JP2009214060A - Piezoelectric actuator unit and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、タッチパネル式入力装置に組み込まれ、振動を接触対象に伝達する圧電アクチュエータユニットおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a piezoelectric actuator unit that is incorporated in a touch panel input device and transmits vibration to a contact target, and a method for manufacturing the same.
タッチパネルの表面は平坦で滑らかであるため、機械的なスイッチと比較すると、ユーザは、正しく操作できているのかどうかを判断し難いという事情があった。このため、従来から、操作するユーザの指先に振動を与えて操作の感覚をフィードバックするタッチパネルが提案されている。このように、操作するユーザの指先に振動を与えるフィードバック方式は、触覚フィードバックと呼称されている。 Since the surface of the touch panel is flat and smooth, there is a situation in which it is difficult for the user to determine whether or not the user can operate correctly compared to a mechanical switch. For this reason, conventionally, a touch panel has been proposed in which vibration is given to the fingertip of the operating user to feed back the feeling of operation. As described above, the feedback method for applying vibration to the fingertip of the user who operates is called tactile feedback.
触覚フィードバック用の振動発生手段としては、タッチパネルを支持するバイモルフ型の圧電アクチュエータが知られており、これがタッチパネルの下に組み込まれ、振動を接触対象に伝達する(たとえば、特許文献1参照)。特許文献1記載の入出力装置は、支持フレームまたはタッチパネルに接着剤により圧電アクチュエータを固定している。一方、情報端末機器などの音声拡声の分野で、金属振動板の全体と接続端子の一部とを同時にモールドして形成された圧電型振動子が開示されている(たとえば、特許文献2参照)。
上記のように、タッチパネル式入力装置では、圧電アクチュエータは安定して支持されるとともにタッチパネルに十分な振動を伝達することが求められる。本発明者はこのような事情を考慮して、圧電アクチュエータを樹脂製の支持フレームに一体成型で固着させることに想到した。 As described above, in the touch panel type input device, the piezoelectric actuator is required to be stably supported and to transmit sufficient vibration to the touch panel. In consideration of such circumstances, the present inventor has conceived that the piezoelectric actuator is fixed to the resin support frame by integral molding.
しかしながら、圧電アクチュエータを樹脂中に一体成型で固着させると、一体成型の際に圧電体のキュリー点以上の温度を有する樹脂を流し込む必要が生じる場合が多く、その場合には圧電体の分極が消極する。圧電体の分極が消えると圧電アクチュエータは屈曲する機能が失われ、タッチパネル式入力装置は振動を発生させることができなくなる。 However, when the piezoelectric actuator is fixed to the resin by integral molding, it is often necessary to pour a resin having a temperature equal to or higher than the Curie point of the piezoelectric body at the time of integral molding, in which case the polarization of the piezoelectric body is depolarized. To do. When the polarization of the piezoelectric body disappears, the piezoelectric actuator loses its bending function, and the touch panel input device cannot generate vibration.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、支持フレームに一体成型された圧電アクチュエータユニットおよびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a piezoelectric actuator unit integrally formed with a support frame and a method for manufacturing the same.
(1)上記の目的を達成するために、本発明は、以下のような手段を講じた。すなわち、本発明の圧電アクチュエータユニットは、タッチパネル式入力装置に組み込まれ、振動を接触対象に伝達する圧電アクチュエータユニットであって、接触による入力に応じ振動する圧電アクチュエータと、熱可塑性樹脂で形成され、前記圧電アクチュエータの一部が一体形成により埋設されることで、前記圧電アクチュエータを支持する支持フレームと、前記圧電アクチュエータから振動が伝えられるタッチパネルと、を備えることを特徴としている。 (1) In order to achieve the above object, the present invention takes the following measures. That is, the piezoelectric actuator unit of the present invention is a piezoelectric actuator unit that is incorporated in a touch panel type input device and transmits vibration to a contact target, and is formed of a piezoelectric actuator that vibrates in response to an input by contact, and a thermoplastic resin, The piezoelectric actuator includes a support frame that supports the piezoelectric actuator and a touch panel that transmits vibrations from the piezoelectric actuator by being partially embedded in the piezoelectric actuator.
