JP2009262546A - Method and apparatus for manufacturing fine pattern-transfer sheet - Google Patents

Method and apparatus for manufacturing fine pattern-transfer sheet Download PDF

Info

Publication number
JP2009262546A
JP2009262546A JP2009071386A JP2009071386A JP2009262546A JP 2009262546 A JP2009262546 A JP 2009262546A JP 2009071386 A JP2009071386 A JP 2009071386A JP 2009071386 A JP2009071386 A JP 2009071386A JP 2009262546 A JP2009262546 A JP 2009262546A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprint mold
shaping
transfer sheet
fine
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009071386A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5347617B2 (en
Inventor
Kiyoshi Minoura
潔 箕浦
Hiromaro Hirai
裕磨 平井
Fumiyasu Nomura
文保 野村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2009071386A priority Critical patent/JP5347617B2/en
Publication of JP2009262546A publication Critical patent/JP2009262546A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5347617B2 publication Critical patent/JP5347617B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for efficiently manufacturing a sheet on the surface of which a desired fine rugged pattern is formed without causing poor transfers by expelling the air trapped between an imprint mold and a base sheet from the surface to be imprinted during imprinting, even when the pattern is imprinted on both sides of the base sheet having a large area and an apparatus for the method. <P>SOLUTION: The manufacturing method for a fine pattern-transfer sheet comprises imprinting a fine rugged pattern on both sides of the base sheet 5. A first imprint mold 4 has cushion property. The imprint is conducted in a way that when the pressing force of press plate 3 reaches the maximum, difference in the imprinting pressure is produced in each of the imprinting surface of the first imprint mold and the second imprint mold so as to create maximal pressured areas in the imprinting surfaces and to eliminate the areas where the pressure is minimal in the imprinting surfaces. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、微細形状が転写されて両面に該微細な立体形状を有するシートの製造方法、装置に関する。   The present invention relates to a method and an apparatus for producing a sheet having a fine three-dimensional shape on both sides thereof having a fine shape transferred thereto.

樹脂シートなどの両面に微細な凹凸などの立体形状を成形する方法として、ジュール熱により２つの加熱板を加熱し、それぞれの加熱板と基材の間にそれぞれインプリントモールドを配設し、これらを一対の加圧板で押圧することにより、凹凸立体形状を該基材に転写させる方法が知られている（特許文献１）。しかし、この装置では、加熱板やインプリントモールド、基材を完全に均一な厚みで製作することは非常に困難であり、厚みムラが存在すると考えられ、これに起因する成型圧力ムラにより、均一な成型品を得られない問題があった。   As a method of forming a three-dimensional shape such as fine irregularities on both sides of a resin sheet, etc., two heating plates are heated by Joule heat, and an imprint mold is disposed between each heating plate and a substrate. A method is known in which a three-dimensional shape of protrusions and recesses is transferred to the base material by pressing with a pair of pressure plates (Patent Document 1). However, with this device, it is very difficult to produce a heating plate, imprint mold, and base material with a completely uniform thickness, and it is considered that there is a thickness unevenness. There was a problem that a simple molded product could not be obtained.

この成形圧力ムラへの対策として、加熱板とインプリントモールド間に弾性体を設置し、厚みムラを吸収させる方法が知られている（特許文献２）。しかしこの方法では弾性体を介してインプリントモールドを加熱するため、加熱に時間を要し、生産性が悪化する問題があった。   As a countermeasure against this molding pressure unevenness, a method is known in which an elastic body is installed between a heating plate and an imprint mold to absorb thickness unevenness (Patent Document 2). However, in this method, since the imprint mold is heated via the elastic body, the heating takes time, and there is a problem that productivity is deteriorated.

また、特許文献１、特許文献２の双方において、エア噛み不良を防止するため、転写成形を減圧室とし、減圧したのち成形を開始する工夫がなされている。しかし、減圧工程に時間を要し、特に基材が大面積になると、減圧室容積も大きくなり、著しく生産性が悪化するという問題があった。   Further, in both Patent Document 1 and Patent Document 2, in order to prevent air-engagement failure, the transfer molding is used as a decompression chamber, and a device for starting molding after decompressing is devised. However, the decompression process takes time, and particularly when the substrate has a large area, the volume of the decompression chamber increases, and there is a problem that the productivity is remarkably deteriorated.

エア噛みを防止するその他の方法としては、加圧板の当接開始時に転写板を反発力の異なるバネを利用した保持部材により、樹脂板に対して突出するように屈曲させて当接することにより、転写面の中央近傍からエアを排除しつつ成形する方法が知られている（特許文献３）。   As another method for preventing the air from being caught, the transfer plate is bent so as to protrude with respect to the resin plate by a holding member using a spring having a different repulsive force at the start of contact of the pressure plate. A method is known in which air is excluded from the vicinity of the center of the transfer surface (Patent Document 3).

特開２００４−０７４７７５号公報JP 2004-074775 A 特開２００７−２３０２４１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-230241 特開２００６−０３５５７３号公報JP 2006-035573 A

しかしながら、特許文献３の技術では、プレス加圧力が最大となった時の転写面の圧力を均一にすることを目的に、保持部材が転写板の非転写部に設置されている。この構成では転写面が大面積になった時、保持部材の間隙が広くなるため、転写面にたるみが生じ、そのたるみ部に成型時、エア噛みを生じる問題がある。さらに、保持部材に弾性力差が設けられているため、転写面に圧力分布が存在し、保持部材間隙にて圧力の極小部が存在すると予測される。このため、たるみ部に噛み込んだエアの一部はこの圧力極小部に残留し、転写不良となる問題がある。噛み込んだエアのうち、成型時に排除されるものがあるとしても、積極的にエアを排除する圧力分布が賦形面に与えられていないため、エアの排除には長時間押圧する必要があり、サイクルタイムが長くなり、生産性を悪化させる問題がある。   However, in the technique of Patent Document 3, the holding member is installed in the non-transfer portion of the transfer plate for the purpose of making the pressure on the transfer surface uniform when the press pressure is maximized. In this configuration, when the transfer surface becomes a large area, the gap between the holding members is widened, so that the transfer surface is slackened, and there is a problem that air is caught in the slack portion at the time of molding. Furthermore, since the elastic force difference is provided in the holding member, it is predicted that there is a pressure distribution on the transfer surface and there is a minimum pressure portion in the holding member gap. For this reason, a part of the air caught in the slack portion remains in the minimum pressure portion, which causes a problem of transfer failure. Even if some of the entrained air is excluded at the time of molding, the pressure distribution that actively eliminates air is not given to the shaping surface, so it is necessary to press for a long time to eliminate air , There is a problem that the cycle time becomes long and the productivity deteriorates.

本発明の目的は上述したような点に鑑み、基材シートの両面にインプリントモールドの微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法及び装置において、大面積の基材シートの両面に賦形する場合においてもインプリントモールドと基材シートの間に噛み込んだエアを成形中に賦形面外に排除し、転写不良を生じることがなく、所望どおりの微細凹凸形状が表面に形成されたシートを高効率で製造する方法と製造装置を提供することである。   In view of the above-described points, the object of the present invention is to provide a fine shape transfer sheet manufacturing method and apparatus for forming a fine uneven shape of an imprint mold on both surfaces of a base sheet. Even when shaping, the air entrained between the imprint mold and the base sheet is eliminated from the shaping surface during molding, and transfer irregularities are not formed, and the desired fine irregularities are formed on the surface. It is to provide a method and a manufacturing apparatus for manufacturing a manufactured sheet with high efficiency.

上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造方法は以下の（１）の方法から成るものである。
（１） 微細凹凸形状からなる賦形面を有する第１のインプリントモールドと微細凹凸形状からなる賦形面を有する第２のインプリントモールドとを、それぞれの賦形面が向かい合うように並べ、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとの間に、熱可塑性樹脂からなる基材シートを設置し、一対の加圧板により該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとを該基材シート方向に同時に加圧することにより、該基材シートの両面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法であって、
前記第１のインプリントモールドがクッション性を有するものであり、
前記加圧板の加圧力が最大となった時、前記第１のインプリントモールドと前記第２のインプリントモールドのそれぞれの賦形面内において賦形圧力差を存在させ、該賦形面内に最大賦形圧力部を作り、賦形圧力が極小値を取る部位が該賦形面内に存在しないように賦形する微細形状転写シートの製造方法。 The manufacturing method of the fine shape transfer sheet of the present invention that achieves the above-mentioned object comprises the following method (1).
(1) Arrange the first imprint mold having a shaping surface consisting of fine irregularities and the second imprint mold having a shaping surface consisting of fine irregularities so that the respective shaping surfaces face each other, A base material sheet made of a thermoplastic resin is installed between the first imprint mold and the second imprint mold, and the first imprint mold and the second imprint are formed by a pair of pressure plates. A method for producing a fine shape transfer sheet in which fine uneven shapes are formed on both sides of the base sheet by simultaneously pressing a print mold in the base sheet direction,
The first imprint mold has cushioning properties;
When the pressing force of the pressure plate reaches a maximum, there is a shaping pressure difference in each shaping surface of the first imprint mold and the second imprint mold, A method for producing a fine shape transfer sheet, in which a maximum shaping pressure part is formed and shaped so that a portion where the shaping pressure takes a minimum value does not exist in the shaping surface.

また、本発明の微細形状転写シートの製造方法は好ましくは以下の（２）〜（８）の方法からなるものである。
（２） 前記加圧板による加圧前に、前記第２のインプリントモールドのみをその内部より加熱する前記（１）の微細形状転写シートの製造方法。
（３） 前記第２のインプリントモールドの賦形面とは反対側の面に、少なくとも一方の面が凸形状に湾曲したプレートを設置し、該第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させて加圧し、前記第１のインプリントモールドを圧縮して前記賦形圧力差を作る前記（１）あるいは（２）の微細形状転写シートの製造方法。
（４） 前記第２のインプリントモールド自体の厚みを変化させることにより、該第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させて加圧し、前記第１のインプリントモールドを圧縮して前記賦形圧力差を作る前記（１）あるいは（２）の微細形状転写シートの製造方法。
（５） 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材に微細凹凸形状を有する転写シートとが積層されたものである前記（１）〜（４）のいずれかの微細形状転写シートの製造方法。
（６） 前記転写シートが樹脂である前記（５）の微細形状転写シートの製造方法。
（７） 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材の表面に微細凹凸形状が形成されたものである前記（１）〜（４）のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。
（８） 前記クッション性を有する部材が、（ａ）内部に気泡を有する高分子素材、（ｂ）ゴム層と繊維層とを積層した複合材、及び（ｃ）繊維層にゴムを含浸した複合材からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる前記（５）〜（７）のいずれかの微細形状転写シートの製造方法。 Further, the method for producing a fine shape transfer sheet of the present invention preferably comprises the following methods (2) to (8).
(2) The method for producing a fine shape transfer sheet according to (1), wherein only the second imprint mold is heated from the inside thereof before being pressed by the pressure plate.
(3) On the surface opposite to the shaping surface of the second imprint mold, a plate having at least one surface curved in a convex shape is installed, and the shaping surface of the second imprint mold is The method for producing a fine shape transfer sheet according to (1) or (2), wherein the first imprint mold is compressed by curving and pressing in a convex shape toward the base sheet, thereby creating the shaping pressure difference.
(4) By changing the thickness of the second imprint mold itself, the shaping surface of the second imprint mold is curved and pressed in a convex shape toward the base material sheet, and the first imprint mold is pressed. The method for producing a fine shape transfer sheet according to (1) or (2), wherein the imprint mold is compressed to create the shaping pressure difference.
(5) The fine shape transfer sheet according to any one of (1) to (4), wherein the first imprint mold is formed by laminating a transfer sheet having a fine uneven shape on a member having cushioning properties. Production method.
(6) The method for producing a fine shape transfer sheet according to (5), wherein the transfer sheet is a resin.
(7) The production of the fine shape transfer sheet according to any one of (1) to (4), wherein the first imprint mold has a fine uneven shape formed on a surface of a member having cushioning properties. Method.
(8) The member having cushioning properties is (a) a polymer material having bubbles inside, (b) a composite material in which a rubber layer and a fiber layer are laminated, and (c) a composite in which the fiber layer is impregnated with rubber. The manufacturing method of the fine shape transfer sheet in any one of said (5)-(7) which consists of at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of material.

上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造装置は以下の（９）の構成から成るものである。
（９） 微細凹凸形状からなる賦形面を有し、それぞれの賦形面が向かい合うように並べられた第１のインプリントモールドと第２のインプリントモールドと、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとを両側から挟むように配置された一対の加圧板と、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドと該一対の加圧板とを加圧する加圧手段とを少なくとも備え、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとの間に設置される熱可塑性樹脂からなる基材シートの両面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写装置であって、
前記第１のインプリントモールドがクッション性を有するものであり、
前記第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させる手段とを備えた微細形状転写シートの製造装置。 The apparatus for producing a fine shape transfer sheet of the present invention that achieves the above-described object has the following configuration (9).
(9) A first imprint mold and a second imprint mold which have a shaping surface composed of fine irregularities, and are arranged so that the respective shaping surfaces face each other, and the first imprint mold, A pair of pressure plates arranged so as to sandwich the second imprint mold from both sides, and pressure for pressing the first imprint mold, the second imprint mold, and the pair of pressure plates And a fine shape transfer apparatus for forming fine irregularities on both surfaces of a base material sheet made of a thermoplastic resin installed between the first imprint mold and the second imprint mold. Because
The first imprint mold has cushioning properties;
An apparatus for producing a fine shape transfer sheet, comprising: means for curving the shaping surface of the second imprint mold in a convex shape toward the base material sheet.

また、本発明の微細形状転写シートの製造装置は好ましくは以下の（１０）〜（１６）の構成からなるものである。
（１０） 前記第２のインプリントモールドが、その内部に加熱する手段を備えたものである前記（９）に記載の微細形状転写シートの製造装置。
（１１） 前記第２のインプリントモールドの賦形面と反対側の面に、少なくとも一方の面が凸形状に湾曲したプレートを備え、該プレートが厚み分布を有し、プレートの面内に最大厚み部を有し、かつ面内に厚みの極小値を取る部位が存在しない前記（９）あるいは（１０）の微細形状転写シートの製造装置。
（１２） 前記第２のインプリントモールドが賦形面内で厚み分布を有し、該賦形面内に最大厚み部を有し、かつ該賦形面内に厚みの極小値を持たない前記（９）あるいは（１０）の微細形状転写シートの製造装置。
（１３） 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材と微細凹凸形状を有する転写シートとが積層されたものである前記（９）〜（１２）のいずれかの微細形状転写シートの製造装置。
（１４） 前記転写シートが樹脂である前記（１３）の微細形状転写シートの製造装置。
（１５） 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材の表面に微細凹凸形状がされたものである前記（９）〜（１２）のいずれかの微細形状転写シートの製造装置。
（１６） 前記クッション性を有する部材が、（ａ）内部に気泡を有する高分子素材、（ｂ）ゴム層と繊維層とを積層した複合材、及び（ｃ）繊維層にゴムを含浸した複合材からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる前記（１３）〜（１５）のいずれかの微細形状転写シートの製造装置。 The apparatus for producing a fine shape transfer sheet of the present invention preferably comprises the following constitutions (10) to (16).
(10) The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to (9), wherein the second imprint mold is provided with means for heating therein.
(11) On the surface opposite to the shaping surface of the second imprint mold, a plate having at least one surface curved in a convex shape is provided, the plate has a thickness distribution, and is maximum in the plane of the plate. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to (9) or (10), wherein the apparatus has a thickness portion and no portion having a minimum thickness in the surface exists.
(12) The second imprint mold has a thickness distribution in the shaping surface, has a maximum thickness portion in the shaping surface, and does not have a minimum thickness in the shaping surface. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to (9) or (10).
(13) The fine shape transfer sheet according to any one of (9) to (12), wherein the first imprint mold is formed by laminating a member having cushioning properties and a transfer sheet having a fine uneven shape. Manufacturing equipment.
(14) The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to (13), wherein the transfer sheet is a resin.
(15) The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to any one of (9) to (12), wherein the first imprint mold is a member having a cushioning property and has a fine uneven shape.
(16) The member having the cushioning properties is (a) a polymer material having bubbles inside, (b) a composite material in which a rubber layer and a fiber layer are laminated, and (c) a composite in which the fiber layer is impregnated with rubber. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to any one of (13) to (15), comprising at least one selected from the group consisting of materials.

