JP2010008145A - Microinspection chip, quantitative liquid sending method of microinspection chip and inspection apparatus - Google Patents

Microinspection chip, quantitative liquid sending method of microinspection chip and inspection apparatus Download PDF

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Kusunoki Higashino
楠 東野
Yasuhiro Santo
康博 山東
Akihisa Nakajima
彰久 中島
Yoichi Aoki
洋一 青木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microinspection chip, capable of sending a liquid collectively present at one place to a predetermined flow channel in predetermined timing at a predetermined speed, by quantifying and distributing a predetermined amount of the liquid and also having the high degree of freedom in the arrangement of the flow channel, and to provide a quantitative liquid sending method of the microinspection chip and an inspection apparatus. <P>SOLUTION: The liquid stored in a liquid storage part is sent to a liquid-quantifying part to be quantified and held, and the liquid held to the liquid-quantifying part is sent, by cutting off from the air, in a state where the downstream flow channel of a liquid sending destination is opened to the outside. This liquid quantifying and sending method is utilized to enable provision for the microinspection chip, capable of sending the liquid collectively present an one place to the predetermined flow channel with a predetermined timing, at a predetermined speed, by quantifying and distributing the predetermined amount of the liquid and also having the high degree of freedom in the arrangement of the flow channel, the quantitative liquid-sending method of the microinspection chip, and the inspection device. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、マイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置に関し、特に、遺伝子増幅反応、抗原抗体反応などによる生体物質の検査・分析、その他の化学物質の検査・分析、有機合成等による目的化合物の化学合成などに用いられるマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置に関する。   The present invention relates to a micro test chip, a method for quantitatively feeding a micro test chip, and a test apparatus, and more particularly, testing and analysis of biological materials by gene amplification reaction, antigen-antibody reaction, etc., testing and analysis of other chemical substances, organic synthesis The present invention relates to a micro test chip used for chemical synthesis of a target compound by the method, a quantitative liquid feeding method of the micro test chip, and a test apparatus.

近年、マイクロマシン技術および超微細加工技術を駆使することにより、従来の試料調製、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段(例えばポンプ、バルブ、流路、センサーなど)を微細化して1チップ上に集積化した分析用チップ(以下、マイクロ検査チップと言う)が開発されている(例えば、特許文献1参照)。   In recent years, by making full use of micromachine technology and ultrafine processing technology, devices and means (for example, pumps, valves, flow paths, sensors, etc.) for performing conventional sample preparation, chemical analysis, chemical synthesis, etc. have been miniaturized. An analysis chip (hereinafter referred to as a micro inspection chip) integrated on a chip has been developed (see, for example, Patent Document 1).

これは、μ−TAS(Micro Total Analysis System)、バイオリアクタ、ラブ・オン・チップ(Lab−on−chips)、バイオチップとも呼ばれ、医療検査・診断分野、環境測定分野、農産製造分野でその応用が期待されている。特に、遺伝子検査に見られるように煩雑な工程、熟練した手技、機器類の操作が必要とされる場合には、自動化、高速化および簡便化に優れたマイクロ検査チップは、コスト、必要試料量、所要時間のみならず、時間および場所を選ばない分析を可能とするので、その恩恵は多大と言える。   This is also called μ-TAS (Micro Total Analysis System), bioreactor, Lab-on-chip, biochip, and it is used in the medical examination / diagnosis field, environmental measurement field, and agricultural production field. Application is expected. In particular, when complicated processes such as those found in genetic testing, skilled techniques, and operation of equipment are required, micro test chips that excel in automation, speed-up, and simplification are cost-effective and require sample volume. Because it enables analysis not only for the required time but also for any time and place, the benefits are great.

上記のようなマイクロ検査チップでは、検査に用いられる検体や試薬を、必要に応じて正確に分割し、定量し、必要なタイミングで必要な場所に送液することが重要である。検体や試薬を精度良く分割、定量し、タイミングよく送液できないと、反応およびその検出結果に多大の影響が生ずる。   In the micro test chip as described above, it is important to accurately divide and quantify the specimen or reagent used for the test as necessary, and send the solution to the required place at the required timing. If the sample or reagent is divided and quantified with high accuracy and cannot be delivered in a timely manner, the reaction and the detection result will be greatly affected.

そこで、特許文献2には、第1の流路に導入された液体が、第1の流路と第2の流路とを繋ぐ第3の流路内に毛細管現象によって引き込まれ、第1の流路内の液体を取り除いた後に第3の流路内の液体を第2の流路に送液することで、第3の流路の容積に応じた体積の液滴を作成する液体の定量方法が開示されている。さらに、複数の流路への液体の分割、定量方法についても開示されている。   Therefore, in Patent Document 2, the liquid introduced into the first flow path is drawn into the third flow path connecting the first flow path and the second flow path by capillarity, After removing the liquid in the flow path, the liquid in the third flow path is sent to the second flow path, thereby forming a liquid droplet having a volume corresponding to the volume of the third flow path. A method is disclosed. Furthermore, a method for dividing and quantifying liquid into a plurality of channels is also disclosed.

また、特許文献3には、チップを回転させることで発生する遠心力を用いて、チップ内の液体を移動させ、流路の容積で液量を分割、定量する方法が開示されている。   Patent Document 3 discloses a method for dividing and quantifying the amount of liquid by the volume of the flow path by moving the liquid in the chip using a centrifugal force generated by rotating the chip.

さらに、特許文献4には、複数のポンプやバルブ構造部、反応容器を配して、これを適宜選択することによりバルブやポンプの制御を行って送液するマイクロチップが開示されている。
特開2004−28589号公報 特開2002−357616号公報 特表2000−514928号公報 特開2003−94395号公報
Furthermore, Patent Document 4 discloses a microchip in which a plurality of pumps, a valve structure, and a reaction vessel are arranged, and the valves and pumps are controlled by appropriately selecting them to send liquids.
JP 2004-28589 A JP 2002-357616 A JP 2000-514928 gazette JP 2003-94395 A

しかしながら、特許文献2で提案された方法では、液体を定量するためだけに3本の流路が必要であり、マイクロ検査チップの構造が複雑となる。また、第1の流路の液体を取り除く工程と、第3の流路内の液体を第2の流路に送液する工程とを切り替える時に、送液ポンプの力を切り替えるか、第1の流路の末端を送液工程の途中で封止する等の工夫が必要であり、マイクロ検査チップの動作が複雑になる。さらに、分割、定量後も各流路が連通されたままなので、分割された各液体を個別に独立して送液することができない、という問題がある。   However, in the method proposed in Patent Document 2, three flow paths are necessary only for quantifying the liquid, and the structure of the micro test chip becomes complicated. Further, when switching between the step of removing the liquid in the first flow path and the step of feeding the liquid in the third flow path to the second flow path, the force of the liquid feed pump is switched, It is necessary to devise measures such as sealing the end of the flow path in the middle of the liquid feeding process, which complicates the operation of the micro inspection chip. Furthermore, since each flow path remains connected even after the division and quantification, there is a problem that the divided liquids cannot be individually fed independently.

また、特許文献3で提案された方法では、全ての流路で同時に遠心力による送液が行われるために、流路毎に個別に分割、定量、送液することができない、という問題がある。さらに、回転中心から外側に向かう方向に流路を配置する必要があるため、流路の配置の自由度が小さい、という問題もある。   In addition, the method proposed in Patent Document 3 has a problem in that it cannot be individually divided, quantified, and fed for each flow path because liquid flow by centrifugal force is simultaneously performed in all flow paths. . Furthermore, since it is necessary to arrange the flow path in the direction from the center of rotation to the outside, there is a problem that the degree of freedom of arrangement of the flow path is small.

さらに、特許文献4で提案された方法では、個別に存在している任意の試液を、それぞれ個別に制御して選択的に送液することは開示されているが、1箇所に貯留された検体や試液を正確に定量し、かつ、分割する方法については示されていない。   Furthermore, in the method proposed in Patent Document 4, it is disclosed that an arbitrary reagent existing individually is controlled separately and selectively fed, but the specimen stored in one place is disclosed. It does not show how to accurately quantify and divide the reagent and reagent.

特に、外部からマイクロ検査チップに注入されることの多い検体は、複数箇所に分けて注入することは煩わしく、注入漏れの可能性も高いので、1箇所に注入して、マイクロ検査チップ内部で定量、分配されることが望ましい。   In particular, specimens that are often injected into the micro test chip from the outside are cumbersome to inject in multiple locations, and there is a high possibility of injection leakage. Therefore, the sample is injected at one location and quantified inside the micro test chip. It is desirable to be distributed.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、1箇所にまとまって存在する検体や試薬等の液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and quantifies a predetermined amount of a liquid such as a sample or a reagent present in one place at a predetermined speed at a predetermined timing in a predetermined flow path. An object of the present invention is to provide a micro inspection chip, a fixed amount liquid feeding method of a micro inspection chip, and an inspection apparatus that can distribute and send liquids and have a high degree of freedom in arrangement of flow paths.

本発明の目的は、下記構成により達成することができる。   The object of the present invention can be achieved by the following constitution.

1.液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に貯留された前記液体を定量して保持する液体定量部と、
前記液体貯留部と前記液体定量部とを連通させる接続流路と、
前記液体貯留部に外部から流体を導入する第1の流体導入路と、
前記接続流路に連通され、前記接続流路に流体を導入する第2の流体導入路と、
前記液体定量部に連通された分岐部と、
前記分岐部に連通された複数の分岐流路と、
複数の前記分岐流路に連通された複数の下流流路と、
複数の前記下流流路に連通され、複数の前記下流流路を外部に開放または閉鎖する複数の下流流路開閉手段とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップ。
1. A liquid reservoir for storing liquid;
A liquid quantification unit that quantifies and holds the liquid stored in the liquid storage unit;
A connection channel for communicating the liquid reservoir and the liquid metering unit;
A first fluid introduction path for introducing fluid from the outside into the liquid reservoir;
A second fluid introduction path communicating with the connection flow path and introducing a fluid into the connection flow path;
A branching portion communicating with the liquid quantification unit;
A plurality of branch passages communicated with the branch portion;
A plurality of downstream channels communicated with the plurality of branch channels;
A micro test chip comprising a plurality of downstream channel opening / closing means communicating with the plurality of downstream channels and opening or closing the plurality of downstream channels to the outside.

2.前記分岐部に連通された排気流路と、
前記排気流路に連通された排気流路開閉手段とを備えたことを特徴とする前記1に記載のマイクロ検査チップ。
2. An exhaust passage communicated with the branch portion;
2. The micro inspection chip according to 1 above, further comprising an exhaust channel opening / closing means communicating with the exhaust channel.

3.前記第1の流体導入路および前記第2の流体導入路の少なくとも一方は、空気貯留部を有することを特徴とする前記1または2に記載のマイクロ検査チップ。   3. 3. The micro test chip according to 1 or 2, wherein at least one of the first fluid introduction path and the second fluid introduction path has an air reservoir.

4.前記第2の流体導入路に連通された吸気流路と、
前記吸気流路に連通された吸気流路開閉手段とを備えたことを特徴とする前記1乃至3の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。
4). An intake flow path communicating with the second fluid introduction path;
4. The micro test chip according to any one of 1 to 3, further comprising an intake channel opening / closing means communicating with the intake channel.

5.前記第1の流体導入路に連通された第1の流体導入路開閉手段と、
前記第2の流体導入路に連通された第2の流体導入路開閉手段とを備えたことを特徴とする前記2乃至4の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。
5). First fluid introduction path opening / closing means communicated with the first fluid introduction path;
5. The micro inspection chip according to any one of 2 to 4, further comprising: a second fluid introduction path opening / closing means communicating with the second fluid introduction path.

