JP2009527100A - アクティブフィールド閉じ込めを有する電磁石 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図4
Description
I.序論
II.例示的なイオン注入システム
III.アクティブフィールド閉じ込めを有する電磁石
IV.応用
V.結論
Claims (30)
- イオンビームを変更する電磁石であって、
6つの側面を含む強磁性ボックス構造と、
前記イオンビームを通過させるべく前記強磁性ボックス構造の第1の側面及び第2の対向側面のそれぞれにある開口と、
前記強磁性ボックス構造の内面に沿った経路を有する複数の通電ワイヤと、
を含み、
前記内面は、前記第1の側面、前記第2の対向側面、第3の側面、及び第4の対向側面を含み、
前記複数の通電ワイヤは、前記第1の側面及び前記第2の対向側面の前記開口のそれぞれの周りを通過するよう位置付けられる、電磁石。 - 前記強磁性ボックス構造は、スチールを含む材料から形成される、請求項1に記載の電磁石。
- 前記複数のワイヤは、前記内面に沿って実質的に均一に分布される、請求項1に記載の電磁石。
- 前記内面は、電流ループを形成し、
第5の側面及び第6の対向側面は、前記電磁石の磁極を形成する、請求項1に記載の電磁石。 - 前記第5の側面及び前記第6の対向側面は、互いに対し非平行に角度付けられる、請求項4に記載の電磁石。
- 前記第5の側面及び前記第6の対向側面のうちの少なくとも一方は、少なくとも湾曲部分を含む、請求項4に記載の電磁石。
- 前記強磁性ボックス構造内に位置付けられるビームガイドボックスを更に含み、
前記ビームガイドボックスの各側面は、マルチプルカスプ磁石を含む、請求項1に記載の電磁石。 - 前記複数のワイヤは、高温超電導(HTS)材料を含み、
前記複数のワイヤに結合されるクリオスタットを更に含む、請求項1に記載の電磁石。 - 前記第1の側面及び前記第2の対向側面はそれぞれ、それぞれの開口に隣接する実質的に凸状の外面を有する、請求項1に記載の電磁石。
- 前記第1の側面及び前記第2の対向側面は、互いに対し非平行に角度付けられる、請求項1に記載の電磁石。
- 第5の側面及び第6の対向側面は、前記電磁石を通る前記イオンビームの経路に実質的に対応する形状を有する、請求項1に記載の電磁石。
- 前記強磁性ボックス構造内に少なくとも1つのプラズマ源を更に含む、請求項1に記載の電磁石。
- 前記複数のワイヤは、層状にされる、請求項1に記載の電磁石。
- イオンビーム発生器と、
電磁石と、
を含み、
前記電磁石は、
6つの側面を含む強磁性ボックス構造と、
イオンビームを通過させるべく前記強磁性ボックス構造の第1の側面及び第2の対向側面のそれぞれにある開口と、
前記強磁性ボックス構造の内面に沿った経路を有する複数の通電ワイヤと、
を含み、
前記内面は、前記第1の側面、前記第2の対向側面、第3の側面、及び第4の対向側面を含み、
前記複数の通電ワイヤは、前記第1の側面及び前記第2の対向側面の前記開口のそれぞれの周りを通過するよう位置付けられる、イオン注入システム。 - 前記強磁性ボックス構造は、スチールを含む材料から形成される、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記複数のワイヤは、前記内面に沿って実質的に均一に分布される、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記内面は、電流ループを形成し、
第5の側面及び第6の対向側面は、前記電磁石の磁極を形成する、請求項14に記載のイオン注入システム。 - 前記第5の側面及び前記第6の対向側面は、互いに対し非平行に角度付けられる、請求項17に記載のイオン注入システム。
- 前記第5の側面及び前記第6の対向側面のうちの少なくとも一方は、少なくとも湾曲部分を含む、請求項17に記載のイオン注入システム。
- 前記強磁性ボックス構造内に位置付けられるビームガイドボックスを更に含み、
前記ビームガイドボックスの各側面は、マルチプルカスプ磁石を含む、請求項14に記載のイオン注入システム。 - 前記複数のワイヤは、高温超電導(HTS)材料を含み、
前記複数のワイヤに結合されるクリオスタットを更に含む、請求項14に記載のイオン注入システム。 - 前記第1の側面及び前記第2の対向側面はそれぞれ、それぞれの開口に隣接する実質的に凸状の外面を有する、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記第1の側面及び前記第2の対向側面は、互いに対し非平行に角度付けられる、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記第1の側面及び前記第2の対向側面は、前記電磁石を通る前記イオンビームの経路に実質的に対応する形状を有する、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記強磁性ボックス構造内に少なくとも1つのプラズマ源を更に含む、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 前記複数のワイヤは、層状にされる、請求項14に記載のイオン注入システム。
- 6つの側面を含む強磁性ボックス構造と、
イオンビームを通過させるべく前記強磁性ボックス構造の第1の側面及び第2の対向側面のそれぞれにある開口と、
前記強磁性ボックス構造の内面に沿った経路を有する複数の通電ワイヤと、
を含み、
前記内面は、前記第1の側面、前記第2の対向側面、第3の側面、及び第4の対向側面を含み、
前記複数の通電ワイヤは、前記第1の側面及び前記第2の対向側面の前記開口のそれぞれの周りを通過するよう位置付けられる、イオン注入システム用のエネルギー汚染物質フィルタリングシステム。 - 6つの側面を含む強磁性ボックス構造と、
イオンビームを通過させるべく前記強磁性ボックス構造の第1の側面及び第2の対向側面のそれぞれにある開口と、
前記強磁性ボックス構造の内面に沿った経路を有する複数の通電ワイヤと、
を含み、
前記内面は、前記第1の側面、前記第2の対向側面、第3の側面、及び第4の対向側面を含み、
前記複数の通電ワイヤは、前記第1の側面及び前記第2の対向側面の前記開口のそれぞれの周りを通過するよう位置付けられる、質量分析磁石。 - ウィンドウフレーム型電磁石の磁場を閉じ込める方法であって、
前記ウィンドウフレーム型電磁石の内面に沿い、且つ、各ウィンドウの面における各ウィンドウの周りの経路を有する複数の通電ワイヤを供給する段階と、
前記複数の通電ワイヤに沿って電流を流す段階と、
を含む方法。 - 前記供給する段階は、前記ウィンドウフレーム型電磁石の各ウィンドウに隣接する外面を、実質的に凸状の面として供給する段階を含む、請求項29に記載の方法。
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