JP2009168325A - Fan filter unit - Google Patents

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JP2009168325A JP2008006593A JP2008006593A JP2009168325A JP 2009168325 A JP2009168325 A JP 2009168325A JP 2008006593 A JP2008006593 A JP 2008006593A JP 2008006593 A JP2008006593 A JP 2008006593A JP 2009168325 A JP2009168325 A JP 2009168325A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an easily installable fan filter unit that is integral with a fan filter unit in which a sensor position can be positioned at an arbitrary (desired) position. <P>SOLUTION: A suction port 1 is provided at an upper part of a chamber 5, a fan unit 4 is incorporated in the chamber 5, a filter 6 and a supporting frame 8 are disposed at the downstream side of the fan unit 4, a slide guide 9 is disposed on a side face inside the supporting frame 8, a sensor 12 is fixed to a fixing tool 11, the fixing tool 11 is disposed at an arbitrary position of a supporting tool 10, and the supporting tool 10 is disposed at an arbitrary position of the slide guide 9, so that the sensor 12 can be positioned at a desired arbitrary position. The sensor 12 can be moved and disposed at a representative position at a blowout side, and by being integrated with the fan filter, the fan filter unit that is easily installable and in which a sensing point can be moved can be obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルターユニットに関する。   The present invention relates to a fan filter unit used in a manufacturing apparatus that requires a clean space, such as a semiconductor, a liquid crystal, and a plasma display panel.

従来、この種のファンフィルターユニットにおいて、風速や圧力分布の計測及び風量調整用のセンサーとして１ヶ所及び数ヶ所のセンサーをファンフィルターユニット機体内または吹出側に設ける構成としている。
実開平３−１００７４０号公報 Conventionally, in this type of fan filter unit, one and several sensors are provided in the fan filter unit body or on the outlet side as sensors for measuring the wind speed and pressure distribution and adjusting the air volume.
Japanese Utility Model Publication No. 3-100740

従来の風速や圧力測定及び風量調整用センサーの位置は、ファンフィルターユニット機体内または製造装置の一部よりファンフィルターユニット吹出側の適当な位置に設けられるため、ファンフィルターユニットの風速ばらつきにおいては、代表値としての値とならない場合があった。   Since the position of the conventional sensor for wind speed and pressure measurement and air volume adjustment is provided at an appropriate position on the fan filter unit blowing side from the inside of the fan filter unit body or a part of the manufacturing apparatus, in the variation in the wind speed of the fan filter unit, In some cases, the value was not a representative value.

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルターユニット吹出側からセンサーを支持させ、風速や圧力の代表位置にセンサーを位置調整できるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。   The present invention solves such a conventional problem, and aims to provide a fan filter unit that supports a sensor from the fan filter unit outlet side and can adjust the sensor to a representative position of wind speed or pressure. Yes.

本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバーのチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持枠を配設し、前記支持枠内部にスライドガイドを配設し、このスライドガイドに乗る支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit of the present invention has a suction port at the upper part of a box-shaped chamber, and a fan unit composed of a fan and a motor is built in the chamber, on the outlet side of the fan unit. A filter is disposed, a support frame is disposed on the outlet side of the filter, a slide guide is disposed inside the support frame, a support metal fitting is provided on the slide guide, and a sensor is provided at an arbitrary position of the support metal fitting. It is provided with a fixing tool for positioning.

また他の手段は、支持枠をフィルタの外枠に接合するように設け、スライドガイドは、前記支持枠の向かい合った一対の辺の内側に設けたレールに装着されることを特長としたものである。   Another means is that the support frame is provided so as to be joined to the outer frame of the filter, and the slide guide is mounted on a rail provided inside a pair of sides facing each other of the support frame. is there.

また他の手段は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてステンレスを使用したものである。   Another means uses stainless steel as the material of the support frame, slide guide, support bracket, and fixture.

また他の手段は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質として樹脂を使用したものである。   Another means uses resin as the material of the support frame, slide guide, support bracket, and fixture.

また他の手段は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてアルミを使用したものである。   Another means uses aluminum as the material of the support frame, slide guide, support bracket, and fixture.

