JP2009301965A - Organic light-emitting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic light-emitting device capable of reducing consumption power due to wiring resistance by reducing the wiring resistance of an upper transparent electrode. <P>SOLUTION: The organic light-emitting device includes an organic light-emitting element having a lower reflecting electrode 4, hole transporting layer 7, white luminous layer 8, electron transporting layer 9, electron injecting layer 10, and upper transparent electrode 11 arranged on a metal substrate 2. The upper transparent electrode 11 is connected electrically to the metal substrate 2 through a connecting electrode 5 of a contact hole 12. Thereby, wiring resistance by the upper transparent electrode 11 is reduced and consumption power is reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、トップエミッション構造の有機発光装置に係り、特に、導電性基板上に配置された自発光する有機エレクトロルミネセンス素子(以下、有機発光素子)を構成する上部透明電極の低抵抗化が可能な有機発光装置に関する。   The present invention relates to an organic light-emitting device having a top emission structure, and in particular, the resistance of an upper transparent electrode constituting a self-emitting organic electroluminescent element (hereinafter referred to as an organic light-emitting element) disposed on a conductive substrate is reduced. It relates to a possible organic light emitting device.

有機発光装置は、例えば薄型照明装置,薄型表示装置,液晶表示装置の照明装置として期待されており、基板上に画素を構成する複数の有機発光素子を備えている。有機発光素子は、複数の有機層が下部電極と上部電極との間に挟まれた構造である。有機層は、正孔を輸送する正孔輸送層と、電子を輸送する電子輸送層と、正孔と電子が再結合する発光層とを有しており、両電極間に電圧を印加することにより、電極から注入された正孔と電子が発光層で再結合して発光する。   The organic light emitting device is expected as a lighting device for a thin illumination device, a thin display device, and a liquid crystal display device, for example, and includes a plurality of organic light emitting elements that constitute pixels on a substrate. The organic light emitting device has a structure in which a plurality of organic layers are sandwiched between a lower electrode and an upper electrode. The organic layer has a hole transport layer that transports holes, an electron transport layer that transports electrons, and a light-emitting layer that recombines holes and electrons, and a voltage is applied between the electrodes. Thus, holes and electrons injected from the electrodes recombine in the light emitting layer to emit light.

例えば特許文献1には、ストライプ状に形成された発光光を透過する下部電極と、コモン電極となる上部電極を用いた有機発光装置が記載されている。いずれか一方の電極が透明電極である。下部電極は、両端から電力が供給され、輝度ムラを低減させる。下部電極が透明電極の場合、比抵抗が高いため、両端から電力を供給したとしても、有機発光装置の中心部では配線抵抗による電圧降下が発生し、消費電力が高くなる。また、上部電極が透明電極の場合、有機発光装置の中心部では配線抵抗による電圧降下が発生し、消費電力が高くなる。   For example, Patent Document 1 describes an organic light-emitting device using a lower electrode that transmits light emitted in a stripe shape and an upper electrode that serves as a common electrode. Either one of the electrodes is a transparent electrode. The lower electrode is supplied with electric power from both ends, and reduces luminance unevenness. When the lower electrode is a transparent electrode, since the specific resistance is high, even if power is supplied from both ends, a voltage drop due to wiring resistance occurs at the center of the organic light emitting device, resulting in high power consumption. In addition, when the upper electrode is a transparent electrode, a voltage drop due to wiring resistance occurs at the center of the organic light emitting device, resulting in high power consumption.

特開2007−173519号公報JP 2007-173519 A

本発明の目的は、発光光を透過する上部電極(上部透明電極)の配線抵抗を低くして、配線抵抗による消費電力の低減が可能な有機発光装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an organic light emitting device capable of reducing power consumption due to wiring resistance by lowering wiring resistance of an upper electrode (upper transparent electrode) that transmits emitted light.

すなわち、本発明の一態様に係る有機発光装置は、下部反射電極,有機層及び上部透明電極を有する有機発光素子を導電性基板上に配置した有機発光装置において、前記上部透明電極が、前記下部反射電極の周囲に配置されたコンタクトホールを介して前記導電性基板に接続されていることを特徴としている。   That is, the organic light-emitting device according to an aspect of the present invention includes an organic light-emitting device in which an organic light-emitting element having a lower reflective electrode, an organic layer, and an upper transparent electrode is disposed on a conductive substrate, wherein the upper transparent electrode It is characterized by being connected to the conductive substrate through a contact hole arranged around the reflective electrode.

また、本発明の他の態様に係る有機発光装置は、有機層及び上部透明電極を有する有機発光素子を導電性基板上に配置した有機発光装置において、前記導電性基板が、発光光の反射性を有する反射電極として機能することを特徴としている。   An organic light emitting device according to another aspect of the present invention is an organic light emitting device in which an organic light emitting element having an organic layer and an upper transparent electrode is disposed on a conductive substrate, wherein the conductive substrate is a reflective property of emitted light. It functions as a reflective electrode having

本発明によれば、上部透明電極の配線抵抗を低くして、配線抵抗による消費電力の低減が可能である。   According to the present invention, it is possible to reduce the power consumption due to the wiring resistance by lowering the wiring resistance of the upper transparent electrode.

以下に、本発明の実施例による有機発光装置を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

実施例1に係る有機発光装置を説明する。図1は、実施例1に係る有機発光装置の断面図である。図2は、図1に示す有機発光装置の平面図である。   An organic light-emitting device according to Example 1 will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view of the organic light emitting device according to the first embodiment. FIG. 2 is a plan view of the organic light emitting device shown in FIG.

有機発光装置は、金属基板2上に有機発光素子を配置している。有機発光素子は、金属基板2側から順に、陽極となる下部反射電極4と、正孔輸送層7と、白色発光層8と、電子輸送層9と、電子注入層10と、陰極となる上部透明電極11と、を有する。必要に応じて、下部反射電極4と正孔輸送層7との間には、正孔注入層を配置してもよい。また、正孔輸送層7,電子輸送層9が白色発光層8を兼ねる構造でもよい。   In the organic light emitting device, an organic light emitting element is disposed on a metal substrate 2. The organic light emitting device includes, in order from the metal substrate 2 side, a lower reflective electrode 4 serving as an anode, a hole transport layer 7, a white light emitting layer 8, an electron transport layer 9, an electron injection layer 10, and an upper portion serving as a cathode. And a transparent electrode 11. If necessary, a hole injection layer may be disposed between the lower reflective electrode 4 and the hole transport layer 7. Further, the hole transport layer 7 and the electron transport layer 9 may also serve as the white light emitting layer 8.

上部透明電極11は、発光光の透過性を有する透明電極である。また、下部反射電極4は、発光光の反射性を有する反射電極である。   The upper transparent electrode 11 is a transparent electrode having a light transmission property. The lower reflective electrode 4 is a reflective electrode having reflectivity of emitted light.

