特定波長偏光変換素子と青色(B)特定波長偏光変換素子を交互に透過することで、赤色(R)成分及び青色(B)成分の合成光と赤色(R)成分及び緑色(G)成分の合成光が交互に投影され、カラー画像を表示する。   As described above, in the present embodiment, the illumination light 2 is alternately transmitted through the green (G) specific wavelength polarization conversion element and the blue (B) specific wavelength polarization conversion element, so that the red (R) component and the blue (B) component are transmitted. The synthesized light and the synthesized light of the red (R) component and the green (G) component are alternately projected to display a color image.

本実施形態では、ダイクロイック膜23は照明光3に対してのみ作用し、偏光膜24は投影光5に対してのみ作用するように構成されている。このため、照明光と投影光の両方に対して作用する場合に比べ、ダイクロイック膜23や偏光膜24の入射角を最適化しやすく、最適な入射角からのずれを小さくできるため、入射角に依存した特性の劣化を抑えることができる。これは、高い色再現性の実現や光量ロスの減少に寄与することになる。   In this embodiment, the dichroic film 23 acts only on the illumination light 3, and the polarizing film 24 acts only on the projection light 5. For this reason, it is easier to optimize the incident angle of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 than when acting on both illumination light and projection light, and the deviation from the optimum incident angle can be reduced. It is possible to suppress deterioration of the characteristics. This contributes to realization of high color reproducibility and reduction of light quantity loss.

また、本実施形態では偏光状態を利用して投影光5を選択的に出力しているが、投影光5として利用する波長成分がダイクロイック膜23が良好な特性を示す偏光方向(S偏光)でダイクロイック膜23に入射することにより、入射角に依存した特性の劣化をさらに抑えることができる。このような特定偏光に対して良好な特性を示すダイクロイック膜は、P偏光とS偏光の両方に対して良好な特性を示すダイクロイック膜に比べ、一般に設計が容易であり、より良好な特性を得ることができる。なお、リップルの少なくスムーズで急峻な波長依存性を示し、設計の自由度も高いため、ルゲートフィルタや傾斜膜としてダイクロイック膜を生成するとなお良い。   In this embodiment, the projection light 5 is selectively output using the polarization state. However, the wavelength component used as the projection light 5 is a polarization direction (S-polarized light) in which the dichroic film 23 exhibits good characteristics. By entering the dichroic film 23, it is possible to further suppress the deterioration of the characteristics depending on the incident angle. Such a dichroic film exhibiting good characteristics for specific polarized light is generally easier to design and obtains better characteristics than a dichroic film exhibiting good characteristics for both P-polarized light and S-polarized light. be able to. It should be noted that a dichroic film is preferably generated as a lugate filter or an inclined film because it exhibits smooth and steep wavelength dependence with little ripple and a high degree of design freedom.

また、本実施形態の色分離合成部20は、2つのプリズムで色分離合成の他に、照明光と投影光の分離も合わせて実現している。このため、これらを別体のTIRプリズムやPBSプリズムで行う場合に比べて、プリズムの種類及び数ともに削減でき、光学系の単純化やコスト面でのメリットが得られる。特に、TIRプリズムの除去は、内部の微小なギャップの高精度な保持にかかる負担や光がギャップを透過する際に発生する光量ロスや収差の改善にも寄与する。   The color separation / combination unit 20 of the present embodiment also realizes separation of illumination light and projection light in addition to color separation / combination with two prisms. For this reason, compared with the case where these are performed by separate TIR prisms or PBS prisms, both the types and the number of prisms can be reduced, and the advantages of simplification of the optical system and cost can be obtained. In particular, the removal of the TIR prism contributes to an improvement in the burden of high-precision holding of the minute internal gap and the light amount loss and aberration generated when light passes through the gap.

その他、本実施形態の色分離合成部20では、ダイクロイック膜23と偏光膜24が同一平面上に形成されるため、膜の製作やそれに伴うプリズムの取り扱いが容易な点や、空間光変調器での変調から投影までの間の反射回数がいずれの光路であっても偶数回であるため、像の反転を意識する必要がない点などのメリットがある。   In addition, since the dichroic film 23 and the polarizing film 24 are formed on the same plane in the color separation / combination unit 20 of the present embodiment, it is easy to manufacture the film and handle the prism associated therewith, or use a spatial light modulator. Since the number of reflections from the modulation to the projection is an even number regardless of the optical path, there is an advantage that it is not necessary to be aware of the inversion of the image.

なお、これまで、空間光変調器はマイクロミラーデバイスとし、図4Aで例示するように、マイクロミラーが制御される前の状態(以降、初期状態と称する。)におけるマイクロミラー平面の法線に対して所定の角度で斜め方向から入射した照明光3のうち、必要な光量だけON光として法線方向に反射する例を示した。しかし、反射方向は特にこれに限られるものではない。図4Bで例示するように、初期状態におけるマイクロミラー平面の法線に対して図4Aとは異なる所定の角度で斜め方向から入射した照明光3を、必要な光量だけON光として斜め方向へ反射するように構成してもよい。この場合、照明光3と投影光5の方向の分離を行いやすいというメリットがある。   Until now, the spatial light modulator is a micromirror device, and as illustrated in FIG. 4A, the normal line of the micromirror plane in a state before the micromirror is controlled (hereinafter referred to as an initial state). In this example, the illumination light 3 incident from an oblique direction at a predetermined angle is reflected in the normal direction as ON light by a necessary amount. However, the reflection direction is not particularly limited to this. As illustrated in FIG. 4B, the illumination light 3 incident from the oblique direction at a predetermined angle different from that in FIG. 4A with respect to the normal line of the micromirror plane in the initial state is reflected in the oblique direction as a required amount of light as ON light. You may comprise. In this case, there is an advantage that the directions of the illumination light 3 and the projection light 5 can be easily separated.

さらに、上述したとおり、ホイール型波長選択偏光変換部13についても図2で例示される構成に限定されるものではない。図5Aから図5Eはホイール型波長選択偏光変換部13の変形例である。   Furthermore, as described above, the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is not limited to the configuration illustrated in FIG. 5A to 5E are modified examples of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13.

図5Aで例示されるホイール型波長選択偏光変換部31は、青色(B)特定波長偏光変換素子31aと緑色(G)特定波長偏光変換素子31bを1つずつ使用して構成した例である。   The wheel-type wavelength selective polarization converter 31 illustrated in FIG. 5A is an example configured using one blue (B) specific wavelength polarization conversion element 31a and one green (G) specific wavelength polarization conversion element 31b.

図5Bで例示されるホイール型波長選択偏光変換部32は、青色(B)特定波長偏光変換素子32aと緑色(G)特定波長偏光変換素子32bに加え、緑色(G)と青色(B)の両方の成分の偏光方向を変換するシアン(C)特定波長偏光変換素子32cを使用して構成した例である。この場合、シアン(C)特定波長偏光変換素子32cを透過する間は、緑色(G)及び青色(B)成分ともに、不要光4として排除されることになり、緑色(G)及び青色(B)成分の光量を調整することができる。   The wheel type wavelength selective polarization conversion unit 32 illustrated in FIG. 5B includes green (G) and blue (B) in addition to the blue (B) specific wavelength polarization conversion element 32a and the green (G) specific wavelength polarization conversion element 32b. In this example, a cyan (C) specific wavelength polarization conversion element 32c that converts the polarization directions of both components is used. In this case, while transmitting through the cyan (C) specific wavelength polarization conversion element 32c, both the green (G) and blue (B) components are excluded as unnecessary light 4, and the green (G) and blue (B ) The light quantity of the component can be adjusted.

図5Cで例示されるホイール型波長選択偏光変換部33は、青色(B)特定波長偏光変換素子33aと緑色(G)特定波長偏光変換素子33bに加え、偏光作用を有しない透明平板33cを使用して構成した例である。この場合、透明平板33cを透過する間は、緑色(G)及び青色(B)成分ともに、投影光5として投影されることになり、より明るい画像を得ることができる。   The wheel-type wavelength selective polarization converter 33 illustrated in FIG. 5C uses a transparent flat plate 33c having no polarization action in addition to the blue (B) specific wavelength polarization conversion element 33a and the green (G) specific wavelength polarization conversion element 33b. This is an example configured. In this case, while transmitting through the transparent flat plate 33c, both the green (G) and blue (B) components are projected as the projection light 5, and a brighter image can be obtained.

その他にも、ホワイトバランスを考慮して緑色(G)と青色(B)の特定波長偏光変換素子の割合をさまざまに調整することができる。
例えば、光源11が水銀ランプである場合は、赤色(R)成分の光量が不足する傾向にあるので、本実施形態のように、赤色(R)成分を常時投影しながら、ホワイトバランスを考慮して、緑色(G)と青色(B)の成分を7:3から5:5程度の割合で交互に投影するとよい。
In addition, the ratio of the specific wavelength polarization conversion elements of green (G) and blue (B) can be variously adjusted in consideration of white balance.
For example, when the light source 11 is a mercury lamp, the light quantity of the red (R) component tends to be insufficient, so that the white balance is taken into consideration while always projecting the red (R) component as in this embodiment. Thus, the green (G) and blue (B) components may be projected alternately at a ratio of about 7: 3 to 5: 5.

また、常時投影する成分は、赤色(R)成分に限られない。図5D及び図5Eはそれぞれ緑色(G)成分、青色(B)成分を常時投影する場合の構成を示している。
以上のようにホイール型波長選択偏光変換部13の構成を変更することで、光源の種類や人間の視感度などさまざまな要素を考慮して、各色成分の割合や光量を調整することができる。
Further, the component that is always projected is not limited to the red (R) component. FIG. 5D and FIG. 5E show a configuration in the case of always projecting a green (G) component and a blue (B) component, respectively.
By changing the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 as described above, it is possible to adjust the ratio and light amount of each color component in consideration of various factors such as the type of light source and human visibility.

また、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりに、ドラム型波長選択偏光変換部36を使用してもよい。円筒の表面に特定波長偏光変換素子を配置した図6で例示するドラム型波長選択偏光変換部36を使用する場合、照明光2は円筒外部から円筒表面の特定波長偏光変換素子を透過して円筒内部へ入射し、円筒内に配置されたミラーなどで反射して特定波長偏光変換素子の配置されていない面から射出する。ドラム型波長選択偏光変換部36は不図示の制御装置により回転を制御されていて、照明光2が緑色特定波長偏光変換素子(特定波長偏光変換素子36a、特定波長偏光変換素子36c)と青色特定波長偏光変換素子(特定波長偏光変換素子36b、特定波長偏光変換素子36d)を交互に透過することで、ホイール型波長選択偏光変換部13と同様の作用を有する。   Further, instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13, a drum-type wavelength selective polarization converter 36 may be used. When the drum-type wavelength selective polarization conversion unit 36 illustrated in FIG. 6 in which the specific wavelength polarization conversion element is arranged on the surface of the cylinder is used, the illumination light 2 passes through the specific wavelength polarization conversion element on the cylinder surface from the outside of the cylinder and is cylindrical. The light enters the inside, is reflected by a mirror or the like disposed in the cylinder, and exits from a surface where the specific wavelength polarization conversion element is not disposed. The rotation of the drum-type wavelength selective polarization converter 36 is controlled by a control device (not shown), and the illumination light 2 is a green specific wavelength polarization conversion element (specific wavelength polarization conversion element 36a, specific wavelength polarization conversion element 36c) and blue specific. By alternately transmitting the wavelength polarization conversion elements (specific wavelength polarization conversion element 36b, specific wavelength polarization conversion element 36d), the same effect as the wheel type wavelength selective polarization conversion unit 13 is obtained.

ドラム型波長選択偏光変換部36の場合、入射光(照明光2)の偏光方向と図6において双方向矢印で示す特定波長偏光変換素子の基準軸36eの方向の相対的な位置関係が常に一定となるため、両方向を常時一致させることができ、最も効率よく光の偏光方向を波長選択的に変換することができる。   In the case of the drum-type wavelength selective polarization conversion unit 36, the relative positional relationship between the polarization direction of the incident light (illumination light 2) and the direction of the reference axis 36e of the specific wavelength polarization conversion element indicated by the bidirectional arrow in FIG. 6 is always constant. Therefore, both directions can always be made to coincide with each other, and the polarization direction of light can be converted in a wavelength selective manner most efficiently.

また、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりに、スライド式波長選択偏光変換部37を使用してもよい。スライド式波長選択偏光変換部37は、図7で例示されるように一定方向に並べて配置した特定波長偏光変換素子(特定波長偏光変換素子37a、特定波長偏光変換素子37b、特定波長偏光変換素子37c)をスライドさせることで、照明光2が透過する特定波長偏光変換素子を切り替えるものである。   Further, instead of the wheel type wavelength selective polarization converter 13, a slide type wavelength selective polarization converter 37 may be used. The slidable wavelength selective polarization conversion unit 37 includes specific wavelength polarization conversion elements (specific wavelength polarization conversion element 37a, specific wavelength polarization conversion element 37b, specific wavelength polarization conversion element 37c) arranged in a certain direction as illustrated in FIG. ) Is switched to switch the specific wavelength polarization conversion element through which the illumination light 2 is transmitted.

スライド式波長選択偏光変換部37の場合も、ドラム型波長選択偏光変換部36と同様に、入射光(照明光2)の偏光方向と図7において双方向矢印で示す特定波長偏光変換素子の基準軸37eの方向の相対的な位置関係が常に一定となるため、両方向を常時一致させることができ、最も効率よく光の偏光方向を波長選択的に変換することができる。   In the case of the slide-type wavelength selective polarization conversion unit 37 as well as the drum type wavelength selection polarization conversion unit 36, the polarization direction of the incident light (illumination light 2) and the reference of the specific wavelength polarization conversion element indicated by the bidirectional arrow in FIG. Since the relative positional relationship in the direction of the axis 37e is always constant, both directions can always be made coincident, and the polarization direction of light can be converted in a wavelength selective manner most efficiently.

なお、ドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37のいずれの場合も、ホイール型波長選択偏光変換部13と同様に、作用する波長成分(色)に関する組み合わせは、任意に選択することができる。   Note that in any case of the drum-type wavelength selective polarization converter 36 and the slide-type wavelength selective polarization converter 37, as with the wheel-type wavelength selective polarization converter 13, the combination regarding the wavelength component (color) that acts is arbitrary. You can choose.

また、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりに、例えば、カラーリンク社のカラースイッチやスイス国アルシュビルのRolic Technologies Ltd.のelectronic colour switchなどの偏光方向を変換する波長成分を電気的な制御により切り替えることができる電子的色別偏光制御手段を使用してもよい。
[第1の実施形態の第1の変形例]
第1の実施形態の第1の変形例は、照明光1を偏光変換部12でP偏光に変換したものである。
In addition, instead of the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13, for example, a color switch of color link or an electronic color switch of Rolic Technologies Ltd. in Alschville, Switzerland, is used to electrically control the wavelength component for converting the polarization direction. Electronic color-specific polarization control means that can be switched by the above method may be used.
[First Modification of First Embodiment]
In the first modification of the first embodiment, the illumination light 1 is converted into P-polarized light by the polarization conversion unit 12.

