JP2009155729A - Deformation working method for metal glass composite material - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a deformation working method for a metal glass composite material where the formation of defects, fractures or the like in a metal glass layer upon deformation working are extremely reduced. <P>SOLUTION: The deformation working method for a metal glass composite material includes: a forming step for a metal glass composite material where metal glass particles are laminated on the surface of a substrate, so as to form a metal glass layer; a homogenizing step where the metal glass layer is pressurized in a supercooled liquid state, so as to homogenize the metal glass layer; and a step where the homogenized metal glass layer is subjected to deformation working. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、金属ガラス複合材料の変形加工方法、特に変形加工時の金属ガラス層の欠陥や破損を抑制可能な変形加工方法に関する。   The present invention relates to a deformation processing method for a metallic glass composite material, and more particularly to a deformation processing method capable of suppressing defects and breakage of a metallic glass layer during deformation processing.

高機能性の金属被膜を形成することにより、基材表面に耐食性、耐摩耗性、耐熱性、高強度、高硬度などの機能性を付与することが知られている。このような複合材料は、目的に応じて種々の形状に加工されて利用されている。   It is known to impart functionality such as corrosion resistance, wear resistance, heat resistance, high strength, and high hardness to the substrate surface by forming a highly functional metal film. Such composite materials are used after being processed into various shapes according to the purpose.

基板表面に金属被膜を簡便に形成する方法としては種々の方法があるが、例えば溶射は、大面積に被膜を比較的簡便に直接的に形成できること、基材表面にのみ高機能性材料を被覆するので軽量化や経済性に優れていること、ドライプロセスであり廃水処理などの問題がない、などの点で有利な方法である。   There are various methods for easily forming a metal film on the surface of a substrate. For example, spraying can form a film on a large area relatively easily and directly, and a highly functional material is coated only on the surface of a substrate. Therefore, this method is advantageous in that it is excellent in weight reduction and economy, and is a dry process and has no problems such as wastewater treatment.

しかしながら、金属の溶射被膜では通常気孔が多く、貫通孔を塞ぐために溶射被膜をさらに樹脂等で封孔処理しても、耐食性や耐摩耗性などの機能を十分果たすことはできなかった。また、一般に、アモルファス合金は結晶粒界が存在しないために結晶質合金に比して耐食性などに優れるとされるが、溶射によってアモルファス合金被膜を得ることも非常に困難であった。
このような問題に対して、アモルファス相の金属ガラス粒子を過冷却液体状態で溶射することにより、基材表面に非常に緻密で且つアモルファス相の金属ガラス溶射被膜層を形成できることが報告されている(特許文献1)。
However, metal sprayed coatings usually have a large number of pores, and even if the sprayed coating is further sealed with a resin or the like in order to close the through-holes, functions such as corrosion resistance and wear resistance cannot be sufficiently achieved. In general, an amorphous alloy is superior in corrosion resistance and the like as compared with a crystalline alloy because there is no crystal grain boundary, but it is very difficult to obtain an amorphous alloy coating by thermal spraying.
For such problems, it has been reported that by spraying amorphous phase metallic glass particles in a supercooled liquid state, a very dense and amorphous phase metallic glass sprayed coating layer can be formed on the substrate surface. (Patent Document 1).

金属ガラスは、加熱すると結晶化前に明瞭なガラス遷移と広い過冷却液体領域を示すことが一つの大きな特徴である。結晶化開始温度(Tx(K))とガラス遷移温度(Tg(K))の間の温度領域△Tx=Tx−Tgで示される過冷却液体温度領域では、粘性流動状態となって変形抵抗が著しく減少するため、加工が容易になる。このような性質を利用して、金属ガラス層を過冷却液体状態で金型によりプレス加工し、金属ガラス層に凹凸形状を付与することも報告されている(特許文献2)。   One major feature of metallic glass is that when heated, it exhibits a distinct glass transition and a wide supercooled liquid region before crystallization. In the temperature range ΔTx = Tx−Tg indicated by the temperature range ΔTx = Tx−Tg between the crystallization start temperature (Tx (K)) and the glass transition temperature (Tg (K)), a deformation resistance is obtained due to the viscous flow state. Since it decreases significantly, processing becomes easy. It has also been reported that using such properties, the metal glass layer is pressed with a mold in a supercooled liquid state to give the metal glass layer an uneven shape (Patent Document 2).

しかしながら、このような金属ガラス複合材料をプレス加工などによって変形させようとすると、金属ガラス層の過冷却液体温度領域で加工しても、金属ガラス層中の粒子間の隙間が増大するなどの欠陥が形成されたり、剥がれや断裂などの破損を生じることがあった。
特開平2006−21400号公報 特開平2006−122918号公報
However, when such a metallic glass composite material is deformed by pressing or the like, defects such as an increase in gaps between particles in the metallic glass layer even if the metallic glass layer is processed in the supercooled liquid temperature region. May be formed, or damage such as peeling or tearing may occur.
Japanese Patent Laid-Open No. 2006-21400 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-122918

本発明は、前記背景技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、変形加工時の金属ガラス層の欠陥形成や破損等が極めて少ない金属ガラス複合材料の変形加工方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the problems of the background art described above, and an object thereof is to provide a deformation processing method for a metal glass composite material in which there is very little defect formation or breakage of the metal glass layer during deformation processing. is there.

前記目的を達成するために本発明らが鋭意検討を行った結果、変形加工を行う前に、複合材料の金属ガラス層を予め過冷却液体状態で均一に圧力をかけておくことにより、その後の変形加工時における欠陥形成や破損が著しく低減されることを見出した。
その理由は明らかではないが、溶射など金属粒子の積層により形成された金属ガラス層は、一見緻密で均一であるように見えたとしても本質的に不均一であり、微視的には組織や性質(例えば、酸化、残留応力、気孔、未溶着部等)において不均一な部位が存在し、これが上記のような欠陥や破損の発生原因となっているのではないかと考えられた。そして、変形加工の前に金属ガラス層を予め過冷却液体状態で均一に圧力をかけることにより、隣接積層粒子間の完全密着が促されたり、また、金属ガラス層中に存在する潜在的な内部欠陥の拡散あるいは消失が促されて金属ガラス層が均質化され、その結果、その後の変形加工において欠陥形成や破損の発生が著しく抑制されるのではないかと考えられた。
As a result of intensive studies by the present inventors in order to achieve the above-mentioned object, the metal glass layer of the composite material is preliminarily applied under pressure in a supercooled liquid state before performing deformation processing. It has been found that defect formation and breakage during deformation processing are significantly reduced.
The reason is not clear, but the metallic glass layer formed by laminating metal particles such as thermal spray is essentially non-uniform even if it appears to be dense and uniform at first glance. It was considered that there were non-uniform portions in properties (for example, oxidation, residual stress, pores, unwelded portions, etc.), and this might be the cause of the occurrence of defects and damage as described above. And, by applying a uniform pressure in the supercooled liquid state in advance to the metallic glass layer before the deformation process, complete adhesion between the adjacent laminated particles is promoted, and potential internals existing in the metallic glass layer are also promoted. It was considered that the diffusion or disappearance of defects was promoted and the metal glass layer was homogenized, and as a result, the formation of defects and the occurrence of breakage were significantly suppressed in the subsequent deformation process.

よって、本発明にかかる金属ガラス複合材料の変形加工方法は、基板表面に金属ガラス粒子を積層して金属ガラス層を形成する金属ガラス複合材料の形成工程と、
前記金属ガラス層を過冷却液体状態で加圧することにより金属ガラス層を均質化する均質化工程と、
前記均質化された金属ガラス層を変形加工する工程と、
を備えることを特徴とする。
本発明の方法において、金属ガラス粒子を溶射により積層することが好適である。
また、本発明の方法において、変形加工がプレス加工であることが好適である。
また、本発明の方法において、均質化工程を金属ガラスのガラス遷移温度Tg(K)×85%〜結晶化開始温度Tx(K)×97%の温度範囲において行うことが好適であり、また、5〜1000MPaの圧力で、1〜600秒間行うことが好適である。
また、本発明において、均質化工程の加工が基板表面に対し均一な圧力で加工することが好適である。
また、本発明の方法において、変形加工工程を金属ガラスのガラス遷移温度Tg(K)×85%〜結晶化開始温度Tx(K)×100%の温度範囲において行うことが好適である。
また、本発明の方法において、金属ガラス粒子を積層する基板の厚みが0.5mm以下であることが好適である。
また、本発明の方法において、変形加工工程が均質化された金属ガラス層と基材とを一体に変形加工することが好適である。
Therefore, the method for deforming a metal glass composite material according to the present invention includes a metal glass composite material forming step of forming a metal glass layer by laminating metal glass particles on a substrate surface,
A homogenization step of homogenizing the metal glass layer by pressurizing the metal glass layer in a supercooled liquid state;
Deforming the homogenized metallic glass layer;
It is characterized by providing.
In the method of the present invention, it is preferable to laminate the metal glass particles by thermal spraying.
In the method of the present invention, it is preferable that the deformation process is a press process.
In the method of the present invention, the homogenization step is preferably performed in a temperature range of glass transition temperature Tg (K) x 85% of metal glass to crystallization start temperature Tx (K) x 97%. It is suitable to carry out for 1 to 600 seconds at a pressure of 5 to 1000 MPa.
Moreover, in this invention, it is suitable for the process of a homogenization process to process with a uniform pressure with respect to the substrate surface.
In the method of the present invention, it is preferable that the deformation process is performed in a temperature range of glass transition temperature Tg (K) × 85% of metal glass to crystallization start temperature Tx (K) × 100%.
Moreover, in the method of this invention, it is suitable that the thickness of the board | substrate which laminates | stacks a metallic glass particle is 0.5 mm or less.
In the method of the present invention, it is preferable that the metallic glass layer and the base material, which have been homogenized in the deformation process, are integrally deformed.