また他の手段は、支持金具の形状を、スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面をもつ形状としたものである。   According to another means, the shape of the support metal fitting is such that only the contact surface of the slide guide is a horizontal surface, and the attachment surface of the fixture is provided vertically downward so as to connect to the surface.

また他の手段は、支持金具の固定部を、長穴形状としたものである。   According to another means, the fixing part of the support metal fitting has a long hole shape.

また他の手段は、スライドガイドと支持金具との固定ボルトを、回転固定具としたものである。   Another means is to use a fixing bolt between the slide guide and the support metal as a rotation fixture.

また他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えたものである。   Another means has a suction port at the top of the box-shaped chamber, a fan unit composed of a fan and a motor is built in the chamber, a filter is disposed on the outlet side of the fan unit, and the outlet side of the filter Is provided with a fixture for positioning the sensor at an arbitrary position of the support fixture.

また他の手段は、センサー種類を風速センサーを使用したものである。   Another means uses a wind speed sensor as a sensor type.

また他の手段は、センサー種類を圧力センサーを使用したものである。   Another means uses a pressure sensor as the sensor type.

また他の手段は、センサー近傍に発光ダイオードを配設したものである。   Another means is that a light emitting diode is disposed in the vicinity of the sensor.

本発明によれば、ファンフィルターユニット吹出側における風速代表位置等にセンサーを取付けることが可能となり、必要に応じて位置を変更することが可能であるという効果のファンフィルターユニットが得られる。   According to the present invention, a sensor can be attached to a representative wind speed position or the like on the fan filter unit outlet side, and a fan filter unit having an effect that the position can be changed as necessary can be obtained.

また、移動がスムースで簡単に位置変更できるという効果が得られる。   Further, it is possible to obtain an effect that the movement is smooth and the position can be easily changed.

また、破損しにくく耐久性がある効果が得られる。   In addition, it is possible to obtain an effect that is not easily damaged and has durability.

また、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気において腐食の抑制が図れるという効果が得られる。   Moreover, the effect of suppressing corrosion in an atmosphere containing a chemical solution such as an organic solvent can be obtained.

また、軽量で耐久性がある効果が得られる。   Moreover, the effect which is lightweight and durable is acquired.

また、圧力損失が低く、吹出空気の流れがスムースとなる効果が得られる。   Moreover, the pressure loss is low, and the effect that the flow of the blown air becomes smooth can be obtained.

また、任意位置にセンサーを移動及び配設できるという効果が得られる。   Moreover, the effect that a sensor can be moved and arrange | positioned to arbitrary positions is acquired.

また、支持金具とスライドガイドとの固定着脱が容易であるという効果が得られる。   Moreover, the effect that fixation and attachment with a support metal fitting and a slide guide are easy is acquired.

また、支持枠等が不要で、部品点数が少なく小型で単純であるという効果が得られる。   In addition, a support frame or the like is unnecessary, and the effect that the number of parts is small and simple is obtained.

また、一般センサーで安価であるという効果が得られる。   Moreover, the effect that it is cheap with a general sensor is acquired.

また、数値のばらつきが少なく、測定精度が良いという効果が得られる。   In addition, there is an effect that the numerical accuracy is small and the measurement accuracy is good.

また、装置下方等よりセンサー位置が認識できるという効果が得られる。   Moreover, the effect that the sensor position can be recognized from the lower part of the apparatus or the like can be obtained.

本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持枠を配設し、前記支持枠内部にスライドガイドを配設し、このスライドガイドに乗る支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えたものであり、ファンフィルターユニット吹出側における風速代表位置等にセンサーを取付けることが可能となり、必要に応じて位置を変更することが可能であるという作用を有する。   The invention according to claim 1 of the present invention has a suction port at the top of a box-shaped chamber, a fan unit comprising a fan and a motor is built in the chamber, and a filter is disposed on the outlet side of the fan unit. A support frame is provided on the outlet side of the filter, a slide guide is provided inside the support frame, a support metal fitting is provided on the slide guide, and a fixture for positioning the sensor at an arbitrary position of the support metal is provided. The sensor can be attached to a wind speed representative position or the like on the fan filter unit outlet side, and the position can be changed as necessary.