有機発光素子上には、封止基板14が配置されている。封止基板14は、上部透明電極11上に形成される。封止基板14は、大気中のH2O,O2を上部透明電極11、或いはその下の有機層(正孔輸送層7,電子輸送層9及び白色発光層8)に入り込み難くするものである。封止基板14には、例えばSiO2,SiNx,Al23等の無機材料やポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート,ポリイミド等の有機材料を用いることができる。 A sealing substrate 14 is disposed on the organic light emitting element. The sealing substrate 14 is formed on the upper transparent electrode 11. The sealing substrate 14 makes it difficult for H 2 O and O 2 in the atmosphere to enter the upper transparent electrode 11 or the organic layer (hole transport layer 7, electron transport layer 9 and white light emitting layer 8) below the upper transparent electrode 11. is there. The sealing substrate 14, for example SiO 2, SiNx, inorganic materials and polychloroprene such as Al 2 O 3, polyethylene terephthalate, polyoxymethylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene fluoride, cyanoethyl pullulan, polymethylmethacrylate, polysulfone, polycarbonate, An organic material such as polyimide can be used.

絶縁膜1で被膜された金属基板2上に、第1の層間絶縁膜3として膜厚2μmのアクリル絶縁膜を形成する。本実施例では、第1の層間絶縁膜3にアクリル絶縁膜を用いたが、これ以外に、例えばポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート,ポリイミド等の有機絶縁材料、SiO2,SiNx,Al23等の無機材料を用いることができ、これらを1種単独もしくは2種以上を併用してもよい。例えば、有機絶縁膜上に無機絶縁膜を積層してもよい。 An acrylic insulating film having a thickness of 2 μm is formed as a first interlayer insulating film 3 on the metal substrate 2 coated with the insulating film 1. In this embodiment, an acrylic insulating film is used as the first interlayer insulating film 3, but other than this, for example, polychloropyrene, polyethylene terephthalate, polyoxymethylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene fluoride, cyanoethyl pullulan, polymethyl methacrylate, Organic insulating materials such as polysulfone, polycarbonate, and polyimide, and inorganic materials such as SiO 2 , SiNx, and Al 2 O 3 can be used, and these may be used alone or in combination of two or more. For example, an inorganic insulating film may be stacked on the organic insulating film.

金属基板2は、導電性の基板であり、有機発光素子(下部反射電極4,正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10及び上部透明電極11)に電圧を印加するための補助配線、または発光光の反射性を有する反射電極として機能する。金属基板2としては、導電性の基板であればよく、例えばアルミニウム,インジウム,モリブテン,ニッケル,銅,鉄などの金属、これらの合金が挙げられる。   The metal substrate 2 is a conductive substrate, and applies a voltage to the organic light emitting element (the lower reflective electrode 4, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11). It functions as an auxiliary wiring for applying, or a reflective electrode having reflectivity of emitted light. The metal substrate 2 may be a conductive substrate, and examples thereof include metals such as aluminum, indium, molybdenum, nickel, copper, and iron, and alloys thereof.

絶縁膜1は、電圧が印加されている金属基板2を絶縁する。絶縁膜1としては、例えば、アクリル,ポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート,ポリイミド等の有機絶縁材料が挙げられる。   The insulating film 1 insulates the metal substrate 2 to which a voltage is applied. Examples of the insulating film 1 include organic insulating materials such as acrylic, polychloropyrene, polyethylene terephthalate, polyoxymethylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene fluoride, cyanoethyl pullulan, polymethyl methacrylate, polysulfone, polycarbonate, and polyimide.

次に、第1の層間絶縁膜3に複数のコンタクトホール12を設ける。第1の層間絶縁膜3上に、150nmのAl膜を配置して下部反射電極4,接続電極5を形成する。本実施例では、下部反射電極4としてAl膜を用いたが、これに限定されず、例えばインジウム,モリブテン,ニッケル等の金属、これらの合金、ポリシリコン,アモルファスシリコンの無機材料、上記の金属或いは合金の上に錫酸化物,酸化インジウム,インジウム・錫酸化物(ITO)等の透明導電膜を形成した積層膜が好ましい。   Next, a plurality of contact holes 12 are provided in the first interlayer insulating film 3. A 150 nm Al film is disposed on the first interlayer insulating film 3 to form the lower reflective electrode 4 and the connection electrode 5. In this embodiment, an Al film is used as the lower reflective electrode 4, but the present invention is not limited to this. For example, metals such as indium, molybdenum, nickel, alloys thereof, polysilicon, amorphous silicon inorganic materials, the above metals or A laminated film in which a transparent conductive film such as tin oxide, indium oxide, indium / tin oxide (ITO) is formed on the alloy is preferable.

本実施例では、下部反射電極4と接続電極5を、同一のAl膜から形成したが、別々の材料で作製してもよい。例えば、下部反射電極4をAl膜とIn−Sn−O膜(以下、ITO膜とする。)の積層膜で形成して、接続電極5をITO膜で形成することが挙げられる。また、全く別の金属膜を用いて形成することも挙げられる。   In the present embodiment, the lower reflective electrode 4 and the connection electrode 5 are formed of the same Al film, but may be made of different materials. For example, the lower reflective electrode 4 may be formed of a laminated film of an Al film and an In—Sn—O film (hereinafter referred to as an ITO film), and the connection electrode 5 may be formed of an ITO film. In addition, it may be formed using a completely different metal film.

次に、下部反射電極4,接続電極5のエッジを隠すために、第2の層間絶縁膜6を形成する。この第2層間絶縁膜6もアクリル絶縁膜を用いたが、これに限定されず、これ以外に、例えばポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート,ポリイミド等の有機絶縁材料、SiO2,SiNx,Al23等の無機材料を用いることができる。また、有機絶縁膜上に無機絶縁膜を積層した構成も可能である。 Next, a second interlayer insulating film 6 is formed in order to hide the edges of the lower reflection electrode 4 and the connection electrode 5. The second interlayer insulating film 6 is also an acrylic insulating film, but is not limited to this. For example, polychloropyrene, polyethylene terephthalate, polyoxymethylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene fluoride, cyanoethyl pullulan, polymethyl methacrylate. Organic insulating materials such as polysulfone, polycarbonate, and polyimide, and inorganic materials such as SiO 2 , SiNx, and Al 2 O 3 can be used. Further, a configuration in which an inorganic insulating film is stacked on an organic insulating film is also possible.

次に、下部反射電極4上に真空蒸着法により膜厚50nmの4,4−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(以下、α−NPDとする。)の蒸着膜を形成する。この蒸着膜は、下部反射電極4の周辺に形成され、接続電極5には形成されず、正孔輸送層7として機能する。   Next, a deposited film of 4,4-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (hereinafter referred to as α-NPD) having a film thickness of 50 nm is formed on the lower reflective electrode 4 by vacuum deposition. Form. This deposited film is formed around the lower reflective electrode 4, is not formed on the connection electrode 5, and functions as a hole transport layer 7.