（ｉ）前記（１），（９）に記載の本発明の微細凹凸形状転写シートの製造方法及び装置によれば、第１のインプリントモールドとしてクッション性を有するものを適用し、かつ少なくとも加圧板の加圧力が最大となった時に賦形面内において賦形圧力差を存在させ、該賦形面内に最大圧力部を作り、かつ、圧力が極小値を取る部位が該賦形面内に存在しないように加圧することで、この賦形面内の圧力差を利用して、賦形時に基材シートとインプリントモールドの間に噛み込んだ残留エアを賦形面外に排除することにより、エア噛み不良がなくなり、均一で高い精度の転写成形状態を得ることができるようになる。   (I) According to the manufacturing method and apparatus for a fine uneven shape transfer sheet of the present invention described in the above (1) and (9), the first imprint mold having a cushioning property is applied, and at least When the pressure applied to the platen reaches the maximum, there is a forming pressure difference in the forming surface, the maximum pressure part is formed in the forming surface, and the portion where the pressure takes a minimum value is in the forming surface. By applying the pressure so that it does not exist in the surface, the residual pressure that is caught between the base sheet and the imprint mold during shaping is eliminated from the shaping surface using the pressure difference in the shaping surface. As a result, air-engagement defects are eliminated, and a uniform and highly accurate transfer molding state can be obtained.

（ii）特に、前記（２），（１０）に記載の本発明の微細凹凸形状転写シートの製造方法及び装置によれば、第２のインプリントモールドのみを内部より直接加熱することにより、第１のインプリントモールドに対する特別な加熱手段が不要となり、設備投資の削減、使用エネルギー量の減少が可能となる。   (Ii) In particular, according to the method and apparatus for producing a fine concavo-convex shape transfer sheet of the present invention described in the above (2) and (10), by directly heating only the second imprint mold from the inside, No special heating means for the imprint mold of 1 is required, and the capital investment can be reduced and the amount of energy used can be reduced.

（iii）前記（３），（４），（１１），（１２）に記載の本発明の微細凹凸形状転写シートの製造方法及び装置により、第２のインプリントモールドの賦形面を湾曲させ、その湾曲面にクッション性を持つ第１のインプリントモールドを基材シートを介して押圧することにより、第１のインプリントモールドが前記賦形面の湾曲に沿って加圧板の押圧力で圧縮させられ、その圧縮量に応じた圧力を賦形面に与えることで、所望の圧力分布を簡便に得ることができ、エア噛み不良がなくなり、かつ、生産性向上をはかることができる。   (Iii) The shaping surface of the second imprint mold is curved by the method and apparatus for producing a fine concavo-convex shape transfer sheet of the present invention described in (3), (4), (11), (12). The first imprint mold is compressed by the pressing force of the pressure plate along the curve of the shaping surface by pressing the first imprint mold having a cushioning property on the curved surface through the base sheet. By applying pressure corresponding to the compression amount to the shaping surface, a desired pressure distribution can be easily obtained, air-engagement failure can be eliminated, and productivity can be improved.

（iv）前記（５）（１３）に記載の本発明の微細凹凸形状転写シートの製造方法及び装置によれば、第１のインプリントモールドをクッション性を有する部材と微細凹凸形状を有する転写シートとすることにより、クッション材と転写シートを別々に最適化することができるようになり、所望の圧力分布と所望の微細凹凸形状を簡便に得ることができる。   (Iv) According to the method and apparatus for producing a fine concavo-convex shape transfer sheet of the present invention as described in (5) or (13) above, the first imprint mold is a member having cushioning properties and a transfer sheet having a fine concavo-convex shape. Thus, the cushion material and the transfer sheet can be optimized separately, and a desired pressure distribution and a desired fine uneven shape can be easily obtained.

（ｖ）特に、前記（６）（１４）に記載の本発明の微細凹凸形状転写シートの製造方法及び装置によれば、樹脂の可撓性により、クッション性を有する部材のクッション特性を変化させることなく賦形することができるようになる。さらに転写シートの製造が容易になるため、第１のインプリントモールドを安価に製造することができる。   (V) In particular, according to the method and apparatus for producing a fine uneven shape transfer sheet of the present invention described in (6) and (14) above, the cushion characteristics of a member having cushioning properties are changed by the flexibility of the resin. Can be shaped without any problems. Further, since the transfer sheet can be easily manufactured, the first imprint mold can be manufactured at low cost.

図１は、本発明にかかる微細形状転写インプリントモールドの一実施様態のうち、微細形状がストライプ状になったインプリントモールドをモデル的に説明する概略図である。FIG. 1 is a schematic view schematically illustrating an imprint mold having a fine shape in a stripe shape, in one embodiment of the fine shape transfer imprint mold according to the present invention. 図２は、本発明にかかる微細形状転写インプリントモールドの一実施様態のうち、微細形状が２次元的に配置されたインプリントモールドをモデル的に説明する概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram schematically illustrating an imprint mold in which fine shapes are two-dimensionally arranged in one embodiment of the fine shape transfer imprint mold according to the present invention. 図３は、本発明にかかる微細形状転写シート方法の一実施様態のうち、賦形面のｘ軸中心線上に最大賦形圧力を持ち、賦形面内に賦形圧力の極小値を持たない賦形圧力分布をモデル的に示した概略図である。FIG. 3 shows a fine shape transfer sheet method according to an embodiment of the present invention, wherein the maximum shaping pressure is on the x-axis center line of the shaping surface and the shaping pressure has no minimum value in the shaping surface. It is the schematic which showed the shaping pressure distribution modelly. 図４は、本発明にかかる微細形状転写シート方法の一実施様態のうち、賦形面のｘ軸一端部線上に最大賦形圧力を持ち、賦形面内に賦形圧力の極小値を持たない賦形圧力分布をモデル的に示した概略図である。FIG. 4 shows a fine shape transfer sheet method according to an embodiment of the present invention, in which the maximum shaping pressure is on the x-axis one end line of the shaping surface and the shaping pressure has a minimum value in the shaping surface. It is the schematic which showed the non-shaped shaping pressure distribution as a model. 図５は、図３の正面図を示した概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram illustrating the front view of FIG. 3. 図６は、圧力変化量が賦形圧力勾配に従い単調増加しない一例をモデル的に示した概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram schematically showing an example in which the pressure change amount does not monotonously increase according to the shaped pressure gradient. 図７は本発明にかかる微細形状転写方法の一実施態様のうち、第１のインプリントモールドが、第２のインプリントモールド賦形面の形状に沿って変形する様子の概要をモデル的に説明した正面図である。FIG. 7 schematically illustrates an outline of how the first imprint mold deforms along the shape of the second imprint mold shaping surface in one embodiment of the fine shape transfer method according to the present invention. FIG. 図８は本発明にかかる第２のインプリントモールドをモデル的に説明する概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram schematically illustrating the second imprint mold according to the present invention. 図９は本発明にかかる第２のインプリントモールドと加熱装置、冷却装置の接続をモデル的に説明した概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram schematically illustrating the connection between the second imprint mold, the heating device, and the cooling device according to the present invention. 図１０は本発明にかかる微細形状転写シート製造装置の一実施態様例をモデル的に示す概略正面図である。FIG. 10 is a schematic front view schematically showing an embodiment of the fine shape transfer sheet manufacturing apparatus according to the present invention. 図１１は、本発明にかかる微細形状転写方法の一実施態様のうち、インプリントモールドの賦形面逆側に厚み分布を持った凸プレートを置いたものをモデル的に説明する概略図である。FIG. 11 is a schematic diagram schematically illustrating one embodiment of the fine shape transfer method according to the present invention in which a convex plate having a thickness distribution is placed on the side opposite to the shaping surface of the imprint mold. . 図１２は、本発明にかかる微細形状転写インプリントモールドの一実施態様のうち、インプリントモールドに厚み分布を持たしたものをモデル的に説明する概略図である。FIG. 12 is a schematic diagram schematically illustrating an embodiment of a fine shape transfer imprint mold according to the present invention in which the imprint mold has a thickness distribution. 図１３は、図１０において、賦形面における加圧力が最大となったときの状態をモデル的に示した正面概略図である。FIG. 13 is a schematic front view schematically showing the state when the applied pressure on the shaping surface becomes maximum in FIG. 10. 図１４は比較例１の賦形圧力分布をモデル的に示す概略図である。FIG. 14 is a schematic diagram showing the shaping pressure distribution of Comparative Example 1 as a model. 図１５は比較例２の賦形圧力分布をモデル的に示す概略図である。FIG. 15 is a schematic diagram schematically showing the shaping pressure distribution of Comparative Example 2.

以下、図面などを参照しながら、さらに詳しく本発明の微細形状転写シートの製造方法について説明する。   Hereinafter, the method for producing a fine shape transfer sheet of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

本発明の微細形状転写シートの製造方法は、微細凹凸形状からなる賦形面を有する第１のインプリントモールドと第２のインプリントモールドとを、それぞれの賦形面が向かい合うように並べ、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとの間に、熱可塑性樹脂からなる基材シートを設置し、一対の加圧板により該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとを該基材シート方向に同時に加圧することにより、該基材シートの両面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写方法であって、
前記第１のインプリントモールドが構成体としてクッション性を有する部材を含み、
前記加圧板の加圧力が最大となった時、前記第１のインプリントモールドと前記第２のインプリントモールドのそれぞれの賦形面内において賦形圧力差を存在させ、該賦形面内に最大賦形圧力部を作り、賦形圧力が極小値を取る部位が該賦形面内に存在しないように賦形することを特徴とする方法である。 The method for producing a fine shape transfer sheet of the present invention comprises arranging a first imprint mold and a second imprint mold having a shaping surface having a fine uneven shape so that the respective shaping surfaces face each other, A base sheet made of a thermoplastic resin is installed between the first imprint mold and the second imprint mold, and the first imprint mold and the second imprint are formed by a pair of pressure plates. It is a fine shape transfer method for forming a fine uneven shape on both surfaces of the base sheet by simultaneously pressing the mold in the base sheet direction,
The first imprint mold includes a member having a cushioning property as a component,
When the pressing force of the pressure plate reaches a maximum, there is a shaping pressure difference in each shaping surface of the first imprint mold and the second imprint mold, It is a method characterized by forming a maximum shaping pressure portion and shaping so that a portion where the shaping pressure takes a minimum value does not exist in the shaping surface.

ここで「クッション性を有する」とは、加圧力が最大となった時、後述する第２のインプリントモールドの賦形面の湾曲形状に追従変形できる、かつ、第２のインプリントモールドや基材シート、第１のインプリントモールド自身の厚みムラを吸収できる、弾力性と可撓性を有し、その変形量に応じた反発力を発生できることをいう。この弾力性と可撓性により、第２のインプリントモールドと基材シートを隙間なく当接し、かつ、第１のインプリントモールドと基材シートも隙間なく当接することができる。さらに生産性の見地から、繰り返し使用しても反発特性に変化がないものが好ましい。   Here, “having cushioning properties” means that when the applied pressure is maximized, it can be deformed following the curved shape of the shaping surface of the second imprint mold, which will be described later, and It means that the material sheet and the first imprint mold itself can absorb thickness unevenness, have elasticity and flexibility, and can generate a repulsive force according to the amount of deformation. Due to this elasticity and flexibility, the second imprint mold and the base sheet can be contacted without gaps, and the first imprint mold and the base sheet can be contacted without gaps. Furthermore, from the viewpoint of productivity, those that do not change in rebound characteristics even when used repeatedly are preferable.

また、「加圧力が最大となった時」とは一対の加圧板によりインプリントモールドに基材シートを賦形するプレス機械のプレス力が最大になる時をいう。
また、「賦形面内の一部」とは、賦形面内の一点だけでなく、連続する線状であっても良い。 Further, “when the pressing force is maximized” refers to the time when the pressing force of the press machine that shapes the base sheet to the imprint mold by the pair of pressure plates is maximized.
The “part of the shaping surface” may be not only one point in the shaping surface but also a continuous linear shape.

また、「微細凹凸形状」とは、高さ１０ｎｍ〜１ｍｍの凸形状がピッチ１０ｎｍ〜１ｍｍ、より好ましくは高さ１μｍ〜１００μｍの凸形状がピッチ１μｍ〜１００μｍで周期的に繰り返された形状のことを示し、例えば、図１に示すような線状に伸びる三角形状の溝が複数個ストライプ状に並んでいるものである。図１には断面が三角形状の溝を示したが、三角形状に限らず、半円形状もしくは半楕円形状などでも本発明に用いることができる。さらには溝が直線である必要はなく、曲線のストライプパターンでも良い。「微細凹凸形状」は他にも図２に示すようなエンボス形状に代表される２次元的にパターンを持った形状も含まれる。図２には凸形状が半円形のエンボス形状を示したが円錐や直方体などのその他の凸形状も本発明に用いることができる。   Further, the “fine concavo-convex shape” means a shape in which a convex shape having a height of 10 nm to 1 mm is periodically repeated with a convex shape having a pitch of 10 nm to 1 mm, more preferably a height of 1 μm to 100 μm at a pitch of 1 μm to 100 μm. For example, a plurality of triangular grooves extending linearly as shown in FIG. 1 are arranged in stripes. FIG. 1 shows a groove having a triangular cross section. However, the groove is not limited to a triangular shape, and a semicircular shape or a semielliptical shape can also be used in the present invention. Furthermore, the groove does not have to be a straight line, and may be a curved stripe pattern. The “fine concavo-convex shape” includes a shape having a two-dimensional pattern represented by an embossed shape as shown in FIG. Although FIG. 2 shows an embossed shape having a semicircular convex shape, other convex shapes such as a cone and a rectangular parallelepiped can be used in the present invention.

また、「賦形圧力が極小値を取る」とは、１辺の長さ１０ｍｍで賦形面を格子状に区切ったとき、任意の格子内の平均圧力をＰ、この格子に接する８つの格子の平均圧力をそれぞれＰ１〜Ｐ8としたとき、全てのｘについてＰ≦ＰＸが成立することをいう（ここでｘは１〜８の自然数である。）。つまり、「賦形圧力が極小値を取る部位が賦形面内に存在しない」とは、全てのｘについてＰ≦ＰＸが成立するような格子が賦形面内に存在しないことである。言い換えると、賦形面内の全ての格子について、平均圧力ＰＸ＜Ｐを満たすような隣接する格子が少なくとも１つ存在することである。なお、１０ｍｍ間隔で測定したときの賦形圧力分布が極小値を取らなければ、本発明の目的は十分達成できる。 “The shaping pressure takes a minimum value” means that when the shaping surface is divided into a grid shape with a side length of 10 mm, the average pressure in an arbitrary grid is P, and eight grids in contact with this grid when the average pressure of the set to P 1 to P 8, respectively, means that the P ≦ P X holds for all x (where x is a natural number of 1-8.). In other words, the "site of imprinting pressure takes the minimum value is not present in the vehicle surface", is that the grating as P ≦ P X is satisfied is not present in the vehicle surface for all x. In other words, there is at least one adjacent lattice that satisfies the average pressure P X <P for all the lattices in the shaping surface. If the shaping pressure distribution measured at intervals of 10 mm does not take a minimum value, the object of the present invention can be sufficiently achieved.