図8は、本変形例における2板式の投影装置100の構成の一部を例示する図で、緑色(G)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。基本的な構成は後述する3点を除き図1に示す構成と同様で、各色成分の光路も同様となる。以下、図8を参照しながら、第1の実施形態との相違点について説明する。   FIG. 8 is a diagram illustrating a part of the configuration of the two-plate projection device 100 in the present modification, and shows the optical paths of the respective color components when transmitted through the green (G) specific wavelength polarization conversion element. The basic configuration is the same as the configuration shown in FIG. 1 except for the following three points, and the optical path of each color component is also the same. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described with reference to FIG.

第1の相違点は、偏光変換部12がP偏光へ偏光変換する点である。その結果、ホイール型波長選択偏光変換部13で使用する特定波長偏光変換素子は特定波長の偏光状態をP偏光からS偏光に変換することになる。なお、作用する波長成分(色)に関する組み合わせについては、図2と同様の構成が使用できる。   The first difference is that the polarization conversion unit 12 performs polarization conversion to P-polarized light. As a result, the specific wavelength polarization conversion element used in the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 converts the polarization state of the specific wavelength from P-polarized light to S-polarized light. In addition, about the combination regarding the wavelength component (color) which acts, the structure similar to FIG. 2 can be used.

第2の相違点は、ダイクロイック膜23が、P偏光優位のダイクロイック膜となっている点である。本変形例では、投影光5として利用する波長成分は、ダイクロイック膜23にP偏光状態で入射するため、P偏光に対してより良好な特性を有するP偏光優位のダイクロイック膜を使用する。   The second difference is that the dichroic film 23 is a dichroic film predominantly P-polarized. In this modification, since the wavelength component used as the projection light 5 is incident on the dichroic film 23 in the P-polarized state, a P-polarized dichroic film having better characteristics with respect to the P-polarized light is used.

第3の相違点は、1/4λ板14が色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間の赤色(R)成分の光路上ではなく、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間の緑色(G)及び青色(B)成分の光路上に配置されている点である。これは、照明光3の偏光状態が図1の場合と直交した状態にあることによって図1の構成をそのまま適応した場合に生じる偏光膜24での作用の違いを調整するための措置である。これにより、偏光膜24へ入射時点での偏光状態が図1と同様になり、図1と同様に、赤色(R)成分を常時投影しながら、緑色(G)成分と青色(B)成分を交互に投影することができる。   The third difference is that the ¼λ plate 14 is not on the optical path of the red (R) component between the color separation / combination unit 20 and the first spatial light modulator 15, but the color separation / combination unit 20 and the second This is a point arranged on the optical path of the green (G) and blue (B) components between the spatial light modulators 16. This is a measure for adjusting the difference in action in the polarizing film 24 that occurs when the configuration of FIG. 1 is applied as it is because the polarization state of the illumination light 3 is orthogonal to the case of FIG. As a result, the polarization state at the time of incidence on the polarizing film 24 becomes the same as in FIG. 1, and the green (G) component and the blue (B) component are always projected while the red (R) component is always projected as in FIG. It can be projected alternately.

なお、1/4λ板14は、緑色(G)及び青色(B)成分にのみ波長選択的に1/4λ板として作用するシアン(C)特定波長偏光変換素子であってもよい。
以上の構成とすることで、照明光1を偏光変換部12でP偏光に変換した場合であっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
[第1の実施形態の第2の変形例]
第1の実施形態の第2の変形例は、ダイクロイック膜23をR反射型のダイクロイック膜に変更したものである。
Note that the ¼λ plate 14 may be a cyan (C) specific wavelength polarization conversion element that functions as a ¼λ plate wavelength-selectively only for the green (G) and blue (B) components.
With the above configuration, even when the illumination light 1 is converted to P-polarized light by the polarization conversion unit 12, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
[Second Modification of First Embodiment]
In the second modification of the first embodiment, the dichroic film 23 is changed to an R reflection type dichroic film.

図9は、本変形例における2板式の投影装置100の構成の一部を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。基本的な構成はダイクロイック膜23を除き図1に示す構成と同様である。なお、ダイクロイック膜23はS偏光優位の特性を有する点は図1と同様である。以下、図9を参照しながら、第1の実施形態との相違点について説明する。   FIG. 9 is a diagram illustrating a part of the configuration of the two-plate projection device 100 in the present modification, and shows the optical paths of the respective color components when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The basic configuration is the same as the configuration shown in FIG. 1 except for the dichroic film 23. The dichroic film 23 is the same as that shown in FIG. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described with reference to FIG.

第1の実施形態との相違点は、ダイクロイック膜23がR反射型であることにより、ダイクロイック膜23へ入射後の各色成分の光路が異なっている点のみである。より具体的には、図9に示すように、赤色(R)成分が第2の空間光変調器16へ入射する光路へ導かれ、緑色(G)及び青色(B)成分が第1の空間光変調器15へ入射する光路へ導かれる。   The difference from the first embodiment is only that the optical path of each color component after entering the dichroic film 23 is different because the dichroic film 23 is an R reflection type. More specifically, as shown in FIG. 9, the red (R) component is guided to the optical path incident on the second spatial light modulator 16, and the green (G) and blue (B) components are in the first space. The light is guided to an optical path incident on the optical modulator 15.

なお、1/4λ板14は図1と同様の場所に配置されているが、作用する成分が図1の場合と異なることになる。これにより、1/4λ板14に特定波長偏光変換素子を用いる場合は、シアン(C)成分にのみ波長選択的に1/4λ板として作用するシアン(C)特定波長偏光変換素子を用いる必要がある。   The quarter λ plate 14 is disposed at the same location as in FIG. 1, but the components that act are different from those in FIG. As a result, when a specific wavelength polarization conversion element is used for the quarter λ plate 14, it is necessary to use a cyan (C) specific wavelength polarization conversion element that acts as a quarter λ plate in a wavelength selective manner only for the cyan (C) component. is there.

以上の構成とすることで、ダイクロイック膜23をR反射型のダイクロイック膜に変更した場合であっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
[第1の実施形態の第3の変形例]
第1の実施形態の第3の変形例は、照明光1を偏光変換部12でP偏光に変換し、且つ、ダイクロイック膜23をR反射型のダイクロイック膜に変更したものである。
With the above configuration, even when the dichroic film 23 is changed to an R reflection type dichroic film, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
[Third Modification of First Embodiment]
In the third modification of the first embodiment, the illumination light 1 is converted into P-polarized light by the polarization conversion unit 12, and the dichroic film 23 is changed to an R reflection type dichroic film.

図10は、本変形例における2板式の投影装置100の構成の一部を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。基本的な構成は後述する4点を除き図1に示す構成と同様である。以下、図10を参照しながら、第1の実施形態との相違点について説明する。   FIG. 10 is a diagram illustrating a part of the configuration of the two-plate projection device 100 in the present modification, and shows the optical path of each color component when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The basic configuration is the same as the configuration shown in FIG. 1 except for the four points described below. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described with reference to FIG.

第1の相違点は、偏光変換部12がP偏光へ偏光変換する点である。その結果、ホイール型波長選択偏光変換部13で使用する特定波長偏光変換素子は特定波長の偏光状態をP偏光からS偏光に変換することになる。なお、作用する波長成分(色)に関する組み合わせについては、図2と同様の構成が使用できる。   The first difference is that the polarization conversion unit 12 performs polarization conversion to P-polarized light. As a result, the specific wavelength polarization conversion element used in the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 converts the polarization state of the specific wavelength from P-polarized light to S-polarized light. In addition, about the combination regarding the wavelength component (color) which acts, the structure similar to FIG. 2 can be used.

第2の相違点は、ダイクロイック膜23が、P偏光優位のダイクロイック膜となっている点である。本変形例では、投影光5として利用する波長成分は、ダイクロイック膜23にP偏光状態で入射するため、P偏光に対してより良好な特性を有するP偏光優位のダイクロイック膜を使用する。   The second difference is that the dichroic film 23 is a dichroic film predominantly P-polarized. In this modification, since the wavelength component used as the projection light 5 is incident on the dichroic film 23 in the P-polarized state, a P-polarized dichroic film having better characteristics with respect to the P-polarized light is used.

第3の相違点は、ダイクロイック膜23がR反射型であることにより、ダイクロイック膜23へ入射後の各色成分の光路が異なっている点である。より具体的には、図10に示すように、赤色(R)成分が第2の空間光変調器16へ入射する光路へ導かれ、緑色(G)及び青色(B)成分が第1の空間光変調器15へ入射する光路へ導かれる。   The third difference is that the optical path of each color component after entering the dichroic film 23 is different because the dichroic film 23 is an R reflection type. More specifically, as shown in FIG. 10, the red (R) component is guided to the optical path incident on the second spatial light modulator 16, and the green (G) and blue (B) components are in the first space. The light is guided to an optical path incident on the optical modulator 15.

第4の相違点は、1/4λ板14が色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間ではなく、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間に配置されている点である。これは、照明光3の偏光状態が図1の場合と直交した状態にあることによって図1の構成をそのまま適応した場合に生じる偏光膜24での作用の違いを調整するための措置である。これにより、図1と同様に、赤色(R)成分を常時投影しながら、緑色(G)成分と青色(B)成分を交互に投影することができる。   The fourth difference is that the ¼λ plate 14 is not arranged between the color separation / synthesis unit 20 and the first spatial light modulator 15 but between the color separation / synthesis unit 20 and the second spatial light modulator 16. It is a point that has been. This is a measure for adjusting the difference in action in the polarizing film 24 that occurs when the configuration of FIG. 1 is applied as it is because the polarization state of the illumination light 3 is orthogonal to the case of FIG. Accordingly, as in FIG. 1, the green (G) component and the blue (B) component can be alternately projected while always projecting the red (R) component.

なお、1/4λ板14は、赤色(R)成分にのみ波長選択的に1/4λ板として作用する赤色(R)特定波長偏光変換素子であってもよい。
以上の構成とすることで、照明光1を偏光変換部12でP偏光に変換し、且つ、ダイクロイック膜23をR反射型のダイクロイック膜に変更した場合であっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
Note that the ¼λ plate 14 may be a red (R) specific wavelength polarization conversion element that functions as a ¼λ plate with wavelength selection only for the red (R) component.
With the above configuration, even when the illumination light 1 is converted to P-polarized light by the polarization conversion unit 12 and the dichroic film 23 is changed to an R reflection type dichroic film, Similar effects can be obtained.

なお、本実施形態と第1から第3の変形例は、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更した関係にある。
[第1の実施形態の第4の変形例]
第1の実施形態の第4の変形例は、第1の実施形態における1/4λ板14を1/2λ板17に変更したものである。
The present embodiment and the first to third modifications have a relationship in which the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 are changed to various combinations.
[Fourth Modification of First Embodiment]
In the fourth modification of the first embodiment, the ¼λ plate 14 in the first embodiment is changed to a ½λ plate 17.

図11は、本変形例における2板式の投影装置100の構成の一部を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。基本的な構成は後述する点を除き図1に示す構成と同様で、各色成分の光路も同様となる。以下、図11を参照しながら、第1の実施形態との相違点について説明する。   FIG. 11 is a diagram exemplifying a part of the configuration of the two-plate projection device 100 in the present modification, and shows the optical paths of the respective color components when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The basic configuration is the same as the configuration shown in FIG. 1 except for the points described later, and the optical path of each color component is also the same. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described with reference to FIG.

第1の実施形態との相違点は、1/4λ板14から1/2λ板17に変更し、それに合わせて、配置も空間光変調器への入射前後の両方で作用する位置から、一方にのみ作用する位置に変更した点である。これは、第1の実施形態においては1/4λ板14を2回透過することで得られた偏光方向の変換が、1/2λ板17では1回の透過で得られることによる措置である。図11では、第1の空間光変調器15へ入射する前の光路上に配置した例を示しているが、ダイクロイック膜23を透過後、偏光膜24へ入射する前であれば、第1の空間光変調器15から反射後の光路上など他の場所に配置してもよい。   The difference from the first embodiment is that the λλ plate 14 is changed from the λλ plate 14 to the ½λ plate 17, and accordingly, the arrangement is changed from a position that acts both before and after incidence to the spatial light modulator to one side. It is the point which changed to the position which acts only. This is due to the fact that in the first embodiment, the polarization direction conversion obtained by transmitting twice through the quarter λ plate 14 can be obtained with one transmission through the ½λ plate 17. FIG. 11 shows an example in which the first spatial light modulator 15 is arranged on the optical path before entering the first spatial light modulator 15, but if it is transmitted through the dichroic film 23 and before entering the polarizing film 24, the first You may arrange | position in other places, such as on the optical path after reflection from the spatial light modulator 15. FIG.

なお、1/2λ板17は、赤色(R)成分にのみ波長選択的に1/2λ板として作用する赤色(R)特定波長偏光変換素子であってもよい。
以上の構成とすることで、1/4λ板14を1/2λ板17に変更した場合であっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
Note that the ½λ plate 17 may be a red (R) specific wavelength polarization conversion element that functions as a ½λ plate in a wavelength selective manner only for the red (R) component.
With the above configuration, even when the ¼λ plate 14 is changed to the ½λ plate 17, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

また、本変形例のように1/2λ板17を使用した構成においても、第1の実施形態の第1から第3の変形例と同様に照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することができる。
[第2の実施形態]
本実施形態は、上述した第1の実施形態に対して、投影光5に含まれる偏光方向を一定方向に揃えたものである。
Also in the configuration using the ½λ plate 17 as in the present modification, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 are similar to those in the first to third modifications of the first embodiment. It can be changed to various combinations.
[Second Embodiment]
In the present embodiment, the polarization direction included in the projection light 5 is aligned in a certain direction with respect to the first embodiment described above.

図12は、本実施形態における2板式の投影装置200の構成を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。投影装置200は、色分離合成部20と不図示のスクリーンの間に、赤色(R)成分をP偏光からS偏光に変換する赤色特定波長偏光変換素子25が追加されている。その他の構成は投影装置100と同様である。   FIG. 12 is a diagram illustrating the configuration of the two-plate type projector 200 according to the present embodiment, and shows the optical path of each color component when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. In the projector 200, a red specific wavelength polarization conversion element 25 that converts a red (R) component from P-polarized light to S-polarized light is added between the color separation / synthesis unit 20 and a screen (not shown). Other configurations are the same as those of the projection apparatus 100.

照明光3が第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16で変調され、偏光膜24で合成されるまでは第1の実施形態と同様であるので、偏光膜24での合成以降についてのみ説明する。   Until the illumination light 3 is modulated by the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 and synthesized by the polarizing film 24, it is the same as in the first embodiment. Only the subsequent steps will be described.

