JP2009532578A - 閉じ込め区域の平坦化のための装置および方法 - Google Patents
閉じ込め区域の平坦化のための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009532578A JP2009532578A JP2009503028A JP2009503028A JP2009532578A JP 2009532578 A JP2009532578 A JP 2009532578A JP 2009503028 A JP2009503028 A JP 2009503028A JP 2009503028 A JP2009503028 A JP 2009503028A JP 2009532578 A JP2009532578 A JP 2009532578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cation exchange
- exchange membrane
- proximity head
- semiconductor wafer
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 80
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 133
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 claims abstract description 80
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 59
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 35
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 59
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 51
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 44
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 38
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 30
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 21
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000010405 anode material Substances 0.000 claims 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 191
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 16
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 3
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- -1 Cu ++ cations Chemical class 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 239000002910 solid waste Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/32115—Planarisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F7/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic removal of material from objects; Servicing or operating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Weting (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウエハの閉じ込め区域平坦化を実施するための近接ヘッド、およびその関連の使用方法が提供される。近接ヘッドは、電解質溶液を維持するように画定されたチャンバを含む。カソードが、電解質溶液に曝されるようにチャンバ内に配置される。陽イオン交換膜が、チャンバの下部開口部の上に配置される。陽イオン交換膜の上面は、チャンバ内に維持される電解質溶液に直接曝される。陽イオン交換膜の下面に接近した位置で流体を吐出するために、流体供給路が画定される。陽イオン交換膜の下面に接近した位置で吸引力を提供することによって、流体供給路から吐出される流体を陽イオン交換膜の下面沿いに流れさせるように、真空路が画定される。
【選択図】図2A
Description
Claims (21)
- 閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
電解質溶液を維持するように画定されたチャンバと、
前記電解質溶液に曝されるように前記チャンバ内に配置されたカソードと、
前記チャンバ内に維持される前記電解質溶液に上面を直接曝されるように前記チャンバの下部開口部の上に配置された陽イオン交換膜と、
前記陽イオン交換膜の下面に接近した位置で流体を吐出するように画定された流体供給路と、
前記陽イオン交換膜の下面に接近した位置で吸引力を提供することによって、前記流体供給路から吐出される流体を前記陽イオン交換膜の下面沿いに流れさせるように画定された真空路と
を備える近接ヘッド。 - 請求項1に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記チャンバは、環状であり、前記流体路は、前記チャンバの中心内に画定され、
前記真空路は、環状であり、前記チャンバを取り囲むように画定された近接ヘッド。 - 請求項1に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、バルク流体の閉じ込めを提供しつつ、陽イオンを前記膜を通って流れさせ、陰イオンを前記膜を通って流れないように阻むように画定された近接ヘッド。 - 請求項1に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、陽イオンが通り抜けさせることができる網目を形成する、官能基を含むポリマーマトリックスとして画定された近接ヘッド。 - 請求項1に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、前記陽イオン交換膜の下面の下に臨界境界層が形成されるように、前記陽イオン交換膜の下面沿いに流される流体のpHに局所的に影響を及ぼすことができ、前記臨界境界層は、前記臨界境界層に曝されるように配置されたときに陽イオンをアノード材料から遊離させることができる、近接ヘッド。 - 請求項1に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、前記陽イオン交換膜の下面沿いの前記流体の流量に応答して、そして前記電解質溶液によって前記陽イオン交換膜の上面に印加される圧力に応答して、可制御式にたわむことができるように画定された近接ヘッド。 - 半導体ウエハの閉じ込め区域平坦化のための方法であって、
近接ヘッドを、その陽イオン交換膜が前記半導体ウエハの上面と向き合うように前記半導体ウエハの上面の上に近接して配置し、
前記陽イオン交換膜の上面とカソードとの間に電解質溶液を配置し、