特に微細凹凸形状の凹形状が図１に示すような直線もしくは曲線状に並列に延びた溝であり、複数の溝がストライプ状に並列配置されたインプリントモールドを用いるときは、賦形圧力が極小値を取る部位が賦形面内に存在しないことに加えて、溝の長手方向に沿って賦形圧力差が存在し、最大賦形圧力部が存在し、かつ、賦形圧力が極小値を持たないように加圧するのが好ましい。これは溝と基材シート内に閉じ込められたエアが微細凹凸形状の凸部を飛び越えて他の溝に移動しにくいため、溝に沿って賦形圧力分布を形成し、エアを排除することが効率的なためである。この場合の「溝の長手方向に沿って賦形圧力の極小値を持つ」とは、前記１０ｍｍ角の格子を溝の長手方向に沿って並ぶように区切り、任意の格子の平均圧力をＰ、この格子と溝の長手方向に沿って隣り合う２つの格子の平均圧力をそれぞれＰ１、Ｐ2としたとき、Ｐ≦Ｐ１かつＰ≦Ｐ2が成立することをいう。つまり、「溝の長手方向に沿って賦形圧力の極小値を持たない」とは、Ｐ≦Ｐ１かつＰ≦Ｐ2が成立するような格子が溝の長手方向に沿って存在しないことである。言い換えると、溝の長手方向に沿う全ての格子について、Ｐ１＜ＰまたはＰ２＜Ｐを満たすような隣接する格子が少なくとも１つ存在することである。 In particular, when using an imprint mold in which the concave and convex shape of the fine concavo-convex shape is a groove extending in parallel in a straight line or curved line as shown in FIG. 1 and a plurality of grooves are arranged in parallel in a stripe shape, the shaping pressure is In addition to the fact that there is no minimum value in the shaping surface, there is a shaping pressure difference along the longitudinal direction of the groove, there is a maximum shaping pressure section, and the shaping pressure is a minimum value. It is preferable to pressurize so that it does not have. This is because the air trapped in the groove and the base sheet does not easily move to other grooves by jumping over the convex part of the fine uneven shape, so that a shaping pressure distribution can be formed along the groove to eliminate the air. This is because it is efficient. In this case, “having a minimum value of the shaping pressure along the longitudinal direction of the groove” means that the 10 mm square lattice is partitioned along the longitudinal direction of the groove, and the average pressure of an arbitrary lattice is P, When the average pressures of the two lattices adjacent to each other along the longitudinal direction of the lattice and the groove are P 1 and P 2 , P ≦ P 1 and P ≦ P 2 are satisfied. In other words, “no minimum value of the shaping pressure along the longitudinal direction of the groove” means that there is no lattice along the longitudinal direction of the groove that satisfies P ≦ P 1 and P ≦ P 2. is there. In other words, there is at least one adjacent lattice satisfying P 1 <P or P 2 <P for all lattices along the longitudinal direction of the groove.

本発明の好適な賦形圧力分布の具体例を図３に示す。図中に示した破線ａは賦形面内の線であり、この線上に最大賦形圧力部を有している。さらに、この最大賦形圧力部からｘ方向に沿って賦形圧力が極小値を取ることなく単調に減少している。また本発明に適する他の賦形圧力分布例を図４に示す。図４では、賦形面のｘ方向の一端ｂに沿って最大賦形圧力部が存在しており、この最大賦形圧力部からｘ方向に沿って、他端へ向け賦形圧力が極小値を取ることなく単調に減少している。このような賦形圧力勾配を付与することにより、賦形時にエア噛みが起きた場合でも、エア周囲の賦形圧力差により、賦形圧力の低い側にエアが移動する。すなわち、図３の場合は破線ａからｘ軸方向に沿って、図４においては賦形面のｘ軸方向の一端から他端に向けそれぞれ賦形圧力勾配に沿って残存エアが排出される。また、この排出力はエア周囲の賦形圧力差に比例して大きくなる。もし、賦形面内に賦形圧力の極小値が存在すれば、この箇所がエア溜まりとなり、転写不良の原因となる。   A specific example of a suitable shaping pressure distribution of the present invention is shown in FIG. A broken line a shown in the figure is a line in the shaping surface, and has a maximum shaping pressure portion on this line. Further, the shaping pressure monotonously decreases from the maximum shaping pressure portion along the x direction without taking a minimum value. FIG. 4 shows another example of the shaping pressure distribution suitable for the present invention. In FIG. 4, there is a maximum shaping pressure portion along one end b in the x direction of the shaping surface, and the shaping pressure is minimal from the maximum shaping pressure portion to the other end along the x direction. It decreases monotonously without taking. By providing such a shaping pressure gradient, even when air biting occurs during shaping, the air moves to the side where the shaping pressure is low due to the shaping pressure difference around the air. That is, in the case of FIG. 3, the remaining air is discharged along the shaping pressure gradient from the broken line a along the x-axis direction and in FIG. 4 from one end to the other end of the shaping surface in the x-axis direction. Further, this discharge force increases in proportion to the shaping pressure difference around the air. If there is a minimum value of the shaping pressure in the shaping surface, this portion becomes an air reservoir and causes a transfer failure.

さらに本発明の方法において好ましくは、加圧力が最大となった時、賦形圧力の変化量の絶対値を最大賦形圧力部から賦形圧力勾配に沿って単調に増加させるのが良い。言い換えると、横軸に最大賦形圧力部からの距離を、縦軸に賦形圧力値をとってグラフにしたとき、最大賦形圧力部からの距離が大きくなるにつれて、対応するグラフ上の点における接線の傾きの絶対値が大きくなる関係である。この関係を維持している限り、接線の傾きの絶対値が直線的に増加していても、変動しながら増加していてもよい。図５に図３の正面方向（ｙ軸の負の方向）から賦形圧力分布を見た図を、図６には最大賦形圧力部から賦形圧力勾配に沿って圧力変化量の絶対値が単調に増加しない領域ｃを持つ賦形圧力分布の例を同方向から見た図を示す。図５は本発明におけるより好適な賦形圧力分布であり、具体的に、放物線や円弧、カテナリー曲線などを用いることができるが、これらに限らず、最大賦形圧力部から賦形圧力勾配に沿って圧力変化量の絶対値が単調に増加する形状を持っていれば良い。   Further, in the method of the present invention, it is preferable that the absolute value of the change amount of the shaping pressure is monotonously increased along the shaping pressure gradient from the maximum shaping pressure portion when the applied pressure becomes maximum. In other words, when the distance from the maximum shaping pressure part is plotted on the horizontal axis and the shaping pressure value is plotted on the vertical axis, the corresponding point on the graph increases as the distance from the maximum shaping pressure part increases. The absolute value of the slope of the tangent at is increased. As long as this relationship is maintained, the absolute value of the slope of the tangent line may increase linearly or may increase while fluctuating. FIG. 5 shows a view of the shaping pressure distribution from the front direction (negative direction of the y-axis) in FIG. 3, and FIG. 6 shows the absolute value of the pressure change amount along the shaping pressure gradient from the maximum shaping pressure portion. The figure which looked at the example of the shaping pressure distribution with the area | region c which does not increase monotonously from the same direction is shown. FIG. 5 shows a more preferable shaping pressure distribution in the present invention. Specifically, a parabola, a circular arc, a catenary curve, or the like can be used, but not limited to these, the maximum shaping pressure portion changes to the shaping pressure gradient. It is sufficient that the absolute value of the pressure change amount has a shape that increases monotonously along the line.

図５では、賦形面の中心にある賦形圧力最大部から端部に向け、賦形圧力勾配が急になるため、エアが端部に移動するのに応じて排出力が増加する。これにより、賦形面端部ほど、エア排出速度が上昇し、短時間の加圧でも十分にエアを排除することができる。すなわち、成形サイクルを早くすることができ、生産性向上につながる。   In FIG. 5, since the shaping pressure gradient becomes steep from the shaping pressure maximum portion at the center of the shaping surface toward the end portion, the discharge force increases as the air moves to the end portion. As a result, the air discharge speed increases toward the end of the shaping surface, and air can be sufficiently eliminated even with a short pressurization. That is, the molding cycle can be accelerated, leading to an improvement in productivity.

図６の領域ｃのように賦形圧力勾配に沿った賦形圧力の変化量が単調減少していると、この領域では賦形圧力勾配が緩くなるため、噛み込んだエア周辺の賦形圧力差が小さくなり、排出力が低下する。この場合でもエアを排出することができるが、エア排出に時間がかかるため、生産性を考慮すると、図５に示す賦形圧力分布にすることが好ましい。   If the amount of change in the shaping pressure along the shaping pressure gradient decreases monotonously as in the area c in FIG. 6, the shaping pressure gradient becomes gentle in this area. The difference becomes smaller and the discharge power decreases. Even in this case, air can be discharged. However, since it takes time to discharge air, it is preferable that the shaping pressure distribution shown in FIG.

上述した本発明に好適な賦形圧力分布は、第２のインプリントモールドの賦形面側が凸となるような湾曲形状を第２のインプリントモールドの賦形面に与え、第１のインプリントモールドのクッション性を利用して基材シートを両インプリントモールド間で押圧することにより得ることができる。図７にその概念図を示す。   The above-described shaping pressure distribution suitable for the present invention provides the first imprint with a curved shape such that the shaping surface side of the second imprint mold is convex on the shaping surface of the second imprint mold. It can obtain by pressing a base material sheet between both imprint molds using the cushioning property of a mold. FIG. 7 shows a conceptual diagram thereof.

図７において、３は上部加圧板、８は下部加圧板、５は基材シート、４は第１のインプリントモールド、４３は第１のインプリントモールド賦形面、６は第２のインプリントモールド、６２は第２のインプリントモールド賦形面である。   In FIG. 7, 3 is an upper pressure plate, 8 is a lower pressure plate, 5 is a base sheet, 4 is a first imprint mold, 43 is a first imprint mold shaping surface, and 6 is a second imprint. A mold 62 is a second imprint mold shaping surface.

図７のように第２のインプリントモールドの賦形面６２を基材シート５に対し凸型に湾曲させるには、第２のインプリントモールドの反賦形面側に湾曲形状を有するプレートを設置しする方法や、第２のインプリントモールド内で該インプリントモールドの厚みを変化させる方法がある。   In order to curve the shaping surface 62 of the second imprint mold convexly with respect to the base sheet 5 as shown in FIG. 7, a plate having a curved shape is provided on the side opposite to the shaping surface of the second imprint mold. There are a method of installing and a method of changing the thickness of the imprint mold in the second imprint mold.

図７（ａ）は加圧前の状態、図７（ｂ）は加圧中の状態を示す。また距離Ｈは下部加圧板８の上面より、第２のインプリントモールド賦形面６２の距離である。   FIG. 7A shows a state before pressurization, and FIG. 7B shows a state during pressurization. The distance H is the distance from the upper surface of the lower pressure plate 8 to the second imprint mold shaping surface 62.

加圧前は平板状態である第１のインプリントモールド４が、そのクッション性により、加圧中は第２のインプリントモールド賦形面６２の湾曲形状に応じて変形する。賦形圧力は第１のインプリントモールド４の変形量と圧縮弾性率の関係で決定し、変形量が大きい場所ほど、賦形圧が大きい。図７（ｂ）に示す加圧中の状態では、第２のインプリントモールド賦形面６２の中央部で第１のインプリントモールド４の変形量が最大になっており、端部に行くほど小さくなっている。これは、賦形面中央部で賦形圧力が最大になり、端部に向かって賦形圧力が単調に減少していることを表す。   The first imprint mold 4 in a flat plate state before pressurization is deformed according to the curved shape of the second imprint mold shaping surface 62 during pressurization due to its cushioning property. The shaping pressure is determined by the relationship between the deformation amount of the first imprint mold 4 and the compression elastic modulus, and the shaping pressure is larger as the deformation amount is larger. In the state during pressurization shown in FIG. 7 (b), the deformation amount of the first imprint mold 4 is maximized at the center portion of the second imprint mold shaping surface 62, and as it goes to the end portion. It is getting smaller. This means that the shaping pressure is maximized at the center of the shaping surface, and the shaping pressure is monotonically decreasing toward the end.

また、第１のインプリントモールドの圧縮弾性率は０．１ＭＰａ〜２００ＭＰａが好ましく、より好ましくは０．１ＭＰａ〜５０ＭＰａである。圧縮弾性率が０．１ＭＰａよりも低いと、賦形面内の賦形圧力差が小さくなり、エアを排除することができなくなることがある。また、排除に要する時間が長くなり、生産性が悪化する。圧縮弾性率が２００ＭＰａよりも大きいと、賦形面内の賦形圧力差が大きくなりすぎるため、賦形圧力の低い部分において、十分な賦形圧力が得られず転写不良となることがある。   Further, the compression modulus of the first imprint mold is preferably 0.1 MPa to 200 MPa, more preferably 0.1 MPa to 50 MPa. If the compression modulus is lower than 0.1 MPa, the shaping pressure difference in the shaping surface becomes small, and air may not be excluded. Further, the time required for the removal becomes longer, and the productivity is deteriorated. If the compression elastic modulus is larger than 200 MPa, the forming pressure difference in the forming surface becomes too large, so that a sufficient forming pressure cannot be obtained at a portion where the forming pressure is low, resulting in transfer failure.

また、第１のインプリントモールドの厚みは０．１ｍｍ〜５０ｍｍの範囲が好ましく、より好ましくは０．３ｍｍ〜３０ｍｍである。厚みが０．１ｍｍよりも薄いと、前述したクッション性に乏しくなり、第２のインプリントモールドの湾曲形状に十分追従することができず、転写不良となることがある。また、厚みが５０ｍｍより厚いと、加圧時に第１のインプリントモールドの圧縮変形量が大きく、上部加圧板のストロークを長くする必要がある。これは設備費の増大や製造サイクルの低下を招き、非効率である。   The thickness of the first imprint mold is preferably in the range of 0.1 mm to 50 mm, more preferably 0.3 mm to 30 mm. When the thickness is less than 0.1 mm, the cushioning property described above is poor, the curved shape of the second imprint mold cannot be sufficiently followed, and transfer failure may occur. On the other hand, if the thickness is greater than 50 mm, the amount of compressive deformation of the first imprint mold during pressurization is large, and the stroke of the upper pressurization plate must be lengthened. This leads to an increase in equipment costs and a decrease in manufacturing cycle, which is inefficient.

また本発明においては、距離Ｈの絶対値の変化量をＨの最大値を取る箇所から賦形圧力勾配に沿って単調に増加するように設定すると、賦形圧力の変化量の絶対値も最大賦形圧力部から賦形圧力勾配に沿って単調に減少し、前述した本発明に好適な賦形圧力分布を具現化することができる。   In the present invention, if the change amount of the absolute value of the distance H is set so as to increase monotonously along the shaping pressure gradient from the position where the maximum value of H is taken, the absolute value of the change amount of the shaping pressure is also maximized. A monotonous decrease along the shaping pressure gradient from the shaping pressure portion can realize the shaping pressure distribution suitable for the present invention described above.