このように、本発明の圧電アクチュエータユニットは、熱可塑性樹脂で形成され、圧電アクチュエータの一部が支持フレームに一体成型(インサート成型)で埋設されている。これにより、一体化により工数を減少させるとともに、安定して振動を伝達する圧電アクチュエータユニットを作製することができる。 As described above, the piezoelectric actuator unit of the present invention is formed of a thermoplastic resin, and a part of the piezoelectric actuator is embedded in the support frame by integral molding (insert molding). Thereby, it is possible to produce a piezoelectric actuator unit that reduces man-hours by integration and transmits vibrations stably.
(2)また、本発明の圧電アクチュエータユニットにおいて、前記支持フレームは、前記圧電アクチュエータを構成する圧電体の分極温度より高いガラス転移温度を有する熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴としている。したがって、圧電アクチュエータの一部が支持フレームに一体成型で埋設されている圧電アクチュエータユニットを製造するためには、製造工程で成形工程後に圧電アクチュエータの圧電体に対して分極処理を行う必要が生じる。成形工程で消極温度以上の温度まで圧電体が加熱されても、その後の分極処理により確実に分極処理がなされ、圧電アクチュエータを支持フレームに一体成型(インサート成型)した圧電アクチュエータユニットを製造することができる。 (2) Further, in the piezoelectric actuator unit of the present invention, the support frame is formed of a thermoplastic resin having a glass transition temperature higher than a polarization temperature of a piezoelectric body constituting the piezoelectric actuator. Therefore, in order to manufacture a piezoelectric actuator unit in which a part of the piezoelectric actuator is embedded in the support frame by integral molding, it is necessary to perform polarization processing on the piezoelectric body of the piezoelectric actuator after the molding process in the manufacturing process. Even if the piezoelectric body is heated to a temperature equal to or higher than the depolarization temperature in the molding process, the polarization process is surely performed by the subsequent polarization process, and the piezoelectric actuator unit in which the piezoelectric actuator is integrally formed (insert molding) on the support frame can be manufactured. it can.
なお、分極温度とは、キュリー温度より低い温度で、分極処理する際に圧電体を維持すべき最低の温度である。一方、消極温度は、分極温度以下の温度で、圧電体をその温度以上に加熱すると、圧電体がアクチュエータとして機能しない程度まで圧電体が有する分極特性が減少する温度である。たとえば、キュリー温度が約300℃のPZT圧電体について、分極温度は約180℃、消極温度が約100℃である例が確認されている。 Note that the polarization temperature is a temperature lower than the Curie temperature and the lowest temperature at which the piezoelectric body should be maintained during the polarization process. On the other hand, the depolarization temperature is a temperature at which the polarization characteristic of the piezoelectric body is reduced to the extent that the piezoelectric body does not function as an actuator when the piezoelectric body is heated to a temperature lower than the polarization temperature. For example, it has been confirmed that a PZT piezoelectric body having a Curie temperature of about 300 ° C. has a polarization temperature of about 180 ° C. and a depolarization temperature of about 100 ° C.
(3)また、本発明の圧電アクチュエータユニットにおいて、前記支持フレームを形成する樹脂は、200℃以上のガラス転移点を有することを特徴としている。これにより、キュリー温度が200℃に満たない圧電体を用いた圧電アクチュエータを支持フレームと一体成型する場合には、成型工程を行った後に圧電アクチュエータの分極処理を行う必要が生じる。このような条件を満たす圧電体にはPZT等の圧電アクチュエータに適した圧電体が含まれる。 (3) Further, in the piezoelectric actuator unit of the present invention, the resin forming the support frame has a glass transition point of 200 ° C. or higher. As a result, when a piezoelectric actuator using a piezoelectric body having a Curie temperature of less than 200 ° C. is integrally formed with the support frame, it is necessary to perform polarization processing of the piezoelectric actuator after performing the molding process. The piezoelectric material satisfying such conditions includes a piezoelectric material suitable for a piezoelectric actuator such as PZT.
(4)また、本発明の圧電アクチュエータユニットにおいて、前記圧電アクチュエータは、バイモルフ型の圧電アクチュエータであることを特徴としている。バイモルフ型は対称的な形状であるため、一体成型後の冷却時に熱膨張差により圧電アクチュエータが反ることはなくなる。 (4) In the piezoelectric actuator unit of the present invention, the piezoelectric actuator is a bimorph type piezoelectric actuator. Since the bimorph type has a symmetrical shape, the piezoelectric actuator does not warp due to a difference in thermal expansion during cooling after integral molding.