本実施例では、正孔輸送層7としてα−NPDの蒸着膜を用いたが、これに限定されない。正孔輸送層7は、正孔を輸送し、白色発光層8へ注入するものである。そのため、正孔移動度が高い正孔輸送性材料からなることが望ましい。また、化学的に安定で、イオン化ポテンシャルが小さく、電子親和力が小さく、ガラス転移温度が高いことが望ましい。正孔輸送層7としては、特に限定されるものではなく、例えば、N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−N,N′−ジフェニル−[1,1′−ビフェニル]−4,4′ジアミン(TPD)、4,4′−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α−NPD)、4,4′,4″−トリ(N−カルバゾリル)トリフェニルアミン(TCTA)、1,3,5−トリス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)フェニルアミノ]ベンゼン(p−DPA−TDAB)、4,4′,4″−トリス(N−カルバゾール)トリフェニルアミン(TCTA)、1,3,5−トリス[N,N−ビス(2−メチルフェニル)−アミノ]−ベンゼン(o−MTDAB)、1,3,5−トリス[N,N−ビス(3−メチルフェニル)−アミノ]−ベンゼン(m−MTDAB)、1,3,5−トリス[N,N−ビス(4−メチルフェニル)−アミノ]−ベンゼン(p−MTDAB)、4,4′,4″−トリス[1−ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(1−TNATA)、4,4′,4″−トリス[2−ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(2−TNATA)、4,4′,4″−トリス[ビフェニル−4−イル−(3−メチルフェニル)アミノ]トリフェニルアミン(p−PMTDATA)、4,4′,4″−トリス[9,9−ジメチルフルオレン−2−イル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(TFATA)、4,4′,4″−トリス(N−カルバゾイル)トリフェニルアミン(TCTA)、1,3,5−トリス−[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)フェニルアミノ]ベンゼン(p−DPA−TDAB)、1,3,5−トリス{4−[メチルフェニル(フェニル)アミノ]フェニル}ベンゼン(MTDAPB)、N,N′−ジ(ビフェニル−4−イル)−N,N′−ジフェニル[1,1′−ビフェニル]−4,4′−ジアミン(p−BPD)、N,N′−ビス(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−N,N′−ジフェニルフルオレン−2,7−ジアミン(PFFA)、N,N,N′,N′−テトラキス(9,9−ジメチルフルオレン−2−イル)−[1,1−ビフェニル]−4,4′−ジアミン(FFD)、(NDA)PP、4−4′−ビス[N,N′−(3−トリル)アミノ]−3−3′−ジメチルビフェニル(HMTPD)が望ましく、これらを1種単独、または2種以上を併用してもよい。   In this embodiment, an α-NPD deposited film is used as the hole transport layer 7, but the present invention is not limited to this. The hole transport layer 7 transports holes and injects them into the white light emitting layer 8. Therefore, it is desirable to use a hole transporting material with high hole mobility. Further, it is desirable that it is chemically stable, has a low ionization potential, a low electron affinity, and a high glass transition temperature. The hole transport layer 7 is not particularly limited. For example, N, N′-bis (3-methylphenyl) -N, N′-diphenyl- [1,1′-biphenyl] -4,4 'Diamine (TPD), 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (α-NPD), 4,4', 4 "-tri (N-carbazolyl) triphenylamine (TCTA), 1,3,5-tris [N- (4-diphenylaminophenyl) phenylamino] benzene (p-DPA-TDAB), 4,4 ', 4 "-tris (N-carbazole) triphenylamine (TCTA), 1,3,5-tris [N, N-bis (2-methylphenyl) -amino] -benzene (o-MTDAB), 1,3,5-tris [N, N-bis (3- Methylphenyl) -amino] Benzene (m-MTDAB), 1,3,5-tris [N, N-bis (4-methylphenyl) -amino] -benzene (p-MTDAB), 4,4 ', 4 "-tris [1-naphthyl (Phenyl) amino] triphenylamine (1-TNATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris [2-naphthyl (phenyl) amino] triphenylamine (2-TNATA), 4,4 ′, 4 ″ -Tris [Biphenyl-4-yl- (3-methylphenyl) amino] triphenylamine (p-PMTDATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris [9,9-dimethylfluoren-2-yl (phenyl) amino] tri Phenylamine (TFATA), 4,4 ′, 4 ″ -tris (N-carbazoyl) triphenylamine (TCTA), 1,3,5-tris- [N- (4-diphenylaminophenyl) Phenyl) phenylamino] benzene (p-DPA-TDAB), 1,3,5-tris {4- [methylphenyl (phenyl) amino] phenyl} benzene (MTDAPB), N, N'-di (biphenyl-4-) Yl) -N, N′-diphenyl [1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (p-BPD), N, N′-bis (9,9-dimethylfluoren-2-yl) -N , N′-diphenylfluorene-2,7-diamine (PFFA), N, N, N ′, N′-tetrakis (9,9-dimethylfluoren-2-yl)-[1,1-biphenyl] -4, 4'-diamine (FFD), (NDA) PP, 4-4'-bis [N, N '-(3-tolyl) amino] -3-3'-dimethylbiphenyl (HMTPD) is preferred, Single or 2 or more It may be used in combination.

必要に応じて、下部反射電極4と正孔輸送層7との間には正孔注入層を配置してもよい。正孔注入層は、下部反射電極4と正孔輸送層7の注入障壁を下げるため、適当なイオン化ポテンシャルを有する材料が望ましい。また、下地層の表面の凹凸を埋める役割を果たすことが望ましい。正孔注入層としては、特に限定されず、例えば、銅フタロシアニン,スターバーストアミン化合物,ポリアニリン,ポリチオフェン,酸化バナジウム,酸化モリブテン,酸化ルテニウム,酸化アルミニウム等が挙げられる。   If necessary, a hole injection layer may be disposed between the lower reflective electrode 4 and the hole transport layer 7. The hole injection layer is preferably made of a material having an appropriate ionization potential in order to lower the injection barrier between the lower reflective electrode 4 and the hole transport layer 7. Moreover, it is desirable to fill the surface irregularities of the underlayer. The hole injection layer is not particularly limited, and examples thereof include copper phthalocyanine, starburst amine compound, polyaniline, polythiophene, vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide.

また、正孔輸送性材料に酸化剤を含有してもよい。これにより、下部反射電極4との障壁を低下させる、或いは電気伝導度を向上させることができる。酸化剤としては、特に限定されず、例えば、塩化第2鉄,塩化アンモニウム,塩化ガリウム,塩化インジウム,五塩化アンチモン等のルイス酸化合物,トリニトロフルオレン等の電子受容性化合物,正孔注入材料として挙げられた酸化バナジウム,酸化モリブテン,酸化ルテニウム,酸化アルミニウムなどを用いることができ、これらを1種単独もしくは2種以上を併用してもよい。   Further, the hole transporting material may contain an oxidizing agent. Thereby, the barrier with the lower reflective electrode 4 can be reduced, or electrical conductivity can be improved. The oxidizing agent is not particularly limited, and examples thereof include Lewis acid compounds such as ferric chloride, ammonium chloride, gallium chloride, indium chloride, and antimony pentachloride, electron accepting compounds such as trinitrofluorene, and hole injection materials. The mentioned vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, etc. can be used, and these may be used alone or in combination of two or more.