本構成の場合、P偏光透過型の偏光膜24により、偏光膜24を透過したP偏光の赤色(R)成分と偏光膜24を反射したS偏光の緑色(G)成分または青色(B)成分の合成光が赤色特定波長偏光変換素子25へ到達する。赤色特定波長偏光変換素子25は赤色(R)成分のみを波長選択的に偏光面を90度回転するため、赤色(R)成分はP偏光からS偏光に変換される。このため、投影光5はすべてS偏光に統一されることになる。   In the case of this configuration, a P-polarized red (R) component transmitted through the polarizing film 24 and a S-polarized green (G) component or blue (B) component reflected from the polarizing film 24 by the P-polarized transmission type polarizing film 24. The combined light reaches the red specific wavelength polarization conversion element 25. Since the red specific wavelength polarization conversion element 25 rotates only the red (R) component wavelength-selectively by 90 degrees, the red (R) component is converted from P-polarized light to S-polarized light. For this reason, all the projection lights 5 are unified to S polarization.

以上、本実施形態では、偏光スクリーンを合わせて用いることでより、第1の実施形態の効果に加え、画像のコントラストを向上させることができる。なお、ここで、偏光スクリーンとは、所定の偏光方向の成分のみを反射し異なる偏光方向を有する余分な外光等の反射を防止できるスクリーンである。   As described above, in this embodiment, by using the polarizing screen together, the contrast of the image can be improved in addition to the effects of the first embodiment. Here, the polarizing screen is a screen that reflects only a component of a predetermined polarization direction and can prevent reflection of extraneous light having a different polarization direction.

なお、赤色特定波長偏光変換素子25の代わりに、緑色(G)成分と青色(B)成分の両方の偏光面を回転するシアン特定波長偏光変換素子を用いても良い。その場合、シアン特定波長偏光変換素子は、シアンの偏光状態をS偏光からP偏光に変換する。   Instead of the red specific wavelength polarization conversion element 25, a cyan specific wavelength polarization conversion element that rotates the polarization planes of both the green (G) component and the blue (B) component may be used. In that case, the cyan specific wavelength polarization conversion element converts the polarization state of cyan from S-polarized light to P-polarized light.

また、本実施形態は第1の実施形態と同様の変形が可能である。具体的には、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。さらに、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することもできる。ただし、その場合、赤色特定波長偏光変換素子25またはシアン特定波長偏光変換素子は組み合わせに応じて、特定波長偏光変換素子でS偏光をP偏光に変換する、または特定波長偏光変換素子でP偏光をS偏光に変換するものとする。
[第2の実施形態の第1の変形例]
第2の実施形態の第1の変形例は、投影装置200の構成を変更して、第2の実施形態と同様に投影光5に含まれる偏光方向を一定方向に揃える機能を実現したものである。
Further, this embodiment can be modified in the same manner as the first embodiment. Specifically, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used. Furthermore, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 can be changed to various combinations. However, in that case, the red specific wavelength polarization conversion element 25 or the cyan specific wavelength polarization conversion element converts the S polarization into the P polarization by the specific wavelength polarization conversion element or the P polarization by the specific wavelength polarization conversion element depending on the combination. It shall be converted to S-polarized light.
[First Modification of Second Embodiment]
In the first modification of the second embodiment, the function of aligning the polarization direction included in the projection light 5 in a certain direction is realized by changing the configuration of the projection device 200 as in the second embodiment. is there.

図13は、本変形例における2板式の投影装置200の構成の一部を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。第2の実施形態との構成上の相違点は以下の3点である。   FIG. 13 is a diagram illustrating a part of the configuration of the two-plate projection device 200 in the present modification, and shows the optical path of each color component when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. Differences in configuration from the second embodiment are the following three points.

第1の相違点は、色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間に配置されていた1/4λ板14を取り除いた点である。
第2の相違点は、色分離合成部20内に配置された偏光膜24をR透過型で且つS偏光優位のダイクロイック膜26に変更した点である。
The first difference is that the ¼λ plate 14 disposed between the color separation / synthesis unit 20 and the first spatial light modulator 15 is removed.
The second difference is that the polarizing film 24 disposed in the color separation / combination unit 20 is changed to a dichroic film 26 that is R transmission type and has S polarization predominance.

第3の相違点は、色分離合成部20とスクリーンの間の赤色特定波長偏光変換素子25をS偏光のみ透過する偏光板27に変更した点である。
以下、図13を参照しながら、色分離合成部20へ入射した照明光3が不図示のスクリーンへ投影光5として投影されるまでの流れについて、本変形例の投影装置200の各構成要素の作用と合わせて説明する。
The third difference is that the red specific wavelength polarization conversion element 25 between the color separation / synthesis unit 20 and the screen is changed to a polarizing plate 27 that transmits only S-polarized light.
Hereinafter, with reference to FIG. 13, regarding the flow until the illumination light 3 incident on the color separation / synthesis unit 20 is projected as projection light 5 on a screen (not shown) This will be described together with the action.

色分離合成部20へ入射した照明光3は、R透過型のダイクロイック膜23で赤色(R)成分のみ反射することで、赤色(R)成分とそれ以外(緑色(G)及び青色(B)成分)に分離され、それぞれ所定の角度で第1の空間光変調器15と第2の空間光変調器16へ入射する。   The illumination light 3 that has entered the color separation / combination unit 20 is reflected only by the red (R) component at the R transmission type dichroic film 23, so that the red (R) component and others (green (G) and blue (B) And are incident on the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 at predetermined angles, respectively.

第1の空間光変調器15の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した赤色(R)成分は、ダイクロイック膜23と同一平面上に配置されたもうひとつのダイクロイック膜26へ入射する。このため、赤色(R)成分はダイクロイック膜26を透過し、S偏光状態で色分離合成部20から射出する。   The red (R) component modulated by each pixel portion of the first spatial light modulator 15 and reflected in the normal direction by the amount of light required for each pixel is another one arranged on the same plane as the dichroic film 23. The light enters the dichroic film 26. Therefore, the red (R) component passes through the dichroic film 26 and is emitted from the color separation / synthesis unit 20 in the S-polarized state.

一方、第2の空間光変調器16の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した緑色(G)及び青色(B)成分は、プリズム21で一度全反射してからダイクロイック膜26へ入射する。ダイクロイック膜26では、緑色(G)及び青色(B)成分のいずれも反射し、それぞれS偏光とP偏光の状態で色分離合成部20から射出する。   On the other hand, the green (G) and blue (B) components modulated by the respective pixel portions of the second spatial light modulator 16 and reflected in the normal direction by the amount of light necessary for each pixel are once totally reflected by the prism 21. Then, the light enters the dichroic film 26. The dichroic film 26 reflects both the green (G) and blue (B) components and emits them from the color separation / synthesis unit 20 in the S-polarized and P-polarized states, respectively.

その後、ダイクロイック膜26で合成され色分離合成部20から射出した各色成分は偏光板27に入射する。偏光板27はS偏光のみ透過する特性を有するため、P偏光である青色(B)成分は不要光4として除去され、残りの赤色(R)及び緑色(G)成分が投影光5として投影されることになる。   Thereafter, each color component synthesized by the dichroic film 26 and emitted from the color separation / synthesis unit 20 enters the polarizing plate 27. Since the polarizing plate 27 has a characteristic of transmitting only S-polarized light, the blue (B) component that is P-polarized light is removed as unnecessary light 4, and the remaining red (R) and green (G) components are projected as projection light 5. Will be.

緑色(G)成分のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射した場合は、緑色(G)成分がP偏光で、青色(B)成分がS偏光で偏光板27へ到達する。このため、P偏光である緑色(G)成分は不要光4として除去され、残りの赤色(R)及び青色(B)成分が投影光5として投影されることになる。   When only the green (G) component is incident on the color separation / synthesis unit 20 in the P-polarized state, the green (G) component is P-polarized and the blue (B) component is S-polarized and reaches the polarizing plate 27. Therefore, the green (G) component that is P-polarized light is removed as unnecessary light 4, and the remaining red (R) and blue (B) components are projected as projection light 5.

以上の構成によっても、投影光5の偏光状態を統一できるため、実施形態2と同様に、偏光スクリーンを合わせて用いることにより、画像のコントラストを向上させることができる。また、第1の実施形態の効果も同様に得ることができる。   Also with the above configuration, since the polarization state of the projection light 5 can be unified, the contrast of the image can be improved by using the polarization screen together as in the second embodiment. Moreover, the effect of 1st Embodiment can be acquired similarly.

また、本変形例においても、照明光2の偏光状態をP偏光に変更することも可能である。この場合、偏光板27はP偏光のみ透過する偏光板27に、ダイクロイック膜23及びダイクロイック膜26は、P偏光優位のダイクロイック膜に変更する。   Also in this modification, the polarization state of the illumination light 2 can be changed to P-polarized light. In this case, the polarizing plate 27 is changed to a polarizing plate 27 that transmits only P-polarized light, and the dichroic film 23 and the dichroic film 26 are changed to dichroic films that are predominantly P-polarized.

また、ダイクロイック膜23及びダイクロイック膜26は、R透過型からR反射型に変更することも可能である。ただし、ダイクロイック膜23とダイクロイック膜26の両方をR反射型の特性のものに変更する必要がある。   Further, the dichroic film 23 and the dichroic film 26 can be changed from the R transmission type to the R reflection type. However, it is necessary to change both the dichroic film 23 and the dichroic film 26 to those of R reflection type characteristics.

その他、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。
[第3の実施形態]
本実施形態は、上述した第2の実施形態に対して、色分離合成部20と空間光変調器の間にフィールドレンズを追加したものである。
In addition, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used.
[Third Embodiment]
In the present embodiment, a field lens is added between the color separation / synthesis unit 20 and the spatial light modulator, compared to the second embodiment described above.

図14は、本実施形態における2板式の投影装置300の構成を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。投影装置300は、色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間にフィールドレンズ28が、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間にフィールドレンズ29が追加されている。その他の構成は投影装置200と同様である。   FIG. 14 is a diagram illustrating the configuration of the two-plate type projector 300 in the present embodiment, and shows the optical path of each color component when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. In the projection apparatus 300, a field lens 28 is added between the color separation / synthesis unit 20 and the first spatial light modulator 15, and a field lens 29 is added between the color separation / synthesis unit 20 and the second spatial light modulator 16. ing. Other configurations are the same as those of the projection apparatus 200.

なお、フィールドレンズ28と不図示の投影レンズは、第1の空間光変調器15に対する投影光学系として作用し、第1の空間光変調器15に対してテレセントリック光学系となっている。同様に、フィールドレンズ29と不図示の投影レンズも、第2の空間光変調器16に対して投影光学系として作用し、第2の空間光変調器16に対してテレセントリック光学系となっている。   The field lens 28 and a projection lens (not shown) act as a projection optical system for the first spatial light modulator 15 and are a telecentric optical system for the first spatial light modulator 15. Similarly, the field lens 29 and a projection lens (not shown) also function as a projection optical system for the second spatial light modulator 16, and are telecentric optical systems for the second spatial light modulator 16. .

投影光学系をフィールドレンズを使ったテレセントリック光学系として構成することにより、不図示の投影レンズの入射瞳位置を空間光変調器側に近づけることができるため投影光学系内の光束径を小さくすることができる。これにより、色分離合成部20や不図示の投影レンズの小型化が可能となる。   By configuring the projection optical system as a telecentric optical system using a field lens, the entrance pupil position of the projection lens (not shown) can be brought closer to the spatial light modulator side, so that the beam diameter in the projection optical system is reduced. Can do. As a result, the color separation / combination unit 20 and a projection lens (not shown) can be downsized.

図15Aと図15Bは、それぞれ投影レンズの入射瞳位置を変更した場合の主光線6の様子を示した図である。投影レンズの入射瞳位置は、図15Aで例示するように偏光膜24より投影レンズ側(投影レンズ内部も含む)に位置してもよいし、図15Bで例示するように偏光膜24付近に位置してもよい。なお、図15Aのように偏光膜24より投影レンズ側に位置した場合、投影レンズの有効径の小型化により効果的であるのに対して、図15Bのように偏光膜24付近に位置した場合、色分離合成部20の小型化により効果的となる。   FIGS. 15A and 15B are diagrams showing the state of the principal ray 6 when the entrance pupil position of the projection lens is changed. The entrance pupil position of the projection lens may be positioned closer to the projection lens (including the inside of the projection lens) than the polarizing film 24 as illustrated in FIG. 15A, or positioned near the polarizing film 24 as illustrated in FIG. 15B. May be. In addition, when it is located closer to the projection lens than the polarizing film 24 as shown in FIG. 15A, it is effective to reduce the effective diameter of the projection lens, whereas it is located near the polarizing film 24 as shown in FIG. 15B. The color separation / combination unit 20 can be effectively reduced in size.

また、フィールドレンズ28(フィールドレンズ29)の追加は、収差の補正に対しても効果がある。両フィールドレンズは、空間光変調器での変調前後にそれぞれ1回ずつ作用するため、照明光3と投影光5の両方の収差の補正に寄与する。また、フィールドレンズ28とフィールドレンズ29でそれぞれ作用する波長成分に合わせて構成を変えることにより、色収差に対しても良好に補正することができる。   The addition of the field lens 28 (field lens 29) is also effective for correcting aberrations. Since both field lenses act once each before and after modulation by the spatial light modulator, each field lens contributes to correction of aberrations of both the illumination light 3 and the projection light 5. Further, by changing the configuration according to the wavelength components acting on the field lens 28 and the field lens 29, chromatic aberration can be corrected well.

以上のように、本実施形態ではフィールドレンズを用いることにより、第2の実施形態の効果に加え、投影レンズや色分離合成部20の小型化や収差(色収差を含む)の補正といった効果が得られる。   As described above, in this embodiment, by using a field lens, in addition to the effects of the second embodiment, effects such as downsizing of the projection lens and the color separation / synthesis unit 20 and correction of aberrations (including chromatic aberration) are obtained. It is done.

また、本実施形態は第2の実施形態と同様の変形が可能である。具体的には、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。さらに、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することもできる。
[第4の実施形態]
本実施形態は、上述した第1の実施形態に対して、色分離合成部20を構成するプリズムの形状等を変更したものである。
Further, the present embodiment can be modified in the same manner as the second embodiment. Specifically, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used. Furthermore, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 can be changed to various combinations.
[Fourth Embodiment]
In the present embodiment, the shape and the like of the prism constituting the color separation / combination unit 20 are changed with respect to the first embodiment described above.

図16は、本実施形態における2板式の投影装置400の構成を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。投影装置400は色分離合成部20で使用するプリズムの形状と1/4λ板14の配置が異なっているのみで、その他の構成は投影装置100と同様である。   FIG. 16 is a diagram illustrating the configuration of the two-plate projection device 400 in this embodiment, and shows the optical path of each color component when transmitted through a blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The projection apparatus 400 is the same as the projection apparatus 100 except for the shape of the prism used in the color separation / synthesis unit 20 and the arrangement of the quarter λ plate 14.