また、本発明の請求項２記載の発明は、支持枠をフィルタの外枠に接合するように設け、スライドガイドは、前記支持枠の向かい合った一対の辺の内側に設けたレールに装着されることを特長としたものであり、移動がスムースで簡単に位置変更できるという作用を有する。   According to a second aspect of the present invention, the support frame is provided so as to be joined to the outer frame of the filter, and the slide guide is mounted on a rail provided inside a pair of sides facing each other of the support frame. It has the effect of being able to change the position smoothly and easily.

また、本発明の請求項３記載の発明は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてステンレスを使用したものであり、破損しにくく耐久性があるという作用を有する。   The invention according to claim 3 of the present invention uses stainless steel as the material of the support frame, slide guide, support metal fitting and fixture, and has the effect of being hard to break and durable.

また、本発明の請求項４記載の発明は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質として樹脂を使用したものであり、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気において腐食の抑制が図れるという作用を有する。   The invention according to claim 4 of the present invention uses resin as the material of the support frame, slide guide, support metal fitting, and fixture, and can suppress corrosion in an atmosphere containing a chemical solution such as an organic solvent. Has an effect.

また、本発明の請求項５記載の発明は、支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてアルミを使用したものであり、軽量で耐久性があるという作用を有する。   The invention according to claim 5 of the present invention uses aluminum as the material of the support frame, slide guide, support bracket, and fixture, and has the effect of being lightweight and durable.

また、本発明の請求項６記載の発明は、支持金具の形状を、スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面をもつ形状としたものであり、圧力損失が低く、吹出空気の流れがスムースとなる作用を有する。   Further, in the invention according to claim 6 of the present invention, the shape of the support metal fitting is a shape in which only the contact surface of the slide guide is a horizontal surface, and the mounting surface of the fixture is vertically downward so as to connect to the surface. The pressure loss is low and the flow of the blown air is smooth.

また、本発明の請求項７記載の発明は、支持金具の固定部を、長穴形状としたものであり、任意位置にセンサーを移動及び配設できるという作用を有する。   In the invention according to claim 7 of the present invention, the fixing portion of the support metal fitting is formed in a long hole shape, and has an effect that the sensor can be moved and arranged at an arbitrary position.

また、本発明の請求項８記載の発明は、スライドガイドと支持金具との固定ボルトを、回転固定具としたものであり、支持金具とスライドガイドとの固定着脱が容易であるという作用を有する。   In the invention according to claim 8 of the present invention, the fixing bolt between the slide guide and the support metal fitting is used as a rotation fixture, and the support metal fitting and the slide guide can be fixed and detached easily. .

また、本発明の請求項９記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えたものであり、支持枠等が不要で、部品点数が少なく小型で単純であるという作用を有する。   Further, the invention according to claim 9 of the present invention has a suction port at the top of a box-shaped chamber, a fan unit composed of a fan and a motor is built in the chamber, and a filter is disposed on the outlet side of the fan unit. In addition, a support bracket is provided on the outlet side of the filter, and a fixture for positioning the sensor at an arbitrary position of the support bracket is provided. A support frame or the like is unnecessary, and the number of parts is small and simple. It has the action.

また、本発明の請求項１０記載の発明は、センサー種類を風速センサーを使用したものであり、一般センサーで安価であるという作用を有する。   The invention according to claim 10 of the present invention uses a wind speed sensor as a sensor type, and has the effect of being a general sensor and being inexpensive.

また、本発明の請求項１１記載の発明は、センサー種類を圧力センサーを使用したものであり、数値のばらつきが少なく、測定精度が良いという作用を有する。   The invention according to claim 11 of the present invention uses a pressure sensor as the sensor type, and has an effect that there is little variation in numerical values and good measurement accuracy.

