JP2009297918A - Liquid discharge head - Google Patents

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佳人 福田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid discharge head which can maintain the excellent state of a foaming liquid and assure the desired discharge by preventing the foaming liquid from staying near a heater while preventing the foaming liquid whose temperature has been raised on heating from entering and exiting a foaming chamber repeatedly. <P>SOLUTION: The indraft of the foaming liquid to the foaming chamber and effluence therefrom is regulated by installing valve members in the upstream connection used as the foaming solution inlet port to the foaming chamber and in the downstream connection used as the foaming solution outlet port therefrom. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、熱エネルギ等による気泡の発生に伴ってインクを吐出して記録を行う液体吐出ヘッドに関し、更に詳しくは、気泡の発生を利用して変位する可動分離膜を備えた液体吐出ヘッドに関するものである。   The present invention relates to a liquid ejection head that performs recording by ejecting ink in association with the generation of bubbles due to thermal energy or the like, and more particularly to a liquid ejection head that includes a movable separation film that is displaced using the generation of bubbles. Is.

微細なインク等の液滴を液体吐出ヘッド(以下、記録ヘッドともいう)から吐出して記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録方式の記録装置は、ランニングコストが低く、記録時の静粛性に優れているため広く用いられている。また、このインクジェット記録方式の記録装置は、複数色のインクを用いることによって比較的容易にカラーでの記録を行えるというメリットもある。また、インクジェット記録方式において、液滴を吐出するための圧力発生素子としてヒータを用いた、いわゆるバブルジェット(登録商標)記録方法は、ヒータを高密度に配列するのが比較的容易で、そのため高解像度の記録を行うのに有利な方式である。   An ink jet recording apparatus that performs recording by ejecting fine liquid droplets such as ink from a liquid ejection head (hereinafter also referred to as a recording head) and adhering to a recording medium has low running cost and quietness during recording. It is widely used because of its excellent resistance. Further, this ink jet recording type recording apparatus has an advantage that it is possible to perform color recording relatively easily by using a plurality of colors of ink. In the ink jet recording method, a so-called bubble jet (registered trademark) recording method using a heater as a pressure generating element for ejecting droplets is relatively easy to arrange the heaters at a high density. This is an advantageous system for recording resolution.

その一方で、従来のバブルジェット(登録商標)記録方法においては、ヒータがインクに接した状態で加熱を繰り返すため、ヒータの表面にインクの焦げによる堆積物が発生するおそれがあった。この場合、堆積物の量が多くなると、吐出時にインクに充分な熱を供給することができなくなり良好な吐出が行われないおそれがあった。また、吐出すべき液体(インク等)が熱によって劣化しやすい液体の場合や、十分に発泡が得られにくい液体の場合においては、ヒータによる直接加熱によって気泡を形成する方法では、良好な吐出が行われないおそれもあった。   On the other hand, in the conventional bubble jet (registered trademark) recording method, since heating is repeated while the heater is in contact with ink, deposits due to scorching of ink may occur on the surface of the heater. In this case, when the amount of deposits increases, there is a possibility that sufficient heat cannot be supplied to the ink at the time of ejection, and good ejection cannot be performed. In addition, when the liquid to be ejected (such as ink) is a liquid that easily deteriorates due to heat, or when it is difficult to obtain sufficient foaming, the method of forming bubbles by direct heating with a heater can provide good ejection. There was also a risk of not being done.

このような問題に対して、特許文献1のように、発泡液と吐出液とを分離する可動分離膜を介して、発泡液を熱エネルギによって発泡させて可動分離膜を変形させ、吐出液を吐出する方法が提案されている。この方法における可動分離膜と発泡液との構成は、可動分離膜がノズルの一部に設けられているものである。それに対して、記録ヘッド全体を上下に分離する大きな膜を用いる構成が特許文献2に開示されている。この大きな可動分離膜は、液路を形成する2つの板材によって挟持されることによって、2つの液路内の液体が互いに混合されないことを目的として設けられたものである。   For such a problem, as disclosed in Patent Document 1, the movable separation film is deformed by foaming the foamed liquid with thermal energy through the movable separation film that separates the foamed liquid and the discharged liquid. A method of discharging has been proposed. The structure of the movable separation membrane and the foaming liquid in this method is such that the movable separation membrane is provided in a part of the nozzle. On the other hand, Patent Document 2 discloses a configuration using a large film that vertically separates the entire recording head. This large movable separation membrane is provided for the purpose of preventing the liquids in the two liquid paths from being mixed with each other by being sandwiched between the two plate members that form the liquid paths.

