JP2009230809A - Magnetic disk - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、いわゆるディスクリートトラックメディアやパターンドメディアなどと称される磁気ディスクに関する。 The present invention relates to a magnetic disk called a so-called discrete track medium or patterned medium.
磁気ディスクの技術分野においては、高記録密度化を図るのに好ましい媒体として、ディスクリートトラックメディア（ＤＴＭ）やパターンドメディア（ＰＭ）などが知られている。 In the technical field of magnetic disks, discrete track media (DTM), patterned media (PM), and the like are known as preferable media for achieving high recording density.
磁気ディスクへのデータ記録に際しては、磁気ディスクの記録面に対して記録用の磁気ヘッドが近接配置（浮上配置）され、当該磁気ヘッドにより、記録層に対し、その保磁力より強い記録磁界が印加される。磁気ディスクに対して磁気ヘッドを相対移動させつつ磁気ヘッドからの記録磁界の向きを適宜反転させることにより、記録層において、磁化方向が適宜反転する複数の記録マークがディスク周方向に沿って形成される。このとき、記録磁界方向を反転させるタイミングが制御されることにより、各々に所定の長さで記録マークが形成される。このようにして、記録層において、磁化方向の変化として所定のデータが記録される。 When recording data on a magnetic disk, a magnetic head for recording is arranged close to the recording surface of the magnetic disk (floating arrangement), and a recording magnetic field stronger than the coercive force is applied to the recording layer by the magnetic head. Is done. By relatively reversing the direction of the recording magnetic field from the magnetic head while relatively moving the magnetic head relative to the magnetic disk, a plurality of recording marks whose magnetization directions are appropriately reversed are formed in the recording layer along the circumferential direction of the disk. The At this time, by controlling the timing of reversing the recording magnetic field direction, a recording mark is formed with a predetermined length in each. In this manner, predetermined data is recorded as a change in the magnetization direction in the recording layer.
磁気ディスクは、同心円状に形成されたトラックを有し、各トラックはセクタを単位として周方向に細分化されている。各セクタには、磁気ヘッドの位置決め等に用いられるサーボ領域と、データを記録するためのデータ領域とが設けられている。サーボ領域は、たとえばプリアンブル部、サーボマーク部、アドレスマーク部、などの領域を含んで構成されている。 A magnetic disk has tracks formed concentrically, and each track is subdivided in the circumferential direction in units of sectors. Each sector is provided with a servo area used for positioning the magnetic head and a data area for recording data. The servo area includes areas such as a preamble part, a servo mark part, and an address mark part.
近年、サーボ領域において、サーボパターンの描画精度向上を図るべく、磁性部が非磁性部によって分離された磁気ディスクが提案されている（特許文献１参照）。図１１に、このようなサーボ領域の要部平面図を示している。サーボ領域９２は、プリアンブルパターンをなす複数のサーボ単位部９２１、および、分離部９２２を備えている。各サーボ単位部９２１は、ディスク周方向ｘに並んで配置されている。各サーボ単位部９２１には、所定厚みをなす磁性体からなる複数の磁性部９２１Ａが配置されている。一方、分離部９２２は、複数のサーボ単位部９２１の間に配置されている。サーボ領域９２において、磁性部９２１Ａが占める領域以外の部分には、非磁性体からなる非磁性部９２Ｊが配置されている。
In recent years, a magnetic disk in which a magnetic part is separated by a nonmagnetic part has been proposed in order to improve servo pattern drawing accuracy in the servo area (see Patent Document 1). FIG. 11 shows a plan view of the main part of such a servo area. The
ところで、サーボ領域９２は、たとえばナノインプリントリソグラフィ法を利用して形成される。当該手法においては、まず、スタンパを作製する。スタンパの作製においては、電子線リソグラフィ法により、たとえばシリコン基板上のレジスト膜をパターニングしてレジストパターンを形成する。レジストパターンは、磁性部となるべき部位に対応したパターン形状を有する。次に、このレジストパターンをマスクとしてシリコン基板にエッチングを施して凹部を形成し、レジストパターンを除去する。次に、凹部が形成されたシリコン基板に対して電鋳処理を行うことにより、ニッケルなどの金属からなるスタンパが得られる。スタンパは、非磁性部９２Ｊを形成するための部位を凸部とする所定の凹凸パターンを有する。
