JP2009541780A - 流体の流れの監視 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図4
Description
好ましい実施形態は、最大で20kHzの周波数応答で一定温度流速計(CTA)を駆動するMEMS熱膜センサ4を用いている。流速計の出力は、流れの境界層における小規模な流れの変動によって引き起こされる熱対流内の変化と関連を有しているアナログ電圧信号である。この電圧には、流れの自由な流速の表示を提供するように目盛りを付することができる。
好ましい実施形態は、センサ/流速計の組合せの最大の応答速度を超えるものを全て減衰させて流速計回路のあらゆる高周波振動による雑音および外乱を除去する低域フィルタを含んでいる。入力信号の周波数範囲を制限するために、適用形態に応じて別のフィルタが必要な場合がある。フィルタは、能動型でも受動型でもよく、多くの一般的な回路がこの目的のために存在する。好ましい実施形態は、可能な場合には、簡略化のために簡単な抵抗/キャパシタ・ネットワークを用いる。このフィルタの出力は、キャパシタを介して供給されて、AC結合された出力が提供される。すなわち、キャパシタの出力は、安定状態の下では名目上、ゼロボルトであって、変動する状態の下では入力信号の変化率に比例する電圧がキャパシタの両端に現われる。また、信号に半波整流を施して信号極性が反転する間に積分器の充電および放電が交互に生じることを防ぐ必要があるかもしれない。整流は、流速計回路内で適用されてもよいし、信号調整回路内で適用されてもよい。図9の検出回路の素子26、28はこの目的で用いられている。
積分器44は、単純な演算増幅器または同様の機能のユニットから構成されている。サンプル期間は、適用形態、センサの周波数応答、所望の更新間隔に合わせて選択される。好ましい実施形態では、10乃至1000ミリ秒が用いられる。
外部クロックが、積分器およびS&Hステージを同期させるために必要かもしれない。しかしながら、好ましい実施形態では、この2つのステージは、このような制御ができるように接続されている。
積分器出力は、期間の終了時に取り込まれ、次の期間の終了時点まで保持される。閾値検出ステージをラッチすることによっても同様の結果を達成できる。
S&Hの出力電圧は、閾値検出ステージに供給される。このステージでは、S&Hの出力電圧がシステムの要求に応じて予め設定された電圧レベルと比較される。この参照電圧は、積分器の電圧がこれらの点を越えた際に閾値ステージの出力が状態を変化させるとともに流状態の簡単な(1ビットの)表示からなる出力信号を提供するように設定される。必要に応じて、複数のステップを用いることによって、状態の表示に「確度」を割り当てることができる。閾値検出回路は、閾値回路の状態を閾値回路が現在保持している範囲外の電圧を受け取るまで「ラッチする」、すなわち維持するように構成することができる。こうすることによって、積分/S&Hステージが簡単になり、可能であればS&Hステージの必要性を完全に除去することができる。この目的のために多くの一般的な回路素子を用いることができるが、これには、抵抗ブリッジ、ツェナー・ダイオード、トランジスタ/ダイオード接合電圧降下、シュミット・トリガ等が含まれる。
出力ステージは、本装置より下流のシステムに対する適切な形態で、流状態の信号または表示を提供する。出力には、固定値の電圧/電流、特定周波数等が含まれ得る。
図10の装置の場合について説明したものと同じである。
単純な実施形態のために、半波整流され、AC結合された、信号調整ステージの出力が単純な直列/並列抵抗キャパシタ・ネットワーク64に供給される。このネットワーク64によって、連続して積分された出力が提供される。積分期間は、所望の時定数(充電および放電速度)を与える適切な値を抵抗およびキャパシタについて選択することによって設定される。この回路は、付加的な外部クロックもS&Hステージも必要としない。
この簡略化された形態の装置では、図10を参照して既に説明したのと同様の技術が用いられる。
Claims (15)
- 所定の位置で流体の層流と他の流状態とを識別する方法であって、
前記位置における流量を表す電気的アナログ信号を生成し、
前記アナログ信号の指定のパラメータを検出して前記アナログ信号の検出された形態を提供すること、および前記検出された形態を期間に亘って加算して加算された形態を提供することを含んだ、前記アナログ信号の変化度(variability)の評価を行ない、
前記加算された形態の値に応じて前記流れが層流であるかを示す流れ信号を提供する、
ことを具備する方法。 - 前記評価を行なうことが、前記アナログ信号の断続度(intermittency)を評価することを具備する、請求項1の方法。
- 前記検出することが、前記アナログ信号の変化率を検出することを具備し、
前記加算することが、前記検出された形態を積分することを具備する、
請求項1または2の方法。 - 所定の位置で流体の層流と他の流状態とを識別するための装置であって、
前記位置での流量に応答して前記流速を表す電気的アナログ信号を生成するための検知手段と、
変化度(variability)の指定のパラメータを検出して前記アナログ信号の検出された形態を提供するための検出手段と、前記アナログ信号の検出された形態を期間に亘って加算して変化度を表わす出力値を提供するための加算手段と、を含む、前記アナログの変化度を評価するための評価手段と、
前記出力値に応じて前記流れが層流であるかを示す流れ信号を提供するための手段と、
を具備する装置。 - 前記評価手段が、前記アナログ信号の断続度(intermittency)を評価するための手段を具備し、
前記加算手段が、断続度を表す出力信号を提供する、
請求項4の装置。 - 前記検知手段が、
流体の流れに晒される、加熱される抵抗素子と、
前記抵抗素子を一定の温度に保つための回路手段と、
を具備する、請求項4または5の装置。 - 前記検知手段が、前記アナログ信号の変化率を検出するための高域フィルタと容量性AC結合との一方または両方を含む、請求項4乃至6のいずれか1項の装置。
- 前記検出手段が、整流手段、好ましくは半波整流を行なうための整流手段を含む、請求項4乃至7のいずれか1項の装置。
- 前記加算手段が、所定の時定数で積分機能を提供する受動型RC回路を具備する、請求項4乃至8のいずれか1項の装置。
- 前記加算手段が、演算増幅器を含んだ積分回路を具備し、
前記積分回路の出力を取り込むためのサンプルアンドホールド手段をさらに具備する、
請求項4乃至8のいずれか1項の装置。 - 前記積分回路と前記サンプルアンドホールド手段の動作を同期させるためのクロック手段を含む、請求項10の装置。
- 前記出力値が1つまたは複数の閾値を上回っているか下回っているかを判断するための閾値手段を含む、請求項4乃至10のいずれか1項の装置。
- 前記検知手段および前記評価手段が1つのチップに集積されている、請求項4乃至12のいずれか1項の装置。
- 並んで配置された複数の変換器を具備し、
前記変換器の各々が変化度を表すそれぞれの前記出力値を提供するように構成されている、
請求項4乃至13のいずれか1項の装置。 - 前記変換器から離れて設けられ、前記流れ信号に応答する表示手段を含む、請求項3乃至14のいずれか1項の装置。
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