6.複数の前記下流流路の少なくとも1つには、予め第2の液体が収容されていることを特徴とする前記1乃至5の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。   6). 6. The micro inspection chip according to any one of 1 to 5, wherein a second liquid is previously stored in at least one of the plurality of downstream flow paths.

7.前記液体定量部は、撥水バルブを有することを特徴とする前記1乃至6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。   7). 7. The micro test chip according to any one of 1 to 6, wherein the liquid quantification unit has a water repellent valve.

8.前記1乃至4または6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法であって、
前記液体貯留部に前記液体を貯留する液体貯留工程と、
前記第1の流体導入路に前記流体を導入することで、前記液体貯留部に貯留された前記液体を前記液体定量部に送液して定量し保持する液体定量工程と、
複数の前記下流流路開閉手段の何れか1つを選択して開放し、前記第2の流体導入路から前記接続流路に空気を導入することで、前記液体定量部に保持された前記液体を、選択された前記下流流路開閉手段に連通した前記下流流路に送液する液体送液工程とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップの定量送液方法。
8). The method for quantitatively feeding a micro test chip according to any one of 1 to 4 or 6,
A liquid storage step of storing the liquid in the liquid storage section;
A liquid quantification step of introducing the fluid into the first fluid introduction path to send the liquid stored in the liquid reservoir to the liquid quantifier and determine and hold it;
The liquid held in the liquid metering unit by selecting and opening any one of the plurality of downstream flow path opening / closing means and introducing air from the second fluid introduction path to the connection flow path. And a liquid feeding step for feeding the selected liquid to the downstream flow path communicating with the selected downstream flow path opening / closing means.

9.前記液体定量工程は、前記排気流路開閉手段を開放することにより、前記分岐部の空気を外部に放出することを特徴とする前記8に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。   9. 9. The method for quantitatively feeding a micro test chip according to 8, wherein the liquid quantifying step releases the air at the branch portion to the outside by opening the exhaust passage opening / closing means.

10.前記5および6に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法であって、
前記液体貯留部に前記液体を貯留する液体貯留工程と、
前記第1の流体導入路開閉手段と前記排気流路開閉手段とを開放し、前記排気流路の内部の空気を外部に排気することにより、前記液体貯留部に貯留された前記液体を前記液体定量部に送液して定量し保持する液体定量工程と、
前記第2の流体導入路開閉手段と複数の前記下流流路開閉手段の何れか1つとを開放し、開放された前記下流流路開閉手段が連通する前記下流流路の内部の空気を外部に排気することにより、前記液体定量部に保持された前記液体を前記下流流路に送液する液体送液工程とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップの定量送液方法。
10. A method for quantitatively feeding a micro test chip according to 5 and 6 above,
A liquid storage step of storing the liquid in the liquid storage section;
Opening the first fluid introduction path opening / closing means and the exhaust flow path opening / closing means, and exhausting the air inside the exhaust flow path to the outside, thereby allowing the liquid stored in the liquid storage portion to flow into the liquid A liquid quantification process for feeding and quantifying and holding the liquid in the quantification section;
Open the second fluid introduction path opening / closing means and any one of the plurality of downstream flow path opening / closing means, and let the air inside the downstream flow path communicated with the opened downstream flow path opening / closing means to the outside A method for quantitatively feeding a micro test chip, comprising: a liquid feeding step for feeding the liquid held in the liquid quantitative unit to the downstream flow path by exhausting.

11.前記液体定量工程および前記液体送液工程を複数回繰り返すことを特徴とする前記8乃至10の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。   11. 11. The method for quantitatively feeding a micro test chip according to any one of 8 to 10, wherein the liquid quantifying step and the liquid feeding step are repeated a plurality of times.

12.前記吸気流路開閉手段を開放することにより、前記吸気流路を介して前記第2の流体導入路に空気を吸気する吸気行程を備えたことを特徴とする前記11に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。   12 12. The micro test chip according to 11, wherein an intake stroke for sucking air into the second fluid introduction path through the intake flow path by opening the intake flow path opening / closing means is provided. A fixed liquid feeding method.

13.前記1乃至6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの前記液体定量部の近傍に、前記液体定量部に送液された前記液体の先頭部を検出するメニスカス検出部を備えたことを特徴とする検査装置。   13. 7. A meniscus detection unit for detecting a leading portion of the liquid fed to the liquid quantification unit is provided in the vicinity of the liquid quantification unit of the micro inspection chip according to any one of 1 to 6. Inspection equipment.

14.前記9乃至13の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法を用いて、前記液体の送液を制御する駆動制御部を備えたことを特徴とする検査装置。   14 14. An inspection apparatus comprising: a drive control unit that controls liquid supply using the micro inspection chip quantitative liquid supply method according to any one of 9 to 13.

本発明によれば、液体貯留部に貯留された液体を液体定量部に送液して定量し保持し、送液先の下流流路を外部に開放した状態で、液体定量部に保持された液体を空気で分断して送液する。これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   According to the present invention, the liquid stored in the liquid storage unit is sent to the liquid quantification unit, quantified and held, and held in the liquid quantification unit in a state where the downstream flow path of the liquid supply destination is opened to the outside. The liquid is divided by air and sent. As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。なお、図中、同一あるいは同等の部分には同一の番号を付与し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, the present invention will be described based on the illustrated embodiment, but the present invention is not limited to the embodiment. In the drawings, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

まず、本発明における検査装置について、図1を用いて説明する。図1は、本発明における検査装置の1例を示す模式図である。   First, an inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an inspection apparatus according to the present invention.

図1において、検査装置1は、マイクロ検査チップ100、マイクロポンプユニット210、加熱冷却ユニット230、検出部250、メニスカス検出部260および駆動制御部270等で構成される。   1, the inspection apparatus 1 includes a micro inspection chip 100, a micro pump unit 210, a heating / cooling unit 230, a detection unit 250, a meniscus detection unit 260, a drive control unit 270, and the like.

マイクロ検査チップ100は、一般に分析チップ、マイクロリアクタチップなどとも称されるものと同等であり、例えば、樹脂、ガラス、シリコン、セラミックスなどを材料とし、その上に、微細加工技術により、幅および高さが数μm〜数百μmのレベルの微細な流路を形成したものである。マイクロ検査チップ100のサイズおよび形状は、通常、縦横が数十mm、厚さが数mm程度の板状である。   The micro inspection chip 100 is equivalent to what is generally called an analysis chip, a microreactor chip, and the like. For example, the micro inspection chip 100 is made of resin, glass, silicon, ceramics, and the like. Is formed with a fine flow path having a level of several μm to several hundred μm. The size and shape of the micro inspection chip 100 is usually a plate shape having a length and width of several tens of mm and a thickness of several mm.

ここでは、マイクロ検査チップ100は、送液を円滑に行うために、例えばポリプロピレン等の撥水性の樹脂材料で形成されており、試薬や検体等の液体を流すための溝状の流路が表面に形成された流路基板101と、流路基板101の流路が形成された面に接着され、流路基板101の溝状の流路の蓋として機能する天板103とで構成されているとする。親水性の材料を用いる必要がある場合には、流路全体あるいは流路の内で撥水性が必要な部分をフッ素系の材料でコーティングする等の撥水処理を行うことが望ましい。また、天板103には、マイクロポンプユニット210とマイクロ検査チップ100との連通口等が設けられる。   Here, the micro-inspection chip 100 is formed of a water-repellent resin material such as polypropylene, for example, in order to smoothly feed the liquid, and has a groove-like channel for flowing a liquid such as a reagent or a specimen on the surface. The flow path substrate 101 is formed on the surface of the flow path substrate 101 and is bonded to the surface of the flow path substrate 101 where the flow path is formed. And When it is necessary to use a hydrophilic material, it is desirable to perform a water repellent treatment such as coating the entire flow path or a portion of the flow path that requires water repellency with a fluorine-based material. Further, the top plate 103 is provided with a communication port between the micro pump unit 210 and the micro test chip 100.

マイクロポンプユニット210は、マイクロ検査チップ100内の送液を行うためのポンプユニットで、マイクロポンプ211、チップ接続部213、駆動液タンク215および駆動液供給部217等で構成される。マイクロポンプユニット210は、1つあるいは複数のマイクロポンプ211を備えている。マイクロポンプ211は、マイクロ検査チップ100内に駆動液216を注入あるいは吸引することで、マイクロ検査チップ100内の送液を行う。マイクロポンプについては図13で詳述する。チップ接続部213は、マイクロポンプ211とマイクロ検査チップ100とを接続する。   The micro pump unit 210 is a pump unit for performing liquid feeding in the micro test chip 100, and includes a micro pump 211, a chip connection unit 213, a driving liquid tank 215, a driving liquid supply unit 217, and the like. The micropump unit 210 includes one or a plurality of micropumps 211. The micropump 211 feeds the liquid in the micro test chip 100 by injecting or sucking the driving liquid 216 into the micro test chip 100. The micro pump will be described in detail with reference to FIG. The chip connection unit 213 connects the micropump 211 and the micro inspection chip 100.

駆動液供給部217は、駆動液タンク215からマイクロポンプ211に駆動液216を供給する。駆動液タンク215は、駆動液216の補充のために駆動液供給部217から取り外して交換可能である。マイクロポンプ211上には1個または複数個のポンプが形成されており、複数個の場合は、各々独立にあるいは連動して駆動可能である。   The driving liquid supply unit 217 supplies the driving liquid 216 from the driving liquid tank 215 to the micropump 211. The driving liquid tank 215 can be removed and replaced from the driving liquid supply unit 217 to replenish the driving liquid 216. One or a plurality of pumps are formed on the micropump 211, and the plurality of pumps can be driven independently or in conjunction with each other.

マイクロ検査チップ100とマイクロポンプ211とはチップ接続部213で接続されて連通される。マイクロポンプ211が駆動されてマイクロポンプ211からチップ接続部213を介してマイクロ検査チップ100に注入あるいは吸引される駆動液216によって、マイクロ検査チップ100内の複数の収容部に収容されている各種試薬や検体が、マイクロ検査チップ100内で送液される。あるいは駆動液216に押された空気等の気体によって、マイクロ検査チップ100内の複数の収容部に収容されている各種試薬や検体が、マイクロ検査チップ100内で送液される。   The micro test chip 100 and the micropump 211 are connected by a chip connection part 213 and communicated with each other. Various reagents stored in a plurality of storage units in the micro test chip 100 by the driving liquid 216 that is driven into the micro test chip 100 from the micro pump 211 via the chip connection unit 213 by the micro pump 211 being driven. And the specimen are fed in the micro test chip 100. Alternatively, various reagents and specimens stored in a plurality of storage units in the micro test chip 100 are sent in the micro test chip 100 by a gas such as air pushed by the driving liquid 216.

加熱冷却ユニット230は、冷却部231および加熱部233等で構成され、マイクロ検査チップ100内の反応の促進および抑制のために、検体、試薬およびその混合液等の加熱および冷却を行う。冷却部231はペルチエ素子等で構成される。加熱部233は、ヒータ等で構成される。もちろん、加熱部233もペルチエ素子で構成してもよい。   The heating / cooling unit 230 includes a cooling unit 231, a heating unit 233, and the like, and heats and cools a specimen, a reagent, a mixed solution thereof, and the like in order to promote and suppress a reaction in the micro test chip 100. The cooling unit 231 includes a Peltier element or the like. The heating unit 233 includes a heater or the like. Of course, the heating unit 233 may also be formed of a Peltier element.

検出部250は、発光ダイオード(LED)やレーザ等の光源251と、フォトダイオード(PD)等の受光素子253等で構成され、マイクロ検査チップ100内の反応によって得られる生成液に含まれる標的物質を、マイクロ検査チップ100上の検出領域255の位置で光学的に検出する。   The detection unit 250 includes a light source 251 such as a light emitting diode (LED) or a laser, a light receiving element 253 such as a photodiode (PD), and the like, and a target substance contained in a generated liquid obtained by a reaction in the micro inspection chip 100. Is detected optically at the position of the detection region 255 on the micro inspection chip 100.