Incidentally, the
次に、このスタンパを、たとえば磁気ディスク９Ａのサーボ領域９２における磁性膜上に形成された熱可塑性樹脂からなるレジストに加熱下で押圧することにより、当該スタンパの凹凸パターンがレジストに一括転写される。ここで、レジストにおいては、スタンパの凸部に対応する部位に凹部が形成される。次に、レジストの凹部の残渣をたとえば酸素プラズマを利用したアッシングにより除去し、レジストパターン（レジストの凸部）をマスクとして磁性膜にエッチングを施すことにより、磁性膜の露出部が除去されて凹部が形成される。この凹部が上述の非磁性部９２Ｊとなる部分に相当し、磁性膜の凹部間に残存する凸部が上述の磁性部９２１Ａとなる部分に相当する。
Next, this stamper is pressed under heat onto a resist made of a thermoplastic resin formed on the magnetic film in the
そして、磁性膜の凹部に非磁性体を堆積させる。具体的には、例えばスパッタリング法により、サーボ領域９２全体にわたって非磁性体を堆積させる。堆積される非磁性体が硬いと研磨速度が遅くなり、処理時間は長くなる傾向にある。そのため、この非磁性体としては、磁性部９２１Ａを構成する磁性体と比べて相対的に軟質なものが用いられている。そして、サーボ領域９２における記録層表面を平坦化すべく、堆積された非磁性体のうち上層側の不要部分を研磨除去し、サーボ単位部９２１の磁性部９２１Ａの頂部を露出させる。
Then, a nonmagnetic material is deposited in the concave portion of the magnetic film. Specifically, a nonmagnetic material is deposited over the
しかしながら、上記従来の磁気ディスクの製造においては、分離部９２２における記録層の表面を完全に平坦化できないといった問題があった。図１２（ａ）は、非磁性体９２Ｂ’が、サーボ領域９２全体にわたって堆積している状態を示している。
However, the conventional magnetic disk manufacturing has a problem that the surface of the recording layer in the
サーボ単位部９２１に対応する部分において、非磁性体９２Ｂ’よりも相対的に硬い磁性体からなる磁性部９２１Ａが、この非磁性体９２Ｂ’の下層側に存在している。一方、分離部９２２に対応する部分において、ディスク基板９Ｂの真上に非磁性体９２Ｂ’が堆積している。つまり、ここでは、磁性部９２１Ａなどが当該非磁性体９２Ｂ’の下層側に存在していない。そのため、磁性部９２１Ａの頂部を露出させるために非磁性体９２Ｂ’を研磨する際、分離部９２２に対応する部分において、サーボ単位部９２１に対応する部分よりも非磁性体９２Ｂ’の研磨が促進される。そのため、研磨後、図１２（ｂ）に示すように、分離部９２２において、記録層９Ｌの表面が凹状になり、平坦とならない。このことは、磁気ヘッドの安定浮上を阻害する要因となり、好ましくない。
In a portion corresponding to the
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、磁気ヘッドの安定浮上を可能とする磁気ディスクを提供することをその課題とする。 The present invention has been conceived under the circumstances described above, and an object of the present invention is to provide a magnetic disk capable of stably flying a magnetic head.
本発明の第１の側面によって提供される磁気ディスクは、所定のサーボパターンをなし、周方向に配置された複数のサーボ単位部と、これらの複数のサーボ単位部間に配置された複数の分離部と、を備えたサーボ領域が形成された記録層を有し、上記各サーボ単位部は、所定厚みをなし、磁性体からなる１または複数の磁性部を含んでいるとともに、上記分離部は、所定厚みをなし、所定の材料からなる１または複数の島部を含んでいる磁気ディスクであって、上記磁性体の磁気特性は、上記島部を構成する材料の磁気特性と異なっており、上記サーボ領域における上記磁性部および上記島部が占める領域以外の領域は、所定厚みの非磁性体からなる非磁性部が形成されており、かつ、上記磁性体、および、上記島部を構成する材料は、上記非磁性体よりも硬質であることを要件とする。 The magnetic disk provided by the first aspect of the present invention has a predetermined servo pattern, a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction, and a plurality of separations arranged between the plurality of servo unit portions. And each servo unit portion has a predetermined thickness and includes one or more magnetic portions made of a magnetic material, and the separation portion is A magnetic disk having a predetermined thickness and including one or a plurality of island portions made of a predetermined material, wherein the magnetic properties of the magnetic material are different from the magnetic properties of the material constituting the island portions, A region other than the region occupied by the magnetic portion and the island portion in the servo region is formed with a nonmagnetic portion made of a nonmagnetic material having a predetermined thickness, and constitutes the magnetic body and the island portion. Material is above And requirements that it is harder than the magnetic body.