前記陽イオン交換膜の底面と前記半導体ウエハの上面との間に脱イオン水を流し、
前記半導体ウエハの上面から遊離される陽イオンが影響されて、前記脱イオン水、前記陽イオン交換膜、そして前記電解質溶液を通って前記カソードへと移動するように、前記半導体ウエハの上面と前記カソードとの間にバイアス電圧を印加する
方法。 - 請求項7に記載の半導体ウエハの閉じ込め区域平坦化のための方法であって、さらに、
前記脱イオン水の流量を、前記陽イオン交換膜が前記半導体ウエハの上面に接触することなくベルヌーイ効果の影響下において前記半導体ウエハの上面に向けてたわむように制御する
方法。 - 請求項8に記載の半導体ウエハの閉じ込め区域平坦化のための方法であって、
前記陽イオン交換膜のたわみは、前記陽イオン交換膜の底面に近接している前記脱イオン水のpH変更領域を、前記ウエハの上面に接触させ、前記脱イオン水の前記pH変更領域は、前記半導体ウエハの上面から陽イオンを遊離させる
方法。 - 請求項7に記載の半導体ウエハの閉じ込め区域平坦化のための方法であって、さらに、
前記半導体ウエハの上面上に存在する金属化トポグラフィが実質的に均一なトップダウン方式で除去されるように、前記近接ヘッドの下において前記半導体ウエハをスキャンする
方法。 - 閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって
電解質溶液を維持するように画定されたチャンバと、
前記電解質溶液に曝されるように前記チャンバ内に配置されたカソードと、
前記チャンバの下部開口部の上に、前記チャンバ内に維持される前記電解質溶液に直接曝されるように配置された陽イオン交換膜と、
前記陽イオン交換膜の下面に接近した位置で流体を吐出するように画定された流体供給路と、
前記陽イオン交換膜の下面に接近した位置で吸引力を提供することによって、前記流体供給路から吐出される流体を前記陽イオン交換膜の下面沿いに流れさせるように画定された真空路と、
前記陽イオン交換膜を通る電流の流れを測定するために接続された電流測定機器と
を備える近接ヘッド。 - 請求項11に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、前記陽イオン交換膜の下面の下に臨界境界層が形成されるように、前記陽イオン交換膜の下面沿いに流される流体のpHに影響を及ぼすことができ、前記臨界境界層は、前記臨界境界層に曝されるように配置されたときに陽イオンをアノード材料から遊離させる
近接ヘッド。 - 請求項12に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、さらに、
前記カソードと前記アノード材料との間に接続されたバイアス電圧源であって、前記バイアス電圧源は、前記アノード材料から遊離される陽イオンが影響されて、前記陽イオン交換膜、そして前記電解質溶液を通って前記カソードへと横断するように制御されるように画定されたバイアス電圧源を備える近接ヘッド。 - 請求項13に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜を通る前記陽イオンの横断は、前記電流測定機器によって測定される電流として表わされる近接ヘッド。 - 請求項11に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記流体供給路から吐出される流体が半導体ウエハの上面と前記陽イオン交換膜の下面との間を流されるように、前記半導体ウエハの上面の上に近接して配置されるように画定された近接ヘッド。 - 請求項15に記載の閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
前記陽イオン交換膜は、前記半導体ウエハの上面に向かう方向に可制御式にたわむことができるように画定された近接ヘッド。 - 閉じ込め区域平坦化プロセスにおいて平坦化の終点を検出するための方法であって、
近接ヘッドを、その陽イオン交換膜が半導体ウエハの上面と向き合うように前記半導体ウエハの上面の上に近接して配置し、
前記陽イオン交換膜の上面とカソードとの間に電解質溶液を配設し、
前記陽イオン交換膜の下面と前記半導体ウエハの上面との間に脱イオン水を流し、
前記半導体ウエハの上面から遊離される陽イオンが影響されて、前記脱イオン水、前記陽イオン交換膜、そして前記電解質溶液を通って前記カソードへと移動するように、前記半導体ウエハの上面と前記カソードとの間にバイアス電圧を印加し、
平坦化プロセスの終点を検出するために、前記陽イオン交換膜を通る電流の流れを監視する
方法。 - 請求項17に記載の閉じ込め区域平坦化プロセスにおいて平坦化の終点を検出するための方法であって、
前記平坦化プロセスの終点は、監視されている前記陽イオン交換膜を通る電流の流れの横ばい状態に対応づけられた
方法。 - 請求項17に記載の閉じ込め区域平坦化プロセスにおいて平坦化の終点を検出するための方法であって、
前記陽イオン交換膜を通る電流の流れは、前記半導体ウエハの上面と前記カソードとの間の電流を測定することによって監視される
方法。 - 請求項17に記載の閉じ込め区域平坦化プロセスにおいて平坦化の終点を検出するための方法であって、さらに、
前記半導体ウエハの上面上に存在する金属化トポグラフィが実質的に均一なトップダウン方式で除去されるように、前記近接ヘッドの下において前記半導体ウエハをスキャンする
方法。 - 閉じ込め区域平坦化のための近接ヘッドであって、
電解質溶液を維持するように画定されたチャンバと、
前記電解質溶液に曝されるように前記チャンバ内に配置されたカソードと、
前記チャンバ内に維持される前記電解質溶液に上面を直接曝されるように前記チャンバの下部開口部の上に配置された陽イオン交換膜と、
そこから吐出される流体が前記陽イオン交換膜の下面沿いに流されるように、陽イオン交換膜の下面に接近した位置で流体を吐出するように画定された流体供給路と
を備える近接ヘッド。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/395,881 | 2006-03-31 | ||
US11/395,881 US7396430B2 (en) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | Apparatus and method for confined area planarization |
PCT/US2007/007903 WO2007123677A2 (en) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | Apparatus and method for confined area planarization |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009532578A true JP2009532578A (ja) | 2009-09-10 |
JP2009532578A5 JP2009532578A5 (ja) | 2010-06-03 |
JP5020313B2 JP5020313B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=38557102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009503028A Expired - Fee Related JP5020313B2 (ja) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | 平坦化のための近接ヘッドおよび方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7396430B2 (ja) |