色分離合成部20は、断面形状が直角三角形である同形状の2つの三角柱プリズム(プリズム41、プリズム42)から構成され、図16で示すように色分離合成部20全体として三角柱形状をなす。プリズムの接合面上にはR透過型のダイクロイック膜23及びP偏光透過型の偏光膜24が配置されている点、ダイクロイック膜23がS偏光優位のダイクロイック膜である点は同様である。また、1/4λ板14は、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間の光路上に配置されている。   The color separation / combination unit 20 is composed of two triangular prisms (prism 41, prism 42) having the same cross-sectional shape and a triangular prism shape as a whole as shown in FIG. The same is true in that an R-transmissive dichroic film 23 and a P-polarized transmissive polarizing film 24 are disposed on the joint surface of the prism, and that the dichroic film 23 is an S-polarized dichroic film. The quarter-λ plate 14 is disposed on the optical path between the color separation / combination unit 20 and the second spatial light modulator 16.

以下、色分離合成部20へ入射した照明光3が不図示のスクリーンへ投影光5として投影されるまでの流れについて、図17A及び図17Bを参照しながら、説明する。
図17Aは、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16へ入射前の各色成分の光路を示した図である。青(B)成分のみP偏光の状態でプリズム41の長辺の面から色分離合成部20へ入射した照明光3は、接合面の一部に配置されたR透過型のダイクロイック膜23へ入射する。照明光3の赤色(R)成分は、ダイクロイック膜23を透過し、プリズム42の長辺の面で全反射して所定の角度で第1の空間光変調器15に入射する。それ以外の青色(B)及び緑色(G)成分は、ダイクロイック膜23で反射し、プリズム41の入射面(長辺の面)で全反射した後に、所定の角度で第2の空間光変調器16へ入射する。
Hereinafter, the flow until the illumination light 3 incident on the color separation / synthesis unit 20 is projected as projection light 5 on a screen (not shown) will be described with reference to FIGS. 17A and 17B.
FIG. 17A is a diagram illustrating optical paths of the respective color components before being incident on the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16. The illumination light 3 incident on the color separation / combination unit 20 from the long side surface of the prism 41 with only the blue (B) component in the P-polarized state is incident on the R transmission type dichroic film 23 arranged on a part of the joint surface. To do. The red (R) component of the illumination light 3 passes through the dichroic film 23, is totally reflected by the long side surface of the prism 42, and enters the first spatial light modulator 15 at a predetermined angle. The other blue (B) and green (G) components are reflected by the dichroic film 23 and totally reflected by the incident surface (long side surface) of the prism 41, and then the second spatial light modulator at a predetermined angle. 16 is incident.

なお、ダイクロイック膜23がS偏光優位のダイクロイック膜であり、照明光3のダイクロイック膜23への入射角が良好な特性が得られる角度に予め設計されている点は第1の実施形態と同様である。   Note that the dichroic film 23 is a dichroic film predominantly of S-polarized light, and the incident angle of the illumination light 3 to the dichroic film 23 is designed in advance so that a good characteristic can be obtained, as in the first embodiment. is there.

図17Bは、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16へ入射後の各色成分の光路を示した図である。第1の空間光変調器15の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した赤色(R)成分は、プリズム42の長辺の面で全反射して偏光膜24へ入射する。偏光膜24はP偏光透過型の偏光膜であるため、赤色(R)成分は偏光膜24で反射し、S偏光状態で色分離合成部20から射出する。   FIG. 17B is a diagram illustrating the optical paths of the respective color components after entering the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16. The red (R) component modulated by each pixel unit of the first spatial light modulator 15 and reflected in the normal direction by the amount of light necessary for each pixel is totally reflected by the long side surface of the prism 42 and is polarized. 24 is incident. Since the polarizing film 24 is a P-polarized transmission type polarizing film, the red (R) component is reflected by the polarizing film 24 and is emitted from the color separation / synthesis unit 20 in the S-polarized state.

一方、第2の空間光変調器16の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した緑色(G)及び青色(B)成分は、プリズム41で一度全反射してから偏光膜24へ入射する。なお、この時、緑色(G)及び青色(B)成分は、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間の光路上に配置された1/4λ板14を往復することになるため、偏光方向が90度回転しそれぞれS偏光からP偏光、P偏光からS偏光へ変換される。偏光膜24はP偏光透過型の偏光膜であるため、S偏光に変換された青色(B)成分は偏光膜24で反射し不要光4として除去される一方で、P偏光に変換された緑色(G)成分は偏光膜24を透過し、色分離合成部20から射出する。   On the other hand, the green (G) and blue (B) components modulated by the respective pixel portions of the second spatial light modulator 16 and reflected in the normal direction by the amount of light necessary for each pixel are once totally reflected by the prism 41. Then, the light enters the polarizing film 24. At this time, the green (G) and blue (B) components reciprocate on the quarter λ plate 14 disposed on the optical path between the color separation / synthesis unit 20 and the second spatial light modulator 16. Therefore, the polarization direction is rotated by 90 degrees and converted from S-polarized light to P-polarized light and from P-polarized light to S-polarized light, respectively. Since the polarizing film 24 is a P-polarized transmission type polarizing film, the blue (B) component converted into S-polarized light is reflected by the polarizing film 24 and removed as unnecessary light 4, while green converted into P-polarized light. The component (G) passes through the polarizing film 24 and is emitted from the color separation / synthesis unit 20.

その後、偏光膜24で合成され色分離合成部20から射出したS偏光の赤色(R)成分及びP偏光の緑色(G)成分が投影光5として投影されることになる。
緑色(G)成分のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射した場合は、緑色(G)成分がS偏光で、青色(B)成分がP偏光で偏光膜24へ到達する。このため、S偏光である緑色(G)成分は不要光4として除去され、S偏光の赤色(R)成分とP偏光の青色(B)成分が投影光5として投影されることになる。
Thereafter, the S-polarized red (R) component and the P-polarized green (G) component synthesized by the polarizing film 24 and emitted from the color separation / synthesis unit 20 are projected as the projection light 5.
When only the green (G) component is incident on the color separation / synthesis unit 20 in the P-polarized state, the green (G) component is S-polarized light and the blue (B) component is P-polarized light. Therefore, the green (G) component that is S-polarized light is removed as unnecessary light 4, and the red (R) component of S-polarized light and the blue (B) component of P-polarized light are projected as projection light 5.

なお、空間光変調器での変調から投影までの反射回数は、第1の空間光変調器15で変調される場合は2回なのに対し、第2の空間光変調器16で変調する場合は1回となっている。このため、投影光5で表示される映像の反転を防止するためには、第1の空間光変調器15と第2の空間光変調器16で生成する映像は、それぞれ図17Bで例示される映像方向15a、映像方向16aのように予め反転した関係で生成する必要がある。   Note that the number of reflections from the modulation by the spatial light modulator to the projection is two when the first spatial light modulator 15 modulates, but 1 when the second spatial light modulator 16 modulates. It has become times. For this reason, in order to prevent inversion of the image displayed by the projection light 5, the images generated by the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 are respectively illustrated in FIG. 17B. It is necessary to generate the video image 15a and the video direction 16a so as to be reversed in advance.

以上、本実施形態の構成によっても、上述した映像の反転への対応が必要となる点を除き、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態の場合、第1の実施形態の効果に加え、照明光3と投影光5の方向を大きく変えることができるメリットがある。また、第1の空間光変調器15と第2の空間光変調器16を同一平面上に配置することができるため、第1の空間光変調器15と第2の空間光変調器16をワンチップ化することで、パッケージングに要する負担を軽減することができる。また、色分離合成部20に要するプリズムの形状が1種類のみで且つ単純な三角柱形状となるため、コスト削減の効果も得られる。   As described above, the configuration of the present embodiment can provide the same effects as those of the first embodiment except that it is necessary to cope with the above-described video inversion. In the case of this embodiment, in addition to the effect of the first embodiment, there is an advantage that the directions of the illumination light 3 and the projection light 5 can be changed greatly. In addition, since the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 can be arranged on the same plane, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 are provided as one. By making a chip, the burden required for packaging can be reduced. In addition, since only one type of prism is required for the color separation / synthesis unit 20 and a simple triangular prism shape, an effect of cost reduction can be obtained.

また、本実施形態においても、第1の実施形態の場合と同様に、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することができる。図18Aは、照明光2をP偏光に変更した場合の光路を示す図である。図18Bは、ダイクロイック膜23にR反射型のダイクロイック膜を使用した場合の光路を示す図である。図18Cは、照明光2をP偏光に変更し、且つ、ダイクロイック膜23にR反射型のダイクロイック膜を使用した場合の光路を示す図である。なお、照明光2をP偏光に変更した図18Aと図18Cの場合は、ダイクロイック膜23はP偏光優位のダイクロイック膜を使用し、且つ1/4λ板14は色分離合成部20と第1の空間光変調器15の間に配置する。また、第1の実施形態の場合と同様に、1/4λ板14の代わりに特定波長偏光変換素子や1/2λ板17を使用して変形してもよい。   Also in this embodiment, as in the case of the first embodiment, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 can be changed to various combinations. FIG. 18A is a diagram illustrating an optical path when the illumination light 2 is changed to P-polarized light. FIG. 18B is a diagram showing an optical path when an R reflection type dichroic film is used as the dichroic film 23. FIG. 18C is a diagram showing an optical path when the illumination light 2 is changed to P-polarized light and an R reflection type dichroic film is used for the dichroic film 23. In the case of FIGS. 18A and 18C in which the illumination light 2 is changed to P-polarized light, the dichroic film 23 uses a P-polarized dichroic film, and the ¼λ plate 14 is connected to the color separation / synthesis unit 20 and the first Arranged between the spatial light modulators 15. Further, as in the case of the first embodiment, a specific wavelength polarization conversion element or a 1 / 2λ plate 17 may be used instead of the 1 / 4λ plate 14 for modification.

また、第2の実施形態と同様に、色分離合成部20射出後に特定波長偏光変換素子を配置して投影光5の偏光方向を揃えるように変形してもよい。
また、第3の実施形態と同様に、フィールドレンズを用いてもよい。図19Aは、投影レンズの入射瞳位置を偏光膜24付近に配置した場合の主光線6を示す図である。図19Bは、投影レンズの入射瞳位置を色分離合成部20射出後の位置に配置した場合の主光線6を示す図である。
Further, as in the second embodiment, the specific wavelength polarization conversion element may be arranged after exiting the color separation / synthesis unit 20 so as to align the polarization direction of the projection light 5.
In addition, a field lens may be used as in the third embodiment. FIG. 19A is a diagram showing the principal ray 6 when the entrance pupil position of the projection lens is arranged in the vicinity of the polarizing film 24. FIG. 19B is a diagram showing the principal ray 6 when the entrance pupil position of the projection lens is arranged at the position after exiting the color separation / combination unit 20.

その他、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。
[第4の実施形態の第1の変形例]
第4の実施形態の第1の変形例は、照明光3の色分離合成部20への入射位置と投影光5の色分離合成部20からの射出位置の関係を変更したものである。
In addition, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used.
[First Modification of Fourth Embodiment]
In the first modification of the fourth embodiment, the relationship between the incident position of the illumination light 3 on the color separation / synthesis unit 20 and the emission position of the projection light 5 from the color separation / synthesis unit 20 is changed.

図20は、本変形例における色分離合成部20への入射から射出までの光路を説明する図で、照明光3を実線で、投影光5を破線で表している。
第4の実施形態では、図16で示されるように、照明光3は、偏光膜24に対して空間光変調器が配置された平面を基準として上側(底面から遠い位置)に配置されているダイクロイック膜23へ入射するため、投影光5より上側から入射していた。これに対して、本変形例では、ダイクロイック膜23と偏光膜24の配置を入れ替えることで、図20で示されるように、照明光3は投影光5と比べて、下側(底面に近い位置)から入射している。
FIG. 20 is a diagram for explaining the optical path from the incidence to the emission to the color separation / combination unit 20 in the present modification, in which the illumination light 3 is represented by a solid line and the projection light 5 is represented by a broken line.
In the fourth embodiment, as shown in FIG. 16, the illumination light 3 is arranged on the upper side (position far from the bottom surface) with respect to the plane on which the spatial light modulator is arranged with respect to the polarizing film 24. In order to enter the dichroic film 23, the incident light was incident from above the projection light 5. On the other hand, in this modified example, the arrangement of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 is changed, so that the illumination light 3 is lower than the projection light 5 (position close to the bottom surface) as shown in FIG. ).

以上のように、色分離合成部20への入射位置と射出位置の関係を変更した場合であっても、第4の実施形態と同様の効果が得られる。
また、本変形例においても、第4の実施形態と同様の変形が可能である。
[第4の実施形態の第2の変形例]
第4の実施形態の第2の変形例は、色分離合成部20を構成するプリズム41及びプリズム42の接合面上におけるダイクロイック膜23と偏光膜24の配置を変更したものである。
As described above, even when the relationship between the incident position and the emission position on the color separation / combination unit 20 is changed, the same effect as in the fourth embodiment can be obtained.
Also in this modification, the same modifications as in the fourth embodiment are possible.
[Second Modification of Fourth Embodiment]
In the second modification of the fourth embodiment, the arrangement of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 on the joint surface of the prism 41 and the prism 42 constituting the color separation / synthesis unit 20 is changed.

図21Aから図21Cは、接合面におけるダイクロイック膜23と偏光膜24の配置を説明する図で、照明光3を実線で、投影光5を破線で表している。なお、ここでは、三角柱形状のプリズム41(プリズム42)の三角形の面が存在する平面をXY平面とし、X軸方向を空間光変調器が整列して配置されている方向、Y軸方向を空間光変調器に対して垂直な方向とする。また、XY平面に対して垂直な方向をZ軸方向とする。図21A、図21B、図21Cは、それぞれ色分離合成部20の接合面をY、Z、X軸方向から見た場合に対応する。   FIG. 21A to FIG. 21C are diagrams for explaining the arrangement of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 on the bonding surface, where the illumination light 3 is represented by a solid line and the projection light 5 is represented by a broken line. Here, the plane on which the triangular surface of the triangular prism 41 (prism 42) exists is the XY plane, the X-axis direction is the direction in which the spatial light modulators are aligned, and the Y-axis direction is the space. The direction is perpendicular to the optical modulator. A direction perpendicular to the XY plane is taken as a Z-axis direction. 21A, FIG. 21B, and FIG. 21C correspond to cases where the joint surface of the color separation / synthesis unit 20 is viewed from the Y, Z, and X axis directions, respectively.

ダイクロイック膜23と偏光膜24は、図21Cで示されるようにYZ平面で分離されている。
また、図22に示されるように接合面をXZ平面やXY平面に対して傾斜しても生成されてもよい。
The dichroic film 23 and the polarizing film 24 are separated on the YZ plane as shown in FIG. 21C.
Further, as shown in FIG. 22, the joint surface may be generated even if it is inclined with respect to the XZ plane or the XY plane.