このような構成によれば、上記磁性部の頂部を露出させる研磨の際には、上記分離部において、上記非磁性部を構成する材質より硬い材料からなる上記島部の存在によって、上記記録層の表面が過度に研磨されることがなくなる。これにより、上記記録層の表面が、高い表面平坦性を有することとなる。 According to such a configuration, in the polishing for exposing the top of the magnetic part, the recording layer is formed by the presence of the island part made of a material harder than the material constituting the nonmagnetic part in the separation part. The surface of the film is not excessively polished. Thereby, the surface of the recording layer has high surface flatness.
その結果、磁気ヘッドと上記記録層の表面との間の気流が乱れにくくなる。したがって、磁気ヘッドが安定して浮上することが可能となる。 As a result, the airflow between the magnetic head and the surface of the recording layer is not easily disturbed. Therefore, the magnetic head can stably fly.
本発明の第２の側面によって提供される磁気ディスクは、所定のサーボパターンをなし、周方向に配置された複数のサーボ単位部と、これらの複数のサーボ単位部間に配置された複数の分離部と、を備えたサーボ領域が形成された記録層を有し、上記各サーボ単位部は、所定厚みをなし、磁性体からなる１または複数の磁性部を含んでいるとともに、上記分離部は、所定厚みをなし、所定の材料からなる１または複数の島部を含んでいる磁気ディスクであって、上記磁性体の磁気特性は、上記島部を構成する材料の磁気特性と異なっており、上記各磁性部および上記各島部は、それぞれ、空間を介在させて配置されていることを要件とする。 The magnetic disk provided by the second aspect of the present invention has a predetermined servo pattern, a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction, and a plurality of separations arranged between the plurality of servo unit portions. And each servo unit portion has a predetermined thickness and includes one or more magnetic portions made of a magnetic material, and the separation portion is A magnetic disk having a predetermined thickness and including one or a plurality of island portions made of a predetermined material, wherein the magnetic properties of the magnetic material are different from the magnetic properties of the material constituting the island portions, The magnetic parts and the island parts are required to be arranged with a space interposed therebetween.
このような構成によれば、上記サーボ領域全体にわたって、上記磁性部以外かつ上記島部以外の部分に、非磁性体を充填する工程を省略できる。その結果、上記磁気ディスクの生産効率の向上を図ることができる。 According to such a configuration, it is possible to omit a step of filling a portion other than the magnetic portion and a portion other than the island portion with the nonmagnetic material over the entire servo area. As a result, the production efficiency of the magnetic disk can be improved.
また、上記島部の存在によって、上記分離部における、磁気ヘッドと上記記録層の表面との間の気流が乱れを抑制できる。その結果、磁気ヘッドが安定して浮上することが可能となる。 Further, the presence of the island part can suppress the turbulence of the airflow between the magnetic head and the surface of the recording layer in the separation part. As a result, the magnetic head can stably fly.
好ましくは、上記島部を構成する材料は、磁性体である。 Preferably, the material which comprises the said island part is a magnetic body.
好ましくは、上記島部を構成する材料は、非磁性体である。このような構成によれば、上記分離部に磁性体が存在しない。そのため、上記島部が磁性体から構成されている場合と比較して、ＳＮ比の低下を抑えることができる。 Preferably, the material constituting the island portion is a nonmagnetic material. According to such a configuration, no magnetic material is present in the separation part. Therefore, compared with the case where the said island part is comprised from the magnetic body, the fall of SN ratio can be suppressed.
本発明の第３の側面によって提供される磁気ディスクは、周方向に配置された複数のサーボ単位部と、これらの複数のサーボ単位部間に配置された複数の分離部と、を備えたサーボ領域が形成された記録層を有し、上記各サーボ単位部は磁性体からなる複数の磁性部を含んでいるとともに、上記分離部は磁性体からなる複数の島部を含んでいる磁気ディスクであって、上記磁性部は上記周方向に第１の間隔で、上記島部は上記周方向に上記第１の間隔と異なる第２の間隔で並んでおり、または、上記磁性部は径方向に第３の間隔で、上記島部は上記径方向に上記第３の間隔と異なる第４の間隔で並んでおり、上記島部の形状は上記磁性部の形状と略同一であること、を要件とする。 A magnetic disk provided by the third aspect of the present invention is a servo including a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction and a plurality of separation units arranged between the plurality of servo unit portions. A magnetic disk having a recording layer formed with a region, wherein each servo unit includes a plurality of magnetic portions made of a magnetic material, and the separating portion includes a plurality of island portions made of a magnetic material. The magnetic portions are arranged at a first interval in the circumferential direction, and the island portions are arranged at a second interval different from the first interval in the circumferential direction, or the magnetic portions are arranged in a radial direction. It is a requirement that the island portions are arranged at a third interval in the radial direction at a fourth interval different from the third interval, and the shape of the island portion is substantially the same as the shape of the magnetic portion. And
好ましくは、上記サーボ領域における上記磁性部および上記島部が占める領域以外の領域は、所定厚みの非磁性体からなる非磁性部が形成されている。 Preferably, a nonmagnetic portion made of a nonmagnetic material having a predetermined thickness is formed in a region other than the region occupied by the magnetic portion and the island portion in the servo region.