また、本発明の請求項１２記載の発明は、センサー近傍に発光ダイオードを配設したものであり、装置下方等よりセンサー位置が認識できるという作用を有する。   The invention according to claim 12 of the present invention is such that a light emitting diode is disposed in the vicinity of the sensor, and has an effect that the sensor position can be recognized from below the apparatus.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルターユニットは、ターボ型のファン２とモーター３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバー５に内蔵されている。ファンユニット４の吹出側となる下方にはフィルタ６を設け、モーター３を中心に支持し、チャンバー５より支持される形状としたサポート７によりファンユニット４を固定する。フィルタ６の吹出側となる下方には、内側にコ型に曲げられフィルタ６の外枠に接合するように設けられた箱型形状の支持枠８を設け、支持枠８の向かい合った一対の辺の内側にレール状のスライドガイド９が設けられる。この一対のスライドガイド９上を渡り、上面に複数の穴があけられている支持金具１０が設置される。この支持金具１０の上面に接合されるＺ形状した固定具１１の垂直方向面の穴にセンサー１２を固定し、固定具１１は支持金具１０の垂直方向面の穴にセンサー１２を貫通して水平方向面で任意の位置に固定する。支持枠８の吹出面の外周部には、吹出側の空間の気密性を保つためにガスケット１３を貼り付ける。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, the fan filter unit according to the first embodiment includes a fan unit 4 including a turbo fan 2 and a motor 3 in a box-shaped chamber 5. A filter 6 is provided below the blower side of the fan unit 4, and the fan unit 4 is fixed by a support 7 that supports the motor 3 around the center and is supported by the chamber 5. A box-shaped support frame 8 is provided below the filter 6 on the outlet side so as to be bent inwardly into a U-shape and joined to the outer frame of the filter 6. A rail-shaped slide guide 9 is provided on the inside of the frame. A support fitting 10 having a plurality of holes formed on the upper surface is installed across the pair of slide guides 9. The sensor 12 is fixed to a hole in the vertical surface of the Z-shaped fixture 11 to be joined to the upper surface of the support fitting 10, and the fixture 11 penetrates the sensor 12 through the hole in the vertical surface of the support fitting 10 and is horizontally inserted. Fix in any position on the direction plane. A gasket 13 is attached to the outer peripheral portion of the blowing surface of the support frame 8 in order to maintain the airtightness of the blowing side space.

上記構成において、ファンユニット４を運転することによって、吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバー５内に送り込まれる。そのファンユニット４から吹出された気流はフィルタ６を通過し、固定された任意位置でのセンサー１２を通過しセンシングされる。このセンサー１２は、支持枠８内をスライドガイド９に沿い支持金具１０と共に水平方向の任意位置へ移動する。また、支持金具１０と平行に固定具１１と共に移動可能で、全体的に希望位置へセンサーを配置できる。   In the above configuration, by operating the fan unit 4, air is sucked from the suction port 1 and sent into the chamber 5. The airflow blown out from the fan unit 4 passes through the filter 6 and passes through the sensor 12 at a fixed arbitrary position to be sensed. The sensor 12 moves in the support frame 8 along the slide guide 9 together with the support fitting 10 to an arbitrary position in the horizontal direction. Moreover, it can move with the fixture 11 in parallel with the support fitting 10, and the sensor can be arranged at a desired position as a whole.

また、スライドガイド９を支持枠８の向かい合った一対の辺の内側に設けたレールに装着されることを特長とすることにより、移動がスムースで簡単に位置変更できる機構を形成できる。   Further, the slide guide 9 is mounted on rails provided inside a pair of opposite sides of the support frame 8, so that it is possible to form a mechanism that can move the position smoothly and easily.

また、支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質としてステンレスを使用することにより、塗装品の塗料からの揮発成分の発生を抑止でき、クリーンルームなどの用途に適したファンフィルターユニットが得られる。また、鋼材の強度が増し、腐食しにくく耐久性が向上する。   In addition, by using stainless steel as the material of the support frame 8, slide guide 9, support bracket 10, and fixture 11, the generation of volatile components from the paint of the coated product can be suppressed, and a fan filter suitable for applications such as clean rooms. Unit is obtained. Further, the strength of the steel material is increased, and it is difficult to corrode and the durability is improved.

また、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においては金属材料は腐食されやすい為、支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質として樹脂材料を使用する。また、ガスケット１３の材質としても腐食されにくいフッ素ゴム・フッ素樹脂を使用し、腐食されにくい構造体を形成できる。   Further, since the metal material is easily corroded in an atmosphere containing a chemical solution such as an organic solvent, a resin material is used as the material of the support frame 8, the slide guide 9, the support fitting 10, and the fixture 11. Moreover, the structure which cannot be corroded easily can be formed using the fluororubber and fluororesin which are not easily corroded as a material of the gasket 13.