また、特許文献3のように、可動分離膜の変形を効率よく吐出液の吐出に利用するために、可動分離膜の形状や可動域を規制するものもある。   In addition, as disclosed in Patent Document 3, in order to efficiently use the deformation of the movable separation membrane for the discharge of the discharge liquid, there is one that regulates the shape and the movable range of the movable separation membrane.

特開昭55−81172号公報JP-A-55-81172 特開昭59−26270号公報JP 59-26270 A 特開2000−00973号公報JP 2000-00973 A

従来の吐出液(インク等)しか用いないインクジェット記録ヘッドにおいては、液滴が熱量を持って記録媒体へ吐出されるため、吐出することが記録ヘッド外への排熱作用としても機能していた。しかしながら、分離膜を用いた液体吐出方式においては、加熱を受けた発泡液が記録ヘッド内部の流路を循環する。このように、積極的な排熱作用がないため、連続吐出時において、発泡液および記録ヘッドの温度の上昇が問題となることがある。   In an ink jet recording head that uses only a conventional discharge liquid (such as ink), since the droplets are discharged onto the recording medium with a large amount of heat, discharging also functions as a heat exhausting action outside the recording head. . However, in the liquid discharge method using the separation membrane, the heated foaming liquid circulates in the flow path inside the recording head. As described above, since there is no positive heat exhausting action, a rise in the temperature of the foaming liquid and the recording head may be a problem during continuous ejection.

図7は、可動分離膜800(図8参照)を変形させ、吐出液を吐出する従来の記録ヘッドの発泡室700を示した図である。図7ように、従来の記録ヘッドにおける発泡室700では、発泡室700と供給口709とを連結する上流側連結部701と、発泡室700と排出口710とを連結する下流側連結部702とは、対称な形状になっていた。   FIG. 7 is a view showing a foaming chamber 700 of a conventional recording head that deforms the movable separation membrane 800 (see FIG. 8) and discharges the discharge liquid. As shown in FIG. 7, in the foaming chamber 700 in the conventional recording head, an upstream connecting portion 701 that connects the foaming chamber 700 and the supply port 709, and a downstream connecting portion 702 that connects the foaming chamber 700 and the discharge port 710. Had a symmetrical shape.

図8(a)は、発泡時の発泡室700を側面から見た断面図であり、図8(b)は、消泡時の発泡室700を側面から見た断面図である。   FIG. 8A is a cross-sectional view of the foaming chamber 700 during foaming as viewed from the side, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the foaming chamber 700 during defoaming as viewed from the side.

このように単に連結部を対象に設けただけでは、連結部で、流入抵抗と流出抵抗とに差が無く上流部と下流部どちらも同じ形状であるため、図8(a)のように発泡時に発泡室700から流出する発泡液の量は上流部と下流部で等しくなる。また、同様に、図8(b)のように消泡時に発泡室に流入する発泡液の量も上流側と下流側で等しくなる。発泡液室700の近傍には発泡液の供給口709と排出口710が設けられているが、流れがヒータ708を中心として対称となるため、供給口709から発泡室700を経て排出口710へと向かう一方向の流れが生じない。そのため発泡室700の周辺の発泡液が発泡室700に流入、流出を繰り返し、何度も加熱を受けていた。   By simply providing the connection part as described above, there is no difference between the inflow resistance and the outflow resistance in the connection part, and both the upstream part and the downstream part have the same shape. Therefore, foaming is performed as shown in FIG. Sometimes the amount of foaming liquid flowing out of the foaming chamber 700 is equal in the upstream and downstream parts. Similarly, as shown in FIG. 8B, the amount of the foaming liquid flowing into the foaming chamber at the time of defoaming is also equal on the upstream side and the downstream side. A foaming liquid supply port 709 and a discharge port 710 are provided in the vicinity of the foaming liquid chamber 700, but the flow is symmetric with respect to the heater 708, so the supply port 709 passes through the foaming chamber 700 to the discharge port 710. There is no one-way flow toward Therefore, the foaming liquid around the foaming chamber 700 repeatedly flows into and out of the foaming chamber 700 and is repeatedly heated.