好ましくは、上記各磁性部および上記各島部は、それぞれ、空間を介在させて配置されている。 Preferably, each said magnetic part and each said island part are each arrange | positioned through space.
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。 Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.
本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ具体的に説明する。図１は、本発明の第一実施形態にかかる磁気ディスクの平面図である。図２に、本発明の第１実施形態にかかる磁気ディスクにおけるサーボ領域の要部平面図を示している。図３は、図２に示した部分の要部断面図である。 A preferred embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a magnetic disk according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a plan view of the main part of the servo area in the magnetic disk according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part of the portion shown in FIG.
磁気ディスクＡ１は、図３に表れているように、ディスク基板Ｂ、記録層Ｌおよび保護層（図示略）を含む積層構造を有している。 As shown in FIG. 3, the magnetic disk A1 has a laminated structure including a disk substrate B, a recording layer L, and a protective layer (not shown).
ディスク基板Ｂは、主に磁気ディスクＡ１の剛性を確保するためのものであり、例えば、アルミニウム合金またはガラスよりなる。 The disk substrate B is mainly for ensuring the rigidity of the magnetic disk A1, and is made of, for example, an aluminum alloy or glass.
記録層Ｌは、図１に表れているように、データ領域Ｄとサーボ領域２とを備えている。データ領域Ｄおよびサーボ領域２は、ディスク周方向ｘに沿って交互に配置されている。
As shown in FIG. 1, the recording layer L includes a data area D and a
データ領域Ｄは、磁性体からなる複数の記録磁性部、および非磁性体からなる非磁性部を有する。記録磁性部においては、磁気ヘッド（図示略）からの記録磁界の印加によって磁化方向が制御されることによりデータが記録される。 The data area D has a plurality of recording magnetic parts made of a magnetic material and a nonmagnetic part made of a nonmagnetic material. In the recording magnetic part, data is recorded by controlling the magnetization direction by applying a recording magnetic field from a magnetic head (not shown).
サーボ領域２は、磁気ヘッドの位置決め等に用いられるものである。サーボ領域２は、例えばプリアンブル部、サーボマーク部およびアドレスマーク部などを含み、磁気ヘッドによって所定のサーボ情報やアドレス情報を読み取り可能に構成されたものである。
The
図２に、本発明にかかる磁気ディスクにおけるサーボ領域の要部平面図を示している。図２および図３に表されているように、サーボ領域２には、複数のサーボ単位部２１と分離部２２とを備えている。複数のサーボ単位部２１は、プリアンブルパターンを形成しており、ディスク径方向ｙに延びる線状である。各サーボ単位部２１は、ディスク周方向ｘにおいて物理的に孤立し、並んで設けられている。各サーボ単位部２１には、ＣｏＰｔなどの磁性体からなる複数の磁性部２１Ａが配置されている。複数の磁性部２１Ａは、ディスク径方向ｙおよびディスク周方向ｘに沿ってマトリックス状に配列されている。また、各磁性部２１Ａは、ディスク径方向ｙおよびディスク周方向ｘのいずれにおいても物理的に孤立した状態で配列されている。これにより、微細で複雑な凹凸パターンを高精度で形成することが可能となっている。
FIG. 2 shows a plan view of the main part of the servo area in the magnetic disk according to the present invention. As shown in FIGS. 2 and 3, the
分離部２２は、各サーボ単位部２１に挟まれるように形成されており、径方向ｙに延びる線状である。分離部２２は、この分離部２２の一部分に形成された島部２２Ａを有している。本実施形態において、島部２２Ａを構成する材料は、非磁性体であり、たとえばアルミナである。このため、島部２２Ａを構成する材料の磁気特性と、磁性部２１Ａを構成する磁性体の磁気特性とが、異なっている。
The
本実施形態において、各磁性部２１Ａおよび各島部２２Ａは、周方向ｘにおける大きさが略同一である。さらに、各磁性部２１Ａおよび各島部２２Ａは、周方向ｘに一定間隔で配置されている。
In this embodiment, each
サーボ領域２における、磁性部２１Ａおよび島部２２Ａが占める領域以外の領域に、非磁性体からなる所定の厚みの非磁性部２Ｊが、配置されている。非磁性部２Ｊを構成する材料は、非磁性体であり、たとえばＳｉＯ2である。また、非磁性部２Ｊを構成する材質より、島部２２Ａを構成する材質の方が硬質である。複数の磁性部２１Ａ、島部２２Ｂおよび非磁性部２Ｊの頂部が、サーボ領域２における記録層Ｌの表面となっている。この記録層Ｌの表面は平坦となっている。
A
次に、磁気ディスクＡ１の製造方法の一例を図４〜６を参照して説明する。 Next, an example of a method for manufacturing the magnetic disk A1 will be described with reference to FIGS.