また、ファンフィルターユニットにおいて支持枠８を含む構造体が追加されることにより質量が増加される。これを支持している架台への質量負担を軽減すべく支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質をアルミを使用することにより、軽量化が図られ、金属材料より耐食性の良いファンフィルターユニットが得られる。   Moreover, mass is increased by adding a structure including the support frame 8 in the fan filter unit. By using aluminum as the material of the support frame 8, the slide guide 9, the support bracket 10, and the fixture 11 in order to reduce the mass burden on the gantry supporting this, the weight is reduced and the corrosion resistance is higher than that of the metal material. A good fan filter unit can be obtained.

（実施の形態２）
図２に示すように、支持金具１０のスライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面をもつ形状としている。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, only the contact surface of the slide guide of the support metal 10 is a horizontal surface, and the fixture has a mounting surface downward in the vertical direction so as to connect to the surface.

上記構成において、上方から下方へ流れる場合の構造抵抗を低減することにより、圧力損失が低く、吹出空気の流れをスムースにすることができる。   In the above configuration, by reducing the structural resistance when flowing from the top to the bottom, the pressure loss is low, and the flow of the blown air can be made smooth.

（実施の形態３）
図３に示すように、支持金具１０の垂直方向面の固定を長穴形状としている。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, the fixing of the vertical surface of the support metal fitting 10 is an elongated hole shape.

上記構成において、任意位置にセンサー１２を連続移動及び配置させることが可能となる。   In the above configuration, the sensor 12 can be continuously moved and arranged at an arbitrary position.

また、スライドガイド９と支持金具１０との固定は隙間が狭いため、回転固定具１４を使用することによりワンタッチで固定することが可能となり、省空間において簡単で容易に固定が可能となり、固定時間が短縮される。   Further, since the gap between the slide guide 9 and the support bracket 10 is narrow, it is possible to fix the slide guide 9 and the support bracket 10 with a single touch by using the rotary fixture 14, and it is possible to fix easily and easily in a small space, and the fixing time. Is shortened.

（実施の形態４）
図４に示すように、フィルタ下面の対辺に接する面を持ち、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具１１の取付面をもつ形状の支持金具１０をフィルタ下面の任意位置に直接配置する。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, a support fitting 10 having a shape that has a surface in contact with the opposite side of the lower surface of the filter and has a mounting surface of the fixture 11 downward in the vertical direction so as to connect to the surface is directly disposed at an arbitrary position on the lower surface of the filter. To do.

上記構成において、支持枠８等が不要となり、部品点数が少なく小型化が可能となる。   In the above configuration, the support frame 8 and the like are not necessary, and the number of components is small, and the size can be reduced.

（実施の形態５）
図５に示すように、固定具１１の垂直方向に風速センサー１５を圧接固定ナット１６で水平方向にワンタッチで固定し、支持金具１０に乗せて固定される。 (Embodiment 5)
As shown in FIG. 5, the wind speed sensor 15 is fixed to the vertical direction of the fixture 11 with a press-contact fixing nut 16 in the horizontal direction with one touch, and is mounted on the support fitting 10 and fixed.

上記構成において、風速センサー１５は簡単に固定することが可能となり、装置内状況を確認する為に比較的安価で風量等をセンシングすることが可能となる。   In the above configuration, the wind speed sensor 15 can be easily fixed, and it is possible to sense the air volume and the like at a relatively low cost in order to check the in-apparatus status.

また、風速センサー１５の代替として圧力センサーを使用することにより、圧力値の特性を活かし、装置内各点での数値ばらつきが少なく、測定精度の高い測定が可能となる。   In addition, by using a pressure sensor as an alternative to the wind speed sensor 15, it is possible to perform measurement with high measurement accuracy by taking advantage of the characteristics of the pressure value, with less numerical variation at each point in the apparatus.