次に、正孔輸送層7上に真空蒸着法により膜厚20nmの4,4′−N,N′−ジカルバゾール−ビフェニル(以下、CBPとする。)及びビス〔2−(2′−ベンゾ[4,5−a]チエニル)ピリジネイト−N,C3′〕イリジウム(アセチラセトネイト)(以下、Brp2Ir(acac)とする。)を共蒸着した膜を形成する。このCBP,Brp2Ir(acac)の蒸着速度は、それぞれ0.20nm/sec,0.02nm/secとした。Brp2Ir(acac)が発光色を決定するドーパントとして機能する。CBPとBrp2Ir(acac)の共蒸着膜は、下部反射電極4と同様のサイズの開口パターンを有する精密マスクを用いてパターン化する。 Next, 4,4′-N, N′-dicarbazole-biphenyl (hereinafter referred to as CBP) and bis [2- (2′-benzoate) having a film thickness of 20 nm are formed on the hole transport layer 7 by vacuum deposition. A film in which [4,5-a] thienyl) pyridinate-N, C3 ′] iridium (acetylacetonate) (hereinafter referred to as Brp 2 Ir (acac)) is co-evaporated is formed. The vapor deposition rates of CBP and Brp 2 Ir (acac) were 0.20 nm / sec and 0.02 nm / sec, respectively. Brp 2 Ir (acac) functions as a dopant that determines the emission color. The co-evaporated film of CBP and Brp 2 Ir (acac) is patterned using a precision mask having an opening pattern of the same size as the lower reflective electrode 4.

次に、CBPとBrp2Ir(acac)の共蒸着膜上に、真空蒸着法により膜厚40nmのCBP及びイリジム錯体(以下、Ir(ppy)3とする。)を共蒸着した膜を形成する。このCBP、Ir(ppy)3の蒸着速度は、それぞれ0.20nm/sec,0.02nm/secとした。Ir(ppy)3が発光色を決定するドーパントとして機能する。また、CBPとIr(ppy)3の共蒸着膜は、下部反射電極4と同様のサイズの開口パターンを有する精密マスクを用いてパターン化する。 Next, on the co-deposited film of CBP and Brp 2 Ir (acac), a film is formed by co-depositing CBP and iridium complex (hereinafter referred to as Ir (ppy) 3 ) having a thickness of 40 nm by a vacuum deposition method. . The deposition rates of CBP and Ir (ppy) 3 were 0.20 nm / sec and 0.02 nm / sec, respectively. Ir (ppy) 3 functions as a dopant that determines the emission color. The co-evaporated film of CBP and Ir (ppy) 3 is patterned using a precision mask having an opening pattern of the same size as the lower reflective electrode 4.

上記の2層の共蒸着膜は、白色発光層8として機能する。本実施例では、白色発光層8に赤発光層と青発光層の積層膜を用いたが、これに限定されない。白色発光層8としては、具体例としては、オレンジ発光層と青色発光層、或いは、黄色発光層と青色発光層等の積層膜を用いた2層積層型,赤発光層,緑発光層及び青発光層からなる積層膜を用いた3層積層型,発光層のホスト材料に複数の発光ドーパントを添加した1層積層型が挙げられる。   The two-layer co-deposited film functions as the white light emitting layer 8. In the present embodiment, a laminated film of a red light emitting layer and a blue light emitting layer is used for the white light emitting layer 8, but the present invention is not limited to this. Specific examples of the white light-emitting layer 8 include an orange light-emitting layer and a blue light-emitting layer, or a two-layer stacked type using a laminated film such as a yellow light-emitting layer and a blue light-emitting layer, a red light-emitting layer, a green light-emitting layer, and a blue A three-layer stacked type using a stacked film composed of a light-emitting layer and a one-layer stacked type in which a plurality of light-emitting dopants are added to the host material of the light-emitting layer can be given.

白色発光層8は、注入された正孔,電子が再結合し、材料固有の波長で発光するものである。白色発光層8を形成するホスト材料自体が発光する場合と、ホストに微量添加したドーパント材料が発光する場合がある。ホスト材料としては、特に限定されず、例えば、ジスチリルアリーレン誘導体(DPVBi)、骨格にベンゼン環を有するシロール誘導体(2PSP),トリフェニルアミン構造を両端に有するオキソジアゾール誘導体(EM2),フェナンスレン基を有するペリノン誘導体(P1),トリフェニルアミン構造を両端に有するオリゴチオフェン誘導体(BMA−3T),ペリレン誘導体(tBu−PTC),トリス(8−キノリノール)アルミニウム,ポリパラフェニレンビニレン誘導体,ポリチオフェン誘導体,ポリパラフェニレン誘導体,ポリシラン誘導体,ポリアセチレン誘導体が挙げられ、これらを1種単独もしくは2種以上を併用してもよい。   The white light emitting layer 8 emits light with a wavelength specific to the material by recombination of injected holes and electrons. There is a case where the host material itself forming the white light emitting layer 8 emits light, and a case where a dopant material added in a small amount to the host emits light. The host material is not particularly limited. For example, a distyrylarylene derivative (DPVBi), a silole derivative having a benzene ring in the skeleton (2PSP), an oxodiazole derivative having a triphenylamine structure at both ends (EM2), a phenanthrene group Perinone derivative (P1) having a triphenylamine structure at both ends (BMA-3T), perylene derivative (tBu-PTC), tris (8-quinolinol) aluminum, polyparaphenylene vinylene derivative, polythiophene derivative, Examples include polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, and polyacetylene derivatives, and these may be used alone or in combination of two or more.

次に、ドーパント材料としては、特に限定されず、例えば、キナクリドン,クマリン6,ナイルレッド,ルブレン,4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−(パラ−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM),ジカルバゾール誘導体,ポルフィリン白金錯体(PtOEP),イリジウム錯体(Ir(ppy)3)が挙げられ、これらを1種単独もしくは2種以上を併用してもよい。 Next, the dopant material is not particularly limited. For example, quinacridone, coumarin 6, nile red, rubrene, 4- (dicyanomethylene) -2-methyl-6- (para-dimethylaminostyryl) -4H-pyran ( DCM), dicarbazole derivatives, porphyrin platinum complexes (PtOEP), and iridium complexes (Ir (ppy) 3 ). These may be used alone or in combination of two or more.

次に、白色発光層8上に、真空蒸着法により膜厚15nmのトリス(8−キノリノール)アルミニウム(以下、Alq3とする。)を蒸着した膜を形成する。この蒸着膜は電子輸送層9として機能する。   Next, a film obtained by vapor-depositing tris (8-quinolinol) aluminum (hereinafter referred to as Alq3) having a film thickness of 15 nm is formed on the white light emitting layer 8 by a vacuum vapor deposition method. This deposited film functions as the electron transport layer 9.

電子輸送層9は、電子を輸送し、白色発光層8へ注入する。そのため、電子移動度が高い電子輸送性材料からなることが望ましい。電子輸送層9としては、特に限定されず、例えばトリス(8−キノリノール)アルミニウム,オキサジアゾール誘導体,シロール誘導体,亜鉛ベンゾチアゾール錯体,バソキュプロイン(BCP)が望ましく、1種単独もしくは2種以上を併用することもできる。   The electron transport layer 9 transports electrons and injects them into the white light emitting layer 8. For this reason, it is desirable to use an electron transporting material having a high electron mobility. The electron transport layer 9 is not particularly limited, and for example, tris (8-quinolinol) aluminum, oxadiazole derivative, silole derivative, zinc benzothiazole complex, bathocuproine (BCP) is desirable, one kind alone or a combination of two or more kinds. You can also

また、電子輸送層9は、上記の電子輸送性材料に還元剤を含有して、上部透明電極11との障壁を低くすること、或いは電気伝導度を向上させることが望ましい。還元剤としては、例えばアルカリ金属,アルカリ土類金属,アルカリ金属酸化物,アルカリ土類酸化物,希土類酸化物,アルカリ金属ハロゲン化物,アルカリ土類ハロゲン化物,希土類ハロゲン化物,アルカリ金属と芳香族化合物で形成される錯体が挙げられる。特に、好ましいアルカリ金属はCs,Li,Na,Kである。これらの材料に限られず、これらの材料を2種以上併用してもよい。   The electron transport layer 9 preferably contains a reducing agent in the above electron transport material to lower the barrier with respect to the upper transparent electrode 11 or to improve electrical conductivity. Examples of the reducing agent include alkali metals, alkaline earth metals, alkali metal oxides, alkaline earth oxides, rare earth oxides, alkali metal halides, alkaline earth halides, rare earth halides, alkali metals and aromatic compounds. The complex formed by is mentioned. Particularly preferred alkali metals are Cs, Li, Na and K. It is not restricted to these materials, You may use 2 or more types of these materials together.

次に、電子輸送層9の上に、電子注入層10としてMgとAgとの混合膜を形成する。この場合、2元同時真空蒸着法を用いて蒸着速度をそれぞれ0.14±0.05nm/s、0.01±0.005nm/sに設定し、膜厚10nmの膜を蒸着する。   Next, a mixed film of Mg and Ag is formed on the electron transport layer 9 as the electron injection layer 10. In this case, using the binary simultaneous vacuum deposition method, the deposition rates are set to 0.14 ± 0.05 nm / s and 0.01 ± 0.005 nm / s, respectively, and a film having a thickness of 10 nm is deposited.

電子注入層10は、上部透明電極11から電子輸送層9への電子注入効率を向上させるものである。電子注入層10としては、例えば、弗化リチウム,弗化マグネシウム,弗化カルシウム,弗化ストロンチウム,弗化バリウム,酸化マグネシウム,酸化アルミニウムが望ましい。これらの材料に限られず、これらの材料を2種以上併用してもよい。   The electron injection layer 10 improves the electron injection efficiency from the upper transparent electrode 11 to the electron transport layer 9. As the electron injection layer 10, for example, lithium fluoride, magnesium fluoride, calcium fluoride, strontium fluoride, barium fluoride, magnesium oxide, and aluminum oxide are desirable. It is not restricted to these materials, You may use 2 or more types of these materials together.

次に、スパッタリング法により、膜厚50nmのIn−Zn−O膜(以下、IZO膜とする。)を形成する。このIZO膜は上部透明電極11として機能し、非晶酸化物膜である。このときのターゲットには、In/(In+Zn)=0.83であるターゲットを用いる。成膜条件は、Ar:O2混合ガスを雰囲気として、真空度0.2Pa、スパッタリング出力を2W/cm2とする。Mg:Ag/In−Zn−O積層膜の透過率は65%である。 Next, an In—Zn—O film (hereinafter referred to as an IZO film) with a thickness of 50 nm is formed by a sputtering method. This IZO film functions as the upper transparent electrode 11 and is an amorphous oxide film. As the target at this time, a target with In / (In + Zn) = 0.83 is used. The film forming conditions are an Ar: O 2 mixed gas atmosphere, a vacuum degree of 0.2 Pa, and a sputtering output of 2 W / cm 2 . The transmittance of the Mg: Ag / In—Zn—O laminated film is 65%.

上部透明電極11は、コンタクトホール12で、接続電極5を介して金属基板2に電気的に接続される。本実施例では、接続電極5を用いて、上部透明電極11がコンタクトホール12で段切れすることを防止したが、上部透明電極11を金属基板2に接続することもできる。   The upper transparent electrode 11 is electrically connected to the metal substrate 2 through the connection electrode 5 through the contact hole 12. In this embodiment, the connection electrode 5 is used to prevent the upper transparent electrode 11 from being disconnected at the contact hole 12, but the upper transparent electrode 11 can also be connected to the metal substrate 2.

このようにして、金属基板2と、複数のストライプ状の有機発光素子(下部反射電極4,正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10及び上部透明電極11)とを備えたOLED基板13を作製する。   In this way, the metal substrate 2 and a plurality of striped organic light emitting elements (lower reflective electrode 4, hole transport layer 7, white light emitting layer 8, electron transport layer 9, electron injection layer 10 and upper transparent electrode 11). The OLED board | substrate 13 provided with these is produced.

次に、OLED基板13を大気に曝すことなく、乾燥窒素ガスを循環させて高露点を保った封止室に移動させる。   Next, without exposing the OLED substrate 13 to the atmosphere, the nitrogen gas is circulated and moved to a sealing chamber that maintains a high dew point.

次に、封止室にガラス基板を導入する。このガラス基板は封止基板14となる。封止基板14のエッジ部分に、周知のシールディスペンサ装置を用いて光硬化樹脂を描画する(図示省略)。   Next, a glass substrate is introduced into the sealing chamber. This glass substrate becomes the sealing substrate 14. A photocurable resin is drawn on the edge portion of the sealing substrate 14 using a known seal dispenser device (not shown).

封止室内で、封止基板14とOLED基板13とを貼り合せて圧着させる。封止基板14の外側に、有機発光素子全体にUV光が当たらないよう周知の遮光板を置き、封止基板14側からUV光を照射させて光硬化樹脂を硬化させる。   In the sealing chamber, the sealing substrate 14 and the OLED substrate 13 are bonded and bonded together. A well-known light-shielding plate is placed outside the sealing substrate 14 so that the entire organic light-emitting element is not exposed to UV light, and UV light is irradiated from the sealing substrate 14 side to cure the photocurable resin.

このようにして本実施例の有機発光装置が得られる。   In this way, the organic light emitting device of this example is obtained.

本実施例では、図2に示すように、複数のストライプ状に形成された下部反射電極4の両側に複数のコンタクトホール12が設けられ、上部透明電極11がコンタクトホール12を介して低抵抗な金属基板2に接続される。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力が低減される。また、配線抵抗による温度上昇が低減するため、有機発光素子の寿命低下が抑制される。   In this embodiment, as shown in FIG. 2, a plurality of contact holes 12 are provided on both sides of the lower reflective electrode 4 formed in a plurality of stripes, and the upper transparent electrode 11 has a low resistance via the contact holes 12. Connected to the metal substrate 2. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance is reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance reduces, the lifetime reduction of an organic light emitting element is suppressed.

実施例2に係る有機発光装置を説明する。図3は、実施例2に係る有機発光装置の断面図である。図4は、図3に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例では、金属基板2が、発光光の反射性を有する反射電極として機能している。   An organic light emitting device according to Example 2 will be described. FIG. 3 is a cross-sectional view of the organic light emitting device according to the second embodiment. FIG. 4 is a plan view of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. In the present embodiment, the metal substrate 2 functions as a reflective electrode having reflectivity of emitted light.

絶縁膜1で被膜された金属基板2上に、第1の層間絶縁膜3を形成する。第1の層間絶縁膜3には、有機発光素子の下部反射電極となる部分に複数のストライプ状のコンタクトホール20を設ける。   A first interlayer insulating film 3 is formed on the metal substrate 2 coated with the insulating film 1. In the first interlayer insulating film 3, a plurality of stripe-shaped contact holes 20 are provided in a portion that becomes the lower reflective electrode of the organic light emitting element.

次に、第1の層間絶縁膜3の上に、補助配線21を設ける。その上に、第2の層間絶縁膜6を設ける。第2の層間絶縁膜6には、補助配線21,有機発光素子の下部反射電極となる部分にコンタクトホール12を設ける。   Next, the auxiliary wiring 21 is provided on the first interlayer insulating film 3. A second interlayer insulating film 6 is provided thereon. The second interlayer insulating film 6 is provided with a contact hole 12 in a portion that becomes the auxiliary wiring 21 and the lower reflective electrode of the organic light emitting element.

次に、正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10,上部透明電極11を形成する。形成方法は、実施例1と同様である。   Next, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11 are formed. The formation method is the same as in Example 1.

次に、OLED基板13と封止基板14を封止する。封止方法は、実施例1と同様である。   Next, the OLED substrate 13 and the sealing substrate 14 are sealed. The sealing method is the same as in Example 1.

本実施例では、上部透明電極11と補助配線21とが電気的に接続している。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力を低減できる。また、配線抵抗による温度上昇を低減できるため、有機発光素子の寿命低下を抑制できる。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 and the auxiliary wiring 21 are electrically connected. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance can be reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance can be reduced, the lifetime reduction of an organic light emitting element can be suppressed.

また、本実施例では、金属基板2を有機発光素子の下部反射電極として用いるため、層構成が簡素化され、製造プロセスの低減,低コスト化が可能である。   In this embodiment, since the metal substrate 2 is used as the lower reflective electrode of the organic light emitting device, the layer structure is simplified, and the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced.

実施例3に係る有機発光装置を説明する。図5は、実施例3に係る有機発光装置の断面図である。図6は、図5に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例では、補助配線32が設けられた複合基板31上に、有機発光素子を形成し、層構成の簡素化を図る。   An organic light-emitting device according to Example 3 will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view of the organic light emitting device according to the third embodiment. 6 is a plan view of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. In this embodiment, an organic light emitting element is formed on the composite substrate 31 provided with the auxiliary wiring 32 to simplify the layer configuration.

複合基板31は、以下の構成である。絶縁膜1で被覆された金属基板2の上に、第1の層間絶縁膜3が形成されている。第1の層間絶縁膜3には、複数のストライプ状のコンタクトホールが設けられており、開口部分の金属基板2が有機発光素子の下部反射電極として機能する。その上に、補助配線32が形成されている。その上に、第2の層間絶縁膜6が形成されている。第2の層間絶縁膜6には、補助配線となる部分、有機発光素子の下部反射電極となる部分にコンタクトホール12が設けられている。   The composite substrate 31 has the following configuration. A first interlayer insulating film 3 is formed on the metal substrate 2 covered with the insulating film 1. The first interlayer insulating film 3 is provided with a plurality of striped contact holes, and the metal substrate 2 in the opening functions as a lower reflective electrode of the organic light emitting element. An auxiliary wiring 32 is formed thereon. A second interlayer insulating film 6 is formed thereon. The second interlayer insulating film 6 is provided with a contact hole 12 in a portion to be an auxiliary wiring and a portion to be a lower reflective electrode of the organic light emitting element.

次に、複合基板31の上に、正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10,上部透明電極11を形成する。形成方法は、実施例1と同様である。   Next, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11 are formed on the composite substrate 31. The formation method is the same as in Example 1.

次に、OLED基板13と封止基板14を封止する。封止方法は、実施例1と同様である。   Next, the OLED substrate 13 and the sealing substrate 14 are sealed. The sealing method is the same as in Example 1.

本実施例では、上部透明電極11は、補助配線32と電気的に接続される。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力が低減される。また、配線抵抗による温度上昇が低減するため、OLED素子の寿命低下が抑制される。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 is electrically connected to the auxiliary wiring 32. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance is reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance reduces, the lifetime reduction of an OLED element is suppressed.

また、本実施例では、有機発光素子の下部反射電極として金属基板2を用いるため、層構成が簡素化され、製造プロセスの低減,低コスト化が可能になる。   Further, in this embodiment, since the metal substrate 2 is used as the lower reflective electrode of the organic light emitting device, the layer configuration is simplified, and the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced.

実施例4に係る有機発光装置を説明する。図7は、実施例4に係る有機発光装置の断面図である。図8と図9は、図7に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例では、有機発光素子の発光画素をドット状にするために、補助配線41を設けている。   An organic light-emitting device according to Example 4 will be described. FIG. 7 is a cross-sectional view of the organic light emitting device according to the fourth embodiment. 8 and 9 are plan views of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. In the present embodiment, the auxiliary wiring 41 is provided in order to make the light emitting pixels of the organic light emitting element into a dot shape.

絶縁膜1で被覆された金属基板2上に、第1の層間絶縁膜3を形成する。コンタクトホール12,40は、ドット状に配置された下部反射電極4の四方に配置されている。その上に、補助配線41を形成する。   A first interlayer insulating film 3 is formed on the metal substrate 2 covered with the insulating film 1. The contact holes 12 and 40 are arranged on four sides of the lower reflective electrode 4 arranged in a dot shape. An auxiliary wiring 41 is formed thereon.

補助配線41は、下部反射電極4ごとにコンタクトホール12の左右に計2本設けたが、コンタクトホール12の位置を変えて、1本にすることも可能である。   A total of two auxiliary wirings 41 are provided on the left and right sides of the contact hole 12 for each lower reflective electrode 4, but it is also possible to change the position of the contact hole 12 to one.

その上に、第2の層間絶縁膜6,下部反射電極4,接続電極5,第3の層間絶縁膜42を形成する。形成方法は、実施例1と同様である。   A second interlayer insulating film 6, a lower reflective electrode 4, a connection electrode 5, and a third interlayer insulating film 42 are formed thereon. The formation method is the same as in Example 1.

次に、正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10,上部透明電極11を形成する。形成方法は実施例1と同様である。   Next, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11 are formed. The formation method is the same as in Example 1.

次に、OLED基板13と封止基板14を封止する。封止方法は、実施例1と同様である。   Next, the OLED substrate 13 and the sealing substrate 14 are sealed. The sealing method is the same as in Example 1.

本実施例では、上部透明電極11と金属基板2とが電気的に接続している。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力を低減できる。また、配線抵抗による温度上昇を低減できるため、有機発光素子の寿命低下を抑制できる。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 and the metal substrate 2 are electrically connected. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance can be reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance can be reduced, the lifetime reduction of an organic light emitting element can be suppressed.

また、本実施例では、補助配線41を用いることにより、ドット状の下部反射電極4が形成されている。そのため、ドット状に配置された下部反射電極4の四方にコンタクトホール12,40を設けて、上部透明電極11と金属基板2とを電気的に接続している。これにより、上部透明電極11の配線抵抗の更なる低抵抗化が可能となる。   In the present embodiment, the dot-like lower reflective electrode 4 is formed by using the auxiliary wiring 41. Therefore, contact holes 12 and 40 are provided in the four directions of the lower reflective electrode 4 arranged in a dot shape, and the upper transparent electrode 11 and the metal substrate 2 are electrically connected. Thereby, the resistance of the wiring resistance of the upper transparent electrode 11 can be further reduced.

実施例5に係る有機発光装置を説明する。図10は、実施例5に係る有機発光装置の断面図である。図11と図12は、図10に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例は、有機発光素子の発光画素をドット状にするために、上下方向に設けた補助配線51を左右方向の補助配線41で接続している。   An organic light emitting device according to Example 5 will be described. FIG. 10 is a cross-sectional view of the organic light emitting device according to the fifth embodiment. 11 and 12 are plan views of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. In the present embodiment, the auxiliary wiring 51 provided in the vertical direction is connected by the auxiliary wiring 41 in the horizontal direction in order to make the light emitting pixels of the organic light emitting element into a dot shape.

絶縁膜1で被覆された金属基板2上に、第1の層間絶縁膜3を形成する。形成方法は実施例1と同様である。その上に、補助配線41,51を形成する。図11に補助配線41,51の平面図を示す。補助配線51は、左右に隣接する下部反射電極4の補助配線41を接続する。本実施例では、補助配線51を左端から右端まで連続して繋げなかったが、コンタクトホール50の形成位置を変えることで左端から右端まで連続させることは可能である。また、本実施例では、補助配線41,51を同一材料で形成しているが、別の材料で形成してもよい。   A first interlayer insulating film 3 is formed on the metal substrate 2 covered with the insulating film 1. The formation method is the same as in Example 1. Auxiliary wirings 41 and 51 are formed thereon. FIG. 11 shows a plan view of the auxiliary wirings 41 and 51. The auxiliary wiring 51 connects the auxiliary wiring 41 of the lower reflective electrode 4 adjacent to the left and right. In this embodiment, the auxiliary wiring 51 is not continuously connected from the left end to the right end. However, it is possible to make the auxiliary wiring 51 continuous from the left end to the right end by changing the formation position of the contact hole 50. In the present embodiment, the auxiliary wirings 41 and 51 are formed of the same material, but may be formed of different materials.

その上に、第2の層間絶縁膜6,下部反射電極4,接続電極5,第3の層間絶縁膜42を形成する。形成方法は、実施例4と同様である。   A second interlayer insulating film 6, a lower reflective electrode 4, a connection electrode 5, and a third interlayer insulating film 42 are formed thereon. The formation method is the same as in Example 4.

次に、正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10,上部透明電極11を形成する。形成方法は実施例4と同様である。   Next, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11 are formed. The formation method is the same as in Example 4.

次に、OLED基板13と封止基板14とを封止する。封止方法は、実施例4と同様である。   Next, the OLED substrate 13 and the sealing substrate 14 are sealed. The sealing method is the same as in Example 4.

本実施例では、上部透明電極11と金属基板2とが電気的に接続している。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力を低減できる。また、配線抵抗による温度上昇を低減できるため、有機発光素子の寿命低下を抑制できる。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 and the metal substrate 2 are electrically connected. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance can be reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance can be reduced, the lifetime reduction of an organic light emitting element can be suppressed.

また、本実施例では、補助配線41を用いることにより、ドット状の下部反射電極4が形成されている。そのため、上下方向の下部反射電極4の間にコンタクトホール50を配置して、上部透明電極11と金属基板2とを電気的に接続している。これにより、上部透明電極11の配線抵抗の更なる低抵抗化が可能となる。   In the present embodiment, the dot-like lower reflective electrode 4 is formed by using the auxiliary wiring 41. Therefore, a contact hole 50 is disposed between the lower reflective electrodes 4 in the vertical direction to electrically connect the upper transparent electrode 11 and the metal substrate 2. Thereby, the resistance of the wiring resistance of the upper transparent electrode 11 can be further reduced.

また、本実施例では、補助配線51を用いることにより、下部反射電極4の配線抵抗の更なる低抵抗化が可能となる。   Further, in this embodiment, by using the auxiliary wiring 51, the wiring resistance of the lower reflective electrode 4 can be further reduced.

実施例6に係る有機発光装置を説明する。図13は、実施例6に係る有機発光装置の断面図である。図14と図15は、図13に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例は、マトリクス状に形成された画素配置を特徴としている。   An organic light emitting device according to Example 6 will be described. FIG. 13 is a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 6. 14 and 15 are plan views of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. This embodiment is characterized by a pixel arrangement formed in a matrix.

絶縁膜1で被覆された金属基板2の上に、第1の層間絶縁膜3,下部反射電極4,接続電極5,第2の層間絶縁膜6,正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10を形成する。形成方法は、実施例4と同様である。   On the metal substrate 2 covered with the insulating film 1, the first interlayer insulating film 3, the lower reflective electrode 4, the connection electrode 5, the second interlayer insulating film 6, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, An electron transport layer 9 and an electron injection layer 10 are formed. The formation method is the same as in Example 4.

次に、電子注入層10の上に、上部透明電極11を形成する。図15に示すように、上部透明電極11は、下部反射電極4とコンタクトホール12,40を覆うように配置されている。   Next, the upper transparent electrode 11 is formed on the electron injection layer 10. As shown in FIG. 15, the upper transparent electrode 11 is disposed so as to cover the lower reflective electrode 4 and the contact holes 12 and 40.

本実施例では、上部透明電極11は、金属基板2と電気的に接続している。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力を低減できる。また、配線抵抗による温度上昇を低減できるため、有機発光素子の寿命低下を抑制できる。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 is electrically connected to the metal substrate 2. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance can be reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance can be reduced, the lifetime reduction of an organic light emitting element can be suppressed.

また、本実施例では、上部透明電極11をストライプ状に形成しているため、上部透明電極11と下部反射電極4とが交差する画素部分を独立に発光することができる。これにより、本実施例の有機発光装置を周知の液晶表示装置の光源として用いた場合に、画素毎の発光が可能となり、消費電力の低電力化、コントラストの向上が可能になる。   Further, in this embodiment, since the upper transparent electrode 11 is formed in a stripe shape, the pixel portion where the upper transparent electrode 11 and the lower reflective electrode 4 intersect can emit light independently. Thus, when the organic light emitting device of this embodiment is used as a light source of a known liquid crystal display device, light emission can be performed for each pixel, and power consumption can be reduced and contrast can be improved.

実施例7に係る有機発光装置を説明する。図16は、実施例7に係る有機発光装置の断面図である。図17と図18は、図16に示す有機発光装置の平面図である。なお、前述した実施例と同一部分には同一符号を付し、その説明を一部省略する。本実施例は、金属基板2を発光光の反射性を有する反射電極(有機発光素子の下部反射電極)として使用することで層構成の簡素化を図る。また、上部透明電極11の補助配線をメッシュ状に形成することにより、配線抵抗の低抵抗化を図る。   An organic light emitting device according to Example 7 will be described. FIG. 16 is a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 7. 17 and 18 are plan views of the organic light emitting device shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as the Example mentioned above, and the description is partially abbreviate | omitted. In this embodiment, the layer configuration is simplified by using the metal substrate 2 as a reflective electrode (lower reflective electrode of the organic light emitting element) having reflectivity of emitted light. Further, by forming the auxiliary wiring of the upper transparent electrode 11 in a mesh shape, the wiring resistance is reduced.