このように、ヒータ近傍の発泡液が滞留したり、温度上昇した発泡液が発泡室に繰り返し出入りすることによって、何度も加熱を受けて過剰に昇温してしまうと、正常な発泡が阻害されたり、発泡液が変質するおそれがある。しかし、これまで提案された分離膜を用いた吐出方法において、この問題に言及しているものは無かった。   As described above, if the foaming liquid near the heater stays or the foaming liquid whose temperature has risen repeatedly enters and exits the foaming chamber, if it is heated excessively and excessively heated, normal foaming is hindered. Or the foaming liquid may be altered. However, none of the ejection methods using the separation membrane proposed so far mentions this problem.

よって本発明は、発泡液がヒータ近傍で滞留したり、加熱されて温度が上昇した状態の発泡液が発泡室に繰り返し出入りすることを防止することで、発泡液の良好な状態を維持し、所望の吐出を得る事ができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention maintains the good state of the foaming liquid by preventing the foaming liquid from staying in the vicinity of the heater or preventing the foaming liquid in a heated state from repeatedly entering and exiting the foaming chamber, An object of the present invention is to provide a liquid discharge head capable of obtaining a desired discharge.

そのため本発明の液体吐出ヘッドは、第1の液体を吐出する吐出口と、前記吐出口と連通する第1の流路と、該第1に流路と分離された第2の流路と、を備え、前記第2の流路には、前記第2の液体が流入する流入部と前記第2の液体が流出する流出部とを備えた発泡室が設けられ、該発泡室における前記第2の液体の発泡作用によって、前記第1の流路に流れている前記第1の液体が前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドにおいて、前記流入部と前記流出部の少なくとも一方には弁部材が設けられていることを特徴とする。   Therefore, the liquid discharge head of the present invention includes a discharge port that discharges the first liquid, a first flow channel that communicates with the discharge port, a second flow channel that is separated from the first flow channel, The second flow path is provided with a foaming chamber having an inflow portion into which the second liquid flows in and an outflow portion from which the second liquid flows out, and the second flow path in the foaming chamber is provided with the second flow channel. In the liquid discharge head in which the first liquid flowing in the first flow path is discharged from the discharge port by the foaming action of the liquid, a valve member is provided in at least one of the inflow portion and the outflow portion. It is characterized by being.

本発明によれば、液体吐出時に発泡液が発泡する発泡室の流入部と流出部の少なくとも一方に弁部材を設ける。これによって、発泡液がヒータ近傍で滞留したり、加熱されて温度が上昇した状態の発泡液が発泡室に繰り返し出入りすることを防止することができ、発泡液の良好な状態を維持し、所望の吐出を得る事ができる液体吐出ヘッドを実現することができた。   According to the present invention, the valve member is provided in at least one of the inflow portion and the outflow portion of the foaming chamber in which the foaming liquid is foamed when the liquid is discharged. As a result, it is possible to prevent the foaming liquid from staying in the vicinity of the heater or preventing the foaming liquid in a heated state from repeatedly entering and exiting the foaming chamber. It was possible to realize a liquid discharge head capable of obtaining the above discharge.

(第1の実施形態)
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、本実施形態の液体吐出ヘッド1000を分解して示した分解斜視図である。気泡発生素子(以下、ヒータともいう)、ノズル、吐出口を備えた吐出エレメント101と電気配線基板102がセラミックプレート100の上に配置された構成になっている。吐出エレメント101内の共通液室は流路形成部材110の内部に設けられた流路に接続され、さらに、流路形成部材110のインク供給口と不図示のインクタンクが接続されており、このインクタンクから吐出エレメント101にインクが供給される。   FIG. 1 is an exploded perspective view showing the liquid discharge head 1000 of the present embodiment in an exploded manner. A discharge element 101 including a bubble generating element (hereinafter also referred to as a heater), a nozzle, and a discharge port and an electric wiring substrate 102 are arranged on a ceramic plate 100. The common liquid chamber in the discharge element 101 is connected to a flow path provided inside the flow path forming member 110, and an ink supply port of the flow path forming member 110 and an ink tank (not shown) are connected. Ink is supplied from the ink tank to the ejection element 101.