（実施の形態６）
図６に示すように、固定具１１に発光ダイオード１７を下方に向けて固定している。 (Embodiment 6)
As shown in FIG. 6, the light emitting diode 17 is fixed to the fixture 11 facing downward.

上記構成において、発光ダイオード１７を点灯させ、装置下方から内部を見た場合に発光ダイオード１７の位置が認識でき、センサー位置を一目で認識することができる。   In the above configuration, when the light emitting diode 17 is turned on and the inside is viewed from below, the position of the light emitting diode 17 can be recognized, and the sensor position can be recognized at a glance.

風路内の状況把握するセンサーを任意（希望）位置へ配置させつつ、ファンフィルターユニット下方に一体化させることにより、ばらばらなセッティングが不要となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、省施工を必要とするクリーンルームや製造装置に適用できる。   By arranging the sensor for grasping the situation in the air passage at an arbitrary (desired) position and integrating it below the fan filter unit, disjoint setting is not required, and clean spaces such as semiconductor factories and food factories are required, It can be applied to clean rooms and manufacturing equipment that require reduced construction.

本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの縦断面図1 is a longitudinal sectional view of a fan filter unit according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施の形態２の支持金具の部品詳細図Part detailed drawing of the support metal fitting of Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態３の支持金具の部品詳細図Part detailed drawing of the support metal fitting of Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態４の支持金具の部品詳細図Component detailed drawing of the support metal fitting of Embodiment 4 of the present invention 本発明の実施の形態５のファンフィルターユニットの部分詳細図Partial detail drawing of the fan filter unit of Embodiment 5 of this invention 本発明の実施の形態６のファンフィルターユニットの部分詳細図Partial detail drawing of the fan filter unit of Embodiment 6 of this invention

符号の説明Explanation of symbols

１ 吸込口
２ ファン
３ モーター
４ ファンユニット
５ チャンバー
６ フィルタ
７ サポート
８ 支持枠
９ スライドガイド
１０ 支持金具
１１ 固定具
１２ センサー
１３ ガスケット
１４ 回転固定具
１５ 風速センサー
１６ 圧接固定ナット
１７ 発光ダイオード DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction port 2 Fan 3 Motor 4 Fan unit 5 Chamber 6 Filter 7 Support 8 Support frame 9 Slide guide 10 Support metal fitting 11 Fixing tool 12 Sensor 13 Gasket 14 Rotation fixing tool 15 Wind speed sensor 16 Pressure contact fixing nut 17 Light emitting diode

Claims (12)

箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持枠を配設し、前記支持枠内部にスライドガイドを配設し、このスライドガイドに乗る支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えたファンフィルターユニット。 The box-shaped chamber has a suction port at the top, a fan unit consisting of a fan and a motor is built in the chamber, a filter is disposed on the blowout side of the fan unit, and a support frame is disposed on the blowout side of the filter A fan filter unit provided with a fixing tool for disposing a slide guide inside the support frame, providing a support fitting for riding on the slide guide, and positioning the sensor at an arbitrary position of the support fitting. 前記支持枠は、前記フィルタの外枠に接合するように設けられ、前記スライドガイドは、支持枠の向かい合った一対の辺の内側に設けたレールに装着されることを特長とする請求項１記載のファンフィルターユニット。 The said support frame is provided so that it may join to the outer frame of the said filter, and the said slide guide is mounted | worn with the rail provided in the inner side of a pair of side which the support frame opposes. Fan filter unit. 支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてステンレスを使用した請求項１又は２に記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein stainless steel is used as a material for the support frame, slide guide, support bracket, and fixture. 支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質として樹脂を使用した請求項１又は２に記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein a resin is used as a material for the support frame, slide guide, support bracket, and fixture. 支持枠、スライドガイド、支持金具、固定具の材質としてアルミを使用した請求項１又は２に記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to claim 1 or 2, wherein aluminum is used as a material for the support frame, slide guide, support bracket, and fixture. 支持金具の形状を、スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面をもつ形状とした請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 5, wherein the shape of the support metal fitting is a shape in which only the contact surface of the slide guide is a horizontal surface, and the mounting surface of the fixture is vertically downward so as to connect to the surface. . 支持金具の固定部を、長穴形状とした請求項１〜６のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 6, wherein the fixing portion of the support metal fitting has a long hole shape. スライドガイドと支持金具との固定ボルトを、回転固定具とした請求項１〜７のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 7, wherein a fixing bolt between the slide guide and the support fitting is a rotation fixture. 箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備えた請求項１〜８のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The box-shaped chamber has a suction port at the top, a fan unit consisting of a fan and a motor is built in the chamber, a filter is disposed on the blowout side of the fan unit, and a support fitting is provided on the blowout side of the filter. The fan filter unit according to any one of claims 1 to 8, further comprising a fixture for positioning the sensor at an arbitrary position of the support fitting. センサー種類を風速センサーを使用した請求項１〜９のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 9, wherein a wind speed sensor is used as a sensor type. センサー種類を圧力センサーを使用した請求項１〜９のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to any one of claims 1 to 9, wherein a pressure sensor is used as a sensor type. センサー近傍に発光ダイオードを配設した請求項１〜１１のいずれかに記載のファンフィルターユニット。 The fan filter unit according to claim 1, wherein a light emitting diode is disposed in the vicinity of the sensor.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015129607A (en) * 2014-01-08 2015-07-16 株式会社日立産機システム Air cleaner
CN107473599A (en) * 2017-08-23 2017-12-15 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 A kind of coating film on glass leveling device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5580070B2 (en) * 2010-02-16 2014-08-27 株式会社アマダ Chip removal device for band saw machine

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0328079U (en) * 1989-07-28 1991-03-20
JPH11190553A (en) * 1997-12-26 1999-07-13 Kyoritsu Air Tech Inc Variable air volume unit
JPH11253731A (en) * 1998-03-13 1999-09-21 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Apparatus for evaluating filter performance
JP2000134340A (en) * 1998-10-27 2000-05-12 Matsushita Electric Works Ltd Calling unit device
JP2002054830A (en) * 2000-08-09 2002-02-20 Hitachi Ltd Fan operation control system
JP2004020035A (en) * 2002-06-14 2004-01-22 Airtech Japan Ltd Fan filter unit
JP2006064305A (en) * 2004-08-27 2006-03-09 Taikisha Ltd Air conditioning facility
JP2006071184A (en) * 2004-09-02 2006-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Filter mounting structure
JP2006135223A (en) * 2004-11-09 2006-05-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Adjusting device for fan filter unit
JP2007160249A (en) * 2005-12-15 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fan filter unit
JP2007209958A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Nitta Ind Corp Air filter and method for manufacturing air filter
JP2007298263A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Kyodo-Allied Industries Ltd Method and device for keeping air characteristic in ventilation facility by using fan filter unit

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0328079U (en) * 1989-07-28 1991-03-20
JPH11190553A (en) * 1997-12-26 1999-07-13 Kyoritsu Air Tech Inc Variable air volume unit
JPH11253731A (en) * 1998-03-13 1999-09-21 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd Apparatus for evaluating filter performance
JP2000134340A (en) * 1998-10-27 2000-05-12 Matsushita Electric Works Ltd Calling unit device
JP2002054830A (en) * 2000-08-09 2002-02-20 Hitachi Ltd Fan operation control system
JP2004020035A (en) * 2002-06-14 2004-01-22 Airtech Japan Ltd Fan filter unit
JP2006064305A (en) * 2004-08-27 2006-03-09 Taikisha Ltd Air conditioning facility
JP2006071184A (en) * 2004-09-02 2006-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Filter mounting structure
JP2006135223A (en) * 2004-11-09 2006-05-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Adjusting device for fan filter unit
JP2007160249A (en) * 2005-12-15 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fan filter unit
JP2007209958A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Nitta Ind Corp Air filter and method for manufacturing air filter
JP2007298263A (en) * 2006-04-28 2007-11-15 Kyodo-Allied Industries Ltd Method and device for keeping air characteristic in ventilation facility by using fan filter unit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015129607A (en) * 2014-01-08 2015-07-16 株式会社日立産機システム Air cleaner
CN107473599A (en) * 2017-08-23 2017-12-15 中航三鑫太阳能光电玻璃有限公司 A kind of coating film on glass leveling device

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