メニスカス検出部260は、マイクロ検査チップ100の後述する液体定量部131の近傍に配置され、液体定量部131に送液された液体151の先頭部(以下、メニスカスと言う)151aを検出する。検出方法は、例えば投光部と受光部とを備え、液体定量部131からの反射光量の変化を検出する光学的方法、液体定量部131の電気抵抗の変化を検出する電気的方法等、任意の方法が考えられる。   The meniscus detection unit 260 is disposed in the vicinity of a liquid quantification unit 131 (to be described later) of the micro test chip 100, and detects the leading portion (hereinafter referred to as meniscus) 151a of the liquid 151 fed to the liquid quantification unit 131. The detection method includes a light projecting unit and a light receiving unit, for example, an optical method for detecting a change in the amount of reflected light from the liquid quantifying unit 131, an electrical method for detecting a change in the electrical resistance of the liquid quantifying unit 131, etc. Can be considered.

駆動制御部270は、図示しないマイクロコンピュータやメモリ等で構成され、検査装置1内の各部の駆動、制御、検出等を行う。   The drive control unit 270 includes a microcomputer, a memory, and the like (not shown), and drives, controls, and detects each unit in the inspection apparatus 1.

(第1の実施の形態)
次に、本発明におけるマイクロ検査チップの第1の実施の形態について、図2を用いて説明する。図2は、マイクロ検査チップ100の第1の実施の形態の構成を示す模式図で、図2(a)は流路基板101の表面に形成された流路を示す平面図、図2(b)は図2(a)のA−A’断面図である。
(First embodiment)
Next, a first embodiment of the micro test chip according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the first embodiment of the micro test chip 100. FIG. 2A is a plan view showing the flow path formed on the surface of the flow path substrate 101, and FIG. ) Is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.

図2(a)および(b)において、マイクロ検査チップ100の流路基板101の表面には、第1の流体導入路111、液体貯留部113、液体注入口113i、接続流路115、第2の流体導入路121、液体定量部131、分岐部133、2本の分岐流路135aおよび135b、2本の下流流路141aおよび141bが形成されている。ここでは、分岐流路および下流流路は2本としたが、これに限るわけではなく、3本以上であってもよい。   2A and 2B, on the surface of the flow path substrate 101 of the micro test chip 100, a first fluid introduction path 111, a liquid storage portion 113, a liquid injection port 113i, a connection flow path 115, a second flow path are provided. The fluid introduction path 121, the liquid quantification part 131, the branch part 133, the two branch flow paths 135a and 135b, and the two downstream flow paths 141a and 141b are formed. Here, the number of the branch flow paths and the downstream flow paths is two, but the number is not limited to this, and may be three or more.

第1の流体導入路111は液体貯留部113の上流側に連通し、液体貯留部113の下流側と液体定量部131の上流側とは接続流路115によって連通している。第2の流体導入路121は接続流路115と合流点117で連通している。後述するように、第2の流体導入路121から接続流路115に空気を注入することで、液体貯留部113内の液体と液体定量部131内の液体とを分断するので、接続流路115の流路断面積は狭いことが望ましい。   The first fluid introduction path 111 communicates with the upstream side of the liquid storage unit 113, and the downstream side of the liquid storage unit 113 and the upstream side of the liquid metering unit 131 communicate with each other through the connection channel 115. The second fluid introduction path 121 communicates with the connection flow path 115 at the junction 117. As will be described later, by injecting air from the second fluid introduction channel 121 to the connection channel 115, the liquid in the liquid storage unit 113 and the liquid in the liquid metering unit 131 are separated, and thus the connection channel 115. It is desirable that the cross-sectional area of the channel be narrow.

分岐部133は液体定量部131の下流側に連通し、2本の分岐流路135aと135bとに分岐している。2本の分岐流路135aと135bとはそれぞれ2本の下流流路141aと141bとに連通している。ここでは、下流流路141aと141bとは同一形状として図示しているが、これに限るものではなく、容積、長さ、形状等はそれぞれ異なっていてもよい。   The branch part 133 communicates with the downstream side of the liquid quantification part 131 and branches into two branch flow paths 135a and 135b. The two branch flow paths 135a and 135b communicate with the two downstream flow paths 141a and 141b, respectively. Here, although the downstream flow paths 141a and 141b are illustrated as having the same shape, the present invention is not limited to this, and the volume, length, shape, and the like may be different from each other.

第1の流体導入路111および第2の流体導入路121の各々の上流端には、図1に示したマイクロポンプ211とのポンプポンプ連通口P1およびP2が設けられている。マイクロ検査チップ100が検査装置1に挿入されると、ポンプ連通口P1およびP2は、チップ接続部213を介してマイクロポンプ211に連通され、マイクロポンプ211から、必要に応じて、空気153あるいは駆動液216が注入される。   At the upstream ends of the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121, pump pump communication ports P1 and P2 with the micropump 211 shown in FIG. 1 are provided. When the micro inspection chip 100 is inserted into the inspection apparatus 1, the pump communication ports P1 and P2 are communicated with the micro pump 211 via the chip connection portion 213, and the air 153 or the drive is supplied from the micro pump 211 as necessary. Liquid 216 is injected.

第1の実施の形態では、液体151は、間に空気153を介して、マイクロポンプ211からマイクロ検査チップ100内に注入される駆動液216によって送液される例を示すが、これに限るわけではなく、駆動液216ではなく空気を注入するポンプを用いてもよいし、空気153を介さずに、液体151を駆動液216で直接送液してもよい。   In the first embodiment, an example is shown in which the liquid 151 is sent by the driving liquid 216 injected into the micro test chip 100 from the micro pump 211 via the air 153 therebetween. However, the present invention is not limited to this. Instead, a pump that injects air instead of the driving liquid 216 may be used, or the liquid 151 may be directly fed by the driving liquid 216 without using the air 153.

ただし、駆動液216で直接送液する場合には、液体と駆動液とが混じり合わないように例えばオイル系の駆動液216を用いるとか、液体定量部131に駆動液216が混入しないように液体貯留部113に貯留する液体151の量を多くする等の対応をとることが好ましい。   However, when the liquid is directly fed by the driving liquid 216, for example, an oil-based driving liquid 216 is used so that the liquid and the driving liquid are not mixed, or the liquid is measured so that the driving liquid 216 is not mixed into the liquid determination unit 131. It is preferable to take measures such as increasing the amount of the liquid 151 stored in the storage unit 113.

2本の下流流路141aおよび141bの下流端には、本発明における下流流路開閉手段であり、個別に開閉が可能なバルブV1およびV2が連通し、下流流路141aおよび141bを外部に開放または閉鎖する。バルブV1およびV2は、マイクロ検査チップ100上に形成されてもよいし、図2(b)に示すように、マイクロ検査チップ100にはバルブ連通口V1およびV2が設けられ、バルブ280自体は外部に設けられてもよい。この場合も、バルブ280はバルブ連通口V1およびV2を個別に開閉可能である。   The downstream ends of the two downstream channels 141a and 141b are downstream channel opening / closing means according to the present invention, and valves V1 and V2 that can be individually opened and closed communicate with each other to open the downstream channels 141a and 141b to the outside. Or close. The valves V1 and V2 may be formed on the micro test chip 100. As shown in FIG. 2B, the micro test chip 100 is provided with valve communication ports V1 and V2, and the valve 280 itself is external. May be provided. Also in this case, the valve 280 can individually open and close the valve communication ports V1 and V2.

第1の実施の形態では、液体貯留部113に貯留された液体151を液体定量部131で定量し、定量された液体151を下流流路141aに送液する。次に、再度、液体貯留部113に貯留された液体151を液体定量部131で定量し、定量された液体151を下流流路141bに送液する例について説明する。   In the first embodiment, the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is quantified by the liquid quantification unit 131, and the quantified liquid 151 is sent to the downstream flow path 141a. Next, an example in which the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is quantified again by the liquid quantification unit 131 and the quantified liquid 151 is sent to the downstream flow channel 141b will be described.

液体貯留部113への液体151の注入前には、各流路は空気153で満たされている。ただし、2本の下流流路141aおよび141bには、第2の液体155および157が予め注入されて保持されている。ここに、液体151は例えば検体であり、第2の液体155および157は例えば2種類の異なる試薬であり、液体151が下流流路141aおよび141bに送液されることで、下流流路内で検体と試薬との反応が行われる。   Each flow path is filled with air 153 before the liquid 151 is injected into the liquid reservoir 113. However, the second liquids 155 and 157 are previously injected and held in the two downstream flow paths 141a and 141b. Here, the liquid 151 is, for example, a specimen, and the second liquids 155 and 157 are, for example, two different reagents, and the liquid 151 is sent to the downstream flow paths 141a and 141b, so that A reaction between the specimen and the reagent is performed.

液体貯留部113には液体注入口113iから液体151が注入され、液体151の注入後、液体注入口113iは、例えば粘着テープ等の封止部材113sで封止される。   The liquid 151 is injected into the liquid reservoir 113 from the liquid inlet 113i. After the liquid 151 is injected, the liquid inlet 113i is sealed with a sealing member 113s such as an adhesive tape.

マイクロ検査チップ100の天板103側の液体定量部131の下流端近傍には、図1に示したメニスカス検出部260が設けられており、検出点260aに液体151のメニスカス151aが到達したか否かが検出される。例えば上述した光学的方法で検出を行う場合、少なくとも天板103の液体定量部131部分は光学的に透明である必要がある。   The meniscus detector 260 shown in FIG. 1 is provided in the vicinity of the downstream end of the liquid quantification unit 131 on the top plate 103 side of the micro test chip 100, and whether the meniscus 151a of the liquid 151 has reached the detection point 260a. Is detected. For example, when the detection is performed by the optical method described above, at least the liquid quantification unit 131 part of the top plate 103 needs to be optically transparent.

メニスカス検出部260は図の矢印X方向に移動可能で、移動させることで検出点260aが変更可能であるため、液体151の定量に際して、所定の量を定量可能である。従って、例えば下流流路141aに送液する液体151の量と、下流流路141bに送液する液体151の量とを異ならせることも可能である。   The meniscus detector 260 can move in the direction of the arrow X in the figure, and the detection point 260a can be changed by moving the meniscus detector 260. Therefore, when the liquid 151 is quantified, a predetermined amount can be quantified. Therefore, for example, the amount of the liquid 151 sent to the downstream flow channel 141a can be different from the amount of the liquid 151 sent to the downstream flow channel 141b.

続いて、第1の実施の形態における液体の定量送液方法を、図3乃至図6を用いて説明する。図3乃至図5は、第1の実施の形態における液体の分割定量送液方法を示すフローチャートで、図3がメインルーチン、図4および図5がサブルーチンである。図6は後述する液体定量工程および液体送液工程での流路の状態を示す模式図である。   Subsequently, a liquid quantitative liquid feeding method in the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 3 to FIG. 5 are flowcharts showing the liquid divided quantitative liquid feeding method in the first embodiment. FIG. 3 is a main routine, and FIG. 4 and FIG. 5 are subroutines. FIG. 6 is a schematic diagram showing the state of the flow path in the liquid quantification step and the liquid feeding step described later.

図3において、ステップS11で、ピペット等を用いて、試薬や検体等の液体151が液体注入口113iから液体貯留部113内に注入され、ステップS12で、液体注入口113iが封止部材113sで封止される(液体貯留工程)。ここまでが、マイクロ検査チップ100単体で行われるステップである。   3, in step S11, a liquid 151 such as a reagent or a specimen is injected into the liquid reservoir 113i from the liquid inlet 113i using a pipette or the like. In step S12, the liquid inlet 113i is sealed by the sealing member 113s. Sealed (liquid storage step). The steps so far are steps performed by the micro inspection chip 100 alone.