図2(a)は、本実施形態における液体吐出ヘッド吐出チップ200を示した上面概略図であり、図2(b)は、(a)のA−A’における断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッド1000(図1参照)は、発泡液と吐出液とを分離する可動分離膜を有し、発泡液の発泡に伴う可動分離膜の変位を利用して吐出液を吐出する。   FIG. 2A is a schematic top view showing the liquid discharge head discharge chip 200 in this embodiment, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line A-A ′ in FIG. The liquid discharge head 1000 (see FIG. 1) of the present embodiment has a movable separation film that separates the foaming liquid and the discharge liquid, and discharges the discharge liquid by using the displacement of the movable separation film accompanying the foaming of the foaming liquid. To do.

吐出チップ200は、ノズルプレート201、第一流路壁202、可動分離膜203、第二流路壁204、ヒーターボード205から構成される。ノズルプレート201、第一流路壁202、可動分離膜203で囲まれ、吐出口と連通した第一流路206には、記録媒体に付着させて記録を行うための記録液(第1液体)が充填されている。ヒーターボード205、第二流路壁204、可動分離膜203で囲まれた第二流路207には、ヒータ208の加熱によって発泡させる発泡液(第2液体)が充填されている。発泡液は、ヒーターボード205を貫通して設けられた供給口209と排出口210を通って循環される。   The discharge chip 200 includes a nozzle plate 201, a first flow path wall 202, a movable separation film 203, a second flow path wall 204, and a heater board 205. A first flow path 206 that is surrounded by the nozzle plate 201, the first flow path wall 202, and the movable separation film 203 and communicates with the ejection port is filled with a recording liquid (first liquid) that adheres to the recording medium and performs recording. Has been. The second flow path 207 surrounded by the heater board 205, the second flow path wall 204, and the movable separation membrane 203 is filled with a foaming liquid (second liquid) that is foamed by heating of the heater 208. The foaming liquid is circulated through a supply port 209 and a discharge port 210 provided through the heater board 205.

図3(a)から(f)は、本実施形態の液体吐出ヘッド1000の吐出原理を示す概略図である。図3(a)において、第一流路には吐出液が、第二流路内には発泡液が満たされている。この状態でヒータ208にエネルギを印加すると、ヒータ208が急激に加熱され、ヒータ208に接している発泡液には膜沸騰による気泡300が発生する(図2(b))。この気泡300の発生に伴う圧力は、圧力波となって第二流路207内の発泡液を伝播し、可動分離膜203に作用してこれを変位させる。可動分離膜203の変位に伴って第一流路206内の吐出液が移動し(図2(c))、吐出口303から吐出が開始される。初期の高圧力により気泡300が急速に成長すると、可動分離膜203は更に変形して第一流路206内の吐出液を押し出して液柱301を形成する(図2(d))。その後気泡300が収縮過程に入ると、可動分離膜203は逆方向へ変位を開始し(図2(e))、やがて初期の位置に復帰する。この時、吐出液は第一流路206内に引き込まれる方向に移動するため、液柱301は千切れて、主滴302とサテライト304を形成し(図2(f))、これら主滴302とサテライト304は不図示の記録媒体へ向かって飛翔する。   FIGS. 3A to 3F are schematic views showing the ejection principle of the liquid ejection head 1000 of this embodiment. In FIG. 3A, the first flow path is filled with the discharge liquid, and the second flow path is filled with the foaming liquid. When energy is applied to the heater 208 in this state, the heater 208 is rapidly heated, and bubbles 300 due to film boiling are generated in the foaming liquid in contact with the heater 208 (FIG. 2B). The pressure accompanying the generation of the bubbles 300 becomes a pressure wave, propagates the foaming liquid in the second flow path 207, and acts on the movable separation membrane 203 to displace it. With the displacement of the movable separation membrane 203, the discharge liquid in the first flow path 206 moves (FIG. 2C), and discharge starts from the discharge port 303. When the bubble 300 grows rapidly due to the initial high pressure, the movable separation membrane 203 is further deformed to push out the discharge liquid in the first flow path 206 to form the liquid column 301 (FIG. 2D). Thereafter, when the bubble 300 enters the contraction process, the movable separation membrane 203 starts to be displaced in the reverse direction (FIG. 2E), and eventually returns to the initial position. At this time, since the discharge liquid moves in the direction of being drawn into the first flow path 206, the liquid column 301 is cut off to form the main droplet 302 and the satellite 304 (FIG. 2 (f)). The satellite 304 flies toward a recording medium (not shown).