本発明の方法によれば、金属ガラス複合材料を変形加工した時の金属ガラス層の欠陥形成や破損の発生を格段に低減することができるので、各種部材の形状へ変形加工する際の歩留まりや信頼性を高めることができる。基材が大面積になればなるほど、それを被覆する金属ガラス層が不均一となる確率も高くなり、変形加工時の不具合も生じやすくなるので、本発明の方法が特に有用となる。
また、通常溶射においては、溶射被膜層との密着性を高めるために基材表面のブラスト処理を行うが、基材が薄い場合にはブラスト処理によって基材自体が変形してしまうことがあるために、十分なブラスト処理ができない。このため、基材が薄い場合には、溶射被膜と基材との密着性が低くならざるを得ず、複合材料を一体に変形加工した時に溶射被膜の基材からの剥がれや断裂が生じやすいが、本発明の方法はこのような基材が薄い複合材料の破損に対しても有効である。
According to the method of the present invention, since the formation of defects and breakage of the metal glass layer when the metal glass composite material is deformed can be remarkably reduced, the yield when deforming into the shape of various members and Reliability can be increased. The larger the substrate is, the higher the probability that the metal glass layer covering it will be non-uniform, and it will be more prone to problems during deformation processing. Therefore, the method of the present invention is particularly useful.
In normal spraying, the surface of the base material is blasted to improve adhesion to the thermal spray coating layer. However, if the base material is thin, the base material itself may be deformed by the blasting process. In addition, sufficient blasting cannot be performed. For this reason, when the base material is thin, the adhesion between the thermal spray coating and the base material is inevitably lowered, and when the composite material is integrally deformed, the thermal spray coating is likely to be peeled off or torn from the base material. However, the method of the present invention is also effective against breakage of a composite material having such a thin substrate.

本発明にかかる金属ガラス複合材料の変形加工方法は、
(I)基板表面に金属ガラス粒子を積層して金属ガラス層を形成する金属ガラス複合材料の形成工程と、
(II)前記金属ガラス層を過冷却液体状態で加圧することにより金属ガラス層を均質化する均質化工程と、
(III)前記均質化された金属ガラス層を変形加工する工程と、
を備えることを特徴とする。本発明の代表的な変形加工方法の一例について、概略を図1に示す。
The deformation processing method of the metallic glass composite material according to the present invention,
(I) a metal glass composite material forming step of forming a metal glass layer by laminating metal glass particles on the substrate surface;
(II) a homogenization step of homogenizing the metal glass layer by pressurizing the metal glass layer in a supercooled liquid state;
(III) a step of deforming the homogenized metallic glass layer;
It is characterized by providing. An example of a typical deformation processing method of the present invention is schematically shown in FIG.

図1において、基材10の表面に金属ガラス粒子を積層することにより金属ガラス層12が形成され、金属ガラス複合材料14を得る(工程I)。次いで、金属ガラス層12を加圧することにより均質化し(工程II)、その後複合材料14全体を曲げて変形させる(工程III)というものである。
以下、各工程について説明する。
In FIG. 1, a metallic glass layer 12 is formed by laminating metallic glass particles on the surface of a substrate 10 to obtain a metallic glass composite material 14 (step I). Next, the metal glass layer 12 is homogenized by pressurization (step II), and then the entire composite material 14 is bent and deformed (step III).
Hereinafter, each step will be described.

(I)金属ガラス複合材料の形成工程
本工程において、金属ガラス層を基材表面に形成する方法としては特に制限されるものではないが、例えば溶射のように金属ガラス粒子を積層して金属ガラス層を形成する方法は本質的に内部が不均一となりやすいので、本発明の方法が特に有効である。
溶射方法としては、例えば、大気圧プラズマ溶射、減圧プラズマ溶射、フレーム溶射、高速フレーム溶射(HVOF)、コールドスプレーなどがあり、特に制限されるものではない。好適な溶射方法の一つとして金属ガラス粒子を用いた高速フレーム溶射が挙げられ、高品位の溶射被膜を得ることができる。
(I) Forming process of metallic glass composite material In this process, the method of forming the metallic glass layer on the substrate surface is not particularly limited. For example, the metallic glass is formed by laminating metallic glass particles like spraying. The method of the present invention is particularly effective because the method of forming the layer tends to be non-uniform in nature.
Examples of the spraying method include atmospheric pressure plasma spraying, low pressure plasma spraying, flame spraying, high-speed flame spraying (HVOF), and cold spraying, and are not particularly limited. One suitable thermal spraying method includes high-speed flame spraying using metallic glass particles, and a high-quality thermal spray coating can be obtained.

金属ガラス粒子の形状は特に限定されるものではなく、板状、チップ状、粒状、粉体状などが挙げられるが、好ましくは粒状あるいは粉体状である。金属ガラス粒子の調製方法としては、アトマイズ法、ケミカルアロイング法、メカニカルアロイング法などがあるが、生産性を考慮すればアトマイズ法によって調製されたものが特に好ましい。   The shape of the metal glass particles is not particularly limited, and examples thereof include a plate shape, a chip shape, a particle shape, and a powder shape, and preferably a particle shape or a powder shape. Examples of the method for preparing the metal glass particles include an atomizing method, a chemical alloying method, and a mechanical alloying method, and those prepared by the atomizing method are particularly preferable in view of productivity.

金属ガラス粒子の粒子径は、1〜80μm、好ましくは5〜50μmである。粒子径が大きすぎると、溶射被膜中に気孔が多くなったり、連続気孔を生じることがある。粒子径が小さすぎると溶射のバレル内に溶融粒子が付着しやすくなったり、所望の膜厚とするのに溶射回数が増えるなど生産性が低下する。また、バレル内に付着凝固した粒子がバレルから剥がれて溶射されると、溶射被膜の均一性が低下する。   The particle size of the metallic glass particles is 1 to 80 μm, preferably 5 to 50 μm. If the particle size is too large, pores may increase in the sprayed coating or continuous pores may be generated. If the particle diameter is too small, the productivity tends to decrease, for example, the molten particles tend to adhere to the thermal spray barrel, or the number of thermal sprays increases to achieve a desired film thickness. Further, when the particles adhered and solidified in the barrel are peeled off and sprayed from the barrel, the uniformity of the sprayed coating is lowered.

溶射熱源を燃焼エネルギーとする場合、溶射燃料としては、灯油、アセチレン、水素、プロパン、プロピレン等を用いることができる。溶射熱源を電気エネルギーとする場合、プラズマガスとしては、アルゴン、水素、ヘリウム等を用いることができる。
また、溶射では通常搬送ガスとしてNガスが使用されるが、窒化物の形成により被膜組成や緻密性などに影響を及ぼすことがある。これは、空気(ドライエアー)、酸素、不活性ガス(Ar、He等)などを搬送ガスとして用いることにより改善される。空気や酸素では酸化の懸念があるので、最も好ましくは搬送ガスとして不活性ガスを用いる。
また、高品位の接合界面を得るためには通常基材に100℃以上の温度負荷をかけることが好適である。より好適には150℃以上であり、上限は特に規定されるものではないが、通常ガラス遷移温度以下、好ましくは400℃以下である。
When the thermal spray heat source is combustion energy, kerosene, acetylene, hydrogen, propane, propylene, or the like can be used as the thermal spray fuel. When electric energy is used as the thermal spraying heat source, argon, hydrogen, helium, or the like can be used as the plasma gas.
In spraying, N 2 gas is usually used as a carrier gas, but the formation of nitrides may affect the coating composition and denseness. This can be improved by using air (dry air), oxygen, inert gas (Ar, He, etc.) as the carrier gas. Since there is concern about oxidation with air or oxygen, an inert gas is most preferably used as the carrier gas.
In order to obtain a high-quality bonded interface, it is usually preferable to apply a temperature load of 100 ° C. or higher to the base material. More preferably, it is 150 ° C. or higher, and the upper limit is not particularly specified, but it is usually not higher than the glass transition temperature, preferably 400 ° C. or lower.

基材としては、鉄、アルミニウム、ステンレスなどの汎用金属、セラミックス、ガラス、ポリイミドなど一部の耐熱性プラスチックがあるが、特に銅、ステンレスなどの耐熱性、熱容量、熱伝導の高い金属材料が好適である。また、アルミニウムやマグネシウム、それらの合金など、比重が3.0以下の軽金属も使用できる。
また、基材は、金属ガラス溶射被膜の接合性を高めるために、通常はブラスト処理など公知の方法により基材表面の粗面化処理を施して使用する。
Base materials include general-purpose metals such as iron, aluminum, and stainless steel, and some heat-resistant plastics such as ceramics, glass, and polyimide, but metal materials with high heat resistance, heat capacity, and heat conduction are particularly suitable, such as copper and stainless steel. It is. Also, light metals having a specific gravity of 3.0 or less, such as aluminum, magnesium, and alloys thereof can be used.
Moreover, in order to improve the bondability of a metal glass sprayed coating, a base material is used after roughening the surface of the base material by a known method such as blasting.

金属ガラス溶射被膜の厚みは目的に応じて適宜設定できるが、加圧による均質化や変形加工することを考慮すれば通常50μm以上、さらには100μm以上とすることが好適である。上限は特に制限されないが、厚くなりすぎると経済性や軽量性が低下するので、例えば耐食性などを付与する目的であれば、500μmもあれば十分である。
溶射被膜は、様々な形状の基材上に形成することができ、また、マスキング等によりパターン化して形成することもできる。表面に凹凸形状を有するものや多孔質体を基材として用いることもできる。
The thickness of the metal glass sprayed coating can be appropriately set depending on the purpose, but it is usually preferably 50 μm or more, and more preferably 100 μm or more in consideration of homogenization by pressurization or deformation processing. The upper limit is not particularly limited, but if it is too thick, the economic efficiency and lightness are reduced. For example, for the purpose of imparting corrosion resistance, 500 μm is sufficient.
The thermal spray coating can be formed on a substrate having various shapes, and can also be formed by patterning by masking or the like. A substrate having an irregular shape on the surface or a porous body can also be used.

均質化処理前の金属ガラス層の緻密性や均一性が高い方が、後の均質化が容易となる。また、結晶化している金属ガラス層は変形加工による破損等が生じやすいので、均質化処理前の金属ガラス層は結晶相ができるだけ少ない方がアモルファス相として望ましい。
均一な金属ガラスのアモルファス固体相からなり、気孔がほとんどなく連続気孔のない溶射被膜を形成しようとする場合、アモルファス相の金属ガラス粒子を溶射原料とし、金属ガラスの過冷却液体状態を利用して行うことができる。
The higher the density and uniformity of the metal glass layer before the homogenization treatment, the easier the subsequent homogenization. Further, since the crystallized metal glass layer is likely to be damaged by deformation processing, it is desirable that the metal glass layer before the homogenization treatment has as few crystalline phases as possible as an amorphous phase.
When forming a sprayed coating consisting of a uniform metallic glass amorphous solid phase with few pores and no continuous pores, use amorphous glass metallic particles as the thermal spraying raw material and use the supercooled liquid state of the metallic glass. It can be carried out.

過冷却液体状態では、金属ガラスは粘性流動を示し、粘性が低い。このため、過冷却液体状態にある金属ガラスが基材表面に衝突すると、瞬時に薄く潰れて基材表面に広がり、厚みが非常に薄い良好なスプラットを形成することができる。そして、このようなスプラットの堆積により、緻密で連続気孔のない溶射被膜を形成することができる。
また、スプラットは過冷却液体状態のまま冷却されるので、結晶相を生成せず、アモルファス相のみが得られる。
In the supercooled liquid state, the metallic glass exhibits viscous flow and has a low viscosity. For this reason, when the metallic glass in the supercooled liquid state collides with the substrate surface, it is crushed instantly and spreads on the substrate surface, and a good splat having a very thin thickness can be formed. A dense spray coating without continuous pores can be formed by depositing such splats.
Moreover, since the splat is cooled in the supercooled liquid state, a crystalline phase is not generated, and only an amorphous phase is obtained.

また、一般に大気中での溶射の場合、溶射材料の酸化物が被膜中に含まれてしまい、被膜の特性に悪影響を及ぼすが、過冷却液体状態で衝突させれば、大気中で溶射したとしても酸化の影響がほとんどない。
従って、アモルファス相の金属ガラス粒子を溶射し、金属ガラス溶射粒子が過冷却液体状態で基材表面において凝固及び積層して溶射被膜を形成すれば、均一な金属ガラスのアモルファス固体相からなり、気孔がほとんどなく連続気孔のない溶射被膜を得るのに有利である。
In general, in the case of thermal spraying in the air, the oxide of the thermal spray material is included in the coating, which adversely affects the properties of the coating. There is almost no influence of oxidation.
Therefore, if the metal glass particles in the amorphous phase are sprayed, and the metal glass spray particles are solidified and laminated on the surface of the base material in a supercooled liquid state to form a sprayed coating, it is composed of a uniform amorphous solid phase of the metal glass. It is advantageous to obtain a sprayed coating that is almost free from continuous pores.

このような方法により、基材表面に非常に緻密で且つアモルファス相の金属ガラス溶射被膜層を形成することができる。例えば、金属ガラス溶射被膜の気孔率が2%以下でピンホールもない溶射被膜を得ることができる。気孔率については、金属ガラス層の任意の断面を画像解析し、気孔の最大面積率を気孔率として採用することができる。また、ピンホールがないことも金属ガラス層の任意の断面を画像解析することにより確認することができる。なおこのような方法は、前記特許文献1に記載されている。   By such a method, a metal glass sprayed coating layer having a very dense and amorphous phase can be formed on the substrate surface. For example, a sprayed coating having a porosity of 2% or less and no pinholes can be obtained. Regarding the porosity, an arbitrary cross section of the metal glass layer can be image-analyzed, and the maximum area ratio of the pores can be adopted as the porosity. Further, the absence of pinholes can be confirmed by image analysis of an arbitrary cross section of the metal glass layer. Such a method is described in Patent Document 1.

本発明において、金属ガラスとしては特に制限されず、目的とする機能に応じて公知のものを適宜選択して用いればよい。例えば、金属ガラスが複数の元素から構成され、その主成分として少なくともFe、Co、Ni、Ti、Zr、Mg、Cu、Pdのいずれかひとつの原子を30〜80原子%の範囲で含有するものが挙げられる。
Cu基の金属ガラスの好ましい組成としては、例えば、Cu55Zr40Al(以下、下付数字は原子%を示す)が挙げられる。Zr基の金属ガラスの好ましい組成としては、例えば、Zr60Al15Ni7.5Co2.5Cuが挙げられる。Ni基の金属ガラスの好ましい組成としては、例えば、Ni56Cr2416、Ni65Cr1516等が挙げられる。Fe基金属ガラスの好ましい組成としては、例えば、Fe43Cr16Mo161510が挙げられる。
In this invention, it does not restrict | limit especially as a metallic glass, What is necessary is just to select and use a well-known thing suitably according to the target function. For example, a metallic glass is composed of a plurality of elements and contains at least one of Fe, Co, Ni, Ti, Zr, Mg, Cu, and Pd as a main component in a range of 30 to 80 atomic%. Is mentioned.
A preferred composition of the Cu-based metallic glass is, for example, Cu 55 Zr 40 Al 5 (hereinafter, the subscript indicates atomic%). A preferable composition of the Zr-based metallic glass is, for example, Zr 60 Al 15 Ni 7.5 Co 2.5 Cu 5 . Examples of a preferable composition of the Ni-based metallic glass include Ni 56 Cr 24 P 16 B 4 and Ni 65 Cr 15 P 16 B 4 . A preferred composition of the Fe-based metallic glass is, for example, Fe 43 Cr 16 Mo 16 C 15 B 10 .

また、耐食性等に優れる金属ガラスとしては、Cu基では、Cu100-a-b(Zr +Hf)aTib又はCu100-a-b-c-d(Zr+Hf)aTibcd[ただし式中、Mは、Fe、Cr、Mn、Ni、Co、Nb、Mo、W、Sn、Al、Ta、希土類元素よりなる群から選択される1種又は2種以上の元素、Tは、Ag、Pd、Pt、Auよりなる群から選択される1種又は2種以上の元素であり、5<a≦55原子%、0≦b≦45原子%、30<a+b≦60原子%、0.5≦c≦5原子%、0≦d≦10原子%である]で示される組成を有するもの等が挙げられる(特開2002−256401号公報参照)。また、Ni基としては、Ni80−xCr16[ただし、3≦x≦30原子%]で示される組成を有するもの等が挙げられる(Material Transactions,Vol.48,No.12(2007)pp.3176〜3180参照)。また、Fe基としては、Fe100-a-b-cCrTM(C1-XXyc[ただし、式中、TM=V,Nb,Mo,Ta,W,Co,Ni,Cuの少なくとも一種以上、a,b,c,x,yは、それぞれ5原子%≦a≦30原子%,5原子%≦b≦20原子%,10原子%≦c≦35原子%,25原子%≦a+b≦50原子%,35原子%≦a+b+c≦60原子%,0.11≦x≦0.85,0≦y≦0.57]で示される組成を有するもの等が挙げられる(特開2001−303218号公報参照)。
また、金属ガラスの過冷却液体温度領域△Tx=Tx−Tgが30K以上であるものが好適に使用される。
In addition, as a metallic glass having excellent corrosion resistance, Cu 100-ab (Zr + Hf) a Ti b or Cu 100-abcd (Zr + Hf) a Ti b M c T d [wherein M is Fe , Cr, Mn, Ni, Co, Nb, Mo, W, Sn, Al, Ta, one or more elements selected from the group consisting of rare earth elements, T is from Ag, Pd, Pt, Au One or more elements selected from the group consisting of 5 <a ≦ 55 atomic%, 0 ≦ b ≦ 45 atomic%, 30 <a + b ≦ 60 atomic%, 0.5 ≦ c ≦ 5 atomic% And 0 ≦ d ≦ 10 atomic%] (see JP 2002-256401 A). As the Ni-based, Ni 80-x Cr x P 16 B 4 [ however, 3 ≦ x ≦ 30 atomic%] and those having a composition represented by the like (Material Transactions, Vol.48, No.12 (2007) pp. 3176-3180). As the Fe-based, Fe 100-ab-c Cr a TM b (C 1-X B X P y) c [ In the formula, TM = V, Nb, Mo , Ta, W, Co, Ni, At least one kind of Cu, a, b, c, x, and y, are 5 atomic% ≦ a ≦ 30 atomic%, 5 atomic% ≦ b ≦ 20 atomic%, 10 atomic% ≦ c ≦ 35 atomic%, and 25 atoms, respectively. % ≦ a + b ≦ 50 atomic%, 35 atomic% ≦ a + b + c ≦ 60 atomic%, 0.11 ≦ x ≦ 0.85, 0 ≦ y ≦ 0.57], etc. 2001-303218).
Moreover, the supercooled liquid temperature area | region (DELTA) Tx = Tx-Tg of metal glass is used suitably for 30K or more.

溶射により緻密な金属ガラス被膜が形成された複合材料であっても、加熱変形加工時に膨張によって粒子間の隙間が増大したり、剥がれや断裂などの破損を生じることがある。これは、一見緻密で均一なアモルファス相被膜に見えたとしても、溶射被膜内部は本質的に不均一で、潜在的な内部欠陥を有しているためと考えられる。そして、溶射面積が大きくなればなるほどこのような不均一性や潜在的内部欠陥の存在率も高くなる。
本発明のように、変形加工を行う前に複合材料の金属ガラス層を均質化処理することで、このような不均一性や潜在的内部欠陥が解消され、変形加工時の欠陥の増大や破損が著しく抑制される。
Even in a composite material in which a dense metallic glass film is formed by thermal spraying, a gap between particles may increase due to expansion during heat deformation processing, or damage such as peeling or tearing may occur. This is presumably because even though it appears to be a dense and uniform amorphous phase coating, the inside of the sprayed coating is essentially non-uniform and has potential internal defects. And the larger the sprayed area, the higher the abundance of such non-uniformity and potential internal defects.
As in the present invention, by homogenizing the metallic glass layer of the composite material prior to deformation processing, such non-uniformity and potential internal defects are eliminated, and defects increase or break during deformation processing. Is significantly suppressed.

(II)均質化工程
本工程においては、金属ガラス層を均質化するために加圧する。加圧は、金属ガラス層の不均一性や潜在的内部欠陥が解消されるように行う。好適には、少なくとも変形加工される領域において金属ガラス層の層厚が均一に圧縮されるように行う。例えば、金属ガラス表面から基材との接合界面に向かって均一な圧力でプレスすることにより行うことができる。この時、通常は均質化処理された金属ガラス層の層厚が均一に圧縮されるが、基材の変形は伴わない。なお、均質化処理は一度に行ってもよいし、複数回で行ってもよい。
(II) Homogenization step In this step, pressure is applied to homogenize the metal glass layer. The pressurization is performed so that the nonuniformity and potential internal defects of the metal glass layer are eliminated. Preferably, it is performed so that the thickness of the metallic glass layer is uniformly compressed at least in the region to be deformed. For example, it can be performed by pressing at a uniform pressure from the metallic glass surface toward the bonding interface with the substrate. At this time, the layer thickness of the homogenized metallic glass layer is usually compressed uniformly, but the substrate is not deformed. In addition, the homogenization process may be performed at once or a plurality of times.

加圧の方法としては、本発明の目的を達成し得る方法であれば特に制限されず、公知の方法を採用することができる。例えば、金型やローラーなどによる平面プレス、HIPなどの方法が挙げられるが、少なくとも変形加工しようとする領域とその周辺部分の金属ガラス層をできるだけ均一に加圧することが望ましい。簡便な方法の一つとしては、複合材料の形状に合った金型を用いて金属ガラス層表面を基材との接合界面に向かって加圧する方法が挙げられる。また、ローラーなどを用いて加圧部位を移動させながら行うこともできる。   The pressurizing method is not particularly limited as long as it can achieve the object of the present invention, and a known method can be adopted. For example, a flat press using a mold or a roller, a method such as HIP can be mentioned, and it is desirable to press at least the region to be deformed and the metal glass layer in the peripheral portion thereof as uniformly as possible. As a simple method, there is a method in which a metal glass layer surface is pressurized toward a bonding interface with a base material using a mold that matches the shape of the composite material. Moreover, it can also carry out, moving a pressurization site | part using a roller etc.

加圧は、金属ガラス層をガラス化可能な温度にまで加熱し過冷却液体状態(ガラス化状態)にして行う。過冷却液体状態では粘性流動体となるので、短時間で潜在的内部欠陥を金属ガラス層中に拡散させて均質化することができる。
一般に、金属ガラスのガラス遷移温度TgはDSC(示差走査熱量計)により測定されるが、金属ガラスのガラス化によるDSC曲線の吸熱方向へのシフトはカーブを描くため、通常はDSC曲線のベースラインと吸熱シフトの接線との交点の温度が便宜上ガラス転移温度Tgとして測定される。この結果、Tgは実際の吸熱反応開始温度(ガラス化開始温度)よりも高く測定される。よって、Tgよりも低い温度であってもガラス化開始温度(吸熱反応開始温度)以上であれば金属ガラスをガラス化することが可能である。具体的には、例えばガラス遷移温度Tg(K)の85%以上の温度で均質化を行うことが好適であり、さらにはTg(K)以上で均質化を行うことが好適である。
The pressurization is performed by heating the metal glass layer to a temperature at which vitrification can be performed to form a supercooled liquid state (vitrified state). Since it becomes a viscous fluid in the supercooled liquid state, latent internal defects can be diffused into the metallic glass layer and homogenized in a short time.
In general, the glass transition temperature Tg of a metallic glass is measured by DSC (differential scanning calorimeter), but the shift in the endothermic direction of the DSC curve due to vitrification of the metallic glass draws a curve, and therefore usually the baseline of the DSC curve. The temperature at the intersection of the endothermic shift and the tangent of the endothermic shift is measured as the glass transition temperature Tg for convenience. As a result, Tg is measured higher than the actual endothermic reaction start temperature (vitrification start temperature). Therefore, even if it is temperature lower than Tg, if it is more than vitrification start temperature (endothermic reaction start temperature), it is possible to vitrify metal glass. Specifically, for example, homogenization is preferably performed at a temperature of 85% or more of the glass transition temperature Tg (K), and further, homogenization is preferably performed at Tg (K) or more.

ただし、温度が高すぎると均質化工程中に結晶相を生じてしまうので好ましくない。結晶相を含んだ金属ガラス層で後の変形加工を行った場合は、変形中にさらなる熱負荷で成長した結晶相を起点に割れを生じる場合がある。DSC測定で測定される結晶化開始温度Txは、Tgの場合と同様に、ガラス化による吸熱方向へのシフトが結晶化による発熱方向へのシフトに転換する温度よりも通常高く測定されるので、均質化工程における結晶相の生成を回避するために、結晶化開始温度Tx(K)のみならず、潜在的に結晶化への構造変化が起こっていると考えられるTx直前の発熱反応温度領域は避けるべきである。具体的には、例えば結晶化開始温度Tx(K)の97%以下の温度で均質化を行うことが好適である。
なお、本発明においてTg(K)、Tx(K)は何れも、アルゴン雰囲気下、昇温速度20.0℃/分の条件下でDSCにより測定した値である。
目的とする温度とするためには、複合材料を直接加熱してもよいし、金型やローラー、雰囲気から間接的に熱を供給してもよい。また、その両者を組み合わせることもできる。
However, if the temperature is too high, a crystal phase is generated during the homogenization step, which is not preferable. When a subsequent deformation process is performed on a metallic glass layer containing a crystal phase, cracks may occur starting from the crystal phase grown under a further heat load during the deformation. As in the case of Tg, the crystallization start temperature Tx measured by DSC measurement is usually measured higher than the temperature at which the shift in the endothermic direction due to vitrification shifts to the shift in the exothermic direction due to crystallization. In order to avoid the formation of the crystal phase in the homogenization process, not only the crystallization start temperature Tx (K) but also the exothermic reaction temperature region immediately before Tx where the structural change to crystallization is considered to occur is Should be avoided. Specifically, for example, it is preferable to perform homogenization at a temperature of 97% or less of the crystallization start temperature Tx (K).
In the present invention, Tg (K) and Tx (K) are both values measured by DSC under an argon atmosphere under a temperature increase rate of 20.0 ° C./min.
In order to achieve the target temperature, the composite material may be directly heated, or heat may be indirectly supplied from a mold, a roller, or an atmosphere. Moreover, both can be combined.

加圧する時の圧力及び時間は、加圧温度や金属ガラスの種類、層厚などによって適宜設定されるものであるが、あまり長い時間高温で加圧処理すると、金属ガラス層に結晶相や酸化物相が生成されやすくなる。よって、なるべく短時間で均質化できるように加圧することが好ましい。例えば、5〜1000MPa、さらには20〜500MPaで、1〜600sec、さらには10〜200secで加圧することができる。
なお、加圧する際にひずみ速度[=(変形量/物体の長さ)/変形に要した時間]が速すぎる場合、ストレスオーバーシュートが発生して均質化を妨げることがある。加圧時のひずみ速度は7.0×10−1/s以下とすることが好ましい。
また、加圧は通常大気中で行えばよいが、酸化の影響が懸念される場合には不活性ガス中で行ってもよい。
The pressure and time for pressurization are appropriately set according to the pressurization temperature, the type of metal glass, the layer thickness, etc., but if the pressure treatment is carried out for a long time at a high temperature, the crystal phase or oxide is applied to the metal glass layer. A phase is likely to be generated. Therefore, it is preferable to apply pressure so that homogenization can be performed in as short a time as possible. For example, pressurization can be performed at 5 to 1000 MPa, further 20 to 500 MPa, 1 to 600 sec, and further 10 to 200 sec.
If the strain rate [= (deformation amount / length of object) / time required for deformation] is too high during pressurization, stress overshoot may occur and hinder homogenization. The strain rate during pressurization is preferably 7.0 × 10 −1 / s or less.
In addition, the pressurization may be usually performed in the atmosphere, but may be performed in an inert gas when the influence of oxidation is concerned.

(III)変形加工工程
上記のように均質化処理した複合材料は、公知の方法により変形加工することができる。本発明においては、変形加工により金属ガラス層のみを変形(例えば、金属ガラス層表面に凹凸をつけるなど)してもよいが、本発明の方法は、金属ガラス層と同時に基材も曲げられるような場合に特に有用である。例えば、金型等によりプレス加工して複合材料全体を曲げようとした場合、金属ガラス層の過冷却液体温度領域で加工しても金属ガラス層の剥がれや破断などの破損を生じるが、均質化処理した複合材料ではこのような破損が顕著に抑制される。
(III) Deformation process The composite material homogenized as described above can be deformed by a known method. In the present invention, only the metallic glass layer may be deformed by deformation processing (for example, the surface of the metallic glass layer is made uneven). However, the method of the present invention seems to bend the substrate simultaneously with the metallic glass layer. It is particularly useful in such cases. For example, if an attempt is made to bend the entire composite material by pressing with a mold or the like, even if the metal glass layer is processed in the supercooled liquid temperature region, damage such as peeling or breakage of the metal glass layer will occur, but homogenization Such breakage is significantly suppressed in the treated composite material.

変形加工の条件は、金属ガラス複合材料の種類や用途等に応じて適宜設定すればよいが、金属ガラス層が過冷却液体温度領域(Tg〜Tx)を含む温度領域となるよう加熱して変形加工すれば、金属ガラス層の変形応力が小さいのでより好ましい。なお、過冷却液体温度領域の周辺温度でヤング率が顕著に低下して軟化する場合には、このような温度で変形加工することも可能である。また、均質化処理された変形加工前の金属ガラス層に結晶相を含まなければ、変形加工中あるいは加工後に結晶化開始温度付近の温度となって多少結晶化したとしても剥がれや破損なしに変形加工することが可能である。
具体的には、例えば、金属ガラスのガラス遷移温度Tg(K)の85%以上の温度〜結晶化開始温度Tx(K)の100%以下の温度の範囲内で設定することが好適であり、さらにはTg〜Txの温度領域内で変形加工することが好適である。
The deformation conditions may be set as appropriate according to the type and application of the metal glass composite material, but the metal glass layer is heated and deformed so as to be in the temperature region including the supercooled liquid temperature region (Tg to Tx). If it processes, since the deformation stress of a metallic glass layer is small, it is more preferable. If the Young's modulus is significantly lowered and softens at the ambient temperature in the supercooled liquid temperature region, deformation can be performed at such a temperature. Also, if the homogenized pre-deformed metallic glass layer does not contain a crystalline phase, even if it becomes a temperature near the crystallization start temperature during or after the deformation process, it will deform without peeling or breakage. It is possible to process.
Specifically, for example, it is preferable to set within a range of 85% or more of the glass transition temperature Tg (K) of the metal glass to 100% or less of the crystallization start temperature Tx (K), Further, it is preferable to perform deformation processing within a temperature range of Tg to Tx.

変形加工工程は、前記均質化工程に引き続いて連続的に行ってもよいし、一旦冷却するなどして断続的に行うこともできる。
また、変形加工時の曲げと同時に金属ガラス層表面に所望の形状(例えば凹凸や鏡面)が形成されるように金型を用いることも可能である。
以下、実施例に基づき本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
The deformation process may be performed continuously following the homogenization process, or may be performed intermittently by cooling once.
It is also possible to use a mold so that a desired shape (for example, unevenness or mirror surface) is formed on the surface of the metal glass layer simultaneously with bending during deformation processing.
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is further demonstrated based on an Example, this invention is not limited to these.

試験例1
(I)複合材料の製造
アモルファス単一相からなるCu55Zr40Al金属ガラスのガスアトマイズ粉末(25〜53μmのもの)をSUS304基材(15×15×0.5mm、ブラスト処理仕上げ)に溶射して金属ガラス複合材料を得た。金属ガラス粉末をDSC測定(示差走査熱量計DSC8270((株)リガク製)、昇温速度20.0℃/分、アルゴン雰囲気)したところ、ガラス遷移温度は459℃(732K)、結晶化開始温度は506℃(779K)であった。
得られた複合材料の金属ガラス層は約160μmであった。また、X線回折のハローパターンから、得られた複合材料の金属ガラス層がアモルファス単一相であることを確認した。
なお、溶射条件は次の通りであった。
Test example 1
(I) Manufacture of composite material Gas atomized powder of Cu 55 Zr 40 Al 5 metal glass (25 to 53 μm) composed of amorphous single phase is sprayed on SUS304 base material (15 × 15 × 0.5 mm, blasted finish) Thus, a metallic glass composite material was obtained. When the metal glass powder was subjected to DSC measurement (differential scanning calorimeter DSC8270 (manufactured by Rigaku Corporation), heating rate 20.0 ° C./min, argon atmosphere), the glass transition temperature was 459 ° C. (732 K), the crystallization start temperature. Was 506 ° C. (779 K).
The metal glass layer of the obtained composite material was about 160 μm. Moreover, it confirmed that the metal glass layer of the obtained composite material was an amorphous single phase from the halo pattern of X-ray diffraction.
The spraying conditions were as follows.

(溶射条件)
HVOF装置:PRAXAIR/TAFA社製 JP−5000
粉末搬送ガス:N
燃料:灯油、3GPH
酸素:2000SCFH
溶射距離(溶射ガン先端から基材表面までの距離):250mm
溶射ガン移動速度:600mm/sec
(Spraying conditions)
HVOF apparatus: JP-5000 manufactured by PRAXAIR / TAFA
Powder carrier gas: N 2
Fuel: Kerosene, 3GPH
Oxygen: 2000 SCFH
Thermal spray distance (distance from spray gun tip to substrate surface): 250 mm
Thermal spray gun moving speed: 600mm / sec

(II)均質化
上記(I)で得られた複合材料を、99〜350℃/minの昇温速度で加熱し、所定温度に達した時点で、図2に示すようなΦ10mmの円形平面を有する金型を用いて、荷重4000kgf〜6000kgf(圧力約499MPa〜749MPa)、金型の送り速度2mm/min、金属ガラス層(160μm)に対する歪み速度2.1×10−1/sで送り、約120〜180秒間、金属ガラス層側から平面プレスした。
(II) Homogenization The composite material obtained in (I) above is heated at a heating rate of 99 to 350 ° C./min, and when it reaches a predetermined temperature, a circular plane of Φ10 mm as shown in FIG. Using a mold having a load of 4000 kgf to 6000 kgf (pressure of about 499 MPa to 749 MPa), a mold feed rate of 2 mm / min, a strain rate of 2.1 × 10 −1 / s with respect to the metal glass layer (160 μm), and about Plane pressing was performed from the metallic glass layer side for 120 to 180 seconds.

(III)変形加工
上記(II)で均質化処理した複合材料を用いて、図3のような形状に変形加工した。複合材料を、99〜350℃/minの昇温速度で加熱し、所定温度に達した時点で、複合材料の両面に金型を用いて、荷重約4000kgf(圧力約174MPa)で、約150〜180秒間プレスした。金型の送り速度は1.2〜2mm/min、ひずみ速度は金属ガラス層(約0.15mm)に対し約1.3×10−1/s〜2.2×10−1/sであった。
(III) Deformation processing Using the composite material homogenized in (II) above, deformation processing was performed into a shape as shown in FIG. The composite material is heated at a temperature increase rate of 99 to 350 ° C./min. When a predetermined temperature is reached, a mold is used on both sides of the composite material, and a load of about 4000 kgf (pressure of about 174 MPa) and a pressure of about 150 to about Pressed for 180 seconds. Feed rate of the mold 1.2~2mm / min, the strain rate is met approximately 1.3 × 10 -1 /s~2.2×10 -1 / s to the metallic glass layer (about 0.15 mm) It was.

図4は上記(I)で得られた複合材料の断面写真、図5は上記(II)の均質化処理を行わずに直接(III)の変形加工を行った場合の断面写真、図6は上記(II)の均質化処理を行った後で(III)の変形加工工程を行った場合の断面写真である(均質化処理温度、変形加工温度は何れも480℃(753K))。   4 is a cross-sectional photograph of the composite material obtained in the above (I), FIG. 5 is a cross-sectional photograph in which the deformation processing of (III) is directly performed without performing the homogenization treatment of (II), and FIG. It is a cross-sectional photograph in the case of performing the deformation processing step of (III) after performing the homogenization processing of (II) (both homogenization processing temperature and deformation processing temperature are 480 ° C. (753 K)).

図4と図5とを比較すると、変形加工前(図4)に比べて、金属ガラス層の凹角部付近では非常に緻密化していた(図5(a))。
しかしながら、金属ガラス層の凸角上部の平坦部分を見ると、図5(b)のように、隣接する積層粒子間の隙間(黒く見える部分)が著しく増大していた。これは、凸角上部の平坦部では基材側から金型で押され、圧力が凹角部などに比べて小さかったために、加圧による緻密化よりも加熱・冷却による積層粒子の膨張・収縮と金属ガラス層の基材側からの加圧による横方向への変形により、金属ガラス粒子間の分離の方が促進されたためではないかと考えられる。
When FIG. 4 and FIG. 5 are compared, compared with the deformation | transformation process (FIG. 4), it was very densified near the recessed corner | angular part of a metal glass layer (FIG. 5 (a)).
However, when the flat part of the upper part of the convex angle of the metallic glass layer is seen, as shown in FIG. 5 (b), the gaps between the adjacent laminated particles (parts that appear black) are remarkably increased. This is because the flat part at the top of the convex corner is pushed by the mold from the substrate side, and the pressure is smaller than the concave corner part, etc., so that the laminated particles expand and contract by heating / cooling rather than densification by pressurization. It is considered that the separation between the metal glass particles was promoted by the deformation in the lateral direction due to the pressurization from the substrate side of the metal glass layer.

また、凸角部では、図5(c)のように、積層粒子間の隙間の増大とともに金属ガラス層の破断も認められた。これは、凸角部でも加圧による緻密化よりも加熱・冷却による積層粒子隙間の分離が促進され、さらにはこのような内部欠陥を有する金属ガラス層が引っ張られて破損を生じたものと考えられる。
このように、複合材料を単に過冷却液体温度領域で変形加工しても、金属ガラス層中の欠陥や破損を生じさせずに変形加工することは非常に困難であった。
Moreover, in the convex corner part, as shown in FIG. 5C, breakage of the metallic glass layer was observed as the gap between the laminated particles increased. This is because the separation of the laminated particle gap by heating / cooling was promoted more than the densification by pressurization even at the convex corner, and further, the metallic glass layer having such internal defects was pulled and damaged. It is done.
Thus, even if the composite material is simply deformed in the supercooled liquid temperature region, it has been very difficult to deform the composite material without causing defects or breakage in the metal glass layer.

これに対して、均質化処理後に変形加工を行った図6では、(a)凹角部のみならず、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部の何れにおいても、図5で見られたような金属ガラス層の積層粒子間の隙間の増大や破損などの発生は全く認められず、非常に緻密な金属ガラス層が基材と一体化した状態で変形加工されていることがわかる。
このように、金属ガラス複合材料の変形加工前に、少なくとも変形させる領域の金属ガラス層に対して過冷却液体状態で均一に加圧することにより、このような前処理を行わずに変形加工した場合に比べて、変形加工時の金属ガラス層の欠陥や破損の発生が抑制される。
On the other hand, in FIG. 6 in which the deformation process is performed after the homogenization process, not only (a) the concave corner portion but also (b) the flat portion at the top of the convex corner and (c) the convex corner portion as shown in FIG. There is no increase in the gaps between the laminated particles of the metal glass layer and the occurrence of breakage as seen in Fig. 1, and the extremely dense metal glass layer is deformed and integrated with the base material. I understand.
As described above, when the metal glass composite material is deformed without performing such pretreatment by uniformly applying pressure in the supercooled liquid state to the metal glass layer in the region to be deformed at least before the deformation processing of the metal glass composite material. As compared with, the occurrence of defects and breakage of the metal glass layer during deformation processing is suppressed.

下記表1は、各処理温度で均質化及び変形加工した時の、変形加工後の欠陥・破損の有無を調べた結果である。評価(変形加工後の欠陥・破損の欄)は、角部に欠陥または破損の発生が有るものを「あり」とし、そうでないものを「なし」とした。
表1からもわかるように、均質化処理をTg×85%〜Tx×97%の範囲で行えば変形加工時の金属ガラス層の欠陥や破損の発生に対して抑制効果を得ることができる。しかし、変形加工温度が低すぎる場合(試験例1−a)や高すぎる場合(試験例1−f)は、角部に欠陥や破損が生じることがあった。図7及び図8に、試験例1−a及び試験例1−fの断面写真を示す。
Table 1 below shows the results of investigating the presence / absence of defects and breakage after deformation when homogenization and deformation are performed at each processing temperature. In the evaluation (defect / breakage column after deformation processing), “Yes” was given if a corner had a defect or breakage, and “None” was given otherwise.
As can be seen from Table 1, if the homogenization treatment is performed in the range of Tg × 85% to Tx × 97%, it is possible to obtain a suppressing effect on the occurrence of defects and breakage of the metal glass layer during deformation processing. However, when the deformation temperature is too low (Test Example 1-a) or too high (Test Example 1-f), defects or breakage may occur at the corners. 7 and 8 show cross-sectional photographs of Test Example 1-a and Test Example 1-f.

このようなことから、均質化処理をTg×85%〜Tx×97%の範囲で行った後、変形加工をTg×85%〜Tx×100%の温度範囲で行うことが好適であると考えられた。   For this reason, it is considered preferable to perform the deformation process in the temperature range of Tg × 85% to Tx × 100% after performing the homogenization treatment in the range of Tg × 85% to Tx × 97%. It was.

試験例2
(I)複合材料の製造
アモルファス単一相からなるCu54Zr22Ti18Ni金属ガラスのガスアトマイズ粉末(25〜53μmのもの)をSUS304基材(15×15×0.5mm、ブラスト処理仕上げ)に溶射して金属ガラス複合材料を得た。金属ガラス粉末をDSC測定したところ、ガラス遷移温度は438℃(711K)、結晶化開始温度は487℃(760K)であった。
得られた複合材料の金属ガラス層は約130μmであった。また、X線回折のハローパターンから、得られた複合材料の金属ガラス層がアモルファス単一相であることを確認した。
なお、溶射条件は次の通りであった。
Test example 2
(I) Manufacture of composite material Gas atomized powder of Cu 54 Zr 22 Ti 18 Ni 6 metal glass (25 to 53 μm) made of amorphous single phase made of SUS304 base material (15 × 15 × 0.5 mm, blasted finish) The metal glass composite material was obtained by thermal spraying. When the metal glass powder was subjected to DSC measurement, the glass transition temperature was 438 ° C. (711 K), and the crystallization start temperature was 487 ° C. (760 K).
The metal glass layer of the obtained composite material was about 130 μm. Moreover, it confirmed that the metal glass layer of the obtained composite material was an amorphous single phase from the halo pattern of X-ray diffraction.
The spraying conditions were as follows.

(溶射条件)
HVOF装置:PRAXAIR/TAFA社製 JP−5000
粉末搬送ガス:N
燃料:灯油、2GPH
酸素:2000SCFH
溶射距離(溶射ガン先端から基材表面までの距離):250mm
溶射ガン移動速度:600mm/sec
(Spraying conditions)
HVOF apparatus: JP-5000 manufactured by PRAXAIR / TAFA
Powder carrier gas: N 2
Fuel: Kerosene, 2GPH
Oxygen: 2000 SCFH
Thermal spray distance (distance from spray gun tip to substrate surface): 250 mm
Thermal spray gun moving speed: 600mm / sec

(II)均質化
得られた複合材料を、99℃/minの昇温速度で加熱し、460℃(733K)に達した時点で、図2の円形金型を用いて、荷重4000kgf(圧力約499MPa)、送り速度2mm/分、金属ガラス層(130μm)に対する歪み速度2.6×10−1/sで送り、約180秒間、金属ガラス層側から平面プレスした。
(II) Homogenization The obtained composite material was heated at a heating rate of 99 ° C./min, and when it reached 460 ° C. (733 K), using the circular mold of FIG. 499 MPa), a feed rate of 2 mm / min, a strain rate of 2.6 × 10 −1 / s with respect to the metal glass layer (130 μm), and plane pressing from the metal glass layer side for about 180 seconds.

(III)変形加工
このように均質化処理した複合材料を用い、変形加工温度は460℃(733K)で、試験例1(III)と同形状に変形加工した。その結果、変形加工による欠陥や破損は認められなかった。
(III) Deformation Using the composite material homogenized in this way, the deformation process temperature was 460 ° C. (733 K), and deformation was performed in the same shape as in Test Example 1 (III). As a result, no defects or breakage due to deformation processing were observed.

試験例3
(I)複合材料の製造
アモルファス単一相からなるZr60Al15Ni7.5Co2.5Cu金属ガラスのガスアトマイズ粉末(25〜53μmのもの)をSUS304基材(15×15×0.5mm、ブラスト処理仕上げ)に溶射して金属ガラス複合材料を得た。金属ガラス粉末をDSC測定したところ、ガラス遷移温度は416℃(689K)、結晶化開始温度は493℃(766K)であった。
得られた複合材料の金属ガラス層は約130μmであった。また、X線回折のハローパターンから、得られた複合材料の金属ガラス層がアモルファス単一相であることを確認した。
なお、溶射条件は次の通りであった。
Test example 3
(I) Manufacture of composite material Zr 60 Al 15 Ni 7.5 Co 2.5 Cu 5 metal glass gas atomized powder (25 to 53 μm) composed of an amorphous single phase was used as a SUS304 substrate (15 × 15 × 0. Thermal spraying to 5 mm (blasting finish) gave a metallic glass composite material. When the metal glass powder was subjected to DSC measurement, the glass transition temperature was 416 ° C. (689 K), and the crystallization start temperature was 493 ° C. (766 K).
The metal glass layer of the obtained composite material was about 130 μm. Moreover, it confirmed that the metal glass layer of the obtained composite material was an amorphous single phase from the halo pattern of X-ray diffraction.
The spraying conditions were as follows.

(溶射条件)
HVOF装置:PRAXAIR/TAFA社製 JP−5000
粉末搬送ガス:N
燃料:灯油、3GPH
酸素:2000SCFH
溶射距離(溶射ガン先端から基材表面までの距離):250mm
溶射ガン移動速度:600mm/sec
(Spraying conditions)
HVOF apparatus: JP-5000 manufactured by PRAXAIR / TAFA
Powder carrier gas: N 2
Fuel: Kerosene, 3GPH
Oxygen: 2000 SCFH
Thermal spray distance (distance from spray gun tip to substrate surface): 250 mm
Thermal spray gun moving speed: 600mm / sec

(II)均質化
得られた複合材料を、99℃/minの昇温速度で加熱し、470℃(743K)に達した時点で、図2の円形金型を用いて、荷重4000kgf(圧力約499MPa)、送り速度2mm/分、金属ガラス層(130μm)に対する歪み速度2.6×10−1/sで送り、約180秒間、金属ガラス層側から平面プレスした。
(II) Homogenization The obtained composite material was heated at a heating rate of 99 ° C./min, and when it reached 470 ° C. (743 K), using the circular mold of FIG. 499 MPa), a feed rate of 2 mm / min, a strain rate of 2.6 × 10 −1 / s with respect to the metal glass layer (130 μm), and plane pressing from the metal glass layer side for about 180 seconds.

(III)変形加工
このように均質化処理した複合材料を用い、変形加工温度は470℃(743K)で、試験例1(III)と同形状に変形加工した。その結果、変形加工による欠陥や破損は認められなかった。
(III) Deformation processing Using the composite material homogenized in this way, the deformation processing temperature was 470 ° C. (743 K), and deformation processing was performed in the same shape as in Test Example 1 (III). As a result, no defects or breakage due to deformation processing were observed.

試験例4
(I)複合材料の製造
アモルファス単一相からなるFe43Cr16Mo161510金属ガラスのガスアトマイズ粉末(25μm篩下のもの)をSUS304基材(15×15×0.5mm、ブラスト処理仕上げ)に溶射して金属ガラス複合材料を得た。金属ガラス粉末をDSC測定(示差走査熱量計DSC8270((株)リガク製)、昇温速度20.0℃/分、アルゴン雰囲気)したところ、ガラス遷移温度(Tg)は597℃(870K)、結晶化開始温度(Tx)は688℃(961K)であった。
得られた複合材料の金属ガラス層は約60μmであった。また、X線回折のハローパターンから、得られた複合材料の金属ガラス層がアモルファス単一相であることを確認した。
なお、溶射条件は次の通りであった。
Test example 4
(I) Manufacture of composite material A gas atomized powder of Fe 43 Cr 16 Mo 16 C 15 B 10 metal glass (under 25 μm sieve ) made of an amorphous single phase and a SUS304 substrate (15 × 15 × 0.5 mm, blasted) Thermal spraying was performed to obtain a metallic glass composite material. When the metal glass powder was subjected to DSC measurement (differential scanning calorimeter DSC8270 (manufactured by Rigaku Corporation), heating rate 20.0 ° C./min, argon atmosphere), the glass transition temperature (Tg) was 597 ° C. (870 K), crystals The onset temperature (Tx) was 688 ° C. (961 K).
The metal glass layer of the obtained composite material was about 60 μm. Moreover, it confirmed that the metal glass layer of the obtained composite material was an amorphous single phase from the halo pattern of X-ray diffraction.
The spraying conditions were as follows.

(溶射条件)
HVOF装置:PRAXAIR/TAFA社製 JP−5000
粉末搬送ガス:N
燃料:灯油、5.1GPH
酸素:1800SCFH
溶射距離(溶射ガン先端から基材表面までの距離):355mm
溶射ガン移動速度:600mm/sec
(Spraying conditions)
HVOF apparatus: JP-5000 manufactured by PRAXAIR / TAFA
Powder carrier gas: N 2
Fuel: Kerosene, 5.1GPH
Oxygen: 1800 SCFH
Thermal spray distance (distance from spray gun tip to substrate surface): 355mm
Thermal spray gun moving speed: 600mm / sec

(II)均質化
上記(I)と同様にして得られた複合材料(金属ガラス層厚:約0.2mm)を、99℃/minの昇温速度で加熱し、650℃(923K)に達した時点で、図2に示すようなΦ10mmの円形平面を有する金型を用いて荷重約4000kgf(圧力約499MPa)で、約180秒間、金属ガラス層側からプレスした。金型の送り速度は2mm/min、ひずみ速度は金属ガラス層(0.2mm)に対し約1.7×10−1/sであった。
(II) Homogenization The composite material (metal glass layer thickness: about 0.2 mm) obtained in the same manner as in the above (I) was heated at a heating rate of 99 ° C./min and reached 650 ° C. (923 K). At that time, pressing was performed from the metallic glass layer side for about 180 seconds under a load of about 4000 kgf (pressure of about 499 MPa) using a mold having a circular plane of Φ10 mm as shown in FIG. The mold feed rate was 2 mm / min, and the strain rate was about 1.7 × 10 −1 / s with respect to the metal glass layer (0.2 mm).

(III)変形加工
均質化処理した複合材料を用いて、図3のような形状に変形加工した。複合材料を、99℃/minの昇温速度で加熱し、650℃(923K)に達した時点で、金型を用いて、荷重約4000kgf(圧力約174MPa)で、約180秒間プレスした。金型の送り速度は2mm/min、ひずみ速度は金属ガラス層(約0.15mm)に対し約2.2×10−1/sであった。
(III) Deformation processing The composite material subjected to homogenization treatment was deformed into a shape as shown in FIG. The composite material was heated at a temperature increase rate of 99 ° C./min, and when it reached 650 ° C. (923 K), it was pressed for about 180 seconds using a mold at a load of about 4000 kgf (pressure of about 174 MPa). The mold feed rate was 2 mm / min, and the strain rate was about 2.2 × 10 −1 / s with respect to the metallic glass layer (about 0.15 mm).

図9は上記(I)で得られた複合材料の断面写真、図10は上記(II)の均質化処理を行わずに直接(III)の変形加工を行った場合の断面写真、図11は上記(II)の均質化処理を行った後で(III)の変形加工工程を行った場合の断面写真である。   FIG. 9 is a cross-sectional photograph of the composite material obtained in the above (I), FIG. 10 is a cross-sectional photograph in which the deformation processing of (III) is performed directly without performing the homogenization treatment of (II), and FIG. It is a cross-sectional photograph at the time of performing the deformation process of (III) after performing the homogenization process of said (II).

図9と図10とを比較すると、変形加工前(図9)に比べて、金属ガラス層の凹角部付近では非常に緻密化していた(図10(a))。
しかしながら、金属ガラス層の凸角上部の平坦部分を見ると、図10(b)のように、隣接する積層粒子間の隙間(黒く見える部分)が著しく増大していた。これは、凸角上部の平坦部では基材側から金型で押され、圧力が凹角部などに比べて小さかったために、加圧による緻密化よりも加熱・冷却による積層粒子の膨張・収縮と金属ガラス層の基材側からの加圧による横方向への変形により、金属ガラス粒子間の分離の方が促進されたためではないかと考えられる。
Comparing FIG. 9 and FIG. 10, it was very dense in the vicinity of the concave corner of the metallic glass layer (FIG. 10 (a)) as compared to before deformation (FIG. 9).
However, when the flat part of the upper part of the convex angle of the metallic glass layer is viewed, as shown in FIG. 10B, the gaps between the adjacent laminated particles (parts that appear black) are remarkably increased. This is because the flat part at the top of the convex corner is pushed by the mold from the substrate side, and the pressure is smaller than the concave corner part, etc., so that the laminated particles expand and contract by heating / cooling rather than densification by pressurization. It is considered that the separation between the metal glass particles was promoted by the deformation in the lateral direction due to the pressurization from the substrate side of the metal glass layer.

また、凸角部では、図10(c)のように、積層粒子間の隙間の増大とともに金属ガラス層の破断も認められた。これは、凸角部でも加圧による緻密化よりも加熱・冷却による積層粒子隙間の分離が促進され、さらにはこのような内部欠陥を有する金属ガラス層が引っ張られて破損を生じたものと考えられる。
このように、複合材料を単に過冷却液体温度領域で変形加工しても、金属ガラス層中の欠陥や破損を生じさせずに変形加工することは非常に困難であった。
Moreover, in the convex corner part, as shown in FIG. 10C, breakage of the metallic glass layer was observed with an increase in the gap between the laminated particles. This is because the separation of the laminated particle gap by heating / cooling was promoted more than the densification by pressurization even at the convex corner, and further, the metallic glass layer having such internal defects was pulled and damaged. It is done.
Thus, even if the composite material is simply deformed in the supercooled liquid temperature region, it has been very difficult to deform the composite material without causing defects or breakage in the metal glass layer.

これに対して、均質化処理後に変形加工を行った図11では、(a)凹角部のみならず、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部、(d)(a)〜(c)を含む全体の何れにおいても、図10で見られたような金属ガラス層の積層粒子間の隙間の増大や破損などの発生は全く認められず、非常に緻密な金属ガラス層が基材と一体化した状態で変形加工されていることがわかる。   On the other hand, in FIG. 11 in which deformation processing is performed after the homogenization processing, (b) not only the concave corners, but also (b) a flat portion at the upper convex corner, (c) a convex corner, (d) (a) In any of the whole including-(c), no increase in the gap between the laminated particles of the metal glass layer as seen in FIG. 10 or occurrence of breakage was observed, and a very dense metal glass layer was formed. It can be seen that the deformation processing is performed in an integrated state with the base material.

均質化工程さらに変形加工工程を下記表2の温度で行った以外は同様にして図3の形状を有する複合材料を得た。
表2からも、均質化処理をTg×85%〜Tx×97%の範囲で行った後、変形加工をTg×85%〜Tx×100%の温度範囲で行うことが好適であることが示唆される。
A composite material having the shape of FIG. 3 was obtained in the same manner except that the homogenization process and the deformation process were performed at the temperatures shown in Table 2 below.
Table 2 also suggests that it is preferable to perform the deformation process in the temperature range of Tg × 85% to Tx × 100% after performing the homogenization treatment in the range of Tg × 85% to Tx × 97%. Is done.

本発明の一実施例にかかる変形加工方法の概略図である。It is the schematic of the deformation | transformation processing method concerning one Example of this invention. 本発明の一実施例において均質化処理に用いた金型の概略図である。It is the schematic of the metal mold | die used for the homogenization process in one Example of this invention. 本発明の一実施例において変形加工された金属ガラス複合材料の形状の(a)正面図、及び(b)断面図である。It is (a) front view and (b) sectional view of the shape of the metallic glass composite material deformed in one embodiment of the present invention.

溶射により得られたCu55Zr40Al金属ガラス複合材料の断面写真である。It is a cross-sectional photograph of the obtained Cu 55 Zr 40 Al 5 metallic glass composites by thermal spraying. 均質化処理なしで変形加工したCu55Zr40Al金属ガラス複合材料の(a)凹角部、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部の断面写真である。It is a cross-sectional photograph of (a) concave corner, (b) flat top of convex angle, and (c) convex corner of Cu 55 Zr 40 Al 5 metallic glass composite material deformed without homogenization. 均質化処理後に変形加工したCu55Zr40Al金属ガラス複合材料の(a)凹角部、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部の断面写真である。It is a cross-sectional photograph of (a) concave corner, (b) flat top of convex angle, and (c) convex corner of the Cu 55 Zr 40 Al 5 metallic glass composite material deformed after homogenization.

均質化処理後にTg×80%温度(K)で変形加工したCu55Zr40Al金属ガラス複合材料の断面写真である。A cross-sectional photograph of after homogenization was deformed at Tg × 80% Temperature (K) Cu 55 Zr 40 Al 5 metallic glass composites. 均質化処理後にTx×102%温度(K)で変形加工したCu55Zr40Al金属ガラス複合材料の断面写真である。A cross-sectional photograph of deformation processed Cu 55 Zr 40 Al 5 metallic glass composite material Tx × 102% temperature after homogenization treatment (K). 溶射により得られたFe43Cr16Mo161510金属ガラス複合材料の断面写真である。It is a cross-sectional photograph of the obtained Fe 43 Cr 16 Mo 16 C 15 B 10 metallic glass composites by thermal spraying.

均質化処理なしで変形加工したFe43Cr16Mo161510金属ガラス複合材料の(a)凹角部、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部の断面写真である。It is a cross-sectional photograph of (a) concave corner, (b) flat top of convex angle, and (c) convex corner of Fe 43 Cr 16 Mo 16 C 15 B 10 metallic glass composite material deformed without homogenization. . 均質化処理後に変形加工したFe43Cr16Mo161510金属ガラス複合材料の(a)凹角部、(b)凸角上部の平坦部、(c)凸角部、(d)(a)〜(c)を含む全体の断面写真である。Fe 43 Cr 16 Mo 16 C 15 B 10 metallic glass composite material deformed after homogenization treatment (a) concave corner, (b) flat top of convex corner, (c) convex corner, (d) (a It is the whole cross-sectional photograph including (c)-(c).

符号の説明Explanation of symbols

10 基材
12 金属ガラス層
14 金属ガラス複合材料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Base material 12 Metal glass layer 14 Metal glass composite material

Claims (9)

基板表面に金属ガラス粒子を積層して金属ガラス層を形成する金属ガラス複合材料の形成工程と、
前記金属ガラス層を過冷却液体状態で加圧することにより金属ガラス層を均質化する均質化工程と、
前記均質化された金属ガラス層を変形加工する工程と、
を備えることを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。
A metal glass composite material forming step of forming a metal glass layer by laminating metal glass particles on a substrate surface;
A homogenization step of homogenizing the metal glass layer by pressurizing the metal glass layer in a supercooled liquid state;
Deforming the homogenized metallic glass layer;
A method for deforming a metallic glass composite material, comprising:
請求項1記載の方法において、金属ガラス粒子を溶射により積層することを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   2. The method of deforming a metal glass composite material according to claim 1, wherein the metal glass particles are laminated by thermal spraying. 請求項1又は2記載の方法において、変形加工がプレス加工であることを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   The method according to claim 1 or 2, wherein the deformation process is a press process. 請求項1〜3の何れかに記載の方法において、均質化工程を金属ガラスのガラス遷移温度Tg(K)×85%〜結晶化開始温度Tx(K)×97%の温度範囲において行うことを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   4. The method according to claim 1, wherein the homogenization step is performed in a temperature range of glass transition temperature Tg (K) × 85% of metal glass to crystallization start temperature Tx (K) × 97%. A method for deforming a metallic glass composite material. 請求項1〜4の何れかに記載の方法において、均質化工程を5〜1000MPaの圧力で、1〜600秒間行うことを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the homogenization step is performed at a pressure of 5 to 1000 MPa for 1 to 600 seconds. 請求項1〜5の何れかに記載の方法において、均質化工程の加工が基板表面に対し均一な圧力で加工することを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   6. The method for deforming a metal glass composite material according to claim 1, wherein the homogenizing step is performed at a uniform pressure on the substrate surface. 請求項1〜6の何れかに記載の方法において、変形加工する工程を金属ガラスのガラス遷移温度Tg(K)×85%〜結晶化開始温度Tx(K)×100%の温度範囲において行うことを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   7. The method according to claim 1, wherein the step of deforming is performed in a temperature range of glass transition temperature Tg (K) × 85% of metal glass to crystallization start temperature Tx (K) × 100%. A method for deforming a metallic glass composite material. 請求項1〜7の何れかに記載の方法において、金属ガラス粒子を積層する基板の厚みが0.5mm以下であることを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   8. The method for deforming a metal glass composite material according to claim 1, wherein the thickness of the substrate on which the metal glass particles are laminated is 0.5 mm or less. 請求項1〜8の何れかに記載の方法において、変形加工工程が均質化された金属ガラス層と基材とを一体に変形加工することを特徴とする金属ガラス複合材料の変形加工方法。   9. The method for deforming a metal glass composite material according to claim 1, wherein the metal glass layer and the base material that have been homogenized in the deformation process are integrally deformed.
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