磁気ディスクＡ１は、例えばスタンパを用いたナノインプリント法を利用して製造される。ナノインプリント法においては、まず、スタンパを作製する。スタンパの作製においては、例えば基板上のレジスト膜に電子ビーム描画装置によって所定パターンを露光形成した後、当該レジスト膜に現像処理を施してレジストパターンを形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして上記基板にＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｉｏｎ Ｅｔｃｈｉｎｇ）などのドライエッチングを施して凹部を形成し、レジストパターンを除去する。これにより、所定パターンの凹部を有する基板（スタンパの原盤）が得られる。次に、当該基板に対して電鋳処理を行うことにより、Ｎｉなどの金属からなるスタンパが得られる。スタンパの表面には、上記基板の凹凸形状が転写されており、上記基板の凹部に対応する箇所において凸部が形成される。本実施形態においては、上記の方法により、凹凸パターンを有するスタンパ３（図４（ａ）参照）が作製される。スタンパ３の凹部３ａは、サーボ単位部２１を形成するための部分である。一方、スタンパ３の凸部３ｂは、分離部２２を形成するための部分である。
The magnetic disk A1 is manufactured using, for example, a nanoimprint method using a stamper. In the nanoimprint method, first, a stamper is manufactured. In the production of the stamper, for example, a predetermined pattern is exposed and formed on a resist film on a substrate by an electron beam drawing apparatus, and then the resist film is developed to form a resist pattern. Next, using this resist pattern as a mask, the substrate is subjected to dry etching such as RIE (Reactive Ion Etching) to form a recess, and the resist pattern is removed. As a result, a substrate having a predetermined pattern of recesses (stamper master) is obtained. Next, a stamper made of a metal such as Ni is obtained by electroforming the substrate. The uneven shape of the substrate is transferred onto the surface of the stamper, and a convex portion is formed at a location corresponding to the concave portion of the substrate. In the present embodiment, the
次に、図４（ａ）に示すように、ディスク基板Ｂ上に磁性膜Ｌ’およびレジスト膜４１を順次形成する。磁性膜Ｌ’の形成は、例えばスパッタリング法により所定の磁性体を成膜することにより行う。当該磁性体としては、例えばＣｏＰｔが挙げられる。レジスト膜４１を構成する材料として、例えばＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）が挙げられる。
Next, as shown in FIG. 4A, a magnetic film L ′ and a resist
次に、レジスト膜４１をガラス転移点以上の温度に加熱したうえで、図４（ｂ）に示すように、スタンパ３を当該レジスト膜４１に押圧することにより、当該スタンパ３の凹凸パターンが転写される。
Next, the resist
次に、図５（ａ）に示すように、レジスト残渣を例えば酸素プラズマを利用したアッシングにより除去し、磁性膜Ｌ’表面を部分的に露出させて、レジストパターン４２を形成する。次に、図５（ｂ）に示すように、レジストパターン４２をマスクとして磁性膜Ｌ’に対して例えばドライエッチングを施すことにより、磁性膜Ｌ’の露出部が除去される。これにより、サーボ単位部２１になる部位がパターン形成される。
Next, as shown in FIG. 5A, the resist residue is removed by, for example, ashing using oxygen plasma, and the surface of the magnetic film L ′ is partially exposed to form a resist
次に、レジストパターン４２を例えば酸素プラズマを利用したアッシングにより除去したうえで、図５（ｃ）に示すように、非磁性体２Ｂを堆積させる。具体的には、例えばスパッタリング法により、分離部２２となるべき凹部、およびサーボ単位部２１上に非磁性体２Ｂが堆積される。本実施形態において、非磁性体２Ｂとしてアルミナが用いられる。
Next, after removing the resist