図4は、本実施形態の液体吐出ヘッド1000における第二流路207の一部の発泡室を表わした図である。本実施形態では、上流側連結部401に、発泡室400への流入時は抵抗が少なく流出時には抵抗が大きくなる弁部材403を、下流側連結部402に、発泡室400への流入時は抵抗が大きく流出時には抵抗が小さくなる弁部材403をそれぞれ設けた。   FIG. 4 is a diagram illustrating a part of the foaming chamber of the second flow path 207 in the liquid discharge head 1000 according to the present embodiment. In the present embodiment, the upstream connecting portion 401 is provided with a valve member 403 that has a small resistance when flowing into the foaming chamber 400 and has a large resistance when flowing out, while the downstream connecting portion 402 has a resistance when flowing into the foaming chamber 400. Each of the valve members 403 has a large resistance and a low resistance when it flows out.

図5(a)は、発泡時の発泡室400を側面から見た断面図であり、図5(b)は、消泡時の発泡室400を側面から見た断面図である。これらの弁部材403は、エレクトロフォーミングなどで形成した金属箔によって形成されており、2つの弁部材403の自由端の向きを一致させてある。上流側連結部401においては、消泡時に発泡室400へ入る方向の流路抵抗より、発泡時に発泡室400から出る方向の流路抵抗が大きくなるように弁部材403を配置してある。また、下流側連結部402においては、発泡時に発泡室400から出る方向の流路抵抗より、消泡時に発泡室400へ入る方向の流路抵抗が大きくなるように弁部材403を配置してある。上流側と下流側それぞれで流入量と流出量に差があるため、全体の流れとしては供給口209から排出口210へと向かう流れが生じる。これにより、消泡時に発泡液が供給口209から発泡室400に入り、発泡作用によって押し出され、排出口210から出るという発泡液の循環が生じる。   Fig.5 (a) is sectional drawing which looked at the foaming chamber 400 at the time of foaming from the side surface, and FIG.5 (b) is sectional drawing which looked at the foaming chamber 400 at the time of defoaming from the side surface. These valve members 403 are formed of a metal foil formed by electroforming or the like, and the directions of the free ends of the two valve members 403 are matched. In the upstream connecting portion 401, the valve member 403 is arranged so that the flow path resistance in the direction of exiting the foaming chamber 400 during foaming is greater than the flow path resistance in the direction of entering the foaming chamber 400 during defoaming. Further, in the downstream connecting portion 402, the valve member 403 is disposed so that the flow path resistance in the direction of entering the foaming chamber 400 during defoaming is larger than the flow path resistance in the direction of exiting the foaming chamber 400 during foaming. . Since there is a difference between the inflow amount and the outflow amount on the upstream side and the downstream side, a flow from the supply port 209 to the discharge port 210 is generated as a whole flow. As a result, the foaming liquid circulates such that the foaming liquid enters the foaming chamber 400 from the supply port 209, is pushed out by the foaming action, and exits from the discharge port 210 during defoaming.

なお、弁部材403はSiNを蒸着して形成するほか、Niなどをエレクトロフォーミングにより別部材として形成したものを実装することにより形成可能である。   The valve member 403 can be formed by vapor deposition of SiN, or by mounting a member formed of Ni or the like as a separate member by electroforming.

このように、発泡室への発泡液の入口となる上流側連結部と発泡液の出口となる下流側連結部に、弁部材を設けて発泡室への発泡液の流入と流出とを規制する。これによって、供給口から排出口への発泡液の循環を生じさせることで、発泡液がヒータ近傍で滞留したり、加熱されて温度が上昇した状態の発泡液が発泡室に繰り返し出入りすることを防止することができた。そして、発泡液の良好な状態を維持し、所望の吐出を得る事ができる液体吐出ヘッドを実現することができた。   In this way, a valve member is provided at the upstream connecting portion serving as the inlet of the foaming liquid to the foaming chamber and the downstream connecting portion serving as the outlet of the foaming liquid to restrict the inflow and outflow of the foaming liquid into the foaming chamber. . In this way, by causing the foaming liquid to circulate from the supply port to the discharge port, the foaming liquid stays in the vicinity of the heater, or the foaming liquid in a state where the temperature rises due to heating is repeatedly entered and exited into the foaming chamber. Could be prevented. And the liquid discharge head which can maintain the favorable state of a foaming liquid and can obtain desired discharge was realizable.