以上のように、色分離合成部20の接合面におけるダイクロイック膜23と偏光膜24の配置を変更した場合であっても、第4の実施形態と同様の効果が得られる。
また、本変形例においても、第4の実施形態と同様の変形が可能である。なお、本変形例のような色分離合成部20の接合面におけるダイクロイック膜23と偏光膜24の配置の変更は、上述した第1の実施形態から第3の実施形態においても適用することができる。
[第5の実施形態]
本実施形態は、上述した第1の実施形態に対して、色分離合成部20を構成するプリズムの形状等をさらに変更したものである。
As described above, even when the arrangement of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 on the joint surface of the color separation / synthesis unit 20 is changed, the same effect as in the fourth embodiment can be obtained.
Also in this modification, the same modifications as in the fourth embodiment are possible. The change in the arrangement of the dichroic film 23 and the polarizing film 24 on the joint surface of the color separation / synthesis unit 20 as in the present modification can also be applied to the first to third embodiments described above. .
[Fifth Embodiment]
In the present embodiment, the shape and the like of the prism constituting the color separation / combination unit 20 are further modified with respect to the first embodiment described above.

図23は、本実施形態における2板式の投影装置500の構成を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。投影装置500は色分離合成部20で使用するプリズムの形状と1/4λ板14の配置、さらにフィールドレンズ28(フィールドレンズ29)が追加されている点が異なっているのみで、その他の構成は投影装置100と同様である。なお、本実施形態の投影装置500は、第4の実施形態の投影装置400に対しては、色分離合成部20で使用するプリズムの形状を変更してフィールドレンズ28(フィールドレンズ29)を追加した構成となっている。   FIG. 23 is a diagram illustrating the configuration of the two-plate projection device 500 in this embodiment, and shows the optical path of each color component when transmitted through a blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The projection apparatus 500 is different only in that the shape of the prism used in the color separation / synthesis unit 20 is different from the arrangement of the quarter λ plate 14 and that a field lens 28 (field lens 29) is added. This is the same as the projection device 100. In addition, the projection apparatus 500 of this embodiment adds the field lens 28 (field lens 29) by changing the shape of the prism used in the color separation / synthesis unit 20 with respect to the projection apparatus 400 of the fourth embodiment. It has become the composition.

色分離合成部20は、同形状の2つの三角柱プリズム(プリズム51、プリズム52)から構成され、三角形の長辺の面で接合されることにより図23で示すように色分離合成部20全体としては四角柱形状をなす。プリズムの接合面上にはR透過型のダイクロイック膜23及びP偏光透過型の偏光膜24が配置されている点、ダイクロイック膜23がS偏光優位のダイクロイック膜である点は同様である。また、1/4λ板14は、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間の光路上に配置されている。   The color separation / combination unit 20 is composed of two triangular prisms (prism 51, prism 52) having the same shape, and is joined on the long side surfaces of the triangle to form the color separation / combination unit 20 as a whole as shown in FIG. Has a quadrangular prism shape. The same is true in that an R-transmissive dichroic film 23 and a P-polarized transmissive polarizing film 24 are disposed on the joint surface of the prism, and that the dichroic film 23 is an S-polarized dichroic film. The quarter-λ plate 14 is disposed on the optical path between the color separation / combination unit 20 and the second spatial light modulator 16.

以下、色分離合成部20へ入射した照明光3が不図示のスクリーンへ投影光5として投影されるまでの流れについて、図23を参照しながら、説明する。
青(B)成分のみP偏光の状態でプリズム51から色分離合成部20へ入射した照明光3は、接合面の一部に配置されたR透過型のダイクロイック膜23へ入射する。照明光3の赤色(R)成分は、ダイクロイック膜23を透過し、さらにプリズム52を透過して所定の角度で第1の空間光変調器15に入射する。それ以外の青色(B)及び緑色(G)成分は、ダイクロイック膜23で反射し、所定の角度で第2の空間光変調器16へ入射する。
Hereinafter, the flow until the illumination light 3 incident on the color separation / synthesis unit 20 is projected as projection light 5 on a screen (not shown) will be described with reference to FIG.
The illumination light 3 incident on the color separation / combination unit 20 from the prism 51 in a state where only the blue (B) component is P-polarized light is incident on the R transmission type dichroic film 23 disposed on a part of the joint surface. The red (R) component of the illumination light 3 passes through the dichroic film 23, further passes through the prism 52, and enters the first spatial light modulator 15 at a predetermined angle. The other blue (B) and green (G) components are reflected by the dichroic film 23 and enter the second spatial light modulator 16 at a predetermined angle.

なお、ダイクロイック膜23がS偏光優位のダイクロイック膜であり、照明光3のダイクロイック膜23への入射角が良好な特性が得られる角度に予め設計されている点は第1の実施形態と同様である。   Note that the dichroic film 23 is a dichroic film predominantly of S-polarized light, and the incident angle of the illumination light 3 to the dichroic film 23 is designed in advance so that a good characteristic can be obtained, as in the first embodiment. is there.

第1の空間光変調器15の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した赤色(R)成分は、偏光膜24へ入射する。偏光膜24はP偏光透過型の偏光膜であるため、S偏光である赤色(R)成分は偏光膜24で反射し、色分離合成部20から射出する。   The red (R) component that has been modulated by each pixel portion of the first spatial light modulator 15 and reflected in the normal direction by the amount of light required for each pixel is incident on the polarizing film 24. Since the polarizing film 24 is a P-polarized transmission type polarizing film, the red (R) component that is S-polarized light is reflected by the polarizing film 24 and emitted from the color separation / combination unit 20.

一方、第2の空間光変調器16の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射した緑色(G)及び青色(B)成分は偏光膜24へ入射する。なお、この時、緑色(G)及び青色(B)成分は、色分離合成部20と第2の空間光変調器16の間の光路上に配置された1/4λ板14を往復することになるため、偏光方向が90度回転しそれぞれS偏光からP偏光、P偏光からS偏光へ変換される。偏光膜24はP偏光透過型の偏光膜であるため、S偏光に変換された青色(B)成分は偏光膜24で反射し不要光4として除去される一方で、P偏光に変換された緑色(G)成分は偏光膜24を透過し、色分離合成部20から射出する。   On the other hand, green (G) and blue (B) components, which are modulated by the respective pixel portions of the second spatial light modulator 16 and are reflected in the normal direction by the amount of light necessary for each pixel, enter the polarizing film 24. At this time, the green (G) and blue (B) components reciprocate on the quarter λ plate 14 disposed on the optical path between the color separation / synthesis unit 20 and the second spatial light modulator 16. Therefore, the polarization direction is rotated by 90 degrees and converted from S-polarized light to P-polarized light and from P-polarized light to S-polarized light, respectively. Since the polarizing film 24 is a P-polarized transmission type polarizing film, the blue (B) component converted into S-polarized light is reflected by the polarizing film 24 and removed as unnecessary light 4, while green converted into P-polarized light. The component (G) passes through the polarizing film 24 and is emitted from the color separation / synthesis unit 20.

その後、色分離合成部20から射出したS偏光の赤色(R)成分及びP偏光の緑色(G)成分が投影光5として投影されることになる。
緑色(G)成分のみP偏光の状態で色分離合成部20へ入射した場合は、緑色(G)成分がS偏光で、青色(B)成分がP偏光で偏光膜24へ到達する。このため、S偏光である緑色(G)成分は不要光4として除去され、S偏光の赤色(R)成分とP偏光の青色(B)成分が投影光5として投影されることになる。
After that, the S-polarized red (R) component and the P-polarized green (G) component emitted from the color separation / combination unit 20 are projected as the projection light 5.
When only the green (G) component is incident on the color separation / synthesis unit 20 in the P-polarized state, the green (G) component is S-polarized light and the blue (B) component is P-polarized light. Therefore, the green (G) component that is S-polarized light is removed as unnecessary light 4, and the red (R) component of S-polarized light and the blue (B) component of P-polarized light are projected as projection light 5.

なお、空間光変調器での変調から投影までの反射回数は、第1の空間光変調器15で変調される場合は1回なのに対し、第2の空間光変調器16で変調する場合は0回となっている。このため、投影光5で表示される映像の反転を防止するためには、第1の空間光変調器15と第2の空間光変調器16で生成する映像は、それぞれ図23で例示される映像方向15a、映像方向16aのように予め反転した関係で生成する必要がある。   Note that the number of reflections from the modulation by the spatial light modulator to the projection is one when the first spatial light modulator 15 modulates, but is zero when the second spatial light modulator 16 modulates. It has become times. For this reason, in order to prevent inversion of the image displayed by the projection light 5, the images generated by the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 are respectively illustrated in FIG. It is necessary to generate the video image 15a and the video direction 16a so as to be reversed in advance.

以上、本実施形態の構成によっても、上述した映像の反転への対応が必要となる点を除き、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、フィールドレンズが追加されていることにより、色分離合成部20や不図示の投影レンズの小型化や、収差(色収差を含む)の補正の効果も得られる。その他にも、照明光3と投影光5の方向を大きく変えることができるメリットがある。また、色分離合成部20に要するプリズムの形状が1種類のみで且つ単純な三角柱形状となるため、コスト削減の効果も得られる。   As described above, the configuration of the present embodiment can also obtain the same effects as those of the first embodiment except that it is necessary to cope with the above-described video inversion. Further, since the field lens is added, the color separation / synthesis unit 20 and a projection lens (not shown) can be reduced in size, and aberrations (including chromatic aberration) can be corrected. In addition, there is an advantage that the directions of the illumination light 3 and the projection light 5 can be greatly changed. In addition, since only one type of prism is required for the color separation / synthesis unit 20 and a simple triangular prism shape, an effect of cost reduction can be obtained.

また、本実施形態においても、第1の実施形態の場合と同様に、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することができる。また、第1の実施形態の場合と同様に、1/4λ板14の代わりに特定波長偏光変換素子や1/2λ板17を使用して変形してもよい。   Also in this embodiment, as in the case of the first embodiment, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 can be changed to various combinations. Further, as in the case of the first embodiment, a specific wavelength polarization conversion element or a 1 / 2λ plate 17 may be used instead of the 1 / 4λ plate 14 for modification.

また、第2の実施形態と同様に、色分離合成部20射出後に特定波長偏光変換素子を配置して投影光5の偏光方向を揃えるように変形してもよい。
その他、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。
[第6の実施形態]
本実施形態は、上述した第1の実施形態に対して、空間光変調器をマイクロミラーデバイスから反射型液晶(LCOS)に変更したものである。
Further, as in the second embodiment, the specific wavelength polarization conversion element may be arranged after exiting the color separation / synthesis unit 20 so as to align the polarization direction of the projection light 5.
In addition, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used.
[Sixth Embodiment]
In the present embodiment, the spatial light modulator is changed from a micromirror device to a reflective liquid crystal (LCOS) with respect to the first embodiment described above.

反射型液晶(LCOS)は、マイクロミラーデバイスと異なり、反射面が固定されている。このため、図24Aで示すように、照明光3を反射面の法線に対して所定の角度で斜め方向から入射させ、正反射により投影光5を射出させる、斜め照明斜め反射の構成で使用する必要がある。これにより、マイクロミラーデバイスの場合と同様に、照明光3の光路と投影光5の光路を分離することができる。   Unlike the micromirror device, the reflective liquid crystal (LCOS) has a fixed reflection surface. For this reason, as shown in FIG. 24A, the illumination light 3 is incident in a diagonal direction at a predetermined angle with respect to the normal of the reflection surface, and the projection light 5 is emitted by regular reflection, and used in the oblique illumination oblique reflection configuration. There is a need to. Thereby, similarly to the case of the micromirror device, the optical path of the illumination light 3 and the optical path of the projection light 5 can be separated.

また、反射方向を調整するため、図24Bと図24Cで例示するように、反射型液晶(LCOS)の前にフィールドレンズを配置してもよい。図24Cのように、投影光5の光軸を反射型液晶(LCOS)に対して垂直にしてもよい。   In order to adjust the reflection direction, a field lens may be disposed in front of the reflective liquid crystal (LCOS) as illustrated in FIGS. 24B and 24C. As shown in FIG. 24C, the optical axis of the projection light 5 may be perpendicular to the reflective liquid crystal (LCOS).

なお、反射型液晶(LCOS)は、変調前後で偏光方向を変換する特性を有している。このため、第1の実施形態で使用した構成を用いる場合には、偏光膜24を第1の実施形態とは反対の特性を示すものに変更する修正が必要となる。   Note that the reflective liquid crystal (LCOS) has a characteristic of changing the polarization direction before and after modulation. For this reason, when the configuration used in the first embodiment is used, it is necessary to modify the polarizing film 24 so that the polarizing film 24 exhibits a characteristic opposite to that of the first embodiment.

以上、マイクロミラーデバイスの代わりに反射型液晶(LCOS)を用いた場合であっても、本実施形態の構成により、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態においても、第1の実施形態の場合と同様に、照明光2の偏光状態とダイクロイック膜23の特性をさまざまな組み合わせに変更することができる。また、第1の実施形態の場合と同様に、1/4λ板14の代わりに特定波長偏光変換素子や1/2λ板17を使用して変形してもよい。
As described above, even when the reflective liquid crystal (LCOS) is used instead of the micromirror device, the same effect as that of the first embodiment can be obtained by the configuration of the present embodiment.
Also in this embodiment, as in the case of the first embodiment, the polarization state of the illumination light 2 and the characteristics of the dichroic film 23 can be changed to various combinations. Further, as in the case of the first embodiment, a specific wavelength polarization conversion element or a 1 / 2λ plate 17 may be used instead of the 1 / 4λ plate 14 for modification.

また、第2の実施形態と同様に、色分離合成部20射出後に特定波長偏光変換素子を配置して投影光5の偏光方向を揃えるように変形してもよい。
また、色分離合成部20の構成は、第4の実施形態や第5の実施形態の構成としてもよい。
Further, as in the second embodiment, the specific wavelength polarization conversion element may be arranged after exiting the color separation / synthesis unit 20 so as to align the polarization direction of the projection light 5.
Further, the configuration of the color separation / synthesis unit 20 may be the configuration of the fourth embodiment or the fifth embodiment.

その他、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。
[第7の実施形態]
本実施形態は、上述した第1から第6の実施形態と異なり、照明投影分離光学系を色分離合成光学系と別体とし、且つ、TIRプリズムを用いたものである。
In addition, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength-selective polarization converter 36, the slide-type wavelength-selective polarization converter 37, and the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength-selective polarization converter 13. Control means may be used.
[Seventh Embodiment]
This embodiment differs from the first to sixth embodiments described above in that the illumination projection separation optical system is separated from the color separation / synthesis optical system and uses a TIR prism.