(5)また、本発明の圧電アクチュエータユニットの製造方法は、タッチパネル式入力装置に組み込まれ、振動を接触対象に伝達する圧電アクチュエータユニットの製造方法であって、圧電アクチュエータの一部を樹脂の中に埋設するように、前記圧電アクチュエータと前記圧電アクチュエータを支持する支持フレームとを一体成型する成型工程と、前記成型工程後に、前記圧電アクチュエータの圧電体に対して分極処理を行う分極工程と、を有することを特徴としている。 (5) A method of manufacturing a piezoelectric actuator unit according to the present invention is a method of manufacturing a piezoelectric actuator unit that is incorporated in a touch panel type input device and transmits vibration to a contact target. A molding step of integrally molding the piezoelectric actuator and a support frame that supports the piezoelectric actuator, and a polarization step of performing a polarization process on the piezoelectric body of the piezoelectric actuator after the molding step. It is characterized by having.
このように、本発明の圧電アクチュエータユニットの製造方法では、成形工程後に圧電アクチュエータの圧電体に対して分極処理を行う。したがって、成形工程で消極温度以上の温度まで圧電体が加熱されても、その後の分極処理により確実に分極がなされる。その結果、一体化により工数を減少させるとともに、安定して振動を伝達する圧電アクチュエータユニットを作製することができる。 Thus, in the manufacturing method of the piezoelectric actuator unit of the present invention, the polarization process is performed on the piezoelectric body of the piezoelectric actuator after the molding step. Therefore, even if the piezoelectric body is heated to a temperature equal to or higher than the depolarization temperature in the molding process, the polarization is reliably performed by the subsequent polarization process. As a result, it is possible to manufacture a piezoelectric actuator unit that reduces man-hours by integration and transmits vibrations stably.
(6)また、本発明の圧電アクチュエータユニットの製造方法の前記成型工程前に、あらかじめ駆動用の端子と前記圧電アクチュエータの電極との接続を行い配置しておくことを特徴としている。これにより、後で端子を圧電体の電極に接続する手間を省くことができる。 (6) Further, before the molding step of the manufacturing method of the piezoelectric actuator unit of the present invention, the driving terminal and the electrode of the piezoelectric actuator are connected and arranged in advance. Thereby, the trouble of connecting the terminal to the electrode of the piezoelectric body later can be saved.
(7)また、本発明の圧電アクチュエータユニットの製造方法の前記成型工程では、端子を支持フレームに埋設し、前記分極工程後に、前記端子を前記圧電アクチュエータへ接続する接続工程を更に有することを特徴としている。このように分極工程後に端子を圧電アクチュエータの電極に接続するため、あらかじめ配線や分極時の電圧の向き等を設定せずに簡易に成型および分極工程を行うことができる。 (7) Further, the molding step of the method for manufacturing a piezoelectric actuator unit of the present invention further includes a connection step of embedding a terminal in a support frame and connecting the terminal to the piezoelectric actuator after the polarization step. It is said. As described above, since the terminal is connected to the electrode of the piezoelectric actuator after the polarization process, the molding and polarization process can be easily performed without setting the wiring or the direction of the voltage during the polarization in advance.
本発明によれば、一体化により工数を減少させるとともに、安定して振動を伝達する圧電アクチュエータユニットを作製することができる。 According to the present invention, it is possible to produce a piezoelectric actuator unit that reduces man-hours by integration and stably transmits vibration.
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In order to facilitate understanding of the description, the same reference numerals are given to the same components in the respective drawings, and duplicate descriptions are omitted.