(第2の実施形態)
以下、図を参照して本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態の基本的な構成は第1の実施形態と同様であるために、説明を省略し、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Since the basic configuration of the present embodiment is the same as that of the first embodiment, description thereof will be omitted, and only the characteristic configuration will be described below.

本実施形態では弁部材を感光性樹脂の薄膜によって形成した。本実施形態の弁部材はテンティング法によって製作することができる。テンティング法はプリント基板を製作する際に用いられる一般的な方法であり、プリント基板を製作する場合には、基板に開けられた穴を覆うようにフィルム状に加工された感光性樹脂を貼ってパターニングを行う。本実施形態においてはこのテンティング法を応用して弁部材を形成する。本実施形態においてはこのテンティング法を応用して、連結部内に弁部材を形成した。   In this embodiment, the valve member is formed of a thin film of photosensitive resin. The valve member of this embodiment can be manufactured by a tenting method. The tenting method is a general method used when manufacturing a printed circuit board. When manufacturing a printed circuit board, a photosensitive resin that has been processed into a film is attached so as to cover the hole formed in the circuit board. Patterning. In this embodiment, the valve member is formed by applying this tenting method. In this embodiment, this tenting method is applied to form a valve member in the connecting portion.

図6(a)、(b)は、テンティング法による弁部材604の制作方法を説明するための図である。図6(a)のように、台座601と台座602との間を直線的に覆うようにフィルム状感光性樹脂603を張る。その後、図6(b)のように露光・現像を行うことにより、台座601の表面から自由端が直線的に伸びる弁部材604を形成することができる。通常、感光性樹脂は現像後にキュアを行って硬化させる。ただし、後の工程においてキュアに相当する熱を加える工程がある場合には、必ずしも現像後のキュアは必要ではない。   FIGS. 6A and 6B are views for explaining a production method of the valve member 604 by the tenting method. As shown in FIG. 6A, the film-like photosensitive resin 603 is stretched so as to linearly cover the space between the base 601 and the base 602. Thereafter, by performing exposure and development as shown in FIG. 6B, the valve member 604 whose free end extends linearly from the surface of the base 601 can be formed. Usually, the photosensitive resin is cured and cured after development. However, when there is a step of applying heat corresponding to curing in the subsequent step, curing after development is not necessarily required.

本実施形態のような弁部材の形成方法は、フォトリソグラフィ技術を用いて弁部材の形成位置にて感光性樹脂を所望の形状に硬化させるので、位置精度良く流路内に設置することが出来る。また、この方法で弁部材を形成する場合は弁部材の製法や弁部材設置時のアライメント精度に起因する形状の制約を受けないため、高い自由度をもって弁部材を設計することが可能になる。   In the method for forming the valve member as in the present embodiment, the photosensitive resin is cured to a desired shape at the position where the valve member is formed using photolithography technology, so that it can be installed in the flow path with high positional accuracy. . Further, when the valve member is formed by this method, the valve member can be designed with a high degree of freedom because there is no restriction on the shape due to the manufacturing method of the valve member or the alignment accuracy when the valve member is installed.

このように、感光性樹脂の薄膜によって形成した弁部材を用いることでも、供給口から排出口への発泡液の循環を生じさせることで、発泡液がヒータ近傍で滞留したり、加熱されて温度が上昇した状態の発泡液が発泡室に繰り返し出入りすることを防止できた。そして、発泡液の良好な状態を維持し、所望の吐出を得る事ができる液体吐出ヘッドを実現することができた。   Thus, even when using a valve member formed of a thin film of a photosensitive resin, the foaming liquid stays in the vicinity of the heater or is heated to generate a temperature by causing the foaming liquid to circulate from the supply port to the discharge port. It was possible to prevent the foaming liquid in a state of rising from repeatedly entering and exiting the foaming chamber. And the liquid discharge head which can maintain the favorable state of a foaming liquid and can obtain desired discharge was realizable.

なお、上記各実施形態において、弁部材は上流側連結部と下流側連結部の両方に設けたが、どちらか一方だけに設けても目的とする効果を得ることはできる。   In each of the above embodiments, the valve member is provided in both the upstream side connecting portion and the downstream side connecting portion. However, the target effect can be obtained even if provided in only one of them.