次に、ステップS13で、マイクロ検査チップ100が検査装置1に挿入される。ステップS14で、検査装置1の駆動制御部270により、バルブ選択のためのパラメータn=1が設定される。ステップS15で、駆動制御部270により、図4に示す液体定量サブルーチンが実行され(液体定量工程)、メインルーチンに戻る。   Next, in step S <b> 13, the micro inspection chip 100 is inserted into the inspection apparatus 1. In step S14, the drive control unit 270 of the inspection apparatus 1 sets a parameter n = 1 for valve selection. In step S15, the drive control unit 270 executes the liquid determination subroutine shown in FIG. 4 (liquid determination step), and the process returns to the main routine.

ステップS16で、駆動制御部270により、ステップS15の液体定量サブルーチンの中でエラーフラグEFが立てられた(EF=1)か否かが確認される。エラーフラグEFが立てられた場合(ステップS16;Yes)、液体定量サブルーチン内で異常が発生したとみなされて、ステップS17で、駆動制御部270により、エラー警告が出されて、動作が終了される。   In step S16, the drive control unit 270 confirms whether or not the error flag EF is set (EF = 1) in the liquid determination subroutine of step S15. When the error flag EF is set (step S16; Yes), it is considered that an abnormality has occurred in the liquid determination subroutine, and in step S17, the drive control unit 270 issues an error warning and the operation is terminated. The

エラーフラグEFが立てられなかった場合(ステップS16;No)、ステップS18で、駆動制御部270により、図5に示す液体送液サブルーチンが実行され(液体送液工程)、メインルーチンに戻る。ステップS19で、駆動制御部270により、パラメータn=2であるか否かが確認される。n=2の場合(ステップS19;Yes)、下流流路141aと141bの両方に液体151が送液されたとみなされて、そのまま動作が終了される。n=2でない場合(ステップS19;No)、ステップS20で、駆動制御部270により、nに1が加算されて、ステップS15に戻り、上述した動作が繰り返される。   If the error flag EF is not set (step S16; No), in step S18, the drive control unit 270 executes the liquid feeding subroutine shown in FIG. 5 (liquid feeding step), and the process returns to the main routine. In step S19, the drive control unit 270 confirms whether or not the parameter n = 2. When n = 2 (step S19; Yes), it is considered that the liquid 151 has been sent to both the downstream flow paths 141a and 141b, and the operation is ended as it is. If n = 2 is not satisfied (step S19; No), in step S20, 1 is added to n by the drive control unit 270, the process returns to step S15, and the above-described operation is repeated.

図4は、図3のステップS15「液体定量サブルーチン」のフローチャートである。   FIG. 4 is a flowchart of Step S15 “Liquid Determination Subroutine” in FIG.

図4において、ステップS151で、検査装置1に挿入されたマイクロ検査チップ100のポンプ連通口P1およびP2がマイクロポンプ211に連通され、バルブ連通口V1およびV2がバルブ280に連通される。ステップS152で、駆動制御部270によりバルブ280が制御されて、バルブ連通口V1およびV2が閉鎖され、ステップS153で、図3のバルブ選択のためのパラメータn(nは1または2)の値に従って、n=1の場合にはバルブ連通口V1だけが、n=2の場合にはバルブ連通口V2だけが開放される。   In FIG. 4, in step S <b> 151, the pump communication ports P <b> 1 and P <b> 2 of the micro test chip 100 inserted into the test apparatus 1 are communicated with the micropump 211, and the valve communication ports V <b> 1 and V <b> 2 are communicated with the valve 280. In step S152, the valve 280 is controlled by the drive control unit 270, and the valve communication ports V1 and V2 are closed. In step S153, according to the value of the parameter n (n is 1 or 2) for valve selection in FIG. When n = 1, only the valve communication port V1 is opened, and when n = 2, only the valve communication port V2 is opened.

ステップS154で、パラメータn(nは1または2)の値に従って、駆動制御部270により、メニスカス検出部260の位置が図2に示した矢印X方向の所定位置Xnとなるように移動される。これによって、液体定量部131での液体151の定量に際して、パラメータnに従った所定の量の定量が可能となる。ステップS155で、駆動制御部270により、エラーフラグEFが初期化(EF=0)される。   In step S154, according to the value of the parameter n (n is 1 or 2), the drive control unit 270 moves the position of the meniscus detection unit 260 to the predetermined position Xn in the arrow X direction shown in FIG. Thus, when the liquid 151 is quantified by the liquid quantification unit 131, a predetermined amount according to the parameter n can be quantified. In step S155, the drive control unit 270 initializes the error flag EF (EF = 0).

ステップS156で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第1の流体導入路111に注入され、駆動液216に押された第1の流体導入路111内の空気153に押されて、液体貯留部113に貯留された液体151が接続流路115を介して液体定量部131に流出する。   In step S156, the micro pump 211 communicated with the pump communication port P1 is driven by the drive control unit 270, and the driving liquid 216 is injected into the first fluid introduction path 111 and pushed by the driving liquid 216. Pushed by the air 153 in the fluid introduction path 111, the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 flows out to the liquid metering unit 131 via the connection channel 115.

この時、接続流路115および液体定量部131内の空気153は、パラメータn=1の場合、分岐部133、分岐流路135aおよび下流流路141aを介して、開放されたバルブ連通口V1から外部に排出される。また、パラメータn=2の場合、分岐部133、分岐流路135bおよび下流流路141bを介して、開放されたバルブ連通口V2から外部に排出される。   At this time, when the parameter n = 1, the air 153 in the connection channel 115 and the liquid quantification unit 131 passes from the opened valve communication port V1 via the branch unit 133, the branch channel 135a, and the downstream channel 141a. It is discharged outside. Further, when the parameter n = 2, the air is discharged from the opened valve communication port V2 through the branch part 133, the branch channel 135b, and the downstream channel 141b.

ステップS157で、駆動制御部270により、メニスカス検出部260によって液体151のメニスカス151aが検出されたか否かが確認される。メニスカス151aが検出されない場合(ステップS157;No)、ステップS158で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211がステップS156で最初に駆動開始されてから、タイムアウト時間である所定時間T1が経過したか否かが確認される。   In step S157, the drive control unit 270 confirms whether the meniscus 151a of the liquid 151 is detected by the meniscus detection unit 260. When the meniscus 151a is not detected (step S157; No), it is a time-out period after the micropump 211 communicated with the pump communication port P1 is first started in step S156 by the drive control unit 270 in step S158. It is confirmed whether or not the predetermined time T1 has elapsed.

所定時間T1が経過していない場合(ステップS158;No)、ステップS156に戻って上述した動作が繰り返される。所定時間T1が経過した場合(ステップS158;Yes)、所定時間T1以内に液体貯留部113から液体定量部131への送液が完了されないエラーが発生したとみなされて、ステップS159で、駆動制御部270により、エラーフラグEFが立てられ(EF=1)、ステップS160に進む。   When the predetermined time T1 has not elapsed (step S158; No), the process returns to step S156 and the above-described operation is repeated. When the predetermined time T1 has elapsed (step S158; Yes), it is considered that an error has occurred in which the liquid supply from the liquid reservoir 113 to the liquid metering unit 131 is not completed within the predetermined time T1, and drive control is performed in step S159. The error flag EF is set by the unit 270 (EF = 1), and the process proceeds to step S160.

ステップS157でメニスカス151aが検出された場合(ステップS157;Yes)もステップS160に進み、駆動制御部270により、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211が停止され、ステップS161で、駆動制御部270により、ステップS153で開放されたバルブ連通口V1またはV2が閉鎖され、メインルーチンに戻る。   When the meniscus 151a is detected in step S157 (step S157; Yes), the process proceeds to step S160, and the drive control unit 270 stops the micropump 211 connected to the pump communication port P1, and in step S161, the drive control unit By 270, the valve communication port V1 or V2 opened in step S153 is closed, and the process returns to the main routine.

図6(a)に、ステップS15「液体定量サブルーチン」終了時の流路の状態を示す。液体貯留部113に貯留された液体151の一部が送液され、接続流路115を介して液体定量部131に注入されている。液体定量部131に注入された液体151のメニスカス151aがメニスカス検出部260の検出点260aの位置に達したところで、送液が停止され、液体151が液体定量部131に保持されている。   FIG. 6A shows the state of the flow path at the end of step S15 “liquid quantification subroutine”. A part of the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is fed and injected into the liquid metering unit 131 via the connection channel 115. When the meniscus 151 a of the liquid 151 injected into the liquid quantification unit 131 reaches the position of the detection point 260 a of the meniscus detection unit 260, the liquid feeding is stopped and the liquid 151 is held in the liquid quantification unit 131.

図5は、図3のステップS18「液体送液サブルーチン」のフローチャートである。   FIG. 5 is a flowchart of step S18 “liquid feeding subroutine” in FIG.

図5において、ステップS181で、駆動制御部270により、図3のバルブ選択のためのパラメータn(nは1または2)の値に従って、バルブ280によって、n=1の場合にはバルブ連通口V1が、n=2の場合にはバルブ連通口V2が開放される。   5, in step S181, the drive control unit 270 causes the valve communication port V1 when n = 1 by the valve 280 according to the value of the parameter n (n is 1 or 2) for valve selection in FIG. However, when n = 2, the valve communication port V2 is opened.

ステップS183で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P2に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第2の流体導入路121に注入され、駆動液216に押された第2の流体導入路121内の空気153が接続流路115に注入される。これによって、液体定量部131に保持された液体151が、液体貯留部113内の液体151と分断されて、分岐部133に流入する。   In step S183, the micro pump 211 communicated with the pump communication port P2 is driven by the drive control unit 270, the driving liquid 216 is injected into the second fluid introduction path 121, and is pushed by the driving liquid 216. Air 153 in the fluid introduction path 121 is injected into the connection flow path 115. As a result, the liquid 151 held in the liquid quantitative unit 131 is divided from the liquid 151 in the liquid storage unit 113 and flows into the branching unit 133.

この時、パラメータn=1の場合には、分岐部133、分岐流路135aおよび下流流路141a内の空気153は、開放されているバルブ連通口V1から外部に排出され、パラメータn=2の場合には、分岐部133、分岐流路135bおよび下流流路141b内の空気153は、開放されているバルブ連通口V2から外部に排出される。   At this time, when the parameter n = 1, the air 153 in the branch part 133, the branch flow path 135a, and the downstream flow path 141a is exhausted to the outside from the opened valve communication port V1, and the parameter n = 2. In this case, the air 153 in the branch part 133, the branch flow path 135b, and the downstream flow path 141b is discharged to the outside from the opened valve communication port V2.

そして、液体定量部131に保持された液体151は、パラメータn=1の場合には、分岐部133および分岐流路135aを介して下流流路141aに注入され、パラメータn=2の場合には、分岐部133および分岐流路135bを介して下流流路141bに注入される。   The liquid 151 held in the liquid quantification unit 131 is injected into the downstream channel 141a via the branching unit 133 and the branching channel 135a when the parameter n = 1, and when the parameter n = 2. Then, it is injected into the downstream channel 141b via the branch part 133 and the branch channel 135b.

ステップS185で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P2に連通されたマイクロポンプ211がステップS183で最初に駆動開始されてから、送液終了時間である所定時間T2が経過したか否かが確認される。所定時間T2が経過していない場合(ステップS185;No)、ステップS183に戻って上述した動作が繰り返される。   In step S185, the drive control unit 270 confirms whether or not a predetermined time T2, which is a liquid feed end time, has elapsed since the micro pump 211 connected to the pump communication port P2 was first driven in step S183. Is done. When the predetermined time T2 has not elapsed (step S185; No), the process returns to step S183 and the above-described operation is repeated.