絶縁膜1で被膜された金属基板2上に、第1の層間絶縁膜3を形成する。その上に、複数のドット状のコンタクトホール70を形成する。形成方法は、実施例2と同様である。   A first interlayer insulating film 3 is formed on the metal substrate 2 coated with the insulating film 1. A plurality of dot-like contact holes 70 are formed thereon. The formation method is the same as in Example 2.

次に、第1の層間絶縁膜3の上に、コンタクトホール70を囲むようにして補助配線21,71を配置する。また、本実施例では、補助配線21,71を同一材料で用いているが、別の材料で形成してもよい。その上に、第2の層間絶縁膜6,コンタクトホール12を設ける。形成方法は実施例2と同様である。   Next, auxiliary wirings 21 and 71 are arranged on the first interlayer insulating film 3 so as to surround the contact hole 70. In this embodiment, the auxiliary wirings 21 and 71 are made of the same material, but may be made of different materials. A second interlayer insulating film 6 and a contact hole 12 are provided thereon. The formation method is the same as in Example 2.

次に、正孔輸送層7,白色発光層8,電子輸送層9,電子注入層10,上部透明電極11を形成する。形成方法は実施例2と同様である。   Next, the hole transport layer 7, the white light emitting layer 8, the electron transport layer 9, the electron injection layer 10, and the upper transparent electrode 11 are formed. The formation method is the same as in Example 2.

次に、OLED基板13と封止基板14とを封止する。封止方法は、実施例2と同様である。   Next, the OLED substrate 13 and the sealing substrate 14 are sealed. The sealing method is the same as in Example 2.

本実施例では、上部透明電極11と補助配線21,71とが電気的に接続している。補助配線21,71はメッシュ状に形成されているため、配線抵抗を低抵抗化できる。そのため、上部透明電極11による配線抵抗が低くなり、配線抵抗による消費電力を低減できる。また、配線抵抗による温度上昇を低減できるため、有機発光素子の寿命低下を抑制できる。   In the present embodiment, the upper transparent electrode 11 and the auxiliary wirings 21 and 71 are electrically connected. Since the auxiliary wirings 21 and 71 are formed in a mesh shape, the wiring resistance can be reduced. Therefore, the wiring resistance due to the upper transparent electrode 11 is reduced, and the power consumption due to the wiring resistance can be reduced. Moreover, since the temperature rise by wiring resistance can be reduced, the lifetime reduction of an organic light emitting element can be suppressed.

また、本実施例では、金属基板2を発光光の反射性を有する反射電極として用いるため、層構成が簡素化され、製造プロセスの低減,低コスト化が可能となる。   Further, in this embodiment, since the metal substrate 2 is used as a reflective electrode having reflectivity of emitted light, the layer configuration is simplified, and the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced.

本発明の実施例1に係る有機発光装置の断面図を示す図。The figure which shows sectional drawing of the organic light-emitting device which concerns on Example 1 of this invention. 図1に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例2に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 5 is a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 2. 図3に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例3に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 3. 図5に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例4に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 4. 図7に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 図7に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例5に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to Example 5. 図10に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 図10に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例6に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 10 is a cross-sectional view of an organic light emitting device according to Example 6. 図13に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 図13に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 実施例7に係る有機発光装置の断面図を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a cross-sectional view of an organic light-emitting device according to Example 7. 図16に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG. 図16に示す有機発光装置の平面図を示す図。The figure which shows the top view of the organic light-emitting device shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 絶縁膜
2 金属基板
3 第1の層間絶縁膜
4 下部反射電極
5 接続電極
6 第2の層間絶縁膜
7 正孔輸送層
8 白色発光層
9 電子輸送層
10 電子注入層
11 上部透明電極
12,20,40,50,70 コンタクトホール
13 OLED基板
14 封止基板
21,32,41,51,71 補助配線
31 複合基板
42 第3の層間絶縁膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating film 2 Metal substrate 3 1st interlayer insulating film 4 Lower reflective electrode 5 Connection electrode 6 2nd interlayer insulating film 7 Hole transport layer 8 White light emitting layer 9 Electron transport layer 10 Electron injection layer 11 Upper transparent electrode 12, 20, 40, 50, 70 Contact hole 13 OLED substrate 14 Sealing substrate 21, 32, 41, 51, 71 Auxiliary wiring 31 Composite substrate 42 Third interlayer insulating film

Claims (9)

下部反射電極、有機層及び上部透明電極を有する有機発光素子を導電性基板上に配置した有機発光装置において、
前記上部透明電極が、前記下部反射電極の周囲に配置されたコンタクトホールを介して前記導電性基板に接続されていることを特徴とする有機発光装置。
In an organic light emitting device in which an organic light emitting element having a lower reflective electrode, an organic layer, and an upper transparent electrode is disposed on a conductive substrate,
The organic light-emitting device, wherein the upper transparent electrode is connected to the conductive substrate through a contact hole disposed around the lower reflective electrode.
前記上部透明電極が、前記下部反射電極と同様の材料で形成された接続電極を介して、前記導電性基板に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の有機発光装置。   The organic light-emitting device according to claim 1, wherein the upper transparent electrode is connected to the conductive substrate via a connection electrode formed of the same material as the lower reflective electrode. 前記下部反射電極に接続する補助配線を有することを特徴とする請求項1に記載の有機発光装置。   The organic light emitting device according to claim 1, further comprising an auxiliary wiring connected to the lower reflective electrode. 前記下部反射電極の形状が、ドット状であることを特徴とする請求項3に記載の有機発光装置。   The organic light-emitting device according to claim 3, wherein the lower reflective electrode has a dot shape. 前記ドット状の下部反射電極の四方に配置された複数のコンタクトホールを介して、前記上部透明電極と前記導電性基板とが接続されていることを特徴とする請求項4に記載の有機発光装置。   The organic light-emitting device according to claim 4, wherein the upper transparent electrode and the conductive substrate are connected through a plurality of contact holes arranged on four sides of the dot-like lower reflective electrode. . 前記上部透明電極の形状が、ストライプ状であることを特徴とする請求項2に記載の有機発光装置。   The organic light-emitting device according to claim 2, wherein the upper transparent electrode has a stripe shape. 有機層及び上部透明電極を有する有機発光素子を導電性基板上に配置した有機発光装置において、
前記導電性基板が、発光光の反射性を有する反射電極として機能することを特徴とする有機発光装置。
In an organic light emitting device in which an organic light emitting element having an organic layer and an upper transparent electrode is disposed on a conductive substrate,
The organic light-emitting device, wherein the conductive substrate functions as a reflective electrode having reflectivity of emitted light.
さらに、前記上部透明電極と接続する補助配線を有することを特徴とする請求項7に記載の有機発光装置。   The organic light emitting device according to claim 7, further comprising an auxiliary wiring connected to the upper transparent electrode. 前記補助配線の形状が、メッシュ状であることを特徴とする請求項8に記載の有機発光装置。   The organic light-emitting device according to claim 8, wherein the auxiliary wiring has a mesh shape.
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