本実施形態の液体吐出ヘッドを分解して示した分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the liquid ejection head of the present embodiment in an exploded manner. (a)は、本実施形態における液体吐出ヘッド吐出チップを示した上面概略図であり、(b)は、(a)のA−A’における断面図である。FIG. 5A is a schematic top view illustrating a liquid discharge head discharge chip according to the present embodiment, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line A-A ′ in FIG. (a)から(f)は、本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出原理を示す概略図である。(A) to (f) are schematic views showing the ejection principle of the liquid ejection head of the present embodiment. 本実施形態の液体吐出ヘッドにおける第二流路の一部の発泡室を表わした図である。It is a figure showing the foaming chamber of a part of 2nd flow path in the liquid discharge head of this embodiment. (a)は、発泡時の発泡室を側面から見た断面図であり、(b)は、消泡時の発泡室を側面から見た断面図である。(A) is sectional drawing which looked at the foaming chamber at the time of foaming from the side surface, (b) is sectional drawing which looked at the foaming chamber at the time of defoaming from the side surface. (a)、(b)は、テンティング法による弁部材の制作方法を説明するための図である。(A), (b) is a figure for demonstrating the production method of the valve member by a tenting method. 可動分離膜を変形させ、吐出液を吐出する従来の記録ヘッドの発泡室を示した図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a foaming chamber of a conventional recording head that deforms a movable separation film and discharges a discharge liquid. (a)は、発泡時の発泡室を側面から見た断面図であり、(b)は、消泡時の発泡室を側面から見た断面図である。(A) is sectional drawing which looked at the foaming chamber at the time of foaming from the side surface, (b) is sectional drawing which looked at the foaming chamber at the time of defoaming from the side surface.

符号の説明Explanation of symbols

200 吐出チップ
201 ノズルプレート
202 第一流路壁
203 可動分離膜
204 第二流路壁
205 ヒーターボード
206 第一流路
207 第二流路
209 供給口
210 排出口
300 気泡
400 発泡室
401 上流側連結部
402 下流側連結部
403 弁部材
604 弁部材
1000 液体吐出ヘッド
200 Discharge tip 201 Nozzle plate 202 First flow path wall 203 Movable separation membrane 204 Second flow path wall 205 Heater board 206 First flow path 207 Second flow path 209 Supply port 210 Discharge port 300 Bubble 400 Foaming chamber 401 Upstream connecting portion 402 Downstream side connecting portion 403 Valve member 604 Valve member 1000 Liquid discharge head

Claims (6)

第1液体を吐出する吐出口と、前記吐出口と連通する第一流路と、該第一流路と分離された第二流路と、を備え、
前記第二流路には、前記第2液体が流入する流入部と前記第2液体が流出する流出部とを備えた発泡室が設けられ、
該発泡室における前記第2液体の発泡作用によって、前記第一流路に流れている前記第1液体が前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流入部と前記流出部の少なくとも一方には弁部材が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A discharge port for discharging the first liquid, a first flow path communicating with the discharge port, and a second flow path separated from the first flow path,
The second flow path is provided with a foaming chamber having an inflow portion into which the second liquid flows and an outflow portion from which the second liquid flows out,
In the liquid ejection head in which the first liquid flowing in the first flow path is ejected from the ejection port by the foaming action of the second liquid in the foaming chamber.
A liquid discharge head, wherein a valve member is provided in at least one of the inflow portion and the outflow portion.
前記流入部と前記流出部とのそれぞれに弁部材が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein a valve member is provided in each of the inflow portion and the outflow portion. 前記流入部に設けられた弁部材によって前記発泡室からの前記第2液体の流出を防ぎ、前記流出部に設けられた弁部材によって前記発泡室への前記第2液体の流入を防ぐことを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。   The valve member provided at the inflow portion prevents the second liquid from flowing out of the foaming chamber, and the valve member provided at the outflow portion prevents the second liquid from flowing into the foaming chamber. The liquid discharge head according to claim 2. 前記弁部材は金属箔であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the valve member is a metal foil. 前記弁部材は蒸着によって形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 1, wherein the valve member is formed by vapor deposition. 前記弁部材は感光性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   4. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the valve member is made of a photosensitive resin.
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