次に、図５（ｄ）に示すように、堆積された非磁性体２Ｂのうち上層側の不要部分を研磨除去し、サーボ単位部２１となる部分の頂部を露出させる。当該研磨の手法としては、例えばケミカルメカニカルポリッシング（ＣＭＰ）を採用することができる。ＣＭＰによる研磨では、例えば、非磁性体２Ｂの表面に対して定盤に張られた研磨布を所定の加工面圧で押圧しつつ、研磨布と非磁性体２Ｂとの間に研磨スラリを供給することにより行う。当該研磨スラリとしては、一般に、酸化セリウム砥粒を主成分とするものが用いられる。このような研磨工程を経て、サーボ単位部２１と分離部２２とが形成される。
Next, as shown in FIG. 5D, the unnecessary portion on the upper layer side of the deposited
次に、スタンパ３と凹部および凸部の大きさが異なるスタンパ３’を用いて、上述した方法と同様にして、図３に示した磁性部２１Ａや島部２２Ａを設ける。図６（ａ）に示すように、スタンパ３’の 凸部３’ａは、非磁性部２Ｊを形成するための部分である。一方、スタンパ３’の凹部３’ｂは、磁性部２１Ａや島部２２Ａを形成するための部分である。
Next, the
サーボ単位部２１および分離部２２の上にレジストパターンを順次形成するなど上述の方法と同様にして、図６（ｂ）に示すように、サーボ単位部２１における磁性部２１Ａになる部位や、分離部２２における島部２２Ａになる部位がパターン形成される。次に、レジストパターン４２を除去する。
Similar to the above-described method such as sequentially forming a resist pattern on the
次に、図６（ｃ）に示すように、磁性部２１Ａと島部２２Ａとの間、および、磁性部２１Ａ上や島部２２Ａ上に、非磁性体２Ｂ’を堆積する。本実施形態において、この非磁性体２Ｂ’はＳｉＯ2である。そのため、ここで用いられた非磁性体２Ｂ’は、既に用いられた島部２２Ａを構成する非磁性体２Ｂであるアルミナより軟質なものとなっている。
Next, as shown in FIG. 6C, a
次に、図６（ｄ）に示すように、堆積された非磁性体２Ｂ’のうち上層側の不要部分を研磨除去し、サーボ単位部２１における磁性部２１Ａ、および、分離部２２における島部２２Ａの頂部を露出させる。複数の磁性部２１Ａ、島部２２Ｂおよび非磁性部２Ｊの頂部が、記録層Ｌの表面となっている。この記録層Ｌの表面は平坦となっている。記録層Ｌの表面上に、保護膜（図示略）を形成する。これにより、磁気ディスクＡ１を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 6D, unnecessary portions on the upper layer side of the deposited
このような構成によれば、磁性部２１Ａの頂部を露出させる研磨の際には、分離部２２において、非磁性部２Ｊを構成する材質より硬い材料からなる島部２２Ａの存在によって、記録層Ｌの表面が過度に研磨されることがなくなる。これにより、記録層Ｌの表面が、高い表面平坦性を有することとなる。
According to such a configuration, at the time of polishing to expose the top of the
その結果、磁気ヘッドと記録層Ｌの表面との間の気流が乱れにくくなる。したがって、磁気ヘッドの浮上がより安定する。 As a result, the airflow between the magnetic head and the surface of the recording layer L is not easily disturbed. Therefore, the flying of the magnetic head is more stable.
また、このような構成によれば、分離部２２に磁性体が存在しない。そのため、島部２２Ａが磁性体から構成されている場合と比較して、ＳＮ比の低下を抑えることができる。
In addition, according to such a configuration, there is no magnetic body in the
本実施形態におけるものと異なり、本発明にかかる島部２２Ａを構成する非磁性体と、非磁性部２Ｊを構成する非磁性体は、同じ物質であってもよい。たとえば、いずれの非磁性体もＳｉＯ2であることが挙げられる。ただし、島部２２Ａを構成する材料は、非磁性部２Ｊを構成する材質よりも硬質でなければならない。ＳｉＯ2の硬さを変えるには、スパッタリングをする際のガス圧を制御すればよい。
Unlike in the present embodiment, the non-magnetic material constituting the
また、島部２２Ａを構成する非磁性体と、非磁性部２Ｊを構成する非磁性体とが、同じ物質である他の例として、いずれの非磁性体もＳＯＧ(スピンオンガラス)であることが考えられる。このとき、ＳＯＧは、スピンコーティング法により成膜される。ＳＯＧの硬さを変えるには、ＳＯＧが塗布された後の加熱温度を制御すればよい。
In addition, as another example in which the nonmagnetic material constituting the
図７は、本発明の第２実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。 FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.