JP (1) | JP5020313B2 (ja) |
KR (1) | KR101358627B1 (ja) |
CN (2) | CN101872721B (ja) |
MY (2) | MY144403A (ja) |
TW (1) | TWI356450B (ja) |
WO (1) | WO2007123677A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013522895A (ja) * | 2010-03-12 | 2013-06-13 | ライズ・テクノロジー・エッセ・アール・エル | 接触端末、電解モジュール及びエッチングモジュールを固定するための多孔質半導体領域を有する光起電力電池、及び関連製造ライン |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1311147B1 (it) * | 1999-11-04 | 2002-03-04 | Edk Res Ag | Macchina per pulizia localizzata con cella, elettrolitica e/o adultrasuoni, di decapaggio e/o lucidatura |
US8323460B2 (en) * | 2007-06-20 | 2012-12-04 | Lam Research Corporation | Methods and systems for three-dimensional integrated circuit through hole via gapfill and overburden removal |
US9044774B2 (en) * | 2007-12-18 | 2015-06-02 | Intermolecular, Inc. | Vented combinatorial processing cell |
US10692735B2 (en) * | 2017-07-28 | 2020-06-23 | Lam Research Corporation | Electro-oxidative metal removal in through mask interconnect fabrication |
CN108115234A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-05 | 青岛理工大学 | 一种具有双流道的激光电化学复合加工装置 |
CN108161216A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-15 | 青岛理工大学 | 一种具有双流道的激光化学复合加工装置 |
WO2021003066A1 (en) * | 2019-07-01 | 2021-01-07 | Axus Technology, Llc | Temperature controlled substrate carrier and polishing components |
CN111975145B (zh) * | 2020-08-18 | 2022-09-02 | 大连理工大学 | 一种抽吸式管电极微细深孔电解加工装置及其方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003080898A1 (en) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Ebara Corporation | Electrochemical machine and electrochemical machining method |
JP2004002910A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
JP2004335783A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Sharp Corp | ウェット洗浄処理装置およびウェット洗浄処理方法 |
JP2005206916A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Alps Electric Co Ltd | めっき用ノズルおよびめっき装置ならびにめっき方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6103636A (en) * | 1997-08-20 | 2000-08-15 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for selective removal of material from wafer alignment marks |
JP2000232078A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Toshiba Corp | メッキ方法及びメッキ装置 |
JP2001064799A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-13 | Yuzo Mori | 電解加工方法及び装置 |
US6811680B2 (en) * | 2001-03-14 | 2004-11-02 | Applied Materials Inc. | Planarization of substrates using electrochemical mechanical polishing |
CN1463647A (zh) * | 2002-06-17 | 2003-12-31 | 朱志明 | 一种牙刷 |
US7422677B2 (en) * | 2003-10-31 | 2008-09-09 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Membrane-mediated electropolishing |
EP1718787A2 (en) * | 2004-02-23 | 2006-11-08 | E.I. Du Pont De Nemours And Co. | Apparatus adapted for membrane mediated electropolishing |
-
2006
- 2006-03-31 US US11/395,881 patent/US7396430B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-27 MY MYPI20083826A patent/MY144403A/en unknown
- 2007-03-27 KR KR1020087026846A patent/KR101358627B1/ko active IP Right Grant
- 2007-03-27 MY MYPI2011001318A patent/MY147290A/en unknown
- 2007-03-27 CN CN2010101900184A patent/CN101872721B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-27 CN CN2007800199136A patent/CN101454105B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-27 WO PCT/US2007/007903 patent/WO2007123677A2/en active Application Filing