上述したように、基材シート両面に微細凹凸形状を賦形するとき、異なる構成を持った２つのインプリントモールドを組み合わせて、基材シートを加圧することにより、賦形面内に賦形圧力分布を作り、噛み込んだエアを積極的に排出することができる。従来技術のような単に同じ構成の２つのインプリントモールドを基材シートの両面に加圧するだけでは良好に転写できない。特に賦形面が大面積になると、従来の技術では、賦形時に噛み込んだエアの排出がより難しくなり、品質の悪化が顕著になる。   As described above, when forming fine irregularities on both sides of the base sheet, by combining two imprint molds with different configurations and pressurizing the base sheet, the forming pressure is within the forming surface. Distribution can be made and the air that has been bitten can be actively discharged. Transfer cannot be performed satisfactorily by simply pressing two imprint molds having the same configuration as in the prior art onto both sides of the base sheet. In particular, when the shaping surface has a large area, in the conventional technique, it becomes more difficult to discharge the air caught during shaping, and the deterioration of the quality becomes remarkable.

なお、上記構成により得られた賦形圧力分布を確かめるには感圧紙をプレスする方法や、賦形圧力に応じ塑性変形するシートをプレスし、プレス後の厚み変化量を測定する方法がある。   In addition, in order to confirm the shaping pressure distribution obtained by the said structure, there exist the method of pressing a pressure sensitive paper, the method of pressing the sheet | seat which plastically deforms according to a shaping pressure, and measuring the amount of thickness changes after a press.

また本発明は加圧前に第２のインプリントモールドのみをその内部より加熱することが好ましい。第２のインプリントモールドのみをその内部より加熱することにより、加圧板にて２つのインプリンントモールドで基材シートを加圧する際、基材シートと直接接する第２のインプリントモールド内に熱源があるため、熱源と基材シート間の熱伝達抵抗が少なく、迅速に基材シートを所望の温度まで加熱することができる。そのため、第１のインプリントモールド用に加熱手段を特別に持たなくとも、基材シートの第１のインプリントモールド側の面を短時間で所望の温度まで昇温することができ、第１のインプリントモールドの微細凹凸形状も基材シートに転写することが可能となる。ここで「所望の温度」とは基材シートの（ガラス転移点温度＋１０℃）以上（ガラス転移点温度＋５０℃）以下である。（ガラス転移点温度＋１０℃）より低ければ、基材シートへの微細凹凸形状の転写性が悪化し、（ガラス転移点温度＋５０℃）より高ければ、基材シートが変質するおそれがある。   In the present invention, it is preferable to heat only the second imprint mold from the inside before pressurization. By heating only the second imprint mold from the inside, when the base sheet is pressed with two imprint molds by the pressure plate, a heat source is placed in the second imprint mold that is in direct contact with the base sheet. Therefore, there is little heat transfer resistance between a heat source and a base material sheet, and it can heat a base material sheet to desired temperature rapidly. Therefore, even if the heating means for the first imprint mold is not specially provided, the surface of the base sheet on the first imprint mold side can be heated to a desired temperature in a short time. The fine uneven shape of the imprint mold can also be transferred to the substrate sheet. Here, the “desired temperature” is not less than (glass transition temperature + 10 ° C.) and not more than (glass transition temperature + 50 ° C.) of the base sheet. If it is lower than (glass transition temperature + 10 ° C.), the transferability of the fine irregularities to the substrate sheet is deteriorated, and if it is higher than (glass transition temperature + 50 ° C.), the substrate sheet may be altered.

第２のインプリントモールド全体と基材シート全体の熱容量の比率は１００：１以上、５０００：１以下であることが望ましい。１００：１未満では、第２のインプリントモールドから基材シートへ熱伝達する際、第２のインプリントモールドの温度低下が大きくなり、基材シートが十分に加熱されないことがある。また、５０００：１より大きくすると、第２のインプリントモールドの加熱に時間を要し、効率的ではない。同じく５０００：１より大きくするためには、熱容量確保のため、第２のインプリントモールドを大型にする必要があり、経済的ではなく、第２のインプリントモールドの取り回しがやりにくくなる。   The ratio of the heat capacity of the entire second imprint mold and the entire substrate sheet is preferably 100: 1 or more and 5000: 1 or less. If it is less than 100: 1, when heat is transferred from the second imprint mold to the base sheet, the temperature drop of the second imprint mold becomes large, and the base sheet may not be heated sufficiently. On the other hand, if it is larger than 5000: 1, it takes time to heat the second imprint mold, which is not efficient. Similarly, in order to make it larger than 5000: 1, it is necessary to increase the size of the second imprint mold in order to secure the heat capacity, which is not economical and difficult to handle the second imprint mold.

加圧時の基材シートへの熱伝達率は第２のインプリントモールドに設けられた微細凹凸形状の種類や、第２のインプリントモールドと基材の表面性状、加圧力などに影響されるが、５０Ｗ／ｍ２・Ｋ〜５０００Ｗ／ｍ２・Ｋの範囲であることが好ましい。５０Ｗ／ｍ２・Ｋ未満では、基材シートの加熱に時間がかかりすぎ、生産効率が悪化する可能性がある。また５０００Ｗ／ｍ２・Ｋより大きくすることは現実的に困難である。 The heat transfer rate to the base material sheet at the time of pressurization is affected by the type of fine unevenness provided in the second imprint mold, the surface properties of the second imprint mold and the base material, the applied pressure, etc. but it is preferably in the range of 50W / m 2 · K~5000W / m 2 · K. If it is less than 50 W / m 2 · K, it takes too much time to heat the base sheet, and the production efficiency may deteriorate. Moreover, it is practically difficult to make it larger than 5000 W / m 2 · K.

第２のインプリントモールドをその内部より加熱するには、インプリントモールド自体に電流を流し、ジュール熱により加熱する方法や、電気ヒーターを第２のインプリントモールド内に埋め込む方法を用いても良いが、本発明においてはインプリントモールド内に熱媒通路を設けてこれに熱媒を流し加熱する方法がより好ましい。   In order to heat the second imprint mold from the inside, a method in which a current is passed through the imprint mold itself and heated by Joule heat, or a method in which an electric heater is embedded in the second imprint mold may be used. However, in the present invention, a method in which a heat medium passage is provided in the imprint mold and the heat medium is supplied to the imprint mold and heated is more preferable.

本発明に好適なインプリントモールド内に熱媒通路を設けた第２のインプリントモールドを図８を用いて具体的に説明する。図８（ａ）に平面図、図８（ｂ）に側面図で示すように、第２のインプリントモールド６は賦形面６２を有しており、内部に流路６１が設けられている。６３ａは熱媒行きマニホールド、６３ｂは熱媒戻りマニホールドであり、Ｐは流路６１を設けている流路ピッチ、Ｔは第２のインプリントモールドの厚み、Ｓは流路と賦形面６２までの距離（最短部）、Ｄは流路の径を示したものであり、加熱効果を確実に得て、本発明の効果をより効果的に得る上で、これら値には好適な範囲がある。本発明者らの各種知見によれば、Ｐ／Ｓの好適範囲は１〜４である。１未満では表面の加熱速度が遅くなる。また４よりも大きいときには第２のインプリントモールド表面での温度ムラが発生することがある。また、第２のインプリントモールドの厚みＴは２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲が好ましい。２０ｍｍ未満では第２のインプリントモールドの平面度が悪くなる場合があり、基材シートの寸法等によっては好ましくない。また、同じく２０ｍｍ未満では、第２のインプリントモールドの熱容量が小さくなり、基材シートを加熱する際、第２のインプリントモールドの温度低下が大きくなる。５０ｍｍよりも大きい場合には一般に加熱に時間がかかりすぎるようになる。流路の径Ｄは、４ｍｍ〜８ｍｍの範囲が好ましい。４ｍｍ未満では流路の加工が難しくなることや圧損が大きくなる場合がある。８ｍｍよりも大きくなると、熱媒〜流路壁面の境膜伝熱係数が低下し、それに対応して加熱に要する時間が長くなる。さらに、効率よく伝熱できるように、熱媒流路のレイノルズ数が１．０×１０４〜１２×１０４であるのが好ましい。また、賦形面の温度分布の均一化を実現するために、端部に位置する流路よりも内側に賦形面６２を設けることが好ましい。また、各流路における熱媒の流れ方向を、特に加熱中における温度ムラを小さくすることができることから、隣合う流路で熱媒を逆向きに流すことも好ましい。ここで、「隣り合う流路」とは、１本１本で隣り合うことの他、２本ずつで隣り合うなどの複数本での隣り合い状態のものも含むものである。 The 2nd imprint mold which provided the heat-medium channel | path in the imprint mold suitable for this invention is demonstrated concretely using FIG. As shown in a plan view in FIG. 8A and a side view in FIG. 8B, the second imprint mold 6 has a shaping surface 62, and a flow path 61 is provided therein. . 63a is a heat medium manifold, 63b is a heat medium return manifold, P is a flow path pitch in which the flow path 61 is provided, T is the thickness of the second imprint mold, S is up to the flow path and the shaping surface 62 The distance (shortest part), D indicates the diameter of the flow path, and there is a suitable range for these values in order to obtain the heating effect reliably and the effect of the present invention more effectively. . According to the various findings of the present inventors, the preferred range of P / S is 1 to 4. If it is less than 1, the heating rate of the surface becomes slow. On the other hand, when it is larger than 4, temperature unevenness may occur on the surface of the second imprint mold. The thickness T of the second imprint mold is preferably in the range of 20 mm to 50 mm. If it is less than 20 mm, the flatness of the second imprint mold may deteriorate, which is not preferable depending on the dimensions of the base sheet. Similarly, if the thickness is less than 20 mm, the heat capacity of the second imprint mold becomes small, and when the base sheet is heated, the temperature drop of the second imprint mold becomes large. When it is larger than 50 mm, it generally takes too much time for heating. The diameter D of the channel is preferably in the range of 4 mm to 8 mm. If it is less than 4 mm, it may become difficult to process the flow path and the pressure loss may increase. When it becomes larger than 8 mm, the boundary film heat transfer coefficient between the heat medium and the flow path wall surface decreases, and the time required for heating correspondingly increases. Furthermore, it is preferable that the Reynolds number of the heat medium flow path is 1.0 × 10 4 to 12 × 10 4 so that heat can be transferred efficiently. Moreover, in order to implement | achieve uniform temperature distribution of a shaping surface, it is preferable to provide the shaping surface 62 inside the flow path located in an edge part. Further, since the temperature unevenness in heating can be reduced particularly in the flow direction of the heat medium in each flow path, it is also preferable to flow the heat medium in the reverse direction in the adjacent flow paths. Here, “adjacent flow paths” include not only one adjacent to each other but also a plurality of adjacent ones such as adjacent to each other.

また、本発明においては、第２のインプリントモールド非加熱中でも熱媒は第２のインプリントモールド部以外で循環温調される構成が適用されるが、第２のインプリントモールド加熱中、非加熱中ともに熱媒が流れる流路（以下、熱媒循環共通流路）の内容積は第２のインプリントモールドの賦形面積に対して十分に確保することが好ましい。ここで、十分に確保するとは、１回の第２のインプリントモールド加熱過程で必要な熱媒体積以上の容積を確保することをいう。第２のインプリントモールド加熱過程で熱媒が第２のインプリントモールド内を通過後、十分に再加熱されずに第２のインプリントモールド内に再導入されると、熱媒の初期温度が低いために途中から加熱速度が鈍化し、加熱時間が長くなる。熱媒循環共通流路の内容積を十分に確保すれば、熱媒の初期温度の低下による加熱速度鈍化を防止できる。なお、市販の温調機はせいぜいヒータータンク容量が１０Ｌ程度で、ヒーター容量が２０ｋＷ程度であるので、１辺が３００ｍｍ以上の大きい賦形面積を持つ場合には、別途ヒーターを内装したバッファタンクを熱媒循環共通流路の途中に設けることが好ましい。   Further, in the present invention, a configuration in which the heating medium is circulated and adjusted at a temperature other than the second imprint mold part is applied even when the second imprint mold is not heated. It is preferable that the internal volume of the flow path through which the heat medium flows during heating (hereinafter referred to as a heat medium circulation common flow path) is sufficiently ensured with respect to the shaping area of the second imprint mold. Here, sufficiently securing means securing a volume equal to or larger than the heat medium volume required in one second imprint mold heating process. When the heating medium passes through the second imprint mold in the second imprint mold heating process and is re-introduced into the second imprint mold without being sufficiently reheated, the initial temperature of the heating medium is reduced. Since it is low, the heating rate is slowed from the middle, and the heating time becomes longer. If the internal volume of the heat medium circulation common flow path is sufficiently secured, it is possible to prevent the heating rate from slowing down due to a decrease in the initial temperature of the heat medium. In addition, since a commercially available temperature controller has a heater tank capacity of about 10 L and a heater capacity of about 20 kW, a buffer tank equipped with a separate heater must be installed if one side has a large shaping area of 300 mm or more. It is preferable to provide in the middle of the heat medium circulation common flow path.

また、第２のインプリントモールドの内部には、冷却手段が設けられていることが好ましい。ここで、冷却手段とは、例えば第２のインプリントモールド内に冷媒を流す流路を形成することで実現できる。ここで、冷媒流路は上述した熱媒流路と別に設けてもよいが、熱媒流路と共通化するのがより好ましい。熱媒流路と共通化する場合には、前記熱媒と前記冷媒を同じ流路に逐次切り替えて循環させる切り替え手段を有することが好ましい。例えば、図９に示すように、熱媒循環用の加熱装置１０と冷媒循環用の冷却装置１１とを切り替えバルブ９を介して第２のインプリントモールドに接続し、熱媒・冷媒を切り替えて第２のインプリントモールドに流すことができるようにすることが好ましい。なお、熱媒・冷媒とも同じ媒体が良く、高い熱伝達性能が得られる水が好ましい。また、熱媒と冷媒を切り替える際に第２のインプリントモールド内に残留している媒体を追い出す必要がないためサイクルの短縮化につながる。そのような構成にすると、第２のインプリントモールドの加熱・冷却をより早く正確に行うことができる。   Moreover, it is preferable that a cooling means is provided inside the second imprint mold. Here, the cooling means can be realized, for example, by forming a flow path through which the coolant flows in the second imprint mold. Here, the refrigerant flow path may be provided separately from the above-described heat medium flow path, but it is more preferable to share the refrigerant flow path with the heat medium flow path. In the case of sharing with the heat medium flow path, it is preferable to have switching means for sequentially switching the heat medium and the refrigerant to the same flow path for circulation. For example, as shown in FIG. 9, a heating device 10 for circulating a heat medium and a cooling device 11 for circulating a refrigerant are connected to a second imprint mold via a switching valve 9 to switch between the heating medium and the refrigerant. It is preferable to be able to flow through the second imprint mold. In addition, the medium which is the same as a heat medium and a refrigerant | coolant is good, and the water from which high heat transfer performance is obtained is preferable. In addition, when switching between the heat medium and the refrigerant, it is not necessary to expel the medium remaining in the second imprint mold, which leads to cycle shortening. With such a configuration, the second imprint mold can be heated and cooled more quickly and accurately.