所定時間T2が経過した場合(ステップS185;Yes)、ステップS187で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P2に連通されたマイクロポンプ211が停止され、ステップS189で、駆動制御部270により、ステップS181で開放されたバルブ連通口V1またはV2が閉鎖され、メインルーチンに戻る。   When the predetermined time T2 has elapsed (step S185; Yes), in step S187, the drive control unit 270 stops the micropump 211 communicated with the pump communication port P2, and in step S189, the drive control unit 270 performs step. The valve communication port V1 or V2 opened in S181 is closed, and the process returns to the main routine.

図6(b)に、パラメータn=1の場合のステップS18「液体送液サブルーチン」終了時の流路の状態、つまり、液体151が定量されて下流流路141aに送液された状態を示す。   FIG. 6B shows the state of the flow path at the end of step S18 “Liquid liquid feeding subroutine” when the parameter n = 1, that is, the state in which the liquid 151 is quantified and sent to the downstream flow path 141a. .

図6(b)において、第2の流体導入路121から接続流路115に注入された空気153によって、液体定量部131に保持されていた液体151が液体貯留部113内の液体151と分断されて、分岐部133および分岐流路135aを介して下流流路141aに注入されている。下流流路141aに注入された液体151は、予め下流流路141aに保持されていた第2の液体155と混合されて混合液156となり、反応が開始される。   In FIG. 6B, the liquid 151 held in the liquid metering unit 131 is separated from the liquid 151 in the liquid reservoir 113 by the air 153 injected from the second fluid introduction channel 121 into the connection channel 115. Thus, it is injected into the downstream channel 141a through the branch part 133 and the branch channel 135a. The liquid 151 injected into the downstream flow path 141a is mixed with the second liquid 155 previously held in the downstream flow path 141a to become a mixed liquid 156, and the reaction is started.

パラメータn=2の場合には、バルブ連通口V2が開放されているので、液体151は、分岐部133および分岐流路135bを介して下流流路141bに注入される。   When the parameter n = 2, the valve communication port V2 is open, so that the liquid 151 is injected into the downstream flow path 141b via the branch portion 133 and the branch flow path 135b.

なお、第2の流体導入路121から接続流路115に空気153が注入される場合に、液体貯留部113に残存している空気153がポンプ連通口P1側に逆流する可能性があるので、逆流防止用に液体貯留部113とポンプ連通口P1との間に逆止弁を設けてもよい。   In addition, when the air 153 is injected from the second fluid introduction path 121 to the connection flow path 115, the air 153 remaining in the liquid reservoir 113 may flow backward to the pump communication port P1 side. A check valve may be provided between the liquid reservoir 113 and the pump communication port P1 for preventing backflow.

上述した液体定量工程および液体送液工程において、マイクロポンプ211の駆動速度を制御することで、液体151の送液速度を所定の速度に制御することができ、液体151を所定のタイミングで所定の速度で送液することができる。   By controlling the driving speed of the micropump 211 in the liquid quantification process and the liquid feeding process described above, the liquid feeding speed of the liquid 151 can be controlled to a predetermined speed, and the liquid 151 is predetermined at a predetermined timing. The liquid can be sent at a speed.

第1の実施の形態では、液体定量部131での液体151の定量に、メニスカス検出部260を用いたが、これに限るものではなく、例えば送液精度の高いポンプを用い、ポンプの精度によって定量する方法や、液体定量部131に撥水バルブを設け、撥水バルブまで送液したところで、表面張力によってメニスカスを停止させて定量する方法等、種々の方法を用いることができる。   In the first embodiment, the meniscus detection unit 260 is used for quantifying the liquid 151 in the liquid quantification unit 131. However, the present invention is not limited to this. For example, a pump with high liquid feeding accuracy is used. Various methods such as a method of quantifying and a method of providing a water repellent valve in the liquid quantifying unit 131 and stopping the meniscus by surface tension when the liquid is fed to the water repellent valve can be used.

上述した液体定量部131に撥水バルブを設ける方法の例を、図7を用いて説明する。図7は、第1の実施の形態の他の例を示す模式図で、図7(a)は流路形状を示し、図7(b)は液体定量状態を示す。   An example of a method of providing a water repellent valve in the liquid quantification unit 131 will be described with reference to FIG. FIGS. 7A and 7B are schematic views showing another example of the first embodiment. FIG. 7A shows a flow channel shape, and FIG. 7B shows a liquid fixed state.

図7(a)において、液体定量部131は、定量に必要な容量の位置に撥水バルブ131aを備えている。その他の流路構成は図2と同じであるので、説明は省略する。   In FIG. 7A, the liquid quantifying unit 131 includes a water repellent valve 131a at a position of a capacity necessary for quantification. The other channel configuration is the same as that in FIG.

図7(b)において、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第1の流体導入路111に注入され、駆動液216に押された第1の流体導入路111内の空気153に押されて、液体貯留部113に貯留された液体151が接続流路115を介して液体定量部131に注入される。   In FIG. 7B, the micro fluid pump 211 communicated with the pump communication port P 1 is driven, the driving fluid 216 is injected into the first fluid introduction channel 111, and the first fluid introduction channel pushed by the driving fluid 216. The liquid 151 that is pushed by the air 153 in the liquid 111 and stored in the liquid storage unit 113 is injected into the liquid fixed amount unit 131 through the connection channel 115.

この時のマイクロポンプ211の送液圧力は、液体151が撥水バルブ131aを越えられない圧力とする。これによって、液体定量部131に注入された液体151は、撥水バルブ131aまで充填されたところで送液が止まり、液体定量部131の容量で定量される。   The liquid feeding pressure of the micropump 211 at this time is a pressure at which the liquid 151 cannot exceed the water repellent valve 131a. As a result, the liquid 151 injected into the liquid quantifying unit 131 stops being fed when the water repellent valve 131 a is filled, and is quantified by the volume of the liquid quantifying unit 131.

上述したように、第1の実施の形態によれば、液体貯留部113に貯留された液体151の一部を液体定量部131に送液して定量し、定量された液体151を第2の流体導入路121から液体定量部131に注入された空気153によって液体貯留部113内の液体151と分断して下流流路に送液する。送液先の下流流路は、バルブ連通口V1およびV2の開閉によって決定される。   As described above, according to the first embodiment, a part of the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is sent to the liquid quantification unit 131 for quantification, and the quantified liquid 151 is supplied to the second liquid measurement unit 131. The air 153 injected from the fluid introduction path 121 into the liquid quantitative unit 131 is separated from the liquid 151 in the liquid storage unit 113 and sent to the downstream flow path. The downstream flow path of the liquid sending destination is determined by opening and closing the valve communication ports V1 and V2.

これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

(第2の実施の形態)
次に、本発明におけるマイクロ検査チップの第2の実施の形態について、図8を用いて説明する。図8は、マイクロ検査チップ100の第2の実施の形態の構成を示す模式図である。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the micro test chip according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic diagram showing the configuration of the second embodiment of the micro test chip 100.

図8において、第2の実施の形態では、図2の第1の実施の形態における分岐部133に排気流路137が連通され、排気流路137の下流端には、本発明における排気流路開閉手段であり、個別に開閉が可能なバルブV3が連通され、排気流路137を介して分岐部133が外部に開放または閉鎖される。   8, in the second embodiment, an exhaust passage 137 communicates with the branching portion 133 in the first embodiment of FIG. 2, and an exhaust passage according to the present invention is disposed at the downstream end of the exhaust passage 137. A valve V3, which is an opening / closing means and can be individually opened and closed, is communicated, and the branching portion 133 is opened or closed to the outside via the exhaust passage 137.

バルブV3は、第1の実施の形態におけるバルブV1およびV2と同様に、マイクロ検査チップ100上に形成されてもよいし、図2(b)と同様に、マイクロ検査チップ100にはバルブ連通口V1、V2およびV3が設けられ、バルブ280自体は外部に設けられてもよい。この場合も、バルブ280はバルブ連通口V1、V2およびV3を個別に開閉可能である。   The valve V3 may be formed on the micro test chip 100 in the same manner as the valves V1 and V2 in the first embodiment, and the valve communication port is connected to the micro test chip 100 as in FIG. V1, V2, and V3 may be provided, and the valve 280 itself may be provided outside. Also in this case, the valve 280 can individually open and close the valve communication ports V1, V2, and V3.

また、下流流路141aは、第2の液体保持部161a、混合流路163aおよび反応検出部165aがこの順に連通されて構成され、下流流路141bは、第2の液体保持部161b、混合流路163bおよび反応検出部165bがこの順に連通されて構成されている。   The downstream flow path 141a is configured by a second liquid holding section 161a, a mixing flow path 163a, and a reaction detection section 165a communicating in this order, and the downstream flow path 141b is configured by the second liquid holding section 161b, the mixed flow. The path 163b and the reaction detection unit 165b are configured to communicate with each other in this order.

第2の液体保持部161aおよび161bの内部には、それぞれ第2の液体155および157が予め注入されて保持されている。混合流路163aおよび163bは、流路断面積の広い部分と狭い部分とが交互に複数段連結されており、液体151と第2の液体155との混合が行われやすい形状となっている。反応検出部165aおよび165bでは、図1に示した検出部250により、液体151と第2の液体155との混合液での反応結果が検出される。その他の構成は第1の実施の形態と同じであるので、説明は省略する。   Second liquids 155 and 157 are previously injected and held in the second liquid holding portions 161a and 161b, respectively. The mixing channels 163a and 163b are configured such that a wide portion and a narrow portion of the channel cross-sectional area are alternately connected in a plurality of stages, and the liquid 151 and the second liquid 155 are easily mixed. In the reaction detection units 165a and 165b, the detection unit 250 shown in FIG. 1 detects the reaction result of the liquid mixture of the liquid 151 and the second liquid 155. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

次に、第2の実施の形態における液体の定量送液方法について、図9を用いて説明する。第2の実施の形態での液体の定量送液方法のメインルーチンおよびステップS18「液体送液サブルーチン」は、それぞれ第1の実施の形態の図3および図5に示したものと同じで、ステップS15「液体定量サブルーチン」だけが図4と異なる。図9は、第2の実施の形態でのステップS15「液体定量サブルーチン」のフローチャートである。   Next, a method for quantitatively feeding liquid according to the second embodiment will be described with reference to FIG. The main routine and step S18 “liquid feeding subroutine” of the liquid quantitative feeding method in the second embodiment are the same as those shown in FIGS. 3 and 5 of the first embodiment, respectively. Only S15 “liquid determination subroutine” is different from FIG. FIG. 9 is a flowchart of Step S15 “Liquid quantification subroutine” in the second embodiment.

図9において、ステップS251で、検査装置1に挿入されたマイクロ検査チップ100のポンプ連通口P1およびP2がマイクロポンプ211に連通され、バルブ連通口V1、V2およびV3がバルブ280に連通される。ステップS252で、駆動制御部270により、バルブ280が制御されて、バルブ連通口V1、V2およびV3が閉鎖され、ステップS153で、バルブ連通口V3が開放される。ステップS154およびS155は、図4と同じであるので、説明は省略する。   In FIG. 9, in step S <b> 251, pump communication ports P <b> 1 and P <b> 2 of the micro test chip 100 inserted into the test apparatus 1 are communicated with the micropump 211, and valve communication ports V <b> 1, V <b> 2 and V <b> 3 are communicated with the valve 280. In step S252, the valve 280 is controlled by the drive control unit 270 to close the valve communication ports V1, V2, and V3. In step S153, the valve communication port V3 is opened. Steps S154 and S155 are the same as those in FIG.

ステップS256で、駆動制御部270により、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第1の流体導入路111に注入され、駆動液216に押された第1の流体導入路111内の空気153に押されて、液体貯留部113に貯留された液体151が接続流路115を介して液体定量部131に流出する。   In step S256, the micro pump 211 communicated with the pump communication port P1 is driven by the drive control unit 270 so that the driving liquid 216 is injected into the first fluid introduction path 111 and pushed by the driving liquid 216. Pushed by the air 153 in the fluid introduction path 111, the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 flows out to the liquid metering unit 131 via the connection channel 115.