- 2007-03-27 JP JP2009503028A patent/JP5020313B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-29 TW TW096110966A patent/TWI356450B/zh not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-05-29 US US12/129,612 patent/US7598175B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003080898A1 (en) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Ebara Corporation | Electrochemical machine and electrochemical machining method |
JP2004002910A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
JP2004335783A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Sharp Corp | ウェット洗浄処理装置およびウェット洗浄処理方法 |
JP2005206916A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Alps Electric Co Ltd | めっき用ノズルおよびめっき装置ならびにめっき方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013522895A (ja) * | 2010-03-12 | 2013-06-13 | ライズ・テクノロジー・エッセ・アール・エル | 接触端末、電解モジュール及びエッチングモジュールを固定するための多孔質半導体領域を有する光起電力電池、及び関連製造ライン |
US10109512B2 (en) | 2010-03-12 | 2018-10-23 | Rise Technology S.R.L. | Photovoltaic cell with porous semiconductor regions for anchoring contact terminals, electrolitic and etching modules, and related production line |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7598175B2 (en) | 2009-10-06 |
MY147290A (en) | 2012-11-30 |
JP5020313B2 (ja) | 2012-09-05 |
US20070227656A1 (en) | 2007-10-04 |
MY144403A (en) | 2011-09-15 |
WO2007123677A2 (en) | 2007-11-01 |
KR20080108335A (ko) | 2008-12-12 |
US7396430B2 (en) | 2008-07-08 |
TWI356450B (en) | 2012-01-11 |
TW200807546A (en) | 2008-02-01 |
US20080227369A1 (en) | 2008-09-18 |
KR101358627B1 (ko) | 2014-02-04 |
CN101454105A (zh) | 2009-06-10 |
WO2007123677A3 (en) | 2008-11-20 |
CN101872721A (zh) | 2010-10-27 |
CN101872721B (zh) | 2012-07-18 |
CN101454105B (zh) | 2013-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5020313B2 (ja) | 平坦化のための近接ヘッドおよび方法 | |
US6447668B1 (en) | Methods and apparatus for end-point detection | |
US6395152B1 (en) | Methods and apparatus for electropolishing metal interconnections on semiconductor devices | |
US20070052977A1 (en) | Method and apparatus for end-point detection | |
KR100780257B1 (ko) | 연마 방법, 연마 장치, 도금 방법 및 도금 장치 | |
US6709565B2 (en) | Method and apparatus for uniform electropolishing of damascene ic structures by selective agitation | |
US6720263B2 (en) | Planarization of metal layers on a semiconductor wafer through non-contact de-plating and control with endpoint detection | |
US7029567B2 (en) | Electrochemical edge and bevel cleaning process and system | |
KR100845566B1 (ko) | 도금장치 및 도금액 조성의 관리방법 | |
KR100755661B1 (ko) | 도금 처리 장치 및 이를 이용한 도금 처리 방법 | |
US20130171820A1 (en) | Methods for three-dimensional integrated circuit through hole via gapfill and overburden removal | |
EP1231300B1 (en) | Plating method and device, and plating system | |
US7648616B1 (en) | Apparatus and method for semiconductor wafer electroplanarization | |
US20050029106A1 (en) | Reduction of defects in conductive layers during electroplating | |
US20050121335A1 (en) | Electropolishing apparatus, electropolishing method, and method of manufacturing semiconductor device | |
US20050150777A1 (en) | Method and system for material removal and planarization | |
US20090020437A1 (en) | Method and system for controlled material removal by electrochemical polishing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100315 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100419 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5020313 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |