JP2009260463A - Surface acoustic wave filter apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface acoustic wave filter apparatus including first and second surface acoustic wave filters of different pass bands connected in parallel, which has less insertion loss within the pass band of the surface acoustic wave filter having lower pass band. <P>SOLUTION: In the surface acoustic wave filter apparatus 1, at least one of the input ends and output ends of the first surface acoustic wave filter 11 of a relatively high center frequency and of the second surface acoustic wave filter 12 of a relatively low center frequency are connected to each other in common, and the first surface acoustic wave filter 11 is a 5IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter provided with five IDT electrodes 21a-21c. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、例えば帯域フィルタとして用いられる弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、複数の縦結合共振子型の弾性波フィルタが、入力端及び出力端の内少なくとも一方において共通接続されている構造を備えた弾性波フィルタ装置に関する。   The present invention relates to an elastic wave filter device used as, for example, a bandpass filter, and more specifically, a structure in which a plurality of longitudinally coupled resonator type elastic wave filters are commonly connected at least one of an input end and an output end. It is related with the elastic wave filter apparatus provided with.

従来、携帯電話機の帯域フィルタなどにおいて、通過帯域が異なる複数の弾性表面波フィルタを備えた弾性表面波フィルタ装置が用いられている。例えば、下記の特許文献１には、図１４に示す弾性表面波フィルタ装置が開示されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a surface acoustic wave filter device including a plurality of surface acoustic wave filters having different pass bands is used in a bandpass filter of a cellular phone. For example, Patent Document 1 below discloses a surface acoustic wave filter device shown in FIG.

弾性表面波フィルタ装置１００１では、不平衡端子１００２と第１，第２の平衡端子１００３，１００４との間に第１，第２のバランス型弾性表面波フィルタ１００５，１００６とが接続されている。すなわち、不平衡端子１００２に、第１，第２の弾性表面波フィルタ１００５，１００６の各一端が共通接続されている。弾性表面波フィルタ１００５，１００６は、いずれも平衡−不平衡変換機能を有する。弾性表面波フィルタ１００５が、第１，第２の平衡端子１００３，１００４に接続されており、第２の弾性表面波フィルタ１００６も、第１，第２の平衡端子１００３，１００４に接続されている。ここでは、インピーダンスマッチングを図るために、第１，第２の平衡端子１００３，１００４間にインピーダンスマッチッグ用インダクタンス１００７が接続されている。
特開２００２−２０８８３２号公報 In the surface acoustic wave filter device 1001, first and second balanced surface acoustic wave filters 1005 and 1006 are connected between an unbalanced terminal 1002 and first and second balanced terminals 1003 and 1004. That is, one end of each of the first and second surface acoustic wave filters 1005 and 1006 is commonly connected to the unbalanced terminal 1002. The surface acoustic wave filters 1005 and 1006 all have a balance-unbalance conversion function. The surface acoustic wave filter 1005 is connected to the first and second balanced terminals 1003 and 1004, and the second surface acoustic wave filter 1006 is also connected to the first and second balanced terminals 1003 and 1004. . Here, in order to perform impedance matching, an impedance matching inductance 1007 is connected between the first and second balanced terminals 1003 and 1004.
JP 2002-208832 A

特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置では、中心周波数が高い側の第１の弾性表面波フィルタにおける、第２の弾性表面波フィルタの通過帯域でのインピーダンスが、並列接続されている第１，第２の平衡端子間での反射特性により低くなる。そのため、中心周波数が低い側のフィルタである第２の弾性波フィルタが駆動されている場合、第２の弾性表面波フィルタの通過帯域内の周波数の信号が、第１の弾性表面波フィルタ側に漏洩することがあった。その結果、第２の弾性表面波フィルタの通過帯域内における挿入損失が劣化するという問題があった。   In the surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1, the impedance in the pass band of the second surface acoustic wave filter in the first surface acoustic wave filter having the higher center frequency is connected in parallel. , Lower due to the reflection characteristics between the second balanced terminals. Therefore, when the second surface acoustic wave filter, which is a filter having a lower center frequency, is driven, a signal having a frequency within the pass band of the second surface acoustic wave filter is transmitted to the first surface acoustic wave filter side. There was a leak. As a result, there is a problem that the insertion loss in the pass band of the second surface acoustic wave filter is deteriorated.

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、通過帯域が異なる第１，第２の弾性波フィルタが入力端及び出力端の少なくとも一方において共通接続されている弾性波フィルタ装置において、中心周波数が高い側の弾性波フィルタにおける中心周波数が低い側の弾性波フィルタの通過帯域でのインピーダンスが高く、従って、中心周波数が低い側の弾性波フィルタにおける通過帯域内の挿入損失の劣化が生じ難い、弾性波フィルタ装置を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the above-described drawbacks of the prior art, in an elastic wave filter device in which first and second elastic wave filters having different pass bands are commonly connected at least one of an input end and an output end. The impedance in the pass band of the low-frequency side elastic wave filter in the high-frequency side elastic wave filter is high, and therefore the insertion loss in the pass band of the low-frequency side elastic wave filter is degraded. It is difficult to provide an elastic wave filter device.

本発明によれば、弾性波を用いた縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置であって、入力端と出力端とを有する縦結合共振子型の第１の弾性波フィルタと、入力端と出力端とを有し、第１の弾性波フィルタよりも中心周波数が低い縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタとを備え、前記第１，第２の弾性波フィルタの入力端及び出力端の少なくとも一方が共通接続されており、前記第１の弾性波フィルタが、５個のＩＤＴ電極を備えた５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタであることを特徴とする、弾性波フィルタ装置が提供される。   According to the present invention, there is provided a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter device using an acoustic wave, the longitudinally coupled resonator type first acoustic wave filter having an input end and an output end, and an input end. A longitudinally coupled resonator type second elastic wave filter having a lower center frequency than the first elastic wave filter, and an input terminal and an output of the first and second elastic wave filters. An elastic wave filter characterized in that at least one of the ends is commonly connected, and the first elastic wave filter is a 5IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter having five IDT electrodes. An apparatus is provided.

本発明の弾性波フィルタ装置のある特定の局面では、前記第１，第２の弾性波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有する、バランス型弾性波フィルタである。この場合には、平衡−不平衡変換機能が弾性波フィルタ装置において実現されるので、バランを省略することができる。   On the specific situation with the elastic wave filter apparatus of this invention, the said 1st, 2nd elastic wave filter is a balance type elastic wave filter which has a balance-unbalance conversion function. In this case, since the balanced-unbalanced conversion function is realized in the elastic wave filter device, the balun can be omitted.

また、本発明の弾性波フィルタ装置の他の特定の局面では、圧電基板をさらに備え、該圧電基板上に、前記第１，第２の弾性波フィルタが構成されている。この場合には、同一圧電基板を用いて、第１，第２の弾性波フィルタが構成されているため、弾性波フィルタ装置の小型化を図ることができる。同様に、パッケージ部材内に、第１，第２の弾性波フィルタが収納されている場合にも、１つのパッケージ部材内に第１，第２の弾性波フィルタが収納されるので、弾性波フィルタ装置の小型化を図ることができる。   In another specific aspect of the elastic wave filter device of the present invention, a piezoelectric substrate is further provided, and the first and second elastic wave filters are configured on the piezoelectric substrate. In this case, since the first and second acoustic wave filters are configured using the same piezoelectric substrate, the acoustic wave filter device can be downsized. Similarly, when the first and second elastic wave filters are accommodated in the package member, the first and second elastic wave filters are accommodated in one package member. The size of the apparatus can be reduced.

本発明の弾性波フィルタ装置では、中心周波数が高い側の第１の弾性波フィルタが５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタであるため、第１の弾性波フィルタにおける第２の弾性波フィルタの通過帯域におけるインピーダンスが高められる。そのため、第２の弾性波フィルタから第１の弾性波フィルタ側に、第２の弾性波フィルタの通過帯域の信号が漏洩し難いので、第２の弾性波フィルタにおける通過帯域内の挿入損失の劣化を抑制することが可能となる。   In the elastic wave filter device of the present invention, the first elastic wave filter having the higher center frequency is a 5IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter. Therefore, the second elastic wave filter in the first elastic wave filter is used. Impedance in the passband is increased. Therefore, it is difficult for a signal in the passband of the second elastic wave filter to leak from the second elastic wave filter to the first elastic wave filter, so that the insertion loss in the passband of the second elastic wave filter is degraded. Can be suppressed.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態に係る弾性波フィルタ装置のブロック図である。弾性波フィルタ装置１は、縦結合共振子型の第１の弾性波フィルタ１１と縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタ１２とを有する。第１の弾性波フィルタ１１の通過帯域の中心周波数は、第２の弾性波フィルタ１２の通過帯域の中心周波数よりも高くされている。本実施形態の弾性波フィルタ装置１は、ＵＭＴＳ方式の携帯電話機の２つの受信フィルタとして用いられる。従って、第１の弾性波フィルタ１１の中心周波数は２１４０ＭＨｚであり、第２の弾性波フィルタ１２の中心周波数は１９６０ＭＨｚである。   FIG. 1 is a block diagram of an acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention. The acoustic wave filter device 1 includes a longitudinally coupled resonator type first acoustic wave filter 11 and a longitudinally coupled resonator type second acoustic wave filter 12. The center frequency of the pass band of the first elastic wave filter 11 is set higher than the center frequency of the pass band of the second elastic wave filter 12. The elastic wave filter device 1 of the present embodiment is used as two reception filters of a UMTS mobile phone. Therefore, the center frequency of the first elastic wave filter 11 is 2140 MHz, and the center frequency of the second elastic wave filter 12 is 1960 MHz.

第１の弾性波フィルタ１１は平衡−不平衡変換機能を有し、入力端が第１の不平衡端子２であり、出力端が第１，第２の平衡端子３，４である。   The first elastic wave filter 11 has a balanced-unbalanced conversion function, the input terminal is the first unbalanced terminal 2, and the output terminal is the first and second balanced terminals 3 and 4.

他方、第２の弾性波フィルタ１２も、平衡−不平衡変換機能を有する。第２の弾性波フィルタ１２の入力端は第２の不平衡端子５に接続されており、出力端が、第１，第２の平衡端子３，４に接続されている。   On the other hand, the second elastic wave filter 12 also has a balance-unbalance conversion function. The input terminal of the second elastic wave filter 12 is connected to the second unbalanced terminal 5, and the output terminal is connected to the first and second balanced terminals 3 and 4.

ここでは、第１の弾性波フィルタ１１の第１，第２の平衡出力端に接続されている信号線６，８が、それぞれ、第２の弾性波フィルタ１２の一対の平衡出力端に接続されている信号線７，９と共通接続されている。信号線６と信号線７とが共通接続され、第１の平衡端子３に接続されており、信号線８と信号線９とが共通接続され、第２の平衡端子４に接続されている。   Here, the signal lines 6 and 8 connected to the first and second balanced output terminals of the first elastic wave filter 11 are respectively connected to a pair of balanced output terminals of the second elastic wave filter 12. The signal lines 7 and 9 are connected in common. The signal line 6 and the signal line 7 are connected in common and connected to the first balanced terminal 3, and the signal line 8 and the signal line 9 are connected in common and connected to the second balanced terminal 4.

なお、第１，第２の平衡端子３，４間に、インピーダンスマッチングを図るためにインダクタンスが接続されていてもよい。   An inductance may be connected between the first and second balanced terminals 3 and 4 for impedance matching.

上記弾性波フィルタ装置１は、具体的には、図１（ｂ）に模式的正面断面図で示す弾性境界波フィルタ装置である。図１（ｂ）に示すように、圧電基板１３上に、電極１４が形成されている。電極１４は、弾性波フィルタ１１，１２を形成するための電極であり、後述するように、複数のＩＤＴ電極を含む。   Specifically, the acoustic wave filter device 1 is a boundary acoustic wave filter device shown in a schematic front sectional view in FIG. As shown in FIG. 1B, an electrode 14 is formed on the piezoelectric substrate 13. The electrode 14 is an electrode for forming the acoustic wave filters 11 and 12 and includes a plurality of IDT electrodes as described later.

電極１４は、電極パッド１４ａ，１４ｂを有する。電極パッド１４ａ，１４ｂは、ＩＤＴ電極の後に電気的に接続されている。   The electrode 14 has electrode pads 14a and 14b. The electrode pads 14a and 14b are electrically connected after the IDT electrode.

圧電基板１３上には、誘電体層１５が積層されている。電極１４は、圧電基板１３と誘電体層１５との界面に形成されている。圧電基板１３は、ＬｉＮｂＯ３からなるが、ＬｉＴａＯ３や水晶などの他の圧電単結晶により圧電基板１３が構成されていてもよい。 A dielectric layer 15 is stacked on the piezoelectric substrate 13. The electrode 14 is formed at the interface between the piezoelectric substrate 13 and the dielectric layer 15. The piezoelectric substrate 13 is made of LiNbO 3 , but the piezoelectric substrate 13 may be composed of other piezoelectric single crystals such as LiTaO 3 or quartz.

誘電体層１５は、ＳｉＯ２からなるが、ＳｉＮなどの適宜の誘電体材料により形成され得る。 The dielectric layer 15 is made of SiO 2 and can be formed of an appropriate dielectric material such as SiN.

電極１４は、適宜の金属により形成される。このような金属としては、特に限定されないが、Ａｇ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、ＮｉＣｒなどからなる群から選択した少なくとも１種の金属または合金が好適に用いられる。   The electrode 14 is formed of an appropriate metal. Such a metal is not particularly limited, but at least one metal or alloy selected from the group consisting of Ag, Pt, Au, W, Cu, Al, Ti, NiCr and the like is preferably used.

上記電極１４の内のＩＤＴ電極が励振されることにより、圧電基板１３と誘電体層１５との界面を伝搬する弾性境界波が励振される。   By exciting the IDT electrode among the electrodes 14, an elastic boundary wave propagating through the interface between the piezoelectric substrate 13 and the dielectric layer 15 is excited.

誘電体層１５には、貫通孔１５ａ，１５ｂが形成されている。貫通孔１５ａ，１５ｂに、電極パッド１４ａ，１４ｂが露出されている。この貫通孔１５ａ，１５ｂに、接続導電膜１６ａ，１６ｂが形成されている。接続導電膜１６ａ，１６ｂは、電極パッド１４ａ，１４ｂに電気的に接続されている。接続導電膜１６ａ，１６ｂは、誘電体層１５の上面に至っている。接続導電膜１６ａ，１６ｂの誘電体層１５の上面に至っている部分において、端子電極１７，１８が電気的に接続されている。   Through holes 15 a and 15 b are formed in the dielectric layer 15. The electrode pads 14a and 14b are exposed in the through holes 15a and 15b. Connection conductive films 16a and 16b are formed in the through holes 15a and 15b. The connection conductive films 16a and 16b are electrically connected to the electrode pads 14a and 14b. The connection conductive films 16 a and 16 b reach the upper surface of the dielectric layer 15. The terminal electrodes 17 and 18 are electrically connected in the portion of the connection conductive films 16a and 16b reaching the upper surface of the dielectric layer 15.

図２（ａ）は、第１の弾性波フィルタ１１の電極構造を示す模式的平面図であり、図２（ｂ）は第２の弾性波フィルタ１２の電極構造を模式的に示す平面図である。   FIG. 2A is a schematic plan view showing the electrode structure of the first elastic wave filter 11, and FIG. 2B is a plan view schematically showing the electrode structure of the second elastic wave filter 12. is there.

図２（ａ）に示すように、第１の弾性波フィルタ１１は、第１の不平衡端子２に一端が接続された１ポート型弾性境界波共振子２０を有する。１ポート型弾性境界波共振子２０の他端には、第１，第２の弾性波フィルタ部２１，２２が接続されている。第１，第２の弾性波フィルタ部２１，２２は、いずれも５個のＩＤＴ電極を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。   As shown in FIG. 2A, the first elastic wave filter 11 has a 1-port boundary acoustic wave resonator 20 having one end connected to the first unbalanced terminal 2. The other end of the 1-port boundary acoustic wave resonator 20 is connected to first and second elastic wave filter units 21 and 22. Each of the first and second elastic wave filter units 21 and 22 is a 5IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter having five IDT electrodes.

第１，第２の弾性波フィルタ部２１，２２の各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子２０を介して第１の不平衡端子２に接続されている。より具体的には、第１〜第５のＩＤＴ２１ａ〜２１ｅが境界波伝搬方向において順に配置されている。また、反射器２１ｆ，２１ｇが備えられている。第１，第３，第５のＩＤＴ２１ａ，２１ｃ，２１ｅの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子２０に接続されている。ＩＤＴ２１ａ，２１ｃ，２１ｅの他端はアース電位に接続されている。   One end of each of the first and second acoustic wave filter units 21 and 22 is connected in common, and is connected to the first unbalanced terminal 2 via the one-port boundary acoustic wave resonator 20. More specifically, the first to fifth IDTs 21a to 21e are sequentially arranged in the boundary wave propagation direction. In addition, reflectors 21f and 21g are provided. One end of each of the first, third, and fifth IDTs 21a, 21c, and 21e is connected in common and connected to the 1-port boundary acoustic wave resonator 20. The other ends of the IDTs 21a, 21c, and 21e are connected to the ground potential.

第２，第４のＩＤＴ２１ｂ，２１ｄの各一端はアース電位に接続されており、各他端が共通接続されて、第１の平衡端子３に接続されている。   One end of each of the second and fourth IDTs 21 b and 21 d is connected to the ground potential, and the other ends are connected in common and connected to the first balanced terminal 3.

ＩＤＴ２１ａ〜２１ｅが設けられている領域の境界波伝搬方向両側には、反射器２１ｆ，２１ｇが配置されている。第２の弾性波フィルタ部２２も同様の構成を有し、第１〜第５のＩＤＴ２２ａ〜２２ｅと反射器２２ｆ，２２ｇとを有する。   Reflectors 21f and 21g are arranged on both sides of the region where the IDTs 21a to 21e are provided in the boundary wave propagation direction. The second elastic wave filter unit 22 has the same configuration and includes first to fifth IDTs 22a to 22e and reflectors 22f and 22g.

第２の弾性波フィルタ部２２では、第１，第３，第５のＩＤＴ２２ａ，２２ｃ，２２ｅの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子２０を介して第１の不平衡端子２に接続されている。第１，第３，第５のＩＤＴ２２ａ，２２ｃ，２２ｅの他端はアース電位に接続されている。第２，第４のＩＤＴ２２ｂ，２２ｄの各一端がアース電位に接続されており、各他端が共通接続され、第２の平衡端子４に接続されている。   In the second elastic wave filter unit 22, one ends of the first, third, and fifth IDTs 22 a, 22 c, and 22 e are commonly connected, and the first unbalanced terminal is connected via the 1-port boundary acoustic wave resonator 20. 2 is connected. The other ends of the first, third, and fifth IDTs 22a, 22c, and 22e are connected to the ground potential. One end of each of the second and fourth IDTs 22 b and 22 d is connected to the ground potential, and the other ends are connected in common and connected to the second balanced terminal 4.

第１の不平衡端子２を入力端としたとき、第１，第２の平衡端子３，４から出力が取り出される。第１の平衡端子３から取り出される出力信号の位相に対して、第２の平衡端子４から取り出される出力信号の位相が１８０°異なるように、第１〜第５のＩＤＴ２１ａ〜２１ｅ及び第１〜第５のＩＤＴ２２ａ〜２２ｅの極性が選択されている。より具体的には、第２，第４のＩＤＴ２１ｂ，２１ｄが、第２，第４のＩＤＴ２２ｂ，２２ｄに対して反転されている。従って、第１の弾性波フィルタ１１は、平衡−不平衡変換機能を有する。   When the first unbalanced terminal 2 is used as an input terminal, outputs are taken out from the first and second balanced terminals 3 and 4. The first to fifth IDTs 21 a to 21 e and the first to first IDTs 21 a to 21 e and the first to fifth IDTs 21 a to 21 e are arranged so that the phase of the output signal taken out from the second balanced terminal 4 is 180 ° different from the phase of the output signal taken out from the first balanced terminal 3. The polarities of the fifth IDTs 22a to 22e are selected. More specifically, the second and fourth IDTs 21b and 21d are inverted with respect to the second and fourth IDTs 22b and 22d. Accordingly, the first elastic wave filter 11 has a balance-unbalance conversion function.

図２（ｂ）に示す第２の弾性波フィルタ１２もまた、平衡−不平衡変換機能を有する。すなわち、第２の不平衡端子に、１ポート型弾性境界波共振子３０を介して、第１，第２の弾性波フィルタ部３１，３２が接続されている。第１，第２の弾性波フィルタ部３１，３２は、３個のＩＤＴを有する３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性境界波フィルタである。   The second elastic wave filter 12 shown in FIG. 2B also has a balanced-unbalanced conversion function. That is, the first and second elastic wave filter units 31 and 32 are connected to the second unbalanced terminal via the 1-port boundary acoustic wave resonator 30. The first and second elastic wave filter units 31 and 32 are 3IDT type longitudinally coupled resonator type boundary acoustic wave filters having three IDTs.

第１の弾性波フィルタ部３１では、境界波伝搬方向に沿って第１〜第３のＩＤＴ３１ａ〜３１ｃが配置されている。ＩＤＴ３１ａ〜３１ｃが設けられている領域の境界波伝搬方向両側に、反射器３１ｄ，３１ｅが配置されている。同様に、第２の弾性波フィルタ部３２もまた、第１〜第３のＩＤＴ３２ａ〜３２ｃと、反射器３２ｄ，３２ｅとを有する。ここでは、ＩＤＴ３２ｂの極性が、ＩＤＴ３１ｂの極性と反転されている。   In the 1st elastic wave filter part 31, 1st-3rd IDT31a-31c is arrange | positioned along the boundary wave propagation | transmission direction. Reflectors 31d and 31e are arranged on both sides in the boundary wave propagation direction of the region where the IDTs 31a to 31c are provided. Similarly, the second elastic wave filter unit 32 also includes first to third IDTs 32a to 32c and reflectors 32d and 32e. Here, the polarity of IDT 32b is reversed from the polarity of IDT 31b.

第２のＩＤＴ３１ｂ及び第２のＩＤＴ３２ｂの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子３０を介して第２の不平衡端子５に接続されている。ＩＤＴ３１ｂ，３２ｂの他端はアース電位に接続されている。   One end of each of the second IDT 31 b and the second IDT 32 b is commonly connected, and is connected to the second unbalanced terminal 5 via the one-port boundary acoustic wave resonator 30. The other ends of the IDTs 31b and 32b are connected to the ground potential.

第１，第３のＩＤＴ３１ａ，３１ｃの一端がアース電位に接続され、各他端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子３３を介して第１の平衡端子３に接続されている。   One ends of the first and third IDTs 31 a and 31 c are connected to the ground potential, and the other ends are connected in common and connected to the first balanced terminal 3 via the 1-port boundary acoustic wave resonator 33.

第２の弾性波フィルタ部３２においても同様に、第１，第３のＩＤＴ３２ａ，３２ｃの一端がアース電位に接続されており、他端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子３４を介して第２の平衡端子４に接続されている。   Similarly, in the second elastic wave filter unit 32, one ends of the first and third IDTs 32a and 32c are connected to the ground potential, and the other ends are connected in common, and the one-port boundary acoustic wave resonator 34 is connected. To the second balanced terminal 4.

本実施形態の弾性波フィルタ装置１の特徴は、中心周波数が相対的に高い第１の弾性波フィルタ１１において、第１，第２の弾性波フィルタ部２１，２２が、いずれも５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタにより構成されていることにある。それによって、第２の弾性波フィルタ１２が動作している際に、通過帯域内の周波数の信号が、第１の弾性波フィルタ側に漏洩し難い。従って、第２の弾性波フィルタ１２の通過帯域内における挿入損失の劣化を抑制することができる。これを、具体的な実験例に基づき説明する。   The elastic wave filter device 1 of the present embodiment is characterized in that, in the first elastic wave filter 11 having a relatively high center frequency, the first and second elastic wave filter units 21 and 22 are both 5IDT type vertical. That is, it is composed of a coupled resonator type acoustic wave filter. Accordingly, when the second elastic wave filter 12 is operating, a signal having a frequency within the pass band is unlikely to leak to the first elastic wave filter side. Accordingly, it is possible to suppress deterioration of insertion loss in the pass band of the second elastic wave filter 12. This will be described based on a specific experimental example.

図３は、第１の弾性波フィルタ１１の減衰量周波数特性を示し、実線は上記実施形態の弾性波フィルタ装置１において、第２の弾性波フィルタ１２と並列接続した後の減衰量周波数特性を示し、破線は並列接続しない場合、すなわち第１の弾性波フィルタ１１単独の減衰量周波数特性を示す。   FIG. 3 shows the attenuation frequency characteristics of the first elastic wave filter 11, and the solid line shows the attenuation frequency characteristics after the parallel connection with the second elastic wave filter 12 in the elastic wave filter device 1 of the above embodiment. The broken line indicates the attenuation frequency characteristic of the first elastic wave filter 11 alone when not connected in parallel.

図４は、第２の弾性波フィルタ１２の減衰量周波数特性を示す。図４において、実線は、図３の場合と同様に、並列接続後の上記実施形態における第２の弾性波フィルタ１２の減衰量周波数特性を示し、破線は並列接続しない場合、すなわち第２の弾性波フィルタ１２単独の減衰量周波数特性を示す。   FIG. 4 shows the attenuation frequency characteristics of the second elastic wave filter 12. In FIG. 4, the solid line indicates the attenuation frequency characteristic of the second elastic wave filter 12 in the above-described embodiment after parallel connection, as in FIG. The attenuation frequency characteristic of the wave filter 12 alone is shown.

図３及び図４の減衰量周波数特性は、第１，第２の弾性波フィルタ１１，１２の仕様を以下のように設定した場合の結果である。   The attenuation frequency characteristics of FIGS. 3 and 4 are results when the specifications of the first and second elastic wave filters 11 and 12 are set as follows.

（１）第１の弾性波フィルタ１１
電極指の対数：第１〜第５のＩＤＴの順に、１３．５／９／７．５／９／１３．５
電極指交叉幅＝３５λ（λはＩＤＴの電極指の周期による定まる波長）
デューティ＝０．４０
１ポート型弾性境界波共振子の構成
電極指の対数＝５０
電極指交叉幅＝４６λ
デューティ＝０．４０ (1) First elastic wave filter 11
Number of pairs of electrode fingers: 13.5 / 9 / 7.5 / 9 / 13.5 in order of the first to fifth IDTs
Electrode finger crossing width = 35λ (λ is a wavelength determined by the period of the electrode finger of the IDT)
Duty = 0.40
Configuration of 1-port boundary acoustic wave resonator Logarithm of electrode fingers = 50
Electrode finger crossing width = 46λ
Duty = 0.40

（２）第２の弾性波フィルタ１２
第１〜第３のＩＤＴの電極指の対数＝第１〜第３のＩＤＴの順に９／１６／９
電極指交叉幅＝５９λ
デューティ＝０．４０
入力側１ポート型弾性境界波共振子
電極指の対数＝１００
電極指交叉幅＝５３λ
デューティ＝０．４０
出力側１ポート型弾性境界波共振子
電極指の対数＝１０５
電極指交叉幅＝５２λ
デューティ＝０．４０ (2) Second elastic wave filter 12
Number of electrode fingers of first to third IDT = 9/16/9 in order of first to third IDT
Electrode finger cross width = 59λ
Duty = 0.40
Input side 1-port boundary acoustic wave resonator Logarithm of electrode fingers = 100
Electrode finger crossing width = 53λ
Duty = 0.40
Output side 1-port boundary acoustic wave resonator Logarithm of electrode fingers = 105
Electrode finger cross width = 52λ
Duty = 0.40

第１の弾性波フィルタ１１では、電極材料は、圧電基板側からＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ／Ｐｔ／Ｔｉ／ＮｉＣｒをこの順序で積層した積層金属膜とした。各層の厚みは、順に、０．７λ／０．７λ／５．０λ／０．７λ／０．７λ／０．７λとした。また、第２の弾性波フィルタ１２では、電極材料は、圧電基板側からＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ／Ｐｔ／Ｔｉ／ＮｉＣｒの順にこれらを積層した積層金属膜とした。各層の厚みは、同じ順序で０．６λ／０．６λ／５．３λ／０．６λ／０．６λ／０．６λとした。   In the first acoustic wave filter 11, the electrode material is a laminated metal film in which Ti / Pt / Au / Pt / Ti / NiCr are laminated in this order from the piezoelectric substrate side. The thickness of each layer was set to 0.7λ / 0.7λ / 5.0λ / 0.7λ / 0.7λ / 0.7λ in order. In the second acoustic wave filter 12, the electrode material is a laminated metal film in which these are laminated in the order of Ti / Pt / Au / Pt / Ti / NiCr from the piezoelectric substrate side. The thickness of each layer was 0.6λ / 0.6λ / 5.3λ / 0.6λ / 0.6λ / 0.6λ in the same order.

なお、電極材料は、上記積層金属膜に限らず、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｗ、Ｒｈ、Ｔｉなどの金属またはこれを主成分とする合金からなる材料を適宜用いることができる。   The electrode material is not limited to the above-described laminated metal film, and a material made of a metal such as Pt, Au, Pd, Ag, Cu, W, Rh, Ti, or an alloy containing this as a main component can be appropriately used.

また、これらの金属を主たる電極層として含む積層金属膜であってもよい。他の電極層とは、単一の電極層からなる。電極の場合には、該電極層であり、複数の電極層を積層した構造では、同じ金属材料からなる電極層の厚みの合計がもっとも大きい場合、該もっとも合計の厚みが厚い電極層を主たる電極層とする。   Moreover, the laminated metal film containing these metals as a main electrode layer may be sufficient. The other electrode layer is a single electrode layer. In the case of an electrode, the electrode layer, and in a structure in which a plurality of electrode layers are stacked, when the total thickness of the electrode layers made of the same metal material is the largest, the electrode layer having the thickest total thickness is the main electrode. Layer.

図３から明らかなように、中心周波数が相対的に高い第１の弾性波フィルタ１１では、並列接続前の通過特性と、並列接続された後のフィルタ特性とがほとんど変わらないことがわかる。   As can be seen from FIG. 3, in the first elastic wave filter 11 having a relatively high center frequency, the pass characteristic before parallel connection and the filter characteristic after parallel connection are hardly changed.

また、図４から明らかなように、第２の弾性波フィルタ１２においても、並列接続前のフィルタ特性に対し、並列接続後のフィルタ特性では、挿入損失の劣化は非常に小さいことがわかる。このように、本実施形態では、中心周波数が低い第２の弾性波フィルタ１２側においても、通過帯域内における挿入損失の劣化が非常に少ないのは、第１の弾性波フィルタ１１が５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタであることによる。   As is apparent from FIG. 4, in the second acoustic wave filter 12 as well, it is understood that the degradation of insertion loss is very small in the filter characteristics after parallel connection compared to the filter characteristics before parallel connection. As described above, in the present embodiment, even on the second elastic wave filter 12 side having a low center frequency, the deterioration of the insertion loss in the pass band is very small because the first elastic wave filter 11 is of the 5IDT type. This is because it is a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter.

すなわち、第１の弾性波フィルタにおける、第２の弾性波フィルタ１２の中心周波数である１９６０ＭＨｚにおけるインピーダンスが高められ、それによって、第２の弾性波フィルタ１２が動作している場合に、通過帯域内の周波数の信号が、第１の弾性波フィルタ１１側に漏洩し難くなり、それによって、第２の弾性波フィルタ１２の通過帯域内における挿入損失の劣化が抑制されていることによる。   That is, in the first elastic wave filter, when the impedance at 1960 MHz, which is the center frequency of the second elastic wave filter 12, is increased, and thereby the second elastic wave filter 12 is operating, This is because it is difficult for the signal having the frequency of 1 to leak to the first elastic wave filter 11 side, and thereby the deterioration of the insertion loss in the pass band of the second elastic wave filter 12 is suppressed.

なお、本実施形態では、第２の弾性波フィルタ１２の第１，第２の弾性波フィルタ部３１，３２は３ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタである。この場合、第２の弾性波フィルタ１２は５ＩＤＴ型の弾性波フィルタであってもよい。すなわち、第１の弾性波フィルタ１１のＩＤＴの数は第２の弾性波フィルタ１２におけるＩＤＴの数に対して相対的なものではない。また、５ＩＤＴ型であることより、必ずしもインピーダンスが高くなると予想されるものではない。すなわち、縦結合共振子型弾性波フィルタにおけるインピーダンスと電極指の対数とは関係があるものの、インピーダンスとＩＤＴの数とは直接関係するものではない。   In the present embodiment, the first and second elastic wave filter portions 31 and 32 of the second elastic wave filter 12 are 3IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filters. In this case, the second elastic wave filter 12 may be a 5IDT type elastic wave filter. That is, the number of IDTs in the first elastic wave filter 11 is not relative to the number of IDTs in the second elastic wave filter 12. Moreover, since it is 5IDT type | mold, it is not necessarily expected that an impedance becomes high. That is, although the impedance and the number of electrode fingers in the longitudinally coupled resonator type elastic wave filter are related, the impedance and the number of IDTs are not directly related.

図５は、上記実施形態の弾性波フィルタにおいて、第１の弾性波フィルタにおけるＩＤＴの電極指の本数を変化させた場合の第２の弾性波フィルタの挿入損失の変化を示す図である。ここでは、ＩＤＴの電極指の本数が１３本である場合と３７本である場合との結果が示されており、実線が１３本の場合の結果を、破線が３７本の場合の結果を示す。また、図５では示されていないが、電極指の本数を１７本、２１本、２５本、２９本、３３本とした弾性波フィルタ装置においても、同様に減衰量周波数特性を測定した。その結果、ＩＤＴの電極指の本数が多くなるにつれて、図５の実線から破線で向かう方向に通過帯域のフィルタ特性が変化した。すなわち、ＩＤＴの電極指の本数が多くなると、通過帯域内において、挿入損失が若干劣化することがわかる。そして、本願発明者の実験によれば、ＩＤＴの電極指の本数を３３本以下とすれば、通過帯域内における挿入損失を十分に小さくし得ることが確かめられた。   FIG. 5 is a diagram showing a change in insertion loss of the second elastic wave filter when the number of electrode fingers of the IDT in the first elastic wave filter is changed in the elastic wave filter of the above embodiment. Here, the results of the case where the number of electrode fingers of the IDT is 13 and 37 are shown, the result when the solid line is 13 and the result when the broken line is 37 are shown. . Further, although not shown in FIG. 5, the attenuation frequency characteristics were measured in the same manner in the acoustic wave filter device in which the number of electrode fingers was 17, 21, 25, 29, and 33. As a result, as the number of electrode fingers of the IDT increased, the filter characteristics of the pass band changed in the direction from the solid line to the broken line in FIG. That is, it can be seen that as the number of electrode fingers of the IDT increases, the insertion loss slightly deteriorates within the pass band. According to the experiment by the present inventor, it was confirmed that the insertion loss in the pass band can be sufficiently reduced if the number of electrode fingers of the IDT is 33 or less.

次に、上記のように、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性境界波フィルタを第１の弾性波フィルタ１１に用いることにより、第２の弾性波フィルタの通過帯域おいて挿入損失が劣化し難いこと、図６〜図９を参照してより詳細に説明する。   Next, as described above, by using the 5IDT type longitudinally coupled resonator type boundary acoustic wave filter for the first acoustic wave filter 11, the insertion loss is hardly deteriorated in the pass band of the second acoustic wave filter. This will be described in more detail with reference to FIGS.

図６は、図１に示したブロック図の第１の弾性波フィルタ１１における出力側のインピーダンス特性を示すインピーダンススミスチャートを示す図である。このインピーダンススミスチャートにおいて、Ｘで示す位置が、第２の弾性波フィルタの中心周波数の位置である。   FIG. 6 is a diagram showing an impedance Smith chart showing impedance characteristics on the output side in the first elastic wave filter 11 of the block diagram shown in FIG. In this impedance Smith chart, the position indicated by X is the position of the center frequency of the second elastic wave filter.

他方、図７は、第２の弾性波フィルタの出力側におけるインピーダンス特性を示すインピーダンススミスチャートを示す図である。図７のＸの点は、第１の弾性波フィルタの中心周波数におけるインピーダンスを示す。   On the other hand, FIG. 7 is a diagram showing an impedance Smith chart showing impedance characteristics on the output side of the second elastic wave filter. The point X in FIG. 7 indicates the impedance at the center frequency of the first elastic wave filter.

図６において、相手方である第２の弾性波フィルタの中心周波数におけるインピーダンスは短絡状態に近いところにあることがわかる。すなわち、第２の弾性波フィルタ１２が動作している場合、第１の弾性波フィルタ１１側に電流が流れ、その結果、第２の弾性波フィルタ１２の挿入損失が大きくなる。   In FIG. 6, it can be seen that the impedance at the center frequency of the second elastic wave filter which is the counterpart is close to a short-circuited state. That is, when the second elastic wave filter 12 is operating, a current flows to the first elastic wave filter 11 side, and as a result, the insertion loss of the second elastic wave filter 12 increases.

他方、図７において、相手方である第１の弾性波フィルタ１１の中心周波数におけるインピーダンスはオープンに近いところにあることがわかる。すなわち、第１の弾性波フィルタ１１が動作している場合には、第２の弾性波フィルタ１２側には電流は流れず、第１の弾性波フィルタ１１の挿入損失は悪くならない。すなわち、第２の弾性波フィルタから第１の弾性波フィルタをみたときに、インピーダンスはオープンに近い状態にあることがわかる。   On the other hand, in FIG. 7, it can be seen that the impedance at the center frequency of the first elastic wave filter 11 which is the counterpart is close to open. That is, when the first elastic wave filter 11 is operating, no current flows through the second elastic wave filter 12, and the insertion loss of the first elastic wave filter 11 does not deteriorate. That is, when the first elastic wave filter is viewed from the second elastic wave filter, it can be seen that the impedance is close to an open state.

図８は、第１の弾性波フィルタの出力側のインピーダンス特性を示すインピーダンススミスチャートであり、ここで、実線は上記実施形態のように５ＩＤＴ型の弾性波フィルタの場合であり、破線は比較のために用意した３ＩＤＴ型の弾性波フィルタの場合のインピーダンス特性を示す。   FIG. 8 is an impedance Smith chart showing impedance characteristics on the output side of the first elastic wave filter, where the solid line is the case of the 5IDT type elastic wave filter as in the above embodiment, and the broken line is the comparison The impedance characteristic in the case of the 3IDT type elastic wave filter prepared for this is shown.

また、インピーダンス特性上のＸは、それぞれ、１９６０ＭＨｚ、すなわち、第２のバンドパスフィルタの中心周波数の位置を示す。図８から明らかなように、３ＩＤＴ型の弾性波フィルタの場合には、インピーダンススミスチャートにおけるインピーダンス特性がいわゆる横巻きであるのに対し、５ＩＤＴ型の構成では、ＩＤＴの電極指の対数を少なくすることにより、インピーダンス特性を縦巻きにすることができることがわかる。   Moreover, X on the impedance characteristic indicates 1960 MHz, that is, the position of the center frequency of the second bandpass filter. As is clear from FIG. 8, in the case of a 3IDT type acoustic wave filter, the impedance characteristic in the impedance Smith chart is so-called horizontal winding, whereas in the 5IDT type configuration, the number of IDT electrode fingers is reduced. This shows that the impedance characteristic can be vertically wound.

また、第１のバンドパスフィルタの第２のバンドパスフィルタの通過帯域におけるインピーダンスを高め得ることがわかる。   It can also be seen that the impedance in the passband of the second bandpass filter of the first bandpass filter can be increased.

なお、図９は、第１の弾性波フィルタにおけるＩＤＴの電極指の本数と、第２の弾性波フィルタにおける通過帯域内挿入損失劣化量との関係を示す図である。図９から明らかなように、ＩＤＴの電極指の本数が多くなるにつれて、第２の弾性波フィルタにおける挿入損失が悪化することがわかる。これは、前述した図５の結果に対応している。よって、ＩＤＴの電極指の本数を少なくすることが望ましく、具体的は、３３本以下とすれば、上記挿入損失の劣化量を、要求特性である０．３ｄＢ以下とし得ることがわかる。   FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the number of electrode fingers of the IDT in the first elastic wave filter and the amount of degradation in the insertion loss in the passband in the second elastic wave filter. As can be seen from FIG. 9, the insertion loss in the second elastic wave filter is worsened as the number of electrode fingers of the IDT increases. This corresponds to the result of FIG. 5 described above. Therefore, it is desirable to reduce the number of electrode fingers of the IDT. Specifically, if the number is 33 or less, it can be seen that the deterioration amount of the insertion loss can be set to 0.3 dB or less which is a required characteristic.

上記実施形態では、第１，第２の弾性波フィルタ１１，１２は、図２（ａ），（ｂ）に示した電極構造を有していたが、第１の弾性波フィルタ１１の電極構造は、適宜変形することができる。図１０〜図１２は、第１の弾性波フィルタの電極構造の第１〜第３の変形例を示す各模式的平面図である。   In the above embodiment, the first and second acoustic wave filters 11 and 12 have the electrode structure shown in FIGS. 2A and 2B. However, the electrode structure of the first acoustic wave filter 11 is not limited. Can be appropriately modified. 10 to 12 are schematic plan views showing first to third modifications of the electrode structure of the first acoustic wave filter.

なお、第２の弾性波フィルタ１２において、図１０〜図１２に示すような電極構造を用いてもよい。   In the second acoustic wave filter 12, an electrode structure as shown in FIGS. 10 to 12 may be used.

図１０に示す弾性波フィルタ１０１では、不平衡端子１０２と、第１，第２の平衡端子１０３，１０４との間に図示の電極構造が形成されている。   In the acoustic wave filter 101 shown in FIG. 10, the illustrated electrode structure is formed between the unbalanced terminal 102 and the first and second balanced terminals 103 and 104.

すなわち、不平衡端子１０２に、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の第１，第２の弾性波フィルタ部１０７，１０８が接続されている。ここでは、第１の弾性波フィルタ部１０７の第１〜第５のＩＤＴ１０７ａ〜１０７ｅのうち、第２，第４のＩＤＴ１０７ｂ，１０７ｄの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して不平衡端子１０２に接続されている。第２，第４のＩＤＴ１０７ｂ，１０７ｄの各他端はアース電位に接続されている。他方、第１，第３，第５のＩＤＴ１０７ａ，１０７ｃ，１０７ｅの各一端がアース電位に接続されており、各他端が共通接続され、第１の平衡端子１０３に接続されている。   That is, the 5-IDT type longitudinally coupled resonator type first and second acoustic wave filter units 107 and 108 are connected to the unbalanced terminal 102 via the one-port boundary acoustic wave resonator 106. Here, among the first to fifth IDTs 107a to 107e of the first acoustic wave filter unit 107, one ends of the second and fourth IDTs 107b and 107d are connected in common, and the one-port boundary acoustic wave resonator 106 is connected. To the unbalanced terminal 102. The other ends of the second and fourth IDTs 107b and 107d are connected to the ground potential. On the other hand, one end of each of the first, third, and fifth IDTs 107 a, 107 c, and 107 e is connected to the ground potential, and the other ends are commonly connected and connected to the first balanced terminal 103.

第２の弾性波フィルタ部１０８もまた、同様に第１〜第５のＩＤＴ１０８ａ〜１０８ｅを有する。そして、第２，第４のＩＤＴ１０８ｂ，１０８ｄの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して不平衡端子１０２に接続されており、各他端がアース電位に接続されている。   Similarly, the second elastic wave filter unit 108 includes first to fifth IDTs 108a to 108e. One end of each of the second and fourth IDTs 108b and 108d is connected in common, connected to the unbalanced terminal 102 via the one-port boundary acoustic wave resonator 106, and the other end connected to the ground potential. ing.

第１，第３，第５のＩＤＴ１０８ａ，１０８ｃ，１０８ｅの各一端はアース電位に接続され、各他端が共通接続され、第２の平衡端子１０４に接続されている。   One end of each of the first, third, and fifth IDTs 108 a, 108 c, and 108 e is connected to the ground potential, and the other ends are connected in common and connected to the second balanced terminal 104.

第１の弾性波フィルタ部１０７から第１の平衡端子１０３に伝送される信号の位相に対し、第２の弾性波フィルタ部１０８から第２の平衡端子１０４に伝送される信号の位相が１８０°異なるように、第１〜第５のＩＤＴ１０７ａ〜１０７ｃ，１０８ａ〜１０８ｃが形成されている。   The phase of the signal transmitted from the second elastic wave filter unit 108 to the second balanced terminal 104 is 180 ° relative to the phase of the signal transmitted from the first elastic wave filter unit 107 to the first balanced terminal 103. The first to fifth IDTs 107a to 107c and 108a to 108c are formed differently.

図１１に示す弾性波フィルタ１１１では、不平衡端子１０２に、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して、１つの５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部１１２が接続されている。ここでは、第１，第３，第５のＩＤＴ１１２ａ，１１２ｃ，１１２ｅの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して不平衡端子１０２に接続されており、各他端がそれぞれアース電位に接続されている。   In the acoustic wave filter 111 shown in FIG. 11, one 5IDT type longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit 112 is connected to the unbalanced terminal 102 via a one-port boundary acoustic wave resonator 106. . Here, one end of each of the first, third, and fifth IDTs 112a, 112c, and 112e is commonly connected, and is connected to the unbalanced terminal 102 via the one-port boundary acoustic wave resonator 106, and the other ends. Are each connected to ground potential.

第２，第４のＩＤＴ１１２ｂ，１１２ｄの各一端はアース電位に接続されており、ＩＤＴ１１２ｂの他端が第１の平衡端子１０３に接続されており、第４のＩＤＴ１１２ｄの他端が第２の平衡端子１０４に接続されている。ここでは、ＩＤＴ１１２ｂとＩＤＴ１１２ｄの位相が反転されて、第１，第２の平衡端子１０３，１０４から、位相が１８０°異なる信号が取り出される。   One end of each of the second and fourth IDTs 112b and 112d is connected to the ground potential, the other end of the IDT 112b is connected to the first balanced terminal 103, and the other end of the fourth IDT 112d is connected to the second balanced terminal. It is connected to the terminal 104. Here, the phases of IDT 112b and IDT 112d are inverted, and signals having a phase difference of 180 ° are extracted from first and second balanced terminals 103 and 104, respectively.

図１２に示す弾性波フィルタ１２１では、不平衡端子１０２に、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型の弾性波フィルタ部１２２が接続されている。もっとも、中央の第３のＩＤＴ１２２ｃは、境界波伝搬方向に２分割することにより設けられた第１，第２の分割ＩＤＴ部１２３，１２４を有する。そして、第１のＩＤＴ１２２ａ及び第３のＩＤＴ１２２ｃの第１の分割ＩＤＴ部１２３が共通接続され、第１の平衡端子１０３に接続されている。また、第２の分割ＩＤＴ部１２４と、第５のＩＤＴ１２２ｅとが共通接続され、第２の平衡端子１０４に接続されている。ＩＤＴ１２２ａ，１２２ｃ，１２２ｅの各他端はアース電位に接続されている。また、第２，第４のＩＤＴ１２２ｂ，１２２ｄの各一端が共通接続され、１ポート型弾性境界波共振子１０６を介して不平衡端子１０２に電気的に接続されている。ＩＤＴ１２２ｂ，１２２ｄの各他端はアース電位に接続されている。   In the acoustic wave filter 121 shown in FIG. 12, a 5-IDT type longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit 122 is connected to the unbalanced terminal 102 via a one-port boundary acoustic wave resonator 106. However, the third IDT 122c at the center includes first and second divided IDT portions 123 and 124 provided by dividing the third IDT 122c into two in the boundary wave propagation direction. The first divided IDT unit 123 of the first IDT 122 a and the third IDT 122 c is connected in common and connected to the first balanced terminal 103. In addition, the second divided IDT unit 124 and the fifth IDT 122 e are connected in common and connected to the second balanced terminal 104. The other ends of the IDTs 122a, 122c, and 122e are connected to the ground potential. Further, one end of each of the second and fourth IDTs 122b and 122d is connected in common, and is electrically connected to the unbalanced terminal 102 via the 1-port boundary acoustic wave resonator 106. The other ends of the IDTs 122b and 122d are connected to the ground potential.

また、本発明においては、第１，第２の弾性波フィルタは平衡−不平衡変換機能を有するものである必要は必ずしもない。すなわち、第１，第２の弾性波フィルタ１１，１２は、それぞれ、入力端と出力端を有する弾性波フィルタであってもよく、その場合においても、入力端及び出力端の内、少なくとも一方同士が共通接続されている構成であれば、本発明に従って、中心周波数が相対的に高い第１の弾性波フィルタを５ＩＤＴ型の構成とすることにより、第２の弾性波フィルタの挿入損失の劣化を抑制することができる。   In the present invention, the first and second elastic wave filters are not necessarily required to have a balanced-unbalanced conversion function. That is, each of the first and second elastic wave filters 11 and 12 may be an elastic wave filter having an input end and an output end, and even in that case, at least one of the input end and the output end may be Are connected in common, the insertion loss of the second acoustic wave filter is reduced by making the first acoustic wave filter having a relatively high center frequency a 5IDT configuration according to the present invention. Can be suppressed.

また、上記実施形態は、弾性境界波を利用した弾性境界波につき説明したが、図１３に模式的断面図で示すように、圧電基板５０１上にＩＤＴ電極を含む５０２が形成されている弾性表面波フィルタ装置に本発明を適用してもよい。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the boundary acoustic wave using a boundary acoustic wave, as shown in the schematic cross section in FIG. 13, the elastic surface by which 502 including an IDT electrode is formed on the piezoelectric substrate 501. FIG. The present invention may be applied to a wave filter device.

また、本発明においては、第１，第２の弾性波フィルタを構成するための圧電基板は、同一の圧電基板でもよく、異なる圧電基板でもよい。同一の圧電基板上に第１，第２の弾性波フィルタが構成されている場合には、圧電基板の種類を減らすことができ、コストを低減することができる。また、弾性波フィルタ装置の小型化を進め得る。   In the present invention, the piezoelectric substrates for constituting the first and second acoustic wave filters may be the same piezoelectric substrate or different piezoelectric substrates. When the first and second acoustic wave filters are configured on the same piezoelectric substrate, the types of piezoelectric substrates can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the elastic wave filter device can be reduced in size.

もっとも、第１，第２の弾性波フィルタ１１，１２が異なる圧電基板を用いて形成されている場合には、第１，第２の弾性波フィルタに適した結晶方位の圧電材料を用いて第１，第２の弾性波フィルタを構成することができる。   However, when the first and second elastic wave filters 11 and 12 are formed using different piezoelectric substrates, the first and second elastic wave filters 11 and 12 are formed using a piezoelectric material having a crystal orientation suitable for the first and second elastic wave filters. First and second elastic wave filters can be configured.

また、図１３に一点鎖線で示すように、パッケージ部材５１１がさらに備えられていてもよい。その場合には、同じパッケージ部材５１１内に、第１，第２の弾性波フィルタチップが収納されていることが望ましく、それによって、弾性波装置の小型化を図ることができる。   Further, as indicated by a one-dot chain line in FIG. 13, a package member 511 may be further provided. In that case, it is desirable that the first and second acoustic wave filter chips are accommodated in the same package member 511, whereby the acoustic wave device can be miniaturized.

（ａ）は本発明の一実施形態に係る弾性波フィルタ装置のブロック図であり、（ｂ）はその立体的構造を説明するための模式的正面断面図である。(A) is a block diagram of the elastic wave filter apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, (b) is typical front sectional drawing for demonstrating the three-dimensional structure. （ａ）は図１に示した実施形態で用いられている第１の弾性波フィルタの電極構造を示す平面図であり、（ｂ）は第２の弾性波フィルタの電極構造を示す平面図である。(A) is a top view which shows the electrode structure of the 1st elastic wave filter used by embodiment shown in FIG. 1, (b) is a top view which shows the electrode structure of the 2nd elastic wave filter. is there. 図１に示した実施形態において、第１の弾性波フィルタの並列接続前及び並列接続後の減衰量周波数特性を示す図である。In the embodiment shown in FIG. 1, it is a figure which shows the attenuation frequency characteristic before parallel connection of a 1st elastic wave filter, and after parallel connection. 図１に示した実施形態において、第２の弾性波フィルタの並列接続前及び並列接続後の減衰量周波数特性を示す図である。In the embodiment shown in FIG. 1, it is a figure which shows the attenuation frequency characteristic before parallel connection of a 2nd elastic wave filter and after parallel connection. 第２の弾性波フィルタのＩＤＴの電極指の本数を１７本から３７本に変化させた場合の通過帯域におけるフィルタ特性の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the filter characteristic in a pass band when the number of the electrode fingers of IDT of a 2nd elastic wave filter is changed from 17 pieces to 37 pieces. 第１の弾性波フィルタのインピーダンス特性を示すインピーダンススミスチャートである。It is an impedance Smith chart which shows the impedance characteristic of a 1st elastic wave filter. 第２の弾性波フィルタのインピーダンス特性を示すインピーダンススミスチャートである。It is an impedance Smith chart which shows the impedance characteristic of a 2nd elastic wave filter. ３ＩＤＴ型の第１の弾性波フィルタのインピーダンス特性を破線で、５ＩＤＴ型の第１の弾性波フィルタのインピーダンス特性を実線で示すインピーダンススミスチャートである。3 is an impedance Smith chart showing impedance characteristics of a 3IDT type first acoustic wave filter by a broken line and impedance characteristics of a 5IDT type first acoustic wave filter by a solid line. 第１の弾性波フィルタのＩＤＴの電極指の本数と、第２の弾性波フィルタの通過帯域における挿入損失劣化量との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the number of the electrode fingers of IDT of a 1st elastic wave filter, and the amount of insertion loss degradation in the pass band of a 2nd elastic wave filter. 本発明において第１の弾性波フィルタとして用い得る電極構造の第１の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st modification of the electrode structure which can be used as a 1st elastic wave filter in this invention. 本発明において第１の弾性波フィルタとして用い得る電極構造の第２の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd modification of the electrode structure which can be used as a 1st elastic wave filter in this invention. 本発明において第１の弾性波フィルタとして用い得る電極構造の第３の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the 3rd modification of the electrode structure which can be used as a 1st elastic wave filter in this invention. 本発明が適用される弾性波フィルタ装置を説明するための模式的断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the elastic wave filter apparatus with which this invention is applied. 従来の弾性表面波フィルタ装置を説明するための概略ブロック図である。It is a schematic block diagram for demonstrating the conventional surface acoustic wave filter apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１…弾性波フィルタ装置
２…第１の不平衡端子
３…第１の平衡端子
４…第２の平衡端子
５…第２の不平衡端子
６〜９…信号線
１１…第１の弾性波フィルタ
１２…第２の弾性波フィルタ
１３…圧電基板
１４…電極
１４ａ，１４ｂ…電極パッド
１５…誘電体層
１５ａ，１５ｂ…貫通孔
１６ａ，１６ｂ…接続導電膜
１７，１８…端子電極
２０…１ポート型弾性境界波共振子
２１…第１の弾性波フィルタ部
２１ａ〜２１ｅ…ＩＤＴ
２１ｆ，２１ｇ…反射器
２２…第２の弾性波フィルタ部
２２ａ〜２２ｅ…ＩＤＴ
２２ｆ，２２ｇ…反射器
３０…１ポート型弾性境界波共振子
３１…第１の弾性波フィルタ部
３１ａ〜３１ｃ…ＩＤＴ
３１ｄ，３１ｅ…反射器
３２…第２の弾性波フィルタ部
３２ａ〜３２ｃ…ＩＤＴ
３２ｄ，３２ｅ…反射器
３３…１ポート型弾性境界波共振子
３４…１ポート型弾性境界波共振子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Elastic wave filter apparatus 2 ... 1st unbalanced terminal 3 ... 1st balanced terminal 4 ... 2nd balanced terminal 5 ... 2nd unbalanced terminal 6-9 ... Signal line 11 ... 1st elastic wave filter DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... 2nd elastic wave filter 13 ... Piezoelectric substrate 14 ... Electrode 14a, 14b ... Electrode pad 15 ... Dielectric layer 15a, 15b ... Through-hole 16a, 16b ... Connection conductive film 17, 18 ... Terminal electrode 20 ... 1 port type Boundary wave resonator 21... First elastic wave filter portion 21 a to 21 e... IDT
21f, 21g ... reflector 22 ... second elastic wave filter 22a-22e ... IDT
22f, 22g ... reflector 30 ... 1 port type boundary acoustic wave resonator 31 ... first elastic wave filter part 31a-31c ... IDT
31d, 31e ... reflector 32 ... second elastic wave filter part 32a-32c ... IDT
32d, 32e ... reflector 33 ... 1-port boundary acoustic wave resonator 34 ... 1-port boundary acoustic wave resonator

Claims (4)

弾性波を用いた縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置であって、
入力端と出力端とを有する縦結合共振子型の第１の弾性波フィルタと、
入力端と出力端とを有し、第１の弾性波フィルタよりも中心周波数が低い縦結合共振子型の第２の弾性波フィルタとを備え、
前記第１，第２の弾性波フィルタの入力端及び出力端の少なくとも一方が共通接続されており、
前記第１の弾性波フィルタが、５個のＩＤＴ電極を備えた５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタであることを特徴とする、弾性波フィルタ装置。 A longitudinally coupled resonator type elastic wave filter device using elastic waves,
A longitudinally coupled resonator type first acoustic wave filter having an input end and an output end;
A longitudinally coupled resonator type second acoustic wave filter having an input end and an output end and having a lower center frequency than the first acoustic wave filter;
At least one of the input end and the output end of the first and second elastic wave filters is connected in common,
The elastic wave filter device, wherein the first elastic wave filter is a 5IDT type longitudinally coupled resonator type elastic wave filter having five IDT electrodes. 前記第１，第２の弾性波フィルタが、平衡−不平衡変換機能を有する、バランス型弾性波フィルタである、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。   The elastic wave filter device according to claim 1, wherein the first and second elastic wave filters are balanced elastic wave filters having a balance-unbalance conversion function. 圧電基板をさらに備え、該圧電基板上に、前記第１，第２の弾性波フィルタが構成されている、請求項１または２に記載の弾性波フィルタ装置。   The acoustic wave filter device according to claim 1, further comprising a piezoelectric substrate, wherein the first and second acoustic wave filters are configured on the piezoelectric substrate. パッケージ部材をさらに備え、パッケージ部材内に、前記第１，第２の弾性波フィルタが収納されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。   The acoustic wave filter device according to claim 1, further comprising a package member, wherein the first and second acoustic wave filters are accommodated in the package member.
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