この時、接続流路115および液体定量部131内の空気153は、排気流路137を介して、開放されたバルブ連通口V3から外部に排出される。ステップS157からステップS160は、図4と同じであるので、説明は省略する。ステップS261で、駆動制御部270により、開放されていたバルブ連通口V3が閉鎖され、メインルーチンに戻る。   At this time, the air 153 in the connection channel 115 and the liquid quantification unit 131 is discharged to the outside from the opened valve communication port V3 via the exhaust channel 137. Steps S157 to S160 are the same as those in FIG. In step S261, the open valve communication port V3 is closed by the drive control unit 270, and the process returns to the main routine.

第2の実施の形態では、液体定量部131と第2の液体保持部161aおよび161bとの間の空気153を排気してあるので、液体151の下流流路141aあるいは141bへの送液時に、液体151と第2の液体155あるいは157とが近接している。従って、流路断面積の広い混合流路163aあるいは163bで、液体151と第2の液体155あるいは157との混合がより確実に行われる。   In the second embodiment, since the air 153 between the liquid quantification unit 131 and the second liquid holding units 161a and 161b is exhausted, when the liquid 151 is sent to the downstream flow path 141a or 141b, The liquid 151 and the second liquid 155 or 157 are close to each other. Therefore, the liquid 151 and the second liquid 155 or 157 are more reliably mixed in the mixing channel 163a or 163b having a large channel cross-sectional area.

上述したように、第2の実施の形態によれば、液体貯留部113に貯留された液体151の一部を液体定量部131に送液して定量する際に、接続流路115および液体定量部131内の空気153を排気流路137を介して、開放されたバルブ連通口V3から外部に排出する。その後に、定量された液体151を第2の流体導入路121から液体定量部131に注入された空気153によって液体貯留部113内の液体151と分断して下流流路に送液する。送液先の下流流路は、バルブ連通口V1およびV2の開閉によって決定される。   As described above, according to the second embodiment, when a part of the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is sent to the liquid quantification unit 131 for quantification, the connection channel 115 and the liquid quantification are used. The air 153 in the part 131 is discharged to the outside through the opened valve communication port V3 through the exhaust passage 137. Thereafter, the quantified liquid 151 is separated from the liquid 151 in the liquid storage unit 113 by the air 153 injected into the liquid quantification unit 131 from the second fluid introduction path 121 and sent to the downstream channel. The downstream flow path of the liquid sending destination is determined by opening and closing the valve communication ports V1 and V2.

これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

(第3の実施の形態)
次に、本発明におけるマイクロ検査チップの第3の実施の形態について、図10を用いて説明する。図10は、マイクロ検査チップ100の第3の実施の形態の構成を示す模式図である。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the micro test chip according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a schematic diagram showing the configuration of the third embodiment of the micro test chip 100.

本発明においては、液体定量部131定量され保持された液体151と、液体貯留部113内に残存する液体151とを分断するために、第2の流体導入路121から接続流路115に空気153を注入する必要がある。しかしながら、空気153は液体151に比べて圧縮性が高いので、空気153による液体151の送液では、送液速度が不安定になる可能性がある。   In the present invention, the air 153 is supplied from the second fluid introduction path 121 to the connection flow path 115 in order to separate the liquid 151 quantified and retained from the liquid quantification section 131 and the liquid 151 remaining in the liquid storage section 113. Need to be injected. However, since the air 153 has higher compressibility than the liquid 151, the liquid feeding speed may become unstable when the liquid 151 is fed by the air 153.

送液速度が不安定になると、液体151が急加速して流路内に飛び散ったり、流路に送液残りが生じたり、液体151と第2の液体155あるいは157との混合度合いが不安定になったりする。第3の実施の形態では、上述した空気153の圧縮性に関わる課題の解決方法を提案する。   When the liquid feeding speed becomes unstable, the liquid 151 suddenly accelerates and scatters in the flow path, the liquid feed remains in the flow path, or the mixing degree of the liquid 151 and the second liquid 155 or 157 is unstable. It becomes. In the third embodiment, a solution to the problem related to the compressibility of the air 153 described above is proposed.

図10において、第3の実施の形態では、図8の第2の実施の形態における第1の流体導入路111および第2の流体導入路121にそれぞれ空気室171および173が設けられている。その他の構成は図8の第2の実施の形態と同じである。   10, in the third embodiment, air chambers 171 and 173 are provided in the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121 in the second embodiment in FIG. 8, respectively. Other configurations are the same as those of the second embodiment in FIG.

液体貯留部113から液体定量部131への送液の際は、ポンプ連通口P1に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第1の流体導入路111に注入され、液体貯留部113に貯留された液体151は、空気室171内の空気153に押されて接続流路115に流出する。   When liquid is supplied from the liquid storage unit 113 to the liquid fixed amount unit 131, the micropump 211 communicated with the pump communication port P1 is driven to inject the driving liquid 216 into the first fluid introduction path 111, and the liquid storage unit The liquid 151 stored in 113 is pushed by the air 153 in the air chamber 171 and flows out to the connection channel 115.

液体定量部131から下流流路141aあるいは141bへの送液の際は、ポンプ連通口P2に連通されたマイクロポンプ211が駆動されて駆動液216が第2の流体導入路121に注入され、液体定量部131に保持された液体151は、空気室173内の空気153に押されて分岐部133に流出する。   When liquid is fed from the liquid quantification unit 131 to the downstream flow path 141a or 141b, the micropump 211 communicated with the pump communication port P2 is driven, and the driving liquid 216 is injected into the second fluid introduction path 121, so that the liquid The liquid 151 held in the quantification unit 131 is pushed by the air 153 in the air chamber 173 and flows out to the branching unit 133.

このように、第1の流体導入路111および第2の流体導入路121にそれぞれ空気室171および173を設けることで、液体151と駆動液216とに挟まれた空気153の量を必要最小限に抑えることができるので、上述した空気153の圧縮性に関わる課題を低減することができる。空気室は、上述したように、第1の流体導入路111および第2の流体導入路121にそれぞれ設けるのが理想的であるが、どちらか一方だけであっても、設けただけの効果は得られる。   Thus, by providing the air chambers 171 and 173 in the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121, respectively, the amount of the air 153 sandwiched between the liquid 151 and the driving liquid 216 is minimized. Therefore, the problems related to the compressibility of the air 153 described above can be reduced. As described above, the air chamber is ideally provided in each of the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121. However, even if only one of the air chambers is provided, the effect of the provision is not limited. can get.

図11は、図10の第3の実施の形態の更なる改良案を示す模式図である。図11において、改良案は、図10の第3の実施の形態の第2の流体導入路121に、さらに吸気流路175が連通されている。吸気流路175の下流端には、本発明における吸気流路開閉手段であり、個別に開閉が可能なバルブV4が連通され、吸気流路137を介して第2の流体導入路121が外部に開放または閉鎖される。バルブV4は、第1および第2の実施の形態と同様に、バルブ連通口V4とバルブ280とで構成されてもよい。   FIG. 11 is a schematic diagram showing a further improvement plan of the third embodiment of FIG. In FIG. 11, in the improvement plan, an intake flow path 175 is further communicated with the second fluid introduction path 121 of the third embodiment of FIG. 10. The downstream end of the intake passage 175 is an intake passage opening / closing means in the present invention, and a valve V4 that can be individually opened and closed is communicated with the second fluid introduction passage 121 to the outside via the intake passage 137. Opened or closed. The valve V4 may be configured by a valve communication port V4 and a valve 280, as in the first and second embodiments.

複数の流路(第3の実施の形態では、下流流路141aおよび141b)に液体151を分配する場合、例えば下流流路141aへの送液完了後にバルブV4が開放され、ポンプ連通口P2に連通されたマイクロポンプ211が逆方向に駆動されて、駆動液216が第2の流体導入路121から外部に吸引されることで、空気室173への空気の補充を行うことができる。   When the liquid 151 is distributed to a plurality of flow paths (in the third embodiment, the downstream flow paths 141a and 141b), for example, the valve V4 is opened after the liquid supply to the downstream flow path 141a is completed, and the pump communication port P2 is opened. The micropump 211 communicated is driven in the reverse direction, and the driving liquid 216 is sucked to the outside from the second fluid introduction path 121, so that the air chamber 173 can be replenished.

図10に示した例では、複数の流路に液体151を分配する場合には、空気室173は複数の流路の容積の合計以上の容積が必要であり、分配する流路が増えるほど空気室173が大きくなる。しかし、図11に示した改良案では、分配する流路が増えても、空気室の大きさは、分配する流路1本分あればよい。   In the example shown in FIG. 10, when the liquid 151 is distributed to a plurality of flow paths, the air chamber 173 needs to have a volume that is equal to or larger than the total volume of the plurality of flow paths. The chamber 173 becomes larger. However, in the improved plan shown in FIG. 11, even if the number of flow paths to be distributed increases, the size of the air chamber only needs to be one flow path to be distributed.

上述したように、第3の実施の形態によれば、第1の流体導入路111および第2の流体導入路121にそれぞれ空気室171および173を設けることで、液体151と駆動液216とに挟まれた空気153の量を必要最小限に抑えることができるので、送液時の空気153の圧縮性に関わる課題を低減することができる。   As described above, according to the third embodiment, by providing the air chambers 171 and 173 in the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121, respectively, the liquid 151 and the driving liquid 216 are provided. Since the amount of the sandwiched air 153 can be minimized, problems related to the compressibility of the air 153 at the time of liquid feeding can be reduced.

これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

(第4の実施の形態)
次に、本発明におけるマイクロ検査チップの第4の実施の形態について、図12を用いて説明する。図12は、マイクロ検査チップ100の第4の実施の形態の構成を示す模式図である。
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the micro test chip according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a schematic diagram showing the configuration of the fourth embodiment of the micro test chip 100.

図12において、第4の実施の形態は、図8の第2の実施の形態におけるポンプ連通口P1およびP2の代わりに、本発明における第1の流体導入路開閉手段および第2の流体導入路開閉手段であり、個別に開閉が可能なバルブV5およびV6が設けられ、第1の流体導入路111および第2の流体導入路121が外部に開放または閉鎖される。バルブV5およびV6は、第1乃至第3の実施の形態と同様に、バルブ連通口V5およびV6とバルブ280とで構成されてもよい。   12, in the fourth embodiment, instead of the pump communication ports P1 and P2 in the second embodiment in FIG. 8, the first fluid introduction path opening / closing means and the second fluid introduction path in the present invention are used. Valves V5 and V6, which are open / close means and can be opened and closed individually, are provided, and the first fluid introduction path 111 and the second fluid introduction path 121 are opened or closed to the outside. The valves V5 and V6 may be composed of the valve communication ports V5 and V6 and the valve 280, as in the first to third embodiments.

さらに、第4の実施の形態は、図8の第2の実施の形態におけるバルブV1、V2およびV3のさらに下流に、吸引ポンプP3、P4およびP5が連通されている。その他の構成は図8の第2の実施の形態と同じであるので、説明は省略する。   Further, in the fourth embodiment, suction pumps P3, P4 and P5 are communicated further downstream of the valves V1, V2 and V3 in the second embodiment of FIG. The other configuration is the same as that of the second embodiment in FIG.

マイクロ検査チップの第4の実施の形態の送液に用いられる吸引ポンプP3、P4およびP5としては、図1に示したマイクロポンプユニット210で駆動液216あるいは空気153を吸引することでもよいし、マイクロポンプユニット210に代えて、その他の吸引用のポンプを用いてもよい。   As the suction pumps P3, P4 and P5 used for liquid feeding in the fourth embodiment of the micro inspection chip, the driving liquid 216 or the air 153 may be sucked by the micro pump unit 210 shown in FIG. Instead of the micro pump unit 210, other suction pumps may be used.