(第1の実施形態)
図1は、タッチパネル式入力装置100の構成を示す概略図である。このタッチパネル式入力装置100は、触覚フィードバック機能と音響フィードバック機能とを有している。タッチパネル式入力装置100は、圧電アクチュエータユニット110、タッチパネル回路170、デジタルシグナルプロセッサ(DSP)180、D級アンプ190から構成されている。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a touch
圧電アクチュエータユニット110は、支持フレーム120、圧電アクチュエータ140およびタッチパネル160を有し、タッチパネル式入力装置に組み込まれ、タッチパネルへの接触に対して触覚または音響フィードバックとして振動を接触対象に伝達する。タッチパネル160は、図示しないディスプレイ装置に表示された画像の表示位置に対応する位置における接触を検出して入力信号を発生する。タッチパネル回路170は、タッチパネル160から得られる信号を処理することによって、タッチパネル160のパネル面でユーザの指先が接触する位置を表す信号を出力する。
The
デジタルシグナルプロセッサ180は、タッチパネル160上の接触位置を表す信号を受信し、その位置に応じて所定の音響および触覚振動を発生させるように、音響信号と触覚信号とを混合した混合信号をD級アンプ190に出力する。デジタルシグナルプロセッサ180では、音響信号と触覚信号との区別をすることは無く、両者を混合させて出力する。
The
D級アンプ190は、デジタルシグナルプロセッサ180から入力された混合信号に基づいて、圧電アクチュエータ140を駆動する。D級アンプ190は、入力されたアナログ信号をPWM(Pulse Wide Modulation)信号に変換し、スイッチング回路を通したPWM信号をLCフィルタに通すことにより電力的に増幅されたアナログ信号を出力するアンプである。圧電素子は容量性を持つため、D級アンプに必要なLCフィルタのコンデンサを不要とすることができる。また、容量性負荷である圧電素子(圧電アクチュエータ)を一般のアナログアンプにより駆動すると、電流の位相が電圧と90度ずれるため、発熱が大きいのに対し、D級アンプ190はスイッチングにより増幅するため、発熱が小さく、熱を拡散するヒートシンクが不要となることから、小型化にも有利である。このようにして圧電アクチュエータ140は、タッチパネル160への接触を検知したときに振動することで、音響または触覚フィードバックが可能となる。
The
図2(a)、(b)は、圧電アクチュエータユニット110の概略構成を示す平面図および正面図である。圧電アクチュエータユニット110は、タッチパネル式入力装置100がタッチパネル160への接触を検知したときに振動を接触対象に伝達する。支持フレーム120は、タッチパネル式入力装置100の画面の枠を形成し、その上に設置された圧電アクチュエータ140を支持する。圧電アクチュエータ140の上には、タッチパネル160が設置される。
2A and 2B are a plan view and a front view showing a schematic configuration of the
支持フレーム120は、樹脂製であり、タッチパネルの画面表示部分を中空121とした長方形の枠状に形成されている。支持フレーム120を形成する樹脂は成型性に優れたものが好ましく、液晶ポリマー、ABS、ポリカーボネート、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)等が挙げられる。
The
支持フレーム120を形成する樹脂は、圧電体の分極温度より高いガラス転移温度を有する熱可塑性樹脂である。このガラス転移温度は、分極処理時に樹脂が形状を維持するためには分極温度より高い方が好ましい。具体的には100℃以上であることが好ましく、PZT等の圧電材料を考慮すると200℃以上がさらに好ましい。特に、液晶ポリマーは、その結晶性により薄くても形状を保つことができ、耐熱性にも優れているため支持フレーム120の材料として好ましい。支持フレーム120は、圧電アクチュエータ140を設置するための4つの矩形状の溝穴部122を有している。溝穴部122は、圧電アクチュエータ140を収納できるだけのスペースを有している。なお、分極温度とは、キュリー温度より低い温度で、分極処理する際に圧電体を維持すべき最低の温度である。
The resin forming the
圧電アクチュエータ140は、屈曲型のアクチュエータで、溝穴部122に収まるサイズで矩形に形成されている。圧電アクチュエータ140の支持フレーム120側の主面の長手方向両端には支持用固定部151が設けられ、支持用固定部151により圧電アクチュエータ140が支持フレーム120に固着されている。また、圧電アクチュエータ140のタッチパネル160側の主面の長手方向中央部には、駆動用固定部152が設けられており、駆動用固定部152によりタッチパネル160が圧電アクチュエータ140に固着している。これにより、圧電アクチュエータ140の振動がタッチパネル160に伝わり、音響または触覚フィードバック信号をユーザに伝達することができる。
The
支持用固定部151および駆動用固定部152は、シリコンゴム等の弾性ゴムによりシート状または板状に形成され、接着剤の塗布または両面テープの貼付により圧電アクチュエータ140、支持フレーム120またはタッチパネル160に固着されている。タッチパネル160は、ポリエステル等の透明なフィルムまたは樹脂板であり、圧電アクチュエータ140の駆動用固定部152により支持されている。また、タッチパネル160は、タッチパネル式入力装置100の外側のフレームにより周縁部を固定されている(図示せず)。
The supporting
図3は、圧電アクチュエータが設置された支持フレーム120の構成を、端子接続を含めて示す平面図である。図4(a)〜(c)は、支持フレーム120の溝穴部122の一つを拡大して示した平面図、正面図および断面図である。図4(c)は、図4(a)に示す断面4cを矢印の方向から見た図である。4つの溝穴部122は同等であるため、主に図3において左下に示される溝穴部122について説明する。
FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the
図3および図4に示すように、支持フレーム120には、端子125a〜127dが埋設されている。端子125a〜127dは、弾性を有する金属により形成され、支持フレーム120の成型時にインサート成型により埋設されるのが好ましい。支持フレーム120の作製には、端子125a〜127dを含めたインサート成型を行う。その際には、金型に端子125a〜127dをセッティングし、加熱により可塑化した樹脂を注入して行う。
As shown in FIGS. 3 and 4,
溝穴部122は貫通した矩形の穴であり、圧電アクチュエータ140はシム板148が支持フレーム120に埋設されていることにより固定されている。シム板148が埋設された溝穴部122の近傍には、接続用穴部128a〜130dが端子125a〜127dと電極145〜147との接続数に対応して設けられている。端子125a〜127dと電極145〜147とは、それぞれの接続用穴部128a〜130dにおいて結合部155により接続されている。結合部155には、たとえばハンダまたは導電性接着剤のような導通がとれ金属部材同士を結合できる材料が用いられる。
The
圧電アクチュエータ140は、シム板148の両側に積層平板状の圧電素子を貼り付けたバイモルフ型の圧電アクチュエータである。図3および図4に示すように、圧電アクチュエータ140は、設置時に溝穴部122の開口側から電極145、圧電体140a、電極146、圧電体140b、電極147の順に電極と圧電体とが交互に積層されている。なお、圧電体と金属の収縮率が異なり、インサート成型後の冷却時にユニモルフ型の圧電アクチュエータ140は反ってしまうことから、ユニモルフ型の圧電アクチュエータ140は適さない。
The
図4に示すように、電極145〜147は、端子側のシム板148上にまで延設されており、シム板148ごと支持フレーム120内に、一体成型、具体的にはインサート成型により埋設されている。各電極を絶縁するため、シム板148として絶縁性のものを用いるか、シム板148と電極とを絶縁しておく。電極145は、支持フレーム120に埋設された端子125aに接続用穴部128aにおいて結合部155により接続されており、電極147にも接続されている。また、電極146、147は、支持フレーム120に埋設された端子126a、127aと結合部155により接続されている。なお、上記の例のように電極145〜147を延設したシム板148を支持フレーム120に埋設するのではなく、各電極145〜147をそれぞれ埋設してもよい。その場合には金属製シム板をそのまま電極146として用いてもよい。
As shown in FIG. 4, the
次に、圧電アクチュエータユニット110の製造方法を説明する。図5は、圧電アクチュエータユニット110の製造方法を示すフローチャートである。まず、端子125a〜127dおよび未分極の圧電アクチュエータ140を所定位置に設置し、金型をセットする(ステップS1)。端子125a〜127dおよび電極145〜147は、接続用穴部128a〜130d内で近接するようにあらかじめ配置しておく。次に、熱可塑性の樹脂をガラス転移点以上(300〜500℃)に加熱して、樹脂を金型に注入する(ステップS2)。そのまま冷却し、十分に冷却できたら、金型から支持フレーム120を脱型して取り出す(ステップS3)。このようにして圧電アクチュエータ140の支持フレーム120へのインサート成型を行う。ステップS1からS3までが成型工程である。
Next, a method for manufacturing the
取り出した支持フレーム120では、端子125a〜127dと圧電体の電極145〜147とが接続されていない状態である。その状態において、圧電アクチュエータ140の電極145〜147に直接電圧を印加するため分極用の端子を圧電体の電極145〜147に接続する(ステップS4)。そして、分極工程として分極用の端子を用いて、分極処理をする(ステップS5)。
In the extracted
分極処理は、支持フレーム120を圧電体140a、140bのキュリー温度以上であって支持フレーム120を形成する樹脂のガラス転移点以下の温度で加熱し、直流電圧を印加する。これにより、支持フレーム120内にインサート成型された圧電体に圧電性を発現させる。加熱温度は、200℃程度が好ましい。分極時の電圧の印加方向等については後述する。分極処理を終えたら、分極用の端子を電極145〜147から外して、接続工程として駆動用の端子125a〜127dを接続する(ステップS6)。この際、支持フレーム120中に開けられた接続用穴部128a〜130dで電気的配線を行う。
In the polarization treatment, the
最後にタッチパネル160を各圧電アクチュエータの駆動用固定部152に固着することで圧電アクチュエータユニット110を製造することができる(ステップS7)。このように、未分極の圧電アクチュエータ140をインサート成型して、支持フレーム120を形成した後に分極処理を行うことで、圧電機能を発現させる。これにより、成型時の加熱による圧電体140a、140bの消極を防止することができる。
Finally, the
また、上記の例では、分極処理後に端子125a〜127dと電極145〜147との接続を行うが、成型工程前にあらかじめ接続した状態で配置しておき、インサート成型を行い端子125a〜127dおよび電極145〜147を支持フレーム120に埋設してもよい。
Further, in the above example, the
次に、分極処理および駆動時における電圧の印加方向について説明する。図6(a)は、分極時における圧電アクチュエータ140および印加電圧を示す概略図、(b)および(c)は、いずれも駆動時における圧電アクチュエータ140および印加電圧を示す概略図である。図6(a)に示すように、分極処理時には、シム板148の両面に配置されたいずれの圧電体140a、140bに対しても同じ向きに直流電圧を印加する。その結果、圧電体140aの分極方向と圧電体140bの分極方向が同じになる。