なお、冷却においても、吸熱源が第２のインプリントモールド内部に存在し、基材シートを迅速に冷却することができるため、第１のインプリントモールドに対する特別な吸熱源は前述した第１のインプリントモールドに対する熱源が不要な理由と同理由により不要である。   Even in cooling, a heat absorption source exists in the second imprint mold, and the base sheet can be quickly cooled. Therefore, the special heat absorption source for the first imprint mold is the first heat absorption source described above. The heat source for the imprint mold is unnecessary for the same reason.

さらに、第２のインプリントモールド冷却中、非冷却中ともに冷媒が流れる流路（以下、冷媒循環共通流路）の内部容積についても熱媒循環共通流路の内容積と同様のことがいえ、冷却速度鈍化の防止のために冷媒循環共通流路の途中でバッファタンク等の内容積増量手段を設けることが好ましい。   Furthermore, it can be said that the internal volume of the flow path (hereinafter referred to as the refrigerant circulation common flow path) through which the refrigerant flows both during cooling and non-cooling of the second imprint mold is the same as the internal volume of the heat medium circulation common flow path. In order to prevent the cooling rate from slowing down, it is preferable to provide an internal volume increasing means such as a buffer tank in the middle of the refrigerant circulation common flow path.

本発明の上述した具体的方法は以下に説明する本発明の微細形状転写シートの製造装置により、行うことができる。すなわち、少なくともクッション性を有する第１のインプリントモールドと、／第２のインプリントモールドの賦形面を基材シートに向けて凸状に湾曲させる手段とを少なくとも備えたことを特徴とする微細形状転写シートの製造装置である。   The above-described specific method of the present invention can be performed by the apparatus for producing a fine shape transfer sheet of the present invention described below. That is, at least a first imprint mold having at least a cushioning property and / or a means for curving the shaping surface of the second imprint mold convexly toward the base material sheet It is a manufacturing apparatus of a shape transfer sheet.

図１０は本発明の微細形状転写シートの製造方法を実施するのに好適に用いられる本発明の微細形状転写シート製造装置の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図であり、１は微細形状転写シート製造装置、２はプレス装置、３は上部加圧板、８は下部加圧板、５は基材シート、４は第１のインプリントモールド、４１はクッション性を有する部材（以下、クッション材）、４２は転写シート、６は第２のインプリントモールド、６２は第２のインプリントモールド賦形面である。第１のインプリントモールド４はクッション材４１と転写シート４２からなり、第２のインプリントモールドの賦形面側６２は基材シートに対して突出するように設置している。   FIG. 10 is a schematic front view showing an example of an embodiment of the fine shape transfer sheet manufacturing apparatus of the present invention suitably used for carrying out the method of manufacturing the fine shape transfer sheet of the present invention. Fine shape transfer sheet manufacturing apparatus, 2 is a press apparatus, 3 is an upper pressure plate, 8 is a lower pressure plate, 5 is a base sheet, 4 is a first imprint mold, and 41 is a member having cushioning properties (hereinafter referred to as a cushion) Material), 42 is a transfer sheet, 6 is a second imprint mold, and 62 is a second imprint mold shaping surface. The first imprint mold 4 includes a cushion material 41 and a transfer sheet 42, and the shaping surface side 62 of the second imprint mold is installed so as to protrude with respect to the base material sheet.

プレスは、図示していない油圧ポンプとオイルタンクに接続されており、油圧ポンプにより上部加圧板３の昇降動作及び、加圧力の制御を行う。また、本実施形態では油圧方式のプレスシリンダーを適用しているが、加圧力を制御できる機構であれば、いかなるものでもよい。   The press is connected to a hydraulic pump (not shown) and an oil tank. The hydraulic pump controls the up / down operation of the upper pressurizing plate 3 and the applied pressure. In this embodiment, a hydraulic press cylinder is applied, but any mechanism can be used as long as it can control the applied pressure.

プレス圧力範囲は０．１ＭＰａ〜２０ＭＰａの範囲で制御できることが好ましく、さらに好ましくは１ＭＰａで〜１０ＭＰａの範囲で制御できることが望ましい。プレス圧力が０．１ＭＰａより小さいと、微細凹凸形状を転写するのに十分な圧力が得られないことがある。プレス圧力が２０ＭＰａより大きいと、設備が過大になり、経済的でない。   The press pressure range is preferably controllable in the range of 0.1 MPa to 20 MPa, more preferably 1 MPa and in the range of 10 MPa. When the pressing pressure is less than 0.1 MPa, a pressure sufficient to transfer the fine uneven shape may not be obtained. If the press pressure is larger than 20 MPa, the equipment becomes excessive and it is not economical.

本発明に用いられる第１のインプリントモールド４の材料は、基材シート５の（ガラス転移点＋５０℃）において十分な耐熱性を有するゴム素材がふさわしく、具体的にはシリコンゴムやフッ素ゴムなどを好適に用いることができる。ただし、応力を受け変形する際に体積変化を伴わない構成では前述したクッション性が乏しいため、好ましくは用いられない。これは賦形面が大面積になると、ゴム素材が第２のインプリントモールド６の湾曲形状に沿って圧縮変形する際に変形分の体積の行き場がなくなり、見かけの弾性率が非常に大きくなり、該湾曲形状に追従することができないからである。これを防ぐために、第１のインプリントモールド４には体積変化性が必要であり、これを実現するための方法としては（ａ）スポンジのような内部に気泡を有する高分子素材で、好ましくは該高分子が樹脂もしくはゴムからなるもの、（ｂ）ゴムと体積変化層を積層した複合材、（ｃ）体積変化層にゴムを含浸した複合材 などを好適に用いることができる。また上記（ａ）〜（ｃ）の任意の組み合せ構成も本発明に好適に用いることができる。体積変化層には、繊維類を編んだものや織ったもの、さらには不織布など、さらにはこれらを積層したものを好適に用いることができる。これらの部材を適用することにより、好ましいクッション性を簡便に得ることができる。。   As the material of the first imprint mold 4 used in the present invention, a rubber material having sufficient heat resistance at the (glass transition point + 50 ° C.) of the base sheet 5 is suitable. Specifically, silicon rubber, fluororubber, etc. Can be suitably used. However, a structure that does not change in volume when deformed under stress is not preferably used because the cushioning property described above is poor. This is because when the shaping surface has a large area, when the rubber material compressively deforms along the curved shape of the second imprint mold 6, there is no place for the volume of deformation, and the apparent elastic modulus becomes very large. This is because the curved shape cannot be followed. In order to prevent this, the first imprint mold 4 needs to have volume changeability. As a method for realizing this, (a) a polymer material having bubbles inside such as a sponge, preferably The polymer is preferably made of a resin or rubber, (b) a composite material in which a rubber and a volume change layer are laminated, (c) a composite material in which a volume change layer is impregnated with rubber, and the like. In addition, any combination of the above (a) to (c) can be suitably used in the present invention. As the volume change layer, a knitted or woven fiber, a non-woven fabric or the like, or a laminate of these can be suitably used. By applying these members, preferred cushioning properties can be easily obtained. .

第１のインプリントモールド４に賦形したい微細凹凸形状を設けるには、クッション材４１の表面をＮＣ加工機等により直接加工する方法や、ランダムな凹凸パターンで良ければ、ショットブラストやエッチング、プラズマ処理やエキシマレーザーにより、表面に凹凸を付けることもできるが、転写シート４２を積層してこの転写シート４２を第１のインプリントモールド４の賦形面とする方法が本発明においては好適である。この転写シート４２はクッション材４１のクッション性を阻害してはならないため、可撓性を有する材料が好適である。さらにクッション材４１と転写シート４２を別体にすることにより、それぞれの最適化が容易になり、良好な転写性が得られる。   In order to provide the first imprint mold 4 with a fine concavo-convex shape to be shaped, a method of directly processing the surface of the cushion material 41 with an NC processing machine or the like, or if a random concavo-convex pattern is acceptable, shot blasting, etching, plasma Although the surface can be roughened by treatment or excimer laser, a method in which the transfer sheet 42 is laminated and this transfer sheet 42 is used as the shaping surface of the first imprint mold 4 is suitable in the present invention. . Since the transfer sheet 42 should not hinder the cushioning property of the cushion material 41, a flexible material is suitable. Furthermore, by making the cushion material 41 and the transfer sheet 42 separate, optimization of each becomes easy and good transferability is obtained.

このような転写シート４２としては、次に示す方法で製造した電鋳シートを用いることができる。すなわち、基材シートの第１のインプリントモールド側に転写したい微細凹凸形状をＮＣ加工機等により加工したマスター型を用意し、このマスター型をメッキ槽の中に入れマスター型にメッキを施し、メッキ槽から取り出した後、メッキ部を剥がして転写シートとする方法である。メッキする金属としてはニッケルや、その合金を好ましく用いることができるが、その他の金属であってもよい。   As such a transfer sheet 42, an electroformed sheet manufactured by the following method can be used. That is, prepare a master mold in which a fine uneven shape to be transferred to the first imprint mold side of the base sheet is processed by an NC processing machine, etc., put this master mold in a plating tank, and apply plating to the master mold. After removing from the plating tank, the plating part is peeled off to obtain a transfer sheet. As the metal to be plated, nickel or an alloy thereof can be preferably used, but other metals may be used.

本発明の転写シートにおいてさらに好ましくは、樹脂シートを用いるのが良い。フッ素系樹脂や、シリコン系樹脂などの耐熱性材料を用いるのであれば、ＮＣ加工機による機械加工で微細凹凸形状を表面に設け、転写シートを製作することができる。また、ポリジメチルシロキサンを材料として用いるなら、機械加工に加え、フォトリソグラフィー法により、微細凹凸形状を設けることもできる。   In the transfer sheet of the present invention, a resin sheet is more preferably used. If a heat-resistant material such as fluorine resin or silicon resin is used, a transfer sheet can be manufactured by providing fine irregularities on the surface by machining with an NC processing machine. If polydimethylsiloxane is used as a material, in addition to machining, a fine concavo-convex shape can be provided by photolithography.

本発明の転写シートにおいてさらに好ましくは、転写シート４２の材料としては熱可塑性を有するポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などを用いる。このなかで共重合するモノマー種が多様であり、かつそのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。   More preferably, in the transfer sheet of the present invention, the material of the transfer sheet 42 is thermoplastic polyester terephthalate such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2, 6-naphthalate, polypropylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene, polystyrene, polypropylene, Polyolefin resins such as polyisobutylene, polybutene, polymethylpentene, polyamide resins, polyimide resins, polyether resins, polyesteramide resins, polyetherester resins, acrylic resins, polyurethane resins, polycarbonate resins, or Polyvinyl chloride resin or the like is used. Among these, there are various types of monomers to be copolymerized, and it is particularly easy to adjust material properties, so that polyester resins, polyolefin resins, polyamide resins, acrylic resins, or mixtures thereof are used. It is preferable that the thermoplastic resin is mainly formed from the selected thermoplastic resin, and it is more preferable that the above-mentioned thermoplastic resin is 50% by weight or more.

これらの材料に微細凹凸形状を設けるには、基材シートの第１のインプリントモールド側に転写したい微細凹凸形状を有したマスター型を用意し、このマスター型を加熱した後、一対の加圧板を用いて金型と熱可塑性シートを押圧するれば良い。転写シートを得る装置は本発明の微細凹凸形状転写装置を用いることができ、第１のインプリントモールドとして、賦形面が平面のものを用い、第２のインプリントモールドとして、マスター型を用いればよい。このように、転写シートを樹脂シートにすることにより、電鋳シートと異なり、転写シート製作用の別の装置が不必要になり、マスター型をあらかじめ製作するだけで、安価に短時間で転写シートを得ることができる。   In order to provide fine irregularities in these materials, a master mold having fine irregularities to be transferred to the first imprint mold side of the base sheet is prepared, and after heating the master mold, a pair of pressure plates What is necessary is just to press a metal mold | die and a thermoplastic sheet using. As the apparatus for obtaining the transfer sheet, the fine uneven shape transfer apparatus of the present invention can be used. As the first imprint mold, one having a flat shaping surface is used, and as the second imprint mold, a master mold is used. That's fine. In this way, by using a transfer sheet as a resin sheet, unlike an electroformed sheet, there is no need for another apparatus for producing a transfer sheet. Can be obtained.

なお、基材シートの第１のインプリントモールド側の面に賦形したい形状がランダムな凹凸パターンで良ければ、樹脂シート表面にショットブラストやエッチング、プラズマ処理やエキシマレーザーにより、凹凸形状を設けても良い。   In addition, if the shape to be shaped on the first imprint mold side surface of the base material sheet is a random uneven pattern, the uneven shape is provided on the surface of the resin sheet by shot blasting, etching, plasma treatment or excimer laser. Also good.

本発明に用いられる第２のインプリントモールド６には前述したように温調用の熱媒・冷媒回路が設けており、熱媒温調ポンプ１０及び冷媒温調ポンプ１１から熱媒がもしくは冷媒が切り替えバルブ９を介して供給され、第２のインプリントモールドの加熱及び冷却が可能となっている。   As described above, the second imprint mold 6 used in the present invention is provided with the heat medium / refrigerant circuit for temperature adjustment, and the heat medium or refrigerant is supplied from the heat medium temperature adjustment pump 10 and the refrigerant temperature adjustment pump 11. The second imprint mold can be heated and cooled by being supplied via the switching valve 9.

また、本発明においては、第２のインプリントモールドの賦形面を前述したように基材シートに対し、図示するように凸型に湾曲させることが好ましい。図１１、図１２を用いて第２のインプリントモールドの賦形面を湾曲させる方法について説明する。   Moreover, in this invention, it is preferable to make the shaping | molding surface of a 2nd imprint mold curve convexly so that it may illustrate with respect to a base material sheet as mentioned above. A method of curving the shaping surface of the second imprint mold will be described with reference to FIGS. 11 and 12.

図１１は厚み分布を有するプレート７の上に第２のインプリントモールド６を置き、プレート７に第２のインプリントモールド６の賦形面逆面を密着するように設置した一例を示す図である。プレート７は、図１１では片面のみ凸型に湾曲しているが、プレート全体が湾曲している形状でもよく、少なくとも第２のインプリントモールドと接する側の面が凸型に湾曲していればよい。このプレート７は面内の一部で厚みの最大値を取り、かつ、面内に厚みの極小値を持たないようになっている。より好ましくは、厚みの変化量の絶対値を最大厚み部から厚み勾配に沿って単調に増加させる。このプレート７に第２のインプリントモールド６の賦形面６２とは逆側の面を密着して把持することにより、第２のインプリントモールド賦形面６２に湾曲形状を持たせるのである。ここで、「面内に厚みの極小値を持つ」とは、１辺の長さ１０ｍｍでプレート７を格子状に区切ったとき、任意の格子内の平均厚みをＴ、この格子に接する８つの格子の平均厚みをそれぞれＴ１〜Ｔ8としたとき、全てのｘについてＴ≦ＴＸが成立することをいう（ここでｘは１〜８の自然数である。）。つまり、「面内に厚みの極小値を持たない」とは、全てのｘについてＴ≦ＴＸが成立するような格子が賦形面内に存在しないことである。言い換えると、面内の全ての格子について、平均厚みＴＸ＜Ｔを満たすような隣接する格子が少なくとも１つ存在することである。プレート７の最大厚み部と最小厚み部の厚み差は１μｍ〜５００μｍの範囲にあることが好ましく、さらに好ましくは１μｍ〜２００μｍである。厚み差が１μｍよりも小さいと、賦形時に十分な賦形勾配が得られず、エアを排出できないことがある。また、厚み差が５００μｍよりも大きいと、厚みが薄い箇所に十分な賦形圧力がかからないため、転写不良となることがある。 FIG. 11 is a view showing an example in which the second imprint mold 6 is placed on a plate 7 having a thickness distribution, and the second imprint mold 6 is placed in close contact with the opposite surface of the shaping surface of the second imprint mold 6. is there. In FIG. 11, only one surface of the plate 7 is curved in a convex shape, but the entire plate may be curved, and at least the surface in contact with the second imprint mold is curved in a convex shape. Good. The plate 7 has a maximum thickness value in a part of the plane, and does not have a minimum thickness value in the plane. More preferably, the absolute value of the amount of change in thickness is monotonously increased along the thickness gradient from the maximum thickness portion. The surface of the second imprint mold 6 opposite to the shaping surface 62 of the second imprint mold 6 is tightly gripped on the plate 7 to give the second imprint mold shaping surface 62 a curved shape. Here, “having a minimum thickness in the plane” means that when the plate 7 is divided into a grid with a side length of 10 mm, the average thickness in an arbitrary grid is T, and the eight in contact with the grid When the average thickness of the lattice is T 1 to T 8, it means that T ≦ T X is satisfied for all x (where x is a natural number of 1 to 8). That is, “there is no minimum value of the thickness in the plane” means that there is no lattice in the shaping plane that satisfies T ≦ T X for all x. In other words, there is at least one adjacent lattice that satisfies the average thickness T X <T for all the lattices in the plane. The thickness difference between the maximum thickness portion and the minimum thickness portion of the plate 7 is preferably in the range of 1 μm to 500 μm, more preferably 1 μm to 200 μm. If the thickness difference is smaller than 1 μm, a sufficient shaping gradient cannot be obtained during shaping, and air may not be discharged. On the other hand, if the thickness difference is larger than 500 μm, a transfer failure may occur because a sufficient shaping pressure is not applied to a thin portion.

図１２は厚み分布を持たせた第２のインプリントモールドの一例である。この第２のインプリントモールドの厚みを、賦形面内の一部で厚みの最大値を取り、かつ、賦形面内に厚みの極小値を持たないように設定する。より好ましくは、インプリントモールドの単位長さあたりの厚みの変化量の絶対値が最大厚み部から厚み勾配に沿って単調に増加するように設定する。言い換えると、横軸に最大厚み部からの距離を、縦軸に厚みの値をとってグラフにしたとき、最大厚み部からの距離が大きくなるにつれて、対応するグラフ上の点における接線の傾きの絶対値が大きくなる関係である。この関係を維持している限り、接線の傾きの絶対値が直線的に増加していても、変動しながら増加していてもよい。このような厚み分布を付与し賦形面に湾曲した形状を与えることにより、前述した本発明に好適な賦形圧力分布を賦形時に得ることができる。ここで、「賦形面内に厚みの極小値を持たない」とは、前述したプレート７において「面内に厚みの極小値を持たない」と同様の意味である。最大厚み部と最小厚み部の厚み差は１μｍ〜５００μｍの範囲にあることが好ましく、さらに好ましくは１μｍ〜２００μｍである。厚み差が１μｍよりも小さいと、賦形時に十分な賦形圧力勾配が得られず、エアを排出できないことがある。また、厚み差が５００μｍよりも大きいと、厚みが薄い箇所に十分な賦形圧力がかからないため、転写不良となることがある。   FIG. 12 shows an example of a second imprint mold having a thickness distribution. The thickness of the second imprint mold is set so that the maximum value of the thickness is obtained in a part of the shaping surface and the minimum value of the thickness is not present in the shaping surface. More preferably, the absolute value of the amount of change in thickness per unit length of the imprint mold is set so as to monotonously increase from the maximum thickness portion along the thickness gradient. In other words, when the distance from the maximum thickness portion is plotted on the horizontal axis and the thickness value is plotted on the vertical axis, as the distance from the maximum thickness portion increases, the slope of the tangent at the corresponding point on the graph increases. This is a relationship in which the absolute value increases. As long as this relationship is maintained, the absolute value of the slope of the tangent line may increase linearly or may increase while fluctuating. By giving such a thickness distribution and giving the shaping surface a curved shape, the above-described shaping pressure distribution suitable for the present invention can be obtained at the time of shaping. Here, “having no minimum value of thickness within the shaping surface” has the same meaning as “having no minimum value of thickness within the surface” in the plate 7 described above. The thickness difference between the maximum thickness portion and the minimum thickness portion is preferably in the range of 1 μm to 500 μm, more preferably 1 μm to 200 μm. If the thickness difference is less than 1 μm, a sufficient shaping pressure gradient cannot be obtained during shaping, and air may not be discharged. On the other hand, if the thickness difference is larger than 500 μm, a transfer failure may occur because a sufficient shaping pressure is not applied to a thin portion.

本発明に好適な第２のインプリントモールドは、次の方法により作成することができる。まず、熱媒流路となる穴をドリル等を用いて後述する第２のインプリント材料内にあける。賦形面に微細凹凸形状を形成した後に熱媒通路をあけると、材料の残留応力開放や加工歪みにより賦形面の平面度が悪化することがあるので、賦形面形成前に熱媒通路をあけることが好ましい。次に賦形面へ微細凹凸形状を形成する方法について説明する。図１１に示す方法で賦形面を基材シートに対して凸形状に湾曲させる場合は、第２のインプリントモールド賦形面をＮＣ加工機により微細凹凸形状の断面と同じ形状を持つ加工バイトを用いて切削加工すれば良い。図１２に示す厚み分布を持つ第２のインプリントモールドを製作するには、第２のインプリントモールド材料の賦形面側に所望の湾曲形状を与えるため、３次元加工が可能なＮＣ加工機に曲面のデータを入力し加工する。次に微細凹凸形状の断面と同じ形状を持つ加工バイトを用いて、該形状に沿わせながら同ＮＣ加工機にて切削加工することにより微細凹凸形状を賦形面に付与する。   The second imprint mold suitable for the present invention can be produced by the following method. First, a hole serving as a heat medium flow path is formed in a second imprint material described later using a drill or the like. If the heating medium passage is opened after forming the fine irregular shape on the shaping surface, the flatness of the shaping surface may deteriorate due to the release of residual stress of the material or processing distortion. Is preferably opened. Next, a method for forming a fine uneven shape on the shaping surface will be described. When the shaping surface is curved in a convex shape with respect to the base sheet by the method shown in FIG. 11, the machining tool having the same shape as the cross-section of the fine uneven shape on the second imprint mold shaping surface by the NC processing machine. What is necessary is just to cut using. In order to manufacture the second imprint mold having the thickness distribution shown in FIG. 12, an NC processing machine capable of three-dimensional processing is provided to give a desired curved shape to the shaping surface side of the second imprint mold material. The surface data is input to and processed. Next, using a cutting tool having the same shape as the cross-section of the fine concavo-convex shape, the fine concavo-convex shape is imparted to the shaped surface by cutting with the NC processing machine along the shape.

なお、本発明における第２のインプリントモールドの材料としては所望のプレス時の強度、パターン加工精度、シートの離型性が得られるものであればよく、例えばステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂、もしくはこれらの表面に離型性を向上させるための有機膜を被覆させたものが好ましく用いられる。該インプリントモールドの微細なパターンは、シート表面に付与したい微細な凹凸パターンに対応して形成されているものである。   The material of the second imprint mold in the present invention is not particularly limited as long as it can obtain desired pressing strength, pattern processing accuracy, and sheet releasability, and includes, for example, stainless steel, nickel, copper, and the like. A metal material, silicone, glass, ceramics, resin, or a surface thereof coated with an organic film for improving the releasability is preferably used. The fine pattern of the imprint mold is formed corresponding to a fine uneven pattern desired to be applied to the sheet surface.

本発明に適用される基材シートはガラス転移温度Ｔｇが好ましくは４０〜１８０℃のものであり、より好ましくは５０℃〜１６０℃であり、最も好ましくは５０℃〜１２０℃である熱可塑性樹脂を主たる成分とするシートである。ガラス転移温度Ｔｇが４０℃を下回ると成形品の耐熱性が低くなり、形状が経時変化するため好ましくない。またＴｇが１８０℃を上回ると成形温度を高くせざるを得ないものとなり、エネルギー的に非効率であり、また基材シートの加熱、冷却時の体積変動が大きくなり、基材シートがインプリントモールドに噛み込んで離型できなくなったり、また離型できたとしてもパターンの転写精度が低下したり、部分的にパターンが欠けて欠点となる場合がある等の理由により好ましくない。   The base sheet applied to the present invention preferably has a glass transition temperature Tg of 40 to 180 ° C, more preferably 50 to 160 ° C, and most preferably 50 to 120 ° C. It is a sheet | seat which uses as a main component. When the glass transition temperature Tg is lower than 40 ° C., the heat resistance of the molded product is lowered, and the shape changes with time. Also, if Tg exceeds 180 ° C, the molding temperature must be increased, which is inefficient in energy, and the volume fluctuation during heating and cooling of the base sheet becomes large, and the base sheet is imprinted. Even if the mold cannot be released due to being bitten into the mold, the pattern transfer accuracy is lowered, or even if the pattern is partially lost, it is not preferable.

本発明に適用される熱可塑性樹脂を主たる成分とした基材シートは、具体的に好ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などからなるものである。このなかで共重合するモノマー種が多様であり、かつそのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。   Specifically, the base sheet mainly composed of the thermoplastic resin applied to the present invention is preferably a polyester resin such as polyethylene terephthalate, polyethylene-2, 6-naphthalate, polypropylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene, Polyolefin resins such as polystyrene, polypropylene, polyisobutylene, polybutene, and polymethylpentene, polyamide resins, polyimide resins, polyether resins, polyester amide resins, polyether ester resins, acrylic resins, polyurethane resins, polycarbonates It is made of a base resin or a polyvinyl chloride resin. Among these, there are various types of monomers to be copolymerized, and it is particularly easy to adjust material properties, so that polyester resins, polyolefin resins, polyamide resins, acrylic resins, or mixtures thereof are used. It is preferable that the thermoplastic resin is mainly formed from the selected thermoplastic resin, and it is more preferable that the above-mentioned thermoplastic resin is 50% by weight or more.

本発明に適用する基材シートは上述の樹脂の単体からなるシートであっても構わないし、複数の樹脂層からなる積層体であってもよい。この場合、単体シートと比べて、易滑性や耐摩擦性などの表面特性や、機械的強度、耐熱性を付与することができる。このように複数の樹脂層からなる積層体とした場合はシート全体が前述の用件を満たすことが好ましいが、シート全体としては前記要件を満たしていなくても、少なくとも前述の要件を満たす層が表層に形成されていれば容易に表面を形成することができる。   The substrate sheet applied to the present invention may be a sheet made of the above-mentioned resin alone or a laminate made of a plurality of resin layers. In this case, compared with a single sheet, surface characteristics such as slipperiness and friction resistance, mechanical strength, and heat resistance can be imparted. Thus, when it is a laminate composed of a plurality of resin layers, it is preferable that the entire sheet satisfies the above-mentioned requirements. If it is formed on the surface layer, the surface can be easily formed.

また、本発明に適用する基材シートの好ましい厚さ（厚み、膜厚）としては、ロール状に巻かれたシートを間欠的に成形するのであれば、０．０１〜１ｍmであることが好ましい。０．０１ｍm未満であると、成形するのに十分な厚みがなく、１ｍm以上であると、基材シートの第２のインプリントモールド側の面から第１のインプリントモールド側の面への熱伝達効率が悪化し、第１のインプリントモールド側の面が賦形可能な温度に到達するまで時間がかかり、生産効率が悪化するおそれがある。また、１ｍｍ以上であると、搬送が一般に難しい。   Moreover, as preferable thickness (thickness, film thickness) of the base material sheet applied to the present invention, it is preferably 0.01 to 1 mm if a sheet wound in a roll shape is intermittently formed. . When the thickness is less than 0.01 mm, there is not sufficient thickness for molding, and when the thickness is 1 mm or more, heat from the second imprint mold side surface of the base sheet to the first imprint mold side surface The transmission efficiency is deteriorated, and it takes time until the surface on the first imprint mold side reaches a temperature at which shaping is possible, which may deteriorate the production efficiency. Moreover, conveyance is generally difficult as it is 1 mm or more.

図１３は図１０に示した本発明の微細形状転写シートの製造装置を用いて、賦形面における加圧力が最大となった時の状態をモデル的に示した正面概略図である。第２のインプリントモールド賦形面６２の湾曲形状に従い、第１のインプリントモールド４が変形することにより、所望の賦形面圧力分布が得られるのは前述した通りである。   FIG. 13 is a schematic front view schematically showing a state when the applied pressure on the shaping surface becomes maximum using the apparatus for manufacturing a fine shape transfer sheet of the present invention shown in FIG. As described above, when the first imprint mold 4 is deformed according to the curved shape of the second imprint mold shaping surface 62, a desired shaping surface pressure distribution is obtained.

以下、実施例に基づいて本発明の方法、装置の具体的構成、効果について説明をする。以下の実施例では、それぞれにおいて（１）〜（１２）に示した仕様のインプリントモールドやプレス装置、加工条件で微細形状の付与加工を行い、微細形状転写シートの製造を行ったものである。なお、以下の実施例は本発明の実施形態の一例であり、本発明はこれらに限るものではない。   The specific configuration and effects of the method and apparatus of the present invention will be described below based on examples. In the following examples, a fine shape transfer sheet was manufactured by applying a fine shape with an imprint mold, a pressing device, and processing conditions having the specifications shown in (1) to (12). . The following examples are examples of embodiments of the present invention, and the present invention is not limited thereto.

〔実施例１〕
（１）第１のインプリントモールドサイズ：７００ｍｍ（基材シート幅方向）×１０００ｍｍ（基材シート走行方向）×５ｍｍ（厚み）
（２）第１のインプリントモールド材質：全体が耐熱性ナイロン織布にフッ素ゴムを含浸したクッション材。
（３）第１のインプリントモールド賦形面の微細形状：上記クッション材の基材シート側の面にショットブラスト処理を施し、ランダムな凹凸形状とした。凹凸形状の平均深さは約１０μｍ、隣り合う凸と凸の間隔は平均約２０μｍとした。
（４）第２のインプリントモールドサイズ：５００ｍｍ（基材シート幅方向）×８００ｍｍ（基材シート走行方向）×３０ｍｍ（厚み）
（５）第２のインプリントモールド材質：銅
（６）第２のインプリントモールド賦形面の微細形状：ピッチ１０μm、凸部高さ５μmでシート走行方向から見たときの断面形状が直角二等辺三角形の溝で、該溝がストライプ状になっているもの。
（７）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってなされる。
（８）温調：第２のインプリントモールドに温調用熱媒路が設けられており、１４０℃の水により加熱、６０℃の水により冷却
（９）基材シート：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚みが５０μm幅は５２０ｍｍである。
（１０）第２のインプリントモールド設置方法：最大厚み部と最小厚み部の厚み差が７０μmである凸形の放物面形状を持つプレートを設置し、その上に第２のインプリントモールドの賦形面と逆側の面を沿わせて設置。
（１１）圧力に応じて塑性変形量が変わるフィルムをプレスし、プレス後のフィルムの厚みを１０ｍｍ間隔で測定した。プレス時に第２のインプリントモールド賦形面の溝の長手方向となっていた方向（以下、溝の長手方向とする）に、１辺１０ｍｍの格子が並ぶように測定した。溝の長手方向の圧力分布を調査すると図３に示す圧力分布であった。すなわち、賦形面中心部に最大賦形圧力部を持ち、賦形面内には圧力極小部はなかった。
（１２）上記の装置を用い以下のように成形を行った。あらかじめ、基材シートを第２のインプリントモールド上に置く。次に第２のインプリントモールドに温調水を通水し、第２のインプリントモールド温度が１２０℃になるまで加熱した後、第１のインプリントモールドを取り付けた上部加圧板を下降させて、基材シートのプレスを開始する。プレスは２２５０ｋＮまで７秒で昇圧し、昇圧完了後３秒間圧力保持した。またプレス中は温調水の通水を停止している。その後、プレスを継続したまま冷却水を第２のインプリントモールドに流し、インプリントモールド温度が９０℃になった時冷却を停止し、プレスを解放する。その後、シートを第２のインプリントモールドから離型する。
上記の動作を繰り返し、１０枚の成形シートを作成した。成形面を目視で評価した結果、基材シートの両面でエア噛み込みや転写不良がなく、良好な転写を得ることができた。また、走査型電子顕微鏡を用いて成形された微細凹凸形状を観察すると第１のインプリントモールド側にはランダムな凹凸パターンが、第２のインプリントモールド側には直角二等辺三角形のストライプパターンが形成されていた。また、樹脂の充填率を賦形面内の１０点において測定すると、平均９８％であった。ここで「充填率」とは、金型の微細凹凸形状の凸形状の頂点から凹形状の底までの距離をA、基材シートに転写された微細凹凸形状の凸形状の頂点から凹形状の底までの距離をＢとしたとき、Ｂ／Ａを百分率で表わした値である。 [Example 1]
(1) First imprint mold size: 700 mm (base sheet width direction) × 1000 mm (base sheet travel direction) × 5 mm (thickness)
(2) First imprint mold material: a cushion material in which a heat-resistant nylon woven fabric is impregnated with fluoro rubber.
(3) Fine shape of the first imprint mold shaping surface: The surface of the cushion material on the substrate sheet side was subjected to shot blasting to obtain a random uneven shape. The average depth of the concavo-convex shape was about 10 μm, and the interval between adjacent protrusions was about 20 μm on average.
(4) Second imprint mold size: 500 mm (base sheet width direction) × 800 mm (base sheet travel direction) × 30 mm (thickness)
(5) Second imprint mold material: copper (6) Fine shape of second imprint mold shaping surface: pitch 10 μm, convex portion height 5 μm, and the cross-sectional shape when viewed from the sheet running direction is two perpendicular An equilateral triangular groove that is striped.
(7) Press device: The press device can pressurize up to 3000 kN, and pressurization is performed by a hydraulic pump.
(8) Temperature control: The second imprint mold is provided with a temperature control heat medium passage, heated with water at 140 ° C., cooled with water at 60 ° C. (9) Base sheet: made of polyethylene terephthalate, thickness However, the width of 50 μm is 520 mm.
(10) Second imprint mold installation method: A plate having a convex paraboloid shape in which the difference in thickness between the maximum thickness portion and the minimum thickness portion is 70 μm is set, and the second imprint mold is placed on the plate. Installed along the surface opposite to the shaping surface.
(11) A film whose amount of plastic deformation changes according to pressure was pressed, and the thickness of the film after pressing was measured at intervals of 10 mm. The measurement was performed such that a grid with a side of 10 mm was aligned in the direction that was the longitudinal direction of the groove on the second imprint mold shaping surface (hereinafter referred to as the longitudinal direction of the groove) at the time of pressing. When the pressure distribution in the longitudinal direction of the groove was examined, the pressure distribution shown in FIG. 3 was obtained. That is, there was a maximum shaping pressure portion at the center of the shaping surface, and there was no minimum pressure portion within the shaping surface.
(12) Using the above apparatus, molding was performed as follows. In advance, the base sheet is placed on the second imprint mold. Next, the temperature-controlled water is passed through the second imprint mold and heated until the second imprint mold temperature reaches 120 ° C., and then the upper pressure plate attached with the first imprint mold is lowered. Then, press the base sheet. The press was pressurized to 2250 kN in 7 seconds, and held for 3 seconds after completion of the pressurization. During the press, the flow of temperature-controlled water is stopped. Thereafter, cooling water is allowed to flow into the second imprint mold while the press is continued. When the imprint mold temperature reaches 90 ° C., the cooling is stopped and the press is released. Thereafter, the sheet is released from the second imprint mold.
The above operation was repeated to produce 10 molded sheets. As a result of visual evaluation of the molding surface, there was no air biting and transfer failure on both sides of the base sheet, and good transfer could be obtained. Further, when observing the fine uneven shape formed using a scanning electron microscope, a random uneven pattern is formed on the first imprint mold side, and a right isosceles triangle stripe pattern is formed on the second imprint mold side. Was formed. Further, when the filling rate of the resin was measured at 10 points in the shaping surface, it was 98% on average. Here, the “filling rate” is the distance from the top of the convex shape of the fine concave and convex shape of the mold to the bottom of the concave shape, and from the top of the convex shape of the fine concave and convex shape transferred to the base sheet to the concave shape. When the distance to the bottom is B, B / A is a value expressed as a percentage.

〔実施例２〕
（１）第１のインプリントモールドサイズ：実施例１と同じ
（２）第１のインプリントモールド材質：耐熱性ナイロン織布にフッ素ゴムを含浸したクッション材と、厚さ０．２ｍｍのポリエチレンテレフタレートからなる転写シートを積層した。
（３）第１のインプリントモールド賦形面の微細形状：ピッチ１０μm、凸部高さ５μmでシート走行方向から見たときの断面形状が直角二等辺三角形の溝で、該溝がストライプ状になっているもの。あらかじめ、所望の賦形面形状を反転した形状を金型に形成し、この金型を熱した後、転写シートの材料であるポリエチレンテレフタレート樹脂を金型に押圧し、転写シートを得ている。
（４）第２のインプリントモールドサイズ：実施例１と同じ
（５）第２のインプリントモールド材質：実施例１と同じ
（６）第２のインプリントモールド賦形面の微細形状：実施例１と同じ
（７）プレス装置：実施例１と同じ
（８）温調：実施例１と同じ
（９）基材シート：実施例１と同じ
（１０）第２のインプリントモールド設置方法：実施例１と同じ
（１１）圧力に応じて塑性変形量が変わるフィルムをプレスし、プレス後のフィルムの厚みを１０ｍｍ間隔で測定すると、図３に示す賦形圧力分布であることがわかった。すなわち、賦形面中心部に最大賦形圧力部を持ち、賦形面内には賦形圧力極小部はなかった。
（１２）上記の装置を用い以下のように成形を行った。あらかじめ、基材シートを第２のインプリントモールド上に置く。次に第２のインプリントモールドに温調水を通水し、第２のインプリントモールド温度が１２０℃になるまで加熱した後、第１のインプリントモールドを取り付けた上部加圧板を下降させて、基材シートのプレスを開始する。プレスは２２５０ｋＮまで７秒で昇圧し、昇圧完了後３秒間圧力保持した。またプレス中は温調水の通水を停止している。その後、プレスを継続したまま冷却水をインプリントモールドに流し、第２のインプリントモールド温度が９０℃になった時冷却を停止し、プレスを解放する。その後、シートを第２のインプリントモールドから離型する。
上記の動作を繰り返し、１０枚の成形シートを作成した。成形面を目視で評価した結果、基材シートの両面でエア噛み込みや転写不良がなく、良好な転写を得ることができた。また、走査式電子顕微鏡を用いて成形された微細形状を観察すると、第１のインプリントモールド側と第２のインプリントモールド側の両面に直角二等辺三角形のストライプパターンが形成されていた。また、樹脂の充填率を賦形面内の１０点において測定すると、平均９８％であった。ここでいう「充填率」とは実施例１のそれと同義である。 [Example 2]
(1) First imprint mold size: the same as in Example 1 (2) First imprint mold material: Cushion material in which a heat-resistant nylon woven fabric is impregnated with fluoro rubber, and a polyethylene terephthalate having a thickness of 0.2 mm A transfer sheet consisting of
(3) Fine shape of the first imprint mold shaping surface: a groove having a pitch of 10 μm, a convex portion height of 5 μm, and a cross-sectional shape of a right isosceles triangle when viewed from the sheet running direction. What has become. A shape obtained by reversing a desired shaping surface shape is formed in a mold in advance, and after heating the mold, polyethylene terephthalate resin, which is a material for the transfer sheet, is pressed against the mold to obtain a transfer sheet.
(4) Second imprint mold size: same as Example 1 (5) Second imprint mold material: same as Example 1 (6) Fine shape of second imprint mold shaping surface: Example (7) Same as 1 (7) Press device: Same as Example 1 (8) Temperature control: Same as Example 1 (9) Substrate sheet: Same as Example 1 (10) Second imprint mold installation method: Implementation The same (11) film as in Example 1 in which the amount of plastic deformation varies according to the pressure, and when the thickness of the film after pressing was measured at intervals of 10 mm, it was found that the forming pressure distribution shown in FIG. In other words, the shaping surface has a maximum shaping pressure portion at the center, and there was no shaping pressure minimum portion in the shaping surface.
(12) Using the above apparatus, molding was performed as follows. In advance, the base sheet is placed on the second imprint mold. Next, the temperature-controlled water is passed through the second imprint mold and heated until the second imprint mold temperature reaches 120 ° C., and then the upper pressure plate attached with the first imprint mold is lowered. Then, press the base sheet. The press was pressurized to 2250 kN in 7 seconds, and held for 3 seconds after completion of the pressurization. During the press, the flow of temperature-controlled water is stopped. Thereafter, cooling water is allowed to flow through the imprint mold while the press is continued. When the second imprint mold temperature reaches 90 ° C., the cooling is stopped and the press is released. Thereafter, the sheet is released from the second imprint mold.
The above operation was repeated to produce 10 molded sheets. As a result of visual evaluation of the molding surface, there was no air biting and transfer failure on both sides of the base sheet, and good transfer could be obtained. Moreover, when the fine shape shape | molded using the scanning electron microscope was observed, the stripe pattern of the right isosceles triangle was formed in both surfaces of the 1st imprint mold side and the 2nd imprint mold side. Further, when the filling rate of the resin was measured at 10 points in the shaping surface, it was 98% on average. The “filling rate” here is synonymous with that in Example 1.

〔比較例１〕
実施例２の装置と同じ装置を用いて、ただし、第１のインプリントモールドは転写シートをクッション材を介さず上部加圧プレートに取付け、また第２のインプリントモールドはプレートを介さず、直接下部加圧プレートに取付け、実施例２と同一の条件で１０枚の成形シートを作成したが、全てのシートにおいてエア噛みによる成形不良が発生した。また、走査式電子顕微鏡を用いて成形された微細形状を観察し、樹脂の充填率を賦形面内の１０点において測定すると、平均８２％であった。ここでいう「充填率」とは実施例１のそれと同義である。 [Comparative Example 1]
Using the same apparatus as that of Example 2, except that the first imprint mold attaches the transfer sheet to the upper pressure plate without the cushioning material, and the second imprint mold directly does not involve the plate. Although it was attached to the lower pressure plate and 10 molded sheets were prepared under the same conditions as in Example 2, molding defects occurred due to air biting in all the sheets. Moreover, when the fine shape shape | molded using the scanning electron microscope was observed and the filling rate of resin was measured in 10 points | pieces in a shaping surface, it was 82% on average. The “filling rate” here is synonymous with that in Example 1.

圧力に応じて塑性変形量が変わるフィルムをプレスし、プレス後のフィルムの厚みを１０ｍｍ間隔で測定し、圧力分布を調査すると図１４に示す賦形圧力分布であり、成型時の賦形面に賦形圧力勾配が存在なかった。このため、噛み込んだエアが排除されなかったことが成形不良の原因である。   When a film whose amount of plastic deformation changes according to the pressure is pressed, the thickness of the film after pressing is measured at intervals of 10 mm, and the pressure distribution is investigated, the forming pressure distribution shown in FIG. 14 is obtained. There was no shaping pressure gradient. For this reason, the cause of the molding failure is that the entrained air is not excluded.

〔比較例２〕
実施例２の装置と同じ装置を用いて、ただし、第１のインプリントモールドは転写シートをクッション材を介さず上部加圧プレートに取付け、第２のインプリントモールドは、賦形面外の下側に高さの異なる円柱状のゴムを設置することにより、賦形面中央部を突出させ、プレス開始時に賦形面中央部から順次プレスされるように下加圧板に固定した。この装置で実施例２と同一の条件で１０枚の成形シートを作成したが、全てのシートにおいてエア噛みによる成形不良が発生した。また、走査式電子顕微鏡を用いて成形された微細形状を観察し、樹脂の充填率を賦形面内の１０点において測定すると、平均７８％であった。ここでいう「充填率」とは実施例１のそれと同義である。 [Comparative Example 2]
The same apparatus as that of Example 2 was used, except that the first imprint mold attached the transfer sheet to the upper pressure plate without a cushioning material, and the second imprint mold was located below the shaping surface. By installing cylindrical rubber having different heights on the side, the center part of the shaping surface was protruded, and fixed to the lower pressure plate so as to be sequentially pressed from the center part of the shaping surface at the start of pressing. Ten molded sheets were created with this apparatus under the same conditions as in Example 2. However, molding defects occurred due to air biting in all the sheets. Moreover, when the fine shape shape | molded using the scanning electron microscope was observed and the filling rate of resin was measured in 10 points | pieces in a shaping surface, it was 78% on average. The “filling rate” here is synonymous with that in Example 1.

圧力に応じて塑性変形量が変わるフィルムをプレスし、プレス後のフィルムの厚みを１０ｍｍ間隔で測定し、圧力分布を調査すると図１５に示す賦形圧力分布であり、ゴムの間隙において賦形圧力が極小値を取っていた。賦形圧力極小部に、噛み込んだエアが留まったことが成形不良の原因である。   When a film whose plastic deformation amount changes according to the pressure is measured, the thickness of the film after pressing is measured at intervals of 10 mm, and the pressure distribution is investigated, the forming pressure distribution shown in FIG. 15 is obtained. Took a local minimum. The cause of defective molding is that the entrained air remains in the minimum shaping pressure.

１：微細形状転写シート製造装置
２：プレス装置
３：上部加圧板
４：第１のインプリントモールド
４１：クッション性を有する部材（クッション材）
４２：転写シート
４３：第１のインプリントモールド賦形面
５：基材シート
６：第２のインプリントモールド
６１：熱媒通路
６２：第２のインプリントモールド賦形面
６３ａ：熱媒行きマニホールド
６３ｂ：熱媒戻りマニホールド
７：プレート
８：下部加圧板
９：切り替えバルブ
１０：加熱装置
１１：冷却装置 1: Fine shape transfer sheet manufacturing device 2: Press device 3: Upper pressure plate 4: First imprint mold 41: Member having cushioning properties (cushion material)
42: transfer sheet 43: first imprint mold shaping surface 5: base material sheet 6: second imprint mold 61: heat medium passage 62: second imprint mold shaping surface 63a: manifold for heat medium 63b: Heat medium return manifold 7: Plate 8: Lower pressure plate 9: Switching valve 10: Heating device 11: Cooling device

Claims (16)

微細凹凸形状からなる賦形面を有する第１のインプリントモールドと微細凹凸形状からなる賦形面を有する第２のインプリントモールドとを、それぞれの賦形面が向かい合うように並べ、該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとの間に、熱可塑性樹脂からなる基材シートを設置し、一対の加圧板により該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとを該基材シート方向に同時に加圧することにより、該基材シートの両面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法であって、
前記第１のインプリントモールドがクッション性を有するものであり、
前記加圧板の加圧力が最大となった時、前記第１のインプリントモールドと前記第２のインプリントモールドのそれぞれの賦形面内において賦形圧力差を存在させ、該賦形面内に最大賦形圧力部を作り、賦形圧力が極小値を取る部位が該賦形面内に存在しないように賦形する微細形状転写シートの製造方法。 A first imprint mold having a shaping surface having a fine uneven shape and a second imprint mold having a shaping surface having a fine uneven shape are arranged so that the respective shaping surfaces face each other, and the first A base sheet made of a thermoplastic resin is installed between the imprint mold and the second imprint mold, and the first imprint mold and the second imprint mold are formed by a pair of pressure plates. By simultaneously pressing in the direction of the base material sheet, a method for producing a fine shape transfer sheet that forms fine irregularities on both surfaces of the base material sheet,
The first imprint mold has cushioning properties;
When the pressing force of the pressure plate reaches a maximum, there is a shaping pressure difference in each shaping surface of the first imprint mold and the second imprint mold, A method for producing a fine shape transfer sheet, in which a maximum shaping pressure part is formed and shaped so that a portion where the shaping pressure takes a minimum value does not exist in the shaping surface. 前記加圧板による加圧前に、前記第２のインプリントモールドのみをその内部より加熱する請求項１に記載の微細形状転写シートの製造方法。   The method for producing a fine shape transfer sheet according to claim 1, wherein only the second imprint mold is heated from the inside thereof before being pressed by the pressure plate. 前記第２のインプリントモールドの賦形面とは反対側の面に、少なくとも一方の面が凸形状に湾曲したプレートを設置し、該第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させて加圧し、前記第１のインプリントモールドを圧縮して前記賦形圧力差を作る請求項１あるいは２に記載の微細形状転写シートの製造方法。   A plate having at least one surface curved in a convex shape is installed on a surface opposite to the shaping surface of the second imprint mold, and the shaping surface of the second imprint mold is used as the base sheet. The method for producing a fine shape transfer sheet according to claim 1 or 2, wherein the first imprint mold is compressed by curving in a convex shape toward the surface and compressing the first imprint mold. 前記第２のインプリントモールド自体の厚みを変化させることにより、該第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させて加圧し、前記第１のインプリントモールドを圧縮して前記賦形圧力差を作る請求項１あるいは２に記載の微細形状転写シートの製造方法。   By changing the thickness of the second imprint mold itself, the shaping surface of the second imprint mold is curved and pressed toward the base material sheet, and the first imprint mold is pressed. The method for producing a fine shape transfer sheet according to claim 1, wherein the shaping pressure difference is created by compressing a mold. 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材に微細凹凸形状を有する転写シートが積層されたものである請求項１〜４のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。   The method for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the first imprint mold is obtained by laminating a transfer sheet having fine irregularities on a member having cushioning properties. 前記転写シートが樹脂である請求項５に記載の微細形状転写シートの製造方法。   The method for producing a fine shape transfer sheet according to claim 5, wherein the transfer sheet is a resin. 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材の表面に微細凹凸形状が形成されたものである請求項１〜４のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。   The method for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the first imprint mold has a fine uneven shape formed on a surface of a member having cushioning properties. 前記クッション性を有する部材が、（ａ）内部に気泡を有する高分子素材、（ｂ）ゴム層と繊維層とを積層した複合材、及び（ｃ）繊維層にゴムを含浸した複合材からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる請求項５〜７のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。   The member having cushioning properties is composed of (a) a polymer material having bubbles inside, (b) a composite material in which a rubber layer and a fiber layer are laminated, and (c) a composite material in which the fiber layer is impregnated with rubber. The method for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 5 to 7, comprising at least one selected from the group. 微細凹凸形状からなる賦形面を有し、それぞれの賦形面が向かい合うように並べられた第１のインプリントモールドと第２のインプリントモールドと、
該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとを両側から挟むように配置された一対の加圧板と、
該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドと該一対の加圧板とを加圧する加圧手段とを少なくとも備え、
該第１のインプリントモールドと該第２のインプリントモールドとの間に設置される熱可塑性樹脂からなる基材シートの両面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写装置であって、
前記第１のインプリントモールドがクッション性を有するものであり、
前記第２のインプリントモールドの賦形面を前記基材シートに向けて凸状に湾曲させる手段とを備えた微細形状転写シートの製造装置。 A first imprint mold and a second imprint mold which have a shaping surface composed of fine irregularities and are arranged so that the respective shaping surfaces face each other;
A pair of pressure plates arranged to sandwich the first imprint mold and the second imprint mold from both sides;
A pressure means for pressing the first imprint mold, the second imprint mold, and the pair of pressure plates;
A fine shape transfer device for shaping fine irregularities on both surfaces of a base material sheet made of a thermoplastic resin installed between the first imprint mold and the second imprint mold,
The first imprint mold has cushioning properties;
An apparatus for producing a fine shape transfer sheet, comprising: means for curving the shaping surface of the second imprint mold in a convex shape toward the base material sheet. 前記第２のインプリントモールドが、その内部に加熱する手段を備えたものである請求項９に記載の微細形状転写シートの製造装置。   The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to claim 9, wherein the second imprint mold is provided with means for heating therein. 前記第２のインプリントモールドの賦形面とは反対側の面に、少なくとも一方の面が凸形状に湾曲したプレートを備え、該プレートが厚み分布を有し、プレートの面内に最大厚み部を有し、かつ面内に厚みの極小値を取る部位が存在しない請求項９あるいは１０に記載の微細形状転写シートの製造装置。   A plate having at least one surface curved in a convex shape is provided on a surface opposite to the shaping surface of the second imprint mold, the plate has a thickness distribution, and the maximum thickness portion is within the surface of the plate. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to claim 9 or 10, wherein there is no portion having a minimum thickness in the surface. 前記第２のインプリントモールドが賦形面内で厚み分布を有し、該賦形面内に最大厚み部を有し、かつ該賦形面内に厚みの極小値を持たない請求項９あるいは１０に記載の微細形状転写シートの製造装置。   The second imprint mold has a thickness distribution in the shaping surface, has a maximum thickness portion in the shaping surface, and does not have a minimum thickness in the shaping surface. 10. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to 10. 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材に微細凹凸形状を有する転写シートが積層されたものである請求項９〜１２のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。   The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 9 to 12, wherein the first imprint mold is obtained by laminating a transfer sheet having a fine uneven shape on a member having cushioning properties. 前記転写シートが樹脂である請求項１３に記載の微細形状転写シートの製造装置。   The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to claim 13, wherein the transfer sheet is a resin. 前記第１のインプリントモールドが、クッション性を有する部材の表面に微細凹凸形状が形成されたものである請求項９〜１２のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。   The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 9 to 12, wherein the first imprint mold has a fine uneven shape formed on a surface of a member having cushioning properties. 前記クッション性を有する部材が、（ａ）内部に気泡を有する高分子素材、（ｂ）ゴム層と繊維層とを積層した複合材、及び（ｃ）繊維層にゴムを含浸した複合材からなる群より選ばれる少なくとも１種からなる請求項１３〜１５のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。   The member having cushioning properties is composed of (a) a polymer material having bubbles inside, (b) a composite material in which a rubber layer and a fiber layer are laminated, and (c) a composite material in which the fiber layer is impregnated with rubber. The apparatus for producing a fine shape transfer sheet according to any one of claims 13 to 15, comprising at least one selected from the group.
JP2009071386A 2008-03-31 2009-03-24 Manufacturing method and manufacturing apparatus of fine shape transfer sheet Active JP5347617B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009071386A JP5347617B2 (en) 2008-03-31 2009-03-24 Manufacturing method and manufacturing apparatus of fine shape transfer sheet

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008089929 2008-03-31
JP2008089929 2008-03-31
JP2009071386A JP5347617B2 (en) 2008-03-31 2009-03-24 Manufacturing method and manufacturing apparatus of fine shape transfer sheet

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009262546A true JP2009262546A (en) 2009-11-12
JP5347617B2 JP5347617B2 (en) 2013-11-20

Family

ID=41388995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009071386A Active JP5347617B2 (en) 2008-03-31 2009-03-24 Manufacturing method and manufacturing apparatus of fine shape transfer sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5347617B2 (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011201188A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Toray Ind Inc Manufacturing method of minute shape transfer sheet
JP2012182289A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Toppan Printing Co Ltd Reflective mask blank and manufacturing method thereof, and reflective mask and manufacturing method thereof
WO2013116109A1 (en) * 2012-01-31 2013-08-08 Seagate Technology Llc Method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles
JP2015060983A (en) * 2013-09-19 2015-03-30 凸版印刷株式会社 Method for manufacturing mold for nanoimprint, and mold for nanoimprint
WO2016021475A1 (en) * 2014-08-04 2016-02-11 大日本印刷株式会社 Imprint mold, imprint method, wire grid polarizer, and method of manufacturing same
JP5868393B2 (en) * 2011-05-19 2016-02-24 綜研化学株式会社 Nanoimprint mold and method of manufacturing curved body
JP2017034276A (en) * 2016-10-20 2017-02-09 大日本印刷株式会社 Mold for imprint and imprint method
JP2017082348A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 八興産業株式会社 Wire rope device
WO2017195633A1 (en) * 2016-05-09 2017-11-16 デクセリアルズ株式会社 Replica master mold, method for manufacturing replica master mold, article, and method for manufacturing body to be formed
CN113352590A (en) * 2016-05-09 2021-09-07 迪睿合电子材料有限公司 Reproduction original disc

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60154115U (en) * 1984-03-26 1985-10-14 日本バイリ−ン株式会社 Cushion material for molding presses
JP2004288845A (en) * 2003-03-20 2004-10-14 Hitachi Ltd Stamper for nano-printing and microstructure transfer method
JP2004299153A (en) * 2003-03-31 2004-10-28 Hitachi Ltd Stamper and transfer device
JP2006035573A (en) * 2004-07-26 2006-02-09 Meiki Co Ltd Apparatus and method for molding resin molding
JP2007190735A (en) * 2006-01-18 2007-08-02 Tdk Corp Stamper, method for forming uneven pattern, and method for producing information recording medium
JP2007245579A (en) * 2006-03-16 2007-09-27 Mitsuboshi Belting Ltd Heat-resistant cushion material for press
JP2008012844A (en) * 2006-07-07 2008-01-24 Hitachi High-Technologies Corp Device for transferring microstructure and method for transferring microstructure

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60154115U (en) * 1984-03-26 1985-10-14 日本バイリ−ン株式会社 Cushion material for molding presses
JP2004288845A (en) * 2003-03-20 2004-10-14 Hitachi Ltd Stamper for nano-printing and microstructure transfer method
JP2004299153A (en) * 2003-03-31 2004-10-28 Hitachi Ltd Stamper and transfer device
JP2006035573A (en) * 2004-07-26 2006-02-09 Meiki Co Ltd Apparatus and method for molding resin molding
JP2007190735A (en) * 2006-01-18 2007-08-02 Tdk Corp Stamper, method for forming uneven pattern, and method for producing information recording medium
JP2007245579A (en) * 2006-03-16 2007-09-27 Mitsuboshi Belting Ltd Heat-resistant cushion material for press
JP2008012844A (en) * 2006-07-07 2008-01-24 Hitachi High-Technologies Corp Device for transferring microstructure and method for transferring microstructure

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011201188A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Toray Ind Inc Manufacturing method of minute shape transfer sheet
JP2012182289A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Toppan Printing Co Ltd Reflective mask blank and manufacturing method thereof, and reflective mask and manufacturing method thereof
JP5868393B2 (en) * 2011-05-19 2016-02-24 綜研化学株式会社 Nanoimprint mold and method of manufacturing curved body
US9610712B2 (en) 2012-01-31 2017-04-04 Seagate Technology Llc Method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles
WO2013116109A1 (en) * 2012-01-31 2013-08-08 Seagate Technology Llc Method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles
JP2015511400A (en) * 2012-01-31 2015-04-16 シーゲイト テクノロジー エルエルシー Surface tension control method for reducing trapped bubbles
US10828666B2 (en) 2012-01-31 2020-11-10 Seagate Technology Llc Method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles
US9278857B2 (en) 2012-01-31 2016-03-08 Seagate Technology Inc. Method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles
JP2015060983A (en) * 2013-09-19 2015-03-30 凸版印刷株式会社 Method for manufacturing mold for nanoimprint, and mold for nanoimprint
JP2016035977A (en) * 2014-08-04 2016-03-17 大日本印刷株式会社 Imprint mold and imprint method, and wire-grid polarizer and manufacturing method thereof
US10088617B2 (en) 2014-08-04 2018-10-02 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Imprint mold, imprint method, wire grid polarizer, and method for manufacturing wire grid polarizer
WO2016021475A1 (en) * 2014-08-04 2016-02-11 大日本印刷株式会社 Imprint mold, imprint method, wire grid polarizer, and method of manufacturing same
JP2017082348A (en) * 2015-10-26 2017-05-18 八興産業株式会社 Wire rope device
WO2017195633A1 (en) * 2016-05-09 2017-11-16 デクセリアルズ株式会社 Replica master mold, method for manufacturing replica master mold, article, and method for manufacturing body to be formed
CN113352590A (en) * 2016-05-09 2021-09-07 迪睿合电子材料有限公司 Reproduction original disc
EP3456506B1 (en) * 2016-05-09 2022-01-05 Dexerials Corporation Method for manufacturing replica master mold, and method for manufacturing body to be formed
US12076890B2 (en) 2016-05-09 2024-09-03 Dexerials Corporation Replica master mold, method of manufacturing replica master mold, article, and method of manufacturing formation object
JP2017034276A (en) * 2016-10-20 2017-02-09 大日本印刷株式会社 Mold for imprint and imprint method

Also Published As

Publication number Publication date
JP5347617B2 (en) 2013-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5347617B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus of fine shape transfer sheet
US9573300B2 (en) Method and device for manufacturing sheet having fine shape transferred thereon
JP5761236B2 (en) Fine shape transfer sheet manufacturing equipment
KR100729421B1 (en) Method and system for extrusion embossing
EP1358987A2 (en) A replication matrix
JP4946871B2 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus for fine shape transfer sheet
US5131970A (en) Block-bonded process for producing thermoplastic resin impregnated fiber honeycomb core
JPH09254310A (en) Manufacture of laminated body and its production equipment
JP2009506895A (en) Forming tool
JP7396825B2 (en) Composite laminate structure with a porous core formed using a continuous compression molding process
US5549773A (en) Woven preform/magnetic press process for thermoplastic honeycomb cores
JP6311395B2 (en) Method and apparatus for manufacturing uneven structure film
JP2001353779A (en) Press roll and method for producing embossed film
JP5082738B2 (en) Fine shape transfer sheet manufacturing equipment
JP5554170B2 (en) Thermal nanoimprint method
JP7379983B2 (en) Method for manufacturing molded bodies
CN115138869B (en) Multi-material layered composite workpiece and three-dimensional forming device and method thereof
CN113103618B (en) Metal compression roller for in-situ forming of thermoplastic composite material and design method thereof
KR102241835B1 (en) Apparatus for forming pattern on extrusion
CN116638262A (en) Short-flow particle medium forming method and device for heterogeneous alloy multilayer honeycomb composite board
JP2008087227A (en) Method and apparatus for manufacturing fine shape transfer sheet
CN104903061A (en) Production method and production device for preform

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120306

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130524

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130611

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130702

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130723

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130805

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5347617

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151