次に、第4の実施の形態における液体の定量送液方法について、図13および図14を用いて説明する。第4の実施の形態での液体の定量送液方法のメインルーチンは、第1の実施の形態の図3に示したものと同じで、ステップS15「液体定量サブルーチン」およびステップS18「液体送液サブルーチン」が図4および図5と異なる。   Next, a method for quantitatively feeding liquid according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. The main routine of the liquid quantitative feeding method in the fourth embodiment is the same as that shown in FIG. 3 of the first embodiment, and step S15 “liquid quantitative subroutine” and step S18 “liquid liquid feeding. Subroutine "differs from FIG. 4 and FIG.

図13は、第4の実施の形態でのステップS15「液体定量サブルーチン」のフローチャートである。   FIG. 13 is a flowchart of Step S15 “Liquid quantification subroutine” in the fourth embodiment.

図13において、ステップS451で、検査装置1に挿入されたマイクロ検査チップ100のバルブV1、V2およびV3に吸引ポンプP3、P4およびP5が接続され、バルブV5およびV6が接続される。ステップS452で、駆動制御部270により、バルブV1、V2、V3、V5およびV6が閉鎖され、ステップS453で、バルブV3とV5とが開放される。ステップS154およびS155は、図4および図9と同じであるので、説明は省略する。   In FIG. 13, in step S451, suction pumps P3, P4 and P5 are connected to valves V1, V2 and V3 of micro test chip 100 inserted in test apparatus 1, and valves V5 and V6 are connected. In step S452, the drive control unit 270 closes the valves V1, V2, V3, V5, and V6, and in step S453, the valves V3 and V5 are opened. Since steps S154 and S155 are the same as those in FIGS. 4 and 9, the description thereof will be omitted.

ステップS456で、駆動制御部270により、バルブV3に接続された吸引ポンプP5が駆動されて、液体定量部131内の空気153が外部に吸引され、吸引された空気153に引かれて、液体貯留部113に貯留された液体151が接続流路115を介して液体定量部131に流入する。ステップS157からステップS159は、図4と同じであるので、説明は省略する。   In step S456, the drive control unit 270 drives the suction pump P5 connected to the valve V3, so that the air 153 in the liquid metering unit 131 is sucked to the outside and is drawn by the sucked air 153 to store the liquid. The liquid 151 stored in the part 113 flows into the liquid fixed quantity part 131 through the connection channel 115. Steps S157 to S159 are the same as those in FIG.

ステップS460で、駆動制御部270により、吸引ポンプP5の駆動が停止され、ステップS461で、駆動制御部270により、開放されていたバルブV3およびV5が閉鎖され、メインルーチンに戻る。   In step S460, the drive controller 270 stops the driving of the suction pump P5. In step S461, the opened valves V3 and V5 are closed by the drive controller 270, and the process returns to the main routine.

図14は、第4の実施の形態でのステップS18「液体送液サブルーチン」のフローチャートである。   FIG. 14 is a flowchart of step S18 “liquid feeding subroutine” according to the fourth embodiment.

図14において、ステップS481で、駆動制御部270により、図3のバルブ選択のためのパラメータn(nは1または2)の値に従って、n=1の場合にはバルブV1とV6とが、n=2の場合にはバルブV2とV6とが開放される。ステップS482で、駆動制御部270により、吸引ポンプを選択するためのパラメータmに値(n+2)が設定される。nは1または2であるので、mは3または4である。   In FIG. 14, in step S <b> 481, according to the value of the parameter n (n is 1 or 2) for valve selection in FIG. In the case of = 2, the valves V2 and V6 are opened. In step S482, the drive control unit 270 sets a value (n + 2) to the parameter m for selecting the suction pump. Since n is 1 or 2, m is 3 or 4.

ステップS483で、パラメータn=1の場合、駆動制御部270により、バルブV1に接続された吸引ポンプP3が駆動されて、下流流路141a内の空気153が外部に吸引され、吸引された空気153に引かれて、液体定量部131内に保持された液体151と、第2の液体保持部161a内に保持された第2の液体155とが混合部163aに流入する。   In step S483, when the parameter n = 1, the drive control unit 270 drives the suction pump P3 connected to the valve V1, and the air 153 in the downstream flow path 141a is sucked to the outside and sucked air 153. As a result, the liquid 151 held in the liquid quantitative unit 131 and the second liquid 155 held in the second liquid holding unit 161a flow into the mixing unit 163a.

パラメータn=2の場合も同様に、駆動制御部270により、バルブV2に接続された吸引ポンプP4が駆動されて、下流流路141b内の空気153が外部に吸引され、吸引された空気153に引かれて、液体定量部131内に保持された液体151と、第2の液体保持部161b内に保持された第2の液体157とが混合部163bに流入する。   Similarly, in the case of parameter n = 2, the suction control unit 270 drives the suction pump P4 connected to the valve V2, and the air 153 in the downstream flow path 141b is sucked to the outside, and the sucked air 153 is converted into the sucked air 153. As a result, the liquid 151 held in the liquid quantitative unit 131 and the second liquid 157 held in the second liquid holding unit 161b flow into the mixing unit 163b.

ステップS185で、駆動制御部270により、吸引ポンプPm(mは3または4)がステップS483で最初に駆動開始されてから、送液終了時間である所定時間T2が経過したか否かが確認される。所定時間T2が経過していない場合(ステップS185;No)、ステップS483に戻って上述した動作が繰り返される。   In step S185, the drive control unit 270 confirms whether or not a predetermined time T2 that is a liquid feed end time has elapsed since the suction pump Pm (m is 3 or 4) was first driven in step S483. The When the predetermined time T2 has not elapsed (step S185; No), the process returns to step S483 and the above-described operation is repeated.

所定時間T2が経過した場合(ステップS185;Yes)、ステップS487で、駆動制御部270により、吸引ポンプPm(mは3または4)が停止され、ステップS489で、駆動制御部270により、ステップS481で開放されたバルブVn(nは1または2)およびV6が閉鎖され、メインルーチンに戻る。   When the predetermined time T2 has elapsed (step S185; Yes), the drive control unit 270 stops the suction pump Pm (m is 3 or 4) in step S487, and in step S489, the drive control unit 270 performs step S481. The valves Vn (n is 1 or 2) and V6 that were opened in (5) are closed, and the process returns to the main routine.

第4の実施の形態では、吸引ポンプP3、P4およびP5と各流路との間にバルブV1、V2およびV3を設けてあるが、これは必須ではなく、各吸引ポンプがある程度以上の自己保持力を有していれば、バルブV1、V2およびV3を省くことも可能である。   In the fourth embodiment, the valves V1, V2, and V3 are provided between the suction pumps P3, P4, and P5 and each flow path, but this is not essential, and each suction pump is self-maintaining to some extent or more. The valves V1, V2 and V3 can be omitted if they have power.

図15は、図12の第4の実施の形態の更なる改良案を示す模式図である。図12の例では、下流流路141aおよび141bと排気流路137のそれぞれに吸引ポンプを設けている。この場合、下流流路の数が増加すると、その分だけ吸引ポンプの数も増加し、検査装置1の大型化、高価格化、消費電力の増大等の課題が発生する。そこで、図15において、改良案は、吸引ポンプを1台に共通化し、バルブV1、V2およびV3の切替によって吸引する流路を切り替えるようにしている。これによって、下流流路の数に関わらず、吸引ポンプの数を削減できる。   FIG. 15 is a schematic diagram showing a further improvement plan of the fourth embodiment of FIG. In the example of FIG. 12, a suction pump is provided in each of the downstream flow paths 141a and 141b and the exhaust flow path 137. In this case, when the number of downstream flow paths increases, the number of suction pumps increases accordingly, and problems such as an increase in the size and cost of the inspection apparatus 1 and an increase in power consumption occur. Therefore, in FIG. 15, the improvement plan is to share the suction pump into one unit and switch the suction flow path by switching the valves V1, V2, and V3. Thereby, the number of suction pumps can be reduced regardless of the number of downstream flow paths.

上述したように、第4の実施の形態によれば、バルブV5を開放することで第1の流体導入路111を外部に開放した上で、液体定量部131内の空気153を、バルブV3を介して外部に吸引することで、液体貯留部113に貯留された液体151の一部を液体定量部131に送液する。その後に、バルブV6を開放することで第2の流体導入路121を外部に開放した上で、下流流路141aまたは141b内の空気153をバルブV1またはV2を介して外部に吸引することで、定量された液体151を下流流路141aまたは141bに送液する。   As described above, according to the fourth embodiment, the first fluid introduction path 111 is opened to the outside by opening the valve V5, and then the air 153 in the liquid metering unit 131 is changed to the valve V3. Then, a part of the liquid 151 stored in the liquid storage unit 113 is sent to the liquid metering unit 131 by suctioning to the outside. Thereafter, by opening the valve V6 to open the second fluid introduction path 121 to the outside, the air 153 in the downstream flow path 141a or 141b is sucked to the outside through the valve V1 or V2. The quantified liquid 151 is sent to the downstream flow path 141a or 141b.

これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

上述した各実施の形態においては、液体貯留部113および液体定量部131の上流側から空気153あるいは駆動液216を注入することで送液する方法(第1乃至第3の実施の形態)と、液体定量部131の下流側から吸引することで送液する方法(第4の実施の形態)とを例示したが、これらの方法を組み合わせてもよい。   In each of the above-described embodiments, a method of feeding liquid by injecting air 153 or driving liquid 216 from the upstream side of the liquid reservoir 113 and the liquid metering unit 131 (first to third embodiments), Although the method (fourth embodiment) in which liquid is fed by suction from the downstream side of the liquid quantifying unit 131 is illustrated, these methods may be combined.

例えば、液体定量部131の下流側から吸引することで液体貯留部113から液体定量部131に送液し、液体定量部131の上流側から空気153あるいは駆動液216を注入することで液体定量部131から下流流路141aあるいは141bに送液する等の方法である。   For example, the liquid quantification unit 131 is sucked from the downstream side of the liquid quantification unit 131 and sent from the liquid storage unit 113 to the liquid quantification unit 131, and the air 153 or the driving liquid 216 is injected from the upstream side of the liquid quantification unit 131. For example, the liquid is sent from 131 to the downstream flow path 141a or 141b.

また、下流流路への送液は、上述した各実施の形態のように、下流流路141a、下流流路141bと順次送液されるに限らず、ランダムな順序でもよいし、同一の下流流路に繰り返し送液してもよい。また、一旦別の下流流路に送液した後に、再び元の下流流路に送液してもよい。   Further, the liquid feeding to the downstream channel is not limited to the downstream channel 141a and the downstream channel 141b sequentially fed as in the above-described embodiments, but may be in a random order or the same downstream The liquid may be repeatedly sent to the flow path. Alternatively, the liquid may be once sent to another downstream flow path and then fed back to the original downstream flow path.

以上に述べたように、本発明によれば、液体貯留部に貯留された液体を液体定量部に送液して定量し保持し、送液先の下流流路を外部に開放した状態で、液体定量部に保持された液体を空気で分断して送液する。これによって、1箇所にまとまって存在する液体を、所定の流路に所定のタイミングで所定の速度で、所定の量だけ定量して配分して送液でき、流路の配置の自由度も高いマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, the liquid stored in the liquid storage unit is sent to the liquid quantification unit to be quantified and held, and the downstream flow path of the liquid supply destination is opened to the outside, The liquid held in the liquid quantification unit is divided by air and sent. As a result, the liquid present in one place can be quantified and distributed in a predetermined amount at a predetermined speed to a predetermined flow path at a predetermined speed, and the liquid can be distributed with a high degree of freedom. It is possible to provide a micro inspection chip, a method for quantitatively feeding a micro inspection chip, and an inspection apparatus.