Next, the direction of voltage application during polarization processing and driving will be described. FIG. 6A is a schematic diagram illustrating the
分極処理後、圧電アクチュエータ140を駆動する際には、図6(b)(c)に示すように、圧電体140aには分極時と同方向(又は逆方向)に電圧を印加する。また、圧電体140bには分極時と逆方向(又は同方向)に電圧を印加する。このような電圧の印加方向は、あらかじめ所定の電源に接続された端子125a〜127dと電極145〜147とを配線する際に調整してもよいし、電源側でそのように電圧が印加されるように配線を調整してもよい。
When the
100 タッチパネル式入力装置
110 圧電アクチュエータユニット
120 支持フレーム
122 溝穴部
125a−127d 端子
128a−130d 接続用穴部
140 圧電アクチュエータ
140a、140b 圧電体
145−147 電極
148 シム板
151 支持用固定部
152 駆動用固定部
155 結合部
160 タッチパネル
170 タッチパネル回路
180 デジタルシグナルプロセッサ
190 D級アンプ
DESCRIPTION OF
Claims (7)
接触による入力に応じ振動する圧電アクチュエータと、
熱可塑性樹脂で形成され、前記圧電アクチュエータの一部が一体成型により埋設されることで、前記圧電アクチュエータを支持する支持フレームと、
前記圧電アクチュエータから振動が伝えられるタッチパネルと、を備えることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。 A piezoelectric actuator unit that is incorporated in a touch panel type input device and transmits vibration to a contact object,
A piezoelectric actuator that vibrates in response to input by contact;
A support frame that is formed of a thermoplastic resin and supports the piezoelectric actuator by embedding a part of the piezoelectric actuator by integral molding;
A piezoelectric actuator unit comprising: a touch panel to which vibration is transmitted from the piezoelectric actuator.
圧電アクチュエータの一部を樹脂の中に埋設するように、前記圧電アクチュエータと前記圧電アクチュエータを支持する支持フレームとを一体成型する成型工程と、
前記成型工程後に、前記圧電アクチュエータの圧電体に対して分極処理を行う分極工程と、を有することを特徴とする圧電アクチュエータユニットの製造方法。 A method of manufacturing a piezoelectric actuator unit that is incorporated in a touch panel type input device and transmits vibration to a contact object,
A molding step of integrally molding the piezoelectric actuator and a support frame that supports the piezoelectric actuator so as to embed a part of the piezoelectric actuator in a resin;
A method of manufacturing a piezoelectric actuator unit, comprising: a polarization step of performing polarization processing on the piezoelectric body of the piezoelectric actuator after the molding step.
前記分極工程後に、前記端子を前記圧電アクチュエータへ接続する接続工程を更に有することを特徴とする請求項5記載の圧電アクチュエータユニットの製造方法。 In the molding process, the terminal is embedded in the support frame,
6. The method of manufacturing a piezoelectric actuator unit according to claim 5, further comprising a connecting step of connecting the terminal to the piezoelectric actuator after the polarization step.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008062135A Withdrawn JP2009214060A (en) | 2008-03-12 | 2008-03-12 | Piezoelectric actuator unit and its manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009214060A (en) |
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- 2008-03-12 JP JP2008062135A patent/JP2009214060A/en not_active Withdrawn
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