図７に示された磁気ディスクＡ２において、分離部２２における島部２２Ａの形状が、第１実施形態の磁気ディスクＡ１とは異なっている。本実施形態では、島部２２Ａのディスク周方向ｘにおける大きさが、磁性部２１Ａのディスク周方向における大きさの２倍程度となっている。ディスク周方向ｘにおける各島部２２Ａの間隔が、ディスク周方向ｘにおける各磁性部２１Ａの間隔と異なっている。また、各分離部２２におけるディスク周方向ｘの単位長さあたりの島部２２Ａの個数が、第１実施形態と比べ減少している。また、図７には表されていないが、各磁性部２１Ａや各島部２２Ａの大きさ、形状は、それぞれ異なっていてもよい。たとえば、円形であるものや長方形であるものが、混在していてもよい。また、ディスク周方向ｘにおける、各磁性部２１Ａや各島部２２Ａの間隔は、それぞれ異なっていてもよい。
In the magnetic disk A2 shown in FIG. 7, the shape of the
図８は、本発明の第３実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。 FIG. 8 shows a third embodiment of the present invention. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.
図８に示された磁気ディスクＡ３においては、サーボ領域２において、磁性部２１Ａと島部２２Ａとの間に、非磁性体が充填されていないことが、上記実施形態の磁気ディスクＡ１およびＡ２と異なっている。本実施形態では、非磁性体を磁性部２１Ａと島部２２Ａとの間に充填する必要がない。そのため、磁気ディスクＡ３の製造工程を簡略化できる。また、磁気ディスクＡ３において、ディスク周方向ｘの大きさが略一定である磁性部２１Ａおよび島部２２Ａが、ディスク周方向ｘに略一定間隔で形成されている。これにより、磁気ヘッドが安定して浮上することが可能となる。
In the magnetic disk A3 shown in FIG. 8, in the
第１実施形態ないし第３実施形態において、本発明にかかる島部２２Ａを構成する材料が、磁性部２１Ａを構成する磁性体と同一のＣｏＰｔであってもよい。このとき、島部２２Ａを構成するＣｏＰｔの磁気特性と、磁性部２１Ａを構成するＣｏＰｔの磁気特性とが、異なっている必要がある。そのために、たとえばＣｏＰｔにおけるＰｔの組成比を変えればよい。
In the first to third embodiments, the material constituting the
図９および図１０は、本発明の第４実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。 9 and 10 show a fourth embodiment of the present invention. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.
図９に示された磁気ディスクＡ４において、磁性部２１Ａおよび島部２２Ａの形状が略同一であり、同一の磁性体から構成されている。磁性部２１Ａおよび島部２２Ａはいずれも長方形である。本実施形態では、ディスク周方向ｘにおける各島部２２Ａの間隔が、ディスク周方向ｘにおける各磁性部２１Ａの間隔の２倍程度である。ディスク周方向ｘにおける各島部２２Ａの間隔は、たとえば、磁気ディスクＡ４を備えたハードディスク装置における磁気記録読取ヘッドのギャップ長以下である。
In the magnetic disk A4 shown in FIG. 9, the shapes of the
図１０に示された磁気ディスクＡ４’においても、磁性部２１Ａおよび島部２２Ａの形状が略同一であり、同一の磁性体から構成されている。磁性部２１Ａおよび島部２２Ａはいずれも円形である。本実施形態では、ディスク周方向ｘおよびディスク径方向ｙにおける各島部２２Ａの間隔が、ディスク周方向ｘおよびディスク径方向ｙにおける各磁性部２１Ａの間隔のそれぞれ２倍程度である。ディスク周方向ｘにおける各島部２２Ａの間隔は、たとえば、磁気ディスクＡ４’を備えたハードディスク装置における磁気記録読取ヘッドのギャップ長以下である。一方、ディスク径方向ｙにおける各島部２２Ａの間隔は、たとえば、磁気ディスクＡ４’を備えたハードディスク装置における磁気記録読取ヘッドのリードコア幅以下である。
Also in the magnetic disk A4 'shown in FIG. 10, the shape of the
また、サーボ領域２における磁性部２１Ａおよび島部２２Ａが占める領域以外の領域には、非磁性部が形成されていなくてもよい。
Further, the non-magnetic portion may not be formed in a region other than the region occupied by the
このような構成によれば、磁気ディスクＡ４および磁気ディスクＡ４’を製造する際、インプリントの均一性が向上するという利点がある。また、磁性部２１Ａおよび島部２２Ａが同一の材料で構成されているため、一度インプリントすることにより、これらを形成する事が可能となる。つまり、第１実施形態で示したような二度のインプリントが不要になるという利点がある。
According to such a configuration, there is an advantage that imprint uniformity is improved when the magnetic disk A4 and the magnetic disk A4 'are manufactured. Moreover, since the
なお、磁気ディスクＡ４、Ａ４’が、非磁性領域を挟んでデータ記録のための複数の最小磁性単位部が配列されてなるパターンドメディアであるとき、これらの最小磁性単位部、各磁性部２１Ａおよび各島部２２Ａの形状が、全て同一であることも考えられる。
When the magnetic disks A4 and A4 ′ are patterned media in which a plurality of minimum magnetic unit portions for data recording are arranged with a nonmagnetic region interposed therebetween, these minimum magnetic unit portions and the respective
本発明に係る磁気ディスクは、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る磁気ディスクの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。本実施形態では、プリアンブル部において、島部が形成されている例を示したが、サーボ領域内のプリアンブル部以外において、島部が形成されていてもよい。 The magnetic disk according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. The specific configuration of each part of the magnetic disk according to the present invention can be modified in various ways. In the present embodiment, an example in which the island portion is formed in the preamble portion is shown, but the island portion may be formed in a portion other than the preamble portion in the servo area.
Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ４’ 磁気ディスク
Ｂ ディスク基板
Ｄ データ領域
２ サーボ領域
２１ サーボ単位部
２１Ａ 磁性部
２２ 分離部
２２Ａ 島部
２Ｊ 非磁性部
３，３’ スタンパ
４１ レジスト膜
４２ レジストパターン
Ｌ 記録層
Ｌ’ 磁性膜
ｘ 周方向
ｙ 径方向
A1, A2, A3, A4, A4 'Magnetic disk B Disk substrate
Claims (7)
上記磁性体の磁気特性は、上記島部を構成する材料の磁気特性と異なっており、
上記サーボ領域における上記磁性部および上記島部が占める領域以外の領域は、所定厚みの非磁性体からなる非磁性部が形成されており、かつ、
上記磁性体、および、上記島部を構成する材料は、上記非磁性体よりも硬質であることを特徴とする、磁気ディスク。 A recording layer in which a servo area having a predetermined servo pattern and including a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction and a plurality of separation units arranged between the plurality of servo unit portions is formed. Each of the servo unit portions has a predetermined thickness and includes one or more magnetic portions made of a magnetic material, and the separating portion has a predetermined thickness and is made of a predetermined material. A magnetic disk containing an island,
The magnetic properties of the magnetic material are different from the magnetic properties of the material constituting the island,
In the region other than the region occupied by the magnetic portion and the island portion in the servo region, a nonmagnetic portion made of a nonmagnetic material having a predetermined thickness is formed, and
The magnetic disk, wherein the material constituting the magnetic body and the island is harder than the non-magnetic body.
上記磁性体の磁気特性は、上記島部を構成する材料の磁気特性と異なっており、
上記各磁性部および上記各島部は、それぞれ、空間を介在させて配置されていることを特徴とする、磁気ディスク。 A recording layer in which a servo area having a predetermined servo pattern and including a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction and a plurality of separation units arranged between the plurality of servo unit portions is formed. Each of the servo unit portions has a predetermined thickness and includes one or more magnetic portions made of a magnetic material, and the separating portion has a predetermined thickness and is made of a predetermined material. A magnetic disk containing an island,
The magnetic properties of the magnetic material are different from the magnetic properties of the material constituting the island,
The magnetic disk according to claim 1, wherein each of the magnetic parts and each of the island parts are arranged with a space therebetween.
上記磁性部は上記周方向に第１の間隔で、上記島部は上記周方向に上記第１の間隔と異なる第２の間隔でそれぞれ並んでおり、または、上記磁性部はディスク径方向に第３の間隔で、上記島部は上記径方向に上記第３の間隔と異なる第４の間隔でそれぞれ並んでおり、
上記島部の形状は、上記磁性部の形状と略同一であることを特徴とする、磁気ディスク。 A recording layer in which a servo area having a predetermined servo pattern and including a plurality of servo unit portions arranged in the circumferential direction and a plurality of separation units arranged between the plurality of servo unit portions is formed. Each of the servo unit portions has a predetermined thickness and includes a plurality of magnetic portions made of a magnetic material, and the separating portion has a predetermined thickness and includes a plurality of island portions made of a magnetic material. A magnetic disk,
The magnetic portions are arranged at a first interval in the circumferential direction, and the island portions are arranged at a second interval different from the first interval in the circumferential direction, or the magnetic portions are arranged in a radial direction of the disk. The island portions are arranged at a fourth interval different from the third interval in the radial direction at intervals of 3,
The magnetic disk according to claim 1, wherein the shape of the island portion is substantially the same as the shape of the magnetic portion.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2008075673A Withdrawn JP2009230809A (en) | 2008-03-24 | 2008-03-24 | Magnetic disk |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011090766A (en) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | Magnetic disk, and manufacturing method of master for imprinting the same |
| JP2014010854A (en) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Toshiba Corp | Method for manufacturing magnetic recording medium |
-
2008
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