図25は、本実施形態における2板式の投影装置700の構成を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。投影装置700は、光源11、偏光変換部12、ホイール型波長選択偏光変換部13、第1の空間光変調器15、第2の空間光変調器16、色分離合成部20、TIRプリズム30、偏光板27、空間光変調器を制御する不図示の制御回路、不図示の投影レンズを含んで構成されている。色分離合成部20は、同形状の2つの三角柱のプリズム(プリズム71、プリズム72)からなり、プリズムの接合面上にはR反射型のダイクロイック膜23が配置されたダイクロイックプリズムである。また、ダイクロイック膜23は、P偏光に対して優れた特性を示すP偏光優位のダイクロイック膜とする。なお、本実施形態では、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16は、それぞれマイクロミラーデバイスを使用している。   FIG. 25 is a diagram illustrating the configuration of a two-plate type projector 700 according to this embodiment, and shows the optical path of each color component when transmitted through a blue (B) specific wavelength polarization conversion element. The projection device 700 includes a light source 11, a polarization conversion unit 12, a wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13, a first spatial light modulator 15, a second spatial light modulator 16, a color separation / synthesis unit 20, a TIR prism 30, The polarizing plate 27 includes a control circuit (not shown) that controls the spatial light modulator, and a projection lens (not shown). The color separation / combination unit 20 is a dichroic prism that includes two triangular prisms (prism 71 and prism 72) having the same shape, and an R reflection type dichroic film 23 is disposed on the joint surface of the prism. The dichroic film 23 is a P-polarized dichroic film that exhibits excellent characteristics with respect to P-polarized light. In the present embodiment, each of the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 uses a micromirror device.

以下、図25を参照しながら、光源11から射出された照明光1が不図示のスクリーンへ投影光5として投影されるまでの流れについて、投影装置700の各構成要素の作用と合わせて説明する。   Hereinafter, the flow until the illumination light 1 emitted from the light source 11 is projected as projection light 5 onto a screen (not shown) will be described together with the operation of each component of the projection apparatus 700 with reference to FIG. .

まず、水銀ランプなどの光源11から射出された複数の波長成分および複数の偏光方向を含む照明光1は、偏光変換部12で特定の偏光方向のみを有する照明光2に変換される。ここでは、偏光変換部12は、照明光1をP偏光に変換するように作用する。   First, illumination light 1 including a plurality of wavelength components and a plurality of polarization directions emitted from a light source 11 such as a mercury lamp is converted into illumination light 2 having only a specific polarization direction by a polarization conversion unit 12. Here, the polarization conversion unit 12 acts to convert the illumination light 1 into P-polarized light.

次に、偏光変換部12によりP偏光に変換された照明光2は、ホイール型波長選択偏光変換部13へ入射する。なお、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成については、第1の実施形態と同様に図2で例示される構成である。各特定波長偏光変換素子は特定波長の偏光面を90度回転するので、この実施形態では特定波長の偏光面をP偏光からS偏光に変換する。このため、ホイール型波長選択偏光変換部13を透過した照明光3は、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過し青色(B)成分の偏光方向のみS偏光(それ以外はP偏光)である状態と緑色(G)特定波長偏光変換素子を透過し緑色(G)成分の偏光方向のみS偏光(それ以外はP偏光)である状態の2つの状態を経時的に交互に有することになる。   Next, the illumination light 2 converted into P-polarized light by the polarization converter 12 enters the wheel type wavelength selective polarization converter 13. In addition, about the structure of the wheel type | mold wavelength selection polarization conversion part 13, it is a structure illustrated by FIG. 2 similarly to 1st Embodiment. Since each specific wavelength polarization conversion element rotates the polarization plane of the specific wavelength by 90 degrees, in this embodiment, the polarization plane of the specific wavelength is converted from P-polarized light to S-polarized light. For this reason, the illumination light 3 that has passed through the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 passes through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element, and is only S-polarized (otherwise it is P-polarized) in the polarization direction of the blue (B) component. There are two states alternately with time, one state and a state in which only the polarization direction of the green (G) component is S-polarized light (otherwise it is P-polarized light). .

なお、後に詳述するが、ここでS偏光に変換された波長成分は不要光4として不図示のスクリーンに到達する前に偏光板27によって除去されることになる。
まず、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過し青色(B)成分の偏光方向のみS偏光の状態にある照明光3の場合について説明する。
As will be described in detail later, the wavelength component converted into S-polarized light is removed by the polarizing plate 27 before reaching the screen (not shown) as unnecessary light 4.
First, the case of the illumination light 3 that passes through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element and is in the S-polarized state only in the polarization direction of the blue (B) component will be described.

ホイール型波長選択偏光変換部13を透過した照明光3は、青(B)成分のみS偏光で、つまり、投影光5として使用する成分はP偏光の状態でTIRプリズム30へ入射することになる。   The illumination light 3 transmitted through the wheel-type wavelength selective polarization conversion unit 13 is incident on the TIR prism 30 in a state where only the blue (B) component is S-polarized, that is, the component used as the projection light 5 is P-polarized. .

図26は、オプトロニクス社より出版されている「光学薄膜の基礎理論」に開示されているTIRプリズムの特性を説明する図で、TIRプリズムの入射角に対する反射率特性を偏光方向(S偏光とP偏光)毎に示している。図26で示されるように、TIRプリズムは、S偏光の場合、入射角が臨界角に近づくにつれて徐々に反射率が高くなる特性を有するのに対して、P偏光の場合は、臨界角付近までは低い反射率を維持し、入射角が臨界角付近まで達したときに急激に反射率が高くなる特性を有する。このため、TIRプリズムを照明投影分離光学系として使用する場合には、P偏光の方が良好な特性を示すことになる。   FIG. 26 is a diagram for explaining the characteristics of the TIR prism disclosed in “Basic Theory of Optical Thin Films” published by Optronics. The reflectance characteristics with respect to the incident angle of the TIR prism are represented by the polarization direction (S-polarized light and P-polarized light). This is shown for each polarization). As shown in FIG. 26, the TIR prism has a characteristic that the reflectance gradually increases as the incident angle approaches the critical angle in the case of S-polarized light, while it reaches the critical angle in the case of P-polarized light. Has a characteristic of maintaining a low reflectivity and abruptly increasing the reflectivity when the incident angle reaches near the critical angle. For this reason, when the TIR prism is used as the illumination projection separation optical system, the P-polarized light exhibits better characteristics.

本実施形態では、このようなTIRプリズムの特性を考慮し、TIRプリズム内での光量ロスを少なくするため、投影光5として使用する成分をTIRプリズム30が良好な特性を示すP偏光で入射させている。   In the present embodiment, in consideration of such characteristics of the TIR prism, in order to reduce the loss of light quantity in the TIR prism, the component used as the projection light 5 is incident as P-polarized light that the TIR prism 30 has good characteristics. ing.

TIRプリズム30へ入射した照明光3は、TIRプリズム30内部に設けられた空気とプリズム73の境界面に臨界角より大きい角度で入射し全反射する。全反射した照明光3は、TIRプリズム30から射出し、色分離合成部20へ入射する。   The illumination light 3 incident on the TIR prism 30 is incident on the boundary surface between the air and the prism 73 provided in the TIR prism 30 at an angle larger than the critical angle and is totally reflected. The totally reflected illumination light 3 exits from the TIR prism 30 and enters the color separation / combination unit 20.

プリズム71から色分離合成部20へ入射した照明光3は、接合面上に配置されたR反射型のダイクロイック膜23へ入射する。ダイクロイック膜23はR反射型の特性を有しているため、照明光3の赤色(R)成分は、ダイクロイック膜23で反射し、所定の角度で第1の空間光変調器15へ入射する。それ以外の青色(B)及び緑色(G)成分は、ダイクロイック膜23を透過し、さらにプリズム72を透過して所定の角度で第2の空間光変調器16へ入射する。   The illumination light 3 incident on the color separation / synthesis unit 20 from the prism 71 is incident on the R reflection type dichroic film 23 disposed on the bonding surface. Since the dichroic film 23 has an R reflection type characteristic, the red (R) component of the illumination light 3 is reflected by the dichroic film 23 and enters the first spatial light modulator 15 at a predetermined angle. The other blue (B) and green (G) components are transmitted through the dichroic film 23 and further transmitted through the prism 72 and enter the second spatial light modulator 16 at a predetermined angle.

第1の空間光変調器15へ入射した赤色(R)成分は、第1の空間光変調器15の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射する。その後、色分離合成部20へ入射し、再度ダイクロイック膜23で反射する。   The red (R) component incident on the first spatial light modulator 15 is modulated by each pixel portion of the first spatial light modulator 15 and reflected in the normal direction by the amount of light necessary for each pixel. Thereafter, the light enters the color separation / synthesis unit 20 and is reflected by the dichroic film 23 again.

同様に、第2の空間光変調器16へ入射した青色(B)及び緑色(G)成分は、第2の空間光変調器16の各画素部で変調され、画素毎に必要な光量だけ法線方向に反射する。その後、色分離合成部20へ入射し、再度ダイクロイック膜23を透過する。   Similarly, the blue (B) and green (G) components incident on the second spatial light modulator 16 are modulated by the respective pixel portions of the second spatial light modulator 16, and only a necessary light amount is calculated for each pixel. Reflects in the line direction. Thereafter, the light enters the color separation / synthesis unit 20 and passes through the dichroic film 23 again.

なお、本実施形態の場合、ダイクロイック膜23は、第1の空間光変調器15(第2の空間光変調器16)での変調前後でそれぞれ1回ずつ光線に作用するため、第1の実施形態の場合に比べて入射角を最適化することが難しい構成となっている。しかし、ダイクロイック膜23をP偏光優位のダイクロイック膜とすることにより、P偏光である投影光5として使用する成分については入射角に関して比較的広い範囲で良好な特性が得られる。このため、本実施形態においても入射角に依存した特性の劣化が最小限に抑えることができる。   In the case of the present embodiment, the dichroic film 23 acts on the light beam once before and after the modulation by the first spatial light modulator 15 (second spatial light modulator 16). Compared to the configuration, it is difficult to optimize the incident angle. However, by using the dichroic film 23 as a dichroic film that is predominantly P-polarized, good characteristics can be obtained in a relatively wide range with respect to the incident angle for the component used as the projection light 5 that is P-polarized. For this reason, also in this embodiment, the deterioration of the characteristics depending on the incident angle can be minimized.

ダイクロイック膜23上で合成された各色成分は、TIRプリズム30へ臨界角以下で入射して透過する。なお、ここでも投影光5として使用する成分(赤色(R)及び緑色(G)成分)は、TIRプリズム30が良好な特性を示すP偏光となっているため、TIRプリズム30を透過する際に生じる光量ロスを最小限に抑えることができる。TIRプリズム30を透過した各色成分は、P偏光のみ透過する偏光板27でS偏光の青色(B)成分のみ不要光4として除去され、残りの赤色(R)及び緑色(G)成分が投影光5として投影される。   Each color component synthesized on the dichroic film 23 enters the TIR prism 30 at a critical angle or less and is transmitted. In this case, the components (red (R) and green (G) components) used as the projection light 5 are also P-polarized light that shows good characteristics of the TIR prism 30, and therefore when the light passes through the TIR prism 30. The amount of light loss that occurs can be minimized. Each of the color components transmitted through the TIR prism 30 is removed as unnecessary light 4 by the polarizing plate 27 that transmits only P-polarized light, and the remaining red (R) and green (G) components are projected light. Projected as 5.

このように、青色(B)成分の偏光方向のみS偏光の状態でTIRプリズム30へ入射した照明光3は、その偏光状態を維持したまま偏光板27へ入射し、P偏光の赤色(R)及び緑色(G)成分が投影光5として不図示のスクリーンへ投影されることになる。   Thus, the illumination light 3 incident on the TIR prism 30 in the S-polarized state only in the polarization direction of the blue (B) component is incident on the polarizing plate 27 while maintaining the polarization state, and is P-polarized red (R). The green (G) component is projected onto the screen (not shown) as projection light 5.

緑色(G)成分の偏光方向のみS偏光の状態でTIRプリズム30へ入射した場合も、偏光状態を維持したまま偏光板27へ入射し、S偏光の緑色(G)成分のみ不要光4として除去され、P偏光の赤色(R)及び青色(B)成分が投影光5として不図示のスクリーンへ投影されることになる。   Even when only the polarization direction of the green (G) component is incident on the TIR prism 30 in the S-polarized state, it is incident on the polarizing plate 27 while maintaining the polarization state, and only the green (G) component of the S-polarized light is removed as unnecessary light 4. Thus, red (R) and blue (B) components of P-polarized light are projected as projection light 5 onto a screen (not shown).

以上、本実施形態では、照明光2が緑色(G)特定波長偏光変換素子と青色(B)特定波長偏光変換素子を交互に透過することで、赤色(R)成分及び青色(B)成分の合成光と赤色(R)成分及び緑色(G)成分の合成光が交互に投影され、カラー画像を表示する。   As described above, in the present embodiment, the illumination light 2 is alternately transmitted through the green (G) specific wavelength polarization conversion element and the blue (B) specific wavelength polarization conversion element, so that the red (R) component and the blue (B) component are transmitted. The synthesized light and the synthesized light of the red (R) component and the green (G) component are alternately projected to display a color image.

以上のように、本実施形態では、TIRプリズム30が良好な特性を示す偏光方向(P偏光)と投影光5として使用する成分の偏光方向を揃えることにより、TIRプリズム30内で発生する投影光5の光量ロスを最小限に抑えることができる。   As described above, in the present embodiment, the projection light generated in the TIR prism 30 by aligning the polarization direction (P-polarization) in which the TIR prism 30 exhibits good characteristics and the polarization direction of the component used as the projection light 5 are aligned. 5 light loss can be minimized.

また、本実施形態では、ダイクロイック膜23が複数回作用する構成となっているが、投影光5として使用する成分の偏光方向で良好な特性を示すダイクロイック膜23を使用することで、ダイクロイック膜23での入射角に依存した特性の劣化を抑え、色分離の精度を維持し、色再現性のよい映像を投影することができる。   In the present embodiment, the dichroic film 23 acts multiple times. However, by using the dichroic film 23 exhibiting good characteristics in the polarization direction of the component used as the projection light 5, the dichroic film 23 is used. Therefore, it is possible to suppress deterioration of characteristics depending on the incident angle, maintain color separation accuracy, and project an image with good color reproducibility.

また、本実施形態では、投影光5の偏光方向が特定の方向を有するように構成されているため、偏光スクリーンと合わせて利用することにより、画像のコントラストを向上させることができる。   Further, in the present embodiment, since the polarization direction of the projection light 5 is configured to have a specific direction, the contrast of the image can be improved by using the projection light 5 together with the polarization screen.

なお、本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、第1の空間光変調器15及び第2の空間光変調器16を斜め照明斜め反射の構成で利用しても良い。また、ホイール型波長選択偏光変換部13の構成の変更や、ホイール型波長選択偏光変換部13の代わりにドラム型波長選択偏光変換部36、スライド式波長選択偏光変換部37、電子的色別偏光制御手段を用いてもよい。   In the present embodiment, as in the first embodiment, the first spatial light modulator 15 and the second spatial light modulator 16 may be used in an oblique illumination oblique reflection configuration. Further, the configuration of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13 is changed, the drum-type wavelength selective polarization converter 36, the slide-type wavelength selective polarization converter 37, the electronic color-specific polarization instead of the wheel-type wavelength selective polarization converter 13. Control means may be used.

また、第3の実施形態と同様に、フィールドレンズを用いてもよい。
[第7の実施形態の第1の変形例]
第7の実施形態の第1の変形例は、TIRプリズム30とダイクロイック膜23の良好な特性を示す偏光方向が異なる場合であって、TIRプリズム30と色分離合成部20の間に1/2λ板75を追加したものである。
In addition, a field lens may be used as in the third embodiment.
[First Modification of Seventh Embodiment]
The first modified example of the seventh embodiment is a case where the polarization directions showing good characteristics of the TIR prism 30 and the dichroic film 23 are different, and a 1 / 2λ between the TIR prism 30 and the color separation / synthesis unit 20. A plate 75 is added.

図27は、本変形例における2板式の投影装置700の構成の一部を例示する図で、青色(B)特定波長偏光変換素子を透過した場合の各色成分の光路を示している。第7の実施形態との構成上の相違点は以下の2点である。   FIG. 27 is a diagram illustrating a part of the configuration of the two-plate type projector 700 in the present modification, and shows the optical paths of the respective color components when transmitted through the blue (B) specific wavelength polarization conversion element. Differences in configuration from the seventh embodiment are the following two points.

第1の相違点は、ダイクロイック膜23がR反射型でP偏光優位の特性を有するものから、R透過型でS偏光優位の特性を有するものへ変更されている点である。これにより、TIRプリズム30とダイクロイック膜23で、それぞれ良好な特性を示す偏光方向がP偏光とS偏光となり、異なることになる。   The first difference is that the dichroic film 23 is changed from an R reflection type having P-polarized dominant characteristics to an R transmission type having S-polarized dominant characteristics. As a result, the TIR prism 30 and the dichroic film 23 have different polarization directions indicating P polarization and S polarization, respectively.

第2の相違点は、TIRプリズム30と色分離合成部20の間に1/2λ板75が追加されている点である。これは、第1の相違点により生じるTIRプリズム30とダイクロイック膜23の良好な特性を示す偏光方向の相違を調整するための措置である。これにより、ダイクロイック膜23を含む色分離合成部20とTIRプリズム30の間の光路上で偏光方向を変換されることになり、TIRプリズム30にはTIRプリズム30が良好な特性を示すP偏光で入射し、ダイクロイック膜23にはダイクロイック膜23が良好な特性を示すS偏光で入射することができる。   The second difference is that a ½λ plate 75 is added between the TIR prism 30 and the color separation / combination unit 20. This is a measure for adjusting the difference in polarization direction, which shows good characteristics between the TIR prism 30 and the dichroic film 23 caused by the first difference. As a result, the polarization direction is converted on the optical path between the color separation / synthesis unit 20 including the dichroic film 23 and the TIR prism 30, and the TIR prism 30 is P-polarized light that exhibits good characteristics. The dichroic film 23 can be incident on the dichroic film 23 with S-polarized light having good characteristics.

以上のように、本変形例では、TIRプリズム30とダイクロイック膜23が異なる偏光方向に対して良好な特性を示す場合であっても、第7の実施形態と同様の効果が得られる。   As described above, in the present modification, even when the TIR prism 30 and the dichroic film 23 exhibit good characteristics with respect to different polarization directions, the same effect as in the seventh embodiment can be obtained.

また、本変形例においても、第7の実施形態と同様の変形が可能である。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
Also in this modification, the same modification as in the seventh embodiment is possible.
Needless to say, the present invention is not limited to the configuration exemplified in the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

本発明の第1の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the structure of the wheel-type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る空間光変調器による垂直反射の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of the vertical reflection by the spatial light modulator which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る空間光変調器による斜め反射の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode of the diagonal reflection by the spatial light modulator which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成の変形例を例示する図である。It is a figure which illustrates the modification of a structure of the wheel-type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成の他の変形例を例示する図である。It is a figure which illustrates the other modification of a structure of the wheel type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成のさらに他の変形例を例示する図である。It is a figure which illustrates further another modification of the composition of the wheel type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection device concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成のさらに他の変形例を例示する図である。It is a figure which illustrates further another modification of the composition of the wheel type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection device concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるホイール型波長選択偏光変換部の構成のさらに他の変形例を例示する図である。It is a figure which illustrates further another modification of the composition of the wheel type wavelength selection polarization conversion part contained in the projection device concerning a 1st embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるドラム型波長選択偏光変換部の構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the structure of the drum type | mold wavelength selective polarization conversion part contained in the projector which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る投影装置に含まれるスライド式のスライド式波長選択偏光変換部の構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the structure of the slide-type slide-type wavelength selection polarization conversion part contained in the projector which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 1st modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 2nd modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の第3の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 3rd modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の第4の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 4th modification of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態の第1の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 1st modification of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態における主光線と投影レンズの入射瞳位置について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the entrance ray position of the chief ray and projection lens in the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態における主光線と投影レンズの入射瞳位置について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the entrance ray position of the chief ray and projection lens in the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態における各色成分の光路について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the optical path of each color component in the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る投影装置の偏光状態とダイクロイック膜の特性の組み合わせを変更した図である。It is the figure which changed the combination of the polarization state of the projector which concerns on the 4th Embodiment of this invention, and the characteristic of a dichroic film | membrane. 本発明の第4の実施形態に係る投影装置の偏光状態とダイクロイック膜の特性の組み合わせを変更した図である。It is the figure which changed the combination of the polarization state of the projector which concerns on the 4th Embodiment of this invention, and the characteristic of a dichroic film | membrane. 本発明の第4の実施形態に係る投影装置の偏光状態とダイクロイック膜の特性の組み合わせを変更した図である。It is the figure which changed the combination of the polarization state of the projector which concerns on the 4th Embodiment of this invention, and the characteristic of a dichroic film | membrane. 本発明の第4の実施形態における主光線と投影レンズの入射瞳位置について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the entrance ray position of the chief ray and projection lens in the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態における主光線と投影レンズの入射瞳位置について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the entrance ray position of the chief ray and projection lens in the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態の第1の変形例に係る投影装置に含まれる色分離合成部への入射から射出までの光路を説明する図である。It is a figure explaining the optical path from the incidence | injection to the emission to the color separation synthetic | combination part contained in the projection apparatus which concerns on the 1st modification of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態の第2の変形例に係る投影装置の色分離合成部の接合面におけるダイクロイック膜と偏光膜の配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of the dichroic film | membrane and polarizing film in the joint surface of the color separation synthetic | combination part of the projection apparatus which concerns on the 2nd modification of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態の第2の変形例に係る投影装置の色分離合成部の接合面におけるダイクロイック膜と偏光膜の配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of the dichroic film | membrane and polarizing film in the joint surface of the color separation synthetic | combination part of the projection apparatus which concerns on the 2nd modification of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態の第2の変形例に係る投影装置の色分離合成部の接合面におけるダイクロイック膜と偏光膜の配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of the dichroic film | membrane and polarizing film in the joint surface of the color separation synthetic | combination part of the projection apparatus which concerns on the 2nd modification of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態の第2の変形例に係る投影装置の色分離合成部の接合面におけるダイクロイック膜と偏光膜の他の配置を説明する図である。It is a figure explaining other arrangement | positioning of the dichroic film | membrane and polarizing film in the joint surface of the color separation synthetic | combination part of the projection apparatus which concerns on the 2nd modification of the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施形態に係る投影装置に含まれる空間光変調器での反射方向を例示する図である。It is a figure which illustrates the reflective direction in the spatial light modulator contained in the projection apparatus which concerns on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施形態に係る投影装置に含まれる空間光変調器の前にフィールドレンズを配置した場合の反射方向を例示する図である。It is a figure which illustrates the reflection direction at the time of arrange | positioning the field lens in front of the spatial light modulator contained in the projection apparatus which concerns on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第6の実施形態に係る投影装置に含まれる空間光変調器の前にフィールドレンズを配置した場合の反射方向を例示する図である。It is a figure which illustrates the reflection direction at the time of arrange | positioning the field lens in front of the spatial light modulator contained in the projection apparatus which concerns on the 6th Embodiment of this invention. 本発明の第7の実施形態に係る投影装置の構成を例示した図である。It is the figure which illustrated the structure of the projection apparatus which concerns on the 7th Embodiment of this invention. TIRプリズムの特性を説明する図である。It is a figure explaining the characteristic of a TIR prism. 本発明の第7の実施形態の第1の変形例に係る投影装置の構成の一部を例示した図である。It is the figure which illustrated a part of structure of the projection apparatus which concerns on the 1st modification of the 7th Embodiment of this invention. 従来技術の3板式投影装置の構成図である。It is a block diagram of the 3 plate type | mold projection apparatus of a prior art. 従来技術の2板式投影装置の構成図である。It is a block diagram of the 2 plate type projection apparatus of a prior art. 従来技術の3板式投影装置の構成を示す上面図である。It is a top view which shows the structure of the 3 plate type | mold projection apparatus of a prior art. 従来技術の3板式投影装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the 3 plate type | mold projection apparatus of a prior art. 従来技術の3板式投影装置の構成図である。It is a block diagram of the 3 plate type | mold projection apparatus of a prior art. ダイクロイック膜で生じる光量ロスを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the light quantity loss which arises in a dichroic film | membrane. R透過型ダイクロイック膜のP偏光に対する特性を例示する図である。It is a figure which illustrates the characteristic with respect to P polarization | polarized-light of an R transmission type dichroic film | membrane. R透過型ダイクロイック膜のS偏光に対する特性を例示する図である。It is a figure which illustrates the characteristic with respect to S polarization | polarized-light of an R transmission type dichroic film | membrane. R反射型ダイクロイック膜のP偏光に対する特性を例示する図である。It is a figure which illustrates the characteristic with respect to P polarization | polarized-light of an R reflection type dichroic film. R反射型ダイクロイック膜のS偏光に対する特性を例示する図である。It is a figure which illustrates the characteristic with respect to S polarization of an R reflection type dichroic film.

符号の説明Explanation of symbols


1、2、3・・・・・照明光
4・・・・・・・・・不要光
5・・・・・・・・・投影光
6・・・・・・・・・主光線
11・・・・・・・・光源
12・・・・・・・・偏光変換部
13、31、32、33、34、35・・・ホイール型波長選択偏光変換部
14・・・・・・・・1/4λ板
15・・・・・・・・第1の空間光変調器
16・・・・・・・・第2の空間光変調器
17、75・・・・・1/2λ板
20・・・・・・・・色分離合成部
21、22、41、42、51、52、71、72、73、74・・・プリズム
23、26・・・・・ダイクロイック膜
24・・・・・・・・偏光膜
25・・・・・・・・赤色特定波長偏光変換素子
27・・・・・・・・偏光板
28、29・・・・・フィールドレンズ
30・・・・・・・・TIRプリズム
36・・・・・・・・ドラム型波長選択偏光変換部
37・・・・・・・・スライド式波長選択偏光変換部
100、200、300、400、500、700・・・投影装置

1, 2, 3 ... Illumination light 4 ... Unnecessary light 5 ... Projection light 6 ... Main ray 11・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Light source 12 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Polarization converter 13, 31, 32, 33, 34, 35 ・ ・ ・ Wheel type wavelength selective polarization converter 14 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・1 / 4λ plate 15... First spatial light modulator 16... Second spatial light modulator 17, 75. ..... color separation / synthesis unit 21, 22, 41, 42, 51, 52, 71, 72, 73, 74 ... prism 23, 26 ... dichroic film 24 ... ... Polarizing film 25 ... Red specific wavelength polarization conversion element 27 ... Polarizing plates 28, 29 ... Field lens 30 ... TIR prism 36... Drum type wavelength selective polarization converter 37... Slide type wavelength selective polarization converter 100, 200, 300, 400, 500, 700.

Claims (35)

複数の反射型空間光変調器と、
外部からの照明光を色分離し前記反射型空間光変調器へ導く特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ない第1のダイクロイック膜及び前記反射型空間光変調器による変調光を合成する色合成手段を含む色分離合成部と、を含み、
前記照明光のうち前記第1のダイクロイック膜に前記特定の偏光方向で入射した波長成分のみを投影することを特徴とする光学系。
A plurality of reflective spatial light modulators;
The first dichroic film and the reflection type spatial light modulator with little deterioration of color separation characteristics depending on an incident angle with respect to a specific polarization direction for color separation of illumination light from the outside and guiding it to the reflection type spatial light modulator A color separation / synthesis unit including color synthesis means for synthesizing modulated light according to
An optical system that projects only the wavelength component incident on the first dichroic film in the specific polarization direction in the illumination light.
請求項1に記載の光学系において、
前記複数の反射型空間光変調器は2つの反射型空間光変調器であり、
前記色合成手段は、偏光膜であり、
前記色分離合成部は、接合面上に前記第1のダイクロイック膜と前記偏光膜を配置した2つのプリズムから構成され、
さらに、前記2つの反射型空間光変調器のいずれか一方と前記色分離合成部の間に波長板を含むことを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 1.
The plurality of reflective spatial light modulators are two reflective spatial light modulators;
The color composition means is a polarizing film,
The color separation / synthesis unit includes two prisms in which the first dichroic film and the polarizing film are disposed on a bonding surface,
The optical system further includes a wavelength plate between one of the two reflective spatial light modulators and the color separation / synthesis unit.
請求項2に記載の光学系において、
前記波長板は、1/4λ板または当該反射型空間光変調器へ入射する波長成分にのみ1/4λ板として作用する特定波長偏光変換素子であり、当該反射型空間光変調器の入射光路と反射光路の両方にまたがって配置されることを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 2,
The wavelength plate is a λλ plate or a specific wavelength polarization conversion element that acts as a λλ plate only for a wavelength component incident on the reflection type spatial light modulator, and an incident optical path of the reflection type spatial light modulator An optical system characterized by being disposed across both of the reflected light paths.
請求項2に記載の光学系において、
前記波長板は、1/2λ板または当該反射型空間光変調器へ入射する波長成分にのみ1/2λ板として作用する特定波長偏光変換素子であり、当該反射型空間光変調器の入射光路または反射光路のいずれか一方にのみ交わるように配置されることを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 2,
The wavelength plate is a 1 / 2λ plate or a specific wavelength polarization conversion element that acts as a 1 / 2λ plate only on a wavelength component incident on the reflective spatial light modulator, and an incident optical path of the reflective spatial light modulator or An optical system, wherein the optical system is disposed so as to intersect only one of the reflected light paths.
請求項2乃至請求項4のいずれか1つに記載の光学系において、
さらに、前記色分離合成部から射出される合成光の光路上に特定波長偏光変換素子を含むことを特徴とする光学系。
In the optical system according to any one of claims 2 to 4,
The optical system further includes a specific wavelength polarization conversion element on an optical path of the combined light emitted from the color separation / synthesis unit.
請求項2乃至請求項5のいずれか1つに記載の光学系において、
さらに、前記色分離合成部から射出される合成光の光路上に配置される投影レンズと、前記2つの反射型空間光変調器のそれぞれと前記色分離合成部の間に配置されるそれぞれ1つのフィールドレンズと、を含み、
前記投影レンズと前記フィールドレンズは、前記反射型空間光変調器側で略テレセントリック光学系として作用することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 5,
Further, a projection lens disposed on the optical path of the combined light emitted from the color separation / combination unit, and one each disposed between each of the two reflective spatial light modulators and the color separation / combination unit. A field lens, and
The optical system, wherein the projection lens and the field lens act as a substantially telecentric optical system on the reflective spatial light modulator side.
請求項6に記載の光学系において、
前記投影レンズの入射瞳位置は前記偏光膜付近であることを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 6.
An optical system, wherein an entrance pupil position of the projection lens is near the polarizing film.
請求項6に記載の光学系において、
前記投影レンズの入射瞳位置は前記色分離合成部より前記投影レンズ側であることを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 6.
An optical system, wherein an entrance pupil position of the projection lens is closer to the projection lens than the color separation / synthesis unit.
請求項2乃至請求項8のいずれか1つに記載の光学系において、
前記2つのプリズムはそれぞれ異なる形状であることを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 8,
The two prisms have different shapes, respectively.
請求項2乃至請求項8のいずれか1つに記載の光学系において、
前記2つのプリズムはそれぞれ同一形状の三角柱プリズムであって、
前記色分離合成部は四角柱形状であることを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 8,
Each of the two prisms is a triangular prism having the same shape,
2. The optical system according to claim 1, wherein the color separation / synthesis unit has a quadrangular prism shape.
請求項2乃至請求項8のいずれか1つに記載の光学系において、
前記2つのプリズムはそれぞれ同一形状の三角柱プリズムであって、
前記色分離合成部は三角柱形状であることを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 8,
Each of the two prisms is a triangular prism having the same shape,
2. The optical system according to claim 1, wherein the color separation / synthesis unit has a triangular prism shape.
請求項2乃至請求項11のいずれか1つに記載の光学系において、
前記反射型空間光変調器は、複数のマイクロミラーの傾斜を制御することにより入射光を変調するマイクロミラーデバイスであり、
前記マイクロミラーデバイスは、前記マイクロミラーが制御される前の状態における当該マイクロミラーの反射面の法線に対して、斜め方向から入射する入射光を前記法線に対して斜め方向に反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 11,
The reflective spatial light modulator is a micromirror device that modulates incident light by controlling the inclination of a plurality of micromirrors,
The micromirror device reflects incident light incident from an oblique direction in an oblique direction with respect to the normal to the normal of the reflection surface of the micromirror in a state before the micromirror is controlled. An optical system characterized by
請求項2乃至請求項11のいずれか1つに記載の光学系において、
前記反射型空間光変調器は、複数のマイクロミラーの傾斜を制御することにより入射光を変調するマイクロミラーデバイスであり、
前記マイクロミラーデバイスは、前記マイクロミラーが制御される前の状態における当該マイクロミラーの反射面の法線に対して、斜め方向から入射する入射光を前記法線の方向に反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 11,
The reflective spatial light modulator is a micromirror device that modulates incident light by controlling the inclination of a plurality of micromirrors,
The micromirror device reflects incident light incident in an oblique direction with respect to a normal line of a reflection surface of the micromirror in a state before the micromirror is controlled, in the normal line direction. Optical system.
請求項2乃至請求項11のいずれか1つに記載の光学系において、
前記反射型空間光変調器は、反射型液晶(LCOS)であり、
前記反射型液晶は、当該反射型液晶の反射面の法線に対して斜め方向から入射する入射光を、前記法線に対して斜め方向に反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 11,
The reflective spatial light modulator is a reflective liquid crystal (LCOS),
The optical system characterized in that the reflective liquid crystal reflects incident light incident from an oblique direction with respect to a normal line of a reflective surface of the reflective liquid crystal in an oblique direction with respect to the normal line.
請求項2乃至請求項14のいずれか1つに記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、P偏光であり、
前記第1のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 14,
The specific polarization direction is P-polarized light,
The optical system, wherein the first dichroic film reflects a wavelength component corresponding to red and transmits wavelength components corresponding to green and blue.
請求項2乃至請求項14のいずれか1つに記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、S偏光であり、
前記第1のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to any one of claims 2 to 14,
The specific polarization direction is S-polarized light,
The optical system, wherein the first dichroic film transmits a wavelength component corresponding to red and reflects wavelength components corresponding to green and blue.
請求項1に記載の光学系において、
前記複数の反射型空間光変調器は2つの反射型空間光変調器であり、
前記色合成手段は、前記特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ない第2のダイクロイック膜であり、
前記色分離合成部は、接合面上に前記第1のダイクロイック膜と前記第2のダイクロイック膜を配置した2つのプリズムから構成され、
さらに、前記色分離合成部から射出される合成光の光路上に配置される偏光板を含むことを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 1.
The plurality of reflective spatial light modulators are two reflective spatial light modulators;
The color synthesizing means is a second dichroic film with little deterioration of color separation characteristics depending on an incident angle with respect to the specific polarization direction,
The color separation / synthesis unit is composed of two prisms in which the first dichroic film and the second dichroic film are arranged on a joint surface,
The optical system further includes a polarizing plate disposed on an optical path of the combined light emitted from the color separation / synthesis unit.
請求項17に記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、P偏光であり、
前記偏光板は、P偏光のみを透過し、
前記第1のダイクロイック膜及び前記第2のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過することを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 17,
The specific polarization direction is P-polarized light,
The polarizing plate transmits only P-polarized light,
The optical system, wherein the first dichroic film and the second dichroic film reflect a wavelength component corresponding to red and transmit wavelength components corresponding to green and blue.
請求項17に記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、S偏光であり、
前記偏光板は、S偏光のみを透過し、
前記第1のダイクロイック膜及び前記第2のダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 17,
The specific polarization direction is S-polarized light,
The polarizing plate transmits only S-polarized light,
The optical system, wherein the first dichroic film and the second dichroic film transmit a wavelength component corresponding to red and reflect a wavelength component corresponding to green and blue.
照明光を方向付けるTIRプリズムと、
前記照明光のそれぞれ異なる波長成分を変調する複数のマイクロミラーデバイスと、
前記照明光を特定の偏光方向に対して入射角に依存した色分離特性の劣化が少ないダイクロイック膜により分離し前記マイクロミラーデバイスへ導き、前記マイクロミラーデバイスによる変調光を前記ダイクロイック膜で合成するダイクロイックプリズムと、
前記ダイクロイックプリズムで合成された合成光のうちP偏光のみ透過する偏光板と、を含み、
前記照明光のうち前記ダイクロイック膜に前記特定の偏光方向で入射した成分のみを投影することを特徴とする光学系。
A TIR prism that directs illumination light;
A plurality of micromirror devices that modulate different wavelength components of the illumination light;
A dichroic in which the illumination light is separated by a dichroic film with little deterioration in color separation characteristics depending on an incident angle with respect to a specific polarization direction and guided to the micromirror device, and modulated light by the micromirror device is synthesized by the dichroic film Prism,
A polarizing plate that transmits only P-polarized light among the combined light synthesized by the dichroic prism,
An optical system that projects only a component of the illumination light incident on the dichroic film in the specific polarization direction.
請求項20に記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、P偏光であることを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 20,
The optical system characterized in that the specific polarization direction is P-polarized light.
請求項20に記載の光学系において、
前記特定の偏光方向は、S偏光であり、
さらに、前記TIRプリズムと前記ダイクロイックプリズムの間に1/2λ板を含むことを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 20,
The specific polarization direction is S-polarized light,
The optical system further comprises a ½λ plate between the TIR prism and the dichroic prism.
請求項21に記載の光学系において、
前記ダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を反射し、緑色及び青色に相当する波長成分を透過することを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 21,
The optical system characterized in that the dichroic film reflects a wavelength component corresponding to red and transmits wavelength components corresponding to green and blue.
請求項22に記載の光学系において、
前記ダイクロイック膜は、赤色に相当する波長成分を透過し、緑色及び青色に相当する波長成分を反射することを特徴とする光学系。
The optical system according to claim 22,
The optical system characterized in that the dichroic film transmits a wavelength component corresponding to red and reflects wavelength components corresponding to green and blue.
複数の波長成分を含む照明光を発する光源と、
偏光方向を変換する波長成分を経時的に切り替えながら波長選択的に前記照明光の偏光方向を変換する波長選択偏光変換部と、
請求項1または請求項20に記載の光学系と、を含み、
前記照明光のうち、前記波長選択偏光変換部により偏光方向が変換されなかった波長成分を投影することを特徴とする投影装置。
A light source that emits illumination light including a plurality of wavelength components;
A wavelength-selective polarization converter that converts the polarization direction of the illumination light in a wavelength-selective manner while switching the wavelength component that converts the polarization direction over time;
An optical system according to claim 1 or 20,
Of the illumination light, a projection apparatus that projects a wavelength component whose polarization direction is not converted by the wavelength selective polarization conversion unit.
請求項25に記載の投影装置において、
前記複数の波長成分は、赤色、緑色、青色に相当する波長成分であり、
波長選択偏光変換部は、前記照明光の前記緑色に相当する波長成分の偏光方向と前記青色に相当する波長成分の偏光方向を交互に変換することを特徴とする投影装置。
The projection device according to claim 25, wherein
The plurality of wavelength components are wavelength components corresponding to red, green, and blue,
The wavelength selective polarization converter converts the polarization direction of the wavelength component corresponding to the green color of the illumination light and the polarization direction of the wavelength component corresponding to the blue color alternately.
請求項25に記載の投影装置において、
波長選択偏光変換部は、偏光方向を変換する波長成分を経時的に切り替えながら波長選択的に前記照明光の偏光方向をP偏光からS偏光に変換することを特徴とする投影装置。
The projection device according to claim 25, wherein
The wavelength selective polarization converter converts the polarization direction of the illumination light from P-polarized light to S-polarized light in a wavelength-selective manner while switching wavelength components for changing the polarization direction over time.
請求項25に記載の投影装置において、
前記複数の波長成分は、赤色、緑色、青色に相当する波長成分であり、
波長選択偏光変換部は、前記照明光の前記緑色に相当する波長成分の偏光方向と前記青色に相当する波長成分の偏光方向を交互にP偏光からS偏光に変換することを特徴とする投影装置。
The projection device according to claim 25, wherein
The plurality of wavelength components are wavelength components corresponding to red, green, and blue,
The wavelength selective polarization converter converts the polarization direction of the wavelength component corresponding to green and the polarization direction of the wavelength component corresponding to blue of the illumination light alternately from P-polarized light to S-polarized light. .
請求項26または請求項28に記載の投影装置において、
前記緑色に相当する波長成分を投影する時間は、前記青色に相当する波長成分を投影する時間以上であることを特徴とする投影装置。
The projection device according to claim 26 or claim 28,
The projection apparatus characterized in that the time for projecting the wavelength component corresponding to the green is equal to or longer than the time for projecting the wavelength component corresponding to the blue.
請求項29に記載の投影装置において、
前記緑色に相当する波長成分を投影する時間と前記青色に相当する波長成分を投影する時間の比は、0.7:0.3乃至0.5:0.5であることを特徴とする投影装置。
The projection device according to claim 29, wherein
The ratio of the time for projecting the wavelength component corresponding to green to the time for projecting the wavelength component corresponding to blue is 0.7: 0.3 to 0.5: 0.5 apparatus.
請求項25乃至請求項30のいずれか1つに記載の投影装置において、
さらに、前記光源と前記波長選択偏光変換部の間に、前記光源が発する前記照明光を特定の偏光方向に変換する偏光変換部を含むことを特徴とする投影装置。
The projection device according to any one of claims 25 to 30, wherein
The projection apparatus further includes a polarization conversion unit that converts the illumination light emitted from the light source into a specific polarization direction between the light source and the wavelength selective polarization conversion unit.
請求項25乃至請求項31のいずれか1つに記載の投影装置において、
前記波長選択偏光変換部は、同一平面上に放射状に配置され、全体として円形状をなす複数の特定波長偏光変換素子を含み、
複数の前記特定波長偏光変換素子は、前記平面に垂直で、前記円形の中心を通る回転軸周りに回転することを特徴とする投影装置。
The projection apparatus according to any one of claims 25 to 31,
The wavelength selective polarization conversion unit includes a plurality of specific wavelength polarization conversion elements arranged radially on the same plane and having a circular shape as a whole,
The plurality of the specific wavelength polarization conversion elements rotate around a rotation axis that is perpendicular to the plane and passes through the center of the circle.
請求項25乃至請求項31のいずれか1つに記載の投影装置において、
前記波長選択偏光変換部は、全体として円筒を形成し、前記円筒表面に配置された複数の特定波長偏光変換素子と、前記円筒内部に配置された反射手段を含み、
複数の前記特定波長偏光変換素子は、前記円筒の中心を通る回転軸周りに回転することを特徴とする投影装置。
The projection apparatus according to any one of claims 25 to 31,
The wavelength selective polarization conversion unit forms a cylinder as a whole, and includes a plurality of specific wavelength polarization conversion elements disposed on the surface of the cylinder, and reflection means disposed inside the cylinder,
The plurality of the specific wavelength polarization conversion elements rotate around a rotation axis passing through a center of the cylinder.
請求項25乃至請求項31のいずれか1つに記載の投影装置において、
前記波長選択偏光変換部は、一定方向に並べて配置された複数の特定波長偏光変換素子を含み、
複数の前記特定波長偏光変換素子は、前記一定方向に沿ってスライドすることを特徴とする投影装置。
The projection apparatus according to any one of claims 25 to 31,
The wavelength selective polarization conversion unit includes a plurality of specific wavelength polarization conversion elements arranged in a certain direction,
The plurality of specific wavelength polarization conversion elements slide along the certain direction.
請求項25乃至請求項31のいずれか1つに記載の投影装置において、
前記波長選択偏光変換部は、偏光方向を変換する波長成分を電気的な制御により切り替える電子的色別偏光制御手段であることを特徴とする投影装置。
The projection apparatus according to any one of claims 25 to 31,
The projection apparatus, wherein the wavelength selective polarization conversion unit is an electronic color-specific polarization control unit that switches a wavelength component for converting a polarization direction by electrical control.
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