なお、本発明に係るマイクロ検査チップ、マイクロ検査チップの定量送液方法および検査装置を構成する各構成の細部構成および細部動作に関しては、本発明の趣旨を逸脱することのない範囲で適宜変更可能である。   The detailed configuration and detailed operation of each component constituting the micro inspection chip, the micro liquid feeding method of the micro inspection chip, and the inspection apparatus according to the present invention can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. It is.

本発明における検査装置の1例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the test | inspection apparatus in this invention. マイクロ検査チップの第1の実施の形態の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of 1st Embodiment of a micro test | inspection chip. 第1の実施の形態における液体の分割定量送液方法を示すメインルーチンのフローチャートである。It is a flowchart of the main routine which shows the division | segmentation fixed amount liquid feeding method of the liquid in 1st Embodiment. 第1の実施の形態における液体の分割定量送液方法を示すサブルーチンのフローチャートである。It is a flowchart of the subroutine which shows the division | segmentation fixed amount liquid feeding method of the liquid in 1st Embodiment. 第1の実施の形態における液体の分割定量送液方法を示すサブルーチンのフローチャートである。It is a flowchart of the subroutine which shows the division | segmentation fixed amount liquid feeding method of the liquid in 1st Embodiment. 液体定量工程および液体送液工程での流路の状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state of the flow path in a liquid fixed_quantity | assay process and a liquid feeding process. 第1の実施の形態の他の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of 1st Embodiment. マイクロ検査チップの第2の実施の形態の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of 2nd Embodiment of a micro test | inspection chip. 第2の実施の形態での「液体定量サブルーチン」のフローチャートである。10 is a flowchart of a “liquid determination subroutine” in the second embodiment. マイクロ検査チップの第3の実施の形態の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of 3rd Embodiment of a micro test | inspection chip. 第3の実施の形態の更なる改良案を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the further improvement plan of 3rd Embodiment. マイクロ検査チップの第4の実施の形態の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of 4th Embodiment of a micro test | inspection chip. 第4の実施の形態での「液体定量サブルーチン」のフローチャートである。It is a flowchart of the "liquid fixed amount subroutine" in 4th Embodiment. 第4の実施の形態での「液体送液サブルーチン」のフローチャートである。14 is a flowchart of a “liquid feeding subroutine” in the fourth embodiment. 第4の実施の形態の更なる改良案を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the further improvement plan of 4th Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 検査装置
100 マイクロ検査チップ
101 流路基板
103 天板
111 第1の流体導入路
113 液体貯留部
113i 液体注入口
113s 封止部材
115 接続流路
117 合流点
121 第2の流体導入路
131 液体定量部
131a 撥水バルブ
133 分岐部
135a、135b 分岐流路
137 排気流路
141a、141b 下流流路
151 液体
151a 液体の先頭部、メニスカス
153 空気
155、157 第2の液体
156 (液体と第2の液体との)混合液
161a、161b 第2の液体保持部
163a、163b 混合流路
165a、165b 反応検出部
171、173 空気室
175 吸気流路
210 マイクロポンプユニット
211 マイクロポンプ
213 チップ接続部
215 駆動液タンク
216 駆動液
217 駆動液供給部
230 加熱冷却ユニット
231 冷却部
233 加熱部
250 検出部
251 光源
253 受光素子
255 検出領域
260 メニスカス検出部
260a (メニスカス検出部の)検出点
270 駆動制御部
280 バルブ
V1、V2、V3、V4、V5、V6 バルブ、またはバルブ連通口
P1、P2 ポンプ連通口
P3、P4、P5 吸引ポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 100 Micro test | inspection chip 101 Flow path board | substrate 103 Top plate 111 1st fluid introduction path 113 Liquid storage part 113i Liquid injection port 113s Sealing member 115 Connection flow path 117 Junction point 121 2nd fluid introduction path 131 Liquid fixed_quantity | quantitative_assay Portion 131a Water repellent valve 133 Branching portion 135a, 135b Branching channel 137 Exhaust channel 141a, 141b Downstream channel 151 Liquid 151a Liquid head, meniscus 153 Air 155, 157 Second liquid 156 (Liquid and second liquid Liquid mixture 161a, 161b Second liquid holding part 163a, 163b Mixing flow path 165a, 165b Reaction detection part 171, 173 Air chamber 175 Intake flow path 210 Micro pump unit 211 Micro pump 213 Chip connection part 215 Driving liquid tank 216 Driving fluid 21 7 Drive liquid supply unit 230 Heating / cooling unit 231 Cooling unit 233 Heating unit 250 Detection unit 251 Light source 253 Light receiving element 255 Detection region 260 Meniscus detection unit 260a (meniscus detection unit) Detection point 270 Drive control unit 280 Valves V1, V2, V3 , V4, V5, V6 Valve or valve communication port P1, P2 Pump communication port P3, P4, P5 Suction pump

Claims (14)

液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部に貯留された前記液体を定量して保持する液体定量部と、
前記液体貯留部と前記液体定量部とを連通させる接続流路と、
前記液体貯留部に外部から流体を導入する第1の流体導入路と、
前記接続流路に連通され、前記接続流路に流体を導入する第2の流体導入路と、
前記液体定量部に連通された分岐部と、
前記分岐部に連通された複数の分岐流路と、
複数の前記分岐流路に連通された複数の下流流路と、
複数の前記下流流路に連通され、複数の前記下流流路を外部に開放または閉鎖する複数の下流流路開閉手段とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップ。
A liquid reservoir for storing liquid;
A liquid quantification unit that quantifies and holds the liquid stored in the liquid storage unit;
A connection channel for communicating the liquid reservoir and the liquid metering unit;
A first fluid introduction path for introducing fluid from the outside into the liquid reservoir;
A second fluid introduction path communicating with the connection flow path and introducing a fluid into the connection flow path;
A branching portion communicating with the liquid quantification unit;
A plurality of branch passages communicated with the branch portion;
A plurality of downstream channels communicated with the plurality of branch channels;
A micro test chip comprising a plurality of downstream channel opening / closing means communicating with the plurality of downstream channels and opening or closing the plurality of downstream channels to the outside.
前記分岐部に連通された排気流路と、
前記排気流路に連通された排気流路開閉手段とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ検査チップ。
An exhaust passage communicated with the branch portion;
The micro inspection chip according to claim 1, further comprising an exhaust passage opening / closing means communicated with the exhaust passage.
前記第1の流体導入路および前記第2の流体導入路の少なくとも一方は、空気貯留部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ検査チップ。 3. The micro test chip according to claim 1, wherein at least one of the first fluid introduction path and the second fluid introduction path has an air reservoir. 前記第2の流体導入路に連通された吸気流路と、
前記吸気流路に連通された吸気流路開閉手段とを備えたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。
An intake flow path communicating with the second fluid introduction path;
The micro test chip according to any one of claims 1 to 3, further comprising an intake channel opening / closing means communicating with the intake channel.
前記第1の流体導入路に連通された第1の流体導入路開閉手段と、
前記第2の流体導入路に連通された第2の流体導入路開閉手段とを備えたことを特徴とする請求項2乃至4の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。
First fluid introduction path opening / closing means communicated with the first fluid introduction path;
5. The micro test chip according to claim 2, further comprising second fluid introduction path opening / closing means communicating with the second fluid introduction path.
複数の前記下流流路の少なくとも1つには、予め第2の液体が収容されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。 6. The micro test chip according to claim 1, wherein a second liquid is stored in advance in at least one of the plurality of downstream flow paths. 前記液体定量部は、撥水バルブを有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップ。 The micro test chip according to claim 1, wherein the liquid determination unit has a water repellent valve. 請求項1乃至4または6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法であって、
前記液体貯留部に前記液体を貯留する液体貯留工程と、
前記第1の流体導入路に前記流体を導入することで、前記液体貯留部に貯留された前記液体を前記液体定量部に送液して定量し保持する液体定量工程と、
複数の前記下流流路開閉手段の何れか1つを選択して開放し、前記第2の流体導入路から前記接続流路に空気を導入することで、前記液体定量部に保持された前記液体を、選択された前記下流流路開閉手段に連通した前記下流流路に送液する液体送液工程とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップの定量送液方法。
A method for quantitatively feeding a micro test chip according to any one of claims 1 to 4 or 6,
A liquid storage step of storing the liquid in the liquid storage section;
A liquid quantification step of introducing the fluid into the first fluid introduction path to send the liquid stored in the liquid reservoir to the liquid quantifier and determine and hold it;
The liquid held in the liquid metering unit by selecting and opening any one of the plurality of downstream flow path opening / closing means and introducing air from the second fluid introduction path to the connection flow path. And a liquid feeding step for feeding the selected liquid to the downstream flow path communicating with the selected downstream flow path opening / closing means.
前記液体定量工程は、前記排気流路開閉手段を開放することにより、前記分岐部の空気を外部に放出することを特徴とする請求項8に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。 9. The method for quantitatively feeding a micro test chip according to claim 8, wherein, in the liquid quantification step, the air in the branch portion is released to the outside by opening the exhaust passage opening / closing means. 請求項5および6に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法であって、
前記液体貯留部に前記液体を貯留する液体貯留工程と、
前記第1の流体導入路開閉手段と前記排気流路開閉手段とを開放し、前記排気流路の内部の空気を外部に排気することにより、前記液体貯留部に貯留された前記液体を前記液体定量部に送液して定量し保持する液体定量工程と、
前記第2の流体導入路開閉手段と複数の前記下流流路開閉手段の何れか1つとを開放し、開放された前記下流流路開閉手段が連通する前記下流流路の内部の空気を外部に排気することにより、前記液体定量部に保持された前記液体を前記下流流路に送液する液体送液工程とを備えたことを特徴とするマイクロ検査チップの定量送液方法。
A method for quantitatively feeding a micro test chip according to claim 5 and 6,
A liquid storage step of storing the liquid in the liquid storage section;
Opening the first fluid introduction path opening / closing means and the exhaust flow path opening / closing means, and exhausting the air inside the exhaust flow path to the outside, thereby allowing the liquid stored in the liquid storage portion to flow into the liquid A liquid quantification process for feeding and quantifying and holding the liquid in the quantification section;
Open the second fluid introduction path opening / closing means and any one of the plurality of downstream flow path opening / closing means, and let the air inside the downstream flow path communicated with the opened downstream flow path opening / closing means to the outside A method for quantitatively feeding a micro test chip, comprising: a liquid feeding step for feeding the liquid held in the liquid quantitative unit to the downstream flow path by exhausting.
前記液体定量工程および前記液体送液工程を複数回繰り返すことを特徴とする請求項8乃至10の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。 The method for quantitatively feeding a micro test chip according to any one of claims 8 to 10, wherein the liquid quantifying step and the liquid feeding step are repeated a plurality of times. 前記吸気流路開閉手段を開放することにより、前記吸気流路を介して前記第2の流体導入路に空気を吸気する吸気行程を備えたことを特徴とする請求項11に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法。 12. The micro test chip according to claim 11, further comprising: an intake stroke for sucking air into the second fluid introduction path through the intake flow path by opening the intake flow path opening / closing means. Quantitative liquid feeding method. 請求項1乃至6の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの前記液体定量部の近傍に、前記液体定量部に送液された前記液体の先頭部を検出するメニスカス検出部を備えたことを特徴とする検査装置。 A meniscus detection unit for detecting a leading portion of the liquid fed to the liquid quantification unit is provided in the vicinity of the liquid quantification unit of the micro inspection chip according to any one of claims 1 to 6. Characteristic inspection device. 請求項9乃至13の何れか1項に記載のマイクロ検査チップの定量送液方法を用いて、前記液体の送液を制御する駆動制御部を備えたことを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus comprising: a drive control unit that controls the liquid supply using the method for quantitatively supplying a micro inspection chip according to any one of claims 9 to 13.
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